JP4274200B2 - Deposition polyester film - Google Patents

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Description

本発明は、蒸着ポリエステルフィルムに関し、詳しくは、金属や金属酸化物の薄膜を形成してなる蒸着フィルムにおいて基材として特定の基材ポリエステルフィルムを用いた蒸着ポリエステルフィルムに関する。 The present invention relates to a vapor-deposited polyester film, and more particularly, to a vapor-deposited polyester film using a specific substrate polyester film as a substrate in a vapor-deposited film formed by forming a metal or metal oxide thin film .

蒸着ポリエステルフイルムは、蒸着する金属及び/又は金属酸化物を選択することにより、ガスバリアー性、水分不透過性、可視・紫外光の遮蔽性、熱線反射性、導電性、透明導電性、磁気記録性などの特性を種々に変更し得るため、各種の用途に利用されている。例えば、包装材料、装飾用材料、窓ガラスの遮蔽用材料、金・銀糸用材料、コンデンサー材料、表示材料、配線基板材料、磁気記録材料などに利用されている。この蒸着ポリエステルフイルムは、特に、フイルムの加工工程中や水分との接触により、蒸着膜の部分的な剥離を惹起し、蒸着膜としての特性、例えば、ガスバリアー性が低下する問題がある。   Vapor-deposited polyester film can be selected from metal and / or metal oxide to be vapor-deposited, gas barrier properties, moisture impermeability, visible / ultraviolet light shielding properties, heat ray reflectivity, conductivity, transparent conductivity, magnetic recording Since characteristics such as property can be changed in various ways, they are used for various purposes. For example, it is used for packaging materials, decorative materials, window glass shielding materials, gold / silver thread materials, capacitor materials, display materials, wiring board materials, magnetic recording materials, and the like. This vapor-deposited polyester film has a problem that the vapor-deposited film is partially peeled during the film processing step or in contact with moisture, and the characteristics as the vapor-deposited film, for example, the gas barrier property is lowered.

従来、ガスバリアー性の低下を防止するため、蒸着ポリエステルフイルムの基材フイルムと蒸着層との間に、各種ポリウレタン、各種ポリエステル、または、ポリウレタンとポリエステルの混合物等のアンカーコート剤(塗布剤)から成る塗布層(下塗り層)を設ける方法が知られている(例えば特許文献1参照)。更に、耐水接着性および耐溶剤性を改良するため、特殊なポリウレタン、ポリエステル及びエポキシ化合物とを含有するアンカーコート剤が提案されている(例えば特許文献2参照)。   Conventionally, in order to prevent the gas barrier property from being lowered, the anchor coating agent (coating agent) such as various polyurethanes, various polyesters, or a mixture of polyurethane and polyester is used between the base film of the vapor-deposited polyester film and the vapor-deposited layer. A method of providing a coating layer (undercoat layer) is known (see, for example, Patent Document 1). Furthermore, in order to improve water-resistant adhesion and solvent resistance, an anchor coating agent containing a special polyurethane, polyester and epoxy compound has been proposed (see, for example, Patent Document 2).

特開平2−50837号公報JP-A-2-50837 特開平4−176858号公報JP-A-4-176858

しかしながら、上記の蒸着ポリエステルフイルムは、何れも、高温下における耐水性(耐熱水性)及び耐溶剤性が不十分であり、従って、食品包装用とした場合、ボイル処理後や溶剤系のインキによる印刷後のガスバリアー性が必ずしも十分ではない。特に、ポリエステルフイルム屑を再利用した蒸着ポリエステルフイルムでは、ガスバリアー性が著しく低下する欠点がある。更に、蒸着ポリエステルフイルムの用途が広がるにつれ、より強い接着性や信頼性の高いガスバリアー性を有する蒸着ポリエステルフイルムが求められている。   However, any of the above-mentioned vapor-deposited polyester films has insufficient water resistance (hot water resistance) and solvent resistance at high temperatures. Therefore, when used for food packaging, printing is performed after boiling treatment or with solvent-based ink. Later gas barrier properties are not always sufficient. In particular, a vapor-deposited polyester film that reuses polyester film waste has a drawback that the gas barrier property is remarkably lowered. Further, as the use of the vapor-deposited polyester film is expanded, there is a demand for a vapor-deposited polyester film having stronger adhesiveness and highly reliable gas barrier properties.

また、アンカーコート剤による塗布層は、フイルムの製膜後に設けてもよいが、フイルムの製膜工程で設けるインラインコート法も可能である。例えば、フイルムが二軸延伸フイルムの場合は、一軸延伸したフイルムにアンカーコート剤を塗布し、乾燥または未乾燥の状態で横方向に延伸し、次いで、熱処理を施す方法は、製膜、塗布および乾燥を同時に行えることから、製造コスト面において大きなメリットが期待できる。しかしながら、このインラインコート法で塗布層を設けた蒸着用の基材ポリエステルフィルムとしては適当なものは知られておらず、該基材ポリエステルフィルムより得られる蒸着フィルムは、通常の方法により得られる蒸着フィルム以上に、耐溶剤性、耐熱水性が不十分であり、印刷後や或いはボイル及びレトルト等の熱水処理後のガスバリア性が著しく低下するという問題がある。   Further, the coating layer with the anchor coating agent may be provided after the film is formed, but an in-line coating method provided in the film forming process is also possible. For example, when the film is a biaxially stretched film, the anchor coating agent is applied to the uniaxially stretched film, stretched in the transverse direction in a dry or undried state, and then subjected to heat treatment. Since drying can be performed simultaneously, a great merit can be expected in terms of manufacturing cost. However, an appropriate base polyester film for vapor deposition provided with a coating layer by this in-line coating method is not known, and a vapor deposition film obtained from the base polyester film is a vapor deposition obtained by an ordinary method. There is a problem that the solvent resistance and hot water resistance are insufficient as compared with the film, and the gas barrier properties after printing or after hot water treatment such as boiling and retort are remarkably lowered.

本発明者等は、上記実状に鑑み、上記課題を解決するために鋭意検討を行った結果、基材のポリエステルフィルムとしてインラインコートした塗布層の表面の粗さを一定の範囲としたものを基材フィルムとして使用した蒸着フィルムによれば、接着性、耐溶剤性及びボイル処理後のガスバリア性等に優れた良好な蒸着フィルムが提供できることを見出し、本発明に到達した。   In view of the above situation, the present inventors have conducted extensive studies to solve the above problems, and as a result, based on the surface roughness of the coating layer coated in-line as the polyester film of the base material. According to the vapor deposition film used as the material film, it has been found that a good vapor deposition film excellent in adhesion, solvent resistance, gas barrier properties after the boil treatment, and the like can be provided, and the present invention has been achieved.

即ち、本発明は、基材ポリエステルフィルムの塗布層表面に金属及び/又は金属酸化物からなる薄膜を形成してなる蒸着ポリエステルフィルムであって、基材ポリエステルフィルムが、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に水溶性若しくは水分散性のアクリル系樹脂と水性ポリウレタン系樹脂を含有するアンカーコート剤を塗布し、次いで少なくとも1方向に延伸して形成された塗布層の表面粗さRmsが0.7〜6nmであり、且つ、表面凹凸の低周波成分を除いた表面粗さRmsが0.5nm以下である基材ポリエステルフィルムであり、しかも、蒸着ポリエステルフィルムの酸素透過率が1(cc/m 2 /day)以下であることを特徴とする蒸着ポリエステルフィルムに関する。 That is, the present invention is a vapor-deposited polyester film formed by forming a metal and / or metal oxide thin film on the surface of a base polyester film, wherein the base polyester film is water-soluble on at least one side of the polyester film. The surface roughness Rms of the coating layer formed by applying an anchor coating agent containing a water-soluble or water-dispersible acrylic resin and an aqueous polyurethane resin and then stretching in at least one direction is 0.7 to 6 nm. and, the surface roughness Rms excluding the low frequency components of the surface irregularities are der Ru base polyester film below 0.5 nm, moreover, the oxygen permeability of the deposited polyester film 1 (cc / m 2 / day ) It is related with the vapor deposition polyester film characterized by the following .

本発明の蒸着ポリエステルフィルムは、水蒸気や酸素のガスバリア性に優れるうえに、耐溶剤性や熱水処理後のガスバリア性などにおいても優れており、かつ、安価に製造することができる。かかる蒸着ポリエステルフィルムは、他のプラスチックフィルムや紙等と積層して使用したり、薄膜の上に硬化膜層をつけて使用することができ、水蒸気や酸素等の各種ガスの遮断を必要とする物品の包装、食品や工業用品及び医薬品等の変質を防止するため包装用途などに応用できる。 Vapor deposition polyester film of the present invention, in terms of excellent gas barrier properties of water vapor and oxygen, and excellent in such as gas barrier property after solvent resistance and hot water treatment, and can be manufactured at low cost. Such a vapor-deposited polyester film can be used by being laminated with other plastic films, paper, etc., or can be used with a cured film layer on a thin film, which requires blocking of various gases such as water vapor and oxygen. It can be applied to packaging applications, etc. in order to prevent the deterioration of products, packaging of foods, industrial products and pharmaceuticals.

以下、本発明を詳細に説明する。本発明におけるポリエステルとは、その構成単位の80モル%以上がエチレンテレフタレートであるポリエチレンテレフタレート、その構成単位の80モル%以上がエチレンナフタレートであるポリエチレンナフタレート等で代表されるが、特にに限定されない。上記の構成成分以外の共重合成分としては、例えば、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、シクロヘキサンジメタノール等のジオール成分、イソフタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸およびそのエステル形成性誘導体のジカルボン酸成分などを使用することができる。また、本発明におけるポリエステルは、ポリエステルフイルム製品の製造過程で発生するスクラップフイルムのチップ状に加工した再生ポリエステルを省資源化の観点から使用してもよい。   Hereinafter, the present invention will be described in detail. The polyester in the present invention is represented by polyethylene terephthalate in which 80 mol% or more of the structural unit is ethylene terephthalate, polyethylene naphthalate in which 80 mol% or more of the structural unit is ethylene naphthalate, etc. Not. Examples of copolymer components other than the above components include diol components such as diethylene glycol, propylene glycol, neopentyl glycol, and cyclohexane dimethanol, isophthalic acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, and dicarboxylic esters thereof. An acid component or the like can be used. Moreover, the polyester in this invention may use the reproduction | regeneration polyester processed into the chip form of the scrap film generated in the manufacturing process of a polyester film product from a viewpoint of resource saving.

なお、本発明におけるポリエステル中には、フイルム表面の突起を形成する添加粒子、析出粒子、その他の触媒残渣を用途に応じて当業者が常用する量の範囲で含有していてもよい。また、上記の突起形成剤以外の添加剤として、必要に応じて、帯電防止剤、安定剤、潤滑剤、架橋剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤、着色剤、光線遮断剤、紫外線吸収剤などを含有していてもよい。   The polyester in the present invention may contain additive particles that form projections on the film surface, precipitated particles, and other catalyst residues in a range that is commonly used by those skilled in the art depending on the application. Further, as additives other than the above-described protrusion forming agent, an antistatic agent, a stabilizer, a lubricant, a crosslinking agent, an antiblocking agent, an antioxidant, a colorant, a light blocking agent, an ultraviolet absorber, etc. May be contained.

かかるポリエステル原料を用いたフィルムは、従来公知の一般的な方法により製造することができる。例えば、原料樹脂を押し出し機により溶融し、環状ダイやTダイにより押し出して、急冷することにより実質的に無定型で配向していない未延伸フィルムを製造することができる。この未延伸フィルムを一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸などの従来公知の一般的な方法により、フィルムの流れ(縦軸)方向又はフィルムの流れ方向とそれに直角な(横軸)方向に延伸することにより、最終的に少なくとも1方向に延伸したフィルムを製造することができる。   A film using such a polyester raw material can be produced by a conventionally known general method. For example, an unstretched film that is substantially amorphous and not oriented can be produced by melting a raw material resin with an extruder, extruding it with an annular die or a T die, and rapidly cooling it. The unstretched film is subjected to a film flow (vertical axis) direction or a film by a conventionally known general method such as uniaxial stretching, tenter sequential biaxial stretching, tenter simultaneous biaxial stretching, and tubular simultaneous biaxial stretching. The film stretched in at least one direction can be finally produced by stretching in the flow direction and the direction perpendicular to the flow direction (horizontal axis).

ポリエステルフィルムの厚さは、蒸着フィルムの基材としての機械強度、可撓性、透明性等、用途に応じ、通常5〜500μm、好ましくは10〜200μmの範囲より選択される。また、フィルムの幅や長さは特に制限はなく、適宜用途に応じて選択することができる。また、該ポリエステルフィルムには、塗布層を形成させる前に予め、コロナ放電処理、火炎処理、プラズマ処理、グロー放電処理、薬品処理などの従来公知の方法による表面処理などを行うこともできる。   The thickness of the polyester film is usually selected from the range of 5 to 500 μm, preferably 10 to 200 μm, depending on the application, such as mechanical strength, flexibility and transparency as the base material of the deposited film. Further, the width and length of the film are not particularly limited and can be appropriately selected according to the intended use. In addition, the polyester film can be subjected to surface treatment by a conventionally known method such as corona discharge treatment, flame treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, chemical treatment, etc. before forming the coating layer.

本発明では、フィルム製造工程内で、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、未延伸若しくは一軸延伸の段階で、アンカーコート剤を塗布する。例えば、塗布層を有する二軸延伸フィルムの場合は、好ましくは縦方向(フィルム流れ方向)に一軸延伸したフィルムにアンカーコート剤を塗布し、乾燥または未乾燥の状態で横方向に延伸し、次いで、必要に応じて熱処理を施す。   In the present invention, the anchor coating agent is applied to at least one surface of the polyester film in an unstretched or uniaxially stretched stage in the film manufacturing process. For example, in the case of a biaxially stretched film having a coating layer, an anchor coat agent is preferably applied to a film uniaxially stretched in the machine direction (film flow direction), and stretched in the transverse direction in a dry or undried state, If necessary, heat treatment is performed.

その具体的な塗布方法としては、エアドクタコータ、ロッドコータ、リバースロールコータ、グラビアコータ、キスコータ等による公知の方法が採用できる。アンカーコート処理によれば、一般的に薄膜とフィルムとの密着性を向上させることができるが、その結果として良好なガスバリア性、密着性、耐溶剤性、耐熱水性が発現しやすくなる。アンカーコート剤の厚さは、使用するポリエステルフィルムの表面凹凸に合わせ、通常0.005〜5μm、好ましくは0.01〜1μmの範囲で選択される。通常0.005μm未満では、塗布むらが生じ、一方5μmを越えても塗布層の厚さむらが生じたり、フィルムの滑性が低下する傾向があるので好ましくない。   As a specific coating method, known methods such as an air doctor coater, a rod coater, a reverse roll coater, a gravure coater, and a kiss coater can be employed. According to the anchor coating treatment, the adhesion between the thin film and the film can be generally improved, but as a result, good gas barrier properties, adhesion, solvent resistance, and hot water resistance are easily exhibited. The thickness of the anchor coating agent is selected in the range of usually 0.005 to 5 μm, preferably 0.01 to 1 μm, in accordance with the surface unevenness of the polyester film to be used. Usually, when the thickness is less than 0.005 μm, uneven coating occurs. On the other hand, when the thickness exceeds 5 μm, uneven thickness of the coating layer tends to occur and the slipperiness of the film tends to decrease.

アンカーコート剤としては、水溶性若しくは水分散性のアクリル系樹脂と水性ポリウレタン系樹脂を含有するアンカーコート剤を使用するが、ポリエステル系樹脂、オキサゾリン基含有樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂、変性スチレン樹脂、変性シリコン樹脂及びアルキルチタネート等を単独或いは2種以上併せて使用することができる The anchor coating agent, but using the anchor coating agent containing water-soluble or water-dispersible acrylic resin and an aqueous polyurethane resin, Po Riesuteru type resin, Oh Kisazorin group containing resins, ethylene vinyl alcohol resins, vinyl-modified Resins, epoxy resins, modified styrene resins, modified silicone resins, alkyl titanates, and the like can be used alone or in combination of two or more .

上記のアクリル系樹脂とは、アルキルアクリレート及び/又はアルキルメタクリレートを主要な成分とする樹脂であり、具体的には、アルキルアクリレート及び/又はアルキルメタクリレート成分の含有割合が通常40〜95モル%、共重合可能で且つ官能基を有するビニル単量体成分の含有割合が通常5〜60モル%の無乳化剤タイプの水溶性または水分散性樹脂が望ましい。上記のビニル単量体における官能基としては、例えば、カルボキシル基、酸無水物基、スルホン酸基またはその塩、アミド基またはアルキロール化されたアミド基、アミノ基(置換アミノ基を含む)、アルキロール化されたアミノ基またはそれらの塩、水酸基、エポキシ基などが挙げられ、特に、カルボキシル基、酸無水物基、エポキシ基などが好ましい。   The acrylic resin is a resin mainly composed of alkyl acrylate and / or alkyl methacrylate. Specifically, the content ratio of the alkyl acrylate and / or alkyl methacrylate component is usually 40 to 95 mol%. A water-soluble or water-dispersible resin of an emulsifier-free type in which the content of the vinyl monomer component that can be polymerized and has a functional group is usually 5 to 60 mol% is desirable. Examples of the functional group in the vinyl monomer include a carboxyl group, an acid anhydride group, a sulfonic acid group or a salt thereof, an amide group or an alkylolated amide group, an amino group (including a substituted amino group), Examples thereof include an alkylolated amino group or a salt thereof, a hydroxyl group, and an epoxy group, and a carboxyl group, an acid anhydride group, an epoxy group, and the like are particularly preferable.

前記のポリエステル系樹脂は、好ましくは低分子の親水性分散剤などを含有しない水溶性又は水分散性のものが望ましい。かかるポリエステル系樹脂は、水媒体との親和性を高めるため、カルボキシル基又はその塩(以下、単にカルボキシル基と省略する)を含有するものが好ましい。前記のポリウレタン系樹脂は、ポリヒドロキシ化合物とポリイソシアネート化合物とを常法に従って反応させることにより製造される水溶性又は水分散性のものが望ましく、カルボキシル基を含有するものが好ましい。   The polyester resin is preferably a water-soluble or water-dispersible resin that does not contain a low molecular weight hydrophilic dispersant or the like. Such a polyester resin preferably contains a carboxyl group or a salt thereof (hereinafter simply abbreviated as a carboxyl group) in order to increase the affinity with an aqueous medium. The polyurethane resin is preferably a water-soluble or water-dispersible resin produced by reacting a polyhydroxy compound and a polyisocyanate compound according to a conventional method, and preferably contains a carboxyl group.

前記のオキサゾリン基含有樹脂とは、好ましくは、特公平6−39548号公報等に記載の付加重合性オキサゾリン、及び必要に応じて少なくとも1種の他のモノマーを重合して得られる水溶性または水分散性重合体である。この付加重合性オキサゾリンとしては、例えば、2−ビニル−2−オキサゾリン、2−ビニル−4−メチル−2−オキサゾリン、2−ビニル−5−メチル−2−オキサゾリン、2−イソプロペニル−2−オキサゾリン、2−イソプロペニル−4−メチル−2−オキサゾリン、2−イソプロペニル−5−エチル−2−オキサゾリン等が挙げられ、これらは2種以上を併用してもよい。また、付加重合性オキサゾリンと共重合可能なモノマーであれば制限なく、例えば、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸−2−エチルヘキシル等のメタクリル酸エステル類、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸などの不飽和カルボン酸類、メタクリロニトリル等の不飽和ニトリル類、メタクリルアミド、N−メチロール化メタクリルアミド等の不飽和アミド類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のビニルエステル類、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル等のビニルエーテル類、エチレン、プロピレン等のα−オレフィン類、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル等の含ハロゲンα、β−不飽和モノマー類、スチレン、α−メチルスチレン等のα、β−不飽和芳香族モノマー等が挙げられ、これらは2種以上を併用してもよい。   The oxazoline group-containing resin is preferably water-soluble or water obtained by polymerizing an addition-polymerizable oxazoline described in JP-B-6-39548 and at least one other monomer as required. Dispersible polymer. Examples of this addition polymerizable oxazoline include 2-vinyl-2-oxazoline, 2-vinyl-4-methyl-2-oxazoline, 2-vinyl-5-methyl-2-oxazoline, 2-isopropenyl-2-oxazoline. 2-isopropenyl-4-methyl-2-oxazoline, 2-isopropenyl-5-ethyl-2-oxazoline and the like, and two or more of these may be used in combination. In addition, there is no limitation as long as it is a monomer copolymerizable with addition polymerizable oxazoline. For example, methacrylic acid esters such as methyl methacrylate, butyl methacrylate, and 2-ethylhexyl methacrylate, methacrylic acid, itaconic acid, maleic acid, etc. Unsaturated carboxylic acids, unsaturated nitriles such as methacrylonitrile, unsaturated amides such as methacrylamide and N-methylol methacrylamide, vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate, methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether, etc. Vinyl ethers, α-olefins such as ethylene and propylene, halogen-containing α and β-unsaturated monomers such as vinyl chloride, vinylidene chloride and vinyl fluoride, α and β-unsaturated such as styrene and α-methylstyrene Aromatic monomers and the like, and these are 2 It may be used in combination or more.

更に、以上の樹脂化合物を用いる場合、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等のエポキシ化合物を併用すると、樹脂化合物におけるカルボキシル基等の側鎖に架橋して蒸着膜との接着性を高めることができる。以上のアンカーコート剤は、通常、水や有機溶媒に希釈して溶液や分散液としてポリエステルフィルムの表面に塗布される。なお、この際の塗布液中には、従来公知のシランカップリング剤等々の架橋剤、無機系微粒子、消泡剤、発泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、帯電防止剤、潤滑剤、高分子粒子、酸化防止剤、紫外線吸収剤、染料、顔料等を添加することもできる。   Furthermore, when using the above resin compound, when epoxy compounds, such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, are used together, it can bridge | crosslink to side chains, such as a carboxyl group, in a resin compound, and can improve adhesiveness with a vapor deposition film. The above anchor coating agent is usually diluted with water or an organic solvent and applied to the surface of the polyester film as a solution or dispersion. In addition, in the coating solution at this time, a conventionally known crosslinking agent such as a silane coupling agent, inorganic fine particles, antifoaming agent, foaming agent, coating property improving agent, thickener, antistatic agent, lubricant, Polymer particles, antioxidants, ultraviolet absorbers, dyes, pigments and the like can also be added.

本発明は、以上のように、アンカーコート剤をポリエステルフィルムの少なくとも片面に塗布して塗布層を形成させ、次いで、少なくとも1方向に延伸された後の塗布層の表面粗さRms(A)が0.7〜6nmであり、表面凹凸の低周波成分を除いた粗さRms(B)が0.5nm以下であること、好ましくは(A)が0.8〜5nmであり、(B)が0.4nm以下であることを特徴とする。   In the present invention, as described above, the anchor coating agent is applied to at least one surface of the polyester film to form a coating layer, and then the surface roughness Rms (A) of the coating layer after being stretched in at least one direction is The roughness Rms (B) excluding the low frequency component of the surface irregularities is 0.7 to 6 nm, preferably 0.5 nm or less, preferably (A) is 0.8 to 5 nm, and (B) is It is 0.4 nm or less.

インラインコート法の場合、アンカーコート塗布後に延伸を行うため、塗布層が分断するような表面形態を取りやすい。そのため、表面粗さ(A)が0.7nm未満である場合は、表面凹凸が細かすぎて(例えば、凹凸の水平方向間隔が約0.1μm、凹凸高さ約3nm)、薄膜粒子の密着性、粒子堆積の緻密さ等が弱くなるので好ましくない。また、表面粗さ(A)が6nmを越える場合は、塗布むらによる問題が生じやすくなるので好ましくない。   In the case of the in-line coating method, since the stretching is performed after the anchor coating is applied, it is easy to take a surface form in which the coating layer is divided. Therefore, when the surface roughness (A) is less than 0.7 nm, the surface unevenness is too fine (for example, the horizontal interval between the unevenness is about 0.1 μm, the unevenness height is about 3 nm), and the adhesion of the thin film particles. This is not preferable because the density of particle deposition becomes weak. Further, when the surface roughness (A) exceeds 6 nm, a problem due to uneven coating tends to occur, which is not preferable.

そして、粗さ(B)とは、測定面積において大きなうねり、即ち表面凹凸の低周波数成分を除いて、大きなうねりの上に存在する微小な凹凸の粗さのことを意味する。この粗さ(B)は、蒸着した粒子の大きさとの関係から最適範囲がRms0.5nm以下となる。蒸着する粒子が、より緻密に隙間なく堆積して成膜することで、蒸着フィルムのガスバリア性が向上するため、大きなうねり(凹凸の低周波数成分)の上に存在する微小な凹凸が、蒸着粒子の堆積の仕方に影響するものと推定される。従って、粗さ(B)がRms0.5nmを越えると、その凹凸により薄膜粒子が緻密に堆積されなかったり、薄膜と基材フィルムとの密着性が弱くなるという問題が生じるものと考えられる。   The roughness (B) means a large waviness in the measurement area, that is, a roughness of minute unevenness present on the large waviness excluding a low frequency component of the surface unevenness. This roughness (B) has an optimum range of Rms 0.5 nm or less from the relationship with the size of the deposited particles. Because the vapor deposition particles are deposited more densely and without gaps, and the gas barrier property of the vapor deposition film is improved, the minute irregularities present on the large undulations (low frequency components of the irregularities) It is presumed that it affects the way of the deposition of. Therefore, it is considered that when the roughness (B) exceeds Rms 0.5 nm, the thin film particles are not densely deposited due to the unevenness, and the adhesion between the thin film and the base film is weakened.

このような表面粗さの特性を有する本発明の蒸着フィルム用の基材フィルムを得るためには、製造方法におけるアンカーコート剤の塗布条件、塗布後の延伸条件等の製造条件が大きく影響するが、アンカーコート剤の種類や組成等も大きな影響を与えうる。なお、ここでの塗布層面の表面粗さは、通常市販されている原子間力顕微鏡(以下、「AFM」という。)により測定したAFMトポグラフィ像を粗さ解析により求めた粗さRms(自乗平均平方根粗さ)の値である。このAFMトポグラフィ像の測定では、共振モードに相当する測定モードが採用される。例えば、DigitalInstruments社製装置を使用した場合にはタッピングモードで、またセイコーインスツルメンツ社製装置を使用した場合にはダイナミックフォースモードで測定を実施するとよい。また、上記のトポグラフィ像とは、物の表面の凹凸形状を表した像のことをいう。   In order to obtain the base film for the vapor deposition film of the present invention having such surface roughness characteristics, the production conditions such as the application conditions of the anchor coating agent in the production method and the stretching conditions after application are greatly affected. Also, the type and composition of the anchor coating agent can have a great influence. The surface roughness of the coating layer surface here is a roughness Rms (root mean square) obtained by roughness analysis of an AFM topography image measured by a commercially available atomic force microscope (hereinafter referred to as “AFM”). Square root roughness). In the measurement of the AFM topography image, a measurement mode corresponding to the resonance mode is employed. For example, the measurement may be performed in a tapping mode when an apparatus manufactured by Digital Instruments is used, and in a dynamic force mode when an apparatus manufactured by Seiko Instruments Inc. is used. Further, the above topographic image refers to an image representing the uneven shape of the surface of an object.

表面粗さ(A)は、例えば、セイコーインスツルメンツ社製SPI3700を使用し、測定面積1x1μm角で測定し、該AFM装置に付属のソフトウエアで傾斜自動補正処理を行い、次いで、そうして得たトポグラフィ像について、同様に付属のソフトウエアで3次元粗さ解析を行い、Rms値を得る。但し、測定は、誤差が大きくならないように、フィルム中に含まれるフィラー等が表面形状に現れている箇所を避けて行う。   The surface roughness (A) was obtained by using, for example, an SPI 3700 manufactured by Seiko Instruments Inc., measuring with a measurement area of 1 × 1 μm square, performing an automatic tilt correction process with software attached to the AFM apparatus, and then obtained as described above. Similarly, the topographic image is subjected to a three-dimensional roughness analysis with attached software to obtain an Rms value. However, the measurement is performed by avoiding a portion where the filler contained in the film appears on the surface shape so that the error does not increase.

また、表面粗さ(B)は、表面粗さ(A)で測定し傾斜自動補正処理を行ったのと同じトポグラフィ像について、高速フーリエ変換を行い、x、y方向とも25/μm以下を遮断周波数として表面凹凸の低周波成分を除去する。更に、逆フーリエ変換を行い、低周波数成分を除去した後のトポグラフィ像を再生する。その再生した像は、周辺部に歪みを持つ為、周辺部を除外した中央部約800nm角を選択して3次元粗さ解析を行い、Rms値を得る。   The surface roughness (B) is measured by the surface roughness (A) and subjected to the fast topographic image on the same topographic image as that subjected to the automatic tilt correction process, and blocks 25 / μm or less in both the x and y directions. The low frequency component of the surface unevenness is removed as the frequency. Furthermore, the inverse Fourier transform is performed to reproduce the topography image after removing the low frequency components. Since the reproduced image has a distortion in the peripheral portion, a three-dimensional roughness analysis is performed by selecting a central 800 nm square excluding the peripheral portion, and an Rms value is obtained.

