JP4300315B2

JP4300315B2 - ガスリーク評価装置

Info

Publication number: JP4300315B2
Application number: JP2004366769A
Authority: JP
Inventors: 加賀保男
Original assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Current assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 2004-12-17
Filing date: 2004-12-17
Publication date: 2009-07-22
Anticipated expiration: 2024-12-17
Also published as: JP2006170918A

Description

本発明は溶射型固体電解質燃料電池、特に円筒直列接続型の高温固体電解質燃料電池（ＳＯＦＣ：solid oxide fuel cell）用の単体の被膜から単セルおよびセルを集積したセルユニットの組立完成時のセル全体（接続部、および周辺部一式）を、室温または動作温度の高温において、ガスのリークを定量的に測定しセル性能を評価するガスリーク評価装置に関するものである。また、一般的な燃料電池のガスタイト性の評価用にも使用可能である。

高温固体電解質燃料電池（ＳＯＦＣ）は高温域で発電プロセスが可能であることから、数百ｋＷ級分散電源は勿論のこと、ガスタ−ビンや汽力タ−ビンを複合併置した数百ＭＷ級大容量高効率複合型のベースロード用発電プラントの実現も可能であるとされている。

ＳＯＦＣによる発電方式は電気エネルギーへのエネルギー変換効率が高く、発電に伴う大気汚染物質の排出を極小化することができ、内部改質による水素の精製機能により石炭ガスや都市ガス等使用燃料の多様化にも対応が可能である。これ等の理由から、固体電解質燃料電池は、リン酸型燃料電池（ＰＡＦＣ）や溶融炭酸塩型燃料電池（ＭＣＦＣ）に続く、高温動作の燃料電池として大きな期待が寄せられ、国内はもとより海外でも研究開発が進展している。

しかし、これらの完成したセルの評価法としてはあまり確立されておらず、通常発電して電気的特性（電圧−電流特性）からセル性能を判断している現状である。将来の燃料電池発電システムの大型化に伴い組立時の安全性の確保も考えたより簡単な評価法が望まれる所である。このような評価装置の例はあまりなく、非特許文献１及び非特許文献２に見られるガス透過率の測定による方法がある。

図１３は、従来の測定装置（非特許文献１及び非特許文献２参照。）の１例を示す。この装置は、被測定試料内にガス圧をかけて、そのリーク量から、被測定試料のガスの透過性を測定するものはガスの透過性能を、ガスの透過阻止能を測定するものはガスの透過阻止性能（気密性）を評価する装置である。

具体的には、測定の際には、被測定試料９１を密閉した試料収納容器９２内に装入する。そして、流量計９０を被測定試料９１の試料ガス入口２２０に、低圧発生装置９７を試料ガス出口２２１に、それぞれ接続する。

さらに、Ｕ字管式差圧計９６に試料内圧用プローブ９３及び試料外圧用プローブ９４を接続し試料内圧測定プローブ挿入口２２３から被測定試料９１内に、そして試料外圧測定プローブ挿入口２２２から収納容器９２内に、それぞれ挿入する。

石鹸膜流量計９５を試料収納容器９２の試料透過ガス出口２２４に接続する。以上の構成において、被測定試料９１内に測定用ガスを導入しガス圧をかけて、被測定試料９１の外側へリークしたガスのリーク量を測定する。この時のＵ字管式差圧計９６の読みと石鹸膜流量計９５の測定値、試料形状（試料有効ガス透過部面積、試料膜厚さ）からガス透過係数は次式で求められる。
Q=φ(ΔP/t)A
（ただし、ここで Q：流量(cc/sec) φ：ガス透過係数(cc cm/sec (g/cm²)cm²) ΔP：差圧(g/cm²) ｔ：試料厚さ(cm) A：試料面積(cm²) である。）
そのリーク量またはガス透過係数から被測定試料９１の気密性を評価することができる。
電気学会論文誌Ｂ,109巻4号平成元年,固体電解質形燃料電池構成要素のガス透過特性評価に関する研究電気学会論文誌Ｂ,112巻8号平成４年,固体電解質型燃料電池構成要素のガス透過特性評価

図１３（非特許文献１及び非特許文献２）に示す従来の技術は、試料からリークしたガスをすべて集めそれを直接測定するためリーク量を正確に測れる方法である。しかし、被測定試料９１が小さければ良いが、被測定試料９１が大きい場合は、収納容器９２が大きくなり容器製作が大変な作業となる。

