JP4230368B2 - ペロブスカイトマンガン酸化物膜及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また本発明にかかるペロブスカイトマンガン酸化物膜は、上記特徴に加えさらに基板表面に形成されており、ペロブスカイトマンガン酸化物膜の上記基板表面側の基板接面に平行な方向の格子定数が、当該基板接面に垂直な方向の格子定数よりも大きいことを特徴としている。
本発明の実施の一形態について図1ないし図13に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態によって本発明の趣旨が何ら制限を受けるものではない。
薄膜を形成する基板には、格子定数が3.905Åの立方晶ペロブスカイトであるSrTiO3(100)単結晶基板を用いて製造条件を検討した。これは、SrTiO3の格子定数がバルクのBi0.5Sr0.5MnO3の電荷整列相での二軸の格子定数に近く(3.917Å、3.910Å:擬正方晶)、また室温でのバルクでの単位胞体積(58.11Å)の三乗根として求められる平均の格子定数(3.873Å)と基板とのミスマッチは0.8%と小さくエピタキシャル成長に適しているためである。尚、バルクのBi0.5Sr0.5MnO3の結晶系は正方晶(ここでは擬正方晶として取り扱う)であるが、正方晶系は双晶などが発生しないためドメインなどができず、また、上記SrTiO3(100)単結晶基板上でも高品質な薄膜形成が得やすい。これは薄膜形成を容易にするという産業上の観点からは重要となる。
次に本発明者等は、薄膜製造時における酸素圧の影響を調べるためにBi0.6Sr0.5MnO3ターゲットを用いて検討を行なった。なお上記「薄膜製造時における酸素圧」とは、基板表面に薄膜を成長させるときの雰囲気中の酸素圧を意味する。また本検討においては、上記温度条件の検討に用いたターゲットとは異なるBi0.6Sr0.5MnO3を用いた。そこでBi0.6Sr0.5MnO3ターゲットにおいても、上記で得られた薄膜製造時の基板温度条件が適用可能であることを確認すべく、460℃にて薄膜を製造した際に得られた電子線回折のスペキュラースポットの強度振動を検討した。図7にその結果を示す。図7によれば明瞭な強度振動が得られており、二次元成長していることが確認できる。従ってBi0.6Sr0.5MnO3ターゲットにおいても、上記で得られた薄膜製造時の基板温度条件を適用することができるものといえる。
次に本発明者等は、上記条件下(温度条件・酸素圧条件)でSrTiO3基板上に製造したBi0.5Sr0.5MnO3薄膜における電荷整列相を調べた。なお、この試料はビスマス(Bi)を5%過剰に仕込んだターゲットを用いているため、ビスマス(Bi)の欠損量は2%よりも多い可能性があることを付記しておく。電荷整列相を調べる手段としては、ラマン散乱法を用いていた。ラマン散乱法は結晶格子の対称性などを検出するに適した手段であり、中性子散乱などとは異なり薄膜でも簡便に適用可能な測定手法である。
本発明の実施の一形態について、図14ないし図24に基づいて以下の通り説明する。なお、本実施例の形態によって本発明の趣旨が何ら制限を受けるものではない。
Claims (4)
- ビスマス及びストロンチウムを含んでいるペロブスカイトマンガン酸化物膜であって、
基板表面に形成されており、
上記基板表面側の基板接面に平行な方向のペロブスカイトマンガン酸化物膜の格子定数が、当該基板接面に垂直な方向のペロブスカイトマンガン酸化物膜の格子定数よりも大きく、
ビスマスとストロンチウムの比が1:1であることを特徴とするペロブスカイトマンガン酸化物膜。 - 上記基板接面に平行な方向のペロブスカイトマンガン酸化物膜の格子定数が、上記基板接面に平行な方向の基板の格子定数と異なることを特徴とする請求項1に記載のペロブスカイトマンガン酸化物膜。
- 上記ペロブスカイトマンガン酸化物膜が、上記基板接面に垂直な方向に配向していることを特徴とする請求項2に記載のペロブスカイトマンガン酸化物膜。
- ビスマス及びストロンチウムを含んでいるペロブスカイトマンガン酸化物膜を、レーザーアブレーション法により基板表面に形成するペロブスカイトマンガン酸化物膜の製造方法において、
上記基板表面にペロブスカイトマンガン酸化物膜を成長させるときのダーゲットとして、製造すべきペロブスカイトマンガン酸化物膜組成中の割合よりも、過剰な割合でビスマスを含むペロブスカイトマンガン酸化物を用いており、
上記基板表面に上記ペロブスカイトマンガン酸化物膜を成長させるときの基板の温度が450°C以上600°C以下の範囲内であり、且つ、雰囲気中の酸素圧が1.3Pa以上2.7Pa以下の範囲内であり、
上記ペロブスカイトマンガン酸化物膜と接触する基板表面に平行な方向の基板の格子定数が、ペロブスカイトマンガン酸化物のバルクでの単位胞体積の三乗根として求められる平均格子定数よりも小さいことを特徴とするペロブスカイトマンガン酸化物膜の製造方法。
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