以上のようなアンカーコート処理を施したポリエステルフィルムは、蒸着フィルムの基材フィルムとして用いられる。本発明において、蒸着する金属及び/又は金属酸化物としては、例えば、アルミニウム、珪素、マグネシウム、パラジウム、亜鉛、錫、ニッケル、銀、銅、金、インジウム、ステンレス鋼、クロム、チタン等の金属、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化アンチモン、酸化インジウム、酸化カルシウム、酸化カドミウム、酸化銀、酸化金、酸化クロム、珪素酸化物、酸化コバルト、酸化ジルコニウム、酸化スズ、酸化チタン、酸化鉄、酸化銅、酸化ニッケル、酸化白金、酸化パラジウム、酸化ビスマス、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化モリブデン、酸化バナジウム、酸化バリウム等の金属酸化物が挙げられるが、珪素酸化物、酸化アルミニウムが、高度な酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性及び透明性を兼ね備え、且つ、工業的に安価であるので特に好ましい。かかる珪素酸化物、酸化アルミニウムは各々単独で使用してもよいし、混合物として使用してもよい。これらの金属及び/又は金属酸化物の蒸着の方法は、一般には真空蒸着によるが、イオンプレーティング、スパッタリング、CVD等の方法によってもよい。蒸着膜は、塗布層の表面に形成される。蒸着膜の厚さは、蒸着フイルムの最終用途によって適宜選択される。なお、蒸着後に接着性、特に、耐水接着性や耐擦傷性などを付与するため、蒸着面に樹脂保護層を設けてもよい。   The polyester film subjected to the anchor coating treatment as described above is used as a base film for a vapor deposition film. In the present invention, examples of the metal and / or metal oxide to be deposited include metals such as aluminum, silicon, magnesium, palladium, zinc, tin, nickel, silver, copper, gold, indium, stainless steel, chromium, and titanium, Aluminum oxide, zinc oxide, antimony oxide, indium oxide, calcium oxide, cadmium oxide, silver oxide, gold oxide, chromium oxide, silicon oxide, cobalt oxide, zirconium oxide, tin oxide, titanium oxide, iron oxide, copper oxide, oxide Metal oxides such as nickel, platinum oxide, palladium oxide, bismuth oxide, magnesium oxide, manganese oxide, molybdenum oxide, vanadium oxide, and barium oxide can be mentioned, but silicon oxide and aluminum oxide have a high oxygen gas barrier property, water vapor Combines barrier properties and transparency, and is industrially inexpensive A particularly preferred because there. Such silicon oxide and aluminum oxide may be used alone or as a mixture. The deposition method of these metals and / or metal oxides is generally vacuum deposition, but may be a method such as ion plating, sputtering, or CVD. The vapor deposition film is formed on the surface of the coating layer. The thickness of the deposited film is appropriately selected depending on the final use of the deposited film. In addition, a resin protective layer may be provided on the vapor deposition surface in order to provide adhesion after vapor deposition, in particular, water-resistant adhesion and scratch resistance.

以下、本発明の内容及び効果を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の例に限定されるものではない。なお、以下の実施例における基材ポリエステルフィルム及び蒸着ポリエステルフィルムの測定及び評価の方法は以下の通りである。   Hereinafter, the contents and effects of the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist. In addition, the method of the measurement and evaluation of the base polyester film and vapor deposition polyester film in a following example is as follows.

<基材ポリエステルフィルムの塗布層表面の粗さRms(A)>
原子間力顕微鏡(AFM)として、セイコーインスツルメンツ製走査型プローブ顕微鏡SPI3700を使用し、ダイナミックフォースモードで、実施例及び比較例での薄膜ガスバリア性フィルムの基材ポリエステルフィルムの表面を、測定面積1x1μm角、走査速度1Hz、x−y方向512x256分割、カンチレバーSI−DF−20(Si、f=126kHz、C=16N/m)の条件で測定したAFMトポグラフィ像について、傾斜自動補正処理を行い、次いで3次元粗さ解析を行い、Rms(nm)を求めた。この際、測定に用いるカンチレバーは、磨耗や汚れのない状態のものを用いた。また、測定する個所は、フィルム中の滑剤やフィラー等による突起や窪みのない箇所とした。
<Roughness Rms (A) of coating layer surface of base polyester film>
Using a scanning probe microscope SPI3700 manufactured by Seiko Instruments as an atomic force microscope (AFM), the surface of the base polyester film of the thin film gas barrier film in Examples and Comparative Examples is measured in a dynamic force mode with a measurement area of 1 × 1 μm square. The AFM topography image measured under the conditions of scanning speed 1 Hz, xy direction 512 × 256 division, cantilever SI-DF-20 (Si, f = 126 kHz, C = 16 N / m) was subjected to an automatic tilt correction process, and then 3 Dimensional roughness analysis was performed to determine Rms (nm). At this time, the cantilever used for the measurement was one that was not worn or soiled. Moreover, the location to measure was made into the location which does not have the protrusion and hollow by a lubricant, a filler, etc. in a film.

<基材ポリエステルフィルムの塗布層表面凹凸の低周波数成分を除いた粗さRms(B)>
上記の<基材フィルムの表面粗さ>で測定し傾斜自動補正処理を行ったトポグラフィ像について、高速フーリエ変換を行い、x、y方向とも25/μm以下を遮断周波数として表面凹凸の低周波成分を除去し、更に逆フーリエ変換を行い、低周波成分を除去した後のトポグラフィ像を再生した。その再生した像について、周辺部を除外した中央部約800nm角を選択して3次元粗さ解析を行い、Rms(nm)を求めた。
<Roughness Rms (B) excluding low-frequency components on the surface irregularities of the coating layer of the base polyester film>
The topography image measured by the above <surface roughness of the substrate film> and subjected to the automatic tilt correction process is subjected to a fast Fourier transform, and the low frequency component of the surface irregularities with a cutoff frequency of 25 / μm or less in both the x and y directions. And the inverse Fourier transform was performed to reproduce the topography image after removing the low frequency components. The reproduced image was subjected to a three-dimensional roughness analysis by selecting an approximately 800 nm square at the central portion excluding the peripheral portion to obtain Rms (nm).

<薄膜の厚さ>
実施例及び比較例により得られた蒸着フィルムの断面を透過型電子顕微鏡(日立製作所製H−600型)で観察し、薄膜の厚さを測定した。
<Thin film thickness>
The cross section of the vapor deposition film obtained by the Example and the comparative example was observed with the transmission electron microscope (Hitachi Ltd. H-600 type | mold), and the thickness of the thin film was measured.

<蒸着フィルムの酸素透過率(cc/m2/day)>
ASTMD−3985に準拠して、酸素透過率測定装置(モダンコントロール社製、OX−TRAN100)を使用し、25℃、相対湿度95%の条件下で測定し、次の基準で判定した。1以下;○(良)、2以上;×(不良)
<Oxygen transmission rate of vapor-deposited film (cc / m 2 / day)>
Based on ASTM D-3985, an oxygen transmission rate measurement device (OX-TRAN100, manufactured by Modern Control Co., Ltd.) was used, measured under conditions of 25 ° C. and relative humidity of 95%, and judged according to the following criteria. 1 or less; ○ (good), 2 or more; × (bad)

<蒸着フィルムの耐溶剤性試験>
薄膜面に東洋インキ製NewLPスーパー白グラビアインキを2μm厚印刷し、80℃、1分乾燥させ、23℃、相対湿度50%下で1日間経過後、酸素透過率を測定した。
<Solvent resistance test of deposited film>
A NewLP super white gravure ink made by Toyo Ink was printed on the thin film surface to a thickness of 2 μm, dried at 80 ° C. for 1 minute, and after 1 day at 23 ° C. and 50% relative humidity, the oxygen transmission rate was measured.

