JP4312475B2

JP4312475B2 - 基板搬送ガイドおよび同ユニット並びに基板搬送装置

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Publication number: JP4312475B2
Application number: JP2003059240A
Authority: JP
Inventors: 昌樹楠原; 政司稲光; 貴裕畠中
Original assignee: Watanabe Shoko KK
Current assignee: Watanabe Shoko KK
Priority date: 2003-03-05
Filing date: 2003-03-05
Publication date: 2009-08-12
Anticipated expiration: 2023-03-05
Also published as: JP2004269086A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送ガイドおよび同ユニット並びに基板搬送装置に関し、たとえば、液晶表示器用のガラス基板等の各種処理工程における基板搬送装置用として適用される基板搬送ガイドおよび同ユニット並びに基板搬送装置に関する。なお、本発明は、同時期・同一出願人による他の発明の「基板浮上装置および同方法」と技術的に関連する発明である。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板搬送ガイドおよび同ユニット並びに基板搬送装置は、一般的に搬送対象として基板を取り扱う搬送装置に関わるものである。この用途としては、例えば、基板製造過程における加工処理等の製造ラインの一部として適用される。
【０００３】
本発明と技術分野の類似する先願発明例として、下記の特許文献１および特許文献２がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１５１５７１号公報
「基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法」
【０００５】
【特許文献２】
特開平１０−００６１６６号公報
「搬送装置」
【０００６】
本発明と技術分野の類似する先願発明例１としての上記特開２００２−１５１５７１号公報では、基板の大型化が進んでも基板を損傷することなく搬送することができる、基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法を提供することを課題としている。本課題の解決手段として、基板浮上プレートにより基板に下面からのエアを吹き付けることにより浮上させ、基板端部を該基板の搬送経路に沿って設けられた搬送用ローラーで挟み込んで搬送する、としている。
【０００７】
先願発明例２としての特開平１０−００６１６６号公報の「搬送装置」は、方向性を有するワークの方向を変換すると共に、搬送時間の短縮を図ることのできる搬送装置を提供することを課題としている。本課題の解決手順として、搬送装置には、機枠に対して回転・上下・水平方向に移動し、ガラス基板を保持し搬送する機構を構成している。この搬送のために搬送アームと、機枠に対して回転可能なワーク支持台とが配設されている。搬送アームとワーク支持台は、それぞれが独立して回転駆動される。また、ワーク支持台にはガイド部材を複数個備えてセンタリング装置が配設され、ガラス基板がセンタリング装置に配置されると自動的に芯出しがなされる。そして、第１カセットからガラス基板を取り出し、センタリング装置に一時的に収納した後に、搬送装置は第１の位置から第２の位置に移動される。その移動の際、搬送アームと、ワーク支持台とが別々に回転され、ガラス基板の方向を変換する。そして、次工程装置にガラス基板を収納する、としている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、被搬送対象の基板、例えばガラス基板等は、ワークサイズが大型化され且つ薄型化の傾向にある。特に昨今、従来の機械的な搬送方法では、搬送の効率性や被搬送基板へ損傷を与え易い等の新たな問題点が顕在化している。
【０００９】
上記の先願発明例１では、浮上方式は取り入れているものの、基板搬送部の構成が従来のベルトコンベア方式の延長上にある。よって、本願発明の十字路上で方向転換させるものとは、基板搬送部の基本的な機能が相違している。
【００１０】
先願発明例２は、上記従来技術で掲げた搬送の効率性や被搬送基板へ損傷を与え易い等の問題点が回避されていない。また、構成が複雑であること、さらに、本願発明の様に浮上状態で機能を発揮させることが困難である等の問題点を有する。
【００１１】
本発明は、効率的に被搬送体の方向転換を可能とし、作業効率性を高めた基板搬送ガイドおよび基板搬送装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明の基板搬送ガイドは、被搬送対象の基板の角部へ当接して該基板の動作を規制するガイド部と、前記ガイド部を水平方向へ移動させるガイド位置駆動部と、前記ガイド部の水平方向角度を回転駆動するガイド回転駆動部とを有した基板搬送ガイドにおいて、前記ガイド部は十字形状に４個の突起部が形成され、該４個中３個の突起部の夫々に回転ローラーを設け、他の１個の突起部を衝撃力吸収用のダンパー部と当接させ、該ガイド部へ加わる衝撃力を前記ダンパー部へ伝達する伝達端子とし、前記ガイド部の中心部には該ガイド部を回転させるロータリーアクチュエーターの回転軸と連結され、前記ロータリーアクチュエーターはスライド用シリンダーと連結され、該ガイド部を首振り状に回転駆動する前記ガイド回転駆動部とされ、前記スライド用シリンダーは、ロータリーアクチュエーターを移動させる前記ガイド位置駆動部とされたことを特徴としている。本構成により、被搬送対象基板の動作の規制と水平方向への移動と、方向転換への回転駆動とを可能とする。
【００１３】
請求項１記載の発明の基板搬送ガイドでは、上記のガイド部は十字形状に４個の突起部が形成され、該４個中３個の突起部の夫々に回転ローラーを設け、他の１個の突起部を衝撃力吸収用のダンパー部と当接させ、該ガイド部へ加わる衝撃力をダンパー部へ伝達する伝達端子としたことを特徴としている。本構成により、ガイド動作をよりスムーズに行うことが可能となる。
【００１４】
請求項２記載の発明の基板搬送ガイドユニットでは、請求項１に記載の基板搬送ガイドを用いた基板搬送ガイドユニットであり、上記基板の１枚に対応する１ユニット毎に４個の基板搬送ガイドが設けられ、該４個の基板搬送ガイドの夫々が基板の四隅へ当接され、ガイド回転駆動部の駆動により基板の停止および移動を可能としている。ユニット毎に４個の基板搬送ガイドを用いることにより、より確実な基板ガイド動作が可能となる。
【００１５】
請求項３乃至５に記載の発明の基板搬送ガイドユニットでは、上記基板の移動を４側面夫々の外側から規制するガイドローラーと、該ガイドローラーの上下位置移動を行うローラーリフトとを更に有し、ガイドローラーの上下位置移動により進路の開放を行い、ガイド位置駆動部とガイド回転駆動部の夫々の独立した駆動により基板に推進力を与え、該基板の移動を４側面の任意の水平方向へ可能にし、基板の四隅への当接は、３個内の相互に隣接する２個のローラーにより、基板の角部に対して行うとよい。これにより、被搬送対象基板の４個の角部夫々へガイドを当接させ、基板の安定した移動を可能とする。
【００１６】
請求項６乃至８に記載の発明の基板搬送ガイドユニットでは、ガイドローラーの上下位置移動の動作制御は、被搬送対象の基板面に対応する上下であり、該基板の搬入または搬出の際に該搬入搬出に対応するガイドローラーを基板面のレベル以下へ下げ、任意の通路の開放を可能とし、ガイドローラーに隣接して該ガイドローラーの上下位置を確認する位置確認センサーを更に有し、該位置確認センサーの検出動作に対応して上下位置移動動作の制御を行い、被搬送対象の基板の下方から該基板を浮上させる気体を噴出させる気体噴出部をさらに有し、該気体の噴出により基板は空中へ浮上状態とされ、該浮上状態の該基板の移動に対して該移動方向へ対向する前側２個のガイド部を位置駆動部により後方へ移動させ、後側２個のガイド部をガイド回転駆動部により回転駆動することにより、基板の移動方向への移動を可能とするとよい。
【００１７】
請求項９に記載の発明の基板搬送装置では、請求項８に記載の基板搬送ガイドユニットを用いた基板搬送装置であり、被搬送対象の基板を送り出すアンローダーユニットと、被搬送対象の基板の角部へガイドを当接して該基板の送出方向を制御するガイドユニットと、基板を搬送し通過させる搬送ユニットと、各ユニットを介して搬送されてきた基板を受領するローダーユニットとを、有したことを特徴としている。本構成によれば、被搬送対象の基板を送り出しと、基板の送出方向の制御と、搬送されてきた基板の受領とを、効率的に接続構成することが可能となる。
【００１８】
請求項１０に記載の発明の基板搬送装置では、上記のアンローダーユニットは、基板を送り出し駆動するシリンダーをさらに有している。これにより、確実な基板の送り出しが可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明による基板搬送ガイドおよび基板搬送装置の実施の形態を詳細に説明する。図１から図１３を参照すると、本発明の基板搬送ガイドおよび同ユニット並びに基板搬送装置の一実施形態が示されている。
【００２０】
これらの図において、図１は基板搬送ガイドの実施形態の構成例を示し、図２はガイド部の構造例を示し、図３は基板搬送ガイドユニットへ適用した構成例を示している。また、図４は、図３に対応する基板搬送ガイドを駆動する基板搬送ガイドユニットの内部の構成例を示している。
【００２１】
本発明の基板搬送ガイドおよび基板搬送ガイドユニットが発揮可能な機能例としては、１）基板のストッパー機能、２）基板に推力を与える機能、３）基板の方向転換を行う機能、４）基板のガイドを行う機能、等がある。これらの機能を用いて、１１）基板の９０度の移動方向転換、１２）基板の位置のスライドが可能となる。また、基板へ推力を与え、基板の方向転換を行い、基板を保持してのストッパー、基板を退避させて相対する他の基板から一時的に避ける、等が可能となる。これらの機能を発揮可能な基板搬送ガイドおよび基板搬送ガイドユニットの実施形態を、以下に詳述する。
【００２２】
図１は、基板搬送ガイドユニットへ適用され被搬送体を直接操作する基板搬送ガイドの構成例を示す平面図である。また、図２は、基板搬送ガイドおよび基板搬送ガイドユニットが取り扱う被搬送体と当接する部位となる、ガイド部１の構造例を示す平面図である。図１がガイド部１の動作を概念的に示し、図２がガイドのより詳細な構成例を示している。また、図３は、基板１枚に対応する基板搬送用の１ユニットとして構成されたユニット図を示している。本ユニットには不図示であるが、盤面に多数のエアー噴出口が設けられ、このエアー噴出により被搬送対象の基板を空中へ浮上が可能とされている。
【００２３】
図１および図２に示したガイド部１は、細分化され、十字状またはヒトデ状の金具１１、３個のローラー１２、ダンパー１３、ガイド板１４を有して構成される。ダンパー１３は、被搬送体へ与える衝撃力を吸収する部位であり、さらに、ブッシュ１３１、スリーブ１３２、バネ１３３を有して構成される。尚、本ダンパー１３は、衝突吸収のモーメントにおいて、ヒトデ状の一の金具がダンパー用のブッシュ１３１へ当接し、バネ１３３の反力で衝撃力を吸収する。
【００２４】
十字状またはヒトデ状の金具１１は、該ヒトデ状の金具１１の３個の先端部に樹脂製のローラー１２ａ、１２ｂ、１２ｃが、夫々回転自在の状態で取り付けられている。また、ヒトデ状の金具１１の中心軸下方には、円柱状のブッシュ１５が取り付けられている。このブッシュ１５は、ガイド用のガイド板１４に構成された長孔を可動範囲として前後移動が可能とされる。図１中において、長孔をガイドにした前後移動範囲を符号Ｈとして示している。なお、本実施例では、可動範囲としてガイド板１４に長孔を設けた構成としたが、後述する基板搬送ガイドユニット５０へ長孔を設け、該長孔を可動範囲としてもよい。
【００２５】
上記に構成されるガイド部１は、基板搬送ガイドユニットへ適用される。図３は、４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを、基板搬送ガイドユニットへ適用した場合の構成例を示す上側から見た平面図である。本図３において、４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄは、基板搬送ガイドユニットの四隅へ設けられ、被搬送物としてガラス基板２０を想定して表している。４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの各々は、被搬送物としてのガラス基板２０の四隅を、夫々相互に隣接する２個のローラー間で保持する。
【００２６】
被搬送物２０の動作を規制する働きを行うのは、上記４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの他に、側辺部のガイドローラー２も同様の働きをする。このガイドローラー２は、図３において、被搬送物２０の４辺の中間部に各２個設けられ、合計８個で1枚の基板の動作範囲を規制している。
【００２７】
図４、および図５と図６は、基板搬送ガイドユニットの内部の構成例を説明するための側面図であり、装置内部の構成状態を概念的に示している。図４は、基板搬送ガイドの構成例を示す機構説明図であり、図５は、ガイドローラー２の動作を説明するための機構説明図である。
【００２８】
図４において、ガイド部１の駆動部としてロータリーアクチュエーター３とスライド用シリンダー４とが設けられている。さらに、ヒトデ状の金具１１の中心部には上記のブッシュ１５を介してガイド部１を回転させるロータリーアクチュエーター３の回転軸１４１と連結される。なお、この回転軸１４１は、ロータリーアクチュエーター３の持つ回転軸である。これにより、ロータリーアクチュエーター３は、ガイド部１を首振り状に回転駆動する回転駆動部とされる。さらに、ロータリーアクチュエーター３は、スライド用シリンダー４と連結されている。本構成により、スライド用シリンダー４は、ロータリーアクチュエーター３を移動させ、ガイド板１４に構成された長孔に沿ってガイド部１を前後移動させる。この前後移動は、図１にも示した移動範囲Ｈ内のスライド移動を可動範囲とする。
【００２９】
図５および図６は、ガイドローラー２と該ガイドローラー２の上側または下側への位置移動を駆動する駆動装置の側面図である。図５はガイドローラー２が可動状態の上側位置に在る状態を示し、図６は休止状態の下側位置に在る状態を示している。これらの図において、ガイドローラー２、ローラーリフト２２、ガイド昇降確認センサー２３の相互の配置状態を示している。なお、これらは、基板搬送ガイドユニット５０のプレート５へ取り付けられたガイドローラー２の、左側面図（図５）と右側面図（図６）である。図５はガイドローラー２が上側位置に在る状態を表し、図６はガイドローラー２が下側位置に在る状態を表している。これらの図５および図６において、ローラーリフト２２の軸の上下移動により、ガイドローラー２の上下位置の状態が変化可能とされる。本構成のガイドローラー２は、図３で示した状態で、基板搬送ガイドユニット５０の上下左右の４辺部へ各２個の合計８個が装備される。
【００３０】
図７は、移動体であるガラス基板２０を搬送する搬送ユニットの構成例を示す上側から見た平面図であり、上記のガイドローラー２が４辺へ計１２個装備されている。これらのガイドローラー２は、上記の様に上下位置移動が可能とされ、本図７では、上下の２辺に該当する４個×２の計８個が可動状態とされている。なお、左右両サイドにおけるガイドローラー２の、中心部の２個×２の計４個は、下側位置へ収納状態とされている。よって、図７に示されたガラス基板２０は、左右方向へ移動可能状態として表されている。なお、本図７では、可動状態とされた8個のガイドローラーを図面上に表し、下側位置へ収納状態とされている他の４個は図面上に不記載としている。
【００３１】
図８〜図１０において、図８は基板搬送ガイドユニット５０へのガラス基板２０の搬入手順例を説明するための概念図であり、図９は基板搬送ガイドユニット５０が取り込んだガラス基板２０の保持状態を示し、図１０は基板搬送ガイドユニット５０が取り込んだガラス基板２０の搬出中の状態を、夫々示している。なお、これらの図中における、直線矢印は移動方向を、円弧状矢印は回転方向を、夫々表している。
【００３２】
上記の状態をさらに詳述すると、図８において、ガラス基板２０の取り込みを実行するに際して、基板搬送ガイドユニット５０の４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの内、ガラス基板搬入方向の２個のガイド部を、基板の搬入に障害とならない様に、プレート５の外側へ位置移動させる。さらに、基板搬送ガイドユニット５０のガラス基板２０に対応する４辺に装備されたガイドローラー２の内の、搬入方向の一辺に在る２個のガイドローラーを、同様の趣旨で基盤搬送装置のプレート５以下へ降下させる。
【００３３】
図９は、ガラス基板２０を取り込んだ後の状態を示しており、上記において位置移動させた２個のガイド部１と、２個のガイドローラー２とを、元の位置へ復帰させた状態を表している。
【００３４】
図１０は、図８および図９において取り込んだガラス基板２０を、搬入路と９０度方向の異なる搬送路から搬出させる移送中の状態例を表している。本動作において、２個のガイド部１の位置移動と、２個のガイドローラー２の、基盤搬送ガイドユニット５０のプレート５以下への降下は、上記と同様に実行される。なお、上記のガラス基板２０の基板搬送ガイドユニット５０との上下方向の位置関係は、基盤搬送ガイドユニット５０のプレート５に設けられた気体噴出孔（各図中の黒点が孔を表している）から噴出される気体の浮揚力により、空中へ浮上りの状態にあるものとする。
【００３５】
上記の基盤搬送ガイドユニット５０のプレート５には、気体噴出孔（各図中の黒点が孔を表している）が設けられており、これらの孔から噴出される気体の浮揚力により、上記ガラス基板２０の浮上り状態が構成される。また、上記のガラス基板２０の搬入・搬出駆動は、気体噴出孔から噴出される気体により浮揚状態にあるガラス基板２０への、円弧状矢印が回転方向を示すガイド部１の回転駆動力により行われる。
【００３６】
図１１および図１２は、ローダーの機能例を説明するための図であり、ガラス基板２０の送り出し動作前後を夫々表している。これらの図１１および図１２において、ローダー７０には、ガラス基板２０を送り出すために、ガラス押し出し用の押し出しシリンダー７０１が設けられている。図１１において、ガラス基板２０の一の辺に押し出しシリンダー７０１が当接され、この状態で押し出しシリンダー７０１を前方へ突出す。図１２は、押し出しシリンダー７０１を押し出した後の状態を概念的に表しており、ガラス基板２０が押し出された方向へ移動中の状態を表している。
【００３７】
図１３は、基板搬送装置のシステム構成例を示した平面図である。本図１３において、システム構成例のシステムは、２つのローダー７０と、６つの基板搬送ガイドユニット５０と、２つの搬送ユニット６０を有して構成される。なお、２つの内の一方のローダー７０は、詳細を示していない左右へ位置移動を可能とするレール上に搭載された状態を表している。図１３が示す様に、本発明の基板搬送ガイドおよび同ユニットを用いて構成した基板搬送装置は、装置内の何れへのユニットへ搬送可能な状態を構築するにおいて、湾曲状の構成部を必要としない。よって、占有スペースを小さくし、且つ効率性の高い基板搬送装置を、システム構築することが可能となる。
【００３８】
上記構成の基板搬送装置で運用可能な、主な機能例を以下に列挙する。なお、本装置内では、図８乃至図１３中の黒点が気体を下方から噴出する気体噴出孔であり、被搬送対象のガラス基板２０を浮き上がり状態で搬送するものとする。
【００３９】
（基板のストッパー機能）
例えば、搬送装置の１ユニット毎の四隅にガイド部１を４個設け、これら４個のガイド部１の先端部に設けられた樹脂製のローラーで、ガラス基板２０の４個の角部を侠持する。これにより、被搬送対象のガラス基板２０の自由な移動を制御し、ストッパー機能を構成する。
【００４０】
（基板に推力を与える機能）
ガラス基板２０に推力を与える機能は、ガイド回転駆動部３による回転駆動である。例えば、４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄでガラス基板２０の４個の角部を侠持し、気体の噴出によりガラス基板２０を空中へ浮上状態とし、該浮上状態のガラス基板２０の移動に対して移動方向へ対向する、前側２個のガイド部を位置駆動部４により後方へ移動させ、前進の障害を排除する。本状態において、後側２個のガイド部をガイド回転駆動部３により回転駆動することにより、目的の方向への移動のためにガラス基板２０へ推進力を与える。これらの前側および後側のガイド部を４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ内から種々選択することにより、任意の方向へ方向転換した移動を可能とする。
【００４１】
（基板の方向転換を行う機能）
ガラス基板２０の４個の角部を侠持する４個のガイド部内の、ガラス基板２０の移動に対して移動方向へ対向する２個のガイド部１を位置駆動部４により後方へ移動させ、後側２個のガイド部をガイド回転駆動部３により回転駆動する。これにより、任意の方向へ方向転換した移動を可能とする。
【００４２】
（ガラス基板のガイドを行う機能）
４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの進行方向への通路となる方向へ平行な２個を、位置駆動部４により後方へ移動させ前進の障害を排除する。さらに、通路となる方向へ平行な２個のガイド部のローラー１２を、ガラス基板２０の幅に合わせた位置へ位置駆動部４により後方へ移動させる。このことにより、基板ガイドの機能を維持させることが可能となる。
【００４３】
上記の１）ガラス基板のストッパー機能、２）ガラス基板に推力を与える機能、３）ガラス基板の方向転換を行う機能、４）ガラス基板のガイドを行う機能を用いることにより、１１）ガラス基板の９０度回転、および１２）ガラス基板位置のスライド移動が可能となる。
【００４４】
上記の各機能を正確且つ迅速に実行するために、上記の実施形態では示していないが、被搬送対象の基板の状態を把握するための各種のセンサーを装備すると良い。把握する管理内容として、例えば、基板の現状位置、移動速度、浮上状態、移動方向、等である。これらのデータは、基板搬送システム中、例えば図１３の基板搬送装置中において、複数枚が搬送中である場合には、送り出しから受領完了までの移動期間中に、個々に峻別して追跡管理を実行する。
【００４５】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明の基板搬送ガイドおよび基板搬送ガイドユニットは、ガイド部が被搬送対象の基板の角部へ当接して基板の動作を規制し、このガイド部を水平方向へ移動させ、ガイド部の角度を回転駆動する。本構成により、被搬送対象の基板の動作を規制し、水平方向への移動と、方向転換への回転駆動を可能とする。
【００４６】
また、本発明の基板搬送装置は、アンローダーユニットが被搬送対象の基板を送り出し、ガイドユニットが基板の角部へガイドを当接して該基板の送出方向を制御し、搬送ユニットが基板を搬送し通過させ、これらの各ユニットを介して搬送されてきた基板をローダーユニットで受領する。本構成によれば、基板を効率的にアンローダーユニットからローダーユニットへ効率的に輸送することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板搬送ガイドおよび同ユニット並びに基板搬送装置の実施形態に適用されるガイド部の構成例を示している。
【図２】ガイド部の構造例を示した平面図である。
【図３】基板搬送ガイドを基板搬送ユニットへ適用した構成例を示した平面図である。
【図４】図３に対応する基板搬送ユニットの装置内部の構成例を示した側面図である。
【図５】ガイドローラーと駆動装置の側面図であり上側位置に在る状態を示している。
【図６】ガイドローラーと駆動装置の側面図であり下側位置に在る状態を示している。
【図７】搬送ユニットの構成例を示す上側から見た平面図である。
【図８】基板搬送ユニットのガラス基板の搬入手順例を説明するための概念図である。
【図９】基板搬送ユニットが取り込んだガラス基板の保持状態を示している。
【図１０】基板搬送ユニットが取り込んだガラス基板の搬出中の状態を示している。
【図１１】ローダーの機能例を説明するための図であり送り出し動作前を表している。
【図１２】ローダーの機能例を説明するための図であり送り出し動作後を表している。
