JP4441215B2 - Method for manufacturing plasma display panel - Google Patents

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Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel .

近年、表示装置や導体回路は小型化、高精細化及び高密度化の要求が高まっており、これに伴って、パターン加工技術の向上が望まれている。特に、導体回路におけるパターンの微細化は小型化及び高密度化には不可欠な要求として様々な方法が提案されている。   In recent years, there has been an increasing demand for miniaturization, high definition, and high density of display devices and conductor circuits, and accordingly, improvement of pattern processing technology is desired. In particular, various methods have been proposed as miniaturization of patterns in conductor circuits as an indispensable requirement for miniaturization and high density.

プラズマディスプレイパネル(以下、単に「PDP」と呼ぶ)は液晶パネルと比較して高速表示が可能であり、さらに、容易に大型化できることから、多くの電子機器に、その表示部として用いられている。   A plasma display panel (hereinafter simply referred to as “PDP”) is capable of high-speed display as compared with a liquid crystal panel, and can be easily increased in size, so that it is used as a display unit in many electronic devices. .

このようなPDPの使用の拡大に伴い、多数の表示セルを有するカラーPDPが注目されている。カラーPDPは、気体放電により発生した紫外線により、放電セル内面に塗布された赤、緑及び青に発光する蛍光体を励起させ、三原色発光を得ることにより、カラー表示を実現するものである。   With the expansion of the use of such PDPs, a color PDP having a large number of display cells has attracted attention. The color PDP realizes color display by exciting phosphors that emit red, green, and blue light applied to the inner surface of the discharge cell with ultraviolet rays generated by gas discharge to obtain light emission of three primary colors.

図11は、従来のAC面放電型のカラープラズマディスプレイパネルの構造を示す斜視図である。   FIG. 11 is a perspective view showing the structure of a conventional AC surface discharge type color plasma display panel.

このカラープラズマディスプレイパネル100は表示側の第一基板110と、第一基板110と対向して配置された第二基板120とからなる。   The color plasma display panel 100 includes a display-side first substrate 110 and a second substrate 120 arranged to face the first substrate 110.

第一基板110は、第一ガラス基板111と、第一ガラス基板111上において相互に平行に形成された複数のライン状の面放電電極112と、第一ガラス基板111及び面放電電極112を覆って形成された透明グレーズ層113と、透明グレーズ層113に形成されたブラックマトリクス114と、から構成されている。   The first substrate 110 covers the first glass substrate 111, the plurality of line-shaped surface discharge electrodes 112 formed in parallel with each other on the first glass substrate 111, and the first glass substrate 111 and the surface discharge electrode 112. The transparent glaze layer 113 formed in this way, and the black matrix 114 formed in the transparent glaze layer 113.

面放電電極112は金属のバス電極が積層された透明導電膜からなる。   The surface discharge electrode 112 is made of a transparent conductive film in which metal bus electrodes are stacked.

透明グレーズ層113の表面には酸化マグネシウム膜が付着している。   A magnesium oxide film is attached to the surface of the transparent glaze layer 113.

ブラックマトリクス114は格子状に形成されており、各格子が一つの画素を画定している。   The black matrix 114 is formed in a lattice shape, and each lattice defines one pixel.

第二基板120は、第二ガラス基板121と、第二ガラス基板121上において相互に隔置して形成された複数のデータ電極122と、第二ガラス基板121及びデータ電極122を覆って形成されたグレーズ層123と、グレーズ層123上においてデータ電極122の間に形成された複数のストライプ状の白色の隔壁124と、相互に隣接する隔壁124の間においてグレーズ層123及び隔壁124の側面を覆って形成された白色微粒子からなる無機材料層125と、無機材料層125を覆って形成された蛍光体層126と、から構成されている。   The second substrate 120 is formed to cover the second glass substrate 121, the plurality of data electrodes 122 formed on the second glass substrate 121 and spaced apart from each other, and the second glass substrate 121 and the data electrode 122. The side surfaces of the glaze layer 123 and the partition 124 are covered between the glaze layer 123, the plurality of striped white partitions 124 formed between the data electrodes 122 on the glaze layer 123, and the partitions 124 adjacent to each other. And an inorganic material layer 125 made of white fine particles and a phosphor layer 126 formed so as to cover the inorganic material layer 125.

蛍光体層126は放電セルを形成する隔壁124の側面及びグレーズ層123の表面に形成されており、赤、緑及び青の各蛍光体がこの順番に塗り分けられている。   The phosphor layer 126 is formed on the side surfaces of the barrier ribs 124 forming the discharge cells and the surface of the glaze layer 123, and red, green and blue phosphors are separately applied in this order.

第一基板110と第二基板120との間には放電ガスが封入される。   A discharge gas is sealed between the first substrate 110 and the second substrate 120.

走査電極(図示せず)には走査パルスが順次印加され、それに同期して選択されたデータ電極122にデータパルスが印加される。   Scan pulses are sequentially applied to scan electrodes (not shown), and data pulses are applied to selected data electrodes 122 in synchronization therewith.

このような走査がパネルの全面にわたって行われた後、パネル全面で維持放電を行い、カラー発光が得られる。   After such scanning is performed on the entire surface of the panel, a sustain discharge is performed on the entire surface of the panel, and color light emission is obtained.

このような動作を、60分の1秒のフィールド期間内に、ディジタル化された階調データに対応した所定の発光回数を有する複数のサブフィールドで行い、例えば、カラーテレビなどの表示が行われる。   Such an operation is performed in a plurality of subfields having a predetermined number of times of light emission corresponding to digitized gradation data within a 1/60 second field period, and for example, display on a color television or the like is performed. .

図12は、データ電極122を形成する方法における各過程を示す第二基板120の断面図である。   FIG. 12 is a cross-sectional view of the second substrate 120 showing each process in the method of forming the data electrode 122.

先ず、図12(A)に示すように、第二ガラス基板121を用意する。   First, as shown in FIG. 12A, a second glass substrate 121 is prepared.

次いで、図12(B)に示すように、第二ガラス基板121の表面上に感光性銀ペースト127を塗布する。   Next, as shown in FIG. 12B, a photosensitive silver paste 127 is applied on the surface of the second glass substrate 121.

次いで、図12(C)に示すように、感光性銀ペースト127上に所定のパターンを有するガラスマスク128を配置し、その後、ガラスマスク128を介して感光性銀ペースト127に光を照射する。   Next, as shown in FIG. 12C, a glass mask 128 having a predetermined pattern is placed on the photosensitive silver paste 127, and then the photosensitive silver paste 127 is irradiated with light through the glass mask 128.

次いで、ガラスマスク128を取り外した後、図12(D)に示すように、露光した感光性銀ペースト127を現像する。   Next, after removing the glass mask 128, the exposed photosensitive silver paste 127 is developed as shown in FIG.

この後、感光性銀ペースト127の溶解液に浸すことにより、図12(E)に示すように、感光性銀ペースト127の露光した領域のみが残り、感光性銀ペースト127の露光しなかった領域は除去される。感光性銀ペースト127の残った領域は焼成される。   Thereafter, by immersing in a solution of the photosensitive silver paste 127, as shown in FIG. 12E, only the exposed area of the photosensitive silver paste 127 remains, and the area where the photosensitive silver paste 127 has not been exposed. Is removed. The remaining area of the photosensitive silver paste 127 is baked.

このようにして、ガラスマスク128のパターンに従ったデータ電極122が形成される。   In this way, the data electrode 122 according to the pattern of the glass mask 128 is formed.

前述のように、近年、PDPには高精細化が要求されるようになっているが、PDPを高精細化させるためには、その前提として、データ電極122を高精細化させることが必要である。しかしながら、以下の理由により、データ電極122の高精細化は実現が困難であった。   As described above, in recent years, high definition has been required for PDPs. However, in order to increase the definition of PDPs, it is necessary to increase the definition of data electrodes 122 as a prerequisite. is there. However, it has been difficult to achieve high definition of the data electrode 122 for the following reasons.

現在使用されている感光性銀ペーストに含まれている銀粒子はその粒子径が大きいため、感光性銀ペーストを焼成することにより得られるデータ電極のラインの直線性は極めて悪かった。すなわち、データ電極の長さ方向のエッジが直線状ではなく、多数の凹凸が存在する曲線状になっていた。   Since the silver particles contained in the photosensitive silver paste currently used have a large particle size, the linearity of the data electrode line obtained by firing the photosensitive silver paste was extremely poor. That is, the edge in the length direction of the data electrode is not a straight line but a curved line having a large number of irregularities.

一般的には、電極を高精細化するためには、電極を薄膜化することが有効であるが、電極を薄くすると、抵抗値の上昇あるいは断線発生率の上昇などの様々な不具合が発生する。   In general, it is effective to reduce the thickness of the electrode in order to increase the definition of the electrode. However, if the electrode is made thinner, various problems such as an increase in resistance value or an increase in the disconnection rate occur. .

データ電極のラインの直線性を改善し、あるいは、データ電極の抵抗値の上昇を抑制するための方法の一つとして、感光性ペーストに含有させる導電性粒子の粒度を小さくする方法がある。   One of the methods for improving the linearity of the data electrode line or suppressing the increase in the resistance value of the data electrode is to reduce the particle size of the conductive particles contained in the photosensitive paste.

しかしながら、導電性粒子は光を反射させやすいため、露光工程(図12(C))において感光性ペーストに対して照射される光を乱反射させてしまう。このため、感光性ペーストの下層領域まで光が届きにくくなり、感光性ペースト内における架橋反応を十分に進行させることができないという事態を招く。   However, since the conductive particles easily reflect light, the light irradiated to the photosensitive paste is irregularly reflected in the exposure step (FIG. 12C). For this reason, it becomes difficult for light to reach the lower layer region of the photosensitive paste, resulting in a situation in which the crosslinking reaction in the photosensitive paste cannot sufficiently proceed.

このような事態を回避させる方法の一つとして、感光性ペーストの感光性能を上げる方法がある。   One method for avoiding such a situation is to improve the photosensitive performance of the photosensitive paste.

しかしながら、感光性能を上げると、電極の表面で乱反射された光によってガラスマスクにより覆われた領域までも露光されやすくなり、その結果、形成された電極は設計値よりも大きい幅を有し、さらに、電極の直線性が悪化する。   However, when the photosensitive performance is improved, it becomes easier to expose even the area covered by the glass mask by the light irregularly reflected on the surface of the electrode, and as a result, the formed electrode has a width larger than the design value, The linearity of the electrode deteriorates.

このように、電極を薄膜化したとしても、その反面、高精細なパターンの形成は困難になる。   As described above, even if the electrode is made thin, it is difficult to form a high-definition pattern.

また、焼成工程(図12(E))においては、導電性粒子同士は焼結しやすく、相互に凝集する力が発生する。このため、導電性粒子が移動した後には空間が残り、この空間がピンホール欠陥となる。この現象が極端に進行すると、電極の断線を引き起こす。   Moreover, in a baking process (FIG.12 (E)), electroconductive particle is easy to sinter and the force which mutually aggregates generate | occur | produces. For this reason, a space remains after the conductive particles move, and this space becomes a pinhole defect. If this phenomenon proceeds extremely, it will cause disconnection of the electrode.

以上のような電極の形成における問題を解決するため、これまでに様々な提案がなされている。   Various proposals have been made so far to solve the problems in the formation of the electrodes as described above.

例えば、導電性金属微粒子と感光性有機成分とを含む感光性導電ペーストであって、このペースト中にRu、Cr、Fe、Co、Mn、Cuから選ばれた少なくとも一種の金属微粒子及び/またはその酸化物を導電性金属微粒に対して5−20重量%含む感光性導電ペーストが提案されている(例えば、特許文献1参照)。   For example, a photosensitive conductive paste containing conductive metal fine particles and a photosensitive organic component, wherein at least one metal fine particle selected from Ru, Cr, Fe, Co, Mn, and Cu and / or A photosensitive conductive paste containing 5 to 20% by weight of an oxide with respect to conductive metal fine particles has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

また、導電性金属微粒子と感光性有機成分とを含む感光性導電ペーストであって、このペースト中にRu、Cr、Fe、Co、Mn、Cuから選ばれた少なくとも一種の金属微粒子及び/またはその酸化物を感光性導電ペーストに対して0.5−5重量%含む感光性導電ペーストが提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2000−48645号公報 特開平10−333322号公報
Further, a photosensitive conductive paste comprising conductive metal fine particles and a photosensitive organic component, wherein at least one metal fine particle selected from Ru, Cr, Fe, Co, Mn, and Cu and / or A photosensitive conductive paste containing 0.5 to 5% by weight of an oxide with respect to the photosensitive conductive paste has been proposed (see, for example, Patent Document 2).
JP 2000-48645 A JP-A-10-333322

しかしながら、上記の特許文献1、2に記載の感光性導電ペーストは、いずれも第一基板110の面放電電極112を形成するためのものであり、表示の色味及びコントラストの改善を図るために提案されたものである。   However, the photosensitive conductive pastes described in Patent Documents 1 and 2 are all for forming the surface discharge electrode 112 of the first substrate 110, and are intended to improve display color and contrast. It has been proposed.

このため、これらの感光性導電ペーストはデータ電極を高精細化するために用いることは不可能である。   For this reason, these photosensitive conductive pastes cannot be used to make the data electrode high definition.

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、プラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極を高精細化させることが可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a plasma display panel capable of increasing the definition of data electrodes in the plasma display panel .

上記課題を解決するため、本発明は、第一ガラス基板上に相互に平行となるように複数の面放電電極を形成した表示側の第一基板と、前記第一基板に対向して配置され、かつ、第二ガラス基板上に前記面放電電極と交差する方向に複数のデータ電極を形成した第二基板とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる感光性導電ペーストを塗布して焼成することにより前記データ電極を形成する過程を備え、前記感光性導電ペーストは、黒色顔料としての前記導電性金属微粒子として、Ru、Cr、Fe、Co、Mn、Cuのうちの少なくとも一種の金属微粒子またはその酸化物を0.1重量%乃至1.0重量%含有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is arranged so that a first substrate on the display side in which a plurality of surface discharge electrodes are formed on a first glass substrate so as to be parallel to each other, and facing the first substrate. And a second substrate having a plurality of data electrodes formed in a direction intersecting the surface discharge electrode on a second glass substrate, wherein the conductive metal fine particles and the photosensitive organic component are produced. The photosensitive conductive paste comprises a process of forming the data electrode by applying and baking a photosensitive conductive paste comprising: Ru, Cr, Fe, Co, as the conductive metal fine particles as a black pigment. A method of manufacturing a plasma display panel, comprising 0.1% by weight to 1.0% by weight of at least one metal fine particle of Mn and Cu or an oxide thereof. To.

本発明において、前記感光性導電ペーストは、上記の導電性金属微粒子の他に、Ag、Au、Pd、Pt、Ni、Alの少なくとも一つを含有することができる。 In the present invention, the photosensitive conductive paste may contain at least one of Ag, Au, Pd, Pt, Ni, and Al in addition to the conductive metal fine particles.

本発明によれば、以下のような効果を得ることができる。   According to the present invention, the following effects can be obtained.

第一に、露光工程において照射される露出光が乱反射することにより生じる現像後の電極のエッジの凹凸(電極の輪郭におけるぎざぎざ)を改善することができる。   First, it is possible to improve the unevenness of the edge of the electrode after development (jaggedness in the contour of the electrode) caused by irregular reflection of the exposure light irradiated in the exposure step.

第二に、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制し、焼成後の焼き縮みによる線幅の収縮を抑えることができる。   Secondly, the sintering phenomenon of the conductive metal fine particles can be suppressed, and the shrinkage of the line width due to the shrinkage after firing can be suppressed.

第三に、電極の膜密度を均一にすることができ、ピンホールや断線を抑制することができる。   Third, the film density of the electrode can be made uniform, and pinholes and disconnections can be suppressed.

このような効果に起因して、プラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極を高精細化することが可能である。   Due to such an effect, it is possible to increase the definition of data electrodes in the plasma display panel.

以下、本発明の一実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。Hereinafter, a method for manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention will be described.

本発明の実施形態に係る感光性導電ペーストは導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる。 The photosensitive conductive paste according to the embodiment of the present invention includes conductive metal fine particles and a photosensitive organic component.

導電性金属微粒子としては、Ru、Cr、Fe、Co、Mn、Cuのうちの一つまたは二つ以上を選択することができる。これらの導電性金属微粒子は黒色顔料として機能するものである。   As the conductive metal fine particles, one or more of Ru, Cr, Fe, Co, Mn, and Cu can be selected. These conductive metal fine particles function as black pigments.

本実施形態に係る感光性導電ペーストは上記の導電性金属微粒子の重量比が、0.1重量%乃至1.0重量%、好ましくは、0.1重量%乃至0.5重量%とされている。 In the photosensitive conductive paste according to this embodiment, the weight ratio of the conductive metal fine particles is 0.1 wt% to 1.0 wt%, preferably 0.1 wt% to 0.5 wt%. Yes.

また、本実施形態に係る感光性導電ペーストは、導電性金属微粒子として、上記の金属の他にAgを含有している。このAgの粒子は0.1乃至10μmの範囲内の粒径を有しており、平均粒径は1乃至5μmである。   Moreover, the photosensitive electrically conductive paste which concerns on this embodiment contains Ag other than said metal as electroconductive metal microparticles. The Ag particles have a particle size in the range of 0.1 to 10 μm, and the average particle size is 1 to 5 μm.

なお、本実施形態に係る感光性導電ペーストは、Agに代えて、あるいは、Agとともに、Au、Pd、Pt、Ni、Alのうちの一つまたは二つ以上を含有するように構成することもできる。   Note that the photosensitive conductive paste according to the present embodiment may be configured to contain one or more of Au, Pd, Pt, Ni, and Al instead of or together with Ag. it can.

本実施形態に係る感光性導電ペーストにおいては、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量の下限値は0.1重量%である。   In the photosensitive conductive paste according to the present embodiment, the lower limit of the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 0.1% by weight.

本発明者の実験によれば、感光性導電ペーストは黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子をたとえ少量でも含むことにより、その含有量に応じて、データ電極のラインの直線性の悪化を改善することができ、さらには、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制することもできた。   According to the inventor's experiment, the photosensitive conductive paste contains even a small amount of the above-mentioned conductive metal fine particles as a black pigment, thereby improving the deterioration of the linearity of the data electrode line according to its content. In addition, the sintering phenomenon of the conductive metal fine particles could be suppressed.

このように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量は0でなければよく、従って、導電性金属微粒子の含有量が0.1重量%もしくはそれ以上であれば、十分に上記のような効果を実現することができる。   As described above, the content of the conductive metal fine particles as the black pigment should be non-zero. Therefore, if the content of the conductive metal fine particles is 0.1% by weight or more, the above-mentioned content is sufficient. Such effects can be realized.

また、本実施形態に係る感光性導電ペーストにおいては、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量の上限値は1.0重量%であり、特に好ましくは0.5重量%である。   Moreover, in the photosensitive electrically conductive paste which concerns on this embodiment, the upper limit of content of said electroconductive metal microparticles | fine-particles as a black pigment is 1.0 weight%, Especially preferably, it is 0.5 weight%.

図1乃至図3は、それぞれ感光性導電ペーストのシート抵抗値(図1)、線幅焼成収縮率(図2)、線幅バラツキ(図3)を示すグラフであり、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0重量%、0.001重量%、0.003重量%、0.005重量%、0.1重量%、0.5重量%、1.0重量%、2.0重量%のときの計8点のサンプル点での計測結果に基づくものである。ただし、これらのサンプル点のうち0.001重量%、0.003重量%、0.005重量%の測定結果のサンプル点は重なるためグラフでは省略してある。   FIGS. 1 to 3 are graphs showing the sheet resistance value (FIG. 1), the line width firing shrinkage rate (FIG. 2), and the line width variation (FIG. 3) of the photosensitive conductive paste, respectively. 1. Content of conductive metal fine particles is 0% by weight, 0.001% by weight, 0.003% by weight, 0.005% by weight, 0.1% by weight, 0.5% by weight, 1.0% by weight; This is based on the measurement results at a total of 8 sample points at 0% by weight. However, among these sample points, the sample points of the measurement results of 0.001% by weight, 0.003% by weight, and 0.005% by weight overlap and are omitted in the graph.

ここでのシート抵抗値は、膜厚が5μmのときの単位面積当たりの抵抗値であり、単位はmΩ/□である。線幅焼成収縮率とは、現像(図8(D);後述)後に行う焼成(図8(E);後述)により電極の線幅が収縮した割合を指し、単位は%である。線幅バラツキとは、焼成後における電極の線幅の平均値に対するPDP基板内の線幅のバラツキの割合を指し、単位は%である。   The sheet resistance value here is a resistance value per unit area when the film thickness is 5 μm, and the unit is mΩ / □. The line width firing shrinkage refers to the rate at which the line width of the electrode shrinks due to firing (FIG. 8E; later described) after development (FIG. 8D; described later), and the unit is%. The line width variation refers to the ratio of the line width variation in the PDP substrate to the average value of the electrode line width after firing, and the unit is%.

図1に示すように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0重量%、0.001重量%、0.003重量%、0.005重量%、0.1重量%、0.5重量%、1.0重量%、2.0重量%のときの感光性導電ペーストのシート抵抗値はそれぞれ5.7、5.7、5.8、5.9、6.0、6.4、8.3、18.0である。   As shown in FIG. 1, the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 0% by weight, 0.001% by weight, 0.003% by weight, 0.005% by weight, 0.1% by weight, 0%. The sheet resistance values of the photosensitive conductive pastes at 5.7 wt%, 1.0 wt%, and 2.0 wt% are 5.7, 5.7, 5.8, 5.9, 6.0, and 6 respectively. .4, 8.3, 18.0.

一般的に、プラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極その他の電極のシート抵抗値は10以下であることが望ましいとされている。従って、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が1.0重量%以下であれば十分に低いシート抵抗値を得ることができ、さらには、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0.5重量%以下であればさらに低いシート抵抗値を得ることができる。   In general, the sheet resistance value of data electrodes and other electrodes in a plasma display panel is desirably 10 or less. Therefore, if the content of the conductive metal fine particles as a black pigment is 1.0% by weight or less, a sufficiently low sheet resistance value can be obtained. Furthermore, the conductive metal fine particles as a black pigment can be obtained. If the content of is less than 0.5% by weight, a lower sheet resistance value can be obtained.

図2に示すように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0重量%、0.001重量%、0.003重量%、0.005重量%、0.1重量%、0.5重量%、1.0重量%、2.0重量%のときの感光性導電ペーストの線幅焼成収縮率はそれぞれ16.3、15.7、15.5、14.3、12.9、9.8、8.5、8.6である。   As shown in FIG. 2, the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 0% by weight, 0.001% by weight, 0.003% by weight, 0.005% by weight, 0.1% by weight, 0%. The line width firing shrinkage ratios of the photosensitive conductive paste at 10.5 wt%, 1.0 wt%, and 2.0 wt% were 16.3, 15.7, 15.5, 14.3, and 12.9, respectively. , 9.8, 8.5, 8.6.

一般に、線幅焼成収縮率は低いほど好ましい。実用的には、線幅焼成収縮率は、バラツキにおける最大値を含めても15%以下であることが好ましいとされている。従って、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0.1重量%乃至1.0重量%の何れの範囲であっても、十分に好ましい線幅焼成収縮率を得ることができる。   In general, the lower the line width firing shrinkage rate, the better. Practically, the line width firing shrinkage rate is preferably 15% or less including the maximum value in variation. Therefore, even when the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is in the range of 0.1 wt% to 1.0 wt%, a sufficiently preferable line width firing shrinkage ratio can be obtained.

図3に示すように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0重量%、0.001重量%、0.003重量%、0.005重量%、0.1重量%、0.5重量%、1.0重量%、2.0重量%のときの感光性導電ペーストの線幅バラツキはそれぞれ9.2、9.1、8.9、8.6、7.5、6.2、6.0、5.9である。   As shown in FIG. 3, the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 0% by weight, 0.001% by weight, 0.003% by weight, 0.005% by weight, 0.1% by weight, 0%. The line width variations of the photosensitive conductive paste at 9.5 wt%, 1.0 wt%, and 2.0 wt% are 9.2, 9.1, 8.9, 8.6, 7.5, and 6 respectively. .2, 6.0, 5.9.

一般に、線幅バラツキは低いほど好ましいが、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0.1重量%乃至1.0重量%の何れの範囲であっても、十分に好ましい線幅バラツキを得ることができる。   In general, the lower the line width variation, the better. However, even if the content of the conductive metal fine particles as a black pigment is in the range of 0.1 wt% to 1.0 wt%, a sufficiently preferable line width is sufficient. Variations can be obtained.

参考として、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて形成した電極の構造の顕微鏡写真を図4乃至図7に示す。   For reference, micrographs of the structure of the electrode formed using the photosensitive conductive paste according to the present embodiment are shown in FIGS.

図4は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0重量%の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。   FIG. 4 is a photograph taken with a laser microscope after development of the photosensitive conductive paste when the content of the conductive metal fine particles as a black pigment is 0% by weight.

図5は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が0重量%の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。   FIG. 5 is a photograph taken with a laser microscope after firing of the photosensitive conductive paste when the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 0% by weight.

図6は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が1.0重量%の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。   FIG. 6 is a photograph taken with a laser microscope after development of the photosensitive conductive paste when the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 1.0% by weight.

図7は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が1.0重量%の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。   FIG. 7 is a photograph taken with a laser microscope after firing the photosensitive conductive paste when the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 1.0% by weight.

図8は、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて電極を形成する方法の各過程を示す断面図である。以下、図8を参照して、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いてデータ電極を形成する方法(プラズマディスプレイパネル用電極の形成方法)を説明する。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing each process of a method for forming an electrode using the photosensitive conductive paste according to the present embodiment. Hereinafter, a method for forming a data electrode using the photosensitive conductive paste according to the present embodiment (a method for forming an electrode for a plasma display panel) will be described with reference to FIG.

先ず、図8(A)に示すように、ガラス基板11を用意する。   First, as shown in FIG. 8A, a glass substrate 11 is prepared.

次いで、図8(B)に示すように、ガラス基板11の表面上に、本実施形態に係る感光性導電ペースト17を塗布する。   Next, as shown in FIG. 8B, the photosensitive conductive paste 17 according to this embodiment is applied on the surface of the glass substrate 11.

次いで、図8(C)に示すように、感光性導電ペースト17上に所定のパターンを有するガラスマスク18を配置し、その後、ガラスマスク18を介して感光性導電ペースト17に光を照射する。   Next, as shown in FIG. 8C, a glass mask 18 having a predetermined pattern is disposed on the photosensitive conductive paste 17, and then the photosensitive conductive paste 17 is irradiated with light through the glass mask 18.

次いで、ガラスマスク18を取り外した後、図8(D)に示すように、露光した感光性導電ペースト17を現像する。   Next, after removing the glass mask 18, as shown in FIG. 8D, the exposed photosensitive conductive paste 17 is developed.

この後、感光性導電ペースト17の溶解液に浸すことにより、図8(E)に示すように、感光性導電ペースト17の露光した領域のみが残り、感光性導電ペースト17の露光しなかった領域は除去される。感光性導電ペースト17の残った領域は焼成される。   Thereafter, by immersing in a solution of the photosensitive conductive paste 17, only the exposed region of the photosensitive conductive paste 17 remains, and the photosensitive conductive paste 17 is not exposed as shown in FIG. 8E. Is removed. The remaining region of the photosensitive conductive paste 17 is baked.

このようにして、ガラスマスク18のパターンに従ったデータ電極12が形成される。   In this way, the data electrode 12 according to the pattern of the glass mask 18 is formed.

本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いてデータ電極12を形成することにより、厚さTが10μm以下であるデータ電極12を形成することができる。図12に示した従来のカラープラズマディスプレイパネル100におけるデータ電極122は厚さが10μm以上のものであったが、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いることにより、厚さTを薄くしたデータ電極12を形成することが可能である。   By forming the data electrode 12 using the photosensitive conductive paste according to the present embodiment, the data electrode 12 having a thickness T of 10 μm or less can be formed. Although the data electrode 122 in the conventional color plasma display panel 100 shown in FIG. 12 has a thickness of 10 μm or more, data having a reduced thickness T by using the photosensitive conductive paste according to the present embodiment. The electrode 12 can be formed.

本実施形態に係る感光性導電ペーストによれば、次のような効果を得ることができる。   According to the photosensitive conductive paste according to the present embodiment, the following effects can be obtained.

第一に、露光工程において照射される露出光が乱反射することにより生じる現像後の電極(データ電極12)のエッジの凹凸(電極の輪郭におけるぎざぎざ)を改善することができる。   First, it is possible to improve unevenness of the edge of the electrode (data electrode 12) after development (jagged edges of the electrode) caused by irregular reflection of the exposure light irradiated in the exposure step.

電極における細い断線を検知するためには検査の感度を上げることが必要であるが、逆に、検査の感度を上げると、電極の輪郭におけるぎざぎざを断線と誤認するおそれも大きくなる。   In order to detect a thin break in the electrode, it is necessary to increase the sensitivity of the inspection, but conversely, if the sensitivity of the inspection is increased, there is a high possibility that the jaggedness in the outline of the electrode is mistaken as a break.

例えば、黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が0重量%の場合の感光性導電ペーストの焼成後における顕微鏡写真(図5)には、多数の大きな孔(直径が10乃至30μm)があいていることがわかる。これに対して、黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が0.5重量%または1.0重量%の場合の感光性導電ペーストの焼成後における顕微鏡写真(図7)には、そのよう大きな孔はほとんど見られない。加えて、電極の輪郭におけるぎざぎざも改善されている。このため、検査の感度を上げても、電極の輪郭におけるぎざぎざを断線と誤認するおそれは極めて小さくなる。   For example, in the photomicrograph (FIG. 5) after baking of the photosensitive conductive paste when the content of conductive metal fine particles as a black pigment is 0% by weight, a large number of large holes (diameter: 10 to 30 μm) are present. You can see that On the other hand, the micrograph (FIG. 7) after firing of the photosensitive conductive paste when the content of the conductive metal fine particles as the black pigment is 0.5% by weight or 1.0% by weight There are almost no large holes. In addition, the jaggedness of the electrode contour is improved. For this reason, even if the sensitivity of the inspection is increased, the risk of misidentifying the jaggedness in the outline of the electrode as a disconnection is extremely reduced.

このように、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて電極を形成することにより、電極の輪郭におけるぎざぎざを改善することができ、ひいては、検査感度あるいは解像度を上げることができる。   As described above, by forming the electrode using the photosensitive conductive paste according to the present embodiment, it is possible to improve the jaggedness in the outline of the electrode, and to increase the inspection sensitivity or the resolution.

第二に、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制し、焼成後の焼き縮みによる線幅の収縮を抑えることができる。   Secondly, the sintering phenomenon of the conductive metal fine particles can be suppressed, and the shrinkage of the line width due to the shrinkage after firing can be suppressed.

図2に示したように、黒色顔料としての導電性金属微粒子を含有していない感光性導電ペーストを焼成した場合の焼成収縮率は15.5%であるが、導電性金属微粒子の含有量が0.5重量%または1.0重量%である場合には、焼成収縮率はそれぞれ9.8%、8.5%であり、焼成収縮率を低下させることが可能である。   As shown in FIG. 2, when the photosensitive conductive paste containing no conductive metal fine particles as a black pigment is baked, the firing shrinkage ratio is 15.5%, but the content of the conductive metal fine particles is In the case of 0.5 wt% or 1.0 wt%, the firing shrinkage is 9.8% and 8.5%, respectively, and the firing shrinkage can be reduced.

第三に、電極の膜密度を均一にすることができ、ピンホールや断線を抑制することができる。この結果、背面から光を照射することにより行う画像検査において、欠陥レベルにはないピンホールや断線を欠陥レベルのものとして誤検出することを防止することができる。   Third, the film density of the electrode can be made uniform, and pinholes and disconnections can be suppressed. As a result, in the image inspection performed by irradiating light from the back, it is possible to prevent erroneous detection of pinholes and disconnections that are not at the defect level as those at the defect level.

なお、図1に示したように、感光性導電ペーストに黒色顔料としての導電性金属微粒子を0.5重量%または1.0重量%含有させた場合、シート抵抗値が若干上昇するが、データ電極12には第一基板110における面放電電極(バス電極)112ほど大きな電流は流れないので、プラズマディスプレイパネルの作動にとって大きな支障は生じない。   As shown in FIG. 1, when the conductive metal fine particles as the black pigment are contained in the photosensitive conductive paste in an amount of 0.5% by weight or 1.0% by weight, the sheet resistance value slightly increases. Since the electrode 12 does not flow as much current as the surface discharge electrode (bus electrode) 112 in the first substrate 110, there is no great problem for the operation of the plasma display panel.

図11に示した従来のカラープラズマディスプレイパネル100においては、データ電極122の線幅は約60μmであった。この従来のカラープラズマディスプレイパネル100においては、データ電極122の焼成時に線幅が約10乃至20μmの熱膨張を生じていた。このため、隣接するデータ電極間のピッチは線幅の約2倍、すなわち、約120μmに設定されていた。   In the conventional color plasma display panel 100 shown in FIG. 11, the line width of the data electrode 122 is about 60 μm. In this conventional color plasma display panel 100, thermal expansion with a line width of about 10 to 20 μm occurred when the data electrode 122 was fired. Therefore, the pitch between adjacent data electrodes is set to about twice the line width, that is, about 120 μm.

これに対して、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いることにより、線幅が約40μmのデータ電極を形成することが可能になり、また、データ電極122の焼成時における線幅の熱膨張は約10μm以下に抑制することが可能になったため、隣接するデータ電極間のピッチは線幅の約2倍、すなわち、約80μmに設定することが可能である。   On the other hand, by using the photosensitive conductive paste according to the present embodiment, it becomes possible to form a data electrode having a line width of about 40 μm, and thermal expansion of the line width when the data electrode 122 is baked. Therefore, the pitch between adjacent data electrodes can be set to about twice the line width, that is, about 80 μm.

図9は、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを示す斜視図である。以下、図9を参照して、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルについて説明する。   FIG. 9 is a perspective view showing the plasma display panel according to the present embodiment. Hereinafter, the plasma display panel according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態では、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの好適な一例としてのAC面放電型のカラープラズマディスプレイパネルについて説明する。   In the present embodiment, an AC surface discharge type color plasma display panel will be described as a preferred example of the plasma display panel according to the present invention.

本実施形態に係るプラズマディスプレイパネル50は、そのデータ電極12が、従来のプラズマディスプレイパネル100におけるデータ電極122と異なる他は、該プラズマディスプレイパネル100と同様の構成をなしている。従って、図9においては、プラズマディスプレイパネル50の各構成要素のうち、従来のプラズマディスプレイパネル100と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。   The plasma display panel 50 according to the present embodiment has the same configuration as the plasma display panel 100 except that the data electrode 12 is different from the data electrode 122 in the conventional plasma display panel 100. Therefore, in FIG. 9, among the constituent elements of the plasma display panel 50, the same reference numerals are given to the same constituent elements as those of the conventional plasma display panel 100, and the description thereof is omitted.

すなわち、図9に示すプラズマディスプレイパネル50において、データ電極12は、図8に示す各過程を経て、第二ガラス基板(従来のプラズマディスプレイパネル100における第二ガラス基板121に相当する)としてのガラス基板11上に形成されるものである。   That is, in the plasma display panel 50 shown in FIG. 9, the data electrode 12 passes through each process shown in FIG. 8, and glass as a second glass substrate (corresponding to the second glass substrate 121 in the conventional plasma display panel 100). It is formed on the substrate 11.

次に、プラズマディスプレイパネル50(図9)の製造方法について説明する。   Next, a manufacturing method of the plasma display panel 50 (FIG. 9) will be described.

先ず、表示側の第一基板110を構成する。   First, the first substrate 110 on the display side is configured.

すなわち、第一ガラス基板111上に、相互に平行に形成された複数のライン状の面放電電極112と、第一ガラス基板111及び面放電電極112を覆って形成された透明グレーズ層113と、透明グレーズ層113に形成されたブラックマトリクス114と、を形成する。   That is, on the first glass substrate 111, a plurality of line-shaped surface discharge electrodes 112 formed in parallel to each other, and a transparent glaze layer 113 formed so as to cover the first glass substrate 111 and the surface discharge electrodes 112, And a black matrix 114 formed on the transparent glaze layer 113.

このうち、面放電電極112は金属のバス電極が積層された透明導電膜からなる。   Of these, the surface discharge electrode 112 is made of a transparent conductive film in which metal bus electrodes are laminated.

また、透明グレーズ層113の表面には酸化マグネシウム膜が付着している。   Further, a magnesium oxide film is attached to the surface of the transparent glaze layer 113.

また、ブラックマトリクス114は格子状に形成されており、各格子が一つの画素を画定している。   The black matrix 114 is formed in a lattice shape, and each lattice defines one pixel.

一方、第一基板110と対向して配置される第二基板120を構成する。   On the other hand, the 2nd board | substrate 120 arrange | positioned facing the 1st board | substrate 110 is comprised.

すなわち、第二ガラス基板(ガラス基板11)上に、前記第一基板110の面放電電極112と交差する方向に相互に隔置して形成された複数のデータ電極12と、第二ガラス基板11及びデータ電極122を覆って形成されたグレーズ層123と、グレーズ層123上においてデータ電極122の間に形成された複数のストライプ状の白色の隔壁124と、相互に隣接する隔壁124の間においてグレーズ層123及び隔壁124の側面を覆って形成された白色微粒子からなる無機材料層125と、無機材料層125を覆って形成された蛍光体層126と、を形成する。 That is, a plurality of data electrodes 12 formed on the second glass substrate (glass substrate 11) and spaced apart from each other in a direction intersecting the surface discharge electrode 112 of the first substrate 110, and the second glass substrate 11 And the glaze layer 123 formed so as to cover the data electrode 122, the plurality of striped white barrier ribs 124 formed between the data electrodes 122 on the glaze layer 123, and the glaze between the barrier ribs 124 adjacent to each other. An inorganic material layer 125 made of white fine particles formed so as to cover the side surfaces of the layer 123 and the partition wall 124 and a phosphor layer 126 formed so as to cover the inorganic material layer 125 are formed.

ここで、データ電極12を形成する方法は、図8を参照して上記に説明した通りである。   Here, the method of forming the data electrode 12 is as described above with reference to FIG.

また、蛍光体層126は、放電セルを形成する隔壁124の側面及びグレーズ層123の表面に形成されており、赤、緑及び青の各蛍光体がこの順番に塗り分けられている。   The phosphor layer 126 is formed on the side surfaces of the barrier ribs 124 forming the discharge cells and on the surface of the glaze layer 123, and red, green, and blue phosphors are separately applied in this order.

次に、第一基板110と第二基板120とを相互に対向させて位置合わせし、相互に溶着する。   Next, the first substrate 110 and the second substrate 120 are aligned with each other and welded to each other.

次に、第一基板110及び第二基板120の相互間の間隔に形成される放電ガス空間内を真空に排気した後に、該放電ガス空間内に放電ガスを封入する。   Next, after the discharge gas space formed in the space between the first substrate 110 and the second substrate 120 is evacuated to a vacuum, the discharge gas is sealed in the discharge gas space.

これにて、放電ガス空間内に放電ガスが封入されたプラズマディスプレイパネル50を得ることができる。   Thus, the plasma display panel 50 in which the discharge gas is sealed in the discharge gas space can be obtained.

このプラズマディスプレイパネル50は、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネル用電極の形成方法により形成されたデータ電極12を備えているため、データ電極12を高精細化することが可能となり、容易に解像度の高いものとすることができる。   Since the plasma display panel 50 includes the data electrode 12 formed by the method for forming an electrode for a plasma display panel according to the present embodiment, the data electrode 12 can be made high definition, and resolution can be easily achieved. Can be expensive.

次に、図10のブロック図を参照して、以上のようにして得られたプラズマディスプレイパネル50を備えるプラズマ表示装置60の構成について説明する。   Next, the configuration of the plasma display device 60 including the plasma display panel 50 obtained as described above will be described with reference to the block diagram of FIG.

図10に示すように、プラズマ表示装置60は、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインターフェース20とプラズマディスプレイパネルモジュール30(後述するように、プラズマディスプレイパネル50と、このプラズマディスプレイパネル50を駆動するための駆動回路としてのディジタル信号処理・制御回路31と、を備える)と構成されている。   As shown in FIG. 10, the plasma display device 60 is designed to have a module structure. Specifically, the analog interface 20 and the plasma display panel module 30 (as will be described later, a plasma display panel 50, And a digital signal processing / control circuit 31 as a driving circuit for driving the plasma display panel 50).

アナログインターフェース20は、クロマ・デコーダを備えるY/C分離回路21と、A/D変換回路22と、PLL回路を備える同期信号制御回路23と、画像フォーマット変換回路24と、逆γ(ガンマ)変換回路25と、システム・コントロール回路26と、PLE制御回路27と、から構成されている。   The analog interface 20 includes a Y / C separation circuit 21 having a chroma decoder, an A / D conversion circuit 22, a synchronization signal control circuit 23 having a PLL circuit, an image format conversion circuit 24, and an inverse γ (gamma) conversion. The circuit 25 is composed of a system control circuit 26 and a PLE control circuit 27.

概略的には、アナログインターフェース20は、受信したアナログ映像信号をディジタル映像信号に変換した後、そのディジタル映像信号をプラズマディスプレイパネルモジュール30に供給する。   Schematically, the analog interface 20 converts the received analog video signal into a digital video signal, and then supplies the digital video signal to the plasma display panel module 30.

例えば、テレビチューナーから発信されたアナログ映像信号はY/C分離回路21においてRGBの各色の輝度信号に分解された後、A/D変換回路22においてディジタル信号に変換される。   For example, an analog video signal transmitted from a TV tuner is decomposed into RGB luminance signals in the Y / C separation circuit 21 and then converted into digital signals in the A / D conversion circuit 22.

その後、プラズマディスプレイパネルモジュール30の画素構成と映像信号の画素構成が異なる場合には、画像フォーマット変換回路24において必要な画像フォーマットの変換が行われる。   Thereafter, when the pixel configuration of the plasma display panel module 30 is different from the pixel configuration of the video signal, the image format conversion circuit 24 performs necessary image format conversion.

プラズマディスプレイパネルの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はCRTの特性に合わせて、予め補正(γ変換)されている。このため、A/D変換回路22において映像信号のA/D変換を行った後、逆γ変換回路25において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このディジタル映像信号はRGB映像信号としてプラズマディスプレイパネルモジュール30に出力される。   The display luminance characteristic with respect to the input signal of the plasma display panel is linearly proportional, but a normal video signal is corrected (γ-converted) in advance in accordance with the CRT characteristic. For this reason, after the A / D conversion of the video signal is performed in the A / D conversion circuit 22, the inverse γ conversion circuit 25 performs the inverse γ conversion on the video signal, and the digital video signal restored to the linear characteristic is obtained. Generate. This digital video signal is output to the plasma display panel module 30 as an RGB video signal.

アナログ映像信号には、A/D変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路23に内蔵されているPLL回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、プラズマディスプレイパネルモジュール30に出力する。   Since the analog video signal does not include the sampling clock and data clock signal for A / D conversion, the PLL circuit built in the synchronization signal control circuit 23 is supplied with the horizontal synchronization signal simultaneously with the analog video signal. Is used as a reference to generate a sampling clock and a data clock signal and output them to the plasma display panel module 30.

アナログインターフェース20のPLE制御回路27は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には表示輝度を低下させる。   The PLE control circuit 27 of the analog interface 20 performs luminance control. Specifically, the display luminance is increased when the average luminance level is a predetermined value or less, and the display luminance is decreased when the average luminance level exceeds a predetermined value.

システム・コントロール回路26は、各種制御信号をプラズマディスプレイパネルモジュール30に対して出力する。   The system control circuit 26 outputs various control signals to the plasma display panel module 30.

プラズマディスプレイパネルモジュール30は、さらに、ディジタル信号処理・制御回路31と、パネル部32と、DC/DCコンバータを内蔵するモジュール内電源回路33と、から構成されている。   The plasma display panel module 30 further includes a digital signal processing / control circuit 31, a panel unit 32, and an in-module power supply circuit 33 incorporating a DC / DC converter.

ディジタル信号処理・制御回路31は、入力インターフェース信号処理回路34と、フレームメモリ35と、メモリ制御回路36と、ドライバ制御回路37と、から構成されている。   The digital signal processing / control circuit 31 includes an input interface signal processing circuit 34, a frame memory 35, a memory control circuit 36, and a driver control circuit 37.

入力インターフェース信号処理回路34は、システム・コントロール回路26から発信される各種制御信号、逆γ変換回路25から発信されるRGB映像信号、同期信号制御回路23から発信される同期信号、PLL回路から発信されるデータクロック信号を受信する。   The input interface signal processing circuit 34 includes various control signals transmitted from the system control circuit 26, RGB video signals transmitted from the inverse γ conversion circuit 25, synchronization signals transmitted from the synchronization signal control circuit 23, and transmission from the PLL circuit. Receive a data clock signal.

例えば、入力インターフェース信号処理回路34に入力された映像信号の平均輝度レベルは入力インターフェース信号処理回路34内の入力信号平均輝度レベル演算回路(図示略)により計算され、例えば、5ビットデータとして出力される。また、PLE制御回路27は、平均輝度レベルに応じてPLE制御データを設定し、入力インターフェース信号処理回路34内の輝度レベル制御回路(図示略)に入力する。   For example, the average luminance level of the video signal input to the input interface signal processing circuit 34 is calculated by an input signal average luminance level calculation circuit (not shown) in the input interface signal processing circuit 34 and output as, for example, 5-bit data. The Further, the PLE control circuit 27 sets PLE control data according to the average luminance level, and inputs it to a luminance level control circuit (not shown) in the input interface signal processing circuit 34.

ディジタル信号処理・制御回路31は、入力インターフェース信号処理回路34において、これらの各種信号を処理した後、制御信号をパネル部32に送信する。同時に、メモリ制御回路36及びドライバ制御回路37はメモリ制御信号及びドライバ制御信号をパネル部32に送信する。   The digital signal processing / control circuit 31 transmits these control signals to the panel unit 32 after processing these various signals in the input interface signal processing circuit 34. At the same time, the memory control circuit 36 and the driver control circuit 37 transmit a memory control signal and a driver control signal to the panel unit 32.

パネル部32は、上記の製造方法により製造されたプラズマディスプレイパネル50と、走査電極を駆動する走査ドライバ38と、データ電極を駆動するデータドライバ39と、プラズマディスプレイパネル50及び走査ドライバ38にパルス電圧を供給する高圧パルス回路40と、高圧パルス回路40からの余剰電力を回収する電力回収回路41と、から構成されている。   The panel unit 32 includes a pulse voltage applied to the plasma display panel 50 manufactured by the above manufacturing method, the scan driver 38 that drives the scan electrodes, the data driver 39 that drives the data electrodes, and the plasma display panel 50 and the scan driver 38. And a power recovery circuit 41 for recovering surplus power from the high-voltage pulse circuit 40.

プラズマディスプレイパネル50は、例えば1365個×768個に配列された画素を有するものとして構成されている。プラズマディスプレイパネル50においては、走査ドライバ38が走査電極を制御し、データドライバ39がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯または非点灯が制御され、所望の表示が行われる。   The plasma display panel 50 is configured to have, for example, pixels arranged in 1365 × 768. In the plasma display panel 50, the scanning driver 38 controls the scanning electrodes, and the data driver 39 controls the data electrodes, so that lighting or non-lighting of predetermined pixels among these pixels is controlled, and a desired display is performed. Is done.

なお、ロジック用電源がディジタル信号処理・制御回路31及びパネル部32にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路33は、表示用電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部32に供給している。   The logic power supply supplies logic power to the digital signal processing / control circuit 31 and the panel unit 32. Further, the in-module power supply circuit 33 is supplied with DC power from the display power supply, converts the voltage of the DC power into a predetermined voltage, and then supplies the voltage to the panel unit 32.

次に、プラズマ表示装置60の製造方法を説明する。   Next, a method for manufacturing the plasma display device 60 will be described.

先ず、プラズマディスプレイパネル50と、走査ドライバ38と、データドライバ39と、高圧パルス回路40と、電力回収回路41とを一基板上に配置し、パネル部32を形成する。   First, the plasma display panel 50, the scan driver 38, the data driver 39, the high voltage pulse circuit 40, and the power recovery circuit 41 are arranged on one substrate to form the panel unit 32.

さらに、パネル部32とは別個にディジタル信号処理・制御回路(駆動回路)31を形成する。   Further, a digital signal processing / control circuit (drive circuit) 31 is formed separately from the panel section 32.

このようにして形成されたパネル部32及びディジタル信号処理・制御回路31とモジュール内電源回路33とを一つのモジュールとして組み立て、プラズマディスプレイパネルモジュール30を形成する。   The panel unit 32, the digital signal processing / control circuit 31 and the in-module power supply circuit 33 thus formed are assembled as one module to form the plasma display panel module 30.

さらに、プラズマディスプレイパネルモジュール30とは別個にアナログインターフェース20を形成する。   Further, the analog interface 20 is formed separately from the plasma display panel module 30.

このように、プラズマディスプレイパネルモジュール30とアナログインターフェース20とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図10に示したプラズマ表示装置60を得ることができる。   As described above, after the plasma display panel module 30 and the analog interface 20 are separately formed and then electrically connected to each other, the plasma display device 60 shown in FIG. 10 can be obtained.

以上のように、本実施形態によれば、露光工程において照射される露出光が乱反射することにより生じる現像後の電極のエッジの凹凸(電極の輪郭におけるぎざぎざ)を改善することができる。   As described above, according to the present embodiment, it is possible to improve the unevenness of the edge of the electrode after development (jaggedness in the contour of the electrode) caused by irregular reflection of the exposure light irradiated in the exposure step.

また、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制し、焼成後の焼き縮みによる線幅の収縮を抑えることができる。   In addition, the sintering phenomenon of the conductive metal fine particles can be suppressed, and the shrinkage of the line width due to the shrinkage after firing can be suppressed.

さらに、電極(データ電極12)の膜密度を均一にすることができ、ピンホールや断線を抑制することができる。   Furthermore, the film density of the electrode (data electrode 12) can be made uniform, and pinholes and disconnections can be suppressed.

このような効果に起因して、プラズマディスプレイパネル50におけるデータ電極12を高精細化することができる。   Due to such an effect, the data electrode 12 in the plasma display panel 50 can be made high definition.

黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が0〜2.0重量%のときの感光性導電ペーストのシート抵抗値を示すグラフである。It is a graph which shows the sheet resistance value of the photosensitive electrically conductive paste when content of the electroconductive metal fine particle as a black pigment is 0 to 2.0 weight%. 黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が0〜2.0重量%のときの感光性導電ペーストの線幅焼成収縮率を示すグラフである。It is a graph which shows the line | wire width baking shrinkage | contraction rate of the photosensitive electrically conductive paste when content of the electroconductive metal microparticles | fine-particles as a black pigment is 0 to 2.0 weight%. 黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が0〜2.0重量%のときの感光性導電ペーストの線幅バラツキを示すグラフである。It is a graph which shows the line | wire width variation of the photosensitive electrically conductive paste when content of the electroconductive metal microparticles | fine-particles as a black pigment is 0 to 2.0 weight%. 黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が0重量%の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。It is the photograph by the laser microscope after image development of the photosensitive electrically conductive paste in case content of the electroconductive metal microparticles | fine-particles as a black pigment is 0 weight%. 黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が0重量%の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。It is the photograph by the laser microscope after baking of the photosensitive electrically conductive paste in case content of the electroconductive metal microparticles | fine-particles as a black pigment is 0 weight%. 黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が1.0重量%の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。It is the photograph by the laser microscope after image development of the photosensitive electrically conductive paste in case content of the electroconductive metal microparticles | fine-particles as a black pigment is 1.0 weight%. 黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が1.0重量%の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。It is the photograph by the laser microscope after baking of the photosensitive electrically conductive paste in case content of the electroconductive metal microparticles | fine-particles as a black pigment is 1.0 weight%. 本発明の一実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて電極を形成する方法の各過程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows each process of the method of forming an electrode using the photosensitive electrically conductive paste which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係るプラズマ表示装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the plasma display apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 従来のプラズマディスプレイパネルを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional plasma display panel. 図11に示した従来のカラープラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極を形成する方法における各過程を示す第二基板の断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of a second substrate showing respective steps in a method for forming data electrodes in the conventional color plasma display panel shown in FIG. 11.

符号の説明Explanation of symbols

11 ガラス基板
12 データ電極
17 感光性導電ペースト
18 ガラスマスク
50 プラズマディスプレイパネル
31 ディジタル信号処理・制御回路(駆動回路)
60 プラズマ表示装置
11 glass substrate 12 data electrode 17 photosensitive conductive paste 18 glass mask 50 plasma display panel 31 digital signal processing / control circuit (drive circuit)
60 Plasma display device

Claims (2)

第一ガラス基板上に相互に平行となるように複数の面放電電極を形成した表示側の第一基板と、前記第一基板に対向して配置され、かつ、第二ガラス基板上に前記面放電電極と交差する方向に複数のデータ電極を形成した第二基板とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる感光性導電ペーストを塗布して焼成することにより前記データ電極を形成する過程を備え、前記感光性導電ペーストは、黒色顔料としての前記導電性金属微粒子として、Ru、Cr、Fe、Co、Mn、Cuのうちの少なくとも一種の金属微粒子またはその酸化物を0.1重量%乃至1.0重量%含有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。A display-side first substrate on which a plurality of surface discharge electrodes are formed so as to be parallel to each other on the first glass substrate, the first substrate being disposed opposite to the first substrate, and the surface on the second glass substrate A method for manufacturing a plasma display panel having a second substrate on which a plurality of data electrodes are formed in a direction crossing a discharge electrode, and applying and baking a photosensitive conductive paste made of conductive metal fine particles and a photosensitive organic component The photosensitive conductive paste comprises at least one kind of metal fine particles of Ru, Cr, Fe, Co, Mn, and Cu as the conductive metal fine particles as a black pigment. Or a method for producing a plasma display panel, comprising 0.1 wt% to 1.0 wt% of the oxide. 前記導電性金属微粒子としてAg、Au、Pd、Pt、Ni、Alの少なくとも一つを含有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。2. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the conductive metal fine particles contain at least one of Ag, Au, Pd, Pt, Ni, and Al.
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