JP4394134B2 - Cleaning method inside gas container - Google Patents
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Description
本発明は、高純度の製品ガスが充填される耐圧性のガス容器内から水分、パーティクル、その他の汚染物質を除去するガス容器内部の洗浄方法に関する。 The present invention relates to a method for cleaning the inside of a gas container that removes moisture, particles, and other contaminants from a pressure-resistant gas container filled with a high-purity product gas.
一般に、天然ガスや酸素など工業上使用されるガスは、耐圧性のガス容器に充填して出荷されている。その種のガス容器は、ガスの使用後に回収して繰り返し利用されるが、回収した空のガス容器に製品ガスを充填する際には、適宜洗浄処理が施され、これにより製品ガスの純度、清浄度を保障している。 Generally, industrially used gases such as natural gas and oxygen are shipped in a pressure-resistant gas container. Such gas containers are collected and reused after the use of the gas, but when the collected empty gas container is filled with the product gas, it is appropriately subjected to a cleaning treatment, whereby the purity of the product gas, Ensures cleanliness.
従来、係る洗浄処理には加熱真空法が多用されてきた。詳しくは、ガス容器を電気ヒータ等により加熱しながら、真空ポンプを用いてガス容器内を真空引きし、ガス容器内に含まれる水分、パーティクル、その他の汚染物質を排気流に乗せて外部に排出するという方法が採られていた。 Conventionally, a heating vacuum method has been frequently used for such cleaning treatment. Specifically, while heating the gas container with an electric heater, etc., the inside of the gas container is evacuated using a vacuum pump, and moisture, particles, and other contaminants contained in the gas container are placed on the exhaust flow and discharged to the outside. The method of doing was taken.
しかし、真空引きを続行する方法では、排気能力の大きい真空ポンプを必要とする上、排気の流速を上げることが難しく、処理の終盤ではガス容器内での気流が分子流となるので、ガス容器の内壁に付着した汚染物質を洗い流す効果は低い。 However, the method of continuing evacuation requires a vacuum pump with a large exhaust capacity, and it is difficult to increase the exhaust flow rate, and the gas flow in the gas container becomes a molecular flow at the end of the process. The effect of washing away the contaminants adhering to the inner wall is low.
そこで、近年では、ガス容器のバルブ装着口に所定のバルブ(実バルブ)を装着し、その実バルブを通じて真空排気と窒素ガス注入による大気圧迄の圧戻しとを複数回行うようにしている(例えば、特許文献1)。 Therefore, in recent years, a predetermined valve (actual valve) is mounted on the valve mounting port of the gas container, and vacuum exhaust and pressure return to atmospheric pressure by nitrogen gas injection are performed a plurality of times through the actual valve (for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に開示されるような真空洗浄方法によれば、ガス容器内に対する洗浄ガス(窒素ガス)の供給と排気が一口の実バルブを介して交互に行われるため、ガス容器内の全域に連続した高速の気流が生じず、ガス容器内に気流が殆ど発生しない箇所が生ずるので、ガス容器内から汚染物質を良好に排出できないという問題があった。
However, according to the vacuum cleaning method disclosed in
しかも、実バルブを装着しての洗浄では、実バルブの熱劣化や安全弁を成す可溶金属の溶解を防止する上でガス容器を高温加熱することができず、100℃程度までの加熱が限界とされていることから、ガス容器内から水分を排除するのに時間を要する。 Moreover, in cleaning with an actual valve, the gas container cannot be heated at a high temperature in order to prevent heat deterioration of the actual valve and dissolution of the soluble metal forming the safety valve, and heating up to about 100 ° C is the limit. Therefore, it takes time to remove moisture from the gas container.
尚、特許文献1では、真空洗浄の前工程として、注水耐圧検査の終わったガス容器内を乾燥させるために、ガス容器内にバルブ装着口(開口部)から管状の供給ノズルを挿入し、その供給ノズルを通じてガス容器内に乾燥気体を供給する方法が開示されているが、その乾燥気体はバルブ装着口と供給ノズルとの隙間から外部に自然流出されるので、ガス容器内を乾燥させるまでに多くの時間と乾燥気体を費やしてしまう上、乾燥気体の供給はガス容器内を大気中に開放した状態で行われるので、その乾燥気体によりガス容器の内壁に付着した汚染物質を脱離させることは困難である。
In
本発明は以上のような事情に鑑みて成されたものであり、その目的は可及的少量の洗浄ガスにより、ガス容器内を短時間で良好に洗浄することのできる方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the circumstances as described above, and an object of the present invention is to provide a method that can clean the inside of a gas container well in a short time with as little cleaning gas as possible. is there.
本発明は上記目的を達成するため、長さ方向一端に、実バルブが装着されるバルブ装着口を有するガス容器の内部に対し、窒素ガス又は不活性ガスから成る洗浄ガスを給排してガス容器の内部を洗浄する方法であり、
前記バルブ装着口に、前記実バルブに代えて給気口と排気口とを有する口金を装着し、その口金には予め前記給気口と前記排気口との何れか一方に連通して前記バブル装着口から前記ガス容器の内底部付近まで達する長さを有するノズル管を接続しておく一方、
前記口金の給気口に前記洗浄ガスの供給源を配管接続すると共に、前記口金の排気口に吸気装置を配管接続し、
前記ガス容器を加熱装置により外部から加熱した状態で、前記吸気装置により前記口金の排気口を通じて前記ガス容器内からの強制排気を連続して行って前記ガス容器内を真空減圧状態に維持しながら、前記供給源から前記口金の給気口を通じて前記ガス容器内に洗浄ガスを断続的に供給した後、
前記吸気装置を停止して前記ガス容器内に洗浄ガスの供給のみを行って当該ガス容器内を大気圧以上にしてから、前記口金を取り外して前記バルブ装着口に前記実バルブを装着することを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention supplies and discharges a cleaning gas composed of nitrogen gas or inert gas to and from the inside of a gas container having a valve mounting port to which an actual valve is mounted at one end in the lengthwise direction. A method of cleaning the inside of the container,
In place of the actual valve, a base having an air supply port and an exhaust port is attached to the valve mounting port, and the bubble communicates with either the air supply port or the exhaust port in advance. While connecting a nozzle tube having a length reaching from the mounting port to the vicinity of the inner bottom of the gas container,
While connecting the supply source of the cleaning gas to the air supply port of the base, connecting an intake device to the exhaust port of the base,
Wherein in a state where the externally heated by a gas container with a heating device, keeping the intake system by the said gas container I forcibly evacuated by successive rows from the gas container through the exhaust port of the mouthpiece in a vacuum reduced pressure while, after intermittently supplying the cleaning gas from the supply source to the gas container through the air inlet of the mouthpiece,
The intake device is stopped and only the supply of the cleaning gas into the gas container is performed to bring the inside of the gas container to atmospheric pressure or higher, and then the base is removed and the actual valve is mounted to the valve mounting port. Features.
又、長さ方向一端に、実バルブが装着されるバルブ装着口を有するガス容器の内部に対し、窒素ガス又は不活性ガスから成る洗浄ガスを給排してガス容器の内部を洗浄する方法であり、In addition, the inside of the gas container is cleaned by supplying and discharging a cleaning gas composed of nitrogen gas or inert gas to the inside of the gas container having a valve mounting port to which the actual valve is mounted at one end in the length direction. Yes,
前記バルブ装着口に、前記実バルブに代えて給気口と排気口とを有する口金を装着し、その口金には予め前記給気口と前記排気口との何れか一方に連通して前記バブル装着口から前記ガス容器の内底部付近まで達する長さを有するノズル管を接続しておく一方、In place of the actual valve, a base having an air supply port and an exhaust port is attached to the valve mounting port, and the bubble communicates with either the air supply port or the exhaust port in advance. While connecting a nozzle tube having a length reaching from the mounting port to the vicinity of the inner bottom of the gas container,
前記口金の給気口に前記洗浄ガスの供給源を配管接続すると共に、前記口金の排気口に吸気装置を配管接続し、While connecting the supply source of the cleaning gas to the air supply port of the base, connecting an intake device to the exhaust port of the base,
前記ガス容器を加熱装置により外部から加熱した状態で、前記吸気装置により前記口金の排気口を通じて前記ガス容器内からの強制排気を連続して行う一方、前記吸気装置による強制排気に遅れて前記供給源から前記口金の給気口を通じて前記ガス容器内に洗浄ガスを連続して供給し、その供給流量と前記吸気装置による排気流量とを均衡させて前記ガス容器内を真空減圧状態に維持しながら前記洗浄ガスの給排を連続して行った後、While the gas container is heated from the outside by a heating device, forced exhaust from the gas container is continuously performed by the intake device through the exhaust port of the base, while the supply is delayed from the forced exhaust by the intake device. A cleaning gas is continuously supplied from the source into the gas container through the supply port of the base, and the supply flow rate and the exhaust flow rate by the intake device are balanced to maintain the inside of the gas container in a vacuum reduced pressure state. After continuously supplying and discharging the cleaning gas,
前記吸気装置を停止して前記ガス容器内に洗浄ガスの供給のみを行って当該ガス容器内を大気圧以上にしてから、前記口金を取り外して前記バルブ装着口に前記実バルブを装着することを特徴とする。The intake device is stopped and only the supply of the cleaning gas into the gas container is performed to bring the inside of the gas container to atmospheric pressure or higher, and then the base is removed and the actual valve is mounted to the valve mounting port. Features.
更に、前記供給源からガス容器内に対する洗浄ガスの供給と、前記吸気装置によるガス容器内からの強制排気とを行うガス給排工程に際し、前記ガス容器を超音波発生器から放射される超音波により外部から励振させることを特徴とする。 Further, in the gas supply / discharge process of supplying the cleaning gas from the supply source to the inside of the gas container and forcibly exhausting the gas container from the inside of the gas container, the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic generator is emitted from the ultrasonic container. It is characterized by exciting from the outside.
本発明によれば、ガス容器のバルブ装着口に給気口と排気口とを有する口金を装着し、その給気口と排気口とを通じて洗浄ガスの給排を行うようにしていることから、ガス容器内を真空減圧下で洗浄することができ、このためガス容器の内壁に付着した水分その他の汚染物質を脱離させ易く、しかも給気口と排気口とを通じてガス容器内に連続した気流を発生させることができるので、ガス容器内から水分その他の汚染物質を良好に排出することができる。 According to the present invention, a base having a supply port and an exhaust port is mounted on the valve mounting port of the gas container, and the cleaning gas is supplied and discharged through the supply port and the exhaust port. The inside of the gas container can be cleaned under vacuum and reduced pressure, so it is easy to remove moisture and other contaminants adhering to the inner wall of the gas container, and the air flow continues into the gas container through the air supply and exhaust ports. Therefore, moisture and other contaminants can be discharged well from the gas container.
又、ガス容器に装着された口金の給気口と排気口との何れか一方には、バルブ装着口からガス容器の内底部付近まで達する長さを有するノズル管が接続されることから、ガス容器内の全域に連続した高速の気流を形成し、ガス容器内から水分その他の汚染物質を短時間で良好に排出することができ、延いては洗浄ガスの使用量を大幅に削減することができる。 In addition, a nozzle tube having a length reaching from the valve mounting port to the vicinity of the inner bottom of the gas container is connected to either the air supply port or the exhaust port of the base mounted on the gas container. A continuous high-speed air flow is formed in the entire area of the container, and moisture and other pollutants can be discharged from the gas container in a short time, which in turn can greatly reduce the amount of cleaning gas used. it can.
しかも、ガス容器のバルブ装着口に実バルブに代わる口金を装着して洗浄を行うことから、ガス容器の加熱による実バルブへの悪影響を気にせずガス容器を高温加熱して、水分の気化を促進し、その排除を効率的に行うことができる。 In addition, since the base instead of the actual valve is attached to the valve mounting port of the gas container for cleaning, the gas container is heated to a high temperature without worrying about the adverse effect on the actual valve due to the heating of the gas container, thereby evaporating moisture. Can be promoted and eliminated efficiently.
特に、吸気装置による強制排気によりガス容器内を真空減圧状態に維持しながら、ガス容器内に対する洗浄ガスの供給を断続して行うか、若しくは吸気装置による強制排気に遅れてガス容器内に洗浄ガスを連続して供給すると共に、その供給流量と吸気装置による排気流量とを均衡させてガス容器内を真空減圧状態に維持するようにしていることから、ガス容器の内壁から付着物を脱離させる効果を上げることができる。 In particular, while the gas container is maintained in a vacuum decompression state by forced exhaust by the intake device, the supply of the cleaning gas to the gas container is intermittently performed, or the cleaning gas is delayed in the gas container after the forced exhaust by the intake device. Is continuously supplied, and the supply flow rate and the exhaust flow rate by the intake device are balanced to maintain the inside of the gas container in a vacuum pressure-reduced state, so that the deposits are desorbed from the inner wall of the gas container. The effect can be improved.
加えて、ガス容器に対する洗浄ガスの給排工程に際し、ガス容器を加熱装置により外部から加熱し、更にはガス容器を超音波発生器から放射される超音波により外部から励振させるようにしていることから、ガス容器の内壁から付着物を脱離させる効果を更に上げることができる。 In addition, in the process of supplying and discharging the cleaning gas to and from the gas container, the gas container is heated from the outside by a heating device, and further, the gas container is excited from the outside by the ultrasonic waves emitted from the ultrasonic generator. Therefore, the effect of detaching the deposits from the inner wall of the gas container can be further increased.
以下、本発明の適用例を図面に基づいて詳細に説明する。図1において、1は製品ガスが未充填の耐圧性のガス容器であり、その長さ方向一端側は頚部1aとして直径が縮小され、その端部は内周に雌ねじを形成したバルブ装着口1bとして開口されている。尚、そのバルブ装着口1bには、製品ガスの漏出を防止するため後述の如く封止用の実バルブが装着されるが、本願発明では製品ガスの充填前にガス容器1内を洗浄するべく実バルブに代えてバルブ装着口1bに所定の口金2を装着する。
Hereinafter, application examples of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In FIG. 1,
口金2は、一端外周にバルブ装着口1bの雌ねじと結合する雄ねじを形成した中空の金具で、その部位には給気口2aと排気口2bが穿設されている。特に、給気口2aには口金2の内部を通じてノズル管3の一端が接続され、そのノズル管3が給気口2aに対して連通されている。
The
ノズル管3は、ステンレス鋼などの耐食性を有するストレート状の硬質管であり、その長さはガス容器1の全長と略同じに設定され、ガス容器1のバルブ装着口1bに口金2を装着したとき、ノズル管3がバルブ装着口1bからガス容器1の中心を通ってその内底部付近まで達するようにしてある。
The
一方、口金2の外周において、給気口2a及び排気口2bにはそれぞれ手動式のバルブ4,5(例えば止め弁)が取り付けられ、給気口2aにはバルブ4を介して洗浄ガスの供給源6が配管接続される。洗浄ガス供給源6は、実質的に水分を含まない高純度の洗浄ガスが充填されたボンベ或いはコールドエバポレータであり、その内部には洗浄ガスとして例えば清浄な窒素ガスや液化窒素が高圧で充填されている。
On the other hand, on the outer periphery of the
図1において、7は洗浄ガス供給源6と口金2の給気口2aとを繋ぐ給気用の管路であり、この管路7にはガス容器1内に供給される洗浄ガスの流量を調整するための制御ユニット8が組み込まれる。制御ユニット8は、管路7に取り付けられる制御弁8a、圧力センサ8b、流量センサ8c、及び圧力センサ8bや流量センサ8cの出力信号に基づいて制御弁8aを作動させる制御部8dを含んで構成される。尚、制御ユニット8は2つの制御モード(第1モードおよび第2モード)を有し、「第1モード」では、圧力センサ8bの出力信号に基づいて制御弁8aの開閉制御が行われ、「第2モード」では、流量センサ8cの出力信号に基づいてガス容器1に対する洗浄ガスの供給流量が後述の吸気装置9による排気流量に均衡するよう制御弁8aの開度調整が行われるようになっている。
In FIG. 1,
又、排気口2bには、バルブ5を介して上述の吸気装置9が配管接続される。本例において、吸気装置9は回転式の真空ポンプであり、その排気能力は450L/minとされる。尚、図1において、10は吸気装置9と口金2の排気口2bとを繋ぐ排気用の管路である。
The above-described
ここで、以上のような口金2などを用い、製品ガス充填前のガス容器1内を洗浄する具体的な方法を説明する。
Here, a specific method of cleaning the inside of the
先ず、ガス容器1のバルブ装着口1bに対して口金2を装着し、その給気口2aに連通するノズル管3をガス容器1内に挿入する。尚、口金2の装着時には、給気口2aと排気口2bに取り付けたバルブ4,5から管路7,10をそれぞれ切り離し、口金2をトルクレンチなどによりバルブ装着口1bに所定のトルクで強固に締め付ける。又、口金2の装着後には、給気口2aにバルブ4を介して給気用管路7を接続する一方、排気口2bにバルブ5を介して排気用管路10を接続する。しかして、係るガス容器1の内部を洗浄するためにガス給排工程を開始する。
First, the
ガス給排工程では、先ずバルブ4,5の双方を開き、次いで吸気装置9を駆動してガス容器1内から連続して強制排気を行う一方、そのガス容器1内に対して洗浄ガス供給源6から口金2の給気口2aを通じて洗浄ガス(清浄な窒素ガス)の供給を行う。これによれば、給気口2aに達した洗浄ガスがノズル管3内を通じてガス容器1内の底部に放出され、これが排気口2bを通じてガス容器1の上部から排出されることにより、ガス容器1内の全域にその底部から上部に向かう高速の気流が形成される。この結果、ガス容器1の内壁から水分その他の汚染物質が脱離され、これが洗浄ガス中に拡散した状態で排気口2bから外部に排出される。
In the gas supply / exhaust process, first, both
特に、係るガス給排工程には、洗浄ガスの供給を断続して行う方式と、連続して行う方式が適用される。 In particular, in the gas supply / discharge process, a method of intermittently supplying the cleaning gas and a method of continuously performing the cleaning gas are applied.
洗浄ガスの供給を断続する方式では、制御ユニット8を上記の「第1モード」に設定し、吸気装置9によりガス容器1内から一定流量で連続して強制排気しながら、給気側の制御弁8aを開閉してガス容器1内に洗浄ガスを断続して供給する。尚、制御弁8aは圧力センサ8bにより検出されるガス容器1内の圧力が所定の下限圧(例えば、30hPa)に達すると開放し、その開放から一定時間経過後あるいはガス容器1内の圧力が所定の上限圧(例えば、300hPa)に達すると閉鎖するよう制御されるのであり、このためガス容器1内の全域に高速の気流を形成したまま、その内部を真空減圧状態に維持することができる。
In the method of intermittently supplying the cleaning gas, the
一方、洗浄ガスの供給を連続する方式では、制御ユニット8を上記の「第2モード」に設定し、吸気装置9によりガス容器1内から一定流量で連続して強制排気しながら、吸気装置9による強制排気に遅れてガス容器1内に洗浄ガスを連続して供給すると共に、その供給流量と吸気装置9による排気流量とを均衡させてガス容器1内を真空減圧状態に維持する。つまり、同方式では、先行して行われる強制排気によりガス容器1内が所定の圧力まで減じられた段階で、ガス容器1内に対する洗浄ガスの供給を排気流量と同じ流量で開始し、ガス容器1内を洗浄ガス供給開始時点の圧力に保ったまま洗浄ガスの給排を行う。
On the other hand, in the system in which the supply of the cleaning gas is continued, the
ここに、上記いずれの方式もガス容器1内を真空減圧状態に維持しながら洗浄ガスの給排を行うことから、ガス容器1の内壁に付着した水分の気化を促進し、これを洗浄ガス中に分散させてガス容器1内から効率よく排出することができる。
Here, in any of the above methods, since the cleaning gas is supplied and discharged while maintaining the inside of the
尚、以上のようなガス給排工程に際し、図1に示されるような上部開口する加熱装置11(円筒状の外胴内に抵抗発熱体などを設けた電気ヒータ)にガス容器1を収容し、当該ガス容器1を外部から加熱することが好ましく、これによれば低圧下における加熱容器1内での水分の気化を更に促進し、これを洗浄ガスに含ませてガス容器1から効率よく排出することができる。特に、ガス容器1には実バルブが装着されていないので、加熱装置11による加熱温度を200℃程度まで上げることが可能になる。
In the gas supply / exhaust process as described above, the
又、以上のようなガス給排工程に際し、ガス容器1を超音波発生器12から放射される超音波により外部から励振させることが好ましく、これによればガス容器1の内壁からパーティクルや腐食物を脱離させる効果を上げることができる。特に、ガス容器1を超音波により励振させるとき、これを図1のように宙吊りにしておくことが好ましく、これによればガス容器1の全体に超音波エネルギーを良好に伝搬せしめることができる。
Further, in the gas supply / discharge process as described above, it is preferable that the
尚、加熱装置11と超音波発生器12とを併用し、ガス容器1の加熱、励振を同時に行うことが好ましいが、そのいずれか一方のみを行うようにしてもよい。
In addition, although it is preferable to use the
ここで、以上のような洗浄処理を所要時間施したら、吸気装置9を停止してガス容器1内に洗浄ガスの供給のみを行ってガス容器1内を大気圧(約0.1MPa)以上にした後、バルブ4,5を閉め、管路7,10を切り離し、次いで加熱装置11内からガス容器1を搬出し、これを図示せぬ転倒機により図2のように横倒しにする。そして、口金2を緩め、その過程でガス容器1内から洗浄ガスの漏れ出しを確認したら、口金2をバルブ装着口1bから取り外し、好ましくはこの段階で給気口2aに管路7を再接続し、ガス容器1内に挿入されたままのノズル管3を通じて洗浄ガスをガス容器1内に供給しながら当該ノズル管3をガス容器1内から徐々に引き抜いて行く。
Here, when the above-described cleaning process is performed for the required time, the
そして、ノズル管3を抜き終えたら、ガス容器1のバルブ装着口1bに対し、図3に示すよう実バルブ13を装着する。
When the
尚、実バルブ13が装着されたガス容器1には、その後、所定の製品ガスが充填されるが、洗浄処理済みのガス容器1内の清浄度を確認するため、ガス容器1内の露点測定を行ったところ、従来の加熱真空法において処理時間90分で露点が−79.1℃であったのに対し、本発明に係る方法では、処理時間40分で露点が−90.2℃という好適な結果が得られた。但し、測定に供したガス容器1の内部洗浄では、超音波による励振は行わず、ガス容器1の加熱温度は従来の加熱真空法と同じ100℃とし、ガス給排工程には洗浄ガスを断続供給する方式を採用した。
The
以上、本発明について説明したが、洗浄ガスは窒素ガスに限らず、アルゴンガスその他の不活性ガスを用いることができる。又、上記例ではノズル管3を給気口2aに連通させたが、これを排気口2bに連通させてもよく、この場合でもガス容器1内を真空減圧状態に維持しながらガス容器1内の全域に連続した高速の気流を形成してガス容器1内を良好に洗浄することができる。
Although the present invention has been described above, the cleaning gas is not limited to nitrogen gas, and argon gas or other inert gas can be used. In the above example, the
1 ガス容器
1b バルブ装着口
2 口金
2a 給気口
2b 排気口
3 ノズル管
6 洗浄ガス供給源
9 吸気装置
11 加熱装置
12 超音波発生器
13 実バルブ
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記バルブ装着口に、前記実バルブに代えて給気口と排気口とを有する口金を装着し、その口金には予め前記給気口と前記排気口との何れか一方に連通して前記バブル装着口から前記ガス容器の内底部付近まで達する長さを有するノズル管を接続しておく一方、
前記口金の給気口に前記洗浄ガスの供給源を配管接続すると共に、前記口金の排気口に吸気装置を配管接続し、
前記ガス容器を加熱装置により外部から加熱した状態で、前記吸気装置により前記口金の排気口を通じて前記ガス容器内からの強制排気を連続して行って前記ガス容器内を真空減圧状態に維持しながら、前記供給源から前記口金の給気口を通じて前記ガス容器内に洗浄ガスを断続的に供給した後、
前記吸気装置を停止して前記ガス容器内に洗浄ガスの供給のみを行って当該ガス容器内を大気圧以上にしてから、前記口金を取り外して前記バルブ装着口に前記実バルブを装着することを特徴とするガス容器内部の洗浄方法。 It is a method of cleaning the inside of the gas container by supplying and discharging a cleaning gas composed of nitrogen gas or inert gas to the inside of the gas container having a valve mounting port to which the actual valve is mounted at one end in the length direction.
In place of the actual valve, a base having an air supply port and an exhaust port is attached to the valve mounting port, and the bubble communicates with either the air supply port or the exhaust port in advance. While connecting a nozzle tube having a length reaching from the mounting port to the vicinity of the inner bottom of the gas container,
While connecting the supply source of the cleaning gas to the air supply port of the base, connecting an intake device to the exhaust port of the base,
Wherein in a state where the externally heated by a gas container with a heating device, keeping the intake system by the said gas container I forcibly evacuated by successive rows from the gas container through the exhaust port of the mouthpiece in a vacuum reduced pressure while, after intermittently supplying the cleaning gas from the supply source to the gas container through the air inlet of the mouthpiece,
The intake device is stopped and only the supply of the cleaning gas into the gas container is performed to bring the inside of the gas container to atmospheric pressure or higher, and then the base is removed and the actual valve is mounted to the valve mounting port. A method for cleaning the inside of a gas container.
前記バルブ装着口に、前記実バルブに代えて給気口と排気口とを有する口金を装着し、その口金には予め前記給気口と前記排気口との何れか一方に連通して前記バブル装着口から前記ガス容器の内底部付近まで達する長さを有するノズル管を接続しておく一方、
前記口金の給気口に前記洗浄ガスの供給源を配管接続すると共に、前記口金の排気口に吸気装置を配管接続し、
前記ガス容器を加熱装置により外部から加熱した状態で、前記吸気装置により前記口金の排気口を通じて前記ガス容器内からの強制排気を連続して行う一方、前記吸気装置による強制排気に遅れて前記供給源から前記口金の給気口を通じて前記ガス容器内に洗浄ガスを連続して供給し、その供給流量と前記吸気装置による排気流量とを均衡させて前記ガス容器内を真空減圧状態に維持しながら前記洗浄ガスの給排を連続して行った後、
前記吸気装置を停止して前記ガス容器内に洗浄ガスの供給のみを行って当該ガス容器内を大気圧以上にしてから、前記口金を取り外して前記バルブ装着口に前記実バルブを装着することを特徴とするガス容器内部の洗浄方法。 It is a method of cleaning the inside of the gas container by supplying and discharging a cleaning gas composed of nitrogen gas or inert gas to the inside of the gas container having a valve mounting port to which the actual valve is mounted at one end in the length direction.
In place of the actual valve, a base having an air supply port and an exhaust port is attached to the valve mounting port, and the bubble communicates with either the air supply port or the exhaust port in advance. While connecting a nozzle tube having a length reaching from the mounting port to the vicinity of the inner bottom of the gas container,
While connecting the supply source of the cleaning gas to the air supply port of the base, connecting an intake device to the exhaust port of the base,
While the gas container is heated from the outside by a heating device , forced exhaust from the gas container is continuously performed by the intake device through the exhaust port of the base, while the supply is delayed from the forced exhaust by the intake device. A cleaning gas is continuously supplied from the source into the gas container through the supply port of the base, and the supply flow rate and the exhaust flow rate by the intake device are balanced to maintain the inside of the gas container in a vacuum reduced pressure state. After continuously supplying and discharging the cleaning gas,
The intake device is stopped and only the supply of the cleaning gas into the gas container is performed to bring the inside of the gas container to atmospheric pressure or higher, and then the base is removed and the actual valve is mounted to the valve mounting port. features and to Ruga scan the vessel interior cleaning method.
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008289968A JP2008289968A (en) | 2008-12-04 |
JP4394134B2 true JP4394134B2 (en) | 2010-01-06 |
Family
ID=40165258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007136261A Expired - Fee Related JP4394134B2 (en) | 2007-05-23 | 2007-05-23 | Cleaning method inside gas container |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4394134B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015059972A1 (en) * | 2013-10-21 | 2015-04-30 | 株式会社トリケミカル研究所 | Method for drying inner face of container |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103495583A (en) * | 2013-09-18 | 2014-01-08 | 中材科技(苏州)有限公司 | Cleaning and drying device |
CN106140762A (en) * | 2016-07-26 | 2016-11-23 | 安徽天地高纯溶剂有限公司 | A kind of high-purity solvent bottle high-efficiency washing device |
CN106178748B (en) * | 2016-07-26 | 2019-01-08 | 安徽天地高纯溶剂有限公司 | A kind of novel high pure solvent bottle washing apparatus |
CN106178749B (en) * | 2016-07-26 | 2019-01-08 | 安徽天地高纯溶剂有限公司 | A kind of high pure solvent bottle washing apparatus convenient for long-time service |
-
2007
- 2007-05-23 JP JP2007136261A patent/JP4394134B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015059972A1 (en) * | 2013-10-21 | 2015-04-30 | 株式会社トリケミカル研究所 | Method for drying inner face of container |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008289968A (en) | 2008-12-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090317 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20090728 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20090814 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091014 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121023 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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