JP4459682B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents

Manufacturing method of color filter Download PDF

Info

Publication number
JP4459682B2
JP4459682B2 JP2004103484A JP2004103484A JP4459682B2 JP 4459682 B2 JP4459682 B2 JP 4459682B2 JP 2004103484 A JP2004103484 A JP 2004103484A JP 2004103484 A JP2004103484 A JP 2004103484A JP 4459682 B2 JP4459682 B2 JP 4459682B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photocatalyst
layer
containing layer
wettability
energy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004103484A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2005292228A (en
Inventor
弘典 小林
雄介 鵜野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP2004103484A priority Critical patent/JP4459682B2/en
Publication of JP2005292228A publication Critical patent/JP2005292228A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4459682B2 publication Critical patent/JP4459682B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

本発明は、光触媒の作用による表面の濡れ性の差を利用して着色層が形成される、カラー液晶ディスプレイに好適なカラーフィルタの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a color filter suitable for a color liquid crystal display in which a colored layer is formed by utilizing the difference in wettability of the surface due to the action of a photocatalyst.

近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、このカラー液晶ディスプレイが高価であることから、コストダウンの要求が高まっており、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタに対するコストダウンの要求が高い。   In recent years, with the development of personal computers, especially portable personal computers, the demand for liquid crystal displays, particularly color liquid crystal displays, has been increasing. However, since this color liquid crystal display is expensive, there is an increasing demand for cost reduction, and in particular, there is a high demand for cost reduction for a color filter having a high specific gravity.

このようなカラーフィルタにおいては、通常赤(R)、緑(G)、および青(B)の3原色の着色パターンを備え、R、G、およびBのそれぞれの画素に対応する電極をON、OFFさせることで液晶がシャッタとして作動し、R、G、およびBのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。   In such a color filter, it is usually provided with coloring patterns of three primary colors of red (R), green (G), and blue (B), and electrodes corresponding to the respective pixels of R, G, and B are turned on, By turning it off, the liquid crystal operates as a shutter, and light passes through each of the R, G, and B pixels, and color display is performed.

従来より行われているカラーフィルタの製造方法としては、顔料分散法がある。この方法は、まず基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより単色のパターンを得る。さらにこの工程を3回繰り返すことにより、R、G、およびBのカラーフィルタ層を形成する。
さらに他の方法としては、電着法や、熱硬化樹脂に顔料を分散させてR、G、およびBの3回印刷を行った後、樹脂を熱硬化させる方法等を挙げることができる。しかしながら、いずれの方法も、R、G、およびBの3色を着色するために、同一の工程を3回繰り返す必要があり、コスト高になるという問題や、工程を繰り返すため歩留まりが低下するという問題がある。
As a conventional method for producing a color filter, there is a pigment dispersion method. In this method, a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed is first formed on a substrate, and this is patterned to obtain a monochromatic pattern. Further, this process is repeated three times to form R, G, and B color filter layers.
Still other methods include an electrodeposition method, a method in which a pigment is dispersed in a thermosetting resin, R, G, and B are printed three times, and then the resin is thermoset. However, in any method, it is necessary to repeat the same process three times in order to color the three colors of R, G, and B, and there is a problem that the cost is high, and the yield decreases because the process is repeated There's a problem.

そこで、基材上に、光触媒と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する材料とを含有する特性変化パターン形成用塗工液を用いて光触媒含有層を形成し、パターン状に露光することにより、特性が変化したパターンを形成し、着色層を形成するカラーフィルタの製造方法等が本発明者等において検討されてきた(特許文献1)。この方法によれば、上記光触媒含有層の特性を利用して、容易に着色層を形成することを可能とすることができる。   Therefore, a photocatalyst-containing layer is formed on the base material using a coating solution for property change pattern formation containing a photocatalyst and a material whose properties change due to the action of the photocatalyst accompanying energy irradiation, and is exposed in a pattern. Thus, the inventors have studied a method for manufacturing a color filter that forms a pattern with changed characteristics and forms a colored layer (Patent Document 1). According to this method, it is possible to easily form a colored layer using the characteristics of the photocatalyst-containing layer.

このようなカラーフィルタの製造方法においては、露光による光触媒の作用により表面の濡れ性を変化させ、この濡れ性の差を利用して着色層を形成するものであるので、露光工程は必須の工程となる。このような露光工程において、濡れ性の差を生じさせる時間を短縮することができれば、製造時間の短縮を図ることができ、製造効率を向上させることができる。   In such a color filter manufacturing method, the wettability of the surface is changed by the action of the photocatalyst by exposure, and the colored layer is formed by utilizing the difference in wettability. Therefore, the exposure process is an essential process. It becomes. In such an exposure process, if the time for causing the difference in wettability can be shortened, the manufacturing time can be shortened and the manufacturing efficiency can be improved.

特開2001−074928号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-074928

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、エネルギーを照射する露光工程を短縮することができ、製造効率を向上させることができるカラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and a main object of the present invention is to provide a method for manufacturing a color filter that can shorten the exposure step of irradiating energy and improve manufacturing efficiency. It is.

本発明は、上記目的を達成するために、透明基材上に、遮光部を形成する遮光部形成工程と、上記透明基材および上記遮光部を覆うように、光触媒およびオルガノポリシロキサンを含有する光触媒含有層を形成する光触媒含有層形成工程と、上記透明基材側からエネルギーを照射することにより、上記光触媒含有層の濡れ性が変化した濡れ性変化パターンを形成する濡れ性変化パターン形成工程と、上記濡れ性変化パターン上に、インクジェット法により着色層を形成する着色層形成工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
上記濡れ性変化パターン形成工程において、上記光触媒含有層側にエネルギーを反射することができる反射層を有する反射基板を、反射層が光触媒含有層側となるように配置することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention contains a light shielding part forming step for forming a light shielding part on a transparent substrate, and a photocatalyst and an organopolysiloxane so as to cover the transparent substrate and the light shielding part. A photocatalyst-containing layer forming step for forming a photocatalyst-containing layer; and a wettability changing pattern forming step for forming a wettability changing pattern in which the wettability of the photocatalyst-containing layer is changed by irradiating energy from the transparent substrate side; And a colored layer forming step of forming a colored layer by an inkjet method on the wettability change pattern,
In the wettability change pattern forming step, a color filter having a reflective substrate having a reflective layer capable of reflecting energy on the photocatalyst-containing layer side is arranged so that the reflective layer is on the photocatalyst-containing layer side A manufacturing method is provided.

本発明によれば、露光が行われる濡れ性変化パターン形成工程において、反射基板がエネルギー照射方向と反対側の位置に配置されているので、照射されたエネルギーは、光触媒含有層を透過する際に光触媒を励起し、さらに反射基板により反射されたエネルギーが再度光触媒含有層を励起するので、濡れ性変化層の濡れ性の変化を短時間で達成することができる。これにより濡れ性変化パターン形成工程の時間を短縮することができ、カラーフィルタの製造効率を向上させることができる。   According to the present invention, in the wettability change pattern forming process in which exposure is performed, since the reflective substrate is disposed at a position opposite to the energy irradiation direction, the irradiated energy is transmitted through the photocatalyst containing layer. Since the photocatalyst is excited and the energy reflected by the reflective substrate excites the photocatalyst containing layer again, the wettability change of the wettability changing layer can be achieved in a short time. Thereby, the time of a wettability change pattern formation process can be shortened, and the manufacturing efficiency of a color filter can be improved.

また、本発明においては、上記反射層表面に、少なくとも光触媒を含有する光触媒処理層を有することが好ましい。このようにすることにより、さらに濡れ性変化層の濡れ性の変化の速度を向上させることができ、これによりさらに濡れ性変化パターン形成工程の時間を短縮することができ、カラーフィルタの製造効率を大幅に向上させることができるからである。
本発明はまた、光触媒を励起するエネルギーを反射することができる反射層と、上記反射層表面に形成され、少なくとも光触媒を含有する光触媒処理層とを有することを特徴とするパターン形成用反射基板を提供する。このようなパターン形成用反射基板を用いることにより、光触媒を用いた種々のパターン形成体の製造効率を向上させることができる。
Moreover, in this invention, it is preferable to have the photocatalyst processing layer containing a photocatalyst at least on the said reflective layer surface. By doing so, it is possible to further improve the rate of change of wettability of the wettability changing layer, thereby further reducing the time of the wettability changing pattern forming process and improving the production efficiency of the color filter. It is because it can improve significantly.
The present invention also provides a pattern-forming reflective substrate comprising a reflective layer capable of reflecting energy for exciting a photocatalyst, and a photocatalyst treatment layer formed on the surface of the reflective layer and containing at least a photocatalyst. provide. By using such a reflection substrate for pattern formation, the production efficiency of various pattern formation bodies using a photocatalyst can be improved.

本発明によれば、濡れ性変化層の濡れ性の変化を短時間で達成することができる。これにより濡れ性変化パターン形成工程の時間を短縮することができ、カラーフィルタの製造効率を向上させることができるという効果を奏する。   According to the present invention, the change in wettability of the wettability changing layer can be achieved in a short time. Thereby, the time of the wettability change pattern forming process can be shortened, and the production efficiency of the color filter can be improved.

以下、本発明のカラーフィルタの製造方法、およびこのカラーフィルタの製造方法にも用いることが可能なパターン形成用反射基板について説明する。
A.カラーフィルタの製造方法
本発明のカラーフィルタの製造方法は、透明基材上に、遮光部を形成する遮光部形成工程と、上記透明基材および上記遮光部を覆うように、光触媒およびオルガノポリシロキサンを含有する光触媒含有層を形成する光触媒含有層形成工程と、上記透明基材側からエネルギーを照射することにより、上記光触媒含有層の濡れ性が変化した濡れ性変化パターンを形成する濡れ性変化パターン形成工程と、上記濡れ性変化パターン上に、着色層を形成する着色層形成工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
上記濡れ性変化パターン形成工程において、上記光触媒含有層側にエネルギーを反射することができる反射層を有する反射基板を、反射層が光触媒含有層側となるように配置することを特徴とするものである。
Hereinafter, a color filter manufacturing method of the present invention and a pattern-forming reflective substrate that can also be used in the color filter manufacturing method will be described.
A. Method for Producing Color Filter The method for producing a color filter of the present invention comprises a light shielding part forming step for forming a light shielding part on a transparent substrate, a photocatalyst and an organopolysiloxane so as to cover the transparent substrate and the light shielding part. A photocatalyst-containing layer forming step for forming a photocatalyst-containing layer, and a wettability change pattern that forms a wettability change pattern in which the wettability of the photocatalyst-containing layer is changed by irradiating energy from the transparent substrate side A color filter manufacturing method comprising a forming step and a colored layer forming step of forming a colored layer on the wettability change pattern,
In the wettability change pattern forming step, the reflective substrate having a reflective layer capable of reflecting energy to the photocatalyst-containing layer side is arranged so that the reflective layer is on the photocatalyst-containing layer side. is there.

このような、本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を図面を用いて具体的に説明する。図1は、本発明のカラーフィルタの製造方法を示すものであり、透明基材1上に、樹脂製の遮光部2を形成し(遮光部形成工程(図1(a))、次に、その遮光部2と、透明基材1とを覆うように光触媒含有層3を形成する(光触媒含有層形成工程(図2(b))。次に、透明基材1側からエネルギー4を照射することにより(図2(c))、光触媒含有層3の濡れ性が変化した親液性領域5と変化していない撥液性領域6とからなる濡れ性変化パターンを形成する(濡れ性変化パターン形成工程(図2(d))。この際、光触媒含有層3が形成された側には、基体7上に反射層8が形成された反射基板9が、反射層8が光触媒含有層3側となるように配置されている。これによりエネルギー4は、光触媒含有層3を透過する際に励起され、さらに反射層8により反射されたエネルギーによっても励起されることになり、濡れ性の変化を効率よく行うことが可能となる。
続いて、この濡れ性変化パターンの親液性領域5上に、インクジェット装置により、着色層10を形成することにより、カラーフィルタ11が得られる。
An example of the method for producing the color filter of the present invention will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a method for producing a color filter of the present invention. A light shielding part 2 made of resin is formed on a transparent substrate 1 (light shielding part forming step (FIG. 1A)), A photocatalyst-containing layer 3 is formed so as to cover the light shielding portion 2 and the transparent substrate 1 (photocatalyst-containing layer forming step (FIG. 2B)). Next, energy 4 is irradiated from the transparent substrate 1 side. (FIG. 2 (c)), a wettability change pattern composed of the lyophilic region 5 in which the wettability of the photocatalyst-containing layer 3 is changed and the liquid repellent region 6 in which the photocatalyst-containing layer 3 is not changed is formed (wetability change pattern). Forming step (FIG. 2 (d)) At this time, on the side where the photocatalyst-containing layer 3 is formed, the reflective substrate 9 on which the reflective layer 8 is formed on the base body 7, the reflective layer 8 is on the photocatalyst-containing layer 3 side. As a result, energy 4 is excited when passing through the photocatalyst-containing layer 3, Also would be excited by the energy reflected by the reflective layer 8 in al, it is possible to efficiently change in wettability.
Subsequently, the color filter 11 is obtained by forming the colored layer 10 on the lyophilic region 5 of the wettability change pattern by an ink jet apparatus.

本発明によれば、濡れ性変化パターン形成工程において、反射層を有する反射基板を用いることにより、照射されたエネルギーは、まず光触媒含有層を透過する際に光触媒を励起し、次いで、上記反射層により反射されて、再度光触媒含有層に照射されることになり、ここでも光触媒含有層中の光触媒を励起することになり、1回のエネルギー照射により2回光触媒を励起することができる。これにより、上記濡れ性変化パターン形成工程を短時間で行うことが可能となり、時間の短縮に伴う製造コストの低下を図ることができる。また、この光触媒含有層の濡れ性を変化させる際、上記遮光部が形成されていることから、透明基材側から全面にエネルギーを照射することにより、フォトマスク等を用いることなく、着色層を形成する位置のみの光触媒含有層の濡れ性を変化させることができる。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について、各工程ごとに詳しく説明する。
According to the present invention, by using a reflective substrate having a reflective layer in the wettability change pattern forming step, the irradiated energy first excites the photocatalyst when passing through the photocatalyst-containing layer, and then the reflective layer. The photocatalyst-containing layer is irradiated again, and the photocatalyst in the photocatalyst-containing layer is excited again, and the photocatalyst can be excited twice by one energy irradiation. Thereby, it becomes possible to perform the said wettability change pattern formation process in a short time, and can aim at the fall of the manufacturing cost accompanying shortening of time. In addition, when changing the wettability of the photocatalyst-containing layer, since the light-shielding portion is formed, the colored layer can be formed without using a photomask or the like by irradiating the entire surface with energy from the transparent substrate side. The wettability of the photocatalyst containing layer only at the position to be formed can be changed.
Hereafter, the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated in detail for every process.

1.遮光部形成工程
本発明においては、まず透明基材上に遮光部を形成する遮光部形成工程が行われる(図1(a)参照)。本工程において形成される遮光部は、後述する透明基材上に形成されるものであり、カラーフィルタとした際に、照射される光を遮蔽し、かつ濡れ性変化パターン形成工程において照射されるエネルギーを遮蔽できるものであれば、特に限定されるものではない。このような遮光部の形成方法は、必要とするエネルギーに対する遮蔽性等に応じて適宜選択されて用いられる。
1. Light-shielding part formation process In this invention, the light-shielding part formation process which forms a light-shielding part on a transparent base material first is performed (refer Fig.1 (a)). The light-shielding part formed in this step is formed on a transparent base material to be described later. When a color filter is used, the light-shielding portion shields the irradiated light and is irradiated in the wettability change pattern forming step. There is no particular limitation as long as it can shield energy. Such a method for forming the light shielding portion is appropriately selected and used depending on the shielding property against the required energy.

例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等により厚み1000〜2000Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングすることにより形成されてもよい。このパターニングの方法としては、スパッタ等の通常のパターニング方法を用いることができる。   For example, it may be formed by forming a metal thin film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 2000 mm by a sputtering method, a vacuum deposition method, or the like, and patterning the thin film. As this patterning method, a normal patterning method such as sputtering can be used.

また、樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層をパターン状に形成する方法であってもよい。用いられる樹脂バインダとしては、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ゼラチン、カゼイン、セルロース等の樹脂を1種または2種以上混合したものや、感光性樹脂、さらにはO/Wエマルジョン型の樹脂組成物、例えば、反応性シリコーンをエマルジョン化したもの等を用いることができる。このような樹脂製遮光部の厚みとしては、0.5〜10μmの範囲内で設定することができる。このような樹脂製遮光部の形成方法は、フォトリソ法、印刷法等一般的に用いられている方法を用いることができる。   Alternatively, a method may be used in which a layer containing light-shielding particles such as carbon fine particles, metal oxides, inorganic pigments, and organic pigments in a resin binder is formed in a pattern. As the resin binder to be used, polyimide resin, acrylic resin, epoxy resin, polyacrylamide, polyvinyl alcohol, gelatin, casein, cellulose, or a mixture of one or more kinds, photosensitive resin, or O / A W emulsion type resin composition, for example, an emulsion of a reactive silicone can be used. The thickness of such a resin light-shielding portion can be set within a range of 0.5 to 10 μm. A generally used method such as a photolithography method or a printing method can be used as a method for forming such a resin light-shielding portion.

またさらに本発明においては、遮光部を熱転写法により形成することもできる。この熱転写法とは、通常、透明なフィルム基材の片面に光熱変換層と遮光部転写層を設けた熱転写シートを基材上に配置し、遮光部を形成する領域にエネルギーを照射することによって、遮光部転写層が基材上に転写されて遮光部が形成されることとなるものである。このような熱転写法により形成される遮光部の膜厚としては、通常0.5μm〜10.0μm、特に0.8μm〜5.0μm程度とすることができる。   Furthermore, in the present invention, the light shielding part can be formed by a thermal transfer method. This thermal transfer method usually involves placing a thermal transfer sheet having a light-to-heat conversion layer and a light-shielding part transfer layer on one side of a transparent film base material on the base material, and irradiating the area where the light-shielding part is formed with energy. The light-shielding part transfer layer is transferred onto the substrate to form a light-shielding part. The thickness of the light-shielding portion formed by such a thermal transfer method can usually be about 0.5 μm to 10.0 μm, particularly about 0.8 μm to 5.0 μm.

熱転写法により転写される遮光部は、通常、遮光材料と結着剤により構成されるものであり、遮光性材料としては、カーボンブラック、チタンブラック等の無機粒子等を用いることができる。このような遮光性材料の粒子径としては、0.01μm〜1.0μm、中でも0.03μm〜0.3μmの範囲内であることが好ましい。   The light shielding part transferred by the thermal transfer method is usually composed of a light shielding material and a binder, and inorganic particles such as carbon black and titanium black can be used as the light shielding material. The particle diameter of such a light-shielding material is preferably 0.01 μm to 1.0 μm, and more preferably 0.03 μm to 0.3 μm.

また、結着剤としては、熱可塑性と熱硬化性とを有する樹脂組成とすることが好ましく、熱硬化性官能基を有し、かつ軟化点が50℃〜150℃の範囲内、中でも60℃〜120℃の範囲内である樹脂材料および硬化剤等により構成されることが好ましい。このような材料として具体的には、1分子中にエポキシ基を2個以上有するエポキシ化合物またはエポキシ樹脂とその潜在性硬化剤との組み合わせ等が挙げられる。またエポキシ樹脂の潜在性硬化剤としては、ある一定の温度まではエポキシ基との反応性を有さないが、加熱により活性化温度に達するとエポキシ基との反応性を有する分子構造に変化する硬化剤を用いることができる。具体的には、エポキシ樹脂との反応性を有する酸性または塩基性化合物の中性塩や錯体、ブロック化合物、高融点体、マイクロカプセル封入物が挙げられる。また、上記遮光部中に、上記の材料の他に、離型剤、接着補助剤、酸化防止剤、分散剤等を含有させることもできる。   Further, the binder is preferably a resin composition having thermoplasticity and thermosetting properties, has a thermosetting functional group, and has a softening point in the range of 50 ° C to 150 ° C, particularly 60 ° C. It is preferable to be comprised by the resin material which exists in the range of -120 degreeC, a hardening | curing agent, etc. Specific examples of such a material include a combination of an epoxy compound or epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule and a latent curing agent thereof. As a latent curing agent for epoxy resins, it does not have reactivity with epoxy groups up to a certain temperature, but when it reaches the activation temperature by heating, it changes to a molecular structure with reactivity with epoxy groups. A curing agent can be used. Specific examples include neutral salts and complexes of acidic or basic compounds having reactivity with epoxy resins, block compounds, high melting point bodies, and microcapsules. In addition to the above materials, the light-shielding part may contain a release agent, an adhesion assistant, an antioxidant, a dispersant, and the like.

また、本発明においては、上記光触媒含有層と遮光部との間にプライマー層を形成してもよい。このプライマー層の作用・機能は必ずしも明確なものではないが、プライマー層を形成することにより、光触媒含有層の上記濡れ性変化を阻害する要因となる遮光部および遮光部間に存在する開口部からの不純物、特に、遮光部をパターニングする際に生じる残渣や、不純物の拡散を防止する機能を示すものと考えられる。したがって、プライマー層を形成することにより、高感度で光触媒含有層の濡れ性を変化させることができ、その結果、高解像度のパターンを得ることが可能となるのである。   In the present invention, a primer layer may be formed between the photocatalyst containing layer and the light shielding part. Although the action and function of this primer layer are not necessarily clear, by forming the primer layer, it becomes a factor that inhibits the above-mentioned wettability change of the photocatalyst-containing layer from the light-shielding part and the opening existing between the light-shielding parts. This is considered to exhibit a function of preventing diffusion of impurities, particularly residues generated when the light shielding portion is patterned, and impurities. Therefore, by forming the primer layer, the wettability of the photocatalyst containing layer can be changed with high sensitivity, and as a result, a high resolution pattern can be obtained.

なお、本発明においてプライマー層は、遮光部のみならず遮光部間に形成された開口部に存在する不純物が光触媒の作用に影響することを防止するものであるので、プライマー層は開口部を含めた遮光部全面にわたって形成されていることが好ましい。   In the present invention, the primer layer prevents the impurities present in the openings formed between the light shielding portions as well as the light shielding portions from affecting the action of the photocatalyst. Therefore, the primer layer includes the openings. It is preferable that it is formed over the entire light shielding portion.

本発明におけるプライマー層は、上記遮光部と上記光触媒含有層とが接触しないようにプライマー層が形成された構造であれば特に限定されるものではない。   The primer layer in the present invention is not particularly limited as long as the primer layer is formed so that the light-shielding portion and the photocatalyst-containing layer are not in contact with each other.

このプライマー層を構成する材料としては、特に限定されるものではないが、光触媒の作用により分解されにくい無機材料が好ましい。具体的には無定形シリカを挙げることができる。このような無定形シリカを用いる場合には、この無定形シリカの前駆体は、一般式SiXで示され、Xはハロゲン、メトキシ基、エトキシ基、またはアセチル基等であるケイ素化合物であり、それらの加水分解物であるシラノール、または平均分子量3000以下のポリシロキサンが好ましい。 The material constituting the primer layer is not particularly limited, but an inorganic material that is not easily decomposed by the action of the photocatalyst is preferable. Specific examples include amorphous silica. When such amorphous silica is used, the precursor of the amorphous silica is represented by the general formula SiX 4 and X is a silicon compound such as halogen, methoxy group, ethoxy group, or acetyl group, Silanol which is a hydrolyzate thereof or polysiloxane having an average molecular weight of 3000 or less is preferable.

また、プライマー層の膜厚は、0.001μmから1μmの範囲内であることが好ましく、特に0.001μmから0.1μmの範囲内であることが好ましい。   The thickness of the primer layer is preferably in the range of 0.001 μm to 1 μm, particularly preferably in the range of 0.001 μm to 0.1 μm.

このような遮光部が形成される透明基材としては、バックライト等の光の透過率が良好であり、かつ後述する濡れ性変化パターン形成工程において照射されるエネルギーの透過率が良好であるものであれば、特に限定されるものではない。具体的には石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等を挙げることができる。   As a transparent substrate on which such a light-shielding part is formed, a light transmittance of a backlight or the like is good, and a light transmittance that is irradiated in a wettability change pattern forming process described later is good If it is, it will not specifically limit. Specifically, transparent flexible materials such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, and synthetic quartz plates, or flexible flexible materials such as transparent resin films and optical resin plates, etc. Can be mentioned.

2.光触媒含有層形成工程
次に、本発明においては、上記透明基材および上記遮光部を覆うように、光触媒およびオルガノポリシロキサンを含有する光触媒含有層を形成する光触媒含有層形成工程が行われる(図1(b)参照)。
2. Photocatalyst-containing layer forming step Next, in the present invention, a photocatalyst-containing layer forming step of forming a photocatalyst-containing layer containing a photocatalyst and an organopolysiloxane is performed so as to cover the transparent base material and the light-shielding part (see FIG. 1 (b)).

本発明における光触媒含有層は、光触媒とオルガノポリシロキサンとを必要に応じて他の添加剤とともに溶剤中に分散して塗布液を調製し、この塗布液を透明基材上に塗布することにより形成することができる。使用する溶剤としては、エタノール、イソプロパノール等のアルコール系の有機溶剤が好ましい。塗布はスピンコート、スプレーコート、ディップコート、ロールコート、ビードコート等の公知の塗布方法により行うことができる。バインダとして紫外線硬化型の成分を含有している場合、紫外線を照射して硬化処理を行うことにより、光触媒含有層を形成することができる。この際、光触媒含有層の厚みは、0.05〜10μmの範囲内とされることが好ましい。上記範囲より薄い場合には、光触媒含有層の表面の濡れ性変化効率が低くなることから好ましくなく、また上記範囲より厚い場合には、遮光部と着色層との間の距離が離れるため、カラーフィルタを液晶表示装置に用いた場合、バックライトの光漏れ等の問題が生じる可能性があるため、好ましくない。   The photocatalyst-containing layer in the present invention is formed by dispersing a photocatalyst and an organopolysiloxane in a solvent together with other additives as necessary to prepare a coating solution, and coating the coating solution on a transparent substrate. can do. As the solvent to be used, alcohol-based organic solvents such as ethanol and isopropanol are preferable. The application can be performed by a known application method such as spin coating, spray coating, dip coating, roll coating, or bead coating. When an ultraviolet curable component is contained as the binder, the photocatalyst-containing layer can be formed by performing a curing treatment by irradiating ultraviolet rays. At this time, the thickness of the photocatalyst-containing layer is preferably in the range of 0.05 to 10 μm. If it is thinner than the above range, it is not preferable because the wettability change efficiency of the surface of the photocatalyst containing layer is low, and if it is thicker than the above range, the distance between the light shielding portion and the colored layer is increased, When a filter is used in a liquid crystal display device, problems such as light leakage from a backlight may occur, which is not preferable.

このようにして形成される光触媒含有層は、光触媒およびオルガノポリシロキサンを含有するものであることから、エネルギー照射された際に、光触媒の作用によって表面の濡れ性を変化させることができ、エネルギー照射された領域を親液性領域、エネルギー照射されていない領域を撥液性領域とすることができる。   Since the photocatalyst-containing layer thus formed contains a photocatalyst and an organopolysiloxane, the surface wettability can be changed by the action of the photocatalyst when irradiated with energy. The formed region can be a lyophilic region, and the region not irradiated with energy can be a liquid repellent region.

本発明においては、エネルギー照射されていない部分、すなわち撥液性領域においては、40mN/mの液体との接触角が、10°以上、中でも表面張力30mN/mの液体との接触角が10°以上、特に表面張力20mN/mの液体との接触角が10°以上であることが好ましい。これは、エネルギー照射されていない部分が、撥液性が要求される部分であることから、上記液体との接触角が小さい場合は、撥液性が十分でなく、例えば後述する着色層を形成する着色層形成用塗工液をインクジェット方式等により塗布し、硬化させて形成する場合等に、撥液性領域にも着色層形成用塗工液が付着する可能性があることから、高精細に着色層を形成することが困難となるからである。   In the present invention, the contact angle with a liquid having a surface tension of 30 mN / m is 10 ° or more in a contact angle with a liquid with a surface tension of 30 mN / m in a portion not irradiated with energy, that is, a liquid repellent region. In particular, the contact angle with a liquid having a surface tension of 20 mN / m is preferably 10 ° or more. This is because the part that is not irradiated with energy is a part that requires liquid repellency, so when the contact angle with the liquid is small, the liquid repellency is not sufficient. For example, a colored layer described later is formed. When the colored layer forming coating liquid is applied by an inkjet method and cured, the colored layer forming coating liquid may adhere to the liquid-repellent region. This is because it becomes difficult to form a colored layer.

また、上記光触媒含有層は、エネルギー照射された部分、すなわち親液性領域においては、40mN/mの液体との接触角が9°未満、好ましくは表面張力50mN/mの液体との接触角が10°以下、特に表面張力60mN/mの液体との接触角が10°以下となるような層であることが好ましい。エネルギー照射された部分、すなわち親液性領域における液体との接触角が高い場合は、例えば着色層を形成する着色層形成用塗工液を、親液性領域においてもはじいてしまう可能性があり、例えばインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布した際等に、着色層形成用塗工液が十分に塗れ広がらず、着色層を形成することが難しくなる可能性があるからである。   The photocatalyst-containing layer has a contact angle with a liquid of 40 mN / m of less than 9 °, preferably a liquid with a surface tension of 50 mN / m, in a portion irradiated with energy, that is, a lyophilic region. The layer is preferably such that the contact angle with a liquid having a surface tension of 10 ° or less, particularly 60 mN / m, is 10 ° or less. When the contact angle with the liquid in the energy irradiated part, that is, the lyophilic region is high, for example, the colored layer forming coating liquid for forming the colored layer may be repelled in the lyophilic region. This is because, for example, when the coating liquid for forming a colored layer is applied by an ink jet method, the coating liquid for forming a colored layer is not sufficiently spread and spread, and it may be difficult to form a colored layer.

なお、ここでいう液体との接触角は、種々の表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定(マイクロシリンジから液滴を滴下して30秒後)し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得たものである。また、この測定に際して、種々の表面張力を有する液体としては、純正化学株式会社製のぬれ指数標準液を用いた。   In addition, the contact angle with the liquid here is measured using a contact angle measuring instrument (Kyowa Interface Science Co., Ltd. CA-Z type) with a liquid having various surface tensions (from the microsyringe to the liquid. 30 seconds after dropping), and the result was obtained or the result was graphed. In this measurement, as a liquid having various surface tensions, a wetting index standard solution manufactured by Pure Chemical Co., Ltd. was used.

本発明に用いられる光触媒含有層は、この光触媒含有層中にフッ素が含有され、さらにこの光触媒含有層表面のフッ素含有量が、光触媒含有層に対しエネルギーを照射した際に、上記光触媒の作用によりエネルギー照射前に比較して低下するように上記光触媒含有層が形成されていてもよく、またエネルギー照射による光触媒の作用により分解され、これにより光触媒含有層上の濡れ性を変化させることができる分解物質を含むように形成されていてもよい。   The photocatalyst-containing layer used in the present invention contains fluorine in the photocatalyst-containing layer, and when the fluorine content on the surface of the photocatalyst-containing layer is irradiated with energy to the photocatalyst-containing layer, The photocatalyst-containing layer may be formed so as to be lower than that before energy irradiation, and is decomposed by the action of the photocatalyst by energy irradiation, thereby changing the wettability on the photocatalyst-containing layer. You may form so that a substance may be included.

以下、このような光触媒含有層を構成する、光触媒、オルガノポリシロキサン、およびその他の成分について説明する。   Hereinafter, the photocatalyst, organopolysiloxane, and other components constituting such a photocatalyst-containing layer will be described.

a.光触媒
まず、本発明に用いられる光触媒について説明する。本発明に用いられる光触媒としては、光半導体として知られる例えば二酸化チタン(TiO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、酸化タングステン(WO)、酸化ビスマス(Bi)、および酸化鉄(Fe)を挙げることができ、これらから選択して1種または2種以上を混合して用いることができる。
a. Photocatalyst First, the photocatalyst used in the present invention will be described. Examples of the photocatalyst used in the present invention include titanium dioxide (TiO 2 ), zinc oxide (ZnO), tin oxide (SnO 2 ), strontium titanate (SrTiO 3 ), tungsten oxide (WO 3 ), which are known as photo semiconductors. Bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) and iron oxide (Fe 2 O 3 ) can be mentioned, and one or a mixture of two or more selected from these can be used.

本発明においては、特に二酸化チタンが、バンドギャップエネルギーが高く、化学的に安定で毒性もなく、入手も容易であることから好適に使用される。二酸化チタンには、アナターゼ型とルチル型があり本発明ではいずれも使用することができるが、アナターゼ型の二酸化チタンが好ましい。アナターゼ型二酸化チタンは励起波長が380nm以下にある。   In the present invention, titanium dioxide is particularly preferably used because it has a high band gap energy, is chemically stable, has no toxicity, and is easily available. Titanium dioxide includes an anatase type and a rutile type, and both can be used in the present invention, but anatase type titanium dioxide is preferred. Anatase type titanium dioxide has an excitation wavelength of 380 nm or less.

このようなアナターゼ型二酸化チタンとしては、例えば、塩酸解膠型のアナターゼ型チタニアゾル(石原産業(株)製STS−02(平均粒径7nm)、石原産業(株)製ST−K01)、硝酸解膠型のアナターゼ型チタニアゾル(日産化学(株)製TA−15(平均粒径12nm))等を挙げることができる。   Examples of such anatase type titanium dioxide include hydrochloric acid peptizer type anatase type titania sol (STS-02 manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd. (average particle size 7 nm), ST-K01 manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.), nitric acid solution An anatase type titania sol (TA-15 manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd. (average particle size 12 nm)) and the like can be mentioned.

また光触媒の粒径は小さいほど光触媒反応が効果的に起こるので好ましく、平均粒径が50nm以下であることが好ましく、20nm以下の光触媒を使用するのが特に好ましい。   The smaller the particle size of the photocatalyst, the more effective the photocatalytic reaction occurs. The average particle size is preferably 50 nm or less, and it is particularly preferable to use a photocatalyst of 20 nm or less.

