JP4306664B2 - Sheet-like heat pipe and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、光ディスク装置やノート型パソコンなどの電子機器に用いて、発熱部を冷却するシート状ヒートパイプおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a sheet-like heat pipe that cools a heat generating portion and uses the electronic device such as an optical disk device or a notebook personal computer, and a manufacturing method thereof.
近年、情報通信用などの電子機器の発展はめざましく、特にパーソナルコンピュータなどの関連機器は、高性能化が進む一方で小型化も進んでいる。そのため、高性能化による発熱量の増加と小型化による発熱密度の増大により、放熱に対する対策が重要となっている。 2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices for information communication and the like have been remarkably developed. Particularly, related devices such as personal computers have been improved in performance and miniaturized. For this reason, countermeasures against heat radiation are important due to an increase in heat generation due to higher performance and an increase in heat generation density due to miniaturization.
そこで、限られた空間内で効率的に放熱する手段として、熱伝導性に優れたヒートパイプを用いて発熱部の熱を電子機器に設けた放熱部に移動させて放熱する構成がとられている。 Therefore, as a means for efficiently radiating heat in a limited space, a heat pipe having excellent heat conductivity is used to move the heat of the heat generating part to the heat radiating part provided in the electronic device to dissipate heat. Yes.
上記目的に対応するヒートパイプとしては、例えば図15に示すようなシート状ヒートパイプが開示されている(例えば、特許文献1参照)。 As a heat pipe corresponding to the said objective, the sheet-like heat pipe as shown, for example in FIG. 15 is disclosed (for example, refer patent document 1).
図15(a)は、従来のシート状ヒートパイプの透視平面図であり、図15(b)は同図(a)のA−A線断面図である。 FIG. 15A is a perspective plan view of a conventional sheet-shaped heat pipe, and FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
図15に示すように、従来のシート状ヒートパイプ300は、金属箔などの2枚のフィルム302の外周端部308をシーラント層303により貼り合わせて形成した細長いフィルム製のシート状コンテナ304の中に作動液(図示せず)が封入されている。さらに、複数のスペーサ305によって仕切られた複数の気体流路306と、各気体流路306の上下面に作動液を毛細管現象を利用して還流させる液体流路307とが形成されている。
As shown in FIG. 15, a conventional sheet-
そして、シート状ヒートパイプ300は、長手方向の一端部の蒸発部(図示せず)を、例えば電子機器の発熱部に、他端部の凝縮部(図示せず)を電子機器の放熱部に装着して使用されるものである。
The sheet-
また、その動作は、まず電子機器の発熱部に接触しているシート状ヒートパイプ内の作動液が、熱により蒸発して蒸気となる。さらに、この蒸気はシート状ヒートパイプ300内の気体流路306を通って凝縮部側の放熱部に伝わり、熱が奪われることにより凝縮して再び作動液となる。そして、作動液は、シート状ヒートパイプ300の液体流路307を介して毛細管現象により蒸発部に還流する。
Further, in the operation, first, the working fluid in the sheet-like heat pipe that is in contact with the heat generating portion of the electronic device is evaporated by heat to become steam. Further, the vapor passes through the
すなわち、シート状ヒートパイプ300は、上記動作を繰り返すことによって、電子機器の熱を放熱部から放熱し冷却するものである。
That is, the sheet-
このように、従来のシート状ヒートパイプは、コンテナをシート状のフィルムで形成するため、薄型・軽量で柔軟性を有しており、例えばノート型パソコンの中央演算処理部からの発熱をヒンジ部を介してディスプレイ側の放熱部から放熱する場合などには好適であった。 As described above, the conventional sheet-shaped heat pipe is thin, lightweight and flexible because the container is formed of a sheet-shaped film. For example, the heat generated from the central processing unit of a notebook personal computer is hinged. This is suitable for the case where heat is radiated from the heat radiating portion on the display side.
一方、近年、情報記録媒体として、例えば光ディスク装置などにおいて、その大容量化や高速記録が要求されている。それを実現するために、光ピックアップ部を構成する半導体レーザや高周波回路モジュール、駆動用コイルなどの部品からの発熱量の増加を招いている。そのため、半導体レーザへの熱の影響を低減するために光ピックアップ部の冷却が必要となっている。 On the other hand, in recent years, as an information recording medium, for example, an optical disc apparatus or the like has been required to have a large capacity and high speed recording. In order to realize this, the amount of heat generated from components such as a semiconductor laser, a high-frequency circuit module, and a driving coil constituting the optical pickup unit is increased. Therefore, it is necessary to cool the optical pickup unit in order to reduce the influence of heat on the semiconductor laser.
また、光ピックアップ部は、その駆動時において、頻繁に小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する。そのため、光ピックアップ部の発熱を本体部の放熱部に伝達するために、小さな曲げ変形に対応するフレキシブル性とともに、高頻度の曲げ変形に対応する耐久性が求められている。
しかしながら、特許文献1に示すようなシート状ヒートパイプによれば、シート状コンテナが金属箔などの2枚のフィルムをシーラント層により貼り合わせて形成されている。そのため、シート状ヒートパイプが小さな曲げ変形で繰り返し応力を受ける場合、曲げ変形の中心線上の外周端部に位置するシーラント層の接合部に剥離や亀裂を生じ、シール性能が低下するという課題があった。
However, according to the sheet-like heat pipe as shown in
また、シート状コンテナのフィルムが樹脂材料で形成される場合、作動液やその蒸気の吸収や、さらに透過による外部への散逸により長期の使用に耐えられないという課題もあった。 Moreover, when the film of the sheet-like container is formed of a resin material, there is a problem that it cannot withstand long-term use due to absorption of the working fluid and its vapor, and further dissipation to the outside due to permeation.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、例えば光ディスク装置の光ピックアップ部のように、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲で移動する箇所に使用しても、シート状コンテナのシール性能が低下することのない、信頼性に優れたシート状ヒートパイプおよびその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems. For example, an optical pickup unit of an optical disc apparatus can be used in a place that moves in a wide range while undergoing a small bending deformation with considerable frequency. An object of the present invention is to provide a highly reliable sheet-like heat pipe and a method for manufacturing the same, in which the sealing performance of the sheet-like container does not deteriorate.
