JP4217719B2 - Electromagnetic wave shielding substrate, plasma display, and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は視認性に優れた電磁波シールド基材、プラズマディスプレイ及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an electromagnetic wave shielding base material excellent in visibility, a plasma display, and a manufacturing method thereof.
情報処理装置等の表示画面に用いられるPDP(プラズマディスプレイパネル)やCRT(Cathode-Ray Tube)は、電磁波を外部に発生させるという問題点を有している。 PDPs (plasma display panels) and CRTs (cathode-ray tubes) used for display screens of information processing apparatuses and the like have a problem that electromagnetic waves are generated outside.
そこで、これらの表示画面から発生する電磁波の外部への漏洩を防止するための技術が種々提案されている。一般的に広く知られている漏洩防止対策は、透明基材上に銅、ニッケル等の高導電率の金属からなる金属パターン層を形成する方法である。 Thus, various techniques for preventing leakage of electromagnetic waves generated from these display screens to the outside have been proposed. A generally known leak prevention measure is a method of forming a metal pattern layer made of a highly conductive metal such as copper or nickel on a transparent substrate.
しかしながら、上述のようにして形成した金属パターン層を有する電磁波シールド基材を表示画面の前面に設けると、表示画面からの光、及び外光が金属パターン層の表面で反射して、金属パターン層のパターン線に沿って十字状の反射が生じる。この十字状の光の反射により表示画面の視認性が低下するという不具合が生じる。 However, when the electromagnetic shielding base material having the metal pattern layer formed as described above is provided on the front surface of the display screen, the light from the display screen and the external light are reflected on the surface of the metal pattern layer, and the metal pattern layer A cross-shaped reflection occurs along the pattern line. The reflection of the cross-shaped light causes a problem that the visibility of the display screen is lowered.
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、視認性に優れた電磁波シールド基材、プラズマディスプレイ及びその製造方法を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of the said situation, and it aims at providing the electromagnetic wave shielding base material excellent in visibility, a plasma display, and its manufacturing method.
上記目的を達成するために、本発明の電磁波シールド基材は、透明基材と、接着剤層と、銅からなる金属パターン層とを有し、該金属パターンの形状は透明基材と平行する切断面の面積が透明基材に近づくに従い大きくなる形状であり、該金属パターン層の透明基材に隣接する面の表面粗さが0.10〜1.00μmであり、透明基材に接していない金属パターン層の上面側に、粘着層を介して反射防止機能、アンチグレア機能、または近赤外線吸収機能のうち、少なくとも1つの機能を有するフィルが貼着されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, an electromagnetic wave shielding base material of the present invention has a transparent base material, an adhesive layer, and a metal pattern layer made of copper , and the shape of the metal pattern is parallel to the transparent base material. The area of the cut surface increases as it approaches the transparent substrate, and the surface roughness of the surface adjacent to the transparent substrate of the metal pattern layer is 0.10 to 1.00 μm, and is in contact with the transparent substrate. A film having at least one of an antireflection function, an antiglare function, or a near-infrared absorption function is attached to the upper surface side of the non-metal pattern layer via an adhesive layer.
本発明のプラズマディスプレイは、上記電磁波シールド基材を画面前部に設けたことを特徴とする。 The plasma display of the present invention is characterized in that a top Symbol electromagnetic wave shielding substrate to the screen front.
本発明の電磁波シールド基材の製造方法は、透明基材上に、該透明基材と平行する切断面の面積が該透明基材に近づくに従い大きくなる形状であり、該透明基材に隣接する面の表面粗さRaが0.10〜1.00μmとなるように予め凹凸が形成された金属層を接着剤層を用いて接着し、該金属層をパターン化して金属パターン層を形成した後、透明基材に接していない金属パターン層の上面側に、粘着層を介して反射防止機能、アンチグレア機能、または近赤外線吸収機能のうち、少なくとも1つの機能を有するフィルムを貼着することを特徴とする。 The method for producing an electromagnetic wave shielding base material of the present invention has a shape in which the area of a cut surface parallel to the transparent base material increases as it approaches the transparent base material on the transparent base material , and is adjacent to the transparent base material. After bonding a metal layer on which irregularities are formed in advance so that the surface roughness Ra is 0.10 to 1.00 μm using an adhesive layer, and patterning the metal layer to form a metal pattern layer A film having at least one of an antireflection function, an antiglare function, or a near-infrared absorption function is attached to the upper surface side of the metal pattern layer not in contact with the transparent substrate through an adhesive layer. And
以上の説明から明らかなように本発明の電磁波シールド基材により、近赤外線の外部への漏洩の防止や表示画面と電磁波シールド基材との間に発生するニュートンリングを防止ならびに表示画面からの光、及び外光の反射を抑えて画面の視認性の低下の防止を実現し、特に透明基材下側から入射した光の金属パターン層側での反射量を低く抑えることが可能となる。 The electromagnetic wave shielding substrate of the present invention as apparent from the above description, the light from the prevention and the display screen Newton rings generated between the prevention and the display screen and an electromagnetic wave shielding substrate leakage to the near infrared outside Further, it is possible to suppress the reflection of the external light and prevent the visibility of the screen from being lowered, and in particular, it is possible to suppress the reflection amount of the light incident from the lower side of the transparent substrate on the metal pattern layer side .
また、金属パターン層の片面、または両面の表面粗さRaが0.10〜1.00μmであることにより、凹凸の形成によって生じるヘイズ等に起因する画面の視認性を低下させることがない。 Moreover, when the surface roughness Ra of the one surface or both surfaces of the metal pattern layer is 0.10 to 1.00 μm, the visibility of the screen due to haze or the like caused by the formation of the unevenness is not lowered.
また、本発明の電磁波シールド基材の製造方法により、近赤外線の外部への漏洩の防止や表示画面と電磁波シールド基材との間に発生するニュートンリングを防止し、さらに、表示画面からの光、及び外光の反射を抑えて画面の視認性の低下の防止を実現し、特に透明基材下側から入射した光の金属パターン層側での反射量を低く抑えることが可能となる。 Further, the method of manufacturing an electromagnetic wave shielding substrate of the present invention to prevent the Newton's rings generated between the prevention and the display screen and an electromagnetic wave shielding substrate leakage to the near infrared outside further light from the display screen Further, it is possible to suppress the reflection of the external light and prevent the visibility of the screen from being lowered, and in particular, it is possible to suppress the reflection amount of the light incident from the lower side of the transparent substrate on the metal pattern layer side .
また、金属層の片面の表面粗さがRaが0.10〜1.00μmであることにより、凹凸の形成によって生じるヘイズ等に起因する画面の視認性を低下させることがない。 Moreover, when the surface roughness Ra of the one surface of the metal layer is 0.10 to 1.00 μm, the visibility of the screen due to haze or the like caused by the formation of unevenness is not lowered.
次に添付図面を参照しながら本発明の電磁波シールド基材、及びその製造方法に係る実施の形態を詳細に説明する。図1〜図13を参照すると本発明の電磁波シールド基材、及びその製造方法に係る実施の形態が示されている。 Next, embodiments of the electromagnetic wave shielding base material and the manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 13 show an embodiment of an electromagnetic wave shielding substrate of the present invention and a manufacturing method thereof.
まず、図1を参照しながら本発明の電磁波シールド基材に係る実施形態の構成について説明する。図1に示されるように本発明に係る電磁波シールド基材は、透明基材1上に高導電率の金属からなる金属パターン層2が形成されている。
First, the configuration of an embodiment according to the electromagnetic wave shielding substrate of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, in the electromagnetic wave shielding base material according to the present invention, a
金属パターン層2の表面には、図1に示されるように黒化処理が施され、また、表面には所定の粗さの凹凸が形成されている。この表面に形成される所定の粗さの凹凸は、図1の(a)に示されるように金属パターン層2の、透明基材1に接していない側の面に設けるものであってもよいし、図1の(b)に示されるように金属パターン層2の、透明基材1との接触面に設けるものであってもよいし、図1の(c)に示されるように金属パターン層2の両面に設けるものであってもよい。電磁波シールド基材を表示画面の前面に設けた場合、表示画面からの光、及び外光による金属反射により画面の視認性を低下させるという不具合を生じる。このような不具合を防止するために金属パターン層2の表面には黒化処理及び所定の粗さの凹凸が形成されている。なお、金属パターン層2の表面への凹凸の形成はこの黒化処理により形成することができる。
As shown in FIG. 1, the surface of the
また、金属パターン層2は、一般的な形状であってもよいが、図1に示されるように金属パターン層2の、透明基材1と平行する切断面の面積が、透明基材1に近づくに従って大きくなるように形成されているとさらによい。このような形状の金属パターン層2とすることにより、透明基材下側からは金属パターン層の側面が殆ど見ることが出来ない。よって透明基材下側から入射した光の金属パターン層側面での反射量を低く抑えることができる。また、斜めから見たときの視野を妨げないので、ライン膜厚を従来よりもさらに厚くして電磁波のシールド効果を高めても視認性を低下させることがない。
Further, the
上記構成の電磁波シールド基材は、透明基材1側の金属パターン層2の表面に凹凸を形成する場合、図2の(a)に示されるように、透明基材1に予め凹凸を有する金属箔(銅箔)3を接着剤4を用いて張り付ける。
When the electromagnetic shielding base material having the above-described configuration forms irregularities on the surface of the
そして、図2の(b)に示されるように金属箔3の上面にレジスト5を塗布してパターン化し、図2の(c)に示されるようにエッチングにより金属箔3をパターン化して金属パターン層2を形成する。
Then, a resist 5 is applied to the upper surface of the metal foil 3 to form a pattern as shown in FIG. 2B, and the metal foil 3 is patterned by etching as shown in FIG.
上記工程により形成される電磁波シールド基材は、金属反射防止のために金属箔3の表面に黒化処理により凹凸を形成しているので、図2の(c)に示されるように金属箔3を透明基材1に接着する接着剤4の表面にも凹凸が形成される。
Since the electromagnetic wave shielding base material formed by the above process has irregularities formed by blackening treatment on the surface of the metal foil 3 to prevent metal reflection, the metal foil 3 as shown in FIG. Concavities and convexities are also formed on the surface of the
この凹凸により、光を透過させる、エッチングにより金属箔を剥離した箇所のヘイズ(表面の凹凸による曇り)が高くなり、表示画面の前面に設けた際に、画面の視認性を低下させる不具合を生じる。 The unevenness increases the haze (cloudiness due to the unevenness of the surface) where light is transmitted and where the metal foil is peeled off by etching, and causes a problem of reducing the visibility of the screen when it is provided on the front surface of the display screen. .
そこで、金属パターン層の表面に形成する凹凸の粗さを替えて、金属パターン層での金属反射の状況と、その凹凸により生じるヘイズ値について調べた。図3には金属パターン層表面の粗さと、その粗さの金属パターン層に光を照射した際に十字状のムラが発生したか否かと、その粗さでのヘイズ(表面の凹凸による曇り)値とが示されている。 Therefore, the roughness of the irregularities formed on the surface of the metal pattern layer was changed, and the state of metal reflection on the metal pattern layer and the haze value generated by the irregularities were examined. FIG. 3 shows the roughness of the surface of the metal pattern layer, whether or not cross-shaped unevenness occurred when light was irradiated to the metal pattern layer of the roughness, and haze at the roughness (cloudiness due to surface irregularities). Values are shown.
この結果、図3に示されるように金属パターン層の表面にRa値0.10〜1.00μmの凹凸を形成すると、十字状のムラを抑えることができ、さらに凹凸によるヘイズも問題とならないことが判った。 As a result, as shown in FIG. 3, when unevenness with an Ra value of 0.10 to 1.00 μm is formed on the surface of the metal pattern layer, cross-shaped unevenness can be suppressed, and haze due to unevenness is not a problem. I understood.
なお、上述した表面粗さRaとは、図4に示された粗さ曲線からその中心線の方向に評価長さIm(75mm以上)を抜き取り、この抜き取り部分の中心線をX軸、縦倍率の方向をY軸とし、粗さ曲線をY=f(X)で表した時に、次の式によって求められる値をμmで表したものである。 The above-mentioned surface roughness Ra means that the evaluation length Im (75 mm or more) is extracted in the direction of the center line from the roughness curve shown in FIG. The value obtained by the following equation is expressed in μm when the direction of is Y axis and the roughness curve is expressed by Y = f (X).
上述した表面粗さRa0.10〜1.00μmの範囲で金属パターン層2の表面に凹凸を形成することにより、光の照射により生じる金属パターン線に沿った十字状の反射を防止するとともに、凹凸の形成によって生じるヘイズ等に起因する視認性の低下を防止することができる。
By forming irregularities on the surface of the
次に、上述した電磁波シールド基材を光学フィルタに適用した実施形態について説明する。 Next, an embodiment in which the above-described electromagnetic shielding base material is applied to an optical filter will be described.
図5には、本発明の電磁波シールド基材を光学フィルタに適用した第1の実施形態が示されている。図5に示された第1の実施形態は、透明基材1の片方の面に、粘着剤7によりPET(Polyethylene terephthalate )フィルムが張り付けられたPETフィルム層6が形成され、PETフィルム層6の上面には接着剤4によりパターン化された銅箔が接着された銅パターン層8が形成され、銅パターン層8の上面には粘着剤7によりアンチグレア、または反射防止及びアンチグレアの機能を有する透明フィルムが張り付けられた透明フィルム層9が形成されている。また、透明基材1のもう片方の面には粘着剤4により反射防止、または反射防止及びアンチグレアの機能を有する透明フィルムが張り付けられた透明フィルム層10が形成されている。
FIG. 5 shows a first embodiment in which the electromagnetic wave shielding base material of the present invention is applied to an optical filter. In the first embodiment shown in FIG. 5, a
樹脂からなる透明基材1には近赤外線吸収剤が練り込まれている。PDPはリモートコントロール装置や通信機器等に誤動作を生じさせる近赤外線を放出することが知られている。この近赤外線を吸収する近赤外線吸収剤を透明基材に練り込むことにより、近赤外線の外部への漏洩を防止することができる。また、透明基材の縁周囲には表示画面を引き締めるための黒枠印刷11が施されている。
A near-infrared absorber is kneaded into the
PETフィルム層6上に形成された銅パターン層8は、上述の如く接着剤4との接着面と、その上面とに表面粗さRaが0.10〜1.00μmの凹凸が黒化処理により形成されている。このような凹凸を設けることにより銅パターン層8上への光の照射によりパターン線に沿って生じていた十字状の反射を防止することができる。また、表面粗さの上限値を1.00μmとすることで、凹凸の形成によって生じるヘイズ等に起因する視認性の低下を防止することができる。
As described above, the
なお、銅パターン層8は、線幅5〜30μm、ラインピッチ100〜500μm、ライン角度25度〜45度で形成するとよい。
The
また、銅パターン層8の上面に、粘着剤7により接着された透明フィルム層9は、アンチグレア、またはアンチグレア及び反射防止の機能を有するフィルム層である。アンチグレア機能は表示画面と電磁波シールド基材との間に発生するニュートンリングを防止する機能である。また、反射防止機能は、電磁波シールド基材を表示画面の前面に設けた場合に、表示画面からの光、及び外光の反射を抑えて画面の視認性の低下を防止する機能である。
The
また、透明基材1の反対側の面には、粘着剤7により反射防止機能、またはアンチグレア機能及び反射防止機能を有する透明フィルム層10が形成されている。
A
次に、上述した光学フィルタの製造手順について図6に示された光学フィルタの製造過程を表す図を参照しながら説明する。 Next, the manufacturing procedure of the optical filter described above will be described with reference to the drawing showing the manufacturing process of the optical filter shown in FIG.
銅パターン層8には電解めっきにより形成された電解銅箔12が用いられる。この銅箔12の片方の面、または両面に黒化処理を施して、表面粗さRaが0.10〜1.00μmの凹凸を形成する。なお、凹凸の形成は、黒化処理により形成することも可能であるが、図7に示されたドラム13を用いて形成することも可能である。図7に示されるドラム13は表面に所定の粗さで凹凸が形成され、マイナスに帯電している。このドラムの一部をプラスに帯電した化学研磨剤が入れられた容器に漬けて、ドラム14に巻き付けられた銅箔12をドラム13を介してドラム15に巻き取っていく。この際、銅箔12の一方の面は、ドラム13に設けた凹凸により、また他方の面は、化学研磨剤により研磨されて表面に凹凸が形成される。
For the
上述の如き銅箔12を、PETフィルムに貼り合わせる。接着剤4を塗布されたPETフィルム6に、図6のbに示されるように黒化処理を施された面がPETフィルム6と接触するように銅箔12を貼り合わせる。そして、図6のcに示されるように銅箔12が付けられたPETフィルム6と透明基材1とを、銅箔側が接着面とならないように粘着剤7により貼り合わせる。
The
次に、図6のdに示されるように銅箔12上にレジスト5を塗布して、このレジスト5をパターン化する。そして、図6のeに示されるようにエッチングにより銅箔12をパターン化し、銅パターン層8を形成する。銅箔のパターン化後、銅パターン層8の黒化処理が施されていない面に黒化処理を施して、銅パターン層8の表面に凹凸を付ける。この凹凸も、表面粗さRaが0.10〜1.00となるように形成する。
Next, as shown in FIG. 6d, a resist 5 is applied on the
そして、図6のfに示されるように銅パターン層8の上面と、透明基材1のもう一方の面に透明フィルム層9、10を粘着剤7により張り付ける。なお、銅パターン層8上に形成する透明フィルム層9は、アンチグレア、またはアンチグレア及び反射防止の機能を有するフィルム層であり、透明基材1のもう一方の面に形成する透明フィルム層10は、反射防止機能、またはアンチグレア機能及び反射防止機能を有するフィルム層である。
Then, as shown in FIG. 6 f,
なお、透明基材1に形成される黒枠印刷11は、図5に示されるように透明基材1の、銅パターン層8を設けた面と同一の側の面に印刷するものであってもよいし、図8に示されるように透明基材1の、銅パターン層8を設けた面と反対側の面に印刷するものであってもよい。
Note that the
次に、図9及び図10を参照しながら本発明の電磁波シールド基材を光学フィルタに適用した第2及び第3の実施形態について説明する。なお、図9には第2の実施形態が示され、図10には第3の実施形態が示されている。 Next, second and third embodiments in which the electromagnetic wave shielding base material of the present invention is applied to an optical filter will be described with reference to FIGS. FIG. 9 shows the second embodiment, and FIG. 10 shows the third embodiment.
これらの実施形態は、上述した第1の実施形態とは異なり、透明基材1としてガラスを用いている。透明基材1がガラスである場合、透明基材に近赤外線吸収剤を練り込むことはできない。そこで、図9に示された第2の実施形態では銅パターン層8上に粘着剤7により近赤外線吸収フィルム16を貼り合わせた近赤外線吸収フィルム層16を設けている。また、図10に示された第3の実施形態では、耐性の強い近赤外線吸収フィルムを粘着剤7により透明基材1上に貼り合わせて近赤外線吸収フィルム層16としている。
Unlike the above-described first embodiment, these embodiments use glass as the
また、上述した第1の実施形態では、銅パターン層8上に設ける透明フィルム層9を、アンチグレア機能、または反射防止機能及びアンチグレア機能を有するフィルム層としているが、これらの実施形態では、この透明フィルム層17に反射防止機能のみを持たせている。また、透明基材1上に粘着剤7により張り付けられる透明フィルム層18には、反射防止機能、またはアンチグレア機能及び反射防止機能を持たせるようにしている。
In the above-described first embodiment, the
また、第2及び第3の実施形態においても銅パターン層8の接着剤との接着面及びその上面とに表面粗さRa0.10から1.00で凹凸が形成されている。
Also in the second and third embodiments, unevenness is formed on the adhesive surface of the
なお、第2の実施形態の変形例として、銅パターン層8側の透明基材1に黒枠印刷11を行うのではなく、図11に示されるように銅パターン層8を設けた側とは反対側の透明基材に黒枠印刷11を行うものであってもよい。
As a modification of the second embodiment, instead of performing
また、第3の実施形態の変形例として、第2の実施形態の変形例と同様に、図12に示されるように銅パターン層8を設けた側とは反対側の透明基材1に黒枠印刷11を行ったものであってもよい。
Further, as a modification of the third embodiment, as in the modification of the second embodiment, a black frame is formed on the
次に、作製実施例の製造工程を図13に示されたフローチャートを参照しながら説明する。 Next, the manufacturing process of the manufacturing example will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
まず、PETフィルム付き銅箔から銅箔部を剥離する(ステップS1)。本実施例では、銅箔が蒸着でPETフィルムに付けられた、東洋メタランジング株式会社製、商品名メタロイヤルの銅箔部分をPETフィルムから剥離する(ステップS1)。 First, a copper foil part is peeled from a copper foil with a PET film (step S1). In this example, the copper foil portion of Toyo Metal Landing Co., Ltd., trade name Metaroyal, which is attached to the PET film by vapor deposition, is peeled from the PET film (step S1).
次に、PETフィルムを剥離した銅箔を化学研磨する(ステップS2)。この処理は研磨剤として、三菱瓦斯化学株式会社製、商品名NPE−300を用いた。濃度20%、20℃のNPE−300に銅箔を200sec浸漬する。 Next, the copper foil from which the PET film has been peeled is chemically polished (step S2). In this treatment, trade name NPE-300 manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. was used as an abrasive. The copper foil is immersed in NPE-300 having a concentration of 20% and 20 ° C. for 200 seconds.
次に、化学研磨した銅箔を接着剤を用いてPETフィルムに貼り合わせる(ステップS3)。本実施例では、接着剤として株式会社スリーボンド製、商品名TB1549を用いた。この接着剤をバーコーター#20でPETフィルムに塗布し、銅箔と貼り合わせる。その後、55℃で15分間乾燥させ、乾燥後5Kgローラで圧着する。 Next, the chemically polished copper foil is bonded to a PET film using an adhesive (step S3). In this example, the product name TB1549 manufactured by Three Bond Co., Ltd. was used as the adhesive. This adhesive is applied to a PET film with a bar coater # 20 and bonded to a copper foil. Then, it is dried at 55 ° C. for 15 minutes, and after being dried, it is pressure-bonded with a 5 kg roller.
次に、銅箔とPETフィルムとを貼り合わせた銅箔フィルムを透明基板に貼り合わせる(ステップS4)。銅箔が張り付けられたPETフィルムと透明基板とを粘着剤により貼り合わせる。なお、透明基板には近赤外線吸収剤を添加させておくこともできる。 Next, the copper foil film obtained by bonding the copper foil and the PET film is bonded to the transparent substrate (step S4). The PET film on which the copper foil is pasted and the transparent substrate are bonded together with an adhesive. In addition, a near-infrared absorber can also be added to the transparent substrate.
次に、銅箔上にレジストを塗布する(ステップS5)。本実施例ではレジスト剤として東京応化株式会社製、商品名、TLCR−P8008を用いた。銅箔フィルムが張り付けられた透明基板をスピンナー上に固定し、銅箔上にレジストを塗布し、1500rpmで1分間回転させる。 Next, a resist is applied on the copper foil (step S5). In this example, a trade name, TLCR-P8008, manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd. was used as a resist agent. A transparent substrate on which a copper foil film is attached is fixed on a spinner, a resist is applied on the copper foil, and rotated at 1500 rpm for 1 minute.
次に、塗布したレジストをプレベークする(ステップS6)。この処理は90℃のクリーンオーブンで20分間ベークする。 Next, the applied resist is pre-baked (step S6). This treatment is baked in a clean oven at 90 ° C. for 20 minutes.
次に、レジストをパターン化するためにレジスト上にマスクを付けて露光(ステップS7)、現像(ステップS8)を行う。露光は、120mj/cm2の光量で、現像は濃度0.8%、25℃のKOHに1分間漬浸することにより行う。 Next, in order to pattern the resist, a mask is attached on the resist and exposure (step S7) and development (step S8) are performed. The exposure is performed with a light amount of 120 mj / cm 2 and the development is performed by immersing in KOH at a concentration of 0.8% and 25 ° C. for 1 minute.
次に、露光、現像を終えた基板を水洗いし(ステップS9)、エッチングを行う。本実施例では、エッチング液としてメルテックス株式会社製、商品名メルストリップMN−957を用いた。40℃のエッチング液を基板上に50秒間スプレイする。 Next, the exposed and developed substrate is washed with water (step S9) and etched. In this example, a product name Melstrip MN-957 manufactured by Meltex Co., Ltd. was used as an etching solution. An etching solution at 40 ° C. is sprayed on the substrate for 50 seconds.
次に、銅パターン層上に付けられたレジストを剥離する(ステップS11)。この処理は、30℃の3%濃度のKOHに2分間漬浸する。 Next, the resist attached on the copper pattern layer is peeled off (step S11). This treatment is immersed in 3% strength KOH at 30 ° C. for 2 minutes.
そして、レジストを剥離した電磁波シールド基板を水洗(ステップS12)、乾燥させ(ステップS13)、基板の両面に反射防止フィルムをラミネートする(ステップS14)。本実施例では反射防止剤として、日本油脂株式会社製、商品名リアルック2201を用い、この反射防止剤を5Kg/cm2でラミネートする。 Then, the electromagnetic wave shield substrate from which the resist has been peeled is washed with water (step S12) and dried (step S13), and an antireflection film is laminated on both surfaces of the substrate (step S14). In this embodiment, as a reflection preventing agent, product name Realak 2201 manufactured by Nippon Oil & Fats Co., Ltd. is used, and this reflection preventing agent is laminated at 5 kg / cm 2 .
以上の工程により、図5に示された構成の光学フィルタを生成することができる。 Through the above steps, the optical filter having the configuration shown in FIG. 5 can be generated.
なお、上述した実施形態は本発明の好適な実施の形態である。但し、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。 The above-described embodiment is a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
1 透明基材
2 金属パターン層
3 金属箔
4 接着剤
5 レジスト
6 PETフィルム層
7 粘着剤
8 銅パターン層
9、10、17、18 透明フィルム層
12 銅箔
13、14、15 ドラム
16 近赤外線吸収フィルム層
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