JP4163880B2

JP4163880B2 - Differential pressure detector, flow meter and liquid level meter equipped with the differential pressure detector

Info

Publication number: JP4163880B2
Application number: JP2002059310A
Authority: JP
Inventors: 勝見清水; 文男海瀬; 正一阿部; 高志祢津
Original assignee: Nagano Keiki Co Ltd
Current assignee: Nagano Keiki Co Ltd
Priority date: 2002-03-05
Filing date: 2002-03-05
Publication date: 2008-10-08
Anticipated expiration: 2022-03-05
Also published as: JP2003254847A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力が異なる２箇所の圧力差を検出する差圧検出器、その差圧検出器を備えた流量計および液面計に関する。
【０００２】
【背景技術】
圧力が異なる２箇所の圧力差を検出する差圧検出器が知られており、この差圧検出器は、例えば、水やガス等の流体の流量測定や、タンクの液面測定等に用いられる。
図９には、内部に封入された封入液の圧力を検出する封入式差圧検出器９０の従来例が示されている。
この封入式差圧検出器９０は、圧力の異なる２箇所から被測定流体の圧力を受ける受圧部１１０と、この受圧部１１０の圧力差を検出する差圧検出部１２０とを有して構成されている。受圧部１１０は、取付部材９１に固定された本体９２を備え、この本体９２の両側面には、前記被測定流体の圧力をシールする第１、第２シールダイアフラム９７，９８が取り付けられている。また、本体９２の両側面には、各シールダイアフラム９７，９８に臨む凹部内に充満され、各シールダイアフラム９７，９８から圧力が伝達される第１、第２の封入液９９，１００が充満されている。
【０００３】
本体９２の第１シールダイアフラム９７の外側には、例えば高圧の圧力を導入する第１圧力導入部材（高圧用フランジ）９３が設けられ、第２シールダイアフラム９８の外側には、例えば低圧の圧力を導入する第２圧力導入部材（低圧用フランジ）９４が設けられている。
また、受圧部１１０と差圧検出部１２０とには、それぞれ高圧用パイプ９５および低圧用パイプ９６を介して封入液９９，１００が充満されている。
差圧検出部１２０は、端子受台１２１を備え、この端子受台１２１にセンサ台１２２を介してセンサ１２３が設けられており、端子受台１２１には、キャップ１２４が被せられている。キャップ１２４と端子受台１２１およびセンサ台１２２で形成される空間１３３には、高圧側の封入液９９が充満され、これに対して、低圧側の封入液１００は、パイプ９６からセンサ台１２２の空間１３３Ａに充満されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、封入式差圧検出器では、受圧部１１０における例えば第１の圧力である高圧側、第２の圧力である低圧側の封入液が同じ量でないと、温度変化による封入液の膨張等の影響で両者の正確な差圧を測定することが困難である。
従来の封入式差圧検出器では、高圧側、低圧側の封入液を同じ量とするために、センサ台１２２の高さを高くして、そのセンサ台１２２内の空間１３３Ａを大きくすることで、高圧側、低圧側の封入液９９，１００のバランスを図ろうとしている。しかし、高圧側では、高圧用パイプ９５において低圧用パイプ９６と同じ長さを除いた部分、すなわち逆Ｊ字状のパイプ部および空間１３３の分だけの封入液があるが、低圧側では、センサ台１２２にパイプ９６の径で形成された所定高さ寸法の空間１３３Ａの分しか封入液はない。このような状態で、高圧側、低圧側の封入液量をほぼ等しいものとするためには、センサ台１２２の高さをかなり高くしなければならず、そうすると、検出部１２０全体の高さも高くなり、差圧検出器の小型化を図れないという問題が生じる。
【０００５】
本発明の目的は、検出部の各部材を大きくすることなく第１の圧力、第２の圧力側の封入液の量をほぼ同じとすることができ、かつ、小型化を図れる差圧検出器を提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、第１の圧力、第２の圧力側の封入液の量がほぼ同じとなった差圧検出器を備えた流量計および液面計を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、所定の厚さを有する本体と、この本体の２側面に所定間隔をあけてそれぞれ周縁部を気密に固定された第１、第２のシールダイアフラムと、前記本体と前記第１、第２のシールダイアフラムとの間に形成された隙間内に充満され、各シールダイアフラムを介して第１、第２の圧力がそれぞれ伝達される第１、第２の封入液と、前記第１のシールダイアフラムに対向して設けられ当該第１のシールダイアフラムに前記第１の圧力を導入する第１圧力導入部材と、前記第２のシールダイアフラムに対向して設けられ前記第２の圧力を導入する第２圧力導入部材と、前記第１、第２の封入液の圧力差を検出する検出部と、を備えた差圧検出器であって、前記第１、第２の封入液は、それぞれ第１、第２のパイプを介して前記検出部にまで充満され、前記第１、第２の封入液の容積が、前記第１の圧力側と第２の圧力側とでほぼ同じとなるように、前記第１、第２のパイプの内径が異なった大きさに設定され、前記検出部は、センサを取り付けるための台座を有し、前記台座において、前記第１、第２のパイプは、それぞれの端部がガラスを用いて絶縁シールされて接続されていることを特徴とする差圧検出器である。
【０００８】
このような本発明によれば、第１のパイプおよび第２のパイプの内径を異なった大きさに設定するだけで、第１の圧力側と第２の圧力側との封入液量をほぼ同じとすることができる。また、検出部の各部材を大きくしなくてもすむので、差圧検出器の小型化を図れるようになる。
【０００９】
以上の本発明において、被測定流体とは、水、溶液等の液体や、ガス、エア等の気体を含むものである。また、封入液としては、非圧縮性流体である例えばシリコンオイルを使用することが好ましいが、シリコンオイルと同等の効果を得ることができるものであれば、他のものを使用してもよい。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の差圧検出器を備えていることを特徴とする流量計である。
このような本発明によれば、差圧検出器で圧力の異なる２箇所の位置の圧力を検出し、この検出値に基づいて流量を計測することができるので、水、溶液等の配管や、ガス管等の流量の測定が容易となる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の差圧検出器を備えたことを特徴とする液面計である。
このような本発明によれば、差圧検出器で圧力の異なる２箇所の位置の圧力を検出し、この検出値に基づいて液面を計測することができるので、各種プロセス等における密閉タンク等の液面の測定が容易となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜５には、第１実施形態の差圧検出器１が示されている。
この差圧検出器１は、異なる２箇所の場所における被測定流体の圧力を受ける受圧部１０と、この受圧部１０の圧力差を検出する差圧検出部４０とを有して構成されている。
【００１４】
受圧部１０は、例えば板状の取付部材１１に固定された本体１２と、この本体１２の両側面のうち、一方側の外側に対向して設けられる第１圧力導入部材である高圧用フランジ１３と、本体１２の他方側の外側に対向して設けられる第２圧力導入部材である低圧用フランジ１４と、を備えて構成されている。
取付部材１１の対向面（裏面）１１Ａ側には、本体１２と、高圧用フランジ１３および低圧用フランジ１４が配置され、取付部材１１の表面側には、前記差圧検出部４０が配置されている。
【００１５】
本体１２は、例えば、所定厚さの円柱部材で形成されている。この本体１２において高圧用フランジ１３側の側面には、所定深さ寸法の隙間を形成する凹部１５が形成されており、この凹部１５内には、後にも言及する第１の封入液である高圧用封入液１７が充満されている。また、本体１２において低圧用フランジ１４側の側面には所定深さ寸法の隙間を形成する凹部１６が形成されており、この凹部１６内には、後にも言及する第２の封入液である低圧用封入液１８が充満されている。これらの封入液１７，１８としては、例えば、非圧縮性流体であるシリコンオイルが使用されている。
【００１６】
本体１２の凹部１５の外周縁部には、当該凹部１５に対向して第１のシールダイアフラムとしての高圧用シールダイアフラム１９が配置され、このシールダイアフラム１９の周縁部は、凹部１５の周囲と気密に溶接されている。これにより、シールダイアフラム１９は、前記被測定流体をシールするとともに凹部１５内の高圧用封入液１７に圧力を伝達することができるようになっている。
また、本体１２の凹部１６の外周縁部には、上記と同じように、凹部１６を塞ぎ、かつ、内部に封入された低圧用封入液１８に被測定流体の圧力を伝達する第２のシールダイアフラムとしての低圧用シールダイアフラム２０が溶接により気密に取り付けられている。
これらのシールダイアフラム１９，２０は、ステンレス等の金属薄板製とされ、封入液１７，１８の温度上昇による膨張方向の変位、凹部方向の変位に対し、測定差圧に影響を与えないように、高圧側、低圧側の剛性を低くし、かつ、そのバランスをとるように設定されている。
【００１７】
本体１２の高圧用フランジ１３側内部には、高圧用封入液導通路２１が設けられ、この高圧用封入液導通路２１は、第１通路２１Ａと、第２通路２１Ｂとを含み構成されている。第１通路２１Ａの一端は、本体１２の一部に外側に向けて形成された高圧用封入液導入口２１Ｃに連通するとともに、他端は、凹部１５に連通し、第２通路２１Ｂの一端は、本体１２の一部に差圧検出部４０に向けて形成された出口２１Ｄに連通するとともに、他端は、凹部１５に連通している。そして、このような第１通路２１Ａと、第２通路２１Ｂ内には前記高圧用封入液１７が充満されている。
【００１８】
本体１２の低圧用フランジ１４側内部には、低圧用封入液導通路２２が設けられ、この低圧用封入液導通路２２は、第１通路２２Ａと、第２通路２２Ｂとを含み構成されている。第１通路２２Ａの一端は、本体１２の一部に外側に向けて形成された低圧用封入液導入口２２Ｃに連通するとともに、他端は、凹部１６に連通し、第２通路２２Ｂの一端は、本体１２の一部に差圧検出部４０に向けて形成された出口２２Ｄに連通するとともに、他端は、凹部１６に連通している。そして、このような第１通路２２Ａと、第２通路２２Ｂ内には前記低圧用封入液１８が充満されている。
なお、各封入液導入口２１Ｃ，２２Ｃには、凹部１５，１６等所定の部位に必要な量の封入液１７，１８が充満された後、例えば鋼球２３が押し込まれ、封入液１７，１８が漏れ出さないようになっている。
【００１９】
また、本体１２の高圧用フランジ１３側の側面には、シールダイアフラム１９の外側に、Ｏリング溝２４が形成されるとともに、このＯリング溝２４内に弾性シール部材であるＯリング２５が装着され、本体１２の低圧用フランジ１４側の側面には、シールダイアフラム２０の外側に、Ｏリング溝２６が形成されるとともに、このＯリング溝２６内にＯリング２７が装着されている。
このようなＯリング２５，２７は、高圧用フランジ１３と低圧用フランジ１４のシール面１３Ａ，１４Ａ（図５参照）と、Ｏリング溝２４，２６によって潰され、所定のシール面圧で各シール面１３Ａ，１４Ａと接触することにより、被測定流体をシールするようになっている。
【００２０】
このような本体１２と取付部材１１との固定は、図３に示すように、取付部材１１の所定の位置にバーリング加工を施して円筒部１１Ｂを形成し、この円筒部１１Ｂを、本体１２の一部に形成された平坦部に当接させ、かつ、溶接して行われている。
【００２１】
本体１２は、前述のように、高圧用フランジ１３と低圧用フランジ１４の間に配置されており、各フランジ１３，１４は、図１に示すように、スペーサ部材３０を介してボルト３１の締め付けにより本体１２に固定されている。
図２，５に示すように、各フランジ１３，１４は、直方体状に形成されている。この直方体状の二辺は同一長さ寸法とされるとともに、残りの一辺は異なる長さ寸法とされており、同一長さ寸法の二辺に囲まれた面と直交する４面が、それぞれ対向面１３Ｆ，１４Ｆとなっている。
【００２２】
また、各フランジ１３，１４の四隅には、それぞれ対角線上にボルト穴１３Ｃ，１４Ｃと、ねじ穴１３Ｂ，１４Ｂとがあけられている。そして、スペーサ部材３０を、例えばフランジ１３のボルト穴１３Ｃとフランジ１４のねじ穴１４Ｂとの位置に合わせ、フランジ１３のボルト穴１３Ｃからボルト３１をスペーサ部材３０に差し込み、フランジ１４のねじ穴１４Ｂに螺合させて各フランジ１３，１４同士を結合し、これらのフランジ１３，１４と本体１２とを固定するようになっている。
このとき、フランジ１３，１４の前記対向面１３Ｆ、１４Ｆと取付部材１１の前記対向面１１Ａとは、Ｌ寸法の隙間となっており、この隙間Ｌは、例えば０．５ｍｍ以内の微小な寸法の間隔となるように設定されている。
【００２３】
また、図１に示すように、高圧用フランジ１３と低圧用フランジ１４との間隔Ｈ１はスペーサ部材３０の長さによって決められ、この間隔Ｈ１、つまり、スペーサ部材３０の長さは、本体１２の幅Ｈ２より大きく、例えば、０．０５〜０．２ｍｍ大きく設定されている。
その結果、本体１２と高圧用フランジ１３および低圧用フランジ１４とは直接接触せず、それぞれ弾性シール部材であるＯリング２５，２７を介して取り付けられており、これにより、本体１２は、フローティング状態で支持されていることになる。
【００２４】
各フランジ１３，１４には、図３に示すように、それぞれ、被測定流体の第１の圧力である高圧の圧力を導入する圧力導入口１３Ｄ、第２の圧力である低圧の圧力を導入する圧力導入口１４Ｄが設けられ、さらに、常時は閉止され、必要時に開放されるドレン排出口１４Ｇ（図２参照）が設けられている。また、各フランジ１３，１４の内面の四隅には、フランジ１３，１４を裏面から見た図５に詳細を示すように、スペーサ部材３０を取り付ける際のガイドとなる２本ずつのスペーサガイド１３Ｅ，１４Ｅがそれぞれ設けられている。これらのスペーサガイド１３Ｅ，１４Ｅは、所定高さに形成され、フランジ１３，１４の端面から、ボルト穴１３Ｃまたはねじ穴１３Ｂを囲うように、それぞれ、シール面１３Ａ，１４Ａ近傍まで延びている。ただし、各スペーサガイド１３Ｅ，１４Ｅは、本体１２とは干渉（接触）しないようになっている。
なお、各スペーサガイド１３Ｅ，１４Ｅは、対向面１３Ｆ、１４Ｆと平行になっていてもよいし、互いの先端が近づくように斜めに設けられていてもよい。
【００２５】
ここで、ボルト３１の固定力は、例えば、Ｍ４サイズのねじが４本ある場合、６０００〜１００００Ｎであり、この力が、スペーサ部材３０とＯリング２５，２７とを圧縮する力となる。
一方、Ｏリング２５，２７のつぶし力は、Ｏリング２５，２７の外径が例えば２８ｍｍの場合、５０〜１００Ｎであり、ボルト３１の固定力からＯリングのつぶし力を差し引いた残りの力が、スペーサ部材３０を圧縮する力となる。従って、本体１２にかかる力も５０〜１００Ｎとなり、この力は、従来の、ボルトでフランジを締め付けて固定する方法に比較して約１／８０に低減されている。このため、本体１２の歪みは無視してもよいほど小さくなり、また、締め付け場所による加重の差がなくなるので、フランジ１３，１４の締め付けによる本体１２の歪み、さらには、これに基づく測定値の出力変化がなくなる。
【００２６】
前記差圧検出部４０は、図３，４に示すように、台座としてのハーメチック台座４１と、このハーメチック台座４１に接着等で取り付けられるセンサ台４２と、このセンサ台４２に接着等により取り付けられたセンサ４３と、センサ台４２およびセンサ４３を覆うとともに高圧側を密閉し、かつ、ハーメチック台座４１に設けられたキャップ４４とを含んで構成され、この差圧検出部４０で検出された検出値は、その検出値を所定の出力信号に変換する回路部５２に送られるようになっている。この回路部５２は、例えば金属板、又はガラスエポキシ等から構成された基板５５、コネクタ５９等を含み構成され、回路部５２からの出力信号は、表示装置６０に送出され、表示されるようになっている。
【００２７】
差圧検出部４０は、細径の高圧用パイプ４５および大径の低圧用パイプ４６により本体１２に支持されている。
すなわち、高圧用パイプ４５の一端（センサ４３側）は、ハーメチック台座４１を貫通し、センサ台４２にあけられた封入液導通路４２Ａの途中まで差し込まれ、高圧用パイプ４５の他端は、スリーブ４７に挿通されるとともに、本体１２にあけられた前記第２通路２１Ｂの出口２１Ｄの途中まで差し込まれている。なお、上記封入液導通路４２Ａは、キャップ４４とセンサ台４２とで形成された空間５３に臨んでいる。そして、前記高圧用封入液１７は、前記第１通路２１Ａ、凹部１５、第２通路２１Ｂ、パイプ４５の内部、封入液導通路４２Ａおよび空間５３内に充満され、これにより、センサ４３の一端側に高圧用封入液１７が充満されていることになる。
【００２８】
一方、低圧用パイプ４６の一端は、前記ハーメチック台座４１を貫通し、センサ台４２の下端に密着され、他端は、スリーブ４８に挿通されるとともに、本体１２にあけられた前記第２通路２２Ｂの出口２２Ｄの途中まで差し込まれている。
また、パイプ４６の一端とセンサ４３との間には、センサ台４２および受台５４に囲まれた空間５３Ａが形成されている。そして、前記低圧用封入液１８は、前記第１通路２２Ａ、凹部１６、第２通路２２Ｂ、パイプ４６の内部および空間５３Ａ内に充満され、これにより、センサ４３の他端側に低圧用封入液１８が充満されていることになる。
【００２９】
スリーブ４７，４８の先端は、本体１２から取付部材１１を越える高さに形成され、一方、基端は本体１２の所定位置に例えばプロジェクション溶接により取り付けられている。スリーブ４７，４８の取付部材１１側端部の内径は、パイプ４５，４６を挿通させた後、これらのパイプ４５，４６とスリーブ４７，４８とを固定するためロウ付けされ、高圧側、低圧側の封入液１７，１８が、本体１２の各出口２１Ｄ、２２Ｄと各パイプ４５，４６との間から漏出することがないようになっている。なお、各スリーブ４７，４８の内径開口部は、ロウ付けしやすいようにサラ穴状に形成されている。
【００３０】
ハーメチック台座４１において、高圧用パイプ４５、低圧用パイプ４６および、センサ４３の静電容量変化を回路部５２に送信する電極４９等は、ガラス５０を用いて絶縁シール（ハーメチックシール）されている。また、センサ４３と電極４９とは、金線５１で接続されており、センサ４３からの静電容量変化は、外部にある上記回路部５２で所定の信号に増幅し、かつ、変換し、その値を表示装置６０で表示できるようになっている。
なお、電極４９は複数本設けられ、各電極４９は、センサ４３およびハーメチック台座４１の決められた所定の場所をそれぞれ回路部５２に接続する。
【００３１】
センサ４３は、前述のように、圧力の変化を静電容量の変化で検出するものであり、センサ台４２の内部に嵌め込まれた受台５４の上に接着等で設けられている。また、センサ４３は、図４に詳細を示すように、可動電極部（ダイヤフラム）を有するシリコン部材５６と、このシリコン部材５６を両側から挟み込むとともに、ガラス等の絶縁材で形成された固定電極部材５７，５８とを含み構成され、上記可動電極部に向けて高圧用封入液１７および低圧用封入液１８を導通させる導通穴５７Ａ、５８Ａが、中心とその周囲に複数個設けられている。
そのため、例えば高圧用封入液１７に押圧されて、可動電極部が低圧側固定電極部材５８の平面部に張り付くことがあるが、この場合、次に低圧用封入液１８が可動電極部に向けて送り込まれようとしたとき、上述の張り付き力が大きく、中心の導通穴５８Ａから送り込めないときでも、周囲の導通穴５８Ａから送り込めるので、可動電極部の正常な作動を確保し、センサ４３の正常な測定が確保される。
なお、このような差圧検出部４０を覆うケース５が前記取付部材１１に取り付けられている。
【００３２】
差圧検出部４０での正確な差圧検出のためには、高圧側と低圧側とで封入液量が等しくなっていることが必要である。
そのため、本実施形態では、高圧用パイプ４５と低圧用パイプ４６との内径は異なった太さに形成されている。
すなわち、差圧検出部４０内における高圧側の封入液１７が封入される空間５３と、低圧側の封入液１８が封入される空間５３Ａとでは、その容積が異なり、高圧側の空間５３の方が大きい。そのため、もし、長さがほぼ等しい高圧用パイプ４５と低圧用パイプ４６との内径の太さを等しくすると、低圧用封入液１８の封入液量が少なくなってしまう。そこで、差圧検出部４０における高圧側の空間５３内の封入液量と、低圧側における空間５３Ａ内の封入液量との差と等しい量だけ、高圧用パイプ４５は低圧用パイプ４６に比較して内容積が小さくなるように内径が細く設定されている。その結果、高圧用パイプ４５内の封入液量と高圧側の空間５３内の封入液量とを合計した高圧側の封入液量は、低圧用パイプ４６内の封入液量と低圧側の空間５３Ａ内の封入液量とを合計した封入液量とほぼ等しくなる。
【００３３】
ここで、高圧用パイプ４５と低圧用パイプ４６との関係について説明する。
いま、高圧側と低圧側とにおいて、高圧用パイプ４５と低圧用パイプ４６との各パイプ内容積を除く部分の容積の差、つまり、高圧側空間５３や高圧側の封入液導通路４２Ａと、低圧側空間５３Ａや低圧側の導通路等と容積の差をＶｄ、
両パイプ４５，４６の長さが実質的に等しいとしてパイプ長さをＬｐ、
高圧用パイプ４５の断面積をＡｈ、
低圧用パイプ４６の断面積をＡｌとすると、高圧用パイプ４５と低圧用パイプ４６との内径は、
Ａｌ−Ａｈ＝Ｖｄ／Ｌｐ（１）式
で表される関係となるように設定される。
【００３４】
次に、シールダイアフラム１９，２０と、封入液１７，１８と、圧力および温度との相互関係を説明する。
シールダイアフラム１９，２０にそれぞれ被測定流体の圧力が加わると、これらの圧力は、それぞれ封入液１７，１８を介して、センサ４３の高圧側、低圧側に伝わり、その圧力差がセンサ４３によって検出される。
この際、圧力が加わったときのシールダイアフラム１９，２０自身の変位量はごく小さい。また、封入液１７，１８は、被圧縮性であるとはいえ、厳密にはわずかに圧縮性を有しているが、その圧縮率は小さく、測定に影響を及ぼす程のものではない。さらに、検出部４０におけるセンサ４３の可動電極部（ダイヤフラム）の容量変化は極めて小さく、無視できる程度のものである。
一方、温度による封入液の膨張は１℃あたり０．１％あり、封入液量が、例えば２００μＬの場合、５０℃の温度変化によって１０μＬの液量変化となる。
従って、高圧側、低圧側の封入液量の熱膨張による圧力変化は、シールダイアフラム１９，２０の剛性を１ＫＰａあたり１５μＬとすると、約６７０Ｐａになる。そのため、高圧側、低圧側の封入液量の差を、例えば１０％とすると、５０℃の温度変化のとき、高圧側、低圧側では６７Ｐａの圧力差が生じてしまうことになり、正確な圧力測定に大きな影響を及ぼす。
【００３５】
以上の説明からわかるように、封入液量は高圧側と低圧側とでできるだけ同じとなるようにする必要がある。
本願発明では、前記（１）式で表される関係となるように、高圧用パイプ４５と低圧用パイプ４６の断面積に差を持たせることで、高圧側と低圧側の封入液量に差がないように構成されている。
【００３６】
前記表示装置６０は、前述のようにケース５に設けられており、図６に示すように、演算部６１と、メモリ部６２と、表示部６３と、スイッチ部６４とを有している。
そして、スイッチ部６４を押すと、前記回路部５２から送られる電気信号を、演算部６１で、メモリ部６２に記憶された電気信号と差圧との対応表に基づいて表示値に演算し、その結果を表示部６３に表示させるようになっている。
【００３７】
このような本実施形態によれば、次のような効果がある。
【００３８】
(1) 第１のパイプである高圧用パイプ４５の内径を、第２のパイプである低圧用パイプ４６の内径に比較して内容積が小さくなるように細く設定するだけで、高圧側の封入液量と低圧側の封入液量とをほぼ同じとすることができるので、高圧側の空間５３の容積と等しい容積を確保するために、低圧側の空間５３Ａを拡げたりせずにすむ。その結果、センサ台４２を大きくしたり、高くしたりせずにすみ、差圧検出部４０、ひいては差圧検出器１の小型化を図れる。
【００３９】
(2) 高圧用パイプ４５および低圧用パイプ４６は、その他端一部が、それぞれスリーブ４７，４８内に挿通されるとともに、端部は本体１２内の第２通路２１Ｂの出口２１Ｄ、第２通路２２Ｂの出口２２Ｄに差し込まれ、さらに、スリーブ４７，４８は本体１２に固定されているので、強度が確保され、安定した状態を確保できる。また、スリーブ４７，４８の取付部材１１側端部の内径は、パイプ４５，４６を挿通させた後、これらのパイプ４５，４６とスリーブ４７，４８とを固定するためロウ付けされるが、スリーブ４７，４８の先端が、本体１２から取付部材１１を越える高さに形成されているので、スリーブ４７，４８とパイプ４５，４６とのロウ付けが容易となる。
【００４０】
(3) 間にシリコン部材５６を挟みセンサ４３を構成する固定電極部材５７，５８には、シリコン部材５６の可動電極部（ダイアフラム）に向けて、高圧用封入液１７および低圧用封入液１８を導通させる導通穴５７Ａ、５８Ａが、中心とその周囲に複数個設けられているので、例えば高圧用封入液１７に押圧されて、可動電極部が低圧側固定電極部材５８の平面部に張り付くことがあり、次に低圧用封入液１８が可動電極部に向けて送り込まれようとしたとき、上述の張り付き力が大きく、中心の導通穴５８Ａから送り込めないときでも、低圧用封入液１８を周囲の導通穴５８Ａから送り込めるので、可動電極部の正常な作動を確保でき、センサ４３の正常な測定を確保することができる。
【００４１】
(4) 高圧用フランジ１３および低圧用フランジ１４が、本体１２の厚さより長く形成された複数本のスペーサ部材３０を介して、ボルト３１を締め付けることにより固定されているので、フランジ１３，１４のボルト締めの影響は本体１２側に及ばない。その結果、各フランジ１３，１４の連結固定時に、本体１２が歪んだりすることがなくなるので、本体１２の局部的な歪みの影響によって生じる測定値の出力の変化を防止することができ、これにより、ゼロ点変化を防止することができる。
【００４２】
(5) 本体１２と各フランジ１３，１４とがＯリング２５，２７を介して支持されていることから、本体１２と各フランジ１３，１４との間に過大な力が加わると、本体１２と各フランジ１３，１４とが回転する可能性がある。しかし、取付部材１１の対向面１１Ａと、フランジ１３，１４の対向面１３Ｆ、１４Ｆとが、０．５ｍｍ以内の微小隙間で取り付けられているため、回転しようとすると、フランジ１３，１４の対向面１３Ｆ、１４Ｆと取付部材１１の対向面１１Ａとが当接し、それ以上回転しないので、微小な回転角度で容易に回り止めとすることができる。従って、フランジ１３，１４の圧力導入口１３Ｄ、１４Ｄに取り付けられる測定体用器具等に悪影響を及ぼすおそれがない。
【００４３】
(6) 高圧用フランジ１３および低圧用フランジ１４は、それぞれ直方体状に形成され、この直方体状の同一長さ寸法の二辺に囲まれた面と直交する４面が、それぞれ対向面１３Ｆ、１４Ｆとなっているので、各フランジ１３，１４の固定位置を９０度単位で変えた場合でも、取付部材１１の対向面１１Ａとフランジ１３の対向面１３Ｆおよびフランジ１４の対向面１４Ｆ同士が当接可能となり、その結果、どの向きでも容易に取り付けることができる。
【００４４】
(7) 各フランジ１３，１４の対向面（内側面）の四隅には、ボルト穴１３Ｃ，１４Ｃ、ねじ穴１３Ｂ，１４Ｂを囲むように、２本ずつのスペーサガイド１３Ｅ，１４Ｅがそれぞれ設けられているので、スペーサ部材３０を挟み込んで両フランジ１３，１４の連結固定を行うとき、スペーサ部材３０の位置決めをし易く、これにより、フランジ１３，１４の連結作業が容易となる。
【００４５】
次に、図７に基づいて、本発明の第２実施形態を説明する。
本実施形態は、前記第１実施形態の差圧検出器１を取り付けた流量計７０としたものである。
前記差圧検出器１では、表示装置６０における演算部６１で、回路部５２から送られる電気信号を、メモリ部６２に記憶された電気信号と差圧との対応表に基づいて演算し、その結果を表示部６３に表示させるようになっていたが、本第２実施形態では、表示装置7０Ａの演算部により、電気信号を流量に演算できるようにしたものである。
【００４６】
すなわち、表示装置7０Ａの演算部では、回路部５２から送られる電気信号を、メモリ部に記憶された電気信号と流量との対応表に基づいて演算し、その結果を表示部に表示させるようになっている。
このような流量計７０は、ベンチュリ管７５を含んで構成され、ベンチュリ管７５の径が細くなった部位に前記差圧検出器１の低圧用圧力導入口１４Ｄを接続させるとともに、径の大きな部位に高圧用圧力導入口１３Ｄを接続させてあり、圧力の異なる２つの部位の圧力を検出できるようになっている。そして、前述のように、検出した値を回路部５２で所定の出力信号として表示装置６０Ａの演算部に送り、演算部で流量を求め、かつ、ベンチュリ管７５の流量として表示することができる。従って、流量計７０を他の配管等に接続することで、その配管等の流量を容易に知ることができる。
【００４７】
このような第２実施形態によれば、前記(1) 〜(7) と同様の効果の他、次のような効果がある。
(8) 例えば、差圧検出器１で圧力が異なる２箇所の位置の圧力を検出し、この検出値に基づいて流量を計測することができるので、水、溶液等の液体の配管や、ガス管等の流量の測定が容易となる。また、差圧検出器を小さくすることができるので、流量計を小形にできる。
【００４８】
次に、図８に基づいて、本発明の第３実施形態を説明する。
本実施形態は、前記第１実施形態の差圧検出器１を取り付けた液面計８０としたものである。
本第３実施形態では、例えば表示装置８０Ａの演算部により、電気信号を液面高さに演算できるようにしたものである。
すなわち、表示装置８０Ａの演算部では、回路部５２から送られる電気信号を、メモリ部に記憶された電気信号と液面との対応表に基づいて演算し、その結果を表示部に表示させるようになっている。
このような液面計８０は、密閉タンク８５に接続する２本の接続管８１，８２を含んで構成され、密閉タンク８５の圧力の高い部位に前記差圧検出器１の高圧用圧力導入口１３Ｄを接続させるとともに、圧力の低い部位に前記差圧検出器１の低圧用圧力導入口１４Ｄを接続させてあり、圧力の異なる２つの部位の圧力を検出できるようになっている。そして、前述のように、検出した値を回路部５２で所定の出力信号として表示装置８０Ａの演算部に送り、演算部で液面高さを求め、かつ、密閉タンク８５の液面高さとして表示することができる。従って、液面計８０を例えば密閉タンク８５等に接続することで、そのタンクの液面高さを容易に知ることができる。
【００４９】
このような第３実施形態によれば、前記(1) 〜(7) と同様の効果の他、次のような効果がある。
(9) 差圧検出器１で圧力が異なる２箇所の位置の圧力を検出し、この検出値に基づいて液面を計測することができるので、各種プロセス等における密閉タンク等の液面の測定が容易となる。また、差圧検出器を小さくすることができるので、液面計を小形にできる。
【００５０】
なお、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施の形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものでる。従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものでないから、それらの形状、材質などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００５１】
例えば、前記第各実施形態では、高圧用フランジ１３および低圧用フランジ１４の圧力導入口１３Ｄ、１４Ｄは、各フランジ１３，１４の外側表面から裏面に向けて形成されているが、これに限らない。所定の側面１３Ｆ、１４Ｆからフランジ１３，１４の表裏面に沿って穴をあけ、その穴を途中から裏面に向けるように形成してもよい。
【００５２】
また、前記各実施形態では、高圧用フランジ１３および低圧用フランジ１４を直方体に形成し、その対向面１３Ｆ，１４Ｆを取付部材１１の平面部１１Ａ裏面に０．５ｍｍ以内に接近させて設けたが、この０．５ｍｍ以内の間隔は、密着状態を含むものであり、各フランジ１３，１４を取付部材１１に密着させて設けてもよい。要は、各フランジ１３，１４と本体１２との相対的回転を防止することができればよい。
【００５３】
さらに、取付部材１１と各フランジ１３，１４との間隔を接近させて形成するにあたり、各フランジ１３，１４の四隅位置、かつ、例えば一端面上に、所定の高さの突起部を設け、この突起部が取付部材１１の平面部１１Ａに０．５ｍｍ以内に接近するように設け、この突起部が回転に際して平面部１１Ａに当接可能としてもよい。要は、各フランジ１３，１４と本体１２との相対的回転を防止することができればよい。
【００５４】
また、前記各実施形態では、第１シールダイアフラム１９側を高圧用とし、第２シールダイアフラム２０側を低圧用として用いたが、これに限らず、第１シールダイアフラム１９側を低圧用とし、第２シールダイアフラム２０側を高圧用として用いてもよく、第１、第２の用語と高圧、低圧の用語とは、一対一に対応するものではない。さらに、被測定流体としては、必ずしも１つの流体あるいは２つの異なる流体のいずれかに限定されるものではなく、第２、第３実施形態からも理解できるように、１つあるいは２つの流体のいずれでもよい。
【００５５】
また、前記第１実施形態では、差圧検出器１は圧力の異なる２つの場所における圧力を測定し、電気信号として送られた測定値を表示装置６０の演算部６１で演算し、差圧値として表示し、第２実施形態では、電気信号として送られた測定値を表示装置６０の演算部で演算し、流量値として表示し、第３実施形態では、電気信号として送られた測定値を表示装置８０Ａの演算部で演算し、液面高さとして表示するようになっているが、これらを一体にまとめてもよい。
すなわち、差圧検出器１の表示装置６０のメモリ部６２を、第２実施形態のメモリ部の内容（流量に関する）、および第３実施形態のメモリ部の内容（液面に関する）を含むものとするとともに、スイッチ部６４により、各モード（差圧検出器、流量計、液面計）を選択可能とし、所定のモードが選択されると、演算部によりそのモードに対応する演算値が表示されるようにしてもよい。
このようにすれば、一つの機器を複数の用途に使用することができる。
【００５６】
また、第２実施形態での、電気信号の流量への変換、演算、および第３実施形態での、電気信号の液面高さへの変換、演算は、回路部５２の演算部６１で行ってもよい。
【００５７】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の差圧検出器によれば、第１のパイプおよび第２のパイプの内径を異なった大きさに設定するだけで、第１の圧力側と第２の圧力側との封入液量をほぼ同じとすることができる。また、検出部の各部材を大きくしなくてもすむので、差圧検出器の小型化を図れるようになる。
【００５８】
また、本発明の流量計によれば、差圧検出器で圧力の異なる２箇所の位置の圧力を検出し、この検出値に基づいて流量を計測することができるので、水、溶液等の配管や、ガス管等の流量の測定が容易となる。
【００５９】
さらに、本発明の液面計によれば、差圧検出器で圧力の異なる２箇所の位置の圧力を検出し、この検出値に基づいて液面を計測することができるので、各種プロセス等における密閉タンク等の液面の測定が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施形態の差圧検出器を示す一部を切り欠いた外観図である。
【図２】図１におけるII方向からの矢視図である。
【図３】前記実施形態の差圧検出器を示す縦断面図である。
【図４】前記実施形態の差圧検出器の要部を示す縦断面図である。
【図５】前記実施形態のフランジを裏面から見た状態の正面図である。
【図６】前記実施形態の要部を示す構成図である。
【図７】本発明に係る第２実施形態の流量計を示す図である。
【図８】本発明に係る第３実施形態の液面計およびその使用状態を示す図である。
【図９】従来の差圧検出器を示す一部断面の外観図である。
【符号の説明】
１差圧検出器
１０受圧部
１１取付部材
１２本体
１３第１圧力導入部材である高圧用フランジ
１４第１圧力導入部材である低圧用フランジ
１７第１の封入液である高圧用封入液
１８第２の封入液である低圧用封入液
１９第１のシールダイアフラムである高圧用シールダイアフラム
２０第２のシールダイアフラムである低圧用シールダイアフラム
２５弾性シール部材である高圧用Ｏリング
２７弾性シール部材である低圧用Ｏリング
３０スペーサ
３１ボルト
４０差圧検出部
４３センサ
６０表示装置
７０流量計
８０液面計[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a differential pressure detector that detects a pressure difference between two places having different pressures, and a flow meter and a liquid level gauge that include the differential pressure detector.
[0002]
[Background]
A differential pressure detector that detects a pressure difference between two different pressures is known. This differential pressure detector is used, for example, for measuring the flow rate of a fluid such as water or gas, or measuring the level of a tank. .
FIG. 9 shows a conventional example of a sealed differential pressure detector 90 that detects the pressure of a sealed liquid sealed inside.
The enclosed differential pressure detector 90 includes a pressure receiving unit 110 that receives the pressure of the fluid to be measured from two different pressures, and a differential pressure detecting unit 120 that detects the pressure difference between the pressure receiving units 110. ing. The pressure receiving part 110 includes a main body 92 fixed to an attachment member 91, and first and second seal diaphragms 97 and 98 for sealing the pressure of the fluid to be measured are attached to both side surfaces of the main body 92. . Further, both side surfaces of the main body 92 are filled in the recesses facing the seal diaphragms 97 and 98, and the first and second sealed liquids 99 and 100 to which pressure is transmitted from the seal diaphragms 97 and 98 are filled. ing.
[0003]
For example, a first pressure introduction member (high pressure flange) 93 that introduces a high pressure, for example, is provided outside the first seal diaphragm 97 of the main body 92, and a low pressure, for example, is provided outside the second seal diaphragm 98. A second pressure introduction member (low pressure flange) 94 to be introduced is provided.
The pressure receiving unit 110 and the differential pressure detecting unit 120 are filled with the filled liquids 99 and 100 through the high pressure pipe 95 and the low pressure pipe 96, respectively.
The differential pressure detection unit 120 includes a terminal cradle 121, a sensor 123 is provided on the terminal cradle 121 via a sensor base 122, and the terminal cradle 121 is covered with a cap 124. The space 133 formed by the cap 124, the terminal cradle 121 and the sensor base 122 is filled with the high-pressure side sealing liquid 99, whereas the low-pressure side sealing liquid 100 flows from the pipe 96 to the sensor base 122. The space 133A is filled.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the sealed differential pressure detector, for example, if the amount of the sealed liquid on the high pressure side, which is the first pressure, and the low pressure side, which is the second pressure, in the pressure receiving unit 110 are not the same amount, It is difficult to measure the exact differential pressure between the two due to the influence.
In the conventional sealed differential pressure detector, the height of the sensor base 122 is increased and the space 133A in the sensor base 122 is increased in order to make the same amount of the high-pressure and low-pressure sealed liquids. The high-pressure side and low-pressure side sealing liquids 99 and 100 are being balanced. However, on the high-pressure side, there is a portion of the high-pressure pipe 95 excluding the same length as the low-pressure pipe 96, that is, an inverted J-shaped pipe portion and the space 133, but on the low-pressure side, there is a sensor liquid. Only the amount of the space 133 A having a predetermined height formed in the base 122 with the diameter of the pipe 96 is contained in the liquid. In such a state, in order to make the amount of the sealed liquid on the high-pressure side and the low-pressure side substantially equal, the height of the sensor base 122 must be made considerably high, and as a result, the height of the entire detection unit 120 is also made high. Therefore, there arises a problem that the differential pressure detector cannot be miniaturized.
[0005]
An object of the present invention is to provide a differential pressure detector that can make the amounts of the first and second sealed liquids substantially the same without increasing the size of each member of the detection unit and can be reduced in size. Is to provide.
[0006]
Another object of the present invention is to provide a flow meter and a liquid level meter provided with a differential pressure detector in which the amounts of sealed liquid on the first pressure and second pressure sides are substantially the same.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the present invention, there are provided a main body having a predetermined thickness, first and second seal diaphragms each having a peripheral edge hermetically fixed with a predetermined interval between two side surfaces of the main body, and the main body. And first and second sealed liquids that are filled in a gap formed between the first and second seal diaphragms, and the first and second pressures are transmitted through the seal diaphragms, respectively. A first pressure introducing member that is provided to face the first seal diaphragm and introduces the first pressure to the first seal diaphragm, and is provided to face the second seal diaphragm. A differential pressure detector comprising: a second pressure introducing member for introducing a pressure of the first pressure; and a detection unit for detecting a pressure difference between the first and second sealed liquids. The liquid passes through the first and second pipes respectively. The first and second pipes are filled so that the volumes of the first and second sealed liquids are substantially the same on the first pressure side and the second pressure side. The inner diameter is set to a different size The detection unit has a pedestal for mounting the sensor, and the first and second pipes are connected to each other by insulating and sealing each end using glass. It is the differential pressure detector characterized by having.
[0008]
According to the present invention as described above, the first and second pressure sides have substantially the same amount of filled liquid only by setting the inner diameters of the first pipe and the second pipe to different sizes. It can be. Further, since it is not necessary to enlarge each member of the detection unit, the differential pressure detector can be reduced in size.
[0009]
In the present invention described above, the fluid to be measured includes liquids such as water and solutions, and gases such as gas and air. As the sealing liquid, it is preferable to use, for example, silicon oil which is an incompressible fluid, but other liquids may be used as long as the same effect as silicon oil can be obtained.
[0011]
According to a third aspect of the present invention, there is provided a flowmeter comprising the differential pressure detector according to the first or second aspect.
According to the present invention, the pressure at two different positions can be detected by the differential pressure detector, and the flow rate can be measured based on the detected value. Measurement of the flow rate of a gas pipe or the like is facilitated.
[0012]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a level gauge comprising the differential pressure detector according to the first or second aspect.
According to the present invention as described above, the pressure at two different positions can be detected by the differential pressure detector, and the liquid level can be measured based on the detected value. The liquid level can be easily measured.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
1 to 5 show a differential pressure detector 1 according to the first embodiment.
The differential pressure detector 1 includes a pressure receiving unit 10 that receives the pressure of a fluid to be measured at two different locations, and a differential pressure detection unit 40 that detects a pressure difference between the pressure receiving units 10. .
[0014]
The pressure receiving unit 10 includes, for example, a main body 12 fixed to a plate-like attachment member 11, and a high pressure flange 13 that is a first pressure introduction member provided opposite to one side of both side surfaces of the main body 12. And a low-pressure flange 14 that is a second pressure introduction member provided to face the outer side of the other side of the main body 12.
The main body 12, the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 are disposed on the facing surface (back surface) 11 A side of the mounting member 11, and the differential pressure detection unit 40 is disposed on the front surface side of the mounting member 11. Yes.
[0015]
The main body 12 is formed of, for example, a cylindrical member having a predetermined thickness. A concave portion 15 is formed on the side surface of the main body 12 on the high-pressure flange 13 side so as to form a gap having a predetermined depth dimension. In the concave portion 15, a high-pressure that is a first sealed liquid that will be described later is provided. Filling liquid 17 for use is filled. Further, a concave portion 16 is formed on the side surface of the main body 12 on the low pressure flange 14 side so as to form a gap having a predetermined depth dimension. In the concave portion 16, a low pressure which is a second sealed liquid which will be described later. Filling liquid 18 for use is filled. As these sealing liquids 17 and 18, for example, silicone oil which is an incompressible fluid is used.
[0016]
A high-pressure seal diaphragm 19 as a first seal diaphragm is disposed on the outer peripheral edge of the concave portion 15 of the main body 12 so as to face the concave portion 15, and the peripheral portion of the seal diaphragm 19 is airtight with the periphery of the concave portion 15. It is welded to. As a result, the seal diaphragm 19 can seal the fluid to be measured and transmit pressure to the high-pressure sealed liquid 17 in the recess 15.
Further, in the same manner as described above, a second seal that closes the recess 16 and transmits the pressure of the fluid to be measured to the low-pressure sealed liquid 18 sealed inside is formed on the outer peripheral edge of the recess 16 of the main body 12. A low-pressure seal diaphragm 20 as a diaphragm is hermetically attached by welding.
These seal diaphragms 19 and 20 are made of a thin metal plate such as stainless steel so that the measurement differential pressure is not affected by the displacement in the expansion direction and the displacement in the recess direction due to the temperature rise of the sealing liquids 17 and 18. The rigidity is set so that the rigidity on the high-pressure side and the low-pressure side is lowered and balanced.
[0017]
A high-pressure sealed liquid conduction path 21 is provided inside the main body 12 on the high-pressure flange 13 side, and the high-pressure sealed liquid conduction path 21 includes a first passage 21A and a second passage 21B. . One end of the first passage 21A communicates with a high-pressure sealing liquid inlet 21C formed outwardly in a part of the main body 12, the other end communicates with the recess 15, and one end of the second passage 21B The other end of the main body 12 communicates with an outlet 21 D formed toward the differential pressure detection unit 40, and the other end communicates with the recess 15. The first passage 21A and the second passage 21B are filled with the high-pressure sealing liquid 17.
[0018]
A low pressure sealed liquid conduction path 22 is provided inside the main body 12 on the low pressure flange 14 side, and the low pressure sealed liquid conduction path 22 includes a first passage 22A and a second passage 22B. . One end of the first passage 22A communicates with a low-pressure sealing liquid inlet 22C formed outwardly in a part of the main body 12, the other end communicates with the recess 16, and one end of the second passage 22B The other end of the main body 12 communicates with an outlet 22D formed toward the differential pressure detection unit 40 and the other end communicates with the recess 16. The first passage 22A and the second passage 22B are filled with the low-pressure sealing liquid 18.
The filled liquid inlets 21C and 22C are filled with a necessary amount of filled liquids 17 and 18 such as recesses 15 and 16 and then, for example, steel balls 23 are pushed into the filled liquids 17 and 18. Does not leak out.
[0019]
An O-ring groove 24 is formed on the side surface of the main body 12 on the high-pressure flange 13 side outside the seal diaphragm 19, and an O-ring 25 that is an elastic seal member is mounted in the O-ring groove 24. On the side surface of the main body 12 on the low pressure flange 14 side, an O-ring groove 26 is formed outside the seal diaphragm 20, and an O-ring 27 is mounted in the O-ring groove 26.
Such O-rings 25 and 27 are crushed by the seal surfaces 13A and 14A (see FIG. 5) of the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 and the O-ring grooves 24 and 26, and are sealed at a predetermined seal surface pressure. The fluid to be measured is sealed by contacting the surfaces 13A and 14A.
[0020]
As shown in FIG. 3, the fixing between the main body 12 and the mounting member 11 is performed by burring a predetermined position of the mounting member 11 to form a cylindrical portion 11 B. It is performed by contacting a flat part formed in a part and welding.
[0021]
As described above, the main body 12 is disposed between the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14, and each flange 13, 14 is tightened with a bolt 31 via a spacer member 30 as shown in FIG. 1. It is being fixed to the main body 12 by.
As shown in FIGS. 2 and 5, the flanges 13 and 14 are formed in a rectangular parallelepiped shape. The two sides of the rectangular parallelepiped shape have the same length dimension, and the remaining one side has a different length dimension. The four surfaces orthogonal to the surface surrounded by the two sides of the same length dimension are opposed to each other. Surfaces 13F and 14F are formed.
[0022]
Further, bolt holes 13C and 14C and screw holes 13B and 14B are formed on the diagonal lines at the four corners of the flanges 13 and 14, respectively. Then, for example, the spacer member 30 is aligned with the bolt hole 13C of the flange 13 and the screw hole 14B of the flange 14, and the bolt 31 is inserted into the spacer member 30 from the bolt hole 13C of the flange 13 to the screw hole 14B of the flange 14. The flanges 13 and 14 are coupled by screwing, and the flanges 13 and 14 and the main body 12 are fixed.
At this time, the facing surfaces 13F and 14F of the flanges 13 and 14 and the facing surface 11A of the mounting member 11 are L-shaped gaps, and the gap L has a minute dimension within 0.5 mm, for example. It is set to be an interval.
[0023]
As shown in FIG. 1, the interval H1 between the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 is determined by the length of the spacer member 30, and this interval H1, that is, the length of the spacer member 30 is the length of the main body 12. It is larger than the width H2, for example, 0.05 to 0.2 mm larger.
As a result, the main body 12, the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 are not in direct contact with each other, and are attached via O-rings 25 and 27 which are elastic seal members, respectively. It will be supported by.
[0024]
As shown in FIG. 3, a pressure introduction port 13D for introducing a high pressure, which is a first pressure of the fluid to be measured, and a low pressure, which is a second pressure, are introduced into the flanges 13 and 14, respectively. A pressure introduction port 14D is provided, and a drain discharge port 14G (see FIG. 2) that is normally closed and opened when necessary is provided. Further, at the four corners of the inner surfaces of the flanges 13 and 14, as shown in detail in FIG. 5 when the flanges 13 and 14 are viewed from the back side, two spacer guides 13E and two spacer guides 13E that serve as guides when the spacer member 30 is attached are shown. 14E is provided. These spacer guides 13E and 14E are formed at a predetermined height and extend from the end surfaces of the flanges 13 and 14 to the vicinity of the seal surfaces 13A and 14A so as to surround the bolt holes 13C or the screw holes 13B, respectively. However, the spacer guides 13E and 14E do not interfere (contact) the main body 12.
In addition, each spacer guide 13E and 14E may be parallel to the opposing surfaces 13F and 14F, and may be provided diagonally so that the front-end | tip may mutually approach.
[0025]
Here, the fixing force of the bolt 31 is, for example, 6000 to 10000 N when there are four M4 screws, and this force is a force for compressing the spacer member 30 and the O-rings 25 and 27.
On the other hand, the crushing force of the O-rings 25 and 27 is 50 to 100 N when the outer diameter of the O-rings 25 and 27 is 28 mm, for example, and the remaining force obtained by subtracting the crushing force of the O-ring from the fixing force of the bolt 31 is The spacer member 30 is compressed. Accordingly, the force applied to the main body 12 is also 50 to 100 N, and this force is reduced to about 1/80 compared to the conventional method of fastening the flange with a bolt and fixing it. For this reason, the distortion of the main body 12 is so small that it can be ignored, and since there is no difference in load depending on the tightening place, the distortion of the main body 12 due to the tightening of the flanges 13 and 14 and further the measurement value based on this. No change in output.
[0026]
As shown in FIGS. 3 and 4, the differential pressure detector 40 is attached to the hermetic pedestal 41 as a pedestal, a sensor pedestal 42 attached to the hermetic pedestal 41 by bonding or the like, and attached to the sensor pedestal 42 by bonding or the like. The sensor 43, the sensor base 42 and the sensor 43 are covered, the high pressure side is hermetically sealed, and the cap 44 provided on the hermetic base 41 is included. Is sent to a circuit unit 52 that converts the detected value into a predetermined output signal. The circuit unit 52 includes a substrate 55 made of, for example, a metal plate or glass epoxy, a connector 59, and the like, and an output signal from the circuit unit 52 is sent to the display device 60 and displayed. It has become.
[0027]
The differential pressure detector 40 is supported on the main body 12 by a small-diameter high-pressure pipe 45 and a large-diameter low-pressure pipe 46.
That is, one end (the sensor 43 side) of the high-pressure pipe 45 passes through the hermetic pedestal 41 and is inserted halfway into the sealed liquid conduction path 42A opened in the sensor base 42, and the other end of the high-pressure pipe 45 is connected to the sleeve. 47 is inserted into the middle of the outlet 21D of the second passage 21B opened in the main body 12. The sealed liquid conduction path 42 A faces a space 53 formed by the cap 44 and the sensor base 42. The high-pressure sealed liquid 17 is filled in the first passage 21A, the recess 15, the second passage 21B, the inside of the pipe 45, the sealed liquid conduction path 42A, and the space 53, whereby one end side of the sensor 43 is filled. Is filled with the high-pressure sealing liquid 17.
[0028]
On the other hand, one end of the low pressure pipe 46 penetrates the hermetic base 41 and is in close contact with the lower end of the sensor base 42, and the other end is inserted into the sleeve 48 and the second passage 22 B opened in the main body 12. Is inserted halfway through the exit 22D.
A space 53 A surrounded by the sensor base 42 and the receiving base 54 is formed between one end of the pipe 46 and the sensor 43. The low-pressure sealing liquid 18 is filled in the first passage 22A, the recess 16, the second passage 22B, the pipe 46, and the space 53A, whereby the low-pressure sealing liquid is added to the other end of the sensor 43. 18 is full.
[0029]
The distal ends of the sleeves 47 and 48 are formed at a height exceeding the attachment member 11 from the main body 12, while the proximal end is attached to a predetermined position of the main body 12 by, for example, projection welding. The inner diameters of the end portions of the sleeves 47 and 48 on the mounting member 11 side are brazed to fix the pipes 45 and 46 and the sleeves 47 and 48 after the pipes 45 and 46 are inserted. The liquids 17 and 18 are prevented from leaking from between the outlets 21D and 22D of the main body 12 and the pipes 45 and 46. In addition, the inner diameter opening part of each sleeve 47 and 48 is formed in the shape of a flat hole so that it can be brazed easily.
[0030]
In the hermetic pedestal 41, the high-pressure pipe 45, the low-pressure pipe 46, and the electrode 49 that transmits the capacitance change of the sensor 43 to the circuit unit 52 are insulated and sealed (hermetic seal) using glass 50. In addition, the sensor 43 and the electrode 49 are connected by a gold wire 51, and the capacitance change from the sensor 43 is amplified and converted into a predetermined signal by the circuit unit 52 provided outside. The value can be displayed on the display device 60.
Note that a plurality of electrodes 49 are provided, and each electrode 49 connects a predetermined place of the sensor 43 and the hermetic base 41 to the circuit unit 52.
[0031]
As described above, the sensor 43 detects a change in pressure by a change in capacitance, and is provided on a receiving base 54 fitted in the sensor base 42 by bonding or the like. As shown in detail in FIG. 4, the sensor 43 includes a silicon member 56 having a movable electrode portion (diaphragm), and a fixed electrode member sandwiched by the silicon member 56 from both sides and formed of an insulating material such as glass. 57, 58, and a plurality of conduction holes 57A, 58A are provided at the center and the periphery thereof for conducting the high-pressure sealing liquid 17 and the low-pressure sealing liquid 18 toward the movable electrode portion.
For this reason, for example, the movable electrode portion may be pressed against the flat portion of the low-pressure side fixed electrode member 58 by being pressed by the high-pressure sealed liquid 17. In this case, the low-pressure sealed liquid 18 is then directed toward the movable electrode portion. Even when the above-mentioned sticking force is large and it cannot be fed from the central conduction hole 58A, it is fed from the surrounding conduction hole 58A, so that the normal operation of the movable electrode portion is ensured. Normal measurement is ensured.
A case 5 that covers such a differential pressure detector 40 is attached to the attachment member 11.
[0032]
In order to accurately detect the differential pressure in the differential pressure detector 40, it is necessary that the amount of the filled liquid is equal on the high pressure side and the low pressure side.
Therefore, in this embodiment, the high-pressure pipe 45 and the low-pressure pipe 46 have different inner diameters.
That is, the space 53 in which the high-pressure side sealing liquid 17 is sealed in the differential pressure detection unit 40 and the space 53A in which the low-pressure side sealing liquid 18 is sealed are different in volume, and the space 53 on the high pressure side Is big. For this reason, if the thicknesses of the high-pressure pipe 45 and the low-pressure pipe 46 having substantially the same length are equal, the amount of the low-pressure sealing liquid 18 is reduced. Therefore, the high-pressure pipe 45 is compared with the low-pressure pipe 46 by an amount equal to the difference between the amount of the enclosed liquid in the high-pressure side space 53 of the differential pressure detection unit 40 and the amount of the enclosed liquid in the space 53A on the low-pressure side. The inner diameter is set to be thin so that the internal volume becomes small. As a result, the amount of the high-pressure side filling liquid, which is the sum of the amount of the filling liquid in the high-pressure pipe 45 and the amount of the filling liquid in the high-pressure side space 53, is the amount of the filling liquid in the low-pressure pipe 46 and the low-pressure side space 53A. The amount of the enclosed liquid is approximately equal to the total amount of the enclosed liquid.
[0033]
Here, the relationship between the high pressure pipe 45 and the low pressure pipe 46 will be described.
Now, on the high-pressure side and the low-pressure side, the difference in volume between the high-pressure pipe 45 and the low-pressure pipe 46 excluding the internal volume of each pipe, that is, the high-pressure side space 53 and the high-pressure side sealed liquid conduction path 42A, The volume difference between the low-pressure side space 53A and the low-pressure side conduction path, etc. is Vd,
Assuming that the lengths of both pipes 45 and 46 are substantially equal, the pipe length is set to Lp,
The cross-sectional area of the high pressure pipe 45 is Ah,
When the cross-sectional area of the low pressure pipe 46 is Al, the inner diameters of the high pressure pipe 45 and the low pressure pipe 46 are:
Al-Ah = Vd / Lp (1) Formula
It is set so that it may be expressed as
[0034]
Next, the correlation between the seal diaphragms 19 and 20, the sealing liquids 17 and 18, and the pressure and temperature will be described.
When the pressure of the fluid to be measured is applied to the seal diaphragms 19 and 20, these pressures are transmitted to the high pressure side and the low pressure side of the sensor 43 through the sealing liquids 17 and 18, respectively, and the pressure difference is detected by the sensor 43. Is done.
At this time, the displacement amount of the seal diaphragms 19 and 20 themselves when the pressure is applied is very small. In addition, although the encapsulating liquids 17 and 18 are compressible, strictly speaking, the encapsulating liquids 17 and 18 are slightly compressible, but the compression rate is small and does not affect the measurement. Furthermore, the capacitance change of the movable electrode part (diaphragm) of the sensor 43 in the detection part 40 is extremely small and can be ignored.
On the other hand, the expansion of the encapsulated liquid with temperature is 0.1% per 1 ° C., and when the amount of encapsulated liquid is 200 μL, for example, the liquid volume changes by 10 μL with a temperature change of 50 ° C.
Accordingly, the pressure change due to the thermal expansion of the amount of the sealed liquid on the high pressure side and the low pressure side is about 670 Pa when the rigidity of the seal diaphragms 19 and 20 is 15 μL per 1 KPa. Therefore, if the difference in the amount of the sealed liquid on the high-pressure side and the low-pressure side is 10%, for example, when the temperature changes at 50 ° C., a pressure difference of 67 Pa will occur on the high-pressure side and low-pressure side. It has a big influence on the measurement.
[0035]
As can be seen from the above description, the amount of the sealed liquid needs to be as equal as possible on the high pressure side and the low pressure side.
In the present invention, the difference in the amount of sealed liquid between the high-pressure side and the low-pressure side is obtained by giving a difference in the cross-sectional areas of the high-pressure pipe 45 and the low-pressure pipe 46 so as to satisfy the relationship represented by the above formula (1). It is configured so that there is no.
[0036]
The display device 60 is provided in the case 5 as described above, and includes a calculation unit 61, a memory unit 62, a display unit 63, and a switch unit 64 as shown in FIG.
Then, when the switch unit 64 is pressed, the electric signal sent from the circuit unit 52 is calculated by the calculation unit 61 into a display value based on the correspondence table of the electric signal and the differential pressure stored in the memory unit 62, The result is displayed on the display unit 63.
[0037]
According to this embodiment, there are the following effects.
[0038]
(1) By simply setting the inner diameter of the high-pressure pipe 45, which is the first pipe, to be small so that the inner volume is smaller than the inner diameter of the low-pressure pipe 46, which is the second pipe, Since the amount of liquid and the amount of sealed liquid on the low pressure side can be made substantially the same, it is not necessary to expand the space 53A on the low pressure side in order to ensure a volume equal to the volume of the space 53 on the high pressure side. As a result, it is possible to reduce the size of the differential pressure detection unit 40 and thus the differential pressure detector 1 without enlarging or raising the sensor base 42.
[0039]
(2) The other ends of the high-pressure pipe 45 and the low-pressure pipe 46 are inserted into the sleeves 47 and 48, respectively, and the ends are the outlet 21D of the second passage 21B in the main body 12 and the second passage. Since the sleeves 47 and 48 are inserted into the outlet 22D of 22B and are fixed to the main body 12, the strength is ensured and a stable state can be secured. Further, the inner diameters of the end portions of the sleeves 47 and 48 on the mounting member 11 side are brazed to fix the pipes 45 and 46 and the sleeves 47 and 48 after the pipes 45 and 46 are inserted. Since the tips of 47 and 48 are formed at a height exceeding the attachment member 11 from the main body 12, the sleeves 47 and 48 and the pipes 45 and 46 can be brazed easily.
[0040]
(3) The high-pressure sealing liquid 17 and the low-pressure sealing liquid 18 are applied to the fixed electrode members 57 and 58 constituting the sensor 43 with the silicon member 56 interposed therebetween toward the movable electrode portion (diaphragm) of the silicon member 56. Since a plurality of conduction holes 57A and 58A for conduction are provided at the center and the periphery thereof, the movable electrode portion may be stuck to the flat portion of the low-pressure side fixed electrode member 58 by being pressed by the high-pressure sealing liquid 17, for example. Next, when the low-pressure sealing liquid 18 is about to be sent toward the movable electrode portion, even when the above-mentioned sticking force is large and cannot be sent from the central conduction hole 58A, the low-pressure sealing liquid 18 Since the feed is made from the conduction hole 58A, normal operation of the movable electrode portion can be secured, and normal measurement of the sensor 43 can be secured.
[0041]
(4) Since the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 are fixed by tightening the bolts 31 via a plurality of spacer members 30 formed longer than the thickness of the main body 12, the flanges 13 and 14 The effect of bolting does not reach the main body 12 side. As a result, when the flanges 13 and 14 are connected and fixed, the main body 12 is not distorted, so that it is possible to prevent a change in the output of the measurement value caused by the local distortion of the main body 12, thereby , Zero point change can be prevented.
[0042]
(5) Since the main body 12 and the flanges 13 and 14 are supported via the O-rings 25 and 27, if an excessive force is applied between the main body 12 and the flanges 13 and 14, Each flange 13 and 14 may rotate. However, since the facing surface 11A of the mounting member 11 and the facing surfaces 13F and 14F of the flanges 13 and 14 are mounted with a minute gap of 0.5 mm or less, when facing rotation, the facing surfaces of the flanges 13 and 14 Since 13F, 14F and the opposing surface 11A of the attachment member 11 are in contact with each other and do not rotate any more, it is possible to easily prevent rotation at a minute rotation angle. Therefore, there is no possibility of adversely affecting the measuring instrument or the like attached to the pressure inlets 13D and 14D of the flanges 13 and 14.
[0043]
(6) The high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 are each formed in a rectangular parallelepiped shape, and four surfaces orthogonal to the surfaces surrounded by two sides of the rectangular parallelepiped shape having the same length are respectively opposed surfaces 13F and 14F. Therefore, even when the fixing positions of the flanges 13 and 14 are changed in units of 90 degrees, the facing surface 11A of the mounting member 11, the facing surface 13F of the flange 13, and the facing surface 14F of the flange 14 can contact each other. As a result, it can be easily attached in any orientation.
[0044]
(7) Two spacer guides 13E and 14E are provided at the four corners of the opposing surfaces (inner side surfaces) of the flanges 13 and 14 so as to surround the bolt holes 13C and 14C and the screw holes 13B and 14B, respectively. Therefore, when the spacer member 30 is sandwiched and the flanges 13 and 14 are connected and fixed, the spacer member 30 is easily positioned, and the connecting operation of the flanges 13 and 14 is facilitated.
[0045]
Next, a second embodiment of the present invention will be described based on FIG.
The present embodiment is a flow meter 70 to which the differential pressure detector 1 of the first embodiment is attached.
In the differential pressure detector 1, the calculation unit 61 in the display device 60 calculates the electrical signal sent from the circuit unit 52 based on the correspondence table between the electrical signal stored in the memory unit 62 and the differential pressure, Although the result is displayed on the display unit 63, in the second embodiment, an electric signal can be calculated as a flow rate by the calculation unit of the display device 70A.
[0046]
That is, the calculation unit of the display device 70A calculates the electric signal sent from the circuit unit 52 based on the correspondence table between the electric signal and the flow rate stored in the memory unit, and displays the result on the display unit. It has become.
Such a flow meter 70 includes a venturi tube 75, and connects the low-pressure pressure inlet 14D of the differential pressure detector 1 to a portion where the diameter of the venturi tube 75 is reduced, and a portion having a large diameter. Is connected to a high-pressure inlet 13D so that the pressures at two parts having different pressures can be detected. Then, as described above, the detected value can be sent as a predetermined output signal to the calculation unit of the display device 60A by the circuit unit 52, the flow rate can be obtained by the calculation unit, and can be displayed as the flow rate of the Venturi tube 75. Therefore, by connecting the flow meter 70 to another pipe or the like, the flow rate of the pipe or the like can be easily known.
[0047]
According to the second embodiment as described above, in addition to the same effects as the above (1) to (7), there are the following effects.
(8) For example, the differential pressure detector 1 can detect the pressure at two positions where the pressures are different, and the flow rate can be measured based on the detected value. Measurement of the flow rate of pipes and the like becomes easy. Moreover, since the differential pressure detector can be made small, the flow meter can be miniaturized.
[0048]
Next, a third embodiment of the present invention will be described based on FIG.
This embodiment is a liquid level gauge 80 to which the differential pressure detector 1 of the first embodiment is attached.
In the third embodiment, for example, an electric signal can be calculated to the liquid level by the calculation unit of the display device 80A.
That is, the calculation unit of the display device 80A calculates the electric signal sent from the circuit unit 52 based on the correspondence table of the electric signal and the liquid level stored in the memory unit, and displays the result on the display unit. It has become.
Such a liquid level gauge 80 is configured to include two connection pipes 81 and 82 connected to the sealed tank 85, and a pressure inlet for high pressure of the differential pressure detector 1 is provided at a high pressure portion of the sealed tank 85. 13D is connected, and a low pressure introduction port 14D of the differential pressure detector 1 is connected to a low pressure part, so that the pressures at two parts having different pressures can be detected. Then, as described above, the detected value is sent to the calculation unit of the display device 80A as a predetermined output signal by the circuit unit 52, the liquid level height is obtained by the calculation unit, and the liquid level height of the sealed tank 85 is obtained. Can be displayed. Therefore, by connecting the liquid level gauge 80 to, for example, the sealed tank 85, the liquid level height of the tank can be easily known.
[0049]
According to the third embodiment, in addition to the same effects as the above (1) to (7), there are the following effects.
(9) Since the differential pressure detector 1 can detect the pressure at two different positions and measure the liquid level based on the detected value, it can measure the liquid level of a closed tank in various processes. Becomes easy. Further, since the differential pressure detector can be made small, the liquid level gauge can be made small.
[0050]
In addition, although the best structure, method, etc. for implementing this invention are disclosed by the above description, it is not limited to this.
That is, the present invention has been illustrated and described with particular reference to particular embodiments, but it will be understood that the present invention is not limited to the embodiments described above, without departing from the spirit and scope of the present invention. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of shape, material, quantity, and other detailed configurations. Therefore, the description limited to the shape, material, etc. disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of one part or all part of is included in this invention.
[0051]
For example, in the first embodiment, the pressure introduction ports 13D and 14D of the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 are formed from the outer surface to the back surface of the flanges 13 and 14, but the present invention is not limited thereto. . A hole may be formed along the front and back surfaces of the flanges 13 and 14 from the predetermined side surfaces 13F and 14F, and the hole may be formed so as to face the back surface from the middle.
[0052]
In each of the above embodiments, the high-pressure flange 13 and the low-pressure flange 14 are formed in a rectangular parallelepiped shape, and the opposing surfaces 13F and 14F are provided close to the rear surface of the flat portion 11A of the mounting member 11 within 0.5 mm. The interval within 0.5 mm includes a close contact state, and the flanges 13 and 14 may be provided in close contact with the mounting member 11. In short, it is only necessary to prevent the relative rotation between the flanges 13 and 14 and the main body 12.
[0053]
Further, when the mounting member 11 and the flanges 13 and 14 are formed close to each other, protrusions having a predetermined height are provided at the four corner positions of the flanges 13 and 14, for example, on one end surface. The protruding portion may be provided so as to approach the flat portion 11A of the mounting member 11 within 0.5 mm, and the protruding portion may be able to contact the flat portion 11A during rotation. In short, it is only necessary to prevent the relative rotation between the flanges 13 and 14 and the main body 12.
[0054]
In each of the above embodiments, the first seal diaphragm 19 side is used for high pressure and the second seal diaphragm 20 side is used for low pressure. However, the present invention is not limited to this, and the first seal diaphragm 19 side is used for low pressure. The two-seal diaphragm 20 side may be used for high pressure, and the first and second terms and the terms of high pressure and low pressure do not correspond one to one. Furthermore, the fluid to be measured is not necessarily limited to one fluid or two different fluids. As can be understood from the second and third embodiments, either one or two fluids are measured. But you can.
[0055]
In the first embodiment, the differential pressure detector 1 measures the pressure at two places having different pressures, calculates the measured value sent as an electric signal by the calculation unit 61 of the display device 60, and calculates the differential pressure value. In the second embodiment, the measurement value sent as an electric signal is calculated by the calculation unit of the display device 60 and displayed as a flow rate value. In the third embodiment, the measurement value sent as an electric signal is displayed. The calculation is performed by the calculation unit of the display device 80A and displayed as the liquid level, but these may be integrated together.
That is, the memory unit 62 of the display device 60 of the differential pressure detector 1 includes the contents (related to the flow rate) of the memory unit of the second embodiment and the contents (related to the liquid level) of the memory unit of the third embodiment. Each mode (differential pressure detector, flow meter, liquid level meter) can be selected by the switch unit 64, and when a predetermined mode is selected, a calculation value corresponding to the mode is displayed by the calculation unit. It may be.
In this way, one device can be used for a plurality of purposes.
[0056]
Further, the conversion and calculation of the electric signal into the flow rate in the second embodiment and the conversion and calculation of the electric signal into the liquid level in the third embodiment are performed by the calculation unit 61 of the circuit unit 52. May be.
[0057]
【The invention's effect】
As described above, according to the differential pressure detector of the present invention, the first pressure side and the second pressure can be simply set by setting the inner diameters of the first pipe and the second pipe to different sizes. The amount of sealed liquid with the side can be made substantially the same. Further, since it is not necessary to enlarge each member of the detection unit, the differential pressure detector can be reduced in size.
[0058]
In addition, according to the flowmeter of the present invention, the pressure at two different positions can be detected by the differential pressure detector, and the flow rate can be measured based on the detected value. In addition, the flow rate of the gas pipe or the like can be easily measured.
[0059]
Furthermore, according to the liquid level gauge of the present invention, the pressure at two different positions can be detected by the differential pressure detector, and the liquid level can be measured based on this detected value. Measurement of the liquid level of a closed tank or the like becomes easy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external view with a part cut away showing a differential pressure detector according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view taken in the direction of arrow II in FIG.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the differential pressure detector of the embodiment.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a main part of the differential pressure detector of the embodiment.
FIG. 5 is a front view of the flange according to the embodiment as viewed from the back side.
FIG. 6 is a configuration diagram showing a main part of the embodiment.
FIG. 7 is a diagram showing a flow meter according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing a liquid level gauge according to a third embodiment of the present invention and a usage state thereof.
FIG. 9 is an external view of a partial cross section showing a conventional differential pressure detector.
[Explanation of symbols]
1 Differential pressure detector
10 Pressure receiver
11 Mounting member
12 Body
13 Flange for high pressure which is the first pressure introducing member
14 Low pressure flange as first pressure introducing member
17 High-pressure sealing liquid that is the first sealing liquid
18 Low-pressure filling liquid that is the second filling liquid
19 High-pressure seal diaphragm which is the first seal diaphragm
20 Low-pressure seal diaphragm which is the second seal diaphragm
25 O-ring for high pressure which is an elastic seal member
27 O-ring for low pressure which is an elastic seal member
30 Spacer
31 volts
40 Differential pressure detector
43 sensors
60 Display device
70 Flow meter
80 Level gauge

Claims

A main body having a predetermined thickness; first and second seal diaphragms whose peripheral portions are hermetically fixed at predetermined intervals on two side surfaces of the main body; and the main body and the first and second seals The first and second liquids are filled in a gap formed between the diaphragms, and the first and second pressures are transmitted through the seal diaphragms, respectively, and the first seal diaphragms are opposed to each other. A first pressure introduction member for introducing the first pressure into the first seal diaphragm, and a second pressure introduction for introducing the second pressure provided opposite to the second seal diaphragm. A differential pressure detector comprising: a member; and a detection unit that detects a pressure difference between the first and second sealed liquids,
The first and second sealed liquids are filled up to the detection unit via first and second pipes, respectively.
The first and second pipes have different inner diameters so that the volumes of the first and second sealed liquids are substantially the same on the first pressure side and the second pressure side. Set ,
The detection unit has a pedestal for mounting the sensor,
In this pedestal, the first and second pipes are connected to each other by being insulated and sealed using glass .

A flow meter comprising the differential pressure detector according to claim 1.

A liquid level gauge comprising the differential pressure detector according to claim 1.