JP4345235B2 - 非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法、特に、各種非接触式三次元形状測定器において、容易に計測精度保証を行うことのできる計測精度保証方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、被測定物(以下、ワークという)の三次元形状を測定する装置として三次元形状測定器がある。この三次元形状測定器には、大別して接触式と非接触式とがある。接触式の三次元形状測定器は、先端細径のプローブをワークの表面に直接接触させ、ワーク形状に沿ってトレースすることにより、ワークの三次元座標データを順次取得し、ワークの三次元形状を認識するものである。また、非接触式の三次元形状測定器は、ワークに対してレーザ光等の光を投射し、ワークから反射してくる反射光によりワークまでの距離を測定し、ワークの三次元座標データを取得するタイプのものや、ステレオ撮影法により三次元座標を順次算出するタイプのものやワークにパターン縞を投射し、その縞をカメラ等で撮影し、撮影されたワーク表面における縞の歪みに基づきワークの三次元座標データを取得するタイプや特殊な光を投影せず、ワークをカメラ等で撮影し、その撮影した画像の特徴部分に関して画像処理手法を用いて、三次元座標データを取得するタイプのものがある。この他にも、様々な方式が提案されている。
【0003】
これらの三次元形状測定器は、任意の物質の研究やそのデータ収集を目的としたり、工業製品の仕上がり精度の検査等、様々な分野で利用されている。なお、非接触式は接触式に比べ取得できるデータ量が多いため最近では、非接触式への移行が盛んに行われるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、測定を行う場合、その測定データには必ず測定誤差が含まれる。従って、信頼度の高い測定を行うためには、測定誤差に対する考慮、すなわち測定精度の保証を行わなければならない。例えば、接触式三次元形状測定器の場合、その精度保証方法は、JIS等により定義されており、長さ標準器を活用し、測定距離(2次元)に対する保証を95%信頼限界にて定義している。
【0005】
しかし、非接触式三次元測定の場合、その測定エリア(例えば、約A4サイズ)内の三次元形状が例えば30万点以上測定され、接触式のように測定距離(二次元)に基づいた精度保証を行うことはできないという問題を有する。また、非接触式三次元測定の場合、その精度は、長さ、粗さ、材質、角度、真円度、ワークの色等による影響を受ける。従って、一つの測定精度のみで非接触式三次元形状測定器の精度を表すことができず、様々な精度が絡み合い、容易に測定精度保証を行うことができないという問題を有する。
【0006】
さらに、現状の非接触式三次元形状測定器の精度保証は、各三次元形状測定器の製造メーカが表示する精度保証値をそのまま使用していることが多い。通常、精度保証値はセンサやカメラ単体の解像度のみの精度を用いて三次元形状測定器全体の精度保証を行ったり、長さに関する測定精度のみを用いて三次元形状測定器全体の精度保証を行う場合が多く、前述したような様々な精度変動要因を複合的に考慮した三次元形状測定器全体の精度保証は行われていないのが現状であり、精度保証の信頼性が十分でないという問題がある。また、各三次元形状測定器毎に精度保証方法が統一されておらず、同じ機能の非接触式三次元形状測定器であっても、三次元形状測定器毎に異なる基準に基づく測定精度の保証が行われているのが現状であり、三次元形状測定器間の互換的信頼度が低下すると共に、異なる基準で測定精度の保証が行われると三次元形状測定器毎のデータ管理が煩雑になるという問題を有する。
【0007】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、各種非接触式三次元形状測定器において、精度変動要因を複合的に考慮し信頼性の高い精度保証を行うと共に、各種非接触式三次元形状測定器に対し容易に計測精度保証を統一された状態で行うことのできる計測精度保証方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記のような目的を達成するために、本発明は、被測定物表面の画像を複数の測定素子を有するセンサで取得して、前記被測定物の表面三次元形状を測定する非接触式三次元形状測定器における計測精度保証方法であって、平坦な斜面部を有する第一標準ゲージを用いて、斜面部のフォーカスが合った位置で各測定素子が取得する斜面部の測定点群データの間隔に基づいて、縦横高さ方向の測定分解能を検定するステップと、平坦な複数の平面部を階段状に配列した第二標準ゲージの平面部画像を複数回取得して、各測定素子が取得する測定毎の測定点群データの前記平面部の垂直方向の座標ばらつきに基づいて、同一平面ばらつき精度及び、異なる2平面部の高さ方向の測定精度を検定するステップと、円筒表面に少なくとも膨張色から収縮色まで段階的に変化する色彩を有する第三標準ゲージの円筒表面画像を取得して、各測定素子が取得する色の異なる位置における測定点群データが形成する円筒外形に基づいて形状膨縮精度及び曲面測定精度を検定するステップと、前記各ステップの結果に基づいて、センサの総合測定精度を含む総合測定精度を算出するステップと、を含み、前記総合測定精度に基づいて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする。
【0009】
ここで、画像を取得するセンサとは、例えばCCD撮像装置(例えばCCDカメラ)等であり、第一標準ゲージの縦横方向とは、センサの測定素子配列面と平行な面の縦横方向であり、高さとは、測定素子配列面と直交する方向である。また、第一標準ゲージ、第二標準ゲージ、第三標準ゲージは、例えば金属やセラミックス等で形成され、所定部分の平面度や真円度、角度等の寸法精度は、任意の計測装置により正確に測定され既知の値とされている。また、第三標準ゲージに付される色彩は、膨張色から収縮色が順に配列されたものであり、例えば、白、青緑、青紫、灰、青、緑、赤、黒等の順に配列されている。
【0010】
この構成によれば、第一標準ゲージを用いた検定によりセンサの縦横高さ方向の分解能をまず確認し、さらに、第二標準ゲージを用いた検定を行うことにより、センサが高さ方向に関しどのくらいの精度で測定を行っているかを確認することができる。この第一標準ゲージ、第二標準ゲージによる検定を行うことにより、第三標準ゲージの円筒の円弧を所定精度で測定していることを保証すると共に、実際の曲面測定精度の保証を行うことができる。さらに、第三標準ゲージを用いた検定により、色の違いによるセンサの形状認識誤りの程度を確認している。そして、各検定のステップの結果を用いて、センサの総合測定精度を算出し、非接触式三次元形状測定器の精度保証を行っているので、容易に精度保証の信頼度を向上することができる。
【0011】
上記のような目的を達成するために、本発明は、上記構成において、さらに、平面上に同一連続パターンが等ピッチで配列された第四標準ゲージの全体画像をセンサで分割取得して、その取得した分割データを貼り合わせてできた第四標準ゲージの全体画像から認識される全体寸法と第四標準ゲージの既知の全体寸法との一致度に基づいてデータ貼り合わせ精度を検定するステップと、を含み、データ貼り合わせ検定を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする。
【0012】
ここで、第四標準ゲージは、例えば、広い面積を有する板状部材で構成され、同一連続パターンとは、任意形状でよいが、パターン同士が相互に関連づけられるものが好ましく、例えば、方形のパターンを配列したり、所定角度(例えば90°)で交わる平行な複数の溝を板状部材の表面に形成し、残った部分を同一連続パターンとしてもよい。また、第四標準ゲージの全体画像を前記センサで分割取得するときには、例えば、第四標準ゲージを四分割し順次同一のセンサで画像取得を行う。この時、分割される画像は全体から欠落した部分が無ければよく、個々に重複部分が存在してもよい。
【0013】
この構成によれば、計測対象(被測定物)が大きな面積を有する場合で、センサにより分割して形状データを取得しなければならないような場合に、実際の全体画像と張り合わせた合成画像との比較に基づいて、データ貼り合わせ処理時の精度を確認することができる。従って、データ貼り合わせ検定を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことにより、大きな被測定物を非接触式三次元形状測定器で測定する場合の精度保証の信頼度を容易に向上することができる。
【0014】
上記のような目的を達成するために、本発明は、上記構成において、さらに、長尺部材上に同一連続立体パターンを等ピッチでアレイ配置した第五標準ゲージの全体画像をセンサで分割取得して、センサで取得した分割データを貼り合わせてできた第五標準ゲージの全体画像から認識される全体寸法と第五標準ゲージの既知の全体寸法との一致度に基づいて空間貼り合わせ精度を検定するステップと、を含み、空間貼り合わせ精度を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする。
