JP4153825B2

JP4153825B2 - Leak inspection device and control method of leak inspection device

Info

Publication number: JP4153825B2
Application number: JP2003139862A
Authority: JP
Inventors: 裕二井上; 喜章古屋; 康弘清水; 政勝久松; 重介豊増
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2003-05-19
Filing date: 2003-05-19
Publication date: 2008-09-24
Anticipated expiration: 2023-05-19
Also published as: JP2004340844A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法に係り、特に、真空法を用いた漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、漏れの存在を検出する方法としてヘリウム漏れ試験方法が知られているが、このヘリウム漏れ試験では、検出媒体（サーチガス）としてヘリウムガスを用いるとともに、質量分析計形などのヘリウム漏れ検出器（リークディテクタ）を用い、漏れ量や漏れ箇所を検知する。
【０００３】
ヘリウム漏れ試験方法は、加圧法、真空法という種類に分かれている。詳細には、加圧法を用いたヘリウム漏れ検査装置では、検査体（ワーク）内にヘリウムガスを封入し、外部に漏れてきたヘリウムガスを検出する。一方、真空法を用いたヘリウム漏れ検査装置では、ワーク内を真空にし、外部から（ワーク内へ）のヘリウムガスの漏れを検出する。
【０００４】
加圧法において、真空容器法（ベルジャー法）を用いた場合、ワークを収納するための真空容器を必須の構成とすることから、検査可能なワークの形状や寸法が制限されてしまう。また、ワーク内部に封入したヘリウムガスは、空気と混じっていないため再利用可能であるが、検査にしたがい真空容器内に残留したヘリウムガスは空気と混合しているため排気せざるを得なかった（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、真空法においてヘリウムガスを必要に応じて使用する真空吹付け法（スプレー法）を用いた場合であっても、結局はヘリウムガスと大気とが混合するため排気せざるを得ない（例えば、特許文献２参照）。加えて、試験箇所にヘリウムガスがとどきにくい形状である場合には、真空外覆法を用いて検査する必要があった。
【０００６】
したがって、ワークの形状に起因する制約をなるべく受けないで漏れ検査を行う場合には、真空外覆法が好ましいものであった。加えて、検査装置としては、加圧法よりも真空法を採用するほうが真空ポンプの容量を少なくすることが可能となるので、設備規模を小さくすることができ、設備維持費用、消費動力等のランニングコストの面からも好適であった。
【０００７】
【特許文献１】
特開平８−８２５６９号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献２】
特開平８−７５５９０号公報（第３−４頁、第１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した加圧法を用いた場合には、ワーク内に残留した空気と混合していないヘリウムガスを回収し、再利用を図ることも可能であったが、上述した真空法では、ヘリウムガスは大気と混合してしまうため、再利用することができなかった。
結果として、ワークの形状やランニングコストを勘案して真空法を選択した場合であっても、ヘリウムガスの消費量が多くなり上述したランニングコストの低下分が減少してしまうため、このヘリウムガスの消費量の低減が望まれていた。
【０００９】
【発明の目的】
そこで、本発明では、空気と混合して濃度が低下した検出媒体であっても再利用可能なリサイクル装置を有する漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法を提供することを目的とするものであり、特に、検出媒体が空気と混合する工程を必須とする真空法を採用した漏れ検査装置の検出媒体の消費量を低減できるリサイクル装置を有する漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、漏れ検査装置に於いて、検査体を収納する検査体収納部と、前記検査体内を真空にする真空ポンプと、前記検査体収納部に所定濃度以上の検出媒体を供給する検出媒体供給手段と、前記検査体における前記検出媒体の漏洩を検出する漏れ検出器と、前記検査体収納部から排出された前記検出媒体を回収するとともに回収した検出媒体にリサイクル処理を加えて検査体収納部に戻すリサイクル装置と、を備える構成を採用し、前記リサイクル装置は、回収した前記検出媒体の濃度を前記所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を複数備えるとともに、どの濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御する制御手段を有し、前記濃度回復手段の少なくとも一つは、圧力スイング吸着方式を用いる濃度回復手段であり、少なくとも一つは膜分離方式を用いる濃度回復手段である構成を採用する。
【００１１】
本発明では、回収した検出媒体の濃度を所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を備えるリサイクル装置を備えることにより、空気と混合して濃度が低下した検出媒体を再利用できるので、漏れ検査装置から廃棄される検出媒体の量を低く抑えることができる。
また、複数の濃度回復手段を選択的に稼動制御するので、検出媒体を所定の濃度にまで確実に回復できる。そして、好適な処理容量の範囲や達成純度の異なる方式の濃度回復手段を備えることにより、必要とされる濃度回復の程度に応じて柔軟に対応できる。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明では、検査体を収納する検査体収納部と、前記検査体内を真空にする真空ポンプと、前記検査体収納部に所定濃度以上の検出媒体を供給する検出媒体供給手段と、前記検査体における前記検出媒体の漏洩を検出する漏れ検出器と、前記検査体収納部から排出された前記検出媒体を回収するとともに回収した検出媒体にリサイクル処理を加えて検査体収納部に戻すリサイクル装置とを備え、前記リサイクル装置は、回収した前記検出媒体の濃度を前記所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を複数備えるとともに、どの濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御する制御手段を有し、前記濃度回復手段の少なくとも一つは圧力スイング吸着方式を用いる濃度回復手段であり、少なくとも一つは膜分離方式を用いる濃度回復手段である漏れ検査装置の制御方法として、前記検査体を収納した検査体収納部に前記検出媒体を供給する供給工程と、前記検査体内における前記検出媒体の漏洩を前記漏れ検出器により判断する漏れ検出工程と、漏れ検出工程の後、前記検査体収納部に空気を導入し検出媒体と置換するとともに空気と混合した検出媒体をリサイクル装置側へ排出する回収工程と、上記のどの方式の濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御して、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程と、所定濃度に回復した検出媒体を前記検査体収納部に供給する再供給工程と、を有し、前記回復工程は、圧力スイング吸着方式もしくは膜分離方式のいずれかまたは双方を用いて検出媒体の濃度を回復させる方法を採用する。
