JP4514674B2 - 表示装置、表示パネル用基板および表示パネル用基板の製造方法 - Google Patents

表示装置、表示パネル用基板および表示パネル用基板の製造方法 Download PDF

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本発明は、表示パネルとバックライトとバックライトを制御する制御回路とを備えた表示装置に関し、さらに上記表示パネルを構成する表示パネル用基板および当該基板の製造方法に関する。
液晶表示装置は、薄型軽量、低消費電力、高精細化、カラー化が容易なことから、ブラウン管に代わるフラットパネルディスプレイとして、TV用途やモニター用途に広く普及している。透過表示モードの液晶表示装置は、液晶パネルの背面にバックライトを備えた構造を有し、当該バックライトから発せられる光を液晶パネルで調光することによって画像を表示している。このバックライトとして、冷陰極管(CCFL)や発光ダイオード(LED)を用いたものが一般的である。
バックライトの輝度ムラ(面内分布)や輝度の経時変化は表示品位を損ねるので、バックライトの輝度をモニターして補正する技術が知られている。特許文献1には、表示制御用スイッチングTFT(Thin Film Transistor;薄膜トランジスタ)と光センサ用TFTとを同一基板上にモノリシックに形成した構造例が開示されている。このとき、図23に示すように、ボトムゲート型TFT構造の光センサ140Pがバックライト光を受光できるように、光センサ140Pのゲート電極91Pに開口部91aPを形成する工夫が取り入れられている。この開口部91aP内にはSiO2141Pが充填されている。なお、図23に示すように、光センサ140Pは、透明基板90P上に形成されており、ゲート電極91P、SiO2141P、絶縁膜92P、ノンドープa−Si膜93P、絶縁膜95P、n型a−Si膜96P,97P、ソース電極100Pおよびドレイン電極101Pを含んでいる。
特開2004−78160号公報 特開2000−321571号公報 特開2004−350179号公報
しかしながら、従来の光センサ140Pにおいて、バックライト光の取り入れ量を増加させようとすると、開口部91aPを大きく取る必要があり、TFTの特性が低下してしまうといった問題が発生する。
ところで、光センサ140Pのノンドープa−Si膜93Pのチャネル部に開口部91aPに起因した段差ができると、チャネルの移動度が低下して光センサ特性の低下を招くことになる。このため、開口部91aPを透明な物質で埋める等の対処が必要となるが、例えば特許文献1では、ゲート電極91Pの開口部91aPにSiO2141Pを充填し、その上にゲート絶縁膜92Pを形成している。これによれば、上述のチャネル移動度の低下を防止することはできると考えられるが、製造プロセスの複雑化という別の問題が発生してしまう。
本発明は、かかる点にかんがみてなされたものであり、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の従来の光センサとは異なりゲート電極に開口部を設ける必要がなく(したがって、当該開口部に起因した特性劣化やプロセス増加を回避可能であり)、表示用スイッチング素子のプロセスに対して追加・大幅増加することなく光センサを形成可能な、表示装置、表示パネル用基板および当該基板の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明は、表示装置において、表示パネルと、前記表示パネルへ光照射可能に配置されたバックライトと、前記バックライトを制御する制御回路と、を備え、前記表示パネルは、前記バックライトの側に配置されたベース基板と、前記ベース基板において前記バックライトとは反対側に配置された、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の表示用スイッチング素子と、前記ベース基板において前記表示用スイッチング素子と同じ側に前記表示用スイッチング素子とモノリシックに形成されており、前記バックライトの光強度を測定可能に設けられた、トップゲート型薄膜トランジスタ構造の少なくとも1つの光センサと、を含み、前記制御回路は、前記少なくとも1つの光センサによる測定結果に基づいて前記バックライトの発光強度を制御することを特徴とする。
このような構成によれば、光センサはトップゲート型薄膜トランジスタ構造を有するので、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造を適用する場合と比較して、ゲート電極に開口部を設ける必要がない。したがって、当該開口部に起因した特性劣化やプロセス増加を回避することができる。さらに、表示用スイッチング素子および光センサは、いずれも薄膜トランジスタなので、また、同一のベース基板に対してモノリシックに形成されているので、光センサを、表示用スイッチング素子の製造時にプロセスを大幅増加することなく、さらにはプロセスを追加することなく形成することが可能である。さらに、光センサは、表示パネルに設けられており、しかも薄膜トランジスタ構造の表示用スイッチング素子とモノリシックに形成されているので、ディスクリート部品である光センサモジュールを表示パネルに外付けした構成に比べて、表示装置において部品点数や実装コストを低減することができる。
また、前記少なくとも1つの光センサは、前記表示パネルの表示領域外に配置されていることが好ましい。このような構成によれば、光センサを配置しても表示品位への影響(例えば画素の透過率(開口率)の低下)が無いので、光センサは画素との関係においてサイズの制約を受けることがない。このため、光センサを表示パネルの表示領域内に配置する場合に比べて、光センサの面積を大きくすることができ、これにより高感度化を図ることができる。また、光センサ用の電極や配線を表示領域内の電極等から独立して設計できるので、光センサの駆動条件を最適化しやすい(駆動条件の設定の自由度が大きい)。
また、前記少なくとも1つの光センサは、前記表示パネルの表示領域内に配置されていることが好ましい。このような構成によれば、バックライトの発光面外縁から離れた位置に光センサを配置することができ、これにより光センサによる測定部分の周辺環境をいずれの方向においても同等にすることができるので、光強度を平均的な値として測定することができる。その結果、バックライトの輝度をより厳密に調整することができる。
また、前記少なくとも1つの光センサは複数の光センサであることが好ましい。このような構成によれば、上述のバックライトの制御について複数の光センサによる測定結果を利用できるので、バックライトの輝度(明るさ)の面内均一性が向上する。
また、前記複数の光センサは、前記バックライトの複数の発光領域の光強度を測定可能に配置されており、前記制御回路は、前記バックライトの発光領域ごとに、当該発光領域に対応の光センサによる測定結果に基づいて、前記バックライトの前記発光強度を制御することが好ましい。このような構成によれば、バックライトの発光領域ごとにバックライトの発光強度を制御するので、バックライトの輝度の面内均一性が向上する。かかる効果は大面積のバックライトにおいて顕著に現れる。
また、前記制御回路は、前記複数の光センサによる前記測定結果のみならず、入力映像信号の輝度情報にも基づいて、前記バックライトの前記発光領域ごとに、前記バックライトの前記発光強度を制御することが好ましい。このような構成によれば、いわゆる画面分割アクティブバックライト駆動において上述の効果が得られる。さらに、画面分割アクティブバックライト駆動の分割領域のそれぞれに光センサを設けて分割領域ごとにバックライトの輝度を補正することにより、バックライトの光源の経時変化の度合いが分割領域ごとに異なっても、分割状態(分割区画)を目立ちにくくすることができる。
さらに、本発明は、表示パネル用基板において、ベース基板と、前記ベース基板上に配置されたゲート電極と、前記ゲート電極よりも前記ベース基板から遠くに配置され平面視において前記ゲート電極に重なるように配置された半導体膜とを含む、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の表示用スイッチング素子と、前記表示用スイッチング素子に電気的に接続された画素電極と、前記ベース基板において前記表示用スイッチング素子と同じ側に配置されており、前記表示用スイッチング素子とモノリシックに形成された、トップゲート型薄膜トランジスタ構造の光センサと、を備え、前記光センサは、前記ベース基板上に配置されており、前記表示用スイッチング素子の前記ゲート電極と同じ材料から成る、第1電極と、前記第1電極よりも前記ベース基板から遠くに配置され平面視において前記第1電極に重ならないように配置されており、前記表示用スイッチング素子の前記半導体膜と同じ材料から成る、半導体膜と、前記光センサの前記半導体膜よりも前記ベース基板から遠くに配置され平面視において前記光センサの前記半導体膜に重なるように配置されており、前記第1電極に電気的に接続された、前記画素電極と同じ材料から成る、第2電極と、を含むことを特徴とする。
このような構成によれば、第2電極は半導体膜に重なるように配置されかつ第1電極に電気的に接続されているので、第1電極を介した信号印加により第2電極を光センサのゲート電極として機能させることができる。さらに、光センサにおいて半導体膜は、ベース基板の側に配置された第1電極に重ならないように、配置されているので、ベース基板の側からの光を、第1電極で遮られることなく、当該半導体膜で受光することができる。したがって、第1電極に開口部を設ける必要がないので、当該開口部に起因したトランジスタ特性の低下やプロセス増加を回避することができる。さらに、光センサの第1電極は表示用スイッチング素子のゲート電極と同じ材料から成るので両電極を同じレイヤで形成することが可能であり、光センサの半導体膜は表示用スイッチング素子の半導体膜と同じ材料から成るので両半導体膜を同じレイヤで形成することが可能であり、光センサの第2電極は画素電極と同じ材料から成るので両電極を同じレイヤで形成することが可能である。このため、光センサを、表示用スイッチング素子の製造時にプロセスを大幅増加することなく、さらにはプロセスを追加することなく形成することが可能である。
さらに、本発明は、表示パネル用基板の製造方法において、ベース基板上に導電膜を形成する第1工程と、前記導電膜から、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の表示用スイッチング素子のゲート電極およびトップゲート型薄膜トランジスタ構造の光センサの第1電極を形成する第2工程と、前記ゲート電極および前記第1電極に被さるように半導体膜を形成する第3工程と、前記半導体膜から、平面視において前記ゲート電極に重なるように前記表示用スイッチング素子の半導体膜を形成するともに、平面視において前記第1電極に重ならないように前記光センサの半導体膜を形成する、第4工程と、前記光センサの前記半導体膜に被さるように、かつ、前記表示用スイッチング素子および前記第1電極に接するように、透明導電膜を形成する、第5工程と、前記透明導電膜から、前記表示用スイッチング素子に電気的に接続するように画素電極を形成するとともに、前記第1電極に電気的に接続するようにかつ前記光センサの前記半導体膜に平面視において重なるように前記光センサの第2電極を形成する、第6工程と、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、上述の効果を奏する表示パネル用基板を得ることができる。このとき、光センサを、表示用スイッチング素子の製造時にプロセスを大幅増加することなく、さらにはプロセスを追加することなく形成することができる。
本発明によれば、表示装置および表示パネル用基板において、従来の光センサとは異なりゲート電極に開口部を設ける必要を無くすことができ、これにより当該開口部に起因した特性劣化やプロセス増加を回避することができ、さらに、表示用スイッチング素子のプロセスに対して追加・大幅増加することなく光センサを形成することができる。さらに、本発明によれば、そのような表示パネル用基板を製造することができる。
<実施形態1>
図1および図2に、本発明の実施形態1に係る表示装置10を説明するための模式図および斜視図を示す。さらに、図3にLED(Light Emitting Diode)アレイ510の拡大斜視図を示す。また、図4に表示装置10を説明するためのブロック図を示す。
まず、図1に示すように、表示装置10は、表示パネル300と、バックライト(またはバックライトユニット)500と、制御駆動装置400とを含んでいる。表示パネル300として、ここでは、透過表示モードを用いたアクティブマトリクス型の液晶パネルを例示し、このため表示パネル300を「液晶パネル300」とも呼ぶことにする。このとき、表示装置10は「液晶表示装置10」と呼ぶことができる。バックライト500は、液晶パネル300に対して当該液晶パネル300の背面(表示面とは反対の面)の側から光照射可能に配置されている。
制御駆動装置400は、液晶パネル300およびバックライト500に接続されて液晶パネル300およびバックライト500の制御および駆動をするための回路、装置等を総称するものとし、そのような回路等の一つとしてバックライト制御回路410を当該制御駆動装置400は含んでいる。なお、「バックライト」を図中では「B/L」と表記している。後に詳述するが液晶パネル300は光センサ回路130(図2等参照)を有しており、当該光センサ回路130からのセンサ信号S1を受信するように上記バックライト制御回路410が設けられている。そして、バックライト制御回路410は、センサ信号S1に基づき、制御信号S2によって、バックライト500の発光状態を制御するように構成されている。
次に、図2〜図4を参照しつつ、表示装置10をより具体的に説明する。まず、図2に示すように、バックライト500は、いわゆるエッジライト方式の光源であり、2つのLEDアレイ510と導光板520とを含んでいる。なお、図2では説明のためにLEDアレイ510、導光板520および液晶パネル300を離して図示しており、かかる図示方法は後述の図15等においても用いる。
LEDアレイ510において、光源としてのLEDチップ511が所定の方向に向けて光出射するように一列に配置されている。導光板520は、液晶パネル300と同程度の大きさ・形状の主面を有する平板部材であり、例えば光透過効率のよい透明のアクリル板から成る。かかる導光板520の側面(端面)にLEDチップ511が対向するように、かつ、2つのLEDアレイ510で導光板520を挟み込むように、LEDアレイ510が配置されている。これにより、導光板520の対向する2つの側面からLEDチップ511の光が入射し、導光板520の四角形の主面が平面的に発光する。
このとき、図3に示すように、LEDアレイ510では赤(R)、青(B)および緑(G)の各色の光源としてのLEDチップ511R,511B,511Gが順番に並んでおり、これら3色の光源が混色することで白色を得ることができる。
図2に戻り、液晶パネル300は、導光板520による上述の平面的な照明が当該液晶パネル300の主面全体に照射されるように配置されており、バックライト500からの照明を表示領域310内の画素ごとに調光することにより表示を行う。
特に、液晶パネル300は表示領域310を取り囲む周辺領域320内に4つの光センサ回路130を内蔵しており、当該光センサ回路130は、ここでは概ね表示領域310の四隅付近に設けられている。光センサ回路130は、当該回路130へ入射する光の光強度を測定するものである。
ここで、液晶パネル300は、画素が配列された表示領域310と、表示領域310を取り囲む周辺領域320とに大別される。両領域310,320は表示面における2次元的な領域のみならず、当該2次元領域を液晶パネル300の厚さ方向(すなわち後述の基板100,200の積み重ね方向(図7参照))に投影して把握される液晶パネル300の3次元領域をも指すものとする。
さて、図2に示すように、バックライト500の発光面(導光板520の主面にあたる)は4つの発光領域500Aに分割されている(かかる分離は物理的な分離分割を意味するものではない)。ここでは、発光領域500Aは、導光板520の四角形の主面において、対向する2辺の中点同士を結んで区画される領域として規定され、2×2のマトリクス状に規定されている。各発光領域500Aは4つの光センサ回路130をバックライト500上に投影した4つの部分のうちの1つを含むように分割されており、換言すれば各発光領域500Aに対して1つの光センサ回路130が設けられている。各光センサ回路130の具体的な構成・形態は後述するが、このようにして、複数の光センサ回路130がバックライト500の複数の発光領域500Aの光強度を測定可能に配置されている。
そして、その測定結果はセンサ信号S1(図1参照)としてバックライト制御回路410に送られ、当該制御回路410は、センサ信号S1すなわち上記測定結果に基づいて、その光センサ回路130に対応する発光領域500Aの輝度(明るさ)が所望状態に保たれるように、当該対応する発光領域500Aの発光に寄与するLEDチップ511(主として当該領域500Aに近接するLEDチップ511)の発光強度を制御信号S2(図1参照)によってフィードバック制御する。
詳細には、図4に示すように、バックライト制御回路410は、検出回路450と、輝度コントローラ411と、例えば半導体メモリから成る輝度設定データ保持部412と、LEDドライバ413とを含んでいる。
かかる構成のもと、光センサ回路130が測定した発光強度を示すセンサ信号S1は、検出回路450を介して、輝度コントローラ411が受信する。そして、輝度コントローラ411は、受信信号(センサ信号S1)に基づいて、輝度設定データ保持部412内のデータを参照し、その発光領域500Aの輝度があらかじめ設定された輝度データに合致するようにLEDドライバ413をフィードバック制御する。かかるフィードバック制御のために生成された制御信号S2がLEDドライバ413からLEDアレイ510へ出力され、これによってLEDチップ511の発光強度、すなわちバックライト500の発光強度が制御される。この際、かかる発光強度の制御は発光領域500Aごとになされる。
次に、図5に光センサ回路130の一例を説明するための回路図を示す。なお、図5には検出回路450も図示している。
図5の構成によれば、光センサ回路130は、いわゆる蓄積方式の光センサ回路に当たり、光センサ131と、電荷を蓄積する光センサ用蓄積容量132とを含んでいる。ここで、光センサ131は薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)構造を有しており、このため光センサ131を「光センサ用TFT131」等とも呼ぶことにする。光センサ用TFT131のドレインは蓄積容量132の一端に接続されており、光センサ用TFT131のソースは蓄積容量132の他端および当該TFT131のゲートに接続されている。このような構成によれば、光が強く当たった場合、光センサ用TFT131の抵抗値が低下し、光センサ用蓄積容量132内の電荷量が急激に変化する。一方、光が弱く当たった場合、光センサ用TFT131の抵抗値は低下しにくく、光センサ用蓄積容量132内の電荷量の変化は小さい。すなわち、光センサ用TFT131と光センサ用蓄積容量132との組み合わせによって、光フォトダイオードと等価の機能を果たすことができる。
そして、光センサ用蓄積容量132の電荷量変化(又は電圧変化)の大小を検出回路450によって検出することによって、光センサ回路130の出力値を得ることができる。図5の構成では、検出回路450は、負荷抵抗451と、電源452と、スイッチ453と、検出回路用容量454とを含んでいる。具体的には、負荷抵抗451の一端がスイッチ453を介して光センサ用蓄積容量132の上記一端に接続されており、負荷抵抗451の他端が電源452を介して光センサ用蓄積容量132の上記他端に接続されており、負荷抵抗451の当該他端は接地されている。そして、負荷抵抗451の上記一端の電位が検出回路用容量454を介して出力電圧Voutとして取り出される。なお、検出回路450は既述の図4に示すようにバックライト制御回路410内に設けることもできるし、当該検出回路450の負荷抵抗451、スイッチ453等を液晶パネル300内に設けることも可能である。
さらに、図6に光センサ回路130の他の一例を説明するための回路図を示す。図5と同様に、図6には検出回路450も図示している。図6の光センサ回路130は、図5の構成から光センサ用蓄積容量132を取り除いた構成を有しており、いわゆる非蓄積方式の光センサ回路に当たる。他方、図6の検出回路450は、図5の構成からスイッチ453および検出回路用容量454を取り除き、取り除いた箇所をそれぞれ短絡した構成を有している。このような構成によれば、光が強く当たった場合は光センサ用TFT131の抵抗値が低下する一方で、光が弱く当たった場合には光センサ用TFT131の抵抗値は低下しにくい。このとき、検出回路450の負荷抵抗451にかかる電圧が変動するので、この電圧変動を検出することによって光センサ回路130の出力値(出力電圧Vout)を得ることができる。
次に、図7に液晶パネル300を説明するための断面図を示す。なお、図7にはバックライト500も図示している。図7に示すように、液晶パネル300は、対向配置された第1基板100および第2基板200と、両基板100,200の間のすき間に封入された表示媒体としての液晶(層)350とを含んでいる。
第1基板100は、ガラスやプラスチック等から成るベース基板(または下地基板)110と、いわゆるボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の表示用TFT(表示用スイッチング素子)121と、いわゆるトップゲート型薄膜トランジスタ構造の光センサ用TFT131と、ITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)等から成る画素電極160とを含んでいる。表示用TFT121および光センサ用TFT131はベース基板110においてバックライト500とは反対側に配置されておりモノリシックに形成されている。
表示用TFT121は、アルミニウム(Al)等から成るゲート電極121g、ソース電極121sおよびドレイン電極121dと、シリコン窒化物(SiNx)やシリコン酸化物(SiO2)等から成るゲート絶縁膜121hと、アモルファスシリコン(a−Si)等から成る半導体膜121aとを含んでいる。詳細には、ベース基板110上にゲート電極121gが配置されており、当該ゲート電極121gに被さるようにベース基板110上にゲート絶縁膜121hが配置されている。ゲート絶縁膜121h上には、ゲート電極121gに対向するように、換言すれば第1基板100またはベース基板110の平面視においてゲート電極121gに重なるように、半導体膜121aが配置されている。このとき、半導体膜121aはゲート電極121gよりもベース基板110から遠くに配置されていることになる。半導体膜121aの端部に掛かるようにしてソース電極121sおよびドレイン電極121dが配置されている。なお、半導体膜121aにおいて両電極121s,121d間の部分が表示用TFT121のチャネル領域を成す。