本発明に用いられる光触媒含有層中の光触媒の含有量は、5〜60重量%、好ましくは20〜40重量%の範囲で設定することができる。これにより、後述するITO層と接着性を良好なものとすることができるからである。   The content of the photocatalyst in the photocatalyst containing layer used in the present invention can be set in the range of 5 to 60% by weight, preferably 20 to 40% by weight. This is because the adhesiveness to the ITO layer described later can be improved.

b.オルガノポリシロキサン
次に、本発明に用いられるオルガノポリシロキサンについて説明する。本発明に用いられるオルガノポリシロキサンは、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により、光触媒含有層表面の濡れ性を変化させることが可能なものであれば、特に限定されるものではなく、特に主骨格が上記の光触媒の光励起により分解されないような高い結合エネルギーを有するものであって、光触媒の作用により分解されるような有機置換基を有するものが好ましい。具体的には、(1)ゾルゲル反応等によりクロロまたはアルコキシシラン等を加水分解、重縮合して大きな強度を発揮するオルガノポリシロキサン、(2)撥水牲や撥油性に優れた反応性シリコーンを架橋したオルガノポリシロキサン等を挙げることができる。
b. Organopolysiloxane Next, the organopolysiloxane used in the present invention will be described. The organopolysiloxane used in the present invention is not particularly limited as long as it can change the wettability of the surface of the photocatalyst-containing layer by the action of the photocatalyst accompanying energy irradiation. Those having a high binding energy that is not decomposed by photoexcitation of the photocatalyst and having an organic substituent that is decomposed by the action of the photocatalyst are preferable. Specifically, (1) an organopolysiloxane that exhibits high strength by hydrolyzing and polycondensing chloro or alkoxysilane by sol-gel reaction or the like, and (2) a reactive silicone having excellent water repellency and oil repellency. Cross-linked organopolysiloxanes can be mentioned.

上記の(1)の場合、一般式:
SiX(4−n)
(ここで、Yはアルキル基、フルオロアルキル基、ビニル基、アミノ基、フェニル基、クロロアルキル基、イソシアネート基、もしくはエポキシ基、またはこれらを含む有機基であり、Xはアルコキシル基、アセチル基またはハロゲンを示す。nは0〜3までの整数である。)
で示される珪素化合物の1種または2種以上の加水分解縮合物もしくは共加水分解縮合物であるオルガノポリシロキサンであることが好ましい。なお、ここでXで示されるアルコキシ基は、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基であることが好ましい。また、Yで示される有機基全体の炭素数は1〜20の範囲内、中でも5〜10の範囲内であることが好ましい。
In the case of (1) above, the general formula:
Y n SiX (4-n)
(Where Y is an alkyl group, fluoroalkyl group, vinyl group, amino group, phenyl group, chloroalkyl group, isocyanate group, or epoxy group, or an organic group containing these, and X is an alkoxyl group, acetyl group, or Represents halogen, n is an integer from 0 to 3)
It is preferable that it is the organopolysiloxane which is a 1 type, or 2 or more types of hydrolysis condensate or cohydrolysis condensate of the silicon compound shown by these. Here, the alkoxy group represented by X is preferably a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, or a butoxy group. Moreover, it is preferable that the carbon number of the whole organic group shown by Y exists in the range of 1-20, especially in the range of 5-10.

これにより、上記光触媒含有層を形成した際に、オルガノポリシロキサンを構成するYにより表面を撥液性とすることができ、またエネルギー照射に伴う光触媒の作用により、そのYが分解等されることによって、親液性とすることが可能となるからである。   Thus, when the photocatalyst-containing layer is formed, the surface can be made liquid-repellent by Y constituting the organopolysiloxane, and the Y is decomposed by the action of the photocatalyst accompanying energy irradiation. This is because it can be made lyophilic.

また、特に上記オルガノポリシロキサンを構成するYがフルオロアルキル基であるオルガノポリシロキサンを用いた場合には、エネルギー照射前の光触媒含有層を、特に撥液性の高いものとすることができることから、高い撥液性が要求される場合等には、これらのフルオロアルキル基を有するオルガノポリシロキサンを用いることが好ましい。このようなオルガノポリシロキサンとして、具体的には、下記のフルオロアルキルシランの1種または2種以上の加水分解縮合物、共加水分解縮合物が挙げられ、一般にフッ素系シランカップリング剤として知られたものを使用することができる。
CF(CFCHCHSi(OCH
CF(CFCHCHSi(OCH
CF(CFCHCHSi(OCH
CF(CFCHCHSi(OCH
(CFCF(CFCHCHSi(OCH
(CFCF(CFCHCHSi(OCH
(CFCF(CFCHCHSi(OCH
CF(C)CSi(OCH
CF(CF(C)CSi(OCH
CF(CF(C)CSi(OCH
CF(CF(C)CSi(OCH
CF(CFCHCHSiCH(OCH
CF(CFCHCHSiCH(OCH
CF(CFCHCHSiCH(OCH
CF(CFCHCHSiCH(OCH
(CFCF(CFCHCHSiCH(OCH
(CFCF(CFCHCHSi CH(OCH
(CFCF(CFCHCHSi CH(OCH
CF(C)CSiCH(OCH
CF(CF(C)CSiCH(OCH
CF(CF(C)CSiCH(OCH
CF(CF(C)CSiCH(OCH
CF(CFCHCHSi(OCHCH
CF(CFCHCHSi(OCHCH
CF(CFCHCHSi(OCHCH
CF(CFCHCHSi(OCHCH
CF(CFSON(C)CCHSi(OCH
In particular, when an organopolysiloxane in which Y constituting the organopolysiloxane is a fluoroalkyl group is used, the photocatalyst-containing layer before energy irradiation can be made particularly high in liquid repellency. When high liquid repellency is required, it is preferable to use an organopolysiloxane having these fluoroalkyl groups. Specific examples of such organopolysiloxanes include one or more of the following hydroalkyl silanes, co-hydrolysis condensates, and are generally known as fluorine-based silane coupling agents. Can be used.
CF 3 (CF 2) 3 CH 2 CH 2 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 5 CH 2 CH 2 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 7 CH 2 CH 2 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 9 CH 2 CH 2 Si (OCH 3) 3;
(CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 4 CH 2 CH 2 Si (OCH 3 ) 3 ;
(CF 3) 2 CF (CF 2) 6 CH 2 CH 2 Si (OCH 3) 3;
(CF 3) 2 CF (CF 2) 8 CH 2 CH 2 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (C 6 H 4) C 2 H 4 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 3 ( C 6 H 4) C 2 H 4 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 5 ( C 6 H 4) C 2 H 4 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 7 ( C 6 H 4) C 2 H 4 Si (OCH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 3 CH 2 CH 2 SiCH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (CF 2) 5 CH 2 CH 2 SiCH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (CF 2) 7 CH 2 CH 2 SiCH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (CF 2) 9 CH 2 CH 2 SiCH 3 (OCH 3) 2;
(CF 3) 2 CF (CF 2) 4 CH 2 CH 2 SiCH 3 (OCH 3) 2;
(CF 3) 2 CF (CF 2) 6 CH 2 CH 2 Si CH 3 (OCH 3) 2;
(CF 3) 2 CF (CF 2) 8 CH 2 CH 2 Si CH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (C 6 H 4) C 2 H 4 SiCH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (CF 2) 3 ( C 6 H 4) C 2 H 4 SiCH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (CF 2) 5 ( C 6 H 4) C 2 H 4 SiCH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (CF 2) 7 ( C 6 H 4) C 2 H 4 SiCH 3 (OCH 3) 2;
CF 3 (CF 2) 3 CH 2 CH 2 Si (OCH 2 CH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 5 CH 2 CH 2 Si (OCH 2 CH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 7 CH 2 CH 2 Si (OCH 2 CH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 9 CH 2 CH 2 Si (OCH 2 CH 3) 3;
CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (C 2 H 5) C 2 H 4 CH 2 Si (OCH 3) 3.

また、上記の(2)の反応性シリコーンとしては、下記一般式で表される骨格をもつ化合物を挙げることができる。   Examples of the reactive silicone (2) include compounds having a skeleton represented by the following general formula.

Figure 0004459682
Figure 0004459682

ただし、nは2以上の整数であり、R,Rはそれぞれ炭素数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル、アルケニル、アリールあるいはシアノアルキル基であり、モル比で全体の40%以下がビニル、フェニル、ハロゲン化フェニルである。また、R、Rがメチル基のものが表面エネルギーが最も小さくなるので好ましく、モル比でメチル基が60%以上であることが好ましい。また、鎖末端もしくは側鎖には、分子鎖中に少なくとも1個以上の水酸基等の反応性基を有する。 However, n is an integer of 2 or more, R 1, R 2 are each a substituted or unsubstituted alkyl having 1 to 10 carbon atoms, alkenyl, aryl or cyanoalkyl group, the total molar ratio of 40% or less Vinyl, phenyl and phenyl halide. Further, those in which R 1 and R 2 are methyl groups are preferable because the surface energy becomes the smallest, and the methyl groups are preferably 60% or more by molar ratio. In addition, the chain end or side chain has at least one reactive group such as a hydroxyl group in the molecular chain.

上記オルガノポリシロキサンは、光触媒含有層中に、5重量%〜90重量%、中でも30重量%〜60重量%程度含有されることが好ましい。   The organopolysiloxane is preferably contained in the photocatalyst-containing layer in an amount of 5 to 90% by weight, especially about 30 to 60% by weight.

c.その他の物質
また、本発明に用いられる光触媒含有層中には、上記のオルガノポリシロキサンとともに、ジメチルポリシロキサンのような架橋反応をしない安定なオルガノシリコン化合物をバインダに混合してもよい。またさらに、バインダとして、主骨格が上記光触媒の光励起により分解されないような高い結合エネルギーを有する、有機置換基を有しない、もしくは有機置換基を有するポリシロキサンを挙げることができ、具体的にはテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等を加水分解、重縮合したものを含有させてもよい。
c. Other Substances In the photocatalyst-containing layer used in the present invention, a stable organosilicon compound that does not undergo a crosslinking reaction, such as dimethylpolysiloxane, may be mixed with a binder together with the organopolysiloxane. Furthermore, examples of the binder include polysiloxanes having a high binding energy that does not cause the main skeleton to be decomposed by photoexcitation of the photocatalyst, or that do not have an organic substituent, or have an organic substituent. You may contain what hydrolyzed and polycondensed methoxysilane, tetraethoxysilane, etc.

またさらに、上記オルガノポリシロキサンの濡れ性を変化させる機能を補助するため等に、エネルギー照射に伴い、分解される分解物質を含有させてもよい。このような分解物質としては、光触媒の作用により分解し、かつ分解されることにより光触媒含有層表面の濡れ性を変化させる機能を有する界面活性剤を挙げることができる。具体的には、日光ケミカルズ(株)製NIKKOL BL、BC、BO、BBの各シリーズ等の炭化水素系、デュポン社製ZONYL FSN、FSO、旭硝子(株)製サーフロンS−141、145、大日本インキ化学工業(株)製メガファックF−141、144、ネオス(株)製フタージェントF−200、F251、ダイキン工業(株)製ユニダインDS−401、402、スリーエム(株)製フロラードFC−170、176等のフッ素系あるいはシリコーン系の非イオン界面活性剤を挙げることができ、また、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、両性界面活性剤を用いることもできる。   Furthermore, in order to assist the function of changing the wettability of the organopolysiloxane, a decomposition substance that is decomposed by energy irradiation may be included. Examples of such a decomposing substance include a surfactant having a function of decomposing by the action of a photocatalyst and changing the wettability of the photocatalyst-containing layer surface by decomposing. Specifically, hydrocarbons such as NIKKOL BL, BC, BO, BB series manufactured by Nikko Chemicals Co., Ltd., ZONYL FSN, FSO manufactured by DuPont, Surflon S-141, 145 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., Dainippon Megafac F-141, 144 manufactured by Ink Chemical Industry Co., Ltd., Footgent F-200, F251 manufactured by Neos Co., Ltd., Unidyne DS-401, 402 manufactured by Daikin Industries, Ltd., Fluorard FC-170 manufactured by 3M Co., Ltd. Fluorine-based or silicone-based nonionic surfactants such as 176, and cationic surfactants, anionic surfactants, and amphoteric surfactants can also be used.

また、界面活性剤の他にも、ポリビニルアルコール、不飽和ポリエステル、アクリル樹脂、ポリエチレン、ジアリルフタレート、エチレンプロピレンジエンモノマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン、メラミン樹脂、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリイミド、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ポリプロピレン、ポリブチレン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ナイロン、ポリエステル、ポリブタジエン、ポリベンズイミダゾール、ポリアクリルニトリル、エピクロルヒドリン、ポリサルファイド、ポリイソプレン等のオリゴマー、ポリマー等を挙げることができる。   Besides surfactants, polyvinyl alcohol, unsaturated polyester, acrylic resin, polyethylene, diallyl phthalate, ethylene propylene diene monomer, epoxy resin, phenol resin, polyurethane, melamine resin, polycarbonate, polyvinyl chloride, polyamide, polyimide Styrene butadiene rubber, chloroprene rubber, polypropylene, polybutylene, polystyrene, polyvinyl acetate, nylon, polyester, polybutadiene, polybenzimidazole, polyacrylonitrile, epichlorohydrin, polysulfide, polyisoprene, oligomers, polymers, and the like.

d.フッ素の含有
また、本発明においては、光触媒含有層がフッ素を含有し、さらにこの光触媒含有層表面のフッ素含有量が、光触媒含有層に対しエネルギーを照射した際に、上記光触媒の作用によりエネルギー照射前に比較して低下するように上記光触媒含有層が形成されていることが好ましい。これにより、エネルギーをパターン照射することにより、後述するように容易にフッ素の含有量の少ない部分からなるパターンを形成することができる。ここで、フッ素は極めて低い表面エネルギーを有するものであり、このためフッ素を多く含有する物質の表面は、臨界表面張力がより小さくなる。したがって、フッ素の含有量の多い部分の表面の臨界表面張力に比較してフッ素の含有量の少ない部分の臨界表面張力は大きくなる。これはすなわち、フッ素含有量の少ない部分はフッ素含有量の多い部分に比較して親液性領域となっていることを意味する。よって、周囲の表面に比較してフッ素含有量の少ない部分からなるパターンを形成することは、撥液性域内に親液性領域のパターンを形成することとなる。
d. In addition, in the present invention, when the photocatalyst containing layer contains fluorine, and the fluorine content on the surface of the photocatalyst containing layer is irradiated with energy to the photocatalyst containing layer, the photocatalyst containing layer is irradiated with energy by the action of the photocatalyst. It is preferable that the photocatalyst-containing layer is formed so as to be lower than before. Thereby, the pattern which consists of a part with little content of fluorine can be easily formed by irradiating energy with a pattern so that it may mention later. Here, fluorine has an extremely low surface energy. Therefore, the surface of a substance containing a large amount of fluorine has a smaller critical surface tension. Therefore, the critical surface tension of the portion having a small fluorine content is larger than the critical surface tension of the surface of the portion having a large fluorine content. This means that the portion with a low fluorine content is a lyophilic region compared to the portion with a high fluorine content. Therefore, forming a pattern composed of a portion having a lower fluorine content than the surrounding surface forms a pattern of a lyophilic region in the liquid repellent region.

したがって、このような光触媒含有層を用いた場合は、エネルギーをパターン照射することにより、撥液性領域内に親液性領域のパターンを容易に形成することができるので、例えばインクジェット法等により、着色層形成用塗工液を塗布した場合に、高精細な着色層を形成することが可能となるからである。   Therefore, when such a photocatalyst-containing layer is used, the pattern of the lyophilic region can be easily formed in the liquid-repellent region by irradiating the pattern with energy. This is because a high-definition colored layer can be formed when the colored layer forming coating solution is applied.

上述したような、フッ素を含む光触媒含有層中に含まれるフッ素の含有量としては、エネルギーが照射されて形成されたフッ素含有量が低い親液性領域におけるフッ素含有量が、エネルギー照射されていない部分のフッ素含有量を100とした場合に10以下、好ましくは5以下、特に好ましくは1以下である。   As described above, the fluorine content contained in the photocatalyst containing layer containing fluorine is not irradiated with energy in the lyophilic region having a low fluorine content formed by energy irradiation. When the fluorine content of the part is 100, it is 10 or less, preferably 5 or less, particularly preferably 1 or less.

このような範囲内とすることにより、エネルギー照射部分と未照射部分との親液性に大きな違いを生じさせることができる。したがって、このような光触媒含有層に、例えば着色層形成用塗工液を付着させることにより、フッ素含有量が低下した親液性領域のみに正確に着色層を形成することが可能となり、精度の良いカラーフィルタを得ることができるからである。なお、この低下率は重量を基準としたものである。   By setting it within such a range, it is possible to make a large difference in lyophilicity between the energy-irradiated portion and the unirradiated portion. Therefore, for example, by attaching a coating liquid for forming a colored layer to such a photocatalyst-containing layer, it becomes possible to accurately form a colored layer only in a lyophilic region having a reduced fluorine content. This is because a good color filter can be obtained. This rate of decrease is based on weight.

このような光触媒含有層中のフッ素含有量の測定は、一般的に行われている種々の方法を用いることが可能であり、例えばX線光電子分光法(X-ray Photoelectron Spectroscopy, ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)とも称される。)、蛍光X線分析法、質量分析法等の定量的に表面のフッ素の量を測定できる方法であれば特に限定されるものではない。   For the measurement of the fluorine content in the photocatalyst-containing layer, various commonly used methods can be used. For example, X-ray photoelectron spectroscopy (ES-ray photoelectron spectroscopy, ESCA) for Chemical Analysis)), and any method that can quantitatively measure the amount of fluorine on the surface, such as X-ray fluorescence analysis and mass spectrometry, is not particularly limited.

また、本発明においては、光触媒として上述したように二酸化チタンが好適に用いられるが、このように二酸化チタンを用いた場合の、光触媒含有層中に含まれるフッ素の含有量としては、X線光電子分光法で分析して定量化すると、チタン(Ti)元素を100とした場合に、フッ素(F)元素が500以上、このましくは800以上、特に好ましくは1200以上となる比率でフッ素(F)元素が光触媒含有層表面に含まれていることが好ましい。   In the present invention, as described above, titanium dioxide is preferably used as the photocatalyst. When titanium dioxide is used in this way, the fluorine content contained in the photocatalyst-containing layer is X-ray photoelectron. When analyzed and quantified by spectroscopy, when the titanium (Ti) element is defined as 100, the fluorine (F) element is in a ratio of 500 or more, preferably 800 or more, particularly preferably 1200 or more. It is preferable that the element is contained on the surface of the photocatalyst containing layer.

フッ素(F)が光触媒含有層にこの程度含まれることにより、光触媒含有層上における臨界表面張力を十分低くすることが可能となることから表面における撥液性を確保でき、これによりエネルギーをパターン照射してフッ素含有量を減少させたパターン部分における表面の親液性領域との濡れ性の差異を大きくすることができ、最終的に得られるカラーフィルタの精度を向上させることができるからである。   Fluorine (F) is included in the photocatalyst-containing layer to such an extent that the critical surface tension on the photocatalyst-containing layer can be sufficiently lowered, so that the liquid repellency on the surface can be secured, thereby irradiating energy with the pattern This is because the difference in wettability with the lyophilic region on the surface of the pattern portion where the fluorine content is reduced can be increased, and the accuracy of the color filter finally obtained can be improved.

さらに、このようなカラーフィルタにおいては、エネルギーをパターン照射して形成される親液領域におけるフッ素含有量が、チタン(Ti)元素を100とした場合にフッ素(F)元素が50以下、好ましくは20以下、特に好ましくは10以下となる比率で含まれていることが好ましい。   Further, in such a color filter, the fluorine content in the lyophilic region formed by pattern irradiation with energy is 50 or less when the titanium (Ti) element is 100, preferably It is preferably contained in a ratio of 20 or less, particularly preferably 10 or less.

光触媒含有層中のフッ素の含有率をこの程度低減することができれば、カラーフィルタを形成するためには十分な親液性を得ることができ、上記エネルギーが未照射である部分の撥液性との濡れ性の差異により、カラーフィルタを精度良く形成することが可能となり、利用価値の高いカラーフィルタを得ることができる。   If the fluorine content in the photocatalyst-containing layer can be reduced to this extent, sufficient lyophilicity can be obtained for forming a color filter, and the liquid repellency of the portion where the energy is not irradiated can be obtained. Due to the difference in wettability, the color filter can be formed with high accuracy, and a color filter with high utility value can be obtained.

3.濡れ性変化パターン形成工程
次に、本発明における濡れ性変化パターン形成工程について説明する。本発明における濡れ性変化パターン形成工程は、上記光触媒含有層側にエネルギーを反射することができる反射層を有する反射基板を、反射層が光触媒含有層側となるように配置し、上記透明基材側からエネルギーを照射することにより、上記光触媒含有層の濡れ性が変化した濡れ性変化パターンを形成する工程である(図1(c)および図1(d)参照)。
本発明の特徴は、この濡れ性変化パターン形成工程において、反射基板を用いる点にあり、この反射基板を用いることにより、照射されたエネルギーが反射層により反射されて再度光触媒含有層に照射されることから、上記光触媒含有層の濡れ性の変化の効率を向上させることができる。これにより、短時間で上記濡れ性変化パターン形成工程を行うことができ、カラーフィルタの製造効率を向上させることができるのである。
3. Next, the wettability change pattern forming process in the present invention will be described. In the wettability change pattern forming step in the present invention, the reflective substrate having a reflective layer capable of reflecting energy on the photocatalyst containing layer side is disposed so that the reflective layer is on the photocatalyst containing layer side, and the transparent substrate This is a step of forming a wettability change pattern in which the wettability of the photocatalyst-containing layer is changed by irradiating energy from the side (see FIGS. 1C and 1D).
The feature of the present invention lies in the use of a reflective substrate in this wettability change pattern forming step, and by using this reflective substrate, the irradiated energy is reflected by the reflective layer and irradiated again to the photocatalyst-containing layer. Therefore, the efficiency of change in wettability of the photocatalyst-containing layer can be improved. Thereby, the said wettability change pattern formation process can be performed in a short time, and the manufacturing efficiency of a color filter can be improved.

(照射されるエネルギー)
上記光触媒含有層に照射されるエネルギーとしては、上記光触媒含有層の濡れ性を変化させることが可能なエネルギーであれば、特に限定されるものではない。本発明でいうエネルギー照射(露光)とは、光触媒含有層表面の濡れ性を変化させることが可能ないかなるエネルギー線の照射をも含む概念であり、紫外光や可視光の照射に限定されるものではない。
(Irradiated energy)
The energy with which the photocatalyst-containing layer is irradiated is not particularly limited as long as the energy can change the wettability of the photocatalyst-containing layer. The energy irradiation (exposure) in the present invention is a concept including irradiation of any energy ray capable of changing the wettability of the photocatalyst-containing layer surface, and is limited to irradiation with ultraviolet light or visible light. is not.

通常このようなエネルギー照射に用いる光の波長は、400nm以下の範囲、好ましくは150nm〜380nm以下の範囲から設定される。これは、上述したように光触媒含有層に用いられる好ましい光触媒が二酸化チタンであり、この二酸化チタンにより光触媒作用を活性化させるエネルギーとして、上述した波長の光が好ましいからである。   Usually, the wavelength of light used for such energy irradiation is set in a range of 400 nm or less, preferably in a range of 150 nm to 380 nm or less. This is because, as described above, the preferred photocatalyst used in the photocatalyst-containing layer is titanium dioxide, and light having the above-described wavelength is preferable as the energy for activating the photocatalytic action by the titanium dioxide.

このようなエネルギー照射に用いることができる光源としては、水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ、その他種々の光源を挙げることができる。また、上述したような光源を用い、フォトマスクを介したパターン照射により行う方法の他、エキシマ、YAG等のレーザを用いてパターン状に描画照射する方法を用いることも可能である。   Examples of light sources that can be used for such energy irradiation include mercury lamps, metal halide lamps, xenon lamps, excimer lamps, and various other light sources. In addition to the method of performing pattern irradiation using a light mask using a light source as described above, it is also possible to use a method of drawing and irradiating in a pattern using a laser such as excimer or YAG.

なお、エネルギー照射に際してのエネルギーの照射量は、光触媒含有層中の光触媒の作用により光触媒含有層表面の濡れ性の変化が行われるのに必要な照射量とする。   In addition, the irradiation amount of energy at the time of energy irradiation is set to an irradiation amount necessary for changing the wettability of the surface of the photocatalyst containing layer by the action of the photocatalyst in the photocatalyst containing layer.

(反射基板)
次に、本発明の特徴でもある濡れ性変化パターン形成工程に用いられる反射基板にいて説明する。
本発明に用いられる反射基板は、光触媒含有層の濡れ性を変化させることができるエネルギーを反射する反射層を有するものであれば特に限定されるものではなく、反射基板が反射層で形成されているものであってもよく、基体上に反射層が形成されたものであってもよい。
(Reflective substrate)
Next, the reflective substrate used in the wettability change pattern forming process, which is also a feature of the present invention, will be described.
The reflective substrate used in the present invention is not particularly limited as long as it has a reflective layer that reflects energy capable of changing the wettability of the photocatalyst-containing layer, and the reflective substrate is formed of a reflective layer. The reflective layer may be formed on the substrate.

a.反射層
本発明に用いられる反射層は、上述したように、自己支持性を有しており、そのもの自体で反射基板となるものであってもよく、基体上に形成されたものであってもよい。
反射層に用いられる材料としては、特に限定されるものではないが、金属材料が好適に用いられ、具体的には、アルミニウム、銀、鉄、蒸着アルミニウム層を有する反射基板、蒸着銀層を有する反射基板等が用いられる。
基体上に反射層が形成される場合は、上述した金属を真空蒸着法等により基体表面に蒸着させることにより形成する方法が通常用いられる。また、反射層が自己支持性を有する場合は、一方の表面が鏡面仕上げされた金属板等を用いることができる。
a. Reflective layer As described above, the reflective layer used in the present invention has a self-supporting property, and may itself be a reflective substrate or may be formed on a substrate. Good.
Although it does not specifically limit as a material used for a reflection layer, A metal material is used suitably, Specifically, it has aluminum, silver, iron, the reflective substrate which has a vapor deposition aluminum layer, and a vapor deposition silver layer. A reflective substrate or the like is used.
When the reflective layer is formed on the substrate, a method is generally used in which the above-described metal is deposited on the substrate surface by vacuum deposition or the like. Further, when the reflective layer has self-supporting properties, a metal plate or the like having one surface with a mirror finish can be used.

この反射層表面は、平滑な面であることが好ましい。表面が平滑でないと、反射層表面で乱反射が生じるため、パターニングの精度を低下させる可能性があるからである。具体的には表面粗さRaが0.1nm〜20nmの範囲内であることが好ましい。   The reflective layer surface is preferably a smooth surface. This is because if the surface is not smooth, irregular reflection occurs on the surface of the reflective layer, which may reduce patterning accuracy. Specifically, the surface roughness Ra is preferably in the range of 0.1 nm to 20 nm.

b.基体
本発明において用いられる基体としては、表面がある程度の平滑性を有する板状のものであれば特に限定されるものではなく、有機材料および無機材料のいずれでも用いることができる。
b. Substrate The substrate used in the present invention is not particularly limited as long as the surface is a plate having a certain level of smoothness, and any of organic and inorganic materials can be used.

c.光触媒処理層
本発明においては、上記反射層表面に少なくとも光触媒を含有する光触媒処理層が形成されていてもよい。反射層表面にこのような光触媒処理層を形成することにより、反射光による効率化に加えて、光触媒処理層中の光触媒の作用により、さらに光触媒含有層表面の濡れ性を変化させることが可能となり、さらなる濡れ性変化パターン形成工程の短縮化が可能となり、カラーフィルタを効率的に製造することができるからである。
本発明に用いられる光触媒処理層は、光触媒処理層中の光触媒が、上述した光触媒含有層の濡れ性を変化させるような構成であれば、特に限定されるものではなく、光触媒とバインダとから構成されているものであってもよく、光触媒単体で製膜されたものであってもよい。また、その表面の特性は特に親液性であっても撥液性であってもよい。
c. Photocatalyst treatment layer In the present invention, a photocatalyst treatment layer containing at least a photocatalyst may be formed on the surface of the reflection layer. By forming such a photocatalyst-treated layer on the surface of the reflective layer, it becomes possible to further change the wettability of the surface of the photocatalyst-containing layer by the action of the photocatalyst in the photocatalyst-treated layer in addition to the efficiency by reflected light. This is because it is possible to further shorten the wettability change pattern forming step and to efficiently manufacture the color filter.
The photocatalyst treatment layer used in the present invention is not particularly limited as long as the photocatalyst in the photocatalyst treatment layer changes the wettability of the above-described photocatalyst-containing layer, and includes a photocatalyst and a binder. It may be a film formed with a photocatalyst alone. Further, the surface characteristics may be particularly lyophilic or lyophobic.

光触媒処理層に用いられる光触媒としては、上記光触媒含有層において説明したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。
本発明においては、光触媒処理層が、上述したように光触媒単独で形成されたものであってもよく、またバインダと混合して形成されたものであってもよい。
光触媒のみからなる光触媒処理層の場合は、光触媒含有層上の特性の変化に対する効率が向上し、処理時間の短縮化等のコスト面で有利である。一方、光触媒とバインダとからなる光触媒処理層の場合は、光触媒処理層の形成が容易であるという利点を有する。
The photocatalyst used for the photocatalyst treatment layer is the same as that described for the photocatalyst-containing layer, and a description thereof is omitted here.
In the present invention, the photocatalyst treatment layer may be formed by the photocatalyst alone as described above, or may be formed by mixing with a binder.
In the case of a photocatalyst treatment layer consisting of only a photocatalyst, the efficiency with respect to the change in characteristics on the photocatalyst containing layer is improved, which is advantageous in terms of cost such as shortening of the treatment time. On the other hand, in the case of a photocatalyst treatment layer comprising a photocatalyst and a binder, there is an advantage that the formation of the photocatalyst treatment layer is easy.

光触媒のみからなる光触媒処理層の形成方法としては、例えば、スパッタリング法、CVD法、真空蒸着法等の真空製膜法を用いる方法を挙げることができる。真空製膜法により光触媒処理層を形成することにより、均一な膜でかつ光触媒のみを含有する光触媒処理層とすることが可能であり、これにより光触媒含有層上の濡れ性を均一に変化させることが可能であり、かつ光触媒のみからなることから、バインダを用いる場合と比較して効率的に光触媒含有層上の濡れ性を変化させることが可能となる。   Examples of a method for forming a photocatalyst treatment layer composed of only a photocatalyst include a method using a vacuum film forming method such as a sputtering method, a CVD method, or a vacuum deposition method. By forming the photocatalyst treatment layer by vacuum film-forming method, it is possible to make a photocatalyst treatment layer that is a uniform film and contains only the photocatalyst, thereby uniformly changing the wettability on the photocatalyst containing layer Since it consists only of a photocatalyst, it is possible to efficiently change the wettability on the photocatalyst-containing layer as compared with the case where a binder is used.

また、光触媒のみからなる光触媒処理層の形成方法の他の例としては、例えば光触媒が二酸化チタンの場合は、基材上に無定形チタニアを形成し、次いで焼成により結晶性チタニアに相変化させる方法等が挙げられる。ここで用いられる無定形チタニアとしては、例えば四塩化チタン、硫酸チタン等のチタンの無機塩の加水分解、脱水縮合、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタン、テトラ−n−プロポキシチタン、テトラブトキシチタン、テトラメトキシチタン等の有機チタン化合物を酸存在下において加水分解、脱水縮合によって得ることができる。次いで、400℃〜500℃における焼成によってアナターゼ型チタニアに変性し、600℃〜700℃の焼成によってルチル型チタニアに変性することができる。   In addition, as another example of a method for forming a photocatalyst treatment layer composed of only a photocatalyst, for example, when the photocatalyst is titanium dioxide, amorphous titania is formed on a base material, and then the phase is changed to crystalline titania by firing. Etc. As the amorphous titania used here, for example, hydrolysis, dehydration condensation, tetraethoxytitanium, tetraisopropoxytitanium, tetra-n-propoxytitanium, tetrabutoxytitanium, titanium inorganic salts such as titanium tetrachloride and titanium sulfate, An organic titanium compound such as tetramethoxytitanium can be obtained by hydrolysis and dehydration condensation in the presence of an acid. Next, it can be modified to anatase titania by baking at 400 ° C. to 500 ° C. and modified to rutile type titania by baking at 600 ° C. to 700 ° C.

また、バインダを用いる場合は、バインダの主骨格が上記の光触媒の光励起により分解されないような高い結合エネルギーを有するものが好ましく、例えばオルガノポリシロキサン等を挙げることができる、これらについては、上記光触媒含有層において説明したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。
また、バインダとして無定形シリカ前駆体を用いることができる。この無定形シリカ前駆体は、一般式SiXで表され、Xはハロゲン、メトキシ基、エトキシ基、またはアセチル基等であるケイ素化合物、それらの加水分解物であるシラノール、または平均分子量3000以下のポリシロキサンが好ましい。
In the case of using a binder, those having a high binding energy such that the main skeleton of the binder is not decomposed by the photoexcitation of the photocatalyst are preferable, and examples thereof include organopolysiloxane. Since it is the same as that described in the layer, description thereof is omitted here.
An amorphous silica precursor can be used as the binder. This amorphous silica precursor is represented by the general formula SiX 4, X is a halogen, a methoxy group, an ethoxy group or a silicon compound an acetyl group or the like, and silanol or average molecular weight of 3,000 or less, their hydrolysates Polysiloxane is preferred.

具体的には、テトラエトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトラブトキシシラン、テトラメトキシシラン等が挙げられる。また、この場合には、無定形シリカの前駆体と光触媒の粒子とを非水性溶媒中に均一に分散させ、基材上に空気中の水分により加水分解させてシラノールを形成させた後、常温で脱水縮重合することにより光触媒処理層を形成できる。シラノールの脱水縮重合を100℃以上で行えば、シラノールの重合度が増し、膜表面の強度を向上できる。また、これらの結着剤は、単独あるいは2種以上を混合して用いることができる。
このような光触媒処理層は、光触媒を励起させるための上記エネルギーに対して高い透過率を有するものであることが好ましい。透過率が低い場合は、反射層により反射されるエネルギー量が少なくなり、この反射されたエネルギーによる濡れ性の変化の効率向上を阻害するからである。
Specific examples include tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetrabutoxysilane, and tetramethoxysilane. In this case, the amorphous silica precursor and the photocatalyst particles are uniformly dispersed in a non-aqueous solvent, and hydrolyzed with moisture in the air on the substrate to form silanol, and then at room temperature. A photocatalyst-treated layer can be formed by dehydration condensation polymerization with. If dehydration condensation polymerization of silanol is carried out at 100 ° C. or higher, the degree of polymerization of silanol increases and the strength of the film surface can be improved. Moreover, these binders can be used individually or in mixture of 2 or more types.
Such a photocatalyst treatment layer preferably has a high transmittance for the energy for exciting the photocatalyst. This is because, when the transmittance is low, the amount of energy reflected by the reflective layer is reduced, and the improvement in the wettability change efficiency due to the reflected energy is hindered.

