JP4403871B2 - 光学面の評価方法、および光学部材の製造方法 - Google Patents
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Description
前記計測工程の計測結果に基づいて前記光学面の面形状を微分可能な関数で近似する近似工程と、
前記近似工程で得られた前記微分可能な関数を2回微分して照度ムラ関数を求める微分工程と、
前記微分工程で得られた前記照度ムラ関数に基づいて、前記光学面の面形状誤差に起因して発生する照度ムラを解析的に評価する評価工程とを含むことを特徴とする評価方法を提供する。
前記光学部材の光学面の面形状を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた計測結果に基づいて、前記光学面の面形状を微分可能な関数で近似する近似工程と、
前記近似工程で得られた前記微分可能な関数を2回微分して照度ムラ関数を求める微分工程と
前記微分工程で得られた前記照度ムラ関数に基づいて、前記光学面の面形状誤差に起因して発生する照度ムラを解析的に評価する評価工程と、
前記評価工程の評価結果を管理指標として前記光学部材を製造する製造工程とを含むことを特徴とする製造方法を提供する。
第2形態の製造方法を用いて製造された前記光学部材を介して、前記被照射面または前記被照射面と光学的にほぼ共役な位置に照度分布を形成することを特徴とする照明光学装置を提供する。
図1は、本発明の実施形態にかかる照明光学装置を備えた露光装置の構成を概略的に示す図である。図1において、感光性基板であるウェハWの法線方向に沿ってY軸を、ウェハWに平行な面内において互いに直交する2つの方向に沿ってX軸およびZ軸をそれぞれ設定している。なお、図1では、照明光学装置が通常の円形照明を行うように設定されている。
Z(x)=d(S1/S0)/dx (1)
S1 =Lθ1+S0−Lθ2
=L(θ1−θ2)+S0 (2)
したがって、エネルギ比(S1/S0)は、次の式(3)で表される。
S1/S0=L(θ1−θ2)/S0+1 (3)
θ1 =f’(x1) (4)
θ2 =f’(x2)
=f’(x1+S0) (5)
S1/S0 =L{f’(x1)−f’(x1+S0)}/S0+1 (6)
その結果、エネルギ比(S1/S0)のxに関する一次微分として求められる照度ムラ関数Z(x)は、次の式(7)で表される。
Z(x)=d(S1/S0)/dx
=Lf''(x) (7)
3 回折光学素子
4 ズームレンズ
5 マイクロフライアイレンズ
6 コンデンサー光学系
7 マスクブラインド
8 結像光学系
M マスク
MS マスクステージ
PL 投影光学系
W ウェハ
WS ウェハステージ
Claims (9)
- 光学面の面形状を計測する計測工程と、
前記計測工程の計測結果に基づいて前記光学面の面形状を微分可能な関数で近似する近似工程と、
前記近似工程で得られた前記微分可能な関数を2回微分して照度ムラ関数を求める微分工程と、
前記微分工程で得られた前記照度ムラ関数に基づいて、前記光学面の面形状誤差に起因して発生する照度ムラを解析的に評価する評価工程とを含むことを特徴とする評価方法。 - 光学部材の製造方法において、
前記光学部材の光学面の面形状を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた計測結果に基づいて、前記光学面の面形状を微分可能な関数で近似する近似工程と、
前記近似工程で得られた前記微分可能な関数を2回微分して照度ムラ関数を求める微分工程と
前記微分工程で得られた前記照度ムラ関数に基づいて、前記光学面の面形状誤差に起因して発生する照度ムラを解析的に評価する評価工程と、
前記評価工程の評価結果を管理指標として前記光学部材を製造する製造工程とを含むことを特徴とする製造方法。 - 前記製造工程は、前記光学部材を加工して前記光学部材に光学面を形成する光学面形成工程と、
前記評価工程の評価結果を管理指標として、前記光学面形成工程により形成される光学面の形状を修正する修正工程とを有することを特徴とする請求項2に記載の製造方法。 - 前記修正工程では、前記光学部材を製造する際に用いられる金型を修正することを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
- 前記修正工程では、前記光学部材をフォトリソグラフィにより製造する際に用いられるマスクを修正することを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
- 前記修正工程では、前記光学面形成工程を経た前記光学面の形状を修正することを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記光学部材はマイクロフライアイレンズであることを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記光学部材は、稠密に配置された多数の微小レンズを備えていることを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記計測工程では、前記多数の微小レンズのうち隣り合う2つの微小屈折面の境目を計測することを特徴とする請求項8に記載の製造方法。
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