JP4224975B2 - 液晶表示装置の画素電極形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置の画素電極形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置は、マルチメディア情報化時代の必需品として、携帯電話、携帯端末、ノート型パーソナルコンピュータ、カメラ一体型ビデオテープレコーダ等の多くの製品に使用されている。
特に、低温ポリシリコンTFT液晶表示装置 (Low-Temperature Poly-Silicon Thin-Film-Transistor liquid-Crystal-Display) は、駆動回路であるTFT素子をガラス基板上に集積することができるため、高精細化、低消費電力化が可能となり、将来、様々な回路を集積できることで応用も広がることが期待されている。また、低温ポリシリコンTFT型の高精細液晶パネルを量産化するうえで、一層の低コスト化への要求が高まっている。
【0003】
液晶表示装置を光の利用方法で分類すると、液晶表示装置はバックライトを利用する透過型、外光を利用する反射型、および、両方の機能を持った反射/透過型に分類される。
反射/透過型は、暗所ではバックライトを利用し、明所では外光を画素電極で反射させることにより、高輝度、省消費電力を実現している。
【0004】
図13は、反射/透過型の液晶表示装置の駆動基板の構造の一例を示す平面図である。この液晶表示装置は、いわゆるボトムゲート型の低温ポリシリコンTFT−LCDである。
図13において、表示画素部101は、マトリクス状に配置されており、この表示画素部101は、反射用画素電極102とこの反射用画素電極102の下に形成された透過用画素電極103を有する。各表示画素部101は、透過部Wを備えており、また、各表示画素部101の一隅部には、TFT素子104が形成されている。
TFT素子104は、ゲート線106、信号線105、反射用画素電極102および透過用画素電極103にそれぞれ電気的に接続されている。
【0005】
図14は、液晶表示装置のTFT素子104の断面構造を示す断面図であって、図13におけるA−A線方向の断面図である。また、図15は液晶表示装置の透過部Wの周辺の構造を示す断面図であって、図13におけるB−B線方向の断面図である。
図14に示すTFT素子104において、ガラス板等からなる絶縁性で透明な基板110上には、たとえば、CrやMo等の導電材料からなるゲート電極107が所定のパターンで形成されている。このゲート電極107は、上記したゲート線106に電気的に接続および図示しない蓄積容量配線に電気的に接続されている。
【0006】
ゲート電極107上には、当該ゲート電極107を被覆するように窒化シリコンからなるバリア絶縁膜112が形成され、このバリア膜112上には酸化シリコンからなるゲート絶縁膜113が形成されている。
このゲート絶縁膜113上には、所定パターンのポリシリコン層108が形成されている。このポリシリコン層108は、図示しないコンタクトホールを通じて上記の信号線105および反射用画素電極102、透過用画素電極103に電気的に接続される。
ポリシリコン層108上には、当該ポリシリコン層108のゲート電極107上に位置する部分を被覆し、被覆された部分のポリシリコン層108へのイオン注入を阻止するためのストッパ層115が形成されている。ポリシリコン層108は、周知の方法により、LDD(Lightly Doped Drain )領域およびN+ 領域が形成され、活性化されている。
ゲート絶縁膜113上には、ポリシリコン層108およびストッパ層115を被覆するように、酸化シリコンからなる層間絶縁膜116が形成され、層間絶縁膜116上には窒化シリコンからなる層間絶縁膜117が形成されている。
【0007】
層間絶縁膜117上には、表面に凹凸を有する拡散板118が形成されている。この拡散板118は、上層に形成される反射用画素電極102に凹凸を発生させて、当該反射用画素電極102に入射する光を拡散させて輝度を向上させるために設けられている。
拡散板118上には、平坦化層119が形成されている。この平坦化層119は、反射用画素電極102を形成しやすい程度に拡散板118の凹凸を滑らかにするために設けられている。
【0008】
平坦化層119上には、透過用画素電極103が形成され、透過用画素電極103上には反射用画素電極102が形成されている。透過用画素電極103は、ITO(Indium Tin Oxide)膜等の透明膜で形成され、反射用画素電極102はAl等の反射膜で形成されている。
【0009】
基板110から反射用画素電極102までは、一連のプロセスで形成され、液晶表示装置を駆動する駆動基板を構成する。図14に示すように、この駆動基板の表面側にITO膜等の透明膜からなる対向電極134、カラーフィルタ135、位相差板136および偏光板137が設けられており、反射用画素電極102と対向電極134との間に液晶130が封入され、駆動基板の裏面側に位相差板133、偏光板132および面状光源131が設けられている。
図14に示すように、外部から偏光板137に向かって入射する外光OLは、液晶130を通じて反射用画素電極102で反射し、液晶130を通じて再び外部に出力可能となっている。
一方、面状光源131からの光BLは、反射用画素電極102が存在するため、偏光板137側に出力されない。
【0010】
一方、図15に示すように、基板110上に積層されたバリア膜112、ゲート絶縁膜113、層間絶縁膜116,117、拡散板118および平坦化層119には、基板110にまで達する穴Hが形成されている。透過用画素電極103は、平坦化層119上に形成されているとともに、穴Hの底部である基板110の表面および穴Hの内周面を覆うように形成されている。
さらに、この透過用画素電極103上に形成された反射用画素電極102は、穴Hの底部において窓102wが形成されている。
このため、図15に示すように、面状光源131からの光BLは窓102wを通じて偏光板137側に出力可能となっている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記構成の液晶表示装置の反射用画素電極102および透過用画素電極103を形成するには、まず、平坦化層119上に透明導電膜を真空雰囲気において成膜したのち、フォトリソグラフィー工程によって図13に示した所定パターンにパターニングし透過用画素電極103を形成する。次いで、透過用画素電極103上に反射導電膜を真空雰囲気において成膜したのち、フォトリソグラフィー工程によってパターニングし反射用画素電極102を形成する。
フォトリソグラフィー工程は、処理前洗浄・レジスト塗布・プリベーク・露光・現像・ポストベーク等の多くの工程からなりたっている。このため、反射用画素電極102および透過用画素電極103を形成するのに2つのフォトリソグラフィー工程が必要であると、量産工場においては工程数が多く、大型のコーターディベロッパーが多数必要となり設備コストが嵩み、製品の低コスト化を妨げる要因となっていた。このため、反射用画素電極102および透過用画素電極103を形成するための工程数の削減が望まれていた。
また、フォトリソグラフィー工程では、多量の薬液を使用するため、省資源化や環境汚染の防止の観点から、反射用画素電極102および透過用画素電極103の形成をいわゆるドライプロセスによって行うことが望まれていた。
【0012】
一方、薄膜をフォトリソグラフィーによらずにパターニングする方法として、たとえば、レーザを用いた加工が提案されている。レーザ加工は、マスクを通じた所定パターンのレーザ光を被加工面に照射することにより被加工面を構成する材料を選択的に除去する。一般に、エキシマレーザは、アブレーションと呼ばれる、光化学的に直接結合を解離する熱的な影響を受けにくい加工を行うため、被加工面のエッジの仕上がりが非常にシャープとなるとともに、ビーム整形器によりレーザ光の断面積を拡大することにより比較的広い面積を一括して加工できる。 このレーザ加工方法を反射用画素電極102や透過用画素電極103のパターニングに用いれば、フォトリソグラフィーを省略することが可能である。
【0013】
具体的には、平坦化層119上にITO等の透過導電膜を形成したのち、レーザ加工により透過用画素電極103を加工する。その後、この透過用画素電極103を覆うように、Al等の反射導電膜を成膜し、レーザ加工によりこの反射導電膜を選択的に除去して反射用画素電極102を形成する。このとき、反射用画素電極102を加工するには、隣接する反射用画素電極102間および開口102wの加工が必要である。
しかしながら、反射用画素電極102の開口102wを加工する際に、透過用画素電極103上に反射導電膜が形成されているため、反射導電膜は、透明導電膜よりも加工に要するレーザ光のエネルギー密度が高く、また、線膨張係数が大きいため、反射導電膜が除去されるとともに透過用画素電極103がレーザ光によってダメージを受け、反射導電膜のみを選択的に除去することができないという問題が存在した。すなわち、反射導電膜の線膨張係数が透明導電膜の線膨張係数よりも大きいと、反射導電膜の熱膨張によって当該反射導電膜の下層の透明導電膜まで破壊されやすい。
【0014】
本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、反射/透過型の液晶表示装置の画素電極をレーザ光を用いて形成可能な液晶表示装置の画素電極形成方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の観点に係る液晶表示装置の画素電極形成方法では、光を透過する基板と、前記基板上に所定形状でパターニングされた導電性透過膜からなる光を透過する透過用画素電極と、前記透過用画素電極上に形成され当該透過用画素電極を透過した光を通過させる開口をもつ導電性反射膜からなる所定パターンの反射用画素電極とを有する液晶表示装置における前記反射用画素電極の形成方法であって、前記透過用画素電極を被覆するよう前記基板上に導電性材料からなるストッパ層を成膜する工程と、前記ストッパ層の表面に導電性反射膜を成膜する工程と、前記導電性反射膜に所定パターンのレーザ光を照射し、当該導電性反射膜および前記ストッパ層を選択的に除去し、前記反射用画素電極を形成する工程とを有し、前記導電性透過膜にアニール処理されたITO (Indium Tin Oxide) 膜を用い、前記ストッパ層にアニール処理されていないITO (Indium Tin Oxide) 膜を用いる。
【0019】
本発明の観点によれば、基板上に形成された透過用画素電極は、導電性材料によって被覆される。このため、透過用画素電極とストッパ層とは電気的に接続される。このストッパ層の表面に導電性反射膜を成膜すると、ストッパ層と導電性反射膜とは電気的に接続される。
この状態において、導電性反射膜に所定パターンのレーザ光を照射すると導電性透過膜は選択的に除去され、反射用画素電極が形成される。
このとき、レーザ光の照射による導電性反射膜の選択的除去と同時にストッパ層も同時に選択的に除去される。したがって、レーザ光の加工エネルギーは、ストッパ層で吸収消費され、ストッパ層の下層の透過用画素電極がレーザ光によりダメージを受けない。
また、ストッパ層の形成材料に可視光を透過する材料を用いれば、ストッパ層の一部がレーザ加工により除去されずに透過用画素電極上に残存したとしても、透過用画素電極の可視光の透過を妨げることがない。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
実施形態
図1は、本発明が適用される液晶表示装置における駆動基板の構成の一例を示す平面図である。
図1に示すように、駆動基板1は、マトリクス状に配列された画素電極部2と、各画素電極部2に対して設けられたTFT(Thin Film Transistor)素子30とを有する。各画素電極部2の間には、信号線5およびゲート線6が設けられている。
【0022】
画素電極部2は、透過用画素電極10と、この透過用画素電極10上に形成されたストッパ層15と、このストッパ層15上に形成された反射用画素電極12とを有する。また、反射用画素電極12には、開口12wが形成されている。
【0023】
TFT素子30は、ゲート電極7とこのゲート電極7に交差するように配置されたポリシリコン層8とを有している。ゲート電極7は、ゲート線6に電気的に接続されている。ポリシリコン層8の一端部は信号線5に電気的に接続され、他端部は透過用画素電極10に電気的に接続されている。
なお、ゲート線6はTFT素子30に走査信号を供給するための配線であり、信号線5はTFT素子30に信号電圧を印加するための配線である。
【0024】
図2は、駆動基板1のTFT素子30の周辺の断面構造を示す断面図であって、図1におけるA−A線方向の断面を示している。また、図3は、駆動基板1の開口12wの周辺の断面構造を示す断面図であって、図1におけるB−B線方向の断面図である。
また、図2および図3に示すように、駆動基板1の電極形成面側に対向して配置された対向電極62、カラーフィルタ64、位相差板66および偏光板68と、駆動基板1の裏面側に配置された位相差板70、偏光板72および面状光源74とによって液晶表示装置は構成される。
【0025】
駆動基板1は、基板40と、ゲート電極7と、バリア膜44と、ゲート絶縁膜46と、ポリシリコン層8と、ストッパ層50と、層間絶縁膜48,52と、拡散板54と、平坦化層56と、透過用画素電極10と、ストッパ層15と、反射用画素電極12とを有する。
【0026】
基板40は、たとえば、ガラス材料等の光を透過する材料で形成されている。
ゲート電極7は、基板40上に上記したゲート線6とともにパターニングされている。このゲート電極7は、たとえば、CrやMo(モリブデン)等の導電材料を基板40上にスパッタリングにより成膜し、このCrやMo等の薄膜を、たとえば、フォトリソグラフィーによってパターニングすることにより得られる。
【0027】
バリア膜44は、ゲート電極7を被覆するように基板40上に成膜されている。このバリア膜44は、たとえば、プラズマCVD法により、窒化シリコンを基板40上に成膜したものである。
ゲート絶縁膜46は、バリア膜44上に形成されており、たとえば、酸化シリコンをプラズマCVD法により成膜したものである。
【0028】
ポリシリコン層8は、ゲート絶縁膜46上にパターニングされている。このポリシリコン層8は、たとえば、非晶質シリコンをゲート絶縁膜46上にプラズマCVD法により成膜したのち、アニール処理を施して非晶質シリコンに含まれる水素を除去し、結晶化させることでポリシリコンに転換させ、このポリシリコンを、たとえば、フォトリソグラフィーによりパターニングすることにより得られる。
また、ポリシリコン層8のストッパ層50の両側には、たとえば、リン(P)等の不純物が所定の濃度で注入され、活性化されることによりLDD(LightlyDoped Drain )領域およびN+ 領域が形成されている。
【0029】
ストッパ層50は、たとえば、酸化シリコンで形成されている。このストッパ層50は、たとえば、CVD法によりポリシリコン層8を覆うようにゲート絶縁膜46上に酸化シリコンを成膜したのち、この酸化シリコンをゲート電極7をマスクとしてセルフアライメントによりパターニングすることにより得られる。このため、ストッパ層50は、ポリシリコン層8のゲート電極7上に位置する部分を被覆している。
なお、上記のLDD領域は、このストッパ層50をマスクとして不純物がイオン注入されることにより形成される。また、このストッパ層50および当該ストッパ層50の周辺をフォトレジストによりマスクしたのち、不純物をポリシリコン層8にイオン注入することにより、N+ 領域が形成される。その後、アニール処理により、不純物の活性化を図る。
【0030】
層間絶縁膜48は、ストッパ層50およびポリシリコン層8を覆うようにゲート絶縁膜46上に形成されている。この層間絶縁膜48は、たとえば、酸化シリコンがCVD法により成膜されている。
層間絶縁膜52は、層間絶縁膜48上に形成されている。この層間絶縁膜48は、たとえば、窒化シリコンがCVD法により成膜されている。
【0031】
拡散板54は、層間絶縁膜52上に形成されている。この拡散板54は、表面に凹凸を有している。この凹凸により、当該拡散板54上層に形成される反射用電極12に凹凸を形成し、当該反射用電極12に入射する光を拡散させて画面の輝度を向上させるために設けられている。
拡散板54は、層間絶縁膜52上にアクリル樹脂等からなるレジストをスピンコートにより塗布し、ポストベーク処理によりレジストを下地層に定着させ溶媒を除去し、このレジストの表面に凹凸を形成することにより得られる。レジスト表面への凹凸の加工は、たとえば、フォトリソグラフィーあるいはレーザ加工によって行われる。
【0032】
平坦化層56は、拡散板54上に形成されており、拡散板54の表面の凹凸を滑らかにし、透過用電極10および反射用画素電極12が定着しやすいようにするために設けられている。このため、平坦化層56の表面は拡散板54の表面よりも滑らかになっている。
【0033】
図3に示すように、上記のバリア膜42、ゲート絶縁膜46、層間絶縁膜48,52、拡散板54および平坦化層56には、基板40にまで達するテーパ状の穴Hが形成されている。
透過用画素電極10は、図2に示すように、平坦化層56上に形成されているとともに、図3に示すように、上記のテーパ状の穴Hの内周面および穴Hの底部である基板40の表面を覆うように形成されている。
この透過用画素電極10は、たとえば、ITO(Indium Tin Oxide)等の導電性の透過膜によって形成されている。
また、透過用画素電極10は、図1に示したように、矩形状にパターニングされている。
【0034】
ストッパ層15は、図3に示すように、反射用画素電極12の開口12wの下部に形成された開口15wを除いて透過用画素電極10の表面に全面的に形成されている。このストッパ層15は、たとえば、アニール処理を施していないITO(Indium Tin Oxide)や窒化チタン(TiO2 )等の導電性の透過膜で形成されている。このため、ストッパ層15と透過用画素電極10とは電気的に接続されている。
【0035】
反射用画素電極12は、ストッパ層15の表面に全面的に形成されている。この反射用画素電極12は、図3に示すように、開口12wが形成されている。反射用画素電極12は、たとえば、Al等で形成された導電性の反射膜で形成されている。このため、反射用画素電極12は、ストッパ層15を介して透過用画素電極10と電気的に接続されている。
なお、反射用画素電極12は、後述するように、レーザ光によるアブレーション加工によりパターニングされる。
【0036】
対向電極62、カラーフィルタ64、位相差板66および偏光板68は、一体化されて駆動基板1の画素電極形成側に対向配置される。
また、位相板70、偏光板72および面状光源74は、一体化されて駆動基板1の非画素電極形成側に対向配置される。
対向電極62は、ITO(Indium Tin Oxide)等の導電性の透過膜によって形成されており、透過用画素電極10および反射用画素電極12との間で電界を形成する。
【0037】
偏光板68および72は、入射する光を直線偏光にする。
位相差板66,70は、液晶表示装置のコントラストの向上、色変化の低減、防止のために、偏光板68または72を通じて入射する直線偏光を円偏光にする光学補償を行う。
カラーフィルタ64は、赤(R)、緑(G)、青(B)の三原色の微細な着色層とブラックマトリックスと呼ばれる遮光層とが所定パターンに形成されたものである。
面状光源74は、たとえば、冷陰極蛍光管等の光源を内蔵しており、面状の光BLを基板40側に向けて出力する。
【0038】
対向電極62と透過用画素電極10および反射用画素電極12との間に封入される液晶60には、たとえば、ツイスティッドネマティック(TN)液晶が使用される。
【0039】
上記構成の液晶表示装置では、偏光板68側から入射した外光OLは、偏光板68、位相差板66、カラーフィルタ64および対向電極62を通過して透過用画素電極10に入射し、この反射用画素電極12で反射されて偏光板68から外部に再び出力される。反射用画素電極12の表面は、拡散板54の凹凸により凹凸を有しているので、反射用画素電極12に入射された外光OLは、散乱し画面の輝度が向上する。
【0040】
一方、面状光源74から出力された光BLは、図2に示すように、反射用画素電極12が存在する領域では、反射用画素電極12によって遮断され、偏光板68から外部へ出力されないが、図3に示すように、透過用画素電極10に入射した光BLの一部は反射用画素電極12の開口12wを通過し、対向電極62、カラーフィルタ64、位相差板66および偏光板68を通じて外部に出力される。
この結果、暗所では面状光源74を利用し、明所では外光を反射用画素電極12で反射させることにより、高輝度で省消費電力化された液晶表示装置が得られる。
【0041】
次に、上述した反射用画素電極12の形成方法について説明する。
図4は、反射用画素電極12のパターニングに用いるレーザ加工装置の概略構成の一例を示す図である。
図4に示すレーザ加工装置200は、レーザ光源201と、複数のミラー202,203,204と、ビーム整形器205と、マスク206と、縮小投影レンズ207と、ステージ208とを有する。
【0042】
レーザ光源201は、レーザビームLBを出力する。このレーザ光源201から出力されるレーザビームLBによって加工対象物210の被加工面210fが加工される。
レーザ光源201には、たとえば、エキシマレーザや、YAGレーザが用いられる。エキシマレーザには、レーザ媒質の異なる複数の種類が存在する。レーザ媒質としては、波長の長いほうからXeF(351nm)、XeCl(308nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2 (157nm)が存在する。エキシマレーザは、熱エネルギーを利用した加工を行うYAGレーザ(1.06μm)、CO2 レーザ(10.6μm)と大きく異なる点は、発振波長が紫外線の領域にあることである。エキシマレーザは、本質的にパルスでのみ発振し、パルス幅は数ns〜数十nsでありレーザビームの形は長方形である。
一般に、エキシマレーザは、アブレーションと呼ばれる、光化学的に直接結合を解離する熱的な影響を受けにくい加工を行うため、被加工面のエッジの仕上がりが非常にシャープとなる。これに対して、YAGレーザ、CO2 レーザでは加工部分が溶融後蒸発するため、熱の影響で周辺部が丸くなりきれいな端面とならない。
さらに、エキシマレーザは、初期のビームの断面が約10×10mmの寸法を有し、このレーザビームを後述するビーム整形器により長面積化、大面積化することにより比較的広い面積を一括して加工できる。したがって、大面積の領域を同時に加工するのにエキシマレーザは適している。
【0043】
ビーム整形器205は、ミラー202および203によって反射されたレーザ光源201からのレーザビームLBを拡大整形し、ミラー204に向けて出力する。
【0044】
マスク206は、ビーム整形器205で整形されミラー204で反射されたレーザビームLBを通過させる所定パターンを有している。このマスク206は、たとえば、金属材料で形成されたマスク、透明なガラス材料や透明な樹脂で形成されたマスク、誘電体材料で形成されたマスク等が用いられる。
【0045】
縮小投影レンズ207は、マスク206のパターンを通過したレーザビームLBを所定倍率で縮小してステージ208上の加工対象物210の被加工面210fに投影する。
【0046】
ステージ208は、縮小投影レンズ207から投影されるレーザビームLBが加工対象物210の被加工面210fに合焦するように縮小投影レンズ207に対して配置されている。このステージ208は、加工対象物を固定する、たとえば、真空チャック等の固定手段を備えており、レーザビームLBを加工対象物210の被加工面210f上の所望の位置に照射し、かつ、レーザビームLBを被加工面210f上で合焦させることが可能なように、x、y,z方向およびθ方向に移動位置決めが可能となっている。
【0047】
上記構成のレーザ加工装置200では、加工対象物210の被加工面210fにマスク206で規定される所定パターンのレーザビームLBが照射され、被加工面210fがレーザ加工される。
【0048】
次に、上記レーザ加工装置200を用いた反射用画素電極12について説明する。
図5に示すように、駆動基板1の基板40上に積層されたバリア膜42、ゲート絶縁膜46、層間絶縁膜48,52、拡散板54および平坦化層56にエッチングによって穴Hを形成したのち、平坦化層56上に導電性透過膜を形成し、この導電性透過膜をパターニングして透過用画素電極10を形成する。
この透過用画素電極10のパターニングには、上記したレーザ加工装置200を用いることができる。
また、透過用画素電極10を構成する導電性透過膜には、たとえば、アニール処理をしたITOが用いられる。この導電性透過膜の形成には、たとえば、スパッタリング法が用いられる。
【0049】
次いで、図6に示すように、透過用画素電極10を覆うように、ストッパ層15を形成する。
このストッパ層15は、たとえば、ITOや窒化チタン等の導電性を有する透過膜が用いられる。また、ストッパ層15にITOを用いる場合には、アニール処理が施されていないものが用いられる。また、ストッパ層15の膜厚はできるだけ薄くする。
ストッパ層15の形成には、たとえば、スパッタリング法が用いられる。
ストッパ層15を形成すると、当該ストッパ層15と透過用画素電極10とは電気的に接続された状態となる。
【0050】
次いで、図7に示すように、ストッパ層15の表面に全面的に導電性反射膜11を形成する。
この導電性反射膜11は、たとえば、Al等の導電性を有する反射膜が用いられる。
導電性反射膜11の形成には、たとえば、スパッタリング法が用いられる。
導電性反射膜11を形成すると、当該導電性反射膜11と透過用画素電極10とはストッパ層15を介して電気的に接続された状態となる。
【0051】
次いで、導電性反射膜11が形成された駆動基板1を上記のレーザ加工装置200にセットし、図8に示すように、導電性反射膜11の表面に向けて、所定パターンのレーザビームLBを照射する。レーザビームLBは、パルス状に断続的に導電性反射膜11に照射される。
このとき、レーザビームLBのエネルギー密度は、導電性反射膜11の被照射領域Rが一回の照射によりすべて除去されずに、導電性反射膜11の一部のみがアブレーションにより除去される程度に設定する。
【0052】
レーザビームLBが導電性反射膜11の被照射領域Rに繰り返し照射されると、被照射領域Rが徐々に除去され、導電性反射膜11の被照射領域Rが完全に除去されると、導電性反射膜11に形成された開口からストッパ層15が露出する。
【0053】
ストッパ層15が露出すると、ストッパ層15もアブレーションにより除去されたところで、レーザビームLBの照射を停止する。
なお、レーザビームLBの照射は、下層の透過用画素電極10がレーザビームLBによりダメージを受ける前に停止する。
このため、レーザビームLBの被照射領域Rにおける透過用画素電極10上にストッパ層15の一部が残存する可能性がある。しかしながら、ストッパ層15は透過膜であるので、開口における透過用画素電極10の可視光の透過を妨げることはない。
【0054】
また、透過用画素電極10の形成材料にアニール処理を施されたITOを用い、ストッパ層15の形成材料にアニール処理を施されていないITOを用いると、透過用画素電極10のレーザビームLBによるダメージを一層避けることができる。すなわち、アニール処理を施されていないITOは、アニール処理を施したITOよりも加工に必要なレーザのエネルギーが大きいため、ストッパ層15で多くのエネルギーが消費され、透過用画素電極10がダメージを受けにくくなる。
【0055】
以上の工程により、図1に示した開口12wをもつ矩形状の反射用画素電極12がパターニングされる。
本実施形態によれば、ストッパ層15を反射用画素電極12のための導電性反射膜と透過用画素電極10との間に形成したことにより、反射用画素電極12をレーザビームLBによりパターニングしたときに、透過用画素電極10が除去されたり、あるいは、基板40から剥離する等のダメージを防止することが可能となる。この結果、レーザビームLBによる反射用画素電極12の形成が可能となる。
【0056】
参考形態
上述した実施形態では、ITO等の導電性の透過膜からなるストッパ層15を透過用画素電極10の表面に全面的に形成し、透過用画素電極10と反射用画素電極12とを導通させるとともに、透過用画素電極10のレーザビームLBによるダメージを防ぐ構成とした。
本参考形態では、ストッパ層が導電性のない場合でも、透過用画素電極10と反射用画素電極12とを導通させるとともに、透過用画素電極10のレーザビームLBによるダメージを防ぐことができる電極形成方法について図9〜図12を参照して説明する。なお、図9〜図12において、上述した実施形態と同一構成部分については同一の符号を使用している。
【0057】
図9は、上記した穴Hを形成したのち、平坦化層56上に導電性透過膜を形成し、この導電性透過膜をパターニングして透過用画素電極10を形成したのち、穴H内の透過用画素電極10表面にストッパ層150を形成した状態を示している。
ストッパ層150は、可視光を透過する材料で形成されている。たとえば、酸化チタン(TiO2 )や透明な樹脂材料である。また、樹脂材料を用いる場合には、レーザ加工装置200のレーザビームLBの波長付近でできるだけ吸収率の高いものが好ましい。たとえば、KrFエキシマレーザーの場合は波長248nmであるが、この波長248nm付近で吸収率が高いものである。
また、ストッパ層150は、たとえば、上記したレーザ加工装置200を用いてレーザ加工やフォトリソグラフィ工程によって形成することができる。
【0058】
ストッパ層150を形成後、図10に示すように、ストッパ層150および矩形状にパターニングされた透過用画素電極10を覆うように、導電性透過膜11を形成する。
これにより、導電性透過膜11と透過用画素電極10とは電気的に接続される。
【0059】
次いで、導電性反射膜11が形成された駆動基板を上記のレーザ加工装置200にセットし、図11に示すように、導電性反射膜11の表面に向けて、所定パターンのレーザビームLBを照射する。レーザビームLBは、パルス状に断続的に導電性反射膜11に照射される。
このとき、レーザビームLBのパワーは、導電性反射膜11の被照射領域Rが一回の照射によりすべて除去されずに、導電性反射膜11の一部のみがアブレーションにより除去される程度に設定する。
【0060】
導電性反射膜11への所定パターンのレーザビームLBの照射により、上述した実施形態と同様の作用で導電性反射膜11がパターニングされ、図12に示すように、開口12wをもつ反射用画素電極12が形成される。
このとき、ストッパ層150の一部150pは、反射用画素電極12と透過用画素電極10との間に残存する。
【0061】
以上のように、本参考形態によれば、ストッパ層150が導電性を有していなくても、透過用画素電極10と反射用画素電極12とを電気的に接続できるとともに、透過用画素電極10にレーザビームLBによるダメージを与えることなく反射用画素電極12を加工することができる。
なお、ストッパ層150の材料は、レーザ加工装置200に用いるレーザの波長により任意に選択することができる。
【0062】
【発明の効果】
本発明によれば、反射/透過型の液晶表示装置の画素電極をレーザ光を用いて形成可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の電極形成方法が適用される液晶表示装置における駆動基板の構成の一例を示す平面図である。
【図2】 図1のTFT素子30の周辺の断面構造を示す断面図である。
【図3】 図1における駆動基板1の開口12wの周辺の断面構造を示す断面図である。
【図4】 反射用画素電極12のパターニングに用いるレーザ加工装置の概略構成の一例を示す図である。
【図5】 本発明の一実施形態に係る電極形成方法の手順を説明するための断面図である。
【図6】 図5に続く本発明の一実施形態に係る電極形成方法の手順を説明するための断面図である。
【図7】 図6に続く本発明の一実施形態に係る電極形成方法の手順を説明するための断面図である。
【図8】 図7に続く本発明の一実施形態に係る電極形成方法の手順を説明するための断面図である。
【図9】 本発明の参考形態に係る電極形成方法の手順を説明するための断面図である。
【図10】 図9に続く本発明の参考形態に係る電極形成方法の手順を説明するための断面図である。
【図11】 図10に続く本発明の参考形態に係る電極形成方法の手順を説明するための断面図である。
【図12】 反射用画素電極がパターニングされた状態を示す断面図である。
【図13】 反射/透過型の液晶表示装置の駆動基板の構造の一例を示す平面図である。
【図14】 液晶表示装置のTFT素子104の断面構造を示す断面図であって、図13におけるA−A線方向の断面図である。
【図15】 液晶表示装置における反射用画素電極の開口の周辺の構造を示す断面図であって、図13におけるB−B線方向の断面図である。
【符号の説明】
1…駆動基板、2…画素電極部、5…信号線、6…ゲート線、7…ゲート電極、8…ポリシリコン層、10…透過用画素電極、12…反射用画素電極、15…ストッパ層、30…TFT素子、40…基板、42…バリア膜、46…ゲート絶縁膜、48,52…層間絶縁膜、54…拡散板、56…平坦化層、60…液晶、62…対向電極、64…カラーフィルタ、66,70…位相差板、68,72…偏光板、74…面状光源。
Claims (1)
- 光を透過する基板と、前記基板上に所定形状でパターニングされた導電性透過膜からなる光を透過する透過用画素電極と、前記透過用画素電極上に形成され当該透過用画素電極を透過した光を通過させる開口をもつ導電性反射膜からなる所定パターンの反射用画素電極とを有する液晶表示装置における前記反射用画素電極の形成方法であって、
前記透過用画素電極を被覆するよう前記基板上に導電性材料からなるストッパ層を成膜する工程と、
前記ストッパ層の表面に導電性反射膜を成膜する工程と、
前記導電性反射膜に所定パターンのレーザ光を照射し、当該導電性反射膜および前記ストッパ層を選択的に除去し、前記反射用画素電極を形成する工程と
を有し、
前記導電性透過膜にアニール処理されたITO (Indium Tin Oxide) 膜を用い、
前記ストッパ層にアニール処理されていないITO (Indium Tin Oxide) 膜を用いる
液晶表示装置の画素電極形成方法。
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