JP4232280B2 - Magnetic impedance sensor circuit - Google Patents

Magnetic impedance sensor circuit Download PDF

Info

Publication number
JP4232280B2
JP4232280B2 JP20714399A JP20714399A JP4232280B2 JP 4232280 B2 JP4232280 B2 JP 4232280B2 JP 20714399 A JP20714399 A JP 20714399A JP 20714399 A JP20714399 A JP 20714399A JP 4232280 B2 JP4232280 B2 JP 4232280B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
magneto
frequency
impedance
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20714399A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2001033533A (en
Inventor
俊也 中垣
俊彦 市瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP20714399A priority Critical patent/JP4232280B2/en
Publication of JP2001033533A publication Critical patent/JP2001033533A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4232280B2 publication Critical patent/JP4232280B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は小型で高感度な磁気インピーダンス素子を用いるための高周波駆動、検波回路を含む磁気インピーダンスセンサ回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、磁気インピーダンス素子を用いた磁気インピーダンスセンサ回路は特開平9−318719号公報に記載されたものが知られている。
【0003】
図10に従来の磁気インピーダンスセンサ回路の構造を示しており、図10において1はコルピッツ発振器であり、インダクタンス素子の一部として磁気インピーダンス素子2を含んでいる。3は基準信号発生器であり、外部磁界などの影響を受けずに一定周波数の信号を出力することができる。4は比較器であり、コルピッツ発振器1と基準信号発生器3との周波数の差に応じた信号を出力するように構成されている。
【0004】
以上のように構成された磁気インピーダンスセンサ回路の動作を説明する。コルピッツ発振器1は、その回路定数に応じた周波数の発振をし、その周波数の正弦波を出力する。このとき、コルピッツ発振器1に含まれる磁気インピーダンス素子2に外部磁界が加わると、磁気インピーダンス素子2のインピーダンスが変化し、コルピッツ発振器1の発振周波数が変化する。また、基準信号発生器3は外部磁界などの影響を受けずに常に一定の周波数で発振するため、これらの周波数を比較することで磁気インピーダンス素子2に加わっている外部磁界の大きさを知ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような磁気インピーダンスセンサ回路において、温度が変化し、磁気インピーダンス素子2の特性が変化した場合、その変化分は磁気インピーダンスセンサ回路の出力として表れてしまうため、これによる温度ドリフトが発生してしまう。
【0006】
磁気インピーダンスセンサ回路においては、高感度であるがゆえの温度ドリフトや回路特性の不安定要因によるドリフトの影響が問題視されており、温度的要因を含めて安定な駆動・検出回路が要求されている。
【0007】
本発明は磁気インピーダンス素子及びその駆動・検出回路の温度ドリフトを低減する磁気インピーダンスセンサ回路を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、二つの磁気インピーダンス素子を用いてそれぞれに逆方向のバイアス磁界を与えておき、発振周波数で同期検波することで温度による磁気インピーダンス素子の特性変化を打ち消すことができるように構成したものである。
【0009】
これにより、磁気インピーダンス素子及び回路素子の温度特性に影響されず、安定した出力が得られる。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、平行に近接して配置された一対の磁気インピーダンス素子と、この各磁気インピーダンス素子に巻かれたバイアス巻線及びフィードバック巻線と、前記バイアス巻線に接続された電流源と、前記一対の磁気インピーダンス素子の各一端を接続した部分が中点となるように接続された二相高周波発振器と、この二相高周波発振器の出力により方形波を生成するコンパレータと、前記一対の磁気インピーダンス素子の各一端を接続した部分の出力電圧を前記コンパレータの出力により同期検波する同期検波回路と、この同期検波回路の出力の高周波成分をカットして直流成分に変換し増幅する直流アンプからなり、前記フィードバック巻線には前記直流アンプの出力の大きさを調整してフィードバックする構成としたものであり、磁気インピーダンス素子の温度特性を打ち消し、さらに回路的な温度ドリフトを低減することで温度ドリフトの小さい磁気インピーダンスセンサ回路を提供できるという作用を有する。
【0011】
本発明の請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、その二相高周波発振器を一つの高周波発振器とその出力を反転する反転増幅器とによって構成し、容易に二相信号を生成することができるという作用を有する。
【0012】
本発明の請求項3に記載の発明は、磁気インピーダンス素子と、この磁気インピーダンス素子に巻かれたバイアス巻線及びフィードバック巻線と、前記磁気インピーダンス素子の両端を駆動する高周波発振器と、この高周波発振器の出力により方形波を生成するコンパレータと、このコンパレータの出力の逓倍信号を生成する逓倍回路と、前記磁気インピーダンス素子の電圧を前記コンパレータの出力により同期検波する同期検波回路と、この同期検波回路の出力を前記逓倍回路の出力により同期検波する二次同期検波回路と、前記同期検波回路の出力の高周波成分をカットして直流成分に変換し増幅する直流アンプからなり、前記バイアス巻線には前記逓倍回路の出力の大きさを調整して電流を供給し、前記フィードバック巻線には前記直流アンプの出力の大きさを調整してフィードバックする構成としたものであり、磁気インピーダンス素子の個々のばらつきにも影響されずに温度ドリフトを低減できるという作用を有する。
【0013】
本発明の請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、同期検波回路をダイオード検波回路で置き換えることによって構成し、高速同期検波を行う必要なく温度特性の優れた回路を実現できるという作用を有する。
【0014】
本発明の請求項5に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、逓倍回路の代わりに低周波方形波発振器を用いることによって構成され、検出する外部磁界の周波数が低い場合には、低周波方形波発振器の周波数を高周波発振器の周波数に比べて十分低くすることで周波数的に安定した信号出力を得ることができるという作用を有する。
【0015】
本発明の請求項6に記載の発明は、請求項4に記載の発明において、コンパレータと逓倍回路に代えて低周波方形波発振器を用いて構成され、高速なコンパレータや同期検波の回路処理が不要となるため、高速動作可能な電子部品を用いる必要がなく、しかも温度特性に優れた回路を実現できるという作用を有する。
【0016】
以下、本発明の実施の形態について、図1から図9を用いて説明する。
【0017】
(実施の形態1)
図1は本発明の第一の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示し、図1において1a及び1bは磁気インピーダンス素子であり、それぞれ近接して平行に磁界を検出する部分に配置される。2a及び2bはバイアス巻線であり、それぞれ磁気インピーダンス素子1a及び1bに同一形状に同一ターン数巻かれている。3a及び3bはフィードバック巻線であり、それぞれ磁気インピーダンス素子1a及び1bに同一形状に同一ターン数巻かれている。4は定電流源であり、バイアス巻線2a及び2bに直列に一定電流を供給する。
【0018】
この電流は、図2に示す磁気インピーダンス素子の感度特性において、感度カーブの中央付近A点にバイアスするだけの磁界を発生する値に設定されており、電流の向きは、磁気インピーダンス素子1a及び1bにはそれぞれ逆向きの磁界が発生する方向とする。5は二相高周波発振器であり、磁気インピーダンス素子1aと1bの接続部分が中点となるように配線され、磁気インピーダンス素子1a及び1bに高周波電流を供給する。6はコンパレータであり、二相高周波発振器5の正弦波信号をデューティー50%の方形波に変換する。
【0019】
7は同期検波回路であり、磁気インピーダンス素子1aと1bの接続部分が中点の信号をコンパレータ6の信号により同期検波する。8は直流アンプであり、二相高周波発振器5の周波数を十分平滑できるローパスフィルタ及び平滑された直流信号を所望の電圧レベルに増幅するアンプからなる。直流アンプ8の出力は、センサ出力となると同時にフィードバック巻線3a及び3bに直列に供給される。電流の向きは、磁気インピーダンス素子1a及び1bにはそれぞれ同じ向きの磁界が発生する方向とする。
【0020】
以上のように構成された磁気インピーダンスセンサ回路の動作を説明する。磁気インピーダンス素子1a及び1bには、二相高周波発振器5から高周波電流を供給されており、また、バイアス巻線2a及び2bによりバイアス磁界Hbが加えられている。これにより、磁気インピーダンス素子1aは図2に示す動作点Aにあり、磁気インピーダンス素子1bは動作点Bにある。
【0021】
この状態で、磁気インピーダンス素子1a及び1bに外部磁界Hexが加わると、磁気インピーダンス効果により磁気インピーダンス素子1a及び1bのインピーダンスが変化し、動作点が変化する。磁気インピーダンス素子1a及び1bには逆方向のバイアス磁界を加えているため、動作点の移動方向は逆向きであり、それらの差として外部磁界Hexを検出することができる。具体的には、磁気インピーダンス素子1a及び1bの振幅値をそれぞれ正負として同期検波回路7で同期検波し、直流アンプ8で平滑・増幅することで、外部磁界Hexが直流電圧値に変換される。これらの信号処理波形を図3に示す。また、直流アンプ8の出力をフィードバック巻線3a及び3bに供給することで回路動作を安定させ、またそのフィードバック量により感度を決定することができる。
【0022】
以上のように、二つの磁気インピーダンス素子1a及び1bにそれぞれ逆向きのバイアス磁界を与え、同期検波により出力を得ることにより、温度変化により磁気インピーダンス素子1a及び1bの特性が変化した場合は、同一方向に動作点が動くため、センサ出力としては現れない。また、ダイオードなどの包絡線検波回路と比較した場合、同期検波回路7を用いることで、検波回路の温度特性を大きく改善することができる。また、オフセット電圧の特性は、定電流源4や二相高周波発振器5の出力特性の影響も同期検波処理により打ち消すことができるため、温度の非常に優れた磁気インピーダンスセンサ回路を提供することができる。
【0023】
(実施の形態2)
本発明の第二の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路は、多くの部分が本発明の第一の実施の形態に示すものと共通であるため、二相高周波発振器の部分のみ異なるため、この部分のみについて説明する。図4に二相高周波発振器の構成を示す。図4において、9は高周波発振器である。12は反転増幅器であり、高周波発振器9の出力に接続される。高周波発振器9の出力及び反転増幅器12の出力は、図1における磁気インピーダンス素子1a及び1bの両端に接続される。
【0024】
以上のように構成された磁気インピーダンスセンサ回路は、本発明の第一の実施の形態に示すものと同様の動作を行う。つまり、高周波発振器9の出力を反転増幅器12で反転することにより、図1に示す二相高周波発振器5の出力と等価な出力が得られる。
【0025】
以上のように構成することにより、位相差のあった二相高周波信号が容易に得られる。
【0026】
なお、反転増幅器12の位相遅れや温度特性を補償するために、高周波発振器9の出力を直接磁気インピーダンス素子1a,1bに接続せずに、非反転増幅器を介して接続することも効果的である。
【0027】
(実施の形態3)
図5は本発明の第三の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示し、図5において1は磁気インピーダンス素子であり、磁界を検出する部分に配置される。2はバイアス巻線であり、磁気インピーダンス素子1に巻かれている。3はフィードバック巻線であり、磁気インピーダンス素子1に巻かれている。9は高周波発振器であり、磁気インピーダンス素子1に高周波電流を供給する。6はコンパレータであり、高周波発振器9の正弦波信号をデューティー50%の方形波に変換する。11は逓倍回路であり、コンパレータ6の方形波出力を逓倍する。ここでは、2逓倍、4逓倍など適当な値が可能である。逓倍回路11の出力は、バイアス巻線2に電流を供給する。このとき、磁気インピーダンス素子1には正負対称のバイアス磁界が交互に印加されるようにし、その動作点が図2のA及びBとなるような電流値とする。
【0028】
7は同期検波回路であり、磁気インピーダンス素子1の出力信号をコンパレータ6の信号により同期検波する。10は二次同期検波回路であり、同期検波回路7の出力を逓倍回路11の信号で同期検波する。8は直流アンプであり、高周波発振器9の周波数を十分平滑できるローパスフィルタ及び平滑された直流信号を所望の電圧レベルに増幅するアンプからなる。直流アンプ8の出力は、センサ出力となると同時にフィードバック巻線3に供給される。
【0029】
以上のように構成された磁気インピーダンスセンサ回路の動作を説明する。磁気インピーダンス素子1には、高周波発振器9から高周波電流を供給されており、また、バイアス巻線2により正負対称のバイアス磁界Hbが逓倍回路11で決定される周期で加えられている。これにより、正バイアスのときには磁気インピーダンス素子1は図2に示す動作点Aにあり、負バイアスのときには動作点Bにある。この状態で、磁気インピーダンス素子1に平行に外部磁界Hexが加わると、磁気インピーダンス効果により磁気インピーダンス素子1のインピーダンスが変化し、動作点が変化する。磁気インピーダンス素子1には周期的に逆方向のバイアス磁界を加えているため、正負各動作点の移動方向は逆向きであり、それらの差として外部磁界Hexを検出することができる。
【0030】
具体的には、まず磁気インピーダンス素子1の振幅値をその基本周波数を用いて同期検波回路7で同期検波し、次に正負それぞれのバイアス磁界における出力をそれぞれ正負として二次同期検波回路10で同期検波する。これを直流アンプ8で平滑・増幅することで、外部磁界Hexが直流電圧値に変換される。これらの信号処理波形を図6に示す。また、直流アンプ8の出力をフィードバック巻線3に供給することで回路動作を安定させ、またそのフィードバック量により感度を決定することができる。
【0031】
以上のように、磁気インピーダンス素子1に周期的に正負対称のバイアス磁界を与え、同期検波により出力を得ることにより、温度変化により磁気インピーダンス素子の特性が変化した場合は、同一方向に動作点が動くためセンサ出力としては現れない。磁気インピーダンス素子1は一つで構成できるため、複数の磁気インピーダンス素子を用いた場合のそれぞれの素子間のばらつきなどを考慮する必要もない。また、ダイオードなどの包絡線検波回路と比較した場合、同期検波回路7を用いることで、検波回路の温度特性を大きく改善することができる。また、回路特性的には、定電流源4や高周波発振器9の出力特性も同期検波処理により打ち消すことができるため、温度特性の非常に優れた磁気インピーダンスセンサ回路を提供することができる。
【0032】
(実施の形態4)
図7は本発明の第四の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示し、図7において多くの部分は本発明の第三の実施の形態に示すものと同一であり、以下において、異なる部分であるダイオード検波回路の部分のみ説明する。
【0033】
13はダイオード検波回路であり、磁気インピーダンス素子1の出力信号を正の電圧のみ通過させ検波する。ダイオード検波回路13の出力は二次同期検波回路10に接続される。
【0034】
この構成による動作は、基本的には図6に示す本発明の第三の実施の形態で説明したものと同一であるが、ダイオード検波回路13の出力は一般には半波整流となる。
【0035】
以上のように構成することにより、ダイオード検波回路13が温度特性をもつことが考えられるが、後段の二次同期検波回路10によりダイオード検波回路13の温度特性によるオフセットドリフトは打ち消されるため、温度特性は安定している。そして、一般に磁気インピーダンス効果は数MHz以上の周波数を必要とするが、ダイオード検波回路13は同期検波回路7よりも高速動作が可能であるため、本発明の第三の実施の形態に示すものに比べ回路構成が容易となるという効果を有する。
【0036】
(実施の形態5)
図8は本発明の第五の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示し、図8において多くの部分は本発明の第三の実施の形態に示すものと同一であり、以下において、異なる部分である低周波方形波発振器の部分のみ説明する。
【0037】
14は低周波方形波発振器であり、バイアス巻線2及び二次同期検波回路10に接続される。これは、本発明の第三の実施の形態に示す逓倍回路11に相当するが、その周波数は高周波発振器9に比べて十分低い周波数という条件で任意に設定することができる。
【0038】
この構成による動作は、基本的には図6に示す本発明の第三の実施の形態で説明したものと同一であるが、逓倍回路11の出力に相当する低周波方形波発振器14の周波数は十分低くすることができる。たとえば、高周波発振器9の発振周波数を10MHzとして、低周波方形波発振器14の発振周波数を1kHzとすることができる。ここで、低周波方形波発振器14の発振周波数は、磁気インピーダンスセンサ回路のカットオフ周波数よりも十分高い値とすることも必要となる。
【0039】
以上のように構成することにより、低周波方形波発振器14の発振周波数を磁気インピーダンス効果を得るために必要な高周波と、磁気インピーダンスセンサ回路の応答性として必要なカットオフ周波数との中間の周波数に選ぶことが容易となり、回路設計の自由度を高くすることができる。
【0040】
(実施の形態6)
図9は本発明の第六の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示し、図9において各々の部分は本発明の第四及び第五の実施の形態に示すものと同一であり、以下において、構成を簡単に説明する。
【0041】
1は磁気インピーダンス素子であり、2及び3はそれぞれ磁気インピーダンス素子1に巻かれたバイアス巻線及びフィードバック巻線である。磁気インピーダンス素子1は高周波発振器9によって駆動され、ダイオード検波回路13さらに二次同期検波回路10により検波処理される。そして、直流アンプ8により平滑・増幅され出力信号として出力されるとともに、フィードバック巻線3に出力をフィードバックする。また、低周波方形波発振器14の出力は、バイアス巻線2に供給されるとともに二次同期検波回路10の検波タイミング信号とされる。
【0042】
この構成による動作は、基本的には図6に示す本発明の第三の実施の形態で説明したものと同一であるが、ダイオード検波回路13の出力は一般に半波整流であり、低周波方形波発振器14の発振周波数は高周波発振器9の発振周波数に比べ十分に低いという特徴を有する。
【0043】
以上のように構成することにより、磁気インピーダンス効果として必要な数MHz以上の周波数で動作している部分は、高周波発振器9、磁気インピーダンス素子1、ダイオード検波回路13のみであり、一般にこれらは同期検波回路などに比べ容易に高速動作させることができる。よって、高周波発振器9の発振周波数を回路動作的な周波数の制限を受けずに、磁気インピーダンス効果として最適な周波数に設定することができる。これにより、磁気インピーダンスセンサ回路としての特性を向上させることができる。
【0044】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、磁気インピーダンス素子の温度特性に影響を受けず、またダイオードやトランジスタなどの回路部品の温度特性にほとんど影響されることなく、磁気インピーダンスセンサの温度安定性を向上させることができるという有利な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示す図
【図2】磁気インピーダンス素子の感度特性を示す図
【図3】本発明の第一の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路の動作波形を示す図
【図4】本発明の第二の実施の形態による発振回路を示す図
【図5】本発明の第三の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示す図
【図6】本発明の第三の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路の動作波形を示す図
【図7】本発明の第四の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示す図
【図8】本発明の第五の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示す図
【図9】本発明の第六の実施の形態による磁気インピーダンスセンサ回路を示す図
【図10】従来の磁気インピーダンスセンサ回路を示す図
【符号の説明】
1,1a,1b 磁気インピーダンス素子
2,2a,2b バイアス巻線
3,3a,3b フィードバック巻線
4 定電流源
5 二相高周波発振器
6 コンパレータ
7 同期検波回路
8 直流アンプ
9 高周波発振器
10 二次同期検波回路
11 逓倍回路
12 反転増幅器
13 ダイオード検波回路
14 低周波方形波発振器
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic impedance sensor circuit including a high frequency drive and detection circuit for using a small and highly sensitive magnetic impedance element.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a magneto-impedance sensor circuit using a magneto-impedance element is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 9-318719.
[0003]
FIG. 10 shows the structure of a conventional magnetic impedance sensor circuit. In FIG. 10, reference numeral 1 denotes a Colpitts oscillator, which includes a magnetic impedance element 2 as a part of an inductance element. A reference signal generator 3 can output a signal having a constant frequency without being affected by an external magnetic field. Reference numeral 4 denotes a comparator which is configured to output a signal corresponding to a frequency difference between the Colpitts oscillator 1 and the reference signal generator 3.
[0004]
The operation of the magnetic impedance sensor circuit configured as described above will be described. The Colpitts oscillator 1 oscillates at a frequency corresponding to the circuit constant and outputs a sine wave of that frequency. At this time, when an external magnetic field is applied to the magnetic impedance element 2 included in the Colpitts oscillator 1, the impedance of the magnetic impedance element 2 changes and the oscillation frequency of the Colpitts oscillator 1 changes. Since the reference signal generator 3 always oscillates at a constant frequency without being affected by an external magnetic field, the magnitude of the external magnetic field applied to the magneto-impedance element 2 can be known by comparing these frequencies. Can do.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In such a magneto-impedance sensor circuit, when the temperature changes and the characteristics of the magneto-impedance element 2 change, the change appears as an output of the magneto-impedance sensor circuit, resulting in a temperature drift. .
[0006]
In magneto-impedance sensor circuits, the effects of temperature drift due to high sensitivity and drift due to instability of circuit characteristics are regarded as problems, and stable drive / detection circuits including temperature factors are required. Yes.
[0007]
It is an object of the present invention to provide a magneto-impedance sensor circuit that reduces the temperature drift of the magneto-impedance element and its drive / detection circuit.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve this problem, the present invention cancels the characteristic change of the magneto-impedance element due to temperature by applying a reverse bias magnetic field to each of the two magneto-impedance elements and performing synchronous detection at the oscillation frequency. It is configured to be able to.
[0009]
Thereby, a stable output can be obtained without being influenced by the temperature characteristics of the magnetic impedance element and the circuit element.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
According to the first aspect of the present invention, a pair of magneto-impedance elements arranged in parallel and close to each other, a bias winding and a feedback winding wound around each of the magneto-impedance elements, and the bias winding A connected current source, a two-phase high-frequency oscillator connected so that a portion where one end of each of the pair of magneto-impedance elements is connected becomes a midpoint, and a comparator that generates a square wave from the output of the two-phase high-frequency oscillator And a synchronous detection circuit that synchronously detects the output voltage of the portion where each one end of the pair of magneto-impedance elements is connected by the output of the comparator, and the high frequency component of the output of the synchronous detection circuit is cut and converted to a direct current component. Consists of a DC amplifier that amplifies, and the feedback winding adjusts the magnitude of the output of the DC amplifier to feed back Are those were, canceling the temperature characteristics of the magneto-impedance element, such an action can provide less magnetic impedance sensor circuit of temperature drift by further reducing the circuit specific temperature drift.
[0011]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the two-phase high-frequency oscillator is constituted by one high-frequency oscillator and an inverting amplifier that inverts the output thereof, so that a two-phase signal can be easily generated. It has the effect that it can be generated.
[0012]
According to a third aspect of the present invention, there is provided a magneto-impedance element, a bias winding and a feedback winding wound around the magneto-impedance element, a high-frequency oscillator that drives both ends of the magneto-impedance element, and the high-frequency oscillator A comparator that generates a square wave from the output of the comparator, a multiplier circuit that generates a multiplied signal of the output of the comparator, a synchronous detector circuit that synchronously detects the voltage of the magneto-impedance element by the output of the comparator, and the synchronous detector circuit A secondary synchronous detection circuit that synchronously detects the output by the output of the multiplier circuit, and a DC amplifier that cuts a high frequency component of the output of the synchronous detection circuit, converts it to a direct current component, and amplifies it, A current is supplied by adjusting the output of the multiplication circuit, and the feedback winding By adjusting the magnitude of the output of the amplifier is obtained by a configuration in which feedback has the effect of reducing the temperature drift without also affecting the individual variation of the magneto-impedance element.
[0013]
The invention according to claim 4 of the present invention is configured by replacing the synchronous detection circuit with a diode detection circuit in the invention according to claim 3, and realizes a circuit having excellent temperature characteristics without the need for performing high-speed synchronous detection. Has the effect of being able to.
[0014]
The invention described in claim 5 of the present invention is configured by using a low frequency square wave oscillator instead of the multiplier circuit in the invention described in claim 3, and when the frequency of the external magnetic field to be detected is low, By making the frequency of the low-frequency square wave oscillator sufficiently lower than the frequency of the high-frequency oscillator, it is possible to obtain a frequency-stable signal output.
[0015]
The invention according to claim 6 of the present invention is configured by using a low-frequency square wave oscillator in place of the comparator and the multiplier circuit in the invention according to claim 4, and does not require a high-speed comparator or circuit processing for synchronous detection. Therefore, it is not necessary to use an electronic component that can operate at high speed, and a circuit having excellent temperature characteristics can be realized.
[0016]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0017]
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a magneto-impedance sensor circuit according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numerals 1a and 1b denote magneto-impedance elements, which are arranged close to each other and detect magnetic fields in parallel. Reference numerals 2a and 2b denote bias windings which are wound around the magnetic impedance elements 1a and 1b in the same shape and the same number of turns. Reference numerals 3a and 3b denote feedback windings which are wound around the magnetic impedance elements 1a and 1b in the same shape and the same number of turns. A constant current source 4 supplies a constant current in series to the bias windings 2a and 2b.
[0018]
In the sensitivity characteristic of the magneto-impedance element shown in FIG. 2, this current is set to a value that generates a magnetic field sufficient to bias the point A near the center of the sensitivity curve, and the direction of the current is the magneto-impedance elements 1a and 1b. The direction in which a magnetic field in the opposite direction is generated is used. Reference numeral 5 denotes a two-phase high-frequency oscillator, which is wired so that the connecting portion between the magnetic impedance elements 1a and 1b becomes a middle point, and supplies a high-frequency current to the magnetic impedance elements 1a and 1b. A comparator 6 converts the sine wave signal of the two-phase high-frequency oscillator 5 into a square wave with a duty of 50%.
[0019]
Reference numeral 7 denotes a synchronous detection circuit that synchronously detects a signal at the midpoint of the connecting portion of the magnetic impedance elements 1 a and 1 b with a signal from the comparator 6. A direct-current amplifier 8 includes a low-pass filter that can sufficiently smooth the frequency of the two-phase high-frequency oscillator 5 and an amplifier that amplifies the smoothed direct-current signal to a desired voltage level. The output of the DC amplifier 8 becomes a sensor output and is supplied in series to the feedback windings 3a and 3b. The direction of the current is a direction in which a magnetic field having the same direction is generated in each of the magnetic impedance elements 1a and 1b.
[0020]
The operation of the magnetic impedance sensor circuit configured as described above will be described. A high-frequency current is supplied from the two-phase high-frequency oscillator 5 to the magnetic impedance elements 1a and 1b, and a bias magnetic field Hb is applied by the bias windings 2a and 2b. Thereby, the magneto-impedance element 1a is at the operating point A shown in FIG.
[0021]
In this state, when an external magnetic field Hex is applied to the magnetic impedance elements 1a and 1b, the impedance of the magnetic impedance elements 1a and 1b changes due to the magnetic impedance effect, and the operating point changes. Since a reverse bias magnetic field is applied to the magneto-impedance elements 1a and 1b, the moving direction of the operating point is reverse, and the external magnetic field Hex can be detected as the difference between them. More specifically, the external magnetic field Hex is converted into a DC voltage value by synchronously detecting the amplitude values of the magnetic impedance elements 1a and 1b as positive and negative with the synchronous detection circuit 7 and smoothing and amplifying with the DC amplifier 8. These signal processing waveforms are shown in FIG. In addition, the circuit operation can be stabilized by supplying the output of the DC amplifier 8 to the feedback windings 3a and 3b, and the sensitivity can be determined by the feedback amount.
[0022]
As described above, when the magnetic impedance elements 1a and 1b change their characteristics due to temperature change by applying reverse bias magnetic fields to the two magnetoimpedance elements 1a and 1b, respectively, and obtaining output by synchronous detection, they are the same. Since the operating point moves in the direction, it does not appear as sensor output. Further, when compared with an envelope detection circuit such as a diode, the use of the synchronous detection circuit 7 can greatly improve the temperature characteristics of the detection circuit. Moreover, since the influence of the output characteristics of the constant current source 4 and the two-phase high-frequency oscillator 5 can be canceled out by the synchronous detection processing, the offset voltage characteristics can provide a magnetic impedance sensor circuit with extremely excellent temperature. .
[0023]
(Embodiment 2)
Since the magneto-impedance sensor circuit according to the second embodiment of the present invention has many parts in common with those shown in the first embodiment of the present invention, only the part of the two-phase high-frequency oscillator is different. Only that will be described. FIG. 4 shows the configuration of the two-phase high-frequency oscillator. In FIG. 4, 9 is a high frequency oscillator. An inverting amplifier 12 is connected to the output of the high frequency oscillator 9. The output of the high frequency oscillator 9 and the output of the inverting amplifier 12 are connected to both ends of the magnetic impedance elements 1a and 1b in FIG.
[0024]
The magneto-impedance sensor circuit configured as described above performs the same operation as that shown in the first embodiment of the present invention. That is, by inverting the output of the high-frequency oscillator 9 by the inverting amplifier 12, an output equivalent to the output of the two-phase high-frequency oscillator 5 shown in FIG.
[0025]
By configuring as described above, a two-phase high-frequency signal having a phase difference can be easily obtained.
[0026]
In order to compensate for the phase lag and temperature characteristics of the inverting amplifier 12, it is also effective to connect the output of the high-frequency oscillator 9 via a non-inverting amplifier instead of being directly connected to the magnetic impedance elements 1a and 1b. .
[0027]
(Embodiment 3)
FIG. 5 shows a magneto-impedance sensor circuit according to a third embodiment of the present invention. In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a magneto-impedance element, which is arranged in a portion for detecting a magnetic field. A bias winding 2 is wound around the magnetic impedance element 1. A feedback winding 3 is wound around the magnetic impedance element 1. A high frequency oscillator 9 supplies a high frequency current to the magnetic impedance element 1. A comparator 6 converts the sine wave signal of the high-frequency oscillator 9 into a square wave with a duty of 50%. A multiplication circuit 11 multiplies the square wave output of the comparator 6. In this case, an appropriate value such as 2 or 4 is possible. The output of the multiplier circuit 11 supplies a current to the bias winding 2. At this time, positive and negative symmetric bias magnetic fields are alternately applied to the magneto-impedance element 1, and the current values are such that the operating points thereof are A and B in FIG.
[0028]
Reference numeral 7 denotes a synchronous detection circuit, which synchronously detects the output signal of the magnetic impedance element 1 using the signal of the comparator 6. Reference numeral 10 denotes a secondary synchronous detection circuit that synchronously detects the output of the synchronous detection circuit 7 with the signal of the multiplier circuit 11. A direct-current amplifier 8 includes a low-pass filter that can sufficiently smooth the frequency of the high-frequency oscillator 9 and an amplifier that amplifies the smoothed direct-current signal to a desired voltage level. The output of the DC amplifier 8 becomes a sensor output and is supplied to the feedback winding 3 at the same time.
[0029]
The operation of the magnetic impedance sensor circuit configured as described above will be described. A high-frequency current is supplied from the high-frequency oscillator 9 to the magneto-impedance element 1, and a positive and negative symmetric bias magnetic field Hb is applied by the bias winding 2 at a period determined by the multiplier circuit 11. Thus, the magneto-impedance element 1 is at the operating point A shown in FIG. 2 when the bias is positive, and is at the operating point B when the bias is negative. In this state, when an external magnetic field Hex is applied in parallel to the magnetic impedance element 1, the impedance of the magnetic impedance element 1 changes due to the magnetic impedance effect, and the operating point changes. Since a reverse bias magnetic field is periodically applied to the magneto-impedance element 1, the movement directions of the positive and negative operating points are opposite, and the external magnetic field Hex can be detected as the difference between them.
[0030]
Specifically, first, the amplitude value of the magneto-impedance element 1 is synchronously detected by the synchronous detection circuit 7 using the fundamental frequency, and then the output in the positive and negative bias magnetic fields is positive and negative, respectively, and is synchronized by the secondary synchronous detection circuit 10. Detect. By smoothing and amplifying this with the DC amplifier 8, the external magnetic field Hex is converted into a DC voltage value. These signal processing waveforms are shown in FIG. Further, the circuit operation can be stabilized by supplying the output of the DC amplifier 8 to the feedback winding 3, and the sensitivity can be determined by the feedback amount.
[0031]
As described above, when the magnetic impedance element 1 is periodically subjected to positive and negative bias magnetic fields and the output is obtained by synchronous detection, the operating point is changed in the same direction when the characteristic of the magnetoimpedance element changes due to temperature change. Because it moves, it does not appear as a sensor output. Since the magneto-impedance element 1 can be composed of a single element, there is no need to consider variations between elements when a plurality of magneto-impedance elements are used. Further, when compared with an envelope detection circuit such as a diode, the temperature characteristic of the detection circuit can be greatly improved by using the synchronous detection circuit 7. Further, in terms of circuit characteristics, the output characteristics of the constant current source 4 and the high frequency oscillator 9 can be canceled by the synchronous detection process, so that a magnetic impedance sensor circuit having very excellent temperature characteristics can be provided.
[0032]
(Embodiment 4)
FIG. 7 shows a magneto-impedance sensor circuit according to a fourth embodiment of the present invention. Many parts in FIG. 7 are the same as those shown in the third embodiment of the present invention. Only a certain diode detection circuit will be described.
[0033]
Reference numeral 13 denotes a diode detection circuit, which detects the output signal of the magneto-impedance element 1 by passing only a positive voltage. The output of the diode detection circuit 13 is connected to the secondary synchronous detection circuit 10.
[0034]
The operation of this configuration is basically the same as that described in the third embodiment of the present invention shown in FIG. 6, but the output of the diode detection circuit 13 is generally half-wave rectification.
[0035]
With the configuration described above, it is conceivable that the diode detection circuit 13 has temperature characteristics. However, the offset drift due to the temperature characteristics of the diode detection circuit 13 is canceled out by the secondary synchronous detection circuit 10 in the subsequent stage. Is stable. In general, the magneto-impedance effect requires a frequency of several MHz or more, but the diode detection circuit 13 can operate at a higher speed than the synchronous detection circuit 7, so that the third embodiment of the present invention is used. In comparison, the circuit configuration is facilitated.
[0036]
(Embodiment 5)
FIG. 8 shows a magneto-impedance sensor circuit according to a fifth embodiment of the present invention. Many parts in FIG. 8 are the same as those shown in the third embodiment of the present invention. Only the part of a certain low frequency square wave oscillator will be described.
