JP4413066B2 - 電荷密度波量子位相顕微鏡及び電荷密度波量子干渉計 - Google Patents
電荷密度波量子位相顕微鏡及び電荷密度波量子干渉計 Download PDFInfo
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Appl. Phys. Lett. 80, 871(2002)
そこで、この発明が解決しようとする課題は、電荷密度波の巨視的量子位相情報を積極的に活用することで電荷密度波ナノ構造体の解析や生体高分子の構造の決定などを高精度で行うことができ、しかも小型に構成することができる電荷密度波量子位相顕微鏡を提供することにある。
この発明が解決しようとする他の課題は、電荷密度波の巨視的量子位相情報を積極的に活用することで局所的な電場を高精度で測定することができる電荷密度波量子干渉計を提供することにある。
すなわち、上記課題を解決するために、第1の発明は、
電荷密度波結晶からなる探針を用いたことを特徴とする電荷密度波量子位相顕微鏡である。
この第1の発明では、典型的には、電荷密度波結晶からなる探針を試料に接触させたときのその電荷密度波結晶のしきい電場の変化を狭帯域信号(NBS)の振動数を測定することにより測定する。
あるいは、探針を試料に接近させたときにそれらの間に生ずる電荷密度波トンネリングを利用して試料の電荷密度波状態を測定することもできる。
電荷密度波結晶からなる針状結晶を用いたことを特徴とする電荷密度波量子干渉計である。
この第2の発明では、典型的には、針状結晶の側面にゲート電圧を印加したときの電荷密度波結晶のしきい電場の変化を狭帯域信号の振動数を測定することにより測定する。
電荷密度波結晶は、典型的には針状結晶からなる。電荷密度波結晶あるいは針状結晶には、ナノチューブのような管状晶も含まれ、また、単結晶だけでなく、多結晶であってもよい。
また、第2の発明においては、電荷密度波結晶からなる針状結晶にゲート電圧を印加したときに生ずる電荷密度波のしきい電場の変化を狭帯域信号の振動数を測定することにより高精度で測定することができる。
また、この発明によれば、電荷密度波の巨視的量子位相情報を積極的に活用することで局所的な電場を高精度で測定することができる電荷密度波量子干渉計を実現することができる。
図1はこの発明の第1の実施形態によるCDW量子位相顕微鏡を示す。
図1に示すように、このCDW量子位相顕微鏡においては、一般的な走査プローブ顕微鏡と同様な圧電制御装置11の下部にCDW針状結晶からなる探針12が取り付けられており、圧電制御装置11によりこの探針12をx、y、z方向に三次元的に走査することができるようになっている。図2に示すように、探針12には電極13、14が設けられており、これらの電極13、14の間に電源15及び周波数計16を含む外部回路が接続されている。そして、周波数計16により、NBSの振動数を測定し、それによってしきい電場の変化を測定することができるようになっている。
図1に示すように、CDWナノ構造体からなる試料17の表面に探針12を接触させ、走査する。探針12が試料17の表面に接触すると、探針12の先端が変位し、それによって探針12に応力が生ずる。この応力により、探針12のしきい電場が変化し、それにより探針12を流れるNBSの振動数が変化する。そして、このNBSの振動数の変化が表面像に変換される。表面像への変換、言い換えると物体の表面形状等の可視化には、例えば、周波数−電圧(電流)変換器の出力の可視化、あるいはフィードバックを構成する制御信号の可視化がある。
図3に、試料17のCDW状態におけるイオンの配置及びCDW(電荷密度ρ(x))と探針12のイオンの配置及びCDWとを示す。ρ(x)は次式で表される。
ρ(x)=ρ0 +ρ1 cos(Qx+φ)
ただし、xは1次元軸方向の空間座標、ρ1 は電荷密度波の振幅、Qは波数ベクトル(ネスティングベクトル)でQ=2kF (kF はフェルミ波数)、ρ0 =−ene (ne は電子の密度)、φは位相を示す。
CDWナノ構造体からなる試料17の表面に探針12を接近させ、走査する。探針12の先端のCDWの位相をθp 、試料17の表面のCDWの位相をθs とする。探針12の先端が、走査に伴い変位すると、それに伴ってθs が変化し、これがθp −θs の変化をもたらし、探針12と試料17との間に流れるトンネリング電流が変化する。そして、この電流あるいは電圧の変化が表面像に変換される。
まず、図4Aに示すように、円錐体21を作製する。この円錐体21は、後述の電子ビームの照射によりCDW結晶を成長させる際に加熱されて軟化しない程度の融点、例えば800℃以上の融点を有するものであれば、基本的にはどのような材料からなるものでもよいが、具体的には、例えばSi、Si3 N4 、SiO2 、ダイヤモンド、アルミナ(サファイヤ)、TaS2 、GaAs、Ni、Taなどを用いることができる。
このTaSe2 針状結晶を探針12に用いてTaSe2 試料の表面を走査したところ、図6に示すような良好な原子像が得られた。
次に、このTaSe2 針状結晶に電極13、14を形成したものを探針12に用いたCDW量子位相顕微鏡によりTaSe2 試料の表面を走査したところ、図7に示すようなCDW像が得られた。
図8に示すように、このCDW量子位相顕微鏡においては、カンチレバー31の先端下部にSiなどからなる探針32が取り付けられている。カンチレバー31の他端は圧電制御装置(図示せず)に取り付けられている。カンチレバー31の上に、CDW針状結晶33が一体的に設けられている。このCDW針状結晶33の両端には電極34、35が設けられており、これらの電極34、35の間に電源36及び周波数計37を含む外部回路が接続されている。そして、周波数計37により、NBSの振動数を測定し、それによってしきい電場の変化を測定することができるようになっている。
図8に示すように、CDWナノ構造体からなる試料17の表面に探針32を接触させ、走査する。探針32が試料17の表面に接触すると、探針32の先端が変位し、それに伴ってカンチレバー31の先端が変位し、それによってカンチレバー31上のCDW針状結晶33が伸縮して応力が生ずる。この応力により、CDW針状結晶32のしきい電場が変化し、それによりCDW針状結晶32を流れるNBSの振動数が変化する。そして、このNBSの振動数の変化が表面像に変換される。
上記以外のことは第1の実施形態と同様である。
この第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
図9に示すように、このCDW量子干渉計においては、CDW針状結晶41の両端に電極42、43が設けられており、これらの電極42、43の間に電源44及び周波数計45を含む外部回路が接続されている。CDW針状結晶41の中央部側面にはゲート電極46が設けられており、このゲート電極46によりCDW針状結晶41の側面にゲート電圧を印加することができるようになっている。そして、周波数計45によりNBSの振動数を測定し、それによってしきい電場の変化を測定することができるようになっている。
高純度で微小なCDW針状結晶41では、両端でのピン止め力が強め合うか弱め合うかは、CDWの波長λCDW とCDW針状結晶41の長さとの兼ね合いで決まる。CDW針状結晶41の電極42側の一端におけるCDWの位相をθ1 、電極43側の他端におけるCDWの位相をθ2 とする。CDW針状結晶41にゲート電極46によりゲート電圧Vg が印加されると、CDWの波長λCDW が変化し、それによってθ1 −θ2 の値が変化し(Vg ∝θ1 −θ2 )、それとともにしきい電圧Vth、従ってしきい電場が変化する。ここで、
Vth=2V0 |cos(πCg Vg /2e)|
である。ただし、V0 は定数、Cg はゲート容量、eは電荷素量である。このしきい電場の変化をNBSの振動数を測定することによって検出することにより、局所的な電場を測定することができる。
この第3の実施形態によれば、CDWの巨視的量子位相情報を積極的に活用したCDW量子干渉計を実現することができる。このCDW量子干渉計によれば、局所的な電場を高精度で測定することができる。
例えば、上述の実施形態及び実施例において挙げた数値、構成、材料、原料、プロセスなどはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構成、材料、原料、プロセスなどを用いてもよい。
Claims (4)
- 電荷密度波結晶からなる探針を用い、上記探針を試料に接触させたときの上記電荷密度波結晶のしきい電場の変化を狭帯域信号の振動数を測定することにより測定することを特徴とする電荷密度波量子位相顕微鏡。
- 上記電荷密度波結晶がMX p (ただし、MはTa及びNbからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、XはS、Se及びTeからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、1.8≦p≦2.2)、MX q (ただし、MはTa及びNbからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、XはS、Se及びTeからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、2.7≦q≦3.3)またはMX r (ただし、MはTa及びNbからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、XはS、Se及びTeからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、3.6≦r≦4.4)からなることを特徴とする請求項1記載の電荷密度波量子位相顕微鏡。
- 電荷密度波結晶からなる針状結晶を用い、上記針状結晶の側面にゲート電圧を印加したときの上記電荷密度波結晶のしきい電場の変化を狭帯域信号の振動数を測定することにより測定することを特徴とする電荷密度波量子干渉計。
- 上記電荷密度波結晶がMX p (ただし、MはTa及びNbからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、XはS、Se及びTeからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、1.8≦p≦2.2)、MX q (ただし、MはTa及びNbからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、XはS、Se及びTeからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、2.7≦q≦3.3)またはMX r (ただし、MはTa及びNbからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、XはS、Se及びTeからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素、3.6≦r≦4.4)からなることを特徴とする請求項3記載の電荷密度波量子干渉計。
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