JP4484012B2 - X-ray fluoroscopic equipment - Google Patents

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JP4484012B2 JP2001127108A JP2001127108A JP4484012B2 JP 4484012 B2 JP4484012 B2 JP 4484012B2 JP 2001127108 A JP2001127108 A JP 2001127108A JP 2001127108 A JP2001127108 A JP 2001127108A JP 4484012 B2 JP4484012 B2 JP 4484012B2
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非破壊検査などに用いられる産業用のＸ線透視撮影装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
産業用のＸ線透視撮影装置においては、一般に、Ｘ線源からのＸ線の光軸上にＸ線検出器を対向配置するとともに、その間に被写体となる試料を保持する試料ステージを配置し、Ｘ線検出器の出力を画素情報として試料ステージに保持された試料のＸ線透視像を表示器に表示するように構成されている。また、この構成において、通常、Ｘ線源、Ｘ線検出器および試料ステージのうち、いずれか２つをＸ線の光軸方向に移動させることによって撮影倍率を変化させる機能を備えるとともに、試料ステージをＸ線光軸に直交する面内で移動させて、Ｘ線検出器に対する試料の位置決め、つまり表示器の画面上での試料像の位置決めを行う機能を備えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えばある種の半導体装置においては、加熱状態におけるＸ線透視像を観察する必要のあるものがあり、このような要求に対しては、試料ステージにヒータを内蔵させる等によって試料ステージに保持されている試料を所要温度に加熱する機能を持たせる必要がある。
【０００４】
ここで、試料ステージに上記のような試料の加熱機能や、あるいは冷却機能を設けた場合、その加熱ないしは冷却機能を駆動することにより、試料ステージの熱膨張ないしは収縮により試料が移動し、表示器の画面上での試料像の位置が変化する。特に、高い撮影倍率に設定している場合にはその移動量が大きく、高撮影倍率のもとに加熱過程での試料のＸ線透視像を観察する必要のある場合には、観察中に試料ステージを絶えず移動させる必要があって、その作業は極めて面倒であるという問題がある。
【０００５】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、試料ステージに試料の加熱および／または冷却機能を設けたＸ線透視撮影装置において、その加熱および／または冷却機能により試料を加熱ないしは冷却しても、表示器の画面上での試料像の移動を防止することのできるＸ線透視撮影装置の提供を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のＸ線透視撮影装置は、Ｘ線源と、このＸ線源に対してその光軸上に対向配置されたＸ線検出器と、そのＸ線検出器とＸ線源の間に配置された試料ステージと、その試料ステージをＸ線光軸に直交する面上で移動させる駆動機構と、上記Ｘ線検出器の出力に基づく試料のＸ線透過像を表示する表示器を備えたＸ線透視撮影装置において、上記試料ステージに試料を加熱および／または冷却するための加熱および／または冷却手段を備えるとともに、上記表示器の画面上での試料のＸ線透過像の移動量を算出する移動量演算手段と、その移動量演算手段による算出結果を用いて、上記表示器の画面上での試料のＸ線透過像の移動を打ち消すように上記駆動機構を駆動制御する駆動制御手段を備えていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【０００７】
ここで、本発明においては、上記画像移動量演算手段による画面上での試料のＸ線透過像の移動量の算出手法として、所定の微小時間ごとの画素情報の相互相関関数を用いる手法を好適に採用することができる（請求項２）。
【０００８】
本発明は、試料ステージに加熱手段または冷却手段、もしくはその両方を設けて試料を加熱ないしは冷却した状態でそのＸ線透視像を観察できるように構成したＸ線撮影装置において、画面上での試料のＸ線透視像の移動量を刻々と算出し、その算出結果に基づいて試料ステージの駆動機構を自動制御することにより、所期の目的を達成するものである。
【０００９】
すなわち、試料ステージに保持されている試料を加熱もしくは冷却することに起因する試料のＸ線透視像の移動を、試料そのものの移動量をセンサで計測したり、あるいは試料ステージの温度計測により間接的に計測するのではなく、画面上での試料のＸ線透視像自体の移動量を算出し、その算出結果に基づいて試料ステージの駆動機構を制御することにより、撮影倍率の大小の影響を受けることなく、制御の誤差を可及的に少なくして試料ステージの膨張／収縮に伴うＸ線透視像の移動を防止することができる。
【００１０】
また、請求項２に係る発明のように、画面上での試料のＸ線透視像の移動量の算出を、微小時間ごとの画素情報の相互相関関数を用いた演算によって行うことにより、試料のＸ線透視像の重心位置の刻々の移動量を正確に知ることができ、試料のＸ線透視像のエッジ部分の移動量を求める手法等に比して、画像の鮮明度などの影響を受けることがなく、画面上でのＸ線透視像の移動を確実に防止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図であり、図２はその試料ステージ３の要部拡大断面図である。
【００１２】
Ｘ線源１はそのＸ線光軸を水平に向けて配置されており、そのＸ線光軸上にＸ線源１に対向してＸ線検出器２が配置されている。そして、これらのＸ線源と１とＸ線検出器２の間に、試料Ｗを保持するための試料ステージ３が配置されている。
【００１３】
Ｘ線源１は装置フレーム１０に固定されており、Ｘ線検出器２は検出器駆動機構４によってＸ線光軸方向（ｘ方向）に移動可能に構成され、また、試料ステージ３は、試料ステージ駆動機構５によって、上記と同じくＸ線光軸方向（ｘ方向）のほか、そのｘ方向に直交する面上で互いに直交するｙ方向およびｚ方向にそれぞれ移動可能に構成されている。検出器駆動機構４は１つのモータ（図示せず）を駆動源としており、ドライバ４ｘから供給される駆動信号によって動作する。また、試料ステージ駆動機構５は、ｘ，ｙ，ｚ軸に対応する３つのモータ（いずれも図示せず）を駆動源とし、これらの各モータに対応して設けられているドライバ５ｘ，５ｙ，５ｚからそれぞれ供給される駆動信号によって、対応する軸ごとに動作する。
【００１４】
試料ステージ３はヒータ３１および温度センサ３２を内蔵しており、ヒータ３１の温度は、試料Ｗに近接して配置された温度センサ３２による検出信号を入力する温度調節回路３１ａによって、所要温度に制御される。また、試料ステージ３上に保持された試料Ｗには保温用の蓋３３が被せられる。
【００１５】
Ｘ線検出器２の出力は、画像取込回路６を介して制御装置７の画像処理部７１に取り込まれ、この画像処理部７１では、Ｘ線検出器２からの各画素情報を用いてＸ線透視像を構築し、表示器８に表示する。
【００１６】
制御装置７は、実際にはコンピュータとその周辺機器によって構成され、インストールされているプログラムに従って動作するのであるが、この図１においては、そのプログラムが有する主要な機能ごとにブロック図で表しており、上記した画像処理部７１のほか、検出器駆動制御部７２、試料ステージ駆動制御部７３、試料温度設定部７４、および画像移動量演算部７５を有している。
【００１７】
検出器駆動制御部７２および試料ステージ駆動制御部７３は、制御装置４に接続されている操作部９の操作により動作し、オペレータが操作部９の所要のスイッチないしはキーを操作することにより、それに対応してＸ線検出器２をｘ方向に、あるいは試料ステージ３をｘ，ｙ，ｚ方向にそれぞれ移動させるための制御信号をそれぞれドライバ４ｘ，５ｘ，５ｙおよび５ｚに出力する。また、試料温度設定部７４は、同じく操作部９の操作によって設定された試料加熱温度に従い、温度調節回路３１ａに対して制御信号を供給する。
【００１８】
画像移動量演算部７５は、操作部９の操作により試料ステージ３およびＸ線検出器２を移動させていない状態において、画像取込回路６を介して刻々と取り込んだＸ線検出器２からの画素データを、所定の微小時間ごとに相互相関関数を算出することによって、表示器８の試料像の刻々の移動量を算出する。
【００１９】
すなわち、試料ステージ３に内蔵しているヒータ３１を駆動して試料Ｗを加熱し、あるいは加熱後の放冷により試料ステージ３の温度が変化すると、試料ステージ３の熱膨張または収縮により、試料Ｗがｚ方向に移動する。この移動により、表示器８の試料ＷのＸ線透視像も同方向に移動する。表示器８の画像における各画素の座標を（ｙi ，ｚj ）とし、ｉ＝１〜ｎ，ｊ＝１〜ｍとしたとき、画像移動量演算部７５では、Ｘ線検出器２からの画素データを一定の微小時間ごとに取り込み、その取り込みごとに、先に取り込んだ各画素の輝度データＩM1（ｙi ，ｚj ）と後に取り込んだ各画素の輝度データＩM2（ｙi ，ｚj ）の相互相関関数を演算する。この相互相関関数は、
【００２０】
【数１】

Figure 0004484012
【００２１】
で表され、グラフで表すと図３に示す通りとなる。この相互相関関数のピーク位置ｄ0 は、表示器８の画面上での試料のＸ線透視像の重心位置のｚ方向への移動量を正確に表す。このピーク位置の算出に際しては、ピーク位置近傍の３点もしくは５点のデータをもとに補間演算を行うことで、このピーク位置の空間分解能を画素分解能以上に高くすることが可能となり、極めて厳密に画面上での試料像の移動量を算出することができる。
【００２２】
そして、このように画面上での試料像のｚ方向への移動量を刻々と求めるごとに、その求めた結果を試料ステージ駆動制御部７３にフィードバックし、ドライバ５ｚに制御信号を供給して試料台ステージ３をｚ方向に移動させる。この動作により、表示器８の画面上での試料ＷのＸ線透視像はｚ方向に常に静止した状態となり、ヒータ３１の駆動による試料ステージ３の熱膨張／収縮に起因して試料Ｗが移動しても、その移動を打ち消すように試料ステージ３が移動し、画面上での試料ＷのＸ線透視像は静止状態を保つ。
【００２３】
なお、画面上での試料ＷのＸ線透視像の移動量の算出に当たり、前記した例に代えて、一定の微小時間を挟んでその前後に取り込んだ画素の輝度データＩM1，ＩM2を、各ｚ位置においてｙ方向に加算したプロファイルで相互相関関数を求めてもよい。この場合の関数は、各画素の座標を前記した通りに定義したとき、
【００２４】
【数２】
Figure 0004484012
【００２５】
となり、そのピーク位置を求めることにより、画面上での試料ＷのＸ線透視像の移動量ｄ0 を同様にして求めることができる。この場合、前記した例に比べてやや精度は劣るが、計算に要する時間を短縮できるという利点がある。
【００２６】
また、以上の実施の形態においては、試料ステージ３内にヒータ３１を内蔵して試料Ｗを加熱する場合の例について述べたが、加熱の手段としてはこのようなヒータ３１の内蔵に限らず、温風を吹き付ける方法などの他の方法を採用し得ることは勿論であり、また、本発明は、試料Ｗを加熱する他、試料Ｗの冷却手段を設けた場合においても、その冷却による試料ステージ３の収縮、あるいは冷却後の自然の温度上昇時における膨張による試料ステージ３の膨張に対しても、全く同様に対処して試料ＷのＸ線透視像の移動を防止し得ることは言うまでもない。
【００２７】
更に、以上の実施の形態においては、Ｘ線源１とＸ線検出器２を水平方向に配置した例を示したが、鉛直方向に配置した装置にも本発明を等しく適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、試料ステージに試料の加熱および／または冷却機能を備えたＸ線透視撮影装置において、表示器の画面上での試料のＸ線透視像の移動量を算出するとともに、その算出結果に基づいて、画面上での試料のＸ線透視像の移動を打ち消すように試料ステージの駆動機構に対して制御信号を供給するので、試料の加熱ないしは冷却時における試料ステージの熱膨張ないしは収縮によって試料が変位しても、その変位を打ち消すように試料ステージが自動的に移動し、試料のＸ線透視像の移動を防止することができる。
【００２９】
また、請求項２に係る発明のように、試料のＸ線透視像の移動量の算出を、所定の微小時間ごとの画素情報の相互相関関数を用いて行うことにより、試料像の重心位置の移動量を正確に求めることができ、試料像のエッジ等の移動等からその移動量を算出する場合に比して、画像の鮮明度等の影響を受けることがないという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】図１における試料ステージ３の要部拡大断面図である。
【図３】本発明の実施の形態における画像移動量演算部７５による微小時間間隔で取り込んだ画素データの相互相関関数の計算結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１ Ｘ線源
２ Ｘ線検出器
３ 試料ステージ
３１ ヒータ
３１ａ 温度調節回路
３２ 温度センサ
４ 検出器駆動機構
４ｘ ドライバ
５ 試料ステージ駆動機構
５ｘ，５ｙ，５ｚ ドライバ
６ 画像取込回路
７ 演算装置
７１ 画像処理部
７２ 検出器駆動制御部
７３ 試料ステージ駆動制御部
７４ 試料温度設定部
７５ 画像移動量演算部
８ 表示器
９ 操作部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an industrial X-ray fluoroscopic apparatus used for nondestructive inspection and the like.
[0002]
[Prior art]
In an industrial X-ray fluoroscopic apparatus, in general, an X-ray detector is disposed oppositely on an optical axis of an X-ray from an X-ray source, and a sample stage for holding a sample serving as a subject is disposed therebetween. An X-ray fluoroscopic image of the sample held on the sample stage is displayed on the display using the output of the X-ray detector as pixel information. In this configuration, the sample stage is usually provided with a function of changing the imaging magnification by moving any two of the X-ray source, the X-ray detector, and the sample stage in the optical axis direction of the X-ray. Is moved in a plane orthogonal to the X-ray optical axis to position the sample with respect to the X-ray detector, that is, to position the sample image on the display screen.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, for example, in some types of semiconductor devices, it is necessary to observe an X-ray fluoroscopic image in a heated state. To meet such a requirement, the sample stage is held by a heater or the like. It is necessary to provide a function for heating the sample being heated to a required temperature.
[0004]
Here, when the sample stage is provided with the sample heating function or the cooling function as described above, the sample is moved by the thermal expansion or contraction of the sample stage by driving the heating or cooling function, and the display The position of the sample image on the screen changes. In particular, when a high imaging magnification is set, the amount of movement is large, and when it is necessary to observe a fluoroscopic image of the sample during the heating process under a high imaging magnification, There is a problem that it is necessary to constantly move the stage, and the work is extremely troublesome.
[0005]
The present invention has been made in view of such circumstances, and in an X-ray fluoroscopic apparatus in which a sample stage is provided with a sample heating and / or cooling function, the sample is heated or cooled by the heating and / or cooling function. However, an object of the present invention is to provide an X-ray fluoroscopic apparatus capable of preventing the movement of the sample image on the display screen.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an X-ray fluoroscopic apparatus of the present invention includes an X-ray source, an X-ray detector disposed on the optical axis of the X-ray source, and the X-ray detector. A sample stage disposed between the X-ray source, a drive mechanism for moving the sample stage on a plane orthogonal to the X-ray optical axis, and an X-ray transmission image of the sample based on the output of the X-ray detector. In an X-ray fluoroscopic apparatus having a display for displaying, the sample stage includes heating and / or cooling means for heating and / or cooling the sample, and X-rays of the sample on the screen of the display Using the movement amount calculation means for calculating the movement amount of the transmission image and the calculation result by the movement amount calculation means, the drive mechanism is set so as to cancel the movement of the X-ray transmission image of the sample on the screen of the display. Having drive control means for driving control It characterized me (claim 1).
[0007]
Here, in the present invention, as a method for calculating the amount of movement of the X-ray transmission image of the sample on the screen by the image movement amount calculation means, a method using a cross-correlation function of pixel information every predetermined minute time is suitable. (Claim 2).
[0008]
The present invention provides a sample on a screen in an X-ray imaging apparatus configured to provide a heating means and / or cooling means on a sample stage so that the X-ray fluoroscopic image can be observed with the sample heated or cooled. The intended amount is achieved by calculating the movement amount of the X-ray fluoroscopic image every moment and automatically controlling the driving mechanism of the sample stage based on the calculation result.
[0009]
That is, the movement of the fluoroscopic image of the sample caused by heating or cooling the sample held on the sample stage is measured indirectly by measuring the amount of movement of the sample itself with a sensor or by measuring the temperature of the sample stage. The amount of movement of the X-ray fluoroscopic image of the sample itself on the screen is calculated, and the driving mechanism of the sample stage is controlled based on the calculation result. Therefore, it is possible to prevent the movement of the X-ray fluoroscopic image accompanying the expansion / contraction of the sample stage by reducing the control error as much as possible.
[0010]
Further, as in the invention according to claim 2, the amount of movement of the X-ray fluoroscopic image of the sample on the screen is calculated by an operation using the cross-correlation function of the pixel information for each minute time. The amount of movement of the center of gravity position of the X-ray fluoroscopic image can be accurately known, and it is affected by the sharpness of the image as compared with the method for obtaining the amount of movement of the edge portion of the X-ray fluoroscopic image of the sample. This can reliably prevent the movement of the fluoroscopic image on the screen.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention, and is a diagram showing a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing an electrical configuration. FIG. 2 is an enlarged view of a main part of the sample stage 3. It is sectional drawing.
[0012]
The X-ray source 1 is disposed with its X-ray optical axis oriented horizontally, and an X-ray detector 2 is disposed on the X-ray optical axis so as to face the X-ray source 1. A sample stage 3 for holding the sample W is disposed between the X-ray source 1 and the X-ray detector 2.
[0013]
The X-ray source 1 is fixed to the apparatus frame 10, the X-ray detector 2 is configured to be movable in the X-ray optical axis direction (x direction) by the detector drive mechanism 4, and the sample stage 3 is The stage drive mechanism 5 is configured to be movable in the y-direction and z-direction orthogonal to each other on the plane orthogonal to the x-direction in addition to the X-ray optical axis direction (x-direction) as described above. The detector drive mechanism 4 uses one motor (not shown) as a drive source, and operates according to a drive signal supplied from the driver 4x. The sample stage drive mechanism 5 uses three motors (not shown) corresponding to the x, y, and z axes as drive sources, and drivers 5x, 5y, and 5 provided corresponding to these motors. Each axis is operated by a driving signal supplied from 5z.
[0014]
The sample stage 3 includes a heater 31 and a temperature sensor 32, and the temperature of the heater 31 is controlled to a required temperature by a temperature adjustment circuit 31a that inputs a detection signal from the temperature sensor 32 disposed in the vicinity of the sample W. Is done. The sample W held on the sample stage 3 is covered with a heat retaining lid 33.
[0015]
The output of the X-ray detector 2 is captured by the image processing unit 71 of the control device 7 via the image capturing circuit 6, and the image processing unit 71 uses each pixel information from the X-ray detector 2 to perform X A fluoroscopic image is constructed and displayed on the display 8.
[0016]
The control device 7 is actually composed of a computer and its peripheral devices and operates in accordance with an installed program. In FIG. 1, the main function of the program is represented by a block diagram. In addition to the image processing unit 71 described above, a detector drive control unit 72, a sample stage drive control unit 73, a sample temperature setting unit 74, and an image movement amount calculation unit 75 are provided.
[0017]
The detector drive control unit 72 and the sample stage drive control unit 73 are operated by operation of the operation unit 9 connected to the control device 4, and the operator operates a required switch or key of the operation unit 9 to operate it. Correspondingly, control signals for moving the X-ray detector 2 in the x direction or the sample stage 3 in the x, y and z directions are output to the drivers 4x, 5x, 5y and 5z, respectively. The sample temperature setting unit 74 supplies a control signal to the temperature adjustment circuit 31a according to the sample heating temperature set by the operation of the operation unit 9 in the same manner.
[0018]
The image movement amount calculation unit 75 is supplied from the X-ray detector 2 that is captured every moment via the image capturing circuit 6 when the sample stage 3 and the X-ray detector 2 are not moved by the operation of the operation unit 9. By calculating a cross-correlation function for the pixel data every predetermined minute time, the amount of movement of the sample image of the display unit 8 is calculated.
[0019]
That is, when the sample W is heated by driving the heater 31 built in the sample stage 3 or the temperature of the sample stage 3 is changed by cooling after heating, the sample W 3 is thermally expanded or contracted. Moves in the z direction. By this movement, the X-ray fluoroscopic image of the sample W on the display 8 also moves in the same direction. When the coordinates of each pixel in the image of the display device 8 are (y i , z j ) and i = 1 to n and j = 1 to m, the image movement amount calculation unit 75 receives from the X-ray detector 2. The pixel data is taken in every certain minute time, and each time the pixel data is taken in, the luminance data I M1 (y i , z j ) of each pixel taken in first and the luminance data I M2 (y i , z in each pixel taken later) j ) The cross-correlation function is calculated. This cross-correlation function is
[0020]
[Expression 1]
Figure 0004484012
[0021]
When represented in a graph, it is as shown in FIG. The peak position d 0 of this cross-correlation function accurately represents the amount of movement in the z direction of the barycentric position of the X-ray fluoroscopic image of the sample on the screen of the display 8. When calculating this peak position, it is possible to make the spatial resolution of the peak position higher than the pixel resolution by performing an interpolation calculation based on the data of 3 or 5 points in the vicinity of the peak position. In addition, the amount of movement of the sample image on the screen can be calculated.
[0022]
Each time the amount of movement of the sample image in the z direction on the screen is obtained in this way, the obtained result is fed back to the sample stage drive control unit 73, and a control signal is supplied to the driver 5z to supply the sample. The stage stage 3 is moved in the z direction. By this operation, the X-ray fluoroscopic image of the sample W on the screen of the display 8 is always stationary in the z direction, and the sample W moves due to the thermal expansion / contraction of the sample stage 3 driven by the heater 31. Even so, the sample stage 3 moves so as to cancel the movement, and the X-ray fluoroscopic image of the sample W on the screen remains stationary.
[0023]
In calculating the movement amount of the X-ray fluoroscopic image of the sample W on the screen, instead of the above-described example, the luminance data I M1 and I M2 of the pixels captured before and after a certain minute time are obtained. You may obtain | require a cross correlation function with the profile added to the y direction in each z position. The function in this case is as follows:
[0024]
[Expression 2]
Figure 0004484012
[0025]
Thus, by obtaining the peak position, the movement amount d 0 of the X-ray fluoroscopic image of the sample W on the screen can be obtained in the same manner. In this case, the accuracy is slightly inferior to the above-described example, but there is an advantage that the time required for calculation can be shortened.
[0026]
Moreover, in the above embodiment, although the example in the case of heating the sample W by incorporating the heater 31 in the sample stage 3 was described, the heating means is not limited to such a built-in heater 31, It goes without saying that other methods such as a method of blowing warm air can be adopted. In addition to heating the sample W, the present invention also provides a sample stage by cooling the sample W even when a cooling means for the sample W is provided. Needless to say, the X-ray fluoroscopic image of the sample W can be prevented from being moved in the same manner with respect to the expansion of the sample stage 3 due to the contraction of 3 or the expansion at the time of natural temperature rise after cooling.
[0027]
Further, in the above embodiment, the example in which the X-ray source 1 and the X-ray detector 2 are arranged in the horizontal direction has been shown, but the present invention can be equally applied to an apparatus arranged in the vertical direction.
[0028]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the amount of movement of the X-ray fluoroscopic image of the sample on the screen of the display is calculated in the X-ray fluoroscopic apparatus having the sample stage having the function of heating and / or cooling the sample. In addition, since a control signal is supplied to the driving mechanism of the sample stage so as to cancel the movement of the X-ray fluoroscopic image of the sample on the screen based on the calculation result, the sample stage at the time of heating or cooling of the sample Even if the sample is displaced due to thermal expansion or contraction of the sample, the sample stage automatically moves so as to cancel the displacement, and movement of the X-ray fluoroscopic image of the sample can be prevented.
[0029]
Further, as in the invention according to claim 2, the movement amount of the X-ray fluoroscopic image of the sample is calculated using the cross-correlation function of the pixel information for each predetermined minute time, thereby obtaining the position of the center of gravity of the sample image. There is an advantage that the amount of movement can be obtained accurately, and that the amount of movement is not affected by the sharpness of the image as compared with the case where the amount of movement is calculated from the movement of the edge of the sample image.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention, and is a diagram illustrating a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing an electrical configuration.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a sample stage 3 in FIG.
FIG. 3 is a graph showing a calculation result of a cross-correlation function of pixel data captured at a minute time interval by an image movement amount calculation unit 75 in the embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray source 2 X-ray detector 3 Sample stage 31 Heater 31a Temperature control circuit 32 Temperature sensor 4 Detector drive mechanism 4x Driver 5 Sample stage drive mechanism 5x, 5y, 5z Driver 6 Image capture circuit 7 Arithmetic device 71 Image processing Unit 72 Detector drive control unit 73 Sample stage drive control unit 74 Sample temperature setting unit 75 Image movement amount calculation unit 8 Display unit 9 Operation unit

Claims (2)

Ｘ線源と、このＸ線源に対してその光軸上に対向配置されたＸ線検出器と、そのＸ線検出器とＸ線源の間に配置された試料ステージと、その試料ステージをＸ線光軸方向およびそれに直交する面上で移動させる駆動機構と、上記Ｘ線検出器の出力に基づく試料のＸ線透過像を表示する表示器を備えたＸ線透視撮影装置において、
上記試料ステージに試料を加熱および／または冷却するための加熱および／または冷却手段を備えるとともに、上記表示器の画面上での試料のＸ線透過像の移動量を算出する画像移動量演算手段と、その画像移動量演算手段による算出結果を用いて、上記表示器の画面上での試料のＸ線透過像の移動を打ち消すように上記駆動機構を制御する駆動制御手段を備えていることを特徴とするＸ線透視撮影装置。An X-ray source, an X-ray detector disposed on the optical axis with respect to the X-ray source, a sample stage disposed between the X-ray detector and the X-ray source, and the sample stage In an X-ray fluoroscopic imaging apparatus comprising: a drive mechanism that moves in an X-ray optical axis direction and a plane orthogonal thereto; and a display that displays an X-ray transmission image of a sample based on the output of the X-ray detector.
An image movement amount calculation means for calculating a movement amount of an X-ray transmission image of the sample on the screen of the display, and a heating and / or cooling means for heating and / or cooling the sample on the sample stage; And a drive control means for controlling the drive mechanism so as to cancel the movement of the X-ray transmission image of the sample on the screen of the display using the calculation result by the image movement amount calculation means. X-ray fluoroscopic apparatus. 上記画像移動量演算手段が、所定の微小時間ごとの画素情報の相互相関関数を用いて画像の移動量を算出することを特徴とする請求項１に記載のＸ線透視撮影装置。The X-ray fluoroscopic imaging apparatus according to claim 1, wherein the image movement amount calculation means calculates an image movement amount using a cross-correlation function of pixel information for each predetermined minute time.
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