[0037]
Reference numeral 14 denotes a low frequency square wave oscillator connected to the bias winding 2 and the secondary synchronous detection circuit 10. This corresponds to the multiplier circuit 11 shown in the third embodiment of the present invention, but the frequency can be arbitrarily set under the condition that the frequency is sufficiently lower than that of the high-frequency oscillator 9.
[0038]
The operation of this configuration is basically the same as that described in the third embodiment of the present invention shown in FIG. 6, but the frequency of the low-frequency square wave oscillator 14 corresponding to the output of the multiplier circuit 11 is It can be made low enough. For example, the oscillation frequency of the high frequency oscillator 9 can be set to 10 MHz, and the oscillation frequency of the low frequency square wave oscillator 14 can be set to 1 kHz. Here, the oscillation frequency of the low-frequency square wave oscillator 14 needs to be a value sufficiently higher than the cutoff frequency of the magnetic impedance sensor circuit.
[0039]
By configuring as described above, the oscillation frequency of the low-frequency square wave oscillator 14 is set to an intermediate frequency between the high frequency necessary for obtaining the magnetoimpedance effect and the cutoff frequency necessary for the response of the magnetic impedance sensor circuit. It becomes easy to select, and the degree of freedom in circuit design can be increased.
[0040]
(Embodiment 6)
FIG. 9 shows a magneto-impedance sensor circuit according to a sixth embodiment of the present invention. In FIG. 9, the respective parts are the same as those shown in the fourth and fifth embodiments of the present invention. The configuration will be briefly described.
[0041]
Reference numeral 1 denotes a magnetic impedance element, and reference numerals 2 and 3 denote a bias winding and a feedback winding wound around the magnetic impedance element 1, respectively. The magneto-impedance element 1 is driven by a high-frequency oscillator 9 and subjected to detection processing by a diode detection circuit 13 and a secondary synchronous detection circuit 10. Then, the output is smoothed and amplified by the DC amplifier 8 and output as an output signal, and the output is fed back to the feedback winding 3. The output of the low-frequency square wave oscillator 14 is supplied to the bias winding 2 and used as a detection timing signal of the secondary synchronous detection circuit 10.
[0042]
The operation of this configuration is basically the same as that described in the third embodiment of the present invention shown in FIG. 6, but the output of the diode detection circuit 13 is generally a half-wave rectification and is a low-frequency square. The oscillation frequency of the wave oscillator 14 is characterized by being sufficiently lower than the oscillation frequency of the high-frequency oscillator 9.
[0043]
With the configuration described above, only the high-frequency oscillator 9, the magnetic impedance element 1, and the diode detection circuit 13 are operating at a frequency of several MHz or more necessary for the magneto-impedance effect. Compared to a circuit or the like, it can be easily operated at high speed. Therefore, the oscillation frequency of the high-frequency oscillator 9 can be set to an optimum frequency as the magneto-impedance effect without being limited by the circuit operation frequency. Thereby, the characteristic as a magnetic impedance sensor circuit can be improved.
[0044]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the temperature stability of the magnetic impedance sensor is improved without being affected by the temperature characteristics of the magneto-impedance element and hardly affected by the temperature characteristics of circuit components such as diodes and transistors. The advantageous effect that it can be made is obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a magneto-impedance sensor circuit according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing sensitivity characteristics of a magneto-impedance element. FIG. 3 is a magneto-impedance according to the first embodiment of the invention. FIG. 4 is a diagram showing an operation waveform of a sensor circuit. FIG. 4 is a diagram showing an oscillation circuit according to a second embodiment of the invention. FIG. 5 is a diagram showing a magneto-impedance sensor circuit according to a third embodiment of the invention. 6 is a diagram showing an operation waveform of the magneto-impedance sensor circuit according to the third embodiment of the present invention. FIG. 7 is a diagram showing a magneto-impedance sensor circuit according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 9 is a diagram showing a magnetic impedance sensor circuit according to a fifth embodiment. FIG. 9 is a diagram showing a magnetic impedance sensor circuit according to a sixth embodiment of the present invention. It shows a dance sensor circuit EXPLANATION OF REFERENCE NUMERALS
1, 1a, 1b Magnetic impedance elements 2, 2a, 2b Bias winding 3, 3a, 3b Feedback winding 4 Constant current source 5 Two-phase high frequency oscillator 6 Comparator 7 Synchronous detection circuit 8 DC amplifier 9 High frequency oscillator 10 Secondary synchronous detection Circuit 11 Multiplication circuit 12 Inverting amplifier 13 Diode detection circuit 14 Low frequency square wave oscillator

Claims (6)

平行に近接して配置された一対の磁気インピーダンス素子と、この各磁気インピーダンス素子に巻かれたバイアス巻線及びフィードバック巻線と、前記バイアス巻線に接続された電流源と、前記一対の磁気インピーダンス素子の各一端を接続した部分が中点となるように接続された二相高周波発振器と、前記二相高周波発振器の出力により方形波を生成するコンパレータと、前記一対の磁気インピーダンス素子の各一端を接続した部分の出力電圧を前記コンパレータの出力により同期検波する同期検波回路と、この同期検波回路の出力の高周波成分をカットして直流成分に変換し増幅する直流アンプからなり、前記フィードバック巻線には前記直流アンプの出力の大きさを調整してフィードバックする構成とした磁気インピーダンスセンサ回路。A pair of magneto-impedance elements arranged close to each other in parallel, a bias winding and a feedback winding wound around each of the magneto-impedance elements, a current source connected to the bias winding, and the pair of magneto-impedance elements A two-phase high-frequency oscillator connected so that a portion where each one end of the element is connected becomes a middle point, a comparator that generates a square wave by the output of the two-phase high-frequency oscillator, and each one end of the pair of magnetic impedance elements It consists of a synchronous detection circuit that synchronously detects the output voltage of the connected part by the output of the comparator, and a direct current amplifier that cuts the high frequency component of the output of the synchronous detection circuit, converts it to a direct current component, and amplifies it. Is a magnetic impedance sensor circuit configured to feed back by adjusting the output level of the DC amplifier. . 二相高周波発振器は一つの高周波発振器と、その出力を反転増幅する反転増幅器によって構成される請求項1に記載の磁気インピーダンスセンサ回路。2. The magneto-impedance sensor circuit according to claim 1, wherein the two-phase high-frequency oscillator includes one high-frequency oscillator and an inverting amplifier that inverts and amplifies the output thereof. 磁気インピーダンス素子と、この磁気インピーダンス素子に巻かれたバイアス巻線及びフィードバック巻線と、前記磁気インピーダンス素子の両端を駆動する高周波発振器と、この高周波発振器の出力により方形波を生成するコンパレータと、このコンパレータの出力の逓倍信号を生成する逓倍回路と、前記磁気インピーダンス素子の電圧を前記コンパレータの出力により同期検波する同期検波回路と、この同期検波回路の出力を前記逓倍回路の出力により同期検波する二次同期検波回路と、前記同期検波回路の出力の高周波成分をカットして直流成分に変換し増幅する直流アンプからなり、前記バイアス巻線には前記逓倍回路の出力の大きさを調整して電流を供給し、前記フィードバック巻線には前記直流アンプの出力の大きさを調整してフィードバックする構成とした磁気インピーダンスセンサ回路。A magneto-impedance element; a bias winding and a feedback winding wound around the magneto-impedance element; a high-frequency oscillator that drives both ends of the magneto-impedance element; a comparator that generates a square wave from the output of the high-frequency oscillator; A multiplier circuit for generating a multiplier signal of the output of the comparator; a synchronous detector circuit for synchronously detecting the voltage of the magneto-impedance element by the output of the comparator; And a DC amplifier that cuts a high frequency component of the output of the synchronous detection circuit, converts it to a DC component, and amplifies it. The bias winding adjusts the output of the multiplier circuit to adjust the current. And adjust the magnitude of the output of the DC amplifier to the feedback winding. Configuration and the magnetic impedance sensor circuit fed back. 同期検波回路に代えてダイオード検波回路を用いた請求項3に記載の磁気インピーダンスセンサ回路。4. The magnetic impedance sensor circuit according to claim 3, wherein a diode detection circuit is used instead of the synchronous detection circuit. 逓倍回路に代えて低周波方形波発振器を用いた請求項3に記載の磁気インピーダンスセンサ回路。4. The magnetic impedance sensor circuit according to claim 3, wherein a low frequency square wave oscillator is used in place of the multiplier circuit. コンパレータと逓倍回路に代えて低周波方形波発振器を用いた請求項4に記載の磁気インピーダンスセンサ回路。5. The magnetic impedance sensor circuit according to claim 4, wherein a low frequency square wave oscillator is used in place of the comparator and the multiplier circuit.
JP20714399A 1999-07-22 1999-07-22 Magnetic impedance sensor circuit Expired - Fee Related JP4232280B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20714399A JP4232280B2 (en) 1999-07-22 1999-07-22 Magnetic impedance sensor circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20714399A JP4232280B2 (en) 1999-07-22 1999-07-22 Magnetic impedance sensor circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001033533A JP2001033533A (en) 2001-02-09
JP4232280B2 true JP4232280B2 (en) 2009-03-04

Family

ID=16534928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20714399A Expired - Fee Related JP4232280B2 (en) 1999-07-22 1999-07-22 Magnetic impedance sensor circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4232280B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4687585B2 (en) * 2006-06-28 2011-05-25 カシオ計算機株式会社 Antenna circuit and clock
US7848180B2 (en) 2005-10-28 2010-12-07 Casio Computer Co., Ltd. Antenna apparatus, receiving apparatus and watch using magnetic sensor
JP2007240202A (en) * 2006-03-06 2007-09-20 Alps Electric Co Ltd Magnetic detector and electronic compass using it
JP2018091643A (en) * 2016-11-30 2018-06-14 矢崎総業株式会社 Magnetic field detection sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001033533A (en) 2001-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105190325B (en) Resonance impedance sensing based on controlled negative impedance
US8618881B2 (en) Class-D power amplifier
US20040204875A1 (en) Evaluation circuit for a current sensor using the compensation principle, in particular for measuring direct and alternating currents, and a method for operating such a current sensor
JP4232280B2 (en) Magnetic impedance sensor circuit
JP2816175B2 (en) DC current measuring device
EP3644510B1 (en) Inductive sensor for measurement device
JP2020204612A (en) Capacitive yarn sensor device with offset compensation
JP2005147831A (en) Current detection circuit and current detection method
US3983475A (en) Frequency selective detecting system for detecting alternating magnetic fields
US5131281A (en) Strain sensing apparatus
JP3516780B2 (en) Magnetic sensor circuit
JP3220281B2 (en) Magnetic bearing device
JP6823878B2 (en) Fluxgate magnetic field sensor
US6661232B1 (en) Electric potential sensor and electronic apparatus using the same
JP2000162294A (en) Magnetic field sensor
WO2009153580A2 (en) Position sensing apparatus and method
KR100536753B1 (en) Method for driving ultrasonic motor using pll mode
JP2022167945A (en) Amplification device with compensation circuit
JP3094246B2 (en) Capacitance measurement method
JP2012093249A (en) Permeability sensor
JP4520706B2 (en) Excitation circuit of electromagnetic flow meter
US9742417B1 (en) Self-oscillation circuit
JPH0470010A (en) Plo circuit
JP2000028394A (en) Capacitance-type detecting apparatus
JP4656480B2 (en) Magnetic field detection circuit

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060425

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060512

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081111

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20081118

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20081201

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131219

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees