JP4344629B2 - 金型クリーニング方法 - Google Patents
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Description
また、金型の汚れの酷い箇所にレーザビームを照射し、ビームのエネルギにより、金型に付着した樹脂を燃焼させて炭化させたり、剥離させたりし、その後、金型に模擬フレームを固定して、適宜合成樹脂を金型内に注入するダミーショットを複数回繰り返し、炭化したものや剥離の不完全なものを、ダミーショットの合成樹脂とともに取り除く方法もある。(たとえば特許文献2参照。)
更に、金型に付着した残渣にレーザビームを照射し、ビームの断続的な熱衝撃波及び微小共鳴作用によって、金型面に付着蓄積した金型汚染物を効率よく分解して、剥離させる方法が考案されている。(たとえば特許文献3参照。)
また、最近、従来のアブレーション加工とは異なるレーザ加工方法が、本願発明者らによって、発明され、公開された。たとえば金属層上に積層された樹脂被覆層に、パルスレーザビーム、たとえばNd:YLFレーザの基本波(波長1047nm)を1ショット入射させる。樹脂被覆層は、Nd:YLFレーザの基本波に対して、ほぼ透明な樹脂材料で形成され、金属層は、Nd:YLFレーザの基本波の多くを反射する金属材料で形成される。レーザビームの多くは、樹脂被覆層を透過し、樹脂被覆層と金属層との界面で反射する。樹脂被覆層のうち、レーザビームの入射した部分が、金属層から剥離して、樹脂被覆層に穴が開く。
特許文献4に記載されたレーザ加工方法において、樹脂被覆層の金属層からの剥離は、レーザビームが金属層表面近傍で吸収され、この熱で界面において樹脂の熱分解を起こし、その圧力により樹脂被覆層の剥離を誘起した結果、形成されたものと考えられる。樹脂被覆層と金属層との界面が高圧力状態になり、この圧力によって上層の樹脂被覆層の一部が剥離する現象を「リフティング現象」と呼ぶこととする。また、「リフティング現象」を利用した加工を、「リフティング加工」と呼ぶこととする。
式(4)の両辺にパルス幅tをかけると次の式(5)を得る。
q0t=5.77×10−4×(T−T0)=(T−T0)/1732.04・・・(8)
を得る。ここで室温をTrとすると、温度Tkまで金型の温度を上昇させるのに必要なフルエンスは、
q0t=(Tk−Tr)/1732.04・・・(9)
となる。実際は、金型が温度Tkに保持されているので、式(9)で表されるフルエンス分を加工できるフルエンスから引くことになる。ここで式(5)に上記a、λ、R、tの値及び室温T0=20℃とし、これを代入すると、q0tの単位をJ/cm2で表したとき、
0.2≦q0t<1.0・・・(10)
式(9)及び式(10)より、次の式(11)を得る。
0.2−(Tk−Tr)/1732.04≦q0t<1.0−(Tk−Tr)/1732.04 ・・・(11)
ここでTkは金型保持温度、Trは室温を表す。なお、a、λ、Rはクロムの特性から得られる定数である。
2 光ファイバ
3 ビーム整形光学系
4 マスク
4a 貫通孔
5 集光レンズ
6 移動機構
7 ミラー
8 ミラー回転機構
9 筐体
10 ウィンドウ
11 筐体駆動系
12 制御装置
13 金型
14 残渣
14a 除去部分
15 筐体揺動系
20 マジックハンド
Claims (6)
- (a)残渣の付着した金型であって、母材表面上に金属メッキ薄膜の形成された金型を準備する工程と、
(b)前記残渣を透過し、前記残渣と前記金型との界面で反射し、反射位置の前記残渣を前記金型から剥離させる性質を有するパルスレーザビームを、前記残渣の表面から前記金型に入射させて、入射位置の前記残渣の一部を前記金型から剥離させる工程と
を有し、
前記残渣の熱分解温度をTXとし、前記金属メッキ薄膜の融点をTYとし、パルスレーザビームが入射する前の前記金型の温度をT0とし、前記金属メッキ薄膜の熱拡散率をaとし、前記金属メッキ薄膜の熱伝導率をλとし、前記金型に入射するパルスレーザビームのパルス幅をtとし、前記金属メッキ薄膜の入射レーザビームに対する反射率を表した値をRとしたとき、
前記工程(b)において、前記金型に入射させるパルスレーザビームの1パルス当たりのフルエンスが、
- 前記残渣が、熱硬化エポキシまたはシリコン樹脂で形成されている請求項1に記載の金型クリーニング方法。
- 更に、前記パルスレーザビームが、前記パルスレーザビームの光路上に配置されたマスクの貫通孔を通過することによって、断面形状を整形された後、前記金型に入射する請求項1または2に記載の金型クリーニング方法。
- 前記パルスレーザビームは前記マスクの貫通孔が前記金型上に結像する条件で前記金型に入射し、前記金型上に結ばれる貫通孔の像の形状が四角形または六角形である請求項3に記載の金型クリーニング方法。
- 前記パルスレーザビームのパルス幅が、10ns以上100ns以下である請求項1〜4のいずれかに記載の金型クリーニング方法。
- 前記残渣の一部を、前記金型から剥離させる工程が、前記剥離された残渣の一部を前記金型から分離する工程を含む請求項1〜5のいずれかに記載の金型クリーニング方法。
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