このような点から、光触媒処理層の膜厚は、0.05μm〜1μmの範囲内、特に0.1μm〜0.5μmの範囲内とすることが好ましい。上記膜厚が、0.05μm以下となる場合には、光触媒処理層の感度が低下する場合があり、また上記膜厚が1μm以上となる場合には、光触媒処理層のエネルギーに対する透過率が低いものとなるからである。
上記光触媒処理層は、反射層表面に直に形成されたものであってもよく、また照射されるエネルギーに対して透明な介在層を介して形成されたものであってもよい。
From such a point, the film thickness of the photocatalyst treatment layer is preferably in the range of 0.05 μm to 1 μm, particularly in the range of 0.1 μm to 0.5 μm. When the film thickness is 0.05 μm or less, the sensitivity of the photocatalyst treatment layer may be reduced, and when the film thickness is 1 μm or more, the transmittance of the photocatalyst treatment layer with respect to energy is low. Because it becomes a thing.
The photocatalyst treatment layer may be formed directly on the surface of the reflective layer, or may be formed via an intermediate layer that is transparent to the energy applied.

(反射基板の配置)
上記反射性基板は、上述したように反射層が光触媒含有層に面するようにして配置され、上記エネルギーが照射される。この際、反射層と光触媒含有層との間隙は、なるべく狭くなるように配置されることが好ましい。この間隙が広い場合は、反射層表面における乱反射等による影響により、高精度なパターンの形成に対して、悪影響を及ぼす恐れがあるからである。
具体的な間隙としては0.1mm〜5mmの範囲内、特に0.5mm〜3mmの範囲内とすることが好ましい。なお、反射層表面に上述した光触媒処理層が形成されている場合は、上記光触媒処理層と光触媒含有層との間隙は、上記光触媒処理層中の光触媒が光触媒含有層の濡れ性に対して作用を及ぼすことができる間隙であることが好ましく、具体的には、200μm以下の間隙をおいて配置されることが好ましい。
(Distribution of reflective substrate)
As described above, the reflective substrate is disposed such that the reflective layer faces the photocatalyst-containing layer, and is irradiated with the energy. At this time, it is preferable that the gap between the reflective layer and the photocatalyst-containing layer is arranged to be as narrow as possible. This is because when this gap is wide, there is a risk of adversely affecting the formation of a highly accurate pattern due to the influence of irregular reflection on the surface of the reflective layer.
The specific gap is preferably in the range of 0.1 mm to 5 mm, particularly in the range of 0.5 mm to 3 mm. In addition, when the above-mentioned photocatalyst processing layer is formed on the reflective layer surface, the gap between the photocatalyst processing layer and the photocatalyst containing layer is affected by the photocatalyst in the photocatalyst processing layer on the wettability of the photocatalyst containing layer. It is preferable that the gap is such that the gap can be exerted, and specifically, it is preferable that the gap is arranged with a gap of 200 μm or less.

4.着色層形成工程
次に、本発明における着色層形成工程について説明する。本発明における着色層形成工程は、上記濡れ性変化パターン上に、インクジェット法により着色層を形成する工程である(図1(e)参照)。
本工程において用いられるインクジェット装置としては、特に限定されるものではないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等の各種の方法を用いたインクジェット装置を用いることができるが、中でも圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法であることが好ましい。
4). Colored layer forming step Next, the colored layer forming step in the present invention will be described. The colored layer forming step in the present invention is a step of forming a colored layer on the wettability changing pattern by an ink jet method (see FIG. 1 (e)).
The ink jet device used in this step is not particularly limited, but is a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by a magnetic field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and ink is used. An ink jet apparatus using various methods such as a method of heating and intermittently utilizing the foaming can be used, and among them, a method of intermittently ejecting ink using a piezoelectric element is preferable. .

本工程において、着色層は上述したように光触媒含有層の濡れ性が変化した濡れ性変化パターンに沿って、具体的には親液性領域上に形成される。
このような着色層は、通常、赤(R)、緑(G)、および青(B)の3色で形成される。この着色層における着色パターン形状は、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、4画素配置型等の公知の配列とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。
本工程において用いられる着色層形成用塗工液等としては、一般的なカラーフィルタの着色層に用いられるものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
In this step, the colored layer is specifically formed on the lyophilic region along the wettability changing pattern in which the wettability of the photocatalyst containing layer is changed as described above.
Such a colored layer is usually formed of three colors of red (R), green (G), and blue (B). The colored pattern shape in the colored layer can be a known arrangement such as a stripe type, a mosaic type, a triangle type, or a four-pixel arrangement type, and the colored area can be arbitrarily set.
Since the coating liquid for forming a colored layer used in this step can be the same as that used for a colored layer of a general color filter, detailed description thereof is omitted here.

5.その他
本発明においては、さらに透明電極層であるITO膜を形成する工程や、オーバーコート層を形成する工程等、通常カラーフィルタに形成される他の部材を形成する工程が行われてもよい。これらについても、通常のカラーフィルタの製造方法と同様であるので、ここでの説明は省略する。
5). Others In the present invention, a step of forming other members usually formed in a color filter, such as a step of forming an ITO film as a transparent electrode layer or a step of forming an overcoat layer, may be performed. Since these are also the same as the manufacturing method of a normal color filter, description here is omitted.

B.パターン形成用反射基板
次に、本発明のパターン形成用反射基板について説明する。本発明のパターン形成用反射基板は、光触媒を励起するエネルギーを反射することができる反射層と、上記反射層表面に形成され、少なくとも光触媒を含有する光触媒処理層とを有することを特徴とするものである。このようなパターン形成用反射基板を用いることにより、例えば、上記「A.カラーフィルタの製造方法」に示すようなカラーフィルタの製造を効率的に行うことができる。
B. Next, the reflective substrate for pattern formation of the present invention will be described. The reflective substrate for pattern formation of the present invention comprises a reflective layer capable of reflecting energy for exciting a photocatalyst, and a photocatalyst treatment layer formed on the surface of the reflective layer and containing at least a photocatalyst. It is. By using such a reflective substrate for pattern formation, for example, it is possible to efficiently produce a color filter as described in “A. Color filter production method” above.

本発明のパターン形成用反射基板を構成する反射層および光触媒処理層、さらには基体等については、上記「A.カラーフィルタの製造方法」において説明したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。   Since the reflective layer and the photocatalyst treatment layer, and the substrate, etc. constituting the reflective substrate for pattern formation of the present invention are the same as those described in the above “A. Color filter manufacturing method”, the description here Omitted.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
例えば、上記「B.パターン形成用反射基板」で説明したパターン形成用反射基板は、上記「A.カラーフィルタの製造方法」で説明したような光触媒を含むパターン形成体に対してのみならず、光触媒の作用により表面の特性が変化する特性変化層を表面に有するパターン形成体であれば、光触媒を含まないものに対しても用いることができる。
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
For example, the reflection substrate for pattern formation described in the above-mentioned “B. reflection substrate for pattern formation” is not only for the pattern formation body containing a photocatalyst as described in “A. Color filter manufacturing method”, If it is a pattern formation body which has the characteristic change layer in which the characteristic of a surface changes by the effect | action of a photocatalyst on the surface, it can be used also for the thing which does not contain a photocatalyst.

以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples.

<実施例1>
1.遮光部の形成
先ず、厚さ1.1mmのソーダガラス基板上に、下記の組成からなる、遮光材料を塗布した後、100℃で15分間プリベークして遮光材料を乾燥させて成膜した。この際、遮光材料は、スピンコート法により塗布した。スピンコートの条件は、1500rpm/minとした。
・カーボンブラック(黒色顔料) 28.5%
・部分環化ポリイソプレン(ネガ型フォトポリマー) 15.0%
・芳香族ビスアジド(感光剤) 1.5%
・その他添加剤 0.3%
・ポリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤)
54.7%
次に、上記のようにして形成した遮光材料の薄膜に、フォトマスクを介して紫外線を照射して、300mJ/cm2の露光量で露光した後、現像、リンスして遮光部を形成した。現像には、現像液として、0.1%、NaCO3水溶液を用いた。その後、上記で得られた遮光部を乾燥した後、200℃で10分間ポストベークして膜厚1.2μm線幅30μm、開口部100μm×200μmの格子型の遮光部が得られた。
<Example 1>
1. Formation of light shielding portion First, a light shielding material having the following composition was applied on a soda glass substrate having a thickness of 1.1 mm, and then prebaked at 100 ° C. for 15 minutes to dry the light shielding material to form a film. At this time, the light shielding material was applied by spin coating. The spin coating conditions were 1500 rpm / min.
・ Carbon black (black pigment) 28.5%
-Partially cyclized polyisoprene (negative photopolymer) 15.0%
・ Aromatic bisazide (photosensitive agent) 1.5%
・ Other additives 0.3%
・ Polyethylene glycol monomethyl ether acetate (solvent)
54.7%
Next, the thin film of the light shielding material formed as described above was irradiated with ultraviolet rays through a photomask, exposed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 , developed and rinsed to form a light shielding portion. For development, a 0.1% NaCO 3 aqueous solution was used as a developer. Thereafter, the light-shielding part obtained above was dried and then post-baked at 200 ° C. for 10 minutes to obtain a lattice-type light-shielding part having a film thickness of 1.2 μm, a line width of 30 μm, and an opening of 100 μm × 200 μm.

2.光触媒含有層の形成
イソプロピルアルコール30gとフルオロアルキルシランが主成分であるMF−160E(トーケムプロダクツ(株)製)0.4gとトリメトキシメチルシラン(東芝シリコーン(株)製、TSL8113)3gと、光触媒である酸化チタン水分散体であるST−K01(石原産業(株)製)20gとを混合し、100℃で20分間撹拌した。これをイソプロピルアルコールにより3倍に希釈し光触媒含有層用組成物とした。
上記組成物を上記遮光部が形成されたソーダガラス製の透明基板上にスピンコーターにより塗布し、150℃で10分間の乾燥処理を行うことにより、透明な光触媒含有層(厚み0.2μm)を形成した。
2. Formation of a photocatalyst containing layer 0.4 g of MF-160E (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.) having 30 g of isopropyl alcohol and fluoroalkylsilane as main components and 3 g of trimethoxymethylsilane (TSL8113 manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) 20 g of ST-K01 (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.), which is a titanium oxide aqueous dispersion that is a photocatalyst, was mixed and stirred at 100 ° C. for 20 minutes. This was diluted 3 times with isopropyl alcohol to obtain a composition for a photocatalyst-containing layer.
A transparent photocatalyst-containing layer (thickness 0.2 μm) is formed by applying the composition to a transparent substrate made of soda glass on which the light-shielding part is formed, using a spin coater and performing a drying treatment at 150 ° C. for 10 minutes. Formed.

3.露光による親液性領域の形成の確認
この光触媒含有層にマスクを介して水銀灯(波長365nm)により70mW/cm2の照度で50秒間パターン露光を行い露光部を形成し、非露光部及び露光部との液体との接触角を測定した。非露光部においては、表面張力30mN/mの液体(純正化学株式会社製、エチレングリコールモノエチルエーテル)との接触角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定(マイクロシリンジから液滴を滴下して30秒後)した結果、30度であった。また露光部では、表面張力50mN/mの液体(純正化学株式会社製、ぬれ指数標準液No.50)との接触角を同様にして測定した結果、7度であった。このように、露光部が非露光部と比較して親液性領域となり、露光部と非露光部との濡れ性の相違によるパターン形成が可能なことが確認された。
3. Confirmation of formation of lyophilic region by exposure The exposed portion is formed by exposing the photocatalyst-containing layer through a mask with a mercury lamp (wavelength 365 nm) at an illuminance of 70 mW / cm 2 for 50 seconds to form an exposed portion, and an unexposed portion and an exposed portion The contact angle with the liquid was measured. In the non-exposed area, a contact angle measuring device (CA-Z type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) is used for the contact angle with a liquid having a surface tension of 30 mN / m (manufactured by Pure Chemical Co., Ltd., ethylene glycol monoethyl ether) As a result of measurement (30 seconds after dropping a droplet from the microsyringe), it was 30 degrees. In the exposed area, the contact angle with a liquid having a surface tension of 50 mN / m (manufactured by Junsei Co., Ltd., wetting index standard solution No. 50) was measured in the same manner, and as a result, it was 7 degrees. As described above, it was confirmed that the exposed portion became a lyophilic region as compared with the non-exposed portion, and pattern formation was possible due to the difference in wettability between the exposed portion and the non-exposed portion.

4.着色層の形成
次に、上記遮光部が形成された面に光触媒含有層と間隙が0.5mmとなるようにアルミニウムを0.2μm蒸着したガラス板のアルミニウム面を対向させ、遮光部が形成されていない裏面から全面露光を行った。露光条件を、水銀灯(波長365nm)により70mW/cm2の照度で20秒間とし、着色層用露光部を親液性とした。
次に、RGB用各インクジェット装置を用いて、顔料5重量部、溶剤20重量部、アクリル酸/ベンシルアクリレート共重合体70重量部、2官能エポキシ含有モノマー5重量部を含むRGB各色の熱硬化型ポリエポキシアクリレートインクを、親液性とした着色層用露光部に付着させ着色し、150℃、30分加熱処理を行い硬化させた。ここで、赤色、緑色、および青色の各インクについて、溶剤としてはポリエチレングリコールモノメチルエチルアセテート、顔料としては、赤色インクについてはC. I. Pigment Red 177、緑色インクについてはC. I. Pigment Green 36、青色インクについてはC. I. Pigment Blue 15+ C. I. Pigment Violet 23をそれぞれ用いた。
これにより、線幅100μm、遮光部30μmのRGBストライプカラーフィルターが得られた。
4). Next, the light shielding portion is formed by making the photocatalyst containing layer face the aluminum surface of the glass plate on which 0.2 μm of aluminum is deposited so that the gap is 0.5 mm. Full exposure was performed from the backside. The exposure conditions were a mercury lamp (wavelength 365 nm) with an illuminance of 70 mW / cm 2 for 20 seconds, and the colored layer exposure part was made lyophilic.
Next, thermal curing of each color of RGB including 5 parts by weight of a pigment, 20 parts by weight of a solvent, 70 parts by weight of an acrylic acid / benzyl acrylate copolymer, and 5 parts by weight of a bifunctional epoxy-containing monomer is performed using each RGB inkjet device. The polyepoxy acrylate ink was attached to the lyophilic colored layer exposure area and colored, and cured by heat treatment at 150 ° C. for 30 minutes. Here, for each of the red, green, and blue inks, the solvent is polyethylene glycol monomethyl ethyl acetate, the pigment is CI Pigment Red 177 for red ink, CI Pigment Green 36 for green ink, and CI Pigment Green 36 for blue ink Pigment Blue 15+ CI Pigment Violet 23 was used.
As a result, an RGB stripe color filter having a line width of 100 μm and a light shielding portion of 30 μm was obtained.

<実施例2>
実施例1の対向アルミニウム基板の代わりに、上記アルミニウム蒸着面上に実施例1の「2.光触媒含有層の形成」と同様の方法で、光触媒処理層が0.2μm形成された光触媒処理層付反射板を用い、光触媒含有層と光触媒処理層との間隙を0.2mmとして、遮光部が形成されていない裏面から全面露光を行った以外は、実施例1と同様に行った。
その結果、実施例1では20秒の露光でストライプカラーフィルターが形成されたが、本実験ではさらに露光時間を10秒に減少させても同様のストライプカラーフィルターが形成され、感度の向上が見られた。
<Example 2>
In place of the counter aluminum substrate of Example 1, a photocatalyst treatment layer with a 0.2 μm photocatalyst treatment layer was formed on the aluminum deposition surface by the same method as “2. Formation of photocatalyst containing layer” of Example 1. The same procedure as in Example 1 was performed, except that a reflection plate was used, the gap between the photocatalyst-containing layer and the photocatalyst treatment layer was 0.2 mm, and the entire surface was exposed from the back surface where no light shielding portion was formed.
As a result, in Example 1, a stripe color filter was formed after 20 seconds of exposure, but in this experiment, even if the exposure time was further reduced to 10 seconds, the same stripe color filter was formed, and an improvement in sensitivity was observed. It was.

<比較例1>
露光方法として、対向アルミニウム基板を用いず、かつ裏面露光は行わないで、光触媒含有層にマスクを介して水銀灯(波長365nm)により70mW/cm2の照度で20秒間パターン露光を行った以外は、実施例1と同様にカラーフィルタを作成したところ、着色層内に着色インクがぬれ広がらず、白抜けが生じた。
50秒間露光を行うことで、ようやく濡れ性の差が大きくなり、カラーフィルター形成が可能となるという、実施例と比較して感度が低いものであった。
<Comparative Example 1>
As an exposure method, a counter aluminum substrate was not used, and back exposure was not performed, except that pattern exposure was performed for 20 seconds at a illuminance of 70 mW / cm 2 with a mercury lamp (wavelength 365 nm) through a mask on the photocatalyst containing layer. When a color filter was prepared in the same manner as in Example 1, the colored ink did not spread in the colored layer, and white spots were generated.
By performing the exposure for 50 seconds, the difference in wettability is finally increased, and the color filter can be formed.

本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of the manufacturing method of the color filter of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…透明基材
2…遮光部
3…光触媒含有層
4…エネルギー
8…反射層
9…反射基板
10…着色層
11…カラーフィルタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transparent base material 2 ... Light-shielding part 3 ... Photocatalyst containing layer 4 ... Energy 8 ... Reflective layer 9 ... Reflective substrate 10 ... Colored layer 11 ... Color filter

Claims (1)

透明基材上に、遮光部を形成する遮光部形成工程と、
前記透明基材および前記遮光部を覆うように、光触媒およびオルガノポリシロキサンを含有する光触媒含有層を形成する光触媒含有層形成工程と、
前記透明基材側からエネルギーを照射することにより、前記光触媒含有層の濡れ性が変化した濡れ性変化パターンを形成する濡れ性変化パターン形成工程と、
前記濡れ性変化パターン上に、インクジェット法により着色層を形成する着色層形成工程と
を有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記濡れ性変化パターン形成工程では、前記光触媒含有層側にエネルギーを反射することができる反射層を有する反射基板を、反射層が光触媒含有層側となるように配置され、
前記反射層表面に、少なくとも光触媒を含有する光触媒処理層が形成され、
前記濡れ性変化パターン形成工程における前記反射基板の配置が、前記光触媒処理層と光触媒含有層との間隙が、200μm以下となるように配置されていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
A light shielding part forming step of forming a light shielding part on the transparent substrate;
A photocatalyst-containing layer forming step of forming a photocatalyst-containing layer containing a photocatalyst and an organopolysiloxane so as to cover the transparent substrate and the light-shielding portion;
A wettability change pattern forming step of forming a wettability change pattern in which the wettability of the photocatalyst containing layer is changed by irradiating energy from the transparent substrate side;
A colored layer forming step of forming a colored layer by an inkjet method on the wettability change pattern,
In the wettability change pattern forming step , a reflective substrate having a reflective layer capable of reflecting energy to the photocatalyst-containing layer side is disposed such that the reflective layer is on the photocatalyst-containing layer side ,
A photocatalyst treatment layer containing at least a photocatalyst is formed on the reflective layer surface,
The method for producing a color filter, wherein the reflective substrate is arranged in the wettability change pattern forming step so that a gap between the photocatalyst processing layer and the photocatalyst containing layer is 200 μm or less .
JP2004103484A 2004-03-31 2004-03-31 Manufacturing method of color filter Expired - Fee Related JP4459682B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004103484A JP4459682B2 (en) 2004-03-31 2004-03-31 Manufacturing method of color filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004103484A JP4459682B2 (en) 2004-03-31 2004-03-31 Manufacturing method of color filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005292228A JP2005292228A (en) 2005-10-20
JP4459682B2 true JP4459682B2 (en) 2010-04-28

Family

ID=35325261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004103484A Expired - Fee Related JP4459682B2 (en) 2004-03-31 2004-03-31 Manufacturing method of color filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4459682B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5213773B2 (en) * 2009-03-24 2013-06-19 富士フイルム株式会社 Ink droplet ejection method and color filter manufacturing method
EP2456823A4 (en) * 2009-07-21 2012-12-26 3M Innovative Properties Co Curable composition, method of coating a phototool, and coated phototool
TWI599590B (en) * 2010-12-08 2017-09-21 帕維蘇 莫漢帝 Depolymerization processes, apparatuses and catalysts for use in connection therewith

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11276558A (en) * 1998-03-30 1999-10-12 Kanai Hiroaki Apparatus for purifying fluid and photocatalyst body used for the same
JP3529306B2 (en) * 1998-12-09 2004-05-24 大日本印刷株式会社 Color filter and manufacturing method thereof
JP2000189809A (en) * 1999-01-01 2000-07-11 Toto Ltd Member having photocatalytic function
JP3426563B2 (en) * 2000-04-26 2003-07-14 日本電信電話株式会社 Photochemical reaction cell
JP4129135B2 (en) * 2002-02-19 2008-08-06 松下電器産業株式会社 Semiconductor package
JP2005156588A (en) * 2003-11-20 2005-06-16 Seiko Epson Corp Forming method of film pattern, functional pattern and its forming method, electro-optical device, and electronic equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005292228A (en) 2005-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3529306B2 (en) Color filter and manufacturing method thereof
JP4844016B2 (en) Color filter and manufacturing method thereof
US7369196B2 (en) Color filter
US7371486B2 (en) Color filter
JP4289924B2 (en) Pattern forming body
JP2006337803A (en) Color filter
US20060006373A1 (en) Method for manufacturing pattern formed structure
JP2002040231A (en) Color filter and method for manufacturing the same
JP4459682B2 (en) Manufacturing method of color filter
JP2008020517A (en) Color filter
JP4188007B2 (en) Manufacturing method of color filter
JP4515699B2 (en) Manufacturing method of color filter
JP4401213B2 (en) Color filter
JP4451187B2 (en) Color filter
JP4629370B2 (en) Color filter and manufacturing method thereof
JP2005283892A (en) Color filter and manufacturing method of color filter
JP2006010883A (en) Color filter and manufacturing method therefor
JP2004348043A (en) Polarizing plate and method for manufacturing polarizing plate
JP4601367B2 (en) Manufacturing method of color filter
JP4236080B2 (en) Manufacturing method of color filter
JP2005249881A (en) Color filter
JP2002139615A (en) Composition for variable wettability film and wettability variable film
JP4408392B2 (en) Method for producing pattern forming body
JP2005249857A (en) Color filter
JP2005292508A (en) Method for manufacturing color filter

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070123

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091027

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091225

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100209

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100210

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees