JP4328776B2 - 蒸気アルミニド被覆ガスマニホールド、被覆システムおよび被覆プロセス - Google Patents

蒸気アルミニド被覆ガスマニホールド、被覆システムおよび被覆プロセス Download PDF

Info

Publication number
JP4328776B2
JP4328776B2 JP2006082900A JP2006082900A JP4328776B2 JP 4328776 B2 JP4328776 B2 JP 4328776B2 JP 2006082900 A JP2006082900 A JP 2006082900A JP 2006082900 A JP2006082900 A JP 2006082900A JP 4328776 B2 JP4328776 B2 JP 4328776B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow
manifold
coating
gas
cross
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006082900A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006265733A (ja
Inventor
イー．オルソン ウォルター
シー．ガートランド マシュー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Raytheon Technologies Corp
Original Assignee
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Technologies Corp filed Critical United Technologies Corp
Publication of JP2006265733A publication Critical patent/JP2006265733A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4328776B2 publication Critical patent/JP4328776B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C23C16/08—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metal halides
    • C23C16/12—Deposition of aluminium only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45587—Mechanical means for changing the gas flow
    • C23C16/45591—Fixed means, e.g. wings, baffles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Description

本発明は、内部通路を有するタービンブレードおよびベーンのようなワークピースの内部表面を被覆するための改良されたプロセスと、このプロセスに使用されるマニホールドとに関する。
アルミニド被覆は、ガスタービンエンジンに使用されるニッケルおよびコバルト基超合金物品に酸化および腐食による劣化に対する保護を提供する。一般に、アルミニド被覆は、被覆する物品の存在下、アルミニウム供給源、活性剤、および不活性緩衝剤または希釈剤を含有する粉末混合物を加熱することにより形成される。物品は、粉末混合物と接触しない関係で配置することができ、そのため、このプロセスは、気相プロセスと呼ばれる。
タービンブレードおよびベーンの内部表面を保護するためこれらの内部表面を被覆するときは、必要な厚みおよび組成のＮｉＡｌ拡散被覆を作成するために十分な量のアルミニド被覆ガスをこれらの表面と接触させて通過させる必要がある。内部表面を効果的かつ均一に被覆する被覆プロセスの能力は、内部通路を通るハロゲン化アルミニウムキャリヤーガスの分布および流れの直接の関数である。内部被覆適用範囲をより困難にする要因は、（１）複雑な蛇行した通路、（２）長い距離および／または高いアスペクト比（長さ対幅／断面）の通路、（３）非常に狭い通路、および（４）さまざまな大きさの通路開口部の列、などである。
このようなプロセスの一つは、ＡｌＦ3などのハロゲン化アルミニウムガスを、加圧下、ワークピースの根元にある開口部を通して流し、このガスを全ての内部通路に通すことを含む。ワークピースの設計に応じて、流れをさまざまな内部通路内へ通すための複数の開口部がワークピースの基部に通常は存在する。ガスは、全ての流れを内部キャビティに導きかつ外部への漏れを防止するためにブレードの基部にシールされたマニホールドを通してブレード内へ導入される。長く狭い通路または非常に曲がりくねった長く蛇行した通路を被覆するハロゲン化アルミニウムガスの能力は、通路の全長に十分なガス流をもたらすマニホールド設計の能力に直接関係する。現在、ブレード根元の基部にある開口部のそれぞれに流入する流量を制御するマニホールド設計は与えられていない。
従って、本発明の目的は、所定の位置に対して被覆ガスの流れを選択的に高くするマニホールドを提供することである。
本発明のさらなる目的は、ワークピースの内部通路を被覆するための改良されたプロセスを提要することである。
上述の目的は、本発明のマニホールドおよびプロセスによって達成される。
本発明によれば、ワークピース内のさまざまな大きさの通路を被覆するためのプロセスに使用するためのマニホールドが提供される。このマニホールドは概略、内部チャンバーと、被覆ガスの流れを受け入れるための入口と、内部チャンバー内にあり、第一の断面寸法を有する第一の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第一の流れと、第一の断面寸法より小さな第二の断面寸法を有する第二の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第二の流れとに、被覆ガスの流れを分離する手段とを備える。
さらに本発明によれば、ワークピース内の内部通路を被覆するためのプロセスが提供される。このプロセスは概略、被覆ガスの供給源を用意し、被覆ガスの供給源およびワークピースに接続されたマニホールドを用意し、第一の断面寸法を有する第一の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第一の流れと、第一の断面寸法より小さな第二の断面寸法を有する第二の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第二の流れとに、マニホールド内の被覆ガスの流れを分離する、各ステップを含む。
本発明の蒸気アルミニド被覆ガスマニホールドの他の詳細、およびそれに付随する他の目的および手段は、以下の詳細な説明中に、および同様の参照符号が同様の部材を図示している添付の図面中に述べられる。
ここで図１を参照すると、タービンエンジンに使用されるブレードまたはベーンなどのワークピース１４の内部通路１２を被覆するためのシステム１０が示される。ワークピース１４は、根元部１６と、プラットホーム１８と、エーロフォイル部２０とを有することができる。複数の内部通路１２は、ワークピースの基部２４にある開口部２２からエーロフォイル部２０の翼端２８にある出口冷却孔２６へ延在することができる。通路１２は、直線通路として示されているとはいえ、通路１２が蛇行したものまたはその他の非直線形のものとすることができることは理解されるはずである。通路１２の直径などの断面寸法はしばしば、エーロフォイル部２０の幅に亘って変化する。例えば、エーロフォイル部２０の前縁３０に隣接する通路１２は、相対的に大きな断面寸法を有することができ、一方、エーロフォイル部２０の後縁３２に隣接する通路１２は、相対的に小さな断面寸法を有することができる。その結果、前縁３０に隣接する冷却孔２６は、後縁３２に隣接する冷却孔２６の断面寸法より大きな断面寸法を有することができる。
システム１０は、ＡｌＦ3ガスなどのアルミニド被覆ガスの供給源３４を含む。このガスは、被覆プロセス温度におけるアルミニウムに富む供給源金属（すなわち、ＣｒＡｌ、Ｃｏ2Ａｌ5、ＮｉＡｌ、純Ａｌ、その他）とのハロゲン化物活性剤（すなわち、ＡｌＦ3、ＮＨ4Ｆ、ＨＦ、ＮＨ3Ｃｌ、ＡｌＣｌ3、その他）の反応によって離れた位置で生成され、Ａｒキャリヤーガスによってマニホールドの入口に供給されることができる。通常のアルミニド被覆プロセスは、１７００〜２１００°Ｆ（９２６．６７〜１１４８．８９°Ｃ）の範囲の温度において約２から８時間である。内部被覆のためのガス流は、１．０から１５．０ｃｆｈ（７．８７〜１１７．９９ｃｍ 3 ／ｓ）毎部（ｃｆｈ ｐｅｒ ｐａｒｔ）の範囲であり、より長いかまたはより複雑な通路に対しては、より高い圧力が使用される。
システム１０はさらに、供給源３４からアルミニド被覆ガスを受け入れるための入口３８を有する流れマニホールド３６を含む。入口３８は、当業技術内で知られる任意の適切な手段を用いて供給源３４と連通できる。マニホールド３６は、当業技術内で知られる任意の適切な手段によってワークピース１２の基部２４に取り付けることができる。好ましくは、マニホールド３６は、マニホールド３６と基部２４との間のガス漏れを防止する仕方で基部２４に取り付ける。
図１から理解できるように、マニホールド３６は、内部チャンバー４０を第一のセクション４４と、第二のセクション４６とに分離する流れダイバータ（ｆｌｏｗ ｄｉｖｅｒｔｅｒ）または分流器４２を備える内部チャンバー４０を有する。より小さな断面寸法の通路が所望の厚みおよび所望の均一性で被覆されるのを確実にするために、流れダイバータ４２は、流入被覆ガスの制御された部分が、より小さな断面寸法の一つまたは複数の通路の開口部２２内へ流入するように、設定される。分流（ｄｉｖｅｒｔ）され得る流れの実際の割合は、通路の大きさおよび構成の関数である。
図１から理解できるように、流れダイバータ４２は、好ましくはマニホールド３６の入口３８内に前縁５０を有する第一の部分４８を有する。流れダイバータ４２はまた、第一の部分４８に対して角度の付けられた第二の部分５２を有する。第二の部分５２は、マニホールド３６の出口の非常に近くにあるかまたは隣接した点まで延在する。流れダイバータ４２は、セクション４４と４６との間の被覆ガスのどのような流れも妨げる。
流れダイバータ４２は、固定式、または被覆ガスの流れを必要に応じて配分できるように可動式とすることができる。例えば、流れダイバータの部分４８は、必要に応じてガス流を配分するように入口３８内で横方向に可動とすることができる。代替として、第二の部分５２は、セクション４４と４６の相対的な大きさを変化させて、それによって、最後尾の一つの通路または複数の通路１２への被覆ガス流の量を変化させるように、第一の部分４８に対して可動とすることができる。
流れダイバータ４２を設けることで、より大きな流量の被覆ガスを、被覆の困難な通路へと導くことができ、一方、依然として十分な流量を開口部２２の残りに提供して、全ての内部表面５４に許容可能な被覆を形成することができる。
表１および表２に示す被覆の試行結果が、本発明のマニホールド設計の利点を示している。この試行では、内部通路を有するタービンブレードが、被覆した内部通路を有した。使用したタービンブレードは、前縁に隣接する第１の通路と、０．１３２インチ（０．３３５２８ｃｍ）の直径を有する冷却孔とを有しており、第２から第１１の通路と、０．１１８インチ（０．２９９７２ｃｍ）の直径を有する冷却孔と、そして、後縁に隣接する第１２の通路と、０．０６９インチ（０．１７５２６ｃｍ）の直径を有する冷却孔とを有していた。各出口冷却孔は、マニホールドより約１０インチ（２５．４ｃｍ）上に位置していた。表１に示す試行結果は、マニホールドが本発明による流れダイバータを有していなかったシステムに対するものである。表２に示す試行結果は、マニホールドが本発明による流れダイバータを有したシステムに対するものである。このデータから理解できるように、孔１２は、ダイバータなしでは外側末端において被覆されなかった。
Figure 0004328776
Figure 0004328776
ここで図２を参照すると、ワークピース１４内の内部通路を被覆するためのシステム１０’の第二の実施態様が示される。上述したように、タービンエンジンに使用されるブレードまたはベーンなどのワークピース１４は、根元部１６と、プラットホーム１８と、エーロフォイル部２０とを有することができる。ワークピース１４は、一つまたは複数の前縁通路６０と、一つまたは複数の中間本体通路６２と、一つまたは複数の後縁通路６４とを有することができる。上述したように、アルミニド被覆ガスなどの被覆ガスの供給源６６が存在する。
図２から理解できるように、システム１０’は、第一の流れマニホールド６８と、第二の流れマニホールド７０とを有する。第一の流れマニホールド６８は、通路６０および６２のそれぞれの入口へ第一の流入被覆ガス流を提供する。第二の流れマニホールド７０は、一つまたは複数の通路６４に第二の流入被覆ガス流を提供する。弁などといった適切な手段を、マニホールド６８および７０のそれぞれを通って流れるガス量を制御するのに提供できる。この方法によって、各マニホールド６８および７０は異なる流量で流れることができる。
図２においては単一の被覆ガス供給源６６を示したが、二つ以上の被覆ガス供給源を使用できる。例えば、マニホールド６８および７０のそれぞれは、別々の被覆ガス供給源と連通するそれぞれの入口７２を有することができる。
所望ならば、マニホールド６８および７０のうちの一つまたは複数に、上述したような流れダイバータ４２を設けることができる。
本発明によるマニホールドを用いるワークピースの内部通路を被覆するためのシステムの第一の実施態様の概略図である。 複数のマニホールドを用いるワークピースの内部通路を被覆するためのシステムの第二の実施態様の概略図である。
符号の説明
１０、１０’…システム
１２…内部通路
１４…ワークピース
１６…根元部
１８…プラットホーム
２０…エーロフォイル部
２２…開口部
２４…基部
２６…出口冷却孔
２８…翼端
３０…前縁
３２…後縁
３４、６６…アルミニド被覆ガス供給源
３６…流れマニホールド
３８…入口
４０…内部チャンバー
４２…流れダイバータ
４４…第一のセクション
４６…第二のセクション
４８…第一の部分
５０…前縁
５２…第二の部分
５４…内部表面
６０…前縁通路
６２…中間本体通路
６４…後縁通路
６８…第一の流れマニホールド
７０…第二の流れマニホールド
７２…入口

Claims (12)

  1. ワークピース内のさまざまな大きさの通路を被覆するためのプロセスに使用するためのマニホールドであって、
    内部チャンバーと、
    被覆ガスの流れを受け入れるための入口と、
    内部チャンバー内にあり、第一の断面寸法を有する第一の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第一の流れと、第一の断面寸法より小さな第二の断面寸法を有する第二の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第二の流れとに、被覆ガスの流れを分離する手段と、
    を備えることを特徴とするマニホールド。
  2. 前記流れ分離は、流れダイバータを備えることを特徴とする請求項１記載のマニホールド。
  3. 前記流れダイバータは、前記チャンバー内で固定されていることを特徴とする請求項２記載のマニホールド。
  4. 前記流れダイバータは、前記チャンバー内で可動であることを特徴とする請求項２記載のマニホールド。
  5. 前記流れダイバータは、前記入口内に延在する第一の部分と、この第一の部分に対して角度が付けられている第二の部分とを有し、前記マニホールドは、出口を有しており、前記第二の部分は、前記第一の部分からこの出口のごく近傍の点まで延在することを特徴とする請求項２記載のマニホールド。
  6. ワークピースの内部通路を被覆するためのシステムであって、
    被覆ガスの供給源と、
    この被覆ガスの供給源および前記ワークピースに接続されたマニホールドと、
    を備えており、前記マニホールドは、内部チャンバーと、被覆ガスの流れを受け入れるための入口と、内部チャンバー内にあり、第一の断面寸法を有する第一の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第一の流れと、第一の断面寸法より小さな第二の断面寸法を有する第二の内部通路の組の表面の全長を被覆するのに十分な第二の流れとに、被覆ガスの流れを分離する手段とを備えることを特徴とするシステム。
  7. 前記被覆ガスの供給源は、ハロゲン化アルミニウムガスの供給源を含むことを特徴とする請求項６記載のシステム。
  8. 前記被覆ガスの供給源は、ＡｌＦ3の供給源を含むことを特徴とする請求項６記載のシステム。
  9. 前記流れ分離は、流れダイバータを備えることを特徴とする請求項６記載のシステム。
  10. 前記流れダイバータは、前記チャンバー内で固定されていることを特徴とする請求項９記載のシステム。
  11. 前記流れダイバータは、前記チャンバー内で可動であることを特徴とする請求項９記載のシステム。
  12. 前記流れダイバータは、前記入口内に延在する第一の部分と、この第一の部分に対して角度が付けられている第二の部分とを有し、前記マニホールドは、出口を有しており、前記第二の部分は、前記第一の部分からこの出口のごく近傍の点まで延在することを特徴とする請求項９記載のシステム。
JP2006082900A 2005-03-24 2006-03-24 蒸気アルミニド被覆ガスマニホールド、被覆システムおよび被覆プロセス Expired - Fee Related JP4328776B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/089,989 US20060216415A1 (en) 2005-03-24 2005-03-24 Vapor aluminide coating gas manifold

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006265733A JP2006265733A (ja) 2006-10-05
JP4328776B2 true JP4328776B2 (ja) 2009-09-09

Family

ID=36522763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006082900A Expired - Fee Related JP4328776B2 (ja) 2005-03-24 2006-03-24 蒸気アルミニド被覆ガスマニホールド、被覆システムおよび被覆プロセス

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20060216415A1 (ja)
EP (1) EP1705262B1 (ja)
JP (1) JP4328776B2 (ja)
CN (1) CN1837403A (ja)
AT (1) ATE486152T1 (ja)
DE (1) DE602006017766D1 (ja)
SG (1) SG126093A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8020378B2 (en) * 2004-12-29 2011-09-20 Umicore Ag & Co. Kg Exhaust manifold comprising aluminide
US7763326B2 (en) 2006-12-20 2010-07-27 United Technologies Corporation Photocurable maskant composition and method of use
US20090134035A1 (en) * 2007-08-02 2009-05-28 United Technologies Corporation Method for forming platinum aluminide diffusion coatings
US20090136664A1 (en) * 2007-08-02 2009-05-28 United Technologies Corporation Method for forming aluminide diffusion coatings
US20090035485A1 (en) * 2007-08-02 2009-02-05 United Technologies Corporation Method for forming active-element aluminide diffusion coatings
US20150099065A1 (en) * 2012-06-07 2015-04-09 Soitec Gas injection components for deposition systems, deposition systems including such components, and related methods
US11414759B2 (en) * 2013-11-29 2022-08-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Mechanisms for supplying process gas into wafer process apparatus

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4731004A (en) * 1984-10-12 1988-03-15 Princeton Packaging, Inc. Side-by-side co-extrusion of film using multiple materials
EP0595159B1 (de) * 1992-10-26 1997-12-29 Schott Glaswerke Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung der Innenfläche stark gewölbter im wesentlichen kalottenförmiger Substrate mittels CVD
US5911212A (en) * 1996-05-20 1999-06-15 Benson; Steven R. Priority valve for an intercooled engine
US5800408A (en) * 1996-11-08 1998-09-01 Micro Therapeutics, Inc. Infusion device for distributing infusate along an elongated infusion segment
US5928725A (en) * 1997-07-18 1999-07-27 Chromalloy Gas Turbine Corporation Method and apparatus for gas phase coating complex internal surfaces of hollow articles
US6267664B1 (en) * 2000-09-01 2001-07-31 Alphonse J. Vandale Exterior side view mirror and side window defogger system
US6905547B1 (en) * 2000-12-21 2005-06-14 Genus, Inc. Method and apparatus for flexible atomic layer deposition
US6843882B2 (en) * 2002-07-15 2005-01-18 Applied Materials, Inc. Gas flow control in a wafer processing system having multiple chambers for performing same process
US6929825B2 (en) * 2003-02-04 2005-08-16 General Electric Company Method for aluminide coating of gas turbine engine blade
US8211230B2 (en) * 2005-01-18 2012-07-03 Asm America, Inc. Reaction system for growing a thin film

Also Published As

Publication number Publication date
ATE486152T1 (de) 2010-11-15
JP2006265733A (ja) 2006-10-05
EP1705262B1 (en) 2010-10-27
EP1705262A1 (en) 2006-09-27
SG126093A1 (en) 2006-10-30
US20060216415A1 (en) 2006-09-28
CN1837403A (zh) 2006-09-27
DE602006017766D1 (de) 2010-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4328776B2 (ja) 蒸気アルミニド被覆ガスマニホールド、被覆システムおよび被覆プロセス
US6273678B1 (en) Modified diffusion aluminide coating for internal surfaces of gas turbine components
US6616969B2 (en) Apparatus and method for selectively coating internal and external surfaces of an airfoil
US8387245B2 (en) Components with re-entrant shaped cooling channels and methods of manufacture
EP1790753B1 (en) Duplex gas phase coating
EP3049547B1 (en) Method of simultaneously applying three different diffusion aluminide coatings to a single part
US6929825B2 (en) Method for aluminide coating of gas turbine engine blade
EP1927672B1 (en) Diffusion aluminide coating process
US6602356B1 (en) CVD aluminiding process for producing a modified platinum aluminide bond coat for improved high temperature performance
USRE39320E1 (en) Thermal barrier coating wrap for turbine airfoil
CN101403103B (zh) 在蒸汽相中对涡轮机械的中空金属部件进行铝化的方法
CN101021001A (zh) 镀覆燃气轮机部件的方法
US7026011B2 (en) Aluminide coating of gas turbine engine blade
US20110293826A1 (en) Apparatus and Method for Coating Internal Surfaces of a Turbine Engine Component
US20080057193A1 (en) Method and apparatus for controlling diffusion coating of internal passages
JP4066418B2 (ja) 孔およびキャビティを有するターボ機関の金属部品をアルミニウム処理することによって保護する方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090205

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090217

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090515

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090609

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090615

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees