JP2005347045A - Plasma display panel, its manufacturing method, plasma display device, and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reconcile improvement of exhaust conductance and suppression of discharge interference, and also to obtain a stable barrier plate shape. <P>SOLUTION: This PDP 10 has a front substrate and a back substrate disposed face to face so that a discharge space is formed between both substrates, and a barrier plate to partition display cells on either one of the facing sides of the front substrate and the back substrate. The barrier plate 5 in parallel crosses is composed of a lateral barrier plate 5A formed in the row direction H on the facing side and a longitudinal barrier plate 5B formed in the column direction perpendicular to the row direction H. The lateral barrier plate 5A and the longitudinal barrier plate 5B are formed so that they have different patterns and the height of the lateral barrier plate 5A is lower than that of the longitudinal barrier plate 5B. In addition, the lateral barrier plate and the longitudinal barrier plate are not specifically fixed, and this invention can be applied to a general use to control the unevenness of the barrier plate. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、プラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:以下、PDPとも称する)及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法に係り、詳しくは、表示セルを区画するための隔壁を有するPDP及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter also referred to as PDP) and a manufacturing method thereof, and a plasma display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, a PDP having partition walls for partitioning display cells and the plasma display device The present invention relates to a manufacturing method, a plasma display device, and a manufacturing method thereof.

一般に、PDPを主要部として構成されているプラズマ表示装置は、従来から広く用いられているCRT(Cathode Ray Tube:陰極線管)、あるいはLCD(Liquid Crystal Device:液晶表示装置)等の表示装置と比較して、ちらつきが少なく表示コントラスト比が大きいこと、薄型で大画面が可能であること、応答速度が速いこと等の多くの利点を有しているので、近年コンピュータのような情報処理機器の表示装置として利用されてる。   In general, a plasma display device mainly composed of a PDP is compared with a display device such as a CRT (Cathode Ray Tube) or LCD (Liquid Crystal Device) that has been widely used. Since it has many advantages such as small flickering, large display contrast ratio, thin and large screen, and high response speed, it has recently become a display for information processing equipment such as computers. It is used as a device.

このプラズマ表示装置は、動作方式により、電極が誘電体層で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるAC型のものと、電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるDC型のものとに略大別されるが、特にAC型プラズマ表示装置(単に、プラズマ表示装置とも称する)は上述したような大画面化が容易に実現できるので広く用いられている。   This plasma display device has an AC type in which an electrode is covered with a dielectric layer and is operated indirectly in an AC discharge state, and an electrode is exposed to a discharge space and is operated in a DC discharge state depending on an operation method. Although it is roughly classified into a DC type, especially an AC type plasma display device (also simply referred to as a plasma display device) is widely used because it can easily realize a large screen as described above.

上述したようなプラズマ表示装置の主要部を構成するPDPが、例えば特許文献1(第1の従来技術)に開示されている。同PDP100は、図13に斜視図で示すように、前面基板101と、背面基板102とが対向するように配置されて、両基板101、102間に放電ガス空間103が形成される基本的な構成を有している。
前面基板101は、ガラス等の透明材料から成る第1の絶縁基板104と、第1の絶縁基板104の内面に行方向(横方向あるいは第1の方向)Hに沿って互いに平行に配置されて行電極群を構成する走査電極105及び維持電極(共通電極)106と、両電極105、106を被覆する低融点鉛ガラス(PbO)等から成る第1の誘電体層107と、第1の誘電体層107を放電から保護する酸化マグネシウム(MgO)等から成る保護層108とを備えている。ここで、走査電極105及び維持電極106は、それぞれITO(Indium Tin Oxide)、酸化錫(SnO2)等から成る透明電極105A、106Aと、低抵抗化を図るために透明電極105A、106上の一部に形成されたAl(アルミニウム)、Ag(銀)等から成るバス電極(トレース電極)105B、106Bとから構成されている。
A PDP constituting the main part of the plasma display device as described above is disclosed in, for example, Patent Document 1 (first prior art). As shown in a perspective view in FIG. 13, the PDP 100 is arranged such that a front substrate 101 and a rear substrate 102 face each other, and a discharge gas space 103 is formed between the substrates 101 and 102. It has a configuration.
The front substrate 101 is arranged in parallel to each other along a row direction (lateral direction or first direction) H on the inner surface of the first insulating substrate 104 made of a transparent material such as glass and the first insulating substrate 104. Scan electrode 105 and sustain electrode (common electrode) 106 constituting row electrode group, first dielectric layer 107 made of low melting point lead glass (PbO) or the like covering both electrodes 105, 106, and first dielectric And a protective layer 108 made of magnesium oxide (MgO) or the like for protecting the body layer 107 from electric discharge. Here, the scan electrode 105 and the sustain electrode 106 are respectively formed on the transparent electrodes 105A and 106A made of ITO (Indium Tin Oxide), tin oxide (SnO 2 ), and the like, and on the transparent electrodes 105A and 106 in order to reduce resistance. The bus electrodes (trace electrodes) 105B and 106B made of Al (aluminum), Ag (silver), etc. are formed in part.

一方、背面基板102は、ガラス等の透明材料から成る第2の絶縁基板109と、第2の絶縁基板109の内面に行方向Hと直交する列方向(縦方向あるいは第2の方向)Vに沿って互いに平行に配置されて列電極群を構成するAl、Ag等から成るデータ電極(アドレス電極)111と、データ電極111を被覆する鉛含有フリットガラス等から成る第2の誘電体層112と、He(ヘリウム)、Ne(ネオン)、Xe(キセノン)等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて上記放電ガス空間103を確保するとともに、表示の単位となる表示セルを区画するために列方向Vに形成された鉛含有フリットガラス等から成るストライプ状の隔壁113と、隔壁113の内壁面及び底面を被覆するように形成されて放電用ガスの放電により発生する紫外線を赤色光に変換する赤色蛍光体層、緑色光に変換する緑色蛍光体層及び青色に変換する青色蛍光体層が塗り分けられた蛍光体層114とを備えている。ここで、放電ガス空間103内への放電ガスの充填は、通常、パネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを導入することにより行われる。   On the other hand, the back substrate 102 has a second insulating substrate 109 made of a transparent material such as glass and a column direction (vertical direction or second direction) V perpendicular to the row direction H on the inner surface of the second insulating substrate 109. A data electrode (address electrode) 111 made of Al, Ag or the like that is arranged in parallel with each other to form a column electrode group, and a second dielectric layer 112 made of lead-containing frit glass or the like covering the data electrode 111, , He (helium), Ne (neon), Xe (xenon) or the like is filled with a discharge gas alone or mixed to secure the discharge gas space 103 and partition display cells as display units. Therefore, a striped barrier 113 made of lead-containing frit glass or the like formed in the column direction V, and an inner wall surface and a bottom surface of the barrier 113 are formed to cover the discharge gas discharge. And a phosphor layer 114 blue phosphor layer is painted to convert the red phosphor layer, a green phosphor layer is converted into green light, and blue that converts ultraviolet light to more generated red light. Here, filling of the discharge gas into the discharge gas space 103 is usually performed by once exhausting the gas in the panel from the vent formed at the end of the panel and then introducing the discharge gas from the vent. Is called.

上述のような構成のPDP100においては、背面基板102のデータ電極111と前面基板101の走査電極105との間で表示(発光)すべきセルを選択する書き込み放電を行い、続いて前面基板101の走査電極105と維持電極106との間で選択したセルの面放電110による維持放電(表示放電)を行うことにより、表示に供される。   In the PDP 100 having the above-described configuration, a write discharge for selecting a cell to be displayed (light emission) is performed between the data electrode 111 of the rear substrate 102 and the scan electrode 105 of the front substrate 101, and then the front substrate 101. By performing a sustain discharge (display discharge) by the surface discharge 110 of the selected cell between the scan electrode 105 and the sustain electrode 106, the cell is provided for display.

ここで、上述のように背面基板102上にストライプ状の隔壁113を形成した特許文献1のPDP100では、図14に平面図で示すように、PDPを構成するそれぞれの表示セル115の走査電極105と維持電極106とはメインギャップ(放電ギャップ)MGを介して横方向Hに対向配置される一方、列方向Vに隣接する表示セル115間にはセル間の放電干渉を避けるためにサブギャップ(非放電ギャップ)SGが設けられている。通常、サブギャップSGの寸法は、メインギャップMGのそれの3〜5倍に設定されている。PDPの画素サイズは、通常画面サイズと画素数により規定されるため、非放電ギャップの寸法が大きくなることで、電極の幅が列方向Vに短くなる。このため、電極面積の減少に伴って放電電流が減少し、結果として発光輝度が減少するという問題が発生する。この傾向は表示セル115を増加させてPDP100の大画面化を図る場合ほど著しくなる。   Here, in the PDP 100 of Patent Document 1 in which the stripe-shaped partition wall 113 is formed on the back substrate 102 as described above, as shown in a plan view in FIG. 14, the scan electrode 105 of each display cell 115 constituting the PDP. And the sustain electrode 106 are arranged opposite to each other in the horizontal direction H via a main gap (discharge gap) MG, while a subgap (in order to avoid discharge interference between cells) between the display cells 115 adjacent in the column direction V. A non-discharge gap (SG) is provided. Usually, the dimension of the subgap SG is set to 3 to 5 times that of the main gap MG. Since the pixel size of the PDP is normally defined by the screen size and the number of pixels, the width of the electrode is shortened in the column direction V by increasing the dimension of the non-discharge gap. For this reason, the discharge current decreases as the electrode area decreases, resulting in a problem that the light emission luminance decreases. This tendency becomes more prominent as the number of display cells 115 is increased to increase the screen size of the PDP 100.

そのような観点から、電極面積の減少を避けて列方向Vに隣接する表示セル115間の放電干渉を防止するように構成したPDPが、例えば特許文献2(第2の従来技術)に開示されている。同PDP120は、図15に平面図で示すように、表示セル115を区画するための井桁状の隔壁116を備えている。すなわち、このPDP120では、上述のPDP100のように行方向Hにだけでなく、列方向Vにも形成された隔壁116を備えている。また、PDP100と比べて走査電極105及び維持電極106の配列が異なっていて、列方向Vの表示ラインごとにその配列順序が入れ替わっている。これは、列方向Vに隣接する表示セル115間で、走査電極105と維持電極106によって形成される容量成分を低減するためである。   From such a viewpoint, a PDP configured to avoid discharge interference between display cells 115 adjacent to each other in the column direction V while avoiding a reduction in electrode area is disclosed in, for example, Patent Document 2 (second prior art). ing. As shown in a plan view in FIG. 15, the PDP 120 includes a cross-shaped partition wall 116 for partitioning the display cell 115. That is, the PDP 120 includes the partition 116 formed not only in the row direction H but also in the column direction V as in the PDP 100 described above. Further, the arrangement of the scan electrodes 105 and the sustain electrodes 106 is different from that of the PDP 100, and the arrangement order is changed for each display line in the column direction V. This is to reduce the capacitance component formed by the scan electrode 105 and the sustain electrode 106 between the display cells 115 adjacent in the column direction V.

これ以外の構成はPDP100と略同様であるので、図15において図14の構成部分と対応する各部には、同一の番号を付してその説明を省略する。このような構成のPDP120によれば、表示セル115が井桁状の隔壁116で囲まれているので、列方向Vに隣接する表示セル115間の放電干渉を防止することができるだけでなく、表示セル115間のサブギャップを短くすることができるので、電極の幅が列方向Vに短くなるのを避けることができるようになる。さらに、サブギャップを短くできることに伴って、走査電極105及び維持電極106の電極面積を広げることができるので、放電電流を増大させることにより、高輝度での表示が可能となる。   Since the configuration other than this is substantially the same as that of the PDP 100, the same reference numerals are given to the components corresponding to the components in FIG. 14 in FIG. According to the PDP 120 having such a configuration, since the display cell 115 is surrounded by the grid-like partition walls 116, not only can the discharge interference between the display cells 115 adjacent in the column direction V be prevented, Since the subgap between 115 can be shortened, it is possible to prevent the electrode width from being shortened in the column direction V. Further, as the subgap can be shortened, the electrode areas of the scan electrode 105 and the sustain electrode 106 can be increased, so that display with high luminance can be achieved by increasing the discharge current.

しかしながら、図15のPDP120では、井桁状の隔壁116を備えていることにより各表示セル115は密封構造となっているので、放電ガスを充填する工程において、パネル内を効率的に排気する場合に不利となる。すなわち、前面基板と背面基板上の井桁状の隔壁116との間の微小な間隙を通じて排気する必要があるので、排気コンダクタンスが著しく低下するようになる。この結果、上述のPDP100と同様の排気工程を行った場合には、パネル内のガスを十分に排気することができなくなるため、多くの不純物ガスが残留するようになるので、放電特性、さらにはPDPとしての発光特性を悪化させるようになる。また、PDP100と同等の排気状態を得るためには、より長い排気時間が必要になるので、PDPの生産性を低下させることになる。   However, in the PDP 120 of FIG. 15, each display cell 115 has a sealed structure due to the provision of the grid-like partition walls 116, so that in the process of filling the discharge gas, the panel is efficiently exhausted. Disadvantageous. That is, since it is necessary to exhaust air through a minute gap between the front substrate and the cross-shaped partition wall 116 on the rear substrate, the exhaust conductance is significantly reduced. As a result, when an exhaust process similar to that of the above-described PDP 100 is performed, the gas in the panel cannot be exhausted sufficiently, so that a large amount of impurity gas remains. The light emission characteristics as a PDP are deteriorated. Further, in order to obtain an exhaust state equivalent to that of the PDP 100, a longer exhaust time is required, so that the productivity of the PDP is lowered.

上述のようなPDP120の問題を解決すべく、隔壁の高さを部分的に変えて排気経路を確保するようにした構成のPDPが、例えば特許文献3(第3の従来技術)及び特許文献4(第4の従来技術)に開示されている。特許文献3に開示されているPDP130は、図16に斜視図で示すように、井桁状の第1の隔壁117を形成した後、列方向Vのみの隔壁117上にストライプ状の第2の隔壁118を形成している。このような構成のPDP130によれば、行方向Hの隔壁117の高さは列方向Vの隔壁118のそれよりも低くなるので、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板上の行方向Hの隔壁117と前面基板との間に間隙ができるので、良好な排気特性が得られて排気コンダクタンスの低下を防止できるとしている。   In order to solve the problems of the PDP 120 as described above, PDPs having a configuration in which the height of the partition wall is partially changed to secure an exhaust path are disclosed in, for example, Patent Document 3 (third prior art) and Patent Document 4 (Fourth prior art). As shown in the perspective view of FIG. 16, the PDP 130 disclosed in Patent Document 3 includes a stripe-shaped second partition wall formed on the partition wall 117 only in the column direction V after the first partition wall-shaped partition wall 117 is formed. 118 is formed. According to the PDP 130 having such a configuration, the height of the partition wall 117 in the row direction H is lower than that of the partition wall 118 in the column direction V. Therefore, when the rear substrate and the front substrate are combined, Since a gap is formed between the partition wall 117 in the row direction H and the front substrate, good exhaust characteristics can be obtained and a decrease in exhaust conductance can be prevented.

また、特許文献4に開示されているPDP140は、図17に斜視図で示すように、列方向Vに第1の隔壁121を形成するとともに、行方向Hに第2の隔壁122及び第3の隔壁123を形成することにより井桁状の隔壁を形成している。このような構成のPDP140によれば、井桁状の隔壁を構成する行方向Hの隔壁122、123の幅を列方向Vの隔壁121のそれよりも大きくすることで、焼成による収縮の方向を異ならせて焼成後の隔壁形状に高さの分布を持たせて、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板上の行方向Hの隔壁122、123と前面基板101との間に間隙を形成するようにしている。
特開2002−258794号公報 特開2002−42661号公報 特開2000−285808号公報 特開2002−83545号公報
Further, as shown in a perspective view of FIG. 17, the PDP 140 disclosed in Patent Document 4 forms the first partition 121 in the column direction V and the second partition 122 and the third partition in the row direction H. By forming the partition wall 123, a cross-shaped partition wall is formed. According to the PDP 140 having such a configuration, the widths of the partition walls 122 and 123 in the row direction H constituting the grid-like partition walls are made larger than those of the partition walls 121 in the column direction V, so that the direction of shrinkage due to firing is different. When the rear substrate and the front substrate are combined with a height distribution in the partition wall shape after firing, there is a gap between the front wall 101 and the partition walls 122 and 123 in the row direction H on the rear substrate. To form.
JP 2002-258794 A JP 2002-42661 A JP 2000-285808 A JP 2002-83545 A

ところで、特許文献3、4に記載されている従来のPDPでは、それぞれ以下に説明するような問題がある。
まず、特許文献3記載の第3の従来技術に係るPDP130では、図16に示したように、2回の独立したパターン形成工程を用いて井桁状の第1の隔壁117を形成した後、列方向Vのみの隔壁117上にストライプ状の第2の隔壁118を重ねるように形成して所望の隔壁形状を形成しているので、第2の隔壁118がずれ易くなる。すなわち、第2の隔壁118の土台が不安になるので、背面基板と前面基板とを組み合わせてパネルとした場合に、第2の隔壁118が崩れてしまう可能性があり、安定した隔壁形状を得るのが困難となる。
Incidentally, the conventional PDPs described in Patent Documents 3 and 4 have problems as described below.
First, in the PDP 130 according to the third prior art described in Patent Document 3, as shown in FIG. 16, after forming the first partition walls 117 in a cross pattern using two independent pattern forming steps, Since the stripe-shaped second partition 118 is formed so as to overlap the partition 117 only in the direction V to form a desired partition shape, the second partition 118 is easily displaced. That is, since the foundation of the second partition wall 118 becomes uneasy, there is a possibility that the second partition wall 118 may collapse when a panel is formed by combining the rear substrate and the front substrate, and a stable partition shape is obtained. It becomes difficult.

次に、特許文献4記載の第4の従来技術に係るPDP140では、図17に示したように、列方向Vに第1の隔壁121を形成するとともに、行方向Hに第2の隔壁122及び第3の隔壁123を形成することにより隔壁形状に高さの分布を持たせて井桁状の隔壁を形成しているので、隔壁幅の設計範囲が制限されてしまい、光学特性等を低下させてしまうことがある。また、排気コンダクタンス以外の制約により隔壁幅を決定しなければならない場合には、排気に必要な間隙が得られなくなって排気コンダクタンスを悪化させることになり、あるいは間隙が大きくなり過ぎて排気コンダクタンスは改善されるものの放電干渉を防止することができなくなる。   Next, in the PDP 140 according to the fourth prior art described in Patent Document 4, as shown in FIG. 17, the first partition 121 is formed in the column direction V, and the second partition 122 and the row direction H are formed. By forming the third partition wall 123, the partition wall shape has a height distribution to form a grid-like partition wall, so that the design range of the partition wall width is limited, and optical characteristics and the like are reduced. It may end up. In addition, if the partition wall width must be determined due to constraints other than exhaust conductance, the gap necessary for exhaust cannot be obtained and exhaust conductance is deteriorated, or the gap becomes too large and exhaust conductance is improved. However, the discharge interference cannot be prevented.

この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、排気コンダクタンスの改善と放電干渉の抑制を両立させ、さらに安定した隔壁形状を得ることができるようにしたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and is a plasma display panel and a method for manufacturing the same, which can improve both exhaust conductance and suppress discharge interference, and can obtain a more stable barrier rib shape. An object of the present invention is to provide a plasma display device and a manufacturing method thereof.

上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、第1の基板と第2の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、上記第1及び第2の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁は、性質の異なる複数の隔壁材料により形成され、該複数の材料は異なるパターンに形成されることを特徴としている。   In order to solve the above-mentioned problem, according to a first aspect of the present invention, the first substrate and the second substrate are arranged to face each other so as to form a discharge space between the two substrates, and the first and second substrates are arranged. A plasma display panel having a partition for partitioning display cells on any one of the opposite surfaces, wherein the partition is formed of a plurality of partition materials having different properties, and the plurality of materials are formed in different patterns. It is characterized by that.

また、請求項2記載の発明は、請求項1記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記第1の基板の上記対向面には第1の方向に主放電ギャップを介して第1の電極及び第2の電極から成る行電極群が配置される一方、上記第2の基板の上記対向面には上記行電極群と直交する方向に第3の電極から成る列電極群が配置されることを特徴としている。   According to a second aspect of the present invention, there is provided the plasma display panel according to the first aspect, wherein the first electrode and the second electrode are formed on the opposing surface of the first substrate via a main discharge gap in a first direction. A row electrode group consisting of a plurality of electrodes is arranged, while a column electrode group consisting of a third electrode is arranged on the facing surface of the second substrate in a direction perpendicular to the row electrode group. Yes.

また、請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁は、第1の隔壁材料と、該第1の隔壁材料とは組成の異なる第2の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは上記第1の隔壁材料と上記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、上記第1の隔壁部と上記第2の隔壁部との高さが異なることを特徴としている。   The invention according to claim 3 relates to the plasma display panel according to claim 1 or 2, wherein the partition includes a first partition material and a second partition material having a composition different from that of the first partition material. A first partition wall portion, and the first partition wall portion is a second partition wall having a different composition ratio of the first partition wall material and the second partition wall material. The first partition wall and the second partition wall are different in height.

また、請求項4記載の発明は、請求項1又は2記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁は、第1の隔壁材料と、該第1の隔壁材料とは組成の異なる第2の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは上記第1の隔壁材料と上記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、上記第1の隔壁部と上記第2の隔壁部との高さが略等しいことを特徴としている。   The invention according to claim 4 relates to the plasma display panel according to claim 1 or 2, wherein the partition includes a first partition material and a second partition material having a composition different from that of the first partition material. A first partition wall portion, and the first partition wall portion is a second partition wall having a different composition ratio of the first partition wall material and the second partition wall material. And the first partition wall and the second partition wall have substantially the same height.

また、請求項5記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記複数の隔壁材料は、焼成による収縮率の異なる隔壁材料を含むことを特徴としている。   The invention according to claim 5 relates to the plasma display panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of partition wall materials include partition wall materials having different shrinkage rates due to firing. .

また、請求項6記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記複数の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なる隔壁材料を含むことを特徴としている。   The invention according to claim 6 relates to the plasma display panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of partition wall materials include partition wall materials having different softening points of glass materials contained therein. It is a feature.

また、請求項7記載の発明は、第1の基板と第2の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、上記第1及び第2の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁を形成する工程が、上記いずれか一方の対向面上に第1の隔壁材料を形成する工程と、上記いずれか一方の対向面上に第2の隔壁材料を形成する工程と、上記第1及び第2の隔壁材料を経時的に上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、上記第1及び第2の隔壁材料を同時に焼成する工程とを含むことを特徴としている。   According to a seventh aspect of the present invention, the first substrate and the second substrate are arranged to face each other so as to form a discharge space between the two substrates, and one of the first and second substrates faces each other. According to a method of manufacturing a plasma display panel having a partition for partitioning display cells on a surface, the step of forming the partition includes the step of forming a first partition material on any one of the facing surfaces, and A step of forming a second partition material on any one of the opposing surfaces, a step of patterning the first and second partition materials into a shape constituting the partition over time, and the first and second And the step of simultaneously firing the partition wall material.

また、請求項8記載の発明は、第1の基板と第2の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、上記第1の基板の上記対向面には第1の方向に主放電ギャップを介して第1の電極及び第2の電極から成る行電極群が配置される一方、上記第2の基板の上記対向面には第2の方向に第3の電極から成る列電極群が配置され、上記第1及び第2の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁を形成する工程が、上記いずれか一方の対向面上に第1の隔壁材料を形成する工程と、上記いずれか一方の対向面上に第2の隔壁材料を形成する工程と、上記第1及び第2の隔壁材料を経時的に上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、上記第1及び第2の隔壁材料を同時に焼成する工程とを含むことを特徴としている。   According to the eighth aspect of the present invention, the first substrate and the second substrate are arranged to face each other so as to form a discharge space between the two substrates, and the first surface is opposite to the first surface. A row electrode group consisting of a first electrode and a second electrode is arranged in the direction via a main discharge gap, while the opposing surface of the second substrate consists of a third electrode in the second direction. A step of forming the partition wall according to a plasma display panel having a partition electrode group and a partition wall for partitioning a display cell on either one of the first and second substrates. A step of forming a first partition wall material on one facing surface, a step of forming a second partition wall material on any one of the facing surfaces, and the first and second partition wall materials over time. Patterning the shape of the partition, and the first and second It is characterized by a step of firing the barrier rib material at the same time.

また、請求項9記載の発明は、請求項7又は8記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第1の隔壁材料の形成パターンと、上記第2の隔壁材料の形成パターンとが異なることを特徴としている。   The invention according to claim 9 relates to the method of manufacturing a plasma display panel according to claim 7 or 8, wherein the formation pattern of the first partition wall material is different from the formation pattern of the second partition wall material. It is characterized by.

また、請求項10記載の発明は、請求項7、8又は9記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁は、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは上記第1の隔壁材料と上記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、上記第1の隔壁部と上記第2の隔壁部との高さが異なることを特徴としている。   A tenth aspect of the present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel according to the seventh, eighth, or ninth aspect, wherein the partition includes a first partition and the first partition is the first partition. The partition wall material and the second partition wall material have a second partition wall portion having a different composition ratio, and the first partition wall portion and the second partition wall portion have different heights. Yes.

また、請求項11記載の発明は、請求項7、8又は9記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁は、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは上記第1の隔壁材料と上記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、上記第1の隔壁部と上記第2の隔壁部との高さが略等しいことを特徴としている。   The invention described in claim 11 relates to a method of manufacturing a plasma display panel according to claim 7, 8 or 9, wherein the partition includes a first partition and the first partition is the first partition. The partition wall material and the second partition wall material have a different partition ratio, and the first partition wall portion and the second partition wall portion have substantially the same height. It is said.

また、請求項12記載の発明は、請求項7乃至11のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第1の隔壁材料と第2の隔壁材料は、焼成による収縮率が異なることを特徴としている。   A twelfth aspect of the present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel according to any one of the seventh to eleventh aspects, wherein the first partition wall material and the second partition wall material have a shrinkage ratio due to firing. It is characterized by being different.

また、請求項13記載の発明は、請求項7乃至11のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第1の隔壁材料と第2の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なることを特徴としている。   A thirteenth aspect of the present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel according to any one of the seventh to eleventh aspects, wherein the first barrier rib material and the second barrier rib material are made of a glass material contained therein. It is characterized by different softening points.

また、請求項14記載の発明は、請求項7乃至13のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第1の隔壁材料を形成する工程が、該第1の隔壁材料を部分的に形成する一方、上記第2の隔壁材料を形成する工程が、該第2の隔壁材料を全面に形成することを特徴としている。   According to a fourteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a plasma display panel according to any one of the seventh to thirteenth aspects, the step of forming the first barrier rib material includes the step of forming the first barrier rib material. On the other hand, the step of forming the second partition wall material is characterized in that the second partition wall material is formed on the entire surface.

また、請求項15記載の発明は、請求項8乃至14のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、共通のレジストパターンを用いて上記第3の電極と上記第1の隔壁材料とを同時にパターニングすることを特徴としている。   The invention according to claim 15 relates to the method of manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 8 to 14, wherein the step of patterning into a shape constituting the partition uses a common resist pattern. The third electrode and the first partition wall material are patterned at the same time.

また、請求項16記載の発明は、請求項8乃至14のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、透明基板の表面に遮光材料から成る上記第3の電極を覆うように感光性材料から成る上記第1の隔壁材料を形成した後、上記第3の電極をマスクとして上記透明基板の裏面から露光し、次に現像して上記第1の隔壁材料をパターニングすることを特徴としている。   According to a sixteenth aspect of the present invention, there is provided the plasma display panel manufacturing method according to any one of the eighth to fourteenth aspects, wherein the step of patterning into the shape constituting the partition includes a light shielding material on the surface of the transparent substrate. The first partition wall material made of a photosensitive material is formed so as to cover the third electrode made of, and then exposed from the back surface of the transparent substrate using the third electrode as a mask, then developed and developed. The first partition wall material is patterned.

また、請求項17記載の発明は、プラズマ表示装置に係り、請求項1乃至6のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルを用いて構成したことを特徴としている。   According to a seventeenth aspect of the present invention, there is provided a plasma display device comprising the plasma display panel according to any one of the first to sixth aspects.

また、請求項18記載の発明は、プラズマ表示装置の製造方法に係り、請求項7乃至16のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第1の工程と、上記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに上記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第2の工程と、画像信号のフォマット変換を行い、上記モジュールに送信するインタフェースを上記モジュールに電気的に接続する第3の工程とを含むことを特徴としている。   An invention according to claim 18 relates to a method for manufacturing a plasma display device, and includes a first step of manufacturing a plasma display panel by the method for manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 7 to 16, A second step of manufacturing the plasma display panel as a module together with a circuit for driving the plasma display panel; and a step of performing an image signal format conversion and electrically connecting an interface for transmitting the module to the module. And 3 processes.

この発明のプラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法によれば、プラズマディスプレイパネルの表示セルを区画するために例えば背面基板上に形成される井桁状の隔壁は、この隔壁を構成する横隔壁と縦隔壁との高さが異なり、あるいは横隔壁及び縦隔壁のいずれか一方の高さが部分的に異なるので、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板上の隔壁と前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。したがって、排気コンダクタンスの改善と放電干渉の抑制を両立させ、さらに安定した隔壁形状を得ることができる。   According to the plasma display panel and the manufacturing method thereof, and the plasma display device and the manufacturing method thereof according to the present invention, for example, a grid-like partition formed on the rear substrate for partitioning the display cells of the plasma display panel The height of the horizontal and vertical bulkheads that make up the front panel is different, or the height of one of the horizontal and vertical bulkheads is partially different. A gap as an exhaust path can be easily secured between the partition wall and the front substrate. Therefore, both improvement in exhaust conductance and suppression of discharge interference can be achieved, and a more stable partition wall shape can be obtained.

この発明のプラズマディスプレイパネルは、前面基板と背面基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、背面基板の対向面に表示セルを区画するための井桁状の隔壁を有する構成において、この隔壁は、性質の異なる複数の隔壁材料により形成され、複数の材料は異なるパターンに形成される。   The plasma display panel according to the present invention has a structure in which a front substrate and a rear substrate are arranged to face each other so as to form a discharge space between both substrates, and has a grid-like partition wall for partitioning display cells on the opposite surface of the rear substrate. The partition walls are formed of a plurality of partition wall materials having different properties, and the plurality of materials are formed in different patterns.

図1は、この発明の実施例1であるPDPの概略構成を示す斜視図、図2は同PDPの製造方法を工程順に示す平面図、図3は図2のA−A´線に沿った断面図である。なお、この例では背面基板のみの構成について説明し、前面基板については図13の従来のPDPのそれと略同じ構成なので、説明を省略する。
この例のPDP10の背面基板1は、図1に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板2と、絶縁基板2の内面に行方向Hと直交する列方向Vに沿って互いに平行に配置されて列電極群を構成するAl、Ag等から成るデータ電極(アドレス電極)3と、He、Ne、Xe等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて前面基板(図示せず)との間で放電ガス空間を確保するとともに、表示セル4を区画するために行方向Hに形成された鉛含有フリットガラス等から成る井桁状の隔壁5と、データ電極3を被覆しかつ隔壁5の内壁面及び底面を被覆するように形成されて放電用ガスの放電により発生する紫外線を赤色光に変換する赤色蛍光体層、緑色光に変換する緑色蛍光体層及び青色に変換する青色蛍光体層が塗り分けられた蛍光体層6とを備えている。ここで、井桁状の隔壁5は、行方向Hに形成された横隔壁5Aと列方向Vに形成された縦隔壁5Bとから構成されている。また、井桁状の隔壁5は、前面基板上の行方向Hに配置されている走査電極及び維持電極(ともに図示せず)に平行な横隔壁5Aが非放電ギャップと重なるように形成されるとともに、列方向Vに配置されているデータ電極3に平行な縦隔壁5Bがデータ電極3間に配置されている。なお、データ電極3を被覆する誘電体層は不要にした例で示している。PDPの動作の原理上、その誘電体層は不要にしても何ら差し支えない。
1 is a perspective view showing a schematic configuration of a PDP according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a manufacturing method of the PDP in order of steps, and FIG. 3 is taken along the line AA ′ of FIG. It is sectional drawing. In this example, only the rear substrate will be described. The front substrate is substantially the same as that of the conventional PDP shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the rear substrate 1 of the PDP 10 in this example is parallel to each other along an insulating substrate 2 made of a transparent material such as glass and a column direction V perpendicular to the row direction H on the inner surface of the insulating substrate 2. A front electrode (not shown) is filled with a data electrode (address electrode) 3 made of Al, Ag, etc., which is arranged to form a column electrode group, and a discharge gas such as He, Ne, Xe or the like alone or mixed. ) And a grid-like partition wall 5 made of lead-containing frit glass or the like formed in the row direction H to partition the display cell 4, and the data electrode 3 and the partition wall 5 is formed so as to cover the inner wall surface and the bottom surface, and a red phosphor layer that converts ultraviolet light generated by the discharge of the discharge gas into red light, a green phosphor layer that converts green light, and blue fluorescence that converts blue light. The body layer is painted separately And a phosphor layer 6. Here, the cross-shaped partition 5 is composed of a horizontal partition 5A formed in the row direction H and a vertical partition 5B formed in the column direction V. The cross-shaped barrier ribs 5 are formed so that the horizontal barrier ribs 5A parallel to the scan electrodes and sustain electrodes (both not shown) arranged in the row direction H on the front substrate overlap the non-discharge gap. Vertical partition walls 5B parallel to the data electrodes 3 arranged in the column direction V are arranged between the data electrodes 3. In the example shown, the dielectric layer covering the data electrode 3 is unnecessary. Due to the principle of operation of the PDP, the dielectric layer may be unnecessary.

また、図1から明らかなように、井桁状の隔壁5を構成している横隔壁5Aと縦隔壁5Bは、性質の異なる複数の材料により異なるパターンに形成されて、横隔壁5Aの高さは、縦隔壁5Bのそれよりも低く形成されている。このような設定により、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板1上の行方向Hの横隔壁5Aと前面基板との間に間隙を形成することができるように構成されている。なお、放電ガス空間内への放電ガスの充填は、従来のPDPと同様に、パネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを導入することにより行われる。   Further, as apparent from FIG. 1, the horizontal barrier ribs 5A and the vertical barrier ribs 5B constituting the cross-girder-shaped barrier ribs 5 are formed in different patterns by a plurality of materials having different properties, and the height of the horizontal barrier ribs 5A is It is formed lower than that of the vertical partition wall 5B. With such a setting, when the rear substrate and the front substrate are combined, a gap can be formed between the horizontal partition wall 5A in the row direction H on the rear substrate 1 and the front substrate. . In addition, the discharge gas is filled into the discharge gas space in the same manner as in the conventional PDP, after the gas in the panel is once exhausted from the vent formed at the end of the panel, and then the discharge gas is introduced from the vent. Is done.

上述したように、この例のPDP10によれば、表示セル4を区画するための井桁状の隔壁5は、行方向Hに形成された横隔壁5Aと、行方向Hと直交する列方向Vに形成された縦隔壁5Bとから構成され、横隔壁5Aと縦隔壁5Bは異なるパターンに形成されて、横隔壁5Aの高さは、縦隔壁5Bのそれよりも低く形成されているので、背面基板1上の横隔壁5Aと前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。それゆえ、放電ガスを充填する工程において、その間隙を通じて排気することによりパネル内を効率的に排気することができるので、従来のPDP100と同様の排気工程を行ってパネル内のガスを十分に排気することができるため、多くの不純物ガスが残留することがなくなり、放電特性、さらにはPDPとしての発光特性を向上させることができる。また、従来のPDP100と同等の排気状態を略同じ排気時間で得ることができるので、PDPの生産性を低下させることがなくなる。   As described above, according to the PDP 10 of this example, the cross-shaped partition walls 5 for partitioning the display cells 4 include the horizontal partition walls 5A formed in the row direction H and the column direction V orthogonal to the row direction H. The vertical barrier ribs 5B are formed, the horizontal barrier ribs 5A and the vertical barrier ribs 5B are formed in different patterns, and the height of the horizontal barrier ribs 5A is lower than that of the vertical barrier ribs 5B. A gap as an exhaust path can be easily ensured between the horizontal partition 5A on the top 1 and the front substrate. Therefore, since the inside of the panel can be efficiently exhausted by exhausting through the gap in the process of filling the discharge gas, the exhaust process similar to that of the conventional PDP 100 is performed to sufficiently exhaust the gas in the panel. Therefore, a large amount of impurity gas does not remain, and the discharge characteristics and further the light emission characteristics as the PDP can be improved. Further, since an exhaust state equivalent to that of the conventional PDP 100 can be obtained with substantially the same exhaust time, the productivity of the PDP is not lowered.

次に、図2及び図3を参照して、この例のPDP10の製造方法を工程順に説明する。なお、図3(a)〜(e)はそれぞれ図2(a)〜(e)のA−A´線に沿った断面を示している。
まず、図2(a)及び図3(a)に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板2を用意して、列方向Vに沿って互いに平行にAl、Ag等から成るデータ電極3を形成した後、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第1の隔壁材料5aを、例えばスクリーン印刷法により行方向Hに沿って塗布する(形成する)。この場合、第1の隔壁材料5aの高さは横隔壁5Aとして最終的に必要な厚さの略1/2に選ぶ。
Next, with reference to FIG.2 and FIG.3, the manufacturing method of PDP10 of this example is demonstrated in order of a process. 3A to 3E show cross sections taken along the line AA 'in FIGS. 2A to 2E, respectively.
First, as shown in FIGS. 2 (a) and 3 (a), an insulating substrate 2 made of a transparent material such as glass is prepared, and data electrodes made of Al, Ag, etc. are parallel to each other along the column direction V. 3 is formed, a first partition wall material 5a made of an insulating paste containing lead-containing frit glass or the like is applied (formed) along the row direction H by, for example, a screen printing method. In this case, the height of the first partition wall material 5a is selected to be approximately ½ of the finally required thickness for the horizontal partition wall 5A.

次に、図2(b)及び図3(b)に示すように、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第2の隔壁材料5bを、例えばテーブルコータにより第1の隔壁材料5aを覆うように絶縁基板2の略全面に塗布する。次に、レベリングにより、第2の隔壁材料5bの非形成部の高さが第1の隔壁材料5aの形成部のそれと同じになるように調整する。ここで、第1の隔壁材料5a及び第2の隔壁材料5bは、後述するような組成のものを用いるようにする。   Next, as shown in FIGS. 2 (b) and 3 (b), the second partition material 5b made of an insulating paste containing lead-containing frit glass or the like is replaced with the first partition material 5a by, for example, a table coater. It coat | covers on the substantially whole surface of the insulated substrate 2 so that it may cover. Next, the height of the non-formation part of the 2nd partition material 5b is adjusted by leveling so that it may become the same as that of the formation part of the 1st partition material 5a. Here, the first partition wall material 5a and the second partition wall material 5b are made of a composition as described later.

次に、図2(c)及び図3(c)に示すように、フォトリソグラフィ法により第2の隔壁材料5b上に、形成すべき井桁状の隔壁5と同一形状のレジストパターン7を形成する。   Next, as shown in FIGS. 2C and 3C, a resist pattern 7 having the same shape as the cross-shaped partition walls 5 to be formed is formed on the second partition material 5b by photolithography. .

次に、図2(d)及び図3(d)に示すように、レジストパターン7をマスクとして例えばサンドブラスト法により第2の隔壁材料5bのパターニングを行って、不要な第2の隔壁材料5bを除去する。このように、第2の隔壁材料5bのパターニングは、第1の隔壁材料5aのパターニングよりも後の時点で、すなわち、経時的にパターニングを行う。   Next, as shown in FIG. 2D and FIG. 3D, the second partition wall material 5b is patterned by, for example, sandblasting using the resist pattern 7 as a mask to remove the unnecessary second partition wall material 5b. Remove. As described above, the patterning of the second partition material 5b is performed at a time later than the patterning of the first partition material 5a, that is, with time.

次に、図2(e)及び図3(e)に示すように、レジストパターン7を除去した後、焼成を行って、第1の隔壁材料5aにより横隔壁5Aを形成すると同時に第2の隔壁材料5bにより縦隔壁5Bを形成して、井桁状の隔壁5を形成して、図1に示すような背面基板1を完成させる。   Next, as shown in FIGS. 2 (e) and 3 (e), after removing the resist pattern 7, baking is performed to form the horizontal barrier rib 5A with the first barrier rib material 5a and at the same time the second barrier rib. The vertical barrier ribs 5B are formed of the material 5b, and the cross-shaped barrier ribs 5 are formed, thereby completing the back substrate 1 as shown in FIG.

次に、背面基板2の井桁状の隔壁5が形成された面と、前面基板(図示せず)の走査電極及び維持電極から成る行電極群が形成された面とを対向させて重ねて、周囲部を低融点ガラス(図示せず)により封止してパネルを形成する。次に、パネルの端部に形成した通気口からパネル内のガスを一旦排気した後、その通気口からHe、Ne、Xe等の放電用ガスを放電ガス空間内に充填する。最後に、通気口を封止することによりPDP10を完成させる。この後、PDP10に駆動回路、信号処理回路等の周辺回路基板を取り付けることにより、プラズマ表示装置を完成させる。   Next, the surface of the rear substrate 2 on which the cross-shaped barrier ribs 5 are formed and the surface of the front substrate (not shown) on which the row electrode group consisting of the scan electrodes and the sustain electrodes is formed are overlapped with each other, The periphery is sealed with low melting glass (not shown) to form a panel. Next, after exhausting the gas in the panel from the vent formed at the end of the panel, a discharge gas such as He, Ne, and Xe is filled into the discharge gas space from the vent. Finally, the PDP 10 is completed by sealing the vent. Thereafter, peripheral circuit boards such as a drive circuit and a signal processing circuit are attached to the PDP 10 to complete the plasma display device.

上述したようなPDP10の製造方法において、一般に井桁状の隔壁5を形成するための隔壁材料は、焼成後の形状を維持するための金属酸化物等から成るフィラーと、焼成後のフィラー同士を接着するための低融点ガラスと、焼成前の各材料を接着するためのバインダとから構成される。ここで、バインダ成分は焼成により分解除去されるため、焼成後にはフィラーと低融点ガラスのみが残ることになる。   In the manufacturing method of the PDP 10 as described above, the partition wall material for forming the grid-like partition wall 5 is generally formed by bonding a filler made of a metal oxide or the like for maintaining the shape after firing and the filler after firing. For forming a low melting point glass and a binder for bonding the respective materials before firing. Here, since the binder component is decomposed and removed by firing, only the filler and the low melting point glass remain after firing.

この場合、焼成前後での隔壁材料の体積差すなわち、焼成による隔壁材料の収縮は、フィラー、低融点ガラス及びバインダの組成比により決定される。例えば、これらの3つの原料から成る組成においてバインダの含有量を増やすような組成比にすると、焼成前後の体積変化が大きくなるため、結果的に収縮が大きくなる。   In this case, the volume difference of the partition wall material before and after firing, that is, the shrinkage of the partition wall material due to firing is determined by the composition ratio of the filler, the low-melting glass, and the binder. For example, when the composition ratio is such that the binder content is increased in the composition composed of these three raw materials, the volume change before and after firing is increased, resulting in increased shrinkage.

このような観点から、この例のPDP10の製造方法においては、第1の隔壁材料5aと第2の隔壁材料5bとの組成比を異ならせている。具体的には、第1の隔壁材料5aのバインダの含有量を第2の隔壁材料5bのそれよりも多くして用いている。この結果、焼成による収縮量に差が生じて、バインダの含有量が多い第1の隔壁材料5aの収縮量が第2の隔壁材料5bのそれよりも大きくなるので、第1の隔壁材料5aにより形成される横隔壁5Aの収縮量が第2の隔壁材料5bにより形成される縦隔壁5Bのそれよりも大きくなって、横隔壁5Aの高さは縦隔壁5Bのそれよりも低く形成される。したがって、図1に示すように、横隔壁5Aの高さを、縦隔壁5Bのそれよりも低く形成することができる。   From such a viewpoint, in the manufacturing method of the PDP 10 of this example, the composition ratios of the first partition material 5a and the second partition material 5b are made different. Specifically, the binder content of the first partition wall material 5a is used more than that of the second partition wall material 5b. As a result, a difference occurs in the shrinkage amount due to firing, and the shrinkage amount of the first partition material 5a having a large binder content is larger than that of the second partition material 5b. The shrinkage amount of the formed horizontal barrier rib 5A is larger than that of the vertical barrier rib 5B formed by the second barrier rib material 5b, and the height of the horizontal barrier rib 5A is formed lower than that of the vertical barrier rib 5B. Therefore, as shown in FIG. 1, the height of the horizontal partition 5A can be formed lower than that of the vertical partition 5B.

上述したように、この例のPDPの製造方法によれば、第1の隔壁材料5aのバインダの含有量を第2の隔壁材料5bのそれよりも増やすような組成比のものを用いて、焼成によりバインダの含有量が多い第1の隔壁材料5aにより形成される横隔壁5Aの収縮量を第2の隔壁材料5bにより形成される縦隔壁5Bのそれよりも大きくして、横隔壁5Aの高さを縦隔壁5Bのそれよりも低く形成するので、背面基板1上の横隔壁5Aと前面基板との間に排気経路としての間隙を簡単に確保することができる。また、第1の隔壁材料5a及び第2の隔壁材料5bを塗布した後、一度のフォトリソグラフィ工程で横隔壁5A及び縦隔壁5Bを形成するので、第1の隔壁材料5aの形成精度があまり高くなくとも、隔壁形状のずれは発生しない。   As described above, according to the PDP manufacturing method of this example, the first partition wall material 5a is fired by using a binder having a composition ratio that increases the binder content more than that of the second partition wall material 5b. Therefore, the shrinkage amount of the horizontal partition wall 5A formed by the first partition wall material 5a having a high binder content is made larger than that of the vertical partition wall 5B formed by the second partition wall material 5b, thereby increasing the height of the horizontal partition wall 5A. Since the height is lower than that of the vertical partition 5B, a gap as an exhaust path can be easily secured between the horizontal partition 5A on the back substrate 1 and the front substrate. In addition, since the horizontal barrier rib 5A and the vertical barrier rib 5B are formed by a single photolithography process after the first barrier rib material 5a and the second barrier rib material 5b are applied, the formation accuracy of the first barrier rib material 5a is very high. Even if it does not, the shift of the partition shape does not occur.

このように、この例のPDP10によれば、前面基板と背面基板とが両基板間に放電空間が形成されるように対向配置され、前面基板及び背面基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有する構成において、井桁状の隔壁5は対向面上で行方向Hに形成された横隔壁5Aと、行方向Hと直交する列方向Vに形成された縦隔壁5Bとから構成され、横隔壁5Aと縦隔壁5Bは異なるパターンに形成されて、横隔壁5Aの高さは、縦隔壁5Bのそれよりも低く形成されているので、横隔壁5Aと前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。
また、この例のPDPの製造方法によれば、焼成によりバインダ成分が多い第1の隔壁材料5aにより形成される横隔壁5Aの収縮量を第2の隔壁材料5bにより形成される縦隔壁5Bのそれよりも大きくして、横隔壁5Aの高さを縦隔壁5Bのそれよりも低く形成するので、背面基板1上の横隔壁5Aと前面基板との間に排気経路としての間隙を簡単に確保することができる。
したがって、排気コンダクタンスの改善と放電干渉の抑制を両立させ、さらに安定した隔壁形状を得ることができる。
As described above, according to the PDP 10 of this example, the front substrate and the rear substrate are arranged to face each other so that a discharge space is formed between the two substrates, and the display cell is provided on either one of the front substrate and the rear substrate. In the configuration having partition walls for partitioning, the cross-shaped partition walls 5 include a horizontal partition wall 5A formed in the row direction H on the opposing surface, and a vertical partition wall 5B formed in the column direction V orthogonal to the row direction H. The horizontal barrier ribs 5A and the vertical barrier ribs 5B are formed in different patterns, and the height of the horizontal barrier ribs 5A is lower than that of the vertical barrier ribs 5B. In addition, a gap as an exhaust path can be easily secured.
Further, according to the manufacturing method of the PDP of this example, the shrinkage amount of the horizontal barrier rib 5A formed by the first barrier rib material 5a having a large binder component by firing is reduced by the vertical barrier rib 5B formed by the second barrier rib material 5b. Since the width of the horizontal partition wall 5A is made lower than that of the vertical partition wall 5B, the gap as the exhaust path is easily secured between the horizontal partition wall 5A on the back substrate 1 and the front substrate. can do.
Therefore, both improvement in exhaust conductance and suppression of discharge interference can be achieved, and a more stable partition wall shape can be obtained.

図4は、この発明の実施例2であるPDPの概略構成を示す斜視図、図5は同PDPの製造方法(第1の製造方法)を工程順に示す平面図、図6は図5のB−B´線に沿った断面図、図7は同PDPの第1の製造方法により形成される隔壁の形状を説明する断面図である。この例のPDPの概略構成が、上述した実施例1のそれと大きく異なるところは、行方向Hに形成される横隔壁の一部の高さを低く形成するようにした点である。
すなわち、この例のPDP12の背面基板11は、図4に示すように、井桁状の隔壁13は、行方向Hに形成された横隔壁13Aと列方向Vに形成された縦隔壁13Bとから構成されて、横隔壁13Aの一部の高さは低く形成されている。このような設定により、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板11上の行方向Hの横隔壁13Aの一部と前面基板との間に間隙を形成することができるように構成されている。なお、放電ガス空間内への放電ガスの充填は、実施例1のPDP10と同様に、パネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを導入することにより行われる。
これ以外の構成は図1に示した実施例1のPDP10と略同様であるので、図4において図1の構成部分と対応する各部には、同一の番号を付してその説明を省略する。
4 is a perspective view showing a schematic configuration of a PDP according to Embodiment 2 of the present invention, FIG. 5 is a plan view showing a manufacturing method (first manufacturing method) of the PDP in order of steps, and FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a shape of a partition formed by the first manufacturing method of the PDP. The schematic configuration of the PDP in this example is greatly different from that of the first embodiment described above in that a part of the horizontal partition walls formed in the row direction H is formed to have a low height.
That is, as shown in FIG. 4, the back substrate 11 of the PDP 12 in this example has a grid-like partition wall 13 composed of a horizontal partition wall 13 </ b> A formed in the row direction H and a vertical partition wall 13 </ b> B formed in the column direction V. Thus, a part of the horizontal partition wall 13A is formed to be low in height. With such a setting, when the rear substrate and the front substrate are combined, a gap can be formed between a part of the horizontal partition wall 13A in the row direction H on the rear substrate 11 and the front substrate. Has been. The discharge gas is filled into the discharge gas space in the same manner as the PDP 10 of the first embodiment after the gas in the panel is once exhausted from the vent formed at the end of the panel and then discharged from the vent. It is done by introducing.
Since the configuration other than this is substantially the same as that of the PDP 10 of the first embodiment shown in FIG. 1, in FIG. 4, each part corresponding to the constituent part of FIG.

上述したように、この例のPDP12によれば、表示セル14を区画するための井桁状の隔壁13は、行方向Hに形成された横隔壁13Aと、行方向Hと直交する列方向Vに形成された縦隔壁13Bとから構成され、横隔壁13Aと縦隔壁13Bは異なるパターンに形成されて、横隔壁13Aの一部の高さは縦隔壁5Bのそれよりも低く形成されているので、背面基板11上の横隔壁13Aと前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。それゆえ、放電ガスを充填する工程において、その間隙を通じて排気することによりパネル内を効率的に排気することができるので、図1の実施例1のPDP10と同様の排気工程を行ってパネル内のガスを十分に排気することができるため、多くの不純物ガスが残留することがなくなり、放電特性、さらにはPDPとしての発光特性を向上させることができる。また、PDP10と同等の排気状態を略同じ排気時間で得ることができるので、PDPの生産性を低下させることがなくなる。   As described above, according to the PDP 12 of this example, the cross-shaped barrier ribs 13 for partitioning the display cells 14 include the horizontal barrier ribs 13A formed in the row direction H and the column direction V orthogonal to the row direction H. Since the vertical barrier ribs 13B are formed, the horizontal barrier ribs 13A and the vertical barrier ribs 13B are formed in different patterns, and the height of a part of the horizontal barrier ribs 13A is lower than that of the vertical barrier ribs 5B. A gap as an exhaust path can be easily secured between the horizontal partition wall 13A on the back substrate 11 and the front substrate. Therefore, in the process of filling the discharge gas, the inside of the panel can be efficiently exhausted by exhausting through the gap. Therefore, the exhaust process similar to that of the PDP 10 of Example 1 in FIG. Since the gas can be exhausted sufficiently, a large amount of impurity gas does not remain, and the discharge characteristics and further the light emission characteristics as the PDP can be improved. In addition, since an exhaust state equivalent to that of the PDP 10 can be obtained in substantially the same exhaust time, the productivity of the PDP is not reduced.

また、この例のPDP12によれば、実施例1のPDP10と同様に井桁状の隔壁13は絶縁基板2の対向面上にそれぞれ形成された横隔壁13Aと縦隔壁13Bとにより構成されて、いずれの隔壁部13A、13B上にもストライプ状の隔壁は重ねられないので、第1及び縦隔壁13A、13Bを安定に形成することができる。また、第1及び縦隔壁13A、13Bはともに単一の隔壁により構成されて、いずれか一方の隔壁部のみの幅が大きく形成されることはないので、隔壁幅の設計範囲が制限されることはなくなる。   Further, according to the PDP 12 of this example, like the PDP 10 of the first embodiment, the cross-shaped partition wall 13 is constituted by the horizontal partition wall 13A and the vertical partition wall 13B respectively formed on the opposing surface of the insulating substrate 2, Since the striped barrier ribs are not superimposed on the barrier rib portions 13A and 13B, the first and vertical barrier ribs 13A and 13B can be stably formed. In addition, the first and vertical barrier ribs 13A and 13B are both constituted by a single barrier rib, and only one of the barrier rib portions is not formed with a large width, so that the design range of the barrier rib width is limited. Will disappear.

次に、図5及び図6を参照して、この例のPDP12の第1の製造方法を工程順に説明する。なお、図6(a)〜(e)はそれぞれ図5(a)〜(e)のB−B´線に沿った断面を示している。
まず、図5(a)及び図6(a)に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板2を用意して、列方向Vに沿って互いに平行にAl、Ag等から成る電極層3aを略全面に形成した後、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第1の隔壁材料13aを、例えばスクリーン印刷法により略全面に塗布する。この場合、第1の隔壁材料13aの高さは横隔壁13Aとして最終的に必要な厚さの略1/2に選ぶ。次に、フォトリソグラフィ法により第1の隔壁材料13a上に、形成すべきデータ電極3と同一形状のレジストパターン8を形成する。
Next, the first manufacturing method of the PDP 12 of this example will be described in the order of steps with reference to FIGS. 6A to 6E show cross sections taken along the line BB 'in FIGS. 5A to 5E, respectively.
First, as shown in FIGS. 5A and 6A, an insulating substrate 2 made of a transparent material such as glass is prepared, and electrode layers made of Al, Ag, etc. are parallel to each other along the column direction V. After 3a is formed on substantially the entire surface, a first partition wall material 13a made of an insulating paste containing lead-containing frit glass or the like is applied on the substantially entire surface by, for example, screen printing. In this case, the height of the first partition wall material 13a is selected to be approximately ½ of the finally required thickness for the horizontal partition wall 13A. Next, a resist pattern 8 having the same shape as the data electrode 3 to be formed is formed on the first partition wall material 13a by photolithography.

次に、図5(b)及び図6(b)に示すように、レジストパターン8をマスクとして例えばサンドブラスト法により第1の隔壁材料13aのパターニングを行って、不要な第2の隔壁材料13aを除去する。さらに、レジストパターン8をマスクとしてエッチングによりパターニングを行ってデータ電極3を形成する。   Next, as shown in FIGS. 5B and 6B, the first partition wall material 13a is patterned by, for example, sandblasting using the resist pattern 8 as a mask, so that the unnecessary second partition wall material 13a is formed. Remove. Further, the data electrode 3 is formed by patterning by etching using the resist pattern 8 as a mask.

次に、図5(c)及び図6(c)に示すように、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第2の隔壁材料13bを、例えばテーブルコータにより第1の隔壁材料13aを覆うように絶縁基板2の略全面に塗布する。次に、レベリングにより、第2の隔壁材料13bの非形成部の高さが第1の隔壁材料13aの形成部のそれと同じになるように調整する。ここで、第1の隔壁材料13a及び第2の隔壁材料13bは、後述するような組成のものを用いるようにする。
次に、フォトリソグラフィ法により第2の隔壁材料13b上に、形成すべき井桁状の隔壁13と同一形状のレジストパターン7を形成する。
Next, as shown in FIGS. 5 (c) and 6 (c), the second partition material 13b made of an insulating paste containing lead-containing frit glass or the like is replaced with the first partition material 13a by, for example, a table coater. It coat | covers on the substantially whole surface of the insulated substrate 2 so that it may cover. Next, the height of the non-formation part of the 2nd partition material 13b is adjusted by leveling so that it may become the same as that of the formation part of the 1st partition material 13a. Here, the first partition wall material 13a and the second partition wall material 13b are made of compositions as described later.
Next, a resist pattern 7 having the same shape as the cross-shaped barrier ribs 13 to be formed is formed on the second barrier rib material 13b by photolithography.

次に、図5(d)及び図6(d)に示すように、レジストパターン7をマスクとして例えばサンドブラスト法により第2の隔壁材料13bのパターニングを行って、不要な第2の隔壁材料13bを除去する。   Next, as shown in FIGS. 5D and 6D, the second partition wall material 13b is patterned by, for example, sandblasting using the resist pattern 7 as a mask, so that the unnecessary second partition wall material 13b is formed. Remove.

次に、図5(e)及び図6(e)に示すように、レジストパターン7を除去した後、焼成を行って、第1の隔壁材料13aにより横隔壁13Aを形成すると同時に第2の隔壁材料13bにより縦隔壁13Bを形成して、井桁状の隔壁13を形成して、背面基板2を完成させる。
以下、実施例1のPDP10の製造方法と同様な工程を経ることにより、PDP12を完成させ、さらにその後、PDP12に駆動回路、信号処理回路等の周辺回路基板を取り付けることにより、プラズマ表示装置を完成させる。
Next, as shown in FIGS. 5 (e) and 6 (e), after removing the resist pattern 7, baking is performed to form the horizontal barrier rib 13A with the first barrier rib material 13a and at the same time the second barrier rib. The vertical barrier ribs 13B are formed from the material 13b, the cross-shaped barrier ribs 13 are formed, and the back substrate 2 is completed.
Thereafter, the plasma display device is completed by completing the PDP 12 through the same steps as the manufacturing method of the PDP 10 of Example 1, and then attaching peripheral circuit boards such as a drive circuit and a signal processing circuit to the PDP 12. Let

上述したようなPDP12の第1の製造方法において、用いる第1の隔壁材料13aと第2の隔壁材料13bとの軟化点を異ならせている。具体的には、第1の隔壁材料13a及び第2の隔壁材料13bは、焼成後の形状を維持するための金属酸化物等から成るフィラーと、焼成後のフィラー同士を接着するための低融点ガラスと、焼成前の各材料を接着するためのバインダとから構成される組成は同一で、第1の隔壁材料13aに含まれる低融点ガラスの軟化点を第2の隔壁材料13bに含まれるそれの軟化点よりも低くして用いている。この結果、焼成時の隔壁構造の保持力に差が生じて、低融点ガラスの軟化点が低い第1の隔壁材料13aの保持力が第2の隔壁材料13bのそれよりも小さくなるので、第1の隔壁材料13aにより形成される横隔壁13Aの保持力が第2の隔壁材料13bにより形成される縦隔壁13Bのそれよりも小さくなる。したがって、図4に示すように、横隔壁13Aの一部の高さを低く形成することができる。   In the first manufacturing method of the PDP 12 as described above, the softening points of the first partition material 13a and the second partition material 13b to be used are different. Specifically, the first partition wall material 13a and the second partition wall material 13b are composed of a filler made of a metal oxide or the like for maintaining the shape after firing and a low melting point for bonding the filler after firing. The composition composed of glass and the binder for bonding each material before firing is the same, and the softening point of the low melting point glass contained in the first partition material 13a is that contained in the second partition material 13b. It is used lower than the softening point. As a result, a difference occurs in the holding force of the partition wall structure during firing, and the holding force of the first partition wall material 13a having a low softening point of the low melting point glass is smaller than that of the second partition wall material 13b. The holding force of the horizontal barrier rib 13A formed by the first barrier rib material 13a is smaller than that of the vertical barrier rib 13B formed by the second barrier rib material 13b. Therefore, as shown in FIG. 4, the height of a part of the horizontal partition wall 13A can be formed low.

図7(a)、(b)はそれぞれ図5(e)におけるX−X´、Y−Y´線に沿った断面を示すもので、この例のPDP12の第1の製造方法により形成される隔壁の形状を説明している。図7(a)に示すように、最初に塗布される第1の隔壁材料13aは、次に塗布される第2の隔壁材料13bよりも低融点ガラスの軟化点が低くなっているので、焼成時に隔壁構造を保持する力が弱くなるため、底部にダレが生じてその高さは低くなる。一方、図7(b)に示すように、第1及び第2の隔壁材料13a、13bの低融点ガラスの軟化点を略同一にして塗布した場合には、焼成時に隔壁構造を保持する力は略同じになるため、底部にダレがほとんど生じないのでその高さはそれほど低くならない。   FIGS. 7A and 7B show cross sections taken along lines XX ′ and YY ′ in FIG. 5E, respectively, and are formed by the first manufacturing method of the PDP 12 of this example. The shape of the partition is explained. As shown in FIG. 7 (a), the first partition wall material 13a applied first has a lower softening point of the low melting point glass than the second partition wall material 13b applied next, and is fired. Since the force to hold the partition wall structure is sometimes weakened, sagging occurs at the bottom and the height is lowered. On the other hand, as shown in FIG. 7B, when the softening points of the low melting point glass of the first and second partition wall materials 13a and 13b are applied to be substantially the same, the force for holding the partition wall structure during firing is Since it becomes substantially the same, there is almost no sagging at the bottom, so the height is not so low.

このように、実施例1のPDP10の製造方法のように隔壁材料の組成のバインダの含有量を増やして収縮量を大きくする例に限らずに、異なる現象によっても隔壁の高さを変えることができる。   Thus, the height of the partition wall can be changed not only by the example of increasing the shrinkage amount by increasing the binder content of the partition wall material composition as in the manufacturing method of the PDP 10 of Example 1, but also by different phenomena. it can.

また、上述のPDP12の第1の製造方法によれば、レジストパターン8を共通のマスクとして用いて第1の隔壁材料13aのパターニング及びデータ電極3のパターニングを行うので、フォトリソグラフィ工程を増加することなく第1の隔壁材料13aのパターンを得ることができる。   Further, according to the first manufacturing method of the PDP 12 described above, the patterning of the first partition wall material 13a and the patterning of the data electrode 3 are performed using the resist pattern 8 as a common mask, thereby increasing the number of photolithography processes. Thus, a pattern of the first partition wall material 13a can be obtained.

このようにこの例によっても、実施例1において述べたのと略同様な効果を得ることができる。   Thus, also in this example, substantially the same effects as described in the first embodiment can be obtained.

図8は、この発明の実施例3であるPDPの製造方法を工程順に示す平面図、図9は図8のC−C´線に沿った断面図である。この例のPDPの製造方法(実施例2のPDPの第2の製造方法)の構成が、上述した実施例1のPDPの第1の製造方法それと大きく異なるところは、隔壁材料として感光性材料を用いるようにした点である。以下、図8及び図9を参照して、PDP12の第2の製造方法を工程順に説明する。なお、図9(a)〜(e)はそれぞれ図8(a)〜(e)のC−C´線に沿った断面を示している。   FIG. 8 is a plan view showing a method of manufacturing a PDP according to Embodiment 3 of the present invention in the order of steps, and FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line CC 'in FIG. The structure of the manufacturing method of the PDP of this example (the second manufacturing method of the PDP of Example 2) is significantly different from the first manufacturing method of the PDP of Example 1 described above. This is the point to use. Hereinafter, the second manufacturing method of the PDP 12 will be described in the order of steps with reference to FIGS. 9A to 9E show cross sections taken along the line CC 'in FIGS. 8A to 8E, respectively.

まず、図8(a)及び図9(a)に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板2を用意して、列方向Vに沿って互いに平行にAl、Ag等から成るデータ電極3を形成した後、ネガ型の感光性を有する第1の隔壁材料15aを、例えばスクリーン印刷法により絶縁基板2の略全面に塗布する。この場合、第1の隔壁材料15aの高さは横隔壁15Aとして最終的に必要な厚さの略1/2に選ぶ。次に、データ電極3をマスクとして絶縁基板2の裏面から露光する。   First, as shown in FIGS. 8A and 9A, an insulating substrate 2 made of a transparent material such as glass is prepared, and data electrodes made of Al, Ag, etc. are parallel to each other along the column direction V. 3 is formed, the first barrier rib material 15a having negative photosensitivity is applied to substantially the entire surface of the insulating substrate 2 by, for example, a screen printing method. In this case, the height of the first partition wall material 15a is selected to be approximately ½ of the finally required thickness for the horizontal partition wall 15A. Next, exposure is performed from the back surface of the insulating substrate 2 using the data electrode 3 as a mask.

次に、図8(b)及び図9(b)に示すように、現像を行うことにより、横隔壁15aをデータ電極3の直上部分のみを除去するようにパターニングする。データ電極3をAl、Ag等の遮光材料から構成することで、露光されないデータ電極3の直上部分のみの第1の隔壁材料15aが除去される。   Next, as shown in FIGS. 8B and 9B, the lateral barrier ribs 15a are patterned so as to remove only the portions directly above the data electrodes 3 by performing development. By configuring the data electrode 3 from a light-shielding material such as Al or Ag, the first partition material 15a only in the portion immediately above the data electrode 3 that is not exposed is removed.

次に、図8(c)及び図9(c)に示すように、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第2の隔壁材料15bを、例えばテーブルコータにより第1の隔壁材料15aを覆うように絶縁基板2の略全面に塗布する。次に、レベリングにより、第2の隔壁材料15bの非形成部の高さが第1の隔壁材料15aの形成部のそれと同じになるように調整する。ここで、第1の隔壁材料15a及び第2の隔壁材料15bは、後述するような組成のものを用いるようにする。次に、フォトリソグラフィ法により第2の隔壁材料15b上に、形成すべき井桁状の隔壁15と同一形状のレジストパターン7を形成する。   Next, as shown in FIGS. 8 (c) and 9 (c), the second partition material 15b made of an insulating paste containing lead-containing frit glass or the like is replaced with the first partition material 15a using, for example, a table coater. It coat | covers on the substantially whole surface of the insulated substrate 2 so that it may cover. Next, the height of the non-formation part of the 2nd partition material 15b is adjusted by leveling so that it may become the same as that of the formation part of the 1st partition material 15a. Here, the first partition wall material 15a and the second partition wall material 15b are made of compositions as described later. Next, a resist pattern 7 having the same shape as the cross-shaped partition 15 to be formed is formed on the second partition material 15b by photolithography.

次に、図8(d)及び図9(d)に示すように、レジストパターン7をマスクとして例えばサンドブラスト法により第1及び第2の隔壁材料15a、15bのパターニングを行って、不要な第1及び第2の隔壁材料15a、15bを同時に除去する。   Next, as shown in FIGS. 8D and 9D, the first and second partition wall materials 15a and 15b are patterned by, for example, sand blasting using the resist pattern 7 as a mask, and unnecessary first And the second partition wall materials 15a and 15b are simultaneously removed.

次に、図8(e)及び図9(e)に示すように、レジストパターン7を除去した後、焼成を行って、第1の隔壁材料15aにより横隔壁15Aを形成すると同時に第2の隔壁材料15bにより縦隔壁15Bを形成して、井桁状の隔壁15を形成して、背面基板2を完成させる。   Next, as shown in FIGS. 8E and 9E, the resist pattern 7 is removed and then baked to form the horizontal barrier ribs 15A from the first barrier rib material 15a and at the same time the second barrier ribs. The vertical barrier ribs 15B are formed from the material 15b, the cross-shaped barrier ribs 15 are formed, and the back substrate 2 is completed.

以下、実施例2のPDP12の第1の製造方法と同様な工程を経ることにより、PDP12を完成させ、さらにその後、PDP12に駆動回路、信号処理回路等の周辺回路基板を取り付けることにより、プラズマ表示装置を完成させる。   Thereafter, the PDP 12 is completed through the same steps as the first manufacturing method of the PDP 12 of the second embodiment, and then a peripheral circuit substrate such as a drive circuit and a signal processing circuit is attached to the PDP 12 to thereby display a plasma display. Complete the device.

上述したようなPDP12の第2の製造方法において、用いる第1の隔壁材料15aと第2の隔壁材料15bとの焼成による収縮量を異ならせている。具体的には、第1の隔壁材料15aを第2の隔壁材料15bよりも収縮量が小さくなるようにその組成を調整して用いている。この結果、焼成による収縮量に差が生じて、第1の隔壁材料15aの収縮量が第2の隔壁材料15bのそれよりも小さくなるので、第1の隔壁材料15aにより形成される横隔壁15Aの収縮量が第2の隔壁材料15bにより形成される縦隔壁15Bのそれよりも小さくなる。したがって、図4に示すように、実施例2のPDP12のように横隔壁13A(この例では15Aとなる)の一部の高さを低く形成することができる。   In the second manufacturing method of the PDP 12 as described above, the shrinkage amount due to firing of the first partition wall material 15a and the second partition wall material 15b to be used is different. Specifically, the composition of the first partition material 15a is adjusted so that the shrinkage amount is smaller than that of the second partition material 15b. As a result, a difference occurs in the shrinkage amount due to firing, and the shrinkage amount of the first partition wall material 15a is smaller than that of the second partition wall material 15b, so that the horizontal partition wall 15A formed by the first partition wall material 15a. Is smaller than that of the vertical barrier rib 15B formed by the second barrier rib material 15b. Therefore, as shown in FIG. 4, the height of a part of the horizontal partition wall 13A (which is 15A in this example) can be formed low like the PDP 12 of the second embodiment.

また、上述のPDP12の第2の製造方法によれば、データ電極3をマスクとして絶縁基板2の裏面から露光した後、現像を行うことにより、横隔壁15aにより横隔壁15Aを形成するので、専用の露光マスクが不要となり、またデータ電極3との位置合わせも不要となるため、簡単な工程で高精度に横隔壁15Aを形成することができる。   Further, according to the above-described second manufacturing method of the PDP 12, the horizontal barrier ribs 15A are formed by the horizontal barrier ribs 15a by performing development after exposure from the back surface of the insulating substrate 2 using the data electrodes 3 as a mask. Since the exposure mask is not required and alignment with the data electrode 3 is not required, the horizontal barrier rib 15A can be formed with high accuracy by a simple process.

このようにこの例によっても、実施例2のPDPの第1の製造方法において述べたのと略同様な効果を得ることができる。   Thus, also in this example, substantially the same effect as described in the first manufacturing method of the PDP in Example 2 can be obtained.

図10は、この発明の実施例4であるPDPの製造方法により製造されたPDPの概略構成を示す斜視図、図11は同PDPの製造方法を工程順に示すブロック図である。この例のPDPは、実施例1〜実施例3におけるPDPの製造方法に準じて製造される点に特徴を有している。
この例のPDP70は、図10に示すように、前面基板71と、背面基板72とが対向するように配置されて、両基板71、72間に放電ガス空間73が形成される基本的な構成を有している。
FIG. 10 is a perspective view showing a schematic configuration of a PDP manufactured by a PDP manufacturing method according to Embodiment 4 of the present invention, and FIG. 11 is a block diagram showing the PDP manufacturing method in the order of steps. The PDP in this example is characterized in that it is manufactured according to the method for manufacturing a PDP in Examples 1 to 3.
As shown in FIG. 10, the PDP 70 in this example is arranged so that a front substrate 71 and a rear substrate 72 face each other, and a basic configuration in which a discharge gas space 73 is formed between the substrates 71 and 72. have.

ここで、前面基板71は、図10に示すように、ガラス等の透明材料から成る第1の絶縁基板74と、第1の絶縁基板74の内面に行方向Hに沿って互いに平行に配置されて行電極を構成する走査電極75及び維持電極(共通電極)76と、両電極75、76を被覆するPbO等から成る第1の誘電体層77と、第1の誘電体層77を放電から保護するMgO等から成る保護層78とを備えている。ここで、走査電極75及び維持電極76は、それぞれITO、SnO2等から成る透明電極75A、76Aと、低抵抗化を図るために透明電極75A、76上の一部に形成されたAl、Ag等から成るバス電極(トレース電極)75B、76Bとから構成されている。 Here, as shown in FIG. 10, the front substrate 71 is arranged in parallel with each other along the row direction H on the first insulating substrate 74 made of a transparent material such as glass and the inner surface of the first insulating substrate 74. The scan electrode 75 and the sustain electrode (common electrode) 76 constituting the row electrode, the first dielectric layer 77 made of PbO or the like covering the electrodes 75 and 76, and the first dielectric layer 77 from the discharge. And a protective layer 78 made of MgO or the like for protection. Here, the scan electrode 75 and the sustain electrode 76 are transparent electrodes 75A and 76A made of ITO, SnO 2 or the like, respectively, and Al and Ag formed on a part of the transparent electrodes 75A and 76 in order to reduce resistance. Etc., and bus electrodes (trace electrodes) 75B and 76B.

一方、背面基板72は、図10に示すように、ガラス等の透明材料から成る第2の絶縁基板81と、第2の絶縁基板81の内面に行方向Hと直交する列方向Vに沿って互いに平行に配置されて列電極を構成するAl、Ag等から成るデータ電極(アドレス電極)83と、データ電極83を被覆する鉛含有フリットガラス等から成る第2の誘電体層84と、He、Ne、Xe等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて上記放電ガス空間73を確保するとともに、表示セルを区画するために形成された鉛含有フリットガラス等から成る井桁状の隔壁85と、隔壁85の内壁面及び底面を被覆するように形成されて放電用ガスの放電により発生する紫外線を赤色光に変換する赤色蛍光体層、緑色光に変換する緑色蛍光体層及び青色に変換する青色蛍光体層が塗り分けられた蛍光体層86とを備えている。   On the other hand, as shown in FIG. 10, the back substrate 72 includes a second insulating substrate 81 made of a transparent material such as glass, and a column direction V perpendicular to the row direction H on the inner surface of the second insulating substrate 81. A data electrode (address electrode) 83 made of Al, Ag or the like that is arranged in parallel with each other to form a column electrode, a second dielectric layer 84 made of lead-containing frit glass or the like covering the data electrode 83, He, A discharge gas such as Ne or Xe is filled alone or mixed to secure the discharge gas space 73, and in addition, a grid-shaped partition wall 85 made of lead-containing frit glass or the like formed to partition the display cell. And a red phosphor layer that converts the ultraviolet light generated by the discharge of the discharge gas into red light, a green phosphor layer that converts green light, and blue. Blue phosphor layer and a phosphor layer 86 which is painted that.

この例のPDP70は、図11に示したような製造方法によって製造される。以下、同図を参照して工程順に説明する。
まず、工程aにおいて第1の絶縁基板74としての前面ガラス基板を用意し、次に工程bにおいて基板74の内面にスパッタ法等によりITO等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして各透明電極75A、76Aを形成し、次に工程cにおいて各透明電極75A、76A上にスパッタ法等によりAl等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして、各バス電極75B、76Bを形成して走査電極75及び維持電極76を完成させる。次に工程dにおいて走査電極75及び維持電極76を覆うようにスクリーン印刷法等によりPbO等の第1の誘電体層77を形成し、次に工程eにおいてブラックマスク(図10には図示していない)を形成し、次に工程fにおいてMgO等から成る保護膜78を形成して前面基板71を完成させる。
The PDP 70 in this example is manufactured by a manufacturing method as shown in FIG. The process will be described below in the order of steps with reference to FIG.
First, in step a, a front glass substrate is prepared as the first insulating substrate 74. Next, in step b, ITO or the like is formed on the inner surface of the substrate 74 by sputtering or the like, and then patterned into a desired shape by photolithography. Then, the transparent electrodes 75A and 76A are formed. Then, in step c, Al or the like is formed on the transparent electrodes 75A and 76A by sputtering or the like, and then patterned into a desired shape by photolithography. The electrodes 75B and 76B are formed to complete the scan electrode 75 and the sustain electrode 76. Next, a first dielectric layer 77 such as PbO is formed by a screen printing method or the like so as to cover the scan electrode 75 and the sustain electrode 76 in step d, and then in step e, a black mask (not shown in FIG. 10). Next, in step f, a protective film 78 made of MgO or the like is formed to complete the front substrate 71.

一方、工程gにおいて第2の絶縁基板81としての背面ガラス基板を用意し、次に工程hにおいて基板81の内面にスパッタ法等によりAl等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングしてデータ電極83を形成する。次に工程iにおいてデータ電極84上に、実施例1〜実施例3におけるPDPの製造方法に準じて井桁状の隔壁85を形成し、次に工程jにおいて隔壁85を覆うように蛍光体層86を形成し、次に工程kにおいてスクリーン印刷法等によりシールフリット(図10には図示していない)を形成して背面基板72を完成させる。   On the other hand, in step g, a rear glass substrate is prepared as the second insulating substrate 81. Next, in step h, Al or the like is formed on the inner surface of the substrate 81 by sputtering or the like, and then patterned into a desired shape by photolithography. Thus, the data electrode 83 is formed. Next, in step i, a cross-shaped barrier rib 85 is formed on the data electrode 84 in accordance with the method for manufacturing the PDP in the first to third embodiments. Next, in step j, the phosphor layer 86 is covered so as to cover the barrier rib 85. Next, in step k, a seal frit (not shown in FIG. 10) is formed by a screen printing method or the like to complete the back substrate 72.

次に工程lにおいて、前面基板71及び背面基板72を用いて、100μm程度のギャップを隔てて対向した状態で固定して組み立てる。次に工程mにおいて、両基板71、72の周辺部をシールフリット(封着材)により機密封止する。次に工程nにおいて、両基板71、72によるパネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを充填することにより、放電ガス空間73内に放電ガスの封入を行う。背面基板72を構成している例えば第2の絶縁基板81には適当な個所に通気口が形成されており、この絶縁基板81の外側表面には、図10では省略しているが、通気口に位置合わせした状態で、通気管が密封状態の下で取り付けられている。背面基板71に取り付けられている端部とは反対側の通気管の端部は、当初の状態においては開口されており、この端部を介して通気管が排気・ガス充填装置に接続される。   Next, in step l, the front substrate 71 and the rear substrate 72 are used to be fixed and assembled in a state of facing each other with a gap of about 100 μm. Next, in step m, the periphery of both substrates 71 and 72 is sealed with a seal frit (sealing material). Next, in step n, the gas in the panel is once exhausted from the vent formed at the end of the panel by both substrates 71 and 72, and then the discharge gas is filled from the vent, so that the discharge gas space 73 is filled. Fill the discharge gas. For example, the second insulating substrate 81 constituting the back substrate 72 is formed with vent holes at appropriate locations, and the outer surface of the insulating substrate 81 is omitted in FIG. The vent tube is attached under sealed condition in alignment with the. The end of the vent pipe opposite to the end attached to the back substrate 71 is open in the initial state, and the vent pipe is connected to the exhaust / gas filling device through this end. .

まず、排気・ガス充填装置によって、放電ガス空間73が真空に排気された後、放電ガス空間73に放電ガスが充填される。放電ガスの充填が終了した後、通気管は過熱によりチップオンされ、開口端部が閉塞される。このようにして、放電ガス空間には放電ガスが充填され、PDP70が完成する。   First, after the discharge gas space 73 is evacuated to vacuum by the exhaust / gas filling device, the discharge gas space 73 is filled with the discharge gas. After the discharge gas filling is completed, the vent tube is chipped on due to overheating, and the open end is closed. In this way, the discharge gas space is filled with the discharge gas, and the PDP 70 is completed.

このように、この例のPDP70によれば、実施例1〜実施例3におけるPDPの製造方法に準じて製造されるので、PDP70を安定に動作させることができる。   Thus, according to the PDP 70 of this example, the PDP 70 can be stably operated because the PDP 70 is manufactured according to the manufacturing method of the PDP in the first to third embodiments.

図12は、この発明の実施例5であるプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。この例のプラズマ表示装置は、実施例1〜4によるPDPを用いて構成した点に特徴を有している。
この例のプラズマ表示装置60は、図12に示すように、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインタフェース(以下、IF)20とカラーPDPモジュール30とにより構成されている。
FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of the plasma display apparatus which is Embodiment 5 of the present invention. The plasma display device of this example is characterized in that it is configured using the PDP according to the first to fourth embodiments.
The plasma display device 60 of this example is designed to have a module structure as shown in FIG. 12, and specifically includes an analog interface (hereinafter referred to as IF) 20 and a color PDP module 30. Yes.

アナログIF20は、図12に示すように、クロマ・デコータを備えるY/C分離回路21と、A/D変換回路22と、PLL回路を備える同期信号制御回路23と、画像フォーマット変換回路24と、逆γ(ガンマ)変換回路25と、システム・コントロール回路26と、PLE制御回路27とから構成されている。   As shown in FIG. 12, the analog IF 20 includes a Y / C separation circuit 21 including a chroma decoder, an A / D conversion circuit 22, a synchronization signal control circuit 23 including a PLL circuit, an image format conversion circuit 24, The circuit includes an inverse γ (gamma) conversion circuit 25, a system control circuit 26, and a PLE control circuit 27.

概略的には、アナログIF20は、受信したアナログ映像信号をデジタル映像信号に変換した後、そのデジタル映像信号をカラーPDPモジュール30に供給する。例えばテレビチューナーから発信されたアナログ映像信号はY/C分離回路21においてRGBの各色の輝度信号に分解された後、A/D変換回路22においてデジタル信号に変換される。その後、カラーPDPモジュール30の画素構成と映像信号の画素構成が異なる場合には、画像フォーマット変換回路24において必要な画像フォーマットの変換が行われる。PDPの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はCRTの特性に合わせて、予め補正(γ変換)されている。このため、A/D変換回路22において映像信号のA/D変換を行った後、逆γ変換回路25において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたデジタル映像信号を生成する。このデジタル映像信号はRGB映像信号としてカラーPDPモジュール30に出力される。   Schematically, the analog IF 20 converts the received analog video signal into a digital video signal, and then supplies the digital video signal to the color PDP module 30. For example, an analog video signal transmitted from a TV tuner is decomposed into RGB luminance signals in a Y / C separation circuit 21 and then converted into a digital signal in an A / D conversion circuit 22. Thereafter, when the pixel configuration of the color PDP module 30 is different from the pixel configuration of the video signal, the image format conversion circuit 24 performs necessary image format conversion. The display luminance characteristic with respect to the input signal of the PDP is linearly proportional, but a normal video signal is corrected (γ conversion) in advance in accordance with the characteristic of the CRT. For this reason, after the A / D conversion of the video signal is performed in the A / D conversion circuit 22, the inverse γ conversion circuit 25 performs the inverse γ conversion on the video signal, and the digital video signal restored to the linear characteristic is converted into the digital video signal. Generate. This digital video signal is output to the color PDP module 30 as an RGB video signal.

アナログ映像信号には、A/D変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路23に内蔵されているPLL回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、カラーPDPモジュール30に出力する。アナログIF20のPLE制御回路27は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を越える場合には表示輝度を低下させる。   Since the analog video signal does not include the sampling clock and data clock signal for A / D conversion, the PLL circuit built in the synchronization signal control circuit 23 is supplied with the horizontal synchronization signal simultaneously with the analog video signal. Is used as a reference to generate a sampling clock and a data clock signal and output them to the color PDP module 30. The PLE control circuit 27 of the analog IF 20 performs brightness control. Specifically, the display luminance is increased when the average luminance level is equal to or lower than a predetermined value, and the display luminance is decreased when the average luminance level exceeds a predetermined value.

システム・コントロール回路26は、各種制御信号をカラーPDPモジュール30に対して出力する。カラーPDPモジュール30は、さらに、デジタル信号処理・制御回路31と、パネル部32と、DC/DCコンバータを内蔵するモジュール内電源回路33と、から構成されている。デジタル信号処理・制御回路31は、入力IF信号処理回路34と、フレームメモリ35と、メモリ制御回路36と、ドライバ制御回路37とから構成されている。   The system control circuit 26 outputs various control signals to the color PDP module 30. The color PDP module 30 further includes a digital signal processing / control circuit 31, a panel unit 32, and an in-module power supply circuit 33 incorporating a DC / DC converter. The digital signal processing / control circuit 31 includes an input IF signal processing circuit 34, a frame memory 35, a memory control circuit 36, and a driver control circuit 37.

例えば、入力IF信号処理回路34に入力された映像信号の平均輝度レベルは入力IF信号処理回路34内の入力信号平均輝度レベル演算回路(図示せず)により計算され、例えば、5ビットデータとして出力される。また、PLE制御回路27は、平均輝度レベルに応じてPLE制御データを設定し、入力IF信号処理回路34内の輝度レベル制御回路(図示せず)に入力する。   For example, the average luminance level of the video signal input to the input IF signal processing circuit 34 is calculated by an input signal average luminance level calculation circuit (not shown) in the input IF signal processing circuit 34 and output as, for example, 5-bit data. Is done. Further, the PLE control circuit 27 sets PLE control data according to the average luminance level and inputs it to a luminance level control circuit (not shown) in the input IF signal processing circuit 34.

デジタル信号処理・制御回路31は、入力IF信号処理回路34において、これらの各種信号を処理した後、制御回路をパネル部32に送信する。同時に、メモリ制御回路36及びドライバ制御回路37はメモリ制御回路及びドライバ制御信号をパネル部32に送信する。   The digital signal processing / control circuit 31 transmits these control signals to the panel unit 32 after processing these various signals in the input IF signal processing circuit 34. At the same time, the memory control circuit 36 and the driver control circuit 37 transmit the memory control circuit and driver control signal to the panel unit 32.

パネル部32は、例えば実施例4によるPDP70と、走査電極を駆動する走査ドライバ38と、データ電極を駆動するデータドライバ39と、PDP70及び走査ドライバ38にパルス電圧を供給する高圧パルス回路40と、高圧パルス回路40からの余剰電力を回収する電力回収回路41とから構成されている。   The panel unit 32 includes, for example, a PDP 70 according to the fourth embodiment, a scan driver 38 that drives the scan electrodes, a data driver 39 that drives the data electrodes, a high-voltage pulse circuit 40 that supplies a pulse voltage to the PDP 70 and the scan driver 38, The power recovery circuit 41 recovers surplus power from the high voltage pulse circuit 40.

PDP70は、例えば1365個×768個に配列された画素を有するものとして構成されている。PDP70においては、走査ドライバ38が走査電極を制御し、データドライバ39がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
なお、ロジック用電源がデジタル信号処理・制御回路31及びパネル部32にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路33は、表示用電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部32に供給している。
The PDP 70 is configured to have pixels arranged, for example, 1365 × 768. In the PDP 70, the scanning driver 38 controls the scanning electrodes, and the data driver 39 controls the data electrodes, so that lighting or non-lighting of predetermined pixels among these pixels is controlled and desired display is performed. .
The logic power supply supplies logic power to the digital signal processing / control circuit 31 and the panel unit 32. Further, the in-module power supply circuit 33 is supplied with DC power from the display power supply, converts the voltage of the DC power into a predetermined voltage, and then supplies the voltage to the panel unit 32.

以下、この例のプラズマ表示装置60の製造方法を概略的に説明する。
まず、例えば実施例4によるPDP70と、走査ドライバ38と、データドライバ39と、高圧パルス回路40と、電力回収回路41とを一基板上に配置し、パネル部32を形成する。さらに、パネル部32とは別個にデジタル信号処理・制御回路31を形成する。
Hereinafter, a method for manufacturing the plasma display device 60 of this example will be schematically described.
First, for example, the PDP 70 according to the fourth embodiment, the scan driver 38, the data driver 39, the high voltage pulse circuit 40, and the power recovery circuit 41 are arranged on one substrate to form the panel unit 32. Further, a digital signal processing / control circuit 31 is formed separately from the panel unit 32.

このようにして形成されたパネル部32及びデジタル信号処理・制御回路31とモジュール内電源回路33とを一つのモジュールとして組み立て、カラーPDPモジュール30を形成する。さらに、カラーPDPモジュール30とは別個にアナログIF20を形成する。
このように、カラーPDPモジュール30をアナログIF20とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図12に示したプラズマ表示装置60が完成する。
The panel unit 32, the digital signal processing / control circuit 31, and the in-module power supply circuit 33 thus formed are assembled as one module to form the color PDP module 30. Further, the analog IF 20 is formed separately from the color PDP module 30.
In this manner, after the color PDP module 30 and the analog IF 20 are formed separately, the two are electrically connected to complete the plasma display device 60 shown in FIG.

このように、プラズマ表示装置60をモジュール化することにより、プラズマ表示装置を構成する他の構成部品とは別個に独立にプラズマ表示装置60を製造することが可能となり、例えば、プラズマ表示装置60が故障した場合には、カラーPDPモジュール30毎交換することにより、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。   As described above, by modularizing the plasma display device 60, it becomes possible to manufacture the plasma display device 60 independently of other components constituting the plasma display device. In the case of failure, the repair can be simplified and shortened by replacing the color PDP module 30 with each other.

このように、この例のプラズマ表示装置によれば、プラズマ表示装置60をモジュール化することにより、故障したような場合に、カラーPDPモジュール30毎交換することができ、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。   As described above, according to the plasma display device of this example, the color PDP module 30 can be replaced in the event of a failure by modularizing the plasma display device 60, simplifying repair and shortening the time. Can be achieved.

以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば実施例では隔壁を背面基板に形成する例で示したが、隔壁は背面基板に限ることなく、前面基板に形成するようにしてもよい。また、各実施例では井桁状の隔壁を形成する例について説明したが、隔壁の高さを部分的に制御して形成することを目的とするのであれば、特定の形状の隔壁には限定されない。また、実施例1のPDPの製造方法では、第1及び第2の隔壁材料の組成におけるバインダの含有量を調整することにより、各隔壁材料の収縮量を変える例で説明したが、これに限らずに、組成におけるフィラーあるいは低融点ガラスの含有量を調整して各隔壁材料の収縮量を変えるようにしてもよい。また、実施例2のPDPの製造方法では、第1及び第2の隔壁材料の組成における低融点ガラスの軟化点を調整することにより、隔壁の一部の高さを変える例で説明したが、これに限らずに、実施例1と同様に第1及び第2の隔壁材料の組成におけるバインダの含有量を調整することによって行ってもよい。また、隔壁の高さ関係は、両基板間に排気経路としての間隙を確保できれるようになっていれば、少なくとも一方の隔壁の上面に溝、凸凹面、傾斜面等が形成されていてもよい。   The embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to this embodiment, and the present invention can be changed even if there is a design change or the like without departing from the gist of the present invention. include. For example, in the embodiment, the example in which the partition wall is formed on the rear substrate is shown, but the partition wall is not limited to the rear substrate, but may be formed on the front substrate. In addition, in each of the embodiments, an example of forming a grid-like partition wall has been described, but it is not limited to a partition wall having a specific shape as long as the purpose is to partially control the height of the partition wall. . Further, in the manufacturing method of the PDP of Example 1, the example has been described in which the shrinkage amount of each partition wall material is changed by adjusting the binder content in the composition of the first and second partition wall materials. Instead, the shrinkage amount of each partition wall material may be changed by adjusting the content of the filler or the low melting point glass in the composition. In the method for manufacturing the PDP in Example 2, the height of a part of the partition walls is changed by adjusting the softening point of the low melting glass in the composition of the first and second partition wall materials. However, the present invention is not limited to this, and it may be performed by adjusting the binder content in the composition of the first and second partition wall materials as in the first embodiment. In addition, the height relationship of the partition walls is such that a groove, an uneven surface, an inclined surface, or the like is formed on the upper surface of at least one partition wall as long as a gap as an exhaust path can be secured between the two substrates. Good.

また、各実施例のPDPの製造方法において説明した隔壁の形成方法は、部分的に隔壁の高さを制御する技術であり、各実施例においては隔壁に凹凸を形成する例を中心として説明したが、この発明はこれに限ることなく、他の要因により発生する隔壁の凹凸を制御するような用途にも用いることができる。例えば、第1の隔壁材料及び第2の隔壁材料を用いて隔壁を形成する場合、第1及び第2の隔壁材料の形成状態を異ならせることにより、横隔壁及び縦隔壁に特定することなく、すなわち横隔壁及び縦隔壁の位置に関係なく形成状態を異ならせた第1の隔壁部及び第2の隔壁部を形成することにより、隔壁の凹凸を制御することができる。また、この発明のPDPあるいはプラズマ表示装置はカラー表示方式に限らず、モノクロ表示方式に対しても適用することができる。   In addition, the partition wall formation method described in the PDP manufacturing method of each embodiment is a technique for partially controlling the height of the partition wall, and in each embodiment, the description has been focused on an example of forming irregularities on the partition wall. However, the present invention is not limited to this, and can also be used for applications such as controlling the unevenness of the partition walls caused by other factors. For example, when forming a partition using the first partition material and the second partition material, by changing the formation state of the first and second partition materials, without specifying the horizontal partition and the vertical partition, That is, by forming the first partition wall portion and the second partition wall portion having different formation states regardless of the position of the horizontal partition wall and the vertical partition wall, the unevenness of the partition wall can be controlled. Further, the PDP or plasma display device of the present invention is not limited to the color display method, and can be applied to a monochrome display method.

この発明の実施例1であるPDPの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of PDP which is Example 1 of this invention. 同PDPの製造方法を工程順に示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of the PDP in order of a process. 図2のA−A´線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the AA 'line of FIG. この発明の実施例2であるPDPの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of PDP which is Example 2 of this invention. 同PDPの製造方法を工程順に示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of the PDP in order of a process. 図5のB−B´線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB 'line of FIG. 同PDPの製造方法により形成される隔壁の形状を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the shape of the partition formed by the manufacturing method of the PDP. この発明の実施例3であるPDPの製造方法を工程順に示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of PDP which is Example 3 of this invention in order of a process. 図8のC−C´線に沿った断面図である。It is sectional drawing along CC line of FIG. この発明の実施例4であるPDPの製造方法により製造されたPDPの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of PDP manufactured by the manufacturing method of PDP which is Example 4 of this invention. 同PDPの製造方法を工程順に示すブロック図である。It is a block diagram which shows the manufacturing method of the same PDP in process order. この発明の実施例5であるプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the plasma display apparatus which is Example 5 of this invention. 第1の従来技術に係るPDPの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of PDP which concerns on a 1st prior art. 同第1の従来技術に係るPDPの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of PDP based on the said 1st prior art. 第2の従来技術に係るPDPの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of PDP which concerns on a 2nd prior art. 第3の従来技術に係るPDPの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of PDP which concerns on a 3rd prior art. 第4の従来技術に係るPDPの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of PDP which concerns on a 4th prior art.

符号の説明Explanation of symbols

1、11 背面基板(第2の基板)
2 絶縁基板
3 データ電極(アドレス電極)
4、14 表示セル
5、13、15 井桁状の隔壁
5a、13a、15a 第1の隔壁材料
5b、13b、15b 第2の隔壁材料
5A、13A、15A 横隔壁
5B、13B、15B 縦隔壁
6 蛍光体層
7、8 レジストパターン
10、12、70 プラズマディスプレイパネル(PDP)
20 アナログインタフェース(IF)
30 カラーPDPモジュール
31 デジタル信号処理・制御回路
32 パネル部
60 プラズマ表示装置
1, 11 Rear substrate (second substrate)
2 Insulating substrate 3 Data electrode (address electrode)
4, 14 Display cells 5, 13, 15 Grid-like partition walls 5a, 13a, 15a First partition material 5b, 13b, 15b Second partition material 5A, 13A, 15A Horizontal partition walls 5B, 13B, 15B Vertical partition walls 6 Fluorescence Body layer 7, 8 Resist pattern 10, 12, 70 Plasma display panel (PDP)
20 Analog interface (IF)
30 Color PDP Module 31 Digital Signal Processing / Control Circuit 32 Panel Unit 60 Plasma Display Device

Claims (18)

第1の基板と第2の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、前記第1及び第2の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルであって、
前記隔壁は、性質の異なる複数の隔壁材料により形成され、該複数の材料は異なるパターンに形成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
A partition for opposingly arranging a first substrate and a second substrate so as to form a discharge space between the two substrates, and partitioning display cells on one of the opposing surfaces of the first and second substrates A plasma display panel comprising:
The plasma display panel, wherein the barrier ribs are formed of a plurality of barrier rib materials having different properties, and the plurality of materials are formed in different patterns.
前記第1の基板の前記対向面には第1の方向に主放電ギャップを介して第1の電極及び第2の電極から成る行電極群が配置される一方、前記第2の基板の前記対向面には前記行電極群と直交する方向に第3の電極から成る列電極群が配置されることを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル。   A row electrode group composed of a first electrode and a second electrode is disposed on the facing surface of the first substrate through a main discharge gap in a first direction, while the facing surface of the second substrate is opposed to the second substrate. 2. The plasma display panel according to claim 1, wherein a column electrode group composed of a third electrode is arranged on the surface in a direction orthogonal to the row electrode group. 前記隔壁は、第1の隔壁材料と、該第1の隔壁材料とは組成の異なる第2の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは前記第1の隔壁材料と前記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、
前記第1の隔壁部と前記第2の隔壁部との高さが異なることを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマディスプレイパネル。
The partition is composed of a plurality of partition materials including a first partition material and a second partition material having a composition different from that of the first partition material, the first partition portion, and the first partition The partition wall portion has a second partition wall portion having a different composition ratio between the first partition wall material and the second partition wall material,
3. The plasma display panel according to claim 1, wherein the first partition wall and the second partition wall have different heights.
前記隔壁は、第1の隔壁材料と、該第1の隔壁材料とは組成の異なる第2の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは前記第1の隔壁材料と前記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、
前記第1の隔壁部と前記第2の隔壁部との高さが略等しいことを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマディスプレイパネル。
The partition is composed of a plurality of partition materials including a first partition material and a second partition material having a composition different from that of the first partition material, the first partition portion, and the first partition The partition wall portion has a second partition wall portion having a different composition ratio between the first partition wall material and the second partition wall material,
3. The plasma display panel according to claim 1, wherein the first partition wall and the second partition wall have substantially the same height.
前記複数の隔壁材料は、焼成による収縮率の異なる隔壁材料を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネル。   The plasma display panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of partition wall materials include partition wall materials having different shrinkage ratios by firing. 前記複数の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なる隔壁材料を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネル。   The plasma display panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of partition wall materials include partition wall materials having different softening points of glass materials contained therein. 第1の基板と第2の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、前記第1及び第2の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記隔壁を形成する工程が、
前記いずれか一方の対向面上に第1の隔壁材料を形成する工程と、
前記いずれか一方の対向面上に第2の隔壁材料を形成する工程と、
前記第1及び第2の隔壁材料を経時的に前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、
前記第1及び第2の隔壁材料を同時に焼成する工程と、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
A partition for opposingly arranging a first substrate and a second substrate so as to form a discharge space between the two substrates, and partitioning display cells on one of the opposing surfaces of the first and second substrates A method of manufacturing a plasma display panel having
The step of forming the partition includes
Forming a first partition wall material on any one of the facing surfaces;
Forming a second partition material on any one of the opposing surfaces;
Patterning the first and second partition wall materials into a shape constituting the partition wall over time;
Simultaneously firing the first and second partition wall materials;
A method for manufacturing a plasma display panel, comprising:
第1の基板と第2の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、前記第1の基板の前記対向面には第1の方向に主放電ギャップを介して第1の電極及び第2の電極から成る行電極群が配置される一方、前記第2の基板の前記対向面には第2の方向に第3の電極から成る列電極群が配置され、前記第1及び第2の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記隔壁を形成する工程が、
前記いずれか一方の対向面上に第1の隔壁材料を形成する工程と、
前記いずれか一方の対向面上に第2の隔壁材料を形成する工程と、
前記第1及び第2の隔壁材料を経時的に前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、
前記第1及び第2の隔壁材料を同時に焼成する工程と、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
A first substrate and a second substrate are arranged to face each other so as to form a discharge space between the two substrates, and the first surface of the first substrate faces the first direction via a main discharge gap in the first direction. A row electrode group composed of the second electrode and the second electrode is disposed, while a column electrode group composed of the third electrode is disposed in the second direction on the facing surface of the second substrate, and the first electrode And a method of manufacturing a plasma display panel having partition walls for partitioning display cells on either one of the opposing surfaces of the second substrate,
The step of forming the partition includes
Forming a first partition wall material on any one of the facing surfaces;
Forming a second partition material on any one of the opposing surfaces;
Patterning the first and second partition wall materials into a shape constituting the partition wall over time;
Simultaneously firing the first and second partition wall materials;
A method for manufacturing a plasma display panel, comprising:
前記第1の隔壁材料の形成パターンと、前記第2の隔壁材料の形成パターンとが異なることを特徴とする請求項7又は8記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。   9. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 7, wherein a formation pattern of the first barrier rib material is different from a formation pattern of the second barrier rib material. 前記隔壁は、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは前記第1の隔壁材料と前記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、
前記第1の隔壁部と前記第2の隔壁部との高さが異なることを特徴とする請求項7、8又は9に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
The partition wall includes a first partition wall portion, and the first partition wall portion has a second partition wall portion having a different composition ratio of the first partition wall material and the second partition wall material,
10. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 7, wherein the first partition wall portion and the second partition wall portion have different heights. 11.
前記隔壁は、第1の隔壁部と、該第1の隔壁部とは前記第1の隔壁材料と前記第2の隔壁材料の構成比が異なる第2の隔壁部を有するものであって、
前記第1の隔壁部と前記第2の隔壁部との高さが略等しいことを特徴とする請求項7、8又は9に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
The partition wall includes a first partition wall portion, and the first partition wall portion has a second partition wall portion having a different composition ratio of the first partition wall material and the second partition wall material,
10. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 7, wherein the first partition wall portion and the second partition wall portion have substantially the same height.
前記第1の隔壁材料と第2の隔壁材料は、焼成による収縮率が異なることを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。   12. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 7, wherein the first partition wall material and the second partition wall material have different shrinkage rates due to firing. 前記第1の隔壁材料と第2の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なることを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。   The method for manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 7 to 11, wherein the first partition wall material and the second partition wall material have different softening points of the glass material contained therein. 前記第1の隔壁材料を形成する工程が、該第1の隔壁材料を部分的に形成する一方、前記第2の隔壁材料を形成する工程が、該第2の隔壁材料を全面に形成することを特徴とする請求項7乃至13のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。   The step of forming the first barrier rib material partially forms the first barrier rib material, while the step of forming the second barrier rib material forms the second barrier rib material on the entire surface. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 7, wherein: 前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、共通のレジストパターンを用いて前記第3の電極と前記第1の隔壁材料とを同時にパターニングすることを特徴とする請求項8乃至14のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。   15. The step of patterning into a shape constituting the partition wall simultaneously patterns the third electrode and the first partition wall material using a common resist pattern. A method for producing a plasma display panel as described in 1. above. 前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、透明基板の表面に遮光材料から成る前記第3の電極を覆うように感光性材料から成る前記第1の隔壁材料を形成した後、前記第3の電極をマスクとして前記透明基板の裏面から露光し、次に現像して前記第1の隔壁材料をパターニングすることを特徴とする請求項8乃至14のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。   The step of patterning into a shape constituting the partition wall includes forming the first partition wall material made of a photosensitive material so as to cover the third electrode made of a light-shielding material on the surface of the transparent substrate. 15. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 8, wherein the first barrier rib material is patterned by exposing from the back surface of the transparent substrate using an electrode as a mask, and then developing the pattern. . 請求項1乃至6のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルを用いて構成したことを特徴とするプラズマ表示装置。   A plasma display device comprising the plasma display panel according to claim 1. 請求項7乃至16のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第1の工程と、
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに前記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第2の工程と、
画像信号のフォマット変換を行い、前記モジュールに送信するインタフェースを前記モジュールに電気的に接続する第3の工程と、
を含むことを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
A first step of manufacturing a plasma display panel by the method of manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 7 to 16,
A second step of manufacturing the plasma display panel as a module together with a circuit for driving the plasma display panel;
A third step of performing an image signal format conversion and electrically connecting an interface for transmission to the module to the module;
A method for manufacturing a plasma display device, comprising:
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