JP4506169B2 - Electro-optical device substrate, electro-optical device substrate inspection method, electro-optical device, electro-optical device inspection method, and electronic apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、パーソナルコンピュータや携帯電話機に用いられる電気光学装置用基板、電気光学装置、その電気光学装置の製造方法、その電気光学装置の検査方法及びその電気光学装置を用いた電子機器に関する。   The present invention relates to a substrate for an electro-optical device, an electro-optical device, a method for manufacturing the electro-optical device, an inspection method for the electro-optical device, and an electronic apparatus using the electro-optical device.

従来、パーソナルコンピュータや携帯電話機等といった電子機器の表示装置として液晶装置等の電気光学装置が広く用いられているが、その製造工程では高度な薄膜形成技術や微細な配線技術等が必要となり、それらの配線等において断線やショート等を完全になくすことが容易ではないとして、液晶を駆動させるドライバ等を実装する前に、それらの配線等の電気的検査を行っていた。   Conventionally, electro-optical devices such as liquid crystal devices have been widely used as display devices for electronic devices such as personal computers and cellular phones. However, advanced thin film formation technology and fine wiring technology are required in the manufacturing process. Since it is not easy to completely eliminate the disconnection or short-circuit in the wiring, etc., the electrical inspection of these wirings and the like was performed before mounting the driver for driving the liquid crystal.

しかし、最近のように液晶装置の表示解像度の高精細化により配線や検査用端子等のピッチが小さくなってくると、正確なショート検査等の電気的検査が容易ではなくなってきており、そのような問題を改善する方策が提案されている。(例えば、特許文献1参照。)。
特開平10−253980号公報(段落[0014]から[0019]、図1)
However, as the pitch of wiring and terminals for inspection becomes smaller due to the higher display resolution of liquid crystal devices as in recent years, electrical inspection such as accurate short inspection has become difficult. Measures to remedy various problems have been proposed. (For example, refer to Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 10-253980 (paragraphs [0014] to [0019], FIG. 1)

しかしながら、更に液晶装置の表示解像度の高精細化により配線や検査用端子等のピッチが小さくなってくると、検査用端子の配置やそこまでの配線の引き回し等がより困難となって大きな問題となってきた。   However, as the display resolution of the liquid crystal device becomes higher and the pitch of the wiring and inspection terminals becomes smaller, the placement of the inspection terminals and the routing of the wiring up to that becomes more difficult, which is a big problem. It has become.

また、液晶装置の電気的検査の複雑化は勿論、プローブ端子も検査用端子等の高精細化に伴ってより高価となっており、その検査方法の容易化及びコストの低減が望まれている。   Further, not only the electrical inspection of the liquid crystal device is complicated, but also the probe terminal becomes more expensive as the inspection terminal and the like become higher in definition, and it is desired to facilitate the inspection method and reduce the cost. .

本発明は、上述の課題に鑑みてなされたもので、電気的検査をより容易にし、且つ、その検査に要するコストを低減する電気光学装置用基板、電気光学装置、その電気光学装置の製造方法、その電気光学装置の検査方法及びその電気光学装置を用いた電子機器を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and makes an electrical inspection easier and reduces the cost required for the inspection. Electro-optical device substrate, electro-optical device, and method of manufacturing the electro-optical device An object of the present invention is to provide an inspection method for the electro-optical device and an electronic apparatus using the electro-optical device.

上記目的を達成するために、本発明の主たる観点に係る電気光学装置用基板は、基板と、前記基板に形成され、間隔を空けて複数の端子が並んで配置された第1の接続用端子群と、前記基板に形成され、前記第1の接続用端子群の並んだ方向と交差する方向に配置された複数の端子を有する第2の接続用端子群と、前記第1の接続用端子群に第1の配線を介して電気的に接続された一方の電極群と、前記第2の接続用端子群に第2の配線を介して電気的に接続された他方の電極群と、前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群に電気的に接続される第3の接続用端子群を実装面に有し、前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群と平面的に重なるように前記基板に実装される電子部品と、前記電子部品が実装される領域に形成され、前記第1の接続用端子群を介して前記一方の電極群に電気的に接続され、前記第1の接続用端子の並んだ方向に前記間隔を空けて配置され、且つ前記第2の接続用端子群の配列する方向に短冊状に延在して設けられた複数の検査用端子を有する検査用端子群と、前記電子部品が実装される領域外であって、各々の前記第2の配線の一部として形成されており、前記検査用端子の前記短冊状に延在する方向並行に延在して形成され、且つ各々が所定の間隔で配列されてなる検査領域と、を備え、前記検査領域は、前記検査用端子群と同一線上に並んで設けられており、前記第2の接続用端子群と前記検査領域との間の前記第2の配線は、前記検査用端子の前記第1の接続用端子群側から延在する方向において、平面視で前記検査用端子の端、及び前記検査領域の端よりも突出して引き回される部分を有することを特徴とする。ここで、「電気光学装置用基板」とは、例えばEL装置の基板や検査用端子群や電気配線等が配置されたガラス基板等をいう。
また、前記検査領域の延在長さは、前記短冊状に延在して設けられた検査用端子の前記第1の接続用端子群側の端から前記第1の接続用端子群側とは反対側の端までの延在長さと同じであることを特徴とする。
In order to achieve the above object, an electro-optical device substrate according to a main aspect of the present invention includes a substrate and a first connection terminal formed on the substrate and arranged with a plurality of terminals arranged at intervals. A second connection terminal group having a group, a plurality of terminals formed on the substrate and arranged in a direction intersecting with a direction in which the first connection terminal groups are arranged, and the first connection terminal One electrode group electrically connected to the group via a first wiring; the other electrode group electrically connected to the second connection terminal group via a second wiring; The mounting surface has a first connection terminal group and a third connection terminal group electrically connected to the second connection terminal group, and the first connection terminal group and the first connection terminal group An electronic component mounted on the substrate so as to overlap with the two connection terminal groups, and the electronic component is mounted Formed in a region, electrically connected to the one electrode group via the first connection terminal group, arranged in the direction in which the first connection terminals are arranged, and spaced apart from each other, and An inspection terminal group having a plurality of inspection terminals provided extending in a strip shape in the direction in which the second connection terminal group is arranged, and outside the area where the electronic component is mounted, the second is formed as a part of the wiring, it is formed to extend in parallel to the direction extending in the strip of the terminals for inspection, and the inspection region each are arrayed at predetermined intervals And the inspection region is provided on the same line as the inspection terminal group, and the second wiring between the second connection terminal group and the inspection region is In the direction extending from the first connection terminal group side of the inspection terminal, the planar view End of査用terminals, and characterized by having a portion that is routed to protrude from an end of the inspection region. Here, the “substrate for the electro-optical device” refers to, for example, a glass substrate on which an EL device substrate, a group of inspection terminals, electric wiring, and the like are arranged.
Further, the extension length of the inspection region is different from the first connection terminal group side from the end on the first connection terminal group side of the inspection terminals provided extending in the strip shape. It is the same as the extension length to the opposite end.

本発明は、検査用端子群のみならず平行する検査領域にも電気的検査用のプローブ端子を容易に当接させ、検査することができる。
According to the present invention , it is possible to easily inspect and inspect a probe terminal for electrical inspection not only in the inspection terminal group but also in a parallel inspection region.

この結果、例えば基板上に実装される電子部品の該実装領域に第1及び第2の接続用端子群に対応した検査用端子を配置しなくてもよく、検査用端子等の配置や配線の引き回し等が容易になり、コストも低減できる。
As a result, for example , it is not necessary to arrange inspection terminals corresponding to the first and second connection terminal groups in the mounting region of the electronic component mounted on the substrate, and the arrangement of the inspection terminals and wiring It can be easily routed and the cost can be reduced.

更に、前記検査領域は、前記検査用端子群と同一線上に並んで設けられているので、検査用のプローブ端子との位置合わせがより容易になり、電気的検査のコストの低減も可能となる。
また、配線同士の間隔及び検査用端子同士の間隔のうち狭いほうの間隔に対して他方が整数倍であるとしたので、検査用のプローブ端子のピッチを狭いほうの間隔に合わせれば全ての検査対象に正確にアライメントできることとなると共に、引き回し配線の自由度が増大する。更に検査用端子と検査領域とが離間していても、例えば検査用のプローブ端子のピッチを狭いほうの間隔に合わせることで検査用端子と検査領域との両方を確実に検査できると共に、そのプローブ端子の製造が容易となりかつ、共用化をより図ることができる。また、配線群に対応する検査用端子群としたので、上述したような関係が無い検査用端子が一部にあってもよく、その適用範囲を拡大でき、より多種多様な電気光学装置用基板に適用できる。更に配線同士の間隔及び検査用端子同士の間隔のうち狭いほうとしたので、配線同士の間隔のほうが狭い場合にも対応できより多種多様な電気光学装置用基板に対応できる。
Further, since the inspection area is provided side by side with the inspection terminal group, alignment with the inspection probe terminal becomes easier, and the cost of electrical inspection can be reduced. .
In addition, since the other is an integer multiple of the interval between the wirings and the interval between the inspection terminals, the other is an integral multiple. Therefore, if the pitch of the inspection probe terminals is adjusted to the narrower interval, all inspections are performed. This enables accurate alignment with the object and increases the degree of freedom of routing wiring. Furthermore, even if the inspection terminal and the inspection area are separated from each other, for example, by adjusting the pitch of the inspection probe terminal to the narrower interval, both the inspection terminal and the inspection area can be reliably inspected, and the probe Terminals can be manufactured easily and can be shared. Further, since the inspection terminal group corresponding to the wiring group is used, there may be a part of the inspection terminals that do not have the above-described relationship, and the application range can be expanded, and a wider variety of substrates for electro-optical devices. Applicable to. Further, since the distance between the wirings and the distance between the inspection terminals are set to be narrower, it is possible to cope with a case where the distance between the wirings is narrower, and to cope with a wider variety of substrates for electro-optical devices.

本発明かかる電気光学装置用基板の検査方法は、前記電子部品を前記基板に実装する前に、前記検査用端子及び前記第2の配線の前記検査領域に検査用のプローブ端子を位置合わせする工程と、前記位置合わせされた前記プローブ端子を前記検査用端子及び前記第2の配線の前記検査領域に当接する工程と、前記プローブ端子に所定の電圧を印加することにより、少なくとも前記電極の電気的良否を検出する工程と、を具備することを特徴とする。本発明は、検査用端子のみならず同じ方向に並んでいる配線群の一部である検査領域にも電気的検査用のプローブ端子を容易に当接させ検査することができる。また、検査用端子や配線群の一部である検査領域を例えば同一直線上に配置することも可能となり、プローブ端子を使用して容易に電気光学装置の検査をすることができると共に、プローブ端子の共用化がより容易となる。The method for inspecting a substrate for an electro-optical device according to the present invention includes the step of aligning a probe terminal for inspection with the inspection terminal and the inspection region of the second wiring before mounting the electronic component on the substrate. Abutting the aligned probe terminal with the inspection terminal and the inspection region of the second wiring, and applying a predetermined voltage to the probe terminal to at least electrically connect the electrode And a step of detecting pass / fail. According to the present invention, not only inspection terminals but also inspection areas which are part of a group of wirings arranged in the same direction can be easily brought into contact with inspection terminals for inspection. In addition, it is possible to arrange inspection areas that are part of the inspection terminals and wiring groups, for example, on the same straight line, so that the electro-optical device can be easily inspected using the probe terminals, and the probe terminals Can be shared more easily.

本発明の他の観点にかかる電気光学装置は、互いに対向して配置され、電気光学材料を狭持する第1の基板、及び第2の基板と、前記第1の基板に設けられ、間隔を空けて複数の端子が並んで配置された第1の接続用端子群と、前記第1の基板に設けられ、前記第1の接続用端子群の並んだ方向と交差する方向に配置された複数の端子を有する第2の接続用端子群と、前記第1の接続用端子群に第1の配線を介して電気的に接続された第1の電極と、前記第2の接続用端子群に第2の配線を介して電気的に接続された第2の電極と、前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群に電気的に接続される第3の接続用端子群を実装面に有し、前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群と平面的に重なるように前記第1の基板に実装される電子部品と、前記第1の基板の前記電子部品が実装される領域に形成され、前記第1の接続用端子群を介して前記第1の電極に電気的に接続されるとともに、前記第1の接続用端子の並んだ方向に前記間隔を空けて配置され、且つ前記第2の接続用端子の配列方向に短冊状に延在して設けられた複数の検査用端子を有する検査用端子群と、前記第1の基板の前記電子部品が実装される領域外に形成され、各々の前記第2の配線の一部として形成されるとともに、前記検査用端子の前記短冊状に延在する方向行に延在して形成され、且つ各々が所定の間隔で配列されてなる検査領域と、を具備し、前記第2の配線の前記検査領域は、前記検査用端子群と同一直線上に並んで設けられており、前記第2の接続用端子群と前記検査領域との間の前記第2の配線は、前記検査用端子の前記第1の接続用端子群側から延在する方向において、平面視で前記検査用端子の端、及び前記検査領域の端よりも突出して引き回される部分を有することを特徴とする。
また、前記検査領域の延在長さは、前記短冊状に延在して設けられた検査用端子の前記第1の接続用端子群側の端から前記第1の接続用端子群側とは反対側の端までの延在長さと同じであることを特徴とする。
An electro-optical device according to another aspect of the present invention is provided on the first substrate, the first substrate, the second substrate, and the first substrate that are arranged to face each other and sandwich the electro-optical material. A first connection terminal group in which a plurality of terminals are arranged side by side, and a plurality of terminals provided in the first substrate and arranged in a direction intersecting with the direction in which the first connection terminal groups are arranged. A second connection terminal group having a plurality of terminals, a first electrode electrically connected to the first connection terminal group via a first wiring, and the second connection terminal group A second electrode electrically connected via a second wiring, the first connection terminal group, and a third connection terminal electrically connected to the second connection terminal group Having a group on the mounting surface, the first connection terminal group, and the second connection terminal group so as to overlap with the first group. And an electronic component mounted on the first substrate, and is electrically connected to the first electrode through the first connection terminal group. , Having a plurality of inspection terminals arranged in the direction in which the first connection terminals are arranged at an interval and extending in a strip shape in the arrangement direction of the second connection terminals. The inspection terminal group and the first substrate are formed outside the region where the electronic component is mounted, and formed as a part of each of the second wirings, and in the strip shape of the inspection terminal. is formed to extend in the extending direction and parallel rows, and each provided with a test area consisting are arranged at predetermined intervals, wherein the examination area of the second wiring, the terminals for inspection group and provided side by side on the same straight line, said analyzing and said second connecting terminal groups The second wiring to and from the region extends from the end of the inspection terminal and the end of the inspection region in a plan view in a direction extending from the first connection terminal group side of the inspection terminal. Is also characterized in that it has a portion that protrudes around .
Further, the extension length of the inspection region is different from the first connection terminal group side from the end on the first connection terminal group side of the inspection terminals provided extending in the strip shape. It is the same as the extension length to the opposite end.

ここで、「第1の電極」とは、例えばセグメント電極等をいい、「第2の電極」とは、例えばコモン電極等をいう。また、「第3の接続用端子群」とは、例えばバンプ等をいい、「電子部品」とは、例えば液晶駆動用IC等をいう。   Here, the “first electrode” refers to a segment electrode, for example, and the “second electrode” refers to a common electrode, for example. The “third connection terminal group” refers to, for example, a bump, and the “electronic component” refers to, for example, a liquid crystal driving IC.

本発明は、検査用端子のみならず同じ方向に並んでいる第2の配線の検査領域にも電気的検査用のプローブ端子を容易に当接させ、検査することができる。
According to the present invention, an electrical inspection probe terminal can be easily brought into contact with the inspection area of the second wiring lined up in the same direction as well as the inspection terminal.

この結果、例えば第1の基板上の電子部品の実装領域内に第1及び第2の電極のすべてに対応した検査用端子を配置しなくてもよくなるので、検査端子等の配置や配線の引き回し等が容易になり、コストも低減できる。   As a result, for example, it is not necessary to arrange inspection terminals corresponding to all of the first and second electrodes in the mounting region of the electronic component on the first substrate. Etc., and the cost can be reduced.

更に、前記第2の配線の検査領域は、前記検査用端子と同一直線上に並んで設けられていることを特徴とするので、第2の配線の少なくとも一部である検査領域が検査用端子と同一直線上に並べられているので、検査用端子及び第2の配線の少なくとも一部と検査用のプローブ端子との位置合わせがより容易となり、電気的検査のコストの低減も可能となる。
Furthermore, the inspection area of the second wiring, because it being provided side by side in the inspection terminal collinear, second at least is part inspection area inspection terminal wiring Therefore, it is easier to align the inspection terminal and at least a part of the second wiring with the inspection probe terminal, and the cost of electrical inspection can be reduced.

本発明に関連する形態によれば、前記第2の配線の一部は、前記検査用端子と平行な一直線上に並んで設けられていることを特徴とする。これにより、第2の配線を所定の方向に並べる場所の選択の自由度が高く配線の引き回しがより容易となる。
According to the aspect related to the present invention , a part of the second wiring is provided side by side on a straight line parallel to the inspection terminal. Thereby, the freedom degree of selection of the place which arranges 2nd wiring in a predetermined direction is high, and routing of wiring becomes easier.

本発明の一の形態によれば、前記第2の配線の検査領域は、前記検査用端子のピッチの整数倍のピッチで設けられていることを特徴とする。これにより、例えば第1の電極からの第1の配線に比べ第2の配線の引き回しが長くなって配線抵抗が大きくなっても、配線の幅を広くすることが容易である。また、そのため第2の配線の検査領域のピッチと検査用端子のピッチが異なることとなっても、第2の配線の検査領域のピッチを検査用端子のピッチの整数倍とすれば、検査用のプローブ端子を全ての検査対象に正確にアライメントできることとなる。
According to an aspect of the present invention, the inspection area of the second wiring is provided at a pitch that is an integral multiple of the pitch of the inspection terminals. Thereby, for example, even if the second wiring is longer than the first wiring from the first electrode and the wiring resistance is increased, it is easy to increase the width of the wiring. For this reason, even if the pitch of the inspection area of the second wiring is different from the pitch of the inspection terminal, if the pitch of the inspection area of the second wiring is an integral multiple of the pitch of the inspection terminal, The probe terminals can be accurately aligned with all inspection objects.

本発明に関連する形態によれば、前記検査用端子のピッチの整数倍は、1であることを特徴とする。これにより、検査用端子及び第2の配線の検査領域の配列のピッチが全て同じとなり、検査用のプローブ端子の共用化を図ることができ、プローブ端子のコストを下げることも可能となる。また、プローブ端子の検査用端子等への当接もその位置合わせ等が全てのピッチが同じであるため極めて容易となる。 According to an embodiment related to the present invention , an integer multiple of the pitch of the inspection terminals is 1. As a result, the pitch of the arrangement of the inspection terminals and the inspection area of the second wiring are all the same, the inspection probe terminals can be shared, and the cost of the probe terminals can be reduced. Further, the contact of the probe terminal with the inspection terminal or the like is extremely easy because the positioning and the like are all the same pitch.

本発明の一の形態によれば、前記第2の配線の検査領域一部とその第2の配線の検査領域に隣り合う前記検査用端子群の検査用端子との距離が、前記検査用端子のピッチの整数倍であることを特徴とする。これにより、検査用端子と第2の配線の検査領域が離れて設けられている場合も、例えば検査用のプローブ端子を検査用端子のピッチに全て揃えることができ、そのプローブ端子の製造が容易となると共に共用化をより図ることが可能となる。
According to an aspect of the present invention, a distance between a part of the inspection region of the second wiring and the inspection terminal of the inspection terminal group adjacent to the inspection region of the second wiring is the inspection terminal. It is an integral multiple of the pitch. As a result, even when the inspection terminal and the inspection area of the second wiring are separated from each other, for example, the inspection probe terminals can all be aligned with the pitch of the inspection terminals, and the probe terminals can be easily manufactured. As a result, it becomes possible to further share.

本発明に関連する電気光学装置の製造方法は、第1及び第2の基板の間に電気光学材料を狭持する電気光学装置の製造方法において、前記第1及び第2の基板上に夫々第1及び第2の電極を設ける工程と、前記第1の基板上に、前記第1の電極に電気的に接続された第1の配線を設ける工程と、前記第1の基板上に、前記第2の電極に電気的に接続された少なくとも一部が所定の方向に並ぶように第2の配線を設ける工程と、前記第1の基板上に、前記第1及び第2の配線に夫々電気的に接続された第1及び第2の接続用端子群を設ける工程と、前記第1及び第2の接続用端子群に電気的に接続された第3の接続用端子群を実装面に有する電子部品の前記実装面に対応する第1の基板上の領域内に、前記所定の方向と同じ方向に並ぶと共に少なくとも前記第1の接続用端子群に電気的に接続された検査用端子を設ける工程と、前記検査用端子及び前記第2の配線の一部に検査用のプローブ端子を当接して少なくとも前記第1及び第2の電極の電気的検査を行う工程と、前記実装面に対応する第1の基板上の領域に前記電子部品を実装する工程とを具備することを特徴とする。
An electro-optical device manufacturing method related to the present invention is an electro-optical device manufacturing method in which an electro-optical material is sandwiched between first and second substrates, and the electro-optical device is formed on each of the first and second substrates. A step of providing first and second electrodes, a step of providing a first wiring electrically connected to the first electrode on the first substrate, and a step of providing the first wiring on the first substrate. A step of providing a second wiring so that at least a portion electrically connected to the two electrodes is arranged in a predetermined direction, and the first wiring and the second wiring are electrically connected to the first substrate, respectively. A step of providing first and second connection terminal groups connected to each other, and an electron having a third connection terminal group electrically connected to the first and second connection terminal groups on the mounting surface. In a region on the first board corresponding to the mounting surface of the component, the parts are arranged in the same direction as the predetermined direction and are small. At least a step of providing an inspection terminal electrically connected to the first group of connection terminals, and at least the inspection probe terminal and a part of the second wiring abutting the inspection probe terminal A step of performing an electrical inspection of the first and second electrodes, and a step of mounting the electronic component on a region on the first substrate corresponding to the mounting surface.

本発明に関連する電気光学装置の製造方法は、第2の電極に電気的に接続された少なくとも一部が所定の方向に並ぶように第2の配線を設ける工程と、第1及び第2の配線に夫々電気的に接続された第1及び第2の接続用端子群を設ける工程と、第1及び第2の接続用端子群に電気的に接続された第3の接続用端子群を実装面に有する電子部品の実装面に対応する領域内に、当該所定の方向と同じ方向に並ぶと共に少なくとも第1の接続用端子群に電気的に接続された検査用端子を設ける工程と、その検査用端子及び第2の配線の一部に検査用のプローブ端子を当接して少なくとも第1及び第2の電極の電気的検査を行う工程等を具備することとしたので、検査用端子のみならず同じ方向に並んでいる第2の配線の一部にも電気的検査用のプローブ端子を容易に当接させ検査することができ、より低コストで品質を向上させた電気光学装置を製造することが可能となる。
The method of manufacturing an electro-optical device related to the present invention includes a step of providing a second wiring so that at least a portion electrically connected to the second electrode is arranged in a predetermined direction, and the first and second A step of providing first and second connection terminal groups that are electrically connected to the wiring, and a third connection terminal group that is electrically connected to the first and second connection terminal groups are mounted. A step of providing inspection terminals arranged in the same direction as the predetermined direction and electrically connected to at least the first connection terminal group in a region corresponding to the mounting surface of the electronic component on the surface; Since a test probe terminal is brought into contact with a part of the terminal and the second wiring and at least the first and second electrodes are electrically inspected, the process includes not only the inspection terminal. A part of the second wiring lined up in the same direction is also used for electrical inspection. The chromatography Bed terminals can be inspected by easily contact, it is possible to manufacture an electro-optical device with improved quality at lower cost.

本発明の他の観点にかかる検査方法は、前記電子部品を前記第1の基板に実装する前に、
前記検査用端子及び前記第2の配線の前記検査領域に検査用のプローブ端子を位置合わせする工程と、前記位置合わせする工程により位置合わせされた前記プローブ端子を前記検査用端子及び前記第2の配線の前記検査領域に当接する工程と、前記プローブ端子に所定の電圧を印加することにより、少なくとも前記第1及び第2の電極の電気的良否を検出する工程とを具備することを特徴とする。
In the inspection method according to another aspect of the present invention, before mounting the electronic component on the first substrate,
The step of aligning the probe terminals for inspection in the inspection region of the inspection terminal group and the second wiring, and the probe terminals aligned by the alignment step are connected to the inspection terminal group and the first wiring a step in contact with the test area of the second wiring, by applying a predetermined voltage to the probe terminal, by comprising a step of detecting an electrical quality of the at least the first and second electrodes, the Features.

本発明は、検査用端子のみならず同じ方向に並んでいる第2の配線の検査領域にも電気的検査用のプローブ端子を容易に当接させ検査することができる。
According to the present invention , not only the inspection terminal but also the inspection area of the second wiring lined up in the same direction can be easily inspected by bringing the probe terminal for electrical inspection into contact therewith.

また、検査用端子や第2の配線の検査領域を例えば同一直線上に配置することも可能となり、プローブ端子を使用して容易に電気光学装置の検査をすることができると共に、プローブ端子の共用化がより容易となる。
In addition, the inspection terminal and the inspection area of the second wiring can be arranged on the same straight line, for example, and the electro-optical device can be easily inspected using the probe terminal, and the probe terminal can be shared. It becomes easier.

本発明の他の観点にかかる電子機器は、上述に記載の電気光学装置により製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする。


Electronic device according to another aspect of the present invention is characterized by comprising an electro-optical device manufactured by the electro-optical device according to the above.


本発明は、電気的検査をより容易にし、且つ、その検査に要するコストを低減する電気光学装置を備えるので、容易に電子機器の性能の信頼性を高めることができる。   Since the present invention includes an electro-optical device that makes electrical inspection easier and reduces the cost required for the inspection, the reliability of the performance of the electronic apparatus can be easily increased.

以下、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下実施形態を説明するにあたっては、電気光学装置の例として液晶装置、具体的には反射半透過型のパッシブマトリックス方式の液晶装置、またその液晶装置を用いた電子機器について説明するがこれに限られるものではない。また、以下の図面においては各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the embodiments, a liquid crystal device as an example of an electro-optical device, specifically, a reflective transflective passive matrix liquid crystal device and an electronic apparatus using the liquid crystal device will be described. It is not limited to. Moreover, in the following drawings, in order to make each structure easy to understand, the actual structure and the scale and number of each structure are different.

(第1の実施形態) (First embodiment)

図1は本発明の第1の実施形態に係る液晶装置の概略斜視図、図2は図1のA−A線断面図(液晶駆動用ICは切断していない。)、図3は液晶駆動用ICが実装される前の液晶装置の張り出し部分を中心に説明する平面図、図4は図3のC−C線断面図及び図5は図3の検査用端子等の部分拡大図である。   1 is a schematic perspective view of a liquid crystal device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1 (a liquid crystal driving IC is not cut), and FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 3 and FIG. 5 is a partially enlarged view of the inspection terminal and the like in FIG. 3. .

(液晶装置の構成)   (Configuration of liquid crystal device)

液晶装置1は、例えば図1に示すように液晶パネル2と、当該液晶パネル2に接続された回路基板3とを有する。ここで、液晶装置1には、回路基板3の他にも、バックライト等の照明装置やその他の付帯機構が必要に応じて付設される(図示しない)。   The liquid crystal device 1 includes, for example, a liquid crystal panel 2 and a circuit board 3 connected to the liquid crystal panel 2 as shown in FIG. Here, in addition to the circuit board 3, the liquid crystal device 1 is provided with an illumination device such as a backlight and other incidental mechanisms as necessary (not shown).

液晶パネル2は、図1、図2及び図3に示すようにシール材4を介して貼り合わされた一対の基板である第1の基板5及び第2の基板6と、両基板の間隙に封入された電気光学材料例えばSTN(Super Twisted Nematic)型の液晶7とを有する。   The liquid crystal panel 2 is enclosed in a gap between the first substrate 5 and the second substrate 6 which are a pair of substrates bonded together via a sealing material 4 as shown in FIGS. And an electro-optical material such as STN (Super Twisted Nematic) type liquid crystal 7.

第1の基板5には、例えば図2に示すようにその液晶側表面に、第1の電極である複数のセグメント電極8が所定のパターンで形成されている。   On the first substrate 5, for example, as shown in FIG. 2, a plurality of segment electrodes 8 as first electrodes are formed in a predetermined pattern on the liquid crystal side surface.

また、そのセグメント電極8の上にはオーバーコート層9が形成されており、更にその上に配向膜10が形成されている。また、第1の基板5の外側(液晶7と反対側)には偏光板11等が配置されている。   An overcoat layer 9 is formed on the segment electrode 8, and an alignment film 10 is further formed thereon. A polarizing plate 11 and the like are disposed outside the first substrate 5 (on the side opposite to the liquid crystal 7).

一方、第2の基板6には例えば図2に示すようにその液晶側表面に第2の電極である複数のコモン電極12が所定のパターンで形成されており、そのコモン電極12の上にはオーバーコート層13が形成され、更にその上に配向膜14が形成されている。また、第2の基板6の外側(液晶7と反対側)には偏光板15等が配置されている。   On the other hand, on the second substrate 6, for example, as shown in FIG. 2, a plurality of common electrodes 12 as second electrodes are formed in a predetermined pattern on the liquid crystal side surface, and on the common electrode 12, An overcoat layer 13 is formed, and an alignment film 14 is further formed thereon. Further, a polarizing plate 15 and the like are disposed outside the second substrate 6 (on the side opposite to the liquid crystal 7).

第1の基板5及び第2の基板6のいずれか一方の内側表面には図示しないが必要に応じて下地層、反射層、着色層及び光遮蔽層等を形成する。   Although not shown, an underlayer, a reflective layer, a colored layer, a light shielding layer, and the like are formed on the inner surface of one of the first substrate 5 and the second substrate 6 as necessary.

ここで、第1の基板5及び第2の基板6は、図1、図2及び図3に示すように例えばガラスや合成樹脂といった光透過性材料から形成された板状部材であり、第1の基板5は他方の基板に対し外側へ突出した張り出し領域(以下「張り出し部」という。)16を有している。   Here, the first substrate 5 and the second substrate 6 are plate-like members made of a light-transmitting material such as glass or synthetic resin as shown in FIGS. The substrate 5 has an overhanging region 16 (hereinafter referred to as an “overhang portion”) that protrudes outward with respect to the other substrate.

セグメント電極8は、例えばITO(Indium Tin Oxide)の透明導電材料により形成されており、図1、図2及び図3に示すように一方向(図中のY軸方向)で平行になるようにストライプ形状で複数形成されている。   The segment electrode 8 is made of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide), for example, and is parallel in one direction (Y-axis direction in the figure) as shown in FIGS. A plurality of stripes are formed.

また、コモン電極12はセグメント電極8と同様にITO等の透明導電材料でストライプ状に複数形成されているが、図1、図2及び図3に示すようにセグメント電極8と交差するように図中のX軸方向に形成されている。これらのセグメント電極8及びコモン電極12が交差する所が像を表示する画素となる。   The common electrode 12 is formed in a plurality of stripes with a transparent conductive material such as ITO like the segment electrode 8, but the common electrode 12 crosses the segment electrode 8 as shown in FIGS. 1, 2, and 3. It is formed in the X-axis direction inside. The intersection of the segment electrode 8 and the common electrode 12 is a pixel for displaying an image.

なお、図1及び図3ではセグメント電極8及びコモン電極12等を判り易くするために各電極等の間隔を実際より広く模式的に表しているが、実際は非常に狭い間隔で多数本形成されている。   In FIG. 1 and FIG. 3, the interval between each electrode and the like is schematically shown wider than the actual in order to make the segment electrode 8 and the common electrode 12 easy to understand. Yes.

また、オーバーコート層9,13は例えば酸化ケイ素、酸化チタンまたはこれらの混合物により形成され、配向膜10,14は例えばポリイミド系樹脂により形成される。   The overcoat layers 9 and 13 are made of, for example, silicon oxide, titanium oxide, or a mixture thereof, and the alignment films 10 and 14 are made of, for example, a polyimide resin.

次に、張り出し部16は図1、図2及び図3に示すようにセグメント電極8及びコモン電極12がシール材4で囲まれる領域(以下「液晶領域」という。)から当該張り出し部16に延びた第1の配線であるセグメント電極用配線17及び第2の配線(或は配線群)であるコモン電極用配線18(18a,18b)、その各電極用配線に例えば液晶駆動用電流を供給する電子部品である液晶駆動用IC19等を有する。   Next, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, the projecting portion 16 extends from the region where the segment electrode 8 and the common electrode 12 are surrounded by the sealing material 4 (hereinafter referred to as “liquid crystal region”) to the projecting portion 16. For example, a liquid crystal driving current is supplied to the segment electrode wiring 17 as the first wiring, the common electrode wiring 18 (18a, 18b) as the second wiring (or wiring group), and the respective electrode wirings. A liquid crystal driving IC 19 that is an electronic component is included.

また、張り出し部16には液晶駆動用IC19の実装面に対応する第1の基板5上の実装領域B(図3中の中央付近の点線で囲まれた領域)内に設けられた第1及び第2の接続用端子群として複数のセグメント接続用端子20及びコモン接続用端子21(21a,21b)と、そのセグメント接続用端子20及び一部のコモン接続用端子21に電気的に接続された複数の検査用端子22、更に回路基板3からの電流を液晶駆動用IC19に入力する複数の入力接続用端子23を有する。   Further, the overhanging portion 16 includes first and second portions provided in a mounting region B (region surrounded by a dotted line near the center in FIG. 3) on the first substrate 5 corresponding to the mounting surface of the liquid crystal driving IC 19. As the second connection terminal group, a plurality of segment connection terminals 20 and common connection terminals 21 (21a, 21b) are electrically connected to the segment connection terminals 20 and some common connection terminals 21. A plurality of inspection terminals 22 and a plurality of input connection terminals 23 for inputting current from the circuit board 3 to the liquid crystal driving IC 19 are provided.

更に張り出し部16は、回路基板3からの電流を受け取る外部接続用端子24、その外部からの電流を入力接続用端子23に供給する入力用配線25等を有する。   Further, the overhang portion 16 includes an external connection terminal 24 that receives a current from the circuit board 3, an input wiring 25 that supplies a current from the outside to the input connection terminal 23, and the like.

ここで、液晶駆動用IC19は、例えば回路基板3及び入力用配線25を介して表示画像等に関わる各種の信号を受信すると、この信号に応じた駆動信号を生成するものであり、その駆動信号はセグメント電極用配線17及びコモン電極用配線18に供給される。   Here, when the liquid crystal driving IC 19 receives various signals related to a display image or the like via, for example, the circuit board 3 and the input wiring 25, the liquid crystal driving IC 19 generates a driving signal corresponding to the signal. Is supplied to the segment electrode wiring 17 and the common electrode wiring 18.

また、液晶駆動用IC19は、例えば図1に示すようにX軸方向に長辺が来るように略長方形の外形を有し、その張り出し部16への実装面である裏面にはセグメント接続用端子20及びコモン接続用端子21と入力接続用端子23とに電気的に接続するためのバンプ27を有する。   Further, the liquid crystal driving IC 19 has a substantially rectangular outer shape with long sides in the X-axis direction as shown in FIG. 1, for example, and a segment connection terminal on the back surface that is a mounting surface to the projecting portion 16. 20 and a bump 27 for electrically connecting to the common connection terminal 21 and the input connection terminal 23.

更にセグメント接続用端子20は、実装領域B内に例えば図3に示すように第1の基板5上に液晶領域側で当該実装領域Bの長辺の周縁中央付近に複数、一定の間隔でX軸方向に並んで設けられている。また、その複数のセグメント接続用端子20を挟むように当該実装領域Bの長辺の左右周縁付近にコモン接続用端子21aが、一定の間隔でX軸方向に並んで設けられている。更に左右の短辺の周縁付近に複数のコモン接続用端子21bが、やはり一定の間隔でY軸方向に並んで設けられている。   Further, as shown in FIG. 3, for example, as shown in FIG. 3, a plurality of segment connection terminals 20 are arranged on the first substrate 5 on the liquid crystal region side and in the vicinity of the peripheral edge of the long side of the mounting region B. They are arranged side by side in the axial direction. Further, common connection terminals 21a are provided in the X-axis direction at regular intervals in the vicinity of the left and right peripheral edges of the long side of the mounting region B so as to sandwich the plurality of segment connection terminals 20 therebetween. Further, a plurality of common connection terminals 21b are provided in the vicinity of the peripheral edges of the left and right short sides, arranged in the Y-axis direction at regular intervals.

これにより、液晶駆動用IC19からの信号電流が各バンプ27を介しセグメント接続用端子20及びコモン接続用端子21に出力され、セグメント電極8及びコモン電極12に供給されることとなる。   As a result, a signal current from the liquid crystal driving IC 19 is output to the segment connection terminal 20 and the common connection terminal 21 via each bump 27 and supplied to the segment electrode 8 and the common electrode 12.

なお、セグメント接続用端子20及びコモン接続用端子21は夫々セグメント電極用配線17及びコモン電極用配線18に電気的に接続されている。また、図3に示されたセグメント接続用端子20、コモン接続用端子21、セグメント電極用配線17及びコモン電極用配線18等はその一部を模式的に現したものであり、実際はもっと細かく且つ多数設けられている。   The segment connection terminal 20 and the common connection terminal 21 are electrically connected to the segment electrode wiring 17 and the common electrode wiring 18, respectively. Further, the segment connection terminal 20, the common connection terminal 21, the segment electrode wiring 17, the common electrode wiring 18 and the like shown in FIG. 3 schematically show some of them. Many are provided.

また、図3では省略しているが例えば図2に示すように各バンプ27とセグメント接続用端子20、コモン接続用端子21及び入力接続用端子23との間にはACF(Anisotropic Conductive Film)28を介在させ圧着させることにより電気的導通を図っている。   Although omitted in FIG. 3, for example, as shown in FIG. 2, an ACF (Anisotropic Conductive Film) 28 is provided between each bump 27 and the segment connection terminal 20, the common connection terminal 21, and the input connection terminal 23. Electrical conduction is achieved by interposing and crimping.

更に検査用端子22は、実装領域B内に例えば図3に示すようにその略中央に複数の細長い短冊状で図中X軸方向に一直線上に、後述する検査用のプローブ端子を当接させる部分が位置するように同一ピッチで複数並べられている。これにより、プローブ端子の位置合わせやプローブ端子の製造そのものが容易となる。   Further, the inspection terminal 22 is in contact with a probe terminal for inspection, which will be described later, in a straight line in the X-axis direction in the figure in the mounting region B, as shown in FIG. A plurality are arranged at the same pitch so that the portions are located. This facilitates the positioning of the probe terminals and the manufacture of the probe terminals themselves.

また、検査用端子22は例えば図4に示すように第1の基板5の上に下地層としてタンタルによるTa層29を形成し、その上に検査用端子の本体としてクロムによるCr層30を積層し、更にその上をインジウムスズ酸化物によるITO層31で被覆する構造となっている。Ta層29を形成することによりCr層30をより安定して形成できると共に、ITO層31で覆うことにより検査用のプローブ端子の接触が良好となり、Cr層30に傷がつくことを防ぐことができる。勿論、検査用端子22はこの構成に限られるものではない。   For example, as shown in FIG. 4, the inspection terminal 22 is formed by forming a Ta layer 29 made of tantalum on the first substrate 5 as a base layer, and a Cr layer 30 made of chromium as a main body of the inspection terminal. In addition, the structure is further covered with an ITO layer 31 made of indium tin oxide. By forming the Ta layer 29, the Cr layer 30 can be formed more stably, and by covering with the ITO layer 31, the contact of the probe terminal for inspection can be improved, and the Cr layer 30 can be prevented from being damaged. it can. Of course, the inspection terminal 22 is not limited to this configuration.

また、複数並んで設けられた検査用端子22は、例えば図3に示すように中央部分にセグメント接続用端子20に引き回し配線により電気的に接続された検査用端子22が配置され、その両外側(左右)にコモン接続用端子21aが引き回し配線により電気的に接続された検査用端子22が配置されている。   In addition, a plurality of inspection terminals 22 arranged side by side, for example, as shown in FIG. 3, inspection terminals 22 that are electrically connected to the segment connection terminals 20 by wiring are arranged in the center portion, and both outer sides thereof. The inspection terminals 22 are arranged on the (left and right) side where the common connection terminals 21a are electrically connected by the lead wiring.

次に、セグメント電極用配線17は例えば図3に示すようにセグメント電極8に張り出し部16と液晶領域との境界付近で電気的に接続され液晶駆動用IC19に向けて延設されたものであり、図3中略中央部に配線され、その端部でセグメント接続用端子20に電気的に接続されている。   Next, for example, as shown in FIG. 3, the segment electrode wiring 17 is electrically connected to the segment electrode 8 in the vicinity of the boundary between the projecting portion 16 and the liquid crystal region and extends toward the liquid crystal driving IC 19. In FIG. 3, it is wired at the substantially central portion, and is electrically connected to the segment connecting terminal 20 at its end.

また、コモン電極用配線18は液晶領域で左右に分かれて引き回されたコモン電極12に、張り出し部16と液晶領域との境界付近から電気的に接続され、液晶駆動用IC19に向けて延設されたものである。更にその配線の一部が、例えば所定の方向に並ぶように形成されており、後述するプローブ端子で電気的検査をする領域(以下「検査領域」という。)32となる。なお、図3中では分かり易くするため、検査領域32はコモン電極用配線18等より幅が広く現されているが、実際は例えばコモン電極用配線18と同じ幅である。検査用端子22についても同様である。   The common electrode wiring 18 is electrically connected from the vicinity of the boundary between the overhanging portion 16 and the liquid crystal region to the common electrode 12 routed separately in the right and left in the liquid crystal region, and extends toward the liquid crystal driving IC 19. It has been done. Further, a part of the wiring is formed so as to be aligned in a predetermined direction, for example, and becomes a region 32 (hereinafter referred to as “inspection region”) for electrical inspection with a probe terminal described later. In FIG. 3, for easy understanding, the inspection region 32 is wider than the common electrode wiring 18 and the like, but actually has the same width as the common electrode wiring 18, for example. The same applies to the inspection terminal 22.

以下当該コモン電極用配線18について図3の張り出し部16の右側を図5により詳説する。勿論、張り出し部16の左側も同様に構成されている。   The right side of the overhang 16 in FIG. 3 will be described in detail with reference to FIG. Of course, the left side of the overhanging portion 16 is similarly configured.

コモン電極用配線18は、例えば図5に示すように実装領域Bの長辺側のコモン接続用端子21aに電気的に接続されたコモン電極用配線18aと短辺側のコモン接続用端子21bに電気的に接続されたコモン電極用配線18bとにより構成されている。   For example, as shown in FIG. 5, the common electrode wiring 18 is connected to the common electrode wiring 18a electrically connected to the common connection terminal 21a on the long side of the mounting region B and the common connection terminal 21b on the short side. The common electrode wiring 18b is electrically connected.

ここで、短辺側のコモン接続用端子21bに電気的に接続された複数のコモン電極用配線18bは、張り出し部16でコモン電極12に電気的に接続し例えば図5に示すようにそのまま略直線的に所定の長さ延びている。   Here, the plurality of common electrode wires 18b electrically connected to the common connection terminal 21b on the short side are electrically connected to the common electrode 12 at the overhanging portion 16, and are substantially omitted as shown in FIG. A predetermined length is linearly extended.

そして、コモン電極用配線18bはその途中で検査用端子22の上端22aと略同じ位置(Y軸方向で)から同様に検査用端子22の下端22bと略同じ位置までを検査領域32として形成されている。更にその検査領域32は、各コモン電極用配線18bで検査用端子22が並ぶ方向、図5のD−D線方向の当該D−D線上に並ぶように形成されている。これにより、後述する検査用のプローブ端子の位置合わせ等が容易になり、プローブ端子自体もコストを下げることが可能となる。   The common electrode wiring 18b is formed as an inspection region 32 on the way from substantially the same position (in the Y-axis direction) as the upper end 22a of the inspection terminal 22 to the same position as the lower end 22b of the inspection terminal 22. ing. Further, the inspection region 32 is formed so as to be aligned on the DD line in the direction of the DD line in FIG. 5 in the direction in which the inspection terminals 22 are arranged in each common electrode wiring 18b. This facilitates the alignment of the probe terminal for inspection described later, and the cost of the probe terminal itself can be reduced.

また、図5に示すように同じ線上に並んでいる検査用端子22のピッチP1とコモン電極用配線18bの検査領域32のピッチP2とは同一ピッチになるように形成されている。   Further, as shown in FIG. 5, the pitch P1 of the inspection terminals 22 arranged on the same line and the pitch P2 of the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b are formed to be the same pitch.

更にコモン電極用配線18bは例えば図5に示すように検査領域32の先(図中下方)で半円状に引き回され図中で上方に戻るように配線されている。   Further, for example, as shown in FIG. 5, the common electrode wiring 18 b is routed in a semicircular shape at the tip of the inspection region 32 (downward in the drawing) so as to return upward in the drawing.

このとき、戻りのコモン電極用配線18bで一番検査領域32に近い配線でもその検査領域32との間隔が、例えば数個の検査用のプローブ端子が入る程度にコモン電極用配線18bを引き回す。これによって、多少プローブ端子が複数の検査領域32より多くても、プローブ端子がコモン電極用配線18bの検査領域32以外の配線に当接することを防ぐことができるとともに、無理な引き回しを防ぐことができる。   At this time, the common electrode wiring 18b is routed so that, for example, several inspection probe terminals are inserted into the return common electrode wiring 18b which is closest to the inspection area 32 even when the wiring is closest to the inspection area 32. As a result, even if there are more probe terminals than the plurality of inspection regions 32, the probe terminals can be prevented from coming into contact with wires other than the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b, and unreasonable routing can be prevented. it can.

そして、コモン電極用配線18bは最終的に短辺側のコモン接続用端子21bに夫々電気的に接続されている。   The common electrode wiring 18b is finally electrically connected to the common connection terminal 21b on the short side.

なお、上述の説明ではコモン接続用端子21の一部が実装領域Bの長辺側にコモン接続用端子21aとして設けられた状態を説明したが、これに限られるものではなく例えばコモン接続用端子21は全て短辺側に設けられるものであってもよい。この場合は、コモン電極用配線18も当然全て短辺側のコモン接続用端子21に電気的に接続されることとなり、全てのコモン電極用配線18は実装領域Bの外側に検査領域32を有することとなる。   In the above description, a state in which a part of the common connection terminal 21 is provided as the common connection terminal 21a on the long side of the mounting region B has been described. However, the present invention is not limited to this. All 21 may be provided on the short side. In this case, the common electrode wirings 18 are naturally all electrically connected to the common connection terminal 21 on the short side, and all the common electrode wirings 18 have the inspection region 32 outside the mounting region B. It will be.

次に、入力接続用端子23は例えば図3に示すように実装領域B内の回路基板側の長辺周縁に、回路基板3からの信号を液晶駆動用IC19に入力するために複数、図中X軸方向に略一直線上に並べられている。   Next, as shown in FIG. 3, for example, a plurality of input connection terminals 23 are provided at the periphery of the long side on the circuit board side in the mounting region B in order to input a signal from the circuit board 3 to the liquid crystal driving IC 19. They are arranged in a substantially straight line in the X-axis direction.

また、回路基板3には図2に示すようにベース基板33の上に配線パターン34等が形成、実装されている。   Further, as shown in FIG. 2, a wiring pattern 34 and the like are formed and mounted on the base substrate 33 on the circuit board 3.

ここで、ベース基板33は可撓性を有するフィルム状の部材であり、配線パターン34は例えば銅等から形成されていて、張り出し部16側の端に接続用端子(図示しない)が形成されている。その接続用端子は外部接続用端子24に外部接続用ACF35を介して電気的に接続されている。   Here, the base substrate 33 is a flexible film-like member, and the wiring pattern 34 is formed of, for example, copper or the like, and a connection terminal (not shown) is formed at the end on the overhanging portion 16 side. Yes. The connection terminal is electrically connected to the external connection terminal 24 via the external connection ACF 35.

(液晶装置の製造方法及び検査方法)   (Liquid crystal device manufacturing method and inspection method)

次に、液晶装置1の製造方法及び検査方法を張り出し部16を中心に簡単に説明する。   Next, a manufacturing method and an inspection method of the liquid crystal device 1 will be briefly described focusing on the overhang portion 16.

図6は液晶装置の製造方法のフローチャート図、図7はプローブ端子を検査用端子等に当接した状態の説明図及び図8は他の検査用のプローブ端子の説明図である。   FIG. 6 is a flowchart of a method for manufacturing a liquid crystal device, FIG. 7 is an explanatory view showing a state in which the probe terminal is in contact with an inspection terminal, and FIG. 8 is an explanatory view of another inspection probe terminal.

まず、図6に示すように第1の基板5の上(液晶側)にセグメント電極8の材料であるITO等をスパッタリング法により被着し、フォトリソグラフィ法によってパターニングして図1、図2及び図3のようにY軸方向でストライプ状に、セグメント電極8を形成する。また、その上にオーバーコート層9を形成し、更にその上に配向膜10を形成し、ラビング処理を施して第1の基板側を形成する(ST101)。なお、このセグメント電極8を形成する際に張り出し部16のセグメント電極用配線17、コモン電極用配線18、セグメント接続用端子20、コモン接続用端子21、検査用端子22、入力接続用端子23、外部接続用端子24及び入力用配線25等を同様にスパッタリング法により成膜し、フォトリソグラフィ法等により形成してもよい。また、検査用端子22は図4のように張り出し部16の上にまず下地層としてタンタルによるTa層29を形成し、その上に検査用端子の本体としてクロムによるCr層30を積層し、更にその上をインジウムスズ酸化物によるITO層31で被覆して形成する。   First, as shown in FIG. 6, ITO or the like, which is a material of the segment electrode 8, is deposited on the first substrate 5 (liquid crystal side) by sputtering, and patterned by photolithography to obtain FIGS. As shown in FIG. 3, the segment electrodes 8 are formed in stripes in the Y-axis direction. Further, an overcoat layer 9 is formed thereon, an alignment film 10 is further formed thereon, and a rubbing process is performed to form the first substrate side (ST101). When the segment electrode 8 is formed, the segment electrode wiring 17, the common electrode wiring 18, the segment connection terminal 20, the common connection terminal 21, the inspection terminal 22, the input connection terminal 23, Similarly, the external connection terminal 24 and the input wiring 25 may be formed by sputtering, and may be formed by photolithography. Further, as shown in FIG. 4, the inspection terminal 22 is formed by first forming a tantalum Ta layer 29 on the overhanging portion 16 as a base layer, and further laminating a chromium Cr layer 30 on the inspection terminal main body, It is covered with an ITO layer 31 made of indium tin oxide.

次に、第2の基板6の上(液晶側)に同様にしてコモン電極12を図1、図2及び図3のようにX軸方向にストライプ状に形成し、更にオーバーコート層13及び配向膜14を形成し第2の基板上にギャップ材36をドライ散布等により散布し、シール材4を介して第1の基板側と第2の基板側とを貼り合わせる。その後、例えばスクライブ&ブレーク工程を経て分割された第1の基板5及び第2の基板6のシール材4の開口部から液晶7を注入し、シール材4の開口部を紫外線硬化性樹脂等の封止材によって封止する(ST103)。更に、偏光板11,15等を第1の基板5及び第2の基板6の各外面(液晶側と反対側)に貼着等の方法により取り付ける。   Next, the common electrode 12 is formed in a stripe shape in the X-axis direction as shown in FIGS. 1, 2 and 3 in the same manner on the second substrate 6 (liquid crystal side), and the overcoat layer 13 and the alignment are further formed. The film 14 is formed, and the gap material 36 is sprayed on the second substrate by dry spraying or the like, and the first substrate side and the second substrate side are bonded through the seal material 4. After that, for example, liquid crystal 7 is injected from the openings of the sealing material 4 of the first substrate 5 and the second substrate 6 divided through the scribe and break process, and the opening of the sealing material 4 is made of UV curable resin or the like. Sealing is performed with a sealing material (ST103). Furthermore, the polarizing plates 11, 15 and the like are attached to the outer surfaces (the side opposite to the liquid crystal side) of the first substrate 5 and the second substrate 6 by a method such as sticking.

ここまでの工程により、セグメント電極8及びコモン電極12、セグメント電極用配線17、コモン電極用配線18、セグメント接続用端子20、コモン接続用端子21、検査用端子22等が形成されているので、例えばセグメント電極8及びコモン電極12等の点灯試験や断線及びショート検査等の電気的検査をすることができることとなる。以下の工程は実質上検査方法の工程となる。   Since the segment electrode 8 and the common electrode 12, the segment electrode wiring 17, the common electrode wiring 18, the segment connection terminal 20, the common connection terminal 21, the inspection terminal 22 and the like are formed by the steps so far. For example, an electrical test such as a lighting test of the segment electrode 8 and the common electrode 12 or a disconnection and short test can be performed. The following steps are substantially the steps of the inspection method.

まず、検査装置37の検査用のプローブ端子例えば検査用ピン38を張り出し部16上に制御部39の制御下、移動装置(図示しない)により移動させ、更に複数の検査用端子22及び複数のコモン電極用配線18bの検査領域32に当接できるように検査用ピン38をアライメントマーク等を利用して正確に検査用端子等に位置合わせする(ST104)。   First, an inspection probe terminal of the inspection device 37, for example, an inspection pin 38, is moved onto the overhanging portion 16 by a moving device (not shown) under the control of the control unit 39, and further, a plurality of inspection terminals 22 and a plurality of commons. The inspection pin 38 is accurately aligned with the inspection terminal or the like by using an alignment mark or the like so as to contact the inspection region 32 of the electrode wiring 18b (ST104).

また、検査用ピン38が各検査用端子等に位置合わせできたら、例えば制御部39は検査用ピン38を検査用端子22及び検査領域32に移動装置により降下させ図7に示すように当接させる(ST105)。なお、検査用ピン38は例えば図7に示すようにコモン電極用配線18bの検査領域32以外の配線部分に接触することが無いように、検査用端子22に当接する検査用ピン38と検査領域32に当接する検査用ピン38との間には、予備のための数本を除き検査用ピンは設けられていない。   When the inspection pin 38 can be aligned with each inspection terminal or the like, for example, the control unit 39 lowers the inspection pin 38 to the inspection terminal 22 and the inspection region 32 by the moving device and makes contact as shown in FIG. (ST105). For example, as shown in FIG. 7, the inspection pin 38 is in contact with the inspection terminal 22 and the inspection region so as not to come into contact with a wiring portion other than the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b. No inspection pins are provided between the inspection pins 38 abutting on the pins 32 except for several spare ones.

更に制御部39は、電圧印加部40により所定の電圧を検査用ピン38に印加する(ST106)。この際、例えば図7に示すように各検査用端子22に当接する検査用ピン38は、図中のE1の検査用ピン38とそれから3本の検査用ピン38を飛ばしてE5の検査用ピン38、同様にE9の検査用ピン38等が一つに纏められている。同様にE2の検査用ピン38は、E6等の検査用ピン38と一つに纏められており、更にE3の検査用ピン38は、E7等の検査用ピン38と一つに纏められている。同じようにE4の検査用ピン38は、3本の検査用ピン38を飛ばしてE8の検査用ピン38と一つに纏められている。勿論、検査領域32も上述と同様に検査用ピン38が当接することとなる。   Further, the control unit 39 applies a predetermined voltage to the inspection pin 38 by the voltage application unit 40 (ST106). At this time, for example, as shown in FIG. 7, the inspection pins 38 that are in contact with the respective inspection terminals 22 skip the E1 inspection pins 38 and the three inspection pins 38 in the figure, and then E5 inspection pins. Similarly, E9 inspection pins 38 and the like are grouped together. Similarly, E2 inspection pins 38 are grouped together with inspection pins 38 such as E6, and E3 inspection pins 38 are grouped together with inspection pins 38 such as E7. . Similarly, the E4 inspection pins 38 are combined with the E8 inspection pins 38 by skipping the three inspection pins 38. Of course, the inspection pin 38 also comes into contact with the inspection region 32 as described above.

これにより、例えば少なくとも連続して隣り合う4つの検査用端子22及びコモン電極用配線18bの検査領域32のショート検査は可能であると共に通常はそれで十分であり、全検査用端子等を独立して検査する検査装置に比べ低コストにできることとなる。勿論、4本ずつ纏めない全検査端子等を独立して検査する検査装置としてもよいし、4本ではなく3本や2本ずつ等に検査用ピン38を纏めてもよい。   Thus, for example, it is possible to perform a short inspection of at least four inspection terminals 22 adjacent to each other and the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b, and this is usually sufficient. The cost can be reduced compared with the inspection device to be inspected. Of course, an inspection apparatus that independently inspects all inspection terminals that cannot be grouped by four may be used, or the inspection pins 38 may be grouped by three or two instead of four.

夫々一つに纏められた検査用ピン38からの配線は図7に示すようにF1からF4として電圧印加部40に接続されている。ここで、F1とF2との間に所定の電圧が印加されるので、検査用ピン38の例えばE1とE2とに当接している検査用端子22間でセグメント電極8等がショートしていると、電流が流れ電圧印加部40はその情報を制御部39に伝える。制御部39は、その情報等により電気的良否(この場合は、ショートの有無)を判定し(ST107)、例えばランプ等(図示せず)に表示する。   The wiring from the inspection pins 38, which are grouped together, is connected to the voltage application unit 40 as F1 to F4 as shown in FIG. Here, since a predetermined voltage is applied between F1 and F2, the segment electrode 8 or the like is short-circuited between the inspection terminals 22 that are in contact with, for example, E1 and E2 of the inspection pin 38. The current flows and the voltage application unit 40 transmits the information to the control unit 39. The control unit 39 determines electrical quality (in this case, the presence or absence of a short circuit) from the information or the like (ST107), and displays it on, for example, a lamp or the like (not shown).

以上で実質的に電気光学装置の電気的検査(検査方法の説明)は終了し、検査の結果正常な第1の基板及び第2の基板5,6に対し以下の工程により液晶装置1を完成させる。   The electrical inspection of the electro-optical device (explanation of the inspection method) is substantially completed as described above, and the liquid crystal device 1 is completed by the following steps for the first substrate and the second substrates 5 and 6 that are normal as a result of the inspection. Let

具体的には、まずACF28を例えば図2に示すように張り出し部16のセグメント接続用端子20、コモン接続用端子21(21a,21b)、入力接続用端子23等を覆うように配置し、その上にセグメント接続用端子20等に液晶駆動用IC19のバンプ27が対応するように液晶駆動用IC19を配置し、押圧して加熱する。これにより、バンプ27とセグメント接続用端子20等との間で単一方向の導電性を持たせ接続することができる。   Specifically, first, the ACF 28 is arranged so as to cover the segment connection terminal 20, the common connection terminal 21 (21a, 21b), the input connection terminal 23, etc. of the overhanging portion 16 as shown in FIG. The liquid crystal driving IC 19 is disposed on the segment connecting terminals 20 and the like so that the bumps 27 of the liquid crystal driving IC 19 correspond to the segment connecting terminals 20 and the like. Thereby, it is possible to connect the bumps 27 and the segment connection terminals 20 with the conductivity in a single direction.

更に、回路基板3に必要な電子部品を実装し、回路基板3の配線パターン34の一端に形成された接続用端子(図示せず)を例えば図2に示すように外部接続用ACF35を介して外部接続用端子24に電気的に接続させ、液晶パネル2に回路基板3を接続させる(ST108)。   Further, necessary electronic components are mounted on the circuit board 3, and connection terminals (not shown) formed at one end of the wiring pattern 34 of the circuit board 3 are connected via an external connection ACF 35 as shown in FIG. Electrical connection is made to the external connection terminal 24, and the circuit board 3 is connected to the liquid crystal panel 2 (ST108).

最後に、そのほかの照明装置やケース体等を取り付けて電気光学装置である液晶装置1が完成する(ST109)。   Finally, the other illumination device, the case body and the like are attached to complete the liquid crystal device 1 which is an electro-optical device (ST109).

なお、検査用のプローブ端子としては上述の検査用ピン38に限られるものではなく、例えば図8に示すようにフレキシブル基板等のフィルム41上(図8で検査用端子22側)に検査用端子22や検査領域32のピッチと同一のピッチに配線42を形成し、その上にプローブ端子であるプローブ端子バンプ43が形成されている。また、その一つの配線42及びプローブ端子バンプ43と、その隣の配線42及びプローブ端子バンプ43との間にはポリイミド等の絶縁層44が形成された構造となっている。   The inspection probe terminal is not limited to the above-described inspection pin 38. For example, as shown in FIG. 8, the inspection terminal is placed on a film 41 such as a flexible substrate (on the inspection terminal 22 side in FIG. 8). Wirings 42 are formed at the same pitch as the pitch of 22 and the inspection region 32, and probe terminal bumps 43, which are probe terminals, are formed thereon. In addition, an insulating layer 44 made of polyimide or the like is formed between the one wiring 42 and the probe terminal bump 43 and the adjacent wiring 42 and the probe terminal bump 43.

これを検査用端子22及びコモン電極用配線18bの検査領域32の上に図8に示すように(図8では検査用端子22に当接している状態を示している)プローブ端子バンプ43を当接することによっても、電気的検査は可能である。特に、精細な検査用端子22や検査領域32のような場合は、フィルム41上にプローブ端子バンプ43を形成するほうが容易でしかも低コストにできる。   As shown in FIG. 8, the probe terminal bump 43 is applied to the inspection terminal 22 and the common electrode wiring 18b on the inspection region 22 as shown in FIG. Electrical inspection is also possible by contact. In particular, in the case of a fine inspection terminal 22 or inspection region 32, it is easier and lower cost to form the probe terminal bump 43 on the film 41.

このように本実施形態によれば、コモン電極12に電気的に接続されたコモン電極用配線18bの一部が、検査領域32として所定の方向に並ぶように設けられ、更に第1の基板5上の液晶駆動用IC19の実装領域B内にその検査領域32の所定の方向と同じ方向に検査用端子22を並んで設けることとしたので、検査用端子22のみならず同じ方向に並んでいるコモン電極用配線18bの検査領域32にも、検査用ピン38を容易に当接させ検査することができる。   As described above, according to the present embodiment, a part of the common electrode wiring 18 b electrically connected to the common electrode 12 is provided so as to be aligned in a predetermined direction as the inspection region 32, and further, the first substrate 5. Since the inspection terminals 22 are provided side by side in the same direction as the predetermined direction of the inspection region 32 in the mounting region B of the upper liquid crystal driving IC 19, the inspection terminals 22 are aligned in the same direction as well as the inspection terminals 22. The inspection pin 38 can be easily brought into contact with the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b for inspection.

また、例えば第1の基板5上の液晶駆動用IC19の実装領域B内にセグメント電極8及びコモン電極12のすべてに対応した検査用端子22を配置しなくてもいいので、検査端子等の配置や配線の引き回し等が容易になり、コストも低減できる。   Further, for example, the inspection terminals 22 corresponding to all of the segment electrodes 8 and the common electrodes 12 do not have to be disposed in the mounting region B of the liquid crystal driving IC 19 on the first substrate 5. Wiring and wiring can be facilitated, and costs can be reduced.

更にコモン電極用配線18bの検査領域32は、検査用端子22と同一直線上に並んで設けられているので、検査用端子22及び検査領域32と検査用ピン38との位置合わせがより容易となり、電気的検査のコストの低減も可能となる。   Further, since the inspection area 32 of the common electrode wiring 18b is provided on the same straight line as the inspection terminal 22, the alignment between the inspection terminal 22 and the inspection area 32 and the inspection pin 38 becomes easier. Also, the cost of electrical inspection can be reduced.

また、検査用端子22のピッチと検査領域32のピッチが同一であるので検査用ピン38の共用化がより図れ、電気的検査のコストを低減できる。   Further, since the pitch of the inspection terminals 22 and the pitch of the inspection regions 32 are the same, the inspection pins 38 can be shared, and the cost of electrical inspection can be reduced.

(第2の実施形態)   (Second Embodiment)

次に、本発明に係る液晶装置の第2の実施形態について説明する。本実施形態においては、第1の実施形態と検査用端子22とその隣に設けられた検査領域32との距離が検査用端子22のピッチの整数倍である点が異なるのでその点を中心に説明する。なお、第1の実施形態の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。   Next, a second embodiment of the liquid crystal device according to the present invention will be described. In the present embodiment, since the distance between the first embodiment and the inspection terminal 22 and the inspection region 32 provided adjacent thereto is an integer multiple of the pitch of the inspection terminal 22, the point is the center. explain. In addition, about the component which is common in the component of 1st Embodiment, the code | symbol same as the component of 1st Embodiment is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.

図9は本発明の第2の実施形態に係る液晶装置の液晶駆動用ICが実装される前の張り出し部の部分拡大図である。   FIG. 9 is a partially enlarged view of the protruding portion before the liquid crystal driving IC of the liquid crystal device according to the second embodiment of the present invention is mounted.

(液晶装置の構成)   (Configuration of liquid crystal device)

コモン電極用配線18bの検査領域32は、例えば図9に示すように複数の検査用端子22が所定のピッチで並ぶ直線上に、同様に並んでいる。また、コモン電極用配線18bの検査領域32は検査用端子22とコモン電極用配線18bの検査領域32との距離が、検査用端子22の当該ピッチの整数倍となるように形成されている。   For example, as shown in FIG. 9, the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b is similarly arranged on a straight line in which a plurality of inspection terminals 22 are arranged at a predetermined pitch. The inspection region 32 of the common electrode wiring 18b is formed such that the distance between the inspection terminal 22 and the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b is an integral multiple of the pitch of the inspection terminal 22.

具体的には、例えば図9に示すようにコモン接続用端子21aに電気的に接続された検査用端子22で一番検査領域32に近い検査用端子(図中の検査用端子で一番右端にあるもの)とコモン電極用配線18bの検査領域32で一番検査用端子22に近い検査領域32(図中の検査領域で一番左端にあるもの)との距離P4が、検査用端子22のピッチP3の整数倍となるように形成されている。   Specifically, for example, as shown in FIG. 9, the inspection terminal 22 electrically connected to the common connection terminal 21a is the inspection terminal closest to the inspection region 32 (the rightmost end of the inspection terminal in the figure). ) And the inspection region 32 closest to the inspection terminal 22 in the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b (the one at the leftmost in the inspection region in the figure) is a distance P4. The pitch P3 is an integral multiple of the pitch P3.

(液晶装置の製造方法及び検査方法)   (Liquid crystal device manufacturing method and inspection method)

本実施形態にかかる液晶装置の製造方法及び検査方法は、略第1の実施形態と同様であるが検査用端子とコモン電極用配線18bの検査領域32との距離が検査用端子のピッチの整数倍となる点で異なるので、検査用ピンが検査用端子及び検査領域に当接されるところを中心に説明する。   The manufacturing method and the inspection method of the liquid crystal device according to this embodiment are substantially the same as those of the first embodiment, but the distance between the inspection terminal and the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b is an integer of the pitch of the inspection terminal. Since it is different in that it is doubled, the description will focus on the point where the inspection pin comes into contact with the inspection terminal and the inspection region.

図10は検査用ピンが検査用端子及び検査領域に当接している状態の説明図である。   FIG. 10 is an explanatory diagram of a state in which the inspection pin is in contact with the inspection terminal and the inspection region.

まず、検査装置37の検査用のプローブ端子例えば検査用ピン38を張り出し部16上に制御部39の制御下、移動装置(図示しない)により移動させ、更に検査用端子22及び検査領域32に当接できるように検査用ピン38をアライメントマーク等を利用して正確に検査用端子等に位置合わせする(ST104)。   First, an inspection probe terminal of the inspection device 37, for example, an inspection pin 38, is moved onto the overhanging portion 16 by a moving device (not shown) under the control of the control unit 39, and is further applied to the inspection terminal 22 and the inspection region 32. The inspection pin 38 is accurately aligned with the inspection terminal or the like using an alignment mark or the like so as to come into contact (ST104).

また、検査用ピン38が各検査用端子22及び各検査領域32に位置合わせできたら、制御部39は検査用ピン38を検査用端子等に移動装置により降下させ、図10に示すように当接させる(ST105)。この際、図10に示すように検査用ピン38の等ピッチが、検査用端子のピッチにあわせてあるので、全ての検査用端子22及び検査領域32にいずれかの検査用ピン38が当接されることとなる。   When the inspection pins 38 can be aligned with the respective inspection terminals 22 and the respective inspection regions 32, the control unit 39 lowers the inspection pins 38 to the inspection terminals and the like by a moving device, as shown in FIG. Contact (ST105). At this time, as shown in FIG. 10, since the equal pitch of the test pins 38 is matched with the pitch of the test terminals, any one of the test pins 38 comes into contact with all the test terminals 22 and the test area 32. Will be.

このように本実施形態によれば、コモン電極用配線18bの検査領域32とその検査領域32に隣り合う検査用端子22との距離を、検査用端子22のピッチの整数倍としたので、検査用端子22とコモン電極用配線18bの検査領域32とが離れて設けられている場合も、確実に検査用ピン38を検査用端子22及び検査領域32に全て当接させることができる。   Thus, according to the present embodiment, since the distance between the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b and the inspection terminal 22 adjacent to the inspection region 32 is set to an integer multiple of the pitch of the inspection terminals 22, Even when the inspection terminal 22 and the inspection region 32 of the common electrode wiring 18 b are provided apart from each other, the inspection pins 38 can be reliably brought into contact with the inspection terminal 22 and the inspection region 32.

また、検査用ピン38のピッチが検査用端子22のピッチで揃えられるので、そのプローブ端子の製造が容易となると共に共用化をより図ることが可能となる。更にコモン電極用配線18等の引き回しの自由度が増し液晶装置の製造が容易となる。   In addition, since the pitch of the inspection pins 38 is aligned with the pitch of the inspection terminals 22, the probe terminals can be easily manufactured and can be shared. Furthermore, the degree of freedom in routing the common electrode wiring 18 and the like is increased, and the manufacture of the liquid crystal device is facilitated.

(第3の実施形態)   (Third embodiment)

次に、本発明に係る液晶装置の第3の実施形態について説明する。本実施形態においては、第1の実施形態の検査用端子及び検査領域が全て等ピッチで並んでいたのに対し、検査領域のピッチが検査用端子のピッチの整数倍である点で異なるので、その点を中心に説明する。なお、第1の実施形態の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。   Next, a third embodiment of the liquid crystal device according to the present invention will be described. In the present embodiment, the inspection terminals and inspection areas of the first embodiment are all arranged at an equal pitch, whereas the pitch of the inspection areas is an integer multiple of the pitch of the inspection terminals. This will be mainly described. In addition, about the component which is common in the component of 1st Embodiment, the code | symbol same as the component of 1st Embodiment is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.

図11は本発明の第3の実施形態に係る液晶装置の液晶駆動用ICが実装される前の張り出し部の部分拡大図である。   FIG. 11 is a partially enlarged view of the protruding portion before the liquid crystal driving IC of the liquid crystal device according to the third embodiment of the present invention is mounted.

(液晶装置の構成)   (Configuration of liquid crystal device)

図11に示すようにコモン電極用配線18bの検査領域32のピッチP6は、セグメント接続用端子20及びコモン接続用端子21aに電気的に接続された検査用端子22のピッチP5の整数倍となるように同一直線上に並んで設けられている。   As shown in FIG. 11, the pitch P6 of the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b is an integral multiple of the pitch P5 of the inspection terminal 22 electrically connected to the segment connection terminal 20 and the common connection terminal 21a. So that they are arranged on the same straight line.

例えば図11では検査領域32のピッチP6は、検査用端子22のピッチP5の2倍となっている。勿論、2倍に限られるわけではなく3倍でも4倍でも、検査領域32のピッチP6が、検査用端子22のピッチP5の整数倍となっていればよい。ただし、1倍であると第1の実施形態と同じになるので実際上は1を除く整数倍となる。   For example, in FIG. 11, the pitch P <b> 6 of the inspection region 32 is twice the pitch P <b> 5 of the inspection terminals 22. Of course, the pitch P6 of the inspection region 32 may be an integral multiple of the pitch P5 of the inspection terminal 22 regardless of whether the pitch P6 of the inspection region 32 is 3 or 4 times. However, if it is 1 time, it becomes the same as in the first embodiment, so in practice it is an integer multiple except 1.

(液晶装置の製造方法及び検査方法)   (Liquid crystal device manufacturing method and inspection method)

本実施形態にかかる液晶装置の製造方法及び検査方法は、略第1の実施形態と同様であるが検査用端子とコモン電極用配線18bの検査領域32とのピッチが異なるので、検査用ピンが検査用端子及び検査領域に当接されるところを中心に説明する。   The manufacturing method and the inspection method of the liquid crystal device according to this embodiment are substantially the same as those of the first embodiment, but the pitch between the inspection terminal and the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b is different. The description will focus on the point of contact with the inspection terminal and the inspection region.

図12は検査用ピンが検査用端子及び検査領域に当接している状態の説明図である。   FIG. 12 is an explanatory diagram of a state in which the inspection pin is in contact with the inspection terminal and the inspection region.

まず、検査装置37の検査用のプローブ端子例えば検査用ピン38を張り出し部16上に制御部39の制御下、移動装置(図示しない)により移動させ、更に検査用端子22及び検査領域32に当接できるように検査用ピン38をアライメントマーク等を利用して正確に検査用端子等に位置合わせする(ST104)。   First, an inspection probe terminal of the inspection device 37, for example, an inspection pin 38, is moved onto the overhanging portion 16 by a moving device (not shown) under the control of the control unit 39, and is further applied to the inspection terminal 22 and the inspection region 32. The inspection pin 38 is accurately aligned with the inspection terminal or the like using an alignment mark or the like so as to come into contact (ST104).

また、検査用ピン38が各検査用端子22及び各検査領域32に位置合わせできたら、制御部39は検査用ピン38を検査用端子等に移動装置により降下させ、図12に示すように検査領域32では検査用ピン38が1本おきに当接することとなる(ST105)。   When the inspection pins 38 can be aligned with the respective inspection terminals 22 and the respective inspection regions 32, the control unit 39 lowers the inspection pins 38 to the inspection terminals or the like by a moving device, and as shown in FIG. In the region 32, every other inspection pin 38 comes into contact (ST105).

このように本実施形態によれば、コモン電極用配線18bの検査領域32は、検査用端子22のピッチの整数倍のピッチで並んで設けることとしたので、例えばセグメント電極8からのセグメント電極用配線17に比べコモン電極用配線18bの引き回しが長くなって配線抵抗が大きくなっても、配線の幅を広くすることが容易である。また、そのためコモン電極用配線18bの検査領域32のピッチと検査用端子22のピッチとが異なることとなっても、コモン電極用配線18bの検査領域32のピッチを検査用端子22のピッチの整数倍としているので、例えば検査用ピン38を容易に全ての検査対象に正確にアライメントできることとなる。   As described above, according to the present embodiment, the inspection regions 32 of the common electrode wiring 18b are arranged side by side with a pitch that is an integral multiple of the pitch of the inspection terminals 22, so that, for example, for the segment electrode from the segment electrode 8 Even if the wiring of the common electrode wiring 18b becomes longer than the wiring 17 and the wiring resistance increases, it is easy to increase the width of the wiring. Therefore, even if the pitch of the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b and the pitch of the inspection terminal 22 are different, the pitch of the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b is an integer of the pitch of the inspection terminal 22. Thus, for example, the inspection pin 38 can be easily and accurately aligned with all inspection objects.

(第4の実施形態)   (Fourth embodiment)

次に、本発明に係る液晶装置の第4の実施形態について説明する。本実施形態においては、第1の実施形態の検査用端子と検査領域とが同一直線上に並んでいたのに対し、異なる直線上に並んでいる点で異なるので、その点を中心に説明する。なお、第1の実施形態の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。   Next, a fourth embodiment of the liquid crystal device according to the present invention will be described. In the present embodiment, the inspection terminals and the inspection area of the first embodiment are arranged on the same straight line, but differ in that they are arranged on different straight lines. Therefore, this point will be mainly described. . In addition, about the component which is common in the component of 1st Embodiment, the code | symbol same as the component of 1st Embodiment is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.

図13は本発明の第4の実施形態に係る液晶装置の液晶駆動用ICが実装される前の張り出し部の部分拡大図である。   FIG. 13 is a partially enlarged view of the protruding portion before the liquid crystal driving IC of the liquid crystal device according to the fourth embodiment of the present invention is mounted.

(液晶装置の構成)   (Configuration of liquid crystal device)

コモン電極用配線18は、例えば図13に示すようにコモン電極用配線18aもコモン電極用配線18bと共に一部が所定の方向の直線上に同一ピッチで並んで、検査領域32となるように形成されており、セグメント接続用端子20に電気的に接続された検査用端子22はその所定の方向の直線と平行な方向の直線上に同一ピッチで形成されている。   For example, as shown in FIG. 13, the common electrode wiring 18a is formed so that a part of the common electrode wiring 18a and the common electrode wiring 18b are aligned on a straight line in a predetermined direction at the same pitch and become the inspection region 32. The inspection terminals 22 electrically connected to the segment connection terminals 20 are formed at the same pitch on a straight line in a direction parallel to the straight line in the predetermined direction.

具体的には図13に示すように複数のセグメント電極用配線17は実装領域B内に設けられたセグメント接続用端子20に電気的に接続されており、セグメント接続用端子20はD−D線上に等ピッチで並んでいる各検査用端子22に電気的に接続されている。   Specifically, as shown in FIG. 13, the plurality of segment electrode wirings 17 are electrically connected to the segment connection terminals 20 provided in the mounting region B, and the segment connection terminals 20 are on the DD line. Are electrically connected to the respective inspection terminals 22 arranged at equal pitches.

一方、コモン電極用配線18はコモン電極12と電気的に接続され張り出し部16に延設されたコモン電極用配線18a及びコモン電極用配線18bとが夫々図中下方に略一直線に延び、所定の長さの所で略半円状に実装領域B側に曲がって最終的にコモン電極用配線18aは長辺側のコモン接続用端子21aに、コモン電極用配線18bは短辺側のコモン接続用端子21bに夫々電気的に接続されている。   On the other hand, the common electrode wiring 18 is electrically connected to the common electrode 12 and the common electrode wiring 18a and the common electrode wiring 18b extending to the overhanging portion 16 extend substantially in a straight line downward in the figure, respectively. The common electrode wiring 18a is bent into the common connection terminal 21a on the long side and the common electrode wiring 18b is connected to the common connection on the short side. Each is electrically connected to the terminal 21b.

ここで、そのコモン電極用配線18a及びコモン電極用配線18bの各配線の一部が図13中のH−H線上に等ピッチで並ぶように形成され夫々検査領域32となり、その検査領域32のうちで液晶領域に近い検査領域上端32aと液晶領域に遠い検査領域下端32bとの距離は、例えば検査用端子22の上端22aと下端22bとの距離と略同一に形成されている。これにより、検査用端子22と検査領域32とで検査用ピン38の共用化がより図れ、コストをより低減できる。   Here, a part of each wiring of the common electrode wiring 18a and the common electrode wiring 18b is formed so as to be arranged at an equal pitch on the HH line in FIG. Among them, the distance between the inspection region upper end 32a close to the liquid crystal region and the inspection region lower end 32b far from the liquid crystal region is formed to be substantially the same as the distance between the upper end 22a and the lower end 22b of the inspection terminal 22, for example. As a result, the inspection pin 38 can be shared by the inspection terminal 22 and the inspection region 32, and the cost can be further reduced.

このとき、コモン電極用配線18aの検査領域32は例えばコモン電極用配線18bの検査領域32と一直線上に隣に並んで設けられているが、コモン電極用配線18aの検査領域32は図13に示すようにコモン電極用配線18bの検査領域32より検査用端子22に近くなるように配置されている。これにより、配線同士が交差せずより効率的に引き回すことができる。   At this time, the inspection region 32 of the common electrode wiring 18a is provided, for example, adjacent to the inspection region 32 of the common electrode wiring 18b in a straight line, but the inspection region 32 of the common electrode wiring 18a is shown in FIG. As shown, the common electrode wiring 18b is disposed closer to the inspection terminal 22 than the inspection region 32. As a result, the wirings can be routed more efficiently without crossing each other.

また、検査用端子22が並ぶ直線D−D線と検査領域32が並ぶ直線H−H線とは平行であり、例えば検査領域32の並ぶ直線H−H線の方が液晶領域に近くなるように形成されている。これにより、コモン接続用端子21a等からの引き回しの配線距離が短くすみより配線抵抗を小さくできる。勿論、これに限られるものではなく直線H−H線の方が直線D−D線より液晶領域に遠くなるように形成してもよい。   Further, the straight line DD line in which the inspection terminals 22 are arranged and the straight line HH line in which the inspection area 32 are arranged are parallel to each other, for example, the straight line HH line in which the inspection area 32 is arranged is closer to the liquid crystal area. Is formed. As a result, the wiring resistance from the common connection terminal 21a and the like can be shortened, and the wiring resistance can be reduced. Of course, the present invention is not limited to this, and the straight HH line may be formed farther from the liquid crystal region than the straight DD line.

(液晶装置の製造方法及び検査方法)   (Liquid crystal device manufacturing method and inspection method)

本実施形態にかかる液晶装置の製造方法及び検査方法は、略第1の実施形態と同様であるが検査用端子とコモン電極用配線18の検査領域32とが同一直線上にないので、検査用ピンが検査用端子及び検査領域に当接されるところを中心に説明する。   The manufacturing method and the inspection method of the liquid crystal device according to this embodiment are substantially the same as those of the first embodiment, but the inspection terminals and the inspection region 32 of the common electrode wiring 18 are not on the same straight line. The description will focus on the point where the pin contacts the inspection terminal and the inspection region.

例えばまず、検査装置37の検査用ピン38を張り出し部16上に制御部39の制御下、移動装置(図示しない)により移動させ、検査用端子22及び検査領域32のいずれか一方、例えば検査用端子22に検査用ピン38を当接できるようにアライメントマーク等を利用して正確に位置合わせする(ST104)。   For example, first, the inspection pin 38 of the inspection device 37 is moved onto the overhanging portion 16 by the moving device (not shown) under the control of the control unit 39, and either one of the inspection terminal 22 or the inspection region 32, for example, for inspection is used. Accurate alignment is performed using alignment marks or the like so that the inspection pins 38 can be brought into contact with the terminals 22 (ST104).

また、検査用ピン38が各検査用端子22に位置合わせできたら、制御部39は検査用ピン38を検査用端子22に移動装置により降下させ当接させる(ST105)。その後所定の電圧を検査用ピン38に印加させ、電気的良否の判定を制御部39がして検査用端子22の実質的な電気的検査例えばショート検査は終了する。   When the inspection pins 38 can be aligned with the respective inspection terminals 22, the control unit 39 lowers the inspection pins 38 against the inspection terminals 22 by the moving device and makes contact (ST105). After that, a predetermined voltage is applied to the inspection pin 38, and the control unit 39 determines the electrical quality, and the substantial electrical inspection of the inspection terminal 22, for example, the short inspection is completed.

この後、検査領域32の電気的検査をするために再びST104に戻り検査領域32に検査用ピン38を位置合わせ、当接させて所定の電圧を印加し電気的良否の判定をして検査領域32の実質的な電気的検査例えばショート検査は終了する。   Thereafter, in order to perform an electrical inspection of the inspection region 32, the process returns to ST104 again, the inspection pin 38 is aligned with the inspection region 32, and a predetermined voltage is applied to judge the electrical quality. 32 substantial electrical tests, such as a short test, are completed.

勿論、検査用端子用の検査用ピン38と検査領域用の検査用ピン38とを用意し、両方を同時に検査してもよい。これにより、検査のスピードアップを図れる。   Of course, the inspection pin 38 for the inspection terminal and the inspection pin 38 for the inspection area may be prepared, and both may be inspected at the same time. This can speed up the inspection.

このように本実施形態によれば、コモン電極用配線18の一部である検査領域32は、検査用端子22と平行な一直線上に並んで設けることとしたので、検査すべき電極の全てに対応する検査用端子22は設けることができない場合でも、コモン電極用配線18で容易に電気的検査ができる。また、そのコモン電極用配線18の一部である検査領域32を所定の方向に並べる場所の選択の自由度が高く配線の引き回しがより容易となる。   As described above, according to the present embodiment, the inspection region 32 that is a part of the common electrode wiring 18 is arranged in a straight line parallel to the inspection terminal 22, and therefore, all the electrodes to be inspected are provided. Even when the corresponding inspection terminal 22 cannot be provided, the common electrode wiring 18 can easily perform an electrical inspection. In addition, the degree of freedom in selecting a place where the inspection regions 32 that are part of the common electrode wiring 18 are arranged in a predetermined direction is high, and the wiring can be easily routed.

更に検査用端子22のピッチと検査領域32のピッチとを同一ピッチとしたので、検査用端子22に用いられる検査用ピン38と検査領域32に用いられる検査用ピン38とを共用でき、コストの低減と検査の容易化を図ることができる。   Furthermore, since the pitch of the inspection terminal 22 and the inspection area 32 are set to the same pitch, the inspection pin 38 used for the inspection terminal 22 and the inspection pin 38 used for the inspection area 32 can be shared. Reduction and easy inspection can be achieved.

(第5の実施形態)   (Fifth embodiment)

(電子機器)   (Electronics)

次に、上述した液晶装置1を備えた本発明の第5の実施形態に係る電子機器について説明する。   Next, an electronic apparatus according to the fifth embodiment of the present invention including the above-described liquid crystal device 1 will be described.

図14は本発明の第5の実施形態に係る電子機器の表示制御系の全体構成を示す概略構成図である。   FIG. 14: is a schematic block diagram which shows the whole structure of the display control system of the electronic device which concerns on the 5th Embodiment of this invention.

電子機器300は、表示制御系として例えば図14に示すように液晶パネル2及び表示制御回路390などを備え、その表示制御回路390は表示情報出力源391、表示情報処理回路392、電源回路393及びタイミングジェネレータ394などを有する。   The electronic device 300 includes a liquid crystal panel 2 and a display control circuit 390 as shown in FIG. 14 as a display control system, for example. The display control circuit 390 includes a display information output source 391, a display information processing circuit 392, a power supply circuit 393, and the like. A timing generator 394 and the like are included.

また、液晶パネル2には表示領域Gを駆動する駆動回路361を有する。   The liquid crystal panel 2 has a drive circuit 361 for driving the display area G.

表示情報出力源391は、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)などからなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスクなどからなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備えている。更に表示情報出力源391は、タイミングジェネレータ394によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの形で表示情報を表示情報処理回路392に供給するように構成されている。   The display information output source 391 includes a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), a storage unit such as a magnetic recording disk or an optical recording disk, and a tuning circuit that tunes and outputs a digital image signal. It has. Further, the display information output source 391 is configured to supply display information to the display information processing circuit 392 in the form of a predetermined format image signal or the like based on various clock signals generated by the timing generator 394.

また、表示情報処理回路392はシリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路などの周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号CLKと共に駆動回路361へ供給する。駆動回路361は、走査線駆動回路、データ線駆動回路及び検査回路を含む。また、電源回路393は、上述した各構成要素に夫々所定の電圧を供給する。   The display information processing circuit 392 includes various well-known circuits such as a serial-parallel conversion circuit, an amplification / inversion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit, and executes processing of input display information to display the image. Information is supplied to the drive circuit 361 together with the clock signal CLK. The driving circuit 361 includes a scanning line driving circuit, a data line driving circuit, and an inspection circuit. The power supply circuit 393 supplies a predetermined voltage to each component described above.

このように本実施形態によれば、電子機器300に用いられている液晶装置1は、コモン電極12に電気的に接続されたコモン電極用配線18を、少なくとも一部が検査領域32として所定の方向に並ぶように設けると共に、第1の基板5上の液晶駆動用IC19の実装領域B内にそのコモン電極用配線18の所定の方向と同じ方向に検査用端子22を並んで設けることとしたので、検査用端子22のみならず同じ方向に並んでいる検査領域32にも例えば検査用ピン38を容易に当接させ、検査することができる。   As described above, according to the present embodiment, the liquid crystal device 1 used in the electronic device 300 has the common electrode wiring 18 electrically connected to the common electrode 12 at least partially as a predetermined inspection region 32. The test terminals 22 are arranged in the same direction as the predetermined direction of the common electrode wiring 18 in the mounting region B of the liquid crystal driving IC 19 on the first substrate 5. Therefore, for example, the inspection pin 38 can be easily brought into contact with the inspection region 32 arranged in the same direction as well as the inspection terminal 22 for inspection.

この結果、例えば第1の基板5上の実装領域B内にセグメント電極8及びコモン電極12のすべてに対応した検査用端子22を配置しなくてもよくなるので、検査端子等の配置や配線の引き回し等が容易になり、コストも低減できる。   As a result, for example, the inspection terminals 22 corresponding to all of the segment electrode 8 and the common electrode 12 do not have to be arranged in the mounting region B on the first substrate 5. Etc., and the cost can be reduced.

特に携帯可能な電子機器にあっては、小型で且つ正確な機能を発揮できることが求められており、電極配線等の電気的検査を容易にかつ、低コストでできる本発明の意義は大きいといえる。   In particular, portable electronic devices are required to be small in size and capable of exhibiting accurate functions, and it can be said that the present invention that can easily perform electrical inspection of electrode wirings and the like at low cost is significant. .

具体的な電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピュータなどの他に液晶装置が搭載されたタッチパネル、プロジェクタ、液晶テレビやビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、上述した例えば液晶装置1が適用可能なのは言うまでもない。   Specific electronic devices include touch panels equipped with liquid crystal devices in addition to mobile phones and personal computers, projectors, liquid crystal televisions and viewfinder types, video tape recorders with direct view of monitors, car navigation systems, pagers, electronic notebooks, A calculator, a word processor, a workstation, a video phone, a POS terminal, etc. are mentioned. And it cannot be overemphasized that the liquid crystal device 1 mentioned above is applicable as a display part of these various electronic devices, for example.

なお、本発明の電気光学装置及び電子機器は、上述した例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得ることは勿論である。   Note that the electro-optical device and the electronic apparatus of the present invention are not limited to the above-described examples, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

例えば、上述した電気光学装置はいずれも液晶パネルを有する液晶装置であるが、無機或は有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置(Field Emission Display及びSurface‐Conduction Electron‐Emitter Display等)などの各種電気光学装置であってもよい。   For example, all of the above-described electro-optical devices are liquid crystal devices having a liquid crystal panel, but inorganic or organic electroluminescence devices, plasma display devices, electrophoretic display devices, devices using electron-emitting devices (Field Emission Display and Surface). -Various electro-optical devices such as a Conduction Electron-Emitter Display) may be used.

以上、好ましい実施形態を上げて本発明を説明したが、本発明は上述したいずれの実施形態にも限定されず、本発明の技術思想の範囲内で適宜変更して実施できる。   Although the present invention has been described above with the preferred embodiment, the present invention is not limited to any of the above-described embodiments, and can be implemented with appropriate modifications within the scope of the technical idea of the present invention.

例えば、上述の実施形態ではパッシブマトリクス型の液晶装置について説明したがこれに限られるものではなく、例えば薄膜トランジスタ素子アクティブマトリクス型、薄膜ダイオード素子アクティブマトリクス型の液晶装置であってもよい。更には、半透過型に限らず反射型、透過型であってもよい。これにより、多種多様な液晶装置についても、電極配線等の電気的検査をより低コストでしかも容易に実施できる。   For example, in the above-described embodiment, the passive matrix type liquid crystal device has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, a thin film transistor element active matrix type liquid crystal device or a thin film diode element active matrix type liquid crystal device may be used. Furthermore, not only a transflective type but also a reflective type and a transmissive type may be used. As a result, electrical inspection of electrode wirings and the like can be easily performed at a lower cost for a wide variety of liquid crystal devices.

また、上述の実施形態では例えばとして張り出し部16に実装される液晶駆動用IC19の実装領域に設けられた検査用端子等で説明したが、これに限られるものではなく例えば回路基板3に電子部品を実装するときについても同様に適用できる。更には電気光学装置に限らず半導体装置等にも適用可能である。これにより、より多様な電気光学装置や半導体装置等の電気的検査をより低コストでしかも容易に実施できることとなる。   In the above-described embodiment, for example, the inspection terminal provided in the mounting region of the liquid crystal driving IC 19 mounted on the overhanging portion 16 is described. However, the present invention is not limited to this. The same applies to the implementation of. Furthermore, the present invention can be applied not only to an electro-optical device but also to a semiconductor device. As a result, electrical inspection of more various electro-optical devices and semiconductor devices can be easily performed at a lower cost.

更に上述の実施形態では例えばとしてコモン電極用配線18の検査領域32に検査用ピン38を当接させるときに、各配線を絶縁材でモールドせずそのまま露出した状態で電気的検査をすることとしたが、これに限られるものではなく例えば検査用ピン38が当接する部分だけ露出し、そのほかの配線部分は絶縁材でモールドしてもよい。これにより、最終的に絶縁材でモールドするまで検査領域32でない配線部分が、酸化等により劣化する可能性を排除できる。また、検査用ピン38を検査用端子用と検査領域用との間にも連続して配置でき、より共用化が図れる。   Furthermore, in the above-described embodiment, for example, when the inspection pin 38 is brought into contact with the inspection region 32 of the common electrode wiring 18, electrical inspection is performed in a state where each wiring is exposed without being molded with an insulating material. However, the present invention is not limited to this. For example, only the portion where the inspection pin 38 abuts may be exposed, and other wiring portions may be molded with an insulating material. Thereby, it is possible to eliminate the possibility that the wiring portion that is not the inspection region 32 is deteriorated due to oxidation or the like until finally molded with an insulating material. In addition, the inspection pins 38 can be continuously arranged between the inspection terminal and the inspection region, so that more common use can be achieved.