さらに、収納容器９２を高温で高い気密性能を持たせて使用できる様にするためには、高度な技術を必要とし通常実施するのは非常に困難である。そのため、この参考文献でも小さな試料膜を測定するにとどまっている。セルや大きなものを測定する場合にはこのリーク量の測定方法に更なる改良が必要である。

本発明は、上記従来の問題点を解決することを目的とするものであり、高温固体電解質燃料電池用の単体の小さな被膜試料から単セルおよびセルを集積した大きなセルユニットの組立完成時のセル全体を、室温または動作温度の高温において、ガスのリークを定量的に測定できるようにした。それを利用しさらにガスのリークという機械的性能を測定することにより発電前にセルの電気的性能または欠陥をあらかじめ予測する目的のセル性能を評価する装置を実現するものである。

本発明は上記課題を解決するために、気密検査時に被検査対象物入口側からガスを一定流量で連続供給する入口ガス定量供給装置と、被検査対象物出口側で通過ガス流量を測定する出口ガス流量測定装置とを備え、通過ガス流量の減少量で前記被検査対象物の気密検査をするガスリーク評価装置において、前記出口ガス流量測定装置は、被検査対象物出口側に接続される加圧装置を有し、該加圧装置により被検査対象物の内圧を可変し、そのときのリーク量が圧力に比例して大きくなることを利用して、この圧力に対する出口側流量値を２点以上で求めて、その勾配からリーク検査を実施できるようにしたことを特徴とするガスリーク評価装置を提供する。

前記入口ガス定量供給装置は、温度、圧力に依存しないで流量値を直読、制御出来る質量流量型流量計を有し、該質量流量型流量計で測定される入力ガスの供給量が一定値となるようにガスを安定供給可能とする。

ガスリーク評価装置では、前記加圧装置として水柱を用い、安定して低い圧力を印加出来るようにしたことを特徴とする。

出口ガス流量測定装置は、温度、圧力に依存しないで流量値を直読出来る質量流量型流量計を有する構成としてもよい。

出口ガス流量測定装置は、膜流量計を有する構成としてもよい。

ガスリーク評価装置は、一カ所しか接続口がない被検査対象物の該接続口に接続される１個口用の計測アダプタを備えた構成としてもよい。

ガスリーク評価装置は、加圧装置で印加することで耐圧試験にも使用可能である構成としてもよい。

ガスリーク評価装置は、入口ガス定量供給装置及び前記出口ガス流量測定装置が電気炉に接続され、該電気炉内で加熱された高温の試料測定に使用される構成としてもよい。

以上の構成からなる本発明によると、次の効果が生じる。
（１）低圧ではあるが圧力を実際に印加するので、セルの耐圧性能の確認試験が同時に出来、セルの耐圧力性能の試験装置としても使用できる。
（２）あらかじめリ−クの無いことが、室温で確認できるとともに、その後の動作温度の高温で確認でき、燃料投入前にガスリークに起因する面の安全性が充分確認できて異常燃焼等が起こらず安全性の面から好ましい。
（３）発電前に不具合が解るので健全なセルに損傷が生じないうちに修理が出来る。
（４）１回の検査に要する時間が短時間であるので、室温、高温と測定しても時間をそれほど気にせず出来る。また、必要に応じていつでも運転中に定期的な点検を兼ねて検査もできる。
（５）本評価装置を用いれば、リークの面に関する燃料電池の不良品は確実に排除できる。燃料電池は特にリークが故障の原因として多く、一部の不良品をあらかじめ排除できることは非常に有効である。

本発明に係るガスリーク評価装置を実施するための最良の形態を実施例に基づいて図面を参照して説明する。

図１に実施例１を示す。この実施例１のガスリーク評価装置は、燃料電池を被検査対象物としたものであり、このガスリーク評価装置は、セル試験用入口ガス定量供給装置５５と、セル試験用出口ガス流量測定装置５６とを備えている。

セル試験用入口ガス定量供給装置５５は、図１（ａ）に示すように、ガスボンベ１、減圧弁２、質量流量型流量制御装置３、ガス供給接続口１１、Ｕ字管型圧力計２９、及び安全装置（水柱式安全弁）３３によって構成する。

セル試験用出口ガス流量測定装置５６は、図１（ｂ）に示すように、水柱を用いた水柱式低圧発生装置３２、質量流量型流量計８、ガス冷却装置３４、及び出口側流量測定装置接続口１２、によって構成する。１０は水柱式低圧発生装置３２内で発生する排気である。

図２に水柱式低圧発生装置３２の構造を示す。水柱式低圧発生装置３２は、アクリルパイプ１２３内に液体（例えば、水）１２８が充填されており、このアクリルパイプ１２３に、圧力発生パイプ１２１が上方から挿入され固定されている。給水バルブ１２５、排水バルブ１２７、オーバーフロー用バルブ１２６が取り付けてある。

このような構造により、圧力発生パイプ１２１の水面下の長さを変えて水圧を利用し安定して低い圧力をかけられるようにしてある。アクリルパイプ１２３の外面に目盛り板１２４が付設されており、概略の圧力は、この目盛で読みとることができる。オーバーフロー用バルブ１２６を閉めると、排気パイプ１２９を出たガスを計測出来る構造にもなっている。

安全装置（水柱式安全弁）３３は、水柱式低圧発生装置３２とほぼ同様の構造であり、圧力は固定式の型にしたものである。

（使用例）
図３に、実施例１のガスリーク評価装置の使用例、具体的には、燃料電池のセル評価試験回路接続例（通過型、２個口型）を示す。この燃料電池試験回路６０は、燃料電池ユニット６５、測定用ガス入口側接続口６１、測定用ガス出口側接続口６２、発電用ガス供給ライン６３、発電用ガス排気ライン６４によって構成されている。

セル試験用入口ガス定量供給装置５５のガス供給接続口１１に、測定用ガス入口側接続口６１を接続し、セル試験用出口ガス流量測定装置５６の出口側流量測定装置接続口１２に測定用ガス出口接続口６２を接続する。この状態で発電用ガスラインのバルブを閉め測定用ガスラインのバルブを開ける。

そして徐々にガスを流し、セル試験用出口ガス流量測定装置５６、側のＵ字管型圧力計２９の圧力値に対する質量流量型流量計８の流量値を読みとり、これを数点測定する。この圧力に対する流量値の変化が無ければリ−クがないことが確認できる。この間、質量流量型流量制御装置３は一定値を保ちガスを供給する。

図４に燃料電池ユニット６５の平板型の構造の一例を示す。平板型燃料電池７１、セパレータ７２、燃料ガス供給接続口６６、燃料ガス排気接続口６７、酸化剤ガス供給接続口６８、酸化剤ガス排気接続口６９、によって構成されている。

図５に燃料電池ユニット６５の円筒型構造の一例を示す。この構造は、円筒型燃料電池７３、ガスマニホールド７４、及び燃料電池収納容器７５からなる。なお、図４、図５ともガス回路のみの例で電気的な回路は本出願とは直接関係ないので省略してある。

図６は、本発明の実施例２を説明する図である。この実施例２のガスリーク評価装置は、実施例１と同じであるが、セルスタックの試験測定口が１個の場合、即ち、燃料電池試験回路一例（行き止まり型、１個口型）７０に適用した例を示す。

この実施例２では、１つ穴用測定アダプター（行き止まり用対応）５２が付設されている。１つ穴用測定アダプター（行き止まり用対応）５２は、計測アダプターガス入口７６、計測アダプターガス出口７７、及び計測アダプターガス供給口７８から成る。この１つ穴用測定アダプター（行き止まり用対応）５２を使用し、測定用ガス入口側接続口６１と計測アダプターガス供給口７８を接続すれば、後は２個口の場合と同様の構造となり同様に測定できる。

従来セルスタックになったときの電解質膜のガスタイト性を定量的に評価する方法が無く解放電圧で比較した報告例がある。しかし、このような発電試験をしなくとも、本方法のようにセルそのもののガスの透過性能（気密性能）の定量的測定ができればセルの欠陥を発電することなく予測できる。

図７にガスのリークの比較的少ない固体電解質膜（ガス透過係数で１０^−７［cc cm/sec［g/cm²］cm²］を使用した、３セルスタックの試作例の電圧−電流特性測定結果を示す。解放電圧が約３［Ｖ］以上（単位セル当たり１［Ｖ］以上）でている。図８にガスリークの比較的多い固体電解質膜（ガス透過係数で１０^−６〜１０^−５［cc cm/sec［g/cm²］cm²］）を使用した３セルスタックの試作例の電圧−電流特性を示す。解放電圧が２．４［Ｖ］程度（単位セル当たり０．８［Ｖ］）となっている。

