JP4511615B2 - Cap unit and inkjet coating apparatus including the cap unit - Google Patents
Cap unit and inkjet coating apparatus including the cap unit Download PDFInfo
- Publication number
- JP4511615B2 JP4511615B2 JP2008230985A JP2008230985A JP4511615B2 JP 4511615 B2 JP4511615 B2 JP 4511615B2 JP 2008230985 A JP2008230985 A JP 2008230985A JP 2008230985 A JP2008230985 A JP 2008230985A JP 4511615 B2 JP4511615 B2 JP 4511615B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cap
- ink
- holder
- base
- cap holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
本発明は、塗布対象に対しインク滴を吐出する記録ヘッドを備えたインクジェット塗布装置に用いるキャップユニット、および、該キャップユニットを備えるインクジェット塗布装置に関する。 The present invention relates to a cap unit used in an ink jet coating apparatus provided with a recording head that ejects ink droplets onto a coating target, and an ink jet coating apparatus including the cap unit.
近年、半導体装置、液晶表示装置などの製造工程において、半導体ウェハ上、ガラス基板上などに機能性薄膜を形成する成膜プロセスがあり、そのプロセスを行う装置の一つとしてインクジェット塗布装置が用いられている。インクジェット塗布装置は、備えられたヘッドから機能性インクを吐出することによって塗布を行い、薄膜を形成するものである。 In recent years, there has been a film forming process for forming a functional thin film on a semiconductor wafer, a glass substrate or the like in a manufacturing process of a semiconductor device, a liquid crystal display device, etc., and an ink jet coating apparatus is used as one of the devices for performing the process. ing. The ink jet coating apparatus performs coating by discharging functional ink from a provided head to form a thin film.
インクジェット塗布装置におけるヘッドは、使用頻度などの点から家庭用インクジェット装置と比較した場合に、着弾位置精度信頼性、吐出信頼性などの特性について非常に高いレベルが要求される。 A head in an ink jet coating apparatus is required to have a very high level of characteristics such as landing position accuracy reliability and ejection reliability when compared with a home ink jet apparatus in terms of frequency of use.
上記のような要求を満たすため、例えば、特許文献1には、インクを供給する針に対し、針穴の目詰まりを防止するため、針の外周部にカバー用のスリーブ状シャッターが設けられた液体噴射ヘッドが開示されている。上記液体噴射ヘッドによれば、インクを供給する針にゴミが付着またはインクが固着することによる目詰まりを防止することができる。 In order to satisfy the above requirements, for example, in Patent Document 1, a sleeve-like shutter for a cover is provided on the outer peripheral portion of the needle to prevent clogging of the needle hole with respect to the needle that supplies ink. A liquid ejecting head is disclosed. According to the liquid ejecting head, it is possible to prevent clogging due to dust adhering to or sticking to the needle for supplying ink.
上記の各種特性を高いレベルで満たすため、近年では、インクジェット塗布装置内にヘッドのメンテナンス部を設けることが必然となってきている。 In order to satisfy the above-described various characteristics at a high level, in recent years, it has become inevitable to provide a head maintenance section in the ink jet coating apparatus.
メンテナンス部を構成する一部として、ヘッドのノズル面を封止するとともに、吸引ポンプからの負圧を利用して前記ヘッドからインクを吸引排出するキャップ機構を設ける構成が一般的に採用されており、これによりヘッドの吐出信頼性が維持されている。 As a part constituting the maintenance unit, a configuration is generally adopted in which a nozzle mechanism of the head is sealed and a cap mechanism for sucking and discharging ink from the head using a negative pressure from a suction pump is adopted. Thereby, the ejection reliability of the head is maintained.
例えば、特許文献2には、上記キャップ機構(キャッピング手段)として、キャップゴムに対し、キャップゴム周囲の縁の部分が高く形成されているキャップ機構が開示されている。上記キャップ機構によれば、縁の頂点付近に滞留するインクを積極的にキャップ部材の周囲方向へ流し、滞留しようとするインクを重力方向の下側に流し込むことができる。
しかしながら、上記特許文献1,2に開示されたキャップ機構等には種々の改良がなされているものの、メンテナンス部は使用頻度が高いためインクが残存し易く、キャップ機構の摺動部の動作に不具合が生じるという問題が存在する。
However, although various improvements have been made to the cap mechanism disclosed in
なお、このキャップ機構に関する摺動部の不具合について、上記特許文献1,2では詳細に検討されていない。また、特許文献2においては、摺動部の位置について具体的な開示すらなされていない。
Note that the above-mentioned
このため、定期的な人的クリーニング作業を通じてメンテナンス部の性能が維持されていることが現状である。本問題点について、図6を用いてより詳細に説明する。 For this reason, the current situation is that the performance of the maintenance unit is maintained through periodic human cleaning work. This problem will be described in more detail with reference to FIG.
図6は従来のキャップ機構120を示す断面図である。同図に示すように、キャップ機構120は、インクジェット塗布装置のヘッドに対しシールを行うキャップゴム101、キャップゴム101を保持するためのキャップホルダ102、上記ヘッドに対しある程度の位置決めを行うキャップベース103、キャップベース103に内蔵され、上記ヘッドとキャップゴム101とが接触する際の衝撃を緩和するバネ部104で構成される。これらの構造により、キャップ機構120の上方に存在することとなるヘッドに対し封止を行うことができる。なお、キャップゴム101にはインクを吸収するための吸収体107が配置されている。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a
また、キャップゴム101およびキャップホルダ102には流路が形成されており、この流路のキャップホルダ102外側には、継手105を介して配管106が備えられている。配管106は図示しない外部ポンプおよびバルブに接続されている。上記外部ポンプおよびバルブによって、配管106内および上記流路内に負圧を生じさせることができ、吸収体107からインクを吸引排出することができる。
Further, a flow path is formed in the
キャップ機構120では、キャップホルダ102とキャップベース103との間において摺動がなされるが、キャップホルダ102とキャップベース103との間にインクが入り込むことによって、バネ部104にインクが付着し、摺動の上下動作に支障が生じ得る。支障が生じると、キャップ機構120の上下動作が正常になされないことに起因して、上記ヘッドをキャップゴム101によって封止することができなくなる。その結果、ヘッドのノズル面が乾燥し、ヘッドから吐出されるインクの着弾位置ずれや不吐出が発生するため、非常に大きな問題となっていた。
In the
キャップホルダ102とキャップベース103との間にインクが入り込む原因としては、(i)不意にヘッドからインクが垂れた場合、(ii)キャップゴム上でインクの吐出が行われ、周囲に飛散したミストが混入した場合、(iii)定期的な人的クリーニング作業時に誤って混入した場合、などが挙げられる。
Causes of ink entering between the
上記摺動部にインクが入り込んだ場合、キャップホルダとキャップベースとの間隔は、ヘッドに対しある程度の位置決めを行っている関係上間隔が狭く、入り込んだインクを完全に除去することは困難であり、従来は洗浄液を流し込むことによってクリーニングがなされていた。 When ink enters the sliding part, the gap between the cap holder and the cap base is narrow due to the positioning to some extent with respect to the head, and it is difficult to completely remove the ink that has entered. Conventionally, cleaning has been performed by pouring a cleaning solution.
しかしながら、上記摺動部に入り込んだインクを完全に除去することは難しく、残存したインクが固着し、キャップゴムの上下動に不具合が生じた。さらに、有色のインクの場合は定期的な人的クリーニング時などにキャップベースとキャップホルダの間にインクが入り込んだことが確認できるが、透明色のインクなどの場合、インクが入り込んだことを認識すること自体が困難であり、ヘッドの吐出状態が悪化した後に摺動部における不具合が発見されることもあった。 However, it is difficult to completely remove the ink that has entered the sliding portion, and the remaining ink is fixed, causing a problem in the vertical movement of the cap rubber. Furthermore, in the case of colored ink, it can be confirmed that the ink has entered between the cap base and the cap holder during periodic human cleaning, etc., but in the case of transparent ink, etc., it is recognized that the ink has entered. It is difficult to do so, and a defect in the sliding portion may be found after the discharge state of the head deteriorates.
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、摺動部にインクが浸入することを抑制することができるキャップユニット(キャップ機構)を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a cap unit (cap mechanism) that can prevent ink from entering the sliding portion.
本発明のキャップユニットは、上記課題を解決するために、インクを貯留することが可能なキャップホルダと、上記キャップホルダを重力方向に沿って上下方向へ摺動させる摺動部を有すると共に、上記摺動部を介してキャップホルダを保持するキャップベースとを備え、インクジェット塗布装置が有するインクジェットヘッドに対し脱着可能なキャップユニットにおいて、上記キャップホルダに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙を覆う鍔部が形成されていることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the cap unit of the present invention has a cap holder capable of storing ink, and a sliding portion that slides the cap holder in the vertical direction along the direction of gravity. A cap unit that holds the cap holder via a sliding portion, and is removable from an ink jet head of the ink jet coating apparatus. The cap holder covers a gap between the cap holder and the cap base. It is characterized by the formation of a buttock.
上記の発明によれば、キャップホルダに鍔部が形成されていることによって、キャップホルダ内から溢れたインク、または、キャップユニットをインクジェットヘッドに装着時における、インクジェットヘッドから垂れたインクが、上記間隙に直接入り込むことを効果的に抑制することができる。このため、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低いキャップユニットを提供することができる。 According to the above invention, since the collar portion is formed on the cap holder, the ink overflowing from the cap holder or the ink dripping from the ink jet head when the cap unit is mounted on the ink jet head is prevented from being formed in the gap. It is possible to effectively suppress the direct entry into the. Therefore, it is possible to provide a cap unit that hardly causes a problem in the vertical movement of the cap rubber and has a low cleaning frequency.