上述したような課題を解決するために、本発明のシート状ヒートパイプは、作動液と、作動液が通過する液体流路と作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなるシート状の仕切板と、作動液とシート状の仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させ、封止フィルムの両端の開口部を封止した封止部とを備え、封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有する。 In order to solve the above-described problems, the sheet-like heat pipe of the present invention is a sheet comprising a working liquid, a spacer having a liquid flow path through which the working liquid passes and a gas flow path through which the vapor of the working liquid passes. A cylindrical sealing film having an opening containing a working partition plate and a working liquid and a sheet-like partition plate inside is formed into a sheet shape, and a sealing portion in which the openings at both ends of the sealing film are sealed The sealing film has at least a laminated structure of a metal film and a resin film.
これにより、シート状ヒートパイプの長手方向が接合部のない封止フィルムで封止されるので、高いシール性能を確保できる。また、シート状ヒートパイプを、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に使用しても、シール性能の低下が小さく、信頼性の高いシート状ヒートパイプが得られる。 Thereby, since the longitudinal direction of a sheet-like heat pipe is sealed with the sealing film without a junction part, high sealing performance is securable. Further, even if the sheet-like heat pipe is used at a location that moves over a wide range while undergoing a small bending deformation with a considerable frequency, a reduction in sealing performance is small and a highly reliable sheet-like heat pipe can be obtained.
また、本発明のシート状ヒートパイプは、作動液と、作動液が通過する液体流路と作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなる円筒状の仕切板と、作動液と円筒状の仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させ、封止フィルムの両端の開口部を封止した封止部とを備え、封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有する。 In addition, the sheet-like heat pipe of the present invention includes a cylindrical partition plate including a working fluid, a liquid passage through which the working fluid passes, and a spacer having a gas passage through which the steam of the working fluid passes, a working fluid, A cylindrical sealing film having an opening including a cylindrical partition plate inside is deformed into a sheet shape, and includes sealing portions that seal the openings at both ends of the sealing film. It has at least a laminated structure of a metal film and a resin film.
これにより、シート状ヒートパイプの長手方向が接合部のない封止フィルムで封止されるので、高いシール性能を確保できるとともに、円筒状の仕切板により、熱伝導効率の高いシート状ヒートパイプが得られる。 Thereby, since the longitudinal direction of the sheet-shaped heat pipe is sealed with a sealing film without a joint portion, high sealing performance can be ensured, and the sheet-shaped heat pipe with high heat conduction efficiency can be secured by the cylindrical partition plate. can get.
さらに、封止フィルムの金属膜は、仕切板側に設けられていてもよい。 Furthermore, the metal film of the sealing film may be provided on the partition plate side.
これにより、作動液の吸収などを少なくすることができる。 Thereby, absorption of a hydraulic fluid etc. can be decreased.
さらに、封止フィルムの封止部において、封止フィルムの金属膜は、仕切板より大きく、かつ封止フィルムの樹脂膜より小さくてもよい。 Furthermore, in the sealing part of the sealing film, the metal film of the sealing film may be larger than the partition plate and smaller than the resin film of the sealing film.
これにより、封止フィルムの封止部のシール性能を向上させることができる。 Thereby, the sealing performance of the sealing part of a sealing film can be improved.
さらに、封止フィルムに、少なくとも封止部を被覆する封止層を設けてもよい。 Furthermore, you may provide the sealing layer which coat | covers a sealing part at least to a sealing film.
これにより、封止フィルムの封止部が外部に露出しないため、封止部でのシール性能の低下を防止することができる。 Thereby, since the sealing part of a sealing film is not exposed outside, the fall of the sealing performance in a sealing part can be prevented.
さらに、封止層は、金属膜と樹脂膜の少なくとも2層からなっていてもよい。 Furthermore, the sealing layer may consist of at least two layers of a metal film and a resin film.
これにより、封止フィルムの封止部のシール性能をさらに向上させることができる。 Thereby, the sealing performance of the sealing part of a sealing film can further be improved.
さらに、樹脂膜は、熱硬化性樹脂であってもよい。 Further, the resin film may be a thermosetting resin.
これにより、柔軟性および耐熱性に優れ、電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に使用しても、封止フィルムの軟化や変形によりシール性能が低下しないシート状ヒートパイプが得られる。 As a result, a sheet-like heat pipe that is excellent in flexibility and heat resistance, and that does not deteriorate in sealing performance due to softening or deformation of the sealing film can be obtained even when used in a part having a large temperature change or a high temperature part of an electronic device.
さらに、円筒状の仕切板をシート状に変形させて、円筒状の仕切板の内周面で気体流路を形成してもよい。 Further, the gas channel may be formed on the inner peripheral surface of the cylindrical partition plate by deforming the cylindrical partition plate into a sheet shape.
さらに、円筒状の仕切板の内周面を粗面化してもよい。 Furthermore, you may roughen the internal peripheral surface of a cylindrical partition plate.
これらにより、熱伝導効率の高いシート状ヒートパイプが得られる。 As a result, a sheet-like heat pipe having high heat conduction efficiency can be obtained.
さらに、シート状の補強部材を設けてもよい。 Further, a sheet-like reinforcing member may be provided.
これにより、シート状ヒートパイプが、電子機器に使用され封止フィルムが部分的に曲げ変形を受ける場合、補強部材を装着することによって、封止フィルムの破損の防止や耐久性を向上することができる。 Thus, when the sheet-like heat pipe is used in an electronic device and the sealing film is partially bent and deformed, it is possible to improve the prevention and durability of the sealing film by attaching a reinforcing member. it can.
また、本発明のシート状ヒートパイプの製造方法は、少なくとも金属膜と樹脂膜を積層し、開口部を有する円筒状の封止フィルムを形成する工程と、気体流路と液体流路を形成したシート状の仕切板を封止フィルム内に内包する工程と、封止フィルムの開口部から作動液を注入する工程と、封止フィルムの開口部を接合して封止部を形成する工程とを含む。 Further, in the method for manufacturing a sheet-like heat pipe of the present invention, at least a metal film and a resin film are laminated to form a cylindrical sealing film having an opening, and a gas channel and a liquid channel are formed. A step of encapsulating the sheet-like partition plate in the sealing film, a step of injecting the working fluid from the opening of the sealing film, and a step of joining the opening of the sealing film to form the sealing portion. Including.
この方法により、作動液を封入したシート状ヒートパイプの長手方向が接合部のない封止フィルムで封止されるので、シール性能に優れたシート状ヒートパイプを、効率よく安定して製造することができる。 By this method, since the longitudinal direction of the sheet-like heat pipe enclosing the working fluid is sealed with a sealing film without a joint, a sheet-like heat pipe having excellent sealing performance can be produced efficiently and stably. Can do.
また、本発明のシート状ヒートパイプの製造方法は、少なくとも金属膜と樹脂膜を積層し、開口部を有する円筒状の封止フィルムを形成する工程と、気体流路と液体流路を形成した円筒状の仕切板を封止フィルム内に内包する工程と、封止フィルムの開口部から作動液を注入する工程と、封止フィルムの開口部を接合して封止部を形成する工程とを含む。 Further, in the method for manufacturing a sheet-like heat pipe of the present invention, at least a metal film and a resin film are laminated to form a cylindrical sealing film having an opening, and a gas channel and a liquid channel are formed. A step of encapsulating a cylindrical partition plate in the sealing film, a step of injecting a working fluid from the opening of the sealing film, and a step of joining the opening of the sealing film to form the sealing portion. Including.
この方法により、シール性能に優れるとともに、熱伝導効率の高いシート状ヒートパイプを、効率よく安定して製造することができる。 By this method, a sheet-like heat pipe having excellent sealing performance and high heat conduction efficiency can be manufactured efficiently and stably.
さらに、封止フィルムに、少なくとも封止部を被覆する封止層を形成する工程を含む。 Furthermore, the process of forming the sealing layer which coat | covers a sealing part at least on a sealing film is included.
この方法により、さらにシール性能が向上したシート状ヒートパイプを製造することができる。 By this method, a sheet-like heat pipe with further improved sealing performance can be produced.
さらに、円筒状の仕切板の内周面を粗面化する工程を含む。 Furthermore, the process of roughening the internal peripheral surface of a cylindrical partition plate is included.
この方法により、さらに熱伝導効率が向上したシート状ヒートパイプを製造することができる。 By this method, a sheet-like heat pipe with further improved heat conduction efficiency can be manufactured.
本発明によれば、特に光ディスク装置などの光ピックアップ部のように、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に使用しても、シール性能の低下の小さい、信頼性に優れたシート状ヒートパイプを実現できるという大きな効果を奏する。 According to the present invention, even if it is used in a place that moves over a wide range while undergoing a small bending deformation at a considerable frequency, such as an optical pickup unit such as an optical disk device, the sealing performance is hardly deteriorated and reliability is reduced. There is a great effect that an excellent sheet heat pipe can be realized.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1の実施の形態)
図1(a)は、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図であり、同図(b)は図1(a)のA−A線断面図で、同図(c)は図1(a)のB−B線断面図である。
(First embodiment)
FIG. 1A is a perspective plan view of a sheet-like heat pipe according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. (C) is the BB sectional drawing of Fig.1 (a).
図1において、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ100は、円筒状でその開口部が接合された封止部10A、10Bを有する封止フィルム2の中に、飽和蒸気圧の低い作動液(図示せず)とともに、シート状の仕切板(以下、「仕切板」と記す)3を内包している。
In FIG. 1, a sheet-
そして、シート状の仕切板3は、図1(b)に示すように、シート状ヒートパイプの長手方向(図1(a)参照)に沿って複数の気体流路5と、各気体流路5の内周表面に液体流路6が設けられたスペーサ4を有している。
And as shown in FIG.1 (b), the sheet-
ここで、図2に液体流路6の要部拡大斜視図を示すように、液体流路6として、例えばアルミニウムやポリイミドなどからなるスペーサ4の気体流路5の内周表面に、例えば酸素や四弗化炭素などのプラズマを用いたドライエッチングや燐酸などを用いたウェットエッチングなどの表面処理により、例えば100μm以下程度の微細な突起6Aが形成される。この突起6Aにより、作動液が毛細管現象によって、蒸発部に還流する。
Here, as shown in FIG. 2 which is an enlarged perspective view of the main part of the
また、封止フィルム2は、例えばアルミニウムなどの金属膜2Bと、例えばポリイミドなどの樹脂膜2A、2Cとからなる積層構造を有している。
The sealing
なお、円筒状の封止フィルム2を、図1(b)に示すように、シート状に変形させることによって、仕切板3の長手方向の外周部の外側で樹脂膜2Cの接合部9A、9Bを介して接着されるとともに、接合部のない折り畳み部12A、12Bが形成される。一方、円筒状の封止フィルム2の開口部は、図1(c)に示すように、樹脂膜2Cが、例えば熱や超音波などを用いて融着することにより接合され、封止部10A、10Bが形成される。この場合、封止フィルム2の封止部10A、10Bの長さは、その長手方向に長めに形成することが好ましい。これにより、作動液の樹脂膜2Cを介しての外部への散逸を低減することができる。
In addition, by deforming the
そして、図1(c)に示すように、例えばシート状ヒートパイプ100の一方の端部は作動液の蒸発部7として、他方の端部は凝縮部8として機能するものである。
As shown in FIG. 1C, for example, one end of the sheet-
ここで、封止フィルム2の樹脂膜2A、2Cとしては、ポリイミドのほかにポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料が用いられる。封止フィルム2の金属膜2Bとしては、アルミニウムのほかに銅などの柔軟性を有する金属材料が用いられる。作動液としては、飽和蒸気圧の低いエタノールや水、フロンなどが使用される。
Here, as the
また、仕切板3のスペーサ4としては、アルミニウムや銅などの柔軟性を有する金属材料またはポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料を用いることができる。
As the
なお、気体流路5の深さは、突起6Aの高さ以上であれば任意でよく、要望される冷却性能などにより設計される。例えば、突起6Aの高さが100μmの場合、気体流路5の深さは100μm以上であればよい。
The depth of the
本発明の第1の実施の形態によれば、積層構造を有する円筒状の封止フィルム2で、その長手方向は接合部のない状態で封止できるため、シール性能に優れたシート状ヒートパイプが得られる。
According to the first embodiment of the present invention, the
すなわち、一般に、シート状ヒートパイプの封止部の幅に対して、長手方向の長さは相対的に長く、シール性能の低下を招く確率が非常に高い。しかし、本発明の第1の実施の形態によれば、長手方向には封止部などの接合部の露出をなくすことができるため、シール性能の低下する確率を大幅に低減することができる。 That is, generally, the length in the longitudinal direction is relatively long with respect to the width of the sealing portion of the sheet-like heat pipe, and the probability of causing a reduction in sealing performance is very high. However, according to the first embodiment of the present invention, since it is possible to eliminate the exposure of the joint portion such as the sealing portion in the longitudinal direction, it is possible to greatly reduce the probability that the sealing performance is deteriorated.
また、このシート状ヒートパイプ100を、例えば光ディスク装置の光ピックアップ部のように曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に用いても、曲げ変形を受ける長手方向の箇所には、外部に露出する接合部が存在しないためシール性能や剥離などによる耐久性の低下がなく、高い信頼性を実現できる。
Further, even if this sheet-
なお、封止フィルム2の樹脂膜2A、2Cは、熱硬化性樹脂で形成してもよい。これにより、シート状ヒートパイプ100の柔軟性および耐熱性が向上するため、封止フィルム2の軟化や熱変形によるシール性能が低下しないので、例えば電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に用いることができる。
In addition, you may form
以下に、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を、図3から図5を用いて詳細に説明する。 Below, the manufacturing method of the sheet-like heat pipe in the 1st Embodiment of this invention is demonstrated in detail using FIGS. 3-5.
図3は、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの中間体の製造方法を説明する工程断面図である。 FIG. 3 is a process cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the intermediate body of the sheet-like heat pipe in the first embodiment of the present invention.
図4は、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの作動液の注入方法を説明する断面図である。 FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a method for injecting hydraulic fluid in the sheet-like heat pipe in the first embodiment of the present invention.
図5は、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を説明する透視平面図である。 FIG. 5 is a perspective plan view for explaining the manufacturing method of the sheet-like heat pipe in the first embodiment of the present invention.
まず、図3(a)に示すように、例えばポリイミドなどの樹脂材料からなる円筒状の樹脂膜2Cの外表面全体に、例えばアルミニウムなどの金属材料からなる金属膜2Bを、例えば蒸着法や鍍金法を用いて、例えば1μm〜10μm程度の厚みに形成する。さらに、金属膜2Bの少なくとも外表面全体に、例えばポリイミドなどの樹脂材料を、例えばスプレー法や浸漬法により、例えば数μm程度の厚みに形成し、円筒状の封止フィルム2を形成する。
First, as shown in FIG. 3 (a), for example, a
なお、円筒状の金属膜2Bを、例えば液状のポリイミド中に浸漬して、その両面に同時に樹脂膜2A、2Cを形成してもよく、樹脂膜2Aの内面全体に金属膜2B、樹脂膜2Cを形成してもよいことはいうまでもない。
The
つぎに、図3(b)に示すように、封止フィルム2をプレス金型30に載置し、矢印方向から封止フィルム2を加圧・加熱してシート状の所定の形状に加工する。
Next, as shown in FIG.3 (b), the sealing
つぎに、図3(c)に示すように、以下で述べる仕切板が内包する空間32と、その長手方向の両側で樹脂膜2Cを融着して接合部34A、34Bを形成する。
Next, as shown in FIG. 3C, the
つぎに、図3(d)に示すように、上記空間32に、気体流路5と液体流路6が形成されたスペーサ4からなる仕切板3を挿入することにより、封止フィルムの両端部に開口部(図示せず)を有するシート状ヒートパイプの中間体(以下、「中間体」と記す)36が形成される。
Next, as shown in FIG. 3 (d), both end portions of the sealing film are inserted into the
つぎに、図4に示すように、中間体36の開口部40A、40Bの、例えば一方の開口部40Aを、容器42に入れた、例えばエタノールなどの作動液44中に浸漬させて、仕切板3の液体流路に作動液44を注入する。この場合、作動液44は、液体流路に毛細管現象により注入される。なお、この場合、例えば他方の開口部40Bを減圧して作動液44を注入してもよい。これにより、作動液44を短時間に液体流路に注入することができる。
Next, as shown in FIG. 4, for example, one of the openings 40 </ b> A and 40 </ b> A of the
つぎに、図5に示すように、中間体36の開口部を、例えば熱または超音波などを用いて融着して接合し、封止部10A、10Bを形成する。
Next, as shown in FIG. 5, the openings of the
そして、上記工程により、封止フィルム内に作動液と仕切板を内包し、封止部で気密封止されたシート状ヒートパイプ100が作製される。
And by the said process, the sheet-
なお、中間体36を減圧雰囲気中で、仕切板の液体流路内に作動液を吸引・注入して開口部40A、40Bを接合し、シート状ヒートパイプ100を形成してもよい。
Alternatively, the sheet-
本発明の第1の実施の形態の製造方法によれば、円筒状の封止フィルムにより、簡単な構成で気密封止などのシール性能に優れたシート状ヒートパイプを効率よく安定して製造することができる。 According to the manufacturing method of the first embodiment of the present invention, a sheet-like heat pipe excellent in sealing performance such as hermetic sealing with a simple configuration is efficiently and stably manufactured using a cylindrical sealing film. be able to.
以下に、第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例について、図6と図7を用いて説明する。 Below, the modification of the sheet-like heat pipe in 1st Embodiment is demonstrated using FIG. 6 and FIG.
図6(a)は、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例1の透視平面図であり、図6(b)は、同図(a)のA−A線断面図で、図6(c)は同図(a)のB−B線断面図である。
6 (a) is a perspective plan view of
また、図7(a)は、本発明の第1の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例2の透視平面図であり、図7(b)は、同図(a)のA−A線断面図で、図7(c)は同図(a)のB−B線断面図である。
Moreover, Fig.7 (a) is a perspective plan view of the
上記各変形例は、金属膜と樹脂膜の積層構成からなる封止フィルムの構造が、第1の実施の形態とは異なるものである。 Each of the above modifications is different from the first embodiment in the structure of the sealing film composed of the laminated structure of the metal film and the resin film.
まず、図6に示すように、変形例1におけるシート状ヒートパイプ110は、封止フィルム2を樹脂膜2Aと金属膜2Bの2層の積層構造とし、金属膜2Bを仕切板3側に設けたものである。
First, as shown in FIG. 6, the sheet-
これにより、樹脂膜2Aにより作動液の吸収や透過を、仕切板3側に設けた金属膜2Bにより完全に防止できるため、作動液の吸収や透過などが少なく冷却特性が低下しにくい信頼性の高いシート状ヒートパイプを実現できる。
As a result, the absorption and permeation of the hydraulic fluid can be completely prevented by the
また、より薄型となるため、発熱部や放熱部などとの熱伝導効率に優れたシート状ヒートパイプを実現することができる。 Moreover, since it becomes thinner, the sheet-like heat pipe excellent in heat conduction efficiency with a heat-emitting part, a heat radiating part, etc. is realizable.
なお、この場合には、図6(c)に示すように、金属膜2Bの融着により封止フィルム2の開口部を封止し封止部10A、10Bを形成するため、樹脂膜2Aの融着に比べて完全なシール性能の確保が困難である。なぜなら、金属膜2Bの融着は一般に溶融温度が高いため、金属膜2Bの融着時に、樹脂膜2Aに気泡などを生じやすいためである。そのため、変形例1のシート状ヒートパイプ110の場合には、以下の本発明の第2の実施の形態で述べるように、封止部10A、10Bに封止層を設け、封止フィルム2の封止部の接合部を気密封止することが好ましい。
In this case, as shown in FIG. 6C, the openings of the sealing
そこで、図7に示すように、変形例2のシート状ヒートパイプ120は、変形例1に対し、封止フィルム2の金属膜2Dを樹脂膜2Aより長手方向において小さく(短く)形成して、仕切板3側に設けたものである。
Therefore, as shown in FIG. 7, the sheet-
これにより、封止フィルム2の封止部10A、10Bの封止を、主に樹脂膜2Aの融着により行うため、低い温度での融着ができるとともに、樹脂膜2Aは融着界面が一体化するため、シール性能に優れた接合を実現できる。
As a result, the sealing
そのため、特にこの場合においては、以下の本発明の第2の実施の形態で述べるように封止層を樹脂膜だけで構成してもよいが、封止層を金属膜と樹脂膜の積層構成としてもよいことはいうまでもない。 Therefore, particularly in this case, the sealing layer may be constituted only by the resin film as described in the second embodiment of the present invention below, but the sealing layer is a laminated structure of the metal film and the resin film. Needless to say.
(第2の実施の形態)
以下に、本発明の第2の実施の形態におけるシート状ヒートパイプについて、図8を用いて説明する。
(Second Embodiment)
Below, the sheet-like heat pipe in the 2nd Embodiment of this invention is demonstrated using FIG.
図8(a)は、本発明の第2の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ130の透視平面図であり、図8(b)は同図(a)のA−A線断面図で、図8(c)は同図(a)のB−B線断面図である。図8において、図1と同じ構成については同じ符号を用いて説明を省略する。
FIG. 8A is a perspective plan view of the sheet-
本発明の第2の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ130は、封止フィルム2の封止部10A、10Bを被覆する封止層74を設けた点で第1の実施の形態とは異なるものである。
The sheet-
図8において、本発明の第2の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ130は、円筒状で、その開口部が接合された封止部10A、10Bを有する封止フィルム2の中に、飽和蒸気圧の低い作動液(図示せず)とともに、シート状の仕切板3を内包している。
In FIG. 8, the sheet-
そして、シート状の仕切板3は、図8(b)に示すように、シート状ヒートパイプの長手方向(図8(a)参照)に沿って複数の気体流路5と、各気体流路5の内周表面に液体流路6が設けられたスペーサ4を有している。
And as shown in FIG.8 (b), the sheet-
また、封止フィルム2は、例えばアルミニウムなどの金属膜2Bと、例えばポリイミドなどの樹脂膜2A、2Cとからなる積層構造を有している。
The sealing
なお、円筒状の封止フィルム2を、図8(b)に示すように、シート状に変形させることによって、仕切板3の長手方向の外周部の外側で樹脂膜2Cの接合部9A、9Bを介して接着されるとともに、接合部のない折り畳み部12A、12Bが形成される。
Note that the
一方、円筒状の封止フィルム2の開口部は、図8(c)に示すように、樹脂膜2Cが、例えば熱や超音波を用いて融着することにより接合され、封止部10A、10Bが形成される。
On the other hand, as shown in FIG. 8C, the opening of the
さらに、図8(c)に示すように、封止フィルム2の封止部10A、10Bには、少なくとも封止部10A、10Bで露出した接合部の端面を被覆する封止層74が形成される。ここで、封止層74は、例えばアルミニウムなどの金属膜70と、例えばポリイミドなどの樹脂膜72との積層構成を有している。
Further, as shown in FIG. 8C, a
なお、封止層74の金属膜70は、例えば蒸着法や鍍金法を用いて形成することができる。また、封止層74の樹脂膜72は、例えば液状ポリイミド中への浸漬法などにより形成することができる。
The
ここで、封止層74の樹脂膜72としては、ポリイミドのほかにポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料が用いられる。封止層74の金属膜70としては、アルミニウムのほかに銅などの金属材料が用いられる。
Here, as the
本発明の第2の実施の形態によれば、積層構造を有する封止層で、封止部の露出する接合部の端面を完全に封止できるため、フレキシブル性を低下させることなく、さらにシール性能に優れたシート状ヒートパイプが得られる。 According to the second embodiment of the present invention, the end surface of the joint part exposed by the sealing part can be completely sealed with the sealing layer having a laminated structure, so that the sealing is further performed without reducing the flexibility. A sheet-like heat pipe with excellent performance can be obtained.
