JP4507113B2 - プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
大気よりも減圧された雰囲気を維持可能な真空チャンバと、
前記チャンバの外側から内側にマイクロ波を導入するための透過窓と、
前記チャンバ内に設けられ、前記透過窓を介して導入されたマイクロ波を導波し前記チャンバ内において放出する誘電体の導波体と、
を備え、
前記導波体は、リング状に形成され、
前記透過窓は、形状、数、大きさ、配置関係からなる群より選ばれた少なくとも1つを調節することにより、前記マイクロ波を前記導波体の円周に沿った一方向に伝搬するように導入する方向性結合器としての作用を有し、
前記導波体の円周に沿って一方向に伝搬する前記マイクロ波が共振されて、
前記導波体から放出されたマイクロ波により前記導波体の周囲にマイクロ波を反射させる高密度のプラズマを生成可能としたことを特徴とするプラズマ発生装置が提供される。
大気よりも減圧された雰囲気を維持可能な真空チャンバと、
前記チャンバの内部に向けて突出して設けられ、前記チャンバの外側から導入されたマイクロ波を導波し前記チャンバ内において放出する誘電体の導波体と、
を備え、
前記導波体は、リング状に形成され、
前記導波体のマイクロ波が導入される部分は、形状、数、大きさ、配置関係からなる群より選ばれた少なくとも1つを調節することにより、前記マイクロ波を前記導波体の円周に沿った一方向に伝搬するように導入する方向性結合器としての作用を有し、
前記導波体の円周に沿って一方向に伝搬する前記マイクロ波が共振されて、
前記導波体から放出されたマイクロ波により前記導波体の周囲にマイクロ波を反射させる高密度のプラズマを生成可能としたことを特徴とするプラズマ発生装置が提供される。
上記のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置を備え、
前記導波体から放出されたマイクロ波により生成されたプラズマによって被処理物のプラズマ処理を実施可能としたことを特徴とするプラズマ処理装置が提供される。
4 透過窓
6 導波体
6A〜6D リング状導波体
6E、6F ロッド状導波体
14 ガス導入管
18 排気口
61 アンテナ
62 誘電体
63 金属被覆層
65 誘電体
66 金属被覆層
68 放出部
96 ステージ
102 チャンバ
102 処理チャンバ
104 透過窓
106 スロットアンテナ
108 マイクロ波導波管
110 処理空間
112 ステージ
M マイクロ波
P プラズマ
W 被処理物
d スキンデプス
Claims (7)
- 大気よりも減圧された雰囲気を維持可能な真空チャンバと、
前記チャンバの外側から内側にマイクロ波を導入するための透過窓と、
前記チャンバ内に設けられ、前記透過窓を介して導入されたマイクロ波を導波し前記チャンバ内において放出する誘電体の導波体と、
を備え、
前記導波体は、リング状に形成され、
前記透過窓は、形状、数、大きさ、配置関係からなる群より選ばれた少なくとも1つを調節することにより、前記マイクロ波を前記導波体の円周に沿った一方向に伝搬するように導入する方向性結合器としての作用を有し、
前記導波体の円周に沿って一方向に伝搬する前記マイクロ波が共振されて、
前記導波体から放出されたマイクロ波により前記導波体の周囲にマイクロ波を反射させる高密度のプラズマを生成可能としたことを特徴とするプラズマ発生装置。 - 大気よりも減圧された雰囲気を維持可能な真空チャンバと、
前記チャンバの内部に向けて突出して設けられ、前記チャンバの外側から導入されたマイクロ波を導波し前記チャンバ内において放出する誘電体の導波体と、
を備え、
前記導波体は、リング状に形成され、
前記導波体のマイクロ波が導入される部分は、形状、数、大きさ、配置関係からなる群より選ばれた少なくとも1つを調節することにより、前記マイクロ波を前記導波体の円周に沿った一方向に伝搬するように導入する方向性結合器としての作用を有し、
前記導波体の円周に沿って一方向に伝搬する前記マイクロ波が共振されて、
前記導波体から放出されたマイクロ波により前記導波体の周囲にマイクロ波を反射させる高密度のプラズマを生成可能としたことを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記導波体は、その内部に前記マイクロ波の進行波の波動場を形成することを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ発生装置。
- 前記導波体の前記円周方向の管路長は、前記マイクロ波の波長の整数倍に実質的に等しいことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記マイクロ波は、前記導波体の前記円周に沿った一部分からのみ前記導波体に導入されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記マイクロ波は、前記導波体の前記円周に沿った随所から放出可能とされたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
- 請求項1〜6のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置を備え、
前記導波体から放出されたマイクロ波により生成されたプラズマによって被処理物のプラズマ処理を実施可能としたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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