JP4270718B2 - 基準波長光発生装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スペクトルアナライザ等において所定の基準波長光を発生する基準波長光発生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
通常、所定の測定光を用いて各種の測定を行う光スペクトラムアナライザ等の測定器では、測定結果を、横軸を波長に、縦軸を検出レベルにそれぞれ対応させてグラフ表示する場合が多い。このような測定結果の表示を行う場合に、温度やその他の環境によって横軸の波長が時間とともにずれてくる場合がある。このため、波長が既知の吸収スペクトルを有する所定の基準波長光を用いて、横軸に対応する波長の調整が行われる。このような校正に使用する基準波長光を発生する装置が基準波長光発生装置である。
【0003】
図9は、光スペクトラムアナライザ等に用いられる従来の基準波長光発生装置の構成を示す図である。図9に示す基準波長光発生装置200は、校正用に用いられる所定の基準波長光と、測定用に用いられる所定の測定光とを同時に発生するためのものであり、2つの光源210、240と、2つのファイバコリメータ212、214と、光学セル216とを含んで構成されている。
【0004】
2つの光源210、240は、例えば端面発光LEDを用いて形成されている。一方の光源210は基準波長光を発生するために用いられており、この光源210から放射された光は、光ファイバ220を介して一方のファイバコリメータ212に入射され、平行光に変換される。この平行光は、光学セル216を通すことにより、所定の波長成分が吸収される。光学セル216を通った後の平行光は、他方のファイバコリメータ214によって集光された後光ファイバ222を介して、基準波長光用光コネクタ230に導かれる。また、他方の光源240は測定光を発生するために用いられており、この光源240から放射された光は、光ファイバ224を介して、測定光用光コネクタ252に導かれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の基準波長光発生装置では、光学セル216を挟んで配置された2つのファイバコリメータ212、214の調整が容易ではないという問題があった。一方のファイバコリメータ212から出射された平行光が正確に他方のファイバコリメータ214に入射されるためには、2つのファイバコリメータの水平位置および垂直位置を調整するとともにそれぞれの傾斜角度も調整する必要がある。このように調整箇所が多く、しかも調整角度や水平位置、垂直位置の調整を同時に行う必要があるため、正確に所望の調整作業を行うことは容易ではない。
【0006】
また、上述した従来の基準波長光発生装置では、基準波長光と測定光を発生させるために、2つの光源210、240と、2つのファイバコリメータ212、214が用いられており、これらは比較的高価な部品であるため、製造コストの増大を招くという問題があった。例えば、上述した光ファイバ220、222の一方端に取り付けられるファイバコリメータ212、214には、比較的高価な部品であるセルフォックレンズが用いられている。
【0007】
本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、調整の手間を低減することができるとともに、部品点数の低減によるコストダウンが可能な基準波長光発生装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の基準波長光発生装置は、所定の波長範囲を有する光を発生する光源と、入射光に対して所定の波長成分を吸収する吸収部材と、前記吸収部材から出射された光を前記吸収部材方向に反射する反射部材と、前記光源から出射された光を前記吸収部材と前記吸収部材とは異なる方向の両方の向きに分岐して出射するととともに、前記吸収部材側から入射される光を前記光源と前記光源とは異なる方向の両方の向きに分岐して出射する光分岐手段と、前記光分岐手段から前記吸収部材側に光ファイバを通して出射された光を、前記光ファイバの端部において平行光に変換して前記吸収部材に入射するコリメータとを備え、前記分岐手段から前記光源とは異なる向きに分岐された光を基準波長光として出射するとともに、前記分岐手段から前記吸収部材とは異なる向きに分岐された光を測定光として出射することを特徴としている。反射部材によって反射された光は、反射部材の角度を調整するだけで、精度良く再び吸収部材に入射することができるため、基準波長光を発生させるために必要な調整作業の手間を大幅に低減することができる。また、基準波長光と測定光を一つの光源を用いて発生することができるため、部品点数の低減によるコストダウンが可能になる。さらに、コリメータによって平行光に変換された後の光は、吸収部材を通した後に反射部材によって反射することで、容易にその逆光路に沿って進行させることができる。特に、吸収部材との間で光の入出射を行うために用いられるコリメータの個数が1個ですむため、従来のように吸収部材の両端に合計2個のコリメータを使用する場合に比べて、比較的高価な部品であるコリメータの個数を低減することができ、これによるコストダウンが可能になる。
【0009】
また、上述した光分岐手段は、前記吸収部材側に出射される光のパワーの方が、前記吸収部材とは異なる方向に出射される光のパワーよりも小さくなるように光のパワー分岐比が設定されていることを特徴としている。このように光のパワー分岐比を設定することにより、測定光のパワーを大きく設定することができる。また、吸収部材側から光源側への戻り光を少なくすることができるため、光源が不安定となることを防止することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した一実施形態の基準波長光発生装置について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施形態の基準波長光発生装置の構成を示す図である。図1に示す基準波長光発生装置100は、光スペクトラムアナライザ等の各種の計測器に含まれており、校正用に用いられる所定の基準波長光と、測定用に用いられる所定の測定光とを同時に発生する。この基準波長光発生装置100は、光源10、光カプラ12、ファイバコリメータ14、光学セル16、平面鏡18を含んで構成されている。
【0011】
光源10は、例えば端面発光LEDを用いて形成されており、1.55μmをピークとする比較的広範囲な波長帯の光を放出する。
光カプラ12は、4つの入出力端子12A、12B、12C、12Dを有している。入出力端子12A、12Bのいずれかに入射された光は、光カプラ12によって所定の比率で分岐されて、2つの入出力端子12C、12Dから出射される。また、入出力端子12C、12Dのいずれかに入射された光は、光カプラ12によって所定の比率で分岐されて、2つの入出力端子12A、12Bから出射される。
【0012】
本実施形態の基準波長光発生装置100では、光源10から出射された光が入出力端子12Aに入射され、この入射光の一部が入出力端子12Cから出射される。この入出力端子12Cは、光ファイバ22を介して測定光用光コネクタ30に接続されており、入出力端子12Cから出射された光がそのまま測定光用光コネクタ30から測定光として取り出される。また、入出力端子12Aに対する入射光の残りが入出力端子12Dから出射される。この入出力端子12Dは、光ファイバ24を介してファイバコリメータ14に接続されており、入出力端子12Dから出射された光がファイバコリメータ14に入射されるとともに、このファイバコリメータ14から光ファイバ24に出射された光が再び入出力端子12Dに入射されるようになっている。
【0013】
このようにして再び入出力端子12Dに入射された光は、一部が入出力端子12Bから出射される。この入出力端子12Bは、光ファイバ26を介して基準波長光用光コネクタ32に接続されており、入出力端子12Bから出射された光がそのまま基準波長光用光コネクタ32から取り出される。
【0014】
ファイバコリメータ14は、光ファイバ24の一方端に取り付けられており、この一方端から出射された光を平行光に変換して光学セル16側に出射するとともに、光学セル16側から入射された平行光を集光して光ファイバ24の一方端に入射する。ファイバコリメータ14は、例えばセルフォックレンズが用いられる。
【0015】
光学セル16は、アセチレンガスが封印された吸収セルであり、光を透過させることにより所定の波長成分を吸収する。
平面鏡18は、光学セル16を挟んでファイバコリメータ14と対向する位置に配置されており、光学セル16を通った後に出射される平行光を反射して、再び光学セル16に入射させるために用いられる。入射される平行光の向きに垂直なXY平面を考えた場合に、X軸周りの回転角とY軸周りの回転角が別々に調整可能になっており、この調整によって反射光を入射光の向きに正確に折り返すことができる。
【0016】
上述した光カプラ12が光分岐手段に、光学セル16が吸収部材に、平面鏡18が反射部材にそれぞれ対応する。
本実施形態の基準波長光発生装置100はこのような構成を有しており、次のその作用を説明する。
【0017】
光源10から出射された光は、光カプラ12によって2つに分岐され、一方が光ファイバ22を介して測定光用光コネクタ30から出射され、他方が光ファイバ24を介してファイバコリメータ14から平行光として出射される。この出射された平行光は、光学セル16を通った後に平面鏡18で反射され、再び光学セル16を通った後にファイバコリメータ14で集光され、光ファイバ24を介して光カプラ12の入出力端子12Dに入射される。このようにして入出力端子12Dに入射された光は、光カプラ12によってさらに分岐され、一方が光ファイバ26を介して基準波長光用光コネクタ32から出射される。
【0018】
図2は、光源10から出射される光の特性を示す図である。横軸は波長に、縦軸は光強度にそれぞれ対応している。図2に示すように、光源10から出射される光の特性は、1550nm付近にピークがあり、このピーク位置から遠ざかるにしたがってなだらかに減衰していることがわかる。
【0019】
図3は、測定光用光コネクタ30から出射される光の特性を示す図である。測定光用光コネクタ30から出射される光は、光源10から出射された光を、光カプラ12を通すことにより全体の強度を減衰させたものであるため、基本的には図2に示した特性と同じになる。
【0020】
図4は、基準波長光用光コネクタ32から出射される光の特性を示す図である。基準波長光用光コネクタ32から出射される光は、光源10から出射された光を、光カプラ12を通すことにより全体の強度を減衰させるとともに、光学セル16を往復2回通すことにより、特定の波長成分に対応して部分的に強度を減衰させたものである。
【0021】
図5は、光学セル16を通すことにより生じる吸収スペクトルを示す図であり、図4に示した特性の1525nm付近を拡大したものである。また、図6は吸収スペクトルの具体的な値を示す図である。図5に示す吸収スペクトルには大別すると2つのグループがあり、左側のグループをRブランチ、右側のグループをPブランチと称する。図6は、Pブランチに含まれる吸収スペクトルの各ピークについて、波長が低いものから順に示したものである。これらの各ピークの波長は、温度等の使用環境によってほとんど変動がないため、本実施形態の基準波長光発生装置100が備わっている光スペクトラムアナライザにおいて、各種の測定結果の波長軸(横軸)を校正するために用いられる。
【0022】
このように、本実施形態の基準波長光発生装置100では、平面鏡18を用いることにより光学セル16から出射された平行光を再び光学セル16に向けて反射している。平行光を入射方向に折り返すだけであるため平面鏡18の傾斜状態を調整するだけでよく、図9に示した従来の基準波長光発生装置200のように、2つのファイバコリメータの垂直および水平方向を調整しながら角度を調整する場合に比べて、調整作業が非常に簡単になる。
【0023】
また、本実施形態の基準波長光発生装置100は、従来の基準波長光発生装置200では2つ必要だった光源とファイバコリメータがともに一つですむため、これらの高価な部品を減らすことによる大幅なコストダウンを実現することができる。なお、本実施形態では、新たに平面鏡18や光カプラ12が追加されているが、端面発光LEDを使用した光源やセルフォックレンズを使用したファイバコリメータに比べて比較的安価であるため、基準波長光発生装置100全体としてのコストダウンが可能になっている。
【0024】
さらに、本実施形態の基準波長光発生装置100では、光学セル16に光を2回通しているため、図9に示したような1回だけ光を通す場合に比べると、同じ減衰量を得ようとしたときの光学セル16の長さを半分にすることができる。したがって、装置全体の小型化が可能になる。
【0025】
ところで、上述した本実施形態の説明では、光カプラ12における光のパワー分岐比については特に言及していないが、50対50ではなく、測定光用光コネクタ30側に出射される光のパワーの方が、光学セル16側に出射される光のパワーよりも大きくなるように設定することが好ましい。特に、光スペクトラムアナライザにこの基準波長光発生装置100を用いる場合には、測定光用光コネクタ30から出射される測定光のパワーを大きくする必要がある。したがって、測定光に着目した場合に、光カプラ12による損失を最小限に抑えたい。また、基準波長光用光コネクタ32から出射される基準波長光は、波長の基準としてのみに使用するため、パワーが小さくても特に不都合はない。これらを考慮すると、上述した光カプラ12における光のパワー分岐比を90対10あるいは80対20程度に設定することが特に好ましい。
【0026】
また、このような光パワー分岐比を設定すると、入出力端子12Dから入射された光が入出力端子12Aから光源10側に出射される光のパワーを小さくすることができるため(入出力端子12Dから入射された光のパワーの1/10あるいは1/5となる)、光源10が不安定になって、所定の波長範囲を有する光(理想的には平らなスペクトルの光)にリップルが生じてしまうことを防止することができる。
【0027】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、基準波長光と同時に測定光を発生する基準波長光発生装置100について説明したが、基準波長光のみを発生するようにしてもよい。
【0028】
図7は、基準波長光のみを発生する基準波長光発生装置100Aの構成を示す図である。図7に示した基準波長光発生装置100Aは、図1に示した基準波長光発生装置100に対して、光カプラ12に接続された光ファイバ22および測定光用光コネクタ30を取り除いたものである。このように、基準波長光のみを発生するようにした場合であっても、調整の容易化および短い光学セル16を用いることによる装置の小型化という効果に変わりはない。
【0029】
また、上述した実施形態では、アセチレンガスが封入された光学セル16を用いたが、アセチレンガス以外のガス、例えばシアン化水素(HCN)が封入された光学セルを用いるようにしてもよい。
図8は、シアン化水素ガスの吸収スペクトルの具体的な値を示す図である。アセチレンガスを用いた光学セル16の場合と同様に、シアン化水素ガスを用いた光学セルの吸収スペクトルには大別すると2つのグループがある。図8は、右側のグループであるPブランチに含まれる吸収スペクトルの各ピークについて、波長が低いものから順に示したものである。
【0030】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、基準波長光を発生するために、光分岐手段から出射された光を吸収部材に通した後に反射部材によって反射し、再び吸収部材を通して光分岐手段に入射しており、調整が必要な箇所は反射部材の角度だけであるため、基準波長光を発生させるために必要な調整作業の手間を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施形態の基準波長光発生装置の構成を示す図である。
【図2】光源から出射される光の特性を示す図である。
【図3】測定光用光コネクタから出射される光の特性を示す図である。
【図4】基準波長光用光コネクタから出射される光の特性を示す図である。
【図5】光学セルを通すことにより生じる吸収スペクトルを示す図である。
【図6】アセチレンガスの吸収スペクトルの具体的な値を示す図である。
【図7】基準波長光のみを発生する基準波長光発生装置の構成を示す図である。
【図8】シアンガスの吸収スペクトルの具体的な値を示す図である。
【図9】従来の基準波長光発生装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
10 光源
12 光カプラ
14 ファイバコリメータ
16 光学セル
18 平面鏡
20、22、24、26 光ファイバ
30 測定光用光コネクタ
32 基準波長光用光コネクタ
100 基準波長光発生装置

Claims (1)

  1. 測定器による測定に用いられる測定光と校正に用いられる基準波長光とを同時に発生する基準波長光発生装置において、
    所定の波長範囲を有する光を発生する光源と、
    ガスが封入されており、入射光に対して所定の波長成分を吸収する光学セルと、
    前記光学セルから出射された光を前記光学セル方向に反射する反射部材と、
    前記光源から出射された光を前記光学セルと前記光学セルとは異なる方向の両方の向きに分岐して出射するととともに、前記光学セル側から入射される光を前記光源と前記光源とは異なる方向の両方の向きに分岐して出射する光分岐手段と、
    前記光分岐手段から前記光学セル側に光ファイバを通して出射された光を、前記光ファイバの端部において平行光に変換して前記光学セルに入射するコリメータと、
    を備え、前記分岐手段から前記光源とは異なる向きに分岐された光を前記基準波長光として出射するとともに、前記分岐手段から前記光学セルとは異なる向きに分岐された光を前記測定光として出射し、
    前記光分岐手段は、前記光学セル側に出射される光のパワーの方が、前記光学セルとは異なる方向に出射される光のパワーよりも小さくなるように光のパワー分岐比が設定されていることを特徴とする基準波長光発生装置。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003034032A2 (en) 2001-10-18 2003-04-24 Cargill Robert L Method and apparatus for quantifying an 'integrated index' of a material medium
US20040264981A1 (en) * 2003-06-25 2004-12-30 Tyco Telecommunications (Us) Inc. Wavelength monitoring and control system
JPWO2007083609A1 (ja) * 2006-01-17 2009-06-11 株式会社村田製作所 光スペクトラムアナライザ

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6345515A (ja) * 1986-08-13 1988-02-26 Yokogawa Electric Corp 光周波数スペクトラム・アナライザ
US5152296A (en) * 1990-03-01 1992-10-06 Hewlett-Packard Company Dual-finger vital signs monitor
CA2048278C (en) * 1990-11-07 2002-07-23 Wayne V. Sorin Polarization independent optical coherence-domain reflectometry
WO1993006459A1 (en) * 1991-09-18 1993-04-01 Iowa State University Research Foundation, Inc. Dual-wavelength photometer and fiber optic sensor probe
US5268741A (en) * 1992-01-31 1993-12-07 Hewlett-Packard Company Method and apparatus for calibrating a polarization independent optical coherence domain reflectometer
DE4244605A1 (de) * 1992-05-27 1993-12-02 Hewlett Packard Co Optisches Niederkohärenzreflektometer von verbesserter Empfindlichkeit mit optischer Dämpfung
US5446280A (en) * 1993-08-31 1995-08-29 Center For Innovative Technology Split-spectrum self-referenced fiber optic sensor
JP3526652B2 (ja) * 1995-05-11 2004-05-17 倉敷紡績株式会社 光学的測定方法および光学的測定装置
JP3450938B2 (ja) * 1995-06-12 2003-09-29 東京電力株式会社 ガス濃度測定方法及びその装置
US5706301A (en) * 1995-08-16 1998-01-06 Telefonaktiebolaget L M Ericsson Laser wavelength control system
US5754284A (en) * 1996-10-09 1998-05-19 Exfo Electro-Optical Engineering Inc. Optical time domain reflectometer with internal reference reflector
US5946090A (en) * 1996-11-19 1999-08-31 The Institute Of Physical And Chemical Research Spectrometric method and apparatus for spectrometry
NO307357B1 (no) * 1997-02-14 2000-03-20 Optoplan As Anordning for maling av optiske bolgelengder
JPH10300629A (ja) * 1997-04-30 1998-11-13 Anritsu Corp 光伝送特性測定器及びそれを用いた校正方法
US6542523B1 (en) * 1998-01-30 2003-04-01 Ando Electric Co., Ltd. Wavelength-variable light source apparatus

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Publication number Publication date
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