JP4441667B2 - Tape cartridge for dust removal - Google Patents
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Description
本発明は、テープ基材の表面にコーティングされた塗膜により、クリーンルーム内の製品等の表面やルーム床・壁面等の対象物上に存在するごみ等の異物を除去する為の、ごみ取り用テープカートリッジ（カセット）の技術分野に属する。 The present invention is a dust removing tape for removing foreign matters such as dust existing on the surface of a product in a clean room or an object such as a room floor / wall by a coating film coated on the surface of a tape base material. It belongs to the technical field of cartridges (cassettes).
従来の半導体製造用クリーンルーム等で使用されるごみ等異物除去用品としては、一般的には、粘着テープをごみ取りカートリッジに搭載したもの、また、テープに不織布を搭載したもの、さらに、スティックローラでごみを取り、専用転写シートであるスティッククリーナにごみを転写する方式のもの等がある。
しかし、粘着テープを用いたものは、対象物にテープを押し付けた際に粘着剤の一部が対象物に残ったり、折角取ったごみが粘着剤と共に残ってしまうという問題がある。また、テープに不織布を搭載したものは、ヘッド通過後の不織布の自動巻取りが出来ず、テープを手動で巻取る方式であるから、取扱が不便であるという問題がある。そして、スティックローラでごみを取り、専用転写シートにごみを転写する方式のものは、ごみを取り、次に、転写シートにごみを移す、という２つの動作（手間）が必要であるという問題がある。
As a foreign matter removing article such as dust used in a conventional clean room for semiconductor manufacturing, generally, an adhesive tape is mounted on a cartridge, a tape is mounted with a non-woven fabric, and a stick roller is used to clean And a method of transferring dust to a stick cleaner which is a dedicated transfer sheet.
However, the one using the adhesive tape has a problem that when the tape is pressed against the object, a part of the adhesive remains on the object, or the trash taken off with the adhesive remains. Moreover, since the nonwoven fabric mounted on the tape cannot automatically wind the nonwoven fabric after passing through the head and is a method of manually winding the tape, there is a problem that handling is inconvenient. The method of removing dust with a stick roller and transferring the dust to a dedicated transfer sheet requires two operations (labor): removing the dust and then transferring the dust to the transfer sheet. is there.
本発明は、上記の問題を解決解消することができる技術的手段、すなわち、テープ表面の粘着剤等が対象物に残らず、且つ、１動作でごみ取り操作を完了することができる、ごみ取り用テープカートリッジを提供することを目的とする。 The present invention is a technical means capable of solving and solving the above-mentioned problems, that is, a tape for dust removal in which the adhesive on the surface of the tape does not remain on the object and the dust removal operation can be completed in one operation. An object is to provide a cartridge.
本発明は、基材に密着層からなる塗膜を塗布したテープを巻回した繰出しリールと、前記テープの表面を対象物に接触させるヘッドと、前記ヘッド通過後のテープを巻取る巻取りリールと、前記両リール間に連動手段を有し、対象物にヘッドを接触させて、対象物上を移動させることにより、繰出しリールが動き、繰出しリールの動きが連動手段を介して巻取りリールを回転させるテープカートリッジにおいて、
ヘッド先端がローラ構造であり、前記テープの密着層がローラを介して、前記対象物に圧着させながらテープカートリッジを対象物上を移動させることによって、密着層がごみの凹凸に食い込んで、ごみを密着層に付着させて、対象物上のごみを除去するものであり、かつ密着層は、前記基材から剥離しないものであり、ヘッド通過後の密着層に付着したごみは、巻取りリール側にテープと共に巻き取られるものであり、前記密着層は、両末端にのみビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンと、両末端及び側鎖にビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンとから選ばれる少なくとも１種のシリコーンを架橋させてなるものからなることを特徴とする、ごみ取り用テープカートリッジにより、前記課題を解決した。
The present invention relates to a supply reel wound with a tape coated with a coating film comprising an adhesion layer on a substrate, a head for bringing the surface of the tape into contact with an object, and a take-up reel for winding the tape after passing through the head And an interlocking means between the reels , the head is brought into contact with the object and moved on the object, whereby the feeding reel moves, and the movement of the feeding reel moves the winding reel via the interlocking means. In the rotating tape cartridge,
The tip of the head has a roller structure, and the adhesive layer bites into the irregularities of the dust by moving the tape cartridge over the object while the adhesive layer of the tape is pressed against the object via the roller. It adheres to the adhesion layer and removes dust on the object, and the adhesion layer does not peel from the substrate, and the dust adhered to the adhesion layer after passing through the head is on the take-up reel side. The adhesive layer is composed of a silicone composed of a linear polyorganosiloxane having vinyl groups only at both ends, and a linear polyorganosiloxane having vinyl groups at both ends and side chains. to crosslink the at least one silicone selected from silicone consisting characterized in that it consists of those comprising, a Noise Removal tape cartridge , It has solved the above problems.
本発明のごみ取り用テープカートリッジは、用いるテープに特徴があり、テープ基材上に密着機能を有する密着層からなる塗膜が設けられており、この密着層の厚さを比較的厚くすることにより、対象物にあるごみ等の異物の凹凸によく食込んでごみ等の異物を密着層に確実に付着させることができる。
また、このテープは対象物に対する剥離力を非常に低くすることにより、塗膜がテープ基材から容易に剥離しないようにすることができるので、ヘッド通過後の塗膜が対象物に貼付く状態にならず、巻取りリール側に自動的に巻取りが可能となる。
その結果、ヘッド通過後のテープの表面には異物が付着しているが、巻取りリールにそのままの状態で順次巻取られてカートリッジに収納されるため、カートリッジの外部に異物が飛出すことがない。
なお、テープ表面を対象物に接触させるヘッドは、ヘッド先端がへら状構造でもローラ構造でもよく、要はテープ表面を対象物に接触させる構造であればよい。
The tape cartridge for dust removal of the present invention is characterized by the tape to be used, and a coating film comprising an adhesion layer having an adhesion function is provided on the tape base material, and by making the thickness of this adhesion layer relatively thick Thus, the foreign matter such as dust can be surely adhered to the adhesion layer by biting into the irregularities of the foreign matter such as dust on the object.
In addition, since this tape can make the coating film not easily peel off from the tape base material by making the peeling force to the object very low, the coating film after passing the head is stuck on the object Thus, the take-up reel can be automatically wound up.
As a result, foreign matter adheres to the surface of the tape after passing through the head, but the foreign matter may jump out of the cartridge because it is sequentially wound on the take-up reel and stored in the cartridge. Absent.
The head that contacts the surface of the tape with the object may be a spatula structure or a roller structure at the tip of the head, as long as the tape surface is brought into contact with the object.
好ましくは、ヘッド先端をへら状構造でなくローラ構造とすることで、対象物から離れるテープの折曲げの形状が円弧状となるので、異物とテープ表面との接触範囲がへら状構造よりも大きくなり、その結果、テープに付着した異物が剥がれ難くすることができる。さらに、ローラがゴムやエラストマ等の比較的柔らかい材質で形成することにより、対象物にヘッドを押付けると、ヘッドのローラ表面が対象物に押付けられてローラ表面が扁平に変形し、対象物との接触面積が増大し（面接触）、密着層に異物がより付着し易くなる。 Preferably, the tip of the head has a roller structure instead of a spatula structure, so that the tape bent away from the object has an arcuate shape. As a result, the foreign matter adhering to the tape can be made difficult to peel off. Furthermore, since the roller is made of a relatively soft material such as rubber or elastomer, when the head is pressed against the object, the roller surface of the head is pressed against the object, and the roller surface is deformed flatly. The contact area increases (surface contact), and foreign substances are more likely to adhere to the adhesion layer.
図１は、本発明のごみ取り用テープカートリッジ（以下、単に「カートリッジ」という。）１０の縦断面図である。
このカートリッジ１０に搭載されるテープＴの構成は、後で詳述する。
繰出しリール１２は、駆動ベルト（実際にはＯリング）１６によって巻取りリール１４に連動して動くようになっているので、一方が回転すると他方も回転する。駆動ベルト方式ではなく、複数の歯車の噛合いによって連動させてもよい。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a dust removing tape cartridge (hereinafter simply referred to as “cartridge”) 10 of the present invention.
The configuration of the tape T mounted on the
Since the
なお、テープＴが巻取りリール１４に巻取られる構造は、「修正テープ装置」や、「テープ式のり」等に用いられているものと同様で、それ自体周知であるので、詳細な説明は省略する。
The structure in which the tape T is wound around the take-
図２は、このカートリッジ１０を使用する際の側面図を示す。
このカートリッジ１０の外容器に相当するカセット２０を手で把持し、押圧してローラＲを異物のある対象物４０に圧着させながら、矢印で示した作動方向へ移動させる。
すると、それに伴って、テープ繰出しリール１２及びテープ巻取りリール１４が回転し、繰出しリール１２からテープＴが引出されて対象物４０上の異物（図示せず。）を付着させて除去する。対象物４０との密着箇所を通過したテープＴは巻取りリール１４に巻取られる。
FIG. 2 shows a side view when the
The
Accordingly, the
図３は、図２の要部を拡大した縦断面図である。
テープ基材Ｔａの表面に塗膜ＴｂがコーティングされてなるテープＴが、塗膜Ｔｂを外側にしてローラＲにより対象物４０に押付けられる。
図２の状態でカートリッジ１０を操作することにより、テープＴが対象物４０上の異物を付着させ、テープＴの走行方向であるカートリッジ１０の内部へ異物を除去する。
FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view of a main part of FIG.
The tape T in which the surface of the tape substrate Ta is coated with the coating film Tb is pressed against the
By operating the
なお、ヘッド３０の先端構造を、修正テープ装置によく見られる「へら状構造」でなく「ローラ構造」とすることで、対象物４０から離れるテープＴの折曲げ形状が円弧状となるので、異物とテープ表面との接触範囲がへら状構造よりも大きくなり、その結果、テープＴに付着した異物が剥がれ難くなる。
さらに、ローラＲがゴムやエラストマ等の比較的柔らかい材質で形成されていると、対象物４０にヘッド３０を押付けた際、ローラＲの表面が対象物４０に押付けられて表面が扁平に変形するので、対象物４０との接触面積が増大し（面接触）、密着層に異物がより付着し易くなる。
In addition, since the front end structure of the
Furthermore, when the roller R is formed of a relatively soft material such as rubber or elastomer, when the
なお、後に説明するように、テープＴの剪断力が比較的高い値であるにも拘らず、テープＴを被着体から剥がす時の剥離力が低いという特性により、テープ基材Ｔａの表面上に積層された塗膜Ｔｂは対象物に残らない。 As will be described later, the tape T has a relatively high value on the surface of the tape substrate Ta due to the low peeling force when the tape T is peeled off from the adherend despite the fact that the shearing force of the tape T is relatively high. The coating film Tb laminated on does not remain on the object.
本発明で用いるテープＴとしては、例えば、特開２００４―５９８００号公報に開示されているものが好適で、これは、テープ基材上に密着機能を有する密着層を設けたテープで、テープの密着層面を被着体に貼合わせたものを、貼合わせた面と平行にずらす力（以下、「剪断力」という。）が、比較的高い値であるにも拘らず（具体的には、１．０Ｎ／ｃｍ２ 以上の剪断力を持つ。）、被着体か ら剥がす時の力（以下、「剥離力」という。）は１０ｍＮ／１２．７ｍｍ未満で、殆ど０に近いものである。従って、一般に呼ばれる「粘着シート」のように、被着体に対して剪断力が高いと同時に剥離力もそこそこあるもの（具体的には、１００ｍＮ／１２．７ｍｍ以上の剥離力を持つ。）とは異なるものである。 As the tape T used in the present invention, for example, a tape disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-59800 is suitable. This is a tape in which an adhesive layer having an adhesive function is provided on a tape substrate. Despite the relatively high value of the force for shifting the adhesive layer surface bonded to the adherend parallel to the bonded surface (hereinafter referred to as “shearing force”) (specifically, It has a shearing force of 1.0 N / cm 2 or more.) The force when peeling from the adherend (hereinafter referred to as “peeling force”) is less than 10 mN / 12.7 mm, which is almost zero. . Therefore, a generally called “adhesive sheet” has a high shearing force on the adherend and a moderate peeling force (specifically, it has a peeling force of 100 mN / 12.7 mm or more). Is different.
前記特開２００４―５９８００号公報に開示されているテープは、テープ基材の片面に、両末端にのみビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンと、両末端及び側鎖にビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンとから選ばれる少なくとも１種のシリコーンを架橋させてなる密着層を設け、もう一方の面に、受像層を設けたことを特徴とするものである。しかし、本発明では、その目的上、密着層だけあればよく、受像層は必要としない。
なお、前記密着層を構成する材料は、下記の一般式（化１）で表される化合物である。
The tape disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-59800 includes a silicone made of linear polyorganosiloxane having vinyl groups only at both ends on one side of a tape base material, and vinyl groups at both ends and side chains. It is characterized in that an adhesion layer formed by crosslinking at least one kind of silicone selected from silicones composed of a linear polyorganosiloxane having a surface is provided, and an image receiving layer is provided on the other surface. However, in the present invention, for the purpose, only an adhesion layer is required, and no image receiving layer is required.
In addition, the material which comprises the said contact | adherence layer is a compound represented by the following general formula (Formula 1).
このビニル基以外のケイ素原子に結合した有機基（Ｒ）は異種でも同種でもよいが、具体例としてはメチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、又はこれらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部をハロゲン原子、シアノ基等で置換した同種又は異種の非置換又は置換の脂肪族不飽和基を除く１価炭化水素基で好ましくはその少なくとも５０モル％がメチル基であるもの等が挙げられるが、この化合物は、単独でも２種以上の混合物であってもよい。
The organic group (R) bonded to the silicon atom other than the vinyl group may be different or of the same type. Specific examples include an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group and a propyl group, an aryl group such as a phenyl group and a tolyl group, Or a monovalent hydrocarbon group other than the same or different unsubstituted or substituted aliphatic unsaturated group in which part or all of the hydrogen atoms bonded to carbon atoms of these groups are substituted with a halogen atom, a cyano group or the like. Include those in which at least 50 mol% is a methyl group. These compounds may be used alone or as a mixture of two or more thereof.
この密着層の厚みは、１．１〜１００μｍと比較的厚くされる。そうすることによって、密着層が対象物４０上にあるごみ等の異物の凹凸によく食込んでごみ等の異物を密着層に確実に付着させることができる。
The thickness of the adhesion layer is relatively thick, 1.1 to 100 μm. By doing so, it is possible for the adhesion layer to sufficiently dig into the irregularities of foreign matter such as dust on the
なお、テープ基材Ｔａに使用される基材フィルムは、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂フィルムの単層体又はこれらの複層体からなる厚さが１０〜５００μｍのシート等が挙げられる。好ましくは、厚さが、５０〜２００μｍのポリエステルフィルムがよい。ポリエステルフィルムが好ましいのは、密着層との密着性が良いことと、適度なこしがあることにより、製造工程でのハンドリングがよいためである。 The base film used for the tape base Ta is polyethylene, polyester, polyamide, polyimide, polycarbonate, ethylene vinyl acetate copolymer, ethylene ethyl acrylate copolymer, ethylene polypropylene copolymer, polyvinyl chloride, etc. Examples thereof include a single layer of a synthetic resin film or a sheet having a thickness of 10 to 500 μm composed of these multilayers. A polyester film having a thickness of 50 to 200 μm is preferable. The polyester film is preferable because it has good adhesion to the adhesion layer and has a proper strain, so that handling in the production process is good.
本発明では、前記のように、テープの密着層面を被着体に貼合わせたものを、貼合わせた面と平行にずらすための剪断力が比較的高い値であるにも拘らず、被着体から剥がす時の剥離力が殆ど０に近いという特徴を持つテープをごみ取り用テープカートリッジに収納したことにより、所期の、「テープ表面の粘着剤等が対象物に残らず、且つ、１動作でごみ取り操作を完了することができる、ごみ取り用テープカートリッジを提供する」という目的を達成することができた。 In the present invention, as described above, although the adhesive layer surface of the tape is bonded to the adherend, the shear force for shifting the tape in parallel with the bonded surface is a relatively high value. The tape with the characteristic that the peeling force when peeling from the body is almost zero is housed in the tape cartridge for dust removal. The purpose of “providing a tape cartridge for dust removal that can complete the dust removal operation in the above” was achieved.
１０：ごみ取り用テープカートリッジ
１２：繰出しリール
１４：巻取りリール
１６：駆動ベルト
２０：カセット
３０：ヘッド
４０：対象物
Ｒ：ローラ
Ｔ：テープ
Ｔａ：テープ基材
Ｔｂ：塗膜
10: Tape cartridge for dust removal 12: Delivery reel 14: Take-up reel 16: Drive belt 20: Cassette 30: Head 40: Object R: Roller T: Tape Ta: Tape base material Tb: Coating film
Claims (2)
ヘッド先端がローラ構造であり、前記テープの密着層がローラを介して、前記対象物に圧着させながらテープカートリッジを対象物上を移動させることによって、密着層がごみの凹凸に食い込んで、ごみを密着層に付着させて、対象物上のごみを除去するものであり、かつ密着層は、前記基材から剥離しないものであり、ヘッド通過後の密着層に付着したごみは、巻取りリール側にテープと共に巻き取られるものであり、前記密着層は、両末端にのみビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンと、両末端及び側鎖にビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンとから選ばれる少なくとも１種のシリコーンを架橋させてなるものからなることを特徴とする、
ごみ取り用テープカートリッジ。 A feeding reel wound with a tape coated with a coating film comprising an adhesion layer on a substrate; a head for bringing the surface of the tape into contact with an object; a take-up reel for winding the tape after passing the head; A tape cartridge having interlocking means between the reels , moving the top of the object by bringing the head into contact with the object and moving the supply reel, and the movement of the supply reel rotates the take-up reel via the interlocking means In
The tip of the head has a roller structure, and the adhesive layer bites into the irregularities of the dust by moving the tape cartridge over the object while the adhesive layer of the tape is pressed against the object via the roller. It adheres to the adhesion layer and removes dust on the object, and the adhesion layer does not peel from the substrate, and the dust adhered to the adhesion layer after passing through the head is on the take-up reel side. The adhesive layer is composed of a silicone composed of a linear polyorganosiloxane having vinyl groups only at both ends, and a linear polyorganosiloxane having vinyl groups at both ends and side chains. Characterized in that it is formed by crosslinking at least one silicone selected from the group consisting of silicones ,
Tape cartridge for dust removal.
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