また、本発明のキャップユニットでは、上記キャップベースに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙に沿って、上記間隙へのインクの浸入を妨げる壁部が形成されていることが好ましい。 In the cap unit of the present invention, it is preferable that a wall portion that prevents ink from entering the gap is formed on the cap base along the gap between the cap holder and the cap base.
これにより、鍔部を伝ってキャップベース上にインクが滞留したとしても、上記間隙に浸入することを防止することができる。このため、インクが間隙に浸入することをさらに抑制することができるキャップユニットを提供することができる。 Thereby, even if the ink stays on the cap base through the collar, it is possible to prevent the ink from entering the gap. Therefore, it is possible to provide a cap unit that can further suppress the ink from entering the gap.
また、本発明のキャップユニットでは、上記鍔部のキャップベース側において、溝部が形成されていることが好ましい。 In the cap unit of the present invention, it is preferable that a groove is formed on the cap base side of the flange portion.
これにより、キャップゴム内部のインクがキャップホルダを伝って、キャップベース側の鍔部に回り込んだ場合であっても、上記溝部によってインクの流れを遮断することができる。これによって、上記間隙にインクが浸入することをより抑制することができるキャップユニットを提供することができる。 As a result, even if the ink inside the cap rubber travels through the cap holder and wraps around the flange on the cap base side, the ink flow can be blocked by the groove. Accordingly, it is possible to provide a cap unit that can further prevent the ink from entering the gap.
また、本発明のキャップユニットでは、上記溝部が、上記キャップホルダを囲うように連続的に形成されていることが好ましい。 In the cap unit of the present invention, it is preferable that the groove is formed continuously so as to surround the cap holder.
これにより、インクがキャップベース側の鍔部に移動した場合であっても、上記間隙に浸入する前に必ず上記溝部に到達することとなる。したがって、インクの流れは上記溝部によって必ず遮断されるため、インクが上記間隙に浸入することをさらに効果的に抑制することができるキャップユニットを提供することができる。 As a result, even when the ink moves to the collar portion on the cap base side, the ink always reaches the groove portion before entering the gap. Accordingly, since the ink flow is surely blocked by the groove portion, it is possible to provide a cap unit that can more effectively suppress ink from entering the gap.
また、本発明のキャップユニットでは、上記溝部は、断面形状が円弧形状であることが好ましい。 In the cap unit of the present invention, it is preferable that the groove portion has an arc shape in cross section.
また、本発明のキャップユニットでは、上記溝部は、断面形状が多角形形状であることが好ましい。 In the cap unit of the present invention, it is preferable that the groove has a polygonal cross-sectional shape.
これらの形状であれば、容易に上記溝部を形成することができるというメリットがある。 If it is these shapes, there exists a merit that the said groove part can be formed easily.
また、本発明のキャップユニットでは、上記摺動部は、摺動部を支持する支持体の周囲に設けられており、上記支持体と上記キャップホルダとが連結されており、上記キャップホルダが重力方向に沿って下方向へ摺動する際に、キャップホルダとキャップベースとが接触することによって、摺動が制限されることが好ましい。 In the cap unit of the present invention, the sliding portion is provided around a support that supports the sliding portion, the support and the cap holder are connected, and the cap holder is gravity When sliding downward along the direction, it is preferable that the sliding is limited by the contact between the cap holder and the cap base.
これにより、簡易な構造、かつ、省スペースな構造にてキャップホルダの底面をストローク下端とする摺動構造を構成できる。 Thereby, the sliding structure which makes the bottom face of a cap holder the stroke lower end with a simple structure and a space-saving structure can be comprised.
また、本発明のキャップユニットでは、上記キャップホルダ、キャップベースおよび支持体に、キャップホルダからインクを排出するための排出口が形成されていることが好ましい。 In the cap unit of the present invention, it is preferable that a discharge port for discharging ink from the cap holder is formed in the cap holder, the cap base, and the support.
これにより、重力方向に沿って下方向へ排出口を形成することができ、容易にインクをキャップユニットの外部に排出することができるキャップユニットを提供することができる。 Accordingly, a discharge port can be formed downward along the direction of gravity, and a cap unit that can easily discharge ink to the outside of the cap unit can be provided.
また、本発明のインクジェット塗布装置は、上記キャップユニットを備えるものである。 Moreover, the inkjet coating apparatus of this invention is provided with the said cap unit.
上記キャップユニットは、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低い。したがって、インクジェットヘッドのノズルには不具合が生じ難く、同様にクリーニング頻度が低いインクジェット塗布装置を提供することができる。 The cap unit is less likely to cause problems in the vertical movement of the cap rubber and has a low cleaning frequency. Accordingly, it is possible to provide an ink jet coating apparatus that is unlikely to cause problems in the nozzles of the ink jet head and that has a low cleaning frequency.
本発明のキャップユニットは、以上のように、インクを貯留することが可能なキャップホルダと、上記キャップホルダを重力方向に沿って上下方向へ摺動させる摺動部を有すると共に、上記摺動部を介してキャップホルダを保持するキャップベースとを備え、インクジェット塗布装置が有するインクジェットヘッドに対し脱着可能なキャップユニットにおいて、上記キャップホルダに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙を覆う鍔部が形成されているものである。 The cap unit of the present invention has a cap holder capable of storing ink as described above, and a sliding portion that slides the cap holder in the vertical direction along the direction of gravity. A cap base that holds the cap holder through the cap, and a cap unit that can be attached to and detached from the ink jet head of the ink jet coating apparatus, wherein the cap holder has a flange that covers a gap between the cap holder and the cap base. Is formed.
それゆえ、キャップホルダに鍔部が形成されていることによって、キャップホルダ内から溢れたインク、または、キャップユニットをインクジェットヘッドに装着時における、インクジェットヘッドから垂れたインクが、上記間隙に直接入り込むことを効果的に抑制することができる。このため、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低いキャップユニットを提供することができるという効果を奏する。 Therefore, by forming the collar on the cap holder, the ink overflowing from the inside of the cap holder or the ink dripping from the inkjet head when the cap unit is mounted on the inkjet head directly enters the gap. Can be effectively suppressed. For this reason, there is an effect that it is possible to provide a cap unit that hardly causes a problem in the vertical movement of the cap rubber and has a low cleaning frequency.
本発明の一実施形態について図1ないし図5に基づいて説明すれば、以下の通りである。図1は、本実施の形態に係るキャップユニット20を示す断面図である。同図に示すように、キャップユニット20は、インクジェット塗布装置のヘッドに対しシールを行うキャップゴム1、キャップゴム1を保持するためのキャップホルダ2、上記ヘッドに対しある程度の位置決めを行うキャップベース3、キャップベース3に内蔵され、上記ヘッドとキャップゴム1とが接触する際の衝撃を緩和するバネ部(摺動部)4で構成される。これらの構造により、キャップユニット20の上方に存在することとなるヘッドに対し封止を行うことができる。なお、キャップゴム1にはインクを吸収するための吸収体7が配置されている。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5 as follows. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a
キャップゴム1は、インクジェット塗布装置のインクジェットヘッドに脱着される部材である。上記インクジェットヘッドからインクが吐出される場合には、インクジェットヘッドから脱離され、インクジェットヘッドからインクが吐出されない場合には、インクジェットヘッドに装着され、インクジェットヘッドのノズルが封止される。このため、キャップゴム1はインクジェットヘッドを収容できる形状を有していればよく、その形状は特に限定されない。なお、キャップユニット20において、キャップゴム1は凹部形状を有している。
The cap rubber 1 is a member that is attached to and detached from the ink jet head of the ink jet coating apparatus. When ink is ejected from the ink jet head, it is detached from the ink jet head, and when ink is not ejected from the ink jet head, the ink jet head is mounted and the nozzle of the ink jet head is sealed. For this reason, the cap rubber 1 should just have the shape which can accommodate an inkjet head, and the shape is not specifically limited. In the
また、キャップゴム1の凹部には吸収体7が備えられている。吸収体7はインクジェットヘッドに付着した不要なインク(廃液)を吸収し、キャップゴム1内の保湿状態を保つものである。このため、吸収体7はインクを吸収可能な材料、例えば、細孔を有するスポンジなどで形成されている。 In addition, an absorber 7 is provided in the recess of the cap rubber 1. The absorber 7 absorbs unnecessary ink (waste liquid) adhering to the ink jet head and maintains the moisture retaining state in the cap rubber 1. Therefore, the absorber 7 is formed of a material that can absorb ink, for example, a sponge having pores.
キャップホルダ2は、キャップゴム1を保持するための部材である。キャップホルダ2は、上記キャップゴム1を有しているため、インクを貯留することが可能となっている。キャップホルダ2とキャップゴム1とは一体として構成されている。
The
キャップベース3は、バネ部4を介してキャップホルダ2を保持するものである。また、キャップホルダ2はバネ部4によって、重力方向に沿って上下方向に摺動することが可能な構成となっている。キャップホルダ2が摺動する際、キャップホルダ2はキャップベース3に沿って摺動するため、キャップベース3はキャップホルダ2をガイドする役目を果たす。
The
上記バネ部4は、バネ軸(支持体)8の周囲に設けられている。キャップユニット20がインクジェットヘッドに装着される際、すなわち、キャップゴム1およびキャップホルダ2がインクジェットヘッドのノズルを封止(シール)する際に衝撃が生じるため、上記衝撃を吸収するために上下動(摺動)がなされる必要がある。この上下動がなされるために、バネ部4が備えられている。バネ部4およびバネ軸8の周辺構造について図2を用いて説明する。図2は、バネ部4およびバネ軸8の周辺構造を示す斜視分解図である。
The spring portion 4 is provided around a spring shaft (support body) 8. When the
同図に示すように、バネ軸8の周囲にバネ部4が設けられており、バネ部4は伸縮できるよう、バネ軸8に固定されていない。また、バネ軸8の下部は台状であり、バネ軸8よりも径が広く、段状部分となっている。この段状部分の上面をバネ軸段付面8aとする。また、段状部分には、雌ネジ8bが形成されており、バネ軸8の上部には雄ネジ8cが形成されている。
As shown in the figure, a spring portion 4 is provided around the
雌ねじ8bは継手5と連結されている。継手5は配管6と連結されており、図示しない外部ポンプおよびバルブに接続されており、上記外部ポンプおよびバルブによってバネ軸8の内部を減圧し、負圧を生じさせることができる構成となっている。さらに、雄ネジ8cはシールワッシャ9を介し、キャップホルダ2と固定されている。雄ネジ8cの中心部には開口である排出口(流路)が形成されている。さらに排出口はキャップホルダ2およびキャップゴム1にまで連通しているので、バネ軸8の内部に負圧が生じると、負圧が吸収体7にまで及ぶこととなる。上記の構成によれば、重力方向に沿って下方向へ排出口を形成することができ、配管6を通じ、容易にインクをキャップユニット20の外部に排出することができる。
The
また、図1に示すキャップユニット20は、インクジェットヘッドに装着されていない状態である。キャップユニット20がインクジェットヘッドに装着されると、インクジェットヘッドからの応力によって、キャップホルダ2がキャップベース3側に押し込められる。この際、バネ部4が収縮し応力は緩和される。さらに、バネ軸8は、重力方向に沿って下側に移動する。重力方向の下側への摺動は、キャップベース3側のキャップホルダ2の底部が接触することによって制限されることとなる。すなわち、キャップホルダ2の底部は摺動のストローク下端として機能する。
Further, the
一方、バネ軸8の段状部分はキャップベース3の外部に位置しており、キャップベース3の重力方向の下方向における開口部の径はバネ軸8の径と略同一である。このため、キャップホルダ2からインクジェットヘッドが外れた場合、インクジェットヘッドからの応力が解消され、バネ軸8およびキャップホルダ2は重力方向に沿って上側に移動する。重力方向に沿って上側への摺動は、キャップベース3の底部とバネ軸段付面8aとが接触することによって制限されることとなる。すなわち、バネ軸段付面8aは摺動のストローク上端として機能する。バネ部4は、キャップユニット20がインクジェットヘッドに装着されていない場合には、バネ軸段付面8aがキャップベース3の底面に接するよう調整されている。
On the other hand, the stepped portion of the
上記の構成により、インクジェットヘッドにキャップユニット20が装着されていない場合に、キャップゴム1およびキャップホルダ2はバネ軸段付面8aをストローク上端とする位置にあり、インクジェットヘッドにキャップユニット20が装着された場合、キャップゴム1およびキャップホルダ2は重力方向に沿った下方向に移動する上下摺動機能を備えている。
With the above configuration, when the
上記の構成によれば、簡易な構造、かつ、省スペースな構造にてキャップホルダ2の底面をストローク下端とするバネ部4およびバネ軸8による摺動構造を構成できる。
According to said structure, the sliding structure by the spring part 4 and
次に、キャップホルダ2およびキャップベース3間のキャップクリアランス(間隙)11について説明する。図3は、キャップホルダ2およびキャップベース3の詳細を示す断面図である。同図に示すように、キャップホルダ2とキャップベース3との間には、キャップクリアランス11が設けられており、キャップクリアランス11の幅は間隔cとして設定されている。間隔cはキャップホルダ2およびキャップベース3の位置決めを行う関係上、数mm以下の値に設定されている。
Next, the cap clearance (gap) 11 between the
このように間隔cは非常に狭く、インクが浸入した場合、インクが浸入した事実は把握され難い。また、インクの色には多様な種類が用いられており、特に透明色のインクが用いられた場合、上記間隔cに浸入したインクが発見されることは非常に困難となる。仮に発見できたとしても、間隔cは非常に狭く、キャップクリアランス11に洗浄液を流し込むこと等によってインクの洗浄を行う必要があり、人的クリーニングは長時間に及んでいた。
Thus, the interval c is very narrow, and when ink enters, it is difficult to grasp the fact that ink has entered. Various types of ink colors are used. In particular, when transparent ink is used, it is very difficult to find ink that has entered the space c. Even if it can be found, the interval c is very narrow, and it is necessary to clean the ink by pouring a cleaning liquid into the
これに対し、本実施の形態に係るキャップユニット20では、キャップホルダ2に、キャップクリアランス11を覆う鍔部2aが形成されている。鍔部2aは、端部に向かい傾斜を有する傘形状となっているが、キャップクリアランス11を覆う形状であれば特に限定されるものではない。
On the other hand, in the
このように鍔部2aが形成されていることによって、キャップホルダ2内から溢れたインクや、インクジェットヘッドから垂れたインクは、キャップクリアランス11に直接入り込むことを効果的に抑制することができる。
By forming the
また、キャップベース3には、キャップクリアランス11に沿ってキャップベース壁部(壁部)3aが形成されている。換言すれば、キャップベース壁部3aは縁部分として形成されているともいえる。キャップベース壁部3aによれば、鍔部2aを伝ってキャップベース3に滞留したインクが、キャップクリアランス11に浸入することを防止することができる。このため、インクがキャップクリアランス11に浸入することをさらに抑制することができる。
The
キャップベース3に滞留したインクは、キャップクリアランス11に浸入したインクとは異なり、定期的な人的クリーニング時に容易に拭き取ることができる。このため、人的クリーニングに必要な時間を短縮することも可能である。
Unlike the ink that has entered the
さらに、キャップベース3側の鍔部2aには、溝部10aが形成されている。溝部10aは、キャップクリアランス11よりも鍔部2aの端部側に形成されている。すなわち、キャップベース3の内周よりも外側に溝部10aが形成されている。具体的には、溝部10aはキャップベース壁部3aから所定の間隔dだけ外側に形成されている。溝部10aがキャップベース壁部3aの上部に形成されていると、溝部10aに貯留したインクがキャップベース壁部3aへ落ち、その後、キャップクリアランス11にインクが浸入する虞があるからである。上記間隔dは、0.1mm以上、5mm以下、好ましくは、0.5mm以上、3mm以下に設定することができる。
Further, a
溝部10aは、円弧状をしているが、球状または楕円状であってもよい。また、溝部の他の構成を図4に示す。図4は、キャップホルダ2の他の形態を示す断面図である。同図に示すように、溝部10bは三角形形状をしている。しかしながら、溝部は上記の形状に限定されるものではなく多角形形状であってもよい。これらの形状であれば、容易に上記溝部を形成することができる。
The
上記の溝部がキャップホルダ2に形成されていることによって、キャップゴム1内部のインクがキャップホルダ2を伝って、キャップベース3側の鍔部2aに回り込んだ場合であっても、溝部によってインクの流れを遮断することができる。これによって、キャップクリアランス11にインクが浸入することをより抑制することができるので効果的である。
Since the groove portion is formed in the
また、上記溝部は、点状または線状に形成されていてもよく、キャップホルダ2を囲うように連続的に形成されていてもよい。すなわち、周状であってもよい。図5は連続的に形成された溝部10aを有するキャップホルダ2を示す斜視図である。同図では、溝部10aはキャップホルダ2の各辺に沿って、キャップホルダ2を長方形形状に取り囲んでいる。溝部10aは円状または楕円状にキャップホルダ2を取り囲んでいる構成であってもよい。
The groove may be formed in a dot shape or a line shape, or may be continuously formed so as to surround the
上記のように、キャップホルダ2を取り囲む構成であれば、インクがキャップベース3側の鍔部2aに移動した場合であっても、キャップクリアランス11に浸入する前に必ず溝部10aに到達することとなる。上記構成によれば、インクがキャップクリアランス11に浸入することをさらに効果的に抑制することができるので、非常に効果的である。
As described above, if the configuration surrounds the
また、本発明に係るインクジェット塗布装置は、上記キャップユニットを備えている。インクジェット塗布装置としては、公知のインクジェット塗布装置を用いることができ、好ましくは、半導体装置、液晶表示装置などの製造工程において用いられるインクジェット塗布装置を用いることができる。 Moreover, the inkjet coating apparatus which concerns on this invention is equipped with the said cap unit. As the ink jet coating apparatus, a known ink jet coating apparatus can be used, and preferably, an ink jet coating apparatus used in a manufacturing process of a semiconductor device, a liquid crystal display device or the like can be used.
本発明のキャップユニットは、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低い。したがって、これを備えるインクジェットヘッドのノズルには不具合が生じ難く、同様にクリーニング頻度が低いインクジェット塗布装置を提供することができる。 The cap unit of the present invention is less likely to cause problems in the vertical movement of the cap rubber, and has a low cleaning frequency. Therefore, it is difficult for the nozzles of the inkjet head provided with the same to be defective, and it is possible to provide an inkjet coating apparatus having a low cleaning frequency.
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and the technical means disclosed in different embodiments can be appropriately combined. Such embodiments are also included in the technical scope of the present invention.
〔実施例1〕
図1に示すキャップユニット20と同様の構成であるが、溝部10aが形成されていないキャップユニット(本発明(溝部無し))をインクジェット塗布装置に対して1年間用いた。1年間にデータ採取したキャップユニット上下動トラブル平均回数、インクジェットノズルの吐出不安定平均回数、人的クリーニングの平均時間を表1に示す。表1の各データは1週間単位で平均した値である。
[Example 1]
A cap unit having the same configuration as that of the
なお、キャップユニット上下動トラブル平均回数とは、具体的には、インクジェットヘッドに対し、キャップユニットが正常に脱着できなかった回数であり、インクジェットノズルの吐出不安定平均回数は、インクジェットノズルからインクが吐出されなかった回数であり、人的クリーニングの平均時間は人的クリーニングに要された時間を示す。人的クリーニングは全てのデータ取得に際し同様の手法で行った。 In addition, the cap unit vertical movement trouble average number of times is specifically the number of times that the cap unit could not be normally detached from the ink jet head. This is the number of times the ink has not been discharged, and the average time for human cleaning indicates the time required for human cleaning. Human cleaning was performed in the same manner for all data acquisition.
〔実施例2〕
実施例1において、キャップユニット(本発明(溝部無し))を、溝部10aを有するキャップユニット20(本発明(溝部有り))に変更した以外は実施例1と同様にインクジェット塗布装置に対して1年間用いた。得られたデータを表1に示す。
[Example 2]
In Example 1, the cap unit (the present invention (without the groove)) was changed to the
〔比較例1〕
実施例1において、キャップユニット(本発明(溝部無し))を、図6に示すキャップ機構120(従来構成)に変更した以外は、実施例1と同様にインクジェット塗布装置に対して1年間用いた。得られたデータを表1に示す。
[Comparative Example 1]
In Example 1, except that the cap unit (the present invention (no groove)) was changed to the cap mechanism 120 (conventional configuration) shown in FIG. . The obtained data is shown in Table 1.
表1に示すように、実施例1の本発明(溝部無し)の場合、1週間単位でのキャップ上下動トラブル平均回数は0.5回であり、吐出不安定平均回数は1回であった。当該キャップユニットによれば、鍔部2aによってインクがキャップクリアランス11に浸入することを抑制でき、キャップホルダ2の底面にインクが付着し難くなる。このため、キャップホルダ2が重力方向の下方向へ摺動した場合、キャップホルダ2の底面が浸入したインクによってキャップベース3に固着される回数が低い頻度に留められたと考えられる。
As shown in Table 1, in the case of the present invention of Example 1 (no groove portion), the average number of cap up / down troubles per week was 0.5, and the average number of unstable discharges was 1 . According to the cap unit, it is possible to prevent the ink from entering the
また、キャップホルダ2が重力方向に沿った下方向の下端にて固着する頻度が少ないため、インクジェットノズル面がキャップユニットに正確に装着されず、大気に長時間曝露される状況が生じ難い。このため、インクノズル面にてインクが乾燥し難く、結果として吐出不安定回数は1回と低い頻度に留められた。
Moreover, since the frequency with which the
また、人的クリーニング時間に関しては、インクジェットヘッドから垂れるなどしたインクはキャップホルダ2の鍔部2aまたはキャップベース3上に付着するため容易に視認することができる。また、鍔部2aまたはキャップベース3は、キャップクリアランス11とは異なり、拭き取ることが可能な場所であることから、鍔部2aを有する本構成はメンテナンス作業の短時間化に貢献したといえる。
In addition, regarding the human cleaning time, the ink dripping from the ink jet head adheres to the
実施例2の本発明(溝部有り)では、溝部10aが備えられており、鍔部2aの裏側(キャップベース3側)に伝わったインクを溝部10aにおいてインクの流れを遮断することができる。本構成によって、キャップ上下動トラブル平均回数および吐出不安定平均回数は共に1週間単位で0回であった。また、人的クリーニング平均時間も3時間であり、実施例1のキャップユニットの構成よりも、さらに優れた結果を得ることができた。
In the present invention (with a groove portion) of the second embodiment, the
比較例1の従来構成に係るキャップ機構120では、本発明と異なり鍔部2aが形成されていない。このため、キャップ上下動トラブル平均回数および吐出不安定平均回数共に本発明に係るキャップユニットよりも多い平均回数を示した。特に、人的クリーニング回数は10時間と本発明のキャップユニットに比して2倍以上の時間が必要であった。この理由としては、従来構成に係るキャップ機構120では、キャップホルダ102およびキャップベース103との間にインクが浸入するため、洗浄液を用いる必要があるからである。
Unlike the present invention, in the
このように、本発明の構成によれば、キャップユニットの上下動の信頼性が大幅に向上することにより、確実にヘッドに対しキャッピングを行うことができ、結果としてヘッドの吐出信頼性の向上に貢献することができるキャップユニットを提供することができる。 As described above, according to the configuration of the present invention, since the reliability of the vertical movement of the cap unit is greatly improved, the capping can be reliably performed on the head, and as a result, the ejection reliability of the head is improved. A cap unit that can contribute can be provided.
本発明によれば、摺動部にインクが浸入し難いキャップユニットを提供できるため、メンテナンス頻度の低いキャップユニットを提供することができる。上記キャップユニットはインクジェット塗布装置に用いられるため、インクジェット塗布装置を用いる半導体装置、液晶表示装置などの分野において、本発明を利用することが可能である。 According to the present invention, since it is possible to provide a cap unit in which ink does not easily enter the sliding portion, it is possible to provide a cap unit with a low maintenance frequency. Since the cap unit is used in an ink jet coating apparatus, the present invention can be used in the fields of a semiconductor device, a liquid crystal display device, and the like using the ink jet coating apparatus.
1 キャップゴム
2 キャップホルダ
3 キャップベース
3a キャップベース壁部
4 バネ部(摺動部)
5 継手
6 配管
7 吸収体
8 バネ軸(摺動部)
8a バネ軸段付面
8b 雌ネジ
8c 雄ネジ
9 シールワッシャ
10・10a・10b 鍔部
11 キャップクリアランス(間隙)
20 キャップユニット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
5 Joint 6 Piping 7
8a Spring shaft stepped
20 Cap unit
Claims (8)
上記キャップホルダを重力方向に沿って上下方向へ摺動させる摺動部を有すると共に、上記摺動部を介してキャップホルダを保持するキャップベースとを備え、インクジェット塗布装置が有するインクジェットヘッドに対し脱着可能なキャップユニットにおいて、
上記キャップホルダに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙を覆う鍔部が形成されており、
上記キャップベースに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙に沿って、上記間隙へのインクの浸入を妨げる壁部が形成されていることを特徴とするキャップユニット。 A cap holder capable of storing ink;
A cap base that slides the cap holder up and down along the direction of gravity, and a cap base that holds the cap holder via the slide portion, and is attached to and detached from the ink jet head of the ink jet coating apparatus. In possible cap units,
The cap holder is formed with a flange that covers the gap between the cap holder and the cap base ,
A cap unit characterized in that a wall portion that prevents ink from entering the gap is formed along the gap between the cap holder and the cap base on the cap base .
上記支持体と上記キャップホルダとが連結されており、
上記キャップホルダが重力方向に沿って下方向へ摺動する際に、キャップホルダとキャップベースとが接触することによって、摺動が制限されることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載のキャップユニット。 The sliding portion is provided around a support that supports the sliding portion,
The support and the cap holder are connected,
When the cap holder is slid downward along the gravity direction by the cap holder and the cap base is in contact, either of claims 1 to 5, characterized in that sliding is limited 1 Cap unit according to item.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008230985A JP4511615B2 (en) | 2008-09-09 | 2008-09-09 | Cap unit and inkjet coating apparatus including the cap unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008230985A JP4511615B2 (en) | 2008-09-09 | 2008-09-09 | Cap unit and inkjet coating apparatus including the cap unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010063971A JP2010063971A (en) | 2010-03-25 |
JP4511615B2 true JP4511615B2 (en) | 2010-07-28 |
Family
ID=42190037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008230985A Expired - Fee Related JP4511615B2 (en) | 2008-09-09 | 2008-09-09 | Cap unit and inkjet coating apparatus including the cap unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4511615B2 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05193150A (en) * | 1992-01-16 | 1993-08-03 | Canon Inc | Ink jet recording device |
JPH08169123A (en) * | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Fujitsu Ltd | Backup device and ink jet printer |
-
2008
- 2008-09-09 JP JP2008230985A patent/JP4511615B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05193150A (en) * | 1992-01-16 | 1993-08-03 | Canon Inc | Ink jet recording device |
JPH08169123A (en) * | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Fujitsu Ltd | Backup device and ink jet printer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010063971A (en) | 2010-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5088083B2 (en) | Fluid ejection device | |
US20130241993A1 (en) | Liquid ejection device | |
JP2007190818A (en) | Ink-jet recorder | |
JP2007244973A (en) | Liquid droplet spraying apparatus, and method of manufacturing coated body | |
JP2011079192A (en) | Liquid jetting apparatus | |
US20110193913A1 (en) | Inkjet head cleaning apparatus | |
JP2007008103A (en) | Cleaning and holding device, printer, holding method for printing member, and printing method | |
JP4511615B2 (en) | Cap unit and inkjet coating apparatus including the cap unit | |
JP2010120294A (en) | Liquid jet apparatus | |
JP6319941B2 (en) | Substrate processing apparatus and discharge head standby method | |
WO2011067843A1 (en) | Cap unit and inkjet application device provided with the cap unit | |
JP5179409B2 (en) | Inkjet device | |
JP6922611B2 (en) | Inkjet recording device | |
JP4752748B2 (en) | Suction device and droplet discharge device equipped with the same | |
JP2008143071A (en) | Suction device, droplet ejection apparatus equipped with it and channel flushing method of suction device | |
JP2010143075A (en) | Inkjet drawing device and image drawing method | |
US8029094B2 (en) | Liquid ejection apparatus and liquid storage portion of liquid ejection apparatus | |
JP2006051679A (en) | Ink head maintenance device | |
US20090085961A1 (en) | Fluid ejecting apparatus | |
CN111169172A (en) | Cap and liquid ejecting apparatus | |
JP2002273915A (en) | Ink discharge part and picture drawing device with in discharge part | |
JP2021045875A (en) | Maintenance unit and ink jet printer | |
JP2009018249A (en) | Liquid material discharge device | |
JP6722559B2 (en) | Inkjet printer cleaning unit and inkjet printer | |
JP2018030333A (en) | Liquid injection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100406 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100506 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4511615 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140514 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |