JP2003287488A - 走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置Info
- Publication number
- JP2003287488A JP2003287488A JP2002089394A JP2002089394A JP2003287488A JP 2003287488 A JP2003287488 A JP 2003287488A JP 2002089394 A JP2002089394 A JP 2002089394A JP 2002089394 A JP2002089394 A JP 2002089394A JP 2003287488 A JP2003287488 A JP 2003287488A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- tip
- carbon nanotubes
- microscope
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大気中で作製でき、作製時間が短く可能で、
大量生産ができ、しかも、カーボンナノチューブの機械
的、電気的特性に悪影響を与えることがない走査型プロ
ーブ顕微鏡用カーボンナノチューブ付き探針を得るこ
と。 【解決手段】 カーボンナノチューブ７を有機溶媒に分
散させた溶液２が入っている容器３内において、先端が
尖った金属又は半導体の探針５を電極４と少しの間隔を
開けて対向させ、この探針５と電極４に電圧を与えるこ
とによって、探針５の先端にカーボンナノチューブ７を
付着させて作製することを特徴とする走査型プローブ顕
微鏡用探針の作製方法。
大量生産ができ、しかも、カーボンナノチューブの機械
的、電気的特性に悪影響を与えることがない走査型プロ
ーブ顕微鏡用カーボンナノチューブ付き探針を得るこ
と。 【解決手段】 カーボンナノチューブ７を有機溶媒に分
散させた溶液２が入っている容器３内において、先端が
尖った金属又は半導体の探針５を電極４と少しの間隔を
開けて対向させ、この探針５と電極４に電圧を与えるこ
とによって、探針５の先端にカーボンナノチューブ７を
付着させて作製することを特徴とする走査型プローブ顕
微鏡用探針の作製方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カーボンナノチ
ューブを探針の先端に付着させた走査型プローブ顕微鏡
用探針の製造方法、該作製方法によって作製された探針
及びその作製装置に関する。
ューブを探針の先端に付着させた走査型プローブ顕微鏡
用探針の製造方法、該作製方法によって作製された探針
及びその作製装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、走査型プローブ顕微鏡は
先端の鋭い探針で固体表面をなぞることによって表面の
凹凸や導電性など物理的な情報や化学的な情報を検出す
ることをその基本原理としているので、探針の形状や安
定性が顕微鏡として分解能を大きく左右している。従来
のこの探針は、タングステンや白金イリジウムなどの金
属ワイヤーを機械的に研磨したり、溶液中でのケミカル
エッチング法により作製している。しかしいずれの場合
にも先端の形状が正確に把握できないために精密な物性
測定を困難なものにしている。具体的には、先端に探針
材料とは異なる物質が吸着することにより分解能が著し
く低下したり、形状や元素組成が不明なため例えば原子
間力顕微鏡では重要な物性の導出が困難になる。また、
物質表面の深い穴などの測定は、従来の探針では測定不
可能であり、よりアスペクト比の高い探針が必要となっ
ていた。
先端の鋭い探針で固体表面をなぞることによって表面の
凹凸や導電性など物理的な情報や化学的な情報を検出す
ることをその基本原理としているので、探針の形状や安
定性が顕微鏡として分解能を大きく左右している。従来
のこの探針は、タングステンや白金イリジウムなどの金
属ワイヤーを機械的に研磨したり、溶液中でのケミカル
エッチング法により作製している。しかしいずれの場合
にも先端の形状が正確に把握できないために精密な物性
測定を困難なものにしている。具体的には、先端に探針
材料とは異なる物質が吸着することにより分解能が著し
く低下したり、形状や元素組成が不明なため例えば原子
間力顕微鏡では重要な物性の導出が困難になる。また、
物質表面の深い穴などの測定は、従来の探針では測定不
可能であり、よりアスペクト比の高い探針が必要となっ
ていた。
【０００３】このような課題をかかえつつもその有用性
に鑑み実用化されていたが、近年に至りカーボンナノチ
ューブ（carbon nanotube, CNT）の各技術の応用が検討
されるに至り、探針にも採用されるに至っている。一般
に知られているようにこのカーボンナノチューブは、円
筒形をした炭素原子からなる物質であり、直径（1.5nm
〜20nmの範囲で選択可）と長さ（数nm〜500nm〜数μmの
範囲で選択可）の比を最大で１０００倍以上とることが
でき、柔軟で剛性（５０ＧＰＡ）が高い性質を有する。
また、カーボンナノチューブには円筒面が多層（multi
wall carbon nanotube MWNT）および単層のナノチュー
ブ（single wall carbon nanotube）があり、その電気
的特性は多彩な螺旋構造によって金属にも半導体にもな
る性質を持っていることが知られている。又、高剛性、
弾力性があり強靭で機械的性質も優れていることが知ら
れている。更に、低反応性、高安定で化学的性質も優れ
ている。このような電子的、機械的にめずらしい性質が
走査型プローブ顕微鏡用探針として注目され実用化され
たのである。すなわち、カーボンナノチューブを探針の
先端に付着させることによって、前記した金属ワイヤー
の機械的、ケミカル的な方法による作製で得た探針では
なし得なかった精密な高分解能の形状観測や物性測定、
物質表面の深い穴の測定などが可能となり信頼性の高い
データが得られる、材料のカーボンナノチューブを精製
して使用することにより先端のサイズを均一にできる、
先端の原子が単一カーボンであるため電気特性が一定で
ある、金属探針に比べて反応性が低いため不純物の付着
がきわめて少なく安定である、機械的強度が高く試料面
への衝突により変化することもなく長寿命である、用途
に応じてカーボンナノチューブの長さを選択できるなど
の種々の長所を得られるに至った。
に鑑み実用化されていたが、近年に至りカーボンナノチ
ューブ（carbon nanotube, CNT）の各技術の応用が検討
されるに至り、探針にも採用されるに至っている。一般
に知られているようにこのカーボンナノチューブは、円
筒形をした炭素原子からなる物質であり、直径（1.5nm
〜20nmの範囲で選択可）と長さ（数nm〜500nm〜数μmの
範囲で選択可）の比を最大で１０００倍以上とることが
でき、柔軟で剛性（５０ＧＰＡ）が高い性質を有する。
また、カーボンナノチューブには円筒面が多層（multi
wall carbon nanotube MWNT）および単層のナノチュー
ブ（single wall carbon nanotube）があり、その電気
的特性は多彩な螺旋構造によって金属にも半導体にもな
る性質を持っていることが知られている。又、高剛性、
弾力性があり強靭で機械的性質も優れていることが知ら
れている。更に、低反応性、高安定で化学的性質も優れ
ている。このような電子的、機械的にめずらしい性質が
走査型プローブ顕微鏡用探針として注目され実用化され
たのである。すなわち、カーボンナノチューブを探針の
先端に付着させることによって、前記した金属ワイヤー
の機械的、ケミカル的な方法による作製で得た探針では
なし得なかった精密な高分解能の形状観測や物性測定、
物質表面の深い穴の測定などが可能となり信頼性の高い
データが得られる、材料のカーボンナノチューブを精製
して使用することにより先端のサイズを均一にできる、
先端の原子が単一カーボンであるため電気特性が一定で
ある、金属探針に比べて反応性が低いため不純物の付着
がきわめて少なく安定である、機械的強度が高く試料面
への衝突により変化することもなく長寿命である、用途
に応じてカーボンナノチューブの長さを選択できるなど
の種々の長所を得られるに至った。
【０００４】このようなことからカーボンナノチューブ
を探針先端に形成する方法がいくつか提案されるに至っ
ている。その１つに、光学顕微鏡の下で接着物質を用い
て直接に探針先端に付着させたり、この接着物質の代わ
りに電子顕微鏡の下で雰囲気の炭化水素を原料として付
着させて作製する方法がある。又、探針先端に直接ＣＶ
Ｄ法（化学蒸着法、chemical vapor depositionの略）
でカーボンナノチューブを成長させて作製する方法があ
る。
を探針先端に形成する方法がいくつか提案されるに至っ
ている。その１つに、光学顕微鏡の下で接着物質を用い
て直接に探針先端に付着させたり、この接着物質の代わ
りに電子顕微鏡の下で雰囲気の炭化水素を原料として付
着させて作製する方法がある。又、探針先端に直接ＣＶ
Ｄ法（化学蒸着法、chemical vapor depositionの略）
でカーボンナノチューブを成長させて作製する方法があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着物
質及び炭化水素を原料としてカーボンナノチューブを付
着させて作製する方法は、真空中で作製しなければなら
ないことに加えて、作製時間が莫大であり、又、大量生
産ができないという問題点がある。更に、接着物質がカ
ーボンナノチューブの機械的、電気的特性に悪影響を与
える可能性が大きいという問題点がある。又、ＣＶＤ法
を用いる方法では、一度に多数のカーボンナノチューブ
が形成するために走査型プローブ顕微鏡による各種物性
測定にはそぐわないという問題点がある。
質及び炭化水素を原料としてカーボンナノチューブを付
着させて作製する方法は、真空中で作製しなければなら
ないことに加えて、作製時間が莫大であり、又、大量生
産ができないという問題点がある。更に、接着物質がカ
ーボンナノチューブの機械的、電気的特性に悪影響を与
える可能性が大きいという問題点がある。又、ＣＶＤ法
を用いる方法では、一度に多数のカーボンナノチューブ
が形成するために走査型プローブ顕微鏡による各種物性
測定にはそぐわないという問題点がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記事情に鑑
みてなされたものであって、その手段とするところは、
請求項１の発明は、カーボンナノチューブを有機溶媒に
分散させた溶液の入った容器内において、先端が尖った
金属又は半導体の探針を電極と少しの間隔を開けて対向
させ、この探針と電極に電圧を与えることによって、探
針の先端にカーボンナノチューブを付着させて作製する
ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方
法としたところにある。請求項３の発明は、先端が尖っ
た金属又は半導体からなる探針のその先端にカーボンナ
ノチューブを付着させた請求項１の作製方法によって作
製した走査型プローブ顕微鏡用探針である。請求項５の
発明は、カーボンナノチューブを有機溶媒に分散させた
溶液を入れる容器と、該容器内において少しの間隔を空
けて対向させた先端が尖った金属又は半導体の探針と電
極及び該探針と電極に電圧を与える電源とを備えた走査
型プローブ顕微鏡用探針の作製装置である。請求項２，
４及び６の発明は、前記請求項１，２及び５に記載の探
針の先端に付着するカーボンナノチューブが複数本であ
ることである。
みてなされたものであって、その手段とするところは、
請求項１の発明は、カーボンナノチューブを有機溶媒に
分散させた溶液の入った容器内において、先端が尖った
金属又は半導体の探針を電極と少しの間隔を開けて対向
させ、この探針と電極に電圧を与えることによって、探
針の先端にカーボンナノチューブを付着させて作製する
ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方
法としたところにある。請求項３の発明は、先端が尖っ
た金属又は半導体からなる探針のその先端にカーボンナ
ノチューブを付着させた請求項１の作製方法によって作
製した走査型プローブ顕微鏡用探針である。請求項５の
発明は、カーボンナノチューブを有機溶媒に分散させた
溶液を入れる容器と、該容器内において少しの間隔を空
けて対向させた先端が尖った金属又は半導体の探針と電
極及び該探針と電極に電圧を与える電源とを備えた走査
型プローブ顕微鏡用探針の作製装置である。請求項２，
４及び６の発明は、前記請求項１，２及び５に記載の探
針の先端に付着するカーボンナノチューブが複数本であ
ることである。
【０００７】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態について、
図１，２を参照しつつ説明する。まず、この走査型プロ
ーブ顕微鏡用探針の作製方法において用いる作製装置に
ついて説明する。作製装置１は、カーボンナノチューブ
を分散させた溶液２が入っている容器３と、この容器３
内に設置した電極４と、この電極４に対向して容器３内
に設置した探針５と、この探針５と電極４に電気的に接
続して、直流、交流又は交流と直流を重畳したいずれか
の電圧を与える電源６とからなる。
図１，２を参照しつつ説明する。まず、この走査型プロ
ーブ顕微鏡用探針の作製方法において用いる作製装置に
ついて説明する。作製装置１は、カーボンナノチューブ
を分散させた溶液２が入っている容器３と、この容器３
内に設置した電極４と、この電極４に対向して容器３内
に設置した探針５と、この探針５と電極４に電気的に接
続して、直流、交流又は交流と直流を重畳したいずれか
の電圧を与える電源６とからなる。
【０００８】カーボンナノチューブを分散させた溶液２
は、カーボンナノチューブ７を有機溶媒に分散した溶液
である。有機溶媒としては、ジュクロロエタン、トルエ
ン、四塩化炭素などが挙げられる。このような有機溶媒
に分散させるカーボンナノチューブ７の量はとくに限定
されるものではないが数％程度でよい。カーボンナノチ
ューブ７は、直径が1.5乃至２０nm、長さが数nm乃至数
μmの範囲の中から使用目的に応じて適宜選択したもの
を使用する。しかし、これらの範囲に限定されるもので
はない。
は、カーボンナノチューブ７を有機溶媒に分散した溶液
である。有機溶媒としては、ジュクロロエタン、トルエ
ン、四塩化炭素などが挙げられる。このような有機溶媒
に分散させるカーボンナノチューブ７の量はとくに限定
されるものではないが数％程度でよい。カーボンナノチ
ューブ７は、直径が1.5乃至２０nm、長さが数nm乃至数
μmの範囲の中から使用目的に応じて適宜選択したもの
を使用する。しかし、これらの範囲に限定されるもので
はない。
【０００９】電極４は、導電性の材質からなり、その先
端がかみそり刃のように先鋭なものが好ましいが、針先
のように幅を有しないものであってもよい。図示のよう
に、電極４をかみそり刃に形成して先端の先鋭部分に幅
を持たせた場合には、その幅に沿って一度に多数の探針
５を配列させて作製することができるので、作業効率が
向上するが、１つ又は少数を作製する場合には、針先の
ように幅を持たさないようにしてもよい。
端がかみそり刃のように先鋭なものが好ましいが、針先
のように幅を有しないものであってもよい。図示のよう
に、電極４をかみそり刃に形成して先端の先鋭部分に幅
を持たせた場合には、その幅に沿って一度に多数の探針
５を配列させて作製することができるので、作業効率が
向上するが、１つ又は少数を作製する場合には、針先の
ように幅を持たさないようにしてもよい。
【００１０】探針５は、あらかじめタングステンや白金
イリジウム線の先端を従来の方法を用いて尖らせておい
たものを使用できる。原子間力顕微鏡用のカンチレバー
をこのタングステン等からなる探針に代替してもよい。
この探針５は、その先端が前記電極４の先端との間隔α
を１ｍｍ前後に保つことができるように、支持装置８に
よって支持されている。
イリジウム線の先端を従来の方法を用いて尖らせておい
たものを使用できる。原子間力顕微鏡用のカンチレバー
をこのタングステン等からなる探針に代替してもよい。
この探針５は、その先端が前記電極４の先端との間隔α
を１ｍｍ前後に保つことができるように、支持装置８に
よって支持されている。
【００１１】電源６としては、周波数が高周波である交
流又は直流あるいは交流と直流を重畳させた電源を用
い、探針５と電極４の間に数Ｖ乃至数十Ｖ以上の電圧を
かけることができるものを選択する。電源の種類や電圧
の大きさは、有機溶媒に分散させたカーボンナノチュー
ブの長さや直径等を勘案して、適宜最適の種類、大きさ
を選択することによって効率的に付着することができ
る。
流又は直流あるいは交流と直流を重畳させた電源を用
い、探針５と電極４の間に数Ｖ乃至数十Ｖ以上の電圧を
かけることができるものを選択する。電源の種類や電圧
の大きさは、有機溶媒に分散させたカーボンナノチュー
ブの長さや直径等を勘案して、適宜最適の種類、大きさ
を選択することによって効率的に付着することができ
る。
【００１２】以上の構成からなる作製装置１を使用して
走査型プローブ顕微鏡用探針を作製する場合において、
電源６を探針５及び電極４に接続すると、図３の写真に
示すように、数秒後に探針５の先端に有機溶媒に分散し
ているカーボンナノチューブ７が付着する。図４は図３
の写真を判り易く図解したものである。通常、複数本の
カーボンナノチューブ７が複雑に絡み合って探針５の先
端に付着するが、その内の最先端に位置するものを探針
として利用することになる。複数本が複雑に絡み合って
束状になっていることから、単に１本が付着した場合よ
りもより優れた機械的特徴を有する。しかし、有機溶媒
に分散させたカーボンナノチューブの量が少ない、電圧
を加える時間が極めて短時間である場合等の特別な条件
下においては、必要に応じて１本或いは極少数本を付着
させることも可能である。このようにして作製したもの
は、複数本が付着したものと較べて機械的強度は劣るも
のの、原材料費が節減できる利点がある。
走査型プローブ顕微鏡用探針を作製する場合において、
電源６を探針５及び電極４に接続すると、図３の写真に
示すように、数秒後に探針５の先端に有機溶媒に分散し
ているカーボンナノチューブ７が付着する。図４は図３
の写真を判り易く図解したものである。通常、複数本の
カーボンナノチューブ７が複雑に絡み合って探針５の先
端に付着するが、その内の最先端に位置するものを探針
として利用することになる。複数本が複雑に絡み合って
束状になっていることから、単に１本が付着した場合よ
りもより優れた機械的特徴を有する。しかし、有機溶媒
に分散させたカーボンナノチューブの量が少ない、電圧
を加える時間が極めて短時間である場合等の特別な条件
下においては、必要に応じて１本或いは極少数本を付着
させることも可能である。このようにして作製したもの
は、複数本が付着したものと較べて機械的強度は劣るも
のの、原材料費が節減できる利点がある。
【００１３】同時に多数のナノチューブ付き探針７を作
製する場合には、電極４の長さを長くして、又、支持装
置８にも多くの探針５をこの電極４の先端に沿って少し
の距離を空けて並べるように、且つ、着脱自在に取り付
けできるようにしておけば容易に製作できる。
製する場合には、電極４の長さを長くして、又、支持装
置８にも多くの探針５をこの電極４の先端に沿って少し
の距離を空けて並べるように、且つ、着脱自在に取り付
けできるようにしておけば容易に製作できる。
【００１４】この発明の作製方法や作製装置を使用して
作製した走査型プローブ顕微鏡用カーボンナノチューブ
付き探針を用いて、走査型トンネル顕微鏡で撮影したＳ
i（１１１）７×７の清浄表面像を図５に示す。図６は
従来の金属探針を用いて撮影した同じ清浄表面像であ
る。この両者を比較すると、本願発明のナノチューブ付
き探針を用いた方が、より鮮明な像が得られることが判
る。尚、走査型トンネル顕微鏡は、走査型プローブ顕微
鏡の一つの種類であり、走査型プローブ顕微鏡の範囲に
含まれるものである。
作製した走査型プローブ顕微鏡用カーボンナノチューブ
付き探針を用いて、走査型トンネル顕微鏡で撮影したＳ
i（１１１）７×７の清浄表面像を図５に示す。図６は
従来の金属探針を用いて撮影した同じ清浄表面像であ
る。この両者を比較すると、本願発明のナノチューブ付
き探針を用いた方が、より鮮明な像が得られることが判
る。尚、走査型トンネル顕微鏡は、走査型プローブ顕微
鏡の一つの種類であり、走査型プローブ顕微鏡の範囲に
含まれるものである。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、この
発明の走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法による
と、わずか数秒間でしかも多数のカーボンナノチューブ
付き探針を同時に作製できる利点がある。又、接着物質
を用いないので、カーボンナノチューブの機械的、電気
的特性に悪影響を及ぼすことなく作製できる利点があ
る。更に又、真空中で作製する必要もないので、作製コ
ストや手間が節減できる利点がある。
発明の走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法による
と、わずか数秒間でしかも多数のカーボンナノチューブ
付き探針を同時に作製できる利点がある。又、接着物質
を用いないので、カーボンナノチューブの機械的、電気
的特性に悪影響を及ぼすことなく作製できる利点があ
る。更に又、真空中で作製する必要もないので、作製コ
ストや手間が節減できる利点がある。
【００１６】又、走査型プローブ顕微鏡用探針の作製装
置は、極めて簡単な構成でありながら、極めて単時間で
複数の走査型プローブ顕微鏡用カーボンナノチューブ付
き探針を作製することが可能となる。
置は、極めて簡単な構成でありながら、極めて単時間で
複数の走査型プローブ顕微鏡用カーボンナノチューブ付
き探針を作製することが可能となる。
【００１７】更に、この走査型プローブ顕微鏡用探針の
作製方法及び作製装置で作製されたカーボンナノチュー
ブ付き探針は、接着物質や炭化水素を原料として探針に
カーボンナノチューブを付着させていないので、カーボ
ンナノチューブの機械的、電気的特性に悪影響を与える
ことがなくなり、その結果、長寿命化、分解能の向上、
物質表面の深い穴の測定可能などの利点を有する。
作製方法及び作製装置で作製されたカーボンナノチュー
ブ付き探針は、接着物質や炭化水素を原料として探針に
カーボンナノチューブを付着させていないので、カーボ
ンナノチューブの機械的、電気的特性に悪影響を与える
ことがなくなり、その結果、長寿命化、分解能の向上、
物質表面の深い穴の測定可能などの利点を有する。
【００１８】更に又、この走査型プローブ顕微鏡用探針
の作製方法によって作製されたカーボンナノチューブ付
き探針のカーボンナノチューブが複雑に絡み合って付着
している場合には、その中の先端側へ突出した１つを有
効に活用でき、付着している根本部分ほどしっかりとし
たものになる。その結果、探針に直接に１つだけ接着し
たものと較べて、先端部分の機械的剛性が高いため、最
先端が測定対象物の表面に接触してもカーボンナノチュ
ーブが破壊され難いという利点がある。
の作製方法によって作製されたカーボンナノチューブ付
き探針のカーボンナノチューブが複雑に絡み合って付着
している場合には、その中の先端側へ突出した１つを有
効に活用でき、付着している根本部分ほどしっかりとし
たものになる。その結果、探針に直接に１つだけ接着し
たものと較べて、先端部分の機械的剛性が高いため、最
先端が測定対象物の表面に接触してもカーボンナノチュ
ーブが破壊され難いという利点がある。
【図１】走査型プローブ顕微鏡用カーボンナノチューブ
付き探針の作製装置の全体説明図
付き探針の作製装置の全体説明図
【図２】図１における探針と電極の拡大説明図
【図３】探針にカーボンナノチューブが付着した拡大写
真
真
【図４】図３の解説図
【図５】この発明の作製方法及び作製装置で製作した探
針を走査型トンネル顕微鏡に用いて撮影したＳｉ（１１
１）７×７の清浄表面像
針を走査型トンネル顕微鏡に用いて撮影したＳｉ（１１
１）７×７の清浄表面像
【図６】従来の金属製の探針を走査型トンネル顕微鏡に
用いて撮影した同じＳｉ（１１１）７×７の清浄表面像
用いて撮影した同じＳｉ（１１１）７×７の清浄表面像
１ 作製装置
２ 有機溶媒にカーボンナノチューブを分散させた溶液
３ 容器
４ 電極
５ 探針
６ 電源
７ カーボンナノチューブ
Claims (6)
- 【請求項１】 カーボンナノチューブを有機溶媒に分散
させた溶液の入った容器内において、先端が尖った金属
又は半導体の探針を電極と少しの間隔を開けて対向さ
せ、この探針と電極に電圧を与えることによって、探針
の先端にカーボンナノチューブを付着させて作製するこ
とを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方
法。 - 【請求項２】 前記探針の先端に付着するカーボンナノ
チューブが複数本であることを特徴とする請求項１に記
載の走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法。 - 【請求項３】 先端が尖った金属又は半導体からなる探
針のその先端にカーボンナノチューブを付着させた請求
項１の作製方法によって作製した走査型プローブ顕微鏡
用探針。 - 【請求項４】 前記探針の先端に付着するカーボンナノ
チューブが複数本であることを特徴とする請求項３に記
載の走査型プローブ顕微鏡用探針。 - 【請求項５】 カーボンナノチューブを有機溶媒に分散
させた溶液を入れる容器と、該容器内において少しの間
隔を空けて対向させた先端が尖った金属又は半導体の探
針と電極及び該探針と電極に電圧を与える電源とを備え
ることにより、前記探針の先端にカーボンナノチューブ
を付着させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用
探針の作製装置。 - 【請求項６】 前記探針の先端に付着するカーボンナノ
チューブが複数本であることを特徴とする請求項５に記
載の走査型プローブ顕微鏡用探針の作製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002089394A JP3557589B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002089394A JP3557589B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003287488A true JP2003287488A (ja) | 2003-10-10 |
| JP3557589B2 JP3557589B2 (ja) | 2004-08-25 |
Family
ID=29234980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002089394A Expired - Fee Related JP3557589B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3557589B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005069337A1 (en) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | M2N Inc. | Method for massive assembling of carbon nanotubes |
| KR100583769B1 (ko) * | 2004-03-17 | 2006-05-26 | 한국과학기술원 | 탄소나노튜브 카트리지 제조장치 |
| WO2009075481A2 (en) * | 2007-12-10 | 2009-06-18 | Seoul National University Industry Foundation | A method for adsorption using solid thin film mask of nano-particle and adsorption matter |
| JP2009532665A (ja) * | 2006-03-23 | 2009-09-10 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ナノワイヤ成長により形成されるモノリシック高アスペクト比のナノサイズ走査プローブ顕微鏡（ｓｐｍ）ティップ |
| JP2010047461A (ja) * | 2008-08-21 | 2010-03-04 | Seoul National Univ Industry Foundation | 先端上で整列したナノ構造 |
| KR101097217B1 (ko) | 2008-09-17 | 2011-12-22 | 한국기계연구원 | 카본 나노 튜브가 코팅된 프로브 카드용 미세 접촉 프로브 및 그 제조방법 |
| US8758588B2 (en) | 2005-03-10 | 2014-06-24 | Tsinghua University | Method for manufacturing a one-dimensional nano-structure-based device |
| US8795496B2 (en) | 2005-03-31 | 2014-08-05 | Tsinghua University | Method for manufacturing a one-dimensional nano-structure-based device |
| US8795495B2 (en) | 2005-03-30 | 2014-08-05 | Tsinghua University | Method for manufacturing a one-dimensional nano-structure-based device |
| WO2019008108A1 (en) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | Katholieke Universiteit Leuven | ATOMIC FORCE MICROSCOPY PROBES WITH A SET OF METAL NANOWIRES AND A DIELECTROPHORETIC METHOD FOR ATTACHING AND DETACHING PROBES THEREOF METAL NANOWIRES |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002089394A patent/JP3557589B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005069337A1 (en) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | M2N Inc. | Method for massive assembling of carbon nanotubes |
| KR100583769B1 (ko) * | 2004-03-17 | 2006-05-26 | 한국과학기술원 | 탄소나노튜브 카트리지 제조장치 |
| US8758588B2 (en) | 2005-03-10 | 2014-06-24 | Tsinghua University | Method for manufacturing a one-dimensional nano-structure-based device |
| US8795495B2 (en) | 2005-03-30 | 2014-08-05 | Tsinghua University | Method for manufacturing a one-dimensional nano-structure-based device |
| US8795496B2 (en) | 2005-03-31 | 2014-08-05 | Tsinghua University | Method for manufacturing a one-dimensional nano-structure-based device |
| JP2009532665A (ja) * | 2006-03-23 | 2009-09-10 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ナノワイヤ成長により形成されるモノリシック高アスペクト比のナノサイズ走査プローブ顕微鏡（ｓｐｍ）ティップ |
| US8308968B2 (en) | 2006-03-23 | 2012-11-13 | International Business Machines Corporation | Monolithic high aspect ratio nano-size scanning probe microscope (SPM) tip formed by nanowire growth |
| WO2009075481A2 (en) * | 2007-12-10 | 2009-06-18 | Seoul National University Industry Foundation | A method for adsorption using solid thin film mask of nano-particle and adsorption matter |
| WO2009075481A3 (en) * | 2007-12-10 | 2009-08-27 | Seoul National University Industry Foundation | A method for adsorption using solid thin film mask of nano-particle and adsorption matter |
| JP2010047461A (ja) * | 2008-08-21 | 2010-03-04 | Seoul National Univ Industry Foundation | 先端上で整列したナノ構造 |
| KR101097217B1 (ko) | 2008-09-17 | 2011-12-22 | 한국기계연구원 | 카본 나노 튜브가 코팅된 프로브 카드용 미세 접촉 프로브 및 그 제조방법 |
| WO2019008108A1 (en) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | Katholieke Universiteit Leuven | ATOMIC FORCE MICROSCOPY PROBES WITH A SET OF METAL NANOWIRES AND A DIELECTROPHORETIC METHOD FOR ATTACHING AND DETACHING PROBES THEREOF METAL NANOWIRES |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3557589B2 (ja) | 2004-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101159074B1 (ko) | 도전성 탄소나노튜브 팁, 이를 구비한 스캐닝 프로브마이크로스코프의 탐침 및 상기 도전성 탄소나노튜브 팁의제조 방법 | |
| US7067098B2 (en) | Method for forming an array of single -wall carbon nanotubes and compositions thereof | |
| Collins | Defects and disorder in carbon nanotubes | |
| Eletskii | Mechanical properties of carbon nanostructures and related materials | |
| US7214303B2 (en) | Cantilever probes for nanoscale magnetic and atomic force microscopy | |
| JP2004325428A (ja) | 棒形状のナノ構造物が付着された信号検出用プローブおよびその製造方法 | |
| KR100697323B1 (ko) | 나노 팁 및 이의 제조방법 | |
| US6452171B1 (en) | Method for sharpening nanotube bundles | |
| JP3557589B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置 | |
| Otsuka et al. | Point-contact current-imaging atomic force microscopy: Measurement of contact resistance between single-walled carbon nanotubes in a bundle | |
| Wu et al. | Evaluation of metallic and semiconducting single-walled carbon nanotube characteristics | |
| JP3536288B2 (ja) | ナノチューブ探針の製造方法 | |
| JP2002214112A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2021177631A (ja) | 金属カルコゲナイドナノチューブに基づく電気機械共振器 | |
| KR100553028B1 (ko) | 막대 형상의 나노 구조물이 부착된 신호 검출용 프로브 및그의 제조방법 | |
| JP4244936B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ装置 | |
| KR20040092100A (ko) | 막대 형상의 나노 구조물이 부착된 다중신호 검출용프로브의 제조방법 | |
| Cumings et al. | Electrical and Mechanical Properties of Nanotubes Determined Using In-situ TEM Probes | |
| Hafner et al. | General and Special Probes in Scanning Microscopies | |
| Zhao et al. | Fabrication of Nanoelectrodes by Cutting Carbon Nanotubes Assembled by Di-Electrophoresis Based on Atomic Force Microscope | |
| Hafner et al. | General and special probes in scanning microscopies | |
| Yu | New tools for nanotechnology and measurement of the mechanical properties of individual carbon nanotubes | |
| Moloni | The Moving Finger Writes: Carbon Nanotubes as AFM Probe Tips |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040108 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040216 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040408 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040506 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |