JP4190371B2 - Uneven pattern forming stamper, uneven pattern forming method, and magnetic recording medium - Google Patents

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Description

本発明は、基材表面の樹脂層に押し当てることによって樹脂層に凹凸パターンを形成可能な凹凸パターン形成用凸部がその表面における所定の環状領域に形成された凹凸パターン形成用スタンパー、その凹凸パターン形成用スタンパーを用いて凹凸パターンを形成する凹凸パターン形成方法、およびその凹凸パターン形成方法に従って形成された凹凸パターンを用いてデータ記録用トラックが形成された磁気記録媒体に関するものである。   The present invention relates to a concavo-convex pattern forming stamper in which a concavo-convex pattern forming convex portion capable of forming a concavo-convex pattern on a resin layer by pressing against a resin layer on a substrate surface is formed in a predetermined annular region on the surface, and the concavo-convex pattern The present invention relates to a concavo-convex pattern forming method for forming a concavo-convex pattern using a pattern forming stamper, and a magnetic recording medium on which a data recording track is formed using the concavo-convex pattern formed according to the concavo-convex pattern forming method.

例えば半導体素子や記録媒体を製造する工程において、基材表面の樹脂層に微細な(ナノメートルサイズの)凹凸パターンを形成する方法として、スタンパー(モールド)に形成したナノメートルサイズの凹凸部(凸部)を基材表面の樹脂層に押し当ててその凹凸部の凹凸形状を転写するインプリント法が提案されている(ステファン Y.チョウ(Stephen Y.Chou)著,「Imprint of sub 25nm vias and trenches in polymers」,Applied Physics Letters,(米国),1995年11月20日,第67巻,第21号,p.3114−3116)。   For example, in the process of manufacturing a semiconductor element or a recording medium, as a method of forming a fine (nanometer-sized) uneven pattern on a resin layer on a substrate surface, a nanometer-sized uneven portion (convex) formed on a stamper (mold) is used. Part) is pressed against the resin layer on the substrate surface to transfer the uneven shape of the uneven part (Stephan Y. Chou, “Imprint of sub 25 nm vias and trenches in polymers ", Applied Physics Letters, (USA), November 20, 1995, Vol. 67, No. 21, pp. 3114-3116).

このインプリント法では、まず、その表面にナノメートルサイズ(最小幅25nm)の凹凸部を形成したスタンパーを作製する。この場合、スタンパーの凹凸部は、表面に酸化シリコン層を形成したシリコン基板に電子ビームリソグラフィ装置を用いてパターンを描画し、反応性イオンエッチング装置(RIE)を使用してエッチング処理して形成される。次に、シリコン製の基材の表面に樹脂材料としてのPMMA(ポリメチルメタクリレート)をスピンコート法によって塗布して55nmの樹脂層を形成する。次いで、PMMAのガラス転移点である105℃以上(例えば200℃)となるようにスタンパー、基材および樹脂層を加熱した後に、13.1MPa(1900psi)の圧力で樹脂層にスタンパーの凹凸部を押し当てる。続いて、スタンパー、基材および樹脂層を室温まで冷却した後に、スタンパーを樹脂層から引き離す。これにより、スタンパーにおける凹凸部の凹凸形状が樹脂層に転写されてナノメートルサイズの凹凸パターンが形成される。 In this imprint method, first, a stamper having a nanometer size (minimum width of 25 nm) uneven portion formed on the surface thereof is manufactured. In this case, the uneven portion of the stamper is formed by drawing a pattern on a silicon substrate having a silicon oxide layer formed on the surface using an electron beam lithography apparatus and etching using a reactive ion etching apparatus (RIE). The Next, PMMA (polymethyl methacrylate) as a resin material is applied to the surface of a silicon substrate by a spin coating method to form a 55 nm resin layer. Next, after heating the stamper, the base material, and the resin layer so that the glass transition point of PMMA is 105 ° C. or higher (for example, 200 ° C.), the uneven portion of the stamper is formed on the resin layer at a pressure of 13.1 MPa (1900 psi). Press. Subsequently, after the stamper, the base material, and the resin layer are cooled to room temperature, the stamper is separated from the resin layer. Thereby, the uneven | corrugated shape of the uneven | corrugated | grooved part in a stamper is transcribe | transferred to a resin layer, and the uneven | corrugated pattern of nanometer size is formed.

一方、図21に示すように、このインプリント法に従って樹脂層に凹凸パターンを形成し、その凹凸パターンを用いて同心円状の複数の溝によって磁気的に互いに分離された複数のデータ記録用のディスクリートトラック(以下、単に「ディスクリートトラック」ともいう)92,92・・をディスク状基材101(磁性層112)の表面におけるトラック形成領域102に形成したディスクリートトラック型の磁気記録媒体(以下、単に「磁気記録媒体」ともいう)91が知られている。この磁気記録媒体91におけるディスクリートトラック92の形成に用いる凹凸パターンを形成する際には、図17,18に示すように、その表面における環状領域43にナノメートルサイズの凸部51,51・・を形成したスタンパー41が用いられる。この場合、環状領域43は、図19に示すように、ディスク状基材101のトラック形成領域102と同じ大きさに規定されている。このスタンパー41を用いて凹凸パターンを形成する際には、上記したインプリント法に従い、例えばガラス製の円板111、磁性層112および金属層113を備えて構成されたディスク状基材101の表面に樹脂層103を形成した後に、同図に示すように、スタンパー41の凸部51,51・・を樹脂層103に押し当てる。これにより、同図および図20に示すように、スタンパー41における環状領域43に対応する樹脂層103の凹凸パターン形成領域104に凹凸パターンが形成される。
ステファン Y.チョウ(Stephen Y.Chou)著,「Imprint of sub 25nm vias and trenches in polymers」,Applied Physics Letters,(米国),1995年11月20日,第67巻,第21号,p.3114−3116
On the other hand, as shown in FIG. 21, a concave / convex pattern is formed on the resin layer according to this imprint method, and a plurality of discrete data recording is separated magnetically by a plurality of concentric grooves using the concave / convex pattern. Are tracks (hereinafter simply referred to as “discrete tracks”) 92, 92... Formed on the track forming region 102 on the surface of the disk-shaped substrate 101 (magnetic layer 112). 91) is also known. When forming a concavo-convex pattern used for forming the discrete track 92 in the magnetic recording medium 91, as shown in FIGS. 17 and 18, the nanometer-sized convex portions 51, 51,. The formed stamper 41 is used. In this case, as shown in FIG. 19, the annular region 43 is defined to have the same size as the track forming region 102 of the disk-shaped substrate 101. When forming a concavo-convex pattern using this stamper 41, according to the above-mentioned imprint method, for example, the surface of the disk-shaped substrate 101 configured to include a glass disc 111, a magnetic layer 112, and a metal layer 113. After the resin layer 103 is formed, the convex portions 51, 51... Of the stamper 41 are pressed against the resin layer 103 as shown in FIG. Thereby, as shown in the figure and FIG. 20, a concavo-convex pattern is formed in the concavo-convex pattern forming region 104 of the resin layer 103 corresponding to the annular region 43 in the stamper 41.
Stefan Y. Stephen Y. Chou, “Imprint of sub 25 nm vias and trenches in polymers”, Applied Physics Letters, (USA), November 20, 1995, Vol. 67, No. 21, p. 3114-3116

ところが、従来のスタンパー41には、以下の問題点がある。すなわち、このスタンパー41では、図19に示すように、トラック形成領域102と同じ大きさに規定された環状領域43のみに凸部51,51・・が形成されている。したがって、図17〜図19に示すように、凸部51が形成されていない外側領域44および内側領域45が環状領域43の外側および内側にそれぞれ存在するため、両者に起因する不都合が生じている。具体的には、外側領域44および内側領域45に凸部51が形成されていないため、樹脂層103にスタンパー41を押し当てた際に、樹脂層103の凹凸パターン形成領域104における外周部104bおよび内周部104c(いずれも図20参照)に圧力が集中する。このため、図20に示すように、凹凸パターン形成領域104の外周部104bおよび内周部104cに形成された凹部の深さ(凸部の高さ)が、凹凸パターン形成領域104の中央部104aに形成された凹部の深さよりも深くなる(凸部の高さよりも高くなる)結果、各凹部の深さが不均一になるという問題点がある。また、凹凸パターン形成領域104における外周部104bおよび内周部104cに圧力が集中するため、外周部104bおよび内周部104cにおける凹凸パターンが変形するという問題点と、スタンパー41を樹脂層103から引き離す際に外周部104bおよび内周部104cにおける凹凸パターン(樹脂材料)がスタンパー41の凸部51に付着して剥離するという問題点とが存在する。したがって、この凹凸パターンを用いて製造した磁気記録媒体91には、ディスクリートトラック92の高さ(ディスクリートトラック92を分離する溝の深さ)が不均一となったり、トラック形成領域102の外周部および内周部におけるディスクリートトラック92に変形や欠落が生じたりするため、これらに起因して、データを記録する際に記録エラーが発生するおそれがあるという問題点が存在する。   However, the conventional stamper 41 has the following problems. That is, in this stamper 41, as shown in FIG. 19, the convex portions 51, 51... Are formed only in the annular region 43 defined to be the same size as the track forming region 102. Accordingly, as shown in FIGS. 17 to 19, the outer region 44 and the inner region 45 where the convex portions 51 are not formed exist on the outer side and the inner side of the annular region 43, respectively. . Specifically, since the convex portion 51 is not formed in the outer region 44 and the inner region 45, when the stamper 41 is pressed against the resin layer 103, the outer peripheral portion 104 b in the concave / convex pattern forming region 104 of the resin layer 103 and The pressure concentrates on the inner peripheral portion 104c (both see FIG. 20). For this reason, as shown in FIG. 20, the depth (the height of the convex portion) of the concave portions formed in the outer peripheral portion 104b and the inner peripheral portion 104c of the concave / convex pattern forming region 104 is the central portion 104a of the concave / convex pattern forming region 104. As a result of being deeper than the depth of the concave portion formed in (and higher than the height of the convex portion), there is a problem that the depth of each concave portion becomes non-uniform. In addition, the pressure concentrates on the outer peripheral portion 104b and the inner peripheral portion 104c in the concave / convex pattern forming region 104, so that the concave / convex pattern on the outer peripheral portion 104b and the inner peripheral portion 104c is deformed, and the stamper 41 is separated from the resin layer 103. At this time, there is a problem that the uneven pattern (resin material) in the outer peripheral portion 104b and the inner peripheral portion 104c adheres to the convex portion 51 of the stamper 41 and peels off. Therefore, in the magnetic recording medium 91 manufactured using this concavo-convex pattern, the height of the discrete track 92 (the depth of the groove separating the discrete track 92) is not uniform, the outer periphery of the track forming region 102 and Since the discrete track 92 in the inner peripheral portion is deformed or missing, there is a problem that a recording error may occur when data is recorded.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、凹凸パターンにおける凹部の深さを均一化し、かつ凹凸パターンの変形や剥離を防止し得る凹凸パターン形成用スタンパーおよび凹凸パターン形成方法を提供することを主目的とする。また、記録エラーの発生を防止し得る磁気記録媒体を提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and provides a concavo-convex pattern forming stamper and a concavo-convex pattern forming method capable of uniforming the depth of the concavo-convex pattern in the concavo-convex pattern and preventing deformation and peeling of the concavo-convex pattern. The main purpose is to do. It is another object of the present invention to provide a magnetic recording medium that can prevent the occurrence of a recording error.

上記目的を達成すべく本発明に係る凹凸パターン形成用スタンパーは、基材表面の樹脂層に押し当てることによって当該樹脂層に凹凸パターンを形成可能な凹凸パターン形成用凸部がその表面における所定の環状領域に形成され、前記樹脂層に対する押し当ての際の圧力を分散可能な圧力分散用凸部が前記環状領域に対して外側に位置する外側領域に形成され、当該圧力分散用凸部は、前記凹凸パターン形成用凸部とは異なるピッチで、かつ外側に向かうに従ってその幅が広くなるように形成されている。 In order to achieve the above object, the concavo-convex pattern forming stamper according to the present invention has a concavo-convex pattern forming convex portion that can form a concavo- convex pattern on the resin layer by pressing against the resin layer on the surface of the substrate . Formed in an annular region, a pressure dispersion convex portion that can disperse the pressure at the time of pressing against the resin layer is formed in an outer region located outside the annular region , the pressure dispersion convex portion, wherein is formed so that its width increases in accordance with a different pitch, and toward the outside from the convex pattern forming convex part.

この場合、前記環状領域を磁気記録媒体のトラック形成領域とほぼ同一の大きさに規定するのが好ましい。   In this case, it is preferable that the annular area is defined to have substantially the same size as the track forming area of the magnetic recording medium.

また、前記樹脂層に対する押し当ての際の圧力を分散可能な圧力分散用凸部を前記環状領域に対して内側に位置する内側領域に形成するのが好ましい。 Further, it is preferable to form formed in the inner area located inside the dispersible pressure distribution protrusions pressure during pressing against the annular region with respect to the resin layer.

さらに、前記内側領域の前記圧力分散用凸部は、前記凹凸パターン形成用凸部と同形状またはほぼ同形状に形成するのが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the pressure distribution convex portion in the inner region is formed in the same shape or substantially the same shape as the convex / concave pattern forming convex portion.

また、本発明に係る凹凸パターン形成方法は、基材表面に樹脂層を形成し、上記の凹凸パターン形成用スタンパーにおける前記凹凸パターン形成用凸部を前記樹脂層に押し当てることによって当該樹脂層に凹凸パターンを形成する。   Moreover, the uneven | corrugated pattern formation method which concerns on this invention forms a resin layer in the base-material surface, and presses the said uneven | corrugated pattern formation convex part in the said uneven | corrugated pattern formation stamper on the said resin layer by pressing the said resin layer. An uneven pattern is formed.

また、本発明に係る磁気記録媒体は、上記の凹凸パターン形成方法に従って形成された前記凹凸パターンを用いてデータ記録用トラックが形成されている。   In the magnetic recording medium according to the present invention, a data recording track is formed using the concavo-convex pattern formed according to the concavo-convex pattern forming method.

本発明に係る凹凸パターン形成用スタンパーおよび凹凸パターン形成方法によれば、環状領域に対して外側に位置する外側領域において、外側に向かうに従ってその幅が広くなる圧力分散用凸部を形成したことにより、凹凸パターン形成用スタンパーを樹脂層に押し当てる際に、凹凸パターン形成用スタンパーを介して樹脂層に加わる圧力を樹脂層における凹凸パターン形成用スタンパーの環状領域に対応する部位および外側領域に対応する部位に分散させることができるため、樹脂層における凹凸パターンを形成すべき領域の全域にほぼ均一に圧力を加えることができる結果、その凹凸パターンを形成すべき領域にほぼ均一な深さの凹部(ほぼ均一な高さの凸部)を形成することができる。また、凹凸パターンを形成すべき領域の外周部に対する圧力の集中を防止できるため、この部位における凹凸パターンの変形や凹凸パターン形成用スタンパーの引き離しの際の凹凸パターンの剥離を確実に防止することができる。 According to the concavo-convex pattern forming stamper and the concavo-convex pattern forming method according to the present invention, in the outer region located outside the annular region, the pressure dispersion convex portion whose width increases toward the outer side is formed. When the concave / convex pattern forming stamper is pressed against the resin layer, the pressure applied to the resin layer via the concave / convex pattern forming stamper corresponds to the region corresponding to the annular region of the concave / convex pattern forming stamper in the resin layer and the outer region. Since the pressure can be applied almost uniformly to the entire region of the resin layer where the concave / convex pattern is to be formed, the concave portion (which has a substantially uniform depth in the region where the concave / convex pattern is to be formed) A convex portion having a substantially uniform height) can be formed. Further, since concentration of pressure on the outer peripheral portion of the region where the concavo-convex pattern is to be formed can be prevented, it is possible to reliably prevent the concavo-convex pattern from being peeled when the concavo-convex pattern is deformed or the concavo-convex pattern forming stamper is separated from this region. it can.

また、本発明に係る凹凸パターン形成用スタンパーおよび凹凸パターン形成方法によれば、外側領域および内側領域の両領域に圧力分散用凸部を形成したことにより、樹脂層に押し当てる際に樹脂層に加わる圧力を樹脂層における凹凸パターン形成用スタンパーの外側領域に対応する部位および内側領域に対応する部位の双方に分散させることができるため、外側領域および内側領域の一方だけに圧力分散用凸部を形成する構成と比較して、凹凸パターンを形成すべき領域の全域に一層均一に圧力を加えることができる結果、より均一な深さの凹部を形成することができる。 Further, according to the concavo-convex pattern forming stamper and the concavo-convex pattern forming method according to the present invention, the pressure dispersion convex portions are formed in both the outer region and the inner region, so that the resin layer is pressed against the resin layer. Since the applied pressure can be distributed to both the part corresponding to the outer region and the part corresponding to the inner region of the stamper for forming the concavo-convex pattern in the resin layer, the pressure distribution convex portion is provided only in one of the outer region and the inner region. Compared with the structure to form, as a result of being able to apply a pressure more uniformly to the whole area | region which should form an uneven | corrugated pattern, the recessed part of a more uniform depth can be formed.

また、本発明に係る凹凸パターン形成用スタンパーおよび凹凸パターン形成方法によれば、凹凸パターン形成用凸部と同形状またはほぼ同形状に圧力分散用凸部を内領域に形成することにより、凹凸パターン形成用スタンパーの作製に際して、凹凸パターン形成用凸部と圧力分散用凸部とを同一の加工条件で連続加工して形成することができるため、加工時間を短縮することができる結果、凹凸パターン形成用スタンパーの作製コストを低減することができる。 Further, according to the concavo-convex pattern forming stamper and convex pattern forming method according to the present invention, by forming on the inner side region of pressure variance protrusions in the same shape or substantially the same shape as the uneven pattern forming convex part, uneven When manufacturing a pattern forming stamper, the convex / concave pattern forming convex part and the pressure dispersion convex part can be formed by continuous processing under the same processing conditions, so that the processing time can be shortened, resulting in the concave / convex pattern. The manufacturing cost of the forming stamper can be reduced.

また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、上記の凹凸パターン形成方法に従って形成した凹凸パターンを用いてデータ記録用トラックを形成したことにより、凹凸パターンにおける凹部の深さ(凸部の高さ)をほぼ均一に形成することができるため、その高さ(トラックを分離する溝の深さ)がほぼ均一なデータ記録用トラックを形成することができる。また、凹凸パターンに変形や剥離が生じていないため、変形や欠落のないデータ記録用トラックを形成することができる。したがって、記録時における記録エラーの発生を確実に防止することができる。   In addition, according to the magnetic recording medium of the present invention, since the data recording track is formed using the concavo-convex pattern formed according to the concavo-convex pattern forming method, the depth of the concave portion (the height of the convex portion) in the concavo-convex pattern. ) Can be formed almost uniformly, so that a data recording track having a substantially uniform height (depth of a groove separating the tracks) can be formed. In addition, since the uneven pattern is not deformed or peeled off, a data recording track without deformation or missing can be formed. Therefore, it is possible to reliably prevent the occurrence of a recording error during recording.

以下、本発明に係る凹凸パターン形成用スタンパー、凹凸パターン形成方法および磁気記録媒体の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。   DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a concavo-convex pattern forming stamper, a concavo-convex pattern forming method, and a magnetic recording medium according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

最初に、塗布装置1および転写装置2の構成について、図面を参照して説明する。   First, configurations of the coating apparatus 1 and the transfer apparatus 2 will be described with reference to the drawings.

図1に示す塗布装置1は、本発明に係る凹凸パターン形成方法に従ってディスク状基材61(図2参照)の表面に樹脂材料を塗布して樹脂層63(図2参照)を形成する装置であって、モータ11、ターンテーブル12、吐出機構13および制御部14を備えて構成されている。モータ11は、制御部14の制御信号に従ってターンテーブル12を回転させる。ターンテーブル12は、ディスク状基材61を載置可能に構成されてモータ11によって回転させられる。吐出機構13は、制御部14の制御信号に従い、ターンテーブル12に載置されたディスク状基材61の内周部(中心部に形成された孔よりもやや外周側の部分)に樹脂材料(一例としてポリスチレン系共重合物)を吐出する。制御部14は、樹脂層63が所定の厚み(例えば65nm(ナノメートル))となるように、モータ11の回転、および吐出機構13による樹脂材料の吐出を制御する。ここで、上記したディスク状基材61は、図15に示す磁気記録媒体3用の基材であって、図2に示すように、例えばガラス製の円板71を備えて構成され、この円板71の表面には、磁性層72および金属層73が予め形成されている。この場合、図15に示すように、所定の配列ピッチ(例えば150nm)で互いに分離された同心円状の複数のディスクリートトラック(本発明におけるデータ記録用のトラックに相当する)4,4・・がディスク状基材61(磁性層72)のトラック形成領域62に形成されて磁気記録媒体3が製造される。なお、実際には、配向層、軟磁性層、および下地層などが円板71と磁性層72との間に形成されているが、本発明の理解を容易とするために、その図示および説明を省略する。   A coating apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus that forms a resin layer 63 (see FIG. 2) by coating a resin material on the surface of a disk-shaped substrate 61 (see FIG. 2) according to the uneven pattern forming method according to the present invention. The motor 11, the turntable 12, the discharge mechanism 13, and the control unit 14 are provided. The motor 11 rotates the turntable 12 according to a control signal from the control unit 14. The turntable 12 is configured to be able to place a disk-shaped substrate 61 and is rotated by the motor 11. In accordance with a control signal from the control unit 14, the discharge mechanism 13 is formed of a resin material (on the outer peripheral side of the disk-like base material 61 placed on the turntable 12 (a part on the outer peripheral side slightly from the hole formed in the center)). As an example, a polystyrene copolymer) is discharged. The control unit 14 controls the rotation of the motor 11 and the discharge of the resin material by the discharge mechanism 13 so that the resin layer 63 has a predetermined thickness (for example, 65 nm (nanometer)). Here, the disk-shaped substrate 61 described above is a substrate for the magnetic recording medium 3 shown in FIG. 15, and is configured to include, for example, a glass disc 71 as shown in FIG. On the surface of the plate 71, a magnetic layer 72 and a metal layer 73 are formed in advance. In this case, as shown in FIG. 15, a plurality of concentric discrete tracks (corresponding to data recording tracks in the present invention) 4, 4,... Separated from each other at a predetermined arrangement pitch (for example, 150 nm) are discs. The magnetic recording medium 3 is manufactured by being formed in the track forming region 62 of the substrate 61 (magnetic layer 72). In practice, an orientation layer, a soft magnetic layer, an underlayer, and the like are formed between the circular plate 71 and the magnetic layer 72. However, in order to facilitate understanding of the present invention, the illustration and explanation thereof are provided. Is omitted.

転写装置2は、本発明に係る凹凸パターン形成方法に従ってディスク状基材61の表面に形成された樹脂層63に凹凸パターンを形成する装置であって、図3に示すように、加熱ステージ21、プレス機構22、制御部23およびスタンパー24を備えて構成されている。加熱ステージ21は、樹脂層63が形成されたディスク状基材61を載置可能に構成されて、制御部23からの制御信号に従い、樹脂層63およびディスク状基材61を加熱する。プレス機構22は、スタンパー24を固定可能に構成され、制御部23からの制御信号に従ってスタンパー24を加熱ステージ21に向けてプレスする(押し下げる)。この場合、プレス機構22は、固定したスタンパー24を加熱する加熱機能を備えている。制御部23は、加熱ステージ21による加熱やプレス機構22による加熱およびプレスを制御する。   The transfer apparatus 2 is an apparatus for forming a concavo-convex pattern on the resin layer 63 formed on the surface of the disk-shaped substrate 61 according to the concavo-convex pattern forming method according to the present invention, and as shown in FIG. A press mechanism 22, a control unit 23, and a stamper 24 are provided. The heating stage 21 is configured to be able to place the disk-shaped substrate 61 on which the resin layer 63 is formed, and heats the resin layer 63 and the disk-shaped substrate 61 in accordance with a control signal from the control unit 23. The press mechanism 22 is configured to be capable of fixing the stamper 24 and presses (presses down) the stamper 24 toward the heating stage 21 in accordance with a control signal from the control unit 23. In this case, the press mechanism 22 has a heating function for heating the fixed stamper 24. The control unit 23 controls heating by the heating stage 21 and heating and pressing by the press mechanism 22.

スタンパー24は、本発明に係る凹凸パターン形成用スタンパーに相当し、図4に示すように、例えば炭化シリコンによって全体として円板状に構成されている。また、スタンパー24は、その外径L1がディスク状基材61の外径よりもやや大きい例えば22.0mmに規定されている。さらに、スタンパー24の中心部には、その径L2が例えば6.0mmの中心孔29(プレス機構22に固定するための固定用治具を挿通させる孔)が形成されている。また、スタンパー24の表面には、環状領域26、外側領域27および内側領域28が規定されている。この場合、環状領域26には、図5に示すように、樹脂層63に凹凸パターンを形成するための凸部31,31・・が形成されている。凸部31,31・・は、本発明における凹凸パターン形成用凸部に相当し、スタンパー24の中心をその中心として同心円状でかつ一定のピッチ(例えば150nm)で形成されている。また、環状領域26は、図10に示すように、ディスク状基材61におけるトラック形成領域62とほぼ同一の大きさに規定されている。具体的には、環状領域26は、図4に示すように、その内径L3が例えば8.0mmでその外径L4が例えば18.0mmの環状の領域に規定されている。なお、本発明の理解を容易とするため、図4では、実際の各領域26〜28同士の比率とは異なる比率で各領域26〜28を図示している。また、図5においては、凸部31および後述する凸部32を実際の大きさよりも誇張して図示している。   The stamper 24 corresponds to the concavo-convex pattern forming stamper according to the present invention, and, as shown in FIG. The stamper 24 is defined to have an outer diameter L1 of, for example, 22.0 mm, which is slightly larger than the outer diameter of the disk-shaped substrate 61. Further, a central hole 29 (a hole through which a fixing jig for fixing to the press mechanism 22 is inserted) having a diameter L2 of, for example, 6.0 mm is formed at the center of the stamper 24. An annular region 26, an outer region 27, and an inner region 28 are defined on the surface of the stamper 24. In this case, as shown in FIG. 5, convex portions 31, 31... For forming a concavo-convex pattern in the resin layer 63 are formed in the annular region 26. The convex portions 31, 31,... Correspond to the convex and concave pattern forming convex portions in the present invention, and are formed concentrically with a constant pitch (for example, 150 nm) with the center of the stamper 24 as the center. Further, as shown in FIG. 10, the annular region 26 is defined to have almost the same size as the track forming region 62 in the disk-shaped base 61. Specifically, as shown in FIG. 4, the annular region 26 is defined as an annular region having an inner diameter L3 of, for example, 8.0 mm and an outer diameter L4 of, for example, 18.0 mm. In order to facilitate understanding of the present invention, in FIG. 4, the areas 26 to 28 are illustrated at a ratio different from the actual ratio of the areas 26 to 28. Further, in FIG. 5, the convex portion 31 and a convex portion 32 described later are shown exaggerated from the actual size.

外側領域27は、図4に示すように、スタンパー24の表面における環状領域26に対して外側に位置する領域であって、その幅L5が例えば2.0mmの環状の領域に規定されている。また、図5に示すように、外側領域27には、凸部31と同形状の複数の凸部(圧力分散用凸部)32,32・・が同心円状でかつ凸部31と同ピッチで形成されている。内側領域28は、図4に示すように、スタンパー24の表面における環状領域26に対して内側に位置する領域であって、その幅L6が例えば1.0mmの環状の領域に規定されている。また、図5に示すように、内側領域28にも、複数の凸部32,32・・(同図では、これらのうちの1つだけを図示している)が同心円状でかつ凸部31と同ピッチで形成されている。この場合、外側領域27および内側領域28に形成された凸部32は、後述するように、プレス機構22によってスタンパー24を樹脂層63にプレスする際に、スタンパー24を介して樹脂層63に加わる圧力をスタンパー24の環状領域26,外側領域27および内側領域28にそれぞれ対応する樹脂層63における凹凸パターン形成領域64,外周部65および内周部66(いずれも図11参照)に分散させることにより、凹凸パターン形成領域64に加わる圧力をほぼ均一にする機能を有している。   As shown in FIG. 4, the outer region 27 is a region located outside the annular region 26 on the surface of the stamper 24, and the width L <b> 5 is defined as, for example, an annular region of 2.0 mm. As shown in FIG. 5, in the outer region 27, a plurality of convex portions (pressure dispersion convex portions) 32, 32... Having the same shape as the convex portion 31 are concentric and at the same pitch as the convex portion 31. Is formed. As shown in FIG. 4, the inner region 28 is a region located inside the annular region 26 on the surface of the stamper 24, and the width L <b> 6 is defined as an annular region having a thickness of, for example, 1.0 mm. Further, as shown in FIG. 5, a plurality of convex portions 32, 32... (Only one of them is shown in the figure) is concentric and also has a convex portion 31 in the inner region 28. And the same pitch. In this case, the convex portions 32 formed in the outer region 27 and the inner region 28 are added to the resin layer 63 via the stamper 24 when the stamper 24 is pressed to the resin layer 63 by the press mechanism 22 as described later. By dispersing the pressure in the uneven pattern forming region 64, the outer peripheral portion 65, and the inner peripheral portion 66 (see FIG. 11) in the resin layer 63 corresponding to the annular region 26, the outer region 27, and the inner region 28 of the stamper 24, respectively. The pressure applied to the concave / convex pattern forming region 64 has a function of making the pressure almost uniform.

ここで、スタンパー24は、一例として、凹凸パターンをマスクとして用いたドライエッチング法によって作製される。具体的には、図6に示すように、炭化シリコン製の円板状の基材25の表面に樹脂材料を塗布して樹脂層25aを形成する。次に、例えば電子ビームリソグラフィ装置を用いて凸部31,32の形状を反転したパターンを樹脂層25aに描画する。次いで、樹脂層25aに対して現像処理を施す。これにより、図7に示すように、凸部31,32の形状を反転した形状の凹凸パターンが樹脂層25aに形成される。次いで、図8に示すように、蒸着によって凹凸パターンにおける凹部の底面(基材25の表面)および凸部の先端面にニッケル層25bを形成する。次に、リフトオフ処理によって凸部の先端面に形成されたニッケル層25bを樹脂材料と共に除去する。これにより、図9に示すように、ニッケル層25bによって基材25の表面にニッケルパターンが形成される。次いで、ニッケルパターンをマスクとして用いて、ドライエッチング処理を行う。これにより、同図に破線で示すように、基材25におけるニッケルパターンが形成されていない部位が削り取られて、図5に示すように、凸部31,32が形成されたスタンパー24が完成する。   Here, as an example, the stamper 24 is manufactured by a dry etching method using an uneven pattern as a mask. Specifically, as shown in FIG. 6, a resin material is applied to the surface of a disk-shaped substrate 25 made of silicon carbide to form a resin layer 25a. Next, a pattern obtained by inverting the shape of the protrusions 31 and 32 is drawn on the resin layer 25a using, for example, an electron beam lithography apparatus. Next, development processing is performed on the resin layer 25a. Thereby, as shown in FIG. 7, the uneven | corrugated pattern of the shape which reversed the shape of the convex parts 31 and 32 is formed in the resin layer 25a. Next, as shown in FIG. 8, a nickel layer 25b is formed on the bottom surface of the concave portion (surface of the base material 25) and the front end surface of the convex portion by vapor deposition. Next, the nickel layer 25b formed on the tip surface of the convex portion by the lift-off process is removed together with the resin material. Thereby, as shown in FIG. 9, a nickel pattern is formed on the surface of the base material 25 by the nickel layer 25b. Next, dry etching is performed using the nickel pattern as a mask. As a result, as shown by a broken line in the drawing, a portion of the base material 25 where the nickel pattern is not formed is scraped off, and the stamper 24 in which the convex portions 31 and 32 are formed as shown in FIG. 5 is completed. .

次に、本発明に係る凹凸パターン形成方法に従って凹凸パターンを形成する工程について、図面を参照して説明する。   Next, the process of forming a concavo-convex pattern according to the concavo-convex pattern forming method according to the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、ディスク状基材61をターンテーブル12に載置して、塗布装置1に処理を開始させる。これに応じて、制御部14が、モータ11および吐出機構13に制御信号を出力する。この際に、モータ11が制御信号に従ってターンテーブル12を例えば低速で5回転だけ回転させ、吐出機構13が制御信号に従って所定の量(樹脂層63を65nmの厚みに形成するのに必要な量)の樹脂材料(この場合、ポリスチレン系共重合物)をディスク状基材61の中央部に吐出する。次いで、制御部14は、モータ11に対してターンテーブル12を高速で所定時間だけ回転させるための制御信号を出力する。これに応じて、モータ11がターンテーブル12を高速で回転させる。この際に、ターンテーブル12の回転に応じて、ディスク状基材61が高速で回転し、吐出された樹脂材料が遠心力によってディスク状基材61の外周方向に対して均一な厚みで延伸させられる。これにより、図2に示すように、ディスク状基材61(金属層73)の表面に65nmの厚みの樹脂層63が形成される。   First, the disk-shaped substrate 61 is placed on the turntable 12 and the coating apparatus 1 starts processing. In response to this, the control unit 14 outputs a control signal to the motor 11 and the discharge mechanism 13. At this time, the motor 11 rotates the turntable 12 by, for example, five rotations at a low speed in accordance with the control signal, and the discharge mechanism 13 has a predetermined amount according to the control signal (an amount necessary for forming the resin layer 63 to a thickness of 65 nm). The resin material (in this case, polystyrene copolymer) is discharged to the center of the disk-shaped substrate 61. Next, the control unit 14 outputs a control signal for rotating the turntable 12 at a high speed for a predetermined time to the motor 11. In response to this, the motor 11 rotates the turntable 12 at a high speed. At this time, the disk-shaped substrate 61 rotates at a high speed according to the rotation of the turntable 12, and the discharged resin material is stretched with a uniform thickness in the outer circumferential direction of the disk-shaped substrate 61 by centrifugal force. It is done. As a result, as shown in FIG. 2, a resin layer 63 having a thickness of 65 nm is formed on the surface of the disk-shaped substrate 61 (metal layer 73).

次に、スタンパー24をプレス機構22に取り付ける。次いで、樹脂層63が形成されたディスク状基材61を加熱ステージ21に載置して、転写装置2に処理を開始させる。これに応じて、制御部23が、加熱ステージ21およびプレス機構22に対して加熱を指示する制御信号を出力する。この際に、加熱ステージ21が、制御信号に従い、樹脂層63およびディスク状基材61を加熱し、プレス機構22が、制御信号に従い、スタンパー24を加熱する。次いで、制御部23は、例えば温度センサ(図示せず)の出力信号を監視することにより、樹脂層63、ディスク状基材61およびスタンパー24の温度が樹脂材料のガラス転移点以上の例えば170℃に達したことを確認した時点で、プレスを指示する制御信号をプレス機構22に出力する。これに応じて、プレス機構22は、例えば80kgf/cmの圧力でスタンパー24をプレスする。 Next, the stamper 24 is attached to the press mechanism 22. Next, the disk-shaped substrate 61 on which the resin layer 63 is formed is placed on the heating stage 21 and the transfer device 2 starts processing. In response to this, the control unit 23 outputs a control signal instructing heating to the heating stage 21 and the press mechanism 22. At this time, the heating stage 21 heats the resin layer 63 and the disk-shaped substrate 61 according to the control signal, and the press mechanism 22 heats the stamper 24 according to the control signal. Next, the control unit 23 monitors, for example, an output signal of a temperature sensor (not shown), so that the temperature of the resin layer 63, the disk-shaped substrate 61, and the stamper 24 is, for example, 170 ° C. above the glass transition point of the resin material. When it is confirmed that the pressure has reached, a control signal for instructing pressing is output to the pressing mechanism 22. In response to this, the press mechanism 22 presses the stamper 24 with a pressure of, for example, 80 kgf / cm 2 .

この際に、図10に示すように、スタンパー24の凸部31,31・・および凸部32,32・・が樹脂層63に押し当てられて、樹脂層63を構成する樹脂材料が変形させられる。この場合、同図に示すように、外側領域27および内側領域28に凸部32が形成されているため、プレス機構22による圧力が樹脂層63の凹凸パターン形成領域64、外周部65および内周部66(いずれも図11参照)に分散する。このため、凹凸パターン形成領域64には、その全域にほぼ一定の圧力が加わる。続いて、制御部23は、プレス機構22に対してプレスの停止を指示する制御信号を出力すると共に、加熱ステージ21およびプレス機構22に対して加熱の停止を指示する制御信号を出力する。これに応じて、加熱ステージ21が加熱を停止し、プレス機構22がプレスおよび加熱を停止する。次に、樹脂層63、ディスク状基材61およびスタンパー24の温度が例えば35℃に低下するまで放置する。この場合、冷却機構を設けて強制的に温度を低下させる方法を採用することもできる。次いで、スタンパー24を樹脂層63から引き離す。これにより、図11に示すように、樹脂層63における凹凸パターン形成領域64に凸部31の形状が転写されて凹凸パターンが形成される。この場合、プレスの際に凹凸パターン形成領域64の全域にほぼ一定の圧力が加えられたため、同図に示すように、樹脂層63の凹凸パターン形成領域64には、ほぼ均一な深さの凹部(ほぼ均一な高さの凸部)が形成される。また、凹凸パターン形成領域64の外周部64bおよび内周部64cに圧力が集中していないため、外周部64bおよび内周部64cにおける凹凸パターンの変形やスタンパー24の引き離しの際の凹凸パターンの剥離が確実に防止される。   At this time, as shown in FIG. 10, the convex portions 31, 31... And the convex portions 32, 32... Of the stamper 24 are pressed against the resin layer 63 to deform the resin material constituting the resin layer 63. It is done. In this case, as shown in the figure, since the convex portions 32 are formed in the outer region 27 and the inner region 28, the pressure by the pressing mechanism 22 is applied to the concave / convex pattern forming region 64, the outer peripheral portion 65, and the inner peripheral portion of the resin layer 63. Dispersed in the unit 66 (see FIG. 11). For this reason, a substantially constant pressure is applied to the entire concave / convex pattern forming region 64. Subsequently, the control unit 23 outputs a control signal instructing the press mechanism 22 to stop pressing, and outputs a control signal instructing the heating stage 21 and the press mechanism 22 to stop heating. In response to this, the heating stage 21 stops heating, and the press mechanism 22 stops pressing and heating. Next, the resin layer 63, the disk-shaped substrate 61, and the stamper 24 are left until the temperature drops to 35 ° C., for example. In this case, a method of forcibly lowering the temperature by providing a cooling mechanism can also be adopted. Next, the stamper 24 is separated from the resin layer 63. As a result, as shown in FIG. 11, the shape of the convex portion 31 is transferred to the concave / convex pattern forming region 64 in the resin layer 63 to form a concave / convex pattern. In this case, since a substantially constant pressure was applied to the entire area of the concavo-convex pattern forming region 64 during pressing, as shown in the figure, the concavo-convex pattern forming region 64 of the resin layer 63 has a concave portion having a substantially uniform depth. (Protrusions having a substantially uniform height) are formed. Further, since the pressure is not concentrated on the outer peripheral portion 64b and the inner peripheral portion 64c of the concave / convex pattern forming region 64, the concave / convex pattern is peeled off when the outer peripheral portion 64b and the inner peripheral portion 64c are deformed or the stamper 24 is separated. Is reliably prevented.

なお、スタンパー24を用いて上記の凹凸パターン形成方法に従って形成した凹凸パターンを走査電子顕微鏡で観察した。また、この凹凸パターン形成方法と同様の条件下で、外側領域および内側領域に凸部を形成していないスタンパー(上記した従来のスタンパー41)を用いて形成した凹凸パターンを走査電子顕微鏡で観察した。この結果、スタンパー24を用いて形成した凹凸パターンでは、凹凸パターン形成領域64においてほぼ均一な深さの凹部(ほぼ均一な高さの凸部)が形成されていた。また、凹凸パターン形成領域64の外周部64bおよび内周部64cにおいて凹凸パターンの変形や剥離は確認できなかった。一方、スタンパー41を用いて形成した凹凸パターンでは、凹凸パターン形成領域の外周部および内周部における凹部が中央部の凹部よりも深く形成されていた。また、凹凸パターン形成領域の外周部および内周部において凹凸パターンの変形および剥離を確認した。以上の結果から、スタンパー24の外側領域27および内側領域28に凸部32を形成したことにより、凹部の深さ(凸部の高さ)がほぼ均一で変形や剥離のない凹凸パターンを形成できることが明らかである。   In addition, the uneven | corrugated pattern formed according to said uneven | corrugated pattern formation method using the stamper 24 was observed with the scanning electron microscope. In addition, under the same conditions as in this concavo-convex pattern forming method, the concavo-convex pattern formed using a stamper (noted with the above-described conventional stamper 41) having no convex portions formed in the outer region and the inner region was observed with a scanning electron microscope. . As a result, in the concavo-convex pattern formed using the stamper 24, concave portions (protrusions having substantially uniform height) having a substantially uniform depth were formed in the concavo-convex pattern forming region 64. In addition, deformation and peeling of the concavo-convex pattern could not be confirmed in the outer peripheral portion 64b and the inner peripheral portion 64c of the concavo-convex pattern forming region 64. On the other hand, in the concavo-convex pattern formed using the stamper 41, the concave portions in the outer peripheral portion and the inner peripheral portion of the concavo-convex pattern forming region are formed deeper than the concave portion in the central portion. Moreover, the deformation | transformation and peeling of the uneven | corrugated pattern were confirmed in the outer peripheral part and inner peripheral part of an uneven | corrugated pattern formation area. From the above results, by forming the convex portions 32 in the outer region 27 and the inner region 28 of the stamper 24, it is possible to form a concave / convex pattern in which the depth of the concave portion (the height of the convex portion) is substantially uniform and there is no deformation or peeling. Is clear.

次に、樹脂層63に形成した凹凸パターンを用いて、ディスク状基材61(磁性層72)にディスクリートトラック4を形成して磁気記録媒体3を製造する工程について説明する。   Next, a process for manufacturing the magnetic recording medium 3 by forming the discrete track 4 on the disk-shaped substrate 61 (magnetic layer 72) using the uneven pattern formed on the resin layer 63 will be described.

まず、樹脂層63における凹凸パターンの凹部に残存する樹脂材料を酸素プラズマ処理によって除去する。次に、凹凸パターン(凸部)をマスクとして用いて、金属エッチング用のガスを用いたエッチング処理を行う。この際に、図12に示すように、凹凸パターンの凹部における底面部分の金属層73が除去される。続いて、残存した金属層73をマスクとして用いて、磁性体用のガスを用いたエッチング処理を行う。これにより、図13に示すように、磁性層72における金属層73を除去した部位が削り取られる。次に、金属エッチング用のガスを用いたエッチング処理を行うことにより、残留した金属パターンを除去する。これにより、図14に示すように、スタンパー24における凸部31の配列ピッチと同ピッチの溝が磁性層72(ディスク状基材61)のトラック形成領域62に形成されて、その溝によって互いに分離された磁性層72、すなわちディスクリートトラック4が形成される。次いで、表面仕上げ処理を行う。この表面仕上げ処理では、まず、例えば酸化シリコンを溝に充填した後にCMP装置(ケミカル・メカニカル・ポリッシュ)を用いて表面を平坦化する。次に、平坦化した表面に例えばDLC(Diamond Like Carbon )で保護膜を形成し、最後に潤滑剤を塗布する。これにより、図15に示すように、磁気記録媒体3が完成する。この場合、樹脂層63の凹凸パターンにおける凹部の深さ(凸部の高さ)がほぼ均一なため、ディスクリートトラック4の高さ(トラックを分離する溝の深さ)もほぼ均一に形成される。また、凹凸パターン形成領域64の外周部64bおよび内周部64cにおいて変形や剥離が生じていないため、変形や欠落のないディスクリートトラック4が形成される。したがって、記録エラーの発生しない良好な磁気記録媒体3が製造される。   First, the resin material remaining in the recesses of the uneven pattern in the resin layer 63 is removed by oxygen plasma treatment. Next, an etching process using a metal etching gas is performed using the uneven pattern (convex portion) as a mask. At this time, as shown in FIG. 12, the metal layer 73 on the bottom surface in the concave portion of the concave-convex pattern is removed. Subsequently, using the remaining metal layer 73 as a mask, an etching process using a magnetic material gas is performed. Thereby, as shown in FIG. 13, the portion of the magnetic layer 72 from which the metal layer 73 has been removed is scraped off. Next, the remaining metal pattern is removed by performing an etching process using a metal etching gas. As a result, as shown in FIG. 14, grooves having the same pitch as the arrangement pitch of the protrusions 31 in the stamper 24 are formed in the track forming region 62 of the magnetic layer 72 (disk-like base material 61), and are separated from each other by the grooves. The magnetic layer 72 thus formed, that is, the discrete track 4 is formed. Next, a surface finishing process is performed. In this surface finishing treatment, first, for example, silicon oxide is filled in the groove, and then the surface is flattened by using a CMP apparatus (chemical mechanical polishing). Next, a protective film is formed on the flattened surface by, for example, DLC (Diamond Like Carbon), and finally a lubricant is applied. Thereby, as shown in FIG. 15, the magnetic recording medium 3 is completed. In this case, since the depth of the concave portion (the height of the convex portion) in the concave / convex pattern of the resin layer 63 is substantially uniform, the height of the discrete track 4 (depth of the groove separating the tracks) is also substantially uniform. . In addition, since no deformation or separation occurs in the outer peripheral portion 64b and the inner peripheral portion 64c of the concavo-convex pattern forming region 64, the discrete track 4 without deformation or omission is formed. Therefore, a good magnetic recording medium 3 in which no recording error occurs is manufactured.

このように、この凹凸パターン形成方法およびスタンパー24によれば、環状領域26に対して外側および内側にそれぞれ位置する外側領域27および内側領域28に凸部32を形成したことにより、スタンパー24を樹脂層63に押し当てる際に、その圧力を樹脂層63の凹凸パターン形成領域64、外周部65および内周部66に分散させることができるため、樹脂層63における凹凸パターン形成領域64の全域にほぼ一定の圧力を加えることができる結果、凹凸パターン形成領域64にほぼ均一な深さの凹部(ほぼ均一な高さの凸部)を形成することができる。また、凹凸パターン形成領域64の外周部64bおよび内周部64cに対する圧力の集中を確実に防止できるため、外周部64bおよび内周部64cにおける凹凸パターンの変形や剥離を確実に防止することができる。   As described above, according to the uneven pattern forming method and the stamper 24, the protrusions 32 are formed on the outer region 27 and the inner region 28 located on the outer side and the inner side of the annular region 26, respectively. When pressed against the layer 63, the pressure can be dispersed in the concave / convex pattern forming region 64, the outer peripheral portion 65 and the inner peripheral portion 66 of the resin layer 63. As a result of being able to apply a certain pressure, it is possible to form a concave portion (a convex portion having a substantially uniform height) having a substantially uniform depth in the concave / convex pattern forming region 64. Moreover, since concentration of pressure on the outer peripheral portion 64b and the inner peripheral portion 64c of the concave / convex pattern forming region 64 can be reliably prevented, deformation and peeling of the concave / convex pattern on the outer peripheral portion 64b and the inner peripheral portion 64c can be reliably prevented. .

また、この凹凸パターン形成方法およびスタンパー24によれば、外側領域27および内側領域28の双方に凸部32を形成したことにより、樹脂層63に押し当てる際に加わる圧力を外周部65および内周部66の双方に分散させることができるため、外側領域27および内側領域28の一方だけに凸部32を形成したスタンパーを用いる方法と比較して凹凸パターン形成領域64に圧力をさらに均一に加えることができる結果、凹部の深さをさらに均一にすることができる。   Moreover, according to this uneven | corrugated pattern formation method and the stamper 24, since the convex part 32 was formed in both the outer side area | region 27 and the inner side area | region 28, the pressure added when pressing on the resin layer 63 is applied to the outer peripheral part 65 and inner peripheral part. Since it can be dispersed in both of the portions 66, the pressure is applied more uniformly to the concavo-convex pattern forming region 64 as compared with the method using the stamper in which the convex portion 32 is formed only in one of the outer region 27 and the inner region 28. As a result, the depth of the recess can be made more uniform.

さらに、この凹凸パターン形成方法およびスタンパー24によれば、凸部31と同形状でかつ同ピッチで凸部32を形成することにより、凸部31,32を形成するための凹凸パターンを形成する際に、例えば電子ビームリソグラフィ装置を用いて樹脂層25aに同一の条件で連続してパターンを描画することができる。したがって、スタンパー24の作製に要する時間を短縮することができるため、スタンパー24の作製コストを低減することができる。   Furthermore, according to this method for forming an uneven pattern and the stamper 24, when forming an uneven pattern for forming the protrusions 31, 32 by forming the protrusions 32 in the same shape and pitch as the protrusions 31. In addition, for example, a pattern can be continuously drawn on the resin layer 25a under the same conditions using an electron beam lithography apparatus. Therefore, since the time required for manufacturing the stamper 24 can be shortened, the manufacturing cost of the stamper 24 can be reduced.

また、この磁気記録媒体3によれば、上記の凹凸パターン形成方法によって樹脂層63に形成した凹凸パターンを用いてディスクリートトラック4を形成したことにより、その凹凸パターンにおける凹部の深さ(凸部の高さ)がほぼ均一のため、その高さ(トラックを分離する溝の深さ)がほぼ均一なディスクリートトラック4を形成することができる。また、樹脂層63の凹凸パターンにおける凹凸パターン形成領域64の外周部64bおよび内周部64cにおいて変形や剥離が生じていないため、変形や欠落のないディスクリートトラック4を形成することができる。したがって、記録時における記録エラーの発生を確実に防止することができる。   Further, according to the magnetic recording medium 3, the discrete track 4 is formed using the concave / convex pattern formed on the resin layer 63 by the above-described concave / convex pattern forming method, so that the depth of the concave portion (the convex portion of the convex portion) is formed. Since the height) is substantially uniform, the discrete track 4 having a substantially uniform height (depth of the groove separating the tracks) can be formed. In addition, since no deformation or separation occurs in the outer peripheral portion 64b and the inner peripheral portion 64c of the concave / convex pattern forming region 64 in the concave / convex pattern of the resin layer 63, the discrete track 4 without deformation or omission can be formed. Therefore, it is possible to reliably prevent the occurrence of a recording error during recording.

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、外側領域27および内側領域28の両者に凸部32を形成したスタンパー24を採用した構成例について上記したが、外側領域27にのみ凸部32を形成したスタンパーを採用することもできる。   In addition, this invention is not limited to said structure. For example, although the configuration example in which the stamper 24 in which the convex portion 32 is formed in both the outer region 27 and the inner region 28 is described above, a stamper in which the convex portion 32 is formed only in the outer region 27 can also be employed.

また、外側領域27の全域および内側領域28の全域に凸部32を形成した構成例について上記したが、図16に示すように、例えば、環状領域26の外周側(または内周側)の縁部に凸部32を形成しない部位を所定幅分だけ設けたスタンパー81を採用することもできる。この構成であっても、スタンパー81を樹脂層63に押し当てた際に、樹脂層63の凹凸パターン形成領域64、外周部65および内周部66に圧力を分散させることができるため、凹部の深さがほぼ均一な凹凸パターンを形成することができる。また、凸部32を形成する面積を少なくすることができるため、スタンパー81の作製に際して、加工面積をその分だけ少なくすることができる。したがって、スタンパー81の加工コストを低減させることができる結果、磁気記録媒体3の製造コストも低減させることができる。   Further, the configuration example in which the convex portions 32 are formed in the entire area of the outer area 27 and the entire area of the inner area 28 has been described above. However, as shown in FIG. 16, for example, the outer peripheral side (or inner peripheral side) edge of the annular area 26 It is also possible to employ a stamper 81 in which a portion where the convex portion 32 is not formed is provided for a predetermined width. Even in this configuration, when the stamper 81 is pressed against the resin layer 63, the pressure can be distributed to the concave / convex pattern forming region 64, the outer peripheral portion 65, and the inner peripheral portion 66 of the resin layer 63. An uneven pattern having a substantially uniform depth can be formed. Further, since the area for forming the convex portion 32 can be reduced, the processing area can be reduced by that much when the stamper 81 is manufactured. Therefore, as a result of reducing the processing cost of the stamper 81, the manufacturing cost of the magnetic recording medium 3 can also be reduced.

さらに、凸部31,31・・を環状領域26に同心円状に形成したスタンパー24を例に挙げて説明したが、凸部を螺旋状に形成したスタンパーに本発明を適用することもできる。この場合、外側領域27および内側領域28のいずれか一方または双方に同心円状の凸部32を形成することができるし、同心円状の凸部32に代えて螺旋状の凸部を外側領域27および内側領域28のいずれか一方または双方に形成することもできる。また、この螺旋状の凸部を外側領域27および内側領域28のいずれか一方に形成し、同心円状の凸部をいずれか他方に形成することもできる。また、凸部31と同形状で同ピッチの凸部32を外側領域27および内側領域28に形成する例について説明したが、本発明はこれに限定されず、他の形状の凸部を形成することもできる。また、凸部31とは異なるピッチで凸部(本発明における圧力分散用凸部に相当する)32を形成することもできる。この場合、例えば、外側に向かうに従ってその幅が広くなる凸部を外側領域27や内側領域28に形成することもできる。 In addition, the stamper 24 in which the convex portions 31, 31... Are formed concentrically in the annular region 26 has been described as an example, but the present invention can also be applied to a stamper in which the convex portions are formed in a spiral shape. In this case, a concentric convex portion 32 can be formed in one or both of the outer region 27 and the inner region 28, and a spiral convex portion is replaced with the outer region 27 and the concentric convex portion 32. It can also be formed in either or both of the inner regions 28. In addition, this spiral convex portion can be formed in one of the outer region 27 and the inner region 28, and the concentric convex portion can be formed in either one. Moreover, although the example which forms the convex part 32 of the same shape and the same pitch as the convex part 31 in the outer side area | region 27 and the inner side area | region 28 was demonstrated, this invention is not limited to this, The convex part of another shape is formed. You can also. Further, the protrusions 32 ( corresponding to the pressure dispersion protrusions in the present invention) 32 can be formed at a different pitch from the protrusions 31. In this case, for example, convex portions whose width increases toward the outside can be formed in the outer region 27 and the inner region 28.

塗布装置1の構成を示すブロック図である。1 is a block diagram illustrating a configuration of a coating apparatus 1. FIG. 樹脂層63を形成したディスク状基材61の断面図である。It is sectional drawing of the disk-shaped base material 61 in which the resin layer 63 was formed. 転写装置2の構成を示すブロック図である。2 is a block diagram showing a configuration of a transfer device 2. FIG. スタンパー24の平面図である。3 is a plan view of a stamper 24. FIG. スタンパー24の断面図である。3 is a cross-sectional view of a stamper 24. FIG. 樹脂層25aを形成した基材25の断面図である。It is sectional drawing of the base material 25 in which the resin layer 25a was formed. 樹脂層25aに凹凸パターンを形成した基材25の断面図である。It is sectional drawing of the base material 25 which formed the uneven | corrugated pattern in the resin layer 25a. ニッケル層25bを形成した基材25の断面図である。It is sectional drawing of the base material 25 in which the nickel layer 25b was formed. リフトオフ処理を行った状態の基材25の断面図である。It is sectional drawing of the base material 25 of the state which performed the lift-off process. 樹脂層63にスタンパー24を押し当てた状態の断面図である。6 is a cross-sectional view of a state in which a stamper 24 is pressed against a resin layer 63. FIG. 凹凸パターンを樹脂層63に形成したディスク状基材61の断面図である。6 is a cross-sectional view of a disk-shaped substrate 61 in which a concavo-convex pattern is formed on a resin layer 63. 樹脂層63に形成された凹凸パターンにおける凹部の底面部分の金属層73を除去した状態のディスク状基材61の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the disk-shaped substrate 61 in a state in which the metal layer 73 is removed from the bottom surface portion of the concave portion in the concave-convex pattern formed on the resin layer 63. 磁性層72にエッチング処理を施した状態のディスク状基材61の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a disk-shaped substrate 61 in a state where an etching process is performed on a magnetic layer 72. 磁性層72にディスクリートトラック4を形成した状態のディスク状基材61の断面図である。4 is a cross-sectional view of a disk-shaped substrate 61 in a state where a discrete track 4 is formed on a magnetic layer 72. FIG. 磁気記録媒体3の断面図である。2 is a cross-sectional view of a magnetic recording medium 3. FIG. スタンパー81の断面図である。3 is a cross-sectional view of a stamper 81. FIG. 従来のスタンパー41の平面図である。It is a top view of the conventional stamper 41. FIG. スタンパー41の断面図である。4 is a cross-sectional view of a stamper 41. FIG. 樹脂層103にスタンパー41を押し当てた状態の断面図である。3 is a cross-sectional view of a state in which a stamper 41 is pressed against a resin layer 103. FIG. スタンパー41で樹脂層103に凹凸パターンを形成したディスク状基材101の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a disk-shaped substrate 101 in which an uneven pattern is formed on a resin layer 103 with a stamper 41. 従来の磁気記録媒体91の断面図である。6 is a cross-sectional view of a conventional magnetic recording medium 91. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

3 磁気記録媒体
4 ディスクリートトラック
24,81 スタンパー
26 環状領域
27 外側領域
28 内側領域
31,32 凸部
61 ディスク状基材
63 樹脂層
Reference Signs List 3 Magnetic recording medium 4 Discrete track 24, 81 Stamper 26 Annular region 27 Outer region 28 Inner region 31, 32 Convex portion 61 Disc-shaped substrate 63 Resin layer

Claims (6)

基材表面の樹脂層に押し当てることによって当該樹脂層に凹凸パターンを形成可能な凹凸パターン形成用凸部がその表面における所定の環状領域に形成され、
前記樹脂層に対する押し当ての際の圧力を分散可能な圧力分散用凸部が前記環状領域に対して外側に位置する外側領域に形成され、当該圧力分散用凸部は、前記凹凸パターン形成用凸部とは異なるピッチで、かつ外側に向かうに従ってその幅が広くなるように形成されている凹凸パターン形成用スタンパー。
Convex / concave pattern forming convex portions capable of forming a concave / convex pattern on the resin layer by pressing against the resin layer on the substrate surface are formed in a predetermined annular region on the surface,
A pressure distribution convex portion that can disperse the pressure at the time of pressing against the resin layer is formed in an outer region located outside the annular region, and the pressure distribution convex portion is formed on the convex / concave pattern forming convex portion. uneven pattern forming stamper is formed so that its width increases in accordance with a different pitch, and toward the outside from the parts.
前記環状領域は、磁気記録媒体のトラック形成領域とほぼ同一の大きさに規定されている請求項1記載の凹凸パターン形成用スタンパー。   2. The concave / convex pattern forming stamper according to claim 1, wherein the annular region is defined to have substantially the same size as a track forming region of the magnetic recording medium. 前記樹脂層に対する押し当ての際の圧力を分散可能な圧力分散用凸部が前記環状領域に対して内側に位置する内側領域に形成されている請求項1または2記載の凹凸パターン形成用スタンパー。 Convex pattern formed stamper according to claim 1 or 2, wherein are made form the inner region located inwardly relative convexity dispersible pressure distribution is the annular area of pressure during pressing against the resin layer . 前記内側領域の前記圧力分散用凸部は、前記凹凸パターン形成用凸部と同形状またはほぼ同形状に形成されている請求項3記載の凹凸パターン形成用スタンパー。 4. The concave / convex pattern forming stamper according to claim 3, wherein the pressure distribution convex portion in the inner region is formed in the same shape or substantially the same shape as the convex / concave pattern forming convex portion. 基材表面に樹脂層を形成し、請求項1から4のいずれかに記載の凹凸パターン形成用スタンパーにおける前記凹凸パターン形成用凸部を前記樹脂層に押し当てることによって当該樹脂層に凹凸パターンを形成する凹凸パターン形成方法。   A resin layer is formed on the surface of the substrate, and the uneven pattern is formed on the resin layer by pressing the uneven pattern forming convex portion in the uneven pattern forming stamper according to claim 1 against the resin layer. An uneven pattern forming method to be formed. 請求項5記載の凹凸パターン形成方法に従って形成された前記凹凸パターンを用いてデータ記録用トラックが形成されている磁気記録媒体。   A magnetic recording medium on which a data recording track is formed using the concavo-convex pattern formed according to the concavo-convex pattern forming method according to claim 5.
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Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101126845B1 (en) * 2003-05-19 2012-03-28 도레이 카부시키가이샤 Support having selectively bonding substance fixed thereto
JP2005044390A (en) * 2003-07-22 2005-02-17 Tdk Corp Manufacturing method of magnetic recording medium, stamper for magnetic recording medium, and intermediate for magnetic recording medium
JP4601980B2 (en) * 2004-03-25 2010-12-22 Tdk株式会社 Information recording medium
JP4058425B2 (en) * 2004-06-10 2008-03-12 Tdk株式会社 Stamper, imprint method, and information recording medium manufacturing method
JP2006099930A (en) * 2004-09-01 2006-04-13 Tdk Corp Information recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper
JP4487848B2 (en) * 2004-09-01 2010-06-23 Tdk株式会社 Information recording medium, recording / reproducing apparatus, and stamper
JP4077437B2 (en) * 2004-09-16 2008-04-16 Tdk株式会社 Information recording medium and recording / reproducing apparatus
JP4197689B2 (en) * 2004-09-24 2008-12-17 Tdk株式会社 Information recording medium, recording / reproducing apparatus, and stamper
JP4519668B2 (en) * 2005-01-31 2010-08-04 株式会社東芝 Patterned magnetic recording medium, stamper for producing patterned magnetic recording medium, method for manufacturing patterned magnetic recording medium, and magnetic recording / reproducing apparatus
JP3918003B2 (en) * 2005-03-10 2007-05-23 Tdk株式会社 Magnetic recording medium, recording / reproducing apparatus, and stamper
JP4649262B2 (en) * 2005-04-19 2011-03-09 株式会社東芝 Method for manufacturing magnetic recording medium
JP4552743B2 (en) * 2005-04-28 2010-09-29 Tdk株式会社 Information recording medium, recording / reproducing apparatus, and stamper
US7771852B2 (en) * 2005-06-09 2010-08-10 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Magnetic recording disk with patterned nondata islands of alternating polarity
JP5103712B2 (en) * 2005-06-16 2012-12-19 富士通株式会社 Method for producing nanohole structure
JP2007035164A (en) * 2005-07-27 2007-02-08 Toshiba Corp Uneven pattern substrate, its manufacturing method, magnetic recording medium, and magnetic recording device
JP5266615B2 (en) * 2006-01-18 2013-08-21 Tdk株式会社 Stamper, uneven pattern forming method, and information recording medium manufacturing method
JP2007261252A (en) * 2006-02-28 2007-10-11 Tdk Corp Protruded pattern forming method and information recording medium manufacturing method
JP4585476B2 (en) * 2006-03-16 2010-11-24 株式会社東芝 Patterned medium and magnetic recording apparatus
JP4675812B2 (en) * 2006-03-30 2011-04-27 株式会社東芝 Magnetic recording medium, magnetic recording apparatus, and method of manufacturing magnetic recording medium
WO2007136734A1 (en) * 2006-05-18 2007-11-29 Southwall Technologies, Inc. Fabrication of conductive micro traces using a deform and selective removal process
JP2007317310A (en) * 2006-05-26 2007-12-06 Tdk Corp Information medium
WO2008072319A1 (en) * 2006-12-13 2008-06-19 Pioneer Corporation Transfer die for recording medium fabrication
JP2008282512A (en) * 2007-05-14 2008-11-20 Toshiba Corp Magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing device
JP5473266B2 (en) * 2007-08-03 2014-04-16 キヤノン株式会社 Imprint method, substrate processing method, and semiconductor device manufacturing method by substrate processing method
JP5053007B2 (en) 2007-09-13 2012-10-17 富士フイルム株式会社 Imprint mold structure, imprint method using the imprint mold structure, and magnetic recording medium
JP4382843B2 (en) * 2007-09-26 2009-12-16 株式会社東芝 Magnetic recording medium and method for manufacturing the same
JP2009154407A (en) * 2007-12-27 2009-07-16 Tdk Corp Peeling apparatus, peeling method, and information recording medium manufacturing method
JP2009163783A (en) * 2007-12-28 2009-07-23 Tdk Corp Information recording medium, recording and reproducing device, and stamper
JP2009176352A (en) * 2008-01-23 2009-08-06 Showa Denko Kk Method of manufacturing magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device
JP5187144B2 (en) * 2008-11-07 2013-04-24 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 Manufacturing method of substrate for information recording medium
JP2010250869A (en) * 2009-04-10 2010-11-04 Toshiba Corp Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device
JP4823346B2 (en) 2009-09-24 2011-11-24 株式会社東芝 Template and pattern forming method
JP5284423B2 (en) * 2011-06-29 2013-09-11 株式会社東芝 Template and pattern forming method
TW201350355A (en) * 2012-06-01 2013-12-16 Hou-Fei Hu A character die, character embossing method for hand tool by using the same and its product

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01196749A (en) 1988-01-30 1989-08-08 Hoya Corp Manufacture of substrate for optical information recording medium
JP3230313B2 (en) 1993-01-14 2001-11-19 株式会社ニコン Method for producing patterned workpiece by reactive ion etching
KR100230244B1 (en) * 1995-01-24 1999-11-15 윤종용 Manufacturing method of multilayer optical recording medium and device using it
US5772905A (en) * 1995-11-15 1998-06-30 Regents Of The University Of Minnesota Nanoimprint lithography
US6482742B1 (en) 2000-07-18 2002-11-19 Stephen Y. Chou Fluid pressure imprint lithography
JPH10269562A (en) * 1997-03-21 1998-10-09 Sony Corp Magnetic disk substrate forming stamper, its manufacture, magnetic disk substrate and magnetic disk device
EP0872331A1 (en) * 1997-04-16 1998-10-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Stamper protecting layer for optical disk molding apparatus, optical disk molding apparatus and optical disk molding method using the stamper protecting layer
JPH10302256A (en) * 1997-04-25 1998-11-13 Sony Corp Molding die for disc substrate and production thereof
JPH10308020A (en) * 1997-05-06 1998-11-17 Sony Corp Mold for molding substrate for disk and its production
JP2000331333A (en) * 1999-05-21 2000-11-30 Sony Corp Metallic mold for forming disk substrate, manufacture of the same and manufacture of disk substrate
JP2001250217A (en) 2000-03-07 2001-09-14 Hitachi Maxell Ltd Information recording medium and its manufacturing method
MY124923A (en) * 2000-03-10 2006-07-31 Fuji Photo Film Co Ltd Master medium for magnetic transfer including metal disk with relief or recess pattern
JP2001312844A (en) * 2000-04-28 2001-11-09 Aitakku Kk Device for molding disk such as compact disk
JP3638513B2 (en) 2000-09-25 2005-04-13 株式会社東芝 Transfer apparatus and transfer method
JP3638514B2 (en) 2000-09-27 2005-04-13 株式会社東芝 Transfer device, transfer cartridge, and transfer method
US6787071B2 (en) * 2001-06-11 2004-09-07 General Electric Company Method and apparatus for producing data storage media
JP2002373411A (en) * 2001-06-15 2002-12-26 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium and drive apparatus thereof
JP2003006944A (en) 2001-06-22 2003-01-10 Hitachi Ltd Master disk of optical disk, optical disk substrate and method for producing the same
JP2003091887A (en) * 2001-09-20 2003-03-28 Tdk Corp Method of manufacturing multilayered optical recording medium and apparatus for manufacturing multilayered optical recording medium
JP3850718B2 (en) * 2001-11-22 2006-11-29 株式会社東芝 Processing method
JP2003203333A (en) * 2002-01-07 2003-07-18 Fuji Electric Co Ltd Method for manufacturing substrate for magnetic recording medium, method for manufacturing member for manufacturing the substrate, and member for manufacturing the substrate
JP4087119B2 (en) 2002-01-21 2008-05-21 シャープ株式会社 Optical disk substrate, optical disk stamper, optical disk, and optical disk master manufacturing method

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