JP4195608B2 - 2D measuring machine - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのガラス等の平板状の被測定物の寸法、形状の検査に使用される二次元測定機に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の二次元測定機として、図6に示すように、一対の平行なY軸ガイド100を設けた定盤101と、該定盤101の上部に設けられて被測定物Wを載置する水平のテーブル102と、前記定盤101の各Y軸ガイド100にY軸スライダー103を介して支持されてY軸方向に移動自在の門型をしたX軸ビーム104と、該X軸ビーム104に支持されてX軸方向に移動自在のX軸スライダー105と、該X軸スライダー105の前面に支持されて前記テーブル102上の被測定物Wを測定する測定ヘッド106と、前記X軸ビーム104のY軸方向yの移動距離を測定するスケール107とを備え、X軸駆動手段、Y軸駆動手段108を作動させることにより、前記X軸スライダー105をX軸方向に移動させると共に、前記X軸ビーム104をY軸方向yに移動させて、前記測定ヘッド106をテーブル102上の被検出物Wの所定測定位置に付けて測定を行うようにしたヘッド移動型の二次元測定機Mが知られている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特表平2−501330号公報
【特許文献2】
特開平7−12512号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の前記ヘッド移動型の二次元測定機Mでは、前記Y軸ガイド100とY軸スライダー103との支持案内部の位置と、前記被測定物Wの上面(測定面)の位置と、前記スケール107の測定面の位置と、Y軸駆動手段108によるX軸ビーム104の駆動位置の少なくとも2つの位置がZ軸方向zにおいて異なっていると共に、前記測定ヘッド106の重心のY軸方向yにおける位置S1が、Y軸駆動手段108によるX軸ビーム104の駆動連結部の位置(X軸ビーム104の中心線の位置)Soから距離Hだけ前方に離れていてX軸ビーム104に測定ヘッド106の偏心重量が作用するため、X軸ビーム104は、Y軸方向yに移動する際、Y軸ガイド100とY軸スライダー103との支持案内部の加工精度やY軸駆動手段の駆動力の変動等の影響も加わって、Y軸方向yにおけるピッチング運動やX軸方向にヨーイング運動をし、これによって、例えば、Y軸方向yへX軸ビーム104が角度θだけ揺れると、測定ヘッド106がY軸方向yにおける大きな変位ΔH1にもとづく測定誤差を生じ、前記測定ヘッド106による測定精度を向上させることが難しい問題があった。特に、前記Y軸ガイド100とY軸スライダー103との支持案内部によるピッチングの影響によってX軸ビーム104の移動が不安定になるおそれがあり、前記測定精度の向上は一層困難であった。
【0005】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、被検査物に対して測定ヘッドを相対移動させる案内部における案内誤差の影響を小さく抑えて、被測定物の寸法、形状の測定を精度よく行うことができる二次元測定機を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項1に係る二次元測定機は、Y軸ガイドを両端部に設けた定盤と、該定盤の上部に設けられて被測定物を載置する水平のテーブルと、前記定盤の各Y軸ガイドにY軸スライダーを介して支持され、かつ前記テーブルの上方においてX軸方向に沿って設けられたY軸方向に移動自在のX軸ビームと、該X軸ビームに支持されてX軸方向に移動自在のX軸スライダーと、該X軸スライダーに支持されて前記テーブル上の被測定物を測定する測定ヘッドと、前記X軸ビームのY軸方向の移動距離を測定するスケールとを備えた二次元測定機において、前記Y軸ガイドのY軸スライダーを支持する支持面と、前記テーブル上の被測定物の被測定面と、前記Y軸スケールの被検出面とが、テーブルに平行な同一の平面上に設けられていることを特徴としている。
【0007】
また、請求項2に係る二次元測定機は、請求項1に記載の二次元測定機において、前記X軸ビームをY軸方向に移動させるY軸駆動手段が、前記Y軸ガイドのY軸スライダーを支持する支持面の近傍位置で前記Y軸スライダーに駆動連結されていることを特徴としている。
【0008】
また、請求項3に係る二次元測定機は、請求項1または2に記載の二次元測定機において、前記X軸スライダーがエアベアリングを介して前記X軸ビームに支持されていることを特徴としている。
【0009】
また、請求項4に係る二次元測定機は、請求項1〜3のいずれかに記載の二次元測定機において、前記X軸スライダーに、前記テーブルのX軸方向の中央を中心にして、X軸スライダーのX軸方向における移動方向と反対の方向に等距離だけ同期して移動するカウンターウエイトが設けられていることを特徴としている。
【0010】
また、請求項5に係る二次元測定機は、請求項4に記載の二次元測定機において、前記カウンターウエイトが、Y軸スライダー間にX軸方向に向けて掛け渡した案内レールにX軸方向に移動自在に支持され、前記X軸ビームおよびX軸ビームと共に移動する部材の少なくとも一方に配設した複数個のプーリに巻き掛けた無端状の索状部材によって前記X軸スライダーに連結されて設けられていることを特徴としている。
【0011】
また、請求項6に係る二次元測定機は、請求項4に記載の二次元測定機において、前記カウンターウエイトがX軸スライダーとは別の移動手段によって駆動されることを特徴としている。
【0012】
また、請求項7に係る二次元測定機は、請求項4〜6のいずれかに記載の二次元測定機において、前記カウンターウエイトに、前記Y軸スライダーに固定した照明器ガイドに支持されて前記テーブルの下部に配置され、前記X軸スライダーのX軸方向における移動位置に一致させてX軸方向に移動する透過照明器が、前記照明器ガイドまたは照明器ガイドと共に移動する部材に支持した複数個のプーリに巻き掛けた無端状の索状部材によって連結されていることを特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態に係る二次元測定機について図1〜図4を参照して説明する。
図1〜図4において、1は本発明の一実施の形態に係る二次元測定機である。該二次元測定機1は、架台2上に固定され、両端部にY軸方向yに沿う1対の平行なY軸ガイド3,3を水平にして設けた定盤4と、該定盤4の上部に水平に設けられて被測定物Wを載置する平面視で矩形のテーブル5と、前記定盤4の各Y軸ガイド3,3にY軸スライダー6,6を介して支持され、かつ前記テーブル5の上方においてY軸方向yに直角なX軸方向xに沿って設けられたY軸方向yに移動自在のX軸ビーム7と、該X軸ビーム7に支持されてX軸方向xに移動自在のX軸スライダー8と、該X軸スライダー8に支持されて前記テーブル5上の被測定物Wを測定する測定ヘッド9と、前記X軸ビーム7のY軸方向yの移動距離を測定する標準尺としてのY軸スケール10と、前記X軸ビーム7をY軸方向yに移動させるY軸駆動手段11と、前記測定ヘッド9をX軸スライダー8を介してX軸方向xに移動させるX軸駆動手段12とを備えている。
【0014】
前記テーブル5は、前後端部を支持片5a,5aを介して前記定盤4に固定された矩形の枠板に固定された透明なガラス板からなり、その上面までの高さが、該上面に載置した被測定物Wの上面(被測定面)Waと前記定盤4のY軸ガイド3,3の上面(支持面)3a,3aとが同一の水平面Lに位置するように設定されている。前記テーブル5の下面と定盤4の上面との間には側方(X軸方向xの外側)が開放された空間Eが設けられている。
前記各Y軸スライダー6は、前記Y軸ガイド3の上面3aに平行な主体部6aと、各Y軸ガイド3の内側にあって上面3aに直角な内側面3bに平行な側壁部6bとを有し、前記主体部6aとY軸ガイド3の上面3aとの間には、Y軸スライダー6を支持する水平のエアベアリング13aが設けられ、前記側壁部6bと前記Y軸ガイド3の内側面3bとの間には、Y軸スライダー6のX軸方向への移動を拘束する垂直のエアベアリング13bが設けられている。これらのエアベアリング13a,13bは、前記主体部3aおよび側壁部3bに固定されたエア供給パッドと、該エア供給パッドから噴出されるエアを受ける受圧面をなす前記Y軸ガイド3の上面3aおよび内側面3bとからなる周知の構造を有している。
【0015】
また、前記X軸スライダー8は、横断面が矩形をした前記X軸ビーム7を囲むようにして側面視で枠型状とされ、X軸スライダー8の上下面および前後面と、X軸スライダー8の矩形状の内周面との間には、X軸スライダー8をX軸方向に案内移動させるために、前記エアベアリング13a,13bと同様な構成のエアベアリング(図示せず)が設けられている。
前記測定ヘッド9は、顕微鏡9aにCCDカメラ9bを取り付けてなり、支持部材9cを介して前記X軸スライダー8の前面に支持されている。前記顕微鏡9aは、その光軸Cが前記X軸方向xとY軸方向yに直角なZ軸方向z(被測定物Wの上面Waに垂直な方向)に沿って設けられ、光学系の焦点距離を前記被測定物Wの上面Waに合わせられるように調整可能となっている。
【0016】
また、前記Y軸スケール10は、被検出面に目盛を形成したガラス製の標準尺部材を、前記Y軸ガイド3の上面3aに設けた1対のエアベアリング13a,13aの間においてY軸方向yに沿って固定し、前記Y軸スライダー6に固定した検出器で前記標準尺部材の目盛を測定して、Y軸スライダー6の移動位置の位置データを検出するようにしたものであり、リニアエンコーダの一種とみることができる。
前記Y軸駆動手段11は、所定間隔をあけて対向させた一対のマグネットを、前記Y軸ガイド3の外側のほぼ全長にわたって複数対配列してなるリニアモータマグネット11aと、前記Y軸スライダーの外側部に固定され、前記リニアモータマグネット11aの一対のマグネット間に挿入されたリニアモータコイル11bとを備えたY軸リニアモータとして構成されている。
前記X軸駆動手段12は、前記Y軸リニアモータと基本構成が同じであり、前記Y軸スライダー6,6に両端部を固定してそれらの間に掛け渡したマグネットベース12aに固定して、X軸方向xに沿って設けたリニアモータマグネット12bと、前記X軸スライダー8に固定され、リニアモータマグネット12b,12b間に挿入されているリニアモータコイル12cとを備えたX軸リニアモータとして構成されている。
【0017】
また、前記Y軸スライダー6,6にはX軸方向xに沿って錘ガイド(案内レール)14が掛け渡して固定されており、該錘ガイド14には、前記測定ヘッド9とX軸スライダー8の合計重量と略等しい重量を有するカウンタウエイト15が、X軸方向xに移動自在に支持されている。そして、該カウンタウエイト15は、X軸ビーム7とY軸スライド6に回転自在に支持した上下、左右の4個のプーリ16に掛け渡した無端状のワイヤロープ(索状部材)17の下方の移動部に連結部15aで連結されており、該ワイヤロープ17の上方の移動部に連結部8aで連結された前記X軸スライダー8に対し、前記テーブル5のX軸方向xの中央を中心にして、X軸スライダー8のX軸方向xにおける移動方向と反対の方向に等距離だけ同期して移動するようになっている。
【0018】
また、前記テーブル5の下部の空間Eには、前記Y軸スライダー6,6の内端部に固定した支持材18,18間に掛け渡してX軸方向xに沿った照明器ガイド19が設けられ、該照明器ガイド19には、透過照明器20がX軸方向xに移動自在に支持されている。そして、前記カウンタウエイト15は前記支持材18,18に回転自在に支持した4個のプーリ21に掛け渡した無端状のワイヤロープ22の上方の移動部に連結され、前記透過照明器20は前記ワイヤロープ22の下方の移動部に連結され、前記カウンタウエイト15と透過照明器20とは互いにX軸方向xに関して反対方向に移動し、常に、前記測定ヘッド9の顕微鏡9aの光軸Cに透過照明器20の透過光の中心が一致するような移動位置関係を保つようになっている。
なお、前記カウンタウエイト15は、前記X軸スライダー8によってプーリ16に掛け渡したワイヤロープ17を介して移動させる代わりに、専用のリニアモータ(X軸スライダー8とは別の移動手段)によりX軸方向に移動可能とし、X軸スライダー8の動く方向と反対方向に同期して移動する方式にしてもよい。この場合にも、前記透過照明器20は、前記プーリ21に掛け渡したワイヤロープ22を介して、カウンタウエイト15のX軸方向xの動きと反対方向に移動するので、X軸スライダー8の動きと同方向に同期して移動することとなる。
【0019】
次に、前記実施の形態に係る二次元測定機1の作用について説明する。
従来の二次元測定機と同様に、前記テーブル5上に被測定物Wを載せ、該テーブル5の下方から前記透過照明器20によって照射される透過光を前記測定ヘッド9の顕微鏡9aで受けながら、前記X軸,Y軸駆動手段11,12を作動させることにより、前記X軸スライダー8をX軸方向に移動させると共に、前記X軸ビーム7をY軸方向yに移動させて、前記測定ヘッド9をテーブル5上の被検出物Wの所定測定位置に付けて測定を行う。この測定に伴う測定ヘッド9のX,Y軸方向x,yの移動距離は、X軸ビーム7とX軸スライダー8との間に設けた図示しないX軸スケールと前記Y軸スケール10とによって検出され、これらの検出値と前記顕微鏡9aを通して前記CCDカメラで検出される位置データとにもとづいて被検出物Wの所定部分の位置(寸法、形状)が測定される。
【0020】
前記構成の二次元測定機1においては、測定の際に、特に、前記X軸ビーム7を前記定盤4のY軸ガイド3に対して前記エアベアリング13a,13aを介して支持していて、前記駆動手段11の駆動力の変動、Y軸ガイド3とY軸スライダー6との間の支持案内部の加工誤差等によって、X軸ビーム7にY軸方向yにおけるピッチング運動が発生し、その影響により、前記測定ヘッド9がY軸方向に変位して、測定ヘッド9による被検出物Wの位置の測定結果に誤差が生じることが考えられる。
しかし、前記のように、Y軸ガイド3の上面3aと、前記Y軸スケール10の目盛を付した被検出面と、前記被測定物Wの上面Waとを同一平面L上に位置させるように構成され、前記Y軸スライダー6の顕微鏡9a側を延長してウエイトを付加することにより、Y軸スライダー6の重心位置を顕微鏡9aの位置S1に近づける構成となっているので、図5に示すように、前記X軸ビーム7の駆動連結部の位置Soと位置S1との間の距離Hを小さくすることができ、前記ピッチング運動によるX軸ビーム7の傾斜θにおいて、前記測定ヘッド9の顕微鏡9aの焦点位置(測定位置)のY軸方向yにおける変位ΔH2を、従来の二次元測定機における変位ΔH1よりも極めて小さくすることができ、これにより、測定誤差を最小限に抑えて測定精度を向上させることができる。
【0021】
また、前記X軸ビーム7をY軸方向yに移動させるY軸駆動手段11が、前記Y軸ガイド3におけるY軸スライダー6の支持面(上面3a)の近傍位置で前記Y軸スライダー6にリニアモータコイル11bを介して駆動連結されているので、前記Y軸駆動手段11によりX軸ビーム7を前記Y軸ガイド3の上面3aを支点にしてY軸方向yに倒すモーメントの発生が抑えられ、該X軸ビーム7のY軸方向yにおける転倒による測定ヘッド9の変位が生じないため、被検出物Wの位置の測定誤差を一層小さく抑えることができる。
【0022】
また、前記Y軸スライダー6がエアベアリング13a,13bを介してY軸ガイド3に支持されているので、前記X軸ビーム7のY軸方向yへの移動が極めて円滑に行われる。なお、前記Y軸ガイド3に対するY軸スライド6の支持案内部(前記X軸ビーム7のY軸方向yにおける移動の案内部)に使用されるエアベアリング13a,13bは、X軸ビーム7の移動におけるピッチング動作により前記測定ヘッド9の測定に誤差を生じさせるおそれがあるが、前記のようにY軸ガイド3の上面3aとY軸スケール10の被検出面と被検出物Wの上面Waとを略同一(同一を含む)の平面L上に位置させた構成の採用によって、前記測定誤差のおそれが解消されて、被測定物Wの位置を高精度に測定することができる。
【0023】
また、前記テーブル5のX軸方向xの中央を中心にして、X軸スライダー8のX軸方向xにおける移動方向と反対の方向に等距離だけ、X軸スライダー8の移動に同期して移動するようにしたカウンターウエイト15が、Y軸スライダー6,6間にX軸方向xに向けて掛け渡した案内レール14に支持され、X軸ビーム7やX軸ビーム7と共に移動するマグネットベース12a等の部材に配設した複数個のプーリ16に巻き掛けた無端状のワイヤロープ17によって前記X軸スライダー8に連結して設けられているので、前記カウンタウエイト15をX軸スライダー8の移動に円滑、かつ確実に同期させて移動させることができると共に、前記X軸ビーム7に作用する重量がX軸ビーム7の両端部のY軸スライダー6,6に均等に作用することとなり、各Y軸スライダー6、6を駆動するY軸駆動手段11の駆動力が同一となり、前記X軸ビーム7のヨーイング運動を抑えることができ、このヨーイング運動の影響による測定誤差を減少させることができ、また、構造も簡単である。
【0024】
また、前記カウンターウエイト15に、Y軸スライダー6に固定した照明器ガイド19に支持されてテーブル5の下部に配置され、X軸スライダー8のX軸方向xにおける移動位置に一致させてX軸方向xに移動する透過照明器20が、照明器ガイド19や照明器ガイド19と共に移動する支持材18等の部材に支持した複数個のプーリ21に巻き掛けた無端状のワイヤロープ22によって連結されているので、前記カウンタウエイト15の移動を利用することにより、前記透過照明器20をX軸スライダー8の移動に確実に同期して移動させることができる。したがって、前記カウンタウエイト15の専用の移動手段を付設しなくてよいので、構造が簡単となる。
なお、前記カウンタウエイト15にX軸スライダー8とは別の専用の移動手段を付設し、X軸スライダー8の動きと同期してX軸スライダー8の移動方向と反対方向に移動するようにした場合は、前記プーリ16にワイヤロープ17を巻き掛けた構造の伝動機構を介在させた移動手段とは異なり、前記カウンタウエイト15を移動手段と直接的に連結して駆動することができるため、X軸スライダー8への負荷を減少させることができる。
【0025】
なお、前記実施の形態に係る二次元測定機においては、前記X軸ビーム7(X軸スライダー6)をY軸方向yに移動させるY軸駆動手段11としてリニアモータを使用したが、本発明はこれに限らず、ボールナットをX軸スライダー6に固定し、該ボールナットに螺合したボールねじ軸を電動サーボモータで回転することによって、前記ボールナット介してX軸スライダー6を移動させる構成のY軸駆動手段を採用することもできる。また、前記Y軸ガイド3に対するY軸スライダー6の案内移動およびにX軸ビーム7に対するX軸スライダー8の案内移動をエアベアリングを介して行うようにしたが、これに限らず、案内レールとスライドとの間に転動体を介在させてなるリニアベアリングを使用して前記案内移動を行うようにすることもできる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば以下の優れた効果を奏する。
請求項1に係る二次元測定機によれば、X軸ビームをY軸スライダーを介して支持する定盤におけるY軸ガイドの支持面と、テーブル上の被測定物の被測定面と、X軸ビームのY軸方向における移動距離を測定するY軸スケールの被検出面とが、前記テーブルに平行な同一の平面上に設けられているので、Y軸駆動手段の駆動力の変動、Y軸ガイドとY軸スライダーとの間の支持案内部の加工誤差等によって、X軸ビームにY軸方向におけるピッチング運動が発生しても、X軸ビームに支持された測定ヘッドがY軸方向に大きく変位するのを防止することができて、該測定ヘッドによる被検出物の位置の測定誤差を最小限に抑えることができる。
【0027】
請求項2に係る二次元測定機によれば、X軸ビームをY軸方向に移動させるY軸駆動手段が、Y軸ガイドのY軸スライダーを支持する支持面の近傍位置で前記Y軸スライダーに駆動連結されているので、Y軸駆動手段によりX軸ビームをY軸方向に倒すモーメントの発生を抑えることができ、被検出物の位置の測定誤差を一層小さく抑えることができる。
【0028】
請求項3に係る二次元測定機によれば、X軸スライダーがエアベアリングを介してX軸ビームに支持されている。また、Y軸スライダーがエアベアリングを介してY軸ガイドに支持されているので、X軸ビームのY軸方向への移動を極めて円滑に行うことができると共に、X軸ビームのY軸方向における移動の案内部にピッチングやローリングを生じやすいエアベアリングを採用しても、測定精度を高め得る二次元測定機を実現することができる。
【0029】
請求項4に係る二次元測定機によれば、X軸スライダーに、テーブルのX軸方向の中央を中心にして、X軸スライダーのX軸方向における移動方向と反対の方向に等距離だけ同期して移動するカウンターウエイトが連結されているので、X軸ビームに作用する重量がX軸ビームの両端部のX軸スライダーに均等に作用することとなり、各Y軸スライダーを駆動するY軸駆動手段の駆動力が同一となり、X軸ビームのヨーイング運動を抑えることができ、このヨーイング運動の影響による測定誤差を減少させることができる。
【0030】
請求項5に係る二次元測定機によれば、カウンターウエイトが、Y軸スライダー間にX軸方向に向けて掛け渡した案内レールにX軸方向に移動自在に支持され、X軸ビームおよびX軸ビームと共に移動する部材の少なくとも一方に配設した複数個のプーリに巻き掛けた無端状の索状部材によってX軸スライダーに連結して設けられているので、前記カウンタウエイトをX軸スライダーの移動に円滑、かつ確実に同期させて移動させることができ、構造も簡単である。
【0031】
請求項6に係る二次元測定機によれば、カウンターウエイトがX軸スライダーとは別の移動手段によって駆動される構成とされているので、プーリにワイヤロープを巻き掛けた構造の伝動機構を介在させた移動手段とは異なり、前記カウンタウエイトを移動手段と直接的に連結して駆動することができるため、X軸スライダーへの負荷を減少させることができる。
【0032】
請求項7に係る二次元測定機によれば、カウンターウエイトに、Y軸スライダーに固定した照明器ガイドに支持されてテーブルの下部に配置され、X軸スライダーのX軸方向における移動位置に一致させてX軸方向に移動する透過照明器が、照明器ガイドまたは照明器ガイドと共に移動する部材に支持した複数個のプーリに巻き掛けた無端状の索状部材によって連結されているので、前記カウンタウエイトの移動を利用することにより、前記透過照明器をX軸スライダーの移動に確実に同期して移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態に係る二次元測定機を示す正面図である。
【図2】 同じく側面図である。
【図3】 同じく平面図図である。
【図4】 同じく拡大背面図である。
【図5】 本発明の一実施の形態に係る二次元測定機の測定器ヘッドの被測定物に対するY軸方向における変位の状態を示す説明図である。
【図6】 従来の二次元測定機の測定器ヘッドの被測定物に対するY軸方向における変位の状態を示す説明図である。
【符号の説明】
1 二次元測定機
3 Y軸ガイド
3a 上面(支持面)
4 定盤
5 テーブル
6 Y軸スライダー
7 X軸ビーム
8 X軸スライダー
9 測定ヘッド
10 Y軸スケール
11 Y軸駆動手段
12 X軸駆動手段
13a,13b エアベアリング
14 案内レール
15 カウンタウエイト
16,21 プーリ
17,22 ワイヤロープ(索状部材)
19 照明器ガイド
20 透過照明器
W 被測定物
Wa 上面(被測定面)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a two-dimensional measuring machine used for inspecting the size and shape of a flat object to be measured such as glass of a liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as a two-dimensional measuring machine of this type, as shown in FIG. 6, a
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Publication No. 2-501330 [Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 7-12512 [0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional head moving type two-dimensional measuring machine M, the position of the support guide part of the Y-
[0005]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and can accurately measure the size and shape of the object to be measured while minimizing the influence of the guide error in the guide unit that moves the measuring head relative to the object to be inspected. It is an object to provide a two-dimensional measuring machine that can be used.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention is characterized by the following points in order to solve the above problems.
That is, the two-dimensional measuring machine according to
[0007]
A two-dimensional measuring machine according to
[0008]
The coordinate measuring machine according to
[0009]
The coordinate measuring machine according to
[0010]
Further, the two-dimensional measuring machine according to
[0011]
A two-dimensional measuring machine according to a sixth aspect is the two-dimensional measuring machine according to the fourth aspect, wherein the counterweight is driven by a moving means different from the X-axis slider.
[0012]
A two-dimensional measuring machine according to a seventh aspect is the two-dimensional measuring machine according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the counterweight is supported by an illuminator guide fixed to the Y-axis slider. A plurality of transmissive illuminators, which are arranged at the bottom of the table and move in the X-axis direction so as to coincide with the movement position of the X-axis slider in the X-axis direction, are supported by the illuminator guide or a member that moves together with the illuminator guide. It is characterized by being connected by an endless cord-like member wound around the pulley.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a two-dimensional measuring machine according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
1 to 4,
[0014]
The table 5 is made of a transparent glass plate fixed to a rectangular frame plate whose front and rear end portions are fixed to the
Each Y-
[0015]
The
The measuring
[0016]
The Y-
The Y-
The X-axis drive means 12 has the same basic configuration as the Y-axis linear motor, and is fixed to a
[0017]
Further, a weight guide (guide rail) 14 is stretched around the Y-
[0018]
In the space E below the table 5, an
The
[0019]
Next, the operation of the coordinate measuring
Similar to the conventional two-dimensional measuring machine, the object to be measured W is placed on the table 5, and the transmitted light emitted from the
[0020]
In the two-
However, as described above, the
[0021]
A Y-axis driving means 11 for moving the
[0022]
Further, since the Y-
[0023]
Further, the table 5 moves in the direction opposite to the moving direction in the X-axis direction x of the
[0024]
Further, the
When the
[0025]
In the two-dimensional measuring machine according to the embodiment, a linear motor is used as the Y-axis driving means 11 for moving the X-axis beam 7 (X-axis slider 6) in the Y-axis direction y. Not limited to this, the ball nut is fixed to the
[0026]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the following excellent effects are obtained.
According to the two-dimensional measuring machine according to
[0027]
According to the two-dimensional measuring machine according to
[0028]
According to the two-dimensional measuring machine according to
[0029]
According to the coordinate measuring machine according to
[0030]
According to the two-dimensional measuring machine according to
[0031]
According to the two-dimensional measuring machine according to
[0032]
According to the two-dimensional measuring machine of the seventh aspect, the counterweight is supported by the illuminator guide fixed to the Y-axis slider and is arranged at the lower part of the table so as to coincide with the movement position of the X-axis slider in the X-axis direction. Since the transmission illuminator that moves in the X-axis direction is connected by an endless cord-like member wound around a plurality of pulleys supported by the illuminator guide or a member that moves together with the illuminator guide, the counterweight By utilizing this movement, the transmission illuminator can be reliably moved in synchronization with the movement of the X-axis slider.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view showing a two-dimensional measuring machine according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the same.
FIG. 3 is a plan view of the same.
FIG. 4 is an enlarged rear view of the same.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a state of displacement in the Y-axis direction with respect to the object to be measured of the measuring instrument head of the coordinate measuring machine according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state of displacement in the Y-axis direction with respect to an object to be measured of a measuring instrument head of a conventional two-dimensional measuring machine.
[Explanation of symbols]
1 Two-dimensional measuring machine 3 Y-
4
19
Claims (7)
前記Y軸ガイドのY軸スライダーを支持する支持面と、前記テーブル上の被測定物の被測定面と、前記スケールの被検出面とが、テーブルに平行な同一の平面上に設けられていることを特徴とする二次元測定機。A surface plate provided with Y-axis guides on both ends, a horizontal table provided on the surface of the surface plate on which the object to be measured is placed, and supported on each Y-axis guide of the surface plate via a Y-axis slider And an X-axis beam which is provided along the X-axis direction above the table and is movable in the Y-axis direction, an X-axis slider supported by the X-axis beam and movable in the X-axis direction, In a two-dimensional measuring machine comprising a measuring head supported by an X-axis slider and measuring an object to be measured on the table, and a Y-axis scale for measuring a movement distance of the X-axis beam in the Y-axis direction,
The support surface for supporting the Y-axis slider of the Y-axis guide, the measurement surface of the object to be measured on the table, and the detection surface of the scale are provided on the same plane parallel to the table. A two-dimensional measuring machine characterized by that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002378412A JP4195608B2 (en) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 2D measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002378412A JP4195608B2 (en) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 2D measuring machine |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004212057A JP2004212057A (en) | 2004-07-29 |
JP4195608B2 true JP4195608B2 (en) | 2008-12-10 |
Family
ID=32815272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002378412A Expired - Fee Related JP4195608B2 (en) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 2D measuring machine |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4195608B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006266748A (en) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Mitsutoyo Corp | Image measurement device |
JP2007240503A (en) * | 2005-04-08 | 2007-09-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Microscope imaging device and dimension measuring instrument |
JP5319063B2 (en) * | 2006-11-30 | 2013-10-16 | 株式会社日立国際電気 | Line width measuring device |
JP6692025B2 (en) * | 2015-09-30 | 2020-05-13 | 株式会社ミツトヨ | Linear displacement measuring device |
-
2002
- 2002-12-26 JP JP2002378412A patent/JP4195608B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004212057A (en) | 2004-07-29 |
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