そして、表示用TFT121に被さるように、保護絶縁膜140および層間絶縁膜150がこの順序でゲート絶縁膜121h上に配置されている。なお、絶縁膜140,150は、アクリルやポリイミドやベンゾシクロブテン(BCB)等から成る。層間絶縁膜150上に画素電極160が配置されている。絶縁膜140,150には表示用TFT121のドレイン電極121dに至るコンタクトホールが設けられており、当該コンタクトホールを介して画素電極160が表示用TFT121のドレイン電極121dに接している(電気的に接続されている)。
他方、光センサ用TFT131は、第1電極131g1と、当該TFT131のゲート電極を成す第2電極131g2と、上記絶縁膜140,150によって構成されるゲート絶縁膜と、半導体膜131aと、ソース電極131sおよびドレイン電極131dとを含んでいる。
詳細には、ベース基板110上に第1電極131g1が配置されており、当該第1電極131g1は表示用TFT121のゲート電極121gと同じ材料から成る。第1電極131g1に被さるように表示用TFT121の上記ゲート絶縁膜121hがベース基板110上に配置されている。
ゲート絶縁膜121h上には、第1電極131g1に対向しないように、換言すれば第1基板100またはベース基板110の平面視において第1電極131g1に重ならないように、半導体膜131aが配置されている。このとき、半導体膜131aは第1電極131g1よりもベース基板110から遠くに配置されていることになる。半導体膜131aは表示用TFT121の半導体膜121aと同じ材料から成る。半導体膜131aの端部に掛かるようにしてソース電極131sおよびドレイン電極131dが配置されており、これらの電極131s,131dは表示用TFT121のソース電極121gおよびドレイン電極121dと同じ材料から成る。なお、半導体膜131aにおいて両電極131s,131d間の部分が光センサ用TFT131のチャネル領域かつ受光領域を成す。
そして、半導体膜131aおよび電極131s,131dに被さるように、かつ、第1電極131g1の上方にも及ぶように、上述の保護絶縁膜140および層間絶縁膜150が配置されている。
さらに、層間絶縁膜150上には、第1基板100またはベース基板110の平面視において光センサ用TFT131の半導体膜131aに重なるように第2電極131g2が配置されている。このとき、第2電極131g2は半導体膜131aよりもベース基板110から遠くに配置されていることになる。第2電極131g2は画素電極160と同じ材料から成る。絶縁膜140,150およびゲート絶縁膜121hには第1電極131g1に至るコンタクトホールが設けられており、当該コンタクトホールを介して第2電極131g2が第1電極131g1に接している(電気的に接続されている)。
なお、ベース基板110上にコーティング膜を設け、その上に第1電極131g1およびゲート電極121gを配置してもよく、かかる場合にはベース基板110に上記コーティング膜を含めた構成を「ベース基板」と呼ぶことができる。
ここで、光センサ用TFT131の構造を検討する。第2電極131g2と絶縁膜150,140と半導体膜131aとは、この順序で積層されており、いわゆるMOS(Metal Oxide Semiconductor)構造を形成している。つまり、第2電極131g2が当該TFT131のゲート電極として機能し、絶縁膜150,140の積層体が当該TFT131のゲート絶縁膜として機能する。なお、第2電極131g2には、当該電極131g2と電気的に接続された第1電極131g1を介して、ゲート信号(ゲート電圧)が供給される。
このとき、表示用TFT121ではゲート電極121gが半導体膜121aに対してベース基板110の側に配置されており、当該表示用TFT121はいわゆるボトムゲート型TFT構造をしているのに対して、光センサ用TFT131ではゲート電極を成す第2電極は半導体膜131aに対してベース基板110から遠い側に配置されており、いわゆるトップゲート型TFT構造をしている。
上述のように光センサ用TFT131の半導体膜131aは第1電極131g1に重ならないように配置されているので、ベース基板110の側から入射するバックライト500の光500Lを、第1電極131g1で遮られることなく、当該半導体膜131aで受光することができる。つまり、光センサ用TFT131はバックライト500の光強度を測定可能に設けられている。
なお、図8に示す液晶パネル301の第1基板101のように、層間絶縁膜150において半導体膜131aに対向する位置を開口し、当該開口内に第2電極131g2を配置することによって、保護膜140のみをゲート絶縁膜として利用することも可能である。このような形態によれば、光センサ用TFT131のゲート絶縁膜を図7の第1基板100よりも薄くできるので、ゲート電圧を低減することができる。なお、液晶パネル301のその他の構成は図7の液晶パネル300と同じであり、当該液晶パネル301は液晶パネル300に代えて表示装置10に適用可能である。
図7に戻り、第2基板200は、ガラスやプラスチック等から成るベース基板210と、着色層またはカラーフィルタ層220と、遮光膜230と、ITOやIZO等から成る対向電極260とを含んでいる。
カラーフィルタ層220および遮光膜230はともにベース基板210上に配置されている。カラーフィルタ層220はカラー表示用の赤、緑、青の3色のカラーフィルタから成り、表示領域310(図2等参照)内において各画素P(後述の図9参照)に赤、緑、青のいずれかのカラーフィルタが設けられている。各画素Pにおいて、バックライト500からの出射光500Lは、カラーフィルタ層220の所定色のカラーフィルタを通過して着色され(分光され)、表示光として、観察者に到達する。遮光膜230は、表示用TFT121および光センサ用TFT131に対向する位置に設けられており、観察者の側(すなわち第2基板200の側)から入射する光が両TFT121,131で反射するのを防止している。なお、液晶パネル100では光センサ用TFT131が配置されている周辺領域320(図2参照)の全域に遮光膜230が設けられている(いわゆる額縁ブラックマトリクス)。そして、カラーフィルタ層220上および遮光膜230上に対向電極260が配置されている。
両基板100,200は、ベース基板110,210が外向きになるように、換言すれば画素電極160と対向電極260とが向き合うように、対向配置されている。そして、両基板100,200の間のすき間に表示媒体としての液晶350が封入されている。
なお、図7および図8には光センサ用TFT131に対向する位置に液晶350および対向電極260が存在する構造を図示しているが、これらの要素350,260は光センサ用TFT131が周辺領域320に設けられた上述の構造では当該TFT131に対向する位置に設けなくてもかまわない。
ここで、図9に液晶パネル300を説明するための模式図を示す。図9に示すように、液晶パネル300は、定方向に延在し当該定方向に直交する方向に並んだ複数のゲート線(走査線)LGおよび複数の蓄積容量線LCsと、これらの配線LG,LCsに交差するように(ただし短絡していない)並んだ複数の表示信号線(ソース線)LSとを含んでいる。なお、ゲート線LGと蓄積容量線LCsは交互に並んでいる。これらの配線LG,LS,LCsは、上述の図7では図示を省略しているが、第1基板100(図7参照)に設けられている。
ゲート線LGと表示信号線LSとによって表示領域310はマトリクス状に区画され、各区画が画素(サブ画素またはセル)Pに当たる。ゲート線LGと表示信号線LSとの各交点付近には各画素P用にアクティブ素子である表示用TFT121が設けられており、当該TFT121のゲート電極121gおよびソース電極121s(図7参照)がゲート線LGおよび表示信号線LSにそれぞれ接続されている。これらの配線LG,LSへの信号によって表示用TFT121のスイッチング機能が制御され、画素Pごとに液晶350(図7参照)が駆動される(調光される)。図9において、表示用蓄積容量Csは蓄積容量線LSと画素電極160(図7参照)との間に形成され、液晶容量Clcは画素電極160と対向電極260(図7参照)との間に形成される。
なお、第1基板100(図7参照)のうちでベース基板110と表示用TFT121および付随する配線LG,LS,LCs等とから成る構成は「TFT基板」、「アレイ基板」、「アクティブマトリクス基板」等と呼ばれることもある。
各画素Pにはカラーフィルタ層220(図7参照)の赤、緑、青のいずれかのカラーフィルタが設けられ、近接する3色の画素Pの群がカラー表示のための単位画素PUを成す。
このような表示装置10によれば、光センサ用TFT631は、第1基板100に設けられており、しかも薄膜トランジスタ構造の表示用TFT121とモノリシックに形成されているので、ディスクリート部品である光センサモジュールを表示パネルに外付けした構成に比べて、表示装置10において部品点数や実装コストを低減することができる。
さらに、光センサ131はトップゲート型TFT構造を有しておりかつその半導体膜131aは第1電極131g1に重ならないように配置されているので、ボトムゲート型TFT構造の光センサとは異なり、ベース基板110の側からの入射光500Lを受光するために、電極131g1,131g2に開口部を設ける必要がない。したがって、当該開口部に起因した特性劣化やプロセス増加を回避することができる。
さらに、光センサ131による測定結果に基づいてバックライト500の発光強度を発光領域ごとに制御するので、LEDチップ511R,511G,511Bを多数配置した場合であっても、バックライト500について輝度(明るさ)の発光面内均一性を向上させることができる。かかる効果は大面積のバックライト500では顕著である。
ここで、バックライト500の発光面全体を1つの発光領域500Aとして当該発光領域500Aに対して1つの光センサ131を設ける構成も可能であるが、複数の発光領域500Aに分割して各発光領域500Aに光センサ131を設けた上述の構成の方が、上述のLEDチップ511の制御について複数の光センサ131による測定結果を利用できるので、バックライト500の輝度の面内均一性が高くなる。
これらの効果にかんがみれば、表示装置10は、LEDチップ511の環境温度に対する輝度の経時変化や個体バラツキが大きい場合には特に有用である。
また、光センサ131は、液晶パネル300の周辺領域320内、すなわち表示領域310外に配置されているので、表示品位への影響(例えば画素の透過率(開口率)の低下)が無く、光センサ131は画素Pとの関係においてサイズの制約を受けることがない。このため、光センサ131を液晶パネル300の表示領域310内に配置する場合に比べて、光センサ131の面積を大きくすることができ、これにより高感度化を図ることができる。また、光センサ131用の電極131g1,131g2,131s,131dや検出回路450への配線を、表示領域310内の電極121g,121s,121dや配線LG,LS,LCs等から独立して設計できるので、光センサ131の駆動条件を最適化しやすい(駆動条件の設定の自由度が大きい)。
また、表示用121および光センサ用TFT131は、いずれも薄膜トランジスタであり、同一のベース基板110に対してモノリシックに形成されているので、さらには、電極131g1,121gは同じ材料から成り、半導体膜131a,121aは同じ材料から成り、電極131s,131d,121s,121dは同じ材料から成り、電極131g2,160は同じ材料から成るので、光センサ用TFT131を、表示用TFT121の製造時にプロセスを大幅増加することなくまたはプロセスを追加することなく形成することができる。かかる点を、以下に第1基板100の製造方法を説明しつつ、明らかにする。
図10〜図14に液晶パネル用基板(表示パネル用基板)としての第1基板100の製造方法を説明するための断面図を示す。まず、図10に示すように、ベース基板110上に全面的にアルミニウム(Al)等の導電膜181を形成する。そして、当該導電膜181をパターニングすることによって、導電膜181から表示用TFT121のゲート電極121gおよび光センサ用TFT131の第1電極131g1を形成する(図11参照)。具体的には、導電膜181上にレジスト膜を形成し、当該レジスト膜をフォトリソグラフィー技術によってパターニングして上記両電極121g,131g1の平面パターンを有するレジストマスク191を形成する。その後、レジストマスク191をエッチングマスクとして用いて導電膜181をエッチングすることにより、導電膜181から表示用TFT121のゲート電極121gおよび光センサ用TFT131の第1電極131g1を形成する。その後、レジストマスク191を除去する。
次に、図11に示すように、ゲート電極121gおよび第1電極131g1に被さるように、ベース基板110上に全面的に、シリコン窒化物(SiNx)やシリコン酸化物(SiO2)等の絶縁膜(ゲート絶縁膜)121hおよびアモルファスシリコン(a−Si)等の半導体膜182をこの順序で積層する。そして、当該半導体膜182をパターニングすることによって、半導体膜182から表示用TFT121の半導体膜121aおよび光センサ用TFT131の半導体膜131aを形成する(図12参照)。このとき、ベース基板110の平面視において、ゲート電極121gに重なるように表示用TFT121の半導体膜121aを形成し、第1電極131g1に重ならないように光センサ用TFT131の半導体膜131aを形成する。具体的には、上述のレジストマスク191(図10参照)と同様に、半導体膜182上に半導体膜121a,131aの平面パターンを有するレジストマスク192を形成し、当該レジストマスク192を利用して半導体膜182をエッチングする。その後、レジストマスク192を除去する。
その後、図12に示すように、半導体膜121a,131aに被さるように、絶縁膜121h上に全面的に、アルミニウム(Al)等の導電膜183を形成する。そして、当該導電膜183をレジストマスク193を利用してパターニングすることによって、導電膜183から表示用TFT121および光センサ用TFT131のソース電極121s,131sおよびドレイン電極131s,131dを形成する(図13参照)。その後、レジストマスク193を除去する。
そして、図13に示すように、電極121s,121d,131s,131dに被さるように保護膜140および層間絶縁膜150をこの順序で全面的に積層する。なお、絶縁膜140は、SiNxやSiO2などの無機絶縁膜から成り、150は、アクリルやポリイミドやベンゾシクロブテン(BCB)等から成る。そして、両膜150,140および絶縁膜121hをパターンエッチングして、層間絶縁膜150の露出表面(最上面)から表示用TFT121のドレイン電極131dに至るコンタクトホールと、層間絶縁膜150の露出表面から光センサ用TFT131の第1電極131g1に至るコンタクトホールとを形成する。
次に、図14に示すように、層間絶縁膜150の露出表面上に全面的にITOやIZO等の透明電極184を形成する。このとき、光センサ用TFTの半導体膜131aに被さるように(当該半導体膜131a上方に存在するように)、かつ、表示用TFT121および第1電極131g1にコンタクトホール内において接するように、透明導電膜184を形成する。そして、当該透明導電膜184をパターニングすることによって、透明導電膜184から画素電極160および光センサ用TFT131の第2電極131g2を形成する(図7参照)。このとき、画素電極160は透明導電膜184のうちで表示用TFT121に接する部分を含むようにパターニングし、第2電極131g2は透明導電膜184のうちで第1電極131g1に接する部分を含むようにかつベース基板110の平面視において光センサ用TFT131の半導体膜131aに重なるようにパターニングする。具体的には、透明導電膜184上に画素電極160および第2電極131g2の平面パターンを有するレジストマスク194を形成し、当該レジストマスク194を利用して透明導電膜184をエッチングする。その後、レジストマスク194を除去する。
なお、上述の説明ではパターニングする膜181等上にレジストマスク191等を配置してエッチングするパターニング法を述べたが、パターニングしたレジスト上に膜を形成しレジストの除去により当該膜をパターニングする、いわゆるリフトオフ法を利用してもかまわない。
このように、光センサ用TFT131の第1電極131g1および表示用TFT121のゲート電極121gは単一の導電膜181から同じレイヤで形成することができる。同様に、両TFT131,121の半導体膜131a,121aは単一の半導体膜182から同じレイヤで形成することができ、両TFT131,121の電極131s,131d,121s,121dは単一の導電膜183から同じレイヤで形成することができ、光センサ用TFT131の第2電極131g2および画素電極160は単一の透明導電膜184から同じレイヤで形成することができる。したがって、光センサ用TFT131を、表示用TFT121の製造時にプロセスを追加することなく形成することができる。なお、図8の第1基板101の場合、層間絶縁膜150を開口するプロセスが必要となるが、大幅な増加を招くことはない。
図15に、実施形態1の変形例に係る表示装置を説明するための斜視図を示す。図15に示すように、上述の表示装置10(図1および図2参照)において、エッジライト方式のバックライト500に代えて、LEDによる直下ライト方式のバックライト501を適用することもでき、このような表示装置10によっても上述の効果を得ることができる。
なお、直下ライト方式のバックライト501では多数のLEDチップ511が所定方向に向けて(液晶パネル300に向けて)光出射するように2次元的に配置されており、これにより平面発光する。このとき、例えば、赤色発光のLEDチップ511Rの列、青色発光のLEDチップ511Bの列および緑色発光のLEDチップ511Gの列をこの順番で繰り返し並べることによって、上述の2次元配列が構成される。
<実施形態2>
図16に、本発明の実施形態2に係る表示装置を説明するための斜視図を示す。図16に示すように、既述の液晶パネル300(図1および図2参照)に代えて、液晶パネル302を適用して表示装置10(図1参照)を構成することもできる。当該液晶パネル302は、4つの光センサ回路130を表示領域310内に設けた点以外は、既述の液晶パネル300と同様の構成を有している。液晶パネル302においても、バックライト500の4つの発光領域500Aそれぞれに対して1つの光センサ回路130が設けられている。
次に、図17に液晶パネル302を説明するための模式図を示す。図17に示すように、光センサ回路130は赤、青、緑のいずれかの画素Pに併設されている。
図17の例では、光センサ回路130として既述の蓄積方式の光センサ(図5参照)を利用しており、検出回路450(図5参照)のスイッチ453としてのTFTも画素P内に設けられている。スイッチ453としての当該TFTを介して光センサ回路130からの信号が検出線Lに出力される。スイッチ453としてのTFTは、そのゲート電極がゲート線LGに接続されており(詳細には光センサ回路130が属する画素Pの隣の画素Pを選択するためのゲート線LGに接続されている)、表示用TFT121と同じ周期でオン/オフされ、1フレーム間の光センサ用蓄積容量132の電荷量変化をフレーム毎に読み出す役割を果たしている。なお、スイッチ453対応のTFTおよび検出線Lは第1基板100(図7参照)に設けられており、検出線Lは光センサ回路130が属する画素Pの近傍の表示信号線LSに隣接して配置されている。
上述のように液晶パネル302では光センサ回路130を表示領域310内に配置しているが、かかる配置が表示品位へ与える影響をできるだけ小さく留める必要がある。このとき、画素P内での光センサ回路130の占有率が大きいと光センサ回路併設画素Pは他の画素Pに比べて透過率(開口率)が低くなってしまうので、当該占有率は30%以内に収めることが望ましい。また、光センサ回路併設画素Pの透過率(開口率)が低くなることを前提に、あらかじめ光センサ回路併設画素Pが他の画素Pより明るめに表示できるよう画素Pへの表示信号に補正をかけておく等の画像処理による対応も望ましい。この結果、特定の画素Pに光センサ130を併設したとしても,表示の均一性を保つことが可能である。
実施形態2に係る表示装置10によれば、光センサ回路130が(したがって光センサ131が)液晶パネル302の表示領域310内に配置されており、バックライト500の発光面外縁から離れた位置に光センサ131を配置することができるので、光センサ131による測定部分の周辺環境をいずれの方向においても同等にすることができる。例えば光センサ131を周辺領域320内でバックライト500の発光面外縁に近接させた構造では、光センサ131による測定部分付近において、発光面中心方向では明るく、その反対方向では暗くなる場合がある。これに対して、図16に示すように光センサ回路130を発光領域500Aの中心付近に配置すれば、光センサ131による測定部分の周辺はいずれの方向においても同等の明るさになるので、光強度を平均的な値として測定することができる。その結果、バックライト500の輝度をより厳密に調整することができる。
このような光センサ131の配置位置の相違による効果以外は、実施形態1に係る表示装置10と同様の効果が得られる。
なお、光センサ併設画素Pでは、図18の断面図に示すように、カラーフィルタ層220が設けられているとともに、表示用TFT121および光センサ用TFT131での光の反射を防止するために両TFT121,131に対向する位置に遮光膜230が設けられている。かかる点は、図8の第1基板101を利用する場合も同様である。また、既述のように光センサ用TFT131が周辺領域320(図2等参照)に設けられた構造では当該TFT131に対向する位置の液晶350および対向電極260は任意であるが、実施形態2に係る表示装置10では光センサ回路130が画素P内に設けられているので、光センサ用TFT131に対向する位置にも液晶350および対向電極260を設ける必要がある。
図19に、実施形態2の変形例1に係る表示装置を説明するための斜視図を示す。図19に示すように、液晶パネル302とLEDによる直下ライト方式のバックライト501とを組み合わせて表示装置10(図1参照)を構成してもよく、このような表示装置10によっても上述の効果を得ることができる。
さらに、図20に、実施形態2の変形例2に係る表示装置を説明するための斜視図を示す。上述の説明ではバックライト500,501の発光領域全体を2×2の領域に分割する例を述べたが、図20に示すように、直下ライト方式のバックライト501によれば、さらに多くの発光領域501Aにマトリクス分割し、発光領域501Aごとに発光状態を制御することが可能である。このような分割の場合、液晶パネル302において発光領域501Aごとに1つの光センサ回路130が設けられる。発光領域500Aが多いほど、バックライト500の輝度を、より細かく制御することできる。
図21に当該変形例2に係る表示装置10のブロック図を示す。図21に示すように、各光センサ回路130からのセンサ信号S1は、センサ読み出しLSI(Large Scale Integration)390aを介してバックライト制御回路410の検出回路450へ入力される。なお、センサ読み出しLSI390aは、ゲートドライバLSI390gおよびソースドライバLSI390sとともに液晶パネル302の周辺領域320に設けられている。
<実施形態3>
