JP4417090B2 - パターン形成方法、マスクおよび露光装置 - Google Patents

パターン形成方法、マスクおよび露光装置 Download PDF

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Description

本発明は、パターン形成方法、マスクおよび露光装置に関し、特に、化学増幅型のレジスト膜を用いたパターン形成方法、このパターン形成方法に使用されるマスクおよび露光装置に関する。
近年、半導体装置の集積度の増加に伴い個々の素子の寸法は微小化が進み、各素子を構成する配線やゲートなどの幅も微細化されている。
この微細化を支えているフォトリソグラフィ技術には、被加工基板の表面にレジスト組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程、光を照射して所定のレジストパターンを露光することによりレジストパターン潜像を形成する工程、必要に応じ加熱処理する工程、次いでこれを現像して所望の微細パターンを形成する工程、および、この微細パターンをマスクとして被加工基板に対してエッチングなどの加工を行う工程が含まれる。
パターンの微細化を図る手段の一つとして、上記のレジストパターン潜像を形成する際に使用される露光光の短波長化が進められている。
従来、例えば64Mビットまでの集積度のDRAMの製造には、高圧水銀灯のi線(波長:365nm)が光源として使用されてきた。近年では、256メガビットDRAMの量産プロセスには、KrF(フッ化クリプトン)エキシマレーザ(波長:248nm)を露光光源として用いた技術が実用化されている。また、1ギガビット以上の集積度を持つDRAMの製造には、ArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザ(波長:193nm)の実用化が検討されている。さらに、100nm以下のデザイン・ルールに対応する微細パターンを実現する技術として、より波長の短いF(フッ素)エキシマレーザ(波長:157nm)、さらには極端紫外(Extreme Ultra Violet)光(波長:13nm)を露光光源として用いることも考えられている。
このようなフォトリソグラフィ技術においては、従来より化学増幅型レジストが用いられている。
一般に、ポジ型の化学増幅型レジストは、アルカリ不溶性ポリマーおよび酸発生剤を含有する。従来、ArFエキシマレーザに対応するレジストなどでは、アルカリ不溶性ポリマーとして、脂肪族系ベースポリマーの側鎖に結合したアルカリ可溶性基を保護基によってブロックした構造を有するものが用いられてきた。これは、脂肪族系ベースポリマーが露光光に対して高い透明性を有することによるものである。
このような化学増幅型レジストに対し、縮小投影露光装置を用い、適当なマスクを介して露光光を照射すると、露光部で酸発生剤が分解することによって酸を生じる。次に、加熱処理を行うと、アルカリ可溶性基をブロックしている保護基が酸の触媒作用により加熱分解して脱離する。これにより、化学増幅型レジストは、露光部においてアルカリ可溶性となる。その後、アルカリ現像液を用いた現像処理によって露光部を溶解除去すると、未露光部からなるレジストパターンが形成される。得られたレジストパターンをマスクとして下地膜をドライエッチングすることにより、下地膜にパターンを形成することができる。
ところで、脂肪族系ベースポリマーを有する化学増幅型レジストは、プラズマに対するエッチング耐性が低い。このため、下地膜をドライエッチングする際にレジストパターンがダメージを受け、下地膜を所望の寸法および形状を有するパターンに加工できないという問題があった。そこで、従来より、レジストパターンの全体に真空紫外(Vacuum Ultra Violet,以下、VUVという。)光を照射することによって、レジストのドライエッチング耐性を向上させる方法がとられている。
一方、レジストパターンにVUV光を照射すると、レジストパターンのシュリンク(収縮)が起こる。したがって、この現象を利用することによって、上記のエッチング耐性の向上に加えて、レジストパターンを露光解像度を超えた微細なパターンにすることができる。
しかしながら、この場合には以下のような問題があった。
図16は、ゲート電極部分の平面図である。図16(a)において、30は、目標とするデータの通りに作成したマスクパターンである。また、31は活性領域、32は基板コンタクト、33はゲートコンタクトである。
図16(a)で、マスクパターン30を有するマスクを介してレジストを露光した後、このレジストに対して加熱および現像を行うとレジストパターン34が得られる。図から分かるように、レジストパターンの端部34aは、光学近接効果によってマスクパターンの端部30aより内側に後退している。このため、レジストパターン34とゲートコンタクト33との重なりマージンは小さいものとなる。
次に、レジストパターン34にVUV光を照射すると、レジストパターン34のシュリンクによってレジストパターンの端部34aはさらに内側に後退し、レジストパターン34とゲートコンタクト33との重なりは一層小さいものとなる。そして、場合によっては、図16(b)に示すように、レジストパターン34とゲートコンタクト33とが重なる面積そのものが小さくなることも起こり得る。こうしたことによって、安定的に動作可能な半導体装置を製造することができなくなるという問題があった。
これに対しては、レジストの露光を行う際に、光学近接効果およびVUV光の照射によるレジストパターンのシュリンクを考慮したマスクを使用することによって対処することが考えられる。しかしながら、パターンの微細化に伴い、レジストパターンの後退による上記面積の変動量は、レジストパターンの形状や大きさなどによっても影響を受けるようになっている。このため、これらを総合的に考慮してマスクを作成することは極めて困難であり現実性に乏しい。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものである。即ち、本発明の目的は、VUV光照射によるレジストパターンのシュリンクによって、レジストパターンと被加工基板の所定領域との重なりマージンが小さくなるのを防いで、被加工基板に所望の微細パターンを形成することのできるパターン形成方法を提供することにある。
また、本発明は、上記のパターン形成方法に適用可能なマスクおよび露光装置を提供することにある。
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。
本発明のパターン形成方法は、配線パターンが形成された半導体基材の上に被加工膜を形成する工程と、この被加工膜の上に化学増幅型のレジストパターンを形成する工程と、このレジストパターンに真空紫外光を照射する工程と、真空紫外光を照射した後のレジストパターンをマスクとして被加工膜をドライエッチングし被加工膜のパターンを形成する工程とを有するパターン形成方法であって、真空紫外光を照射する工程は、真空紫外光の照射によるレジストパターンのシュリンクによってレジストパターンと配線パターンとの重なりマージンが小さくなる部分に遮光部を有するマスクを介して選択的に真空紫外光を照射する工程であることを特徴とするものである。
本発明のパターン形成方法において、真空紫外光の照度は10mW/cm以上であることが好ましい。また、真空紫外光の照度は65mW/cm以上であることがさらに好ましい。
本発明のパターン形成方法において、レジストパターンを形成する工程は、被加工膜の上に、アルカリ水溶液に可溶な脂肪族系ベースポリマーの少なくとも一部の官能基に酸不安定基が導入されたアルカリ不溶性ポリマーと、酸発生剤とを含む化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、レジスト膜の所定領域に露光光を照射することによって、露光部で酸発生剤から酸を発生させる工程と、レジスト膜に加熱処理を行うことによって、露光部におけるアルカリ不溶性ポリマーの酸不安定基を酸の作用により脱離させてアルカリ可溶性ポリマーにする工程と、レジスト膜に現像処理を行うことによって、レジスト膜の未露光部からなるレジストパターンを形成する工程とを有することができる。ここで、脂肪族系ベースポリマーはアクリル酸系ポリマーとすることができる。
また、本発明のパターン形成方法において、レジストパターンを形成する工程は、被加工膜の上に反射防止膜を形成する工程と、この反射防止膜の上に、アルカリ水溶液に可溶な脂肪族系ベースポリマーの少なくとも一部の官能基に酸不安定基が導入されたアルカリ不溶性ポリマーと、酸発生剤とを含む化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、このレジスト膜の所定領域に露光光を照射することによって、露光部で酸発生剤から酸を発生させる工程と、レジスト膜に加熱処理を行うことによって、露光部におけるアルカリ不溶性ポリマーの酸不安定基を酸の作用により脱離させてアルカリ可溶性ポリマーにする工程と、レジスト膜に現像処理を行うことによって、レジスト膜の未露光部からなるレジストパターンを形成する工程とを有することができる。ここで、脂肪族系ベースポリマーはアクリル酸系ポリマーとすることができる。
本発明のマスクは、被加工基板上に形成された化学増幅型のレジストパターンに選択的に真空紫外光を照射するために用いるマスクであって、レジストパターンの線幅方向およびこの線幅に対して垂直方向に、この線幅の0.5倍以上1.0倍以下の寸法の露光マージンを有する開口部を備え、真空紫外光の照射によるレジストパターンのシュリンクによって、レジストパターンと被加工基板の所定領域との重なりマージンが小さくなる部分に遮光部が設けられていることを特徴とするものである。
本発明の露光装置は、化学増幅型のレジスト膜の所定領域に真空紫外光を照射する露光装置であって、真空紫外光を10mW/cm以上の照度でレジスト膜に照射可能な光源と、レジスト膜が形成された基板を載置するステージと、このステージに近接して設けられ、真空紫外光をレジスト膜に結像する等倍結像光学系とを有することを特徴とするものである。
本発明のパターン形成方法によれば、レジストパターンに選択的に真空紫外光(以下、VUV光という。)を照射するので、VUV光照射によるレジストパターンのシュリンクによって、レジストパターンと配線パターンとの重なりマージンが小さくなるのを防いで、被加工膜を所望の微細パターンにすることが可能となる。
また、本発明のマスクによれば、レジストパターンの線幅方向にこの線幅の0.5倍以上1.0倍以下の寸法の露光マージンを有する開口部を備えているので、マスクとレジストパターンとの重ね合わせがずれたり、近接露光によって結像されたパターンがボケたりしても、目標とするレジストパターンにVUV光を照射することができる。また、VUV光の照射によるレジストパターンのシュリンクによって、レジストパターンと被加工基板の所定領域との重なりマージンが小さくなる部分に遮光部が設けられているので、この部分にVUV光照射がされることはない。したがって、上記の重なりマージンが小さくなるのを防ぐことができる。
さらに、本発明の露光装置によれば、化学増幅型のレジスト膜の所定領域に真空紫外光を照射することができるので、レジスト膜と下地の基板との重なりマージンが小さくなるのを防ぐことができる。
図1〜図15を用いて、本実施の形態によるパターン形成方法について説明する。
まず、被加工基板として、配線パターンが形成された半導体基材の上に被加工膜が形成された基板を準備する。
半導体基材としては、例えば、素子分離領域およびソースまたはドレインとなる拡散層などが形成された半導体基板の上に、ゲート電極、ゲートコンタクトおよび基板コンタクトなどのゲート配線パターンが形成された基板を半導体基材として用いることができる。また、被加工膜としては、例えば、二酸化シリコン(SiO)膜、窒化シリコン(Si)膜または酸窒化シリコン(SiON)膜などの他、半導体装置の製造工程で用いられてパターニングを必要とする任意の膜を用いることができる。
例えば、図1に示すように、半導体基材1上に被加工膜としての二酸化シリコン膜2を形成したものを被加工基板として用いる。二酸化シリコン膜2は、例えば化学気相成長法(Chemical Vaper Deposition,以下、CVDという。)などによって形成することができる。尚、図1においては、半導体基材1に形成された配線パターンは省略している。
次に、図2に示すように、二酸化シリコン膜2の上に反射防止膜3を形成する。反射防止膜は、次に形成するレジスト膜をパターニングする際に、レジスト膜を透過した露光光を吸収することによって、レジスト膜と反射防止膜との界面における露光光の反射をなくす役割を果たす。反射防止膜3としては有機物を主成分とする膜を用いることができ、例えば、スピンコート法などによって形成することができる。また、反射防止膜3の膜厚は、例えば40nm以上110nm以下とすることができる。尚、本実施の形態においては、反射防止膜3はなくてもよい。
次に、反射防止膜3の上にレジスト膜4を形成する(図3)。レジスト膜4の膜厚は、例えば200nm以上600nm以下とすることができる。
レジスト膜4としては、アルカリ水溶液に可溶な脂肪族系ベースポリマーの少なくとも一部の官能基に酸不安定基(保護基)が導入されたアルカリ不溶性ポリマーと、酸発生剤とを含む化学増幅型のレジスト膜を用いることができる。ここで、脂肪族系ベースポリマーとしては、例えばアクリル酸系ポリマーなどが挙げられる。
例えば、露光光が波長193nmのArFエキシマレーザ光である場合には、ポリ(ノルボルネン−co−無水マレイン酸)若しくはその誘導体またはポリ(メチルアダマンチルメタクリレート)若しくはその誘導体などを用いることができる。さらには、露光光が157nmのFエキシマレーザ光である場合には、ポリ(ノルボルネンヘキサフルオロイソプロパノール)若しくはその誘導体またはポリ(テトラフルオロエチレン−co−ノルボルネン−co−テトラフルオロ−t−ブチルメタクリレート)若しくはその誘導体などを用いることができる。
酸発生剤としては、トリフェニルスルホニウムトリフラートなどの光によって酸を発生する光酸発生剤を用いることができる。
尚、化学増幅型レジストは、アルカリ不溶性ポリマーおよび酸発生剤により構成された2成分系のレジストに限定されるものではない。例えば、アルカリ可溶性ポリマー、酸発生剤および溶解阻害剤により構成された3成分系のレジストであってもよい。
レジスト膜4を形成した後は、縮小投影露光装置を用い、第1のマスクとしてのマスク5を介してレジスト膜4に露光光6を照射する(図4)。マスク5のデータは、光学近接効果補正(Optical Proximity Correction,以下、OPCという。)が行われたものであることが好ましい。
露光光6としては、深紫外(Deep Ultra Violet)から真空紫外の光を用いることができる。例えば、波長193nmのArFエキシマレーザ光、波長157nmのFエキシマレーザ光または波長13nmのEUV光などが挙げられる。
この露光は、レジスト膜4に所定の潜像を形成することを目的として行うものである。この際、図4の露光部41においては、レジスト膜中に含まれる酸発生剤から酸が生じるが、未露光部42では酸発生剤は露光されないので酸が生じることはない。
次に、露光後のレジスト膜4に対して加熱処理を行う(図5)。加熱処理の条件は、例えば、100℃以上150℃以下の温度で60秒以上90秒以下の時間とすることができる。
加熱処理を行うと、露光部41におけるレジスト膜4中のアルカリ不溶性ポリマーがアルカリ可溶性ポリマーになる。すなわち、アルカリ可溶性の官能基をブロックしている酸不安定基が、酸の触媒作用によって加熱分解して脱離する。これにより、図5の露光・加熱部41′にアルカリ可溶性ポリマーの構造が生じる。一方、未露光部42では露光による酸の発生は起きていないので、加熱処理後にアルカリ可溶性ポリマーが生じることはなく、アルカリ不溶性ポリマーの構造のままである。
例えば、アルカリ不溶性ポリマーが式(1)に示す構造を有する場合、露光により生じた酸の作用によって、式(1)のポリマーは、式(2)に示すアルカリ可溶性ポリマーになる。尚、式(1)において、Rはt−ブチル基またはアダマンチル基などの脂環式基などであり、R′は水素原子またはメチル基などである。
Figure 0004417090
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加熱処理を終えた後は、レジスト膜4に対して現像処理を行う。
現像液としては、アルカリ水溶液を用いることができる。アルカリ水溶液としては、例えば、濃度2.38%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの水溶液を用いることができる。尚、現像液として使用可能なアルカリ水溶液であれば、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド以外の他の物質が含まれていてもよい。
現像処理を行うことによって、露光・加熱部41′に生じたアルカリ可溶性ポリマーがアルカリ水溶液に溶解する。これにより、図6に示すように、未露光部42からなるレジストパターン7が形成される。
次に、レジストパターン7が形成された基板に対してVUV光を照射する。本実施の形態においては、化学増幅型のレジスト膜の所定領域にVUV光を照射する露光装置であって、VUV光を10mW/cm以上の照度でレジスト膜に照射可能な光源と、レジスト膜が形成された基板を載置するステージと、このステージに近接して設けられ、VUV光をレジスト膜に結像する等倍結像光学系とを有することを特徴とする露光装置を用いる。
すなわち、図7に示すように、マスク8を用いてレジストパターン7の所定領域のみにVUV光9を照射する。ここで、マスク8は、本発明にかかるレジストパターンの選択的VUV光照射に使用されるマスクであって、図4のマスク5とは異なるものである。
図7において、光源10から放射されたVUV光9は、等倍結像光学系11を透過し、続いてマスク8を透過した後に、レジストパターン7を照射する。VUV光9としては、例えば、波長126nmのArエキシマ光、波長146nmのKrエキシマ光、波長153nmのFエキシマ光、波長165nmのArBrエキシマ光、波長172nmのXeエキシマ光、波長175nmのArClエキシマ光、波長193nmのArFエキシマ光または波長107nmのKrBrエキシマ光などを用いることができる。
本実施の形態においては、VUV光9の照度は10mW/cm以上であることが好ましく、65mW/cm以上であることがより好ましい。また、マスク8は、半導体基材1が載置されるステージ12に近接して設けられることが好ましく、具体的には、ステージ12とマスク8との間隔dが1μm以上10μm以下であることが好ましい。尚、半導体基材1とマスク8の双方に重ね合わせマーク(図示せず)を設けておき、適当な重ね合せ機構を介することによって、マスク8に対して半導体基材1を所定の位置に載置して、レジストパターン7の所定箇所にVUV光9を選択的に照射することができる。
本実施の形態によるVUV光の選択的照射について、具体例を用いて以下に詳細に説明する。
図8は、半導体基板上に形成されたゲート配線パターン部分の平面図である。図において、13はマスクパターンであり、図4におけるマスク5のパターンに対応している。尚、図8では、簡単のために、マスクパターン13のデータについて光学近接効果補正は行わないものとする。また、14は活性領域、15はゲート配線形成後に形成される基板コンタクト、16はゲート配線形成後に形成されるゲートコンタクトである。
図8(a)で、マスクパターン13を有するマスクを介してレジストを露光した後、このレジストに対して加熱および現像を行うとレジストパターン17が得られる。図から分かるように、レジストパターン17の端部17aは、光学近接効果によってマスクパターン13の端部13aより内側に後退している。
次に、レジストパターン17にVUV光を照射する。ここでは、図8(b)に示すように、活性領域14上のレジストパターン部分17bを含む領域18にVUV光を選択的に照射する。具体的には、領域18に開口部を設けたマスク(図7のマスク8に対応)を介してVUV光を照射する。
尚、マスクの位置ずれや近接露光に起因するパターンボケなどが起こることを考慮して、開口部の面積は、レジストパターン17の線幅方向およびこの線幅に対して垂直方向に、線幅Lの0.5倍から1.0倍程度外側の領域まで照射可能なものとすることが好ましい。
VUV光の照射によって、領域18のレジストパターン17にはシュリンクが起こる。このため、VUV光照射前のレジストパターン17の線幅Lに対して、VUV光照射後ではレジストパターン17の線幅はLに縮小する。すなわち、線幅Lが露光解像度の限界であるとすると、これを超えてさらに微細な線幅Lを有するレジストパターンとすることができる。また、活性領域14上のレジストパターン17bの線幅が小さくなることによって、基板コンタクト15とレジストパターン17との間隔が大きくなるので、これらの間の重ね合わせ裕度を向上させることができる。
図9は、本実施の形態におけるゲート線幅(L)とトランジスタ動作時の遅延時間(tpd)との関係を示した一例である。図より、ゲート線幅が小さくなると、遅延時間は一次関数的に減少することが分かる。ここで、ゲート線幅の微細化は、微細なレジストパターンの形成によって実現することができる。上記のVUV光照射によれば微細なレジストパターンとすることができるので、このレジストパターンをマスクとしてゲート電極を形成することにより、高速動作可能なトランジスタを製造することができる。
図10は、VUV光の照射時間に対するレジストパターンのCD(Critical Dimension、微小線幅)縮小量の変化を示した一例である。尚、レジストパターンの線幅設計値は130nmとしている。図より、VUV光の照射時間とともに次第にシュリンク量は大きくなっていくことが分かる。例えば、照度が65mW/cm以上のVUV光を1分間程度照射した場合(すなわち、3.9J/cm以上のドーズ量)のレジストパターンのCD縮小量は10nm程度である。ドーズ量が大きくなるほど縮小量も大きくなっていくので、所望とする線幅に応じて、VUV光の照射条件を適宜設定することが好ましい。但し、後述するエッチング耐性、SEM照射耐性およびLERもVUV光の照射条件によって変化することから、これらを総合的に考慮して最適なVUV光の照射条件を決定することが好ましい。
一方、図8(b)において、VUV光の照射が行われなかったレジストパターン部分17cでは、シュリンクによる線幅の縮小は起こらないので、この部分でのレジストパターン17の線幅はLのままである。図の例では、ゲートコンタクト16上のレジストパターン部分にはVUV光が照射されないので、シュリンクによってレジストパターン17とゲートコンタクト16との重なりがさらに小さくなるのを防ぐことができる。すなわち、レジストパターン17とゲートコンタクト16との重ね合わせのマージンを確保することができるので、安定的に動作可能な半導体装置を製造することができる。
また、VUV光の照射がされたレジストパターンでは、エッチング耐性およびSEM照射耐性(Scanning Electron Microscopy Slimming)の向上の他に、LER(Line Edge Roughness)の改善を図ることができる。
図11は、VUV光の照射時間に対するレジスト膜のエッチング速度と表面粗さとの関係を示した一例である。図より、VUV光の照射時間が長くなるほどレジスト膜のエッチング速度は遅くなり、また、レジスト膜の表面粗さも小さくなることが分かる。このことは、VUV光の照射によりレジスト膜のエッチング耐性が向上していることを示している。例えば、照度が65mW/cm以上のVUV光を1分間程度(すなわち、ドーズ量で3.9J/cm以上)照射することによって、市販されているKrFエキシマレーザに対応するレジストと同程度のエッチング耐性が得られる。
また、図12は、VUV光の照射時間に対するレジストパターンのSEM照射耐性の変化を示した一例である。図では、ライン幅およびスペース幅が130nmであるライン・アンド・スペースのレジストパターンを用いている。ここで、SEM照射耐性とは、SEMを用いてレジストパターンの寸法を側長する際に、電子線照射によってレジストパターンがシュリンクする程度をいい、レジストパターンの線幅縮小量で表わしたものである。したがって、図12の縦軸の値が小さくなるほどレジストパターンがシュリンクする程度は小さくなるので、SEM照射耐性は向上することになる。
図12より、VUV光の照射によってSEM照射耐性が向上していることが分かる。例えば、ライン幅およびスペース幅が130nmであるライン・アンド・スペースのレジストパターンに、加速電圧700V・電流3pAの電子線を30秒間照射した場合、線幅の縮小量は9nmである。これに対して、照度が65mW/cm以上のVUV光を1分間程度(すなわち、ドーズ量で3.9J/cm以上)照射した後のレジストパターンに、同じ条件で電子線を照射すると、線幅の縮小量は3nm程度まで軽減される。
さらに、図13は、VUV光の照射時間に対するレジストパターンのLERの変化を示した一例である。図では、線幅130nmのライン・アンド・スペースのパターンを用いている。ここで、LERとは、レジストパターンのエッジ位置の平均値からのばらつき量(3σ)をいう。図13より、VUV光の照射によってLERが改善する様子が分かる。例えば、VUV光照射前のレジストパターンでのLERの大きさは8nm〜9nm程度である。これに対して、照度が65mW/cm以上のVUV光を1分間程度(すなわち、ドーズ量で3.9J/cm以上)照射した後のレジストパターンでは、LERの大きさは6nm〜7nm程度まで軽減される。これは、VUV光の照射によりレジストの架橋反応が進行したことによると考えられる。
図14は、VUV光照射後のレジストパターンを示したものであり、レジストパターン7′はレジストパターン7がシュリンクすることによって得られたパターンである。尚、図11における破線部19はレジストパターン7の外形である。
次に、レジストパターン7′をマスクとして反射防止膜3およびシリコン酸化膜2をドライエッチングする。反射防止膜8およびシリコン酸化膜7のドライエッチングは、例えば、CF(四フッ化炭素)、O(酸素)およびAr(アルゴン)からなる混合ガスをエッチングガスとしたRIE(Reactive Ion Etching)法によって行うことができる。
VUV光照射によってレジストパターン7′は良好なドライエッチング耐性を有するようになるので、反射防止膜8およびシリコン酸化膜7を所望の寸法のパターンに加工して、反射防止膜パターン20と、シリコン酸化膜パターン21とを得ることができる(図15)。その後、不要となったレジストパターン7,7′および反射防止膜パターン21は除去する。
以上述べたように、本実施の形態によれば、VUV光を選択的に照射するので、VUV光照射によるレジストパターンのシュリンクによって、レジストパターンと配線パターンとの重なりマージンが小さくなるのを防ぐことができる。したがって、安定的な動作のできる半導体装置を製造することが可能となる。
尚、本実施の形態においては、活性領域上のレジストパターン部分にVUV光を照射し、ゲートコンタクト上のレジストパターン部分にはVUV光を照射しない例について述べたが、本発明はこれに限られるものではない。本発明は、レジストパターンのシュリンクを利用してその線幅を縮小させたい領域であれば、上記以外の領域であってもVUV光を照射することができる。この場合、レジストパターンのシュリンクによって、レジストパターンと他の配線パターンとの重なりマージンが小さくなるのを抑制したい領域についてはVUV光を照射しないようにする。
また、本実施の形態によれば、上記特定領域以外の領域にはVUV光を照射するので、レジストパターンにシュリンクを起こして、露光解像度の限界を超えた微細なレジストパターンにすることができる。したがって、このレジストパターンをマスクとして被加工膜に微細なパターンを形成することが可能となる。
また、VUV光の照射によって、照射された領域のレジストパターンのエッチング耐性およびSEM照射耐性を向上させることができる。すなわち、レジストパターンをマスクとして被加工膜をドライエッチングする際のレジストパターンのダメージを抑制して、被加工膜に所望のパターンを形成することができる。また、レジストパターンの線幅をSEMにより測定する際に、電子線照射に起因してレジストパターンの線幅がシュリンクするのも抑制することができる。さらに、VUV光照射によるLERの改善によって、良好な形状のレジストパターンを形成することができる。
上述した本発明のパターン形成方法は、被加工基板上に形成された化学増幅型のレジストパターンに選択的に真空紫外光を照射するために用いるマスクであって、レジストパターンの線幅方向およびこの線幅に対して垂直方向に、この線幅の0.5倍以上1.0倍以下の寸法の露光マージンを有する開口部を備え、真空紫外光の照射によるレジストパターンのシュリンクによって、レジストパターンと被加工基板の所定領域との重なりマージンが小さくなる部分に遮光部が設けられていることを特徴とするマスクを用いて実施することができる。
尚、本実施の形態においては、脂肪族系ベースポリマーを有する化学増幅型レジストを用いた例について述べたが、本発明はこれに限られるものではない。エッチング耐性の向上のためにVUV光の照射を必要とする化学増幅型レジストであれば、他の種類のベースポリマーを用いた化学増幅型レジストにも本発明を適用することができる。また、ポジ型の化学増幅型レジストに限らず、ネガ型の化学増幅型レジストに本発明を適用することも可能である。
本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 本実施の形態におけるVUV光の照射方法の説明図である。 本実施の形態におけるVUV光の照射方法の説明図である。 本実施の形態において、ゲート線幅とトランジスタの遅延時間との関係を示す図である。 本実施の形態において、VUV光の照射時間とCD縮小量との関係を示す図である。 本実施の形態において、VUV光の照射時間に対するレジスト膜のエッチング速度と表面粗さとの関係を示す図である。 本実施の形態において、VUV光の照射時間とSEM照射耐性との関係を示す図である。 本実施の形態において、VUV光の照射時間とLERとの関係を示す図である。 本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 本実施の形態にかかるパターン形成方法を示す断面図である。 従来のVUV光の照射方法の説明図である。
符号の説明
1 半導体基材
2 二酸化シリコン膜
3 反射防止膜
4 レジスト膜
5 露光光照射用マスク
6 露光光
7,17,34 レジストパターン
8 VUV光照射用マスク
9 VUV光
10 光源
11 等倍結像光学系
12 ステージ
13,30 マスクパターン
14,31 活性領域
15,32 基板コンタクト
16,33 ゲートコンタクト
20 反射防止膜パターン
21 二酸化シリコン膜パターン

Claims (7)

  1. 配線パターンが形成された半導体基材の上に被加工膜を形成する工程と、
    前記被加工膜の上に化学増幅型のレジストパターンを形成する工程と、
    前記レジストパターンに真空紫外光を照射する工程と、
    前記真空紫外光を照射した後のレジストパターンをマスクとして前記被加工膜をドライエッチングし前記被加工膜のパターンを形成する工程とを有するパターン形成方法であって、
    前記真空紫外光を照射する工程は、真空紫外光の照射による前記レジストパターンのシュリンクによって前記レジストパターンと前記配線パターンとの重なりマージンが小さくなる部分に遮光部を有するマスクを介して選択的に真空紫外光を照射する工程を有することを特徴とするパターン形成方法。
  2. 前記真空紫外光の照度は10mW/cm以上である請求項1に記載のパターン形成方法。
  3. 前記真空紫外光の照度は65mW/cm以上である請求項2に記載のパターン形成方法。
  4. 前記レジストパターンを形成する工程は、前記被加工膜の上に、アルカリ水溶液に可溶な脂肪族系ベースポリマーの少なくとも一部の官能基に酸不安定基が導入されたアルカリ不溶性ポリマーと、酸発生剤とを含む化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、
    前記レジスト膜の所定領域に露光光を照射することによって、露光部で前記酸発生剤から酸を発生させる工程と、
    前記レジスト膜に加熱処理を行うことによって、前記露光部における前記アルカリ不溶性ポリマーの前記酸不安定基を前記酸の作用により脱離させてアルカリ可溶性ポリマーにする工程と、
    前記レジスト膜に現像処理を行うことによって、前記レジスト膜の未露光部からなるレジストパターンを形成する工程とを有する請求項1〜3のいずれか1に記載のパターン形成方法。
  5. 前記レジストパターンを形成する工程は、被加工基膜の上に反射防止膜を形成する工程と、
    前記反射防止膜の上に、アルカリ水溶液に可溶な脂肪族系ベースポリマーの少なくとも一部の官能基に酸不安定基が導入されたアルカリ不溶性ポリマーと、酸発生剤とを含む化学増幅型のレジスト膜を形成する工程と、
    前記レジスト膜の所定領域に露光光を照射することによって、露光部で前記酸発生剤から酸を発生させる工程と、
    前記レジスト膜に加熱処理を行うことによって、前記露光部における前記アルカリ不溶性ポリマーの前記酸不安定基を前記酸の作用により脱離させてアルカリ可溶性ポリマーにする工程と、
    前記レジスト膜に現像処理を行うことによって、前記レジスト膜の未露光部からなるレジストパターンを形成する工程とを有する請求項1〜3のいずれか1に記載のパターン形成方法。
  6. 前記脂肪族系ベースポリマーはアクリル酸系ポリマーである請求項4または5に記載のパターン形成方法。
  7. 被加工基板上に形成された化学増幅型のレジストパターンに選択的に真空紫外光を照射するために用いるマスクであって、
    前記レジストパターンの線幅方向および該線幅に対して垂直方向に、該線幅の0.5倍以上1.0倍以下の寸法の露光マージンを有する開口部を備え、
    前記真空紫外光の照射による前記レジストパターンのシュリンクによって、前記レジストパターンと前記被加工基板の所定領域との重なりマージンが小さくなる部分に遮光部が設けられていることを特徴とするマスク。
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