JP4233917B2 - Sample observation device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透過電子顕微鏡などの試料観察装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
透過電子顕微鏡(TEM)は、10−3nm程度の波長の電子を用いて試料の透過像を観察する装置であり、高分解能での試料観察が行える装置である。このようなTEMを用いると、微小サイズの金属中の相変化などを明瞭に観察することができる。
【0003】
また、最近では、高温度下で用いられる金属材料などは、金属薄膜試料に加工されてから加熱/引っ張り用の試料ホルダーにセットされ、材料使用環境温度(たとえば1000℃程度)にて転移の発生や移動などのTEM観察が行われている。その際、転移の発生や移動などを時系列的に詳しく解析しようとすれば、10時間程度の連続した観察が必要となる。
【0004】
このような長時間に及ぶTEM観察においては、TEMに据え付けられたTVカメラなどによって試料の透過像を撮像し、その像をVTR装置で動画としてビデオテープに記録するのが一般的である(たとえば、特許文献1参照)。この場合、像記録後の試料解析は、ビデオテープを再生して試料像を観察することによって行われる。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−272665号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ビデオテープはシーケンシャルな記録媒体のためアクセスが低速である。このため、たとえば10時間の連続観察を行った場合、試料解析を短時間で行うために記録ビデオの再生を早送りで行っても、その早送りに3時間もかかってしまう。このように従来においては、試料解析に長時間を要していた。
【0007】
また、10時間にもわたって試料に電子線が連続して照射されると、試料は激しく損傷し、金属薄膜試料の加熱/引っ張り試験などにおいては転移の様子を正確に観測できないという問題があった。
【0008】
本発明はこのような点に注目して成されたもので、その目的は、長時間にわたって試料像の記録を行っても短時間で試料解析ができ、かつ試料の損傷を抑えることができる試料観察装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の試料観察装置は、1次線を試料に照射し、その1次線照射による試料からの2次線に基づいて試料像を得るようにした試料観察装置において、所定の時間間隔で、前記試料上の同一視野に関する前記試料像を取り込んで記憶する像取得記憶手段を備え、前記像取得記憶手段は、前回の試料像の取り込みが終了してから次回の試料像の取り込みが開始されるまでの期間、前記試料像の取り込みを行わないと共に、前記像取得記憶手段は、記憶した前記試料上の同一視野に関する複数の試料像を表示手段画面上に一覧表示する機能を有し、前記像取得記憶手段において前記試料像の取り込みが行われない期間、前記試料への1次線照射を中断するようにした。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【0011】
図1は、本発明の試料観察装置の一例を示した図であり、透過電子顕微鏡を示した図である。図1において、1は鏡筒であり、鏡筒1の内部は排気装置(図示せず)によって排気されている。
【0012】
この鏡筒1の内部には、上から順に、電子銃2、加速管3、集束レンズ4、ブランキングコイル(偏向手段)5、試料6、対物レンズ7、中間レンズ8、投影レンズ9、TVカメラ10が配置されている。
【0013】
前記電子銃2から放出された電子は、加速管3によって数百keVのエネルギーまで加速され、集束レンズ4によって集束された電子線(1次線)は試料6を照射する。そして、試料6を透過した電子線(2次線)は対物レンズ7により結像作用を受け、試料6の初段像が対物レンズ7と中間レンズ8との間に形成される。
【0014】
その後、中間レンズ8と投影レンズ9により試料拡大像が形成されて行き、最終的な観察/記録面hに、数百倍〜数百万倍の範囲で観察目的に沿った倍率で試料像が結像される。この観察/記録面hには、TVカメラ10の撮像素子10aが配置されており、観察/記録面hに結像された試料像は撮像素子10aで撮像される。なお、この撮像素子10aは、CCDの表面に蛍光体などの電子が照射されたときに光を発する層が設けられた構成となっている。
【0015】
前記撮像素子10aからのTV像信号iは、TV画像取り込みインターフェース11を装備した制御装置(パーソナルコンピュータPC)12に入力される。この制御装置12は、本発明の目的に合わせて開発された制御部13を搭載しており、PC上で動作する制御部13は像取得記憶部14を備えている。
【0016】
この像取得記憶部14には、前記インターフェース11からのTV像信号iが供給されるように構成されている。さらに、像取得記憶部14には、前記制御装置12に接続された指示部15からの指示信号が供給されるように構成されている。この指示部15はキーボードとマウスで構成されている。また、像取得記憶部14からの画像データjがディスプレイ(表示手段)16に供給されるように構成されている。なお、ディスプレイ16の画面上には、前記マウスの動きに合わせて移動するポインタpが表示されている。