さて、特許文献2や特許文献3には、バックライトをN×Mの複数の発光領域(照明領域)に分割し、発光領域ごとに映像情報に基づいて最適輝度を算出し、発光領域ごとにバックライトの輝度制御と映像信号の画像処理とを行う(以下「画面分割アクティブバックライト駆動」または「空間アクティブバックライト駆動」と呼ぶことにする)表示装置が開示されている。このとき、表示装置は、入力された映像信号の輝度情報に基づきバックライトの輝度を分割された発光領域ごとに制御する制御回路を含んでいる。
画面分割アクティブバックライト駆動によれば、分割された画像の入力映像情報に基づき、それに対応するバックライトの発光領域における発光輝度を適宜変化させることによって、通常よりダイナミックレンジの高い映像表示が可能である。また、入力映像情報が暗画像である場合にはバックライトを減光させる(その分、映像信号を明るくして表示輝度を補償する)表示が可能なので、表示装置の低消費電力化も実現できる。
このような画面分割アクティブバックライト駆動では、バックライトをN×Mの複数の発光領域に分けて個別に駆動することから、この発光領域ごとにバックライトの輝度の補正(キャリブレーション)を行うことができれば非常に有用である。
そこで、実施形態3では、画面分割アクティブバックライト駆動に上述の実施形態1,2等に係る技術を適用し、これにより画面分割アクティブバックライト駆動の表示に対してバックライトの輝度を発光領域ごとに補正しうる表示装置を説明する。
図22に実施形態3に係る表示装置11を説明するためのブロック図を示す。図22の表示装置11は、液晶パネル300と、バックライト500と、制御駆動装置401とを含んでいる。なお、液晶パネル300に代えて液晶パネル301等を適用することも可能であるし、また、バックライト500に代えてバックライト501を適用することも可能である。
制御駆動装置401は、バックライト制御回路420と、フレームメモリ491と、階調変換回路492と、バックライト輝度データ保持部493と、階調補正回路494と、階調補正用ルックアップテーブル495とを含んでいる。なお、図中では「ルックアップテーブル」を「LUT」と表記している。そして、バックライト制御回路420は、既述の検出回路450、輝度設定データ保持部412およびLEDドライバ413と、輝度コントローラ421と、画像輝度演算回路425と、画像輝度データ保持部426とを含んでいる。このような構成下、表示装置11は次のように動作する。
まず、入力映像信号(RGB入力画像信号)SINは、一旦フレームメモリ491に蓄積され、画像輝度演算回路425へ読み出される。ここで、表示装置11では、表示領域310(図2参照)はバックライト500の分割された4つの発光領域500A(図2参照)を当該表示領域310へ投影した4つの領域に分割して把握され、表示画像も表示領域310の上記4つの分割領域上で表示される4つの画像に分割して把握される。そこで、画像輝度演算回路425は、バックライト500の各発光領域500Aに対応する分割画像ごとに画像情報を読み出す。そして、画像輝度演算回路425は、各分割画像の輝度値(平均輝度(APL))を算出し、算出した画像輝度データ(画像輝度情報)を分割画像ごとに画像輝度データ保持部426へ格納する。
輝度コントローラ421は、画像輝度データ保持部426内に格納された画像輝度データ(画像輝度情報)と、既述と同様にして検出回路450を介して受信した光センサ回路130(図2参照)からのセンサ信号S1と、の双方に基づいて、バックライト500の各発光領域500Aに必要な輝度レベルを算出する。その後、輝度コントローラ421は、算出した各発光領域500Aの輝度データ(輝度情報)をバックライト輝度データ保持部493へ格納するとともに、LEDドライバ413へ送信する。
LEDドライバ413は、既述と同様にして、バックライト500のLEDチップ511の発光強度を、受信した各発光領域500Aの輝度データに基づいて、発光領域500Aごとに制御する。
他方、フレームメモリ491に蓄積された映像信号(RGB入力画像信号)SINは、階調変換回路492によって、液晶パネル300の単位画素PU(図9参照)ごとに順次、読み出される。そして、当該階調変換回路492は、バックライト輝度データ保持部493を参照し、対象の単位画素PUが対向する発光領域500Aの輝度データに基づいて、上述の読み出した信号(データ)の階調を変換(変調)し、階調補正回路494へ送信する。
階調補正回路494は、バックライト輝度データ保持部493および階調補正用ルックアップテーブル495を参照して、上述の階調変換された信号の階調を補正してソースドライバLSI390sへ出力する。このとき、かかる階調補正は対象の単位画素PUが対向する発光領域500Aのみならず当該発光領域500Aの周辺の発光領域500Aのバックライト輝度データにも基づいて行い、上述の対象の単位画素PUが対向する発光領域500Aおよび上述の周辺の発光領域500Aの各バックライト輝度データと補正データ(例えば補正量)とが関連付けられて階調補正用ルックアップテーブル495に記述されている。
このように、表示装置11によれば、入力された映像信号SINに基づいてバックライト500の輝度を発光領域500Aごとに制御するので、画面全体のうち、明るい画像情報を多く含むような表示部分に対してはバックライト500の輝度を高くすることができ、逆に暗い画像情報を多く含むような表示部分に対してはバックライト500の輝度を低くすることができ、その結果、画面全体のダイナミックレンジを拡大することができる。
ところで、バックライト500の輝度を発光領域500Aごとに変化させる場合に、入力映像信号SINをそのままの階調で液晶パネル300に供給すると、表示画像の輝度が各発光領域500A間でずれてしまう。しかし、上述のように表示装置11では対象の単位画素PUが対向する発光領域500Aのみならず当該発光領域500Aの周辺の発光領域500Aのバックライト輝度データにも基づいて入力映像信号SINを階調補正するので、各発光領域500Aの輝度に応じて変換された適正な階調によって、各発光領域500A間で表示画像の輝度にずれのない適正な画像を得ることができる。このように、表示装置11では、画面内に大きな輝度傾斜があるような画像に対しても、広いダイナミックレンジを有し、コントラストの高い、高品位の適正な画像を表示することが可能である。
さらに、表示装置11では画面分割アクティブバックライト駆動と実施形態1,2等のバックライトの制御とが組み合わされているので、表示領域310の分割領域ごとにバックライト500の輝度(明るさ)を補正することができる。したがって、入力映像信号SINに基づく画面分割アクティブバックライト駆動による表示をより忠実に行うことができるし、LEDチップ511の経時変化の度合いが分割領域ごとにすなわちバックライト500の発光領域500Aごとに異なっても、分割状態(分割区画)を目立ちにくくすることができる。
さて、以上の説明では表示装置10,11として液晶表示装置を例示したが、バックライト500を利用する表示パネルであれば、液晶350に代えて表示媒体として電気泳動媒体等を用いた表示パネルを表示装置10,11に適用することも可能である。