【００１７】
本発明では、空気と混合した検出媒体をリサイクル装置側へ排出する回収工程と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程と、所定濃度に回復した検出媒体を前記検査体収納部に供給する再供給工程と、を有することにより、空気と混合して濃度の低下した検出媒体の濃度を回復させた上で検査体収納部に戻すことができる。
また、異なる方式の回復方式を選択的に用いることができるので、濃度回復の程度を選択制御できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る漏れ検査装置の一実施形態を、図１に基づき説明する。図１は、本実施形態に係る真空外覆法（真空フード法）を用いた漏れ検査を行う漏れ検査装置１の概略構成図である。なお、この真空外覆法の採用により、図１に示した漏れ検査装置１は、漏れ量の定量性が良いこと、非常に小さいリーク量まで検出できること、さらには、全体を一度に試験できることが利点として挙げられる。また、検出媒体（サーチガス）としてヘリウムガスを採用した。
【００２１】
図１に示したように、漏れ検査装置１は、検査体（ワーク）２を収納する検査体収納部であるガス置換フード１１と、サーチガスを検出するヘリウム漏れ検出器（リークディテクタ）１２、ガス置換フード１１に所定濃度以上のヘリウムガスを供給する検出媒体供給手段であるヘリウムガス供給器１３、ワーク内を真空にする真空ポンプ１４を備えるとともに、本発明の特徴であるサーチガスにリサイクル処理を施すサーチガスリサイクル装置３を備える。なお、本実施形態におけるワーク２としては、蝋付けされた熱交換器や密閉型コンプレッサなどが挙げられる。
【００２２】
ここで、ガス置換フード１１は、ワーク２を覆うためのフードであり、外部から導入した空気（大気）とヘリウムガスとを気密性を維持しつつ置換可能なシールド構成を採用する。
【００２３】
具体的には、ガス置換フード１１は、バルブ２３ａが介挿された配管２３によりヘリウムガス供給器１３と接続される。これは、ワーク２との間にヘリウムガスが行き渡るよう隙間を設けるべく、ガス置換フード１１内にヘリウムガスを充填可能な構成とするためである。なお、ヘリウムガス供給器１３に格納されるヘリウムガスには、９０％以上の濃度のヘリウムガスが用いられる。
【００２４】
また、ガス置換フード１１は、バルブ２５ａが介挿された配管２５により大気導入口１５と接続され、ガス置換フード１１内に大気を導入可能な構成とされる。なお、必要に応じてガス置換フード１１内を減圧し内部の気体の容積を減少させる減圧用真空装置を設けてもよい。
【００２５】
リークディテクタ１２は、質量分析計形などのワーク内部に漏れたヘリウムを検出する検出器であり、バルブ２２ａが介挿された配管２２によりワーク２内部と接続する。また、本実施形態では、この配管２２を分岐形とし、ワーク２内部を真空にするための真空ポンプ１４が、バルブ２２ｂが介挿されたもう一方の分岐路によりワーク２内部と接続する構成を採用した。
【００２６】
分岐形としたのは、配管２２が接続されるワーク２の開口部における気密処理の確実性、容易性を勘案したものであるが、この配管接続構成に限られるものではなく、真空ポンプ１４が接続された真空引き用配管とリークディテクタ１２が接続されたヘリウム検出用配管とが独立してワーク２内部と連通する構成を採用しても本発明は好適に実施し得る。
【００２７】
サーチガスリサイクル装置３は、内部への大気導入に伴いガス置換フード１１から排出された低濃度のヘリウムガスを回収するとともに回収したヘリウムガスに後述するリサイクル処理を加えてガス置換フード１１に戻す装置である。回収は、バルブ２０ａが介挿されたヘリウムガス排出配管２０によって、再供給は、バルブ２１ａが介挿された再生ヘリウムガス導入配管２１とによって行われるように、ガス置換フード１１とサーチガスリサイクル装置３とは接続される。
【００２８】
このサーチガスリサイクル装置３は、回収した空気とガス置換フード１１内に充填していた高濃度ヘリウムガスとの混合により濃度が下がった回収ヘリウムガスの濃度を所定濃度以上に回復させるリサイクル処理を実現するために、図１に示したように、ブロワポンプ３１、ヘリウム分離回収濃縮器３２、バッファタンク３３、コンプレッサ３４、ヘリウム濃縮膜分離器３５、及びバッファタンク３６を主要な構成として備える。
【００２９】
そして、これら各要素は、配管３７により前述した順序で直列に接続され、ガス置換フード１１に接続したヘリウムガス排出配管２０を介して回収したガスを再生ヘリウムガス導入配管２１を介してガス置換フード１１側へ戻す閉回路を形成している。
【００３０】
また、ブロワポンプ３１の起動制御や回転数制御、ヘリウム分離回収濃縮器３２の流量制御、コンプレッサ３４の起動制御や回転数制御、ヘリウム濃縮膜分離器３５の流量制御は、制御手段３８により行われる。なお、本実施形態においては、サーチガスリサイクル装置３が制御手段３８を備える構成としたが、前述したバルブ２０ａ，２１ａ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２５ａの開閉制御を行う漏れ検査装置１の制御装置によりこれらの制御を行う構成としてもよい。
【００３１】
ここで、ヘリウム分離回収濃縮器３２は、回収したヘリウムガスの濃度回復手段であるが、圧力スイング吸着（Pressure Swing Absorption、ＰＳＡ）方式を採用し、ヘリウムと他元素の吸着力の違いを利用して、回収した空気とヘリウムの混合ガスを加圧の上で吸着物質に通してヘリウムを分離し、所要濃度（純度）のヘリウムガスを得るものである。一般に、吸着した不純物ガスは大気圧または真空圧にして解放除去する。
【００３２】
また、ヘリウム濃縮膜分離器３５は、上述したヘリウム分離回収濃縮器３２とは異なる方式の回収したヘリウムガスの濃度回復手段であり、膜分離方式を採用し、供給ガスとなる回収したガスを加圧して高分子膜を透過させてヘリウムを濃縮させる。
【００３３】
なお、本実施形態において、サーチガスリサイクル装置３は、制御手段３８により制御される複数のヘリウムガス濃度回復手段として、図１に示したように、ヘリウム分離回収濃縮器３２とヘリウム濃縮膜分離器３５を直列的に設ける構成となるように配管３７で接続した。しかし、これに限られるものではなく、並列的に配置して濃度の低下状況に応じていずれか一方のみを採用した構成としても良いし、また、制御手段３８がどの濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御し、いずれか一方もしくは双方による濃度回復を行うようにバイパスをそれぞれのヘリウム濃度回復手段に並列に設けた配管接続構成としてもよい。
【００３４】
以下、漏れ検査装置１の漏れ検査にかかる制御動作について図２に基づき説明する。図２に示したように、漏れ検査装置１の制御においては、基本的な制御フローとして、検査体２を収納した検査体収納部１１に検出媒体を供給する供給工程（Ｓ２）と、検査体２内における検出媒体の漏洩を漏れ検出器１２により判断する漏れ検出工程（Ｓ３）と、漏れ検出工程の後、検査体収納部１１に空気を導入し検出媒体と置換するとともに空気と混合した検出媒体をリサイクル装置３側へ排出する回収工程（Ｓ４）と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程（Ｓ５）と、所定濃度に回復した検出媒体を検査体収納部１１に供給する再供給工程（Ｓ６）と、を有する。以下、それぞれについて詳述する。
【００３５】
まず、漏れ検査装置１における供給工程の前処理として、検査対象となるワーク２の内外表面から漏れに影響を与える可能性のある水分等の不要物質を除去した後、ワーク２をガス置換フード１１内に納める（Ｓ１）。その際、ガス置換フード１１内に設置されたワーク２に対し、ワーク２内部に連通するように配管２２を接続し、接続したワーク２の開口部を気密処理する。ただし、開口部の処理は、試験後速やかに取り除くことができる材料で気密処理するが、気密材料はワークに悪影響を及ぼすことのない材料を選択する。そして、ワークをガス置換フード１１でワーク２を収納した空間に外部への開口部が形成されることのないように覆う。
【００３６】
続いて、ワーク２内部に連通する気密処理を施した配管２２を、バルブ２２ａを介したリークデイテクタ１２及びバルブ２２ｂを介した真空ポンプ１４に接続した後、バルブ２２ａを閉じたままでバルブ２２ｂを開き、真空ポンプ１４により検査体２内部が真空となるよう排気する（Ｓ１）。なお、必要に応じて校正リークを行う。
【００３７】
これらの前処理（Ｓ１）を施した後、ガス置換フード１１内に検出媒体であるヘリウムガスを供給する供給工程を実行する（Ｓ２）。具体的には、ワーク２内部を真空引きするためのバルブ２２ｂを閉じ、バルブ２３ａを開いてヘリウム供給器１３からガス置換フード１１内に所定濃度のヘリウムガスを吹き込み、ワーク２の周囲にヘリウムガスが存在するようになるまで充填する。
【００３８】
この供給工程（Ｓ２）に引き続き、ワーク２内におけるヘリウムガスの漏洩をリークディテクタ１２により判断する漏れ検出工程（Ｓ３）を実行する。詳細には、ガス置換フード１１内にヘリウムガスが充満した状態で、バルブ２２ａを開いてワーク２内部をリークデイテクタ１２に導通させ、ワーク２内に侵入したヘリウムガスを検出することによりワーク２における漏れの有無が検査される。ワーク２内部への漏れ量については、ガス置換フード１１がある程度をある程度膨らませる供給工程におけるヘリウムガス導入完了から所定時間ヘリウム漏れ検出器１２の指示値を観察または記録し、例えば漏れ検査装置１の制御手段が備える演算処理装置などにより算出する。
【００３９】
さらに、ワーク２内の漏れ検出工程（Ｓ３）の後、大気導入口１５に通じるバルブ２５ａ、ブロワポンプ３１に接続するバルブ２０ａ及びバッファタンク３６からガス置換フード１１に通じるバルブ２１ａを開き、ブロワポンプ３１を駆動する回収工程を実行する。具体的には、バルブ２５ａを開くことにより、ガス置換フード１１内に充填されたヘリウムガスが大気導入口１５から導入された空気（大気）によりパージされ、空気と混合した状態でサーチガスリサイクル装置３へバルブ２１ａを介して排出される（Ｓ４）。
【００４０】
この後、本実施形態では、回収工程（Ｓ４）において、パージに際して空気と混合したことにより濃度が低下した回収されたヘリウムガスの濃度を所定濃度に回復させる回復工程（Ｓ５）を連続的に実行する。特に、本実施形態では、図２に示したように、２つのヘリウム濃度回復手段３２，３５を用いて、回収したヘリウムガスの濃度を再利用可能な高濃度へと回復させる処理を行う。
【００４１】
具体的には、まず、空気と混合して低濃度となった回収ヘリウムガスは、サーチガスリサイクル装置３のヘリウム分離回収濃縮器３２に送られる。制御手段３８の制御の下、ヘリウム分離回収濃縮器３２において、ブロアポンプ３１による加圧操作により空気とヘリウムの混合ガスを吸着物質に通して不純物を吸着分離し、目的とする所要濃度にまでヘリウムガスを濃縮する。この濃縮されたヘリウムガスは、バッファタンク３３に貯留される。
【００４２】
次いで、制御手段３８によりコンプレッサ３４が稼動されると、ヘリウムガスが加圧されてヘリウム濃縮膜分離器３５に送られ、ここでヘリウム以外のガスが透過率の違いによりふるいわけされて、更に濃縮された後、バッファタンク３６に貯留される。
【００４３】
以上の二段階処理が、本実施形態における、空気と混合して低濃度となったヘリウムガスを、ヘリウムガス供給器１３に格納されたヘリウムガスと同レベルの濃度にまで回復させるリサイクル処理である。好適な処理容量の範囲や達成純度の異なる方式の濃度回復手段を複数備えることにより、ガス置換フード１１の容積やヘリウムガス純度を異ならせた場合であっても、必要とされる濃度回復の程度に応じて柔軟に対応できる。なお、ヘリウムガス供給器１３に格納されたヘリウムガスの濃度と必ずしも同じ濃度である必要はなく、最終的にリークディテクタ１２の設定に合致した濃度のヘリウムガスがガス置換フード１１内に供給できるのであれば、格納された濃度以上の濃度に濃縮されてもよい。
【００４４】
そして、上述した回復工程（Ｓ５）におけるリサイクル処理と並行してまたは時期を前後させて次の検査対象となる新しいワーク２を設置し、上述したワーク２の気密処理や内部の真空化などの前処理を完了させた後、バッファタンク３６に貯留された所定濃度に回復したヘリウムガスを再度サーチガスとしてガス置換フード１１に供給する再供給工程（Ｓ６）が実行される。
【００４５】
詳細には、制御手段３８は、このバッファタンク３６に貯留された所定濃度のヘリウムガスを、必要に応じてバルブ２１ａを開くことにより、ヘリウムガス供給手段１３によるガス置換フード１１へのヘリウムガス供給に先立って、バルブ２１ａを介してバッファタンク３６からガス置換フード１１に供給するリサイクルが行われる。
【００４６】
なお、ヘリウム濃縮膜分離器３５を透過させるためにコンプレッサ３４で加圧する際にその圧力を調整し、透過したヘリウムガスを貯留させたバッファタンク３６内の圧力を高めにすることにより、バルブ２１ａの開度によりガス置換フード１１への供給量を調整可能とすることができる。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態では、漏れ検出工程（Ｓ３）の終了後、サーチガスリサイクル装置３において、ブロワポンプ３１を駆動して、ガス置換フード１１内から大気導入によって大気が混入したヘリウムの回収を行い、ヘリウム分離回収濃縮器３２を通過させることにより、回収した混合ガスから不純物を吸着して短時間に濃縮し、更にヘリウム濃縮膜分離器３５を通過させてふるいわける再濃縮の操作を経ることによって、濃度の低下したヘリウムを再度検査に使用可能な高濃度のヘリウムに復元して、ガス置換フード１１へ戻すヘリウムのリサイクル循環処理（Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６）を行う。
【００４８】
このリサイクルを実現する機能を果たす、ヘリウム分離回収濃縮器３２およびヘリウム濃縮膜分離器３５を制御する制御手段３８を有するサーチガスリサイクル装置３を付加することにより、漏れ検査装置１におけるヘリウム消費量の大幅な削減が可能となるので、小規模で安価、そしてランニングコストが低い真空外覆法による漏れ検査装置１を提供することが可能となる。
【００４９】
なお、上述した実施形態においては、ヘリウムの高濃縮化に対応してヘリウム分離回収濃縮器３２およびヘリウム濃縮膜分離器３５を直列的に使用する制御を採用したが、これに限られるものではなく、配管３７にヘリウム分離回収濃縮器３２やヘリウム濃縮膜分離器３５をバイパスさせる管路をさらに設け、回収したガスのヘリウム濃度や供給工程において必要とされるヘリウムガスの濃度に応じてヘリウム分離回収濃縮器３２またはヘリウム濃縮膜分離器３５の何れかを選択的に通過させて高濃度化する構成を採用しても良い。
【００５０】
例えば、制御手段３８が、ＰＳＡ方式と膜分離方式の特質に鑑み、回収ヘリウムガスの容量が少ない場合にはヘリウム濃縮膜分離器３５を用い、所定容量以上の回収ヘリウムガスを回収した場合にはヘリウム分離回収濃縮器３２を用いるといった選択制御を行なってもよい。また、必要とされる純度に応じて、ヘリウム濃縮膜分離器３５単独使用制御、ヘリウム分離回収濃縮器３２単独使用制御、双方併用制御を切換える方式を採用してもよい。
【００５１】
また、本実施形態においては、漏れ検出媒体(サーチガス)をヘリウムとして説明したが、本発明はヘリウムを用いた漏れ検査装置に限定されるものではなく、他のサーチガスを用いた漏れ検査装置に用いても好適に実施でき、同様の効果を得ることができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に記載の発明は、回収した検出媒体の濃度を所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を備えるリサイクル装置を備えることにより、空気と混合して濃度が低下した検出媒体を再利用できるので、漏れ検査装置から廃棄される検出媒体の量を低く抑えることができ、ひいては漏れ検査装置のランニングコストを安く維持できる。
【００５３】
また、複数の濃度回復手段を選択的に稼動制御するので、検出媒体を所定の濃度にまで確実に回復でき、総合的に検出媒体の使用量も低減できる。
【００５４】
そして、異なる方式の濃度回復手段を備えることにより、濃度回復の程度を選択できる。
【００５５】
また、請求項２に記載の発明では、空気と混合した検出媒体をリサイクル装置側へ排出する回収工程と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程と、所定濃度に回復した検出媒体を前記検査体収納部に供給する再供給工程と、を有することにより、空気と混合して濃度の低下した検出媒体の濃度を回復させた上で検査体収納部に戻すことができ、ひいては、検出媒体にかかるランニングコストを低く維持することができる。
【００５６】
また、リサイクル装置は、回収した前記検出媒体の濃度を前記所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を複数備えるとともに、どの濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御する制御手段を有し、前記濃度回復手段の少なくとも一つは圧力スイング吸着方式を用いる濃度回復手段であり、少なくとも一つは膜分離方式を用いる濃度回復手段として、上記のどの方式の濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御して、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程を有するので、濃度回復の程度を選択制御でき、リサイクルされる検出媒体のリサイクル使用可能濃度範囲を広くできる。
すなわち、請求項１、２の発明においては、制御手段が、圧力スイング吸着方式と膜分離方式の特質に鑑み、回収ヘリウムガスの容量が少ない場合には膜分離方式を用い、所定容量以上の回収ヘリウムガスを回収した場合には圧力スイング吸着方式を用いるといった選択制御を行なってもよく、また、必要とされる純度に応じて、膜分離方式単独使用制御、圧力スイング吸着方式単独使用制御、双方併用制御を切換える方式を採用してもよく、両者の特性を組み合わせて濃縮性能を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る漏れ検査装置を示す概略構成図である。
【図２】図１に示した漏れ検査装置における制御動作の概略を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１漏れ検査装置
２検査体（ワーク）
３リサイクル装置
１１ガス置換フード
１２ヘリウム漏れ検出器（リークディテクタ）
１３ヘリウムガス供給器
１４真空ポンプ
１５大気導入口
２０ヘリウムガス排出配管
２０ａバルブ
２１再生ヘリウムガス導入配管
２１ａバルブ
２２配管
２２ａバルブ
２２ｂバルブ
２３配管
２３ａバルブ
２５配管
２５ａバルブ
３１ブロワポンプ
３２ヘリウム分離回収濃縮器
３３バッファタンク
３４コンプレッサ
３５ヘリウム濃縮膜分離器
３６バッファタンク
３７配管
３８制御手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a leak inspection apparatus and a control method of the leak inspection apparatus, and more particularly to a leak inspection apparatus using a vacuum method and a control method of the leak inspection apparatus.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a helium leak test method is known as a method for detecting the presence of a leak. In this helium leak test, helium gas is used as a detection medium (search gas), and a helium leak detector such as a mass spectrometer type is used. (Leak detector) is used to detect the amount of leak and the leak location.
[0003]
The helium leak test method is divided into a pressure method and a vacuum method. Specifically, in a helium leak inspection apparatus using a pressurization method, helium gas is sealed in an inspection object (work), and helium gas leaking outside is detected. On the other hand, in the helium leak inspection apparatus using the vacuum method, the inside of the work is evacuated and helium gas leak from the outside (into the work) is detected.
[0004]
In the pressurization method, when the vacuum container method (Bellger method) is used, the shape and dimensions of the work that can be inspected are limited because the vacuum container for housing the work is an essential component. In addition, helium gas sealed inside the work is not mixed with air and can be reused. However, helium gas remaining in the vacuum chamber was mixed with air according to the inspection, and had to be exhausted. (For example, refer to Patent Document 1).
[0005]
Further, even when a vacuum spraying method (spray method) using helium gas as necessary in the vacuum method is used, the helium gas and the atmosphere are eventually mixed, and thus must be exhausted (for example, , See Patent Document 2). In addition, when helium gas is difficult to reach at the test location, it was necessary to inspect using the vacuum envelope method.
[0006]
Therefore, the vacuum envelope method is preferable when the leak inspection is performed with as little restrictions as possible due to the shape of the workpiece. In addition, it is possible to reduce the capacity of the vacuum pump by adopting the vacuum method rather than the pressurization method as the inspection device, so that the equipment scale can be reduced and the equipment maintenance cost, running power consumption, etc. It was also suitable from the viewpoint of cost.
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-8-82569 (page 3-4, FIG. 1)
[Patent Document 2]
JP-A-8-75590 (page 3-4, FIG. 1)
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the pressurization method described above is used, helium gas that has not been mixed with the air remaining in the work can be recovered and reused. However, in the vacuum method described above, the helium gas can be reused. Could not be reused because it would mix with the atmosphere.
As a result, even when the vacuum method is selected in consideration of the shape of the workpiece and the running cost, the consumption of helium gas increases and the reduction in running cost described above is reduced. Reduction of consumption was desired.
[0009]
OBJECT OF THE INVENTION
Therefore, an object of the present invention is to provide a leak inspection apparatus having a recycling device that can be reused even if the concentration of the detection medium is reduced by mixing with air, and a control method for the leak inspection apparatus. In particular, there is provided a leak inspection apparatus having a recycle device and a control method for the leak inspection apparatus that can reduce the consumption of the detection medium of a leak inspection apparatus that employs a vacuum method in which the detection medium must be mixed with air. The purpose is to do.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, in the leak inspection apparatus, an inspection body storage portion for storing the inspection body, a vacuum pump for evacuating the inspection body, and the inspection body storage portion A detection medium supply means for supplying a detection medium having a predetermined concentration or more to the detector, a leak detector for detecting leakage of the detection medium in the inspection body, and the recovery medium collected and recovered from the inspection body storage section And a recycling device that recycles the detected medium and returns it to the specimen storage unit. The recycling device includes a concentration recovery means for recovering the concentration of the collected detection medium to the predetermined concentration or more. use with a plurality equipped, and a control means for selectively controlling whether to operate any concentration recovery means, at least one, the pressure swing adsorption method of the density recovery means That the concentration recovery means, at least one to employ a configuration which is the concentration recovery means using a membrane separation system.
[0011]
In the present invention, by providing a recycling device including a concentration recovery means for recovering the concentration of the collected detection medium to a predetermined concentration or more, the detection medium mixed with air and having a reduced concentration can be reused. The amount of detection medium to be discarded can be kept low.
In addition, since the plurality of density recovery means are selectively controlled, the detection medium can be reliably recovered to a predetermined density. In addition, by providing a concentration recovery means of a system having a suitable range of processing capacity and different purities, it is possible to flexibly cope with the required level of concentration recovery.
[0016]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a test object storage unit that stores a test object, a vacuum pump that evacuates the test object, and a detection medium that supplies a detection medium having a predetermined concentration or more to the test object storage part. A supply means, a leak detector for detecting leakage of the detection medium in the inspection object, and the detection medium discharged from the inspection object storage part are collected, and the collected detection medium is subjected to a recycling process to store the inspection object A recycling apparatus that returns the unit to the unit, and the recycling apparatus includes a plurality of concentration recovery means for recovering the concentration of the collected detection medium to the predetermined concentration or more, and selectively controls which concentration recovery means is operated. And at least one of the concentration recovery means is a concentration recovery means using a pressure swing adsorption method, and at least one uses a membrane separation method. As the control method in degrees recovery means der Ru leak test apparatus, a supplying step of supplying the detection medium to the test medium storage portion for accommodating the inspected object, by the leak detector leakage of the detection medium in the test body Any leakage detection step to be determined, a recovery step for introducing air into the specimen storage unit to replace the detection medium after the leakage detection step, and discharging the detection medium mixed with air to the recycling apparatus, and any of the above methods A recovery step of selectively recovering the concentration of the collected detection medium to a predetermined concentration and a resupply for supplying the detection medium recovered to the predetermined concentration to the inspection object storage unit The recovery step employs a method of recovering the concentration of the detection medium using either or both of the pressure swing adsorption method and the membrane separation method.
[0017]
In the present invention, the recovery step of discharging the detection medium mixed with air to the recycling apparatus side, the recovery step of recovering the concentration of the recovered detection medium to a predetermined concentration, and the detection medium recovered to the predetermined concentration in the inspection object storage unit And a re-supplying step for supplying the sample to the test object, it is possible to restore the density of the detection medium, which has been mixed with air, to a reduced concentration and then return to the specimen storage unit.
Further, since different recovery methods can be selectively used, the degree of density recovery can be selectively controlled.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a leak inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a leak inspection apparatus 1 that performs a leak inspection using a vacuum envelope method (vacuum hood method) according to the present embodiment. By adopting this vacuum envelope method, the leak inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 has good quantification of the leak amount, can detect even a very small leak amount, and can test the whole at once. As an advantage. Further, helium gas was adopted as a detection medium (search gas).
[0021]
As shown in FIG. 1, the leak inspection apparatus 1 includes a gas replacement hood 11 that is an inspection object storage unit that stores an inspection object (workpiece) 2, a helium leak detector (leak detector) 12 that detects a search gas, The gas replacement hood 11 is provided with a helium gas supply device 13 serving as a detection medium supply means for supplying helium gas having a predetermined concentration or higher, and a vacuum pump 14 for evacuating the work, and is also recycled into search gas, which is a feature of the present invention. A search gas recycling device 3 is provided. In addition, as the workpiece | work 2 in this embodiment, the brazed heat exchanger, a hermetic compressor, etc. are mentioned.
[0022]
Here, the gas replacement hood 11 is a hood for covering the workpiece 2 and adopts a shield configuration that can replace air (atmosphere) introduced from the outside and helium gas while maintaining airtightness.
[0023]
Specifically, the gas replacement hood 11 is connected to the helium gas supplier 13 by a pipe 23 in which a valve 23a is inserted. This is because the helium gas can be filled in the gas replacement hood 11 so as to provide a gap so that the helium gas can reach the work 2. A helium gas having a concentration of 90% or more is used as the helium gas stored in the helium gas supply unit 13.
[0024]
Further, the gas replacement hood 11 is connected to the atmosphere introduction port 15 through a pipe 25 having a valve 25 a interposed therein, and is configured to be able to introduce the atmosphere into the gas replacement hood 11. In addition, you may provide the vacuum apparatus for pressure reduction which decompresses the inside of the gas replacement hood 11 as needed, and reduces the volume of gas inside.
[0025]
The leak detector 12 is a detector that detects helium leaking inside the workpiece, such as a mass spectrometer type, and is connected to the inside of the workpiece 2 by a pipe 22 in which a valve 22a is inserted. In the present embodiment, the pipe 22 is branched, and the vacuum pump 14 for evacuating the work 2 is connected to the inside of the work 2 through the other branch passage in which the valve 22b is inserted. Adopted.
[0026]
The branch type is considered in consideration of the reliability and ease of the airtight treatment at the opening of the work 2 to which the pipe 22 is connected, but is not limited to this pipe connection configuration. The present invention can be suitably implemented even when a configuration in which the connected vacuuming pipe and the helium detection pipe connected to the leak detector 12 communicate with the inside of the work 2 independently is employed.
[0027]
The search gas recycle device 3 collects low-concentration helium gas discharged from the gas replacement hood 11 as the air is introduced into the interior, and adds a recycling process described later to the recovered helium gas and returns it to the gas replacement hood 11. It is. The gas replacement hood 11 and the search gas recycle device are used such that the recovery is performed by the helium gas discharge pipe 20 having the valve 20a interposed therein and the resupply is performed by the regenerated helium gas introduction pipe 21 having the valve 21a interposed. 3 is connected.
[0028]
This search gas recycling device 3 realizes a recycling process for recovering the concentration of recovered helium gas whose concentration has been lowered by mixing the recovered air and the high concentration helium gas filled in the gas replacement hood 11 to a predetermined concentration or more. For this purpose, as shown in FIG. 1, a blower pump 31, a helium separation recovery concentrator 32, a buffer tank 33, a compressor 34, a helium concentration membrane separator 35, and a buffer tank 36 are provided as main components.
[0029]
These elements are connected in series by the pipe 37 in the order described above, and the gas recovered through the helium gas discharge pipe 20 connected to the gas replacement hood 11 is connected to the gas replacement hood through the regenerated helium gas introduction pipe 21. A closed circuit returning to the 11 side is formed.
[0030]
Further, the control means 38 performs the start control and rotation speed control of the blower pump 31, the flow rate control of the helium separation recovery concentrator 32, the start control and rotation speed control of the compressor 34, and the flow rate control of the helium enrichment membrane separator 35. . In the present embodiment, the search gas recycle device 3 includes the control means 38. However, the control device of the leakage inspection device 1 that controls the opening and closing of the valves 20a, 21a, 22a, 22b, 23a, and 25a described above. Thus, a configuration may be adopted in which these controls are performed.
[0031]
Here, the helium separation / recovery / concentrator 32 is a means for recovering the concentration of the recovered helium gas, but adopts a pressure swing absorption (PSA) system and utilizes the difference in adsorption power between helium and other elements. Then, the recovered mixed gas of air and helium is pressurized and passed through an adsorbent to separate helium, thereby obtaining helium gas having a required concentration (purity). In general, the adsorbed impurity gas is released and removed at atmospheric pressure or vacuum pressure.
[0032]
The helium-concentrating membrane separator 35 is a concentration recovery means for recovered helium gas using a method different from that of the above-described helium separation / recovery / concentrator 32, adopting a membrane separation method, Pressurize and permeate the polymer membrane to concentrate helium.
[0033]
In the present embodiment, the search gas recycle device 3 uses a plurality of helium gas concentration recovery means controlled by the control means 38 as shown in FIG. The pipes 37 were connected so that 35 could be provided in series. However, the present invention is not limited to this, and a configuration may be adopted in which either one is employed in parallel and only one of them is adopted depending on the density reduction state, and which density recovery means is operated by the control means 38. Alternatively, a bypass connection may be provided in parallel with each helium concentration recovery means so as to perform concentration recovery by either or both of them.
[0034]
Hereinafter, the control operation concerning the leak inspection of the leak inspection apparatus 1 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2, in the control of the leakage inspection apparatus 1, as a basic control flow, a supply process (S 2) for supplying a detection medium to the inspection object storage unit 11 storing the inspection object 2, and the inspection object After the leak detection step (S3) for judging the leak of the detection medium in 2 with the leak detector 12, and after the leak detection step, air is introduced into the specimen storage unit 11 to replace the detection medium and detection mixed with air A recovery step (S4) for discharging the medium to the recycling device 3 side, a recovery step (S5) for recovering the concentration of the recovered detection medium to a predetermined concentration, and supplying the detection medium recovered to the predetermined concentration to the specimen storage unit 11 And a resupply step (S6). Each will be described in detail below.
[0035]
First, as pre-processing of the supply process in the leakage inspection apparatus 1, after removing unnecessary substances such as moisture that may affect leakage from the inner and outer surfaces of the workpiece 2 to be inspected, the workpiece 2 is replaced with the gas replacement hood 11. (S1). At that time, the pipe 22 is connected to the work 2 installed in the gas replacement hood 11 so as to communicate with the inside of the work 2, and the opening of the connected work 2 is hermetically sealed. However, the opening is treated with a material that can be removed immediately after the test, but a material that does not adversely affect the workpiece is selected as the airtight material. Then, the work is covered with the gas replacement hood 11 so that an opening to the outside is not formed in the space in which the work 2 is stored.
[0036]
Subsequently, the airtightly treated piping 22 communicating with the inside of the work 2 is connected to the leak detector 12 via the valve 22a and the vacuum pump 14 via the valve 22b, and then the valve 22b is closed with the valve 22a closed. Then, the inside of the test body 2 is evacuated by the vacuum pump 14 (S1). A calibration leak is performed as necessary.
[0037]
After performing these pre-processing (S1), the supply process which supplies helium gas which is a detection medium in the gas replacement hood 11 is performed (S2). Specifically, the valve 22b for evacuating the work 2 is closed, the valve 23a is opened, and a helium gas of a predetermined concentration is blown into the gas replacement hood 11 from the helium supplier 13, and the helium gas is surrounded around the work 2 Fill until is present.
[0038]
Subsequent to this supply step (S2), a leak detection step (S3) is performed in which the leak detector 12 determines the leakage of helium gas in the workpiece 2. Specifically, in a state in which the gas replacement hood 11 is filled with helium gas, the valve 22a is opened, the inside of the workpiece 2 is connected to the leak detector 12, and the workpiece 2 is detected by detecting the helium gas that has entered the workpiece 2. It is inspected for leaks. Regarding the amount of leakage into the workpiece 2, the indication value of the helium leak detector 12 is observed or recorded for a predetermined time from the completion of the introduction of helium gas in the supply process in which the gas replacement hood 11 inflates to some extent to some extent. Calculation is performed by an arithmetic processing device provided in the control means.
[0039]
Further, after the leakage detection step (S3) in the workpiece 2, the valve 25a leading to the air introduction port 15, the valve 20a connected to the blower pump 31 and the valve 21a leading from the buffer tank 36 to the gas replacement hood 11 are opened, and the blower pump A collection step for driving 31 is executed. Specifically, by opening the valve 25a, the helium gas filled in the gas replacement hood 11 is purged by the air (atmosphere) introduced from the atmosphere introduction port 15, and mixed with the search gas recycling device. 3 is discharged through the valve 21a (S4).
[0040]
Thereafter, in the present embodiment, in the recovery step (S4), the recovery step (S5) for recovering the concentration of the recovered helium gas whose concentration has decreased due to mixing with air during purging to a predetermined concentration is continuously executed. To do. In particular, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, the process of recovering the recovered helium gas concentration to a reusable high concentration is performed using the two helium concentration recovery means 32 and 35.
[0041]
Specifically, first, the recovered helium gas mixed with air and having a low concentration is sent to the helium separation / recovery concentrator 32 of the search gas recycle device 3. Under the control of the control means 38, in the helium separation / recovery concentrator 32, the mixed gas of air and helium is passed through the adsorbent by the pressurizing operation by the blower pump 31, and the impurities are adsorbed and separated to reach the desired required concentration. Concentrate. The concentrated helium gas is stored in the buffer tank 33.
[0042]
Next, when the compressor 34 is operated by the control means 38, the helium gas is pressurized and sent to the helium-concentrating membrane separator 35, where gases other than helium are screened due to the difference in permeability and further concentrated. Then, it is stored in the buffer tank 36.
[0043]
The above two-stage process is a recycling process for recovering the helium gas mixed with air and having a low concentration to the same level as the helium gas stored in the helium gas supplier 13 in the present embodiment. . Even when the volume of the gas replacement hood 11 and the purity of the helium gas are varied by providing a plurality of concentration recovery means of different types of suitable processing capacity ranges and achieved purities, the required degree of concentration recovery It can respond flexibly according to. The concentration of the helium gas stored in the helium gas supply device 13 is not necessarily the same as the concentration of helium gas, and the helium gas having a concentration that finally matches the setting of the leak detector 12 can be supplied into the gas replacement hood 11. If present, the concentration may be higher than the stored concentration.
[0044]
Then, in parallel with or at the same time as the recycling process in the recovery process (S5) described above, a new workpiece 2 to be inspected next is installed, and before the above-described airtight processing of the workpiece 2 or internal vacuuming, etc. After the processing is completed, a resupply step (S6) is performed in which the helium gas recovered to a predetermined concentration stored in the buffer tank 36 is supplied again to the gas replacement hood 11 as a search gas.
[0045]
In detail, the control means 38 supplies helium gas of a predetermined concentration stored in the buffer tank 36 to the gas replacement hood 11 by the helium gas supply means 13 by opening the valve 21a as necessary. Prior to this, recycling is performed by supplying the gas replacement hood 11 from the buffer tank 36 via the valve 21a.
[0046]
The pressure of the valve 21a is adjusted by adjusting the pressure when the compressor 34 pressurizes the helium-enriched membrane separator 35 and increasing the pressure in the buffer tank 36 in which the permeated helium gas is stored. The supply amount to the gas replacement hood 11 can be adjusted by the opening degree.
[0047]
As described above, in the present embodiment, after the leak detection step (S3) is finished, the search gas recycle device 3 drives the blower pump 31 to introduce helium mixed with the atmosphere by introducing the atmosphere from the gas replacement hood 11. Is recovered, and is passed through the helium separation recovery concentrator 32, so that impurities are adsorbed from the recovered mixed gas, concentrated in a short time, and further passed through the helium concentration membrane separator 35 for re-concentration operation. Through this process, helium having a reduced concentration is restored to a high-concentration helium that can be used again for inspection, and helium recycling circulation processing (S4, S5, S6) is performed to return to the gas replacement hood 11.
[0048]
By adding a search gas recycling device 3 having a control means 38 for controlling the helium separation / recovery concentrator 32 and the helium concentration membrane separator 35, which fulfills the function of realizing this recycling, the helium consumption in the leakage inspection device 1 can be reduced. Since a significant reduction is possible, it is possible to provide a leak inspection apparatus 1 using a vacuum envelope method that is small, inexpensive, and has a low running cost.
[0049]
In the above-described embodiment, the control in which the helium separation / recovery / concentrator 32 and the helium-enriched membrane separator 35 are used in series corresponding to the high enrichment of helium is adopted. However, the present invention is not limited to this. Further, a pipe for bypassing the helium separation recovery concentrator 32 and the helium concentration membrane separator 35 is provided in the pipe 37, and helium separation recovery is performed according to the helium concentration of the recovered gas and the concentration of helium gas required in the supply process. A configuration in which either the concentrator 32 or the helium-concentrated membrane separator 35 is selectively passed to increase the concentration may be employed.
[0050]
For example, in view of the characteristics of the PSA method and the membrane separation method, the control means 38 uses the helium-enriched membrane separator 35 when the volume of recovered helium gas is small, and when the recovered helium gas exceeding a predetermined volume is recovered. Selection control such as using the helium separation recovery concentrator 32 may be performed. Further, according to the required purity, a method of switching between the helium enrichment membrane separator 35 single use control, the helium separation recovery concentrator 32 single use control, and the both combined control may be adopted.
[0051]
Further, in the present embodiment, the leak detection medium (search gas) has been described as helium, but the present invention is not limited to the leak inspection apparatus using helium, and the leak inspection apparatus using other search gas Even if it uses, it can implement suitably and the same effect can be acquired.
[0052]
【The invention's effect】
As described above, the invention according to claim 1 is provided with a recycling device including a concentration recovery means for recovering the concentration of the collected detection medium to a predetermined concentration or more, thereby detecting the concentration decreased by mixing with air. Since the medium can be reused, the amount of the detection medium discarded from the leak inspection apparatus can be kept low, and as a result, the running cost of the leak inspection apparatus can be kept low.
[0053]
Further, since the selectively operated control the concentration recovery means multiple, the detection medium to a predetermined concentration can be reliably recovered, can be reduced the amount of overall detection medium.
[0054]
Then, by providing the concentration recovery means different schemes, can select the degree of density restoration.
[0055]
In the invention according to claim 2 , the recovery step of discharging the detection medium mixed with air to the recycling apparatus side, the recovery step of recovering the concentration of the recovered detection medium to a predetermined concentration, and the detection of recovering to the predetermined concentration A re-supplying step of supplying the medium to the inspection object storage unit, and after returning the concentration of the detection medium mixed with air to a reduced concentration, the medium can be returned to the inspection object storage unit. The running cost for the detection medium can be kept low.
[0056]
Further, the recycling apparatus includes a plurality of concentration recovery means for recovering the concentration of the collected detection medium to the predetermined concentration or more, and has a control means for selectively controlling which concentration recovery means is operated, At least one of the concentration recovery means is a concentration recovery means using a pressure swing adsorption method, and at least one of the concentration recovery means using the membrane separation method is selectively used to select which of the above-described concentration recovery means to operate. controlled and, as they may have a recovery step for recovering the concentration of the recovered detection medium to a predetermined concentration, can select control the degree of concentration recovery can be widely recycled usable concentration range of recycled as the detection medium.
That is, in the first and second aspects of the invention, in view of the characteristics of the pressure swing adsorption method and the membrane separation method, the control means uses the membrane separation method when the volume of recovered helium gas is small, and recovers more than a predetermined volume. When helium gas is recovered, selection control such as using the pressure swing adsorption method may be performed, and depending on the required purity, the membrane separation method single use control, the pressure swing adsorption method single use control, both A method of switching the combination control may be adopted, and the concentration performance can be improved by combining both characteristics.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a leak inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing an outline of a control operation in the leak inspection apparatus shown in FIG.
[Explanation of symbols]
1 Leak inspection device 2 Inspection object (work)
3 Recycler 11 Gas replacement hood 12 Helium leak detector (leak detector)
13 Helium gas supply device 14 Vacuum pump 15 Air introduction port 20 Helium gas discharge piping 20a Valve 21 Regenerated helium gas introduction piping 21a Valve 22 Piping 22a Valve 22b Valve 23 Piping 23a Valve 25 Piping 25a Valve 31 Blower pump 32 Helium separation recovery concentrator 33 Buffer tank 34 Compressor 35 Helium-concentrated membrane separator 36 Buffer tank 37 Pipe 38 Control means

Claims

An inspection object storage part for storing the inspection object, a vacuum pump for evacuating the inspection object, a detection medium supply means for supplying a detection medium having a predetermined concentration or more to the inspection object storage part, and the detection medium in the inspection object A leak detector comprising: a leak detector that detects a leak of the test object; and a recycling device that recovers the detection medium discharged from the inspection object storage unit, applies a recycling process to the recovered detection medium, and returns the detection medium to the inspection object storage part A device,
The recycling apparatus includes a plurality of concentration recovery means for recovering the concentration of the collected detection medium to the predetermined concentration or more, and has a control means for selectively controlling which concentration recovery means is operated, At least one of the recovery means is a concentration recovery means using a pressure swing adsorption method, and at least one of the recovery means is a concentration recovery means using a membrane separation method.

An inspection object storage part for storing the inspection object, a vacuum pump for evacuating the inspection object, a detection medium supply means for supplying a detection medium having a predetermined concentration or more to the inspection object storage part, and the detection medium in the inspection object comprising of a leak detector for detecting a leak, and a recycling device for returning the inspection body housing part by adding recycling the recovered detection medium with collecting the detection medium discharged from the test body housing part, the recycling The apparatus includes a plurality of density recovery means for recovering the concentration of the collected detection medium to the predetermined density or more, and has a control means for selectively controlling which density recovery means is operated. at least one of a density restoration means using the pressure swing adsorption method, at least one of the leak test apparatus Ru concentration recovery means der using a membrane separation method A supply step of supplying the detection medium to an inspection object storage unit storing the inspection object; a leak detection step of determining leakage of the detection medium in the inspection object by the leak detector; After the detection process, the recovery process for introducing air into the specimen storage unit to replace the detection medium and discharging the detection medium mixed with air to the recycling device side, and which method of concentration recovery means is operated A recovery step for selectively recovering the concentration of the collected detection medium to a predetermined concentration, and a resupply step for supplying the detection medium recovered to the predetermined concentration to the specimen storage unit, The recovery process is a control method for a leakage inspection apparatus, wherein the concentration of the detection medium is recovered using either or both of a pressure swing adsorption method and a membrane separation method.