【0015】
ここで、前記第五標準ゲージに形成される同一連続立体パターンとは、例えば、個々の分離した球体を配置してもよし、錐体や直方体等を配置してもよい。また、半球形状の凹部形状としてもよい。
【0016】
この構成によれば、計測対象(被測定物)が大きく、センサによりその測定対象が存在する大きな空間を分割して形状データを取得しなければならないような場合に、実際の全体立体画像と張り合わせた合成画像との比較に基づいて、データ貼り合わせ処理時の貼り合わせ空間精度を確認することができる。従って、データの空間貼り合わせ検定を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことにより、大きな被測定物を非接触式三次元形状測定器で測定する場合の精度保証の信頼度を容易に向上することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態(以下、実施形態という)を図面に基づき説明する。
【0018】
図1には、本実施形態の非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法の精度保証概念を説明する説明図が示されている。
【0019】
本実施形態においては、日本工業規格(JIS)や国際標準化機構(ISO)規格に従って精度保証された接触式三次元形状測定器10により非接触式三次元形状測定器12用の精度検定標準器(標準ゲージ)14の検定を行い、精度保証が行われた前記標準ゲージ14を用いて、非接触式三次元形状測定器12の精度保証検定を行う。
【0020】
まず、本実施形態の計測精度保証方法を実施する前準備として、前述したように、JISやISOにより国家標準として定義された原器により、接触式三次元形状測定器10の検定(精度保証)を行う。前記原器は、各メーカーよりJISやISOの規格に基づき基準ブロックとして提供されている。基準ブロックには、長さや表面粗さ、角度等の基準となるものがあり、接触式三次元形状測定器10の基本精度の保証を行う。接触式三次元形状測定器10は先端が細径のプローブを有し、直接基準ブロックの表面をトレースすることによりその測定を行う。そして、その測定結果と基準ブロックの予め有する寸法との比較を行うことにより、接触式三次元形状測定器10の精度を算出し、精度保証を行う。
【0021】
さらに、精度保証が行われた接触式三次元形状測定器10により標準ゲージ14の精度保証を行う。一般に、接触式三次元形状測定器10の測定精度は10μm以下なので、標準ゲージ14の形状精度の検定を良好に行うことができる。
【0022】
本実施形態の特徴的事項は、非接触式三次元形状測定器12の十分な精度保証を行うために、複数種類の標準ゲージによる検定を行い、各検定の複合結果を非接触式三次元形状測定器12の測定精度として保証するところである。
【0023】
なお、図2には、本実施形態で用いる非接触式三次元形状測定器12の概略構成が示されている。本実施形態で用いる非接触式三次元形状測定器12は、例えば、縞パターン投光式の非接触式三次元形状測定器であり、被測定物(以下、ワークという)16の表面に縞状のパターン光を縞投光器18によって投光し、縞投光器18とは異なる方向から複数の測定素子を有するセンサ、例えばCCD撮像装置(例えばCCDカメラ)20で縞パターン18aを捉えている。縞パターン18aを投光する位置とCCDカメラ20で投光された縞を捉える位置が異なるため投光した縞パターン18aはワーク16の表面形状に沿って曲がって見えることになる。そして、CCDカメラ20で捉えた縞パターン18aを三角測量の原理を用いて定量化することにより、それぞれの縞の奥行き寸法が計算可能になり、ワーク16の立体形状を計測することができる。すなわち、CCDカメラ20の複数の測定素子で測定した測定点群のX,Y,Z座標を算出し、その測定点群を解析することによりワーク16の形状認識を行っている。
【0024】
図2の構成の場合、CCDカメラ20で捉えられた縞パターン18aは、三次元形状測定器本体22の画像処理部24のデータ処理部26に供給され、測定点毎の座標計算等が行われる。そして、形状処理部28において、取得した測定点データに基づきワーク16の詳細な形状が認識され、表示部30等に、例えば、三次元形状データとして、測定点群データ表示、断面線データ表示、シェーディング表示、及び各寸法表示等を行う。なお、ワーク16の立体データを取得するためには、ワーク16に対し複数の方向からデータを取得する必要がある。そのため、三次元形状測定器本体22には、縞投光器18やCCDカメラ20がワーク16の周囲を移動する際の制御を行う機構制御部32や縞投光器18やCCDカメラ20の移動量や表示部30の表示形態、画像処理部28における処理形態を操作する操作部34等も含んでいる。
【0025】
前述したように、非接触式三次元形状測定器12でワーク16の三次元形状データを取得する場合、その測定精度を保証する必要がある。本実施形態においては、複数項目に関し精度保証を複合的に行うことにより、非接触式三次元形状測定器12の精度保証の信頼度を向上している。
【0026】
図3以降には、本実施形態でより信頼度の高い精度保証を行うために利用する標準ゲージの具体的な例を示している。なお、以下に示す各標準ゲージを用いて得たデータの処理は、図2における画像処理部24等で行われる。
【0027】
図3(a)には、非接触式三次元形状測定器12で使用するCCDカメラ20の分解能に関する精度保証を行う場合に使用する第一標準ゲージ36の一例が示されている。第一標準ゲージ36は、平坦な斜面部を有する立体、例えば三角柱で構成されている。図3(a)の場合、異なる形状の三角柱36a,36bが底面部(上面部)で接続された例を示している。三角柱36aは、図3(b)に示すように、水平面に対して例えば45°と30°の角度を有する斜面部38a,38bを有し、三角柱36bは、水平面に対して例えば15°と10°の角度を有する斜面部40a,40bを有している。この第一標準ゲージ36の各長さや表面粗さ、角度等は、前述したように、接触式三次元形状測定器10により精度保証が行われているものとする。
【0028】
このように精度保証が行われている第一標準ゲージ36を用いて、非接触式三次元形状測定器12の分解能に関する精度保証を行う。すなわち、通常の非接触式三次元形状測定器12による形状測定手順と同様に縞投光器18により第一標準ゲージ36に縞パターン18aを投光し、CCDカメラ20によりその画像を様々な方向から捉える。CCDカメラ20で縞パターン18aを捉える場合、縞パターン18aは、斜面部38a,38b,40a,40bの角度に応じて、CCDカメラ20と第一標準ゲージ36の距離が変化するので、フォーカス状態が異なり、見え方が異なる。そして、フォーカスが合っている状態(縞パターン18aが鮮明に捉えられている状態)におけるCCDカメラ20の測定素子が取得した第一標準ゲージ36の斜面部38a,38b,40a,40bに投光された縞パターン18a(フォーカスが合っている位置)の測定点群データ(X座標:横方向、Y座標:縦方向、Z座標:高さ方向)は、例えば図3(c)のようになる。この時の測定点群データの横方向の最小の間隔が、CCDカメラ20の横方向(X座標方向)の分解能(解像度)に関係する非接触式三次元形状測定器12の横方向(X座標方向)の分解能になり、測定点群データの縦方向の最小の間隔が、CCDカメラ20の縦方向(Y座標方向)の分解能(解像度)に関係する非接触式三次元形状測定器12の縦方向(Y座標方向)の分解能になり、測定点群データの高さ方向の最小の間隔が、非接触式三次元形状測定器12の高さ方向(Z座標方向)の分解能になる。例えば、高さ方向を例にとると、10°の斜面部40bでフォーカスが合い、測定点群データの高さ方向の間隔が無い場合には、非接触式三次元形状測定器12の高さ方向の分解能は『0』ということになる。また、測定点群データの高さ方向の間隔が10μmの場合、高さ方向の分解能は『10μm』であると検定することができる。同様に、横方向、縦方向の分解能を検定することができる(分解能の検定に関するステップ)。
【0029】
次に、前述した分解能に関する検定で各測定素子がどのくらいのばらつきを有して測定を行っているかの検定を行う。図4(a)には、非接触式三次元形状測定器12で使用するCCDカメラ20の測定ばらつきに関する精度保証を行う場合に使用する第二標準ゲージ42の一例が示されている。第二標準ゲージ42は、平坦な複数の平面部42aを階段状に配列した形状を呈している。図4(a)の場合、ベース部材42b上に平面部42aが階段状に形成されている例を示している。この第二標準ゲージ42の各長さや表面粗さ、角度等も前述したように、接触式三次元形状測定器10により精度保証が行われているものとする。
【0030】
このように精度保証が行われている第二標準ゲージ42を用いて、非接触式三次元形状測定器12の同一平面ばらつき精度及び、異なる2つの平面部42aの高さ方向の測定精度に関し、精度保証を行う。この場合も、図4(b)に示すように、通常の非接触式三次元形状測定器12による形状測定手順と同様に縞投光器18により第二標準ゲージ42に縞パターン18aを投光し、CCDカメラ20によりその画像を複数の方向から捉える。この場合もCCDカメラ20で縞パターン18aを捉えることにより、測定点群データ(X座標:横方向、Y座標:縦方向、Z座標:高さ方向)を得ることができる。この時得られる測定点群データは、例えば図4(c)のようになる。本来、CCDカメラ20の各測定素子に測定ばらつきが無い場合、いかなる方向から測定を行っても測定点群データ(X,Y,Z座標)は同じである。しかし、各測定素子に測定ばらつきがある場合、測定毎の測定点群データを重畳させると、図4(c)のように同一の平面部42aの測定精度にばらつきmを生じたり、異なる2つの平面部42aの高さ方向のばらつきnを生じたりする。この時のばらつきm,nに応じて、非接触式三次元形状測定器12は同一平面の測定精度が、例えばm=3μmであるとか、高さ方向の測定精度が、例えばn=5μmであると検定することができる(平面に関する検定のステップ)。
【0031】
ところで、立体形状をCCDカメラ20で捉える場合、その立体の表面が着色されている場合、その色によって立体の形状が膨張して見えたり、収縮して見えたりする。つまり、白等の光を反射する色が立体表面に着色されている場合、立体は、実際より膨張して見える。このような色を膨張色という。逆に黒等光を吸収する色で立体表面が着色されている場合、立体は、実際より収縮して見える。このような色を収縮色という。図5(a)に示す第三標準ゲージ44は、CCDカメラ20の測定素子が色の違いに対してどのくらいばらつきを有して測定を行うかを検定するために用いられる。
【0032】
第三標準ゲージ44は、真円度の高い(軸に沿った径が全部分で同じ)円筒で形成され、その表面に膨張色から収縮色まで段階的に変化する色彩が帯状に着色されている。ここで、膨張色から収縮色までの段階的変化とは、例えば、白、青緑、青紫、黄、灰、青、緑、赤、黒等である。この第三標準ゲージ44の各長さや表面粗さ、真円度等も前述したように、接触式三次元形状測定器10により精度保証が行われているものとする。
【0033】
このように精度保証が行われている第三標準ゲージ44を用いて、非接触式三次元形状測定器12の表面色彩による形状膨縮精度を検定する。この場合も、図5(b)に示すように、通常の非接触式三次元形状測定器12による形状測定手順と同様に縞投光器18により第三標準ゲージ44に縞パターン18aを投光し、CCDカメラ20によりその画像を表面の色毎に捉える。この場合もCCDカメラ20で縞パターン18aを捉えることにより、測定点群データ(X座標:横方向、Y座標:縦方向、Z座標:高さ方向)を得ることができる。この時得られる測定点群データは、例えば図5(c)のようになる。この場合、各測定素子の色による測定ばらつきが無い場合、表面の色が異なっても同じ形状(径)の第三標準ゲージ44の測定を行っているので、測定点群データは同じであるはずである。しかし、実際は、前述したように色彩による見かけ上の膨縮が起こるため、図5(c)に示すように測定点群データは、例えば黒、赤、緑で異なる径の円筒として認識される。従って、各色彩における測定点群データを比較することにより、CCDカメラ20の測定素子において色の違いに対する測定精度がどのくらいまで有るかを検定することができる(色に関する検定のステップ)。例えば、測定対象の表面色が黒、赤、緑等であれば、色の違いによる測定精度は、例えば3μmであると示すことができる。また、この時、CCDカメラ20の測定素子において、所定の精度を有して測定できる色彩がどれであるかの判定も行うことができる。また、この時、第三標準ゲージ44の既知の寸法(特に真円度)と測定点群データ比較を行うことにより、CCDカメラ20の測定素子の曲面測定精度に関する保証も併せて行うことができる(曲面測定精度に関する検定のステップ)。
【0034】
上述したように、分解能に関する検定、平面に関する検定、色に関する検定、曲面測定精度に関する検定を行うことにより、非接触式三次元形状測定器12において、測定精度の検定を複合的に行い、CCDカメラ20の総合測定精度を算出する(精度算出に関するステップ)。例えば、分解能検定、平面検定、色検定、曲面測定精度検定の中で最も大きな値、精度10μm等を算出し、非接触式三次元形状測定器12の精度として表示する。この時、総合精度を一つ表示してもよし、各分解能検定、平面検定、色検定、曲面測定精度検定の結果を示し、さらに総合精度を示してもよい。各検定結果を利用することにより、精度変動要因を複合的に考慮し信頼性の高い精度保証を行うことが可能になる。また、各検定を行うことにより、各種非接触式三次元形状測定器毎の精度保証方法の統一を容易に行うことができる。また、精度保証方法の統一が行われることにより取得した三次元データの管理を容易に行うことができる。
【0035】
ところで、非接触式三次元形状測定器12の測定対象は、車両ボディ等のように大型である場合があるが、CCDカメラ20のワンショットで取得できるデータ領域には限界がある。このような場合、全体のデータを取得するためには、CCDカメラ20で取得可能な広さを順次分割して取得し、その分割して取得したデータをつなぎ合わせるという作業が必要になる。非接触式三次元形状測定器12の測定信頼度を向上させるためには、このつなぎ合わせに関する検定も必要になる。
【0036】
図6(a)には、貼り合わせ精度の検定に用いる第四標準ゲージ46が示されている。本実施形態の第四標準ゲージ46の場合、平面度の出ているベース46aの平面上に同一連続パターンが等ピッチで配列されている。図6(a)の場合、一部拡大して示しているように、ベース46aの表面に等ピッチでV溝46bを縦横方向に形成することにより、同一の連続パターン(錐台)を形成している。もちろん、隣接するパターンが関連つけられれば、丸や三角等の任意のパターンでよい。この第四標準ゲージ46の各長さや表面粗さ等も前述したように、接触式三次元形状測定器10により精度保証が行われているものとする。
【0037】
このように精度保証が行われている第四標準ゲージ46を用いて、非接触式三次元形状測定器12の分割データ取得時のデータ貼り合わせを検定する。この場合も、図6(b)に示すように、通常の非接触式三次元形状測定器12による形状測定手順と同様に縞投光器18により第四標準ゲージ46に縞パターン18aを投光し、CCDカメラ20によりその画像を捉える。前述したように、測定対象(被測定物)が大きい場合、CCDカメラ20のワンショットにより全データを取得することができないので、例えば、第四標準ゲージ46を4つの領域に分割し、CCDカメラ20または第四標準ゲージ46のいずれかを移動させて各領域の画像をCCDカメラ20の測定素子により捉える。この時、分割される画像は第四標準ゲージ46全体から欠落した部分が無ければよく、個々に重複部分が存在してもよい。この場合もCCDカメラ20で縞パターン18aを捉えることにより、測定点群データ(X座標:横方向、Y座標:縦方向、Z座標:高さ方向)を得ることができる。この時得られる測定点群データを例えば図6(c)に示すように、第四標準ゲージ46の全体画像を合成するように貼り合わせる。そして、貼り合わせしてできた全体画像で認識される全体寸法と第四標準ゲージ46の既知の全体寸法との一致度を算出する。つまり、図6(c)に示すようにデータの貼り合わせが完全に行われているか否かの検定を行う(貼り合わせ検定に関するステップ)。貼り合わせが完全に(ぴったりと)行われていない場合、縦方向の貼り合わせ精度が例えば2μm、横方向の貼り合わせ精度が例えば3μm等のように示される。
【0038】
上述したように、分解能検定、平面検定、色検定、曲面測定精度検定を行い、さらに、貼り合わせ検定を行うことにより、計測対象が大きな面積を有する場合でCCDカメラにより分割して形状データを取得しなければならないような場合に、実際の全体画像と張り合わせた合成画像との比較に基づいて、データ貼り合わせ処理時の精度を確認することができる。その結果、データ貼り合わせ検定を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことにより、大きな被測定物を非接触式三次元形状測定器で測定する場合の精度保証の信頼度を容易に向上することができる。
【0039】
さらに、貼り合わせを行う場合、空間的な貼り合わせ精度に関しても考慮する必要がある。
【0040】
図7(a)には、貼り合わせ空間精度の検定に用いる第五標準ゲージ48が示されている。本実施形態の第五標準ゲージ48の場合、平面度の出ている長尺部材48a上に同一連続立体パターンが等ピッチでアレイ配置されている。図7(a)の場合、棒状のスタンド上に個々に固定された球体48bが複数配列されている。この第五標準ゲージ48の長さや表面粗さ、球体48bの配列ピッチ等も前述したように、接触式三次元形状測定器10により精度保証が行われているものとする。なお、この立体パターンも球体のみならず、錐体や直方体等任意の形状でもよい。また、半球形状の凹部形状としてもよい。
【0041】
このように精度保証が行われている第五標準ゲージ48を用いて、非接触式三次元形状測定器12の分割データ取得時のデータ貼り合わせ空間精度を検定する。この場合も、図7(a)に示すように、通常の非接触式三次元形状測定器12による形状測定手順と同様に縞投光器18により第五標準ゲージ48に縞パターン18aを投光し、CCDカメラ20によりその画像を捉える。前述したように、測定対象が大きい場合、CCDカメラ20のワンショットにより全データを取得することができないので、例えば、第五標準ゲージ48を長尺方向に2つの領域に分割し、CCDカメラ20または第五標準ゲージ48のいずれかを移動させて各領域の画像をCCDカメラ20の測定素子により捉える。この場合もCCDカメラ20で縞パターン18aを捉えることにより、測定点群データ(X座標:横方向、Y座標:縦方向、Z座標:高さ方向)を得ることができる。この時得られる測定点群データを例えば図7(b)に示すように、第五標準ゲージ48の全体画像を合成するように貼り合わせ、貼り合わせしてできた全体画像で認識される全体寸法、球体48bのピッチ距離とを第五標準ゲージ48の既知の全体寸法及びピッチ距離と比較し、一致度を算出する。つまり、図7(b)に示すようにデータの貼り合わせが空間的に完全に行われているか否かの検定を行う(空間貼り合わせ検定に関するステップ)。この場合、全体長さの貼り合わせ精度が例えば2μmのように表示することができる。また、個々の球体48bのピッチ比較も行うことができるので、長さ方向のデータを累積加算した場合の精度の検定も行うことができる。さらに、高さ方向の貼り合わせ精度(貼り合わせ部の垂直方向のずれ)の精度を例えば1μm等のように示すことができる。
【0042】
上述したように、分解能検定、平面検定、色検定、曲面測定精度検定を行い、さらに、空間貼り合わせ検定を行うことにより、計測対象が大きな面積を有する場合でCCDカメラにより分割して形状データを取得しなければならないような場合に、実際の全体画像と張り合わせた合成画像との比較に基づいて、データ貼り合わせ処理時の空間精度を確認することができる。その結果、データの空間貼り合わせ検定を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことにより、大きな被測定物を非接触式三次元形状測定器で測定する場合の精度保証の信頼度を容易に向上することができる。もちろん、前述した第四標準ゲージ46による検定と併せて第五標準ゲージ48による検定を行うことにより、さらに精度保証の信頼度を向上することができる。
【0043】
上述した、各種検定を行った後、その結果を総合的に示す。この場合、第四標準ゲージ46または第五標準ゲージ48の検定結果は、第一標準ゲージ36から第三標準ゲージ44の検定の結果を含んでいるので、第四標準ゲージ46または第五標準ゲージ48の検定の結果を非接触式三次元形状測定器12の精度として表示する。この時、総合精度を一つ表示してもよし、各分解能検定、平面検定、色検定、曲面測定精度検定、貼り合わせ検定、空間貼り合わせ検定の結果を示し、さらに総合精度を示してもよい。
【0044】
なお、上述した実施形態において、第1〜第五標準ゲージ36,42,44,46,48の形状は、一例であり、第1標準ゲージ36は、平坦な斜面部を有していればよく、第二標準ゲージ42は、平坦な複数の平面部を階段状に配列されていればよく、第三標準ゲージ44は、円筒表面に少なくとも膨張色から収縮色まで段階的に変化する色彩が着色されていればよく、第四標準ゲージ46は、平面上に同一連続パターンが等ピッチで配列されていればよく、第五標準ゲージ48は長尺部材上に同一連続立体パターンが等ピッチでアレイ配置されていればよく、他の部分を適宜任意に変更しても本実施形態で説明した精度保証を行うことが可能であり、同様な効果を得ることができる。
【0045】
また、上述したような複合的な精度保証を行っておくことにより、種々の非接触式三次元形状測定器の中から所望の測定精度を有する非接触式三次元形状測定器の選定をする必要が生じた場合でも、容易にその選択を行うことが可能になる。
【0046】
【発明の効果】
本発明によれば、精度変動要因を複合的に検定することにより、容易に、信頼性の高い精度保証を行うことができる。また、種々の非接触式三次元形状測定器に対し、複合的検定を行うことで非接触式三次元形状測定器の互換的信頼度の維持、相互の取得データの管理も容易に行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法の精度保証概念を説明する説明図である。
【図2】 本発明の実施形態に係る非接触式三次元形状測定器の概略構成を説明する説明図である。
【図3】 本発明の実施形態に係る非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法に用いる第一標準ゲージを説明する説明図である。
【図4】 本発明の実施形態に係る非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法に用いる第二標準ゲージを説明する説明図である。
【図5】 本発明の実施形態に係る非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法に用いる第三標準ゲージを説明する説明図である。
【図6】 本発明の実施形態に係る非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法に用いる第四標準ゲージを説明する説明図である。
【図7】 本発明の実施形態に係る非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法に用いる第五標準ゲージを説明する説明図である。
【符号の説明】
10 接触式三次元形状測定器、12 非接触式三次元形状測定器、14 精度検定標準器、16 被測定物、18 縞投光器、20 CCDカメラ、22 三次元形状測定器本体、24 画像処理部、26 データ処理部、28 形状処理部、30 表示部、32 機構制御部、34 操作部、36 第一標準ゲージ、42 第二標準ゲージ、44 第三標準ゲージ、46 第四標準ゲージ、48第五標準ゲージ。
Claims (3)
- 被測定物表面の画像を複数の測定素子を有するセンサで取得して、前記被測定物の表面三次元形状を測定する非接触式三次元形状測定器における計測精度保証方法であって、
平坦な斜面部を有する第一標準ゲージを用いて、斜面部のフォーカスが合った位置で各測定素子が取得する斜面部の測定点群データの間隔に基づいて、縦横高さ方向の測定分解能を検定するステップと、
平坦な複数の平面部を階段状に配列した第二標準ゲージの平面部画像を複数回取得して、各測定素子が取得する測定毎の測定点群データの前記平面部の垂直方向の座標ばらつきに基づいて、同一平面ばらつき精度及び、異なる2平面部の高さ方向の測定精度を検定するステップと、
円筒表面に少なくとも膨張色から収縮色まで段階的に変化する色彩を有する第三標準ゲージの円筒表面画像を取得して、各測定素子が取得する色の異なる位置における測定点群データが形成する円筒外形に基づいて形状膨縮精度及び曲面測定精度を検定するステップと、
前記各ステップの結果に基づいて、センサの総合測定精度を含む総合測定精度を算出するステップと、
を含み、前記総合測定精度に基づいて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする計測精度保証方法。 - 請求項1記載の方法において、
さらに、
平面上に同一連続パターンが等ピッチで配列された第四標準ゲージの全体画像を前記センサで分割取得して、その取得した分割データを貼り合わせてできた第四標準ゲージの全体画像から認識される全体寸法と第四標準ゲージの既知の全体寸法との一致度に基づいてデータ貼り合わせ精度を検定するステップと、
を含み、
前記データ貼り合わせ検定を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする計測精度保証方法。 - 請求項1または請求項2記載の方法において、
さらに、
長尺部材上に同一連続立体パターンを等ピッチでアレイ配置した第五標準ゲージの全体画像を前記センサで分割取得して、前記センサで取得した分割データを貼り合わせてできた第五標準ゲージの全体画像から認識される全体寸法と第五標準ゲージの既知の全体寸法との一致度に基づいて空間貼り合わせ精度を検定するステップと、
を含み、
前記空間貼り合わせ精度を含めて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする計測精度保証方法。
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