JP4149578B2 - 並列シグネチャー圧縮回路及びその設計方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は集積回路の欠陥検査(fault detection)のためのシグネチャー分析回路(signature analyzer circuit)に関するものであり、より具体的には検査対象回路(object circuit to betested)からの検査出力(test outputs)を圧縮する並列シグネチャー圧縮回路及びその設計方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図1には、集積回路の欠陥検査において、検査対象回路とそれからの検査出力を圧縮する回路が図示されている。欠陥検査に対して図1を参照して簡略に説明すると次のようである。図示されたように、ロジック、メモリ、バス回路等のような集積回路の欠陥検査において、検査対象回路10へは検査入力パターン(test input pattern)が与えられ、回路10の検査出力パターン(test output pattern)すなわち、応答データ(response data)はシグネチャー圧縮回路12に提供される。検査出力パターンはシグネチャー圧縮回路12で圧縮される。圧縮回路12は単一の入力を有する単一入力シグネチャーレジスター(single input signature register;SISR)あるいは並列入力を有する多重入力シグネチャーレジスター(multiple input signatureregister;MISR)から構成される。検査の最後の段階で、検査のシグネチャー、すなわち、結果データ(resultant data)は圧縮回路12に貯蔵される。このように、測定されたシグネチャーは予測されたシグネチャーと比較される。比較に基づいて検査対象回路10が分析される。
【0003】
シグネチャー分析回路の占有面積を考えると、MISRを使う並列圧縮技術(この技術では一つのMISRで検査出力パターンのビットを並列に圧縮することができる)がSISRを使う直列圧縮技術(この技術では検査出力パターンのビットに対して複数のSISRが各々対応されなけれなならない)より有利である。従って、近来、検査のシグネチャーを効果的に分析するためにSISRによりはMISRにより圧縮技術に広く使われている。
【0004】
”Testing Semiconductor Memories”、byJohn Wiley&Sons、1991,pp.204〜209に開示されているように、SIRSは勿論、MISRで、エラーがある検査出力パターンを圧縮することにより、発生されたシグネチャーがエラーがない検査出力パターンの圧縮によるシグネチャーと同一である。すなわち、エラーがあるパターン(エラーパターン)の圧縮により得られたシグネチャーマスキング(masking)が起こることができる。ここで、シグネチャー分析器の長さ(すなわち、シグネチャーレジスターのビット数)nより検査対象回路から出力されるパターンシーケンス(pattern sequences)の長さがより大きく、そして、各パターンシーケンスでエラーが発生する確率が同一であると、SISR及びMISR全てで、マスキングが発生される確率は2-nであることと知られている。しかし、上のような仮定は実質的ではないので、SISRやMISRが使われる応用分野の特性により注意しなければならない必要がある。
【0005】
シグネチャー分析のためのMISRはソフトウェア形態で、あるいはハードウェア形態で具現されることができる。特に、ハードウェア的に具現されたMISRはVLSI回路において、ロジック及びメモリ回路の自体的な検査のためのBIST(built−in self test)回路の主要構成成分になっている。
【0006】
図2には、応答データの並列圧縮のための典型的なMISRが図示されている。図面で、MISR20は6ビットの検査出力パターン(P1ないしP6)に各々対応するフリップフロップ回路(flip−flop circuits)21を具備している。各フリップフロップ回路は排他的オア(XOR)ゲート23を通じて上位ビット側上の次のフリップフロップ回路に連結される。又、MISR20はフィードバックタップ(feedback tap)25を具備している。フィードバックタップ25はXORゲート27の一つの入力と連結される。XORゲート27の出力は検査出力パターンの一番目のビットに対応するXORゲート23−1に提供される。
【0007】
他のMISRが図3に図示されている。図3を参照すると、MISRはフィードバックタップの構成が他のものを除外すると、図2のMISR20と同一な構成を有する。
【0008】
SISRとは別にMISRによると、任意の検査中である回路(circuit under test)からのパターンシーケンス(pattern sequence)上でエラーが反復的に発生される場合にマスキングが発生されるかもしれない。言い換えれば、MISRが反復エラーパターン(repectitive error patterns)を圧縮することに使われる時にはマスキングが発生されることができる。ここで、’反復エラーパターン’という用語はパターンシーケンス上の任意の二つのパターンでエラーが二つのパターン間の距離ぐらい間隔をおいて、発生することを意味する。反復エラーパターンは二つのパターン間の距離により、奇数の距離あるいは偶数の距離を有する。これに対して次の表1及び2を参照して具体的に説明する。表1及び2は各々距離3及び距離4の反復エラーパターンを示している。
【0009】
【表1】
【0010】
【表2】
【0011】
表1及び表2の各ローは一つの検査出力パターンを示し、各パターンで’0’は正常データを表示し、’1’はエラーを表示する。表1で、一番目エラーパターン100000の一番目ビットP1でエラーが発生された後、2番目エラーパターン000100の四番目ビットP4で反復的にエラーが発生。すなわち、一番目エラーパターン100000のエラービットP1と二番目エラーパターン000100のエラービットP4間の間隔はパターンシーケンス上からの二つのエラーパターン間の距離3と同一である。これと同じように、表2では、一番目エラーパターン100000のエラービットP1と二番目エラーパターン000010のエラービットP5間の間隔はパターンシーケンス上からの二つのエラーパターン間の距離4と同一である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
次の表3は表1の反復エラーパターンを図2のMISRを使って圧縮した結果を示している。
【表3】
【0013】
表3に表示されたように、一番目から三番目まで一連の圧縮の過程を通じて、表2の一番目エラーパターン1000000のエラービットP1が三回シフトされる。続いて、二番目エラーパターン001000が入力された直後の圧縮過程、すなわち、図2の四番目圧縮過程では、エラー効果が四番目セル、すなわち、フリップフロップ回路21−4に伝達されないことを見られる。言い換えれば、二番目エラーパターン000100がMISR20で入力される時、四番目セルの出力すなわち、三番目シグネチャービットS3は’0’になる。これは、エラーパターンの圧縮結果の正常パターンの圧縮結果が同一になるマスキングが起こることを意味する。その結果、シグネチャー(Sout)には二つのエラーパターン中、いずれかのエラー効果も残らない。
【0014】
次の表4は表の反復エラーパターンを図2のMISRを使って圧縮した結果を示している。
【表4】
【0015】
表4に表示されたように、一番目から三番目まで一連の圧縮の過程を通じて、表2の一番目エラーパターン1000000のエラービットP1が三回シフトされる。続いて、二番目エラーパターン000010が入力された直後の圧縮過程にエラー効果が図2の5番目セル、すなわち、フリップフロップ回路21−5に伝達されないことを見られる。言い換えれば、二番目エラーパターン000010がMISR20で入力される時、5番目セルの出力すなわち、5番目シグネチャービットS5は’0’になる。このようなマスキングによって、シグネチャー(Sout)には二つのエラーパターン中、いずれかのエラー効果も残らない。
【0016】
上から記述した反復エラーパターンはメモリ欠陥検査でよく発生する。従って、メモリ検査のデータを圧縮することに使うMISRの重要な入力クラスとして反復エラーパターンが考えなければならない。
【0017】
本発明の目的は減少されたマスキング確率を有するシグネチャー圧縮回路を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するための本発明の特徴によると、検査される電子回路からの応答データを圧縮する圧縮回路が第1シグネチャーを発生するため応答データ発生する第1多重入力シグネチャーレジスタ(MISR)と、第1MISRに直列に結合され、第2シグネチャーを発生するため応答データ発生する第2MISRと
を含む。
【0019】
本発明の他の特徴によると、検査される電子回路からの応答データを圧縮する圧縮回路が第1MISRに順序的に直列に結合された1つ以上の付加的なMISRを加えて含み、付加的なMISRが並列に以前のMISRの出力を各々圧縮して、別のシグネチャーを発生する。
【0020】
本発明の他の特徴によると、MISR各々が少なくとも1つのフィードバックタップを有する。
【0021】
本発明の他の特徴によると、直列で結合された少なくとも2つの多重入力シグネチャー(MISR)を含み、検査される電子回路からの応答データを圧縮する圧縮回路を設計する方法が可能な反複エラーパターンの間に最大距離を探す段階と、前記反複エラーパターンにおける圧縮工程を遂行する段階と、反複エラーパターンにおけるシグネチャーエラーマスキングを有しない圧縮工程の数を計算する段階と、エラーマスキングを有しない反複圧縮工程における反複エラーパターンの数をチェクする段階と、反複エラーパターンの数に依存する前記MISRの前記数を決定する段階とを含む。
【0022】
【発明の実施の形態】
次は、添付された図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態に対して詳細に説明する。
【0023】
[第1実施の形態]
図4を参照すると、奇数距離の反複エラーパターンによるエラーマスキングを防止する並列圧縮回路40は2つのMISR42−1と42−2を備える。MISR42−1は6ビットの検査出力パターンP1ないしP6に各々対応する6つのフリップフロップ回路43はXORゲートを通じて、上位ゲート側上のフリップフロップ回路の連結される。上記各XORゲート44の1つの入力としてはビット検査出力が入力される。又、MISR42−1はフィードバックタップを備える。フィードバックタップはXORゲート45の1つの入力に連結される。XORゲート45の出力は検査パターンの1番目ビットに対応するXORゲート44−1に提供する。
【0024】
MISR42−1に直列連結されるMISR42−2もMISR42−1と同様な構成を有する。即ち、MISR42−2はMISR42−1内のフリップフロップ43の出力に各対応する6つのフリップフロップ46を備える。前記MISR42−2内の各フリップフロップ回路43は前記MISR42−1のそのもののようにXORゲート47を通じて上位ビット側上の対応する次のフリップフロップ回路に連結される。各XORゲート48の1入力は最上位ビット位置のフリップフロップ回路43−6の出力と連結され、その他の入力はMISR42−2フィードバックタップと連結される。XORゲート48の出力は1番目のビットに対応するXORゲート44−1に提供される。
【0025】
上述した発明が従来の技術のように距離3の反複エラーパターンの圧縮結果(表3参照)によると、1ないし3番目検査パターンの圧縮によって得られたシグネチャーパターンのすべてはエラー効果を有するが、4番目パターン(即ち、2番目エラーパターン)の圧縮によるシグネチャーはエラー効果を有しない。エラー効果を有しない1ないし3番目のシグネチャーパターンは相互間の距離1の反複エラーパターンである。表3のシグネチャーを再び圧縮すれば、次の表5のようになる。
【0026】
【表5】
【0027】
表5のように、表3の圧縮(即ち、2次圧縮)の間に、2番目シグネチャーでマスキングが発生し、3番目シグネチャーではマスキングが発生されない、この結果最後のシグネチャーはエラー効果を有する。
【0028】
上のような奇数距離の反複パターンの圧縮を一般化すれば、次のようである。
【0029】
次の表6に示したように、任意のパターンのi番目ビットとそれからある奇数距離kを有するパターンのi+k番目ビットにエラーが示す反複エラーパターンを考慮する。
【0030】
【表6】
【0031】
次の表7は表6の反複エラーパターンの圧縮(即ち、1次圧縮)によって得られるシグネチャーを示している。
【表7】
【0032】
表7に示したようにiないしk+1番目シグネチャーパターンのうち、最後の1つを除くすべてのシグネチャーパターンはエラーパターンはエラー効果を有する。即ち、i番目ないしi+k−1番目シグネチャーパターンは共に相互間に対する距離1の反複エラーパターンになり、最後のパターンはマスキングによってエラー効果を有する。
【0033】
次の表8は表7のシグネチャーパターンの圧縮(即ち、2次圧縮)によって得られるシグネチャーを示している。
【表8】
【0034】
表8に示したように、表7でエラー効果を有するk−1個のシグネチャーパターン(iないし1+k−1番目シグネチャー)うち、偶数番目パターンの圧縮の間にマスキングが発生して、1+k−1番目シグネチャーパターンはエラー効果を有する。この1+k−1番目シグネチャーパターンのエラー効果はi+k番目シグネチャーパターンの圧縮で得られるシグネチャーに伝達される。
【0035】
結局、図4に示したように2段のMISR42−1と42−2を使用して検査パターンの圧縮によって得られるシグネチャーパターンが再び圧縮されるようにすると、奇数距離の反複エラーパターンによってエラーパターンによってエラーマスキングが防止される。
【0036】
[第2実施の形態]
上述した発明が従来の技術のように距離4の反複エラーパターンの圧縮結果(表4参照)によると、1ないし4番目検査パターンの圧縮によって得られたシグネチャーパターンのすべてはエラー効果を有するが、5番目パターン(即ち、2番目エラーパターン)の圧縮によるシグネチャーはエラー効果を有しない。エラー効果を有しない1ないし4番目のシグネチャーパターンは相互間の距離1の反複エラーパターンである。表4のシグネチャーを再び圧縮すれば、次の表9のようになる。
【0037】
【表9】
【0038】
表9のように、表4の圧縮(即ち、2次圧縮)の間、2番目、4番目シグネチャーパターンでマスキングが発生し、最後シグネチャーではエラー効果が伝達されない。
【0039】
再び表9の圧縮(即ち、3次圧縮)の結果は次の表10と同一である。
【表10】
【0040】
表10のように、3次圧縮(即ち、表9の圧縮)の間、再び3番目、シグネチャーパターンでマスキングが発生し、最後シグネチャーでもエラー効果が伝達されない。
【0041】
表10シグネチャーパターンの圧縮(即ち、4次圧縮)が遂行されると、次の表11のようなシグネチャーパターンが得られる。
【表11】
【0042】
表11のように、距離4の反複エラーパターンに対する4次圧縮が遂行されると、マスキングが発生されないで、エラー効果が最後シグネチャーに伝達される。
【0043】
反複エラーパターンに対する複数回数の圧縮を遂行すれば、エラーマスキングが発生されないで、必要な圧縮回数は反複エラーパターンの距離によって異なる。次の表12は距離1ないし16の反複エラーパターンに対して1ないし16回の圧縮が遂行されるとき、マスキングが発生しない場合を示している。表12でxはエラーマスキングが発生しないことを示している。
【表12】
【0044】
上の表12に表示されたように、1回圧縮が遂行されると、すべての反複エラーパターンでマスキングが全然発生しない。距離1ないし16(即ち、最大距離16)の反複エラーパターンの中各圧縮回数に対してマスキングが発生しない反複エラーパターンの数が表12の最後の行に表示されている。圧縮回数に従いマスキングが発生しない反複エラーパターンの数と種類が多様であることをみられる。
【0045】
多くの圧縮回数は過度なハードウェアオーバーヘッド(hardware overhead)を発生させるため、すべての反複エラーパターンに対してマスキングを亡くすことができる回数の圧縮が実行されるようにすることより、設計許容範囲内でできるだけ多くの回数の圧縮が遂行されるようにするのが望ましい。このために、次のような流れを通じて最適の圧縮回数が得られる。
1)実現しようとするMISRのタイプに関係なく、可能な反複エラーパターンの最大距離Dを求める。
2)距離1ないしDの反複エラーパターン各々に対する1ないしCかいの圧縮間にマスキングが発生するか否かを求める。ここで、Cはすべての反複エラーパターンの圧縮においてどんなマスキングも発生しない圧縮回数である。
3)各圧縮回数に関連してマスキングが発生しない反複エラーパターンの数を求める。
4)どの回路で実現されることができるMISRの最大圧縮回数Cmaxを決める。
5)Cmax個のMISRを直列に連結する。
【0046】
図5を参照すると、反複エラーパターンによるエラーマスキングを防止するため4次圧縮を実行する並列シグネチャー圧縮回路50が示されている上記シグネチャー圧縮回路50は相互間に4つのMISR52−1ないし52−4を備える。各MISR52は8ビットの入力パターンP1−P8に各々対応する8つのフリップフロップ回路54を備える。前記の実施の形態のように、各MISR52内の各フリップフロップ回路54はXORゲート53を通じて上位ビット側上の次のフリップフロップ回路に連結され、各MISRはフィードバックタップを備える。
【0047】
上記8ビットシグネチャー圧縮回路の反複エラーパターンの検出可能な最大距離は7である。従って、表12を参照すると、上記シグネチャー圧縮回路50は距離1,2,3,6,7の反複エラーパターンを検出してそれによるエラーマスキングを防止する。
【0048】
ここで、フィードバックタップを有するMISRを有する並列シグネチャー圧縮回路を通じて本発明を詳細説明したが、本発明の技術的な思想と範囲はそのものに限定されないし、むしろ、本発明の多様な実施の形態とその変形例が可能であることは本分野の通常の技術者では明らかである。
【0049】
【発明の効果】
このような本発明によると、偶数距離の反複エラーパターンによるエラーマスキングの確率を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 集積回路の欠陥検査を概略的に説明する図面である。
【図2】 典型的な並列シグネチャー圧縮回路を示す回路図である。
【図3】 他の並列シグネチャー圧縮回路を示す回路図である。
【図4】 本発明の好ましい第1実施の形態による並列シグネチャー圧縮回路を示す回路図である。
【図5】 本発明の好ましい第1実施の形態による並列シグネチャー圧縮回路を示す回路図である。
【符号の説明】
40,50:並列シグネチャー圧縮回路
42,52:多重入力シグネチャーレジスタ
43,46,54:フリップフロップ回路
44,45,47,48,53:XORゲート
Claims (5)
- 検査される電子回路からの応答データを圧縮する圧縮回路において、
前記応答データを時間的に圧縮することによって第1シグネチャーを生成する第1多重入力シグネチャーレジスタ(MISR)と、
前記第1シグネチャーを圧縮することによって第2シグネチャーを生成する第2MISRとを含むことを特徴とする圧縮回路。 - 前記第1MISRに順序的に直列に結合された前記第2MISRを含む1つ以上の付加的なMISRを加えて含み、前記付加的なMISRが並列に以前のMISRの出力を各々圧縮して、別のシグネチャーを発生することを特徴とする請求項1に記載の圧縮回路。
- 前記MISR各々が少なくとも1つのフィードバックタップを有することを特徴とする請求項2記載の圧縮回路。
- 直列で結合された少なくとも2つの多重入力シグネチャーレジスタ(MISR)を含み、検査される電子回路からの応答データを圧縮する圧縮回路を設計する方法において、
可能な反複エラーパターンの間に最大距離を探す段階と、
前記反複エラーパターンにおける圧縮工程を遂行する段階と、
反複エラーパターンにおけるシグネチャーエラーマスキングを有しない圧縮工程の数を計算する段階と、
エラーマスキングを有しない反複圧縮工程における反複エラーパターンの数をチェックする段階と、
反複エラーパターンの数に依存する前記MISRの前記数を決定する段階とを含むことを特徴とする圧縮回路の設計方法。 - 前記MISRの数が電子回路が保持できるMISRの最大数以下であることを特徴とする請求項4記載の圧縮回路の設計方法。
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