【0017】
そして、前記像取得記憶部14は、ブランキング信号bをブランキングコイル電源装置17に供給するように構成されている。ブランキングコイル電源装置17は、ブランキング信号bに基づき、ブランキングコイル5に供給する励磁電流を調節する。
【0018】
以上、図1のTEMの装置構成を説明した。なお、図1には示されていないが、金属薄膜試料6は加熱/引っ張り用の試料ホルダーにセットされており、金属薄膜試料6は、たとえば1000℃程度に加熱された状態で所定の力で引っ張られている。
【0019】
以下、図1のTEMにおいて、1000℃程度に加熱されて引っ張られた金属薄膜試料6の透過電子像を、長時間にわたって観察記録する場合の動作説明を行う。図2は、その動作フローを示したものである。
【0020】
まず操作者は、TVカメラ10で現在撮像されている試料像がディスプレイ16上に表示されるように、指示部15を操作する(図2−(1)の「観察開始」)。この指示部15からの指示信号を受けた像取得記憶部14は、前記インターフェース11からのTV像信号iをディスプレイ16に供給する。この結果、ディスプレイ16上には、TVカメラ10で現在撮られている試料像が表示される。
【0021】
次に操作者は、ディスプレイ16上に表示される試料像を見ながら、試料6の観察目的部位が観察視野の中心に位置するように、試料位置を調節する(図2−(2))。この試料位置の調節が終わると、操作者は、ピントがしっかり合った試料像が得られるように、対物レンズコイルに流れる電流を調整して焦点合わせを行う。
【0022】
次に操作者は、試料像の長時間観察に先立ち、前記制御部13に対して動作設定を行う(図2−(3))。すなわち、操作者は、試料像の記憶を繰り返し行う時間間隔Δt(たとえば300秒)と、試料像の長時間観察開始からその観察終了までの観察時間T(たとえば10時間)と、そのT時間の試料観察終了時に動画像ファイルを自動生成するかどうかの設定を、指示部15によって行う。なお、この例においては、動画像ファイルの自動生成が行われるように設定されたものとする。
【0023】
こうして制御部13の動作設定が完了すると、次に操作者は、制御装置12の制御部13に対して「長時間観察」の開始を指示する(図2−(4))。この「長時間観察」の開始の指示は、ディスプレイ16上に表示される「長時間観察」のアイコン上に前記ポインタpを位置させて、マウスをクリックすることで行われる。この結果、時刻t0において、試料6の長時間観察が開始される。
【0024】
さて、試料6の観察が開始された時刻t0において、TVカメラ10からのTV像信号iが供給されている像取得記憶部14は、TVカメラ10で撮像された試料像を1枚目の試料像(試料像1)としてその内部メモリMに取り込んで記憶する(図2−(5))。この試料像のメモリMへの取込時間は0.5秒ほどである。
【0025】
なお、前記メモリMは、ハードディスクなどの高速かつランダムアクセス可能な記録媒体である。また、前記1枚目の試料像のメモリMへの記憶の際、その像を取得したときの取得時刻(この場合はt0)や、装置の各種設定条件などの付帯データが、1枚目の試料像の画像データと共にメモリMに記憶される。
【0026】
そして、像取得記憶部14は、前記1枚目の試料像のメモリMへの記憶が終わると同時に、ビームブランキング信号bを前記ブランキングコイル電源装置17に供給する(図2−(6))。このビームブランキング信号bを受けたブランキングコイル電源装置17は、電子線を光軸Oの外へ大きく偏向させるための偏向信号をブランキングコイル5に供給する。この結果、電子線はブランキングコイル5によって偏向され、試料6に電子線が照射されなくなる。すなわち、試料6への電子線照射が中断される。
【0027】
その後、内部に時計機能を備えた像取得記憶部14は、上述した長時間観察開始時刻t0から前記時間Δtが経過したかどうかを判断する(図2−(7))。すなわち、像取得記憶部14は、前記1枚目の試料像の取り込み開始から時間Δtが経過したかどうかを判断する。この際、その時間Δtが経過しないうちに前記観察時間Tが経過した場合、または操作者による観察終了の指示があった場合、像取得記憶部14は長時間観察を終了させる(図2−(8))。
【0028】
この場合、まだ観察時間Tが経過しておらず、また、この例では操作者による観察終了指示が最後まで行われないものとすると、像取得記憶部14は長時間観察開始時刻t0から時間Δtが経過すると、前記ブランキング信号bを解除する信号を前記ブランキングコイル電源装置17に供給する(図2−(9))。このブランキング解除信号を受けたブランキングコイル電源装置17は、前記ブランキングコイル5への前記偏向信号の供給を停止する。この結果、ブランキングコイル5による電子線偏向は行われなくなり、試料6に電子線がブランキング前同様に照射されるようになる。
【0029】
こうして、試料6の像観察が時刻t0+Δtに再開されると、TVカメラ10からのTV像信号iが供給されている像取得記憶部14は、TVカメラ10で撮像された試料像を2枚目の試料像(試料像2)としてその内部メモリMに取り込んで記憶する(図2−(10))。この際、前記1枚目の試料像の時と同様、2枚目の試料像を取得したときの取得時刻(この場合はt0+Δt)などの付帯データが、その2枚目の試料像の画像データと共にメモリMに記憶される。
【0030】
ここまでの説明からわかるように図1の装置においては、設定された時間間隔Δt毎に試料像がメモリMに間欠的に取り込まれ、さらに、像取得記憶部14において1枚目の試料像(前回の試料像)の取り込みが終了してから2枚目の試料像(次回の試料像)の取り込みが開始されるまでの期間、試料への電子線照射は中断される。そして、この時間間隔Δtは、長時間観察終了後にそれらの記憶された試料像をメモリMから読み出して再現したときに、金属薄膜試料6における転移の変化を把握できる程度の時間に設定されている。このため、図1の装置においては、電子線照射中断によって試料6の電子線損傷が抑えられながら、加熱/引っ張り試験中における試料の変化の様子がメモリMに詳しく記録されたことになる。
【0031】
さて、像取得記憶部14は、前記2枚目の試料像のメモリMへの記憶が終わると同時に、前記ビームブランキング信号bを前記ブランキングコイル電源装置17に供給する(図2−(11))。この結果、前記同様、電子線はブランキングコイル5によって光軸外へ偏向され、試料6への電子線照射が中断される。
【0032】
その後、像取得記憶部14は、前記2枚目の試料像の取り込み開始時刻(t0+Δt)から前記時間Δtが経過したかどうかを判断する(図2−(7))。この場合、まだ前記観察時間Tはかなり残っているため、像取得記憶部14は前記時刻(t0+Δt)から時間Δtが経過すると、前記同様、前記ブランキング信号bを解除する信号を前記ブランキングコイル電源装置17に供給する。この結果、ブランキングコイル5による電子線偏向は行われなくなり、時刻t0+2Δtにおいて試料6の像観察が再開される。
【0033】
以後、前記同様な動作が繰り返し行われ、像取得記憶部14は、操作者が設定した時間間隔Δt毎に、TVカメラ10で撮像された試料像を試料像3,4,5,……としてその内部メモリMに取り込んで記憶する。そして、長時間観察開始から前記観察時間Tが経過すると(図2−(8))、像取得記憶部14は、像観察を終了させるために前記ブランキング信号bを前記ブランキングコイル電源装置17に供給する。この結果、試料6への電子線照射は終了される。
【0034】
以上のような観察時間Tの長時間観察が終了した時点では、像取得記憶部14のメモリMには、一定時間Δt毎の試料上のほぼ同一視野に関する試料像(試料像1,2,3,……,n)が記憶されている。そこで像取得記憶部14は、このように長時間観察が終了した時点で、これらの試料像1,2,3,……,nの画像データをメモリMから読み出してディスプレイ16に供給する。この結果、ディスプレイ16の画面上には、試料像1,2,3,……,nが一覧表示される(図2−(12))。この一覧表示にあたって像取得記憶部14は、メモリMに記憶された各元画像の画像データを間引くなどの処理を行うことによって、試料像1,2,3,……,nの縮小画像をディスプレイ16の画面上に一覧表示する。また、この一覧表示の際、像取得記憶部14は、各縮小画像をその撮像時刻とあわせて一覧表示する。
【0035】
図3は、ディスプレイ16の画面上に一覧表示された試料像1,2,3,……,nを示したものである。操作者はそれらの試料像を見れば、長時間観察における試料の変化を一目で確認することができる。このため、金属薄膜試料の長時間にわたる加熱/引っ張り試験を行った場合には、短時間で試料解析を行うことができる。なお、一覧表示された縮小画像の1つの上に前記ポインタpを位置させてマウスをダブルクリックすると、その選択された試料像の元画像が、一覧表示画像に代わってディスプレイ画面上いっぱいに拡大表示される。
【0036】
ところで、上記例では、長時間観察に先立って「動画像ファイルの自動生成」が設定されている。このため、前記像取得記憶部14は、前記観察時間Tの長時間観察が終了した時点で、その内部メモリMに取り込んだ試料像1,2,3,……,nを時系列順に並べて1つの動画像ファイルを作成し、その動画像ファイルをメモリMに記憶している。
【0037】
一方、図1の装置においては、図3に示すように、ディスプレイ画面上に「動画像表示」のアイコンが表示されている。そこで操作者が、この「動画像表示」のアイコン上に前記ポインタpを位置させてマウスをクリックすると、前記像取得記憶部14は、図3に示された一覧表示に代えて、試料像1,2,3,……,nについての動画像をディスプレイ画面上に表示させる。この動画像観察によって操作者は、長時間観察における試料の変化を確認することができる。なお、ディスプレイ上の「一覧表示」のアイコン上に前記ポインタpを位置させて、マウスをクリックすると、図3に示した一覧表示の画面に戻される。
【0038】
また、図1の装置においては、図3に示すように、ディスプレイ画面上に「間引き表示」のアイコンが表示されている。操作者がこの「間引き表示」のアイコン上に前記ポインタpを位置させてマウスをクリックすると、前記像取得記憶部14は、図3に示された一覧表示に代えて、記憶した試料像を間引いてその一部の像を一覧表示する。たとえば、長時間観察開始から1時間毎に撮像された試料像が選択されて一覧表示される。なお、この間引き表示についての装置設定は、事前に操作者によって行われている。
【0039】
また、図1の装置においては、図3に示すように、ディスプレイ画面上に「動画作成」のアイコンが表示されている。この動画作成を行う場合には、操作者はまず、図3に示された試料像1,2,3,……,nの中から動画像の中に含ませたい試料像をマウスを用いて選択する。その選択後に操作者が、前記「動画作成」のアイコン上に前記ポインタpを位置させてマウスをクリックすると、前記像取得記憶部14は、その選択された複数の試料像を時系列順に並べて1つの動画像ファイルを作成する。そして像取得記憶部14は、図3に示された一覧表示に代えて、その作成した動画像をディスプレイ画面上に表示させる。
【0040】
以上、図1の透過電子顕微鏡について説明したが、この装置においては、たとえば300秒毎に0.5秒間の試料撮像が行われ、その撮像の間だけ電子線が試料に照射されるので、従来のように電子線を試料に当て続けるのに比べて試料損傷は1/600に抑えられる。
【0041】
なお、本発明は上記例に限定されるものではない。たとえば上記例では、前回の試料像の取り込みが終了してから次回の試料像の取り込みが開始されるまでの期間中ずっと、試料への電子線照射は中断された。これを、その期間中の一部の時間だけ、試料への電子線照射を中断するようにしてもよい。この場合でも従来より試料損傷は抑えられる。
【0042】
また、上記例では、電子線をブランキングして試料への電子線照射を中断するようにしたが、試料と電子銃との間にビーム遮蔽板を配置して試料への電子線照射を中断するようにしてもよい。
【0043】
また、本発明を、長時間にわたって試料上のほぼ同一視野に関する2次電子像観察を行う走査電子顕微鏡(SEM)や、走査透過電子顕微鏡(STEM)に用いるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一例を示した図であり、透過電子顕微鏡を示した図である。
【図2】 図1の透過電子顕微鏡の動作フローを示した図である。
【図3】 図1のディスプレイ16上に表示される試料像の一例を示した図である。
【符号の説明】
1…鏡筒、2…電子銃、3…加速管、4…集束レンズ、5…ブランキングコイル、6…試料、7…対物レンズ、8…中間レンズ、9…投影レンズ、10…TVカメラ、10a…撮像素子、11…TV像取り込みインターフェース、12…制御装置、13…制御部、14…像取得記憶部、15…指示部、16…ディスプレイ、17…ブランキングコイル電源装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a sample observation apparatus such as a transmission electron microscope.
[0002]
[Prior art]
A transmission electron microscope (TEM) is an apparatus that observes a transmission image of a sample using electrons having a wavelength of about 10 −3 nm, and is an apparatus that can observe a sample with high resolution. When such a TEM is used, it is possible to clearly observe a phase change in a minute metal.
[0003]
Recently, metal materials used at high temperatures are processed into metal thin film samples and then set in a sample holder for heating / pulling, and transition occurs at the material operating environment temperature (eg, about 1000 ° C.). And TEM observations such as movement. At that time, if it is intended to analyze the occurrence or movement of metastasis in detail in time series, continuous observation for about 10 hours is required.
[0004]
In such TEM observation over a long period of time, it is common to take a transmission image of a sample with a TV camera or the like installed on the TEM and record the image on a video tape as a moving image with a VTR device (for example, , See Patent Document 1). In this case, sample analysis after image recording is performed by reproducing the video tape and observing the sample image.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-7-272665 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, since a video tape is a sequential recording medium, access is slow. For this reason, for example, when continuous observation is performed for 10 hours, even if the recorded video is played back at high speed in order to perform sample analysis in a short time, it takes 3 hours to fast forward. Thus, conventionally, a long time has been required for sample analysis.
[0007]
In addition, when a sample is continuously irradiated with an electron beam for 10 hours, the sample is severely damaged, and the state of transition cannot be accurately observed in a heating / tensile test of a metal thin film sample. It was.
[0008]
The present invention has been made paying attention to such points, and its purpose is to enable a sample analysis in a short time even when a sample image is recorded for a long time, and to suppress damage to the sample. It is to provide an observation apparatus.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The sample observation apparatus of the present invention that achieves the above object is a sample observation apparatus that irradiates a sample with a primary line and obtains a sample image based on a secondary line from the sample by the primary line irradiation. The image acquisition storage means captures and stores the sample image relating to the same field of view on the sample at a time interval of, and the image acquisition storage means stores the next sample image after completion of the previous sample image capture. During the period until the start of the capture, the sample image is not captured, and the image acquisition storage means has a function of displaying a list of a plurality of sample images related to the same field of view on the sample on the display means screen. And the primary beam irradiation to the sample is interrupted during a period when the sample image is not captured in the image acquisition storage means .
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0011]
FIG. 1 is a view showing an example of a sample observation apparatus according to the present invention, and is a view showing a transmission electron microscope. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a lens barrel, and the interior of the lens barrel 1 is exhausted by an exhaust device (not shown).
[0012]
Inside the lens barrel 1, in order from the top, an electron gun 2, an acceleration tube 3, a focusing lens 4, a blanking coil (deflection means) 5, a sample 6, an objective lens 7, an intermediate lens 8, a projection lens 9, and a
[0013]
The electrons emitted from the electron gun 2 are accelerated to an energy of several hundred keV by the acceleration tube 3, and the electron beam (primary line) focused by the focusing lens 4 irradiates the sample 6. Then, the electron beam (secondary line) transmitted through the sample 6 is subjected to an imaging action by the objective lens 7, and a first-stage image of the sample 6 is formed between the objective lens 7 and the intermediate lens 8.
[0014]
Thereafter, a magnified sample image is formed by the intermediate lens 8 and the projection lens 9, and the sample image is formed on the final observation / recording surface h at a magnification according to the observation purpose in the range of several hundred times to several million times. Imaged. An
[0015]
The TV image signal i from the
[0016]
The image
[0017]
The image
[0018]
The apparatus configuration of the TEM in FIG. 1 has been described above. Although not shown in FIG. 1, the metal thin film sample 6 is set on a sample holder for heating / pulling, and the metal thin film sample 6 is heated at a predetermined force, for example, at about 1000 ° C. Has been pulled.
[0019]
Hereinafter, in the TEM of FIG. 1, the operation in the case of observing and recording a transmission electron image of the metal thin film sample 6 heated to about 1000 ° C. and pulled for a long time will be described. FIG. 2 shows the operation flow.
[0020]
First, the operator operates the
[0021]
Next, the operator adjusts the sample position while observing the sample image displayed on the
[0022]
Next, the operator performs operation settings for the
[0023]
When the operation setting of the
[0024]
Now, at the time t 0 when the observation of the sample 6 is started, the image
[0025]
The memory M is a high-speed and randomly accessible recording medium such as a hard disk. Further, when the first sample image is stored in the memory M, additional data such as an acquisition time (in this case, t 0 ) when the image is acquired and various setting conditions of the apparatus are stored in the first image. Are stored in the memory M together with image data of the sample image.
[0026]
Then, the image
[0027]
Thereafter, the image
[0028]
In this case, not yet elapsed observation time T, also, when the observation end instruction by the operator in this example shall not be performed until the end, the image
[0029]
Thus, when the image observation of the sample 6 is resumed at time t 0 + Δt, the image
[0030]
As can be seen from the above description, in the apparatus of FIG. 1, the sample image is intermittently taken into the memory M at each set time interval Δt, and the first sample image ( The electron beam irradiation on the sample is interrupted during the period from the end of the acquisition of the previous sample image) until the start of the acquisition of the second sample image (next sample image). This time interval Δt is set to such a time that the change in transition in the metal thin film sample 6 can be grasped when the stored sample images are read from the memory M and reproduced after the long-term observation. . For this reason, in the apparatus of FIG. 1, the state of change of the sample during the heating / tensile test is recorded in detail in the memory M while the electron beam damage of the sample 6 is suppressed by interruption of the electron beam irradiation.
[0031]
The image
[0032]
Thereafter, the image
[0033]
Thereafter, the same operation is repeated, and the image
[0034]
At the time when the long observation of the observation time T as described above is completed, the sample M (sample images 1, 2, and 3) related to the substantially same field of view on the sample every fixed time Δt is stored in the memory M of the image
[0035]
FIG. 3 shows sample images 1, 2, 3,..., N displayed as a list on the screen of the
[0036]
In the above example, “automatic generation of moving image file” is set prior to long-time observation. Therefore, the image
[0037]
On the other hand, in the apparatus of FIG. 1, as shown in FIG. 3, an icon of “moving image display” is displayed on the display screen. When the operator places the pointer p on the “moving image display” icon and clicks the mouse, the image
[0038]
Further, in the apparatus of FIG. 1, as shown in FIG. 3, an icon of “decimation display” is displayed on the display screen. When the operator positions the pointer p on the “decimation display” icon and clicks the mouse, the image
[0039]
Further, in the apparatus of FIG. 1, as shown in FIG. 3, an icon “Create Movie” is displayed on the display screen. When making this moving image, the operator first uses the mouse to select a sample image to be included in the moving image from the sample images 1, 2, 3,..., N shown in FIG. select. After the selection, when the operator positions the pointer p on the “Create Movie” icon and clicks the mouse, the image
[0040]
As described above, the transmission electron microscope of FIG. 1 has been described. In this apparatus, for example, sample imaging is performed every 300 seconds for 0.5 seconds, and an electron beam is irradiated only during the imaging. The sample damage is suppressed to 1/600 as compared with the case where the electron beam is continuously applied to the sample.
