JP4374880B2

JP4374880B2 - Multilayer coil and manufacturing method thereof

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Publication number: JP4374880B2
Application number: JP2003088266A
Authority: JP
Inventors: 栄太爲澤; 充中野; 勝弘三崎; 徹八十; 雅樹村田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2003-03-27
Filing date: 2003-03-27
Publication date: 2009-12-02
Anticipated expiration: 2023-03-27
Also published as: JP2004296860A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁性セラミック基板上に、複数の絶縁層とコイル導体層とが各層毎に焼成されて積層されている積層コイル及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の１つとして、絶縁体基板上に導体パターンが順次絶縁層を介して積層配置されてなる多層構造部品がある。従来の多層構造部品の製造方法の一例を説明する。
【０００３】
図６（ａ）に示すように、絶縁体基板１２０上に導体ペースト等により導体パターン１２１が形成される。その後、その導体パターン１２１が焼成され、次に絶縁体基板１２０及び導体パターン１２１が冷却される。焼成時には導体パターン１２１は収縮し、冷却時には絶縁体基板１２０及び導体パターン１２１が収縮する。導体パターン１２１は絶縁体基板１２０よりも熱伸縮率が大きいため、導体パターン１２１は絶縁体基板１２０よりも熱収縮率が大きくなる。絶縁体基板１２０と導体パターン１２１の熱収縮率の差に起因して、導体パターン１２１には引っ張り応力が発生する。それによって、図６（ｂ）に示すように、絶縁体基板１２０と導体パターン１２１とからなる積層体は中央が下方に凸状となるように反る。
【０００４】
次に、図６（ｃ）に示すように導体パターン１２１上に絶縁層１２２が形成される。絶縁層１２２の形成に際しても、前記同様に焼成後に冷却が行われる。この焼成工程において、絶縁層１２２は収縮する。また、冷却時には絶縁体基板１２０と絶縁層１２２は両方共に収縮する。もっとも、導体パターン１２１の場合には、絶縁体基板１２０よりも熱収縮率が大きいので、中央が下に凸となる反りが強くなって引っ張り応力が発生するのに対して、絶縁層１２２の場合には、絶縁体基板１２０よりも熱収縮率を十分に小さくすることにより、収縮による下面との反りよりも、中央が上方に凸となる上向きの反りを大きくすることができ、それによって圧縮応力を発生させることができる。絶縁層１２２の圧縮応力によって導体パターン１２１の引っ張り応力が相殺され得るので、このことを考慮して絶縁層１２２の構成材料が選定されている。
【０００５】
その後、図６（ｄ）に示すように、上記同様に導体パターン１２１と絶縁層１２２が交互に積層形成され、多層構造部品１２３が作製される。なお、従来、全ての絶縁層１２２は同一の絶縁材料により構成されていた。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−２６５３０号公報
【特許文献２】
特開２００１−２１０１４１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、絶縁層１２２を構成している材料は、絶縁体基板１２０と導体パターン１２１と絶縁層１２２とからなる積層体の反りを防止するように選定されている。しかしながら、それにも拘わらず、絶縁層１２２の材料の例えば純度等のばらつきの問題や製造装置の問題等の様々な原因によって、積層体の反りを完璧に抑制することは非常に困難であった。このため、導体パターン１２１や絶縁層１２２の積層数が多くなると、図６（ｄ）に示すように、積層体の反りが顕著に現れてきてしまうことになる。
【０００８】
積層体の反りが大きくなると、様々な問題が発生する。例えば、導体パターン１２１を形成する際に、積層体を設定の配置位置に固定することがあるが、積層体が大きく反って積層体の底面が湾曲していると、積層体を固定することが困難となる。従って、導体パターン１２１の形成に大きな支障を来す。また、導体パターン１２１が細かいパターン形状の場合には、積層体の表面が湾曲しているために、導体パターン１２１を精度良く形成することができないという問題も発生する。
【０００９】
多層構造部品１２３を製造する際に、１つずつ多層構造部品１２３を作製するのではなく、例えば、複数の絶縁体基板１２０を形成することができる絶縁体のマザー基板を利用して、多数の多層構造部品１２３を同時に作製することがある。つまり、マザー基板の状態のままで、多層構造部品１２３となる複数の領域毎にそれぞれ同時に導体パターン１２１や絶縁層１２２を積層形成していき、全ての導体パターン１２１と絶縁層１２２の形成終了後にマザー基板を各々の多層構造部品１２３毎に分離分割して、多数の多層構造部品１２３を同時に作製することがある。この場合にも、前記同様に、マザー基板と導体パターン１２１と絶縁層１２２からなる積層体の反りが大きくなるという問題が発生する。この積層体の反りに因り、上記同様に、マザー基板を固定することが難しくなるという問題や導体パターン１２１を精度良く形成することができないという問題が発生する。また、マザー基板を各多層構造部品１２３毎に分離分割する際にマザー基板を設定通りに分割することが困難となる。そのため多層構造部品１２３の不良品率が高くなる。
【００１０】
他方、例えば積層セラミックコンデンサでは、マザーの積層体を個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体に切断した後に焼成が行われる。従って、焼成時の反りの問題は比較的小さい。
【００１１】
これに対して、積層コイルでは、マザー基板段階で焼成が行われる。すなわち、焼成した後にマザーの焼結体が個々の積層コイルに分割される。従って、焼成がマザー基板段階で行われるため、上記焼成時の反りの問題がより一層顕著になる。
【００１２】
しかも、積層コイルでは、部品の種類毎にコイル導体の導体幅や巻数などが異なる。さらに、１つの積層コイル内においてもコイル導体層毎に導体幅や巻数が異なる場合もある。そのため、積層コイルでは、部品毎に反りの状態が異なるのが実情である。従って、複数の内部電極が同じ形状である積層セラミックコンデンサに比べて、コイル導体層の形状が種々異なる積層コイルでは、上述した焼成時の反りを制御することはより困難であった。
【００１３】
加えて、積層コイルのコイル導体層の厚みは、積層セラミックコンデンサの内部電極の厚みより一般的に厚い。そのため、上述した電極層による反りの影響が積層コイルではより一層大きくなる。
【００１４】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、絶縁性セラミック基板上に、コイル導体層及び絶縁層が積層されている一体焼成型の積層コイルであって、焼成時の反りが抑制された積層コイル及びその製造方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本願の第１の発明は、アルミナからなるセラミック基板上にセラミックスからなる複数の絶縁層と、Ａｇを含むコイル導体層とが積層されている積層コイルであって、２層のコイル導体層が少なくとも１層の絶縁層を介して積層されており、かつ前記各コイル導体層の導体の幅が１０〜３００μｍ、巻数が３／４〜１０ターン、厚みが３〜１５μｍであり、前記絶縁層が、線膨張係数を制御するガラス成分を含み、前記絶縁層が、反り防止絶縁層と、反り防止絶縁層以外の絶縁層とを有し、前記反り防止絶縁層は、前記絶縁層の最上部に設けられており、前記反り防止絶縁層の線膨張係数が、残りの絶縁層の線膨張係数よりも大きく、かつ前記コイル導体層の線膨張係数と比べて同等以下であり、前記セラミック基板の線膨張係数が、前記反り防止絶縁層の線膨張係数より小さく、前記残りの絶縁層の線膨張係数よりも大きいことを特徴とする、積層コイルである。
【００１７】
第１の発明のある特定の局面では、複数の絶縁層が、前記コイル導体に接触されない厚み調整用絶縁層をさらに有する。
また、本発明の積層コイルのさらに他の特定の局面では、最上部に反り防止絶縁層が設けられており、該反り防止絶縁層上に設けられており、かつ絶縁性セラミックスからなる保護層がさらに備えられている。
【００１８】
本発明の製造方法は、上記本発明の積層コイルの製造方法であって、セラミック基板上において複数の絶縁層及びコイル導体層とを各層毎に焼成してマザーの焼結体を用意する工程と、前記マザーの焼結体を個々の積層コイル単位に切断する工程とを備えることを特徴とする。
【００１９】
本発明に係る製造方法のある特定の局面では、前記反り防止絶縁層がスクリーン印刷工程及び焼成工程を経て形成され、前記コイル導体層に接触されている絶縁層がフォトリソグラフィー工程及び焼成工程を経て形成される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２１】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る積層コイルを示す正面断面図であり、図２（ａ）及び（ｂ）は、この積層コイル内に形成されている第１，第２のコイル導体層を示す模式的平面断面図である。
【００２２】
積層コイル１は、絶縁性セラミックスよりなるセラミック基板２を有する。セラミック基板２上に、第１のコイル導体層３が積層されている。図２（ｂ）に示されているように、第１のコイル導体層３は、コの字状で約３／４ターンの巻数を有するように構成されている。第１のコイル導体層３の外側端３ａは、積層コイル１の奥側の側面１ａに引き出されている。第１のコイル導体層３の内側端３ｂは、後述のビアホール電極４の下端に接続されている。
【００２３】
コイル導体層３を被覆するように、絶縁層５が形成されている。絶縁層５を貫通するようにビアホール電極４が形成されている。ビアホール電極４の下端が、前述したようにコイル導体層３の内側端３ｂ近傍に電気的に接続されている。
【００２４】
他方、絶縁層５上には、第２のコイル導体層６が形成されている。第２のコイル導体層６は、コの字状で約３／４ターンの巻数を有する。図２（ａ）に示すように、第２のコイル導体層６の内側端６ａ近傍は、ビアホール電極４の上端に電気的に接続されている。また、第２のコイル導体層６の外側端６ｂは、積層コイル１の手前側の側面１ｂに引き出されている。
【００２５】
図２（ａ）及び（ｂ）に想像線で示すように、外部電極１１，１２が積層コイル１の側面１ａ，１ｂに形成される。外部電極１１，１２は、コイル導体層３の外側端３ａ及びコイル導体層６の外側端６ａにそれぞれ電気的に接続されている。従って、積層コイル1では、約１．５ターンの巻数のコイルが構成されている。
【００２６】
図１に戻り、第２のコイル導体層６を被覆するように、絶縁層７が形成されている。そして、絶縁層７上に、厚み調整層としての絶縁層８が形成されている。また、絶縁層８上に、反り防止絶縁層９が形成されている。反り防止絶縁層９上に、保護層１０が形成されている。
【００２７】
積層コイル１では、上記絶縁性セラミック基板２上において、第１，第２のコイル導体層３，６、絶縁層５，７〜９及び保護層１０は、各層毎に焼成されて積層されている。そして、絶縁性セラミック基板２、コイル導体層３，６、絶縁層５，７〜９及び保護層１０が以下のようにして構成されるため、後述する実験例から明らかなように、焼成時の反りを確実に抑制することができる。これを、積層コイル１の製造方法を説明することにより明らかにする。
【００２８】
積層コイル１の製造に際しては、厚みが０．１５〜０．２５ｍｍ、線膨張係数が７〜１０ｐｐｍ／℃のアルミナからなるマザーのセラミック基板が先ず用意される。
【００２９】
マザーのセラミック基板上に、焼成後の線膨張係数が１３〜２０ｐｐｍ／℃の導体ペーストを用いて複数の第１のコイル導体層３が形成される。この第１のコイル導体層３の形成は、フォトリソグラフィー法により行われ得る。なお、焼成後には、コイル導体層３は冷却される。
【００３０】
第１のコイル導体層３を構成するための材料としては、感光性Ａｇペーストが用いられる。なお、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｄまたはこれらの合金を用いた適宜の感光性導体ペーストを使用することもできる。
【００３１】
また、第１のコイル導体層の厚みは３〜１５μｍ（好ましくは５〜７μｍ）、線幅は１０〜３００μｍ、巻数は３／４〜１０ターンとされる。
後述する第２のコイル導体層６についても、第１のコイル導体層３と同様の導体ペーストを用いて構成することができ、かつ厚み、線幅及び巻数についても同様の範囲とすることが望ましい。
【００３２】
コイル導体層３を形成した後に、複数のビアホール電極４を有するマザーの絶縁層が形成される。そして、マザーの絶縁層上に、複数の第２のコイル導体層６がコイル導体層３と同様にして形成される。しかる後、絶縁層５を構成するためのマザーの絶縁層と同様にして、絶縁層７を構成するためのマザーの絶縁層が形成される。マザーの絶縁層の焼成後の厚みは７．５〜７０μｍ、好ましくは１５〜３０μｍとされる。
【００３３】
これらのマザーの絶縁層を構成する材料は特に限定されないが、好ましくは、感光性ガラスペーストを塗布し、焼成することにより形成される。この感光性ガラスペーストとしては、例えばアクリル酸エステル系共重合体などの有機成分と、ＳｉＯ₂、Ｋ₂Ｏ、Ｂ₂Ｏ₃などのガラス粉末と、溶剤等とを含む組成物が好適に用いられる。感光性ガラスペーストが塗布された後、フォトリソグラフィーによりパターニングされる。次に、焼成・冷却により絶縁層が形成される。焼成温度については、８００〜９００℃とされる。
【００３４】
上記のようにして、絶縁層７を構成するためのマザーの絶縁層が形成された後に、厚み調整用絶縁層８を構成するマザーの厚み調整用絶縁層が焼成・冷却により形成される。ここでは、感光性ではないガラスペーストをスクリーン印刷し、焼成・冷却することによりマザーの厚み調整用絶縁層が形成される。すなわち、厚み調整用絶縁層８には、ビアホール電極を形成する必要がないため、スクリーン印刷により容易に厚み調整用絶縁層用のガラスペーストを付与することができる。
【００３５】
次に、反り防止用絶縁層９を構成するためのマザーの反り防止用絶縁層が形成される。マザーの反り防止用絶縁層の形成に際しては、絶縁層５，６を構成するのに用いた感光性ガラスペーストよりも、焼成後の線膨張係数が大きい、感光性ではないガラスペーストが好適に用いられる。このガラスペーストをスクリーン印刷し、焼成・冷却することにより、マザーの反り防止用絶縁層が形成される。マザーの反り防止用絶縁層の形成は、スクリーン印刷及び焼成により行われるため、フォトリソグラフィー−焼成法に比べて容易に行われ得る。
【００３６】
マザーの反り防止用絶縁層の厚みは、７〜２０μｍとされる。
なお、反り防止用絶縁層の焼成後の線膨張係数は、絶縁層５，７の線膨張係数が大きくされているが、このような線膨張係数の制御は、ガラスペースト中に含まれているガラス成分の含有量や種類などによって制御することができる。
【００３７】
マザーの反り防止用絶縁層を形成した後に、保護層１０を構成するためのガラスペーストがスクリーン印刷により付与され、焼成・冷却される。このようにして、マザーの保護層が形成される。マザーの保護層の厚みは１０〜５０μｍとされる。保護層１０を形成するためのガラスペーストは、感光性である必要はない。従って、保護層を構成するためのガラスペーストはスクリーン印刷により容易に付与される。また、保護層１０は、積層コイル１において上面を保護するために設けられているものである。従って、保護層１０を構成するためのガラスペーストとしては、好ましくは、ＳｉＯ₂，Ｋ₂Ｏ，Ｂ₂Ｏ₃などのガラス成分と溶剤とを含む組成物が好適に用いられる。
【００３８】
積層コイル１の製造に際しては、図１の積層コイル１が連ねられたマザーの焼結体が得られた後、マザーの焼結体が一旦短冊状に分割された後に、その短冊状のマザーの焼結体をさらに分割することにより、個々の積層コイル１単位に分割される。
【００３９】
個々の積層コイル単位にマザーの焼結体を分割する方法についても特に限定されず、レーザー、スクライブ、カットまたはダイシング等により格子状にブレイク溝を形成した後、ローラーなどを用いて分割する方法などを適宜用いることができる。このようにして、個々の積層コイル１単位の焼結体を得た後に、前述した外部電極１１，１２を形成することにより、積層コイル１が得られる。
【００４０】
上記のように、積層コイル１の製造に際しては、セラミック基板２上において第１のコイル導体層３、絶縁層５、第２のコイル導体層６、絶縁層７、厚み調整用絶縁層８、反り防止用絶縁層９及び保護層１０が各層毎に焼成・冷却されてマザーの焼結体が用意される。このように各層を順次焼成してマザーの焼結体を得た場合、従来の積層コイルの製造方法では、マザーの焼結体において反りが生じがちであるという問題があった。
【００４１】
これに対して、本実施形態では、コイル導体層３，６の導体の幅が１０〜３００μｍ、巻数が３／４〜１０ターン、厚みが３〜１５μｍの範囲にあり、反り防止用絶縁層９の線膨張係数が残りの絶縁層４，７，８の線膨張係数よりも大きくされているため、マザーの焼結体段階における反りを効果的に抑制することができる。従って、マザーの焼結体段階における搬送に際しての吸着不良やマザーの焼結体の割れなどを抑制することができる。これを具体的な実験例に基づき説明する。
【００４２】
上述した製造方法に従ってマザーの焼結体を得た。
すなわち、実施例として、最終的な寸法が長さ０．６ｍｍ×幅０．３ｍｍ×厚み０．３ｍｍの積層コイル１を作製した。この場合、マザーのセラミック基板として、１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚み０．１５ｍｍのセラミックスからなるアルミナ板を用意した。そして、第１，第２のコイル導体層３，６は、感光性Ａｇペーストのフォトリソ及び焼成により形成し、焼成後の導体の幅を１０μｍ、巻数は４ターン、厚みは５μｍとした。さらに、絶縁層５，７を構成するための感光性ガラスペーストとして、前述の組成物を用い、絶縁層５，７の焼成後の厚みが、それぞれ、１５μｍ及び３０μｍとした。また、反り防止用絶縁層９については、感光性ではないガラスペーストを用い、焼成後の厚みは７〜２０μｍとした。上記感光性ガラスペースト及び反り防止用絶縁層９を構成するためのガラスペーストの組成を制御することにより、絶縁層５，７を構成するためのマザーの絶縁層の焼成後の線膨張係数は４．５ｐｐｍ／℃とし、反り防止用絶縁層９の焼成後の線膨張係数は１２．０〜１３．０ｐｐｍ／℃とした。また、保護層１０については、前述のガラスペーストを印刷及び焼成することにより２０μｍの厚みに形成した。保護層１０の焼成後の線膨張係数は３〜６ｐｐｍ／℃である。
【００４３】
比較のために、第１，第２のコイル導体層の厚みが８μｍ、絶縁層５，７に相当する絶縁層の厚みは１５μｍとし、さらに、絶縁層９に反り防止用ガラスペーストを使用せず、厚み調整用ガラスペーストを使用したことを除いては上記実施例と同様にして積層コイルを作製した。実施例及び比較例のそれぞれの製造工程で得たマザーの焼結体における反りを測定した。その結果、１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚み０．３ｍｍのマザーの焼結体において、比較例の反りは１．５ｍｍであったのに対し、実施例では０．３ｍｍと著しく小さくなった。
【００４４】
なお、マザーの焼結体の反りの大きさとは、図７に模式的断面図で示すようにマザーの焼結体３１が上向きに反っている場合には、マザーの焼結体３１の下面中央と水平面との間の高いＨをいうものとする。また、マザーの焼結体３１が下向きに反っている場合には、マザーの焼結体３１の上面中央と周辺部との間の高さ方向寸法をいうものとする。
【００４５】
上記のように、実施例の積層コイルを得るためのマザーの焼結体において反りが著しく低下したのは、反り防止用絶縁層９が下方に突出するようになったためと考えられる。すなわち、図３（ｃ）に略図的断面図で示すように、第１，第２のコイル導体層３，６は、導体の中央部分が周辺に比べて下方に突出するように焼成によって反ることが分かっている。他方、絶縁層５，７及び厚み調整用の絶縁層８は、いずれも、焼成後に中央部分が外側に比べて上方に突出するように反る（図３（ｂ）及び（ｄ）参照）。
【００４６】
そして、コイル導体層３，６が下向きに反っていたとしても、絶縁層５，７及び厚み調整用絶縁層８が上向きに反っているため、全体としては、中央部が上方に突出するように反ることとなる。ところが、図３（ａ）に示すように反り防止用絶縁層９の焼成後の線膨張係数が残りの絶縁層の線膨張係数よりも大きいため、反り防止用絶縁層９は、中央部が下向きに突出するように反ることとなる。すなわち、反り防止用絶縁層９の反りの向きが、絶縁層５，７及び厚み調整用絶縁層８と逆方向であるため、全体として、マザーの焼結体の反りが効果的に抑制されていると考えられる。
【００４７】
なお、保護層１０については、絶縁層５，７と同様に上向きに反るように構成されているが、保護層１０の反りをも相殺するように、反り防止用絶縁層９が下向きに反るように構成されている。
【００４８】
図１に示した積層コイル１では、第１，第２のコイル導体層３，６が積層されていたが、本発明においては、３以上のコイル導体層が積層されていてもよい。
図４に示す第２の実施形態では、第１のコイル導体層３及び第２のコイル導体層６に加えて、第３のコイル導体層１３がさらに積層されている。第３のコイル導体層１３は、ビアホール電極１４により第２のコイル導体層６に電気的に接続されている。第２の実施形態の積層コイル１６では、第３のコイル導体層１３上に絶縁層１５が形成されている。絶縁層１５は、絶縁層５，７と同様に形成されている。
【００４９】
また、図５に示す第３の実施例の積層コイル２１では、第３のコイル導体層１１上に、ビアホール電極２２により接続された第４のコイル導体層２３及び絶縁層２４がさらに形成されている。
【００５０】
このように、本発明においては、３以上のコイル導体層が絶縁層を介して積層されていてもよい。
もっとも、図４，５に示した３層以上のコイル導体層を有する積層コイル１６，２１では、反り防止用絶縁層９の線膨張係数は、残りの絶縁層の線膨張係数よりも小さくされることが必要である。これは、コイル導体層の数が増大するにつれて、コイル導体層が、中央部分が下方に突出するように反るため、マザーの焼結体全体として中央部分が下方に突出するように反りがちとなるためである。すなわち、反り防止用絶縁層９Ａが中央において上方に突出するように反るように構成することにより、コイル導体層３，６，１３，２３の反りによる影響を相殺することができる。本願発明者の実験によれば、３層以上のコイル導体層が設けられている積層コイルでは、マザーの焼結体段階において、前述した反り量を±０．５ｍｍ以下とし得ることが確かめられている。従って、コイル導体層の数が３以上の場合であっても、本発明に従ってマザーの焼結体における反りを効果的に抑制し得ることがわかる。
【００５１】
【発明の効果】
以上のように、第１の発明に係る積層コイルでは、２層のコイル導体層の導体の幅が１０〜３００μｍ、巻数が３／４〜１０ターン、厚みが３〜１５μｍであり、反り防止用絶縁層の線膨張係数が、残りの絶縁層の線膨張係数よりも大きいため、マザーの焼結体段階における反りを確実に防止することができる。従って、マザーの焼結体を搬送したり、分割する工程において、マザーの焼結体が吸着等によって割れ難い。従って、積層コイルの生産を安定に行うことができ、積層コイルの良品率を効果的に高めることが可能となる。
【００５３】
複数の絶縁層が、コイル導体層に接触されていない厚み調整用絶縁層をさらに備える場合には、該厚み調整用絶縁層より積層コイルの厚みを調整することができる。
【００５４】
反り防止用絶縁層上に絶縁性セラミックスからなる保護層がさらに備えれている場合には、保護層により積層のコイルの上部を効果的に保護することができる。
【００５５】
本発明に係る積層コイルの製造方法では、マザーのセラミック基板上において、複数の絶縁層及び複数のコイル導体層が順次焼成されてマザーの焼結体が得られ、該マザーの焼結体を個々の積層コイル単位に切断されて積層コイルが得られる。そして、積層コイルを構成するコイル導体層の導体の幅及び巻数及び厚みが第１の発明に従って構成されており、反り防止用絶縁層の線膨張係数が第１の発明に従って残りの絶縁層の線膨張係数よりも大きく、あるいは小さくされているため、第１の発明と同様に、マザーの焼結体段階における反りを確実に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る積層コイルを示す正面断面図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、第１の実施例の積層コイルの第１のコイル導体層及び第２のコイル導体層を示す各平面断面図。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は、反り防止用絶縁層、他の絶縁層、コイル導体層及び他の絶縁層の焼成後の反りの状態を示す模式的正面図。
【図４】第２の実施例に係る積層コイルを示す正面断面図。
【図５】第３の実施例に係る積層コイルを示す正面断面図。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、従来の多層構造部品の製造方法の一例を説明するための各正面断面図。
【図７】マザーの焼結体の反りを説明するための正面図。
【符号の説明】
１…積層コイル
２…セラミック基板
３…第１のコイル導体層
４…ビアホール電極
５…絶縁層
６…第２のコイル導体層
７…絶縁層
８…厚み調整用絶縁層
９…反り防止用絶縁層
１０…保護層
１１，１２…外部電極
１３…第３のコイル導体
１４…ビアホール電極
１５…絶縁層
１６…積層コイル
１２１…積層コイル
１２２…ビアホール電極
１２３…第４のコイル導体層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a laminated coil in which a plurality of insulating layers and coil conductor layers are fired and laminated on each insulating ceramic substrate and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
As one of the electronic components, there is a multilayer structure component in which conductor patterns are sequentially stacked on an insulating substrate with an insulating layer interposed therebetween. An example of a conventional method for manufacturing a multilayer structure component will be described.
[0003]
As shown in FIG. 6A, a conductor pattern 121 is formed on the insulator substrate 120 by a conductor paste or the like. Thereafter, the conductor pattern 121 is fired, and then the insulator substrate 120 and the conductor pattern 121 are cooled. The conductor pattern 121 contracts during firing, and the insulator substrate 120 and the conductor pattern 121 contract during cooling. Since the conductor pattern 121 has a thermal expansion / contraction rate larger than that of the insulator substrate 120, the conductor pattern 121 has a thermal contraction rate larger than that of the insulator substrate 120. Due to the difference in thermal shrinkage between the insulating substrate 120 and the conductor pattern 121, tensile stress is generated in the conductor pattern 121. As a result, as shown in FIG. 6B, the laminated body composed of the insulator substrate 120 and the conductor pattern 121 is warped so that the center is convex downward.
[0004]
Next, an insulating layer 122 is formed on the conductor pattern 121 as shown in FIG. Also in the formation of the insulating layer 122, cooling is performed after firing in the same manner as described above. In this baking step, the insulating layer 122 contracts. In addition, both the insulating substrate 120 and the insulating layer 122 contract during cooling. However, in the case of the conductor pattern 121, the thermal contraction rate is larger than that of the insulator substrate 120, so that the warp in which the center protrudes downward becomes strong and tensile stress is generated, whereas in the case of the insulating layer 122. Therefore, by making the thermal contraction rate sufficiently smaller than that of the insulator substrate 120, it is possible to increase the upward warp with the center projecting upward rather than the warp with the lower surface due to the shrinkage, thereby compressive stress. Can be generated. Since the tensile stress of the conductor pattern 121 can be canceled by the compressive stress of the insulating layer 122, the constituent material of the insulating layer 122 is selected in consideration of this.
[0005]
Thereafter, as shown in FIG. 6D, the conductor patterns 121 and the insulating layers 122 are alternately stacked in the same manner as described above, and the multilayer structure component 123 is manufactured. Conventionally, all the insulating layers 122 are made of the same insulating material.
[0006]
[Patent Document 1]
JP 2002-26530 A [Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-210141
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the material constituting the insulating layer 122 is selected so as to prevent warping of the laminated body including the insulating substrate 120, the conductor pattern 121, and the insulating layer 122. However, nevertheless, it is very difficult to completely suppress the warpage of the stacked body due to various causes such as a problem of variation in the material of the insulating layer 122 such as purity and a problem of a manufacturing apparatus. For this reason, when the number of laminated conductive patterns 121 and insulating layers 122 increases, as shown in FIG. 6 (d), warpage of the laminated body appears remarkably.
[0008]
When the warp of the laminate increases, various problems occur. For example, when the conductor pattern 121 is formed, the laminated body may be fixed at a set arrangement position. However, if the laminated body is greatly warped and the bottom surface of the laminated body is curved, the laminated body may be fixed. It becomes difficult. Therefore, the formation of the conductor pattern 121 is greatly hindered. Further, when the conductor pattern 121 has a fine pattern shape, the surface of the multilayer body is curved, so that there is a problem that the conductor pattern 121 cannot be formed with high accuracy.
[0009]
When the multilayer structural component 123 is manufactured, instead of manufacturing the multilayer structural component 123 one by one, for example, by using an insulating mother substrate capable of forming a plurality of insulating substrates 120, a large number of The multilayer structural component 123 may be manufactured at the same time. That is, the conductor pattern 121 and the insulating layer 122 are simultaneously laminated in each of a plurality of regions to be the multilayer structural component 123 while maintaining the state of the mother substrate, and after the formation of all the conductor patterns 121 and the insulating layers 122 is completed. In some cases, the mother substrate is separated and divided into each multilayer structure component 123, and a large number of multilayer structure components 123 are simultaneously manufactured. Also in this case, similarly to the above, there is a problem that warpage of the laminated body including the mother substrate, the conductor pattern 121, and the insulating layer 122 becomes large. Due to the warpage of the laminated body, the problem that it becomes difficult to fix the mother substrate and the problem that the conductor pattern 121 cannot be formed with high accuracy occur as described above. Further, when the mother board is separated and divided for each multilayer structure component 123, it becomes difficult to divide the mother board as set. Therefore, the defective product rate of the multilayer structure component 123 increases.
[0010]
On the other hand, in a multilayer ceramic capacitor, for example, firing is performed after the mother multilayer body is cut into multilayer bodies of individual multilayer ceramic capacitor units. Therefore, the problem of warping during firing is relatively small.
[0011]
On the other hand, in the laminated coil, firing is performed at the mother substrate stage. That is, the mother sintered body is divided into individual laminated coils after firing. Therefore, since the firing is performed at the mother substrate stage, the problem of warping during the firing becomes more remarkable.
[0012]
In addition, in the laminated coil, the conductor width and the number of turns of the coil conductor are different for each type of component. Furthermore, the conductor width and the number of turns may be different for each coil conductor layer even in one laminated coil. Therefore, in the laminated coil, the actual situation is that the state of warpage differs for each component. Therefore, it is more difficult to control the above-described warping during firing in multilayer coils having different coil conductor layer shapes as compared to multilayer ceramic capacitors in which a plurality of internal electrodes have the same shape.
[0013]
In addition, the thickness of the coil conductor layer of the multilayer coil is generally thicker than the thickness of the internal electrode of the multilayer ceramic capacitor. Therefore, the influence of the warp due to the electrode layer described above is further increased in the laminated coil.
[0014]
An object of the present invention is an integrally fired laminated coil in which a coil conductor layer and an insulating layer are laminated on an insulating ceramic substrate in view of the current state of the prior art described above, and warpage during firing is suppressed. Another object of the present invention is to provide a laminated coil and a manufacturing method thereof.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
A first invention of the present application is a laminated coil in which a plurality of insulating layers made of ceramic and a coil conductor layer containing Ag are laminated on a ceramic substrate made of alumina , and the two coil conductor layers are at least It is laminated through one insulating layer, and the conductor width of each coil conductor layer is 10 to 300 μm, the number of turns is 3/4 to 10 turns, the thickness is 3 to 15 μm, and the insulating layer is A glass component that controls a linear expansion coefficient; and the insulating layer includes a warp-preventing insulating layer and an insulating layer other than the warp-preventing insulating layer, and the warp-preventing insulating layer is provided on the top of the insulating layer. is and the linear expansion coefficient of the warp-preventing insulating layer, Ri remaining greater than the linear expansion coefficient of the insulating layer, or one prior Symbol der equal to or less than the linear expansion coefficient of the coil conductor layer, said ceramic substrate The linear expansion coefficient of Smaller than the linear expansion coefficient of preventing insulating layer, being greater than the linear expansion coefficient of the remaining insulating layer is a laminated coil.
[0017]
In a specific aspect of the first invention, the plurality of insulating layers further include a thickness adjusting insulating layer that is not in contact with the coil conductor.
In still another specific aspect of the laminated coil of the present invention, a warp preventing insulating layer is provided on the uppermost part, and a protective layer made of insulating ceramics is provided on the warping preventing insulating layer. Furthermore, it is provided.
[0018]
The manufacturing method of the present invention is a manufacturing method of the above-described laminated coil of the present invention, comprising a step of preparing a mother sintered body by firing a plurality of insulating layers and coil conductor layers for each layer on a ceramic substrate. And a step of cutting the mother sintered body into individual laminated coil units.
[0019]
In a specific aspect of the manufacturing method according to the present invention, the warp preventing insulating layer is formed through a screen printing process and a baking process, and the insulating layer in contact with the coil conductor layer is subjected to a photolithography process and a baking process. It is formed.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention with reference to the drawings.
[0021]
FIG. 1 is a front sectional view showing a laminated coil according to a first embodiment of the present invention. FIGS. 2A and 2B are first and second views formed in the laminated coil. It is a typical plane sectional view showing a coil conductor layer.
[0022]
The laminated coil 1 has a ceramic substrate 2 made of insulating ceramics. A first coil conductor layer 3 is laminated on the ceramic substrate 2. As shown in FIG. 2B, the first coil conductor layer 3 is formed in a U shape and has a number of turns of about 3/4 turns. The outer end 3 a of the first coil conductor layer 3 is drawn out to the side surface 1 a on the back side of the laminated coil 1. An inner end 3 b of the first coil conductor layer 3 is connected to a lower end of a via hole electrode 4 described later.
[0023]
An insulating layer 5 is formed so as to cover the coil conductor layer 3. A via hole electrode 4 is formed so as to penetrate the insulating layer 5. The lower end of the via-hole electrode 4 is electrically connected to the vicinity of the inner end 3b of the coil conductor layer 3 as described above.
[0024]
On the other hand, a second coil conductor layer 6 is formed on the insulating layer 5. The second coil conductor layer 6 is U-shaped and has about 3/4 turns. As shown in FIG. 2A, the vicinity of the inner end 6 a of the second coil conductor layer 6 is electrically connected to the upper end of the via hole electrode 4. Further, the outer end 6 b of the second coil conductor layer 6 is drawn out to the side surface 1 b on the near side of the laminated coil 1.
[0025]
As shown by imaginary lines in FIGS. 2A and 2B, external electrodes 11 and 12 are formed on the side surfaces 1 a and 1 b of the laminated coil 1. The external electrodes 11 and 12 are electrically connected to the outer end 3 a of the coil conductor layer 3 and the outer end 6 a of the coil conductor layer 6, respectively. Therefore, in the laminated coil 1, a coil having about 1.5 turns is formed.
[0026]
Returning to FIG. 1, an insulating layer 7 is formed so as to cover the second coil conductor layer 6. An insulating layer 8 as a thickness adjusting layer is formed on the insulating layer 7. Further, a warp preventing insulating layer 9 is formed on the insulating layer 8. A protective layer 10 is formed on the warp preventing insulating layer 9.
[0027]
In the laminated coil 1, the first and second coil conductor layers 3, 6, the insulating layers 5, 7 to 9 and the protective layer 10 are fired and laminated on each layer on the insulating ceramic substrate 2. . And since the insulating ceramic substrate 2, the coil conductor layers 3 and 6, the insulating layers 5, 7 to 9, and the protective layer 10 are configured as follows, as is clear from the experimental examples described later, Warpage can be reliably suppressed. This will be clarified by explaining the manufacturing method of the laminated coil 1.
[0028]
When the laminated coil 1 is manufactured, a mother ceramic substrate made of alumina having a thickness of 0.15 to 0.25 mm and a linear expansion coefficient of 7 to 10 ppm / ° C. is first prepared.
[0029]
A plurality of first coil conductor layers 3 are formed on a mother ceramic substrate using a conductor paste having a linear expansion coefficient of 13 to 20 ppm / ° C. after firing. The formation of the first coil conductor layer 3 can be performed by a photolithography method. Note that the coil conductor layer 3 is cooled after firing.
[0030]
As a material for constituting the first coil conductor layer 3, a photosensitive Ag paste is used. An appropriate photosensitive conductor paste using Au, Pt, Cu, Ni, Pd, or an alloy thereof can also be used.
[0031]
The thickness of the first coil conductor layer is 3 to 15 μm (preferably 5 to 7 μm), the line width is 10 to 300 μm, and the number of turns is 3/4 to 10 turns.
The second coil conductor layer 6 to be described later can also be configured using the same conductor paste as that of the first coil conductor layer 3, and the thickness, line width, and number of turns are preferably in the same range. .
[0032]
After the coil conductor layer 3 is formed, a mother insulating layer having a plurality of via-hole electrodes 4 is formed. A plurality of second coil conductor layers 6 are formed in the same manner as the coil conductor layer 3 on the mother insulating layer. Thereafter, a mother insulating layer for forming the insulating layer 7 is formed in the same manner as the mother insulating layer for forming the insulating layer 5. The thickness of the mother insulating layer after firing is 7.5 to 70 μm, preferably 15 to 30 μm.
[0033]
Although the material which comprises these mother insulating layers is not specifically limited, Preferably, it forms by apply | coating the photosensitive glass paste and baking. As this photosensitive glass paste, for example, a composition containing an organic component such as an acrylic ester copolymer, a glass powder such as SiO ₂ , K ₂ O, or B ₂ O ₃ and a solvent is preferably used. It is done. After the photosensitive glass paste is applied, it is patterned by photolithography. Next, an insulating layer is formed by baking and cooling. The firing temperature is 800 to 900 ° C.
[0034]
After the mother insulating layer for forming the insulating layer 7 is formed as described above, the mother thickness adjusting insulating layer constituting the thickness adjusting insulating layer 8 is formed by baking and cooling. Here, a non-photosensitive glass paste is screen-printed, fired and cooled to form a mother thickness adjusting insulating layer. That is, since it is not necessary to form a via-hole electrode in the thickness adjusting insulating layer 8, the glass paste for the thickness adjusting insulating layer can be easily applied by screen printing.
[0035]
Next, a mother warp prevention insulating layer for forming the warp prevention insulating layer 9 is formed. When forming the insulating layer for preventing warping of the mother, a non-photosensitive glass paste having a larger linear expansion coefficient after firing than the photosensitive glass paste used to form the insulating layers 5 and 6 is preferably used. It is done. The glass paste is screen-printed, fired and cooled to form a mother warp prevention insulating layer. Since the insulating layer for preventing warping of the mother is formed by screen printing and baking, it can be easily performed as compared with the photolithography-baking method.
[0036]
The thickness of the mother warp prevention insulating layer is 7 to 20 μm.
In addition, the linear expansion coefficient after baking of the insulating layer for warpage prevention is such that the linear expansion coefficient of the insulating layers 5 and 7 is increased, but such control of the linear expansion coefficient is included in the glass paste. It can be controlled by the content and type of the glass component.
[0037]
After forming the insulating layer for preventing warpage of the mother, a glass paste for constituting the protective layer 10 is applied by screen printing, and is fired and cooled. In this way, a mother protective layer is formed. The thickness of the mother protective layer is 10 to 50 μm. The glass paste for forming the protective layer 10 does not need to be photosensitive. Therefore, the glass paste for constituting the protective layer is easily applied by screen printing. The protective layer 10 is provided to protect the upper surface of the laminated coil 1. Therefore, as the glass paste for constituting the protective layer 10, a composition containing a glass component such as SiO ₂ , K ₂ O, B ₂ O ₃ and a solvent is preferably used.
[0038]
When the laminated coil 1 is manufactured, after the mother sintered body in which the laminated coils 1 of FIG. 1 are connected is obtained, the mother sintered body is once divided into strips, and then the strip-shaped mother By further dividing the sintered body, it is divided into individual laminated coils.
[0039]
There is no particular limitation on the method of dividing the mother sintered body into individual laminated coil units, and after forming break grooves in a lattice shape by laser, scribe, cut or dicing, etc., a method of dividing using a roller or the like, etc. Can be used as appropriate. Thus, after obtaining the sintered body of each laminated coil 1 unit, the laminated coil 1 is obtained by forming the external electrodes 11 and 12 mentioned above.
[0040]
As described above, when the laminated coil 1 is manufactured, the first coil conductor layer 3, the insulating layer 5, the second coil conductor layer 6, the insulating layer 7, the thickness adjusting insulating layer 8, and the warp are formed on the ceramic substrate 2. The prevention insulating layer 9 and the protective layer 10 are fired and cooled for each layer to prepare a mother sintered body. When the mother sintered body is obtained by sequentially firing each layer in this manner, the conventional laminated coil manufacturing method has a problem that warpage tends to occur in the mother sintered body.
[0041]
On the other hand, in this embodiment, the conductor widths of the coil conductor layers 3 and 6 are in the range of 10 to 300 μm, the number of turns is 3/4 to 10 turns, and the thickness is 3 to 15 μm. Is made larger than the linear expansion coefficient of the remaining insulating layers 4, 7, 8, so that the warpage of the mother in the sintered body stage can be effectively suppressed. Accordingly, it is possible to suppress poor adsorption and cracking of the mother sintered body during conveyance at the mother sintered body stage. This will be described based on a specific experimental example.
[0042]
A mother sintered body was obtained according to the manufacturing method described above.
That is, as an example, a laminated coil 1 having final dimensions of length 0.6 mm × width 0.3 mm × thickness 0.3 mm was manufactured. In this case, an alumina plate made of ceramics of 100 mm × 100 mm × thickness 0.15 mm was prepared as a mother ceramic substrate. The first and second coil conductor layers 3 and 6 were formed by photolithography and baking of a photosensitive Ag paste, and the width of the fired conductor was 10 μm, the number of turns was 4 turns, and the thickness was 5 μm. Furthermore, the above-mentioned composition was used as the photosensitive glass paste for constituting the insulating layers 5 and 7, and the thicknesses of the insulating layers 5 and 7 after firing were 15 μm and 30 μm, respectively. Moreover, about the insulating layer 9 for curvature prevention, the glass paste which is not photosensitive was used, and the thickness after baking was 7-20 micrometers. By controlling the composition of the photosensitive glass paste and the glass paste for constituting the warp preventing insulating layer 9, the linear expansion coefficient after firing of the mother insulating layers for constituting the insulating layers 5 and 7 is 4 The linear expansion coefficient after firing of the warp preventing insulating layer 9 was 12.0 to 13.0 ppm / ° C. Moreover, about the protective layer 10, it formed in the thickness of 20 micrometers by printing and baking the above-mentioned glass paste. The linear expansion coefficient after baking of the protective layer 10 is 3-6 ppm / degrees C.
[0043]
For comparison, the thickness of the first and second coil conductor layers is 8 μm, the thickness of the insulating layer corresponding to the insulating layers 5 and 7 is 15 μm, and further, no glass paste for warpage prevention is used for the insulating layer 9. A laminated coil was prepared in the same manner as in the above example except that the thickness adjusting glass paste was used. The warpage in the sintered body of the mother obtained in each manufacturing process of the example and the comparative example was measured. As a result, in the mother sintered body of 100 mm × 100 mm × thickness 0.3 mm, the warpage of the comparative example was 1.5 mm, whereas in the example, it was remarkably as small as 0.3 mm.
[0044]
Note that the warp size of the mother sintered body is the center of the lower surface of the mother sintered body 31 when the mother sintered body 31 is warped upward as shown in a schematic sectional view of FIG. And a high H between the horizontal plane. Further, when the mother sintered body 31 is warped downward, the dimension in the height direction between the center of the upper surface of the mother sintered body 31 and the peripheral portion is meant.
[0045]
As described above, it is considered that the warp in the mother sintered body for obtaining the laminated coil of the example was significantly reduced because the warp preventing insulating layer 9 protruded downward. That is, as shown in a schematic cross-sectional view in FIG. 3C, the first and second coil conductor layers 3 and 6 warp by firing so that the central portion of the conductor protrudes downward as compared to the periphery. I know that. On the other hand, the insulating layers 5 and 7 and the insulating layer 8 for adjusting the thickness all warp so that the central portion protrudes upward after firing (see FIGS. 3B and 3D).
[0046]
And even if the coil conductor layers 3 and 6 are warped downward, the insulating layers 5 and 7 and the insulating layer 8 for thickness adjustment are warped upward, so that the central portion protrudes upward as a whole. It will warp. However, as shown in FIG. 3A, since the linear expansion coefficient after firing of the warp preventing insulating layer 9 is larger than the linear expansion coefficient of the remaining insulating layers, the warp preventing insulating layer 9 has a center portion facing downward. It will be warped to protrude. That is, since the warping direction of the warp preventing insulating layer 9 is opposite to that of the insulating layers 5 and 7 and the thickness adjusting insulating layer 8, the warp of the mother sintered body is effectively suppressed as a whole. It is thought that there is.
[0047]
The protective layer 10 is configured to warp upward in the same manner as the insulating layers 5 and 7, but the warp preventing insulating layer 9 warps downward so as to offset the warp of the protective layer 10 as well. It is comprised so that.
[0048]
In the laminated coil 1 shown in FIG. 1, the first and second coil conductor layers 3 and 6 are laminated. However, in the present invention, three or more coil conductor layers may be laminated.
In the second embodiment shown in FIG. 4, a third coil conductor layer 13 is further laminated in addition to the first coil conductor layer 3 and the second coil conductor layer 6. The third coil conductor layer 13 is electrically connected to the second coil conductor layer 6 by a via hole electrode 14. In the laminated coil 16 of the second embodiment, the insulating layer 15 is formed on the third coil conductor layer 13. The insulating layer 15 is formed in the same manner as the insulating layers 5 and 7.
[0049]
In the laminated coil 21 of the third embodiment shown in FIG. 5, a fourth coil conductor layer 23 and an insulating layer 24 connected by the via-hole electrode 22 are further formed on the third coil conductor layer 11. Yes.
[0050]
Thus, in the present invention, three or more coil conductor layers may be laminated via the insulating layer.
However, in the laminated coils 16 and 21 having three or more coil conductor layers shown in FIGS. 4 and 5, the linear expansion coefficient of the warp preventing insulating layer 9 is made smaller than the linear expansion coefficients of the remaining insulating layers. It is necessary. This is because, as the number of coil conductor layers increases, the coil conductor layers tend to warp so that the central portion protrudes downward as the whole sintered body of the mother because the central portion protrudes downward. It is to become. That is, by configuring the warp preventing insulating layer 9A to warp upward in the center, the influence of the warp of the coil conductor layers 3, 6, 13, 23 can be offset. According to the experiment by the present inventor, it was confirmed that in the laminated coil provided with three or more coil conductor layers, the above-described warpage amount can be ± 0.5 mm or less in the mother sintered body stage. Yes. Therefore, it can be seen that even when the number of coil conductor layers is three or more, warping in the mother sintered body can be effectively suppressed according to the present invention.
[0051]
【The invention's effect】
As described above, in the laminated coil according to the first invention, the conductor width of the two coil conductor layers is 10 to 300 μm, the number of turns is 3/4 to 10 turns, and the thickness is 3 to 15 μm. Since the linear expansion coefficient of the insulating layer is larger than the linear expansion coefficient of the remaining insulating layers, it is possible to reliably prevent warping at the mother sintered body stage. Accordingly, in the process of conveying or dividing the mother sintered body, the mother sintered body is not easily broken by adsorption or the like. Therefore, the production of laminated coils can be stably performed, and the yield rate of laminated coils can be effectively increased.
[0053]
When the plurality of insulating layers further include a thickness adjusting insulating layer that is not in contact with the coil conductor layer, the thickness of the laminated coil can be adjusted from the thickness adjusting insulating layer.
[0054]
When the protective layer to prevent insulating layer anti Ri made of insulating ceramics is further provided, it is possible to effectively protect the top of the stack of coils with a protective layer.
[0055]
In the method for manufacturing a laminated coil according to the present invention, a plurality of insulating layers and a plurality of coil conductor layers are sequentially fired on a mother ceramic substrate to obtain a mother sintered body. A laminated coil is obtained by cutting the laminated coil unit. The conductor width, the number of turns, and the thickness of the coil conductor layer constituting the laminated coil are configured according to the first invention, and the linear expansion coefficient of the warp preventing insulating layer is the wire of the remaining insulating layer according to the first invention. Since the expansion coefficient is larger or smaller than the expansion coefficient, it is possible to surely suppress the warpage in the mother sintered body stage as in the first invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front sectional view showing a laminated coil according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 2A and 2B are cross-sectional plan views showing a first coil conductor layer and a second coil conductor layer of the laminated coil of the first embodiment.
FIGS. 3A to 3D are schematic front views showing a state of warping after firing of a warp preventing insulating layer, another insulating layer, a coil conductor layer, and another insulating layer;
FIG. 4 is a front sectional view showing a laminated coil according to a second embodiment.
FIG. 5 is a front sectional view showing a laminated coil according to a third embodiment.
6A to 6D are front sectional views for explaining an example of a conventional method for manufacturing a multilayer structure component.
FIG. 7 is a front view for explaining warpage of a mother sintered body.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated coil 2 ... Ceramic substrate 3 ... 1st coil conductor layer 4 ... Via-hole electrode 5 ... Insulating layer 6 ... 2nd coil conductor layer 7 ... Insulating layer 8 ... Insulating layer 9 for thickness adjustment ... Insulating layer for curvature prevention DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Protective layer 11, 12 ... External electrode 13 ... 3rd coil conductor 14 ... Via-hole electrode 15 ... Insulating layer 16 ... Laminated coil 121 ... Laminated coil 122 ... Via-hole electrode 123 ... 4th coil conductor layer

Claims

A laminated coil in which a plurality of insulating layers made of ceramics and a coil conductor layer containing Ag are laminated on a ceramic substrate made of alumina ,
Two coil conductor layers are laminated via at least one insulating layer, and the conductor width of each coil conductor layer is 10 to 300 μm, the number of turns is 3/4 to 10 turns, and the thickness is 3 to 15 μm. And
The insulating layer includes a glass component that controls a linear expansion coefficient;
The insulating layer has a warp preventing insulating layer and an insulating layer other than the warp preventing insulating layer,
The warpage preventing insulating layer is provided on the top of the insulating layer,
Linear expansion coefficient of the warp-preventing insulating layer, Ri remaining greater than the linear expansion coefficient of the insulating layer, or One prior Symbol der equal to or less than the linear expansion coefficient of the coil conductor layers, the linear expansion coefficient of the ceramic substrate The laminated coil is characterized by being smaller than the linear expansion coefficient of the warp-preventing insulating layer and larger than the linear expansion coefficient of the remaining insulating layers .

The multilayer coil according to claim 1, wherein the plurality of insulating layers further include a thickness adjusting insulating layer that is not in contact with the coil conductor layer.

It is provided in the warp-preventing insulating layer, and further comprising a protective layer made of insulating ceramics, laminated coil according to claim 1 or 2.

It is a manufacturing method of the lamination coil in any one of Claims 1-3 ,
Firing a plurality of insulating layers and coil conductor layers for each layer on a ceramic substrate to prepare a mother sintered body;
And a step of cutting the mother sintered body into individual laminated coil units.

5. The laminated coil according to claim 4 , wherein the warpage preventing insulating layer is formed through a screen printing process and a firing process, and the insulating layer in contact with the coil conductor layer is formed through a photolithography process and a firing process. Production method.