第1の実施形態に係る液晶装置の概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a liquid crystal device according to a first embodiment. 図1のA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line of FIG. 第1の実施形態に係る液晶駆動用ICが実装される前の平面図である。FIG. 3 is a plan view before the liquid crystal driving IC according to the first embodiment is mounted. 図3のC−C線断面図である。It is CC sectional view taken on the line of FIG. 図3の検査用端子等の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of the inspection terminal and the like of FIG. 3. 第1の実施形態に係る液晶装置の製造方法のフローチャート図である。It is a flowchart figure of the manufacturing method of the liquid crystal device which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態のプローブ端子を検査用端子等に当接した状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which contact | abutted the probe terminal of 1st Embodiment to the terminal for a test | inspection. 他の検査用のプローブ端子の説明図である。It is explanatory drawing of the probe terminal for another test | inspection. 第2の実施形態に係る液晶駆動用ICが実装される前の部分拡大図である。It is the elements on larger scale before the liquid crystal drive IC which concerns on 2nd Embodiment is mounted. 第2の実施形態に係る検査用ピンが検査用端子等に当接する説明図である。It is explanatory drawing which the test | inspection pin which concerns on 2nd Embodiment contact | abuts to the terminal for a test | inspection. 第3の実施形態に係る液晶駆動用ICが実装される前の部分拡大図である。It is the elements on larger scale before the liquid crystal drive IC which concerns on 3rd Embodiment is mounted. 第3の実施形態に係る検査用ピンが検査用端子等に当接する説明図である。It is explanatory drawing which the test | inspection pin which concerns on 3rd Embodiment contact | abuts to the terminal for a test | inspection. 第4の実施形態に係る液晶駆動用ICが実装される前の部分拡大図である。It is the elements on larger scale before the liquid crystal drive IC which concerns on 4th Embodiment is mounted. 第5の実施形態に係る電子機器の表示制御系の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the display control system of the electronic device which concerns on 5th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 液晶装置、 2 液晶パネル、 3 回路基板、 4 シール材、 5 第1の基板、 6 第2の基板、 7 液晶、 8 セグメント電極、 9,13 オーバーコート層、 10,14 配向膜、 11,15 偏光板、 12 コモン電極、 16 張り出し部、 17 セグメント電極用配線、 18(18a,18b) コモン電極用配線、 19 液晶駆動用IC、 20 セグメント接続用端子、 21(21a,21b) コモン接続用端子、 22 検査用端子、 22a 上端、 22b 下端、 23 入力接続用端子、 24 外部接続用端子、 25 入力用配線、 27 バンプ、 28 ACF、 29 Ta層、 30 Cr層、 31 ITO層、 32 検査領域、 32a 検査領域上端、 32b 検査領域下端、 33 ベース基板、 34 配線パターン、 35 外部接続用ACF、 36 ギャップ材、 37 検査装置、 38 検査用ピン、 39 制御部、 40 電圧印加部、 41 フィルム、 42 配線、 43 プローブ端子バンプ、 44 絶縁層、 300 電子機器、 361 駆動回路、 390 表示制御回路   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal device, 2 Liquid crystal panel, 3 Circuit board, 4 Seal material, 5 1st board | substrate, 6 2nd board | substrate, 7 Liquid crystal, 8 Segment electrode, 9,13 Overcoat layer, 10,14 Alignment film, 11, 15 polarizing plate, 12 common electrode, 16 overhang, 17 segment electrode wiring, 18 (18a, 18b) common electrode wiring, 19 liquid crystal driving IC, 20 segment connection terminal, 21 (21a, 21b) common connection Terminal, 22 Inspection terminal, 22a Upper end, 22b Lower end, 23 Input connection terminal, 24 External connection terminal, 25 Input wiring, 27 Bump, 28 ACF, 29 Ta layer, 30 Cr layer, 31 ITO layer, 32 Inspection Area, 32a upper end of inspection area, 32b lower end of inspection area, 33 base substrate, 4 Wiring pattern, 35 ACF for external connection, 36 Gap material, 37 Inspection device, 38 Inspection pin, 39 Control unit, 40 Voltage application unit, 41 Film, 42 Wiring, 43 Probe terminal bump, 44 Insulating layer, 300 Electronic equipment 361 Drive circuit, 390 Display control circuit

Claims (10)

基板と、
前記基板に形成され、間隔を空けて複数の端子が並んで配置された第1の接続用端子群と、
前記基板に形成され、前記第1の接続用端子群の並んだ方向と交差する方向に配置された複数の端子を有する第2の接続用端子群と、
前記第1の接続用端子群に第1の配線を介して電気的に接続された一方の電極群と、
前記第2の接続用端子群に第2の配線を介して電気的に接続された他方の電極群と、
前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群に電気的に接続される第3の接続用端子群を実装面に有し、前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群と平面的に重なるように前記基板に実装される電子部品と、
前記電子部品が実装される領域に形成され、前記第1の接続用端子群を介して前記一方の電極群に電気的に接続され、前記第1の接続用端子の並んだ方向に前記間隔を空けて配置され、且つ前記第2の接続用端子群の配列する方向に短冊状に延在して設けられた複数の検査用端子を有する検査用端子群と、
前記電子部品が実装される領域外であって、各々の前記第2の配線の一部として形成されており、前記検査用端子の前記短冊状に延在する方向並行に延在して形成され、且つ各々が所定の間隔で配列されてなる検査領域と、を備え、
前記検査領域は、前記検査用端子群と同一線上に並んで設けられており、
前記第2の接続用端子群と前記検査領域との間の前記第2の配線は、前記検査用端子の前記第1の接続用端子群側から延在する方向において、平面視で前記検査用端子の端、及び前記検査領域の端よりも突出して引き回される部分を有することを特徴とする電気光学装置用基板。
A substrate,
A first connection terminal group formed on the substrate and arranged with a plurality of terminals arranged at intervals;
A second connection terminal group having a plurality of terminals formed on the substrate and arranged in a direction intersecting the direction in which the first connection terminal groups are arranged;
One electrode group electrically connected to the first connection terminal group via a first wiring;
The other electrode group electrically connected to the second connection terminal group via a second wiring;
The mounting surface includes a first connection terminal group and a third connection terminal group electrically connected to the second connection terminal group, the first connection terminal group, and the An electronic component mounted on the substrate so as to overlap the second connection terminal group in a plane;
Formed in a region where the electronic component is mounted, electrically connected to the one electrode group via the first connection terminal group, and the interval in the direction in which the first connection terminals are arranged. An inspection terminal group having a plurality of inspection terminals provided in a strip shape in the direction in which the second connection terminal group is arranged, and arranged in a vacant manner;
Forming said an area outside the electronic component is mounted, extends is formed as a part of each of the second wiring, parallel to the direction extending in the strip of the terminals for inspection It is, and each and an inspection region made are arranged at predetermined intervals,
The inspection region is provided side by side on the same line as the inspection terminal group ,
The second wiring between the second connection terminal group and the inspection region is in the direction extending from the first connection terminal group side of the inspection terminal in the plan view. A substrate for an electro-optical device , comprising: an end of a terminal; and a portion that protrudes from an end of the inspection region .
前記検査用端子群と前記検査領域とは離間されて配列されており、前記離間した間隔は、前記検査領域同士の間隔、及び前記検査用端子群同士の間隔のうち、一方の間隔に対して他方の間隔が整数倍であり、前記離間した間隔は、前記一方の間隔の整数倍であることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置用基板。 The inspection terminal group and the inspection region are arranged to be spaced apart from each other, and the separated distance is relative to one of the interval between the inspection regions and the interval between the inspection terminal groups. 2. The electro-optical device substrate according to claim 1, wherein the other interval is an integral multiple, and the separated interval is an integral multiple of the one interval. 前記検査領域の延在長さは、前記短冊状に延在して設けられた検査用端子の前記第1の接続用端子群側の端から前記第1の接続用端子群側とは反対側の端までの延在長さと同じであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電気光学装置用基板。 The extension length of the inspection region is opposite to the first connection terminal group side from the end on the first connection terminal group side of the inspection terminals provided extending in the strip shape. The substrate for an electro-optical device according to claim 1, wherein the extension length is the same as an extension length to the end of the electro-optical device. 請求項1乃至請求項3のうちいずれか一項に記載の電気光学装置用基板を用いた電気光学装置の検査方法において、
前記電子部品を前記基板に実装する前に、
前記検査用端子及び前記第2の配線の前記検査領域に検査用のプローブ端子を位置合わせする工程と、
前記位置合わせされた前記プローブ端子を前記検査用端子及び前記第2の配線の前記検査領域に当接する工程と、
前記プローブ端子に所定の電圧を印加することにより、少なくとも前記電極の電気的良否を検出する工程と、を具備することを特徴とする電気光学装置用基板の検査方法。
An inspection method for an electro-optical device using the substrate for an electro-optical device according to any one of claims 1 to 3,
Before mounting the electronic component on the substrate,
A step of aligning a probe terminal for inspection with the inspection region of the inspection terminal and the second wiring;
Abutting the aligned probe terminal with the inspection terminal and the inspection region of the second wiring; and
And a step of detecting at least the electrical quality of the electrode by applying a predetermined voltage to the probe terminal.
互いに対向して配置され、電気光学材料を狭持する第1の基板、及び第2の基板と、
前記第1の基板に設けられ、間隔を空けて複数の端子が並んで配置された第1の接続用端子群と、
前記第1の基板に設けられ、前記第1の接続用端子群の並んだ方向と交差する方向に配置された複数の端子を有する第2の接続用端子群と、
前記第1の接続用端子群に第1の配線を介して電気的に接続された第1の電極と、
前記第2の接続用端子群に第2の配線を介して電気的に接続された第2の電極と、
前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群に電気的に接続される第3の接続用端子群を実装面に有し、前記第1の接続用端子群、及び前記第2の接続用端子群と平面的に重なるように前記第1の基板に実装される電子部品と、
前記第1の基板の前記電子部品が実装される領域に形成され、前記第1の接続用端子群を介して前記第1の電極に電気的に接続されるとともに、前記第1の接続用端子の並んだ方向に前記間隔を空けて配置され、且つ前記第2の接続用端子の配列方向に短冊状に延在して設けられた複数の検査用端子を有する検査用端子群と、
前記第1の基板の前記電子部品が実装される領域外に形成され、各々の前記第2の配線の一部として形成されるとともに、前記検査用端子の前記短冊状に延在する方向行に延在して形成され、且つ各々が所定の間隔で配列されてなる検査領域と、を具備し、
前記第2の配線の前記検査領域は、前記検査用端子群と同一直線上に並んで設けられており、
前記第2の接続用端子群と前記検査領域との間の前記第2の配線は、前記検査用端子の前記第1の接続用端子群側から延在する方向において、平面視で前記検査用端子の端、及び前記検査領域の端よりも突出して引き回される部分を有することを特徴とする電気光学装置。
A first substrate disposed opposite to each other and sandwiching an electro-optic material; and a second substrate;
A first connection terminal group provided on the first substrate and arranged with a plurality of terminals arranged at intervals;
A second connection terminal group having a plurality of terminals provided on the first substrate and arranged in a direction intersecting the direction in which the first connection terminal groups are arranged;
A first electrode electrically connected to the first connection terminal group via a first wiring;
A second electrode electrically connected to the second connection terminal group via a second wiring;
The mounting surface includes a first connection terminal group and a third connection terminal group electrically connected to the second connection terminal group, the first connection terminal group, and the An electronic component mounted on the first substrate so as to overlap the second connection terminal group in a plane;
The first substrate is formed in a region where the electronic component is mounted on the first substrate, and is electrically connected to the first electrode via the first connection terminal group, and the first connection terminal. aligned is spaced the distance in the direction, and and the second testing terminal group having a plurality of test terminals provided to extend in a strip shape in the arrangement direction of the connection terminals of,
The first board is formed outside the area where the electronic component is mounted, is formed as a part of each of the second wirings, and is parallel to the direction of the inspection terminal extending in the strip shape. An inspection area formed extending in rows and arranged at predetermined intervals, and
The inspection area of the second wiring is provided on the same straight line as the inspection terminal group ,
The second wiring between the second connection terminal group and the inspection region is in the direction extending from the first connection terminal group side of the inspection terminal in the plan view. An electro-optical device comprising: an end of a terminal; and a portion that is led out from an end of the inspection region .
前記第2の配線の前記検査領域は、前記検査用端子群のピッチの整数倍のピッチで設けられていることを特徴とする請求項に記載の電気光学装置。 6. The electro-optical device according to claim 5 , wherein the inspection area of the second wiring is provided at a pitch that is an integral multiple of the pitch of the inspection terminal group. 前記検査領域の延在長さは、前記短冊状に延在して設けられた検査用端子の前記第1の接続用端子群側の端から前記第1の接続用端子群側とは反対側の端までの延在長さと同じであることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の電気光学装置。 The extension length of the inspection region is opposite to the first connection terminal group side from the end on the first connection terminal group side of the inspection terminals provided extending in the strip shape. The electro-optical device according to claim 5, wherein the length of the electro-optical device is the same as the extension length to the end of the electro-optical device. 前記第2の配線の前記検査領域と、前記第2の配線の前記検査領域に隣り合う前記検査用端子群の検査用端子との距離が、前記検査用端子のピッチの整数倍であることを特徴とする請求項乃至請求項のうちいずれか一項に記載の電気光学装置。 The distance between the inspection area of the second wiring and the inspection terminal of the inspection terminal group adjacent to the inspection area of the second wiring is an integer multiple of the pitch of the inspection terminals. The electro-optical device according to claim 5 , wherein the electro-optical device is any one of claims 5 to 7 . 請求項乃至請求項のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査方法において、
前記電子部品を前記第1の基板に実装する前に、
前記検査用端子群及び前記第2の配線の前記検査領域に検査用のプローブ端子を位置合わせする工程と、
前記位置合わせする工程により位置合わせされた前記プローブ端子を前記検査用端子群及び前記第2の配線の前記検査領域に当接する工程と、
前記プローブ端子に所定の電圧を印加することにより、少なくとも前記第1及び第2の電極の電気的良否を検出する工程と、
を具備することを特徴とする電気光学装置の検査方法。
The inspection method for an electro-optical device according to any one of claims 5 to 8 ,
Before mounting the electronic component on the first substrate,
Aligning an inspection probe terminal with the inspection region of the inspection terminal group and the second wiring;
Abutting the probe terminals aligned in the alignment step with the inspection terminal group and the inspection region of the second wiring; and
Detecting at least electrical quality of the first and second electrodes by applying a predetermined voltage to the probe terminal; and
An inspection method for an electro-optical device, comprising:
請求項4乃至請求項のうちいずれか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to any one of claims 4 to 8 .
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JP2000321591A (en) * 1999-05-14 2000-11-24 Nec Corp Liquid crystal display device
JP2001075501A (en) * 1999-07-02 2001-03-23 Seiko Instruments Inc Display device and method for inspection of display device
JP2003066870A (en) * 2001-08-24 2003-03-05 Seiko Epson Corp Electrooptic panel and its inspecting method, and electronic equipment

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