JP4386420B2 - 水潤滑性に優れた硬質皮膜 - Google Patents
水潤滑性に優れた硬質皮膜 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4386420B2 JP4386420B2 JP2003430397A JP2003430397A JP4386420B2 JP 4386420 B2 JP4386420 B2 JP 4386420B2 JP 2003430397 A JP2003430397 A JP 2003430397A JP 2003430397 A JP2003430397 A JP 2003430397A JP 4386420 B2 JP4386420 B2 JP 4386420B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- water
- lubricity
- hard
- sliding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
I(111)/I(220)≦1 ----- 式(1)
I(200)/I(220)≦1 ----- 式(2)
I(111)/I(220)≦1 ----- 式(1)
I(200)/I(220)≦1 ----- 式(2)
種々の組成のCr(CN)膜を形成した。このCr(CN)膜の形成に際し、装置としてスパッタリング装置あるいはアークイオンプレーティング装置を用い、ターゲットとして金属Crターゲットを用い、Ar/N2 (比率65/35)あるいは窒素雰囲気中にて形成を行った。ただし、Cを皮膜中に添加する場合には、雰囲気ガスとしてメタンをも用いた。成膜時の圧力はスパッタで0.6Pa、AIPで2.66Paとし、基板温度は約400℃とし、鏡面研磨したSUS630ディスクおよび直径9.53mmのボール上に約6μm の皮膜を形成した。
例1の場合と同様のAIP装置を用い、成膜中に窒素/酸素の混合ガスを使用することにより、Cr(NO)皮膜を形成した。成膜条件は、ガスの種類以外の点については例1の場合と同様である。例1の場合と同様の摺動試験を行い、摩擦係数およびボール側の比摩耗量を測定した。荷重はすべて2Nとし、摺動速度は0.5m/sであり、摺動距離は1kmである。
例1の場合と同様のAIP装置を用い、CrN膜を形成した。なお、基板電圧は−100Vとし、この点を除き例1の場合と同様の条件で成膜を実施した。本例では、研磨によるマクロパーティクル(ドロップレット)除去の効果を調べるために、同一バッチで成膜を実施したサンプルに対して、その成膜後に研磨したもの(研磨有りのもの)、研磨しないもの(研磨無しのもの)について摺動試験を実施し、耐摩耗性の比較を行った。図4の(B) に、成膜後に研磨したものについての表面の状態(SEM観察結果)を示す。図4の(A) に、成膜後研磨しないもの(即ち、成膜のままのもの)についての表面の状態(SEM観察結果)を示す。これらから、成膜後の研磨により、マクロパーティクルが脱落し、微細穴が形成されていることが分かる。
Claims (3)
- Cr(C1-d Nd )を含んでなり、水潤滑環境下で使用される硬質皮膜であって、0.5≦d≦1を満たし、且つ、θ−2θ法のX線回折により検出される(111)、(200)および(220)面の回折線強度を各々I(111)、I(200)、I(220)とするとき、これらの回折線強度が下記式(1) 、(2) の少なくとも一方を満たすことを特徴とする水潤滑性に優れた硬質皮膜。
I(111)/I(220)≦1 ----- 式(1)
I(200)/I(220)≦1 ----- 式(2) - 酸素を原子比で0.01〜0.2含有する請求項1記載の水潤滑性に優れた硬質皮膜。
- アークイオンプレーティング法により成膜され、表面に付着したドロップレットを研磨して形成された微細穴を有している請求項1または2記載の水潤滑性に優れた硬質皮膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003430397A JP4386420B2 (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 水潤滑性に優れた硬質皮膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003430397A JP4386420B2 (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 水潤滑性に優れた硬質皮膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005187877A JP2005187877A (ja) | 2005-07-14 |
JP4386420B2 true JP4386420B2 (ja) | 2009-12-16 |
Family
ID=34788790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003430397A Expired - Fee Related JP4386420B2 (ja) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 水潤滑性に優れた硬質皮膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4386420B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8597797B2 (en) | 2006-11-14 | 2013-12-03 | Kabushiki Kaisha Riken | Chromium nitride ion-plating coating and its production method, as well as piston ring used for internal combustion engine |
CN104471101B (zh) * | 2012-03-12 | 2017-08-08 | 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔 | 具有增强的滑动性质的涂层 |
JP6114730B2 (ja) * | 2014-10-24 | 2017-04-12 | 株式会社豊田中央研究所 | 摺動システム |
-
2003
- 2003-12-25 JP JP2003430397A patent/JP4386420B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005187877A (ja) | 2005-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Su et al. | Comparison of tribological behavior of three films—TiN, TiCN and CrN—grown by physical vapor deposition | |
JP6383333B2 (ja) | 工作物およびその加工方法 | |
Hovsepian et al. | TiAlN/VN superlattice structured PVD coatings: a new alternative in machining of aluminium alloys for aerospace and automotive components | |
JP4578382B2 (ja) | 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆工具 | |
JP2002028804A (ja) | 多層皮膜被覆工具 | |
JP2006138404A (ja) | 水系環境下での耐摩耗性に優れた摺動部材 | |
JP2007083382A (ja) | 硬質炭素被覆工具 | |
JP2002018606A (ja) | 被覆切削工具 | |
JP4386420B2 (ja) | 水潤滑性に優れた硬質皮膜 | |
JP2007084899A (ja) | 被覆部材、被覆部材の被覆方法 | |
JP4393650B2 (ja) | 耐摩耗皮膜被覆工具 | |
JP2005153072A (ja) | ミスト加工に適したコーティング工具 | |
Kao et al. | Taguchi Optimization of Wear Resistance of CrN Coatings Deposited on WC Substrates Using High-Power Impulse Magnetron Sputtering Technology and Application to High-Speed Micro-Drilling | |
JP2002254208A (ja) | 耐酸化性および耐摩耗性に優れた工具 | |
JP4169544B2 (ja) | 潤滑性に優れた硬質皮膜被覆工具 | |
Çiçek et al. | Effect of thermal oxidation on structural and tribological properties of MoS2 films | |
JP2006207691A (ja) | 硬質皮膜被覆摺動部材 | |
RU2573845C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ВАКУУМНОГО-ДУГОВОГО КЕРАМИКОМЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ TiN-Cu ДЛЯ ТВЕРДОСПЛАВНОГО РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА РАСШИРЕННОЙ ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ | |
JP3779948B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
Huang et al. | Fabrication of Multi-Component Cr–Al–Ti–Si–N Coatings by Arc Ion Plating for High-Speed Machining | |
JP3679076B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
Savan et al. | MoS2‐based alloys and nanocomposites for solid lubrication | |
JP2006002016A (ja) | 耐摩耗摺動用被膜及び同被膜形成部材 | |
JP2007119809A (ja) | 被覆部材 | |
JP3679077B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080805 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090924 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090928 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4386420 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131009 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |