JP4264340B2 - キュアリング方法およびキュアリング装置 - Google Patents
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Description
2 基板電極
3 (基板電極の)底面
4 基板
5 (基板の)下面
6 ナノシリコン面電子源
7 網状電極
8 イオン発生空間
9 四角筒
10 (四角筒の)底部
11 気体導入空間
12 硬化性組成物被膜
13 基板
14 キュアリング装置
15 正イオン加速電極
Claims (9)
- 常温下100V以下の電圧によって常圧の気体中に電子を放射する面電子源を用い、その面電子源から放射された電子、その電子が気体分子と衝突して生成される正イオン、およびその電子が気体分子に付着して生成される負イオンの3種類の荷電粒子のうちの少なくとも1種類の荷電粒子によって硬化性組成物被膜を硬化させることを特徴とするキュアリング方法。
- 面電子源から放射された電子、その電子が気体分子と衝突して生成される正イオン、およびその電子が気体分子に付着して生成される負イオンの3種類の荷電粒子のうちの少なくとも1種類の荷電粒子を、加速電極により加速した後に硬化性組成物被膜に入射させて硬化させることを特徴とする請求項1記載のキュアリング方法。
- 加速電極の電圧を調整して荷電粒子を加速することを特徴とする請求項2記載のキュアリング方法。
- 面電子源が、ナノシリコン層と表面電極とが順次形成されたナノシリコン面電子源であることを特徴とする請求項1ないし3いずれかに記載のキュアリング方法。
- 常温下100V以下の電圧によって常圧の気体中に電子を放射する面電子源と、その面電子源から放射される電子が気体分子と相互作用してイオンを発生するイオン発生空間とを有し、面電子源から放射された電子、その電子がイオン発生空間において気体分子と衝突して生成される正イオン、およびその電子が気体分子に付着して生成される負イオンの3種類の荷電粒子のうちの少なくとも1種類の荷電粒子が、硬化性組成物被膜を硬化させることを特徴とするキュアリング装置。
- 底面を有する四角筒状の基板電極と、その基板電極の底面の外側に結合した基板と、さらにその基板の下面に形成され、常温下100V以下の電圧によって常圧の気体中に電子を放射する面電子源と、その面電子源から放射される電子が気体分子と相互作用してイオンを発生するイオン発生空間とを有しており、その面電子源の下方に配置された硬化性組成物被膜を硬化させることを特徴とする請求項5記載のキュアリング装置。
- 面電子源から放射された電子、その電子が気体分子と衝突して生成される正イオンおよびその電子が気体分子に付着して生成される負イオンの3種類の荷電粒子のうちの少なくとも1種類の荷電粒子を加速するための加速電極が設けられていることを特徴とする請求項5または6記載のキュアリング装置。
- 加速電極の電圧が調整可能であることを特徴とする請求項7記載のキュアリング装置。
- 面電子源が、ナノシリコン層と表面電極とが順次形成されたナノシリコン面電子源であることを特徴とする請求項5ないし8いずれかに記載のキュアリング装置。
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