このようにガス透過係数の異なる電解質膜を使用して代表的な２種類の３セルスタックを試作して試験した結果、ガス透過性能から解放電圧が決まりセルの欠陥の評価ができる。発電試験をするためには昇温−定格温度−降温とするためかなりの時間がかかるが本評価法では短時間で評価ができる。

本発明に係るガスリーク評価装置がない場合は定量的に比較する方法が無いため実際に発電してその解放電圧からセルのガスタイト性を判断するしかないので、発電し解放電圧でそのガスタイト性を評価している。この方法は発電できるところ迄準備しないとできないので発電試験を行うのと同等となり、大変な労力を要する。

ここで電解質膜のガスタイト性能を変化させてセルを製作し、ガス透過係数の差によって発電時の解放電圧が変わってくるのを確認するためのセルを製作しガスのリーク量による差が解放電圧の差となって現れることを示すための一例としての確認試験を実施した結果である。

この結果より、ガスリークの多い少ないによってセルの電圧−電流特性が連動して変化していることが分かる。この結果ガスリーク量の大小の判定方法として通常本装置がない場合はこのように発電して解放電圧で確認する等の方法を使用して確かめるほか無かった。本発明は、このようなセルの最初の電気的な特性が発電前に判断できる。

図９は、本発明の実施例３を説明する図である。この実施例３は、非特許文献２に示されているガス透過率測定装置に、本発明を採用して改良してなるものである。要するに、本発明は、外側気密容器を省略できるという長所を有するが、この長所となる構成を活用し、試料部の温度を高温で簡単に測定できるように構成した一例である。外側にガス収集用の容器がないため構造が非常に簡単となる。

実施例３の装置の使用によって被膜の熱膨張等による熱応力破壊等の試験も簡単に実施できる。これらの測定は、従来、セラミックの割れるとき発生する超音波をマイクロフォンピックアップでひろって測定する装置の報告例もあったが、定量的な測定でなくあまり実用的ではなかったためか、ほとんど実施されていない。そして、これは本来ガスのリーク量を測定するべき所を測定法がなかったため、このような代用の測定を実施していたものであった。

これに対して、本発明では、ガスのリーク量を連続測定すれば、それらを定量的にそのまま評価できる。同様に、電極の焼結等によるガス透過性能の低下試験も測定できる。従来簡単に出来なかった単体膜、接続部等の熱応力による破壊試験等が非常に手軽に出来る。

図９により、実施例３の構成を説明する。入口ガス定量供給装置５０は非特許文献１に開示されたものである。セル試験用入口ガス定量供給装置５５は高い圧力をかけるとセルが損傷する可能性があり、セルそのものが製作に時間を要しかつ高価であるので、セル試験用に特別にセルを壊さないように安全装置を設けたものである。

これらの装置５０、５５の間に、ヒータ４４を有する電気炉４３を設け、この電気炉４３内に、断熱材４２を介して被測定試料４１をセットする構成としたものである。本評価装置は外側の気密容器が必要ないので両端部は完璧なシールをする必要はなく簡単に断熱材を使用して試料が冷えないように保温を保つ程度に断熱材を充填すれば良い。

入口ガス定量供給装置５０は、実施例１のセル試験用入口ガス定量供給装置５５とほぼ同じ構成であるが、セルと違い小さな試料なので圧力をかけすぎて万一破壊してもコストが安いので取り扱い易さを優先し装置の簡略化を図ってＵ字管型圧力計２９及び安全装置３３は設けていない。

出口ガス流量測定装置５１は、バルブ３１で切り換え可能なＵ字管式差圧計３０を有し、実施例１のセル試験用出口ガス流量測定装置５６とほぼ同じ構成であるが、測定圧力範囲を広範囲に測定するために圧力計６を設け圧力を広範囲に印加できるようにした。そして安定に制御できるように加圧装置７を水柱式低圧装置と組み合わせて粗調整と微調整をできるように構成されている。

使用に際しては、被測定試料４１を電気炉４３内に装着し、被測定試料４１の被測定試料ガス入口４５に入口ガス定量供給装置５０を接続し、被測定試料４１の被測定試料ガス出口４６に出口ガス流量測定装置５１を接続する。この状態で入口ガスを定量供給し出口流量を測定する。その後加圧装置を使用し試料内に圧力を印加しこの時の圧力と流量の関係を測定する。この結果を図１２に示す。ガス透過係数の算出は従来技術の項参照（詳細は非特許文献１参照）

図１０は、実施例３で測定する被測定試料膜一例（単体膜）２００を示している。これは、円筒型の試料の１例であり、多孔質基板管２０１にガスタイト膜２０２を成膜し測定試料のガス透過部分として使用する部分以外は目つぶしをして測定有効部を製作し有効面積を決めて、その上に、被測定試料膜２０３を積層した構造で単位面積当たりの透過量を求められる構造としてある。

図１１は、実施例３で測定する被測定試料一例（セル接続部模擬試料）２１０を示している。これは、円筒型試料の接続部の例であり、接続管２１１をガラスパッキン２１５を介して燃料電池２１２に接続して、この接続部を充填材２１４を介して接続スリーブ２１３で覆った構成である。

図１２は、実施例３を使用して前述のごとき試料（図１０または１１）を測定した場合の一例を示したものである。この結果のグラフから非特許文献１と同様のグラフが得られガス透過係数が求められる。

この測定は、２００及び２０１の様な試料膜または接合部試料を製作して測定した場合の一例であり、これからガス透過係数が求められる。この測定結果と試料の有効面積、膜厚さから文献１同様にガス透過係数が求められる。なお、非特許文献１では下地を差し引きできる方法を示しているが、これは本願発明とは直接関連づけられないので省略している。

図１４は、本発明の実施例４を説明する図である。この実施例４は、実施例３とほぼ同じ構成であるので、同じ構成の説明は省略するが、その特徴とする構成は、図１４（ａ）に示す質量流量型流量計８に換えて、石鹸膜流量計９５を用いている。そのため流量計の使用方法の違いから（膜流量計は流量計の出口側を大気圧で使用しないとならないため）膜流量計が加圧装置の出口側に配置されている回路構成を特徴とするものである。

このような回路構成とすると、通常の流量計の動作圧力に比べ膜流量計の動作圧力は水柱１〜２ｍｍ程度有れば測定可能であるので、円筒型燃料電池のように構造的に耐圧性に優れているもの以外に、あまり圧力をかけられない大面積の平板型の様な耐圧性能の低い燃料電池の場合でも低い圧力での測定方法と安全装置（水柱式安全弁）の使用によって電解質板にかかる圧力を許容値内まで低くして測定できる。

さらに、加圧装置を併用した効果によって水柱式の加圧装置により印加圧力として水柱数ｍｍ単位で微少に制御できるため急激な圧力ショックをさけることができ平板型の大面積のセル（例えば図４参照）にも対応できる。

以上、本発明に係るガスリーク評価装置を実施するための最良の形態を実施例に基づいて説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に規定される発明の技術的範囲内であれば、いろいろな構成があることは言うまでもない。

本発明に係るガスリーク評価装置は以上の構成であり、特に、燃料電池のガスタイト性の評価からセル性能の向上試験や組立時の不具合の評価に有用であるが、その他の気密性を有する一般的な容器や配管等のガスのリークを定量的に測定し、その気密性を評価する場合に適用可能である。また定量的に測定できる面からガスの透過する性能を測定する場合にも適用可能であり、非特許文献１、２で実施しているガス透過係数の測定も本装置で測定可能である。

本発明に係るガスリーク評価装置の実施例１（セル試験用）を説明する図である。実施例１の低圧発生装置（圧力発生用および安全装置用）の詳細構造を示す図である。実施例１のセル評価試験回路接続例（通過型、２個口型）を示す図である。燃料電池ユニット平板型を示す図である。燃料電池ユニット円筒型を示す図である。本発明に係るガスリ−ク評価装置の実施例２を説明する図であり、セル評価試験回路接続例（行き止まり型、１個口型）を示す図である。実施例１によるＳＯＦＣ３セルスタック電圧−電流特性の例（リークの少ない場合の例）を示すグラフである。実施例１によるＳＯＦＣ３セルスタック電圧−電流特性の例（リークの多い場合の例）を示すグラフである。本発明に係るガスリ−ク評価装置の実施例３を説明する図であり、高温用ガス透過率測定装置（基本型）を示す図である。実施例３で測定される被測定試料膜一例（単体膜）を示す図である。実施例３で測定される被測定試料一例（セル接続部模擬試料）を示す図である。実施例３の測定結果の一例を示すグラフである。代表的従来例として参考文献の測定回路を示す図である。低圧用の測定回路構成例を示す図である。

符号の説明

１ガスボンベ
２減圧弁
３質量流量型流量制御装置
５圧力計
６圧力計
７加圧装置
８質量流量型流量計
１０排気
１１ガス供給接続口
１２出口側流量測定装置接続口
２９Ｕ字管型圧力計
３０Ｕ字管型差圧計
３１バルブ
３２水柱式低圧発生装置
３３安全装置（水柱式安全弁）
３４ガス冷却装置
３６内圧測定用接続口
３７外圧測定用接続口
３８内圧測定プローブ
３９外圧測定プローブ
４１被測定試料一例
４２断熱材
４３電気炉
４４ヒータ
４５被測定試料ガス入口
４６被測定試料ガス出口
５０入口ガス定量供給装置
５１出口ガス流量測定装置
５２一つ穴用測定アダプター（行き止まり用対応）
５５セル試験用入口ガス定量供給装置
５６セル試験用出口ガス流量測定装置
６０燃料電池試験回路一例（２個口の場合）
６１測定用ガス入口側接続口
６２測定用ガス出口側接続口
６３発電用ガス供給ライン
６４発電用ガス排気ライン
６５燃料電池ユニット
６６燃料ガス供給接続口
６７燃料ガス排気接続口
６８酸化剤ガス供給接続口
６９酸化剤ガス排気接続口
７０燃料電池試験回路一例（１個口の場合）
７１平板型燃料電池
７２セパレ−タ
７３円筒型燃料電池
７４ガスマニホールド
７５電池収納容器
７６計測アダプターガス入口
７７計測アダプターガス出口
７８計測アダプターガス供給口
９０流量計
９１被測定試料
９２試料収納容器
９３試料内圧測定用プローブ
９４試料外圧測定用プローブ
９５石鹸膜流量計
９６Ｕ字管式差圧計
９７低圧発生装置
１２１圧力発生パイプ
１２２パイプ固定装置
１２３アクリルパイプ
１２４目盛り板
１２５給水バルブ
１２６オーバーフロー用バルブ
１２７排水バルブ
１２８液体（水）
１２９排気パイプ
２００被膜測定試料一例
２０１多孔質基板管
２０２ガスタイト膜
２０３被測定試料膜
２１０被測定試料一例
２１１接続管
２１２燃料電池
２１３接続スリーブ
２１４充填材
２１５ガラスパッキン
２２０試料ガス入口
２２１試料ガス出口
２２２試料外圧測定プローブ挿入口
２２３試料内圧測定プローブ挿入口
２２４試料透過ガス出口

Claims

気密検査時に被検査対象物入口側からガスを一定流量で連続供給する入口ガス定量供給装置と、被検査対象物出口側で通過ガス流量を測定する出口ガス流量測定装置とを備え、通過ガス流量の減少量で前記被検査対象物の気密検査をするガスリーク評価装置において、
前記出口ガス流量測定装置は、流量計及び被検査対象物出口側に接続される加圧装置を有し、前記被検査対象物に流量を一定に保って供給しながら、該加圧装置により被検査対象物の内圧を可変し、そのときのリーク量が圧力に比例して大きくなることを利用して、この圧力に対する出口側流量値を２点以上で求めて、その勾配からリ−ク検査を実施できるようにしたことを特徴とするガスリーク評価装置。
前記入口ガス定量供給装置は、温度、圧力に依存しないで流量値を直読、制御出来る質量流量型流量計を有し、該質量流量型流量計で測定される入力ガスの供給量が一定値となるようにガスを安定供給可能とすることを特徴とする請求項１記載のガスリーク評価装置。
前記加圧装置として水柱を用い、安定して低い圧力を印加出来るようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載のガスリーク評価装置。
前記出口ガス流量測定装置は、温度、圧力に依存しないで流量値を直読出来る質量流量型流量計を有することを特徴とする請求項１、２又は３記載のガスリーク評価装置。
前記出口ガス流量測定装置は、膜流量計を有することを特徴とする請求項１、２又は３記載のガスリーク評価装置。
前記加圧装置で印加することで耐圧試験にも使用可能であることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載のガスリーク評価装置。
前記入口ガス定量供給装置及び前記出口ガス流量測定装置が電気炉に接続され、該電気炉内で加熱された高温の試料の測定に使用されることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載のガスリーク評価装置。