また、封止層で封止部の接合部を被覆するため、封止部の長手方向の長さを長くすることにより、作動液の接合部の界面からの透過を防止する必要がなく、封止部の長さの短いシート状ヒートパイプが得られる。 Further, since the joint portion of the sealing portion is covered with the sealing layer, it is not necessary to prevent permeation of the hydraulic fluid from the interface of the joint portion by increasing the length in the longitudinal direction of the sealing portion. A sheet-like heat pipe having a short stop portion is obtained.
さらに、封止層により、シート状ヒートパイプの長手方向の厚みを略均一にできるため、発熱部や放熱部との均一接触が容易で、熱伝導効率を向上させることができる。 Furthermore, since the thickness of the sheet-like heat pipe in the longitudinal direction can be made substantially uniform by the sealing layer, uniform contact with the heat generating part and the heat radiating part is easy, and the heat conduction efficiency can be improved.
なお、封止フィルムの樹脂膜2A、2Cと同様に封止層74の樹脂膜72は、熱硬化性樹脂で形成してもよい。これにより、シート状ヒートパイプ130の耐熱性が向上するため、封止層74の軟化や熱変形によりシール性能が低下せず、例えば電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に用いることができる。
Note that the
なお、上記第2の実施の形態では、封止フィルム2を、樹脂膜2A、2Cと金属膜2Bとの3層からなる積層構造で説明したが、これに限らない。例えば、図9に示すように、樹脂膜2Aと金属膜2Bとの2層の積層構造とし、金属膜2Bを仕切板3側に設ける構成としてもよい。これにより、より薄型で、熱伝導効率に優れるとともに、作動液の吸収や透過などが少なく冷却特性の低下しにくいシート状ヒートパイプ140を作製することができる。
In addition, in the said 2nd Embodiment, although the
以下に、本発明の第2の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例について、図10を用いて説明する。 Below, the modification of the sheet-like heat pipe in the 2nd Embodiment of this invention is demonstrated using FIG.
図10(a)に示すように、第2の実施の形態の変形例1におけるシート状ヒートパイプ150は、3層構造を有する封止フィルム2の外表面全体に、例えば金属膜70と樹脂膜72とからなる封止層74を形成したものである。
As shown in FIG. 10A, the sheet-
また、図10(b)に示すように、第2の実施の形態の変形例2におけるシート状ヒートパイプ160は、2層構造を有する封止フィルム2の外表面全体に、例えば金属膜70と樹脂膜72とからなる封止層74を形成したものである。
Moreover, as shown in FIG.10 (b), the sheet-
これらにより、シート状ヒートパイプ150、160のシール性能をさらに向上できるものである。
By these, the sealing performance of the sheet-
また、封止フィルムの外表面全体に封止層を形成するため、部分的に封止層を形成する場合と比べて、封止層の形成が容易であるためシート状ヒートパイプを生産性よく作製することができる。 In addition, since the sealing layer is formed on the entire outer surface of the sealing film, it is easier to form the sealing layer than when the sealing layer is partially formed. Can be produced.
(第3の実施の形態)
以下に、本発明の第3の実施の形態におけるシート状ヒートパイプについて、図11を用いて説明する。
(Third embodiment)
Below, the sheet-like heat pipe in the 3rd Embodiment of this invention is demonstrated using FIG.
図11(a)は、本発明の第3の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ170の透視平面図である。また、図11(b)は同図(a)のA−A線断面図であり、図11(c)は同図(b)の要部拡大断面図で、図11(d)は同図(a)のB−B線断面図である。図11において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用いて説明を省略する。
FIG. 11A is a perspective plan view of a sheet-
本発明の第3の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ170は、仕切板80の構成が第1の実施の形態とは異なるものである。
The sheet-
すなわち、図11(b)に示すように、仕切板80は、円筒状のスペーサ81をシート状に変形させ、スペーサ81の内周面を接触させた構成を有するものである。
That is, as shown in FIG. 11B, the
そして、スペーサ81の、例えば外周側に気体流路82が長手方向に設けられ、内周側には、例えば図2に示したような突起83を有する粗面が形成されている。そして、図11(c)に示すように、仕切板80の内周側の粗面の接触する隙間で液体流路84を形成している。
A
これにより、仕切板80は、広い気体流路82と液体流路84を有するので、冷却特性の優れたシート状ヒートパイプ170が得られる。
Thereby, since the
以下に、本発明の第3の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ170の製造方法を、図12を用いて詳細に説明する。
Below, the manufacturing method of the sheet-
図12は、本発明の第3の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を説明する工程断面図である。 FIG. 12 is a process cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a sheet-like heat pipe in the third embodiment of the present invention.
まず、図12(a)に示すように、例えば円筒状の封止フィルムに内接する柔軟性を有する樹脂材料からなる円筒状のスペーサ81の外周面側に、気体流路82を長手方向に沿って設け、内周面側を粗面化して、例えば突起などを形成し円筒状の仕切板80を作製する。ここで、スペーサ81の気体流路82は、例えば型成型やエッチングなどにより、任意の形状や深さに形成することができる。また、突起などは、第1の実施の形態で述べた方法と同様な方法で形成することができる。
First, as shown in FIG. 12A, a
つぎに、図12(b)に示すように、本発明の第2の実施の形態において説明したのと同様の方法で形成した封止フィルム2の内側に、円筒状の仕切板80を嵌め込む。
Next, as shown in FIG. 12B, a
ここで、封止フィルム2は、金属膜2Bと樹脂膜2A、2Cの3層構造を有し、仕切板80と樹脂膜2Cとが当接している。
Here, the sealing
つぎに、図12(c)に示すように、円筒状の仕切板80を嵌め込まれた封止フィルム2をプレス金型86に載置し、矢印方向から加圧・加熱してシート状の所定の形状に加工する。
Next, as shown in FIG. 12 (c), the sealing
これにより、図12(d)に示すような、円筒状の仕切板80を嵌め込まれた封止フィルム2の両端部に開口部(図示せず)を有するシート状ヒートパイプの中間体88が形成される。
As a result, as shown in FIG. 12D, a sheet-like heat pipe intermediate 88 having openings (not shown) at both ends of the sealing
つぎに、本発明の第1の実施の形態で図4を用いて説明したように、中間体88の一方の開口部を、容器に入れた、例えばエタノールなどの作動液中に浸漬させて、円筒状の仕切板80の液体流路84に作動液を注入する。この場合、作動液は、液体流路に毛細管現象を利用して注入してもよく、例えば他方の開口部を減圧して注入してもよい。これにより、作動液を短時間に注入することができる。
Next, as described with reference to FIG. 4 in the first embodiment of the present invention, one opening of the intermediate 88 is immersed in a working fluid such as ethanol in a container, The working fluid is injected into the
つぎに、図11(d)に示したように、中間体88の開口部を、例えば熱または超音波などを用いて融着して接合し、封止部10A、10Bを形成する。
Next, as shown in FIG. 11D, the openings of the intermediate 88 are fused and joined using, for example, heat or ultrasonic waves to form the sealing
そして、上記工程により、封止フィルム2内に作動液と仕切板80を内包し、封止部10A、10Bで気密封止されたシート状ヒートパイプ170が作製される。
And by the said process, the hydraulic fluid and the
なお、中間体88を減圧雰囲気中で、仕切板80の液体流路84内に作動液を吸引・注入して開口部を接合し、シート状ヒートパイプ170を形成してもよい。
Alternatively, the
本発明の第3の実施の形態の製造方法によれば、円筒状の封止フィルムにより、簡単な構成で気密封止などのシール性能に優れたシート状ヒートパイプを効率よく安定して製造することができる。 According to the manufacturing method of the third embodiment of the present invention, a sheet-shaped heat pipe excellent in sealing performance such as hermetic sealing with a simple configuration is efficiently and stably manufactured using a cylindrical sealing film. be able to.
さらに、円筒状の仕切板により、広い気体流路と液体流路が形成されるため、放熱特性に優れたシート状ヒートパイプとすることができる。 Furthermore, since a wide gas flow path and liquid flow path are formed by the cylindrical partition plate, a sheet-like heat pipe having excellent heat dissipation characteristics can be obtained.
なお、本発明の第3の実施の形態では、円筒状の仕切板で説明したが、本発明はこれに限らない。図13に示すように、例えば一方の面に気体流路82を形成し、他方の面に突起などを形成して粗面化して液体流路を形成した平板状のスペーサ81からなる仕切板90を作製してもよい。そして、図13中の一点鎖線で示すように、仕切板80を円筒状に巻いて封止フィルムに嵌め込み、シート状ヒートパイプを形成することができる。なお、気体流路や液体流路の形成方法は、上記各実施の形態で説明した方法と同様な方法で形成することができる。
In the third embodiment of the present invention, the cylindrical partition plate has been described. However, the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 13, for example, a
この製造方法によれば、平板状のスペーサに液体流路や気体流路を形成できるため、形状や位置精度に優れた仕切板を簡単に生産性よく作製することができる。 According to this manufacturing method, a liquid channel or a gas channel can be formed in a flat spacer, so that a partition plate excellent in shape and position accuracy can be easily produced with high productivity.
(第4の実施の形態)
図14は、本発明の第4の実施の形態におけるシート状ヒートパイプを電子機器に装着した状態を説明する図である。
(Fourth embodiment)
FIG. 14 is a diagram illustrating a state in which the sheet-like heat pipe according to the fourth embodiment of the present invention is mounted on an electronic device.
本発明の第4の実施の形態のシート状ヒートパイプ180は、その少なくとも一部に補強部材91を設け、屈曲の度合いが大きい場合に、折れ曲がりや破損を防止する構造を有するものである。
The sheet-
さらに、シート状ヒートパイプ180の両端部の蒸発部94および凝縮部95に接触する部分の金属膜92を樹脂膜93から露出させ、使用する電子機器の発熱部96ならびに放熱部97に接続している点で異なるものである。
Further, portions of the
すなわち、図14に示すように、シート状ヒートパイプ180は、例えば矢印98で示す方向に往復運動する発熱部96と固定された放熱部97とに接続された状態を示している。そして、シート状ヒートパイプ180の屈曲の度合いの大きい外周囲の少なくとも一部に、例えば薄膜で形成された補強部材91を有している。
That is, as shown in FIG. 14, the sheet-
ここで、補強部材91は、必要な剛性に応じて、例えばアルミニウム、銅、クロムなどの金属薄膜の蒸着やスパッタリングを用いて形成される。なお、補強部材91として、上記では金属薄膜を例に説明したが、弾性率の大きなポリイミドを塗布し、その後、金属薄膜を形成した積層膜の構成でもよいし、ポリイミド膜やその他の有機フィルムを接着層を介して固定する構成としてもよい。
Here, the reinforcing
また、シート状ヒートパイプ180の金属膜92を露出させて電子機器の発熱部96および放熱部97と接続した例で説明した。
Further, the example in which the
これによって、電子機器とシート状ヒートパイプ180との熱伝導性を高めることができる。しかし、必ずしもシート状ヒートパイプ180の蒸発部94と凝縮部95の両方の金属膜92を露出させて接続する必要はなく、どちらか一方のみであってもよく、また、金属膜92を露出させなくてもよい。
Thereby, the thermal conductivity between the electronic device and the sheet-
本発明の第4の実施の形態によれば、補強部材91を設けることにより、シート状ヒートパイプ180に変形などの過剰の撓みが生じても、補強部材91によって折れ曲がりを防止し、破損しにくい信頼性に優れたシート状ヒートパイプ180が得られる。
According to the fourth embodiment of the present invention, by providing the reinforcing
また、シート状ヒートパイプ180が部分的に小さな曲げ半径で折り曲げられる箇所などに装着されても、内部の仕切板が鋭角的に曲げられることを緩和できる。これにより、仕切板の気体流路や液体流路が、潰れたり塞がれたりすることを防止することができる。
Moreover, even if the sheet-
なお、補強部材91の大きさ、形状やその装着位置は、使用される電子機器との条件により決められる。
Note that the size, shape, and mounting position of the reinforcing
また、上記第4の実施の形態で説明したシート状ヒートパイプ180の表面にシート状の補強部材91を設けることと、金属膜92を露出させて接続することは、必ずしも同時に適用する必要はない。
Further, it is not always necessary to apply the sheet-like reinforcing
また、第4の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ180は、各実施の形態のシート状ヒートパイプに対しても同様に適用でき、同じ効果が得られるものである。
Moreover, the sheet-
なお、各実施の形態において、シート状コンテナの外表面全体を覆う封止層として金属層と樹脂層が1層ずつである場合について述べたが、これに限られない。例えば、金属膜と樹脂膜の積層膜を複数層としてもよく、また、樹脂膜が作動液に対して吸収や透過性の低いものであれば、樹脂膜だけでもよい。 In addition, in each embodiment, although the case where the metal layer and the resin layer were one layer each as a sealing layer which covers the whole outer surface of a sheet-like container was described, it is not restricted to this. For example, a laminated film of a metal film and a resin film may be a plurality of layers, or only a resin film may be used as long as the resin film has low absorption and permeability with respect to the working fluid.
これにより、高い気密性を確保することができ、使用される環境条件の厳しい箇所においても、高い信頼性を有するシート状ヒートパイプを実現することができる。 Thereby, high airtightness can be ensured, and a highly reliable sheet-like heat pipe can be realized even in a place where the environmental conditions are severe.
本発明のシート状ヒートパイプは、薄型・軽量で高い柔軟性を有するとともに、シール性能が高いため、ノート型パソコンなどの携帯機器や可動部を有する光ディスク装置の光ピックアップ部などの電子機器において有用である。 The sheet-like heat pipe of the present invention is thin, lightweight, highly flexible, and has high sealing performance. Therefore, it is useful for portable devices such as notebook computers and electronic devices such as optical pickups of optical disk devices having movable parts. It is.
2 封止フィルム
2A,2C,72,93 樹脂膜
2B,2D,70,92 金属膜
3,80,90 仕切板
4,81 スペーサ
5,82 気体流路
6,84 液体流路
6A,83 突起
7,94 蒸発部
8,95 凝縮部
9A,9B,34A,34B 接合部
10A,10B 封止部
12A,12B 折り畳み部
30,86 プレス金型
32 空間
36,88 (シート状ヒートパイプの)中間体
40A,40B 開口部
42 容器
44 作動液
74 封止層
91 補強部材
96 発熱部
97 放熱部
98 矢印
100,110,120,130,140,150,160,170,180 シート状ヒートパイプ
2
Claims (14)
前記作動液が通過する液体流路と前記作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなるシート状の仕切板と、
前記作動液とシート状の前記仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させることにより前記仕切板の外周部の外側で接着され形成された折り畳み部と、前記封止フィルムの両端の前記開口部を封止した封止部とを備え、
前記封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有することを特徴とするシート状ヒートパイプ。 Hydraulic fluid,
A sheet-like partition plate comprising a liquid channel through which the hydraulic fluid passes and a spacer having a gas channel through which the vapor of the hydraulic fluid passes;
Said hydraulic fluid and the sheet-shaped of the partition plate by Rukoto a cylindrical sealing film having an opening portion including the inner deformed into a sheet form is bonded at the outer peripheral portion of the partition plate folding formed part , and a sealing portion which seals the opening of both ends of the sealing film,
The sheet-shaped heat pipe, wherein the sealing film has at least a laminated structure of a metal film and a resin film.
前記作動液が通過する液体流路と前記作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなる円筒状の仕切板と、
前記作動液と円筒状の前記仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させることにより前記仕切板の外周部の外側で接着され形成された折り畳み部と、前記封止フィルムの両端の前記開口部を封止した封止部とを備え、
前記封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有することを特徴とするシート状ヒートパイプ。 Hydraulic fluid,
A cylindrical partition plate comprising a liquid channel through which the hydraulic fluid passes and a spacer having a gas channel through which the vapor of the hydraulic fluid passes;
Said hydraulic fluid and the cylindrical of the partition plate a cylindrical sealing film is adhered on the outside of the outer peripheral portion of the partition plate by Rukoto is deformed into a sheet-formed folded portion having an opening including the internal , and a sealing portion which seals the opening of both ends of the sealing film,
The sheet-shaped heat pipe, wherein the sealing film has at least a laminated structure of a metal film and a resin film.
前記封止フィルムを加圧・加熱してシート状に変形させることにより折り畳み部を形成する工程と、
気体流路と液体流路を形成したシート状の仕切板を前記封止フィルム内に内包する工程と、
前記封止フィルムの前記開口部から作動液を注入する工程と、
前記封止フィルムの前記開口部を接合して封止部を形成する工程と、
を含むシート状ヒートパイプの製造方法であって、
前記折り畳み部は、前記仕切板の外周部の外側で接着され形成されたことを特徴とするシート状ヒートパイプの製造方法。 Laminating at least a metal film and a resin film, and forming a cylindrical sealing film having an opening;
Forming a folded portion by applying pressure and heating to the sealing film to deform it into a sheet; and
Including a sheet-like partition plate in which a gas channel and a liquid channel are formed in the sealing film;
Injecting a working fluid from the opening of the sealing film;
Bonding the opening of the sealing film to form a sealing portion;
A method of manufacturing a including sheet over door-shaped heat pipe,
The method for manufacturing a sheet-like heat pipe, wherein the folding portion is formed by being bonded outside the outer peripheral portion of the partition plate.
前記封止フィルムを加圧・加熱してシート状に変形させることにより折り畳み部を形成する工程と、
気体流路と液体流路を形成した円筒状の仕切板を前記封止フィルム内に内包する工程と、前記封止フィルムの前記開口部から作動液を注入する工程と、
前記封止フィルムの前記開口部を接合して封止部を形成する工程と、
を含むシート状ヒートパイプの製造方法であって、
前記折り畳み部は、前記仕切板の外周部の外側で接着され形成されたことを特徴とするシート状ヒートパイプの製造方法。 Laminating at least a metal film and a resin film, and forming a cylindrical sealing film having an opening;
Forming a folded portion by applying pressure and heating to the sealing film to deform it into a sheet; and
A step of enclosing a cylindrical partition plate in which a gas channel and a liquid channel are formed in the sealing film; a step of injecting a working fluid from the opening of the sealing film;
Bonding the opening of the sealing film to form a sealing portion;
A method of manufacturing a including sheet over door-shaped heat pipe,
The method for manufacturing a sheet-like heat pipe, wherein the folding portion is formed by being bonded outside the outer peripheral portion of the partition plate.
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