[0041]
The present invention is not limited to the above example. For example, in the above example, the electron beam irradiation on the sample was interrupted during the period from the end of the previous sample image capture to the start of the next sample image capture. Alternatively, the electron beam irradiation to the sample may be interrupted for a part of the time. Even in this case, the sample damage can be suppressed more than ever.
[0042]
In the above example, the electron beam is blanked to interrupt the electron beam irradiation on the sample. However, the beam shielding plate is disposed between the sample and the electron gun to interrupt the electron beam irradiation to the sample. You may make it do.
[0043]
In addition, the present invention may be used in a scanning electron microscope (SEM) or a scanning transmission electron microscope (STEM) that performs secondary electron image observation on almost the same visual field on a sample for a long time.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an example of the present invention, showing a transmission electron microscope.
FIG. 2 is a diagram showing an operation flow of the transmission electron microscope of FIG.
FIG. 3 is a view showing an example of a sample image displayed on the
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Lens tube, 2 ... Electron gun, 3 ... Acceleration tube, 4 ... Condensing lens, 5 ... Blanking coil, 6 ... Sample, 7 ... Objective lens, 8 ... Intermediate lens, 9 ... Projection lens, 10 ... TV camera, DESCRIPTION OF
Claims (3)
所定の時間間隔で、前記試料上の同一視野に関する前記試料像を取り込んで記憶する像取得記憶手段を備え、
前記像取得記憶手段は、前回の試料像の取り込みが終了してから次回の試料像の取り込みが開始されるまでの期間、前記試料像の取り込みを行わないと共に、
前記像取得記憶手段は、記憶した前記試料上の同一視野に関する複数の試料像を表示手段画面上に一覧表示する機能を有し、
前記像取得記憶手段において前記試料像の取り込みが行われない期間、前記試料への1次線照射を中断するようにした
ことを特徴とする試料観察装置。In a sample observation device that irradiates a sample with a primary line and obtains a sample image based on a secondary line from the sample by the primary line irradiation.
Image acquisition storage means for capturing and storing the sample image relating to the same field of view on the sample at a predetermined time interval;
The image acquisition storage means does not capture the sample image during a period from the end of the previous sample image capture to the start of the next sample image capture,
The image acquisition storage means has a function of displaying a list of a plurality of sample images related to the same field of view on the stored sample on a display means screen,
A sample observation apparatus characterized in that primary beam irradiation on the sample is interrupted during a period in which the sample image is not captured in the image acquisition storage unit.
所定の時間間隔で、前記試料上の同一視野に関する前記試料像を取り込んで記憶する像取得記憶手段を備え、
前記像取得記憶手段は、前回の試料像の取り込みが終了してから次回の試料像の取り込みが開始されるまでの期間、前記試料像の取り込みを行わないと共に、
前記像取得記憶手段は、記憶した前記試料上の同一視野に関する複数の試料像を時系列順に並べて動画像を作成する機能を有し、
前記像取得記憶手段において前記試料像の取り込みが行われない期間、前記試料への1次線照射を中断するようにした
ことを特徴とする試料観察装置。In a sample observation device that irradiates a sample with a primary line and obtains a sample image based on a secondary line from the sample by the primary line irradiation.
Image acquisition storage means for capturing and storing the sample image relating to the same field of view on the sample at a predetermined time interval;
The image acquisition storage means does not capture the sample image during a period from the end of the previous sample image capture to the start of the next sample image capture,
The image acquisition storage means has a function of creating a moving image by arranging a plurality of sample images related to the same field of view on the stored sample in chronological order,
A sample observation apparatus characterized in that primary beam irradiation on the sample is interrupted during a period in which the sample image is not captured in the image acquisition storage unit.
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