JP4417090B2 - パターン形成方法、マスクおよび露光装置 - Google Patents
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Description
2 二酸化シリコン膜
3 反射防止膜
4 レジスト膜
5 露光光照射用マスク
6 露光光
7,17,34 レジストパターン
8 VUV光照射用マスク
9 VUV光
10 光源
11 等倍結像光学系
12 ステージ
13,30 マスクパターン
14,31 活性領域
15,32 基板コンタクト
16,33 ゲートコンタクト
20 反射防止膜パターン
21 二酸化シリコン膜パターン
Claims (7)
- 配線パターンが形成された半導体基材の上に被加工膜を形成する工程と、
前記被加工膜の上に化学増幅型のレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンに真空紫外光を照射する工程と、
前記真空紫外光を照射した後のレジストパターンをマスクとして前記被加工膜をドライエッチングし前記被加工膜のパターンを形成する工程とを有するパターン形成方法であって、
前記真空紫外光を照射する工程は、真空紫外光の照射による前記レジストパターンのシュリンクによって前記レジストパターンと前記配線パターンとの重なりマージンが小さくなる部分に遮光部を有するマスクを介して選択的に真空紫外光を照射する工程を有することを特徴とするパターン形成方法。 - 前記真空紫外光の照度は10mW/cm2以上である請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記真空紫外光の照度は65mW/cm2以上である請求項2に記載のパターン形成方法。
- 前記レジストパターンを形成する工程は、前記被加工膜の上に、アルカリ水溶液に可溶な脂肪族系ベースポリマーの少なくとも一部の官能基に酸不安定基が導入されたアルカリ不溶性ポリマーと、酸発生剤とを含む化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜の所定領域に露光光を照射することによって、露光部で前記酸発生剤から酸を発生させる工程と、
前記レジスト膜に加熱処理を行うことによって、前記露光部における前記アルカリ不溶性ポリマーの前記酸不安定基を前記酸の作用により脱離させてアルカリ可溶性ポリマーにする工程と、
前記レジスト膜に現像処理を行うことによって、前記レジスト膜の未露光部からなるレジストパターンを形成する工程とを有する請求項1〜3のいずれか1に記載のパターン形成方法。 - 前記レジストパターンを形成する工程は、被加工基膜の上に反射防止膜を形成する工程と、
前記反射防止膜の上に、アルカリ水溶液に可溶な脂肪族系ベースポリマーの少なくとも一部の官能基に酸不安定基が導入されたアルカリ不溶性ポリマーと、酸発生剤とを含む化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜の所定領域に露光光を照射することによって、露光部で前記酸発生剤から酸を発生させる工程と、
前記レジスト膜に加熱処理を行うことによって、前記露光部における前記アルカリ不溶性ポリマーの前記酸不安定基を前記酸の作用により脱離させてアルカリ可溶性ポリマーにする工程と、
前記レジスト膜に現像処理を行うことによって、前記レジスト膜の未露光部からなるレジストパターンを形成する工程とを有する請求項1〜3のいずれか1に記載のパターン形成方法。 - 前記脂肪族系ベースポリマーはアクリル酸系ポリマーである請求項4または5に記載のパターン形成方法。
- 被加工基板上に形成された化学増幅型のレジストパターンに選択的に真空紫外光を照射するために用いるマスクであって、
前記レジストパターンの線幅方向および該線幅に対して垂直方向に、該線幅の0.5倍以上1.0倍以下の寸法の露光マージンを有する開口部を備え、
前記真空紫外光の照射による前記レジストパターンのシュリンクによって、前記レジストパターンと前記被加工基板の所定領域との重なりマージンが小さくなる部分に遮光部が設けられていることを特徴とするマスク。
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