【図１３】基板搬送装置のシステム構成例を示した平面図である。
【符号の説明】
１ガイド部
２ガイドローラー
３ロータリーアクチュエーター
４スライド用シリンダー
５（基板搬送装置の）プレート
１１ヒトデ状の金具
１２（樹脂製の）ローラー
１３ダンパー
１４ガイド板
１５（ガイド用）ブッシュ
２０ガラス基板
２２ローラーリフト
２３ガイド昇降確認センサー
５０基板搬送ガイドユニット
６０搬送ユニット
７０ローダー
１３１（ダンパー用）ブッシュ
１３２スリーブ
１３３バネ
１４１回転軸
７０１（ガラス押し出し用の）押し出しシリンダー

Claims

被搬送対象の基板の角部へ当接して該基板の動作を規制するガイド部と、
前記ガイド部を水平方向へ移動させるガイド位置駆動部と、
前記ガイド部の水平方向角度を回転駆動するガイド回転駆動部とを有した基板搬送ガイドにおいて、
前記ガイド部は十字形状に４個の突起部が形成され、該４個中３個の突起部の夫々に回転ローラーを設け、他の１個の突起部を衝撃力吸収用のダンパー部と当接させ、該ガイド部へ加わる衝撃力を前記ダンパー部へ伝達する伝達端子とし、
前記ガイド部の中心部には該ガイド部を回転させるロータリーアクチュエーターの回転軸と連結され、
前記ロータリーアクチュエーターはスライド用シリンダーと連結され、該ガイド部を首振り状に回転駆動する前記ガイド回転駆動部とされ、
前記スライド用シリンダーは、ロータリーアクチュエーターを移動させる前記ガイド位置駆動部とされたことを特徴とする基板搬送ガイド。
前記基板の１枚に対応する１ユニット毎に４個の前記基板搬送ガイドが設けられ、該４個の基板搬送ガイドの夫々が前記基板の四隅へ当接され、前記ガイド回転駆動部の駆動により前記基板の停止および移動を可能としたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送ガイドを用いた基板搬送ガイドユニット。
前記基板の移動を４側面夫々の外側から規制するガイドローラーと、該ガイドローラーの上下位置移動を行うローラーリフトとを、更に有することを特徴とする請求項２に記載の基板搬送ガイドユニット。
前記ガイドローラーの上下位置移動により進路の開放を行い、前記ガイド位置駆動部と前記ガイド回転駆動部の夫々の独立した駆動により前記基板に推進力を与え、該基板の移動を前記４側面の任意の水平方向へ可能にしたことを特徴とする請求項３に記載の基板搬送ガイドユニット。
前記基板の四隅への当接は、前記３個内の相互に隣接する２個のローラーにより、前記基板の角部に対して行われることを特徴とする請求項２から４の何れかに記載の基板搬送ガイドユニット。
前記ガイドローラーの上下位置移動の動作制御は、前記被搬送対象の基板面に対応する上下であり、該基板の搬入または搬出の際に該搬入搬出に対応する前記ガイドローラーを前記基板面のレベル以下へ下げ、任意の通路の開放を可能としたことを特徴とする請求項４または５に記載の基板搬送ガイドユニット。
前記ガイドローラーに隣接して該ガイドローラーの上下位置を確認する位置確認センサーを更に有し、該位置確認センサーの検出動作に対応して前記上下位置移動動作の制御を行うことを特徴とする請求項６に記載の基板搬送ガイドユニット。
前記被搬送対象の基板の下方から該基板を浮上させる気体を噴出させる気体噴出部をさらに有し、該気体の噴出により前記基板は空中へ浮上状態とされ、該浮上状態の該基板の移動に対して該移動方向へ対向する前側２個のガイド部を前記位置駆動部により後方へ移動させ、後側２個のガイド部を前記ガイド回転駆動部により回転駆動することにより、前記基板の前記移動方向への移動を可能としたことを特徴とする請求項６または７に記載の基板搬送ガイドユニット。
被搬送対象の基板を送り出すアンローダーユニットと、
前記被搬送対象の基板の角部へガイドを当接して該基板の送出方向を制御するガイドユニットと、
前記基板を搬送し通過させる搬送ユニットと、
前記各ユニットを介して搬送されてきた基板を受領するローダーユニットとを、有したことを特徴とする請求項８に記載の基板搬送ガイドユニットを用いた基板搬送装置。
前記アンローダーユニットは、前記基板を送り出し駆動するシリンダーを、さらに有したことを特徴とする請求項９に記載の基板搬送装置。