JP4264672B2 - 改良された電極支持体を備える容量型圧力変換器 - Google Patents
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Description
本発明は、本発明の発明者が発明して、本発明の譲受人に譲渡された、「圧力センサ(Pressure sensor)」という名称の同時出願係属中の米国特許出願第08/748,820号に開示された主題に関するものである。
発明の背景
本発明は、容量型圧力変換器に関する。より具体的には、本発明は、容量型圧力変換器と共に使用する改良された電極支持体に関する。
図1Aには、従来技術の組み立てた容量型圧力変換器組立体100の一部断面図とした側面図が図示されている。図1Bには、変換器組立体100の分解断面側面図が図示されている。図面の便宜上、図1A、図1B、及び本明細書の他の図面は、正確な縮尺で描いたものではない。米国特許第4,823,603号には、一般的な形態の変換器組立体100の容量型圧力変換器組立体が開示されている。また、米国特許第5,020,377号、及び同第4,785,669号には、当該開示に関連する容量型圧力変換器も開示されている。
簡単にいって、変換器組立体100は、第一の密封した内側チャンバ110と、第二の密封した内側チャンバ112とを画定する本体を有している。これらのチャンバ110、112は、比較的薄い可撓性で且つ導電性のダイヤフラム120で互いに隔離されている。以下により詳細に説明するように、チャンバ110、112内の圧力差に応答してダイヤフラムが撓み、又は曲がるようにダイヤフラム120は取り付けられている。変換器組立体100は、ダイヤフラムの撓み程度を表示するパラメータを提供し、このため、このパラメータは、圧力差を間接的に表示する。圧力差を表示する、変換器組立体により提供されたパラメータは、ダイヤフラム120と電極130との間の電気容量である。
変換器組立体100は、P_xカバー140と、P_x本体150とを備えている(以下に説明するように、「P_x」という語は、未知の圧力を意味する)。図2Aには、P_x本体150の平面図が図示されている。P_x本体150は、管状の形状をしており、中央の内側穴152(図2Aに図示し且つ図1Bに線153で表示)を有している。P_x本体150の上面は、段が付けられており、穴152の外周の周りを伸長する肩部154を提供する。また、P_x本体150は、下面156も有している。P_xカバー140は、円形の金属薄板であり、また、中央穴144を画定する圧力管142が設けられている。P_xカバー140は、P_x本体150の下面156に堅固に付着させてある(例えば、溶接により)。ダイヤフラム120は、通常、導電性材料(例えば、ステンレス鋼)で出来た、薄く円形で可撓性の薄板である。上述したように、図1A及び図1Bは、正確な縮尺で描いたものではなく、ダイヤフラム120は、通常、変換器組立体100のその他の構成要素と比較して、図示したものよりも遥かにより薄い。ダイヤフラム120は、図1Aに図示するように、P_x本体150の肩部154に接触する。ダイヤフラム120の外周は、該ダイヤフラム120の外周をP_x本体150の肩部154に対して堅固に保持するため、通常、P_x本体150に溶接されている。
P_xカバー140、P_x本体150、及びダイヤフラム120は、協働して内側の密封チャンバ110を画定する。P_xカバー140は、底部を画定し、P_x本体150は、側壁を画定し、ダイヤフラム120は、チャンバ110の頂部を画定する。管142内の流体は、穴144、及び中央穴152(図2Aに示すように)を通って流れ、チャンバ110に入る。このため、管142内の流体は、ダイヤフラム120の下面と流体的に連通している。
変換器組立体100は、また、P_r本体160と、P_rカバー170とをも備えている(以下に説明するように、「P_r」という語は、基準圧力を意味する)。図2Bには、P_r本体160の平面図が図示されている。P_r本体160は、管状の形状をしており、中央穴162(図2Bに図示し且つ図1Bに線263で表示)を画定する。P_r本体160の上面は、段が付けられており、下側肩部164と、上側肩部166とを提供する。下側肩部164は、穴162の周りを伸長し、上側肩部166は、下側肩部164の外周の周りを伸長する。また、P_r本体160は、肩部164、166と反対側の下面168を有している。P_r本体160の下面168は、ダイヤフラム120の外周の上面に堅固に付着させてある(例えば、溶接により)。P_rカバー170は、円形の金属薄板であり、該P_rカバーには、中央穴174を画定する圧力管172が設けられている。P_rカバー170は、P_r本体160に堅固に付着させてあり(例えば、溶接により)、このため、P_rカバー170の外周は、P_r本体160の上側肩部166と接触している。
P_rカバー170、P_r本体160及びダイヤフラム120は、協働して内側の密封チャンバ112を画定する。ダイヤフラム120は底部を画定し、P_r本体160は側壁を画定し、P_rカバー170はチャンバ112の頂部を画定する。管172内の流体は穴174及び中央穴162を通って流れ(図2Bに図示)、チャンバ112に入る。従って、管172内の流体は、ダイヤフラム120の上面と流体的に連通している。以下に説明するように、電極130は、チャンバ112内に収容されており、従って、チャンバ112内の流体の流れを妨害することはない。
電極130は、通常、非導電性(又は絶縁性)のセラミックブロックで製造されており、円筒状の形状をしている。図2Cには、電極130の底面図が図示されている。電極130の下面には段が付けられており、該下面は、中央面135と、中央面135の外周の周りを伸長する肩部136とを有している。また、電極130は、穴132(図2Cに図示し且つ図1Bに線133で図示)も画定する。電極130は、中央面135に蒸着した(例えば、電気めっきにより)比較的薄い導体134を更に備えている。導体134は、図1B、図2Cに明確に図示されており、また、図面の便宜上、導体134は図1Aには図示していない。電極130は、図1Aに図示するように、P_rカバー170とP_r本体160の下側肩部164との間に締め付けられている。電極130の穴132(図2Cに図示)は、流体がダイヤフラム120の上面と圧力管172との間にて、電極130を通って自由に流れるのを許容する。電極130をP_r本体160に締め付けると、導体134は、ダイヤフラム120に対し隔たった状態に保持される電極130は、通常、導体134とダイヤフラム120との間の空隙が比較的小さい(例えば、0.0002m程度)ように配置されている。
導体134及びダイヤフラム120は、コンデンサ138の並列板を形成する。周知であるように、C=Ae/dであり、この場合、Cは2つの並列板の間の容量、Aは板の間の共通の領域、eは板の間の材料に基づく定数(真空の場合、e=1)、dは板の間の距離である。このように、コンデンサ138により提供される容量は、ダイヤフラム120と導体134との間の距離の関数である。ダイヤフラム120が、チャンバ110、112の間の圧力差の変化に応答して、上下に撓むと、コンデンサ138により提供される容量もまた変化する。任意の時点にて、コンデンサ138により提供される容量は、チャンバ110、112の間の瞬間的な圧力差を表示する。公知の電気回路(例えば、コンデンサ138により提供される容量の関数である共鳴周波数を特徴とする「タンク」回路)を使用して、コンデンサ138により提供される容量を測定すると共に、圧力差を表示する電気信号を提供することができる。
変換器組立体100は、コンデンサ138により提供された容量を測定するこことを可能にする導電性のフィードスルー180を備えている。フィードスルー180の一端182は、電極130に接触する。フィードスルー180は、P_rカバー170の穴を貫通して伸長し、このため、フィードスルー180の他端184は変換器組立体100の外側となる。フィードスルー180が伸長して通るP_rカバー170の穴は、例えば、溶融ガラス栓185により密封されて、チャンバ112内に圧力を保つと共に、フィードスルー180をP_rカバー170から電気的に絶縁する。フィードスルー180は、導体134に電気的に接続されている。電極130は、通常、電気めっきを施した貫通穴(図示せず)を有しており、導体134(電極130の底面に設けられている)と電極130の上面に接触するフィードスルー180の端部182との間の電気的接続を許容する。従って、フィードスルー180は、コンデンサ138の1つの板(すなわち導体134)に対する電気的接続部を提供する。ダイヤフラム120は、P_r本体160に溶接されているため、P_r本体160は、コンデンサ138の他の板(すなわち、ダイヤフラム120)への電気的接続部を提供する。従って、コンデンサ138により提供される容量は、P_r本体160とフィードスルー180の端部184との間の測定回路(図示せず)を電気的に接続することにより測定することができる。実際には、変換器組立体100の本体は、通常、接地されているため、コンデンサ138により提供された容量は、測定回路をフィードスルー180の端部184に電気的に接続するだけで簡単に測定することができる。
導体134は、通常、電極130の下面に円形の「リング状」の形態にて配置されている(図2Cに図示するように)。更に、幾つかの従来技術の圧力変換器は、電極130に配置された1つ以上の導体と、導体に電気的に接続するための対応する数のフィードスルーとを有している。かかる変換器は、少なくとも2つのコンデンサ、すなわち、ダイヤフラム120及び電極130における1つの導体により形成された第一のコンデンサと、ダイヤフラム120及び電極130における別の導体により形成された第二のコンデンサとを提供する。公知であるように、このようにして、多数のコンデンサを提供して、変換器に対する温度補償を有利に行い得るようにすることができる。
作動時、変換器組立体100は、通常、絶対圧力変換器として使用される。この形態において、チャンバ112は、通常、最初に、真空ポンプ(図示せず)を作用させることで圧力管172に排気される。チャンバ112が排気されたならば、管172を密封し、又は、「締め付けて」チャンバ112内に真空を維持する。このことは、チャンバ112内で「基準」圧力を形成する。真空は便宜な基準圧力ではあるが、その他の圧力を基準圧力として使用することも公知である。チャンバ112内の圧力は、既知、すなわち、基準圧力であるため、チャンバ112を構成するために使用した構成要素(すなわち、P_r本体160、P_rカバー170)は、P_r構成要素(すなわち、「基準圧力」の構成要素)と称される。チャンバ112内で基準圧力が設定された後、圧力管142を流体源(図示せず)に接続し、該流体の圧力を測定することを可能にする。このようにして、圧力管142を接続すると、その圧力を測定すべき流体はチャンバ110に(従って、ダイヤフラム120の下面に)供給される。チャンバ110内の圧力は未知であるため、すなわち測定すべきであるため、チャンバ110の構成に使用される構成要素(すなわち、P_xカバー140及びP_x本体150)は、P_x構成要素、(すなわち、「圧力未知の構成要素」)と称される。ダイヤフラム120の中心は、チャンバ110、112の間の圧力差に応答して上方又は下方に撓む。変換器組立体100は、ダイヤフラムの撓み程度を測定することを可能にし、これにより、チャンバ112内の既知の圧力に対してチャンバ110内の圧力を測定することを可能にする。
変換器組立体100は、勿論、差圧変換器として使用することも可能である。この形態において、圧力管142は、第一の流体源(図示せず)に接続され、圧力管172は第二の流体源(図示せず)に接続される。この場合、変換器組立体100は、2つの流体間の圧力差を測定することを可能にする。
変換器組立体100に伴なう1つの問題点は、導体134とダイヤフラム120との間の間隔に関係する。変換器組立体100が作動するとき、ダイヤフラム120は、勿論、上下に撓み、これにより、ダイヤフラム120と導体134との間の間隔を変化させる。しかしながら、変換器組立体100が常時、正確な圧力値を提供するためには、ダイヤフラム120と導体134との間の間隔を一定の公称間隔とすることが重要である。従って、特別な圧力差の場合、ダイヤフラム120と導体134との間の距離が常に等しいことを確実にすることが重要である。チャンバ110、112との間の特別な圧力差の場合、ダイヤフラム120と導体134との間の距離は、「公称距離」と称することができる。多数の変換器組立体100を製造するとき、導体134とダイヤフラム120との間に同一の公称距離を常時、提供することが重要である。更に、変換器組立体100の任意のユニットにおいて、この公称距離は、一定であり、時間と共に変化しないことを確実にすることが重要である。
従来技術の変換器組立体100は、一定の公称距離を維持する弾性的要素192を有している。弾性的要素192は、P_rカバー170と電極130の頂部との間にて締め付けられている。P_r本体160の下側肩部164は、電極130の肩部136を支持する。P_rカバー170はP_r本体160に溶接されているため、弾性的要素192は、電極130に対して押し付け、電極130をP_r本体160に対する一定の位置に保持するばね力を提供する。弾性的要素192は、「波形座金」(すなわち、リングの面に対して垂直な方向に向けて一箇所以上にて曲げられた金属Oリング型)を使用して具体化されることがしばしばである。弾性的要素192は、比較的大きいばね力(例えば、45.4kg(100ポンド)程度)を提供し、電極130を安定的な位置に保持する。
変換器組立体100は、電極130を強固に保持するが、導体134とダイヤフラム120との間の公称距離は、例えば、機械的又は熱的衝撃に応答して時間と共に極く僅かな程度だけ変化する可能性がある。当業者が理解し得るように、圧縮力により所定位置に保持された、例えば、電極130のような要素は、時間と共に僅かな程度の動き(「クリープ」と称される場合がある)を呈する可能性がある。このクリープは公称距離を変化させ、これにより、変換器組立体100の精度に悪影響を与える場合がある。また、過剰圧力状態は、電極130の望ましくない動きを生じさせる可能性もある。変換器組立体100の通常の作動中、ダイヤフラム120は、電極130に決して接触しない。しかしながら、変換器組立体100の通常の作動範囲を超えるチャンバ110内の高圧力(すなわち、過剰圧力)は、ダイヤフラム120を電極130に接触させ、弾性的要素192を僅かに圧縮する可能性がある。過剰圧力状態が解消し、ダイヤフラム120が通常の作動位置に復帰するとき、弾性的要素192は再度膨張し、電極130を再度着座させる。電極130の新たな位置は、過剰圧力状態前の最初の位置と僅かに相違することがある。かかる位置の変化は、公称距離を変化させ、変換器組立体100の精度に悪影響を与える可能性がある。
このため、本発明の1つの目的は、電極の取付け状態が改良された圧力変換器組立体を提供することである。
発明の概要
本発明は、圧力変換器内への電極の取付けを改良するものである。この取付けは、電極に対する安定性を改良する。
1つの形態において、本発明は、改良された圧力変換器組立体を提供する。該組立体は、本体と、ダイヤフラムと、板と、絶縁体と、導体とを備えている。該本体は内部キャビティを画定する。該ダイヤフラムは、本体内に取り付けられ、内部キャビティを第一のチャンバと第二のチャンバとに分割する。ダイヤフラムの一部分は、第一のチャンバ内の圧力が第二のチャンバ内の圧力よりも高圧であることに応答して第一の方向に撓み、ダイヤフラムの該部分は、第二のチャンバ内の圧力が第一のチャンバ内の圧力よりも高圧であることに応答して、第一の方向と反対の第二の方向に撓む。板は第一及び第二のチャンバの一方内で本体に固定されている(例えば、溶接又はねじにより)。絶縁体は該チャンバ内に配置され且つ板に固定されている。導体は、絶縁体の上に配置されている。ダイヤフラム及び導体はある容量であることを特徴としている。この容量は、第一及び第二のチャンバの圧力差を表示する。
別の形態において、本発明は、本体と、ダイヤフラムと、導体と、弾性的要素とを有する変換器組立体を提供する。該弾性的要素は、本体内に配置され、導体をダイヤフラムから離れるように偏倚させる力を提供する。
本発明の更に別の目的及び有利な点は、本発明の最良の形態の単に一例として、幾つかの実施の形態を図示し且つ記述した以下の詳細な説明から当業者に容易に明らかになるであろう。理解されるように、本発明は、他の異なる実施の形態が可能であり、その幾つかの詳細は、全て本発明から逸脱せずに、色々な形態にて改変が可能である。従って、図面及び説明は、性質上、一例としてみなし、制限的又は限定的な意味ではなく、本出願の範囲は請求の範囲に記載されているとみなすべきである。
【図面の簡単な説明】
本発明の性質及び目的をより完全に理解するため、同一又は同様の部品を表示すべく同一の参照番号が使用される、添付図面と共に、以下の詳細な説明を参照すべきである。添付図面において、
図1Aは、従来技術の組み立てた変換器組立体の一部断面側面図である。
図1Bは、図1Aに図示した組立体の分解断面側面図である。
図2Aは、図1A及び図1Bに図示したP_x本体の平面図である。
図2Bは、図1A及び図1Bに図示したP_r本体の平面図である。
図2Cは、図1A及び図1Bに図示した電極の底面図である。
図3Aは、本発明による構造とされた容量型圧力変換器組立体の部分断面側面図である。
図3Bは、図3Aに図示した組立体の分解断面側面図である。
図4A及び図4Bは、それぞれ、図3A及び図3Bに図示した電極の1つの好適な実施の形態の断面側面図及び底面図である。
図5は、本発明による構造とされた別の圧力変換器組立体の分解断面側面図である。
図6は、図5に図示したP_rカバーの底面図である。
図7は、本発明による構造とされた更に別の圧力変換器の分解断面側面図である。
図8は、本発明による構造とされた更に別の圧力変換器組立体の分解断面側面図である。
好適な実施の形態の詳細な説明
図3Aには、本発明による構造とされた、組み立てた変換器組立体200の部分断面図が示してある。図3Bには、変換器組立体200の分解断面側面図が示してある。好適な実施の形態において、変換器組立体200の構成に使用される多くの構成要素は、従来技術の変換器組立体100に使用される構成要素と同一又は同様である。より具体的には、変換器組立体200は、P_xカバー140と、P_x本体150と、ダイヤフラム120と、P_r本体160と、従来技術の変換器組立体100に使用されたP_rカバー170の構成要素とを備えている。しかしながら、圧力変換器200は、電極130ではなくて、改良された電極230を備えている。更に、変換器組立体200は、弾性的要素192を不要にし、また好ましくは、該弾性的要素192を備えないようにする。
従来技術の変換器組立体100と同様に、P_xカバー140、P_x本体150、ダイヤフラム120は、相互に接続されて、ダイヤフラムの一側部に密封した内側チャンバ110を形成する。また従来技術の変換器組立体100の場合と同様に、ダイヤフラム120、P_r本体160、P_rカバー170は、共に接続されて、ダイヤフラムの反対側に密封した内側チャンバ112を形成する。
電極230は、金属板232と、スペーサ234と、セラミック(又はその他の絶縁性形態の)板236とを備えている。スペーサ234は、金属板232とセラミック板236との間に配置されている。ねじ、リベット又は接着剤のような締結具(図示せず)が金属板232、スペーサ234及びセラミック板236を共に強固に保持する。幾つかの実施の形態において、スペーサ234は、金属板232の一体の部分として形成され、他の実施の形態において、スペーサ234は、分離し且つ別個の構成要素として提供される。金属板232及びP_r本体160は、例えば、溶接により共に堅固に固定され、このため、金属板232の外周が肩部164に接触する。セラミック板236の下面には、従来の形態にて、電気的導体238(図3Bには図示するが、図3Aには図示せず)が設けられている。金属板232を肩部164に固定すると、導体238は、ダイヤフラム120に対して隔たった関係に強固に配置される。導体238及びダイヤフラム120は1つのコンデンサ240を形成する。導体238とダイヤフラム120との間の公称距離は、例えば、所望の厚さのスペーサ234を選択することにより、制御可能である。
変換器組立体200は、導体238に電気的に接続する導電性のフィードスルー280を有している。フィードスルー280の一端282は、セラミック板236の上面に接触する。フィードスルー280は、金属板232及びP_rカバー170の穴を貫通して伸長し、フィードスルー280の他端284は、変換器組立体200の外側になる。従来技術の変換器組立体100と同様に、フィードスルー280が伸長して通るP_rカバー170の穴は、密封され(例えば、ガラス栓185により)チャンバ112内に圧力を保つと共に、フィードスルー280をP_rカバー170から電気的に絶縁する。金属板232は、フィードスルー280が伸長して通る、図3Bに線233で図示した1つの穴を画定する。この穴は、フィードスルー280よりも大きく、フィードスルー280が金属板232に接触しないようにすることが好ましい。このことは、フィードスルー280を金属板232から電気的に絶縁し、また、板232の両側部の圧力を等しくし、管172内の圧力がダイヤフラム120の上面に連通されることを確実にする。フィードスルー280の下端282は、導体238に電気的に接続されている。フィードスルー280は、コンデンサ240の1つの板(すなわち、導体238)に電気的に接続され、P_r本体160は、コンデンサ240の他の板(すなわち、ダイヤフラム120)に電気的に接続されている。
好適な実施の形態において、フィードスルー280は、セラミック板236を構造的に支持しない。その代わり、板236は、P_r本体160に堅固に固定された金属板232に接続されることで支持されている。図5、図7、図8により明確に図示するように、電気的フィードスルーは、導電性ピンと、導電性コイルばねとを備えることができる。該ピンは、P_rカバーに堅固に固定され、コイルばねはピンからセラミック電極まで伸長している。ばねは、セラミック電極に配置された導体に電気的に接続するが、このばねは電極に対して構造的支持体を提供しない。
従来技術の電極130(図1A、図1Bに図示)と異なり、変換器組立体200の電極230は、弾性的要素を圧縮することにより発生されたばね力により所定位置に保持されていない。これと異なり、電極230の金属板232は、P_r本体160に堅固に固定されている(例えば、溶接又はねじにより)。1つの締結具が電極230のセラミック板230のセラミック板236(及び導体238)をスペーサ234を介して金属板232に堅固に保持する。このことは、電極230が時間と共に移動しすなわちクリープする傾向を実質的に軽減し、これにより、変換器組立体200の性能を向上させる。機械的及び熱的衝撃並びに過剰圧力状態に応答する電極230の安定性が向上する。金属板232は、P_r本体160に堅固に固定されているため、過剰圧力状態は、電極230を何ら顕著に動かす傾向とはならない。
変換器組立体200の好適な実施の形態において、セラミック板236は、セラミック板236の中央部分のみを金属板232に固定することにより取り付けられる。セラミック板236の外周は、P_r本体160から隔てられており且つ該P_r本体160に接触していない。このことは、セラミック電極130の外周の全体がP_r本体(及び弾性的要素192)により支持された従来技術の変換器組立体100と相違する。このことは、電極230の安定性を向上させる。
また、変換器組立体200は、従来技術の変換器組立体100よりも製造がより簡単でもある。従来技術の変換器組立体100を製造するとき、電極130の段又は肩部136は正確に機械加工しなければならない。変換器組立体200にてこの肩部は不要となり、これにより、臨界的な機能部分の許容公差を軽減する。
電極230は、従来技術の変換器組立体のP_r本体160内に置換部品として取り付け得る寸法とされることが好ましい。従来技術の変換器組立体100及び組立体200(この場合、組立体200は従来技術の電極130の電極230を置換する構造とした)について行った試験から、変換器組立体200は改良された性能を提供することが分かる。
図4A及び図4Bには、それぞれ電極230の1つの好適な実施の形態の断面図及び底面図が図示されている。この実施の形態において、金属板232、スペーサ234及びセラミック板236の各々は、1つの中央穿孔穴242を形成する。金属板232の穿孔穴242の一部は、ねじ244(図4Bに図示)が金属板232、スペーサ234及びセラミック板236を共に保持することを可能にし得るようにねじが形成されることが好ましい。また、セラミック板236は、ねじ244を端ぐり状態に沈めるのを許容し得るよう、穿孔穴242よりも幅が広く且つ該穿孔穴244に接続する凹所246を画定することも好ましい。このようにして、ねじ244の任意の部分が電気的導体238とダイヤフラム120との間の空間に入るのを防止し得るようにねじ244を端ぐり状態に沈めることが望ましい。他の実施の形態において、ねじ244に代えて、リベット又は接着剤を使用することができる。更に別の実施の形態において、ねじ(又はボルト)244の一端は、穿孔穴244を貫通して伸長し、ナット(図示せず)が該端部にねじ込まれ且つねじ244と協働し、スペーサ234、及び板232、236を共に保持する。この実施の形態において、穿孔穴242にねじを形成するか否かは自由である。また、図4Aには、金属板232に画定した穴248も図示されており、フィードスルー280がこの穴を通って伸長する。
好適な実施の形態において、P_xカバー140、P_x本体150、P_r本体160、P_rカバー170、金属板232、スペーサ234は、全て、同一の金属(例えば、インコネル(Inconnel)(登録商標名)、ニッケル、鉄、及びクロム合金)で製造されている。セラミック板236は、アルミナ又はフォスタライト(すなわち、ケイ酸マグネシウム)で出来ていることが好ましい。
説明の便宜上、変換器組立体200は、電極230に配置された単一の導体を有するものとして説明した。しかしながら、当業者は、他の実施の形態において、変換器組立体200は、電極230に配置された1つ以上の導体を備えることが可能であることも理解されよう。更に、当業者は、板232はP_r本体160の肩部164に接触する必要はなく、その代わり、その他の箇所にて、P_r本体160又はP_rカバー170に固定してもよいことが理解されよう。更に、その他の実施の形態において、板232を省略し、セラミック(又は絶縁性)板236をP_r本体又はP_rカバーに堅固に固定された別の形態の金属構造体により支持してもよい。
図5には、本発明による構造とされた変換器組立体300の別の実施の形態の分解断面側面図が図示されている。変換器組立体300は、P_r本体160と、一体とされたP_r本体/カバー340との間に取り付けられたダイヤフラム120を備えている。ダイヤフラム120の外周は、P_x本体/カバー340に固定され、ダイヤフラム120の一側部にて第一の内側密封チャンバ110を形成する。P_x本体/カバー340には、加圧気体源(図示せず)をチャンバ110に接続することを可能にし得るように圧力管142が設けられている。P_r本体160は、また、チャンバ110の反対側のダイヤフラム120の側部にてダイヤフラム120の外周にも固定されている。
変換器組立体300は、また、改良されたP_rカバー370と、環状の弾性的要素390とも備えている。図6には、P_rカバー370の底面図が図示されている。図5、図6に図示するように、P_rカバー370の下面には段が付けられており、該下面は、中央面372と、第一の肩部373と、第二の肩部374と、第三の肩部375と、第四の肩部376とを画定する。第一の肩部373は、中央面372の外周の少なくとも一部分の周りを伸長する。第二の肩部374は、第一の肩部373の外周の少なくとも一部分の周りを伸長する。第三の肩部375は、第二の肩部374の外周の少なくとも一部分の周りを伸長する。第四の肩部376は、第三の肩部375の外周の少なくとも一部分の周りを伸長する。図示した実施の形態において、中央面372は円形であり、肩部373乃至376は環状であり且つ中央面372に対して同心状である。第一の肩部373及び第二の肩部374は、垂直面378により分離されている。
変換器組立体300を組み立てたとき、P_rカバー370の第四の肩部376がP_r本体160の上側肩部166に接触する。この第三の肩部375は、P_r本体160の下側肩部164に接触し又は略接触することが好ましい。図示した実施の形態において、第二の肩部374は、第三の肩部375から引っ込んでおり(このため、第二の肩部374は、第三の肩部375よりも、ダイヤフラム120から更に離れた位置に配置される)、第一の肩部373は、第二の肩部374から引っ込んでおり、中央面372は、第一の肩部373から引っ込んでいる。
また、変換器組立体300は、電極330も有している。該電極330は、電極130と同一の全体形状を有するが、電極330の外周は、電極130の外周よりも小さい。電極330は、全体として円筒形である。電極330の下面は、段が付けられており、中央面と、中央面の外周の周りを伸長する肩部336とを提供する。また、電極330は、下面の中央面に配置された導体(図示せず)も有している。
変換器組立体330を組み立てたとき、P_rカバー370は、P_r本体160に堅固に取り付けられる(例えば、溶接により)。P_rカバー370、P_r本体160、ダイヤフラム120は、協働して第一の内側チャンバ110と反対側の第二の密封した内側チャンバ112を形成する。図示していないが、当業者は、チャンバ112にアクセスし得るように、P_rカバー370には、圧力管を設けることが可能であることが理解されよう。弾性的要素390の外側部分は、P_r本体160の下側肩部164に着座する。変換器組立体300を組み立てたとき、P_rカバーの第三の肩部375及びP_r本体の下側肩部164は、弾性的要素390の外周を締め付けることが好ましい。弾性的要素390の内周は、電極330の肩部336に接触し、電極330をダイヤフラム120から離れる方向に押す傾向の力を提供する。より具体的には、弾性的要素390は、電極330の上面がP_rカバーの第一の肩部373に接触し且つ該第一の肩部373により支持されるように電極を押す。更に、P_rカバー370の垂直面378は、ダイヤフラム120に対して平行な方向に向けて電極330が動くのを制限する。P_rカバー370は、第一の電極373及び第二の電極374を分離させる垂直面378内にきちっと電極330が嵌まるような寸法とされることが好ましい。
図示した実施の形態において、変換器組立体300は、P_rカバー370を貫通して伸長する2つの電気的フィードスルーを有しており、電極330の下面に配置された2つの導体(図示せず)と電気的に接触する。フィードスルー380の各々は、例えば、ガラスで製造することのできる絶縁体390により取り囲まれている。絶縁体390は、フィードスルー380をP_rカバー370から電気的に絶縁し、また、第二の内側キャビティ112内に圧力を保つ。
P_rカバー370は、電極330を堅固に支持し且つ電極330がダイヤフラム120から離れる方向に動くこと(例えば、過剰圧力状態に応答して)を防止する。弾性的要素390は、電極330がダイヤフラム120に向けて動くのを防止する比較的小さい力(例えば、4.54kg(10ポンド)程度)を提供する。弾性的要素390により提供された比較的小さい力は、電極330の上面とP_rカバー370の第一の肩部373との間の接触を保つ。これにより、P_rカバー370は、電極330を堅固に支持し且つ電極330がダイヤフラム120から離れる方向に動くのを防止する。
従来技術の変換器組立体100は、電極130をダイヤフラムに向けて下方に押し、電極130を所定位置に堅固に保持するために比較的大きい力(例えば、45.4kg(100ポンド))を提供すべく弾性的要素192を使用していた。従来技術と相違して、変換器組立体300において、弾性的要素390は、電極330をダイヤフラムから離れるように上方に偏倚させる比較的小さい力(例えば、4.54kg(10ポンド))を提供し、P_rカバー370は、電極330がダイヤフラム120から離れる方向に向けて動くのを確実に防止する。これにより、変換器組立体300は、ダイヤフラム120と電極330の導体(図示せず)との間に実質的に一定の公称間隔を維持することは有利なことである。
図7には、本発明による構造とされた圧力変換器組立体400の別の実施の形態の分解側面図が図示されている。変換器組立体400は、組立体300(図5に図示)にて使用したものと同一のP_x本体/カバー340、及び同一のP_rカバー370を有することが好ましい。しかしながら、変換器組立体300内で使用したP_r本体160及び電極330ではなくて、変換器組立体400は、円筒状のP_r本体460と、円筒状の電極430とを有している。P_r本体460は、(2つの肩部ではなくて)単一の肩部466のみを有するから、P_r本体460は、P_r本体160よりも簡単である。当業者は、各肩部を提供するためには、別個の機械加工ステップを必要とすることが理解されよう。従って、P_r本体460は、単一の肩部のみを有するため、P_r本体160を製造するよりも低コストで済む。同様に、電極430は、電極330よりも簡単である。上述したように、電極330は、1つの肩部336を提供する。電極430は、肩部ではなくて、電極430の外周の少なくとも一部分に1つの溝432を提供する。当業者は、電極430のようなセラミック構成要素に肩部336のような肩部を提供するよりも、溝432のような溝を提供することのほうがより経済的であることが理解されよう。従って、電極430は、電極330よりもより経済的に製造できる。
組み立てたとき、P_rカバー370は、P_r本体460に固定され、このため、P_rカバー370の肩部376は、P_r本体の肩部466に接触する。P_r本体の一部分により支持されるよりも、弾性的要素490の外周は、例えば、ねじ492、又は、リベット又は接着剤のような他の締結具によってP_rカバー370の第四の肩部375に固定されている。弾性的要素490の内周は、溝432の内側にて電極430に接触し且つP_r本体370の第一の肩部373に対して電極430を偏倚させる力を付与する。弾性的要素490及びP_rカバー370は、変換器組立体300(図5に図示)にて提供されるものと同様の改良された支持体を電極430に対して提供する。しかしながら、弾性的要素の外周を支持するためP_r本体の肩部を使用せずに、弾性的要素の外周をP_rカバーに固定する。このことは、P_r本体内の余分な肩部の必要性を解消する点にて都合がよい。
図8には、本発明による構造とされた更に別の圧力変換器組立体500の断面側面図が図示されている。変換器組立体500は、管状のP_r支持体590を有している。P_r支持体590は、中央穴592を画定する。P_r支持体590の下面は、段が付けられており、第一の肩部593と、第二の肩部594と、第三の肩部595とを画定する。第一の肩部593は、穴592の外周の周りを伸長する。第二の肩部は、第一の肩部593の外周の周りを伸長する。第三の肩部595は、第二の肩部594の外周の周りを伸長する。第一の肩部593及び第二の肩部594は、垂直面596により分離されている。図示した実施の形態において、中央穴592は円形であり、第一、第二、及び第三の肩部593、594、595は、環状であり且つ第一、第二、第三の肩部593、594、595は、中央穴592に対して同心状である。
変換器組立体500を組み立てたとき、弾性的要素390の外周の下面は、P_r本体160の肩部164に静止する。P_r支持体590の第三の肩部595は、弾性的要素390の外周の上面に静止する。弾性的要素390の内周は、電極330の肩部336を上方に偏倚させ、このため、電極330は、第一の肩部593とP_r支持体590の垂直面596とにより拘束されたままである。P_rカバー170は、P_r本体160に固定され、このため、P_rカバー170の下面は、P_r本体160の上側肩部166に接触する。弾性的要素192は、P_rカバー170とP_r支持体590の上面との間にて締め付けられ且つP_r支持体590に下向きの力を付与する。
従来技術の変換器組立体100は、セラミック電極を下方向に直接、偏倚させるため金属製の弾性的要素192を使用していた。これに反して、変換器組立体500において、金属製の弾性的要素は、セラミック電極ではなくて、P_r支持体590を偏倚させる。従って、変換器組立体500において、弾性的要素192により提供される比較的大きい力を受ける全ての構成要素(すなわち、P_r支持体590、弾性的要素390、P_r本体160、及びP_rカバー170)は、同一の材料(例えば、金属)にて製造することができる。セラミック電極330は、弾性的要素192ではなくて、P_r支持体590により支持される。このため、変換器組立体500は、電極に対して、改良された、より安定的な支持体を提供する。
本明細書に記載した、本発明の範囲から逸脱せずに、上記の装置に一定の変更を加えることが可能であるため、上記の説明に含め、又は添付図面に図示した全ての事項は、一例であって、限定的なものでないことを意図するものである。一例として、組立体300の変形例(図5に図示)又は組立体500(図8に図示)内の電極として電極430(図7に図示)を使用してもよい。同様に、組立体440の変形例(図7に図示)にて電極330(図5に図示)を使用してもよい。別の一例として、電極230の金属板232(図3A及び図3Bに図示)は、P_r本体ではなくて、P_rカバーに固定してもよい。更に別の例として、環状の導体を図示したが、当業者は、ダイヤフラムを有するコンデンサを形成し得るように、色々な形態及び数の導体を電極に配置することが可能であることが理解されよう。更に別の例として、電極230の好適な実施の形態(図3A及び図3Bに図示)において、セラミック板236の中央部分のみが金属板232に固定されている。しかしながら、当業者は、これは、好適な実施の形態であり、本発明を限定するものではないことが理解されよう。他の実施の形態において、絶縁性板236の他の部分を金属板232に固定することができる。更に、他の実施の形態において、絶縁性板236の一部分又は全周がP_r本体160に接触するようにすることができる。
Claims (12)
- 圧力変換器組立体において、
(A)内側キャビティを画定する本体と、
(B)該本体内に取り付けられ且つ前記内側キャビティを第一のチャンバ及び第二のチャンバに分割するダイヤフラム(120)であって、該ダイヤフラムの一部分が、前記第一のチャンバ内の圧力が前記第二のチャンバ内の圧力よりも高圧であることに応答して、第一の方向に撓み、ダイヤフラムの前記部分が、前記第二のチャンバ内の圧力が前記第一のチャンバ内の圧力よりも高圧であることに応答して、前記第一の方向と反対の第二の方向に撓む、ダイヤフラム(120)と、
(C)前記第一のチャンバ内にて前記本体に固定され、第一の材料から成る板(232)と、
(D)前記第一のチャンバ内に配置され且つ前記板に固定され、前記第一の材料と異なる第二の材料から成る絶縁体(236)と、
(E)前記絶縁体の中央部分を前記板に固定する締結具と、
(F)前記絶縁体上に配置された導体(238)とを備え、前記導体及び前記ダイヤフラムが、前記第一及び第二のチャンバ内の前記圧力間の差を表わす容量によって特徴付けられる、圧力変換器組立体。 - 請求項1に記載の組立体において、前記板及び前記本体が金属製である、組立体。
- 請求項2に記載の組立体において、前記板が前記本体に溶接される、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、前記絶縁体がセラミック材料から成る、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、前記絶縁体の外周と前記本体との間に空隙が提供される、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、前記絶縁体と前記板との間に配置されたスペーサを更に備える、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、前記板が、前記絶縁体の基端側に配置されたスペーサを備える、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、導電性のフィードスルーを更に備え、該フィードスルーの一端が前記第一のチャンバ内に配置され、前記フィードスルーの他端が前記本体の外側にあり、前記フィードスルーが前記板及び前記本体の穴を貫通して伸長し、該フィードスルーが前記導体と電気的に接続され且つ前記板及び前記本体から電気的に絶縁される、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、前記締結具がねじから成る、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、前記締結具がリベットから成る、組立体。
- 請求項1に記載の組立体において、前記締結具が接着剤から成る、組立体。
- 請求項1ないし11の何れか一項に記載の組立体において、前記板(232)が前記板の周囲で前記本体(160)に固定されている、組立体。
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