JP4239748B2 - Transport device - Google Patents
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Description
本発明は、被搬送物を爪部材で両側から挟み込んで上下方向に支持しながら搬送する搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a transport device that transports an object to be transported while sandwiching it from both sides with a claw member and supporting it in the vertical direction.
例えば半導体製造施設においては、ウエハへの塵埃の付着を防止するため、FOUP(front opening unified pod)等の収納容器にウエハを収納した状態で搬送を行っている。収納容器の搬送にあたっては、特許文献1に示されているように、収納容器の側面上部に突起状等の支持部を形成し、この支持部を搬送装置の爪部材で両側から挟み込むようにして把持した後、爪部材を上下方向および水平方向に移動させることによって、収納容器を所定の載置部に載置する。そして、収納容器の載置が完了すると、爪部材を開いて支持部から離隔し、爪部材を上昇等させて収納容器から退避させることによって、収容容器内のウエハを取り出し可能な状態にする。
しかしながら、上記のように収納容器の支持部を爪部材で挟み込むようにして把持する搬送装置においては、収納容器が正規の位置に載置されていることを前提に爪部材を位置決めするため、収納容器が正規の位置から外れていると、爪部材が支持部や支持部とは異なる部分に衝突する場合がある。また、爪部材による支持部の把持が不十分となって搬送中に収納容器が落下する場合もある。そして、このようして衝突や落下が起ると、衝撃によりウエハが破損したり、収納容器内に塵埃が飛散してウエハを汚染する原因になる。また、収納容器から爪部材を離隔させる場合においても、収納容器が正規の位置から外れると、爪部材の退避途中に、爪部材が収納容器の支持部等に引っ掛かる結果、上述のウエハの破損や汚染の原因となる衝撃を収納容器に与える場合がある。 However, in the transport device that holds the support portion of the storage container so as to be sandwiched between the claw members as described above, the claw member is positioned on the assumption that the storage container is placed at a proper position. If the container is out of the normal position, the claw member may collide with a support part or a part different from the support part. In addition, the holding container may not be sufficiently gripped by the claw member, and the storage container may fall during transportation. If such a collision or a drop occurs, the wafer is damaged by the impact, or dust is scattered in the storage container to contaminate the wafer. Even when the claw member is separated from the storage container, if the storage container is removed from the normal position, the claw member is caught on the support portion of the storage container while the claw member is being retracted. The container may be given an impact that causes contamination.
このように、従来においては、収納容器が正規の位置から外れたり、正規の位置から外れた収納容器を検出して爪部材の位置決めを調整できないという問題点がある。 As described above, conventionally, there is a problem that the storage container is out of the normal position, or the positioning of the claw member cannot be adjusted by detecting the storage container out of the normal position.
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、および、光ディスク用基板のいずれかを処理対象物として搬送する搬送システムに適用される搬送装置であって、保持体と、前記保持体の両側に左右対称に設けられ、前記処理対象物を収納する被搬送物の支持面部を両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材と、前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とした後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させた後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、前記支持面部の側面に当接可能なように前記保持体の下面に左右対称に設けられ、前記一対の爪部材間の中心位置に前記被搬送物の支持面部を位置決めする位置規制部材とを有することを特徴としている。これにより、爪部材が支持面部に引っ掛かることによる被搬送物の衝撃や揺れ、脱落を防止することができる。 The present invention is a transport device applied to a transport system that transports any of a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk as an object to be processed. A claw member that is provided symmetrically on both sides of the holding body, sandwiches a support surface portion of the object to be processed that accommodates the object to be processed from both sides, and supports the support object in the vertical direction from the lower side, and a support surface portion of the object to be conveyed A horizontal movement mechanism capable of moving the claw member horizontally in a range from directly below to the outside, and the claw member so as to raise and lower the object to be conveyed in a range from a placement height position to a conveyance height position. The elevating mechanism is capable of moving in the vertical direction, and the support surface portion of the object to be transported is lowered while being supported by the claw member to be placed in the mounting state, and then the claw member is retracted from the support surface portion to the side of the object to be transported. The nail member only After the claw member is moved from the side of the object to be transported placed to the lower side of the support surface part to the lower side of the support surface part, the object to be transported is supported while supporting the support surface part by raising the claw member. A lifting / lowering control means to be lifted and provided symmetrically on the lower surface of the holding body so as to be able to come into contact with the side surface of the support surface portion, and the support surface portion of the object to be conveyed at the center position between the pair of claw members And a position regulating member for positioning. Accordingly, it is possible to prevent the object to be transported from being impacted, shaken, or dropped due to the claw member being caught on the support surface portion.
また、本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、および、光ディスク用基板のいずれかを処理対象物として搬送する搬送システムに適用される搬送装置であって、保持体と、前記保持体の両側に左右対称に設けられ、前記処理対象物を収納する被搬送物の支持面部を両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材と、前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、前記支持面部の側面に当接可能なように前記保持体の下面に左右対称に設けられ、前記一対の爪部材間の中心位置に前記被搬送物の支持面部を位置決めする位置規制部材と、を有することを特徴としている。 In addition, the present invention is a transport apparatus applied to a transport system that transports any one of a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk as an object to be processed. A claw member that is provided symmetrically on both sides of the holding body, sandwiches the support surface portion of the object to be processed that stores the object to be processed from both sides, and supports the object vertically from below. A horizontal movement mechanism capable of moving the claw member in a horizontal direction in a range from directly below to the outside of the support surface portion, and to move the conveyed object up and down in a range from a placement height position to a conveyance height position. An elevating mechanism capable of moving the claw member in the vertical direction, a holding detection sensor for detecting that the claw member is in contact with the support surface portion of the object to be transported, and a support surface portion of the object to be transported that is placed And the nail part A height position detection sensor for detecting a predetermined portion of the object to be conveyed when the claw member is present in a horizontal plane at a horizontal movement height position that can be opposed to each other in a non-contact manner, and support of the object to be conveyed The surface portion is lowered while being supported by the claw member to be placed, and after confirming that the claw member is not in contact with the support surface portion by the height position detection sensor, the claw member is covered from the support surface portion. The mounting control means for retreating to the side of the conveyed product and raising only the claw member, and that the claw member is in a non-contact approach height position with respect to the support surface portion of the object to be conveyed. After confirming by the height position detection sensor, the claw member is entered from the side of the conveyed object to the lower side of the support surface part, and after confirming that the claw member is in contact with the support surface part by the holding detection sensor, Supporting the support surface by raising the claw member Want a pull-out control means for increasing the transported object, provided symmetrically to the lower surface of the sides can abut a way the holder of the support surface, wherein the transport to the center position between the pair of pawl members And a position restricting member for positioning the support surface portion of the object .
これにより、装着動作時および抜脱動作時において、被搬送物に爪部材が衝突して衝撃を与えたり、被搬送物に爪部材を引っ掛けて脱落させる等の原因を解消することができる。 As a result, it is possible to eliminate causes such as the claw member colliding with the object to be transported and giving an impact during the mounting operation and the withdrawal operation, or the claw member being hooked on the object to be dropped.
また、本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、および、光ディスク用基板のいずれかを処理対象物として搬送する搬送システムに適用される搬送装置であって、軌道上を走行する走行台車と、前記走行台車に吊り下げ状態に昇降可能に支持された保持体と、前記保持体の両側に左右対称に設けられ、前記処理対象物を収納する被搬送物の支持面部を両側から進退移動させることにより下側から上下方向に支持する一対の爪部材と、前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、前記支持面部の側面に当接可能なように前記保持体の下面に左右対称に設けられ、前記一対の爪部材間の中心位置に前記被搬送物の支持面部を位置決めする位置規制部材と、を有することを特徴としている。これにより、装着時や抜脱時において、被搬送物に爪部材が衝突して衝撃を与えたり、被搬送物に爪部材を引っ掛けて脱落させる等の原因を解消することができる。 The present invention also relates to a transport device applied to a transport system for transporting any one of a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk as a processing object. A traveling carriage that travels above, a holding body supported so as to be lifted and lowered in a suspended state on the traveling carriage, and a support object that is provided symmetrically on both sides of the holding body and stores the object to be processed A pair of claw members that are supported in the vertical direction from the lower side by moving the surface portion back and forth from both sides, a holding detection sensor that detects that the claw member is in contact with the support surface portion of the object to be conveyed, and a mounting state When the claw member exists in a horizontal plane at a horizontal movement height position that allows the support surface portion of the transported object and the claw member to be opposed to each other without contact, a predetermined part of the transported object is detected. Do The position detection sensor and the support surface part of the object to be conveyed are lowered while being supported by the claw member to be in a placement state, and the claw member is not in contact with the support surface part by the height position detection sensor. After the confirmation, the claw member is retracted from the support surface portion to the side of the object to be transported, the mounting control means for raising only the claw member, and the claw member with respect to the support surface part of the object to be transported placed Is confirmed to be a non-contact approach height position by the height position detection sensor, and then the claw member is entered from the side of the conveyed object to the lower side of the support surface portion, and the claw member is moved by the holding detection sensor. After confirming contact with the support surface portion, the removal control means for lifting the object to be conveyed while supporting the support surface portion by raising the claw member, and the holding so as to be able to contact the side surface of the support surface portion It provided symmetrically on the lower surface of the body, Serial is characterized by having a position regulating member for positioning the support surface of the object to be conveyed to the center position between the pair of pawl members. Thereby, at the time of attachment or removal, it is possible to eliminate causes such as the claw member colliding with the object to be conveyed and giving an impact, or the nail member being hooked on the object to be dropped and dropping.
以上の発明によれば、被搬送物の支持面部と一対の爪部材との位置関係を常に一定の状態に維持させることができるため、爪部材が支持面部に引っ掛かる等による被搬送物の衝撃や揺れ、脱落をより一層十分に防止することができる。 According to the above invention , since the positional relationship between the support surface portion of the object to be conveyed and the pair of claw members can always be maintained in a constant state, the impact of the object to be conveyed due to the claw member being caught on the support surface portion, etc. Shaking and dropping can be prevented more sufficiently.
また、本発明は、前記高さ位置検知センサーが前記位置規制部材に設けられていることを特徴としている。これにより、高さ位置検知センサーの取り付けを容易に行うことができる。 Further, the present invention is characterized in that the height position detection sensor is provided on the position regulating member. Thereby, attachment of a height position detection sensor can be performed easily.
また、本発明は、前記装着制御手段は、前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とする際に、載置状態に載置するときの下降速度が最も低速となるように、下降速度を可変する下降速度制御手段を有することを特徴としている。これにより、被搬送物の載置を短時間で完了できると共に、安定して行うことができる。 Further, according to the present invention, when the mounting control unit lowers the support surface portion of the object to be transported while supporting it with the claw member and sets the mounting state, the lowering speed when mounting in the mounting state is the highest. It is characterized by having a descending speed control means for varying the descending speed so as to be low. Thereby, the placement of the object to be conveyed can be completed in a short time and can be performed stably.
本発明の搬送装置は、爪部材が支持面部に引っ掛かることによる被搬送物の衝撃や揺れ、脱落を防止することができるという利点がある。 The conveyance device of the present invention has an advantage that the object to be conveyed can be prevented from being shocked, shaken, or dropped due to the claw member being caught on the support surface portion.
本発明の実施形態を図1ないし図13に基づいて以下に説明する。
本実施例に係る搬送装置の一種である懸垂搬送装置は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間において処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする施設の搬送システムに適用される。尚、以降の説明においては、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を搬送する搬送システムに適用した場合について説明するが、これに限定されるものではなく、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を搬送する全業種の搬送システムに適用することができる。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
A suspended transfer device, which is a type of transfer device according to the present embodiment, is used in a transfer system of a facility that is used as a final product while transferring an object to be processed in a process or between processes as in a semiconductor product manufacturing facility. Applied. In the following description, a case where the present invention is applied to a transport system that transports an object to be processed such as a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk will be described. However, the present invention can be applied to a transport system for all industries that transports electronic parts, mechanical parts, chemicals, foods, documents, and other items.
上記の搬送システムは、図13に示すように、OHT(over head hoist transport)方式の搬送方式およびリニア駆動方式の走行方式を採用している。この搬送システムは、天井面に固設されたレール機構21と、レール機構21に沿って走行する懸垂搬送装置1とを有している。レール機構21は、直線軌道や曲線軌道、分岐軌道等を形成する各種のモジュールの組み合わせからなっており、これら各種のモジュールを組み合せることによって、CVD装置等の処理装置17の上方や側方を通過する搬送軌道を形成している。
As shown in FIG. 13, the transport system employs an OHT (over head hoist transport) transport system and a linear drive travel system. This transport system includes a
レール機構21の各モジュールは、押出し成形等により形成された中空状のレール枠体22と、レール枠体22を天井面に取り付ける固定具23とを有している。レール枠体22は、鉛直方向に配置される左側面壁22aおよび右側面壁22bと、両側面壁22a・22bの上端部同士を連結した上面壁22cとを有している。上面壁22cの下面中心部には、永久磁石24(二次側磁石)が長手方向に設けられている。また、左側面壁22aと右側面壁22bとは、左右対称に形成されている。各側面壁22a・22bの下端位置には、下面部22d・22dが形成されている。下面部22d・22dは、内側方向に向けて形成されており、下面部22d・22d同士が対向されたときに、懸垂搬送装置1の後述する棒状支持部材5が通過する最小限の隙間を出現させる程度の長さに設定されている。
Each module of the
また、各側壁部22a・22bの中間位置には、ガイド部22eが形成されている。ガイド部22eは、上面壁22cに対して平行に配置され、先端部が下方に曲折されている。ガイド部22eは、懸垂搬送装置1の後述するガイドローラ14に係合可能に配置されている。そして、ガイド部22eは、搬送径路が2方向に分岐されている場合、ガイドローラ14の係合により懸垂搬送装置1を何れかの分岐方向に進行させるようになっている。
A
上記のガイド部22eと上面壁22cとの間には、絶縁材料で形成された支持梁25・25が上下一対に設けられている。各支持梁25の先端部には、一次給電線16がそれぞれ設けられている。また、支持梁25は、一次給電線16を搬送軌道の全長に渡って一定の高さ位置に保持するように、搬送軌道方向に所定の間隔で配置されている。一次給電線16は、図示しない給電装置に接続されており、給電装置からの高周波電力を懸垂搬送装置1の後述する給電機構15に供給するようになっている。
A pair of upper and
上記のように構成されたレール枠体22は、懸垂搬送装置1を走行可能に係合している。懸垂搬送装置1は、収納容器51を昇降可能に保持および懸吊する昇降懸吊機構3と、昇降懸吊機構3の上面に連結された駆動機構4とを有している。尚、収納容器51は、一部が外部雰囲気に解放されたOC(open cassette)形式や、容器内部が密閉されたFOUP(front opening unified pod)形式のキャリアであり、内部にウエハを収納する収納箱52と、収納箱52の上面に設けられたフランジ部材53とを有している。フランジ部材53は、収納箱52の上面に突出された胴部53aと、胴部53aの上端に形成され、胴部53aの外径よりも大きな外径を有する支持面部53bとを有しており、縦断面がT字形状に形成されている。
The
上記の駆動機構4は、レール枠体22の内部において鉛直方向に配置された棒状支持部材5と、棒状支持部材5の上端に設けられた一次側コイル(一次側磁石)6とを有している。一次側コイル6は、レール機構21の永久磁石24(二次側磁石)に対向するように配置されており、永久磁石24とでリニアモータを構成している。一次側コイル6は、一次側鉄心コア(積層鉄心)と3相コイルとで構成されており、3相交流の電流が通電されることにより直線状に移動する進行磁界を発生する。そして、一次側コイル6は、レール機構21の永久磁石24との間の磁気作用により懸垂搬送装置1を走行させる推進力や、停止状態を維持する保持力を発生させる。
The
上記の一次側コイル6の両側には、給電機構15・15が左右対称に設けられている。これらの給電機構15・15は、棒状支持部材5により支持されている。各給電機構15は、二次側鉄心と巻線とを有しており、上述の一次給電線16から供給される高周波電力を受け、高周波電流を生成する。給電機構15は、図示しない電流変換部に接続されている。電流変換部は、整流回路において高周波電流を一旦直流に変換し、PWM変換回路において3相交流に変換した後、この電流を上述の一次側コイル6に通電させるようになっている。
On both sides of the primary coil 6, the
給電機構15の下方には、ガイド機構12と走行ローラ機構7とがこの順に設けられている。ガイド機構12は、レール機構21の幅方向にスライド可能に設けられたスライド機構13と、スライド機構13の両端部に回転自在に設けられたガイドローラ14・14とを有している。ガイド機構12は、ガイドローラ14・14の何れか一方を上述のガイド部22eに係合することにより進行方向を変更可能にしている。
Below the
また、走行ローラ機構7は、棒状支持部材5に水平方向に固設された走行支持板8と、走行支持板8の下面に設けられた軸受け部材9と、軸受け部材9に回転自在に軸支されたローラ回転軸10と、ローラ回転軸10の両端部に設けられた走行ローラ11とを有している。走行ローラ11は、懸垂搬送装置1の走行時の安定性を確保するように、懸垂搬送装置1の走行方向の前側および後側において左右一対に設けられている。また、走行ローラ11は、レール枠体22の下面部22dに載置されている。そして、走行ローラ機構7は、懸垂搬送装置1をレール機構21に走行自在に係合させていると共に、リニアモータである一次側コイル6と永久磁石24とのギャップ長を確保している。
The
上記の走行ローラ機構7等を支持する棒状支持部材5は、下端部がレール枠体22の外部に突出されている。棒状支持部材5の下端部は、昇降懸吊機構3に連結されている。昇降懸吊機構3は、昇降機構31と、昇降機構31により昇降される把持機構32とを有している。昇降機構31は、略長方体形状に形成された収容枠体41と、収容枠体41に収容された4台の懸吊モジュールとを有している。各懸吊モジュールは、把持機構32を介して収納容器51を懸吊するタイミングベルト43と、タイミングベルト43を巻戻しおよび巻取る巻取ドラムと、タイミングベルト43を巻戻し方向および巻取り方向に送り出すタイミングプーリと、巻取ドラムを巻戻し方向および巻取り方向に切替え可能に回転駆動するドラム駆動モータとを有している。そして、昇降機構31は、収納容器51を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように把持機構32を上下方向に移動可能になっている。
The rod-like support member 5 that supports the traveling
一方、把持機構32は、図3に示すように、略長方体形状に形成された収容枠体34と、収容枠体34の両側に左右対称に設けられた爪部材33・33と、収容枠体34の下面に左右対称に設けられた位置規制部材35・35とを有している。各爪部材33は、略C字形状に形成されており、上側に位置する上辺部33aと、下側に位置する下辺部33bと、上辺部33aおよび下辺部33bを連結する連結部33cとを有している。爪部材33の上辺部33aは、収容枠体34内に位置されていると共に、この収容枠体34内において図示しない爪部材駆動機構に連結されている。爪部材駆動機構は、両爪部材33・33を互いに逆方向に進退移動させることによって、爪部材33・33を開閉させるようになっている。
On the other hand, as shown in FIG. 3, the gripping
また、爪部材33の連結部33cおよび下辺部33bは、収容枠体34の外部に位置されている。連結部33cは、収容枠体34の側面に沿って垂下されている。下辺部33bは、連結部33cの下端部から内側方向に90度曲折されている。連結部33cは、下辺部33bと収容枠体34の下面との間にフランジ部材53の支持面部53bを収容する程度の長さに設定されている。これにより、爪部材33・33は、フランジ部材53の上面と収容枠体34の下面との間に隙間56を形成させながら支持するようになっている。
Further, the connecting
また、下辺部33bと上述の爪部材駆動機構による移動長との関係は、爪部材33・33が閉状態にされたときに、下辺部33b・33bの先端同士の間隔が支持面部53bの外径よりも小さくて胴部53aの外径よりも大きくなるように設定されている。これにより、爪部材33・33は、閉状態にされることによって、下辺部33bの先端をフランジ部材53の胴部53aに接触させることなく、下辺部33bの先端部で支持面部53bを両側から挟み込んで上下方向に支持可能になっている。一方、爪部材33・33が開状態にされたときには、下辺部33b・33bの先端同士の間隔が収容枠体34の外径よりも大きくなるように設定されている。尚、フランジ部材53の支持面部53bは、収容枠体34の外径よりも十分に小さな外径に設定されている。これにより、爪部材33・33は、開状態にすれば、フランジ部材53(支持面部53b)に接触することなく上下方向に移動可能になっている。
Further, the relationship between the
上記の爪部材33・33の内側には、位置規制部材35・35が左右対称に設けられている。これらの位置規制部材35・35は、上端が収容枠体34の下面両端部にそれぞれ固設され、連結部33cに沿って垂下された後、下端が下辺部33bの先端部の上方近傍に位置するように設けられている。また、位置規制部材35・35は、フランジ部材53の支持面部53bの幅よりも大きな間隔で配置されている。これにより、位置規制部材35・35は、爪部材33・33で支持面部53bを両側から挟み込んだ状態であるときに、支持面部53bの両側面に対向し、支持面部53bの側面に当接することにより支持面部53bを位置規制部材35・35間に存在させるようになっている。
上記の位置規制部材35・35の内側面には、フランジ検知センサー55の発光器55aおよび受光器55bがそれぞれ設けられている。フランジ検知センサー55は、発光器55aから出射した光を受光器55bで受光するか否かで検出信号の出力と停止とを切り替えるように構成されている。また、フランジ検知センサー55は、支持面部53bを支持したときに形成される隙間56内で光を進行させるように設けられている。これにより、フランジ検知センサー55は、載置台60に載置状態にされた収納容器51におけるフランジ部材53の支持面部53bと爪部材33・33とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に爪部材33・33が存在するとき、即ち、支持面部53bと収納箱52との間に支持面部53bが非接触で存在するときに、支持面部53bを検知することが可能になっている。
A
また、各爪部材33・33における下辺部33bの先端部上面には、第1および第2保持検知センサー57a・57bがそれぞれ設けられている。第1および第2保持検知センサー57a・57bは、例えばリミットスイッチ等からなっており、下辺部33bの先端部上面が支持面部53bに当接したことを検知するようになっている。
Moreover, the 1st and 2nd holding |
上記のフランジ検知センサー55および第1および第2保持検知センサー57a・57bは、図1に示すように、昇降制御装置61に接続されている。昇降制御装置61は、第1および第2保持検知センサー57a・57bが接続された爪部材離隔判定部62と、フランジ検知センサー55が接続されたフランジ検知判定部63とを有している。爪部材離隔判定部62は、第1および第2保持検知センサー57a・57bからの出力信号がON状態であれば、爪部材33・33により支持面部53bが保持されていると認識する一方、OFF状態であれば、爪部材33・33が支持面部53bから離隔したと認識する機能を有している。また、フランジ検知判定部63は、フランジ検知センサー55からの出力信号がOFF状態であれば、支持面部53bがフランジ検知センサー55の取り付け高さ位置、即ち、爪部材33・33の下辺部33b・33bが支持面部53bと収納容器51との間に非接触で存在すると認識する一方、ON状態であれば、収納容器51が爪部材33・33により支持状態または抜脱状態であると認識する機能を有している。
The
上記の爪部材離隔判定部62は、爪部材開閉指示部64に接続されている。爪部材開閉指示部64は、把持機構32に接続されており、爪部材離隔判定部62からの認識信号に基づいて把持機構32の爪部材33・33を開閉させる機能を有している。また、爪部材離隔判定部62は、昇降指示部65にも接続されている。昇降指示部65には、上述のフランジ検知判定部63が接続されていると共に、搬送高さ判定部66が接続されている。搬送高さ判定部66は、昇降機構31により把持機構32が搬送高さにまで上昇したことを検出して昇降指示部65に出力する機能を有している。
The claw member
上記の昇降指示部65は、搬送高さ判定部66からの検出信号が入力されたときに、昇降機構31に対して把持機構32の上昇を停止させる機能と、爪部材離隔判定部62およびフランジ検知判定部63からの認識信号に基づいて把持機構32の昇降および停止を制御する機能とを有している。この制御機能を具体的に説明すると、昇降指示部65がカセット装着モードで動作している場合には、収納容器51を保持した状態で把持機構32を下降させ、フランジ検知判定部63からの認識信号により爪部材33の下辺部33bが支持面部53bに対して非接触の高さ位置にまで下降したことを確認したときに下降を停止させる機能と、下降を停止したときに、爪部材離隔判定部62からの認識信号により爪部材33・33と収納容器51とが離隔したことを確認することでカセット装着の成否を判定する機能とを発揮するようになっている。また、昇降指示部65がカセット抜脱モードで動作している場合には、収納容器51を保持しない状態で把持機構32を下降させ、フランジ検知判定部63からの認識信号により爪部材33の下辺部33bが支持面部53bに対して非接触の高さ位置にまで下降したことを確認したときに下降を停止させる機能と、爪部材33・33を閉状態にして把持機構32を上昇させたときに、爪部材離隔判定部62からの認識信号により爪部材33・33と収納容器51とが離隔したことを確認することでカセット装着の成否を判定する機能とを発揮するようになっている。
The lifting / lowering
また、昇降制御装置61は、速度切換高さ判定部67と、速度切換高さ判定部67に接続された下降速度切換え部68と、下降速度切換え部68に接続された高速指示部69および低速指示部70とを有している。速度切換高さ判定部67は、把持機構32が速度切換高さ位置に存在するか否かを判定する機能を有している。下降速度切換え部68は、把持機構32が速度切換高さ判定部67で速度切換高さ位置に到達したと判定されたときに、把持機構32が下降する条件であれば、高速指示部69および低速指示部70を制御して把持機構32の下降速度を高速から低速に切り替える機能を有している。高速指示部69は、昇降機構31に対して把持機構32を高速で移動させるように指示する機能を有している。低速指示部70は、昇降機構31に対して把持機構32を低速で移動させるように指示する機能を有している。
In addition, the lifting
上記のように構成された昇降制御装置61は、カセット装着認識部71およびカセット抜脱認識部72に接続されている。これらの認識部71・72には、カセット着脱信号読取部73が接続されている。カセット着脱信号読取部73には、図示しないメインコントローラが接続されている。そして、カセット着脱信号読取部73は、メインコントローラからの指示信号を受信し、指示信号がカセット着脱信号であれば、この信号をカセット装着認識部71およびカセット抜脱認識部72にそれぞれ出力する機能を有している。また、カセット装着認識部71は、カセット着脱信号がカセット装着を指示する信号内容であるか否かを判定し、カセット装着であれば、昇降制御装置61をカセット装着モードに設定する機能を有している。一方、カセット抜脱認識部72は、カセット着脱信号がカセット抜脱を指示する信号内容であるか否かを判定し、カセット抜脱であれば、昇降制御装置61をカセット抜脱モードに設定する機能を有している。
The lifting
尚、昇降制御装置61やカセット装着認識部71、カセット抜脱認識部72は、上述のようにハードウエア的に構成されていても良いし、ソフトウエア的に構成されていても良い。即ち、図2のカセット装着ルーチンおよび図7のカセット抜脱ルーチンからなるプログラムにより同一の機能を発揮するように構成されていても良い。この際、各ルーチンからなるプログラムは、記憶部のROMに予め読み出し専用に書き込まれていても良いし、CD等の記録媒体に記録されたものが必要時に読み出されて記憶部に書き込まれても良いし、さらにはインターネット等の電気通信回線を介して伝送されて記憶部に書き込まれても良い。
In addition, the raising / lowering
上記の構成において、搬送装置の動作を図2および図7の各ルーチンに基づいて説明する。 In the above configuration, the operation of the transport apparatus will be described based on the routines shown in FIGS.
先ず、図示しないメインコントローラは、全ての収納容器51の保管状態や搬送先等を管理および監視していると共に、搬送軌道上に存在する全ての懸垂搬送装置1の搬送状態を管理および監視している。そして、懸垂搬送装置1を処理装置17に移動させる場合には、懸垂搬送装置1と処理装置17とを特定した後、この特定した内容を含んだ指令信号を懸垂搬送装置1に送信する。そして、この指令信号に基づいて懸垂搬送装置1が処理装置17に移動する。この後、収納容器51を処理装置17に装着する場合には、収納容器51の装着を指示する内容を含んだ指令信号が懸垂搬送装置1に送信される。一方、処理装置17から収納容器51を取り出す場合には、収納容器51の取り出しである抜脱を指示する内容を含んだ指令信号が懸垂搬送装置1に送信される。
First, the main controller (not shown) manages and monitors the storage state and the transfer destination of all the
上記のようにして懸垂搬送装置1に指令信号が送信されると、この指令信号を受けた懸垂搬送装置1は、指令信号に含まれる信号内容を読み取り、カセット装着を示す信号内容であれば、カセット装着モードであると認識し、図2のカセット装着ルーチンを実行する。一方、信号内容がカセット抜脱を示す場合には、カセット抜脱モードであると認識し、図7のカセット抜脱ルーチンを実行する。
When a command signal is transmitted to the
例えば収納容器51を処理装置17にセットする場合には、保管棚等に保管された収納容器51が懸垂搬送装置1の把持機構32の爪部材33・33により両側から挟み込むようにして把持され、搬送に支障のない搬送高さ位置にまで引き上げられた後、処理装置17に搬送される。尚、このような収納容器51を保持して搬送高さ位置にまで引き上げる一連の動作は、後述の図7のカセット抜脱ルーチンの実行による動作と同一である。
For example, when the
次に、収納容器51を保持した懸垂搬送装置1が所定の処理装置17に移動し、この処理装置17の載置台60上に到達すると、図2のカセット装着ルーチンが実行される。先ず、図3に示すように、昇降機構31からタイミングベルト43が高速で繰り出されることによって、タイミングベルト43に懸吊された把持機構32が高速で下降される(S1)。この際、所定距離を下降した速度切換高さ位置にまで把持機構32が下降したか否かが判定される(S2)。そして、所定距離を下降していなければ(S2,NO)、高速の下降が継続される。この結果、把持機構32が搬送高さ位置から速度切換高さ位置までの所定距離を短時間で移動するため、装着に要する時間が短縮される。そして、所定距離を下降したときに(S2,YES)、低速の下降に切り替えられる(S3)。
Next, when the suspended
尚、高速の下降とは、収納容器51内のウエハが荷崩れしない範囲で最大の下降速度であることが好ましい。また、下降速度は、下降途中で変化しても良く、例えば搬送高さ位置から徐々に下降速度が増大されるようになっていても良い。また、低速の下降とは、載置台60に収納容器51を載置したときの衝撃でウエハが荷崩れしない程度の速度を意味する。また、下降速度は、下降途中で変化しても良く、例えば搬送高さ位置から徐々に下降速度が減少され、載置時に最低速度となるように設定されていても良い。
The high speed descent is preferably the maximum descent speed as long as the wafer in the
所定距離を下降して低速の下降に切り替えられると、懸垂搬送装置1は、フランジ検知センサー55の検知信号がOFF状態であるか否かを判定し(S4)、OFF状態でなければ(S4,NO)、把持機構32の下降を継続する。尚、爪部材33・33がフランジ部材53の支持面部53bを把持して上下方向に支持している場合、フランジ検知センサー55は、発光器55aと受光器55bとの間に障害物が存在しないため、光の送受信によりON状態の検知信号を出力している。
When the predetermined distance is lowered and switched to a low speed descent, the
この結果、図4に示すように、収納容器51が昇降機構31と共に下降し、載置台60に載置される。この際、上述のように、収納容器51が載置台60に低速で下降されながら載置されるため、載置による衝撃は極めて小さなものとなり、収納容器51内のウエハの荷崩れや塵埃の飛散は殆んど起らない。また、収納容器51が載置台60に載置された場合においても、フランジ検知センサー55の検知信号がON状態であるため、把持機構32が下降を継続する。これにより、以後は、把持機構32のみが下降し、爪部材33・33がフランジ部材53の支持面部53bから離隔する。そして、把持機構32がさらに下降し、フランジ検知センサー55により検知され、フランジ検知センサー55の検知信号がOFF状態に変化したときに(S4,YES)、爪部材33が支持面部53bに対して非接触になったと認識されて下降が停止される(S5)。
As a result, as shown in FIG. 4, the
この後、第1および第2保持検知センサー57a・57bの検知信号がOFF状態か否かが判定されることによって、両方の爪部材33・33が支持面部53bから離隔しているか否かが判定される(S6)。第1および第2保持検知センサー57a・57bの少なくとも一方がON状態である場合には(S6,NO)、
爪部材33・33の少なくとも一方が支持面部53bに引っ掛かっている等の原因により載置が失敗したと認識する。そして、失敗した旨をオペレータに報知したり、懸垂搬送装置1の動作を停止する等の失敗処理を行った後(S9)、本ルーチンを終了する。
Thereafter, it is determined whether or not the detection signals of the first and second
It is recognized that the placement has failed due to a cause such that at least one of the
一方、第1および第2保持検知センサー57a・57bの両方がOFF状態である場合には(S6,YES)、図5に示すように、爪部材33・33の下辺部33b・33bが支持面部53bと収納箱52との間に非接触で存在すると判断し、爪部材33・33を互いに離れる方向に移動させる(S7)。これにより、爪部材33・33は、下辺部33b・33bの先端同士の間隔が収容枠体34の外径よりも大きくなるまで拡大した開状態、即ち、収納容器51のフランジ部材53の側方に退避された状態となる。尚、このような爪部材33・33の退避時においては、爪部材33・33の下辺部33b・33bが上述のように支持面部53bと収納箱52との間に非接触で位置していることが確認されているため、爪部材33が収納容器51に引っ掛かって収納容器51を傾けたり、収納容器51に衝突して衝撃を与えることはない。これにより、収納容器51内のウエハの破損や塵埃による汚染が防止される。
On the other hand, when both the first and second
この後、図6に示すように、爪部材33・33を開状態としながら把持機構32を上昇させて上限位置、即ち、搬送高さ位置にまで上昇させる(S8)。この際、収納容器51が正規の位置に載置され、懸垂搬送装置1の真下に位置していた場合には、爪部材33・33が収納容器51のフランジ部材53の側方に退避されているため、支持面部53bに爪部材33が引っ掛かることはない。
Thereafter, as shown in FIG. 6, the gripping
一方、収納容器51が正規の位置から外れて載置された場合のように、懸垂搬送装置1の真下から爪部材33の開閉方向に外れた状態で収納容器51が載置された場合には、把持機構32は、タイミングベルト43で懸吊されているだけであるため、爪部材33・33と支持面部53bとが離隔すると、重力の影響を受けて爪部材33の開閉方向に移動する。この際、把持機構32の位置規制部材35・35は、上端が収容枠体34の下面両端部にそれぞれ固設され、爪部材33の連結部33cに沿って垂下された後、下端が下辺部33bの先端部の上方近傍に位置するように設けられている。従って、爪部材33・33の下辺部33b・33bが支持面部53bの下方に移動して開状態にされたときには、フランジ部材53の支持面部53bが位置規制部材35・35間に位置した状態となっている。
On the other hand, when the
これにより、把持機構32が爪部材33の開閉方向に大幅に移動する状態になった場合でも、把持機構32の位置規制部材35・35が支持面部53bの側面に当接するため、支持面部53bが位置規制部材35・35間に存在することになる。また、開状態の爪部材33・33は、爪部材33・33の下辺部33b・33bの先端部の間隔が位置規制部材35・35の間隔よりも大きくなるように設定されている。この結果、把持機構32を上昇させたときに、爪部材33・33の下辺部33b・33bが支持面部53bに引っ掛かることはない。
As a result, even when the
次に、処理装置17から収納容器51を抜脱する場合には、上記のようにして空状態となった懸垂搬送装置1が所定の処理装置17に移動する。そして、この処理装置17の載置台60上に到達したときに、図7のカセット抜脱ルーチンが実行される。先ず、図8に示すように、爪部材33・33が開状態にされた後(S11)、昇降機構31からタイミングベルト43が高速で繰り出されることによって、タイミングベルト43に懸吊された把持機構32が高速で下降される(S12)。この際、所定距離を下降した速度切換高さ位置にまで把持機構32が下降したか否かが判定され(S13)、所定距離を下降していなければ(S13,NO)、高速の下降が継続される。尚、空状態の把持機構32を下降させる速度は、収納容器51を保持した状態の把持機構32を下降させる速度よりも高速であっても良い。
Next, when the
所定距離を下降すると(S13,YES)、低速の下降に切り替えられる(S14)。そして、懸垂搬送装置1は、フランジ検知センサー55の検知信号がOFF状態であるか否かを判定し(S15)、OFF状態でなければ(S15,NO)、把持機構32の下降を継続する。この結果、開状態の爪部材33・33の間にフランジ部材53の支持面部53bが低速で進入し、図9に示すように、支持面部53bがフランジ検知センサー55で検知されたときに(S15,YES)、下降が停止される(S16)。これにより、爪部材33・33の下辺部33b・33bが支持面部53bと収納箱52の上面との間の高さ位置に位置決めされることになる。
When the predetermined distance is lowered (S13, YES), it is switched to a low-speed descent (S14). Then, the suspended
この後、図10に示すように、爪部材33・33が閉方向に移動され、爪部材33・33の間隔が縮小されることによって、下辺部33b・33bが支持面部53bの下方で水平移動される(S17)。この際、爪部材33が支持面部53bに接触することがないため、収納容器51内のウエハの荷崩れや塵埃の飛散は起らない。
Thereafter, as shown in FIG. 10, the
上記のようにして支持面部53bが爪部材33・33により両側から挟み込むようにされると、続いて、図11に示すように、収容枠体34が低速で上昇される(S18)。そして、この低速の上昇を継続しながら、第1および第2保持検知センサー57a・57bがON状態になったか否かが判定され(S19)、ON状態でない、即ち、OFF状態を維持していれば(S19,NO)、続いて上昇を開始してから一定時間が経過したか否かを判定する(S20)。一定時間が経過していない場合は(S20,NO)、S19を再実行し、ON状態に切り替わりを監視する。また、一定時間を経過した場合には(S20,YES)、収納箱52の把持を失敗したと判断し、この失敗した旨の情報をオペレータに報知する等の失敗処理を行った後(S21)、本ルーチンを終了する。
When the
また、S19において、第1および第2保持検知センサー57a・57bがON状態に切り替わった場合には(S19,YES)、両方の爪部材33・33で支持面部53bを上下方向に支持できたと判断し、把持機構32を高速で上昇させる(S22)。そして、図12に示すように、爪部材33・33を開状態としながら把持機構32を上昇させて上限位置、即ち、搬送高さ位置にまで上昇させ(S23)、本ルーチンを終了する。
In S19, when the first and second
以上のように、本実施例の搬送装置は、図3に示すように、収納容器51(被搬送物)の支持面部53bを両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材33・33と、収納容器51の支持面部53bの真下側から外側までの範囲で爪部材33・33を水平方向に移動可能な図示しない水平移動機構と、収納容器51を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように爪部材33・33を上下方向に移動可能な昇降機構31と、収納容器51の支持面部53bを爪部材33・33で支持しながら下降させて載置状態とした後、支持面部53bから爪部材33・33を収納容器51の側方に退避させ、爪部材33・33のみを上昇させる装着制御手段(図1の昇降制御装置61やカセット装着認識部71等、図2のカセット装着ルーチン)と、載置状態にされた収納容器51の側方から支持面部53bの下側に爪部材33・33を進入させた後、爪部材33・33の上昇により支持面部53bを支持しながら収納容器51を上昇させる抜脱制御手段(図1の昇降制御装置61やカセット抜脱認識部72等、図7のカセット抜脱ルーチン)と、装着制御手段による爪部材33・33のみの上昇時に、収納容器51の側方に退避された爪部材33・33の先端部よりも進入側に支持面部53bの側面を位置させる位置規制部材35・35(当接部材)とを有した構成にされている。そして、このように構成された懸垂搬送装置1は、爪部材が支持面部に引っ掛かることによる被搬送物の衝撃や揺れ、脱落を防止することが可能になっている。
As described above, as shown in FIG. 3, the transport device according to the present embodiment sandwiches the
尚、本実施例においては、収納容器51の支持面部53bは、縦断面がT字形状のフランジ部材53の頭部に設定されているが、これに限定されるものではなく、収納容器51自体の下面部であっても良いし、収納容器51の側面に形成された凹部等であっても良い。また、爪部材33は、単数であっても、複数であっても良い。また、本実施例における水平移動機構としては、例えばボールネジ機構やシリンダ機構、ベルト機構を用いることができる。昇降機構31は、本実施例のように把持機構32をタイミングベルト43で懸吊して昇降させる構成であっても良いし、把持機構32の側面を支持しながらボールネジ機構やシリンダ機構により昇降させる構成であっても良い。
In the present embodiment, the
また、本実施例の位置規制部材35は、支持面部53bの両側に当接可能な状態となるように、左右対称に設けられているが、支持面部53bの四方を囲むように例えば4ヶ所に設けられていても良い。この場合には、収納容器51の左右の位置ズレに加えて、収納容器51の前後方向の位置ズレによる懸吊時のバランスの崩れによる脱落も防止することが可能になる。また、位置規制部材35は、少なくとも先端部が柔軟な材質、例えば合成樹脂やラバーで形成されていることが好ましい。これにより、カセット抜脱時において、爪部材33・33を下降させるときに、位置規制部材35が支持面部53bに衝突した場合でも、衝突時の衝撃を位置規制部材35が減衰させるため、支持面部53bの破損を十分に防止することができる。
Further, the
また、本実施例の懸垂搬送装置1は、収納容器51の支持面部53bを両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材33・33と、収納容器51の支持面部53bの真下側から外側までの範囲で爪部材33・33を水平方向に移動可能な水平移動機構と、収納容器51を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように爪部材33・33を上下方向に移動可能な昇降機構31と、爪部材33・33が収納容器51の支持面部53bに当接したことを検知する第1および第2保持検知センサー57a・57b(保持検知センサー)と、載置状態にされた収納容器51の支持面部53bと爪部材33・33とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に爪部材33・33が存在するときに、収納容器51の所定部位を検知するフランジ検知センサー55(高さ位置検知センサー)と、収納容器51の支持面部53bを爪部材33・33で支持しながら下降させて載置状態とし、フランジ検知センサー55により爪部材33・33が支持面部53bに対して非接触になったことを確認した後、支持面部53bから爪部材33・33を収納容器51の側方に退避させ、爪部材33・33のみを上昇させる装着制御手段(図1の昇降制御装置61やカセット装着認識部71等、図2のカセット装着ルーチン)と、載置状態にされた収納容器51の支持面部53bに対して爪部材33・33が非接触の進入高さ位置であることをフランジ検知センサー55により確認した後、収納容器51の側方から支持面部53bの下側に爪部材33・33を進入させ、第1および第2保持検知センサー57a・57bにより爪部材33・33が支持面部53bに当接したことを確認した後、爪部材33・33の上昇により支持面部53bを支持しながら収納容器51を上昇させる抜脱制御手段(図1の昇降制御装置61やカセット抜脱認識部72等、図7のカセット抜脱ルーチン)とを有した構成にされている。
Further, the suspended
より具体的には、懸垂搬送装置1は、図13に示すように、軌道上を走行する走行ローラ機構7等の走行台車と、走行台車に吊り下げ状態に昇降可能に支持された把持機構32(保持体)と、把持機構32に設けられ、収納容器51の支持面部53bを両側から進退移動させることにより下側から上下方向に支持する一対の爪部材33・33とを有している。さらに、懸垂搬送装置1は、図3に示すように、爪部材33・33が収納容器51の支持面部53bに当接したことを検知する第1および第2保持検知センサー57a・57b(保持検知センサー)と、載置状態にされた収納容器51の支持面部53bと爪部材33・33とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に爪部材33・33が存在するときに、収納容器51の支持面部53b(所定部位)を検知するフランジ検知センサー55(高さ位置検知センサー)と、収納容器51の支持面部53bを爪部材33・33で支持しながら下降させて載置状態とし、フランジ検知センサー55により爪部材33・33が支持面部53bに対して非接触になったことを確認した後、支持面部53bから爪部材33・33を収納容器51の側方に退避させ、爪部材33・33のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた収納容器51の支持面部53bに対して爪部材33・33が非接触の進入高さ位置であることをフランジ検知センサー55により確認した後、収納容器51の側方から支持面部53bの下側に爪部材33・33を進入させ、第1および第2保持検知センサー57a・57bにより爪部材33・33が支持面部53bに当接したことを確認した後、爪部材33・33の上昇により支持面部53bを支持しながら収納容器51を上昇させる抜脱制御手段とを有した構成にされている。
More specifically, as shown in FIG. 13, the
そして、このように構成された懸垂搬送装置1は、装着動作時および抜脱動作時において、収納容器51に爪部材33・33が衝突して衝撃を与えたり、収納容器51に爪部材33・33を引っ掛けて脱落させる等の原因を解消することが可能になっている。尚、第1および第2保持検知センサー57a・57b(保持検知センサー)は、リミットスイッチであっても良いし、爪部材33・33の変位を検出する変位センサー、爪部材33・33の重量変化を検出するロードセル等であっても良い。
The
さらに、懸垂搬送装置1は、収納容器51の側方に退避された爪部材33・33の先端部よりも進入側に支持面部53bの側面を位置させる位置規制部材35を有した構成にされている。これにより、爪部材33・33が支持面部53bに引っ掛かることによる収納容器51の衝撃や揺れ、脱落を防止することが可能になっている。
Furthermore, the
さらに、上記の位置規制部材35・35は、一対の爪部材33・33間の中心位置に支持面部53bを位置決めするように左右対称に設けられた構成にされている。これにより、収納容器51の支持面部53bと一対の爪部材33・33との位置関係を常に一定の状態に維持させることができるため、爪部材33・33が支持面部に引っ掛かる等による収納容器51の衝撃や揺れ、脱落をより一層十分に防止することが可能になっている。
Further, the
さらに、フランジ検知センサー55(高さ位置検知センサー)は、位置規制部材35・35に設けられている。これにより、フランジ検知センサー55の取り付けを容易に行うことが可能になっている。
Further, the flange detection sensor 55 (height position detection sensor) is provided on the
尚、フランジ検知センサー55(高さ位置検知センサー)は、フランジ部材53を検知するようになっているが、これに限定されるものではなく、収納容器51の上面や側面に設けられた突起部等の特定部位を検知するようになっていても良い。また、フランジ検知センサー55は、位置規制部材35の内側に設けられていても良いし、収容枠体34の下面に設けられ、収容枠体34と支持面部53bの上面との距離を検出するように構成されていても良い。さらに、フランジ検知センサー55は、爪部材33・33の連結部33c・33cの内側面に設けられていても良い。
The flange detection sensor 55 (height position detection sensor) is configured to detect the
また、本実施例における装着制御手段は、収納容器51の支持面部53bを爪部材33・33爪部材で支持しながら下降させて載置状態とする際に、載置状態に載置するときの下降速度が最も低速となるように、下降速度を可変する下降速度制御手段(図1の高速指示部69、低速指示部70および図2のS1〜S13、図7のS12〜S14)を有した構成にされている。これにより、収納容器51の載置を短時間で完了できると共に、安定して行うことができるようになっている。尚、下降速度の可変は、本実施例のように高速と低速の2段階であっても良いし、2段階以上の多段階であっても良いし、連続的に変化するものであっても良い。
Further, the mounting control means in the present embodiment is used when the mounting surface is placed in the placement state when the
以上のように、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。 As mentioned above, although this invention was demonstrated based on suitable embodiment, this invention can be changed in the range which does not exceed the meaning.
例えば半導体製造施設でウエハに対して各種の処理を施す際に、ウエハを収納容器に収納して搬送する用途にも適用できる。 For example, the present invention can also be applied to a case where a wafer is stored in a storage container and transferred when various processes are performed on the wafer in a semiconductor manufacturing facility.
1 懸垂搬送装置
3 昇降懸吊機構
4 駆動機構
5 棒状支持部材
6 一次側コイル
7 走行ローラ機構
12 ガイド機構
13 スライド機構
14 ガイドローラ
15 給電機構
31 昇降機構
32 把持機構
33 爪部材
33a 上辺部
33b 下辺部
33c 連結部
34 収容枠体
35 位置規制部材
41 収容枠体
43 タイミングベルト
51 収納容器
52 収納箱
53 フランジ部材
53a 胴部
53b 支持面部
55 フランジ検知センサー
56 隙間56
57a 第1保持検知センサー
57b 第2保持検知センサー
60 載置台
61 昇降制御装置
62 爪部材離隔判定部
63 フランジ検知判定部
64 爪部材開閉指示部
65 昇降指示部
66 搬送高さ判定部
67 速度切換高さ判定部
68 下降速度切り替え部
69 高速指示部
70 低速指示部
71 カセット装着認識部
72 カセット抜脱認識部
73 カセット着脱信号読取部
DESCRIPTION OF
57a 1st holding |
Claims (5)
保持体と、
前記保持体の両側に左右対称に設けられ、前記処理対象物を収納する被搬送物の支持面部を両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材と、
前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、
前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とした後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、
載置状態にされた被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させた後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、
前記支持面部の側面に当接可能なように前記保持体の下面に左右対称に設けられ、前記一対の爪部材間の中心位置に前記被搬送物の支持面部を位置決めする位置規制部材と
を有することを特徴とする搬送装置。 A transport device applied to a transport system for transporting a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk as a processing object,
Holding body,
A claw member that is provided symmetrically on both sides of the holding body, sandwiches a support surface portion of a transported object that stores the object to be processed from both sides, and supports vertically from below.
A horizontal movement mechanism capable of moving the claw member in a horizontal direction in a range from directly below to the outside of the support surface portion of the conveyed object;
An elevating mechanism capable of moving the claw member in the vertical direction so as to elevate the object to be conveyed in a range from a placement height position to a conveyance height position;
Mounting control means for lowering the support surface portion of the transported object while supporting it with a claw member and placing it in a placed state, then retracting the claw member from the support surface portion to the side of the transported material and raising only the claw member When,
An extraction control means for raising the object to be conveyed while supporting the support surface part by ascending the claw member after the claw member has entered from the side of the object to be conveyed placed to the lower side of the support surface part ,
A position regulating member that is symmetrically provided on the lower surface of the holding body so as to be able to contact the side surface of the support surface portion, and that positions the support surface portion of the object to be conveyed at a central position between the pair of claw members. A conveying apparatus characterized by that.
保持体と、
前記保持体の両側に左右対称に設けられ、前記処理対象物を収納する被搬送物の支持面部を両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材と、
前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、
前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、
前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、
載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、
載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、
前記支持面部の側面に当接可能なように前記保持体の下面に左右対称に設けられ、前記一対の爪部材間の中心位置に前記被搬送物の支持面部を位置決めする位置規制部材と、
を有することを特徴とする搬送装置。 A transport device applied to a transport system for transporting a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk as a processing object,
Holding body,
A claw member that is provided symmetrically on both sides of the holding body, sandwiches a support surface portion of a transported object that stores the object to be processed from both sides, and supports vertically from below.
A horizontal movement mechanism capable of moving the claw member in a horizontal direction in a range from directly below to the outside of the support surface portion of the conveyed object;
An elevating mechanism capable of moving the claw member in the vertical direction so as to elevate the object to be conveyed in a range from a placement height position to a conveyance height position;
A holding detection sensor for detecting that the claw member is in contact with the support surface portion of the object to be conveyed;
When the claw member is present in a horizontal plane at a horizontal movement height position that allows the support surface portion of the transported object placed in a placed state and the claw member to face each other in a non-contact manner, a predetermined value of the transported object is determined. A height position detection sensor for detecting a site;
The support surface portion of the object to be transported is lowered while being supported by the claw member to be placed, and after confirming that the claw member is not in contact with the support surface portion by the height position detection sensor, the support surface portion is supported. A mounting control means for retracting the claw member from the surface portion to the side of the object to be conveyed and raising only the claw member;
After confirming by the height position detection sensor that the claw member is in a non-contact approach height position with respect to the support surface portion of the object to be transported placed, the support surface portion from the side of the object to be transported The claw member is made to enter the lower side, and after confirming that the claw member is in contact with the support surface portion by the holding detection sensor, the object to be conveyed is lifted while supporting the support surface portion by raising the claw member. Control means;
A position regulating member provided symmetrically on the lower surface of the holding body so as to be in contact with the side surface of the support surface portion, and positioning the support surface portion of the object to be conveyed at a central position between the pair of claw members ;
A conveying apparatus comprising:
軌道上を走行する走行台車と、
前記走行台車に吊り下げ状態に昇降可能に支持された保持体と、
前記保持体の両側に左右対称に設けられ、前記処理対象物を収納する被搬送物の支持面部を両側から進退移動させることにより下側から上下方向に支持する一対の爪部材と、
前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、
載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、
載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、
前記支持面部の側面に当接可能なように前記保持体の下面に左右対称に設けられ、前記一対の爪部材間の中心位置に前記被搬送物の支持面部を位置決めする位置規制部材と、
を有することを特徴とする搬送装置。 A transport device applied to a transport system for transporting a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk as a processing object,
A traveling carriage traveling on the track;
A holding body supported so as to be lifted and lowered in a suspended state by the traveling carriage;
A pair of claw members that are provided symmetrically on both sides of the holding body , and that are supported in the vertical direction from the lower side by moving the support surface portion of the object to be processed storing the processing object forward and backward from both sides;
A holding detection sensor for detecting that the claw member is in contact with the support surface portion of the object to be conveyed;
When the claw member is present in a horizontal plane at a horizontal movement height position that allows the support surface portion of the transported object placed in a placed state and the claw member to face each other in a non-contact manner, a predetermined value of the transported object is determined. A height position detection sensor for detecting a site;
The support surface portion of the object to be transported is lowered while being supported by the claw member to be placed, and after confirming that the claw member is not in contact with the support surface portion by the height position detection sensor, the support surface portion is supported. A mounting control means for retracting the claw member from the surface portion to the side of the object to be conveyed and raising only the claw member;
After confirming by the height position detection sensor that the claw member is in a non-contact approach height position with respect to the support surface portion of the object to be transported placed, the support surface portion from the side of the object to be transported The claw member is made to enter the lower side, and after confirming that the claw member is in contact with the support surface portion by the holding detection sensor, the object to be conveyed is lifted while supporting the support surface portion by raising the claw member. Control means;
A position regulating member provided symmetrically on the lower surface of the holding body so as to be in contact with the side surface of the support surface portion, and positioning the support surface portion of the object to be conveyed at a central position between the pair of claw members ;
A conveying apparatus comprising:
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とする際に、載置状態に載置するときの下降速度が最も低速となるように、下降速度を可変する下降速度制御手段を有することを特徴とする請求項1ないし4の何れか1項に記載の搬送装置。 The mounting control means includes
A descent that varies the descent speed so that the descent speed when placing in the loading state is the lowest when the descent is performed while supporting the support surface portion of the transported object with the claw member. claims 1, characterized in that it has a speed control means conveying device according to any one of 4.
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