JP4392558B2

JP4392558B2 - Inspection device

Info

Publication number: JP4392558B2
Application number: JP2008009823A
Authority: JP
Inventors: 智雄松下
Original assignee: 智雄松下
Priority date: 2008-01-18
Filing date: 2008-01-18
Publication date: 2010-01-06
Anticipated expiration: 2028-01-18
Also published as: JP2009168758A

Description

本発明は、検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus.

従来、太陽電池用基板や電子回路基板等の平板状の検査対象物における周縁部の割れや欠け等の欠陥を検出する方法として、以下に示す方法が知られている。すなわち、ベルトコンベヤ等の搬送装置上に載置されて搬送される検査対象物に対して、搬送装置の下方に配置される照明装置から光を照射し、搬送装置の上方に配置されるＣＣＤカメラ等の撮像装置により投影像を撮影する方法が知られている。この方法によれば、照明装置から照射された光が検査対象物によって遮られるため、検査対象物の周縁形状が影となって強調されることになり、検査対象物の周縁部における割れや欠け等の欠陥を確認することができる。 Conventionally, the following methods are known as methods for detecting defects such as cracks and chippings in the peripheral portion of flat test objects such as solar cell substrates and electronic circuit boards. That is, a CCD camera that is placed above a transport device by irradiating light from an illumination device disposed below the transport device onto an inspection object that is placed and transported on a transport device such as a belt conveyor A method of capturing a projected image with an imaging device such as the above is known. According to this method, since the light irradiated from the illumination device is blocked by the inspection object, the peripheral shape of the inspection object is emphasized as a shadow, and cracks or chippings in the peripheral part of the inspection object are caused. Such defects can be confirmed.

しかしながら、上述のような方法により検査対象物の周縁部における欠陥を検査する場合、検査対象物を搬送する搬送装置自体が照射光を遮るため、搬送装置と検査対象物とが重なっている部分の周縁部における欠陥の有無を確認することができないという問題があった。また、搬送装置と重なっている検査対象物の周縁部における欠陥の有無を検査するためには、わざわざ、検査対象物を９０°回転させて搬送装置上に載置し直した上、撮像装置による撮影を再度行う必要があり、検査の作業効率が悪いという問題があった。 However, when inspecting the defect in the peripheral portion of the inspection object by the method as described above, since the conveyance device itself that conveys the inspection object blocks the irradiation light, the portion where the conveyance device and the inspection object overlap each other There was a problem that the presence or absence of defects at the peripheral edge could not be confirmed. Further, in order to inspect for the presence or absence of defects in the peripheral portion of the inspection object that overlaps the transport apparatus, the inspection object is purposely rotated by 90 ° and placed on the transport apparatus, and then by the imaging apparatus. There was a problem that it was necessary to perform imaging again, and the work efficiency of the inspection was poor.

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであって、平板状の検査対象物の周縁部における欠陥を効率よく検査できる検査装置の提供を目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an inspection apparatus capable of efficiently inspecting a defect in a peripheral portion of a flat inspection object.

本発明の前記目的は、平板状の検査対象物の周縁部における欠陥を検査する検査装置であって、検査対象物の一方面を支持し上下動可能な支持部を有する支持装置と、前記支持装置の上方に配置され検査対象物の他方面を撮像する撮像装置と、前記支持装置および前記撮像装置の間に配置され、前記撮像装置に向けて光を照射する照明装置とを備えており、前記照明装置は、前記撮像装置の撮像エリア内の所定領域を取り囲むように形成された照射面を有しており、前記支持装置は、前記支持部を上昇させて、前記支持部に支持された検査対象物を、前記照明装置の前記所定領域を介して前記照明装置と前記撮像装置との間に移動させることにより、前記撮像装置により撮像される検査画像において、前記検査対象物の周縁部を前記照射面に重ねるように構成されている検査装置により達成される。 The object of the present invention is an inspection apparatus for inspecting a defect in a peripheral portion of a flat inspection object, the support apparatus having a support part which supports one surface of the inspection object and can move up and down, and the support an imaging device which is disposed above the device for imaging the other surface of the test object, is arranged between the supporting device and the imaging device, and an illumination device for irradiating light toward the imaging device, The illumination device has an irradiation surface formed so as to surround a predetermined area in an imaging area of the imaging device, and the support device is supported by the support portion by raising the support portion. By moving the inspection object between the illumination device and the imaging device through the predetermined area of the illumination device, in the inspection image captured by the imaging device, the peripheral portion of the inspection object is On the irradiated surface It is achieved by the inspection device configured to sleeping such.

また、この検査装置において、前記照明装置は、枠体状に形成されていることが好ましい。 Moreover, in this inspection apparatus, it is preferable that the illumination device is formed in a frame shape.

また、前記照明装置により取り囲まれる前記所定領域の形状は、検査対象物の外形形状と略相似形であることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the shape of the said predetermined area | region enclosed by the said illuminating device is a substantially similar shape with the external shape of a test target object.

また、前記支持装置は、検査対象物を吸引して固定する吸着部を備えていることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the said support apparatus is provided with the adsorption | suction part which attracts | sucks and fixes a test object.

また、前記撮像装置により撮影される検査画像に基づいて、検査対象物の周縁部における欠陥の有無を判定する判定装置を備えることが好ましい。 Moreover, it is preferable to provide the determination apparatus which determines the presence or absence of the defect in the peripheral part of a test object based on the test | inspection image image | photographed with the said imaging device.

本発明によれば、平板状の検査対象物の周縁部における欠陥を効率よく検査できる検査装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the inspection apparatus which can test | inspect efficiently the defect in the peripheral part of a flat test | inspection object can be provided.

以下、本発明に係る検査装置について添付図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態に係る検査装置１の概略構成断面図である。図２は図１のＡ−Ａ断面図であり、図３は図２のＢ−Ｂ断面図である。なお、図３においては、検査対象物を省略して記載している。 Hereinafter, an inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. In FIG. 3, the inspection object is omitted.

本実施形態に係る検査装置１は、太陽電池用基板や電子回路基板等の平板状の検査対象物９の周縁部における欠けや割れ等の欠陥を検査するための装置である。この検査装置１は、図１〜図３に示すように、搬送装置２と、支持装置３と、撮像装置４と、照明装置５と、判定装置６とを備えている。また、検査装置１は、搬送装置２、支持装置３、撮像装置４および照明装置５等の作動を制御する図示しない制御装置を備えている。 The inspection apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for inspecting a defect such as a chip or a crack in a peripheral portion of a flat inspection object 9 such as a solar cell substrate or an electronic circuit substrate. As shown in FIGS. 1 to 3, the inspection device 1 includes a transport device 2, a support device 3, an imaging device 4, an illumination device 5, and a determination device 6. The inspection apparatus 1 also includes a control device (not shown) that controls the operations of the transport device 2, the support device 3, the imaging device 4, the illumination device 5, and the like.

搬送装置２は、平板状の検査対象物９を搬送するベルトコンベヤであり、筐体７上に配設されている。この搬送装置２において検査対象物９が載置される載置面２１の幅（図２における左右方向の長さ）は、検査対象物９の幅（図２における左右方向の長さ）よりも小さくなるように構成されている。また、搬送装置２は、図示しない位置センサーを備えており、検査対象物９が支持装置３の上方の所定位置に搬送された場合に、その駆動を停止するように制御装置により制御されている。また、後述のように支持装置３が、搬送装置２上の検査対象物９を上方に移動させて撮像装置４と照明装置５との間に検査対象物９を配置し、更に検査対象物９を下方に移動させて搬送装置２上に検査対象物９を載置した後に、駆動を再開し検査対象物９を搬送するように制御されている。 The conveying device 2 is a belt conveyor that conveys a flat inspection object 9, and is disposed on the housing 7. The width (length in the left-right direction in FIG. 2) of the mounting surface 21 on which the inspection object 9 is placed in the transport device 2 is larger than the width of the inspection object 9 (length in the left-right direction in FIG. 2). It is comprised so that it may become small. Further, the transport device 2 includes a position sensor (not shown), and is controlled by the control device so as to stop driving when the inspection object 9 is transported to a predetermined position above the support device 3. . Further, as will be described later, the support device 3 moves the inspection object 9 on the transport device 2 upward to dispose the inspection object 9 between the imaging device 4 and the illumination device 5, and further inspects the inspection object 9. Is moved downward, and after placing the inspection object 9 on the transport device 2, the driving is resumed and the inspection object 9 is transported.

支持装置３は、搬送装置２により搬送される検査対象物９の一方面９ａを支持して、検査対象物９を上下方向（図１又は図２の上下方向）に移動させる装置であり、搬送装置２を挟んだ両側にそれぞれ配置されるリフト部３ａ，３ａを備えている。各リフト部３ａは、図４に示すように、検査対象物９の一方面９ａに当接可能な支持面３１ａを有する支持部３１と、当該支持部３１を上下方向に移動可能な上下機構３２とを備えている。各支持部３１は、検査対象物９の一方面９ａであって、搬送装置２の載置面２１からはみ出ている領域の一部分を支持することができる位置に配置されている。各上下機構３２は、筐体７上に配設されており、空気圧によって、矢示Ｃに示すように支持部３１を上下動させる装置である。この各上下機構３２は、共に同期して上下方向に同量移動するように制御装置によって制御されている。また、各上下機構３２は、支持部３１に支持される検査対象物９の周縁部９ｃが、後述のように撮像装置４が撮影した検査画像において、枠体状の照明装置５の照射面５１と重なる位置まで上方に移動できるように構成されていることが好ましい。 The support device 3 is a device that supports the one surface 9a of the inspection object 9 conveyed by the conveyance device 2 and moves the inspection object 9 in the vertical direction (vertical direction in FIG. 1 or FIG. 2). Lift parts 3a and 3a are provided on both sides of the apparatus 2 respectively. As shown in FIG. 4, each lift portion 3 a includes a support portion 31 having a support surface 31 a that can come into contact with one surface 9 a of the inspection object 9, and a vertical mechanism 32 that can move the support portion 31 in the vertical direction. And. Each support portion 31 is disposed on the one surface 9 a of the inspection object 9 at a position where it can support a part of the region protruding from the placement surface 21 of the transport apparatus 2. Each vertical mechanism 32 is a device that is disposed on the housing 7 and moves the support portion 31 up and down as indicated by arrow C by air pressure. The vertical mechanisms 32 are controlled by a control device so as to move in the same amount in the vertical direction in synchronization with each other. In addition, each vertical mechanism 32 has an irradiation surface 51 of the frame-shaped illumination device 5 in the inspection image taken by the imaging device 4 as described later on the peripheral portion 9c of the inspection object 9 supported by the support portion 31. It is preferable to be configured to be able to move upward to a position where it overlaps.

撮像装置４は、例えばＣＣＤカメラ等であり、支持装置３により支持された検査対象物９の他方面９ｂを撮影し、当該他方面９ｂの検査画像を取り込めるような装置である。この撮像装置４は、筐体７に立設された支柱７１，７１の間に設けられたビーム７２に取り付けられており、支持装置３および照明装置５の上方から検査対象物９の他方面９ｂを撮影できるように構成されている。なお、撮像装置４により取得された検査画像のデータは、判定装置６に送られる。 The imaging device 4 is, for example, a CCD camera or the like, and is a device that takes an image of the other surface 9b of the inspection object 9 supported by the support device 3 and captures an inspection image of the other surface 9b. The imaging device 4 is attached to a beam 72 provided between columns 71 and 71 erected on the casing 7, and the other surface 9 b of the inspection object 9 from above the support device 3 and the illumination device 5. It is configured to be able to shoot. The inspection image data acquired by the imaging device 4 is sent to the determination device 6.

照明装置５は、撮像装置４に向けて光を照射するための光源であり、筐体７上に設けられる柱部７３を介して撮像装置４と支持装置３との間に配置されている。照明装置５としては、蛍光灯やハロゲンランプ、発光ダイオード等を例示することができる。この照明装置５は、撮像装置４により撮像される撮像エリア４１を概略的に表す図５に示すように、撮像エリア４１内の所定領域４２を取り囲むように枠体状に形成されている。枠体状の照明装置５により取り囲まれる所定領域４２は、枠体状の照明装置５における開口部に相当する。この照明装置５は、撮像装置４に対向する面の全領域が光を照射する照射面５１となるように形成されている。また、照明装置５が取り囲む撮像装置４の撮像エリア４１内の所定領域４２は、検査対象物９の他方面９ｂを撮像装置４に向けた状態のまま検査対象物９が通過できるように、検査対象物９よりも大きくなるように、かつ、当該所定領域４２の形状（枠体状の照明装置５の開口部の形状）が、検査対象物９の外形形状と略相似形となるように形成されている。更に、照明装置５は、支持装置３により上方に持ち上げられる検査対象物９が、照明装置５により取り囲まれる所定領域４２（開口部）を通過できる位置に配置されている。なお、この照明装置５は、常時点灯させておいてもよく、或いは、支持装置３により持ち上げられた検査対象物９が撮像装置４と照明装置５との間の所定位置に配置された場合に点灯するように、制御装置により点灯タイミングを制御してもよい。 The illumination device 5 is a light source for irradiating light toward the imaging device 4, and is disposed between the imaging device 4 and the support device 3 via a pillar portion 73 provided on the housing 7. Examples of the lighting device 5 include a fluorescent lamp, a halogen lamp, and a light emitting diode. The illumination device 5 is formed in a frame shape so as to surround a predetermined region 42 in the imaging area 41, as shown in FIG. 5 schematically showing the imaging area 41 imaged by the imaging device 4. The predetermined region 42 surrounded by the frame-shaped lighting device 5 corresponds to an opening in the frame-shaped lighting device 5. The illumination device 5 is formed so that the entire area of the surface facing the imaging device 4 is an irradiation surface 51 that emits light. Further, the predetermined area 42 in the imaging area 41 of the imaging device 4 surrounded by the illumination device 5 is inspected so that the inspection object 9 can pass with the other surface 9b of the inspection object 9 facing the imaging device 4. The predetermined region 42 is formed so as to be larger than the object 9 and the shape of the predetermined region 42 (the shape of the opening of the frame-shaped lighting device 5) is substantially similar to the outer shape of the inspection object 9. Has been. Further, the illumination device 5 is disposed at a position where the inspection object 9 lifted upward by the support device 3 can pass through a predetermined region 42 (opening) surrounded by the illumination device 5. In addition, this illuminating device 5 may be always turned on, or when the inspection object 9 lifted by the support device 3 is disposed at a predetermined position between the imaging device 4 and the illuminating device 5. You may control a lighting timing by a control apparatus so that it may light.

判定装置６は、撮像装置４により撮像された検査対象物９の他方面９ｂの検査画像に基づいて検査対象物９の周縁部９ｃにおける欠陥を検出する装置である。このような装置として、検査対象物９における欠陥を自動的に検出するための検査プログラムがインストールされたコンピュータを例示することができる。また、この判定装置６は、撮像装置４により撮像した検査画像を表示するディスプレイなどの表示装置を備えている。検査対象物９の周縁部９ｃにおける欠陥を検出する具体的方法は、予め記憶している欠陥のない良品における他方面９ｂの基準画像と、撮像装置４からそれぞれ出力された他方面９ｂの検査画像とを比較することにより行う。仮に、検査面である検査対象物９の他方面９ｂの周縁部９ｃに欠陥があり、これが検査画像に映し出されていると、欠陥の映し出されていない基準画像と比較することで欠陥を検出し、不良品と判定する。逆に、検査画像が基準画像に一致すると良品と判断する。このような判定装置６を有することにより、検査対象物９の周縁部９ｃにおける欠陥の検査を効率よく行うことができる。 The determination device 6 is a device that detects a defect in the peripheral portion 9 c of the inspection target 9 based on the inspection image of the other surface 9 b of the inspection target 9 captured by the imaging device 4. As such an apparatus, a computer in which an inspection program for automatically detecting defects in the inspection object 9 is installed can be exemplified. In addition, the determination device 6 includes a display device such as a display that displays an inspection image captured by the imaging device 4. A specific method for detecting a defect in the peripheral portion 9c of the inspection object 9 includes a reference image of the other surface 9b in a non-defective non-defective product stored in advance and an inspection image of the other surface 9b output from the imaging device 4 respectively. By comparing with. If there is a defect in the peripheral portion 9c of the other surface 9b of the inspection object 9 that is the inspection surface, and this is shown in the inspection image, the defect is detected by comparing with a reference image in which no defect is displayed. Judged as defective. Conversely, if the inspection image matches the reference image, it is determined as a non-defective product. By having such a determination device 6, it is possible to efficiently inspect defects in the peripheral portion 9 c of the inspection object 9.

次に、本実施形態に係る検査装置１の作動について説明する。まず、搬送装置２を駆動させて、搬送装置２の載置面２１に載置される検査対象物９を搬送する。なお、検査対象物は、載置面２１の幅方向の両側に検査対象物の一部領域がはみ出るように載置されている。搬送装置２の駆動は、制御装置により制御されており、図示しない位置センサーにより検査対象物９の位置を検知し、支持装置３の上方の所定位置に検査対象物９が搬送されてきた場合に、搬送装置２の駆動を停止させる。このときの検査装置１の状態を概略的に図６に示す。また、この状態における撮像装置４による撮影画像の概略図を図７に示す。 Next, the operation of the inspection apparatus 1 according to this embodiment will be described. First, the conveyance device 2 is driven to convey the inspection object 9 placed on the placement surface 21 of the conveyance device 2. The inspection object is placed so that a partial region of the inspection object protrudes on both sides of the placement surface 21 in the width direction. The driving of the conveying device 2 is controlled by the control device, and when the position of the inspection object 9 is detected by a position sensor (not shown) and the inspection object 9 is conveyed to a predetermined position above the support device 3. Then, the driving of the transport device 2 is stopped. The state of the inspection apparatus 1 at this time is schematically shown in FIG. Further, FIG. 7 shows a schematic diagram of an image captured by the imaging device 4 in this state.

次に、支持装置３を駆動させることにより、各リフト部３ａの支持部３１を上方に移動させる。支持部３１の上方移動により、搬送装置２上の検査対象物９は、支持部３１の支持面３１ａに支持されて上方に移動する。支持部３１の上方移動をさらに進めることによって、図８に示すように、照明装置５により取り囲まれる所定領域４２（枠体状の照明装置５の開口部）を介して、検査対象物９を枠体状の照明装置５と撮像装置４との間の所定位置に配置させる。このとき、図９に示すように、撮像装置４による撮影画像において、検査対象物９の周縁部９ｃが、枠体状の照明装置５の照射面５１と重なる状態となる位置に検査対象物９を移動させることが好ましい。 Next, by driving the support device 3, the support portion 31 of each lift portion 3a is moved upward. Due to the upward movement of the support part 31, the inspection object 9 on the transport device 2 is supported by the support surface 31 a of the support part 31 and moves upward. By further moving the support portion 31 upward, as shown in FIG. 8, the inspection object 9 is framed through a predetermined region 42 (opening portion of the frame-shaped lighting device 5) surrounded by the lighting device 5. It is arranged at a predetermined position between the body-shaped illumination device 5 and the imaging device 4. At this time, as shown in FIG. 9, in the image taken by the imaging device 4, the inspection object 9 is located at a position where the peripheral edge 9 c of the inspection object 9 overlaps the irradiation surface 51 of the frame-shaped illumination device 5. Is preferably moved.

そして、照明装置５が、撮像装置４に向けて光を照射すると共に、撮像装置４が、検査対象物９の他方面９ｂを撮影して検査画像を取得する。照明装置５から照射された光は、検査対象物９によって遮られるため、検査対象物９の周縁形状が陰となって強調される。検査対象物９の周縁部９ｃに割れや欠け等の欠陥が存在する場合には、割れや欠け等を通過する光が検査画像上に現れることになる。撮像装置４が取得した検査画像は、判定装置６に送られる。 And while the illuminating device 5 irradiates light toward the imaging device 4, the imaging device 4 image | photographs the other surface 9b of the test target object 9, and acquires a test | inspection image. Since the light emitted from the illumination device 5 is blocked by the inspection object 9, the peripheral shape of the inspection object 9 is emphasized by being shaded. When a defect such as a crack or a chip exists in the peripheral edge portion 9c of the inspection object 9, light that passes through the crack or the chip appears on the inspection image. The inspection image acquired by the imaging device 4 is sent to the determination device 6.

撮像装置４による検査画像の取得が終了した後、支持装置３を駆動させることにより各リフト部３ａの支持部３１を下方に移動させる。この支持部３１の下方移動に伴って、検査対象物９は搬送装置２の載置面２１上に載置される。支持装置３における上下機構３２が最下点に達した場合に、搬送装置２は、その駆動を再開し検査済みの検査対象物９を搬送させる。 After the acquisition of the inspection image by the imaging device 4 is completed, the support device 31 is driven to move the support portion 31 of each lift portion 3a downward. As the support portion 31 moves downward, the inspection object 9 is placed on the placement surface 21 of the transport device 2. When the vertical mechanism 32 in the support device 3 reaches the lowest point, the transport device 2 resumes its drive and transports the inspection object 9 that has been inspected.

判定装置６においては、撮像装置４により撮像された検査画像に基づいて、検査対象物９の周縁部９ｃにおける欠陥の有無を判定する。欠陥がある場合には、不良品であると判定し、例えば、表示装置上に不良品である旨を表示したり、アラーム音を発することにより、検査作業者に知らせる。一方、検査の結果、検査対象物９が良品であると判断された場合には、例えば、表示装置上に良品である旨を表示して検査作業者に知らせる。 In the determination device 6, the presence / absence of a defect in the peripheral portion 9 c of the inspection object 9 is determined based on the inspection image captured by the imaging device 4. If there is a defect, it is determined as a defective product, and the inspection operator is notified by, for example, displaying a defective product on the display device or generating an alarm sound. On the other hand, when it is determined that the inspection object 9 is a non-defective product as a result of the inspection, for example, the display device is displayed as a non-defective product to notify the inspection operator.

上述のように、本実施形態に係る検査装置１は、搬送装置２により搬送される検査対象物９を支持装置３により、搬送装置２の上方に配置される照明装置５の開口部を介して、照明装置５と撮像装置４との間に配置し、撮像装置４により検査対象物９の他方面９ｂを撮影するように構成されている。これにより、照明装置５から撮像装置４に向けて照射される光が、検査対象物９以外の物体により遮られることを確実に防止でき、撮像装置４は、検査対象物９の周縁部９ｃ全域の投影画像を効率よくかつ確実に取得することができる。 As described above, in the inspection apparatus 1 according to the present embodiment, the inspection object 9 transported by the transport apparatus 2 is supported by the support device 3 through the opening of the illumination apparatus 5 disposed above the transport apparatus 2. The imaging device 4 is arranged between the illumination device 5 and the imaging device 4 so that the imaging device 4 images the other surface 9b of the inspection object 9. Thereby, it is possible to reliably prevent the light irradiated from the illumination device 5 toward the imaging device 4 from being blocked by an object other than the inspection target 9, and the imaging device 4 has the entire periphery 9c of the inspection target 9. Can be obtained efficiently and reliably.

また、撮像装置４により撮像される検査画像において、検査対象物９の周縁部９ｃが枠体状の照明装置５の照射面５１と重なる位置になるまで、検査対象物９を上方に移動するように支持装置３が構成されているので、照明装置５から撮像装置４に向けて照射される光の一部分が、検査対象物９の周縁部９ｃによって確実に遮られることになる。これにより、撮像装置４が撮影した検査画像（投影画像）において、検査対象物９の周縁部９ｃに発生する割れや欠け等の欠陥部をより鮮明に明るく表示させることが可能になり、検査精度の向上を図ることが可能になる。 Further, in the inspection image captured by the imaging device 4, the inspection object 9 is moved upward until the peripheral edge portion 9 c of the inspection object 9 overlaps the irradiation surface 51 of the frame-shaped illumination device 5. Since the support device 3 is configured, a part of the light emitted from the illumination device 5 toward the imaging device 4 is surely blocked by the peripheral edge portion 9c of the inspection object 9. As a result, in the inspection image (projected image) captured by the imaging device 4, it becomes possible to display a defective portion such as a crack or a chip occurring in the peripheral portion 9c of the inspection target 9 more clearly and brightly, and the inspection accuracy. Can be improved.

また、照明装置５は、枠体状に形成されているため、検査対象物９を上方に持ち上げて照明装置５と撮像装置４との間に配置した場合に、検査対象物９に遮られずに撮像装置４に到達する光の強度を均一化することができる。この結果、検査対象物９の周縁部９ｃにおける欠陥の有無を周縁部９ｃ全域にわたって高精度で検査することが可能になる。 Moreover, since the illuminating device 5 is formed in a frame shape, when the inspection object 9 is lifted upward and disposed between the illuminating device 5 and the imaging device 4, the inspection object 9 is not obstructed. In addition, the intensity of light reaching the imaging device 4 can be made uniform. As a result, it is possible to inspect the presence / absence of defects in the peripheral portion 9c of the inspection object 9 with high accuracy over the entire peripheral portion 9c.

更に、撮像装置４の撮像エリア４１内において照明装置５により取り囲まれる所定領域４２の形状を、検査対象物９の外形形状と略相似形になるように構成しているので、撮像装置４が撮影した撮像画像において、図９に示すように検査対象物９の周縁部９ｃ全周と照明装置５とが重なる状態にすることが容易となる。この結果、検査対象物９の周縁部９ｃにおける欠陥の有無を周縁部９ｃ全域に亘ってより一層高精度で検査することが可能になる。 Furthermore, since the shape of the predetermined area 42 surrounded by the illumination device 5 in the imaging area 41 of the imaging device 4 is configured to be substantially similar to the outer shape of the inspection object 9, the imaging device 4 takes an image. In the captured image, as shown in FIG. 9, it becomes easy to make the entire periphery of the peripheral portion 9 c of the inspection object 9 overlap the illumination device 5. As a result, it is possible to inspect the presence / absence of a defect in the peripheral portion 9c of the inspection object 9 over the entire peripheral portion 9c with higher accuracy.

以上、本発明に係る検査装置１の一実施形態について説明したが、本発明の具体的な構成は上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態においては、照明装置５を枠体状に形成することにより、撮像装置４の撮像エリア４１の所定領域４２を照明装置５により取り囲むように構成しているが、例えば、図１０に示すように、複数の発光体５２をロ字状に並べることにより、撮像装置４の撮像エリア４１内の所定領域４２を照明装置５により取り囲むように構成してもよい。このような構成であっても、支持装置３の作動により、撮像エリア４１内の所定領域４２を介して検査対象物９を照明装置５と撮像装置４との間に配置することによって、周縁部９ｃにおける欠陥を確認することができる。 As mentioned above, although one Embodiment of the inspection apparatus 1 which concerns on this invention was described, the specific structure of this invention is not limited to the said embodiment. For example, in the above embodiment, the illumination device 5 is formed in a frame shape so that the predetermined area 42 of the imaging area 41 of the imaging device 4 is surrounded by the illumination device 5. As shown in FIG. 6, the lighting device 5 may be configured to surround the predetermined area 42 in the imaging area 41 of the imaging device 4 by arranging a plurality of light emitters 52 in a square shape. Even in such a configuration, by operating the support device 3, the inspection object 9 is disposed between the illumination device 5 and the imaging device 4 via the predetermined region 42 in the imaging area 41, thereby providing a peripheral portion. The defect in 9c can be confirmed.

また、上記実施形態に係る検査装置においては、図３に示すように、枠体状の照明装置５の外周縁および内周縁の形状を共に平面視矩形状となるように形成しているが、このような形状に特に限定されるものではなく、例えば、照明装置５の外周縁の形状が平面視円形状となるように形成してもよく、或いは、照明装置５の外周縁および内周縁の形状が共に平面視円形状となるように形成してもよい。 Further, in the inspection apparatus according to the above embodiment, as shown in FIG. 3, the outer peripheral edge and the inner peripheral edge of the frame-shaped lighting device 5 are both formed to have a rectangular shape in plan view. The shape is not particularly limited, and for example, the outer peripheral edge of the lighting device 5 may be formed in a circular shape in plan view, or the outer peripheral edge and the inner peripheral edge of the lighting device 5 may be formed. You may form so that both may become a circular shape in planar view.

また、上記実施形態において、支持装置３における各支持部３１が、検査対象物９の一方面９ａを吸着固定するための吸着部３３を備えるように構成することもできる。吸着部３３は、いわゆる空気吸引機構（エアチャック機構）であり、例えば、図１１に示すように支持部３１の支持面３１ａおよび側面３１ｂを貫通する貫通孔３３ａと、支持部３１の側面に形成される貫通孔３３ａの開口部３３ｂに接続される吸引ポンプ（図示せず）により構成されている。このような構成を採用することにより、支持装置３の支持部３１が、検査対象物９を確実に支持して、安定的に検査対象物９を上下方向に移動させることができる。 Moreover, in the said embodiment, each support part 31 in the support apparatus 3 can also be comprised so that the adsorption | suction part 33 for adsorbing and fixing the one surface 9a of the test object 9 may be provided. The suction part 33 is a so-called air suction mechanism (air chuck mechanism), and is formed, for example, in a through hole 33a penetrating the support surface 31a and the side surface 31b of the support part 31 and on the side surface of the support part 31 as shown in FIG. It is comprised by the suction pump (not shown) connected to the opening part 33b of the through-hole 33a made. By adopting such a configuration, the support portion 31 of the support device 3 can reliably support the inspection object 9 and stably move the inspection object 9 in the vertical direction.

また、上記実施形態においては、検査装置１は判定装置６を備えており、当該判定装置６が検査対象物９の周縁部９ｃにおける欠陥を自動的に検知するように構成しているが、このような構成に特に限定されず、例えば、判定装置６を設ける代わりに、撮像装置４により取得した検査画像を表示する表示装置を設けて、この表示装置に表示される検査画像に基づいて、検査担当者が目視により欠陥の有無を判定するようにしてもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the inspection apparatus 1 is provided with the determination apparatus 6, and the said determination apparatus 6 is comprised so that the defect in the peripheral part 9c of the test target object 9 may be detected automatically, For example, instead of providing the determination device 6, a display device that displays an inspection image acquired by the imaging device 4 is provided, and an inspection is performed based on the inspection image displayed on the display device. The person in charge may visually determine the presence or absence of a defect.

また、上記実施形態においては、支持装置３を二つのリフト部３ａにより構成するようにしているが、例えば、単一のリフト部３ａにより構成することもできる。このような構成を採用する場合には、例えば図１２に示すように、互いに平行に配置されるベルトコンベヤ２ａ，２ａにより搬送装置２を構成し、支持装置３を二つのベルトコンベヤ２ａ，２ａの間に配置するようにすればよい。なお、図１２においては、検査対象物を省略して記載している。 Moreover, in the said embodiment, although the support apparatus 3 is comprised by the two lift parts 3a, it can also be comprised by the single lift part 3a, for example. In the case of adopting such a configuration, for example, as shown in FIG. 12, the conveyor device 2 is configured by belt conveyors 2a and 2a arranged in parallel to each other, and the support device 3 is made up of two belt conveyors 2a and 2a. What is necessary is just to arrange | position between. In FIG. 12, the inspection object is omitted.

本発明の一実施形態に係る検査装置を示す概略構成断面図である。It is a schematic structure sectional view showing an inspection device concerning one embodiment of the present invention. 図１におけるＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing in FIG. 図２におけるＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing in FIG. 支持装置を構成するリフト部の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the lift part which comprises a support apparatus. 撮像装置による撮影画像を概略的に示した説明図である。It is explanatory drawing which showed schematically the picked-up image by an imaging device. 本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the action | operation of the inspection apparatus which concerns on this invention. 図６の状態における撮像装置による撮像画像の概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram of an image captured by the imaging device in the state of FIG. 6. 本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the action | operation of the inspection apparatus which concerns on this invention. 図８の状態における撮像装置による撮像画像の概略図である。It is the schematic of the image picked up by the imaging device in the state of FIG. 図１に示す検査装置の変形例を示す概略構成断面図である。It is schematic structure sectional drawing which shows the modification of the test | inspection apparatus shown in FIG. 支持装置を構成するリフト部の変形例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the modification of the lift part which comprises a support apparatus. 図１に示す検査装置の他の変形例を示す概略構成断面図である。It is a schematic structure sectional view showing other modifications of the inspection device shown in FIG.

Explanation of symbols

１検査装置
２搬送装置
２１載置面
３支持装置
３ａリフト部
３１支持部
３１ａ支持面
３２上下機構
３３吸着部
４撮像装置
４１撮像エリア
４２所定領域
５照明装置
５１照射面
６判定装置
９検査対象物
９ａ一方面
９ｂ他方面
９ｃ周縁部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection apparatus 2 Conveyance apparatus 21 Mounting surface 3 Support apparatus 3a Lift part 31 Support part 31a Support surface 32 Vertical mechanism 33 Adsorption part 4 Imaging device 41 Imaging area 42 Predetermined area 5 Illumination apparatus 51 Irradiation surface 6 Determination apparatus 9 Inspection object 9a One side 9b The other side 9c

Claims

An inspection apparatus for inspecting defects at the peripheral edge of a flat inspection object,
A support device having a support portion that supports one side of the inspection object and can move up and down ;
An imaging device that is disposed above the support device and images the other surface of the inspection object;
An illumination device that is disposed between the support device and the imaging device and that emits light toward the imaging device;
The illumination device has an irradiation surface formed so as to surround a predetermined region in the imaging area of the imaging device ,
The support device raises the support portion and moves the inspection object supported by the support portion between the illumination device and the imaging device through the predetermined area of the illumination device. An inspection apparatus configured to superimpose a peripheral portion of the inspection object on the irradiation surface in an inspection image captured by the imaging apparatus.

The inspection device according to claim 1, wherein the illumination device is formed in a frame shape.

The inspection apparatus according to claim 2, wherein a shape of the predetermined region surrounded by the illumination device is substantially similar to an outer shape of the inspection object.

The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the support device includes an adsorption portion that sucks and fixes an inspection object.

The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, further comprising a determination device that determines the presence or absence of a defect in a peripheral portion of an inspection object based on an inspection image captured by the imaging apparatus.