JP4516323B2 - Plasma display device - Google Patents

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Description

この発明は、プラズマ表示装置に係り、詳しくは、PDPを構成する一対の基板の互いに対向する位置にそれぞれアライメントマーカーが形成されるプラズマ表示装置に関する。 The present invention relates to a plasma display device , and more particularly to a plasma display device in which alignment markers are formed at positions facing each other on a pair of substrates constituting a PDP.

一般に、PDPを主要部として構成されているプラズマ表示装置は、従来から広く用いられているCRT(Cathode Ray Tube:陰極線管)、あるいはLCD(Liquid Crystal Device:液晶表示装置)等の表示装置と比較して、ちらつきが少なく表示コントラスト比が大きいこと、薄型で大画面が可能であること、応答速度が速いこと等の多くの利点を有しているので、近年コンピュータのような情報処理機器の表示装置として利用されてる。   In general, a plasma display device mainly composed of a PDP is compared with a display device such as a CRT (Cathode Ray Tube) or LCD (Liquid Crystal Device) that has been widely used. Since it has many advantages such as small flickering, large display contrast ratio, thin and large screen, and high response speed, it has recently become a display for information processing equipment such as computers. It is used as a device.

このプラズマ表示装置は、動作方式により、電極が誘電体層で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるAC型のものと、電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるDC型のものとに略大別されるが、特に前者は比較的簡単な構造で上述したような大画面化が容易に実現できるので広く用いられている。そのようなAC型プラズマ表示装置の主要部を構成するPDPは、ガラス等の透明材料から成る前面基板と背面基板とが対向するように配置されて、両基板間にプラズマを発生させる放電ガス空間が形成される基本的な構成を有している。   This plasma display device has an AC type in which an electrode is covered with a dielectric layer and is operated indirectly in an AC discharge state, and an electrode is exposed to a discharge space and is operated in a DC discharge state depending on an operation method. The former is roughly classified into the DC type, and the former is widely used because it can easily realize a large screen as described above with a relatively simple structure. A PDP constituting the main part of such an AC type plasma display device is a discharge gas space in which a front substrate and a rear substrate made of a transparent material such as glass are opposed to each other to generate plasma between both substrates. The basic structure is formed.

また、AC型プラズマ表示装置の中でも、PDPの放電セル(以下、単にセルとも称する)を形成する上述したような一対の基板の内の一方の基板である前面基板の内面に、水平方向(行方向)に沿って互いに平行に走査電極と維持電極(共通電極)とから成る対の行電極(表示電極)を配置すると共に、他方の基板である背面基板の内面に、上記行電極と交差(直交)するように垂直方向(列方向)に沿ってデータ電極(アドレス電極)から成る列電極を配置した3電極面放電型の構成のものは、前面基板における面放電時に発生する高エネルギのイオンによる影響を抑えることができるので、長寿命化が図れるため最も広く採用されている。   Further, among AC type plasma display devices, a horizontal direction (row) is formed on the inner surface of a front substrate, which is one of a pair of substrates as described above, which form a PDP discharge cell (hereinafter also simply referred to as a cell). A pair of row electrodes (display electrodes) composed of scan electrodes and sustain electrodes (common electrodes) are arranged in parallel with each other along the direction), and intersect the row electrodes on the inner surface of the rear substrate, which is the other substrate ( A three-electrode surface discharge type configuration in which column electrodes made up of data electrodes (address electrodes) are arranged along the vertical direction (column direction) so as to be orthogonal to each other is a high-energy ion generated during surface discharge on the front substrate. This is the most widely used because it can extend the service life.

上述の3電極面放電型のAC型プラズマ表示装置(以下、プラズマ表示装置とも称する)は、背面基板のデータ電極と前面基板の走査電極との間で表示(発光)すべきセルを選択する書き込み放電を行い、続いて前面基板の走査電極と維持電極との間で選択したセルの面放電による維持放電(表示放電)を行うように構成されている。また、そのようなPDPにおいて、例えば背面基板の内面に赤色、緑色及び青色の各蛍光体層を配置するように構成して多色発光を可能にしたカラープラズマ表示装置が提供されている。   The above-mentioned three-electrode surface discharge AC type plasma display device (hereinafter also referred to as plasma display device) selects a cell to be displayed (emitted) between a data electrode on the back substrate and a scan electrode on the front substrate. The discharge is performed, and then the sustain discharge (display discharge) is performed by the surface discharge of the selected cell between the scan electrode and the sustain electrode of the front substrate. In such a PDP, for example, a color plasma display device is provided in which red, green and blue phosphor layers are arranged on the inner surface of a back substrate to enable multicolor emission.

上述のようなPDPを組み立てるには、前面基板と背面基板との対向する位置にそれぞれ予めアライメントマーカーを形成しておいて、アライメントマーカー同士を位置合わせすることにより、両基板を重ね合わせ接着することが行われる。例えば、特許文献1には、上述のようにアライメントマーカーを形成してPDPを製造する方法が開示されている。同PDPの製造方法は、図9に示すように、前面基板101上に表示電極104のうち透明電極102a、103aの形成時に同時に第1のアライメントマーカー131を形成し、一方背面基板108上に隔壁111及び隔壁114の形成時に同時に第2のアライメントマーカー132を形成した後、第1のアライメントマーカー131と第2のアライメントマーカー132を用いて相対的位置合わせを行って、両基板101、108を重ね合わせ接着している。なお、符号102は走査電極、103は維持電極、102b、103bはバス電極(トレース電極)、105は遮光層(ブラックストライプ層)、107は保護層、110はデータ電極である。   In order to assemble the PDP as described above, alignment markers are formed in advance at positions where the front substrate and the rear substrate face each other, and the alignment markers are aligned with each other so that both substrates are overlapped and bonded. Is done. For example, Patent Document 1 discloses a method of manufacturing a PDP by forming an alignment marker as described above. 9, the first alignment marker 131 is formed on the front substrate 101 simultaneously with the formation of the transparent electrodes 102a and 103a on the front substrate 101, and the partition walls are formed on the rear substrate 108. The second alignment marker 132 is formed at the same time as the formation of the 111 and the partition wall 114, and then relative alignment is performed using the first alignment marker 131 and the second alignment marker 132, so that the two substrates 101 and 108 are overlapped. Bonded together. Reference numeral 102 denotes a scanning electrode, 103 denotes a sustain electrode, 102b and 103b denote bus electrodes (trace electrodes), 105 denotes a light shielding layer (black stripe layer), 107 denotes a protective layer, and 110 denotes a data electrode.

あるいは、前面基板101に対しては図10(a)に示すように遮光層105の形成時に同時に円形状の第1のアライメントマーカー131Aを形成し、一方背面基板108に対しては、図10(b)に示すように隔壁111、114の形成時に同時にリング状の第2のアライメントマーカー132Aを形成することも行われる。この場合は、図11に示すように、第1のアライメントマーカー131Aと第2のアライメントマーカー132Aを用いて相対的位置合わせを行って、両基板101、108を重ね合わせ接着する。上述したような第1及び第2のアライメントマーカーの相対的位置合わせは、カメラにより一視野内で画像認識することにより行われる。
特開2003−288842号公報
Alternatively, for the front substrate 101, as shown in FIG. 10A, a circular first alignment marker 131A is formed simultaneously with the formation of the light shielding layer 105, while for the rear substrate 108, FIG. As shown in b), the ring-shaped second alignment marker 132A is also formed simultaneously with the formation of the partition walls 111 and 114. In this case, as shown in FIG. 11, relative alignment is performed using the first alignment marker 131 </ b> A and the second alignment marker 132 </ b> A, and the two substrates 101 and 108 are overlapped and bonded. The relative alignment of the first and second alignment markers as described above is performed by recognizing an image within one field of view by a camera.
JP 2003-288842 A

ところで、従来のプラズマ表示装置では、PDPを組み立てるために前面基板及び背面基板にそれぞれ形成するアライメントマーカーが、ともに各基板に順次に形成する複数の構成層のうち一つの構成層だけで形成されているので、両基板を重ね合わせ接着する際にアライメントの位置合わせ精度が低下する、という問題がある。
すなわち、従来では例えば上述した特許文献1に記載されているように、前面基板101の第1のアライメントマーカー131は透明電極102a、103aから成る一つの構成層で形成されており、一方、前面基板108の第2のアライメントマーカー132は隔壁111及び隔壁114(両隔壁は同時に形成される)から成る一つの構成層で形成されている。
By the way, in the conventional plasma display device, alignment markers formed respectively on the front substrate and the rear substrate for assembling the PDP are formed by only one component layer among a plurality of component layers sequentially formed on each substrate. Therefore, there is a problem that the alignment accuracy of the alignment is lowered when the two substrates are overlapped and bonded.
That is, conventionally, for example, as described in Patent Document 1 described above, the first alignment marker 131 of the front substrate 101 is formed of one constituent layer composed of the transparent electrodes 102a and 103a. The second alignment marker 132 of 108 is formed of one constituent layer including a partition wall 111 and a partition wall 114 (both partition walls are formed simultaneously).

このように各基板101、108のそれぞれのアライメントマーカー131、132が一つの構成層により形成されていると、PDPの組立て時に、前面基板101の表示電極104と背面基板108の隔壁111、114の組立て精度は、透明電極102a、103aに対する表示電極104の形成位置ずれがアライメントずれに加算されるようになるので、両基板101、108を重ね合わせ接着する際にアライメントの位置合わせ精度が低下することになる。   When the alignment markers 131 and 132 of the substrates 101 and 108 are formed of one component layer in this way, the display electrodes 104 of the front substrate 101 and the partitions 111 and 114 of the rear substrate 108 are assembled when the PDP is assembled. As for the assembly accuracy, since the displacement of the formation position of the display electrode 104 with respect to the transparent electrodes 102a and 103a is added to the alignment displacement, the alignment accuracy of alignment is lowered when the substrates 101 and 108 are bonded together. become.

この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止することができるようにしたプラズマ表示装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and prevents the alignment accuracy from degrading when the substrates are overlapped and bonded using alignment markers formed on the front substrate and the back substrate, respectively. It is an object of the present invention to provide a plasma display device that can be used.

上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、一対の前面基板と背面基板とを両基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前記放電空間で放電が発生するように前記前面基板に表示電極を配置する一方、前記背面基板に前記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して成るプラズマ表示装置であって、前記前面基板と前記背面基板の互いに対向する位置にアライメントマーカーを形成し、かつ前記前面基板又は前記背面基板の前記アライメントマーカーは、異なる複数の層のそれぞれに形成された互いに異形のマーカーパターン又は異なる複数の層のそれぞれに互いに異なる向きに形成された同一形状のマーカーパターンの部分的重ね合わせにより完成されていることを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is arranged so that a pair of front substrate and rear substrate face each other so that a discharge space is formed between both substrates, and discharge is generated in the discharge space. A plasma display device in which display electrodes are arranged on the front substrate while data electrodes are arranged on the rear substrate in a direction intersecting the display electrodes, wherein the front substrate and the rear substrate face each other. And the alignment markers on the front substrate or the back substrate are formed in different orientations in different marker patterns formed in different layers or in different layers, respectively. It is characterized by being completed by partial overlapping of marker patterns having the same shape .

この発明のプラズマ表示装置の構成によれば、前面基板と背面基板の互いに対向する位置に形成されるアライメントマーカーの少なくとも一方は異なる複数の層により構成されているので、前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止することができる。 According to the configuration of the plasma display device of the present invention, at least one of the alignment markers formed on the front substrate and the back substrate facing each other is formed of a plurality of different layers. When the two substrates are overlapped and bonded using the formed alignment marker, it is possible to prevent the alignment accuracy from being lowered.

一対の前面基板と背面基板とを両基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、放電空間で放電が発生するように前面基板に表示電極を配置する一方、背面基板に表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して成る構成において、前面基板と背面基板の互いに対向する位置にアライメントマーカーを形成し、かつ前面基板又は背面基板のアライメントマーカーは異なる複数の層により構成されている。   A pair of front substrate and rear substrate are arranged to face each other so that a discharge space is formed between both substrates, and display electrodes are arranged on the front substrate so that discharge is generated in the discharge space, while display electrodes are arranged on the rear substrate. In the configuration in which the data electrodes are arranged in the intersecting direction, the alignment marker is formed at a position where the front substrate and the rear substrate face each other, and the alignment marker on the front substrate or the rear substrate is composed of a plurality of different layers. .

図1は、この発明の実施例1であるプラズマ表示装置の主要部を構成するPDPの概略構成を示す斜視図、図2は同PDPを示す断面図、図3は同PDPの製造方法において、前面基板に形成する第1のアライメントマーカーを示す平面図、図4は同PDPの製造方法において、背面基板に形成するアライメントマーカーを示す平面図、図5は同PDPの製造方法を工程順に示す工程図、図6は同PDPの製造方法において、前面基板及び背面基板に形成する各アライメントマーカーを示す平面図、図7は同PDPの製造方法において前面基板の第1及び第2のアライメントマーカーと背面基板のアライメントマーカーとを重ねた状態を示す平面図である。
この例のプラズマ表示装置の主要部を構成するPDP10は、図1及び図2に示すように、前面基板1と、背面基板2とが対向するように配置されて、両基板1、2間に放電ガス空間3が形成される基本的な構成を有している。
1 is a perspective view showing a schematic configuration of a PDP constituting a main part of a plasma display device according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing the PDP, and FIG. 3 is a manufacturing method of the PDP. FIG. 4 is a plan view showing the first alignment marker formed on the front substrate, FIG. 4 is a plan view showing the alignment marker formed on the rear substrate in the manufacturing method of the PDP, and FIG. 5 is a process showing the manufacturing method of the PDP in order of steps. 6 is a plan view showing alignment markers formed on the front substrate and the back substrate in the manufacturing method of the PDP. FIG. 7 is a plan view showing the first and second alignment markers on the front substrate and the back surface in the manufacturing method of the PDP. It is a top view which shows the state which accumulated the alignment marker of the board | substrate.
As shown in FIGS. 1 and 2, the PDP 10 constituting the main part of the plasma display device of this example is disposed so that the front substrate 1 and the rear substrate 2 face each other. It has a basic configuration in which the discharge gas space 3 is formed.

ここで、前面基板1は、例えばソーダライムガラス等の透明材料から成る第1の絶縁基板4と、第1の絶縁基板4の内面に行方向(水平方向)Hに沿って互い平行に配置され放電ギャップを介して対向するように形成されて一対の行電極(表示電極)を構成する、それぞれITO(Indium Tin Oxide)、酸化錫(SnO2)等から成る透明電極5A、6A及びこれら透明電極5A、6Aの一部にそれぞれ抵抗を小さくするために形成されたAl(アルミニウム)、Ag(銀)あるいはCr(クロム)/Cu(銅)/Cr多層薄膜等の金属材料から成るバス電極(トレース電極)5B、6Bから構成された走査電極5及び維持電極(共通電極)6と、走査電極5と維持電極6とから構成される行電極を被覆する低融点鉛ガラス(PbO)等から成る透明誘電体層7と、透明誘電体層7上に形成された赤色カラーフィルタ層8R、緑色カラーフィルタ層8G及び青色カラーフィルタ層8B(図1ではスペースの都合上図示せず)と、各カラーフィルタ層8R、8G、8Bの間隙に走査電極5及び維持電極6と直交するように形成された黒色顔料を添加した低融点ガラス等から成る遮光層(ブラックストライプ層)9と、各カラーフィルタ層8R、8G、8B及び遮光層9を放電から保護するMgO(酸化マグネシウム)等から成る保護層11とを備えている。 Here, the front substrate 1 is disposed in parallel with each other along the row direction (horizontal direction) H on the first insulating substrate 4 made of a transparent material such as soda lime glass and the inner surface of the first insulating substrate 4. Transparent electrodes 5A and 6A made of ITO (Indium Tin Oxide), tin oxide (SnO 2 ), etc., which are formed so as to face each other via a discharge gap and constitute a pair of row electrodes (display electrodes), and these transparent electrodes A bus electrode (trace) made of a metal material such as Al (aluminum), Ag (silver), or Cr (chromium) / Cu (copper) / Cr multilayer thin film formed in part of 5A and 6A to reduce the resistance. Electrode) 5B, transparent electrode made of low melting point lead glass (PbO) or the like covering the row electrode made up of scan electrode 5 and sustain electrode 6, and scan electrode 5 and sustain electrode (common electrode) 6 made up of 6B. Electrical layer 7, red color filter layer 8R, green color filter layer 8G and blue color filter layer 8B (not shown in FIG. 1 for convenience of space) formed on transparent dielectric layer 7, and each color filter A light-shielding layer (black stripe layer) 9 made of low melting point glass or the like added with a black pigment formed so as to be orthogonal to the scanning electrode 5 and the sustaining electrode 6 in the gaps between the layers 8R, 8G, and 8B, and each color filter layer 8R , 8G and 8B, and the protective layer 11 made of MgO (magnesium oxide) or the like for protecting the light shielding layer 9 from discharge.

一方、背面基板2は、ソーダライムガラス等の透明材料から成る第2の絶縁基板12と、第2の絶縁基板12の内面に行方向Hと直交する列方向(垂直方向)Vに沿って形成されてAl、Ag等から成るデータ電極(アドレス電極)13と、データ電極13を被覆する鉛含有フリットガラス等から成る白色誘電体層14と、He(ヘリウム)、Ne(ネオン)、Xe(キセノン)等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて上記放電ガス空間3を確保するとともに、個々の放電セルを区切るために列方向Vに沿って形成された鉛含有フリットガラス等から成る隔壁15と、隔壁15の底面及び壁面を覆う位置に形成され放電用ガスの放電により発生する紫外線を可視光に変換する赤色蛍光体層16R、緑色蛍光体層16G及び青色蛍光体層16Bに塗り分けられた蛍光体層16とを備えている。上記走査電極5、維持電極6及びデータ電極13により前述の3電極を構成し、カラープラズマ表示装置のPDPでは、各蛍光体層16R、16G、16Bを含む3つの放電セルにより画面の一画素が構成され、このような一画素はモノクロプラズマ表示装置のPDPの三画素に相当している。そして、複数の画素が行方向H及び列方向Vに沿ってマトリックス状に配置されることにより、PDP10が構成される。   On the other hand, the back substrate 2 is formed along the column direction (vertical direction) V perpendicular to the row direction H on the second insulating substrate 12 made of a transparent material such as soda lime glass and the inner surface of the second insulating substrate 12. A data electrode (address electrode) 13 made of Al, Ag or the like, a white dielectric layer 14 made of lead-containing frit glass or the like covering the data electrode 13, and He (helium), Ne (neon), Xe (xenon) The discharge gas is made of lead-containing frit glass or the like formed along the column direction V so as to secure the discharge gas space 3 and to separate the individual discharge cells. A red phosphor layer 16R, a green phosphor layer 16G, and a blue phosphor that are formed at a position covering the partition wall 15 and the bottom and wall surfaces of the partition wall 15 and convert ultraviolet rays generated by the discharge of the discharge gas into visible light. And a phosphor layer 16 which is painted on the body layer 16B. The scan electrode 5, the sustain electrode 6 and the data electrode 13 constitute the above-mentioned three electrodes. In the PDP of the color plasma display device, one pixel of the screen is formed by three discharge cells including the phosphor layers 16R, 16G and 16B. Such one pixel corresponds to three pixels of the PDP of the monochrome plasma display device. A plurality of pixels are arranged in a matrix along the row direction H and the column direction V, whereby the PDP 10 is configured.

ここで、この例のプラズマ表示装置の主要部を構成しているPDP10では、前面基板1の第1の絶縁基板4上の例えば四隅部には、図3に示すように、バス電極5B、6Bの形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成る水平方向Hに向かう直線状の第1のマーカーパターン17Aと、遮光層9の形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成るHと直交する方向Lに向かう直線状の第2のマーカーパターン17Bとが一部で重なるように構成された、十字状のアライメントマーカー17が形成されている。すなわち、前面基板1上には異なる複数の層のそれぞれに互いに異なる向きに形成された同一形状の第1のマーカーパターン17Aと第2のマーカーパターン17Bとの部分的重ね合わせにより構成されたアライメントマーカー17が形成されている。 Here, in the PDP 10 constituting the main part of the plasma display device of this example, the bus electrodes 5B and 6B are provided at, for example, four corners on the first insulating substrate 4 of the front substrate 1 as shown in FIG. A linear first marker pattern 17A formed simultaneously with the formation of the same material and extending in the horizontal direction H, and a direction L perpendicular to H formed of the same material and formed simultaneously with the formation of the light shielding layer 9. A cross-shaped alignment marker 17 is formed so as to partially overlap the second linear marker pattern 17 </ b> B. In other words, the alignment marker is formed by partially overlapping the first marker pattern 17A and the second marker pattern 17B having the same shape formed on the front substrate 1 in different directions in different layers. 17 is formed.

一方、背面基板2の第2の絶縁基板12上の上記アライメントマーカー17の形成位置に対応した四隅部には、図4に示すように、隔壁15の形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成り、かつアライメントマーカー17より大きい面積の十字状のマーカーパターンから成る十字状のアライメントマーカー18がが形成されている。すなわち、背面基板2上には単一の層により構成されたアライメントマーカー18が形成されている。
そして、アライメントマーカー17を有する前面基板1とアライメントマーカー18を有する背面基板2とを、後述するようにして重ね合わせ接着することにより、PDP10を製造する。
On the other hand, as shown in FIG. 4, the four corners corresponding to the formation positions of the alignment markers 17 on the second insulating substrate 12 of the back substrate 2 are formed simultaneously with the formation of the partition walls 15 and are made of the same material. In addition, a cross-shaped alignment marker 18 having a cross-shaped marker pattern having an area larger than that of the alignment marker 17 is formed. That is, an alignment marker 18 composed of a single layer is formed on the back substrate 2.
Then, the front substrate 1 having the alignment markers 17 and the rear substrate 2 having the alignment markers 18 are overlapped and bonded as described later to manufacture the PDP 10.

次に、図5を参照して、同PDP10の製造方法を工程順に説明する。
まず、工程aにおいて第1の絶縁基板4としての前面ガラス基板を用意し、次に工程bにおいて基板4の内面にスパッタ法等によりITO等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして各透明電極5A、6Aを形成し、次に工程cにおいて各透明電極5A、6A上にスパッタ法等によりAl等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして、各バス電極5B、6Bを形成して走査電極5及び維持電極6を完成させる。このバス電極5B、6Bの形成時に同時に基板4上の四隅部(説明では、一隅部のみを示している)に、図6(a)に示すように、バス電極5B、6Bと同一材料から成る水平方向Hに向かう直線状の第1のマーカーパターン17Aを形成する。
Next, with reference to FIG. 5, the manufacturing method of the PDP 10 will be described in the order of steps.
First, in step a, a front glass substrate as a first insulating substrate 4 is prepared. Next, in step b, ITO or the like is formed on the inner surface of the substrate 4 by sputtering or the like and then patterned into a desired shape by photolithography. Then, each transparent electrode 5A, 6A is formed, and in step c, Al or the like is formed on each transparent electrode 5A, 6A by sputtering or the like and then patterned into a desired shape by photolithography. The electrodes 5B and 6B are formed to complete the scan electrode 5 and the sustain electrode 6. At the same time when the bus electrodes 5B and 6B are formed, at the four corners (only one corner is shown in the description) on the substrate 4, as shown in FIG. 6A, the bus electrodes 5B and 6B are made of the same material. A linear first marker pattern 17A extending in the horizontal direction H is formed.

次に工程dにおいて走査電極5及び維持電極6を覆うようにスクリーン印刷法等によりPbO等の透明誘電体層7を形成し、次にカラープラズマ表示装置のPDPの場合は、各カラーフィルタ層8R、8G、8Bを形成する。次に工程eにおいて遮光層(ブラックストライプ層)9を形成する。この遮光層9の形成時に同時に、図6(b)に示すように、遮光層9と同一材料から成るHと直交する方向Lに向かう直線状の第2のマーカーパターン17Bを第1のマーカーパターン17Aと一部で重なるように形成して、十字状のアライメントマーカー17を形成する。次に工程fにおいて蒸着法等によりMgO膜から成る保護層11を形成して前面基板1を完成させる。   Next, in step d, a transparent dielectric layer 7 such as PbO is formed by a screen printing method or the like so as to cover the scanning electrode 5 and the sustain electrode 6, and then in the case of a PDP of a color plasma display device, each color filter layer 8R. , 8G, 8B. Next, in step e, a light shielding layer (black stripe layer) 9 is formed. Simultaneously with the formation of the light shielding layer 9, as shown in FIG. 6B, the linear second marker pattern 17B directed in the direction L perpendicular to H made of the same material as the light shielding layer 9 is used as the first marker pattern. A cross-shaped alignment marker 17 is formed so as to partially overlap 17A. Next, in step f, a protective layer 11 made of an MgO film is formed by vapor deposition or the like to complete the front substrate 1.

一方、工程gにおいて第2の絶縁基板12としての背面ガラス基板を用意し、次に工程hにおいて基板12の内面にスパッタ法等によりAl等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングしてデータ電極13を形成し、次に工程iにおいてデータ電極13を覆うようにスクリーン印刷法等により白色誘電体層14を形成する。次に工程jにおいて白色誘電体層14上にスクリーン印刷法等により隔壁15を形成する。この隔壁15の形成時に同時に基板12上の四隅部に、図6(c)に示すように、隔壁15と同一材料から成り、かつアライメントマーカー17より大きい面積の十字状のマーカーパターンから成る十字状のアライメントマーカー18を形成する。   On the other hand, in step g, a rear glass substrate is prepared as the second insulating substrate 12, and in step h, Al or the like is formed on the inner surface of the substrate 12 by sputtering or the like, and then patterned into a desired shape by photolithography. Then, the data electrode 13 is formed, and then the white dielectric layer 14 is formed by screen printing or the like so as to cover the data electrode 13 in step i. Next, in step j, partition walls 15 are formed on the white dielectric layer 14 by screen printing or the like. At the same time when the partition wall 15 is formed, at the four corners on the substrate 12, as shown in FIG. 6C, a cross shape made of the same material as the partition wall 15 and a cross-shaped marker pattern having an area larger than the alignment marker 17. The alignment marker 18 is formed.

次に工程kにおいて白色誘電体層14及び隔壁15を覆うように蛍光体層16を形成し、次に工程lにおいてスクリーン印刷法等によりシールフリット(図1及び図2には図示していない)を形成して背面基板2を完成させる。   Next, in step k, the phosphor layer 16 is formed so as to cover the white dielectric layer 14 and the barrier ribs 15. Next, in step l, a seal frit is formed by screen printing or the like (not shown in FIGS. 1 and 2). To complete the back substrate 2.

次に工程mにおいて、アライメントマーカー17とアライメントマーカー18とを用いて、図7に示すように、カメラを用いて一視野内で画像認識しながらアライメントマーカー18内にアライメントマーカー17が収まるように位置合わせを行って、前面基板1と背面基板2とを100μm程度のギャップを隔てて対向した状態で重ね合わせ接着する。次に工程nにおいて、両基板1、2の周辺部をシールフリット(封着材)により機密封止する。次に工程oにおいて、両基板1、2間の空間を排気して放電用ガスの封入を行う。背面基板2を構成している第2の絶縁基板12には適当な個所に通気孔が形成されており、この基板12の外側表面には、図1及び図2では省略しているが、通気孔に位置合わせした状態で、通気管が密封状態の下で取り付けられている。背面基板2に取り付けられている端部とは反対側の通気管の端部は、当初の状態においては開口されており、この端部を介して通気管が排気・ガス充填装置に接続される。   Next, in step m, the alignment marker 17 and the alignment marker 18 are used to position the alignment marker 17 within the alignment marker 18 while recognizing an image in one field of view using a camera as shown in FIG. The front substrate 1 and the back substrate 2 are overlapped and bonded together with a gap of about 100 μm facing each other. Next, in step n, the peripheral portions of both substrates 1 and 2 are sealed with a seal frit (sealing material). Next, in step o, the space between the substrates 1 and 2 is evacuated and the discharge gas is sealed. The second insulating substrate 12 constituting the back substrate 2 is formed with air holes at appropriate locations, and the outer surface of the substrate 12 is omitted in FIG. 1 and FIG. A vent tube is attached under sealed condition in alignment with the pores. The end of the vent pipe opposite to the end attached to the back substrate 2 is opened in the initial state, and the vent pipe is connected to the exhaust / gas filling device through this end. .

まず、排気・ガス充填装置によって、放電ガス空間が真空に排気された後、放電ガス空間に放電用ガスが充填される。放電用ガスの充填が終了した後、通気管は過熱によりチップオンされ、開口端部が閉塞される。このようにして、放電ガス空間には放電ガスが充填され、PDP10が完成する。   First, after the discharge gas space is evacuated by the exhaust / gas filling device, the discharge gas space is filled with the discharge gas. After filling the discharge gas, the vent tube is chipped on by overheating, and the open end is closed. In this way, the discharge gas space is filled with the discharge gas, and the PDP 10 is completed.

上述したように前面基板1と背面基板2とを重ね合わせ接着するために、各アライメントマーカー17、18を用いて位置合わせを行うには、次に示すような3つの要素を用いて、PDP10の中央部のずれ量が最小となるようにアライメントを行う。
(1)前面基板1のアライメントマーカー17と背面基板2のアライメントマーカー18の水平方向Hのピッチの差
(2)前面基板1のアライメントマーカー17と背面基板2のアライメントマーカー18のHと直交する方向Lのピッチの差
(3)(1)、(2)と各基板1、2の四隅部の四マーカーの対角線の交点より得られる重心位置
As described above, in order to perform alignment using the alignment markers 17 and 18 in order to overlap and bond the front substrate 1 and the rear substrate 2, the following three elements are used for the PDP 10. Alignment is performed so that the shift amount at the center is minimized.
(1) Difference in pitch in the horizontal direction H between the alignment marker 17 on the front substrate 1 and the alignment marker 18 on the rear substrate 2 (2) A direction orthogonal to H of the alignment marker 17 on the front substrate 1 and the alignment marker 18 on the rear substrate 2 The center of gravity position obtained from the intersection of the L pitch difference (3) (1), (2) and the diagonal lines of the four markers at the four corners of each substrate 1 and 2

このように、この例のプラズマ表示装置の主要部を構成するPDP10によれば、前面基板1上に形成するアライメントマーカー17を、バス電極5B、6Bの形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成る水平方向Hに向かう直線状の第1のマーカーパターン17Aと、遮光層9の形成時に同時に形成されてそれと同一材料から成るHと直交する方向Lに向かう直線状の第2のマーカーパターン17Bとが一部で重なるように構成したので、バス電極5B、6Bと遮光層9との二つの構成層によりアライメントマーカー17を形成できるため、二つの構成層の直交成分を同時にアライメントすることができる。
したがって、前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止することができる。
As described above, according to the PDP 10 constituting the main part of the plasma display device of this example, the alignment marker 17 formed on the front substrate 1 is formed simultaneously with the formation of the bus electrodes 5B and 6B and is made of the same material as that. A linear first marker pattern 17A directed in the horizontal direction H and a linear second marker pattern 17B formed simultaneously with the formation of the light shielding layer 9 and directed in the direction L perpendicular to H made of the same material as the first marker pattern 17A. Since it is configured to partially overlap, the alignment marker 17 can be formed by the two constituent layers of the bus electrodes 5B and 6B and the light shielding layer 9, so that the orthogonal components of the two constituent layers can be aligned simultaneously.
Therefore, it is possible to prevent the alignment accuracy from deteriorating when the substrates are overlapped and bonded using the alignment markers respectively formed on the front substrate and the rear substrate.

図8は、この発明の実施例2であるプラズマ表示装置の製造方法により製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。この例のプラズマ表示装置の製造方法は、実施例1により製造されたPDPを用いて構成した点に特徴を有している。
この例のプラズマ表示装置60は、図8に示すように、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインタフェース(以下、IF)20とPDPモジュール30とにより構成されている。
FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the plasma display device manufactured by the plasma display device manufacturing method according to Embodiment 2 of the present invention. The plasma display device manufacturing method of this example is characterized in that it is configured using the PDP manufactured according to the first embodiment.
As shown in FIG. 8, the plasma display device 60 of this example is designed to have a module structure, and specifically includes an analog interface (hereinafter referred to as IF) 20 and a PDP module 30. .

アナログIF20は、図8に示すように、クロマ・デコータを備えるY/C分離回路21と、A/D変換回路22と、PLL回路を備える同期信号制御回路23と、画像フォーマット変換回路24と、逆γ(ガンマ)変換回路25と、システム・コントロール回路26と、PLE制御回路27とから構成されている。   As shown in FIG. 8, the analog IF 20 includes a Y / C separation circuit 21 including a chroma decoder, an A / D conversion circuit 22, a synchronization signal control circuit 23 including a PLL circuit, an image format conversion circuit 24, The circuit includes an inverse γ (gamma) conversion circuit 25, a system control circuit 26, and a PLE control circuit 27.

概略的には、アナログIF20は、受信したアナログ映像信号をディジタル映像信号に変換した後、そのディジタル映像信号をPDPモジュール30に供給する。例えばテレビチューナーから発信されたアナログ映像信号はY/C分離回路21においてRGBの各色の輝度信号に分解された後、A/D変換回路22においてディジタル信号に変換される。その後、PDPモジュール30の画素構成と映像信号の画素構成が異なる場合には、画像フォーマット変換回路24において必要な画像フォーマットの変換が行われる。PDPの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はCRTの特性に合わせて、予め補正(γ変換)されている。このため、A/D変換回路22において映像信号のA/D変換を行った後、逆γ変換回路25において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このディジタル映像信号はRGB映像信号としてPDPモジュール30に出力される。   Schematically, the analog IF 20 converts the received analog video signal into a digital video signal, and then supplies the digital video signal to the PDP module 30. For example, an analog video signal transmitted from a TV tuner is decomposed into RGB luminance signals in the Y / C separation circuit 21 and then converted into digital signals in the A / D conversion circuit 22. Thereafter, when the pixel configuration of the PDP module 30 is different from the pixel configuration of the video signal, the image format conversion circuit 24 performs necessary image format conversion. The display luminance characteristic with respect to the input signal of the PDP is linearly proportional, but a normal video signal is corrected (γ conversion) in advance in accordance with the characteristic of the CRT. For this reason, after the A / D conversion of the video signal is performed in the A / D conversion circuit 22, the inverse γ conversion circuit 25 performs the inverse γ conversion on the video signal, and the digital video signal restored to the linear characteristic is obtained. Generate. This digital video signal is output to the PDP module 30 as an RGB video signal.

アナログ映像信号には、A/D変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路23に内蔵されているPLL回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、PDPモジュール30に出力する。アナログIF20のPLE制御回路27は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を越える場合には表示輝度を低下させる。   Since the analog video signal does not include the sampling clock and data clock signal for A / D conversion, the PLL circuit built in the synchronization signal control circuit 23 is supplied with the horizontal synchronization signal simultaneously with the analog video signal. Is used as a reference to generate a sampling clock and a data clock signal and output them to the PDP module 30. The PLE control circuit 27 of the analog IF 20 performs brightness control. Specifically, the display luminance is increased when the average luminance level is equal to or lower than a predetermined value, and the display luminance is decreased when the average luminance level exceeds a predetermined value.

システム・コントロール回路26は、各種制御信号をPDPモジュール30に対して出力する。PDPモジュール30は、さらに、ディジタル信号処理・制御回路31と、パネル部32と、DC/DCコンバータを内蔵するモジュール内電源回路33と、から構成されている。ディジタル信号処理・制御回路31は、入力IF信号処理回路34と、フレームメモリ35と、メモリ制御回路36と、ドライバ制御回路37とから構成されている。   The system control circuit 26 outputs various control signals to the PDP module 30. The PDP module 30 further includes a digital signal processing / control circuit 31, a panel unit 32, and an in-module power supply circuit 33 incorporating a DC / DC converter. The digital signal processing / control circuit 31 includes an input IF signal processing circuit 34, a frame memory 35, a memory control circuit 36, and a driver control circuit 37.

例えば、入力IF信号処理回路34に入力された映像信号の平均輝度レベルは入力IF信号処理回路34内の入力信号平均輝度レベル演算回路(図示せず)により計算され、例えば、5ビットデータとして出力される。また、PLE制御回路27は、平均輝度レベルに応じてPLE制御データを設定し、入力IF信号処理回路34内の輝度レベル制御回路(図示せず)に入力する。   For example, the average luminance level of the video signal input to the input IF signal processing circuit 34 is calculated by an input signal average luminance level calculation circuit (not shown) in the input IF signal processing circuit 34 and output as, for example, 5-bit data. Is done. Further, the PLE control circuit 27 sets PLE control data according to the average luminance level and inputs it to a luminance level control circuit (not shown) in the input IF signal processing circuit 34.

ディジタル信号処理・制御回路31は、入力IF信号処理回路34において、これらの各種信号を処理した後、制御回路をパネル部32に送信する。同時に、メモリ制御回路36及びドライバ制御回路37はメモリ制御回路及びドライバ制御信号をパネル部32に送信する。   The digital signal processing / control circuit 31 processes these various signals in the input IF signal processing circuit 34 and then transmits the control circuit to the panel unit 32. At the same time, the memory control circuit 36 and the driver control circuit 37 transmit the memory control circuit and driver control signal to the panel unit 32.

パネル部32は、実施例1により製造されたPDP70と、走査電極を駆動する走査ドライバ38と、データ電極を駆動するデータドライバ39と、PDP70及び走査ドライバ38にパルス電圧を供給する高圧パルス回路40と、高圧パルス回路40からの余剰電力を回収する電力回収回路41とから構成されている。   The panel unit 32 includes a PDP 70 manufactured according to the first embodiment, a scan driver 38 that drives the scan electrodes, a data driver 39 that drives the data electrodes, and a high-voltage pulse circuit 40 that supplies a pulse voltage to the PDP 70 and the scan driver 38. And a power recovery circuit 41 that recovers surplus power from the high-voltage pulse circuit 40.

PDP70は、例えば1365個×768個に配列された画素を有するものとして構成されている。PDP70においては、走査ドライバ38が走査電極を制御し、データドライバ39がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
なお、ロジック用電源がディジタル信号処理・制御回路31及びパネル部32にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路33は、表示用電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部32に供給している。
The PDP 70 is configured to have pixels arranged, for example, 1365 × 768. In the PDP 70, the scanning driver 38 controls the scanning electrodes, and the data driver 39 controls the data electrodes, so that lighting or non-lighting of predetermined pixels among these pixels is controlled and desired display is performed. .
The logic power supply supplies logic power to the digital signal processing / control circuit 31 and the panel unit 32. Further, the in-module power supply circuit 33 is supplied with DC power from the display power supply, converts the voltage of the DC power into a predetermined voltage, and then supplies the voltage to the panel unit 32.

以下、この例のプラズマ表示装置60の製造方法を概略的に説明する。
まず、実施例1により製造したPDP70と、走査ドライバ38と、データドライバ39と、高圧パルス回路40と、電力回収回路41とを一基板上に配置し、パネル部32を形成する。さらに、パネル部32とは別個にディジタル信号処理・ディジタル回路31を形成する。
Hereinafter, a method for manufacturing the plasma display device 60 of this example will be schematically described.
First, the PDP 70 manufactured according to the first embodiment, the scan driver 38, the data driver 39, the high voltage pulse circuit 40, and the power recovery circuit 41 are arranged on one substrate to form the panel unit 32. Further, a digital signal processing / digital circuit 31 is formed separately from the panel section 32.

このようにして形成されたパネル部32及びディジタル信号処理・制御回路31とモジュール内電源回路33とを一つのモジュールとして組み立て、PDPモジュール30を形成する。さらに、PDPモジュール30とは別個にアナログIF20を形成する。
このように、PDPモジュール30をアナログIF20とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図8に示したプラズマ表示装置60が完成する。
The panel unit 32, the digital signal processing / control circuit 31, and the in-module power supply circuit 33 thus formed are assembled as one module to form the PDP module 30. Further, the analog IF 20 is formed separately from the PDP module 30.
In this manner, after the PDP module 30 and the analog IF 20 are separately formed, both are electrically connected to complete the plasma display device 60 shown in FIG.

このように、プラズマ表示装置60をモジュール化することにより、プラズマ表示装置を構成する他の構成部品とは別個に独立にプラズマ表示装置60を製造することが可能となり、例えば、プラズマ表示装置60が故障した場合には、PDPモジュール30毎交換することにより、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。   As described above, by modularizing the plasma display device 60, it becomes possible to manufacture the plasma display device 60 independently of other components constituting the plasma display device. When a failure occurs, the repair can be simplified and shortened by replacing the PDP module 30 with each other.

このように、この例のプラズマ表示装置の製造方法によれば、プラズマ表示装置60をモジュール化することにより、故障したような場合に、PDPモジュール30毎交換することができ、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。   As described above, according to the method for manufacturing the plasma display device of this example, the plasma display device 60 is modularized so that the PDP module 30 can be replaced in the event of a failure. The time can be shortened.

以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、実施例1では前面基板に形成するアライメントマーカーを、水平方向に向かう直線状の第1のマーカーパターンと、水平方向と直交する方向に向かう直線状の第2のマーカーパターンとの複数の層により構成する例で説明したが、背面基板に形成するアライメントマーカーについても同様に複数の層により構成することができる。例えば、背面基板のアライメントマーカーは、データ電極の形成時に同時に形成されてデータ電極と同一材料から成る第1のマーカーパターンと、隔壁の形成時に同時に形成されて隔壁と同一材料から成る第2のマーカーパターンとの複数の層により構成することができる。また、前面基板及び背面基板に形成する各アライメントマーカーの数は、四個の例で説明したが、これに限らず少なくとも各アライメントマーカーは二個以上形成されていればよい。   The embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to this embodiment, and the present invention can be changed even if there is a design change or the like without departing from the gist of the present invention. include. For example, in Example 1, the alignment markers formed on the front substrate are a plurality of layers of a linear first marker pattern extending in the horizontal direction and a linear second marker pattern extending in the direction orthogonal to the horizontal direction. However, the alignment marker formed on the back substrate can also be composed of a plurality of layers. For example, the alignment marker of the back substrate is formed at the same time when the data electrode is formed and is formed of the same material as the data electrode, and the second marker is formed at the same time of the formation of the partition and is formed of the same material as the partition. It can consist of multiple layers with patterns. Moreover, although the number of each alignment marker formed in a front substrate and a back substrate was demonstrated in the example of four, it is not restricted to this, At least each alignment marker should just be formed two or more.

この発明の実施例1であるプラズマ表示装置の主要部を構成するPDPの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of PDP which comprises the principal part of the plasma display apparatus which is Example 1 of this invention. 同PDPを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the PDP. 同PDPの製造方法において、前面基板に形成する第1のアライメントマーカーを示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a first alignment marker formed on the front substrate in the method for manufacturing the PDP. 同PDPの製造方法において、背面基板に形成するアライメントマーカーを示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing alignment markers formed on the back substrate in the same PDP manufacturing method. 同PDPの製造方法を工程順に示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the same PDP in process order. 同PDPの製造方法において、前面基板及び背面基板に形成する各アライメントマーカーを示す平面図である。In the manufacturing method of the PDP, it is a plan view showing each alignment marker formed on the front substrate and the back substrate. 同PDPの製造方法において、前面基板の第1及び第2のアライメントマーカーと背面基板のアライメントマーカーとを重ねた状態を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a state in which the first and second alignment markers on the front substrate and the alignment markers on the rear substrate are overlapped in the PDP manufacturing method. この発明の実施例2であるプラズマ表示装置の製造方法により製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the plasma display apparatus manufactured by the manufacturing method of the plasma display apparatus which is Example 2 of this invention. 従来のプラズマ表示装置の主要部を構成するPDPを示す断面図である。It is sectional drawing which shows PDP which comprises the principal part of the conventional plasma display apparatus. 同PDPの製造方法において、背面基板及び背面基板に形成するアライメントマーカーを示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a back substrate and alignment markers formed on the back substrate in the method for manufacturing the PDP. 同PDPの製造方法において、前面基板のアライメントマーカーと背面基板のアライメントマーカーとを重ねた状態を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a state in which the alignment marker on the front substrate and the alignment marker on the rear substrate are overlapped in the method for manufacturing the PDP.

符号の説明Explanation of symbols

1 前面基板
2 背面基板
3 放電ガス空間
4 第1の絶縁基板
5 走査電極
5A、6A 透明電極
5B、6B バス電極(トレース電極)
6 維持電極(共通電極)
7 透明誘電体層
8R、8G、8B カラーフィルタ層
9 遮光層(ブラックストライプ層)
10、70 PDP(プラズマディスプレイパネル)
11 保護層
12 第2の絶縁基板
13 データ電極(アドレス電極)
14 白色誘電体層
15 隔壁
16、16R、16G、16B 蛍光体層
17 前面基板のアライメントマーカー
17A、17B マーカーパターン
18 背面基板のアライメントマーカー
20 アナログインタフェース(IF)
30 プラズマディスプレイパネル(PDP)モジュール
31 ディジタル信号処理・制御回路
32 パネル部
60 プラズマ表示装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front substrate 2 Back substrate 3 Discharge gas space 4 1st insulating substrate 5 Scan electrode 5A, 6A Transparent electrode 5B, 6B Bus electrode (trace electrode)
6 Sustain electrode (common electrode)
7 Transparent dielectric layer 8R, 8G, 8B Color filter layer 9 Light-shielding layer (black stripe layer)
10, 70 PDP (Plasma Display Panel)
11 Protective layer 12 Second insulating substrate 13 Data electrode (address electrode)
14 White dielectric layer 15 Bulkhead 16, 16R, 16G, 16B Phosphor layer 17 Front substrate alignment marker 17A, 17B Marker pattern 18 Rear substrate alignment marker 20 Analog interface (IF)
30 Plasma Display Panel (PDP) Module 31 Digital Signal Processing / Control Circuit 32 Panel Unit 60 Plasma Display Device

Claims (1)

一対の前面基板と背面基板とを両基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前記放電空間で放電が発生するように前記前面基板に表示電極を配置する一方、前記背面基板に前記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して成るプラズマ表示装置であって、
前記前面基板と前記背面基板の互いに対向する位置にアライメントマーカーを形成し、かつ前記前面基板又は前記背面基板の前記アライメントマーカーは、異なる複数の層のそれぞれに形成された互いに異形のマーカーパターン又は異なる複数の層のそれぞれに互いに異なる向きに形成された同一形状のマーカーパターンの部分的重ね合わせにより完成されていることを特徴とするプラズマ表示装置。
A pair of front substrate and rear substrate are arranged to face each other so that a discharge space is formed between both substrates, and display electrodes are arranged on the front substrate so that discharge occurs in the discharge space, while A plasma display device comprising data electrodes arranged in a direction intersecting with the display electrodes,
An alignment marker is formed at a position where the front substrate and the back substrate face each other, and the alignment marker of the front substrate or the back substrate is a different marker pattern formed on each of different layers or different from each other. A plasma display device, which is completed by partially overlapping marker patterns having the same shape formed in different directions on each of a plurality of layers .
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