JP4197698B2 - Common mode filter - Google Patents
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Description
本発明は、コモンモードフィルタに関するものである。 The present invention relates to a common mode filter.
従来コモンモードフィルタとして、積層型コモンモードフィルタ及び巻線型コモンモードフィルタが知られている。積層型コモンモードフィルタとして、複数の絶縁体が積層された積層体と、積層体に形成された第1〜第4の端子電極と、互いに電気的に接続される第1及び第2の導体を含む第1のコイルと、積層体内に配されると共に、互いに電気的に接続される第3及び第4の導体を含む第2のコイルと、を備えるものが知られている(例えば、特許文献1を参照)。 Conventional common mode filters include a stacked common mode filter and a wound common mode filter. As a laminated common mode filter, a laminated body in which a plurality of insulators are laminated, first to fourth terminal electrodes formed in the laminated body, and first and second conductors electrically connected to each other There are known ones including a first coil including a second coil including a third conductor and a fourth conductor which are arranged in the laminated body and are electrically connected to each other (for example, Patent Literature 1). 1).
特許文献1に記載されたような積層型コモンモードフィルタでは、入力端子電極と出力端子電極との距離が近いため、入出力端子電極間に形成される静電容量が大きくなってしまう。また、第1〜第4の導体は、薄い絶縁体層を介して積層されているため、同一のコイルを形成する導体間、すなわち第1及び第2の導体間、並びに第3及び第4の導体間においても大きな静電容量が形成されてしまう。このように、特許文献1に開示されたような積層型コモンモードフィルタでは、コモンモードのノイズ除去に影響を与える静電容量の値が大きくなってしまう。そのため、低い周波数で共振が起こり、高周波のコモンモードノイズを十分に除去できず、高周波特性が低下してしまう。
In the laminated common mode filter as described in
一方、巻線型コモンモードフィルタとして、ドラム型コアに複数の導線を螺旋状に巻回することによって、複数のコイルを形成したものが知られている(例えば、特許文献2を参照)。この場合、巻回された各導線がそれぞれ1つのコイルを形成する。この種の巻線型コモンモードフィルタでは、入力端子電極と出力端子電極とがドラムコアの両端にある鍔部に形成されている。そのため、入力端子電極と出力端子電極との間で十分な距離をとることができ、入出力端子電極間に形成される静電容量を積層型コモンモードフィルタに比べ小さくすることができる。さらに、螺旋状に巻回された1本の導線の巻回部間の間隔、すなわち同一のコイルを形成する導体間の間隔を積層型に比べ大きくすることができるため、同一のコイルを形成する導線間において形成される静電容量についても小さくすることができる。
特許文献2に開示されたような巻線型コモンモードフィルタに高周波の信号を通すと、導線のうちコイルを形成しない部分、つまり螺旋状に巻回されていない部分もインダクタとして機能し始め、導線のインダクタンス値が大きくなってしまう。これにより、信号に対するインピーダンスは高い値を示すようになってしまう。さらに、特許文献2に開示されたような巻線型コモンモードフィルタでは、異なるコイルを形成する異なる導線間で、高周波信号により大きな静電容量を形成してしまう。この静電容量によって、信号は減衰してしまう。信号への影響を抑えるため、導線のインダクタンス値を抑制するとともに、異なる導線間に形成される静電容量の値を小さくすることが望まれている。
When a high frequency signal is passed through a wire wound common mode filter as disclosed in
導線のインダクタンス値は、異なるコイルを形成する異なる導線同士を互いに磁気結合させ、これらの導線で発生する磁束を相殺させることによって抑制することが可能となる。異なる導線同士を互いに磁気結合させるためには、これらの導線同士を近づけて巻回することが必要となる。一方、異なる導線間に形成される静電容量値は、異なる導線間の間隔が大きくなるように複数の導線をコアに巻回することによって抑制することが可能となる。このように、インダクタンス値を小さくするための手段と、静電容量値を小さくするための手段とは相反してしまう。 The inductance value of the conducting wire can be suppressed by magnetically coupling different conducting wires that form different coils to cancel the magnetic flux generated by these conducting wires. In order to magnetically couple different conducting wires to each other, it is necessary to wind these conducting wires close to each other. On the other hand, the capacitance value formed between the different conductors can be suppressed by winding a plurality of conductors around the core so that the interval between the different conductors is increased. Thus, the means for reducing the inductance value and the means for reducing the capacitance value are contradictory.
さらに、インダクタンス値及び静電容量値を小さくするのに、一方のみを極端に小さくしてしまうと、インピーダンスマッチングをとることができなくなってしまい、その結果、信号の反射という問題が発生してしまう。したがって、巻線型コモンモードフィルタでは、インダクタンス値及び静電容量値をバランス良く小さくすることが要求される。そのためには、異なる導線間の間隔を小さすぎることなく、且つ大きすぎることのない適当な値にしなければならない。 Furthermore, if only one of the inductance value and the capacitance value is made extremely small, impedance matching cannot be performed, resulting in a problem of signal reflection. . Therefore, the wound common mode filter is required to reduce the inductance value and the capacitance value in a well-balanced manner. For this purpose, the distance between the different conductors must be set to a suitable value without being too small and not too large.
また、異なる導線間の間隔がばらつくと、インダクタンス値を小さくするための手段と静電容量値を小さくするための手段とが相反するため、簡単にインダクタンス値と静電容量値との間のバランスが崩れてしまう。したがって、異なる導線間の間隔を適当な値にすることとともに、間隔のばらつきを抑制することも要求される。 Also, if the spacing between different conductors varies, the means for reducing the inductance value and the means for reducing the capacitance value conflict, so that the balance between the inductance value and the capacitance value can be easily achieved. Will collapse. Therefore, it is required to set the interval between different conductors to an appropriate value and to suppress variation in the interval.
こうした要求に対し、特許文献2に記載されたような巻線型コモンモードフィルタは、導線をコアに巻いて形成されている。導線を一定の間隔でコアに巻回することは非常に困難である。したがって、特許文献2に記載されたような巻線型コモンモードフィルタでは、高周波の信号を安定して通すことは困難である。
In response to such a demand, the wound common mode filter described in
本発明は、上記問題点を解消するためになされたものであり、高周波特性を向上させることが可能なコモンモードフィルタを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a common mode filter capable of improving high frequency characteristics.
このような目的を達成するために、本発明によるコモンモードフィルタは、磁性体を主成分とし、第1〜第6の側面を有する略直方体状のコア部材と、コア部材の第1の側面上に少なくともその一部がそれぞれ形成された第1及び第2の端子電極と、第1の側面と対向するコア部材の第2の側面上に少なくともその一部がそれぞれ形成された第3及び第4の端子電極と、コア部材の第3〜第6の側面上に形成されており、一端が第1の端子電極と電気的に接続されるとともに、他端が第3の端子電極と電気的に接続される第1のコイル導体と、コア部材の第3〜第6の側面上に形成されており、一端が第2の端子電極と電気的に接続されるとともに、他端が第4の端子電極と電気的に接続される第2のコイル導体と、を備え、第1及び第2のコイル導体は、コア部材を螺旋状に巻回するようにコア部材の第3〜第6の側面上に形成されていることを特徴とする。 In order to achieve such an object, a common mode filter according to the present invention includes a substantially rectangular parallelepiped core member mainly composed of a magnetic material and having first to sixth side surfaces, and a first side surface of the core member. And the third and fourth terminal electrodes formed at least partially on the second side surface of the core member opposite to the first side surface, respectively. And one end electrically connected to the first terminal electrode and the other end electrically connected to the third terminal electrode. The first coil conductor to be connected and the third to sixth side surfaces of the core member are formed, one end is electrically connected to the second terminal electrode, and the other end is the fourth terminal. A second coil conductor electrically connected to the electrode, and the first and second Yl conductor is characterized in that it is formed on the third to the sixth aspect of the core member so as to wind the core member in a spiral.
上記のコモンモードフィルタにおける第1及び第2のコイル導体は、コア部材の第3〜第6の側面上に螺旋状に形成されている。これにより、第1及び第2のコイル導体間の間隔がばらつくことが抑制される。したがって、上記のコモンモードフィルタでは、インピーダンスマッチングをとりつつ、インダクタンス値及び静電容量値を小さくすることができ、高周波の信号を安定して通すことが可能となる。 The first and second coil conductors in the common mode filter are formed in a spiral shape on the third to sixth side surfaces of the core member. Thereby, it is suppressed that the space | interval between the 1st and 2nd coil conductors varies. Therefore, in the above-mentioned common mode filter, the impedance value and the capacitance value can be reduced while impedance matching is performed, and a high-frequency signal can be passed stably.
第1のコイル導体及び第2のコイル導体は、導電性材料のめっきにより形成されていることが好ましい。この場合、第1及び第2のコイル導体は第3〜第6の側面上に強固に密着して形成されるため、第1及び第2のコイル導体間の間隔がばらつくことが良好に抑制される。 The first coil conductor and the second coil conductor are preferably formed by plating a conductive material. In this case, since the first and second coil conductors are firmly formed on the third to sixth side surfaces, variation in the distance between the first and second coil conductors is well suppressed. The
コア部材の第3〜第6の側面において、第3の側面と前記第4の側面とが互いに対向しており、少なくとも、第1のコイル導体の第3の側面上に形成された部分及び第4の側面上に形成された部分のパターンと、第2のコイル導体の第3の側面上に形成された部分のパターン及び第4の側面上に形成された部分のパターンとが、フォトリソグラフィ法によりパターニングされていることが好ましい。フォトリソグラフィ法によれば精密にパターニングすることができるため、導体間の間隔を所望の値にでき、且つばらつきを良好に抑制することができる。また、対向する2側面のみにフォトリソグラフィ法を適用することにより、複数のコモンモードフィルタの導体部を1つの基板に一括してパターニングすることが可能となる。そのため、製造が容易となる。 In the third to sixth side surfaces of the core member, the third side surface and the fourth side surface are opposed to each other, and at least a portion formed on the third side surface of the first coil conductor and the first side surface The pattern of the part formed on the side surface of 4, the pattern of the part formed on the third side surface of the second coil conductor and the pattern of the part formed on the fourth side surface are photolithography methods. It is preferable that it is patterned by. According to the photolithography method, patterning can be performed precisely, so that the interval between conductors can be set to a desired value and variation can be suppressed satisfactorily. Further, by applying the photolithography method only to the two opposite side surfaces, the conductor portions of the plurality of common mode filters can be collectively patterned on one substrate. Therefore, manufacture becomes easy.
コア部材の第3〜第6の側面のうちの何れかの側面と対向するように配置された絶縁体部材をさらに備え、第1及び第2の端子電極はそれぞれ、第1の側面上に形成された部分と連続するとともに、絶縁体部材のコア部材と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部を有し、第3及び第4の端子電極はそれぞれ、第2の側面上に形成された部分と連続するとともに、絶縁体部材のコア部材と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部を有することが好ましい。端子電極が形成された側面を有する絶縁体部材を備えることにより、実装時の短絡の発生を抑制することが可能となる。 And further including an insulator member disposed to face any one of the third to sixth side surfaces of the core member, wherein the first and second terminal electrodes are respectively formed on the first side surface. The third and fourth terminal electrodes are provided on the second side surface. The third and fourth terminal electrodes are respectively connected to the second side surface. It is preferable to have a wraparound portion that wraps around a side surface that is continuous with the portion formed on the side of the insulator member and is located on the side opposite to the side surface facing the core member of the insulator member. By providing the insulator member having the side surface on which the terminal electrode is formed, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit during mounting.
コア部材の第3〜第6の側面のうちの何れかの側面と対向するように配置された磁性体部材をさらに備えていることが好ましい。磁性体部材をさらに備えることによって閉磁路構造となり、ノイズに対するインピーダンスを高くすることが可能となる。 It is preferable to further include a magnetic member arranged to face any one of the third to sixth side surfaces of the core member. By further providing a magnetic member, a closed magnetic circuit structure is obtained, and the impedance against noise can be increased.
本発明によれば、高周波特性を向上させることが可能なコモンモードフィルタを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the common mode filter which can improve a high frequency characteristic can be provided.
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.
まず、図1及び図2を参照して、本実施形態に係るコモンモードフィルタCFの構成を説明する。図1は、本実施形態に係るコモンモードフィルタを示す斜視図である。図2は、本実施形態に係るコモンモードフィルタを分解して示した構成図である。なお、図2では、端子電極3〜6の図示を省略している。 First, the configuration of the common mode filter CF according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a perspective view showing a common mode filter according to the present embodiment. FIG. 2 is an exploded configuration diagram of the common mode filter according to the present embodiment. In addition, illustration of the terminal electrodes 3-6 is abbreviate | omitted in FIG.
コモンモードフィルタCFは、図1に示されるように、フェライト基板であるコア部材1と、絶縁体部材21と、磁性体部材23と、第1〜第4の端子電極3〜6と、第1及び第2のコイル導体11、13とを備えている。なお、図1においては、第1及び第2の端子電極3、4の一部、並びに第3及び第4の端子電極5、6について、それぞれ点線で図示している。
As shown in FIG. 1, the common mode filter CF includes a
コア部材1は、直方体状であり、第1〜第6の側面1a〜1fを有している。第1及び第2の側面1a、1bは互いに対向している。第3及び第4の側面1c、1dは互いに対向している。第5及び第6の側面1e、1fは互いに対向している。第1及び第2の側面1a、1bと隣り合う4つの側面のうち長手方向に伸びる2つの側面が、第3及び第4の側面1c、1dである。第1及び第2の側面1a、1bと隣り合う4つの側面のうち短手方向に伸びる2つの側面が、第5及び第6の側面1e、1fである。コア部材1は、フェライト等の磁性体からなる。
The
絶縁体部材21は、コア部材1の第4の側面1dと対向するように配置されている。絶縁体部材21は、コア部材1の第4の側面1dを覆うように板状に形成されている。絶縁体部材21として、例えばフェライト基板を用いることができる。絶縁体部材21とコア部材1とは、間に挿入された接着層31により接着されている。本実施形態に係るコモンモードフィルタCFでは、絶縁体部材21を基板等の実装面と対向するようにして実装することが好ましい。
The
磁性体部材23は、コア部材1の第3の側面1cと対向するように配置されている。磁性体部材23は、コア部材1の第4の側面1dを覆うように板状に形成されている。磁性体部材23は、フェライト等の磁性体からなる。磁性体部材23とコア部材1とは、間に挿入された接着層33により接着されている。接着層31、33は、例えば樹脂によって形成される。
The
第1及び第2の端子電極3、4はそれぞれその一部が、第3の側面1cと第4の側面1dとが対向する方向で覆うようにコア部材1の第1の側面1a上に形成されている。第1及び第2の端子電極3、4はさらに、図1に示すように、それぞれ、コモンモードフィルタCFの底面、すなわち絶縁体部材21のコア部材1と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部3A、4Aを有する。
A part of each of the first and second
第3及び第4の端子電極5、6はそれぞれその一部が、第3の側面1cと第4の側面1dとが対向する方向で覆うようにコア部材1の第2の側面1b上に形成されている。第3及び第4の端子電極5、6はさらに、図1に示すように、それぞれ、コモンモードフィルタCFの底面、すなわち絶縁体部材21のコア部材1と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部5A、6Aを有する。
A part of each of the third and fourth
第1及び第2のコイル導体11、13は、図2に示すように、コア部材1に巻き付けられるようにして形成されている。すなわち、第1及び第2のコイル導体11、13は、コア部材1の第1及び第2の側面1a、1bが対向する方向を中心として、それぞれコア部材1を螺旋状に複数回(本実施形態では、各3回)巻回して形成されている。第1及び第2のコイル導体11、13は、互いに隣り合う第1のコイル導体11と第2のコイル導体13との間の間隔dが略一定となるようにして形成されている。
The first and
第1のコイル導体11の一端部11aは、コア部材1の第1の側面1aまで引き出されるように伸びて当該側面1aに露出しており、第1の端子電極3と電気的に接続される。第1のコイル導体11の他端部11bは、コア部材1の第2の側面1bまで引き出されるように伸びて当該側面1bに露出しており、第3の端子電極5と電気的に接続される。第1のコイル導体11の一端部及び他端部11a、11bはそれぞれ、引き出し導体として機能する。
One
第2のコイル導体13の一端部13aは、コア部材1の第1の側面1aまで引き出されるように伸びて当該側面1aに露出しており、第2の端子電極4と電気的に接続される。第2のコイル導体13の他端部13bは、コア部材1の第2の側面1bまで引き出されるように伸びて当該側面1bに露出しており、第4の端子電極6と電気的に接続される。第2のコイル導体13の一端部及び他端部13a、13bはそれぞれ、引き出し導体として機能する。
One
第1及び第2のコイル導体11、13は、コア部材1の第3〜第6の側面1c〜1f上に成長させて形成されている。より具体的には、第1及び第2のコイル導体11、13は、コア部材1の第3〜第6の側面1c〜1f上に導電性材料のめっきにより形成されている。
The first and
本実施形態に係るコモンモードフィルタCFでは、第1のコイル導体11の部分であってコア部材1の第3の側面1c上に形成された第1導体部11c及び第1のコイル導体11の両端部11a、11bのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。第1のコイル導体11の部分であってコア部材1の第4の側面1d上に形成された第2導体部11dのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。
In the common mode filter CF according to the present embodiment, both ends of the first coil conductor 11 and the
第2のコイル導体13の部分であってコア部材1の第3の側面1c上に形成された第1導体部13c及び第2のコイル導体13の両端部13a、13bのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。第2のコイル導体13の部分であってコア部材1の第4の側面1d上に形成された第2導体部13dのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。
The pattern of the
第1のコイル導体11の部分であってコア部材1の第5の側面1e上に形成された第3導体部11e、及び第1のコイル導体11の部分であってコア部材1の第6の側面1f上に形成された第4導体部11fはいずれも、スパッタリング法等によりめっきとして形成されている。第2のコイル導体13の部分であってコア部材1の第5の側面1e上に形成された第3導体部13e、及び第2のコイル導体13の部分であってコア部材1の第6の側面1f上に形成された第4導体部13fはいずれも、スパッタリング法等によりめっきとして形成されている。
A third conductor portion 11e formed on the
次に、図3〜図5を参照して、本実施形態に係るコモンモードフィルタCFの製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the common mode filter CF according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
図3(a)は、円形板状のフェライト基板40の両主面上に導電性材料による薄膜を形成する工程を示す工程断面図である。図3(a)に示すように、板状のフェライト基板40の両主面上に導電性材料による薄膜(めっき)41、42を成長させて形成する。薄膜41、42は、例えばめっき法(例えば電気めっき、スパッタ、蒸着等を含む)により形成される。
FIG. 3A is a process cross-sectional view illustrating a process of forming a thin film of a conductive material on both main surfaces of the circular plate-shaped
次に、図3(b)を参照して、フェライト基板40の両主面上に第1及び第2のコイル導体11、13を形成する工程を説明する。図3(b)は、フェライト基板40の両主面上に第1及び第2のコイル導体11、13を形成する工程を示す工程断面図である。
Next, a process of forming the first and
フェライト基板40の両主面上に形成された薄膜41、42に対し、フォトリソグラフィ法によりパターニングを施す。フォトリソグラフィ法によるパターニングは、感光性のレジストを薄膜上に塗布し、マスクをかけて露光現像し、レジストをマスクのパターンに応じた形状にした後、不要な薄膜部分をエッチングし、レジストを剥離することによってなされる。
The
こうしてパターニングされることによって、フェライト基板40の一方の主面上に、第1のコイル導体11の第1導体部11c、第2のコイル導体13の第1導体部13c、第1のコイル導体11の両端部11a、11b、及び第2のコイル導体13の両端部13a、13bのパターンが、複数個(本実施形態では、16個)のコモンモードフィルタCFに対応した複数パターン形成される。パターニングにおいて、同一のコモンモードフィルタCFに含まれ且つ互いに隣り合う第1のコイル導体11の第1導体部11cと第2のコイル導体13の第1導体部13cとは間隔dを有して形成される。また、第1のコイル導体11の第1導体部11c及び第2のコイル導体13の第1導体部13cはいずれも、幅を有する直線状に形成される。
By patterning in this way, the
一方、パターニングされることによって、フェライト基板40の他方の主面上には、第1のコイル導体11の第2導体部11d及び第2のコイル導体13の第2導体部13dのパターンが、複数個(本実施形態では、16個)のコモンモードフィルタCFに対応した複数パターン形成される。パターニングにおいて、同一のコモンモードフィルタCFに含まれ且つ互いに隣り合う第1のコイル導体11の第2導体部11dと第2のコイル導体13の第2導体部13dとは間隔dを有して形成される。また、第1のコイル導体11の第2導体部11d及び第2のコイル導体13の第2導体部13dはいずれも、幅を有する直線状に形成される。
On the other hand, by patterning, a plurality of patterns of the
こうして、図3(b)に示すように、1枚のフェライト基板40の両主面上に複数のコモンモードフィルタCFの第1及び第2のコイル導体11、13それぞれの第1及び第2導体部11c、13c、11d、13d並びに端部11a、11b、13a、13b(図示なし)が形成される。図4は、一方の主面上に複数のコモンモードフィルタCFの第1のコイル導体11の第1導体部11c及び両端部11a、11b、並びに第2のコイル導体13の第1導体部13c及び両端部13a、13bが形成されたフェライト基板40の上面図である。なお、図4の一点鎖線Dは、後述の切断予定位置である。
Thus, as shown in FIG. 3B, the first and second conductors of the first and
次に、図5(a)を参照して、フェライト基板40に絶縁体基板43を接着する工程を説明する。図5(a)は、フェライト基板40に絶縁体基板43を接着する工程を示す工程断面図である。
Next, with reference to FIG. 5A, a process of bonding the
図5(a)に示すように、接着剤45を介して、板状の絶縁体基板43を第2導体部11d、13dが形成されたフェライト基板40の主面側に接着する。これにより、第2導体部11d、13dが形成されたフェライト基板40の主面と絶縁体基板43とは、互いに対向するように配置される。
As shown in FIG. 5A, a plate-
次に、図5(b)を参照して、フェライト基板40に磁性体基板47を接着する工程を説明する。図5(b)は、フェライト基板40に磁性体基板47を接着する工程を示す工程断面図である。
Next, with reference to FIG. 5B, a process of bonding the
図5(b)に示すように、接着剤49を介して、板状の磁性体基板47を第1導体部11c、13cが形成されたフェライト基板40の面側に接着する。これにより、第1導体部11c、13cが形成されたフェライト基板40の主面と磁性体基板47とは、互いに対向するように配置される。磁性体基板47として、例えばフェライト基板を用いることができる。
As shown in FIG. 5B, a plate-like
その後、図5(b)に示すように、絶縁体基板43及び磁性体基板47が接着されたフェライト基板40を切断予定位置D(図4参照)で切断して、1つのコモンモードフィルタCFに対応するフィルタ要素50を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 5B, the
切断によって得られたフィルタ要素50の側面、すなわち絶縁体部材21又は磁性体部材23が接着されている側面以外の4つの側面のうち、第1及び第2のコイル導体11、13それぞれの第1及び第2導体部11c、11d、13c、13dが引き出され且つ互いに対向する2つの側面に、第1及び第2のコイル導体11、13の第3及び第4導体部11e、11f、13e、13fが形成される。
Of the four side surfaces other than the side surface of the
導体部11e、11f、13e、13fは、これらの導体部のパターンを有するマスクをフィルタ要素50の側面上に取り付けて、スパッタリング法により導電性材料を成長させることにより形成される。
The
これにより、第1のコイル導体11の第3及び第4導体部11e、11fはそれぞれの両端部において、第1のコイル導体11の第1導体部11cと第2導体部11dとに電気的に接続される。第2のコイル導体13の第3及び第4導体部13e、13fはそれぞれの両端部において、第2のコイル導体13の第1導体部13cと第2導体部13dとに電気的に接続される。その結果、第1及び第2のコイル導体11、13は、コア部材1を巻回するように、コア部材1の第3〜第6の側面1c〜1f上に螺旋状に形成されることとなる。
As a result, the third and
一方、切断によって得られたフィルタ要素50の側面、すなわち絶縁体部材21又は磁性体部材23が接着されている側面以外の4つの側面のうち、第1及び第2のコイル導体11、13それぞれの端部11a、13aが引き出される側面に、第1及び第2の端子電極3、4が形成される。また、切断によって得られたフィルタ要素50の側面、すなわち絶縁体部材21又は磁性体部材23が接着されている側面以外の4つの側面のうち、第1及び第2のコイル導体11、13それぞれの端部11b、13bが引き出される側面に、第3及び第4の端子電極5、6が形成される。
On the other hand, among the four side surfaces other than the side surface of the
第1〜第4の端子電極3〜6は、例えば導電性材料によるめっき層(例えばCr層及びCu層)をマスクスパッタで順次形成した後、バレルめっきにより電気めっき層(例えばCu、Ni、Snの順に形成)を形成することにより得られる。なお、端子電極3〜6を形成する金属材料としては、AgやCu等であっても良い。
The first to fourth
コモンモードフィルタCFでは、端子電極3〜6が板状コア部材1の両端に形成されている。そのため、入力端子電極と出力端子電極との間で十分な距離をとることができ、入出力端子電極間に形成される静電容量を十分に小さくすることができる。また、螺旋状に形成された第1のコイル導体11同士の間隔、及び第2のコイル導体13同士の間隔を、同一のコイル導体間で形成される静電容量の値が十分小さくなる程度に大きくすることが可能である。したがって、コモンモードフィルタCFでは、高周波のコモンモードノイズを十分に除去することができる。
In the common mode filter CF,
コモンモードフィルタCFでは、螺旋状に形成された第1及び第2のコイル導体11、13は、コア部材1の第3〜第6の側面1c〜1f上に成長させて形成されている。そのため、第1及び第2のコイル導体11、13はコア部材1の第3〜第6の側面1c〜1f上に強固に密着して形成されており、第1及び第2のコイル導体11、13間の間隔がばらつくことが抑制されている。したがって、コモンモードフィルタCFでは、インダクタンス値及び静電容量値を小さくしつつも、インピーダンスマッチングを考慮してインダクタンス値と静電容量値との間のバランスをとり且つその状態を維持することが可能となる。その結果、コモンモードフィルタCFでは、高周波の信号に対する影響を少なくでき、高周波の信号を安定して通すことが可能となり、高周波特性が向上される。
In the common mode filter CF, the first and
コモンモードフィルタCFのコア部材1は、第1〜第6の側面1a〜1fを有し直方体形状を呈する。したがって、例えば上述した製造方法のように、複数のコモンモードフィルタの第1及び第2のコイル導体11、13の第1及び第2導体部11c、13c、11d、13dのパターンをフォトリソグラフィ法により一度にパターニングすることができる。これに対し、例えば鍔部を有するドラムコア部材をコア部材として用いる場合には、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングするとしても、上述のコモンモードフィルタCFの製造方法のように一度に複数のコモンモードフィルタのパターニングを行うことは困難である。したがって、コモンモードフィルタCFでは、その製造が容易となる。
The
コモンモードフィルタCFの第1及び第2のコイル導体11、13は、導電性材料のめっきにより形成されている。したがって、第1及び第2のコイル導体11、13は第3〜第6の側面上1c〜1fに強固に密着して形成されるため、第1及び第2のコイル導体11、13間の間隔がばらつくことが良好に抑制される。
The first and
コモンモードフィルタCFの第1及び第2のコイル導体11、13の第1及び第2導体部11c、11d、13c、13dのパターンはフォトリソグラフィ法によってパターニングされている。フォトリソグラフィ法によれば精密にパターニングすることができるため、導体間の間隔を所望の値にするとともに、ばらつきを良好に抑制することが可能となる。
The patterns of the first and
コモンモードフィルタCFの第1及び第2のコイル導体11、13の第3及び第4導体部11e、11f、13e、13fはめっき法であるマスクを用いたスパッタリング法によって形成されている。第1及び第2のコイル導体11、13のすべてのパターンをフォトリソグラフィ法によってパターニングせず、第1及び第2のコイル導体11、13の一部をマスクを用いたスパッタリング法によって形成することにより、さらに製造を容易にすることが可能となる。
The third and
コモンモードフィルタCFは絶縁体部材21を備え、コア部材1の第4の側面1dを覆っている。コア部材1の第4の側面1dのうち、第1の端子電極3の回り込み部3A、第2の端子電極4の回り込み部4A、第3の端子電極5の回り込み部5A、及び第4の端子電極6の回り込み部6Aに対応する領域は、絶縁体部材21によって覆われている。そのため、コモンモードフィルタCFの側面のうち絶縁体部材21を基板等の実装面に対向するように実装した場合、短絡の発生を抑制することが可能となる。
The common mode filter CF includes an
コモンモードフィルタCFは、コア部材1の第3の側面1cと対向するように配置された磁性体部材23を備えている。磁性体部材23をさらに備えることによって閉磁路構造となり、ノイズに対するインピーダンスを高くすることが可能となる。
The common mode filter CF includes a
以上、本発明の好適な実施形態及び変形例について説明してきたが、本発明は必ずしもこれらの実施形態及び変形例に限定されるものではない。例えば、コア部材1の表面が、樹脂等によって覆われていてもよい。また、絶縁体部材21及び磁性体部材23の双方あるいは一方を備えてなくてもよい。また、コア部材1は、例えば頂角が丸みを帯びた略直方体状であってもよい。
The preferred embodiments and modifications of the present invention have been described above, but the present invention is not necessarily limited to these embodiments and modifications. For example, the surface of the
また、絶縁体部材21はコア部材1の第4の側面1dの全面を覆わず、コア部材1の第4の側面1dのうち、第1の端子電極3の回り込み部3A及び第2の端子電極4の回り込み部4Aに対応する領域、並びに、第3の端子電極5の回り込み部5A及び第4の端子電極6の回り込み部6Aに対応する領域を覆っていればよい。
Further, the
また、接着層31を備えず、印刷技術により絶縁体部材21を形成してもよい。接着層33を備えず、例えば樹脂にフェライト粉を混合して形成した磁性体部材23を備えてもよい。
Further, the insulating
コモンモードフィルタCFの製造方法は上記したような製造方法に限られない。例えば、第1及び第2のコイル導体11、13の導体部11c、11d、13c、13dのパターンが、フォトリソグラフィ法によってパターニングされていなくてもよく、例えば第1及び第2のコイル導体11、13の双方のすべてがマスクを用いたスパッタリング法によって形成されていてもよい。あるいは、第1及び第2のコイル導体11、13の双方のすべてのパターンが、フォトリソグラフィ法によってパターニングされていてもよい。あるいは、第1及び第2のコイル導体11、13はめっき法に限らず、例えば導電性ペーストを塗布して焼き付けして形成してもよい。また、第1及び第2のコイル導体11、13を形成するめっき法は、スパッタリング法に限らず、例えば蒸着法等でもよい。
The manufacturing method of the common mode filter CF is not limited to the manufacturing method as described above. For example, the patterns of the
CF…コモンモードフィルタ、1…コア部材、1a〜1f…第1〜第6の側面、3…第1の端子電極、4…第2の端子電極、5…第3の端子電極、6…第4の端子電極、11…第1のコイル導体、13…第2のコイル導体、21…絶縁体部材、23…磁性体部材、31、33…接着層、40…フェライト基板、41、42…薄膜、43…絶縁体基板、47…磁性体基板、45、49…接着剤、50…フィルタ要素 CF: Common mode filter, 1 ... Core member, 1a to 1f ... First to sixth side surfaces, 3 ... First terminal electrode, 4 ... Second terminal electrode, 5 ... Third terminal electrode, 6 ... First 4 terminal electrodes, 11 ... first coil conductor, 13 ... second coil conductor, 21 ... insulator member, 23 ... magnetic member, 31, 33 ... adhesive layer, 40 ... ferrite substrate, 41, 42 ... thin film , 43 ... Insulator substrate, 47 ... Magnetic substrate, 45, 49 ... Adhesive, 50 ... Filter element
Claims (6)
前記板状フェライト基板の対向する第1及び第2の主面上に導電性材料による薄膜を形成する工程と、 Forming a thin film of a conductive material on the first and second main surfaces facing each other of the plate-like ferrite substrate;
前記フェライト基板の前記第1の主面上に形成された前記薄膜に対し、フォトリソグラフィ法により所定の間隔を有する直線状の第1導体部を複数含む第1のパターンを複数パターニングするとともに、前記フェライト基板の前記第2の主面上に形成された前記薄膜に対し、フォトリソグラフィ法により所定の間隔を有する直線状の第2導体部を複数含む第2のパターンを前記複数の第1のパターンに対応させて複数パターニングする工程と、 The thin film formed on the first main surface of the ferrite substrate is patterned by a plurality of first patterns including a plurality of linear first conductor portions having a predetermined interval by a photolithography method, and For the thin film formed on the second main surface of the ferrite substrate, a second pattern including a plurality of linear second conductor portions having a predetermined interval by a photolithography method is used as the plurality of first patterns. A plurality of patterning processes corresponding to
対応する前記第1及び第2のパターンを1つずつ含むように前記フェライト基板を切断して、複数のフィルタ要素を得る工程と、 Cutting the ferrite substrate to include the corresponding first and second patterns one by one to obtain a plurality of filter elements;
前記各フィルタ要素の前記第1の主面上に形成されている前記第1導体部と前記第2の主面上に形成されている前記第2導体部とを接続する第3導体部を、当該フィルタ要素の前記両主面を連結する側面に形成し、且つ前記フィルタ要素の前記第1の主面上に形成されている前記第1導体部と前記第2の主面上に形成されている前記第2導体部とを接続する第4導体部を、当該フィルタ要素の前記第3導体部が形成された前記側面と対向する側面に形成することで、互いに隣り合う螺旋状の第1及び第2のコイル導体を当該フィルタ要素に形成する工程と、 A third conductor portion connecting the first conductor portion formed on the first main surface of each filter element and the second conductor portion formed on the second main surface; Formed on the side surface connecting the two main surfaces of the filter element, and formed on the first conductor portion and the second main surface formed on the first main surface of the filter element. Forming a fourth conductor portion for connecting the second conductor portion to the side surface opposite to the side surface on which the third conductor portion of the filter element is formed, so that the spiral first and second adjacent to each other are formed. Forming a second coil conductor on the filter element;
前記第1のコイル導体の一端に接続される第1の端子電極と前記第1のコイル導体の他端に接続される第3の端子電極とを前記各フィルタ要素の異なる側面上に形成し、且つ前記第2のコイル導体の一端に接続される第2の端子電極と前記第2のコイル導体の他端に接続される第4の端子電極とを前記各フィルタ要素の異なる側面上に形成する工程と、を備えるコモンモードフィルタの製造方法。 Forming a first terminal electrode connected to one end of the first coil conductor and a third terminal electrode connected to the other end of the first coil conductor on different side surfaces of the filter elements; A second terminal electrode connected to one end of the second coil conductor and a fourth terminal electrode connected to the other end of the second coil conductor are formed on different side surfaces of the filter elements. A method of manufacturing a common mode filter.
対応する前記第1及び第2のパターンを1つずつ含むように前記フェライト基板を切断する際に、前記絶縁体基板を共に切断して絶縁体部材つきフィルタ要素を複数得ることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項記載のコモンモードフィルタの製造方法。 When the ferrite substrate is cut so as to include the corresponding first and second patterns one by one, the insulator substrate is cut together to obtain a plurality of filter elements with insulator members. Item 5. A method for manufacturing a common mode filter according to any one of Items 1 to 4.
対応する前記第1及び第2のパターンを1つずつ含むように前記フェライト基板を切断する際に、前記磁性体基板を共に切断して磁性体部材つきフィルタ要素を複数得ることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項記載のコモンモードフィルタの製造方法。 When the ferrite substrate is cut so as to include the corresponding first and second patterns one by one, the magnetic substrate is cut together to obtain a plurality of filter elements with magnetic members. The manufacturing method of the common mode filter as described in any one of claim | item 1 -5.
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