<蒸着フィルムの耐熱水性試験>
90℃、30分間ボイル処理し、水気を軽くふき取り、23℃、相対湿度50%下で1日間経過後、酸素透過率を測定した。
<Heat resistant water test of deposited film>
It was boiled at 90 ° C. for 30 minutes, lightly wiped off, and after one day at 23 ° C. and 50% relative humidity, the oxygen transmission rate was measured.

実施例1:
固有粘度0.62dl/gのポリエチレンテレフタレートを280〜300℃の温度で押し出し機の口金より押し出し、静電密着法を併用しつつ冷却ドラム状にキャストし、厚さ約150μmの無定形ポリエステルシートを得た。上記のシートを95℃で縦方向に3.5倍延伸した後、下記のA、C、Eをそれぞれ20、70、10重量部配合した水媒体塗布液をフィルムの片面に塗布し、更に、110℃で横方向に3.5倍延伸し、230℃で熱処理して、塗布層の厚さ0.1μm、基材のポリエステルフィルムの厚さ12μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。
Example 1:
Polyethylene terephthalate with an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g is extruded from the die of an extruder at a temperature of 280 to 300 ° C., cast into a cooling drum while using an electrostatic adhesion method, and an amorphous polyester sheet having a thickness of about 150 μm is formed. Obtained. After the above sheet was stretched 3.5 times in the longitudinal direction at 95 ° C., an aqueous medium coating solution containing 20, 70, and 10 parts by weight of the following A, C, and E was applied to one side of the film, The film was stretched 3.5 times in the transverse direction at 110 ° C. and heat-treated at 230 ° C. to obtain a biaxially stretched polyester film having a coating layer thickness of 0.1 μm and a base polyester film thickness of 12 μm.

このフィルムの塗布面に、巻取り式真空蒸着装置を使用し、蒸着材料としてSiO(住友シチックス(株)製)を高周波加熱方式で蒸発させ、圧力8x10-5Torrの条件下で、膜厚25nmの酸化珪素蒸着膜を形成し、珪素酸化物の薄膜が形成された蒸着フィルムを得た。この蒸着フィルムの物性結果を表−1に示す。   On the coated surface of this film, a roll-up vacuum deposition apparatus is used, and SiO (manufactured by Sumitomo Sitix Co., Ltd.) is evaporated as a deposition material by a high-frequency heating method, and the film thickness is 25 nm under the condition of a pressure of 8 × 10 −5 Torr. A silicon oxide vapor deposition film was formed to obtain a vapor deposition film on which a silicon oxide thin film was formed. The physical property results of this deposited film are shown in Table-1.

実施例2:
塗布液を、下記のA、B、C、Dをそれぞれ35、30、25、10重量部配合した水媒体塗布液に替えた他は、実施例1と同様にして二軸延伸ポリエステルフィルムを得、蒸着フィルムを得た。この蒸着フィルムの物性結果を表−1に示す。
Example 2:
A biaxially stretched polyester film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to an aqueous medium coating liquid containing 35, 30, 25, and 10 parts by weight of the following A, B, C, and D, respectively. A vapor deposition film was obtained. The physical property results of this deposited film are shown in Table-1.

実施例3:
塗布液を、下記のA、C、D、Eをそれぞれ40、40、10、10重量部配合した水媒体塗布液に替えた他は、実施例1と同様にして二軸延伸ポリエステルフィルムを得、蒸着フィルムを得た。この蒸着フィルムの物性結果を表−1に示す。
Example 3:
A biaxially stretched polyester film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to an aqueous medium coating liquid containing 40, 40, 10 and 10 parts by weight of the following A, C, D and E, respectively. A vapor deposition film was obtained. The physical property results of this deposited film are shown in Table-1.

比較例1:
塗布液を、下記のC、D、Eをそれぞれ70、20、10重量部配合した水媒体塗布液に替えた他は、実施例1と同様にして二軸延伸ポリエステルフィルムを得、蒸着フィルムを得た。この蒸着フィルムの物性結果を表−1に示す。
Comparative Example 1:
A biaxially stretched polyester film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to an aqueous medium coating liquid containing 70, 20, and 10 parts by weight of C, D, and E, respectively. Obtained. The physical property results of this deposited film are shown in Table-1.

比較例2:
塗布液を、下記のC、Eをそれぞれ70、30重量部配合した水媒体塗布液に替えた他は、実施例1と同様にして二軸延伸ポリエステルフィルムを得、蒸着フィルムを得た。この蒸着フィルムの物性結果を表−1に示す。
Comparative Example 2:
A biaxially stretched polyester film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to an aqueous medium coating liquid containing 70 and 30 parts by weight of C and E, respectively, to obtain a vapor-deposited film. The physical property results of this deposited film are shown in Table-1.

・樹脂A:水性アクリル系樹脂アクリル酸エチル40重量部、メタクリル酸メチル30重量部、メタクリル酸20重量部、グリシジルメタクリレート10重量部の混合物をエチルアルコール中で溶液重合し、重合後水を加えつつ加熱しエチルアルコールを除去する。アンモニア水でpH7.5に調整し、水性アクリル系樹脂(無乳化剤タイプ)の塗布液を得た。 Resin A: Aqueous acrylic resin A mixture of 40 parts by weight of ethyl acrylate, 30 parts by weight of methyl methacrylate, 20 parts by weight of methacrylic acid, and 10 parts by weight of glycidyl methacrylate was solution polymerized in ethyl alcohol, and water was added after polymerization. Heat to remove ethyl alcohol. The pH was adjusted to 7.5 with aqueous ammonia to obtain a coating solution of an aqueous acrylic resin (non-emulsifier type).

・樹脂B:オキサゾリン基含有水溶性ポリマー溶液(水:1−メトキシ−2−イソプロパノール=1:2)として日本触媒(株)製エポクロスWS−500を使用した。 Resin B: EPOCROS WS-500 manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd. was used as a water-soluble polymer solution containing oxazoline groups (water: 1-methoxy-2-isopropanol = 1: 2).

・樹脂C:水性ポリウレタン系樹脂水性塗料先ず、テレフタル酸664重量部、イソフタル酸631重量部、1,4−ブタンジオール472重量部、ネオペンチルグリコール447重量部から成るポリエステルポリオールを得た。次いで、得られたポリエステルポリオールに、アジピン酸321重量部、ジメチロールプロピオン酸268重量部を加え、ペンダントカルボキシル基含有ポリエステルポリオールAを得た。更に、上記のポリエステルポリオールA1880重量部にヘキサメチレンジイソシアネート160重量部を加えて水性ポリウレタン系樹脂水性塗料を得た。 Resin C: Aqueous polyurethane-based resin aqueous paint First, a polyester polyol comprising 664 parts by weight of terephthalic acid, 631 parts by weight of isophthalic acid, 472 parts by weight of 1,4-butanediol, and 447 parts by weight of neopentyl glycol was obtained. Next, 321 parts by weight of adipic acid and 268 parts by weight of dimethylolpropionic acid were added to the obtained polyester polyol to obtain a pendant carboxyl group-containing polyester polyol A. Further, 160 parts by weight of hexamethylene diisocyanate was added to 1880 parts by weight of the above polyester polyol A to obtain an aqueous polyurethane resin aqueous coating material.

・樹脂D:カルボキシル基を有する水分散型ポリエステルとして日本合成化学工業製ポリエスターWR−961を使用した。 Resin D: Polyester WR-961 manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry was used as a water-dispersed polyester having a carboxyl group.

・化合物E:エポキシ化合物トリエチレングリコールジグリシジルエーテルを使用した。 Compound E: Epoxy compound triethylene glycol diglycidyl ether was used.

Claims (1)

基材ポリエステルフィルムの塗布層表面に金属及び/又は金属酸化物からなる薄膜を形成してなる蒸着ポリエステルフィルムであって、基材ポリエステルフィルムが、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に水溶性若しくは水分散性のアクリル系樹脂と水性ポリウレタン系樹脂を含有するアンカーコート剤を塗布し、次いで少なくとも1方向に延伸して形成された塗布層の表面粗さRmsが0.7〜6nmであり、且つ、表面凹凸の低周波成分を除いた表面粗さRmsが0.5nm以下である基材ポリエステルフィルムであり、しかも、蒸着ポリエステルフィルムの酸素透過率が1(cc/m 2 /day)以下であることを特徴とする蒸着ポリエステルフィルム(但し、上記のRms及び酸素透過率は次の方法で測定した値を意味する)

<基材ポリエステルフィルムの塗布層表面の粗さRms>
原子間力顕微鏡(AFM)として、セイコーインスツルメンツ製走査型プローブ顕微鏡SPI3700を使用し、ダイナミックフォースモードで、基材ポリエステルフィルムの表面を、測定面積1x1μm角、走査速度1Hz、x−y方向512x256分割、カンチレバーSI−DF−20(Si、f=126kHz、C=16N/m)の条件で測定したAFMトポグラフィ像について、傾斜自動補正処理を行い、次いで3次元粗さ解析を行い、Rms(nm)を求めた。この際、測定に用いるカンチレバーは、磨耗や汚れのない状態のものを用いた。また、測定する個所は、フィルム中の滑剤やフィラー等による突起や窪みのない箇所とした。
<基材ポリエステルフィルムの塗布層表面凹凸の低周波数成分を除いた粗さRms>
上記の<基材フィルムの表面粗さ>で測定し傾斜自動補正処理を行ったトポグラフィ像について、高速フーリエ変換を行い、x、y方向とも25/μm以下を遮断周波数として表面凹凸の低周波成分を除去し、更に逆フーリエ変換を行い、低周波成分を除去した後のトポグラフィ像を再生した。その再生した像について、周辺部を除外した中央部約800nm角を選択して3次元粗さ解析を行い、Rms(nm)を求めた。

<蒸着フィルムの酸素透過率(cc/m 2 /day)>
ASTMD−3985に準拠して、酸素透過率測定装置(モダンコントロール社製、OX−TRAN100)を使用し、25℃、相対湿度95%の条件下で測定した。
A vapor-deposited polyester film formed by forming a thin film made of a metal and / or metal oxide on the surface of a coating layer of a base polyester film, wherein the base polyester film is water-soluble or water-dispersible on at least one side of the polyester film . The surface roughness Rms of the coating layer formed by applying an anchor coating agent containing an acrylic resin and an aqueous polyurethane resin and then stretching in at least one direction is 0.7 to 6 nm, and surface irregularities wherein the low-frequency component obtained by removing surface roughness Rms is der Ru base polyester film below 0.5 nm, moreover, the oxygen permeability of the deposited polyester film is 1 (cc / m 2 / day ) or less Vapor-deposited polyester film (however, the above Rms and oxygen permeability mean values measured by the following method) .

<Roughness Rms of surface of coated layer of base polyester film>
As the atomic force microscope (AFM), a scanning probe microscope SPI3700 manufactured by Seiko Instruments Inc. is used, and the surface of the base polyester film is measured in a dynamic force mode with a measurement area of 1 × 1 μm square, a scanning speed of 1 Hz, and an x-y direction of 512 × 256 divisions. For AFM topography images measured under the conditions of cantilever SI-DF-20 (Si, f = 126 kHz, C = 16 N / m), automatic tilt correction processing is performed, then three-dimensional roughness analysis is performed, and Rms (nm) is calculated. Asked. At this time, the cantilever used for the measurement was one that was not worn or soiled. Moreover, the location to measure was made into the location which does not have the protrusion and hollow by a lubricant, a filler, etc. in a film.
<Roughness Rms excluding low-frequency components of the coating layer surface irregularities of the base polyester film>
The topography image measured by the above <surface roughness of the substrate film> and subjected to the automatic tilt correction process is subjected to a fast Fourier transform, and the low frequency component of the surface irregularities with a cutoff frequency of 25 / μm or less in both the x and y directions. And the inverse Fourier transform was performed to reproduce the topography image after removing the low frequency components. The reproduced image was subjected to a three-dimensional roughness analysis by selecting a central portion of about 800 nm square excluding the peripheral portion, and Rms (nm) was obtained.

<Oxygen transmission rate of vapor deposition film (cc / m 2 / day)>
Based on ASTM D-3985, an oxygen transmission rate measuring device (Modern Control, OX-TRAN100) was used, and measurement was performed under conditions of 25 ° C. and relative humidity of 95%.
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