JP4364781B2

JP4364781B2 - フィルム状光導波路の検査方法

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Publication number: JP4364781B2
Application number: JP2004361733A
Authority: JP
Inventors: 紀行十二; 和範宗
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2004-12-14
Filing date: 2004-12-14
Publication date: 2009-11-18
Anticipated expiration: 2024-12-14
Also published as: JP2006171221A

Description

本発明は、光通信，光情報処理，その他一般光学で広く用いられるフィルム状光導波路の光損失を測定し検査する、フィルム状光導波路の検査方法に関するものである。

光導波路は、光導波路デバイス，光集積回路，光配線基板に組み込まれており、光通信，光情報処理，その他一般光学の分野で広く用いられている。そして、光導波路としては、光損失が大きいと、光伝搬距離が短くなったり、ノイズが大きくなったりする等の問題が発生するため、光損失は小さいほど好ましい。そこで、光導波路を製品として出荷する前には、通常、光損失の測定が行われ、光損失が所定の基準値を越えるか否かを検査する。その結果、光損失がその基準値を越えるものは、不良品として廃棄等される。

上記光損失の測定は、光導波路の光入射端面および光出射端面にそれぞれ光ファイバーを接続し、光入射端面に接続した光ファイバーから所定の強度の光を入射させ、光出射端面に接続した光ファイバーから出射される光の強度を測定することにより行われる。また、この光損失の測定を行うためには、上記光導波路と光ファイバーとを接続する際に、光導波路の光軸と光ファイバーの光軸とを精密に合わせる（光軸調芯を行う）必要がある。この光軸調芯には、調芯装置が用いられる。

上記調芯装置は、一般に、固定ステージと、この固定ステージの両側にそれぞれ配置された移動ステージとを備えている。そして、上記固定ステージに光導波路を固定する一方、各移動ステージに光ファイバーを固定し、この状態で各移動ステージを上下方向、左右方向および前後方向に移動させて固定ステージとの相対位置を変え、固定ステージ上の光導波路の光軸と各移動ステージ上の光ファイバーの光軸とを合わせるようになっている。このような調芯装置として、様々なものが従来より提案されている（例えば、特許文献１参照）。

そして、上記調芯装置の固定ステージでの光導波路の固定は、光軸調芯を行う工程から、光導波路と光ファイバーとを接続する工程を経て、光導波路の光損失の測定が終了するまで維持される。
実開平５−２１２１５号公報

上記光導波路は、通常、フィルム状に形成されており、上記調芯装置の固定ステージへの光導波路の固定は、エアー吸着により行われる。しかしながら、フィルム状光導波路がエアー吸着により固定されると、エアー吸い込み孔の上に位置する光導波路の部分がエアー吸い込み力により撓み、上記光導波路の光損失を高精度に測定することができない。このような原因で光損失の測定精度が低くなると、その測定結果に基づいて行われる光導波路の検査では、良品を不良品と判断したり、逆に、不良品を良品と判断したりするおそれがあり、検査精度も低くなる。

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、フィルム状光導波路の光損失を高精度に測定することができるフィルム状光導波路の検査方法の提供をその目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明のフィルム状光導波路の検査方法は、調芯装置に備えられている固定ステージのエアー吸着面にフィルム状光導波路を固定した状態で、フィルム状光導波路の光損失を測定するフィルム状光導波路の検査方法であって、下記の（Ａ）もしくは（Ｂ）の方法により、上記固定ステージのエアー吸着面に、フィルム状光導波路を固定し、上記フィルム状光導波路の光損失を測定した後、上記加熱剥離型両面粘着シートを加熱し粘着力を低下させることにより、上記フィルム状光導波路を加熱剥離型両面粘着シートから剥離するという構成をとる。
（Ａ）上記固定ステージのエアー吸着面に、エアー吸着により固定した基板を介して、フィルム状光導波路を、加熱剥離型両面粘着シートを利用して固定する方法。
（Ｂ）上記固定ステージのエアー吸着面に、エアー吸着することなく、それ自身の粘着力を利用して固定した加熱剥離型両面粘着シートを介して、フィルム状光導波路を固定する方法。

この発明において、「フィルム状光導波路」とは、光が伝搬するコア層を、このコア層よりも屈折率の小さいクラッド層で包含するように構成した薄膜状積層体のことをいう。また、「光損失」には、光伝搬損失，光結合損失，挿入損失等がある。

本発明者らは、フィルム状光導波路における光損失の測定精度を向上させるべく、フィルム状光導波路を調芯装置の固定ステージに固定する方法について、研究を重ねた。その結果、固定ステージに基板を固定し、この基板上に加熱剥離型両面粘着シートを介して、上記フィルム状光導波路を固定すると、固定ステージでの固定がエアー吸着により行われても、フィルム状光導波路は撓むことがなく、光損失の測定精度が向上することを突き止めた。また、固定ステージに、直接、フィルム状光導波路を加熱剥離型両面粘着シートを利用して固定すると、エアー吸着を利用することなくフィルム状光導波路を固定ステージに固定することができるようになるため、エアー吸着によるフィルム状光導波路の撓みの問題が発生せず、この固定方法でも、光損失の測定精度が向上することを突き止め、本発明に到達した。なお、いずれの固定方法を採用する場合でも、光損失を測定した後は、加熱剥離型両面粘着シートを加熱することにより、加熱剥離型両面粘着シートとフィルム状光導波路との粘着力を低下させ、フィルム状光導波路を加熱剥離型両面粘着シートから簡単に剥離できる。

本発明のフィルム状光導波路の検査方法は、フィルム状光導波路の光損失を測定する際に、固定ステージへのフィルム状光導波路の固定が、基板を介してもしくは介さずに、加熱剥離型両面粘着シートを利用して行われる。基板を介する場合は、固定ステージでの固定がエアー吸着により行われても、基板は撓み抵抗性が高いことから、エアー吸着によっても撓まず、したがって、それに固定されているフィルム状光導波路も撓むことはない。また、基板を介さない場合は、エアー吸着ではなく、フィルム状光導波路が加熱剥離型両面粘着シートを利用して固定ステージに固定されるため、エアー吸着によるフィルム状光導波路の撓みの問題は生じない。したがって、上記いずれの場合も、フィルム状光導波路の光損失を高精度に測定することができ、検査精度も向上させることができる。しかも、光損失を測定した後は、加熱剥離型両面粘着シートを加熱することにより、その粘着力を低下させ、フィルム状光導波路を加熱剥離型両面粘着シートから簡単に剥離することができ、作業の煩雑化を招くことがない。

特に、上記基板を介して固定ステージに固定する場合、その固定がエアー吸着を利用した吸着であると、光損失を測定した後は、フィルム状光導波路を基板ごと固定ステージから取り外し、その状態で加熱剥離型両面粘着シートを加熱することにより、フィルム状光導波路を加熱剥離型両面粘着シートからより簡単に剥離することができるようになる。

また、上記加熱剥離型両面粘着シートが、支持シートと、この支持シートの表面に形成された発泡剤含有感圧性接着剤層と、上記支持シートの裏面に形成された感圧性接着剤層とからなり、上記フィルム状光導波路と加熱剥離型両面粘着シートとの固定が、上記支持シートの表面に形成された発泡剤含有感圧性接着剤層により行われる場合には、光損失を測定した後の加熱剥離型両面粘着シートに対する加熱により、発泡剤含有感圧性接着剤層が発泡し、フィルム状光導波路との接触面積が小さくなり、発泡剤含有感圧性接着剤層とフィルム状光導波路との粘着力が低下する。これにより、フィルム状光導波路を発泡剤含有感圧性接着剤層からより簡単に剥離することができる。

つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。

図１は、本発明のフィルム状光導波路の検査方法の一実施の形態を示している。このフィルム状光導波路の検査方法では、調芯装置の固定ステージＳ₁へのフィルム状光導波路Ａの固定が、上記固定ステージＳ₁に固定された基板１およびこの基板１の表面に固定された加熱剥離型両面粘着シート２を介して行われる。なお、図１において、Ｓ₂は調芯装置の移動ステージ、１１はフィルム状光導波路Ａのアンダークラッド層、１２はコア層、１３はオーバークラッド層、１４は光入射端面、１５は光出射端面である。また、図１では、理解し易いよう、フィルム状光導波路Ａおよび光ファイバーＦを大きく図示している。

より詳しく説明すると、まず、背景技術の欄で述べた従来公知の調芯装置を準備する。この調芯装置は、固定ステージＳ₁と、この固定ステージＳ₁の両側にそれぞれ配置された移動ステージＳ₂とを備えており、移動ステージＳ₂は、固定ステージＳ₁に対して上下方向、左右方向および前後方向の計３つの方向にそれぞれ移動調整可能になっている。そして、この実施の形態では、固定ステージＳ₁に、基板１および加熱剥離型両面粘着シート２を介して、フィルム状光導波路Ａを固定する。このとき、フィルム状光導波路Ａの光入射端面１４および光出射端面１５をそれぞれ移動ステージＳ₂側に向けた状態で固定する。これ以降は、従来と同様にして、光軸調芯が行われる。すなわち、光ファイバーＦを２本準備し、各光ファイバーＦの端面を固定ステージＳ₁上のフィルム状光導波路Ａの光入射端面１４および光出射端面１５のそれぞれに対向させた状態で、移動ステージＳ₂に固定する。そして、各移動ステージＳ₂を上下方向、左右方向および前後方向に移動させて固定ステージＳ₁との相対位置を変え、固定ステージＳ₁上のフィルム状光導波路Ａの光軸と各移動ステージＳ₂上の光ファイバーＦの光軸とを合わせる。

つぎに、この光軸を合わせた状態で、フィルム状光導波路Ａと光ファイバーＦとを接続する。この接続は、従来公知の方法により行われ、通常、フィルム状光導波路Ａの端面（光入射端面１４および光出射端面１５）および光ファイバーＦの先端の少なくとも一方に備えられたコネクタ等（図示せず）を介して行われる。その場合、上記固定ステージＳ₁等への固定および光軸調芯（光軸合わせ）は、フィルム状光導波路Ａの端面等に上記コネクタ等を備えた状態で行われる。

そして、従来と同様にして、フィルム状光導波路Ａを、固定ステージＳ₁に基板１および加熱剥離型両面粘着シート２を介して固定した状態のまま、フィルム状光導波路Ａの光損失を測定する。すなわち、光入射端面１４に接続した光ファイバーＦから所定の強度の光（入射光）を伝搬させ、その際の、光出射端面１５に接続した光ファイバーＦから出射される光（出射光）の強度を測定する。そして、上記入射光の強度と出射光の強度とを比較することにより、上記光損失を知ることができる。

このとき、固定ステージＳ₁での固定はエアー吸着により行われるが、そのエアー吸着力は基板１に作用する。基板１は撓み抵抗性が高いため、エアー吸い込み力により撓むことがない。そのため、その基板１に載置固着されているフィルム状光導波路Ａが撓むことはない。したがって、フィルム状光導波路Ａの光損失を高精度に測定することができ、検査精度も向上させることができる。

フィルム状光導波路Ａの光損失を測定した後は、上記固定ステージＳ₁から、フィルム状光導波路Ａを、基板１ごと取り外し、その状態で加熱剥離型両面粘着シート２を加熱することにより、フィルム状光導波路Ａを加熱剥離型両面粘着シート２から剥離することができる。上記加熱方法としては、特に限定されるものではなく、遠赤外線の照射，熱風の送風等があげられる。また、加熱に使用される手段も、特に限定されるものではなく、ドライオーブン，ホットプレート等があげられる。

つぎに、上記基板１および加熱剥離型両面粘着シート２の形成材料等について説明する。

上記基板１としては、エアー吸着のエアー吸い込み力により撓まないものであればよく、例えば、ガラス基板，シリコン基板，ガラエポ基板，ポリイミド樹脂基板，セラミック基板，ステンレス基板等があげられ、その厚みは、０．５〜１０ｍｍの範囲内が好適である。また、基板１の表面は、平滑であることが好ましいが、多少の凹凸やうねり等があっても、加熱剥離型両面粘着シート２の厚み等を利用して、上記凹凸やうねり等を吸収し、その加熱剥離型両面粘着シート２の表面を平滑にすることができる。

上記加熱剥離型両面粘着シート２は、図２に示すように、支持シート２１と、この支持シート２１の表面に形成された発泡剤含有感圧性接着剤層２２と、上記支持シート２１の裏面に形成された感圧性接着剤層２３とからなっている。そして、上記基板１（図１参照）の表面と加熱剥離型両面粘着シート２との固定は、上記感圧性接着剤層２３により行われ、フィルム状光導波路Ａ（図１参照）と加熱剥離型両面粘着シート２との固定は、上記発泡剤含有感圧性接着剤層２２により行われる。なお、上記支持シート２１の裏面に形成された感圧性接着剤層２３は、発泡剤を含有させることにより、発泡剤含有感圧性接着剤層にしてもよい。

上記支持シート２１としては、特に限定されるものではないが、強度等の観点から、ポリエステルフィルム，ポリプロピレンフィルム等の比較的硬くて自己支持性を有するフィルムが好ましく、その厚みは、１０〜５００μｍの範囲内が好適である。

上記感圧性接着剤としては、特に限定されるものではなく、ゴム系またはアクリル系等の公知のものを用いることができる。例えば、天然ゴム，各種の合成ゴム等からなるゴム系ポリマ、またはアクリル酸，メタクリル酸等のアルキルエステル系ポリマ、もしくはアクリル酸，メタクリル酸等のアルキルエステル約５０〜９９．５重量％とこれと共重合可能な他の不飽和単量体約５０〜０．５重量％との共重合体等からなるアクリル系ポリマ等、その重量平均分子量が５０００〜３００万のものをベースポリマとし、これに必要に応じてポリイソシアネート化合物，アルキルエーテル化メラミン化合物等の架橋剤を配合したもの等をあげることができる。なお、架橋剤を併用する場合、その配合量は、通常、ベースポリマ１００重量部あたり約０．１〜１０重量部にする。

上記発泡剤としては、特に限定されるものではなく、公知のものを用いることができる。例えば、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム，亜硝酸アンモニウム，水素化ホウ素ナトリウム，アジド類等で代表される無機系のもの、アゾビスイソブチロニトリル，アゾジカルボンアミド，バリウムアゾジカルボキシレート等のアゾ系化合物、トルエンスルホニルヒドラジド、ジフェニルスルホン−３，３′−ジスルホヒドラジン、４，４′−オキシビス（ベンゼンスルホヒドラジド）、アリルビス（スルホヒドラジド）等のヒドラジン系化合物、ρ−トルイレンスルホニルセミカルバジド、４，４′−オキシビス（ベンゼンスルホニルセミカルバジド）等のセミカルバジド系化合物、５−モルホリル−１，２，３，４−チアトリアゾール等のトリアゾール系化合物、Ｎ，Ｎ′−ジニトロソペンタメチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ′−ジメチル−Ｎ，Ｎ′−ジニトロソテレフタルアミド等のＮ−ニトロソ系化合物などで代表される有機系のもの等をあげることができる。なお、発泡剤はマイクロカプセルに封入されたものが感圧性接着剤中への分散性などの点で好ましく用いられる。マイクロカプセル化された発泡剤としては、マイクロスフェアー（松本油脂社製、Ｆ−３０，Ｆ−５０，Ｆ−７０）等の市販品をあげることができる。発泡剤の配合量は、上記したベースポリマ１００重量部あたり５〜３００重量部が一般であるが、使用発泡剤の種類、あるいは加熱条件等により発泡特性が比較的大きく異なるため適宜に決定され、これに限定されない。一般に、発泡剤含有感圧性接着剤層２２の嵩が発泡で２倍以上になる量を配合することが好適である。また、９０〜１７０℃の１秒間〜１分間程度の加熱で発泡処理が完了するように系を決定することが好ましい。

このような発泡剤含有感圧性接着剤層２２を用いると、上記加熱剥離型両面粘着シート２に対する加熱により、発泡剤含有感圧性接着剤層２２が発泡し、フィルム状光導波路Ａとの接触面積が小さくなる。このため、発泡剤含有感圧性接着剤層２２とフィルム状光導波路Ａとの粘着力が低下し、フィルム状光導波路Ａが発泡剤含有感圧性接着剤層２２から簡単に剥離できるようになる。

図３は、本発明のフィルム状光導波路の検査方法の他の実施の形態を示している。この実施の形態では、調芯装置の固定ステージＳ₁のフィルム状光導波路Ａの固定が、エアー吸着ではなく、上記固定ステージＳ₁に、それ自身の粘着力〔感圧性接着剤層２３（図２参照）の粘着力〕を利用して固定された加熱剥離型両面粘着シート２を介して行われる（図１に示す実施の形態において用いた基板１は、用いられていない）。それ以外は、図１に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。

この実施の形態では、固定ステージＳ₁での固定が、エアー吸着によらないため、フィルム状光導波路Ａの撓み問題は生じない。したがって、図１に示す実施の形態と同様に、フィルム状光導波路Ａの光損失を高精度に測定することができ、検査精度も向上させることができる。また、加熱剥離型両面粘着シート２を介して固定ステージＳ₁に固定されているため、図１に示す実施の形態と同様に、その加熱剥離型両面粘着シート２を加熱することにより、フィルム状光導波路Ａを加熱剥離型両面粘着シート２から簡単に剥離することができる。さらに、この実施の形態では、固定ステージＳ₁に粘着している、加熱剥離型両面粘着シート２の感圧性接着剤層２３（図２参照）は、上記加熱により固定ステージＳ₁から剥離されるよう、発泡剤を含有させた発泡剤含有感圧性接着剤層にすることが好ましい。

なお、上記フィルム状光導波路Ａの形状は、特に限定されるものではなく、従来と同様に、光が伝搬するコア層１２を、このコア層１２よりも屈折率の小さいアンダークラッド層１１とオーバークラッド層１３とで挟持するように構成した薄膜状積層体が用いられる。また、フィルム状光導波路Ａの長さ（光伝搬方向の長さ）は、光損失の測定をより高精度にする観点から、０．５〜５０ｃｍの範囲内とすることが好ましく、より好ましくは１０〜３０ｃｍの範囲内である。

上記フィルム状光導波路Ａの作製は、例えば、つぎのようにして行われる。すなわち、まず、アンダークラッド層１１として用いるポリイミド樹脂フィルムを準備する。このポリイミド樹脂フィルム（アンダークラッド層）の厚みは、１〜３０μｍの範囲、好ましくは５〜１５μｍの範囲である。

つぎに、上記アンダークラッド層１１上に、このアンダークラッド層１１よりも屈折率の高い材料からなる感光性ポリイミド樹脂前駆体溶液（感光性ポリアミド酸ワニス）を、乾燥後の膜厚が好ましくは２〜３０μｍ、特に好ましくは６〜１０μｍとなるよう塗布し、初期乾燥でコア層１２となる感光性ポリイミド樹脂前駆体層を形成する。ついで、所望のパターンが得られるように、感光性ポリイミド樹脂前駆体層上にフォトマスクを載置してその上方から紫外線を照射する。本発明においては、上記紫外線の照射における露光量は５〜５０ｍＪ／ｃｍ²で充分な解像が可能である。その後、光反応を完結させるために、Post Exposure Bake（ＰＥＢ）と呼ばれる露光後の熱処理を行い、現像液を用いて現像を行う（ウェットプロセス法）。そして、現像によって得られた所望のパターンをイミド化するために、通常熱処理を行う。この際の加熱温度は、一般的に３００〜４００℃であり、真空下または窒素雰囲気下で脱溶剤と硬化反応（キュア）を行うものである。このようにしてイミド化することにより、ポリイミド樹脂製のパターンとなるコア層１２を形成する。

ついで、上記コア層１２上に、上記コア層１２よりも屈折率の低い形成材料からなるポリイミド樹脂前駆体溶液を乾燥後の最大の膜厚が好ましくは１〜３０μｍ、特に好ましくは５〜１５μｍとなるよう塗布し、乾燥させることによりポリイミド樹脂前駆体組成物からなる樹脂層を形成する。ついで、上記アンダークラッド層１１と同様、不活性雰囲気下、加熱することにより上記樹脂層中の残存溶媒の除去およびポリイミド樹脂前駆体のイミド化を完結させることにより、コア層１２を包含するようにポリイミド樹脂製のオーバークラッド層１３を形成する。このようにして、フィルム状光導波路Ａを作製する。なお、上記ポリイミド樹脂に代えて、エポキシ樹脂，感光性エポキシ樹脂等を用いても上記と同様にフィルム状光導波路Ａを作製することができる。

このようにして得られたフィルム状光導波路Ａとしては、例えば、直線光導波路，曲がり光導波路，交差光導波路，Ｙ分岐光導波路，スラブ光導波路，マッハツエンダー型光導波路，ＡＷＧ（Alley Wave Guide）型光導波路，グレーティング，光導波路レンズ等があげられる。そして、これら光導波路を用いた光素子としては、波長フィルタ，光スイッチ，光分岐器，光合波器，光合分波器，光アンプ，波長変換器，波長分割器，光スプリッタ，方向性結合器，さらにはレーザダイオードやフォトダイオードをハイブリッド集積した光伝送モジュール等があげられる。

つぎに、実施例について説明する。

〔実施例１〕
ポリイミド樹脂からなるフィルム状光導波路を準備した。このフィルム状光導波路の寸法は、光伝搬方向の長さが１０ｃｍ、幅が２ｃｍ、厚みが１００μｍであった。そして、そのフィルム状光導波路を、加熱剥離型両面粘着シート（日東電工社製、リバアルファ、両面粘着タイプＮｏ．３１９５Ｈ）を介して、ガラス基板（厚み１ｍｍ）上に、ローラーを用いて固定した。そのガラス基板を調芯装置の固定ステージにエアー吸着により固定する一方、各移動ステージに光ファイバーを固定し、光軸調芯を行った。その後、フィルム状光導波路と光ファイバーとを接続し、波長８３０ｎｍのレーザー光を入射させたときの光損失（挿入損失）を測定した。その結果、光損失は４．４ｄＢであった。その光損失の測定は、問題なく行うことができた。

光損失を測定した後、固定ステージから、フィルム状光導波路が粘着したガラス基板を取り外し、ホットプレートの表面にガラス基板が当接するように載置した。そして、そのホットプレートにより、１８０℃×１０秒間加熱した結果、上記加熱剥離型両面粘着シートの発泡剤含有感圧性接着剤層が発泡した。その後、上記ホットプレートから取り出し、上記フィルム状光導波路をピンセットで挟み、上記発泡剤含有感圧性接着剤層から剥離した。その剥離は、簡単に行うことができた。

〔実施例２〕
上記実施例１において、フィルム状光導波路を、上記加熱剥離型両面粘着シートを介して、調芯装置の固定ステージに貼着により固定する一方、各移動ステージに光ファイバーを固定し、光軸調芯を行った。その後、実施例１と同様にして光損失を測定した。その結果、光損失は４．６ｄＢであった。その光損失の測定は、問題なく行うことができた。

光損失を測定した後、加熱剥離型両面粘着シートに１８０℃の熱風を１０秒間送風した。その結果、上記加熱剥離型両面粘着シートの発泡剤含有感圧性接着剤層が発泡した。その後、上記フィルム状光導波路をピンセットで挟み、上記発泡剤含有感圧性接着剤層から剥離した。その剥離は、簡単に行うことができた。

本発明のフィルム状光導波路の検査方法によると、光損失の測定精度が向上し、その測定結果に基づいて行われるフィルム状光導波路の検査も精度が向上する。その結果、良品が廃棄されることがなくなり、むだがなくなる。また、不良品が出荷されることもなくなり、上記検査を経たフィルム状光導波路は、信頼性が高く、そのフィルム状光導波路を用いた光伝送モジュール等の製品も、信頼性が高いものになる。

本発明のフィルム状光導波路の検査方法の一実施の形態を模式的に示す正面図である。上記フィルム状光導波路の検査方法に用いる加熱剥離型両面粘着シートを示す正面図である。本発明のフィルム状光導波路の検査方法の他の実施の形態を模式的に示す正面図である。

符号の説明

１基板
２加熱剥離型両面粘着シート
Ａフィルム状光導波路
Ｓ₁ 固定ステージ

Claims

調芯装置に備えられている固定ステージのエアー吸着面にフィルム状光導波路を固定した状態で、フィルム状光導波路の光損失を測定するフィルム状光導波路の検査方法であって、下記の（Ａ）もしくは（Ｂ）の方法により、上記固定ステージのエアー吸着面に、フィルム状光導波路を固定し、上記フィルム状光導波路の光損失を測定した後、上記加熱剥離型両面粘着シートを加熱し粘着力を低下させることにより、上記フィルム状光導波路を加熱剥離型両面粘着シートから剥離することを特徴とするフィルム状光導波路の検査方法。
（Ａ）上記固定ステージのエアー吸着面に、エアー吸着により固定した基板を介して、フィルム状光導波路を、加熱剥離型両面粘着シートを利用して固定する方法。
（Ｂ）上記固定ステージのエアー吸着面に、エアー吸着することなく、それ自身の粘着力を利用して固定した加熱剥離型両面粘着シートを介して、フィルム状光導波路を固定する方法。
上記固定ステージのエアー吸着面に基板を介してフィルム状光導波路を、加熱剥離型両面粘着シートを利用して固定することを、上記固定ステージのエアー吸着面にエアー吸着を利用して基板を吸着し、その基板に加熱剥離型両面粘着シートを介してフィルム状光導波路を固定することにより行い、上記固定の解除を、フィルム状光導波路の光損失を測定した後、そのフィルム状光導波路を基板ごと固定ステージのエアー吸着面から取り外し、上記加熱剥離型両面粘着シートを加熱し粘着力を低下させることにより行う請求項１記載のフィルム状光導波路の検査方法。
上記加熱剥離型両面粘着シートが、支持シートと、この支持シートの表面に形成された発泡剤含有感圧性接着剤層と、上記支持シートの裏面に形成された感圧性接着剤層とからなり、上記フィルム状光導波路と加熱剥離型両面粘着シートとの固定が、上記支持シートの表面に形成された発泡剤含有感圧性接着剤層により行われる請求項１または２記載のフィルム状光導波路の検査方法。