JP4380591B2 - Excimer lamp device - Google Patents

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Description

本発明は、エキシマランプ装置に関するものである。   The present invention relates to an excimer lamp device.

例えば、特許文献１や特許文献２などで知られる、エキシマランプを搭載したエキシマランプ装置においては、エキシマランプから放射される２００ｎｍ以下１００ｎｍ以上の範囲の紫外光を被処理物の表面に照射して、発生したオゾンと透過した紫外光の相乗効果によって被処理物の表面の有機物等を分解飛散させて洗浄を行う。近時、被処理物である液晶表示装置のガラス基板の大型化につれて、エキシマランプ装置においては、大面積の処理を可能とするよう照射面積の増大化が強く要請されている。このため、搭載されるエキシマランプにおいては発光管の長尺化が進められ、エキシマランプが収容されるランプハウスにおいても内容積や重量が増大化してきている。   For example, in an excimer lamp device equipped with an excimer lamp, which is known from Patent Document 1 or Patent Document 2, ultraviolet light in a range of 200 nm or less and 100 nm or more emitted from the excimer lamp is irradiated on the surface of the object to be processed. Then, cleaning is performed by decomposing and scattering organic substances on the surface of the object to be processed by the synergistic effect of the generated ozone and the transmitted ultraviolet light. Recently, as the glass substrate of a liquid crystal display device, which is an object to be processed, increases in size, an excimer lamp device is strongly required to increase an irradiation area so that a large area can be processed. For this reason, the length of the arc tube has been increased in the excimer lamp to be mounted, and the internal volume and weight have been increased also in the lamp house in which the excimer lamp is accommodated.

しかして、上述のエキシマランプ装置においては、次のような問題がある。
（１）エキシマランプは、発光管の長さが１０００ｍｍを超し、ランプの交換の作業が困難になってきている。すなわち、ランプが長いためたわみ易いことに加えて、寿命末期まで使用したエキシマランプは発光管のガラスが紫外光によって劣化しており、取り扱いを慎重に行わなければ、作業中の振動や衝撃で発光管が容易に破損してしまう可能性がある。しかも、特許文献１に記載のランプハウスは光取り出し窓ガラスの上でランプの交換作業を行っており、ランプの交換時に発光管が破損した場合、その破片などが窓ガラス上に落下してランプ収納室を汚染したり、ランプベース等の部材が窓ガラス上に落下した場合破損する等の問題があった。また、特許文献２に記載の光取り出し窓が具備されていないエキシマランプ装置では、基板を搬送するコンベア装置上にランプハウスを設置した状態で、ランプ交換を行っており、ランプの交換時に発光管が破損した場合、その破片などがコンベア室内を汚染してしまう等の問題があった。
（２）ランプハウスの筐体部分は、エキシマランプの熱的影響を受けるためにエキシマランプの点灯、消灯に対応して、熱膨張、収縮を繰り返すが、ランプハウス自体が大型化してきたため、熱膨張による伸びの絶対量が増し、係るランプハウスが搭載されたコンベア装置との接触部において摩擦が生じ、部材同士が摩れて粉が飛散することがあり、基板およびコンベア装置内を汚染することがある。
（３）特許文献１のように石英ガラス板よりなる光取り出し窓を具備した装置においては、ランプハウス内部に不活性ガスが導入、充填され、被処理室よりも高い状態に維持されることがあるが、上述したように装置が大型化して窓の面積が大きくなると、窓を構成するガラスが外方に湾曲して膨出した場合に、光取り出し窓の中心部が基板に極めて近くなり、窓の周縁部と中心部とで処理むらを生じたり、基板に接触したりすることがある。 Thus, the above-described excimer lamp device has the following problems.
(1) In the excimer lamp, the length of the arc tube exceeds 1000 mm, and it is difficult to replace the lamp. In other words, the excimer lamp used until the end of its life is not easily bent due to the long lamp, but the glass of the arc tube has deteriorated due to ultraviolet light. The tube can easily break. In addition, the lamp house described in Patent Document 1 performs lamp replacement work on the light extraction window glass, and if the arc tube is damaged during lamp replacement, the broken pieces fall on the window glass and the lamp is replaced. There have been problems such as contamination of the storage chamber and breakage when a member such as a lamp base falls on the window glass. Moreover, in the excimer lamp device which is not equipped with the light extraction window described in Patent Document 2, the lamp is exchanged in a state where the lamp house is installed on the conveyor device that conveys the substrate. In the case of breakage, there is a problem that the broken pieces contaminate the conveyor chamber.
(2) The casing of the lamp house is subject to the thermal effects of the excimer lamp, and thus repeats thermal expansion and contraction in response to the turning on and off of the excimer lamp. The absolute amount of elongation due to expansion increases, friction occurs at the contact portion with the conveyor device on which the lamp house is mounted, the members may be worn away and powder may be scattered, contaminating the substrate and the conveyor device. There is.
(3) In an apparatus having a light extraction window made of a quartz glass plate as in Patent Document 1, an inert gas is introduced and filled into the lamp house, and is maintained in a higher state than the processing chamber. However, as described above, when the device is enlarged and the area of the window is increased, when the glass constituting the window is curved outward and bulges out, the center of the light extraction window becomes very close to the substrate, Processing unevenness may occur between the peripheral edge portion and the central portion of the window, or the substrate may come into contact with the substrate.

特許文献２に記載のもののように、光取り出し窓が具備されていないエキシマランプ装置によれば、光取り出し窓の外方への膨出から生じる不具合問題を解消することが可能であるが、これにおいてもその他の問題は解決されない。
特開２００１−１６０３７６号公報 特開２００４−１１３９８４号公報 According to the excimer lamp device that is not provided with the light extraction window, such as the one described in Patent Document 2, it is possible to solve the problem that occurs due to the outward expansion of the light extraction window. However, other problems are not solved.
JP 2001-160376 A JP 2004-113984 A

本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、１０００ｍｍを超す長尺のランプであっても、交換を簡単かつ安全に行うことができて、ランプハウス内やコンベア室内が汚染されることを回避できる、信頼性の高いエキシマランプ装置を提供することである。
更に、ランプハウスの熱膨張を回避でき、ランプハウスとコンベア装置などとの間の摩擦で金属粉などが発生したり、浮遊したりすることがなく、被処理物や装置内部の汚染や破損、劣化を防止し、信頼性の向上を図ることが可能なエキシマランプ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to be able to easily and safely replace a long lamp exceeding 1000 mm, in a lamp house or in a conveyor room. It is an object of the present invention to provide a highly reliable excimer lamp device that can avoid contamination of the lamp.
In addition, thermal expansion of the lamp house can be avoided, and metal powder etc. is not generated or floated by friction between the lamp house and the conveyor device, etc. An object of the present invention is to provide an excimer lamp device capable of preventing deterioration and improving reliability.

本発明に係るエキシマランプ装置は、ランプハウス内にエキシマランプが収納され、ランプからの紫外線を外部に照射するエキシマランプ装置において、前記ランプハウスの内部に並設された複数の板状フレームと、中空箱型に成形され、底面にランプ収容部が形成されたユニットと、前記ランプ収容部に収容されたエキシマランプと、を具備し、前記ユニットは、隣接配置された前記板状フレーム間に取り出し可能に挿入・支持されてなり、かつ、該ユニットにはその中空内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段が取り付けられており、該ユニットの底面には前記不活性ガスを噴出する噴出口が穿設されていることを特徴とする。
Excimer lamp apparatus according to the present invention, the excimer lamp is accommodated in the lamp house, the excimer lamp apparatus for irradiating ultraviolet rays from the lamp to the outside, a plurality of plate-shaped frames arranged inside the lamp house, A unit formed into a hollow box shape and having a lamp housing portion formed on a bottom surface ; and an excimer lamp housed in the lamp housing portion, the unit being taken out between the plate-like frames arranged adjacent to each other An inert gas supply means for supplying an inert gas to the hollow interior of the unit is attached to the unit, and an injecting jet of the inert gas is provided on the bottom surface of the unit. An outlet is perforated .

また、前記噴出口が、ランプ収容部のエキシマランプの最上部に対向する位置に穿設されていることを特徴とする。Further, the ejection port is formed at a position facing the uppermost portion of the excimer lamp in the lamp housing portion.

前記ユニットの底面の下方に、前記ランプ収容部を覆うようにケース体が設けられ、該ケース体には光取り出し部が形成されていることを特徴とする。A case body is provided below the bottom surface of the unit so as to cover the lamp housing portion, and a light extraction portion is formed in the case body.

また、前記ユニットにランプの冷却機構が設けられていることを特徴とする。The unit is provided with a lamp cooling mechanism.

また、前記板状フレームに冷却機構が設けられていることを特徴とする。The plate-like frame is provided with a cooling mechanism.

本発明においては、エキシマランプが固定されたユニットは、対向配置された板状のフレーム内に、取出し可能に載設されているので、ランプ交換する際は、エキシマランプをユニット毎にランプハウスの外部に取出して安全な場所において行うことができ、よって、ランプ交換時に発光管が割れて処理室内部が汚染されることを未然に防止することができる。
ユニットは、一対のフレームの間に配置されると共に、この一対のフレームによって支持されているので、ユニットは前後移動可能な状態であって、引き出しを容易に行え、したがって、ランプの交換作業を簡便に行うことができる。
そして、フレームの上部側面とユニット側面の間に隙間が設けられていることにより、フレームおよび／又はユニットが、ランプの点灯時の熱で膨張したとしても、両部材が擦れることを未然に防止でき、金属の粉などがランプハウス内や処理室内に飛散することを回避できる。
更に、ユニットの底部にランプ収納部を形成することで、ランプとワークの距離を比較的近づけて配置できるため、ランプから放射された光を減衰が少ない状態で、高効率にワークに照射することができる。 In the present invention, the unit to which the excimer lamp is fixed is detachably mounted in a plate-like frame arranged oppositely. Therefore, when exchanging the lamp, the excimer lamp is replaced for each unit in the lamp house. It can be taken out outside and performed in a safe place. Therefore, it is possible to prevent the arc tube from being broken and contaminating the inside of the processing chamber when replacing the lamp.
Since the unit is arranged between the pair of frames and supported by the pair of frames, the unit can be moved back and forth and can be easily pulled out, and thus the lamp can be easily replaced. Can be done.
In addition, since a gap is provided between the upper side surface of the frame and the side surface of the unit, even if the frame and / or the unit expands due to the heat generated when the lamp is turned on, both members can be prevented from being rubbed. Further, it is possible to avoid scattering of metal powder or the like in the lamp house or the processing chamber.
Furthermore, by forming the lamp housing at the bottom of the unit, the distance between the lamp and the workpiece can be relatively close, so that the light emitted from the lamp can be irradiated to the workpiece with low attenuation and high efficiency. Can do.

更に、ユニットにケース体を設けることで、万一ランプが破損した時もランプの破片が被処理室内に飛散することを回避できる。   Furthermore, by providing the case body in the unit, it is possible to avoid the fragments of the lamp from scattering into the processing chamber even if the lamp is damaged.

そして、フレームに冷却機構が具備されていることにより、ランプハウスが熱膨張するのを抑制できる。
更に、冷却機構は、フレーム本体に流路が形成され、当該流路内に冷却用の流体が流通される冷却機構であるのがよい。
なお、複数のフレームの温度差を生じないようにすると、熱膨張の程度が均整化されて、ランプハウスにひずみが生じることを回避できる。
例えば、流路をフレーム毎に独立して形成し、フレーム毎に流体を導入する機構によれば、フレームを巡回することで冷却流体の温度が上昇するようなことがなく、複数のフレーム間で温度差を生じにくくなる。 And it can suppress that a lamp house expands thermally because the cooling mechanism is comprised in the flame | frame.
Further, the cooling mechanism may be a cooling mechanism in which a flow path is formed in the frame body and a cooling fluid is circulated in the flow path.
If the temperature difference between the plurality of frames is not generated, the degree of thermal expansion can be leveled, and distortion in the lamp house can be avoided.
For example, according to the mechanism in which the flow path is formed independently for each frame and the fluid is introduced for each frame, the temperature of the cooling fluid does not increase by circulating around the frame, and between the plurality of frames. It becomes difficult to produce a temperature difference.

そして、ユニットは内部が中空に形成されていることにより、内部が中実に形成されたものに比較し重量を大幅に減ずることができ、自重によるたわみの発生を低減することができる。
更に、ユニットの中空の内部に窒素などの不活性ガスを供給し、被処理物に向けて噴出させる構成とすることで、被処理物近傍において酸素分圧を低下させることでランプから放射された紫外光の吸収を低減させることができ、処理能力を高めることができる。
更に、噴出孔がランプの発光管を取り囲む部分に設けられると、発光管の周囲を窒素ガスが流過して、ランプを冷却することができる。 And since the inside of the unit is formed hollow, it is possible to greatly reduce the weight as compared with the case where the inside is solid, and to reduce the occurrence of deflection due to its own weight.
Furthermore, by supplying an inert gas such as nitrogen into the hollow interior of the unit and ejecting it toward the object to be processed, it was emitted from the lamp by reducing the oxygen partial pressure in the vicinity of the object to be processed. The absorption of ultraviolet light can be reduced, and the processing capability can be increased.
Furthermore, when the ejection hole is provided in a portion surrounding the arc tube of the lamp, the nitrogen gas can flow around the arc tube and the lamp can be cooled.

本願発明の第１の実施形態を図１〜図６を参照して説明する。
図１は、本願発明に係るエキシマランプ装置全体を一部断面で示す側面図であり、図２は、図１におけるランプハウスの分解構成図である。図３および図４はいずれも図１のランプハウス部分の断面図であり、図３はＡ−Ａ断面図、図４はＢ−Ｂ断面図である。また、図５はユニットとフレームの接触部分の断面を拡大して示す説明図であり、図６は給電接続部の構成の説明図である。
図１〜図４を参照して装置全体を説明する。図１に示すように、略矩形箱型のランプハウス１０の下方には処理室２０が形成されている。係る処理室２０内の下方にはコンベアなど不図示の搬送機構が具備されており、ガラス基板などのワークＷが搬送されてランプハウス１０からエキシマ光が照射され、所定の処理が施される。
ランプハウス１０は、側面を形成する枠体１１とその上部開口を覆うカバー１２と、枠体１１の下に配置されたベース１３とを具備しており、係るベース１３を介して処理室２０上に設置されている。なお、図１中の１１７は冷却流体流通用のチューブ、１１８は処理ガス供給用のチューブであり、いずれも後段で詳述する。
ランプハウスの下部は開放されており（図１、図４参照）エキシマランプ１２１の発光管が処理室２０の内部空間に臨むよう配置されている。
また、エキシマランプ１２１の上部には、図１で示すように一端１２１ａ側において電源部１３０が具備されており、図３のように電源部１３０はフレーム１１０の間に固定的に取り付けられている。 A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a side view showing a part of the entire excimer lamp device according to the present invention, and FIG. 2 is an exploded view of the lamp house in FIG. 3 and 4 are both sectional views of the lamp house portion of FIG. 1, FIG. 3 is an AA sectional view, and FIG. 4 is a BB sectional view. FIG. 5 is an explanatory diagram showing an enlarged cross section of the contact portion between the unit and the frame, and FIG. 6 is an explanatory diagram of the configuration of the power feeding connecting portion.
The entire apparatus will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, a processing chamber 20 is formed below a substantially rectangular box-shaped lamp house 10. A conveying mechanism (not shown) such as a conveyor is provided below the processing chamber 20, and a workpiece W such as a glass substrate is conveyed to be irradiated with excimer light from the lamp house 10 and subjected to predetermined processing.
The lamp house 10 includes a frame body 11 that forms a side surface, a cover 12 that covers an upper opening thereof, and a base 13 that is disposed under the frame body 11. Is installed. In FIG. 1, 117 is a cooling fluid circulation tube, and 118 is a processing gas supply tube, both of which will be described in detail later.
The lower part of the lamp house is open (see FIGS. 1 and 4), and the arc tube of the excimer lamp 121 is arranged so as to face the internal space of the processing chamber 20.
Further, as shown in FIG. 1, a power supply unit 130 is provided on the excimer lamp 121 on one end 121 a side as shown in FIG. 1, and the power supply unit 130 is fixedly attached between the frames 110 as shown in FIG. 3. .

ランプハウス１０の内部には複数の厚肉の板状フレーム１１０（図２参照）が平行にかつ等間隔に並設されており、ランプハウス１０の内部はフレーム１１０によって細長い矩形に区画されている。図３，図４で示すように、隣接配置されたフレーム１１０，１１０の間に箱状のユニット１２０が配置される。なお図２中の１１５はフレーム冷却用の導管、１１６は押さえ部材であり、図３，図４中、フレーム１１０の肉厚部分に設けられたＦは前記導管１１５により形成された流路である。これらについては後段において説明する。   A plurality of thick plate-like frames 110 (see FIG. 2) are arranged in parallel and at equal intervals in the lamp house 10, and the inside of the lamp house 10 is partitioned into elongated rectangles by the frame 110. . As shown in FIGS. 3 and 4, a box-shaped unit 120 is disposed between adjacent frames 110 and 110. In FIG. 2, 115 is a conduit for cooling the frame, 116 is a pressing member, and in FIGS. 3 and 4, F provided in the thick portion of the frame 110 is a flow path formed by the conduit 115. . These will be described later.

フレーム１１０は例えばアルミニウムよりなる。フレーム１１０はベース１３に固定されており、下部に幅方向に広がるフランジ部１１２が形成されて断面が逆Ｔ字状に成形されている（図３、図４参照）。ユニット１２０は、係るフレーム１１０のフランジ部１１２上に載置された状態で設置されている。
フレーム１１０はそのフランジ部１１２においてユニット１２０を支持するものであるが、側壁部１１１を有してある程度高さもって形成されることで、ランプハウス１０の機械的強度の増大を図ることができ、ランプハウスのたわみや歪みを生じ難いものにできる。 The frame 110 is made of aluminum, for example. The frame 110 is fixed to the base 13, and a flange portion 112 extending in the width direction is formed in the lower portion, and the cross section is formed in an inverted T shape (see FIGS. 3 and 4). The unit 120 is installed in a state of being placed on the flange portion 112 of the frame 110.
The frame 110 supports the unit 120 at its flange portion 112, but has a side wall portion 111 and is formed with a certain height so that the mechanical strength of the lamp house 10 can be increased. The lamp house can be made less prone to deflection and distortion.

一方、ユニット１２０は例えばアルミニウムよりなる厚さ２〜８ｍｍ板材が組合されて構成されて内部が中空に形成されており、天板１２２上部にはユニット１２０取り出し用の把手１２３が設けられている。ユニット１２０内部を中空にすると軽量化が図られ、ランプハウス１０がたわみ難い構造になる。   On the other hand, the unit 120 is configured by combining, for example, 2 to 8 mm thick plates made of aluminum, and the inside is formed to be hollow, and a handle 123 for taking out the unit 120 is provided on the top plate 122. If the inside of the unit 120 is made hollow, the weight can be reduced, and the lamp house 10 becomes difficult to bend.

図４において、ユニット１２０の幅Ｓ１はフレーム１１０の間隙Ｓ２よりも０．５〜５ｍｍ小さく形成されており、図５の拡大図で示すように、ユニット１２０とフレーム１１０との間には間隙ｄが形成されている。よって、エキシマランプ１２１が発熱してユニット１２０が熱膨張した場合も、フレーム１１０との間に十分な間隙が形成されているので、ユニット１２０とフレーム１１０との間で摩擦が生じたり歪が発生したりすることを防止できる。 In FIG. 4, the width S 1 of the unit 120 is 0.5 to 5 mm smaller than the gap S 2 of the frame 110, and as shown in the enlarged view of FIG. 5, there is a gap between the unit 120 and the frame 110. A gap d is formed. Therefore, even when the excimer lamp 121 generates heat and the unit 120 is thermally expanded, a sufficient gap is formed between the frame 110, so that friction or distortion occurs between the unit 120 and the frame 110. Can be prevented.

また、フレーム１１０にはユニット１２０とフレーム１１０が擦れて金属粉などが発生した場合、それらを一時的に回収できるようにフランジ部１１２の上面に凹所１１３が設けられている。係る凹所１１３は、例えばフレーム１１０の長さ方向に伸びる長溝よりなり、これにより、金属粉などが発生した場合にもそれが直ちに飛散することが回避され、処理室やランプハウスの内部を清浄に維持することができる。   The frame 110 is provided with a recess 113 on the upper surface of the flange portion 112 so that when the unit 120 and the frame 110 are rubbed to generate metal powder or the like, they can be collected temporarily. The recess 113 is formed of a long groove extending in the length direction of the frame 110, for example, so that even when metal powder or the like is generated, it is avoided that it is immediately scattered, and the inside of the processing chamber or the lamp house is cleaned. Can be maintained.

ユニット１２０は、図１においてランプハウス１０のカバー１２を取り外し、把手１２３を持ってユニット１２０の一端１２０ａ側を持ち上げ、電源部１３０から離反する方向に引き出すことで、ランプハウス１０から簡単に取り外すことができる。
したがって、エキシマランプ１２１の交換の際、ユニット１２０をエキシマランプ装置１００の外部に運び出して作業することができ、安全かつ作業性よく行え、仮に交換作業中にランプが破損したとしてもランプの破片によって処理室内やランプハウス内が汚染されるようなこともない。 The unit 120 can be easily removed from the lamp house 10 by removing the cover 12 of the lamp house 10 in FIG. 1, holding the handle 123, lifting the one end 120 a side of the unit 120, and pulling it away from the power supply unit 130. Can do.
Therefore, when excimer lamp 121 is replaced, unit 120 can be carried out to the outside of excimer lamp device 100 and can be operated safely and with good workability. Even if the lamp is damaged during the replacement operation, The processing chamber and the lamp house are not contaminated.

以上のように本発明によれば、ユニット１２０がフレーム１１０上に載置されて支持された構造であるため、ユニット１２０がランプハウス１０より出し入れ自在になり、ユニット１２０をランプハウス１０の外部に容易に運び出すことができてランプの交換を安全かつ簡便に行うことができるようなる。
また、フレーム１１０の側壁部１１１により高さを高くすることで機械的強度を増大させることができ、たわみや歪みが生じにくいランプハウス１０を製作することができる。 As described above, according to the present invention, since the unit 120 is mounted and supported on the frame 110, the unit 120 can be inserted and removed from the lamp house 10, and the unit 120 is placed outside the lamp house 10. It can be easily carried out and the lamp can be replaced safely and easily.
In addition, the mechanical strength can be increased by increasing the height by the side wall portion 111 of the frame 110, and the lamp house 10 that is less likely to bend or distort can be manufactured.

続いて、図３および図６を参照して給電接続部の構成を説明する。図６は給電接続部の構成を説明する拡大図であり、前段で説明した構成については同符号で示し説明を省略している。
電源部１３０の下部には、個々のエキシマランプ１２１に対応するよう、板バネを屈曲して形成された給電端子１３１が突設されている。図６（ａ）に従い、ランプハウス１０から取り出したユニット１２０を再びランプハウス１０内に収納すると、ユニット１２０に設けられた給電突子１２４が、図６（ｂ）のように給電端子１３１を押圧して接触し、これにより電源部１３０とエキシマランプ１２１とが電気的に接続されるようになる。このような給電接続は図３で示すように各エキシマランプ１２１に設けられているが、上記のようにユニット１２０をランプハウス１０に収納する作業と同時に行われるため、作業は極めて簡単で給電接続も確実に行える。 Next, the configuration of the power feeding connection unit will be described with reference to FIGS. 3 and 6. FIG. 6 is an enlarged view for explaining the configuration of the power feeding connecting portion, and the configuration described in the previous stage is denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
A power supply terminal 131 formed by bending a leaf spring is protruded from the lower portion of the power supply unit 130 so as to correspond to each excimer lamp 121. When the unit 120 taken out from the lamp house 10 is stored in the lamp house 10 again according to FIG. 6A, the power feeding protrusion 124 provided in the unit 120 presses the power feeding terminal 131 as shown in FIG. 6B. As a result, the power supply unit 130 and the excimer lamp 121 are electrically connected. Such a power supply connection is provided in each excimer lamp 121 as shown in FIG. 3, but since it is performed simultaneously with the operation of housing the unit 120 in the lamp house 10 as described above, the operation is extremely simple and the power supply connection is made. Can also be done reliably.

このように、エキシマランプ１２１と電源部１３０との接続関係が、給電端子１３１が給電突子１２４との押圧状態によった接触のみで形成され、ユニット１２０の取り付けと同時に給電結合させることができるので、個々のエキシマランプ１２１で給電接続を構成することが不要で、ランプの交換作業を極めて簡便に行える。   As described above, the connection relationship between the excimer lamp 121 and the power supply unit 130 is formed only by the contact of the power supply terminal 131 with the power supply protrusion 124 by the pressing state, and can be coupled by power supply at the same time as the unit 120 is attached. Therefore, it is not necessary to configure the power supply connection with the individual excimer lamps 121, and the lamp replacement operation can be performed very simply.

ユニットとフレームは、例えば図７に示すような機構によりって位置決めされる。図７は、図４で示したランプハウス断面図におけるユニットとフレームの位置決め機構部分の拡大図である。図７（ａ）はユニットの長さ方向に垂直な断面図、図７（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。ユニット１２０の天板１２２の側面には幅方向に突出する案内ピン１２２ａが圧入等の手段で突設されており、この案内ピン１２２ａに嵌合する嵌合溝１１１ａがフレーム１１０の段部上面に形成されている。ランプハウスにユニット１２０を収容する際、フレーム１１０上においてユニット１２０を長さ方向にスライドさせると、案内ピン１２２ａが嵌合溝１１１ａに嵌合してユニット１２０とフレーム１１０の位置決めが行われ、これと同時に、ユニット１２０のランプハウス内における長さ方向の移動が規制される。ここでの位置決めにより、先に説明した給電端子と給電突子の電気的接続が得られ、エキシマランプの給電接合が確実に達成される。   The unit and the frame are positioned by a mechanism as shown in FIG. 7, for example. FIG. 7 is an enlarged view of a unit and frame positioning mechanism portion in the lamp house sectional view shown in FIG. FIG. 7A is a cross-sectional view perpendicular to the length direction of the unit, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. A guide pin 122a protruding in the width direction is projected on the side surface of the top plate 122 of the unit 120 by means such as press fitting, and a fitting groove 111a that fits into the guide pin 122a is formed on the upper surface of the step portion of the frame 110. Is formed. When the unit 120 is accommodated in the lamp house, if the unit 120 is slid in the length direction on the frame 110, the guide pin 122a is fitted into the fitting groove 111a, and the unit 120 and the frame 110 are positioned. At the same time, the movement of the unit 120 in the length direction in the lamp house is restricted. By the positioning here, the electrical connection between the power supply terminal and the power supply protrusion described above is obtained, and the power supply connection of the excimer lamp is reliably achieved.

エキシマランプは例えば、次のようにしてユニットに装着される。
図４で示すように各ユニット１２０の底面１２０ｃの略中央部には、例えば内方に凸出する断面半円状の溝が長さ方向に二ヶ所形成されており、それぞれランプ収容部１２５が設けられている。各ランプ収容部１２５には、一対の保持具１２６ａ，１２６ｂが、図８で示す拡大図のように突設されており、エキシマランプ１２１はこの保持具１２６ａ，１２６ｂによって支持されてユニット１２０に装着されている。なお、図８中の１２７は噴出孔、矢印は処理ガスの流れを示すものであり、いずれも後段で説明する。
ランプ保持具１２６ａ，１２６ｂは、例えばＵ字型に成形された線形バネよりなり、Ｕ字部分が互いに離反する方向に変形可能で、ランプを上方に挿入するのみでユニット１２０に装着可能であり、着脱が自在かつ容易なものとされている。このような保持具１２６ａ，１２６ｂは、ここでは不図示であるがエキシマランプ１２１の長さ方向においても数箇所設けられている。 The excimer lamp is mounted on the unit as follows, for example.
As shown in FIG. 4, at the substantially central portion of the bottom surface 120c of each unit 120, for example, two grooves having a semicircular cross section projecting inward are formed in the length direction. Is provided. A pair of holders 126a and 126b project from each lamp housing portion 125 as shown in the enlarged view of FIG. 8, and the excimer lamp 121 is supported by the holders 126a and 126b and attached to the unit 120. Has been. In addition, 127 in FIG. 8 is an ejection hole, the arrow shows the flow of process gas, and all are demonstrated in a back | latter stage.
The lamp holders 126a and 126b are formed of, for example, a U-shaped linear spring, the U-shaped portions can be deformed in directions away from each other, and can be attached to the unit 120 only by inserting the lamp upward. It is supposed that it can be easily attached and detached. Such holders 126a and 126b are provided in several places in the length direction of the excimer lamp 121, although not shown here.

図９はエキシマランプの構成を説明する断面図であり（ａ）管軸方向の断面図、（ｂ）管軸に垂直方向の断面図である。
エキシマランプ１２１は例えば、合成石英ガラスからなり内部にキセノンガスが封入された直管状の発光管１２１ｂを具備し、当該発光管１２１ｂ外表面上に半円筒状の外部電極１２１ｃが添設され、一方、発光管１２１ｂの内部にコイル状の内部電極１２１ｄが配設されて、構成されており、内部電極１２１ｄと外部電極１２１ｃの間に高周波電圧が印加されるものである。１２１ｅは、放電安定化のため具備された誘電体よりなる筒管であり、例えばガラス管である。この筒管１２１ｅの内部に内部電極１２１ｄが挿入されている。
内部電極１２１ｄの両端にはモリブデンからなる金属箔１２１ｆがそれぞれ接続されており、この金属箔１２１ｆが発光管１２１ｂの端部に形成されたピンチシール部１２１ｇに埋設されて、内部電極１２１ｄが発光管内において懸架され、同時に発光管１２１ｂが封止されている。金属箔１２１ｆの外端部には、外部リード棒１２１ｈが溶接されており、係る外部リード棒が発光管外部に取り出されている。なお、１２１ｉは、ガラス管１２１ｅの半径方向の移動を規制するため発光管１２１ｂの内壁から中心方向に突出形成した支柱である。
内部電極１２１ｄと外部電極１２１ｃ間に電圧が印加されると、発光管１２１ｂおよびガラス管１２１ｅを介して放電が発生し、放電空間内のキセノンが励起されて波長１７２ｎｍエキシマ光が生成され、発光管１２１ｂ外部に放射される。 9A and 9B are cross-sectional views for explaining the configuration of the excimer lamp. FIG. 9A is a cross-sectional view in the tube axis direction, and FIG. 9B is a cross-sectional view in the direction perpendicular to the tube axis.
The excimer lamp 121 includes, for example, a straight tubular arc tube 121b made of synthetic quartz glass and having xenon gas sealed therein, and a semi-cylindrical external electrode 121c is provided on the outer surface of the arc tube 121b. The coiled internal electrode 121d is disposed inside the arc tube 121b, and a high frequency voltage is applied between the internal electrode 121d and the external electrode 121c. Reference numeral 121e denotes a cylindrical tube made of a dielectric material provided for discharge stabilization, for example, a glass tube. An internal electrode 121d is inserted into the cylindrical tube 121e.
Metal foils 121f made of molybdenum are connected to both ends of the internal electrode 121d. The metal foil 121f is embedded in a pinch seal part 121g formed at the end of the arc tube 121b, and the internal electrode 121d is placed in the arc tube. The arc tube 121b is sealed at the same time. An external lead rod 121h is welded to the outer end portion of the metal foil 121f, and the external lead rod is taken out of the arc tube. Reference numeral 121i denotes a support column that protrudes from the inner wall of the arc tube 121b in the center direction in order to restrict the radial movement of the glass tube 121e.
When a voltage is applied between the internal electrode 121d and the external electrode 121c, a discharge is generated via the arc tube 121b and the glass tube 121e, and xenon in the discharge space is excited to generate excimer light with a wavelength of 172 nm. 121b is emitted to the outside.

上記構成に係るエキシマランプ１２１によれば、良好な放電特性が得られると共に、ランプ構成が比較的簡単で、更に長尺のランプも容易に作製することができる。
無論、エキシマランプ構成は上記構成に限定されるものではなく、適宜変更可能である。 According to the excimer lamp 121 having the above configuration, good discharge characteristics can be obtained, the lamp configuration is relatively simple, and a long lamp can be easily manufactured.
Of course, the excimer lamp configuration is not limited to the above configuration, and can be changed as appropriate.

上記エキシマランプ装置においては、フレームに冷却機構が具備されていてもよい。
例えば、図２で示すようにフレーム１１０の側壁部１１１の一側面には断面Ｕ字の貫通溝１１４が、フレーム１１０の長さ方向に２本形成される。貫通溝１１４の内部には、外形が略Ｕ字型をなす導管１１５が、折り返し部１１５ａがフレーム１１０外部に突出した状態で嵌め込まれ、その上に板状の押さえ部材１１６が添設されて一体に固定される。この導管１１５により、図３，図４などで示すような流路Ｆが各フレーム１１０に形成される。 In the excimer lamp device, the frame may include a cooling mechanism.
For example, as shown in FIG. 2, two through grooves 114 having a U-shaped cross section are formed in one side surface of the side wall portion 111 of the frame 110 in the length direction of the frame 110. Inside the through groove 114, a conduit 115 having a substantially U-shaped outer shape is fitted in a state in which the folded portion 115a protrudes outside the frame 110, and a plate-like pressing member 116 is additionally provided thereon. Fixed to. By this conduit 115, a flow path F as shown in FIG. 3, FIG.

この実施形態によれば、図２で示すように導管１１５の一方の開口において冷却用流体の供給口１１５ｂが、他方の開口において排出口１１５ｃが形成され、前図図１で示す冷却流体流通用チューブ１１７の一方が供給口１１５ｂに、他方のチューブ（１１７）が排出口１１５ｃに接続される。
導管１１５に冷却流体が供給されると、導管１１５内部に形成された流路Ｆを流体が流過し、フレーム１１０の熱を移送しながら巡り、これによりフレーム１１０が冷却される。流体は最終的に排出口１１５ｃよりランプハウス１０外部へ排出されるようになる。 According to this embodiment, as shown in FIG. 2, a cooling fluid supply port 115b is formed in one opening of the conduit 115, and a discharge port 115c is formed in the other opening. One of the tubes 117 is connected to the supply port 115b, and the other tube (117) is connected to the discharge port 115c.
When the cooling fluid is supplied to the conduit 115, the fluid flows through the flow path F formed inside the conduit 115 and travels while transferring the heat of the frame 110, thereby cooling the frame 110. The fluid is finally discharged from the discharge port 115c to the outside of the lamp house 10.

なお、図３，図４のようにフレーム１１０，１１０・・が多数具備されている場合、各フレーム１１０，１１０・・の導管１１５，１１５・・を連通させて、冷却用流体が複数のフレーム１１０，１１０・・を巡回する構造としてもよいし、フレーム１１０，１１０・・毎に独立した冷却用流体の供給、排出手段を設けた構造としてもよい。フレーム毎に独立して流体を流す場合、この実施形態のように導管１１５をフレーム１１０の長さ方向に往復して形成すると、冷却流体の導出入部がフレーム１１０の片側に集約されるため、流体の導出入経路の構成を簡素化できて好適である。
流体を巡回させる場合は多数のフレーム１１０，１１０・・を通過するため流体自身が昇温し、次第に冷却能が低下することが予想されるため、フレーム１１０，１１０・・毎に独立した冷却経路を形成する方が好ましい。係る場合、フレーム１１０，１１０・・間で温度差が生じることを防止でき、したがって、フレーム１１０，１１０・・に熱膨張差が生じず、ランプハウス１０に歪が発生することを回避できる。 3 and FIG. 4, when a large number of frames 110, 110... Are provided, the conduits 115, 115... Of each frame 110, 110. 110, 110... May be configured to circulate, or a cooling fluid supply / discharge unit may be provided for each of the frames 110, 110,. When the fluid is allowed to flow independently for each frame, if the conduit 115 is formed by reciprocating in the length direction of the frame 110 as in this embodiment, the cooling fluid lead-in portion is concentrated on one side of the frame 110, so It is possible to simplify the configuration of the lead-in / out route.
When circulating the fluid, it passes through a large number of frames 110, 110..., So that the fluid itself is heated and the cooling capacity is expected to decrease gradually. Therefore, an independent cooling path is provided for each frame 110, 110. Is more preferable. In such a case, it is possible to prevent a temperature difference from occurring between the frames 110, 110..., And therefore, no difference in thermal expansion occurs between the frames 110, 110.

以上のように、フレーム１１０に冷却機構が具備されることにより、エキシマランプ１２１が発熱してユニット１２０が加熱されても、フレーム１１０が高温になるのを抑制でき、熱膨張を回避することができる。よって、ランプハウス１０に歪みが生じるのを防止することができ、ランプハウス１０と処理室２０との間の接合部において摩擦が生じることなく、金属粉などが発生することを防止することができる。更に、フレーム１１０を独立的に冷却する場合は、フレーム１１０間の熱膨張差を少なくすることで、ランプハウス１０の歪を効果的に解消することが可能になる。   As described above, since the frame 110 is provided with the cooling mechanism, even if the excimer lamp 121 generates heat and the unit 120 is heated, it is possible to suppress the frame 110 from becoming high temperature and to avoid thermal expansion. it can. Therefore, it is possible to prevent the lamp house 10 from being distorted, and it is possible to prevent the generation of metal powder or the like without causing friction at the joint between the lamp house 10 and the processing chamber 20. . Further, when the frames 110 are cooled independently, the distortion of the lamp house 10 can be effectively eliminated by reducing the difference in thermal expansion between the frames 110.

エキシマランプ装置においては、窒素などの不活性ガスまたはワークに所定の処理を行うため、処理ガスを供給する手段を設けてもよい。
例えば、図１で示したガス供給用チューブ１１８からユニット１２０本体の中空内部にガスが導入される。ユニット１２０には、図８の断面図で示すように噴出孔１２７が形成されており、ユニット１２０内部に導入されたガスが、矢印で示すようにランプ収容部１２５の壁とエキシマランプ１２１の間隙をぬって下方の処理室に向けて噴射される。
この実施形態のように、噴出孔１２７がエキシマランプ１２１の発光管の最上部に対応する位置（図８参照）に形成されることで、エキシマランプ１２１の周囲をガスが流れるため、ガスがランプの冷却にも寄与されるようになり、特に好適である。このような噴出孔は、図１０で示すユニット底面側からみた平面図のように、ユニットの長さ方向にわたり均等に形成されるのが、処理ガス濃度を均一化できて好ましい。 In the excimer lamp apparatus, a means for supplying a processing gas may be provided in order to perform a predetermined processing on an inert gas such as nitrogen or a workpiece.
For example, the gas is introduced from the gas supply tube 118 shown in FIG. As shown in the cross-sectional view of FIG. 8, the unit 120 is formed with an ejection hole 127, and the gas introduced into the unit 120 flows between the wall of the lamp housing portion 125 and the excimer lamp 121 as shown by the arrow. And injected toward the lower processing chamber.
Since the ejection hole 127 is formed at a position corresponding to the uppermost part of the arc tube of the excimer lamp 121 (see FIG. 8) as in this embodiment, the gas flows around the excimer lamp 121. This is particularly suitable because it contributes to the cooling of the material. Such ejection holes are preferably formed uniformly over the length of the unit as shown in the plan view from the unit bottom side shown in FIG.

以上において、処理ガスとして不活性ガスを用いる場合は、処理室内に搬送されたワーク近傍の酸素濃度を低下させることでエキシマランプ１２１から放射された紫外光の酸素による吸収を低減させ、よって、ワークに対しての高効率な光照射を可能とする。無論、その他にもワークの処理に応じて適宜処理ガスを選定できる。   In the above, when an inert gas is used as the processing gas, the oxygen concentration in the vicinity of the work conveyed into the processing chamber is reduced to reduce the absorption of the ultraviolet light emitted from the excimer lamp 121 by oxygen. Enables highly efficient light irradiation. Of course, other processing gases can be selected as appropriate according to the processing of the workpiece.

図１１は、冷却手段を設けたユニットの説明図であり、１つのユニットを取り出して示す要部拡大断面図である。この図は、前図、図１におけるＢ−Ｂ断面に相当する。
同図に示すようにユニット１２０内部は中空に形成されており、その底面に形成されたランプ収容部１２５に対応する内面に、樋状に形成された導管保持部１２８が設けられている。そしてこの導管保持部１２８に冷却流体が流過する導管Ｐが載置されて、図示省略の取り付け部材により密着して固定されている。なお、冷却流体は例えば水などからなる。
このように、ユニット１２０に冷却手段を設けることにより、エキシマランプ１２１が冷却されてランプの効率を高めると共に、ユニット１２０本体の熱膨張が抑制され、装置全体に歪が生じることを効果的に抑制することができるようになる。 FIG. 11 is an explanatory diagram of a unit provided with a cooling means, and is an enlarged cross-sectional view of a main part showing one unit taken out. This figure corresponds to the BB cross section in the previous figure and FIG.
As shown in the figure, the inside of the unit 120 is formed hollow, and a conduit holding portion 128 formed in a bowl shape is provided on the inner surface corresponding to the lamp housing portion 125 formed on the bottom surface thereof. A conduit P through which the cooling fluid flows is placed on the conduit holding portion 128, and is fixed in close contact with an attachment member (not shown). The cooling fluid is made of water, for example.
Thus, by providing the cooling means in the unit 120, the excimer lamp 121 is cooled to increase the efficiency of the lamp, and the thermal expansion of the unit 120 main body is suppressed, and the distortion of the entire apparatus is effectively suppressed. Will be able to.

以上、本発明の第１の実施形態について説明したが、上記構成は一例であり、置換可能な構成について適宜変更可能であることはいうまでもない。
例えば、第１の実施形態では電源部をフレームに取り付けて装置に固定した（図３参照）が、係る電源部をユニット側に取り付けても構わない。係る場合、ランプ交換のときに、ランプをユニットに取り付ける作業と連続して、その場でランプと電源部の給電接続を済ませることが可能になり、給電接続を確実にできるため、高い信頼性を得ることができる。
また、電源部とランプとの間の給電接続構造については、板状端子と突子を用いた押圧による接続手段に限定されることなく、公知の給電接続構造を採用することができる。例えばオスメスコネクタや圧着端子等を用いてネジ止めするなど、その手段は適宜である。 The first embodiment of the present invention has been described above. However, the above configuration is an example, and it is needless to say that a replaceable configuration can be appropriately changed.
For example, in the first embodiment, the power supply unit is attached to the frame and fixed to the apparatus (see FIG. 3). However, the power supply unit may be attached to the unit side. In such a case, when replacing the lamp, it is possible to complete the power supply connection between the lamp and the power supply unit on the spot in succession to the work of attaching the lamp to the unit. Obtainable.
Moreover, about the electric power feeding connection structure between a power supply part and a lamp | ramp, it is not limited to the connection means by the press using a plate-shaped terminal and a protrusion, A well-known electric power feeding connection structure is employable. For example, the means is appropriate, such as screwing using a male-female connector or a crimp terminal.

更には、上記実施形態では、処理ガスの噴出孔をランプの最上部に対応するよう設けた（図８参照）が、この例に限定されずそれより下側の位置に設けても良いし、ランプ収容部とランプ収容部の間に設けてもよい。
また、図８においては、エキシマランプとユニットは非接触した状態の例を示したが、無論、これに限定されることなく、ランプをユニット底面に接触させた状態で保持しても構わない。なお、ランプをユニットに密着させて保持した場合には、ユニットが多少振動した場合もランプの移動が規制されるため、不所望にランプが回動したり上下方向に振動したりすることが抑制されるようになる。
また、ランプの保持具についても、図８で示したものに限定されず適宜である。例えば、断面半円弧状に成形された支持部を有する板状の支持部材を用いてランプを下から支持し、ユニットにネジ止め固定してもよい。 Furthermore, in the said embodiment, although the ejection hole of the process gas was provided so as to correspond to the uppermost part of the lamp (see FIG. 8), it is not limited to this example, and may be provided at a position below it. You may provide between a lamp accommodating part and a lamp accommodating part.
8 shows an example in which the excimer lamp and the unit are not in contact with each other. However, the present invention is not limited to this, and the lamp may be held in contact with the bottom of the unit. Note that when the lamp is held in close contact with the unit, even if the unit vibrates somewhat, the movement of the lamp is restricted, so it is possible to prevent the lamp from undesirably rotating or vibrating vertically. Will come to be.
Further, the lamp holder is not limited to that shown in FIG. For example, the lamp may be supported from below using a plate-like support member having a support portion formed in a semicircular cross section, and fixed to the unit by screws.

なお、上述した第１の実施形態においては、ユニットはフレームのフランジ部上に載置されて支持された構造であったが、本発明においてはこの形態に限定されるものではない。
例えば図１２は、本発明の他の実施形態を説明する図であり、１つのユニットを取り出して示す要部拡大断面図である。なお、ここでは先に図１〜図１１で説明した構成と同構成については、同じ符号で示してその説明を省略する。
図１２において、ユニット１２０の天板１２２は、両側縁部が下方の箱状のユニット側面よりも外方に延在して突出しており、突出部１２２Ａ，１２２Ａが一対のフレーム１１０の側壁部１１１に設けられた段部１１１Ａ，１１１Ａ上に載置され、取り出し自在に支持されている。
このように、フレーム１１０に形成されるユニット１２０の支持部は、前述したフランジ部に限定されず、少なくとも一部にユニットが載置されていればよい。
なお、この例においては、フレームに設けられたフランジ部１１２はユニットの支持をしないため、フランジ部１１２をあえて設ける必要はないが、フランジ部を形成しておくとフレーム１１０とユニット１２０の摩擦によって金属粉などが発生した場合にそれらを一時的に回収できるようになるため、処理室やランプハウスの内部を清浄に維持することができる。 In the above-described first embodiment, the unit has a structure that is placed and supported on the flange portion of the frame. However, the present invention is not limited to this configuration.
For example, FIG. 12 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of a main part showing one unit taken out. In addition, about the same structure as the structure demonstrated previously in FIGS. 1-11 previously, it shows with the same code | symbol and abbreviate | omits the description.
In FIG. 12, the top plate 122 of the unit 120 protrudes with both side edges extending outward from the side of the lower box-shaped unit, and the protruding portions 122 </ b> A and 122 </ b> A are side walls 111 of the pair of frames 110. Are mounted on the stepped portions 111A and 111A provided in the upper portion and supported so as to be freely taken out.
Thus, the support part of the unit 120 formed in the frame 110 is not limited to the flange part mentioned above, and the unit should just be mounted in at least one part.
In this example, since the flange portion 112 provided on the frame does not support the unit, it is not necessary to provide the flange portion 112. However, if the flange portion is formed, friction between the frame 110 and the unit 120 may occur. When metal powder and the like are generated, they can be temporarily collected, so that the inside of the processing chamber and the lamp house can be kept clean.

図１３は、本発明の更に異なる実施形態を説明する図であり、１つのユニットを取り出して示す要部拡大断面図である。なお、ここでも先に図１〜図１２で説明した構成と同構成については、同じ符号で示してその説明を省略する。
この実施形態においては、一対のフレーム１１０，１１０が、側面１１１Ｂ，１１１Ｂが下方に向かうに従って離間距離が狭くなるようにテーパー状に形成されている。そして、ユニット１２０は、側面１２０Ｂ，１２０Ｂが下方に向かって幅が小さくなるように形成されており、前記一対のフレーム１１０，１１０の間に嵌合することにより、着脱自在に支持されている。このように、ユニットと一対のフレームの側面をテーパー状とし、両者を嵌合させて支持しても、ユニットの取り出しを容易に行える。
なお、この例においても、フランジ部１１２をあえて設ける必要はないが、フランジ部１１２を形成しておくとフレーム１１０とユニット１２０の摩擦によって金属粉などが発生した場合にそれらを一時的に回収できるようになるため、処理室やランプハウスの内部を清浄に維持することができる。 FIG. 13 is a diagram for explaining still another embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of a main part, showing one unit taken out. Here, the same components as those described above with reference to FIGS. 1 to 12 are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.
In this embodiment, the pair of frames 110, 110 are formed in a tapered shape so that the separation distance becomes narrower as the side surfaces 111B, 111B are directed downward. The unit 120 is formed such that the widths of the side surfaces 120B and 120B decrease downward, and is detachably supported by fitting between the pair of frames 110 and 110. As described above, even if the side surfaces of the unit and the pair of frames are tapered, and both are fitted and supported, the unit can be easily taken out.
Also in this example, it is not necessary to provide the flange portion 112. However, if the flange portion 112 is formed, when metal powder or the like is generated due to friction between the frame 110 and the unit 120, they can be temporarily collected. As a result, the inside of the processing chamber and the lamp house can be kept clean.

続いて、本発明の更に異なる実施形態について説明する。図１４は更に異なる実施形態を説明する（ａ）側部からみた分解構成図、（ｂ）側面図である。図１５は、図１４の断面図、図１６は図１５中の１つのユニットを取り出して示す拡大図である。この実施形態は、上記第１の実施形態の基本構成にランプ収納部を覆うケース体を更に設けた例である。この実施形態におけるフレームとユニットの構造は、第１の実施形態と同様であり、ユニットをフレームの間に載置して構成する点で同様の作用効果を奏する。なお、以下の説明において、先に図１〜図１３で説明した構成と同構成については、同じ符号で示してその説明を省略する。
ケース体２００は、例えば、側板２０１ａと端板２０１ｂとよりなる枠部材２０１と、枠部材２０１の開口部を覆う窓部材２０２とを具備して構成される。枠部材２０１は、ユニット１２０の底面形状に合せて矩形形状に成形され、その上端がユニット１２０における天板１２２または底面に密着し、図示省略のネジ等によって締結されている。図１５、図１６で示すように枠部材２０１の下端部には、窓部材２０２取付用の支持部材２０１Ａが設けられており、この支持部材２０１Ａと枠部本体２０１の間に形成された係止溝Ｄに窓部材２０２の側縁部が嵌合する。 Subsequently, still another embodiment of the present invention will be described. FIG. 14 is a disassembled configuration diagram viewed from the side, and (b) a side view for explaining still another embodiment. 15 is a cross-sectional view of FIG. 14, and FIG. 16 is an enlarged view showing one unit in FIG. This embodiment is an example in which a case body that covers the lamp housing portion is further provided in the basic configuration of the first embodiment. The structure of the frame and unit in this embodiment is the same as that of the first embodiment, and has the same effect in that the unit is placed between the frames. In the following description, the same components as those previously described with reference to FIGS. 1 to 13 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
The case body 200 includes, for example, a frame member 201 including a side plate 201a and an end plate 201b, and a window member 202 that covers an opening of the frame member 201. The frame member 201 is formed in a rectangular shape in accordance with the shape of the bottom surface of the unit 120, and the upper end of the frame member 201 is in close contact with the top plate 122 or the bottom surface of the unit 120 and is fastened by screws or the like not shown. As shown in FIGS. 15 and 16, a support member 201 </ b> A for attaching the window member 202 is provided at the lower end portion of the frame member 201, and a latch formed between the support member 201 </ b> A and the frame body 201. The side edge of the window member 202 is fitted into the groove D.

窓部材２０２は、図１４で示すように、２本のエキシマランプ１２１を覆う程度大きさであって、材質としては合成石英ガラスが好適する。このように窓部材２０２はエキシマランプ１２１の長さに適合するよう大きなものであるが、ワークＷの大きさに対して窓部材２０２の短手方向長さを小さく構成できる。   As shown in FIG. 14, the window member 202 is large enough to cover the two excimer lamps 121, and is preferably made of synthetic quartz glass. As described above, the window member 202 is large so as to match the length of the excimer lamp 121, but the length in the short direction of the window member 202 can be made smaller than the size of the workpiece W.

図１５で示すように、ランプ収容部１２５の下方にはランプの短手方向に延在するアーム状のランプ保持具１２６ｃがランプの長さ方向に数箇所設けられており、エキシマランプ１２１はこれによって下方から支持されて、ランプ収容部１２５内に収容される。   As shown in FIG. 15, an arm-shaped lamp holder 126c extending in the short direction of the lamp is provided below the lamp housing part 125 in several directions along the length of the lamp. And is accommodated in the lamp accommodating portion 125 from below.

また、図１６で示すように、ユニット１２０のランプ収容部１２５及び底部には噴出孔１２７が設けられており、前図図１４のガス供給用チューブ１１８からユニット１２０内部に導入されたガスが、同図の矢印で示すように当該噴出孔１２７を通過してユニット１２０底面とケース体２００によって形成された空間Ｈ内又は外部空間（被処理室）に向かって排出される。ケース体２００で囲まれた空間Ｈに流入したガスは、枠部材２０１と窓部材２０２の嵌合部の間の間隙から洩出するか、図示省略した排気口より排出される。
処理ガスは、例えば不活性ガス（具体的には窒素ガス）であり、ケース体２００内部空間Ｈが不活性ガスで充填されることでエキシマランプ１２１から放射された光を効率よくワークに対して照射できるようになる。このようにしてケース体２００内部空間Ｈをガスで充填させる場合は、内部の圧力が外部（被処理室）雰囲気よりも高い状態に維持されることがあるが、上述したようにワークの面積に対して窓部材２０２の大きさを小さく構成できるため、ガラスが外方に湾曲して膨出することが回避され、窓部材２０２の最大たわみ量が小さくて、当該窓部材２０２とワークの間の距離を、窓部材２０２の全域にわたってほぼ一定となるよう支持することができる。よって、窓の周縁部と中心部とで処理むらを生じたり、窓部材２０２が基板に接触したりすることも回避できる。なお、窓部材２０２とワークとの距離は例えば０．５〜１０ｍｍ（好ましくは、３〜５ｍｍ）とされる。 Further, as shown in FIG. 16, an ejection hole 127 is provided in the lamp housing portion 125 and the bottom portion of the unit 120, and the gas introduced into the unit 120 from the gas supply tube 118 of FIG. As shown by the arrows in the figure, the air passes through the ejection hole 127 and is discharged toward the space H formed by the bottom surface of the unit 120 and the case body 200 or toward the external space (processing chamber). The gas flowing into the space H surrounded by the case body 200 leaks from the gap between the fitting portions of the frame member 201 and the window member 202 or is discharged from an exhaust port (not shown).
The processing gas is, for example, an inert gas (specifically, nitrogen gas), and light emitted from the excimer lamp 121 is efficiently applied to the workpiece by filling the case body 200 inner space H with the inert gas. Can be irradiated. In this way, when the case body 200 internal space H is filled with gas, the internal pressure may be maintained higher than the atmosphere in the outside (the chamber to be processed). On the other hand, since the size of the window member 202 can be made small, it is avoided that the glass is curved outward and bulges out, and the maximum deflection amount of the window member 202 is small, so that the window member 202 and the workpiece are not bent. The distance can be supported so as to be substantially constant over the entire area of the window member 202. Therefore, it is also possible to avoid processing unevenness between the peripheral edge portion and the central portion of the window and the window member 202 coming into contact with the substrate. The distance between the window member 202 and the workpiece is, for example, 0.5 to 10 mm (preferably 3 to 5 mm).

図１７は、更に異なる実施形態を示す、ユニットの１つを拡大して示す断面図である。なお、先に図１〜図１６で説明した構成と同構成については、同じ符号で示してその説明を省略する。
この実施形態は、前図図１６で示したものに比較し、エキシマランプ１２１から放射された光を、紙面上において下方（窓部材２０２側）に向けて反射する反射ミラー２０３を、ランプ１２１に沿って取り付けた例である。反射ミラー２０３は例えば無垢のアルミニウム板を折曲形成したものであり、ランプ１２１の長手方向全長に亘って配置されている。
処理ガスの噴出孔１２７はランプ収容部１２５における頂部に対応する部分にのみ形成されており、ユニット１２０内部に導入された処理ガスがエキシマランプ１２１の外周に沿って流過すると共に、ケース体２００の内部空間Ｈ側に効率よく導入されるようになっている。更に、ケース体２００には、枠部材２０１に噴出孔２０４が数箇所形成されており、ケース体２００内部の空間Ｈを不活性ガスで充填し、内部の酸素濃度を減少させることができる。このように処理ガスとその流過経路の設定内容によってため、反射ミラー２０３を金属の無垢材料より構成した場合でも、ケース体２００内部の酸素濃度を低くすることができるため、紫外光照射に由来した金属部材の酸化現象を効果的に防止することができる。 FIG. 17 is an enlarged cross-sectional view of one of the units, showing yet another embodiment. In addition, about the same structure as the structure demonstrated previously in FIGS. 1-16, it shows with the same code | symbol and abbreviate | omits the description.
In this embodiment, compared with the one shown in FIG. 16, the lamp 121 has a reflection mirror 203 that reflects light emitted from the excimer lamp 121 downward (on the window member 202 side) on the paper surface. It is an example attached along. The reflection mirror 203 is formed by bending a solid aluminum plate, for example, and is arranged over the entire length of the lamp 121 in the longitudinal direction.
The processing gas ejection hole 127 is formed only in the portion corresponding to the top of the lamp housing portion 125, and the processing gas introduced into the unit 120 flows along the outer periphery of the excimer lamp 121 and the case body 200. Is efficiently introduced into the inner space H side of the. Further, the case body 200 has several ejection holes 204 formed in the frame member 201, and the space H inside the case body 200 can be filled with an inert gas to reduce the oxygen concentration inside. In this way, because of the setting contents of the processing gas and its flow path, the oxygen concentration inside the case body 200 can be lowered even when the reflecting mirror 203 is made of a solid metal material. Thus, the oxidation phenomenon of the metal member can be effectively prevented.

図１８は、更に異なる実施形態を示す、ユニットの１つを拡大して示す断面図である。なお、先に図１〜図１７で説明した構成と同構成については、同じ符号で示してその説明を省略する。
この実施形態は、ユニット１２０の支持を、ケース体２００の枠部材２０１（詳しくは支持部材２０１Ａ）をフレーム１１０におけるフランジ部１１２上に載置して行った例である。このように本発明においては、ケース体２００を介してユニット１２０を支持してもよい。かかる場合は、フレームにおける冷却機構をケース体２００の側面にも拡大させることができる。 FIG. 18 is an enlarged cross-sectional view of one of the units, showing yet another embodiment. In addition, about the same structure as the structure demonstrated previously in FIGS. 1-17, it shows with the same code | symbol and abbreviate | omits the description.
In this embodiment, the unit 120 is supported by placing the frame member 201 (specifically, the support member 201 </ b> A) of the case body 200 on the flange portion 112 of the frame 110. Thus, in the present invention, the unit 120 may be supported via the case body 200. In such a case, the cooling mechanism in the frame can be expanded to the side surface of the case body 200.

また、同図で示す実施形態においては、先に図１１で説明したユニットの冷却手段も備えている。すなわち、ランプ収容部１２５に対応する内面に、樋状に形成された導管保持部１２８が設けられ、かかる導管保持部１２８に冷却流体が流過する導管Ｐが載置されている。このように、ユニット１２０に冷却手段を設けることにより、エキシマランプ１２１が冷却されてランプの効率を高めると共に、ユニット１２０本体の熱膨張が抑制され、装置全体に歪が生じることを効果的に抑制できる。   Further, the embodiment shown in the figure also includes the unit cooling means described above with reference to FIG. That is, a conduit holding portion 128 formed in a bowl shape is provided on the inner surface corresponding to the lamp accommodating portion 125, and a conduit P through which the cooling fluid flows is placed on the conduit holding portion 128. Thus, by providing the cooling means in the unit 120, the excimer lamp 121 is cooled to increase the efficiency of the lamp, and the thermal expansion of the unit 120 main body is suppressed, and the distortion of the entire apparatus is effectively suppressed. it can.

以上、本発明の実施形態について種々説明したが、本願発明については上記構成に限定されることなく、適宜変更が可能であることはいうまでも無い。例えば、ケース体２００とユニット１２０の間の結合部構成についてはネジ等で締結して固定する形態に限定されることなく、間にシール材などを介在させて気密状態に連結、固定することも可能である。   While various embodiments of the present invention have been described above, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described configuration and can be appropriately changed. For example, the configuration of the coupling portion between the case body 200 and the unit 120 is not limited to a form that is fastened and fixed with screws or the like, but may be connected and fixed in an airtight state with a sealant or the like interposed therebetween. Is possible.

以上のように、本発明によれば、１０００ｍｍを超す長尺のランプであっても、交換を簡単かつ安全に行うことができると共に、装置全体で発生する歪を抑制できるようになり、ランプハウス内やコンベア室内が汚染されることを効果的に回避することができるようになる。   As described above, according to the present invention, even a long lamp exceeding 1000 mm can be replaced easily and safely, and distortion generated in the entire apparatus can be suppressed. It is possible to effectively avoid contamination of the inside and the conveyor chamber.

本願発明に係るエキシマランプ装置を一部断面で示す側面図であるIt is a side view which shows the excimer lamp device which concerns on this invention in a partial cross section. 図１におけるランプハウスの分解構成図である。It is a disassembled block diagram of the lamp house in FIG. 図１のランプハウス部分の断面図でありＡ−Ａ断面図である。It is sectional drawing of the lamp house part of FIG. 1, and is AA sectional drawing. 図１のランプハウス部分の断面図でありＢ−Ｂ断面図である。It is sectional drawing of the lamp house part of FIG. 1, and is BB sectional drawing. ユニットとフレームの接触部分を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the contact part of a unit and a flame | frame. 給電接続部の構成を説明する拡大図である。It is an enlarged view explaining the structure of an electric power feeding connection part. ユニット上部に設けられた係合機構を説明する拡大図である。It is an enlarged view explaining the engaging mechanism provided in the unit upper part. ランプが保持された状態を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view showing the state where a lamp was held. エキシマランプの構成を説明するエキシマランプの構成を説明する（ａ）管軸方向の断面図、（ｂ）管軸に垂直方向の断面図である。FIG. 4A is a cross-sectional view in the tube axis direction, and FIG. 4B is a cross-sectional view in the direction perpendicular to the tube axis, illustrating the configuration of the excimer lamp. ユニット底面の平面図である。It is a top view of a unit bottom face. ユニット冷却手段を説明する要部断面図である。It is principal part sectional drawing explaining a unit cooling means. 本発明の他の実施形態を説明する図であり、１つのユニットを取り出して示す要部拡大断面図である。It is a figure explaining other embodiment of this invention, and is a principal part expanded sectional view which takes out and shows one unit. 本発明の他の実施形態を説明する図であり、１つのユニットを取り出して示す要部拡大断面図である。It is a figure explaining other embodiment of this invention, and is a principal part expanded sectional view which takes out and shows one unit. 本発明の他の実施形態を説明する（ａ）側部からみた分解構成図、（ｂ）側面図である。(A) It is the decomposition | disassembly block diagram seen from the side part explaining other embodiment of this invention, (b) It is a side view. 図１４の断面図である。It is sectional drawing of FIG. 図１５中の１つのユニットを取り出して示す拡大図である。It is an enlarged view which takes out and shows one unit in FIG. 更に異なる実施形態を示す、ユニットの１つを拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows one of the units which shows further another embodiment. 更に異なる実施形態を示す、ユニットの１つを拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows one of the units which shows further another embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１００ エキシマランプ装置
１０ ランプハウス
１１ 枠体
１２ カバー
１３ ベース
２０ 処理室
１１０ フレーム
１１１ 側壁部
１１１ａ 嵌合溝
１１１Ａ フレーム段部
１１１Ｂ フレーム側面
１１２ フランジ部
１１３ 凹所
１１４ 貫通溝
１１５ 導管
１１５ａ 折り返し部
１１５ｂ 供給口
１１５ｃ 排出口
１１６ 押さえ部材
１１７ 冷却流体流通用チューブ
１１８ ガス供給用チューブ
１２０ ユニット
１２０ａ 一端
１２０Ｂ ユニット側面
１２１ エキシマランプ
１２１ａ 一端
１２１ｂ 発光管
１２１ｃ 外部電極
１２１ｄ 内部電極
１２１ｅ ガラス管
１２２ 天板
１２２Ａ 突出部
１２２ａ 案内ピン
１２３ 把手
１２４ 給電突子
１２５ ランプ収容部
１２６ａ，１２６ｂ 保持具
１２７ 噴出孔
１２８ 保持部
１３０ 電源部
１３１ 給電端子
２００ ケース体
２０１ 枠部材
２０１Ａ 支持部材
２０２ 窓部材
Ｆ 流路
Ｄ 溝
Ｈ ケース体内部空間
Ｐ 導管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Excimer lamp apparatus 10 Lamp house 11 Frame body 12 Cover 13 Base 20 Processing chamber 110 Frame 111 Side wall part 111a Fitting groove 111A Frame step part 111B Frame side surface 112 Flange part 113 Recessed part 114 Through groove 115 Conduit 115a Folding part 115b Supply port 115c discharge port 116 holding member 117 cooling fluid circulation tube 118 gas supply tube 120 unit 120a one end 120B unit side surface 121 excimer lamp 121a one end 121b arc tube 121c external electrode 121d internal electrode 121e glass tube 122 top plate 122A protrusion 122a guide pin 123 Handle 124 Power feeding protrusion 125 Lamp accommodating part 126a, 126b Holder 127 Ejection hole 128 Holding part 130 Power supply part 131 Power supply terminal 200 Case body 201 Frame Member 201A Support member 202 Window member F Flow path D Groove H Case body internal space P Conduit

Claims (5)

ランプハウス内にエキシマランプが収納され、ランプからの紫外線を外部に照射するエキシマランプ装置において、
前記ランプハウスの内部に並設された複数の板状フレームと、
中空箱型に成形され、底面にランプ収容部が形成されたユニットと、
前記ランプ収容部に収容されたエキシマランプと、を具備し、
前記ユニットは、隣接配置された前記板状フレーム間に取り出し可能に挿入・支持されてなり、かつ、該ユニットにはその中空内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段が取り付けられており、該ユニットの底面には前記不活性ガスを噴出する噴出口が穿設されていることを特徴とするエキシマランプ装置。 In an excimer lamp device in which an excimer lamp is stored in a lamp house and irradiates ultraviolet rays from the lamp to the outside,
A plurality of plate-like frames arranged in parallel inside the lamp house;
A unit formed into a hollow box shape and having a lamp housing portion formed on the bottom surface ;
An excimer lamp housed in the lamp housing section,
The unit is inserted and supported so as to be removable between the adjacent plate frames, and the unit is provided with an inert gas supply means for supplying an inert gas into the hollow space. An excimer lamp device , wherein a jet outlet for jetting the inert gas is formed in a bottom surface of the unit. 前記噴出口が、ランプ収容部のエキシマランプの最上部に対向する位置に穿設されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ装置。 2. The excimer lamp device according to claim 1, wherein the ejection port is formed at a position facing an uppermost portion of the excimer lamp in the lamp housing portion . 前記ユニットの底面の下方に、前記ランプ収容部を覆うようにケース体が設けられ、該ケース体には光取り出し部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ装置。 2. The excimer lamp device according to claim 1 , wherein a case body is provided below the bottom surface of the unit so as to cover the lamp housing portion, and a light extraction portion is formed in the case body . 前記ユニットにランプの冷却機構が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ装置。   2. The excimer lamp device according to claim 1, wherein a cooling mechanism for the lamp is provided in the unit. 前記板状フレームに冷却機構が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ装置。
2. The excimer lamp device according to claim 1, wherein the plate-like frame is provided with a cooling mechanism.
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