DE1282302B - Kapazitativer Messumformer - Google Patents

Kapazitativer Messumformer

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DE1282302B
DE1282302B DEM64281A DEM0064281A DE1282302B DE 1282302 B DE1282302 B DE 1282302B DE M64281 A DEM64281 A DE M64281A DE M0064281 A DEM0064281 A DE M0064281A DE 1282302 B DE1282302 B DE 1282302B
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DE
Germany
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plate
transmitter according
housing
screws
adjusting device
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Pending
Application number
DEM64281A
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English (en)
Inventor
Charles Youngblood
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micromatic Hone Corp
Original Assignee
Micromatic Hone Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0082Transmitting or indicating the displacement of capsules by electric, electromechanical, magnetic, or electromechanical means
    • G01L9/0086Transmitting or indicating the displacement of capsules by electric, electromechanical, magnetic, or electromechanical means using variations in capacitance

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Kapazitativer Meßumformer Die Erfindung betrifft einen kapazitativen Meßumformer, der bei Änderung des Abstandes zwischen einer ersten und einer zweiten Platte eine entsprechende Änderung in der Größe seiner Kapazität erfährt.
  • Es ist z. 13. durch Grave, »Elektrische Messung nichtelektrischer Größen« (1962, S. 27 bis 30), in der Meßtechnik bekannt, durch die Änderung der Kapazität eine elektrische Größe in Abhängigkeit von einer zu messenden nichtelektrischen Größe darzustellen. Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, einen solchen Meßurnfonner hinsichtlich seiner Betätigungsmittel und seiner Einstellbarkeit zu verbessern. Darüber hinaus soll ein solcher Meßumformer besonders für die Messung eines Druckmediumsignals - gleich ob hydraulischer oder pneumatischer Art - geeignet sein.
  • Diese Aufgabe wird bei den eingangs genannten Meßumformern nach der Erfindung dadurch gelöst, daß folgende Merkmale vorgesehen sind: a) die erste und die zweite Platte sind in einem Gehäuse angeordnet, b) im Gehäuse ist eine Ablenkvorrichtung angeordnet, die zur Auslenkung der zweiten Platte mit dieser in Wirkverbindung steht, c) im Gehäuse ist eine Einstellvorrichtung angeordnet, die zur Einstellung eines Anfangswertes der Kapazität mit der ersten Platte in Wirkverbindung steht, d) die erste Platte ist gegenüber dem Gehäuse mittels KunststofEträger isoliert, e) die Einstellvorrichtung greift an einem Teil der Kunststoffträger an.
  • Diese Ausbildung und Anordnung nach der Erfindung ergibt einen Meßumformer in einem geschlossenen Gehäuse mit einfachem Aufbau. Er läßt sich leicht einstellen, d. h. also, sein Ausgangswert kann leicht korrigiert werden, und die Betätigung ist ebenfalls einfach und betriebssicher.
  • Im einzelnen schlägt die Erfindung vor, daß die beiden Platten durch Verbindungsmittel im Abstand voneinander gehalten werden. Ferner ist es denkbar, daß die erste Platte und die zweite Platte durch unterschiedliche Montagemittel gehalten sind. Bezüglich des Gehäuses sieht die Erfindung vor, daß das Gehäuse aus einem Oberteil und einem Unterteil besteht, zwischen denen ein Abstandsstück eingeklemmt ist.
  • Bei einer Ausführungsform nach der Erfindung weist die Einstellvorrichtung eine Vielzahl von Schrauben auf, die mit der ersten Platte bzw. deren Träger sowie mit dem Gehäuse in Verbindung steht.
  • Dabei sind zweckmäßig zwischen der ersten Platte bzw. ihrem Träger und dem Gehäuse Federmittel angeordnet, welche sich in Richtung auf die zweite Platte zu zu bewegen versuchen. Im einzelnen wird also vorgeschlagen, daß die Einstellvorrichtung mindestens drei Schrauben aufweist, auf deren jeder ein O-Ring als Federmittel angeordnet ist.
  • Bei einer anderen Ausführungsform nach der Erfindung ist die zweite Platte freitragend an einem Ende gehalten, und an diesem Ende ist ein isolierender Block als Abstandsstück zwischen den beiden Platten vorgesehen sowie die Verbindungsmittel angeordnet. Hierbei wird ein weiteres Merkmal der Erfindung darin gesehen, daß die als Einstellvorrichtung dienende Schraube einen ersten und einen zweiten Gewindeteil aufweist, von denen der erste Teil in das Gehäuse und der zweite Teil in einen Isolierarm an der ersten Platte eingreift.
  • Bezüglich der Ablenkvorrichtung schlägt die Erfindung vor, daß diese eine geschlossene Kammer aufweist, die ein Druckmediumsignal entsprechend der Änderung der Meßgröße erhält. Dabei ist es dann möglich, daß entsprechend einer Weiterbildung des Erfindungsgedankens die zweite Platte in der Kammer angeordnet ist bzw. eine Wandung dieser Kammer bildet. Eine andere Möglichkeit liegt darin, daß erfindungsgemäß die Ablenkvorrichtung ein besonderes Kapselglied aufweist, welches mit der zweiten Platte durch einen an dieser befestigten Stift in Verbindung steht.
  • Weitere Vorteile und Ausgestaltungsformen der Erfindung ergeben-sich aus der nachfolgenden Beschreibung im Zusammenhang mit der einige Ausführungsbeispiele der Erfindung darstellenden Zeichnung. Dabei zeigt Fig. 1 eine Draufsicht auf ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel eines Meßumformers, F i g. 2 einen Schnitt nach Linie 2-2 der F i g. 1 in größerem Maßstab, -F i g. 3 eine Draufsicht auf ein anderes Ausführungsbeispiel und F i g. 4 einen Schnitt durch den Meßumformer gemäß F i g. 3 in größerem Maßstab.
  • Nach Fig. 1 und 2 hat ein Meßumformer ein Gehäuse 10 aus einem metallischen, kreisförmigen Oberteil 12 und einem Unterteil 14, zwischen denen ein metallisches, ringförmiges Abstandsstück 16 angeordnet ist. Das Oberteil 12, das Unterteil 14 und das Abstandsstück 16 werden durch mehrere Schrauben 18 zusammengehalten, so daß sich im Gehäuse ein im wesentlichen geschlossener Innenraum 20 ergibt. Zwischen dem Unterteil 14 und dem Abstands stück 16 ist eine flache, dünne Metallmembran 22 angeordnet, die nun den Innenraum 20 in zwei getrennte Kammern 20 a und 20 b -teilt, - die gegeneinander abgedichtet sind. Die Membran -22 dient dabei als ablenkbare zweite Platte einer veränderlichen Kapazität.
  • Innerhalb der Kammer 20 a liegt - eine stationäre Plattenvorrichtung 24, die -einen aus Kunststoff bestehenden Träger 26 hat, an dem eine erste Metallplatte 28 befestigt ist. Drei gleiche, über den Umfang gleichniäßig verteilte Schrauben 30 erstrecken sich mit Spiel durch Bohrungen 32 des Oberteils und haben ferner große in Aufbohrungen 34 angeordnete Köpfe. Diese Schrauben 30 fassen mit ihren Ge-Windeenden in entsprechend angeordnete Bohrungen 36 im Träger 26. Ü,m jede Schraube 30 liegt zwischen Oberteil 12 und Träger 26 ein als Federmittel dienender 0-Ring 38 Die Schrauben 30 stehen da-. her unter Zugspannung, und eine unerwünschte Bewegung der stationären Plattenvorrichtung 24 wird verhindert. Die 0Ring 38 sind aus einem federnden Material, wie beispielsweise Gummi, und können daher ohne weiteres deformiert werden.
  • Die feste erste Platte 28 und die ablenkbare zweite Platte 22 bilden einen veränderbaren Kondensator, dessen Kapazitätswert - bei gleichbleibenden anderen Werten - im wesentlichen von dem Abstand der Platten 22, 28 abhängt. Durch Drehen der Schrauben 30 kann dieser Abstand zwischen den beiden Platten 22 und - 28 verändert werden. Die Schrauben erlauben es daher, die anfängliche -Kapazität zwischen den Platten22 und 28 auszuwählen und einzustellen bzw. zu korrigieren. Diese Einstellung kann ohne weiteres entgegen der Federkraft der O-Ringe 38 durchgeführt werden, die eine Bewegung der stationären Plattenvorrichtung 24 durch die Schrauben 30 gestatten, jedoch die Platten 24 dann in der einmaI gewählten Stellung halten.
  • Im Unterteil 14 ist eine Bohrung 40 mit einem Rohrgewinde vorgesehen, die zum Anschluß einer Druckmediumleitung dient, die jedoch nicht darge- stellt ist. Durch diese Leitung wird die Meßgröße durch den Druck im Druckmedium übertragen. Diese Veränderungen im Druck ergeben natürlich ähnliche Druckveränderungen in der Kammer 20 b, so daß die von der Membran gebildete-zweite Platte 22 relativ zur ersten Platte 28 mehr oder weniger gebogen wird. Dadurch ergeben - sich Veränderungen in der Kapazität zwischen den Platten22 und 28, welche den Druckänderungen in der Kammer 20 b genau entsprechen. Diese Änderungen können nun mit einer elektrischen Einrichtung gemessen werden.
  • Außerdem kann nun eine entsprechende Kalibrierung erzielt werden, indem durch eine wahlweise Betätigung der einzelnen Schrauben 30 die Orientierung der Ebene der festen ersten Platte 28 relativ zu der ablenkbaren zweiten Platte 22 verändert wird.
  • Am Oberteil 12 ist außen ein koaxiales Verbindungsglied 42 üblicher Art angebracht, dessen mittlerer Leiter 44 elektrisch mit der festen Platte 28 durch einen Leiter 46 verbunden ist. Der äußere Leiter des Verbindungsgliedes 42 ist über das Oberteil 12 und das Abstandsstück 16 und das Unterteil 14 elektrisch mit der zweiten Platte 22 verbunden.
  • Nach F i g. 3 und 4 hat das Gehäuse 50 ein Oberteil 52 und ein Unterteil 54, die durch ein ringförmiges Abstandsstück 56 im Abstand gehalten werden. Das Oberteil52, das Unterteil54 und das Abstandsstück56 sind mit mehreren Schrauben 58 zusammengehalten, so daß ein geschlossener Innenraum 60 gebirdet wird. In diesem Innenraum 60 ist ein Ring 62 angeordnet, dessen Höhlung einer etwa gleichen ausnehmung im Unterteil 54 zugekehrt ist, so daß eine Kammer 64 entsteht, in der eine kapselförmige Ablenkvorrichtung 66 angeordnet ist, die weiter unten näher beschrieben wird. In der Kammer 64 ist an der Verbindungsstelle zwischen dem Unterteil 54 und dem Ring 62 ein Dichtring 68 angeordnet; so daß diese. ; Teile gegeneinander. abgedichtet sind.
  • Ein veränderlicher Kondensator 70 weist eine stationäre erste Metallplatte 72 und eine bewegliche zweite Metallplatte 74 von länglicher Form auf, die gegeneinander durch einen Isolatorblock 76 getrennt sind, der an einem. Ende zwischen diesen angeordnet ist. Die Platten 72, 74 und der Block 76 werden durch Schraubän 78 am Ring 62 befestigt. Die Platten 72 und 74 erstrecken sich freitragend parallel und radial nach innen, relativ zum Ring 62.
  • Die als Ablenkvorrichtun-g dienende Druckkapsel 66 ist hohl und hat einen im wesentlichen'kreisförmigen-Querschnitt. Sie ist ferner aus einem flexiblen Material hergestellt, derart, daß beim Einwirken eines Druckmediums eine Ausdehnung eintritt und dadurch das mittlere Teilstück 79 an der.
  • Oberseite sich axial um einen der Größe des Druckes entsprechenden Betrag bewegt; Die Druckkapsel 66' kann mit einer ähnlichen Meßeinrichtung in Verbindung stehen wie bei dem Ausführungsbeispiel, nach Fig. 1 und 2.
  • Am freien Ende der beweglichen zweiten Platte 74 ist ein Stift 80 befestigt, der in Beruhrung mit dem mittleren Teil 79 der Druckkapsel 66 steht. Die zweite Platte 74 hat an der Einspannstelle ein im Querschnitt reduziertes Teilstück 82, um so ihre Ablenkung in bezug auf die feste erste Platte 72 entsprechend dem Druckverlauf in der Ablenkvorrichtung 66 zu erleichtern, wodurch dann die Kapazität des Kondensators entsprechend den Druckänderungen verändert wird.
  • Das freie Ende der festen ersten Platte 72 erstreckt sich über die bewegliche zweite Platte 74 hinaus, und an dieser Stelle ist mit Hilfe von Schrauben 84 ein Kunststoffträger86 befestigt. Eine Schraube 88 greift mit einem Teilstück 90 von größerem Durchmesser in miteinander fluchtende Gewindelöcher92 und 94 im UnterteilS4 bzw. im Ring 62 ein. Die Schraube 88 hat am anderen Ende ein Gewindeteilstück von kleinerem Durchmesser, mit dem sie in ein Gewindeloch 98 am Träger 86 eingeschraubt ist.
  • Die feste erste Platte 72 hat an der Einspannstelle ebenfalls ein Teilstück 100 von geringerer Dicke, um so die Biegebewegung dieser Platte zu erleichtern.
  • Wenn die Schraube 88 in die Löcher 92 und 94 eingeschraubt wird, wird sie auch gleichzeitig in das Loch 98 eingeschraubt. Die Steigungen der Gewinde an den Teilstücken 90 und 96 sind unterschiedlich, und da das Unterteil 54 und der Ring 62 fest miteinander verbunden sind, bewegt sich die feste erste Platte 72 gegenüber der beweglichen zweiten Platte 74 um einen Betrag, der dem Unterschied in der Steigung für jede einzelne Drehung der Schraube 88 entspricht.
  • Da der Kapazitätswert des Kondensators70 auf den Abstand zwischen den beiden Platten 72 und 74 stark anspricht, ergibt die beschriebene Einrichtung eine Feineinstellung für den Ausgangswert des Kondensators. Das Ende der Schraube 88, entgegengesetzt zu dem einen kleineren Durchmesser aufweisenden Teilstück 96, hat einen Schlitz 101 zum Einsetzen eines Werkzeuges, so daß die Schraube 88 von außen gedreht werden kann.
  • Auf dem Oberteil 52 ist außen ein koaxiales Verbindungsglied üblicher Konstruktion angeordnet, dessen mittlerer Leiter 104 über eine Leitung 105 und einen elektrischen Anschluß 106 elektrisch mit der festen ersten Platte 72 verbunden ist. Der Anschluß 106 wird an der festen ersten Platte 72 durch eine Schraube 78 gehalten, die gegenüber dem Anschlußstück 106 und der Platte 72 durch eine Kunststoffhülsel08 isoliert ist. Das äußere Gehäuse des Verbindungsgliedes 102 ist elektrisch mit der flexiblen zweiten Platte 74 durch den Ring 62, das Unterteil 54 und das Abstandsstück 56 verbunden.

Claims (16)

  1. Patentansprüche: 1. Kapazitativer Meßumformer, der bei Änderungen des Abstandes zwischen einer ersten und einer zweiten Platte eine entsprechende Änderung in der Größe seiner Kapazität erfährt, g ekennzeichnet durch folgende Merkmale: a) die erste und die zweite Platte (28 und 22) bzw. (72 und 74) sind in einem Gehäuse (10 bzw. 50) angeordnet, b) im Gehäuse (10 bzw. 50) ist eine Ablenkvorrichtung (Kammer 20 b bzw. Druckdose 66) angeordnet, die zur Auslenkung der zweiten Platte (22 bzw. 74) mit dieser in Wirkverbindung steht, c) im Gehäuse (10 bzw. 50) ist eine Einstellvorrichtung (Schrauben 30 bzw. 38) angeordnet, die zur Einstellung eines Anfangswertes der Kapazität mit der ersten Platte (28 bzw. 72) in Wirkverbindung steht, d) die erste Platte (28 bzw. 72) ist gegenüber dem Gehäuse (10 bzw. 50) mittels Kunststoffträgern (26 bzw. 76, 86) isoliert, e) die Einstellvorrichtung (Schrauben 30 bzw.
    88) greift an einem Teil (26 bzw. 86) der Kunststoffträger an.
  2. 2. Meßumformer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Platte (22 bzw. 74) unterhalb der ersten Platte (28 bzw. 72) angeordnet ist.
  3. 3. Meßumformer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Platten (72, 74) durch Verbindungsmittel (Block 76) im Abstand voneinander gehalten sind.
  4. 4. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Platte (28) und die zweite Platte (22) durch unterschiedliche Montagemittel gehalten sind.
  5. 5. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (10 bzw. 50) aus einem Oberteil (12 bzw. 52) und einem Unterteil (14 bzw. 54) besteht, zwischen denen ein Abstandsstück (16 bzw. 56) eingeklemmt ist.
  6. 6. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Platte (22 bzw. 74) in elektrischer Verbindung mit ihrem Träger bzw. dem Gehäuse (10 bzw. 50) steht.
  7. 7. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß an der ersten Platte (72) ein Isolierarm (86) befestigt ist, an dem eine als Einstellvorrichtung wirkende Schraube (88) angreift, die im Gehäuse (50) drehbar ist.
  8. 8. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die als Einstellvorrichtung wirkende Schraube (30) im Gehäuse (10) verankert ist.
  9. 9. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellvorrichtung eine Vielzahl von Schrauben (30) aufweist, die mit der ersten Platte (28) bzw. deren Träger sowie mit dem Gehäuse (10) in Verbindung stehen.
  10. 10. Meßumformer nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der ersten Platte (28) bzw. ihrem Träger und dem Gehäuse (10) Federmittel angeordnet sind, welche sich in Richtung auf die zweite Platte (22) zu bewegen versuchen.
  11. 11. Meßumformer nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellvorrichtung mindestens drei Schrauben (30) aufweist, auf deren jeder ein 0-Ring (38) als Federmittel angeordnet ist.
  12. 12. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Platte (72) freitragend an einem Ende gehalten ist und an diesem Ende ein isolierender Block (76) als Abstandsstück zwischen den beiden Platten (74 und 76) sowie die Verbindungsmittel (78) angeordnet sind.
  13. 13. Meßumformer nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die als Einstellvorrichtung dienende Schraube (88) einen ersten und einen zweiten Gewindeteil (90, 96) aufweist, von denen der erste Teil (90) in das Gehäuse (50) und der zweite Teil (96) in den Tsolierarm (85) eingreift.
  14. 14. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkvorrichtung eine geschlossene Kammer (20 b bzw. 66) aufweist, die ein Druckmediumsigual entsprechend der Änderungen der Meßgröße erhält.
  15. 15. Meßumformer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Platte (22) in der Kammer (20b) angeordnet ist bzw. eine Wandung der Kammer bildet.
  16. 16. Meßumformer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkvorrichtung ein besonderes Kapsel glied (66) aufweist, welches mit der zweiten Platte (74) durch einen an dieser befestigten Stift (80) in Verbindung steht.
    In Betracht gezogene Druckschriften : G r a v e: Elektrische Messung nichtelektrischer Größen (1962), S. 27 bis 30.
DEM64281A 1964-03-11 1965-02-23 Kapazitativer Messumformer Pending DE1282302B (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998059228A2 (en) * 1997-06-20 1998-12-30 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure transducer with improved electrode support
EP1077332A3 (de) * 1999-08-17 2002-04-10 Bross Engineering SA Fluiddruckregler für Pumpen

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