JP4443560B2 - 金属容器を電極として用いた炭素ナノチューブチップ製造装置及びその製造方法 - Google Patents
金属容器を電極として用いた炭素ナノチューブチップ製造装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4443560B2 JP4443560B2 JP2006356184A JP2006356184A JP4443560B2 JP 4443560 B2 JP4443560 B2 JP 4443560B2 JP 2006356184 A JP2006356184 A JP 2006356184A JP 2006356184 A JP2006356184 A JP 2006356184A JP 4443560 B2 JP4443560 B2 JP 4443560B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon nanotube
- chip
- carbon
- metal container
- carbon nanotubes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
- C25D1/12—Electroforming by electrophoresis
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
炭素は生体に拒否反応がなく、生きている細胞内で起こる生化学的な反応をリアルタイムで測定できる探針として用いられることができる。 この時使われる炭素ナノチューブは、化学気相法により成長した多層壁炭素ナノチューブであり、表面に欠陥(defect)が多くて、多様な機能化が容易である。
炭素ナノチューブは電気伝導度が優れていて、縦横比が高く、電気放出に非常に有用な材料である。特に、レーザー蒸着や電気アーク放電によって作った多層炭素ナノチューブは結晶性が良く、多量の電流を流すことができる。現存する冷陰極タングステンチップ(W tip)に比べて印加電圧が低く、より高い電流を放出でき、放出される電子のエネルギー分布が狭くて電子顕微鏡等の電子銃(electron gun)に応用できる。
縦横比が良好で、狭小な空間に存在する小さな物体に容易に接近でき、柔軟性が飛び抜けていて、試料を損傷せず取り扱うことができる。また、熱処理過程を通した金属及び半導体チップとチューブとの間の接触抵抗を下げることができ、電気伝導度が優れている炭素ナノチューブは試料の電気的特性を研究するにおいて、空間上に存在する非常に狭い線幅を有する電極である。
炭素ナノチューブを原子間力顕微鏡チップに付けて、狭く深い溝を有する試料の地形を容易に分析できる。
11:金属容器
12:タングステンチップ
13:AC/DC電源供給器
14:電流計
15:炭素ナノチューブ
16:電場
Claims (7)
- その内部に溝を有する金属容器を電極として使用し、金属チップ又は半導体チップの先端に、電気泳動の原理を用いて、溶媒に分散した炭素ナノチューブを付着させることを特徴とする炭素ナノチューブチップ製造方法。
- AC又はDCパルスを供給するAC/DC電源供給器13;
上記AC/DC電源供給器13から電源を供給され、その先端に炭素ナノチューブ15が付着される金属チップ又は半導体チップ12;
上記AC/DC電源供給器13に連結されている、電流の測定のための電流計14;及び、
電極として使用され、その内部に炭素ナノチューブ溶液を収容し得る溝を有する金属容器11;
を含む炭素ナノチューブチップ製造装置。 - 上記金属容器11は、電気泳動時に均一な電場が加えられ得るように、直径対深さの比において直径が深さよりも小さいことを特徴とする請求項2に記載の炭素ナノチューブチップ製造装置。
- 上記金属容器11は、半球形又は円錐形であることを特徴とする請求項2に記載の炭素ナノチューブチップ製造装置。
- 上記炭素ナノチューブ溶液には、薄い多層炭素ナノチューブ、単層、二重層又は多層の炭素ナノチューブが使用されることを特徴とする請求項2に記載の炭素ナノチューブチップ製造装置。
- 上記炭素ナノチューブ溶液を製造するにあたって、溶媒は、DCE(1,2-dichloroethane)、DMF(N,N-dimethylformamide)、THF(tetrahydrofuran)、NMP(N-Methyl pyrrolidone)、アセトン及びイソプロフィルアルコールで構成された群から選択された非水系溶媒、又はODA(octadecylamine)、SDS(sodiumdodecylsulfate) 及びDNA(deoxyribonucleic acid)で構成された群から選択された界面活性制を含む水系溶液を使用して、炭素ナノチューブを分散溶液にすることを特徴とする請求項2に記載の炭素ナノチューブチップ製造装置。
- 炭素ナノチューブを金属容器内に投与する段階;
AC/DC電源供給器を通してAC及びDCパルスを金属チップ又は半導体チップに供給する段階;
上記タングステンチップを上記金属容器の炭素ナノチューブ溶液の表面に位置させる段階;及び、
上記チップと溶液表面との角を調節し、望みの方向に炭素ナノチューブを上記チップに付着させる段階;
を含む炭素ナノチューブチップ製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050136241A KR100781036B1 (ko) | 2005-12-31 | 2005-12-31 | 금속용기를 전극으로 이용한 탄소나노튜브 나노프로브 제조 장치 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007182376A JP2007182376A (ja) | 2007-07-19 |
JP4443560B2 true JP4443560B2 (ja) | 2010-03-31 |
Family
ID=38338761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006356184A Expired - Fee Related JP4443560B2 (ja) | 2005-12-31 | 2006-12-28 | 金属容器を電極として用いた炭素ナノチューブチップ製造装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7959781B2 (ja) |
JP (1) | JP4443560B2 (ja) |
KR (1) | KR100781036B1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10191082B1 (en) * | 2007-01-30 | 2019-01-29 | Victor B. Kley | Carbon nanotube probes and structures and methods of measurement |
US7847273B2 (en) * | 2007-03-30 | 2010-12-07 | Eloret Corporation | Carbon nanotube electron gun |
KR20100087740A (ko) * | 2007-12-10 | 2010-08-05 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 고체 박막 마스크를 이용한 나노 구조물 및 흡착물질의 흡착방법 |
US8308930B2 (en) | 2008-03-04 | 2012-11-13 | Snu R&Db Foundation | Manufacturing carbon nanotube ropes |
KR101052147B1 (ko) * | 2008-03-04 | 2011-07-26 | 서울대학교산학협력단 | 탄소나노튜브 로프 제조방법 및 장치, 탄소나노튜브 로프를 포함하는 냉전자 음극 제조방법, 및 탄소나노튜브 로프 제조방법을 위한 프로세서 판독 가능 저장 매체 |
KR100996227B1 (ko) * | 2008-08-01 | 2010-11-23 | 한국표준과학연구원 | 에스피엠 나노탐침 및 그 제조방법 |
US8673258B2 (en) | 2008-08-14 | 2014-03-18 | Snu R&Db Foundation | Enhanced carbon nanotube |
US8357346B2 (en) | 2008-08-20 | 2013-01-22 | Snu R&Db Foundation | Enhanced carbon nanotube wire |
US8021640B2 (en) | 2008-08-26 | 2011-09-20 | Snu R&Db Foundation | Manufacturing carbon nanotube paper |
KR101097217B1 (ko) | 2008-09-17 | 2011-12-22 | 한국기계연구원 | 카본 나노 튜브가 코팅된 프로브 카드용 미세 접촉 프로브 및 그 제조방법 |
EP2282217B1 (en) * | 2009-08-07 | 2018-01-03 | SPECS Surface Nano Analysis GmbH | Metal tip for scanning probe applications and method of producing the same |
KR101145743B1 (ko) * | 2010-06-29 | 2012-05-16 | 경희대학교 산학협력단 | 탄소나노튜브를 이용한 전자방출원의 제조방법, 전자방출원, 엑스선 음극부 및 엑스선 발생 장치 |
KR101311780B1 (ko) * | 2011-06-09 | 2013-09-25 | 경희대학교 산학협력단 | 탄소나노튜브 수직 배향 방법 및 장치 |
US8858778B2 (en) * | 2012-01-19 | 2014-10-14 | Michael James Darling | Method for DNA defined etching of a graphene nanostructure |
JP6159564B2 (ja) * | 2013-04-23 | 2017-07-05 | 田中貴金属工業株式会社 | センサー用電極およびその製造方法 |
CN115420781A (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-02 | 北京工业大学 | 一种碳纤维纳米电极及其制备方法与应用 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3557459B2 (ja) * | 2001-06-26 | 2004-08-25 | 北海道大学長 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2006513048A (ja) * | 2002-12-09 | 2006-04-20 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ アット チャペル ヒル | ナノ構造を含む材料を集めるおよび分類する方法および関連する物品 |
KR100597067B1 (ko) * | 2003-11-20 | 2006-07-07 | 한국기계연구원 | 탐침 팁에의 나노물질 조립장치 및 이 장치가 적용된주사탐침 현미경 |
-
2005
- 2005-12-31 KR KR1020050136241A patent/KR100781036B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-12-28 JP JP2006356184A patent/JP4443560B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-29 US US11/648,033 patent/US7959781B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007182376A (ja) | 2007-07-19 |
KR100781036B1 (ko) | 2007-11-29 |
US20080000773A1 (en) | 2008-01-03 |
KR20070072222A (ko) | 2007-07-04 |
US7959781B2 (en) | 2011-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4443560B2 (ja) | 金属容器を電極として用いた炭素ナノチューブチップ製造装置及びその製造方法 | |
US6709566B2 (en) | Method for shaping a nanotube and a nanotube shaped thereby | |
US7226663B2 (en) | Method for synthesizing nanoscale structures in defined locations | |
US7067098B2 (en) | Method for forming an array of single -wall carbon nanotubes and compositions thereof | |
US6887451B2 (en) | Process for preparing carbon nanotubes | |
Terrones et al. | The carbon nanocosmos: novel materials for the twenty-first century | |
JP2006513048A (ja) | ナノ構造を含む材料を集めるおよび分類する方法および関連する物品 | |
Komarov et al. | Carbon nanotubes: present and future | |
Cole et al. | Engineered carbon nanotube field emission devices | |
Lim et al. | Nanomanipulator-assisted fabrication and characterization of carbon nanotubes inside scanning electron microscope | |
Suen et al. | Low-temperature fabrication of carbon nanofibers by self-assembling of polycyclic aromatic hydrocarbon molecules | |
Cassell et al. | Carbon nanotubes by CVD and applications | |
RPatel et al. | Synthesis, Purification and Identification of Carbon Nanotubes: A Review | |
Raghavan | Synthesis of multi-walled carbon nanotubes by plasma enhanced microwave CVD using colloidal form of iron oxide as a catalyst | |
Ali et al. | Carbon Nanotubes: A Material of 21st Century | |
Geng | Production, processing and assembly of carbon nanotubes | |
Zou et al. | Chemical vapor deposition growth of multi-walled carbon nanotubes on metallic substrates | |
LAI | FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF CARBON NANOTUBES FOR PRESSURE SENSING APPLICATION | |
Gracia Espino | Anchorage of small cluster of manganese oxide, zinc oxide and silver on nitrogen doped and functionalized carbon nanotubes | |
Zou et al. | Chemical Vapor Deposition Growth of Multi-walled Carbon Nanotubes on Metallic Substrates XP Zou, H. Abe 2, T. Shimizu 2, A. Ando 3, H. Tokumoto 2, 4, SM Zhu 5, and HS Zhou 5 | |
Jain | Modification and application of carbon nanotubes | |
Meyyappan | Carbon Nanotubes by CVD and Applications | |
JAIN | Synthesis of Carbon Nanotubes and Development of Remote Actuators | |
Yi | Direct Growth of Carbon Nanotubes on Inconel Sheets Using Hot Filament Chemical Vapor Deposition | |
Terrones et al. | The shape of carbon: novel materials for the 21st century |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140122 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |