JP4599632B2 - 照度分布の評価方法、光学部材の製造方法、照度測定装置、露光装置および露光方法 - Google Patents
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Description
前記多項式として、閉区間で直交な一次元のべき多項式を設定する設定工程と、
前記一次元的な照度分布を前記べき多項式で近似して前記べき多項式の各項の係数を求める近似工程とを含むことを特徴とする評価方法を提供する。
前記光学部材を介して形成される二次元的な照度分布を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた前記二次元的な照度分布を所定方向に沿った一次元的な照度分布に変換する変換工程と、
前記一次元的な照度分布を評価するための多項式として、閉区間で直交な一次元のべき多項式を設定する設定工程と、
前記一次元的な照度分布を前記べき多項式で近似して前記べき多項式の各項の係数を求める近似工程と、
前記近似工程で得られた前記各項の係数に関する情報を管理指標として前記光学部材を製造する製造工程とを含むことを特徴とする製造方法を提供する。
前記複数の光学要素が形成する有効領域のうちの複数の部分領域を介してそれぞれ形成される複数の二次元的な照度分布を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた前記複数の二次元的な照度分布を所定方向に沿った複数の一次元的な照度分布にそれぞれ変換する変換工程と、
前記複数の一次元的な照度分布を評価するための多項式として、閉区間で直交な一次元のべき多項式を設定する設定工程と、
前記複数の一次元的な照度分布を前記べき多項式でそれぞれ近似して前記べき多項式の各項について複数組の係数を求める近似工程と、
前記近似工程で得られた前記複数組の係数に関する情報を管理指標として、前記光学部材における各光学要素の形状ばらつきを管理する管理工程とを含むことを特徴とする製造方法を提供する。この場合、前記光学部材はマイクロフライアイレンズであることが好ましい。
第2形態または第3形態の製造方法を用いて製造された前記光学部材を介して、前記被照射面または前記被照射面と光学的にほぼ共役な位置に前記照度分布を形成することを特徴とする照明光学装置を提供する。
前記処理部は、前記照度分布に対応する一次元的な照度分布を、閉区間で直交な一次元のべき多項式で近似して、前記べき多項式の各項の係数を求めることを特徴とする照度測定装置を提供する。
前記感光性基板上または前記感光性基板と光学的にほぼ共役な面における照度分布を多項式で評価して出力するための第7形態の照度測定装置と、
前記照度測定装置の出力に基づいて前記照度分布を調整するための調整手段とを備えていることを特徴とする露光装置を提供する。
第7形態の照度測定装置を用いて、前記感光性基板上または前記感光性基板と光学的にほぼ共役な面における照度分布を多項式で評価する評価工程と、
前記評価工程の評価に基づいて前記照度分布を調整する調整工程とを含むことを特徴とする露光方法を提供する。
前記撮像素子の撮像面の感度ばらつきが前記照度分布の実計測結果に及ぼす影響を補正するためのオフセットを求めるオフセット獲得工程と、
前記照度分布の実計測結果を前記オフセットに基づいて補正する補正工程とを含むことを特徴とする照度計測方法を提供する。
前記照度分布を計測するための撮像素子と、
前記オフセットに基づいて、前記撮像素子で得られた前記照度分布の実計測結果を補正するための処理部とを備えていることを特徴とする照度測定装置を提供する。
前記光学部材を介して所定の照度分布を形成する照度分布形成工程と、
第10形態の照度計測方法を用いて、前記照度分布を計測する計測工程とを含むことを特徴とする製造方法を提供する。
前記複数の光学要素が形成する有効領域のうちの複数の部分領域を介してそれぞれ形成される複数の二次元的な照度分布を所定方向に沿った一次元的な照度分布にそれぞれ変換して、閉区間で直交な一次元のべき多項式で前記一次元的な照度分布をそれぞれ近似して前記べき多項式の各項について複数組の係数を求め、前記複数組の係数の標準偏差の自乗和平方根をRSSとするとき、
RSS≦1%
を満足することを特徴とする光学部材を提供する。
第13形態または第14形態の前記光学部材を介して、前記被照射面または前記被照射面と光学的にほぼ共役な位置に前記照度分布を形成することを特徴とする照明光学装置を提供する。
図1は、本発明の実施形態にかかる照明光学装置を備えた露光装置の構成を概略的に示す図である。図1において、感光性基板であるウェハWの法線方向に沿ってY軸を、ウェハWに平行な面内において互いに直交する2つの方向に沿ってX軸およびZ軸をそれぞれ設定している。なお、図1では、照明光学装置が通常の円形照明を行うように設定されている。
T1(x)=x (2)
Tn+1(x)−2xTn(x)+Tn−1(x)=0 (3)
T2(x)=2x2−1 (4)
T3(x)=4x3−3x (5)
T4(x)=8x4−8x2+1 (6)
I(x)=ΣtiTi(x)
=t0T0(x)+t1T1(x)+t2T2(x)
+t3T3(x)+t4T4(x)・・・ (7)
3 回折光学素子
4 ズームレンズ
5 マイクロフライアイレンズ
7 コンデンサー光学系
8 補正フィルター
9 マスクブラインド
10 結像光学系
20 制御部
21〜24 駆動系
25 照度測定装置
M マスク
MS マスクステージ
PL 投影光学系
W ウェハ
WS ウェハステージ
Claims (28)
- 多項式を用いて一次元的な照度分布を評価する評価方法において、
前記多項式として、閉区間で直交な一次元のべき多項式を設定する設定工程と、
前記一次元的な照度分布を前記べき多項式で近似して前記べき多項式の各項の係数を求める近似工程とを含むことを特徴とする評価方法。 - 前記べき多項式の各項のコントラストが互いにほぼ同じであることを特徴とする請求項1に記載の評価方法。
- 前記べき多項式はチェビシェフ多項式であることを特徴とする請求項1または2に記載の評価方法。
- 二次元的な照度分布を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた前記二次元的な照度分布を所定方向に沿った前記一次元的な照度分布に変換する変換工程とをさらに含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の評価方法。 - 前記計測工程では、撮像素子を用いて前記二次元的な照度分布を計測し、
前記撮像素子の撮像面の感度ばらつきが前記照度分布の実計測結果に及ぼす影響を補正するためのオフセットを求めるオフセット獲得工程と、
前記照度分布の実計測結果を前記オフセットに基づいて補正する補正工程とをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の評価方法。 - 前記オフセット獲得工程は、
前記撮像素子を用いて第1照度分布を計測することにより第1測定データを得る工程と、
撮像面の感度ばらつきの影響を実質的に受けることのない計測手段を用いて前記第1照度分布を計測して第1参照データを得る工程と、
前記撮像素子を用いて前記第1照度分布とは異なる第2照度分布を計測することにより第2測定データを得る工程と、
前記計測手段を用いて前記第2照度分布を計測して第2参照データを得る工程と、
前記第1測定データと前記第2測定データとの差と前記第1参照データと前記第2参照データとの差とがほぼ一致するように、前記第1測定データおよび前記第2測定データの原点と前記第1参照データおよび前記第2参照データの原点とを位置合わせする工程と、
前記第1測定データおよび前記第2測定データの原点と前記第1参照データおよび前記第2参照データの原点とを位置合わせした状態で、前記第1測定データと前記第1参照データとの差および前記第2測定データと前記第2参照データとの差のうちの少なくとも一方に基づいて前記オフセットを設定する設定工程とを含むことを特徴とする請求項5に記載の評価方法。 - 前記設定工程では、前記第1測定データと前記第1参照データとの差と前記第2測定データと前記第2参照データとの差との平均値を前記オフセットとして設定することを特徴とする請求項6に記載の評価方法。
- 光学部材の製造方法において、
前記光学部材を介して形成される二次元的な照度分布を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた前記二次元的な照度分布を所定方向に沿った一次元的な照度分布に変換する変換工程と、
前記一次元的な照度分布を評価するための多項式として、閉区間で直交な一次元のべき多項式を設定する設定工程と、
前記一次元的な照度分布を前記べき多項式で近似して前記べき多項式の各項の係数を求める近似工程と、
前記近似工程で得られた前記各項の係数に関する情報を管理指標として前記光学部材を製造する製造工程とを含むことを特徴とする製造方法。 - 前記光学部材は、二次元的に配列された複数の光学要素を有し、
前記光学部材の前記複数の光学要素は、二次元的な照度分布を重畳的に形成し、
前記計測工程は、前記複数の光学要素が形成する有効領域のうちの複数の部分領域を介してそれぞれ形成される複数の二次元的な照度分布を計測し、
前記変換工程では、前記計測工程で得られた前記複数の二次元的な照度分布を所定方向に沿った複数の一次元的な照度分布にそれぞれ変換し、
前記近似工程では、前記複数の一次元的な照度分布を前記べき多項式でそれぞれ近似して前記べき多項式の各項について複数組の係数を求め、
前記製造工程では、前記近似工程で得られた前記複数組の係数に関する情報を管理指標とすることを特徴とする請求項8に記載の製造方法。 - 二次元的に配列された複数の光学要素を有し、各光学要素を介した光束が二次元的な照度分布を重畳的に形成するように構成された光学部材の製造方法において、
前記複数の光学要素が形成する有効領域のうちの複数の部分領域を介してそれぞれ形成される複数の二次元的な照度分布を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた前記複数の二次元的な照度分布を所定方向に沿った複数の一次元的な照度分布にそれぞれ変換する変換工程と、
前記複数の一次元的な照度分布を評価するための多項式として、閉区間で直交な一次元のべき多項式を設定する設定工程と、
前記複数の一次元的な照度分布を前記べき多項式でそれぞれ近似して前記べき多項式の各項について複数組の係数を求める近似工程と、
前記近似工程で得られた前記複数組の係数に関する情報を管理指標として、前記光学部材における各光学要素の形状ばらつきを管理する管理工程とを含むことを特徴とする製造方法。 - 前記光学部材はマイクロフライアイレンズであることを特徴とする請求項9または10に記載の製造方法。
- 前記マイクロフライアイレンズは、第1方向に沿って所定のピッチで配列された第1の1次元シリンドリカルレンズアレイと、前記第1方向と交差する第2方向に沿って所定のピッチで配列された第2の1次元シリンドリカルレンズアレイとを備えることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
- 前記べき多項式の各項のコントラストが互いにほぼ同じであることを特徴とする請求項8乃至12のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記べき多項式はチェビシェフ多項式であることを特徴とする請求項8乃至13のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記計測工程では、撮像素子を用いて前記二次元的な照度分布を計測し、
前記撮像素子の撮像面の感度ばらつきが前記照度分布の実計測結果に及ぼす影響を補正するためのオフセットを求めるオフセット獲得工程と、
前記照度分布の実計測結果を前記オフセットに基づいて補正する補正工程とをさらに含むことを特徴とする請求項8乃至14のいずれか1項に記載の製造方法。 - 前記オフセット獲得工程は、
第1の光学部材を介して形成される第1照度分布を前記撮像素子を用いて計測することにより第1測定データを得る工程と、
撮像面の感度ばらつきの影響を実質的に受けることのない計測手段を用いて前記第1照度分布を計測して第1参照データを得る工程と、
第2の光学部材を介して形成される第2照度分布を前記撮像素子を用いて計測することにより第2測定データを得る工程と、
前記計測手段を用いて前記第2照度分布を計測して第2参照データを得る工程と、
前記第1測定データと前記第2測定データとの差と前記第1参照データと前記第2参照データとの差とがほぼ一致するように、前記第1測定データおよび前記第2測定データの原点と前記第1参照データおよび前記第2参照データの原点とを位置合わせする工程と、
前記第1測定データおよび前記第2測定データの原点と前記第1参照データおよび前記第2参照データの原点とを位置合わせした状態で、前記第1測定データと前記第1参照データとの差および前記第2測定データと前記第2参照データとの差のうちの少なくとも一方に基づいて前記オフセットを設定する設定工程とを含むことを特徴とする請求項15に記載の製造方法。 - 前記設定工程では、前記第1測定データと前記第1参照データとの差と前記第2測定データと前記第2参照データとの差との平均値を前記オフセットとして設定することを特徴とする請求項16に記載の製造方法。
- 前記管理工程では、前記複数組の係数の標準偏差の自乗和平方根を前記管理指標とすることを特徴とする請求項8乃至17のいずれか1項に記載の製造方法。
- 照度分布を計測するための光検出器と、該光検出器からの信号に基づいて前記照度分布を多項式で評価して出力するための処理部とを備えた照度測定装置であって、
前記処理部は、前記照度分布に対応する一次元的な照度分布を、閉区間で直交な一次元のべき多項式で近似して、前記べき多項式の各項の係数を求めることを特徴とする照度測定装置。 - 前記べき多項式の各項のコントラストが互いにほぼ同じであることを特徴とする請求項19に記載の照度測定装置。
- 前記べき多項式はチェビシェフ多項式であることを特徴とする請求項19または20に記載の照度測定装置。
- 前記処理部は、前記光検出器としての撮像素子の撮像面の感度ばらつきが前記照度分布の実計測結果に及ぼす影響を補正するためのオフセットを求め、前記照度分布の実計測結果を前記オフセットに基づいて補正することを特徴とする請求項19乃至21のいずれか1項に記載の照度測定装置。
- 前記処理部は、前記撮像素子を用いて第1照度分布を計測することにより第1測定データを取得し、撮像面の感度ばらつきの影響を実質的に受けることのない計測手段を用いて前記第1照度分布を計測して第1参照データを取得し、前記撮像素子を用いて前記第1照度分布とは異なる第2照度分布を計測することにより第2測定データを取得し、前記計測手段を用いて前記第2照度分布を計測して第2参照データを取得し、前記第1測定データと前記第2測定データとの差と前記第1参照データと前記第2参照データとの差とがほぼ一致するように、前記第1測定データおよび前記第2測定データの原点と前記第1参照データおよび前記第2参照データの原点とを位置合わせし、前記第1測定データおよび前記第2測定データの原点と前記第1参照データおよび前記第2参照データの原点とを位置合わせした状態で、前記第1測定データと前記第1参照データとの差および前記第2測定データと前記第2参照データとの差のうちの少なくとも一方に基づいて前記オフセットを設定することを特徴とする請求項22に記載の照度測定装置。
- 前記処理部は、前記第1測定データと前記第1参照データとの差と前記第2測定データと前記第2参照データとの差との平均値を前記オフセットとして設定することを特徴とする請求項23に記載の照度測定装置。
- マスクのパターンを感光性基板上へ露光する露光装置において、
前記感光性基板上または前記感光性基板と光学的にほぼ共役な面における照度分布を多項式で評価して出力するための請求項19乃至24のいずれか1項に記載の照度測定装置と、
前記照度測定装置の出力に基づいて前記照度分布を調整するための調整手段とを備えていることを特徴とする露光装置。 - 前記マスクのパターン像を前記感光性基板上に形成するための投影光学系をさらに備え、
前記投影光学系に対して前記マスクおよび前記感光性基板を走査方向に沿って相対移動させつつ前記マスクのパターンを前記感光性基板に転写するように構成され、
前記照度測定装置は、前記照度分布を前記走査方向と直交する走査直交方向に沿った前記一次元的な照度分布に変換することを特徴とする請求項25に記載の露光装置。 - マスクのパターンを感光性基板上へ露光する露光方法において、
請求項19乃至24のいずれか1項に記載の照度測定装置を用いて、前記感光性基板上または前記感光性基板と光学的にほぼ共役な面における照度分布を多項式で評価する評価工程と、
前記評価工程の評価に基づいて前記照度分布を調整する調整工程とを含むことを特徴とする露光方法。 - 前記マスクのパターン像を前記感光性基板上に形成する投影光学系に対して前記マスクおよび前記感光性基板を走査方向に沿って相対移動させつつ前記マスクのパターンを前記感光性基板に転写する工程を含み、
前記評価工程では、前記照度分布を前記走査方向と直交する走査直交方向に沿った前記一次元的な照度分布に変換することを特徴とする請求項27に記載の露光方法。
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