JP4376474B2 - Transparent conductive film - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種携帯端末機器・OA機器等に搭載される透明タッチパネルや、エレクトロクロミック素子用透明電極部材等に用いられる透明導電性フィルムに関する。
【0002】
【従来の技術】
パーソナル・デジタル・アシスタント(PDA)、並びにサブノートパソコンに代表される携帯用情報端末は、一般的な構成として携帯性と使い易さを重視されることから、液晶ディスプレイなどの表示装置上に入力装置として抵抗膜式透明タッチパネルが多用されている。また、屋外使用時など照度の高い環境でのディスプレイ画像のコントラスト調整を目的にディスプレイ上にエレクトロクロミック素子が配置される場合がある。
タッチパネルは、片側に透明導電層が形成された透明導電性フィルムと、片側に透明導電層が形成された透明導電性ガラス又はフィルムを電極材として、透明導電層上に形成した絶縁性マイクロドットスペーサを介して、透明導電層を対向させてなるスイッチ構造を持ち、フィルム上を指やペンで押圧又は摺動することで入力がはかられ、X−Y座標として認識されるものである。
【0003】
また、エレクトロクロミック素子は、透明導電上に金属酸化膜からなる調光層が形成された透明導電性フィルムと他の透明導電性フィルムを、電解質層を介して、調光層と透明導電層を対向させてなる調光素子であり、電極間に僅かな電圧を印加することで吸収係数を制御し、素子透過率を変化できるものである。
ディスプレイ上に配置させるタッチパネルや、エレクトロクロミック素子は、このように至便なものであるが、一方、ディスプレイなどのカラー化、高精細化、通信の多様化に伴い、画像、輝度、色温度、コントラストを極力変化させないことが要求されてきた。
つまり、そのためのタッチパネルや、透明状態のエレクトロクロミック素子の光学特性として、▲1▼透過率が限りなく100%に近いこと、▲2▼最表面からの反射率が限りなく低いこと、▲3▼単に限られた波長でのみ高透過率を有するのでなく可視領域で透過率の波長分散の少ないこと、が要求されている。
【0004】
ディスプレイでは赤・青・緑の3原色をすべて発光させた状態で白色となるが、白色は白色に見え、赤に偏ったり、青に偏ったりすることの無いことが望まれている。
ディスプレイ上での白色は、物体色としてCIE(国際照明委員会)色度座標上における白色点(X0=0.333、Y0=0.333)に一致、もしくは限り無く近いことが望まれる。ここで、ディスプレイ上に配置されるタッチパネル、もしくは消色状態のクロミック素子の物体色は、各々の物体色をCIE色度座標値(X1、Y1)で表し、それを白色点座標値(X0、Y0)で除した値をホワイト度と定義すると、ホワイト度(X1/X0、Y1/Y0)は、X1/X0とY1/Y0とがともに1に近いことが要求されている。
【0005】
しかし、透明タッチパネルやエレクトロクロミック素子に用いられている透明導電性フィルムは、透明導電層と空気層、透明導電層と電解質層、の各界面において屈折率の差に起因する反射が生じる。またハードコート層等が形成されている場合もあるが、透明導電層の反対面の表層と空気層の界面においても屈折率の差に起因する反射が生じる。このことにより、ディスプレイの画像輝度を低下させたり、また反射型液晶上に配置されるタッチパネルの場合では、外部からの光線取り込み効率の低下をさせてしまう問題がある。加えて、一般的に透明導電層は屈折率が2.0前後の値であるため、可視光線領域で反射率に比較的大きな波長分散を生じ、ホワイト度を悪化させる問題がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
よって本発明の課題は、タッチパネルやエレクトロクロミック素子などに好適な、透過率が高く、反射率が低く、ホワイト度が確保された光学特性の良い透明導電性フィルムを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を達成するために、図1の如く、まず透明フィルム(1)の両面に光硬化型透明樹脂層を形成し、一方の透明樹脂層(21)上には、金属酸化物からなるアンダーコート層(20)を介して金属酸化物系の透明導電層(2)を有し、もう一方の透明樹脂層(11)上には、少なくとも2種類以上の金属元素を含んだ複合金属酸化物層とSiO2層の積層体とからなる低反射層(10)を有する透明導電性フィルムを提供する。
【0010】
そして透明樹脂層(21)とアンダーコート層(20)の間、及び/またはもう一方の透明樹脂層(11)と、低反射層(10)との間の密着性を更に高めるために、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた、単一もしくは2種類以上の金属元素の合金からなる金属層がその間に形成されていることを特徴とする透明導電性フィルムを提供する。
【0011】
また前記透明樹脂層(11)及び/または前記透明樹脂層(21)は、前記透明フィルム(1)と接しない面に凹凸を有することを特徴とする透明導電性フィルムを提供する。
また加工において、導電面をレーザー加工でパターニングしたことを特徴とする透明導電性フィルムを提供する。
【0012】
また応用として、ペン入力用アナログ型タッチパネルに用いたことを特徴とする透明導電性フィルムを提供する。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を以下に述べる。まず、この発明において使用する透明フィルム基材としては、透明性を有する各種のプラスチックフィルムを使用出来、具体的にはポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリカーボネイト(PC)、ポリプロピレン(PP)、ポリアミド(PA)、ポリアクリル(PAC)、ノルボルネン系の熱可塑性透明樹脂など、またはそれらの積層体などが挙げられる。フィルム基材の厚みとしては、通例20〜500μmのものが用いられる。
【0014】
透明樹脂層は透明フィルムの両面に形成される。透明樹脂としては光硬化型のシリコーン系、アクリル系、セルロース系、メラミン系或いはウレタン系などの樹脂が用いられる。通常コーティング法で形成され、層厚は数μmで、熱による硬化方法でもよい。形状としては、多層の場合もあり一般には平板形状のものが対象となるが、樹脂にシリカや有機樹脂フィラーを混合分散し凹凸をつける場合も有る。タッチパネルの場合、透明導電層が対向する透明導電層との間に空隙があっても、表面の微細な凹凸がニュートンリングの発生を防止するように作用する。その形状は中心線表面粗さの評価で0.05〜2μm、かつ最大高さが0.6〜3μmであるものがよい。
【0015】
低反射層(10)は透明樹脂層(11)上に形成される。低反射層(10)はホワイト度を確保しつつ、反射率を低減させるため、屈折率の大なる層と屈折率の小なる層を交互に積層し、層の材料や、積層構成、層厚みを最適に設定する。本発明の低反射層(10)は、少なくとも2種類以上の金属元素を含んだ複合金属酸化物層とSiO2層の積層体とからなる。低反射層は透明樹脂層(11)上に、透明樹脂層(11)/複合金属酸化物層(13)/SiO2層(14)、もしくは透明樹脂層(11)/複合金属酸化物層(13)/SiO2層(14)/複合金属酸化物層(15)/SiO2層(16)の構成で形成する。
複合金属酸化物層とSiO2層の積層体は重ねた方がホワイト度は向上する。また必要に応じて最表層のSiO2層上にフルオロアルキルシラン系樹脂層を塗布法、もしくは真空蒸着法で数十Åの厚みで形成することで最表面に防汚性を付与することもできる。
【0016】
複合金属酸化物層(13)、(15)は、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウム、チタンの群から選ばれた材料を用い、これらの金属元素の合金、もしくは複合酸化物からなるターゲット、もしくはペレットを用いたスパッタ法、あるいはガスを用いたCVD法で形成できる。複合金属酸化物層の屈折率は、出発材料であるターゲット、ペレットの金属元素の組成比、もしくは導入ガス流量比で制御することができる。
【0017】
複合金属酸化物層(13)、(15)の金属原子比としては、酸化シリコン-酸化錫系はSn/(Si+Sn)が40〜90%,酸化亜鉛-酸化シリコン系ではZn/(Si+Zn)が40〜90%、酸化ニッケル-酸化シリコン系ではNi/(Si+Ni)が40〜90%、酸化ハフニウム-酸化シリコン系ではHf/(Si+Hf)が40〜90%では、酸化ジルコニウム‐酸化シリコン系ではZr/(Si+Zr)が40〜90%、酸化錫‐酸化ジルコニウム系ではZr/(Sn+Zr)が10〜80%、酸化錫‐酸化亜鉛系ではSn/(Zn+Sn)が20〜90%、酸化錫‐酸化チタン系ではTi/(Sn+Ti)が30〜90%、酸化亜鉛‐酸化チタン系ではTi/(Zn+Ti)が10〜90%、酸化亜鉛‐酸化ジルコニウム系ではZr/(Zn+Zr)が10〜50%の範囲でそれぞれ選択され、屈折率が1.6〜2.3の間にあることが好ましい。
【0018】
アンダーコート層(20)は透明樹脂層(21)上に形成される。アンダーコート層(20)はホワイト度を確保しつつ透過性を向上させるため、透明樹脂層(21)上に、少なくとも2種類以上の金属元素を含んだ複合金属酸化物層とSiO2層との積層体からなり、透明樹脂層(21)/複合金属酸化物層(23)/SiO2層(24)/透明導電層(2)の構成で形成する。屈折率の異なる層を設けることにより透過率を向上させるため、前記構成で複合金属酸化物層(23)を形成しない場合より、複合金属酸化物層(23)を形成したほうが透明性は向上する。
【0019】
複合金属酸化物層(23)は、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた材料を用い、上記複合酸化物層(13)、(15)と同様の製法で形成できる。
【0020】
複合金属酸化物層(23)の金属原子比としては、酸化シリコン-酸化錫系はSn/(Si+Sn)が10〜90%、酸化亜鉛-酸化シリコン系ではZn/(Si+Zn)が10〜90%、酸化ニッケル-酸化シリコン系ではNi/(Si+Ni)が10〜90%、酸化ハフニウム-酸化シリコン系ではHf/(Si+Hf)が10〜90%、酸化ジルコニウム‐酸化シリコン系ではZr/(Si+Zr)が10〜90%の範囲でそれぞれ選択され、屈折率が1.6〜1.9の間にあることが好ましい。
【0021】
透明導電層(2)はアンダーコート層(20)上に形成される。透明導電膜の形成方法であるが、フィルム基材上に透明導電膜を形成する一般的な方式としてはスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等のPVD法、あるいはCVD法、塗工法、印刷法等がある。なお透明導電膜の形成材としては、インジウム・スズ複合酸化物(ITO)、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、ガリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛、あるいは酸化亜鉛―酸化錫系、酸化インジウム―酸化錫系、酸化亜鉛―酸化インジウム―酸化マグネシウム系金属酸化物などを用いることが出来る。
【0022】
透明樹脂層(2)とアンダーコート層(20)の間、及び/または、もう一方の透明樹脂層(11)と低反射層(10)との間に、単一もしくは2種類以上の金属元素の合金からなる金属層(12)、(22)を形成すると密着性が増し耐久性が向上する。金属層(12)、(22)には、シリコン,錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた金属を用い、スパッタ法など真空薄膜化技術で形成する。層厚みは10Å〜50Åの範囲が好ましく10Åよりも薄いと密着効果が少なく、50Åを越えると透過率が落ちるからである。
【0023】
【実施例】
(実施例1)
厚さ188μmの透明ポリエチレンテレフタレート(PET)の両面に、アクリル系の光硬化型透明樹脂層を施した。その後片面の透明樹脂層(11)の上に、複合金属酸化物層(13)/SiO2層(14)/複合金属酸化物層(15)/SiO2層(16)を順次スパッタで成膜した。複合金属酸化物層(13)、(15)は酸化シリコンと酸化ジルコニウムの化合物からなり、屈折率1.9となるようZrとSiの比を調節した。
複合金属酸化物層(13)は250Å、複合金属酸化物層(15)は850Åの膜厚とした。SiO2層(14)は250Å、SiO2層(16)は900Åの膜厚とした。
【0024】
またもう一方の透明樹脂層(21)の上に、複合金属酸化物層(23)/SiO2層(24)/透明導電層(2)を順次スパッタで成膜した。複合金属酸化物層(23)は酸化シリコンと酸化ジルコニウムの化合物からなり700Åの膜厚とし、屈折率1.7となるようにZrとSiの比を調節した。SiO2層(24)は250Åの膜厚とし、透明導電層(2)はインジウム・スズ複合酸化物(ITO)を300Åの膜厚で成膜して、310オーム/□を形成した。
同フィルムの全光線透過率は94.3%で良好であった。また、標準白色板上で大塚電子株式会社製瞬間マルチ測光システム(型番MCPD300)を用いて測定した物体色は、CIE色度座標で(X=0.321、Y=0.325)で、ホワイト度は(0.964、0.976)となり良好だった。
【0025】
(実施例2)
実施例1で用いたフィルム厚さ188μmの透明ポリエチレンテレフタレート(PET)に変え、厚さ188μmのノルボルネン系の熱可塑性透明樹脂であるJSR株式会社製のアートンフィルム(「アートン」は、同社の登録商標)を用い、その他はすべて実施例1と同様に行った。結果は、全光線透過率もホワイト度も、実施例1とほぼ同様で良好だった。
【0026】
(比較例1)
厚さ188μmの透明ポリエチレンテレフタレート(PET)の両面に、実施例1と同様のアクリル系の光硬化型透明樹脂層を施した。その後片面の透明樹脂層(11)の上に、インジウム・スズ複合酸化物(ITO)を300Åの膜厚で成膜して、350オーム/□を形成した。この透明導電性フィルムは、全光線透過率は87.0%、標準白色板上で測定したCIE色度座標値は(X=0.305、Y=0.321)で、全光線透過率もホワイト度も、実施例1のフィルムとは差異が大きかった。
【0027】
(実施例3)
実施例1のフィルムと、旭硝子株式会社製のフッ素添加酸化錫透明導電膜付ガラス(品番PS03)と組合わせてタッチパネルを作製した。このタッチパネルは、全光線透過率は89.5%、標準白色板上で測定したCIE色度座標値は(X=0.328、Y=0.317)で、全光線透過率もホワイト度も良好であった。
【0028】
(実施例4)
実施例1のフィルムと、旭硝子株式会社製のフッ素添加酸化錫透明導電膜付ガラス(品番PN02)と組合わせてタッチパネルを作製した。このタッチパネルは、全光線透過率は88.0%、標準白色板上で測定したCIE色度座標値は(X=0.316、Y=0.327)で、全光線透過率もホワイト度も良好であった。
【0029】
(比較例2)
比較例1のフィルムと、実施例3で用いた旭硝子株式会社製のフッ素添加酸化錫透明導電膜付ガラス(品番PS03)と組合わせてタッチパネルを作製した。このタッチパネルを、標準白色板上で測定したCIE色度座標値は(X=0.312、Y=0.315)で、ホワイト度の低いものであった。
【0030】
(比較例3)
比較例1のフィルムと、実施例4で用いた旭硝子株式会社製のフッ素添加酸化錫透明導電膜付ガラス(品番PN02)と組合わせてタッチパネルを作製した。このタッチパネルを、標準白色板上で測定したCIE色度座標値は(X=0.302、Y=0.317)で、ホワイト度の低いものであった。
【0031】
(実施例5)
実施例1のフィルムを、移動するテーブルに固定し、YAGレーザーを照射しパターニングを行った。パターニング条件は、レーザー発振出力23W、レーザー発振パルス周波数3KHz、テーブル移動速度1026mm/Sに設定した。1パルス当たりの1ピッチ移動量は、テーブル移動速度とレーザー発振パルス周波数とから計算され、0.342mmとなる。この場合、照射幅の広い箇所は0.45mmであるが、狭い箇所である円と円の交点間の距離を計算すると約0.292mmとなる。テーブル移動距離を直線30cmとして細線状パターニングを実施したところ、照射幅の広い箇所は0.45mmから0.41mmの範囲、照射幅の狭い箇所で0.32mmから0.28mmの範囲で導電面が連続的に剥離されていた。外観的には、下地のフィルム溶融に起因する1μmを越える盛り上がりや凹みはなく、導電面のマイクロクラックの発生もなかった。電気的には、直流25ボルトを印加したときの絶縁抵抗は、100MΩ以上であった。温度60℃、湿度90%で120時間経過後も、外観、絶縁抵抗に変化はなく良好であった。
【0032】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、ディスプレイのカラー化、高精細化、通信の多様化に伴い、ディスプレイ上に配置させるタッチパネルや、透明状態のエレクトロクロミック素子は、画像、輝度、色温度、コントラストを極力変化させないという要求に対応することができる。つまり高透過率と低反射率が、可視光領域で確保された光学特性の良い透明導電性フィルムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は本発明の基本構成を示す説明図
【図2】(a)、(b)は低反射層の例を示す説明図
【図3】はアンダーコート層の例を示す説明図
【図4】は金属層の例を示す説明図
【符号の説明】
1:透明フィルム
2:透明導電層
10:低反射層
11:透明樹脂層
12:金属層
13:複合金属酸化物層
14:SiO2
15:複合金属酸化物層
16:SiO2
20:アンダーコート層
21:透明樹脂層
22:金属層
23:複合金属酸化物層
24:SiO2
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a transparent conductive film used for a transparent touch panel, a transparent electrode member for an electrochromic element, and the like mounted on various portable terminal devices / OA devices.
[0002]
[Prior art]
Since personal digital assistants (PDAs) and portable information terminals such as sub-notebook computers have a general structure that emphasizes portability and ease of use, they are input on a display device such as a liquid crystal display. A resistive film type transparent touch panel is often used as a device. In some cases, an electrochromic element is disposed on the display for the purpose of adjusting the contrast of the display image in an environment with high illuminance such as when used outdoors.
The touch panel is an insulating microdot spacer formed on a transparent conductive layer using a transparent conductive film having a transparent conductive layer formed on one side and a transparent conductive glass or film having a transparent conductive layer formed on one side as an electrode material. In this case, the transparent conductive layer is opposed to the switch structure, and the input is released by pressing or sliding on the film with a finger or a pen, and is recognized as an XY coordinate.
[0003]
In addition, the electrochromic device includes a transparent conductive film in which a light control layer made of a metal oxide film is formed on a transparent conductive material and another transparent conductive film, and the light control layer and the transparent conductive layer are connected via an electrolyte layer. It is a light control element made to oppose, and it can change an element transmittance | permeability by controlling an absorption coefficient by applying a slight voltage between electrodes.
Touch panels and electrochromic elements placed on the display are as convenient as this, but on the other hand, as the display and other devices become more colored, higher definition, and more diverse, communication, images, brightness, color temperature, contrast There has been a demand for not changing as much as possible.
In other words, the optical characteristics of the touch panel and the electrochromic element in the transparent state are as follows: (1) The transmittance is almost as high as 100%, (2) The reflectance from the outermost surface is as low as possible, (3) There is a demand not only to have high transmittance only at a limited wavelength but also to have little chromatic dispersion of transmittance in the visible region.
[0004]
The display turns white when all three primary colors of red, blue, and green are emitted, but white appears to be white, and it is desired not to be red or blue.
It is desirable that the white color on the display coincides with the white point (X0 = 0.333, Y0 = 0.333) on the CIE (International Lighting Commission) chromaticity coordinates as an object color, or is infinitely close. Here, the object colors of the touch panel arranged on the display or the chromic element in the decolored state represent each object color by CIE chromaticity coordinate values (X1, Y1), which are expressed as white point coordinate values (X0, If the value divided by Y0) is defined as whiteness, whiteness (X1 / X0, Y1 / Y0) is required to be close to 1 for both X1 / X0 and Y1 / Y0.
[0005]
However, the transparent conductive film used for a transparent touch panel or an electrochromic element has reflection due to a difference in refractive index at each interface between the transparent conductive layer and the air layer, and the transparent conductive layer and the electrolyte layer. Further, although a hard coat layer or the like may be formed, reflection due to the difference in refractive index occurs also at the interface between the surface layer and the air layer on the opposite surface of the transparent conductive layer. As a result, there is a problem that the image brightness of the display is lowered, and in the case of a touch panel disposed on the reflective liquid crystal, the efficiency of capturing light from the outside is lowered. In addition, since the transparent conductive layer generally has a refractive index of around 2.0, there is a problem that a relatively large wavelength dispersion occurs in the reflectance in the visible light region, and the whiteness is deteriorated.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, an object of the present invention is to provide a transparent conductive film having good optical characteristics, which has high transmittance, low reflectance, and whiteness, which is suitable for touch panels and electrochromic elements.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention first forms a photocurable transparent resin layer on both sides of a transparent film (1) as shown in FIG. 1, and a metal oxide is formed on one transparent resin layer (21). A composite comprising a metal oxide-based transparent conductive layer (2) through an undercoat layer (20) comprising, and containing at least two kinds of metal elements on the other transparent resin layer (11) Provided is a transparent conductive film having a low reflective layer (10) comprising a laminate of a metal oxide layer and a SiO 2 layer.
[0010]
In order to further improve the adhesion between the transparent resin layer (21) and the undercoat layer (20) and / or between the other transparent resin layer (11) and the low reflective layer (10), silicon is used. A transparent conductive film characterized in that a metal layer made of an alloy of one or more metal elements selected from the group consisting of tin, zinc, nickel, hafnium and zirconium is formed therebetween To do.
[0011]
Moreover, the said transparent resin layer (11) and / or the said transparent resin layer (21) provide the transparent conductive film characterized by having an unevenness | corrugation in the surface which does not contact the said transparent film (1).
Also provided is a transparent conductive film characterized in that a conductive surface is patterned by laser processing in processing.
[0012]
In addition, as an application, a transparent conductive film characterized by being used for an analog touch panel for pen input is provided.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below. First, as the transparent film substrate used in the present invention, various plastic films having transparency can be used. Specifically, polyethylene terephthalate (PET), polyethersulfone (PES), polyetheretherketone (PEEK). ), Polycarbonate (PC), polypropylene (PP), polyamide (PA), polyacryl (PAC), norbornene-based thermoplastic transparent resin, or a laminate thereof. As the thickness of the film base, one having a thickness of 20 to 500 μm is usually used.
[0014]
The transparent resin layer is formed on both sides of the transparent film. As the transparent resin, a photocurable silicone resin, acrylic resin, cellulose resin, melamine resin, urethane resin, or the like is used. Usually formed by a coating method, the layer thickness is several μm, and a curing method by heat may be used. The shape may be multi-layered and is generally a flat plate shape, but there are also cases where the resin is mixed and dispersed with silica or an organic resin filler to give unevenness. In the case of a touch panel, even when there is a gap between the transparent conductive layer and the transparent conductive layer facing each other, fine irregularities on the surface act to prevent the generation of Newton rings. The shape is preferably 0.05 to 2 μm and has a maximum height of 0.6 to 3 μm in the evaluation of the center line surface roughness.
[0015]
The low reflection layer (10) is formed on the transparent resin layer (11). In order to reduce the reflectance while ensuring the whiteness, the low-reflection layer (10) is formed by alternately laminating a layer having a large refractive index and a layer having a small refractive index, and the material of the layer, the lamination structure, and the layer thickness. Is set optimally. The low reflection layer (10) of the present invention comprises a laminate of a composite metal oxide layer containing at least two kinds of metal elements and a SiO 2 layer. The low reflection layer is formed on the transparent resin layer (11), transparent resin layer (11) / composite metal oxide layer (13) / SiO 2 layer (14), or transparent resin layer (11) / composite metal oxide layer ( 13) / SiO 2 layer (14) / complex metal oxide layer (15) / SiO 2 layer (16).
The degree of whiteness is improved by laminating the laminate of the composite metal oxide layer and the SiO 2 layer. Further, if necessary, an antifouling property can be imparted to the outermost surface by forming a fluoroalkylsilane-based resin layer on the outermost SiO 2 layer with a thickness of several tens of millimeters by a coating method or a vacuum deposition method. .
[0016]
The composite metal oxide layers (13) and (15) are made of a material selected from the group consisting of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, zirconium, and titanium, and are made of an alloy of these metal elements or a composite oxide. It can be formed by sputtering using a target or pellets, or CVD using a gas. The refractive index of the composite metal oxide layer can be controlled by the composition ratio of the metal element in the target as the starting material and the pellet, or the flow rate ratio of the introduced gas.
[0017]
As for the metal atomic ratio of the composite metal oxide layers (13) and (15), Sn / (Si + Sn) is 40 to 90% in the silicon oxide-tin oxide system, and Zn / (Si) in the zinc oxide-silicon oxide system. + Zn) is 40 to 90%, Ni / (Si + Ni) is 40 to 90% in the nickel oxide-silicon oxide system, and Hf / (Si + Hf) is 40 to 90% in the hafnium oxide-silicon oxide system, Zr / (Si + Zr) is 40 to 90% in the zirconium oxide-silicon oxide system, Zr / (Sn + Zr) is 10 to 80% in the tin oxide-zirconium oxide system, and Sn / (in the tin oxide-zinc oxide system. Zn + Sn) is 20-90%, Ti / (Sn + Ti) is 30-90% in the tin oxide-titanium oxide system, Ti / (Zn + Ti) is 10-90% in the zinc oxide-titanium oxide system, In the zinc oxide-zirconium oxide system, it is preferable that Zr / (Zn + Zr) is selected in the range of 10 to 50% and the refractive index is between 1.6 and 2.3. Yes.
[0018]
The undercoat layer (20) is formed on the transparent resin layer (21). The undercoat layer (20) is formed of a composite metal oxide layer containing at least two kinds of metal elements and an SiO 2 layer on the transparent resin layer (21) in order to improve the permeability while ensuring the whiteness. a laminated body formed in the configuration of the transparent resin layer (21) / composite metal oxide layer (23) / SiO 2 layer (24) / transparent conductive layer (2). In order to improve the transmittance by providing layers having different refractive indexes, the transparency is improved when the composite metal oxide layer (23) is formed rather than when the composite metal oxide layer (23) is not formed in the above-described configuration. .
[0019]
The composite metal oxide layer (23) can be formed by using a material selected from the group of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium by the same manufacturing method as the composite oxide layers (13) and (15). .
[0020]
As for the metal atomic ratio of the composite metal oxide layer (23), Sn / (Si + Sn) is 10 to 90% in the silicon oxide-tin oxide system, and Zn / (Si + Zn) is in the zinc oxide-silicon oxide system. 10-90%, Ni / (Si + Ni) is 10-90% in nickel oxide-silicon oxide system, Hf / (Si + Hf) is 10-90% in hafnium oxide-silicon oxide system, zirconium oxide-silicon oxide In the system, Zr / (Si + Zr) is preferably selected in the range of 10 to 90%, and the refractive index is preferably in the range of 1.6 to 1.9.
[0021]
The transparent conductive layer (2) is formed on the undercoat layer (20). Although it is a formation method of a transparent conductive film, as a general system for forming a transparent conductive film on a film substrate, a sputtering method, a vacuum deposition method, a PVD method such as an ion plating method, or a CVD method, a coating method, There are printing methods. As the material for forming the transparent conductive film, indium-tin composite oxide (ITO), indium oxide, antimony-added tin oxide, fluorine-added tin oxide, aluminum-added zinc oxide, gallium-added zinc oxide, silicon-added zinc oxide, or oxide Zinc-tin oxide-based, indium oxide-tin oxide-based, zinc oxide-indium oxide-magnesium oxide-based metal oxide, or the like can be used.
[0022]
Single or two or more kinds of metal elements between the transparent resin layer (2) and the undercoat layer (20) and / or between the other transparent resin layer (11) and the low reflection layer (10) When the metal layers (12) and (22) made of the above alloy are formed, the adhesion is increased and the durability is improved. For the metal layers (12) and (22), a metal selected from the group of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium is used and formed by a vacuum thinning technique such as sputtering. This is because the layer thickness is preferably in the range of 10 to 50 mm, and if it is thinner than 10 mm, the adhesion effect is small, and if it exceeds 50 mm, the transmittance decreases.
[0023]
【Example】
(Example 1)
An acrylic photocurable transparent resin layer was applied to both sides of a transparent polyethylene terephthalate (PET) having a thickness of 188 μm. Thereafter, a composite metal oxide layer (13) / SiO 2 layer (14) / composite metal oxide layer (15) / SiO 2 layer (16) are sequentially formed on one side of the transparent resin layer (11) by sputtering. did. The composite metal oxide layers (13) and (15) were made of a compound of silicon oxide and zirconium oxide, and the ratio of Zr and Si was adjusted so that the refractive index was 1.9.
The composite metal oxide layer (13) was 250 mm, and the composite metal oxide layer (15) was 850 mm. The SiO 2 layer (14) was 250 mm thick, and the SiO 2 layer (16) was 900 mm thick.
[0024]
On the other transparent resin layer (21), a composite metal oxide layer (23) / SiO 2 layer (24) / transparent conductive layer (2) were sequentially formed by sputtering. The composite metal oxide layer (23) was made of a compound of silicon oxide and zirconium oxide, had a thickness of 700 mm, and the ratio of Zr and Si was adjusted so that the refractive index was 1.7. The SiO 2 layer (24) was 250 Å thick, and the transparent conductive layer (2) was made of indium-tin composite oxide (ITO) with a thickness of 300 Å to form 310 ohm / □.
The total light transmittance of the film was 94.3%, which was good. In addition, the object color measured using an instantaneous multi-photometry system (model number MCPD300) manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. on a standard white plate is CIE chromaticity coordinates (X = 0.321, Y = 0.325), and white. The degree was good (0.964, 0.976).
[0025]
(Example 2)
Instead of transparent polyethylene terephthalate (PET) having a film thickness of 188 μm used in Example 1, Arton film (“Arton”) manufactured by JSR Corporation, which is a 188 μm-thick norbornene-based thermoplastic transparent resin, is a registered trademark of the company. ) Was used, and everything else was performed in the same manner as in Example 1. As a result, the total light transmittance and the whiteness were almost the same as in Example 1 and were good.
[0026]
(Comparative Example 1)
The same acrylic photocurable transparent resin layer as in Example 1 was applied to both sides of 188 μm thick transparent polyethylene terephthalate (PET). Thereafter, an indium-tin composite oxide (ITO) was formed to a thickness of 300 mm on one side of the transparent resin layer (11) to form 350 ohm / □. This transparent conductive film has a total light transmittance of 87.0%, CIE chromaticity coordinate values measured on a standard white plate (X = 0.305, Y = 0.321), and a total light transmittance as well. The whiteness was also significantly different from the film of Example 1.
[0027]
(Example 3)
A touch panel was prepared by combining the film of Example 1 and glass with fluorine-added tin oxide transparent conductive film (product number PS03) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. This touch panel has a total light transmittance of 89.5%, CIE chromaticity coordinate values measured on a standard white plate (X = 0.328, Y = 0.317), and has both a total light transmittance and a whiteness. It was good.
[0028]
(Example 4)
A touch panel was prepared by combining the film of Example 1 with glass with fluorine-containing tin oxide transparent conductive film (part number PN02) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. This touch panel has a total light transmittance of 88.0%, CIE chromaticity coordinate values measured on a standard white plate (X = 0.316, Y = 0.327), and has both a total light transmittance and a whiteness. It was good.
[0029]
(Comparative Example 2)
A touch panel was produced by combining the film of Comparative Example 1 with the glass with fluorine-added tin oxide transparent conductive film (product number PS03) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. used in Example 3. The CIE chromaticity coordinate values of this touch panel measured on a standard white plate were (X = 0.512, Y = 0.315), and the whiteness was low.
[0030]
(Comparative Example 3)
A touch panel was prepared by combining the film of Comparative Example 1 and the glass with fluorine-added tin oxide transparent conductive film (product number PN02) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. used in Example 4. The CIE chromaticity coordinate values of the touch panel measured on a standard white plate were (X = 0.302, Y = 0.317), and the whiteness was low.
[0031]
(Example 5)
The film of Example 1 was fixed to a moving table, and patterned by irradiating with a YAG laser. The patterning conditions were set to a laser oscillation output of 23 W, a laser oscillation pulse frequency of 3 KHz, and a table moving speed of 1026 mm / S. One pitch movement amount per pulse is calculated from the table moving speed and the laser oscillation pulse frequency, and is 0.342 mm. In this case, the portion with the wide irradiation width is 0.45 mm, but when the distance between the circles which are the narrow portions and the intersection of the circles is calculated, it is about 0.292 mm. When thin line patterning was performed with the table moving distance as a straight line of 30 cm, the conductive surface was within a range of 0.45 mm to 0.41 mm at a wide irradiation width and 0.32 mm to 0.28 mm at a narrow irradiation width. It was peeled continuously. In terms of appearance, there was no bulge or dent exceeding 1 μm caused by melting of the underlying film, and no microcracks were generated on the conductive surface. Electrically, the insulation resistance when DC 25 volts was applied was 100 MΩ or more. Even after 120 hours had passed at a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90%, the appearance and insulation resistance did not change and were good.
[0032]
【The invention's effect】
The present invention is implemented in the form as described above, and with the colorization, high definition, and diversification of communication of the display, the touch panel arranged on the display and the electrochromic element in the transparent state are images, luminance, It is possible to meet the requirement that the color temperature and contrast are not changed as much as possible. That is, it is possible to provide a transparent conductive film having high transmittance and low reflectance and good optical characteristics secured in the visible light region.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the basic configuration of the present invention. FIG. 2 (a), (b) is an explanatory diagram showing an example of a low reflection layer. FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of an undercoat layer. FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a metal layer.
1: Transparent film 2: Transparent conductive layer 10: Low reflection layer 11: Transparent resin layer 12: Metal layer 13: Composite metal oxide layer 14: SiO 2 layer 15: Composite metal oxide layer 16: SiO 2 layer 20: Under Coat layer 21: Transparent resin layer 22: Metal layer 23: Composite metal oxide layer 24: SiO 2 layer

Claims (4)

両面に光硬化型透明樹脂層が形成された透明フィルム(1)、一方の透明樹脂層(21)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた材料を用いたアンダーコート層(20)を介して金属酸化物系の透明導電層(2)を有し、もう一方の透明樹脂層(11)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた少なくとも2種類以上の金属元素を含んだ複合金属酸化物層とSiO2層の積層体とからなる低反射層(10)を有する透明導電性フィルムにおいて、
前記透明樹脂層(21)と前記アンダーコート層(20)の間に、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた単一もしくは2種類以上の金属元素の合金からなる金属層(22)が形成されていることを特徴とする透明導電性フィルム。
A material selected from the group consisting of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium is formed on one transparent resin layer (21) of the transparent film (1) having a photocurable transparent resin layer formed on both sides. It has a metal oxide transparent conductive layer (2) through the used undercoat layer (20), and on the other transparent resin layer (11), silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, zirconium In the transparent conductive film having a low reflective layer (10) composed of a laminate of a composite metal oxide layer containing at least two kinds of metal elements selected from the group of and a SiO 2 layer ,
A metal comprising an alloy of one or more metal elements selected from the group consisting of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium between the transparent resin layer (21) and the undercoat layer (20). A transparent conductive film, wherein a layer (22) is formed.
両面に光硬化型透明樹脂層が形成された透明フィルム(1)、一方の透明樹脂層(21)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた材料を用いたアンダーコート層(20)を介して金属酸化物系の透明導電層(2)を有し、もう一方の透明樹脂層(11)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた少なくとも2種類以上の金属元素を含んだ複合金属酸化物層とSiO2層の積層体とからなる低反射層(10)を有する透明導電性フィルムにおいて、
前記透明樹脂層(11)と、前記低反射層(10)との間に、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた単一もしくは2種類以上の金属元素の合金からなる金属層(12)が形成されていることを特徴とする透明導電性フィルム。
A material selected from the group consisting of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium is formed on one transparent resin layer (21) of the transparent film (1) having a photocurable transparent resin layer formed on both sides. It has a metal oxide transparent conductive layer (2) through the used undercoat layer (20), and on the other transparent resin layer (11), silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, zirconium In the transparent conductive film having a low reflective layer (10) composed of a laminate of a composite metal oxide layer containing at least two kinds of metal elements selected from the group of and a SiO 2 layer,
Between the transparent resin layer (11) and the low reflection layer (10), from an alloy of one or more metal elements selected from the group of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, zirconium A transparent conductive film, wherein a metal layer (12) is formed.
両面に光硬化型透明樹脂層が形成された透明フィルム(1)の、一方の透明樹脂層(21)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた材料を用いたアンダーコート層(20)を介して金属酸化物系の透明導電層(2)を有し、もう一方の透明樹脂層(11)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた少なくとも2種類以上の金属元素を含んだ複合金属酸化物層とSiO2層の積層体とからなる低反射層(10)を有する透明導電性フィルムにおいて、
前記透明樹脂層(21)と前記アンダーコート層(20)の間に、シリコン単一、もしくはシリコンと、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた金属元素の合金からなる金属層(22)が形成されていることを特徴とする透明導電性フィルム。
A material selected from the group consisting of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium is formed on one transparent resin layer (21) of the transparent film (1) having a photocurable transparent resin layer formed on both sides. It has a metal oxide transparent conductive layer (2) through the used undercoat layer (20), and on the other transparent resin layer (11), silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, zirconium In the transparent conductive film having a low reflective layer (10) composed of a laminate of a composite metal oxide layer containing at least two kinds of metal elements selected from the group of and a SiO 2 layer,
Between the transparent resin layer (21) and the undercoat layer (20), a metal layer made of silicon alone or an alloy of silicon and a metal element selected from the group consisting of tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium. (22) is formed, The transparent conductive film characterized by the above-mentioned.
両面に光硬化型透明樹脂層が形成された透明フィルム(1)の、一方の透明樹脂層(21)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた材料を用いたアンダーコート層(20)を介して金属酸化物系の透明導電層(2)を有し、もう一方の透明樹脂層(11)上には、シリコン、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた少なくとも2種類以上の金属元素を含んだ複合金属酸化物層とSiO2層の積層体とからなる低反射層(10)を有する透明導電性フィルムにおいて、
前記透明樹脂層(11)と、前記低反射層(10)との間に、シリコン単一、もしくはシリコンと、錫、亜鉛、ニッケル、ハフニウム、ジルコニウムの群から選ばれた金属元素の合金からなる金属層(12)が形成されていることを特徴とする透明導電性フィルム。
A material selected from the group consisting of silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, and zirconium is formed on one transparent resin layer (21) of the transparent film (1) having a photocurable transparent resin layer formed on both sides. It has a metal oxide transparent conductive layer (2) through the used undercoat layer (20), and on the other transparent resin layer (11), silicon, tin, zinc, nickel, hafnium, zirconium In the transparent conductive film having a low reflective layer (10) composed of a laminate of a composite metal oxide layer containing at least two kinds of metal elements selected from the group of and a SiO 2 layer,
Between the transparent resin layer (11) and the low reflection layer (10), it is made of silicon alone or an alloy of silicon and a metal element selected from the group consisting of tin, zinc, nickel, hafnium and zirconium. A transparent conductive film, wherein a metal layer (12) is formed.
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