は、本発明の実施形態1に係る表示装置を説明するための模式図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置を説明するための斜視図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置のLEDアレイを説明するための拡大斜視図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置を説明するためのブロック図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の光センサ回路の一例を説明するための回路図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の光センサ回路の他の一例を説明するための回路図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の液晶パネルを説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の他の液晶パネルを説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の液晶パネルを説明するための模式図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の第1基板の製造方法を説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の第1基板の製造方法を説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の第1基板の製造方法を説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の第1基板の製造方法を説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態1に係る表示装置の第1基板の製造方法を説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態1の変形例に係る表示装置を説明するための斜視図である。 は、本発明の実施形態2に係る表示装置を説明するための斜視図である。 は、本発明の実施形態2に係る表示装置の液晶パネルを説明するための模式図である。 は、本発明の実施形態2に係る表示装置の液晶パネルを説明するための断面図である。 は、本発明の実施形態2の変形例1に係る表示装置を説明するための斜視図である。 は、本発明の実施形態2の変形例2に係る表示装置を説明するための斜視図である。 は、本発明の実施形態2の変形例2に係る表示装置を説明するためのブロック図である。 は、本発明の実施形態3に係る表示装置を説明するためのブロック図である。 は、従来の光センサを説明するための断面図である。
符号の説明
10,11 表示装置
110 ベース基板
121 表示用TFT(表示用スイッチング素子)
121a 半導体膜
121g ゲート電極
131 光センサ用TFT(光センサ)
131a 半導体膜
131g1 第1電極
131g2 第2電極
160 画素電極
181 導電膜
182 半導体膜
184 透明導電膜
300〜302 液晶パネル(表示パネル)
310 表示領域
410,420 バックライト制御回路(制御回路)
500,501 バックライト
500A,501A 発光領域
SIN 入力映像信号

Claims (10)

  1. 表示パネルと、
    前記表示パネルへ光照射可能に配置されたバックライトと、
    前記バックライトを制御する制御回路と、を備え、
    前記表示パネルは、
    前記バックライトの側に配置されたベース基板と、
    前記ベース基板において前記バックライトとは反対側に配置された、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の表示用スイッチング素子と、
    前記ベース基板において前記表示用スイッチング素子と同じ側に前記表示用スイッチング素子とモノリシックに形成されており、前記バックライトの光強度を測定可能に設けられた、トップゲート型薄膜トランジスタ構造の少なくとも1つの光センサと、を含み、
    前記制御回路は、前記少なくとも1つの光センサによる測定結果に基づいて前記バックライトの発光強度を制御することを特徴とする表示装置。
  2. 前記少なくとも1つの光センサは、前記表示パネルの表示領域外に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記少なくとも1つの光センサは複数の光センサであることを特徴とする請求項2に記載の表示装置。
  4. 前記複数の光センサは、前記バックライトの複数の発光領域の光強度を測定可能に配置されており、
    前記制御回路は、前記バックライトの発光領域ごとに、当該発光領域に対応の光センサによる測定結果に基づいて、前記バックライトの前記発光強度を制御することを特徴とする請求項3に記載の表示装置。
  5. 前記少なくとも1つの光センサは、前記表示パネルの表示領域内に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  6. 前記少なくとも1つの光センサは複数の光センサであることを特徴とする請求項5に記載の表示装置。
  7. 前記複数の光センサは、前記バックライトの複数の発光領域の光強度を測定可能に配置されており、
    前記制御回路は、前記バックライトの発光領域ごとに、当該発光領域に対応の光センサによる測定結果に基づいて、前記バックライトの前記発光強度を制御することを特徴とする請求項6に記載の表示装置。
  8. 前記制御回路は、前記複数の光センサによる前記測定結果のみならず、入力映像信号の輝度情報にも基づいて、前記バックライトの前記発光領域ごとに、前記バックライトの前記発光強度を制御することを特徴とする請求項7に記載の表示装置。
  9. ベース基板と、
    前記ベース基板上に配置されたゲート電極と、前記ゲート電極よりも前記ベース基板から遠くに配置され平面視において前記ゲート電極に重なるように配置された半導体膜とを含む、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の表示用スイッチング素子と、
    前記表示用スイッチング素子に電気的に接続された画素電極と、
    前記ベース基板において前記表示用スイッチング素子と同じ側に配置されており、前記表示用スイッチング素子とモノリシックに形成された、トップゲート型薄膜トランジスタ構造の光センサと、を備え、
    前記光センサは、
    前記ベース基板上に配置されており、前記表示用スイッチング素子の前記ゲート電極と同じ材料から成る、第1電極と、
    前記第1電極よりも前記ベース基板から遠くに配置され平面視において前記第1電極に重ならないように配置されており、前記表示用スイッチング素子の前記半導体膜と同じ材料から成る、半導体膜と、
    前記光センサの前記半導体膜よりも前記ベース基板から遠くに配置され平面視において前記光センサの前記半導体膜に重なるように配置されており、前記第1電極に電気的に接続された、前記画素電極と同じ材料から成る、第2電極と、を含むことを特徴とする表示パネル用基板。
  10. ベース基板上に導電膜を形成する第1工程と、
    前記導電膜から、ボトムゲート型薄膜トランジスタ構造の表示用スイッチング素子のゲート電極およびトップゲート型薄膜トランジスタ構造の光センサの第1電極を形成する第2工程と、
    前記ゲート電極および前記第1電極に被さるように半導体膜を形成する第3工程と、
    前記半導体膜から、平面視において前記ゲート電極に重なるように前記表示用スイッチング素子の半導体膜を形成するともに、平面視において前記第1電極に重ならないように前記光センサの半導体膜を形成する、第4工程と、
    前記光センサの前記半導体膜に被さるように、かつ、前記表示用スイッチング素子および前記第1電極に接するように、透明導電膜を形成する、第5工程と、
    前記透明導電膜から、前記表示用スイッチング素子に電気的に接続するように画素電極を形成するとともに、前記第1電極に電気的に接続するようにかつ前記光センサの前記半導体膜に平面視において重なるように前記光センサの第2電極を形成する、第6工程と、を備えることを特徴とする表示パネル用基板の製造方法。
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