JP4147969B2 - Ink jet head and ink jet printer having the same - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッド、及び、インクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタに関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットプリンタにおいて、インクジェットヘッドは、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的に圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、セラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。
【0003】
かかるインクジェットヘッドの一例として、複数の圧力室に跨る複数枚の連続平板状の圧電シートが積層され、その少なくとも1枚の圧電シートを、多数の圧力室に共通であってグランド電位に保持された共通電極と、各圧力室に対応する位置に配置された多数の個別電極すなわち駆動電極とで挟み込んだ1つのアクチュエータユニットを有するものが知られている(特許文献1参照)。個別電極及び共通電極に挟まれ且つ積層方向に分極された圧電シートの部分は、その両側にある個別電極が共通電極と異なる電位にされると、活性層として、いわゆる圧電縦効果により積層方向に伸縮する。これにより圧力室内の容積が変動し、圧力室に連通したノズルから印刷媒体に向けてインクを吐出することが可能となっている。
【0004】
従って、このようなインクジェットヘッドにおいて良好なインク吐出性能を確保するためには、平面視における各圧力室に対する個別電極の位置が所定位置となるように流路ユニットに対してアクチュエータユニットを正確に位置合わせしなければならない。
【0005】
【特許文献1】
特開平4−341852号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述したようなインクジェットヘッドは、製造上の様々な制約のために、圧力室等を含むインク流路が形成された流路ユニット及びアクチュエータユニットをそれぞれ別々に製造した後、圧力室を内側として接着剤を用いて両者を互いに接着することにより製造されることが多い。この接着工程は流路ユニット上に形成された目印とアクチュエータユニット上に形成された目印とを一致させた状態で行われる。
【0007】
しかしながら、一般に流路ユニットが複数の金属シートの積層体であるのに対して圧電シートは焼結工程を経て製造されるものであるので、アクチュエータユニットにおいて圧電シートのサイズが大きくなるほど電極の位置精度は低下する。そのため、ヘッドが長尺化するにつれて流路ユニット内の圧力室とアクチュエータユニット内の個別電極との位置合わせは困難となり、ヘッドの製造歩留まりは低下してしまう。
【0008】
一方、アクチュエータユニットは、高価な精密部品であると同時に、セラミックによって構成されているために大変脆い性質を有する。特に多角形の輪郭形状を有するアクチュエータユニットは、その角部が大変欠け易くなっており、その破損ロスが製造コストの増大要因となっている。また、アクチュエータユニットの取扱いは、その角部を他の部品に衝突させたりしないように極めて慎重に行うことが要求されるため、インクジェットヘッドの組立作業が困難なものとなっている。
【0009】
そこで、本発明の一つの目的は、アクチュエータユニットと流路ユニットとが精度よく位置合わせされたインクジェットヘッドを提供することである。
【0010】
本発明の別の目的は、アクチュエータユニットが破損しにくいインクジェットヘッドを提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つの観点によると、一端をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続された複数の圧力室を含み、前記複数の圧力室が平面に沿って相互に隣接配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定された複数のアクチュエータユニットであって、各アクチュエータユニットが各圧力室に対応する複数の圧力発生部を有していると共に複数の前記圧力室に跨る大きさに形成されており、隣接する前記アクチュエータユニット同士が互いの一部において前記流路ユニットの長手方向と直交する幅方向にオーバーラップするように前記流路ユニットの前記長手方向に沿って配列された複数のアクチュエータユニットとを備えており、各アクチュエータユニットが、多数の前記圧力発生部がマトリクス状に形成された基本領域であって、前記流路ユニットの前記長手方向に対して傾斜した斜辺を有し、前記斜辺の少なくとも一部が隣接する他のアクチュエータユニットの前記斜辺と前記基本領域内の前記圧力発生部同士の間に隙間部分が形成されるように前記幅方向にオーバーラップする基本領域と、前記基本領域に対して前記流路ユニットの前記幅方向に隣接した追加領域であって、前記隙間部分と前記幅方向にオーバーラップするように前記圧力発生部が形成された追加領域とを備えているインクジェットヘッド(請求項1)、及び、これを含むインクジェットプリンタ(請求項7)が提供される。
【0012】
これによると、複数のアクチュエータユニットのそれぞれについて流路ユニットとの位置合わせを行うことが可能となる。そのため、ヘッドを長尺化しても各アクチュエータユニットの電極と圧力室との位置ずれ量の増加が抑制され、両者を精度よく位置合わせすることができる。したがって、良好なインク吐出性能が得られると共に、ヘッドの製造歩留まりが向上する。しかも、ある1つのアクチュエータユニットに設けられた追加領域内の圧力発生部が隣接するアクチュエータユニットの基本領域内の圧力発生部との隙間部分と幅方向にオーバーラップしているので、隣接するアクチュエータユニットのつなぎ目付近において圧力発生部の数が少なくなることがない。従って、流路ユニットの長手方向に沿った圧力発生部の数の変動が実質的にないヘッドを得ることができる。
【0013】
本発明のさらに別の観点によると、一端をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続された複数の圧力室を含み、前記複数の圧力室が平面に沿って相互に隣接配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定された複数のアクチュエータユニットであって、各アクチュエータユニットが各圧力室に対応する複数の圧力発生部を有していると共に複数の前記圧力室に跨る大きさに形成されており、隣接する前記アクチュエータユニット同士が互いの一部において前記流路ユニットの長手方向と直交する幅方向にオーバーラップするように前記流路ユニットの前記長手方向に沿って配列された複数のアクチュエータユニットとを備えたインクジェットプリンタが提供される。このインクジェットプリンタにおいて、各アクチュエータユニットが、多数の前記圧力発生部がマトリクス状に形成された基本領域であって、前記流路ユニットの前 記長手方向に対して傾斜した斜辺を有し、前記斜辺の少なくとも一部が隣接する他のアクチュエータユニットの前記斜辺と前記基本領域内の前記圧力発生部同士の間に隙間部分が形成されるように前記幅方向にオーバーラップする基本領域と、前記基本領域に対して前記流路ユニットの前記幅方向に隣接しており、前記圧力発生部が形成された追加領域とを備えているインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドを駆動する駆動回路と、前記インクジェットヘッドの駆動時において、前記追加領域内では、前記隙間部分と前記幅方向にオーバーラップする前記圧力発生部だけを動作させるように前記駆動回路を制御する制御ユニットとを備えている(請求項8)。
【0014】
本発明の別の観点によると、インクを吐出するノズルに連通した複数の圧力室を含み、前記複数の圧力室が平面に沿って相互に隣接配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、各圧力室に対応する複数の圧力発生部を有していると共に複数の前記圧力室に跨る大きさに形成されたアクチュエータユニットとを備えており、前記アクチュエータユニットが五本以上の直線部分をもつ輪郭形状を有し、各直線部分がその隣の直線部分と直角及び鈍角のいずれかの角度で接続されているインクジェットヘッドが提供される(請求項9)。
【0015】
これによると、アクチュエータユニットの角部をいずれも直角または鈍角とすることにより、インクジェットヘッド製造時におけるアクチュエータユニットの破損が生じにくくなる。
【0016】
【0017】
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【0019】
まず、本発明の参考例によるインクジェットヘッドについて、図1〜図10を参照しつつ説明する。図1は、このインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略図である。図1に示すインクジェットプリンタ101は、4つのインクジェットヘッド1を有するカラーインクジェットプリンタである。このプリンタ101には、図中左方に給紙部111が、図中右方に排紙部112が、それぞれ構成されている。
【0020】
プリンタ101内部には、給紙部111から排紙部112に向かって流れる用紙搬送経路が形成されている。給紙部111のすぐ下流側には、画像記録媒体たる用紙を挟持搬送する一対の送りローラ105a、105bが配置されている。一対の送りローラ105a、105bによって用紙は図中左方から右方へ送られる。用紙搬送経路の中間部には、二つのベルトローラ106、107と、両ローラ106、107間に架け渡されるように巻回されたエンドレスの搬送ベルト108とが配置されている。搬送ベルト108の外周面すなわち搬送面にはシリコーン処理が施されており、一対の送りローラ105a、105bによって搬送されてくる用紙を、搬送ベルト108の搬送面にその粘着力により保持させながら、一方のベルトローラ106の図中時計回り(矢印104の方向)への回転駆動によって下流側(右方)に向けて搬送できるようになっている。
【0021】
用紙のベルトローラ106に対する挿入及び排出位置には、押さえ部材109a、109bがそれぞれ配置されている。押さえ部材109a、109bは、搬送ベルト108上の用紙が搬送面から浮かないように、搬送ベルト108の搬送面に用紙を押し付けて搬送面上に確実に粘着させるためのものである。
【0022】
用紙搬送経路に沿って搬送ベルト108のすぐ下流側には、剥離機構110が設けられている。剥離機構110は、搬送ベルト108の搬送面に粘着されている用紙を搬送面から剥離して、右方の排紙部112へ向けて送るように構成されている。
【0023】
4つのインクジェットヘッド1は、その下端にヘッド本体1aを有している。ヘッド本体1aは、それぞれが矩形断面を有しており、その長手方向が用紙搬送方向に垂直な方向(図1の紙面垂直方向)となるように互いに近接配置されている。つまり、このプリンタ101は、ライン式プリンタである。4つのヘッド本体1aの各底面は用紙搬送経路に対向しており、これら底面には微小径を有する多数のインク吐出口が形成されたノズルが設けられている。4つのヘッド本体1aのそれぞれからは、マゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが吐出される。
【0024】
ヘッド本体1aは、その下面と搬送ベルト108の搬送面との間に少量の隙間が形成されるように配置されており、この隙間部分に用紙搬送経路が形成されている。この構成で、搬送ベルト108上を搬送される用紙が4つのヘッド本体1aのすぐ下方側を順に通過する際、この用紙の上面すなわち印刷面に向けてノズルから各色のインクが噴射されることで、用紙上に所望のカラー画像を形成できるようになっている。
【0025】
インクジェットプリンタ101は、インクジェットヘッド1に対するメンテナンスを自動的に行うためのメンテナンスユニット117を有している。このメンテナンスユニット117には、4つのヘッド本体1aの下面を覆うための4つのキャップ116や、図示せぬパージ機構などが設けられている。
【0026】
メンテナンスユニット117は、インクジェットプリンタ101で印刷が行われているときには、給紙部111の直下方の位置(退避位置)に位置している。そして、印刷終了後に所定の条件が満たされたとき(例えば、印刷動作が行われない状態が所定の時間だけ継続したときや、プリンタ101の電源OFF操作がされたとき)は、4つのヘッド本体1aの直ぐ下方の位置に移動して、この位置(キャップ位置)にて、キャップ116によってヘッド本体1aの下面をそれぞれ覆い、ヘッド本体1aのノズル部分のインクの乾燥を防止するようになっている。
【0027】
ベルトローラ106、107や搬送ベルト108は、シャーシ113によって支持されている。シャーシ113は、その下方に配置された円筒部材115上に載置されている。円筒部材115は、その中心から外れた位置に取り付けられた軸114を中心として回転可能となっている。そのため、軸114の回転に伴って円筒部材115の上端高さが変化すると、それに合わせてシャーシ113が昇降する。メンテナンスユニット117を退避位置からキャップ位置に移動させる際には、予め円筒部材115を適宜の角度回転させてシャーシ113、搬送ベルト108及びベルトローラ106、107を図1に示す位置から適宜の距離だけ下降させ、メンテナンスユニット117の移動のためのスペースを確保しておく必要がある。
【0028】
搬送ベルト108によって囲まれた領域内には、インクジェットヘッド1と対向する位置、つまり上側にある搬送ベルト108の下面と接触することによって内周側からこれを支持するほぼ直方体形状(搬送ベルト108と同程度の幅を有している)のガイド121が配置されている。
【0029】
次に、本参考例によるインクジェットヘッド1の構造について、より詳細に説明する。図2は、インクジェットヘッド1の斜視図である。図3は、図2のIII−III線に沿った断面図である。図2及び図3に示すように、本参考例によるインクジェットヘッド1は、一方向(主走査方向)に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体1aと、ヘッド本体1aを支持するための基部131とを有している。基部131は、ヘッド本体1aのほかに、個別電極35a、35b(図6参照)などに駆動信号を供給するドライバIC132及び基板133を支持している。
【0030】
基部131は、図2に示すように、ヘッド本体1aの上面と部分的に接着されることでヘッド本体1aを支持するベースブロック138と、ベースブロック138の上面と接着されることでベースブロック138を保持するホルダ139とから構成されている。ベースブロック138は、ヘッド本体1aの長尺方向長さとほぼ同じ長さを有する略直方体形状の部材である。ステンレスなどの金属材料からなるベースブロック138は、ホルダ139を補強する軽量の構造体としての機能を有している。ホルダ139は、ヘッド本体1a側に配置されるホルダ本体141と、ホルダ本体141からヘッド本体1aとは反対側に延在した一対のホルダ支持部142とから構成されている。一対のホルダ支持部142は、いずれも平板状の部材であって、ホルダ本体141の長尺方向に沿って所定の間隔を隔てて互いに平行に設けられている。
【0031】
ホルダ本体141の副走査方向(主走査方向と直交する方向)両端部には、下方に突出した一対のスカート部141aが設けられている。ここで、一対のスカート部141aは、いずれもホルダ本体141の長尺方向全幅にわたって形成されているため、ホルダ本体141の下面には、一対のスカート部141aによって略直方体形状の溝部141bが形成されている。この溝部141b内に、ベースブロック138が収納されている。ベースブロック138の上面と、ホルダ本体141の溝部141bの底面とは、接着剤によって接着されている。ベースブロック138の厚さは、ホルダ本体141の溝部141bの深さよりも若干大きいため、ベースブロック138の下端部は、スカート部141aよりも下方に飛び出している。
【0032】
ベースブロック138の内部には、ヘッド本体1aに供給されるインクの流路として、その長尺方向に延在する略直方体形状の空隙(中空領域)であるインク溜まり3が形成されている。ベースブロック138の下面145には、インク溜まり3に連通した開口3b(図4参照)が形成されている。なお、インク溜まり3は、プリンタ本体内の図示しないメインインクタンク(インク供給源)に、図示しない供給チューブにより接続されている。そのため、インク溜まり3には、メインインクタンクから適宜インクが補充されるようになっている。
【0033】
ベースブロック138の下面145は、開口3bの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック138は、下面145の開口3b近傍部分145aにおいてのみヘッド本体1aの流路ユニット4(図3参照)と接触している。そのため、ベースブロック138の下面145の開口3b近傍部分145a以外の領域は、ヘッド本体1aから離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット21が配されている。
【0034】
ホルダ139のホルダ支持部142の外側面には、スポンジなどの弾性部材137を介してドライバIC132が固定されている。ドライバIC132の外側面には、ヒートシンク134が密着配置されている。ヒートシンク134は、略直方体形状の部材であって、ドライバIC132で発生する熱を効率的に散逸させる。ドライバIC132には、給電部材であるフレキシブルプリント配線板(FPC:Flexible Printed Circuit)136が接続されている。ドライバIC132に接続されたFPC136は、基板133及びヘッド本体1aとハンダ付けによって電気的に接合されている。ドライバIC132およびヒートシンク134の上方であって、FPC136の外側には、基板133が配置されている。ヒートシンク134の上面と基板133との間、および、ヒートシンク134の下面とFPC136との間は、それぞれシール部材149で接着されている。
【0035】
ホルダ本体141のスカート部141aの下面と流路ユニット4の上面との間には、FPC136を挟むようにシール部材150が配置されている。つまりFPC136は、流路ユニット4およびホルダ本体141に対してシール部材150によって固定されている。これにより、ヘッド本体1aが長尺化した場合の撓みの防止、アクチュエータユニット21とFPC136との接続部への応力印可の防止およびFPC136の確実な保持が可能となる。
【0036】
図2に示すように、インクジェットヘッド1の主走査方向に沿った下方角部近傍には、インクジェットヘッド1の側壁に沿って6つの凸設部30aが均等に離隔配置されている。これら凸設部30aは、ヘッド本体1aの最下層にあるノズルプレート30(図7参照)の副走査方向両端部に設けられた部分である。つまり、ノズルプレート30は、凸設部30aとそれ以外の部分との境界線に沿って約90度折り曲げられている。凸設部30aは、プリンタ101において印刷に用いられる各種サイズの用紙の両端部付近に対応する位置に設けられている。ノズルプレート30の折り曲げ部分は直角ではなく丸みを帯びた形状となっているため、ヘッド1と近接する方向に搬送されてきた用紙の先端部がヘッド1の側面と接触することで生じる用紙の詰まりすなわちジャミングが起こりにくくなっている。
【0037】
図4は、ヘッド本体1aの模式的な平面図である。図4において、ベースブロック138内に形成されたインク溜まり3が仮想的に破線で描かれている。図4に示すように、ヘッド本体1aは、一方向(主走査方向)に延在した矩形平面形状をしている。ヘッド本体1aは、後述する多数の圧力室10やノズル先端のインク吐出口8(共に図5、図6、図7参照)が形成された流路ユニット4を有しており、その上面には、千鳥状になって2列に配列された複数の台形のアクチュエータユニット21が接着されている。各アクチュエータユニット21は、その平行対向辺(上辺及び下辺)が流路ユニット4の長手方向に沿うように配置されている。そして、隣接するアクチュエータユニット21の斜辺同士が、流路ユニット4の幅方向にオーバーラップしている。
【0038】
アクチュエータユニット21の接着領域と対応した流路ユニット4の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のインク吐出口8がマトリクス状に多数配列されている。また、流路ユニット4の上方に配置されたベースブロック138内には、その長手方向に沿ってインク溜まり3が形成されている。インク溜まり3は、その一端に設けられた開口3aを介してインクタンク(図示せず)に連通しており、常にインクで満たされている。インク溜まり3には、その延在方向に沿って開口3bが2つずつ対になって、アクチュエータユニット21が設けられていない領域に千鳥状に設けられている。
【0039】
図5は、図4内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図4及び図5に示すように、インク溜まり3は、開口3bを介してその下層にある流路ユニット4内のマニホールド5と連通している。開口3bには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ(図示せず)が設けられている。マニホールド5は、その先端部が2つに分岐して副マニホールド5aとなっている。1つのアクチュエータユニット21の下部には、当該アクチュエータユニット21に対してインクジェットヘッド1の長手方向両隣にある2つの開口3bからそれぞれ2つの副マニホールド5aが進入してきている。つまり、1つのアクチュエータユニット21の下部には、合計で4つの副マニホールド5aがインクジェットヘッド1の長手方向に沿って延在している。各副マニホールド5aは、インク溜まり3から供給されたインクで満たされている。
【0040】
図6は、図5内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図5及び図6に示すように、アクチュエータユニット21の上面には、平面形状がほぼひし形の個別電極35aがマトリクス状に規則的に配列されていると共に、アクチュエータユニット21の内部であって、各個別電極35aと上下に重なる位置には、個別電極35aと同形状の個別電極35bが配置されている。また、流路ユニット4のアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域の表面には、多数のインク吐出口8がマトリクス状に規則的に配列されている。流路ユニット4内には、共に各インク吐出口8と連通した、平面形状が個別電極35a、35bよりも一回り大きいほぼひし形の圧力室(キャビティ)10と、アパーチャ12とがそれぞれマトリクス状に規則的に配列されている。圧力室10は、個別電極35a、35bと対応する位置に形成されており、平面視において個別電極35a、35bの大部分は圧力室10の領域に含まれている。なお、図5及び図6において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット21内又は流路ユニット4内にあって破線で描くべき圧力室10及びアパーチャ12等を実線で描いている。
【0041】
図7は、図4に描かれたヘッド本体1aの圧力室長手方向に沿った部分断面図である。各インク吐出口8は、図7からも分かるように、先細形状のノズルの先端に形成されている。各インク吐出口8は、圧力室10(長さ900μm、幅350μm)及びアパーチャ12を介して副マニホールド5aと連通している。このようにして、インクジェットヘッド1には、インクタンクからインク溜まり3、マニホールド5、副マニホールド5a、アパーチャ12及び圧力室10を経てインク吐出口8に至るインク流路32が形成されている。
【0042】
また、図7から明らかなように、圧力室10とアパーチャ12とは異なる高さに設けられている。これにより、図6に示すように、アクチュエータユニット21の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット4内において、1つの圧力室10と連通したアパーチャ12を、当該圧力室に隣接する圧力室10と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室10同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド1により高解像度の画像印刷が実現される。
【0043】
圧力室10は、図5及び図6に描かれた平面内において、インクジェットヘッド1の長手方向(第1配列方向)と、インクジェットヘッド1の幅方向からやや傾いた方向(第2配列方向)との2方向にインク吐出領域内で配列されている。第1配列方向と第2配列方向は、直角よりもやや小さい角度θをなしている。インク吐出口8は、第1配列方向には50dpiで配列されている。一方で、圧力室10は、第2配列方向には1つのアクチュエータユニット21に対応するインク吐出領域内に12個が含まれるように配列されている。これにより、インクジェットヘッド1の全幅内で、第1配列方向に隣接する2つのインク吐出口8間の距離だけ離隔した範囲には、12個のインク吐出口8が存在するようになっている。なお、各インク吐出領域の第1配列方向についての両端部(アクチュエータユニット21の斜辺に相当する)では、インクジェットヘッド1の幅方向に対向する別のアクチュエータユニット21に対応するインク吐出領域と相補関係となることで上記条件を満たしている。そのため、本参考例によるインクジェットヘッド1では、第1及び第2配列方向に配列された多数のインク吐出口8から、インクジェットヘッド1の幅方向への用紙に対する相対的な移動に伴って順次インク滴を吐出させることで、主走査方向に600dpiで印刷を行うことが可能になっている。
【0044】
次に、図8を参照して、流路ユニット4の構造をより詳細に説明する。図8は、圧力室10、インク吐出口8及びアパーチャ(制限流路)12の三者の位置関係を示す模式的な図である。図8に示すように、圧力室10は、第1配列方向に所定の間隔である50dpiで列状に配列されている。このような圧力室10の列は、第2配列方向には12列配列されて、全体として圧力室10は1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内において2次元配列をしている。
【0045】
圧力室10には、ノズルが図8中上側の鋭角部に接続されている圧力室10aと、下側の鋭角部に接続されている圧力室10bとの2種類がある。複数の圧力室10a及び複数の圧力室10bは、共に第1配列方向に配列されて圧力室列11a、11bをそれぞれ形成している。図8に示すように、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内においては、図8中下側から順に2列の圧力室列11aが配列され、その上側に隣接して2列の圧力室列11bが配列されている。このような2列の圧力室列11aと2列の圧力室列11bとの合わせて4列の圧力室列を1組とした圧力室列の組が、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内において、下側から3回繰り返して配列されている。各圧力室列11a、11b中の各圧力室の上側鋭角部を結ぶ直線は、この圧力室列に上側から隣接する圧力室列中の各圧力室の下側斜辺と交差している。
【0046】
上述のように、図8の紙面に対して垂直な方向から見て、圧力室10に接続されたノズルの配置位置が異なる第1の圧力室列11aと第2の圧力室列11bとを2列ずつ隣接して配列することにより、全体として圧力室10は規則正しく整列している。一方、ノズルは、これら4列の圧力室列を1組とした圧力室列の組の中において中央領域に集まって配列されることになる。これにより、上述のように、4列の圧力室列を1組として、下側から3回繰り返して圧力室列の組を配置した場合、圧力室列の組と組との境界近傍領域、すなわち、このような4列の圧力室列からなる組の両側には、ノズルが存在しない領域が形成される。そして、そこに各圧力室10にインクを供給するための幅の広い副マニホールド5aが延設されている。本参考例では、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内において、図中下側に1本、一番下側の圧力室列の組と二番目の圧力室列の組との間に1本、一番上側の圧力室列の組の両側に2本、合わせて4本の幅の広い副マニホールド5aが第1配列方向に延設されている。
【0047】
図8に示すように、インクを吐出するインク吐出口8に連通するノズルは、第1配列方向には、この方向に規則正しく並ぶ圧力室10に対応して、50dpiの等間隔で配列されている。また、第1配列方向と角度θで交差している第2配列方向にも12個の圧力室10が規則正しく配列されているのとは異なり、これら12個の圧力室10に対応した12個のノズルは、上述したように圧力室10の上側の鋭角部に連通したものと下側の鋭角部に連通したものとがあって、第2配列方向に規則的に一定の間隔で配列されていない。
【0048】
他方、ノズルが圧力室10の同じ側の鋭角部に常に連通している場合には、ノズルも第2配列方向の方向に規則的に一定の間隔で配列されることになる。すなわち、この場合、ノズルは、図中下側から上側に1圧力室列上がるごとに第1配列方向に印字時の解像度である600dpiに相当する間隔ずつ変位するように配列される。これに対して、本インクジェットヘッドでは、2列の圧力室列11aと2列の圧力室列11bとの合わせて4列の圧力室列を1組として、これが下側から3回繰り返して配列されているので、図中下側から上側に1圧力室列上がるごとのノズル位置の第1配列方向への変位は常に同じではない。
【0049】
インクジェットヘッド1において、第1配列方向に50dpiに相当する幅(約508.0μm)を有し、この第1配列方向と直交する方向に延在する帯状領域Rについて考える。この帯状領域Rの中には、12列の圧力室列の内の何れの列についても、ノズルが1つしか存在していない。すなわち、1つのアクチュエータユニット21に対応したインク吐出領域内の任意の位置に、このような帯状領域Rを区画した場合、この帯状領域R内には、常に12個のノズルが分布している。そして、これら12個の各ノズルを第1配列方向に延びる直線上に射影した点の位置は、印字時の解像度である600dpiに相当する間隔ずつ離隔している。
【0050】
1つの帯状領域Rに属する12個のノズルを第1配列方向に延びる直線上に射影した位置が左にあるものから順に、これら12個のノズルを(1)〜(12)と記することにしたとき、これら12個のノズルは、下から、(1)、(7)、(2)、(8)、(5)、(11)、(6)、(12)、(9)、(3)、(10)、(4)の順番に並んでいる。
【0051】
このように構成されたインクジェットヘッド1において、アクチュエータユニット21内の活性層を適宜駆動させると、600dpiの解像度を有する文字や図形等を描画することができる。つまり、12列の圧力室列に対応した活性層を印字媒体の搬送に合わせて順次選択的に駆動することで、特定の文字や図形を印字媒体に印刷することができる。
【0052】
例えば、600dpiの解像度で第1配列方向に延びる直線を印字する場合について説明する。まず、ノズルが圧力室10の同じ側の鋭角部に連通している場合について簡単に説明する。この場合には、印字蝶体が搬送されるのに対応して、図8中一番下に位置する圧力室列中のノズルからインクの吐出を始め、順次上側に隣接する圧力室列に属するノズルを選択してインクを吐出する。これにより、インクのドットが第1配列方向に向かって600dpiの間隔で隣接しながら形成されていく。最終的には、全体で600dpiの解像度で第1配列方向に延びる直線が描かれることになる。
【0053】
一方、本参考例では、図8中一番下に位置する圧力室列11a中のノズルからインクの吐出を始め、印字媒体が搬送されるのに伴って順次上側に隣接する圧力室に連通するノズルを選択してインクを吐出していく。このとき、下側から上側に1圧力室列上がるごとのノズル位置の第1配列方向への変位が常に同じでないので、印字媒体が搬送されるのに伴って第1配列方向に沿って順次形成されるインクのドットは、600dpiの間隔で等間隔にはならない。
【0054】
すなわち、図8に示したように、印字媒体が搬送されるのに対応して、まず図中一番下の圧力室列11aに連通するノズル(1)からインクが吐出され、印字媒体上に50dpiに相当する間隔(約508.0μm)でドット列が形成される。この後、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から2番目の圧力室列11aに連通するノズル(7)の位置に達すると、このノズル(7)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)の6倍だけ第1配列方向に変位した位置(約42.3μm×6=約254.0μm)に2番目のインクドットが形成される。
【0055】
次に、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から3番目の圧力室列11bに連通するノズル(2)の位置に達すると、ノズル(2)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)だけ第1配列方向に変位した位置に3番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から4番目の圧力室列11bに連通するノズル(8)の位置に達すると、ノズル(8)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドットの位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)の7倍だけ第1配列方向に変位した位置(約42.3μm×7=約296.3μm)に4番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から5番目の圧力室列11aに連通するノズル(5)の位置に達すると、ノズル(5)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から600dpiに相当する間隔分(約42.3μm)の4倍だけ第1配列方向に変位した位置(約42.3μm×4=約169.3μm)に5番目のインクドットが形成される。
【0056】
以下同様にして、順次図中下側から上側に位置する圧力室10に連通するノズルを選択しながらインクドットが形成されていく。このとき、図8中に示したノズルの番号をNとすると、(倍率n=N−1)×(600dpiに相当する間隔)に相当する分だけ、始めに形成されたドット位置から第1配列方向に変位した位置にインクドットが形成される。最終的に12個のノズルを選択し終わったときには、図中一番下の圧力室列11a中のノズル(1)により50dpiに相当する間隔(約508.0μm)で形成されたインクドットの間が600dpiに相当する間隔(約42.3μm)毎に離れて形成された12個のドットで繋げられ、全体で600dpiの解像度で第1配列方向に延びる直線を描くことが可能になっている。
【0057】
次に、本参考例によるインクジェットヘッド1の断面構造について説明する。図9は、図4に描かれたヘッド本体1aの部分分解斜視図である。図10は、図7内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域を横方向から見た拡大断面図である。図7及び図9に示すように、インクジェットヘッド1の底部側の要部は、上から、アクチュエータユニット21、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャプレート24、サプライプレート25、マニホールドプレート26,27,28、カバープレート29及びノズルプレート30の合計10枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット21を除いた9枚のプレートから流路ユニット4が構成されている。
【0058】
アクチュエータユニット21は、後で詳述するように、5枚の圧電シート41〜45(図10参照)が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層とこれに隣接する第2層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層(以下、単に「活性層を有する層」というように記する)とされ、残り3層が非活性層とされたものである。キャビティプレート22は、圧力室10に対応するほぼ菱形の開口が多数設けられた金属プレートである。ベースプレート23は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10とアパーチャ12との連絡孔及び圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート24は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、アパーチャ12のほかに圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート25は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、アパーチャ12と副マニホールド5aとの連絡孔及び圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート26、27、28は、副マニホールド5aに加えて、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート29は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート30は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、ノズルとして機能する先細のインク吐出口8がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【0059】
これら10枚のシート21〜30は、図6に示すようなインク流路32が形成されるように、互いに位置合わせして積層される。このインク流路32は、副マニホールド5aからまず上方へ向かい、アパーチャ12において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室10において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ12から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にインク吐出口8へと向かう。
【0060】
図10に示すように、アクチュエータユニット21は、それぞれ厚みが15μm程度で同じになるように形成された5枚の圧電シート41、42、43、44、45を含んでいる。これら圧電シート41〜45は、インクジェットヘッド1内の1つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室10に跨って配置されるように連続した層状の平板(連続平板層)となっている。圧電シート41〜45が連続平板層として多数の圧力室10に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより個別電極35a、35bを高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極35a、35bに対応する位置に形成される圧力室10をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート41〜45は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなるものである。
【0061】
最上層にある圧電シート41とその下方に隣接した圧電シート42との間には、シート全面に形成された厚み2μm程度の共通電極34aが介在している。同様に、圧電シート42の下層に隣接した圧電シート43とその下層に隣接した圧電シート44との間にも、共通電極34aと同様に形成された厚み2μm程度の共通電極34bが介在している。また、圧電シート41の上方には、平面形状が圧力室10と相似形状(長さ850μm、幅250μm)を有し且つ積層方向への射影領域が圧力室領域に含まれる厚み1μm程度の個別電極35aが、圧力室10ごとに形成されている(図6参照)。さらに、圧電シート42と圧電シート43との間には、個別電極35aと同様に形成された厚み2μm程度の個別電極35bが介在している。一方、圧電シート43の下方に隣接した圧電シート44とその下方に隣接した圧電シート45との間、及び、圧電シート45の下方には、電極が配置されていない。電極34a、34b、35a、35bは、Ag−Pd系等の金属材料からなるものである。
【0062】
共通電極34a、34bは、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極34a、34bは、すべての圧力室10に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、個別電極35a、35bは、各圧力室10に対応するものごとに電位を制御することができるように、個別電極35ごとに独立してFPC136内に配線されたリード線(図示せず)と接触しており、このリード線を介してドライバIC132に接続されている。このとき、上下で対になった個別電極35a、35b同士は同じリード線を介してドライバIC132に接続されてよい。なお、共通電極34a、34bは、積層方向への射影領域が圧力室領域を含むように圧力室10よりも大きいものが圧力室10ごとに多数形成されてもよいし、或いは、射影領域が圧力室領域に含まれるように圧力室10よりもやや小さいものが圧力室10ごとに多数形成されてもよく、必ずしもシート全面に形成された1枚の導電シートである必要はない。ただし、このとき、圧力室10に対応する部分がすべて同一電位となるように共通電極どうしが電気的に接続されていることが必要である。
【0063】
インクジェットヘッド1において、圧電シート41〜45の分極方向はその厚み方向となっている。つまり、アクチュエータユニット21は、上側(つまり、圧力室10とは離れた)3枚の圧電シート41〜43を活性層が存在する層とし且つ下側(つまり、圧力室10に近い)2枚の圧電シート44、45を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極35a、35bを正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート41〜43中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層(圧力発生部)として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート44、45は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シート41〜43と下層の圧電シート44、45との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート41〜45全体が非活性側に凸となるように変形しようとする(ユニモルフ変形)。このとき、図10で示したように、圧電シート41〜45の下面は圧力室を区画する隔壁(キャビティプレート)22の上面に固定されているので、結果的に圧電シート41〜45は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室10の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、インク吐出口8からインクが吐出される。その後、個別電極35a、35bを共通電極34a、34bと同じ電位に戻すと、圧電シート41〜45は元の形状になって圧力室10の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド5側から吸い込む。
【0064】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極35a、35bを共通電極34a、34bと異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極35a、35bを共通電極34a、34bと一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極35a、35bを共通電極34a、34bと異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極35a、35bと共通電極34a、34bとが同じ電位になるタイミングで、圧電シート41〜45が元の形状に戻ることにより、圧力室10の容積は初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加し、インクがマニホールド5側から圧力室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35a、35bを共通電極34a、34bと異なる電位にしたタイミングで、圧電シート41〜45が圧力室10側へ凸となるように変形し、圧力室10の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【0065】
また、圧電シート41〜45に印加される電界方向とその分極方向とが逆であれば、圧電横効果により、個別電極35a、35bと共通電極34a、34bとで挟まれた圧電シート41、42中の活性層が分極方向と直角方向に伸長しようとする。従って、圧電シート41〜45は、圧力室10側に凹となるように変形する。このため、圧力室10の容積が増加して、インクをマニホールド5側から吸い込む。その後、個別電極35a、35bの電位が元に戻れば、圧電シート41〜45は元の平板形状となり、圧力室10の容積が元の容積に戻るので、インク吐出口8からインクを吐出する。
【0066】
次に、本参考例によるインクジェットヘッド1の製造方法について説明する。
【0067】
インクジェットヘッド1を製造するには、まず流路ユニット4及びアクチュエータユニット21をそれぞれ並行して別個に作製し、その後両者を接着する。流路ユニット4を作製するには、これを構成する各プレート22〜30に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしてエッチングを施して、図7及び図9に示すような開孔を各プレート22〜30のそれぞれに形成する。その後、インク流路32が形成されるように9枚のプレート22〜30を接着剤を介在させつつ重ね合わせ、接着することで流路ユニット4を作製する。
【0068】
一方、アクチュエータユニット21を作製するには、まず、圧電シート43となるセラミックス材料のグリーンシート上に、個別電極35bとなる導電性のペーストをパターン印刷する。それと並行して、圧電シート42、44となるセラミックス材料のグリーンシート上に共通電極34a、34bとなる導電性のペーストをパターン印刷する。その後、圧電シート41〜45となる5枚のグリーンシートを治具を用いて位置合わせしつつ重ね合わせることによって得られた積層物を所定の温度で焼成する。しかる後、焼成された積層物の圧電シート41上に個別電極35aを形成する。個別電極35aは、例えば、圧電シート41上に導電膜を全面めっきし、レーザパターニングにより不要部分を除去するか、或いは、個別電極35aに対応する部分に開口を有するマスクを用いて圧電シート41上に導電膜をPVD(Physical Vapor Deposition:物理的蒸着)などで蒸着させることにより形成されてよい。ここまでの工程によりアクチュエータユニット21の作製が終了する。
【0069】
次に、上述のようにして作製されたアクチュエータユニット21は、圧電シート45とキャビティプレート22とが接触するように、接着剤により流路ユニット4と接着される。この際、流路ユニット4のキャビティプレート22の表面及び圧電シート41の表面にそれぞれ形成された位置合わせのための目印に基づいて両者が接着される。
【0070】
その後、上下に重なる対応する個別電極35aと個別電極35bとを接続するべくスルーホールが形成され、さらにそのスルーホールが導電材料で埋め込まれる。その後、個別電極35a、35b及び共通電極34a、34bに電気信号を供給するため、FPC136をアクチュエータユニット21上の各電極に対応した接合位置にハンダ付けにより電気的に接合されるように貼り付け、さらに所定の工程を経ることによってインクジェットヘッド1の製造が完了する。
【0071】
このように、個別電極35aのみ、他の電極とは異なり圧電シート41〜45となるセラミックス材料と一緒に焼成しないのは、個別電極35aが露出しているために、焼成時の高温加熱により蒸発しやすく、セラミックス材料に被覆された他の電極34a、34b、35bに比べて厚みの制御が困難だからである。しかしながら、他の電極34a、34b、35bも焼成時に多少なりとも厚みが減少するので、焼成後の連続性を維持することを考慮するとその厚みを薄くすることが難しい。一方、個別電極35aは、焼成後に上述したような手法で形成するために、他の電極34a、34b、35bよりも薄く形成することが可能である。このように、インクジェットヘッド1では、最も上層にある個別電極35aを他の電極34a、34b、35bよりも薄くすることで、活性層を含む圧電シート41〜43の変位が個別電極35aによって規制されづらくなって、アクチュエータユニット21の効率(電気効率及び面積効率)を向上させている。
【0072】
インクジェットヘッド1は、活性層を含む圧電シート41〜43と非活性層である圧電シート44、45とが同じ材料で形成されているために、材料を交換する手間が不要となり、比較的簡略な製造工程により製造可能である。そのため、製造コストを低減できることが期待される。さらに、活性層を含む圧電シート41〜43と非活性層である圧電シート44、45とがすべて実質的に同じ厚みを有していることからも、製造工程の簡略化によるコスト削減を図ることができる。なぜなら、圧電シートとなるセラミックス材料を塗布積層していくときの厚さ調整工程を簡単に行うことができるようになるからである。
【0073】
また、本参考例によるインクジェットヘッド1では、インク吐出領域ごとに分割された複数のアクチュエータユニット21が、流路ユニット4に接着された状態でその長手方向に沿って配列されている。これにより、焼結などによって成形されるために寸法精度のばらつき及び個別電極35a、35bの位置精度のばらつきが生じやすいアクチュエータユニット21ごとに流路ユニット4との位置合わせを行うことが可能となり、ヘッドを長尺化しても各アクチュエータユニット21と流路ユニット4との位置ずれ量の増加が抑制され、両者を精度よく位置合わせすることができる。よって、目印から比較的遠くにある個別電極35a、35bについてもその圧力室10に対する位置が所定位置から大幅にずれることが少なくなって、良好なインク吐出性能が得られると共に、インクジェットヘッド1の製造歩留まりが飛躍的に向上する。他方、これとは異なり、アクチュエータユニット21を流路ユニット4と同様の長尺体として形成すると、アクチュエータユニット21を流路ユニット4と重ねたときの平面視における各圧力室10に対する個別電極35a、35bの位置の所定位置からのずれ量が目印から離れるに連れて大きくなり、目印から比較的離れた圧力室10におけるインク吐出性能が劣化し、インクジェットヘッド1内でのインク吐出性能の均一性が失われてしまう。
【0074】
また、上述のように構成されたインクジェットヘッド1によると、圧電シート41〜43を共通電極34a、34bと個別電極35a、35bとで挟み込むことにより、圧電効果によって容易に圧力室10の容積を変化させることができる。また、活性層を含む圧電シート41〜43が連続平板層であるため、容易に製造することが可能である。
【0075】
また、インクジェットヘッド1は、圧力室10に近い圧電シート44、45を非活性層とし、圧力室10から離れた圧電シート41〜43を活性層を含む層としたユニモルフ構造のアクチュエータユニット21を有している。そのため、圧電横効果により圧力室10の容積変化量を大きくすることができて、圧力室10側が活性層を含む層でその反対側が非活性層のインクジェットヘッドと比較して、個別電極35a、35bに印加される電圧の低電圧化及び/又は圧力室10の高集積化を図ることが可能となる。印加電圧の低電圧化を図ることにより、個別電極35a、35bを駆動するドライバを小型化できてコストを抑えることができ、圧力室10を小さくできてその高集積化を図ったときであっても十分な量のインクを吐出することが可能となって、ヘッド1の小型化と印刷ドットの高密度配置が実現される。
【0076】
さらに、インクジェットヘッド1は、各アクチュエータユニット21が実質的に台形形状を有しており、各アクチュエータユニット21の平行対向辺が流路ユニット4の長手方向に沿い且つ隣接するアクチュエータユニット21の斜辺同士が流路ユニット4の幅方向にオーバーラップするように複数のアクチュエータユニット21が千鳥状に2列配置されたものである。このように、隣接するアクチュエータユニット21の斜辺同士がオーバーラップしていることで、印刷媒体に対してインクジェットヘッド1がその幅方向に相対移動する際、流路ユニット4の幅方向に沿って存在する圧力室10同士が補完し合うことができ、高解像度印刷を実現しつつ、非常に幅の狭い小型のインクジェットヘッド1とすることができる。
【0077】
また、流路ユニット4において互いに隣接した多数の圧力室10がマトリクス状に配置されているので、比較的小さなサイズの領域内に多数の圧力室10を高密度に配置することが可能となっている。
【0078】
なお、上述したインクジェットヘッド1では、台形とした複数のアクチュエータユニットを2列に千鳥状に配置しているが、アクチュエータユニットは必ずしも台形にしなくともよく、複数のアクチュエータユニットを流路ユニットの長手方向に沿って単に1列に配列してもよい。或いは、アクチュエータユニットを3列以上に千鳥状に配置してもよい。
【0079】
次に、本発明の第1の実施の形態について説明する。図11は、本実施の形態に係るインクジェットヘッドのヘッド本体の平面図である。なお、本実施の形態に係るインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタにおいて、ヘッド本体以外の部分は、上述した参考例と類似しているため、ここではその詳細な説明を省略する。
【0080】
図11に示すように、本実施の形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体201は、一方向(主走査方向)に延びる矩形平面形状に構成されている。ヘッド本体201は、後述する多数の圧力室210やインク吐出口208が形成された流路ユニット204を備えており、その上面には、共に平行四辺形の二枚のアクチュエータユニット221(図11において右側のものを符号221aで,左側のものを符号221bで示している)が並べて接着されている。各アクチュエータユニット221は、その一辺Bがヘッド本体201の長手方向に沿うように配置されている。隣接するアクチュエータユニット221同士は、その斜辺C同士を近接させつつ、ヘッド本体201の幅方向(短手方向)に揃えられた状態に配置されている。流路ユニット204の上面にはインク供給口202が開口され、このインク供給口202が図示しない経路を介してインク供給源に接続されている。
【0081】
ヘッド本体201を図11とは反対側(印字面側)から見た図である図12に示すように、流路ユニット204の下面には、アクチュエータユニット221が配置される領域と対応させて、平行四辺形のインク吐出領域R1が二つ設けられている。このインク吐出領域R1の表面に、微小径のインク吐出口208が多数配列されている。
【0082】
本実施の形態は単色の印字を行わせる場合が示されており、インク供給口202には一色(例えば、ブラック)のインクが供給されることになる。なお、多色の印字を行わせる構成は、この流路ユニット幅方向に色の数だけのヘッド本体201(例えば、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラックの四色であれば、四本のヘッド本体201)を並べて配置して、互いに異なる色のインクを供給しながら各ヘッド本体201に印字を行わせることで達成される。
【0083】
流路ユニット204の内部構造を示す断面図が図13に示されている。図13に示すように、流路ユニット204の内部にはマニホールド流路205が形成され、このマニホールド流路205がインク供給口202を介してインク供給源に連通される結果、マニホールド流路205は常にインクで満たされている。なお、このインク供給口202には、インク内に含有される塵挨などを捕獲するためのフィルタを設けるのが望ましい。
【0084】
マニホールド流路205は二つのインク吐出領域R1に跨るように、流路ユニット204の大部分にわたって形成されている。マニホールド流路205においてインク吐出領域R1に相当する部分には、細長い平行四辺形状の多数の島部205aが、その長手方向を流路ユニット204の長手方向に沿わせるようにして等間隔で並べて形成されている。この構成において、インク供給口202から供給されたインクは、マニホールド流路205の内部において隣接する島部205aの間を通過し、各インク吐出領域R1において流路ユニット204に形成された後述の圧力室210へ分配される。
【0085】
各インク吐出口208は図15に示すように先細状のノズルとなっており、平面形状がほぼ平行四辺形状の圧力室210およびアパーチャ212を介して、マニホールド流路205と連通している。この構成でインクは、マニホールド流路205からアパーチャ212を経て圧力室210へ供給される。そして、後述するアクチュエータユニット221の駆動によって、圧力室210内のインクに噴射エネルギーを付与して、インクをインク吐出口208から噴射させる。
【0086】
図13に符号Qで示す領域の詳細な構成を図示したものが図14である。図14からも明らかなように、流路ユニット204上面の、インク吐出領域R1に対応した領域においては、多数の圧力室210が互いに隣接しながらマトリクス状に配置されている。なお、図15に示すように圧力室210とアパーチャ212とが異なる高さに設けられる構成としているため、一の圧力室210に繋がるアパーチャ212が他の圧力室210に重複するよう、図14のように配置することができる。この結果、圧力室210の高密度配置を実現でき、ヘッド本体201の小型化と形成画像の高解像度化に寄与できている。
【0087】
マニホールド流路205からインク吐出口208へ至る経路の具体的な構成が図15に示され、この図に示すように流路ユニット204は、キャビティプレート222、ベースプレート223、アパーチャプレート224、サプライプレート225、マニホールドプレート226、227、228、カバープレート229、ノズルプレート230の合計9枚のシート材を積層して構成されている。そして、流路ユニット204の上面に前述のアクチュエータユニット221が接着され、ヘッド本体201が構成されている。アクチュエータユニット221の詳細な構成は後述する。
【0088】
キャビティプレート222には平行四辺形状の開口が設けられて前述の圧力室210を構成し、一方、ノズルプレート230には、先細のインク吐出口208がプレスにより形成されている。両プレート222、230間に挟まれたプレート223〜229にはそれぞれ連絡孔251が貫通されて、圧力室210とインク吐出口208とは、これらの連絡孔251を通じて接続されている。アパーチャプレート224には長孔状のアパーチャ212が設けられ、このアパーチャ212の一端は、ベースプレート223に形成した連絡孔252を介して、圧力室210の端部(インク吐出口208と接続する側と反対側の端部)へ接続されている。アパーチャ212は、圧力室210に供給されるインクの量を適切に調整し、インク吐出口208から噴射されるインクの量の過大あるいは過小を防止する役割を果たす。サプライプレート225には連絡孔253が開口され、アパーチャ212の他端とマニホールド流路205とを接続する。
【0089】
流路ユニット204を構成する9枚のプレート222〜230はいずれも金属製とされており、圧力室210やアパーチャ212や連絡孔251、252、253は、マスクパターンを使用した選択的なエッチングを各金属プレートに施すことによって形成されている。そして、図15に図示するような流路を形成するように、9枚のプレート222〜230は互いに位置合わせした上で積層・接着されている。
【0090】
図16に示すように、アクチュエータユニット221は、それぞれ厚みが15μm程度で同じになるように形成された5枚の圧電シート241〜245を備えている。これら圧電シート241〜245は連続平板層であり、一つのアクチュエータユニット221が、ヘッド本体201の一つのインク吐出領域R1内に形成される多数の圧力室210に跨って配置されている。こうすることで、アクチュエータユニット221内に個別電極235a、235bを高密度に配置することが可能となっている。圧電シート241〜245の材料としては、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料を用いている。
【0091】
上から数えて第一層と第二層の両圧電シート241、242の間には、ほぼシート全面に形成された厚み2μm程度の共通電極234aが介在している。同様に、第三層と第四層の圧電シート243、244の間にも、厚み2μm程度の共通電極234bが介在している。第一層の圧電シート241の上面には、厚み1μm程度の個別電極235aが各圧力室210ごとに形成されている。個別電極235aの平面形状は図14に示すように、圧力室210の形状をほぼ相似を保ちながら若干縮小させた形状とされ、かつ、その中心位置が圧力室210の中心位置とほぼ一致するよう配置されている。さらに、第二層と第三層の圧電シート242、243の間にも、個別電極235aと同様に形成された厚み2μm程度の個別電極235bが配置されている。これらの個別電極235a、35bが配置されている部分が、圧力室210内のインクに圧力を付与する圧力発生部Aに相当する。なお、第四層と第五層の圧電シート244、245の間、および、第五層の圧電シート245の下面には、電極が配置されていない。これら電極234a、234b、235a、235bは、Ag−Pd系等の金属材料からなっている。
【0092】
共通電極234a、234bは図示しない領域において接地されているため、共通電極234a、234bは、全ての圧力室210に対応する領域において、等しくグランド電位に保たれている。個別電極235a、235bは、各圧力室210に対応するごとに独立して電位を制御できるように、個別電極235a、235bごとに独立したリード線を介して、適宜のドライバICに接続されている。
【0093】
ヘッド本体201において、圧電シート241〜245の分極方向は、その厚み方向となっている。即ち、アクチュエータユニット221は、上側(圧力室210から遠い側)の三枚の圧電シート241〜243を活性層を含む層とし、下側(圧力室210に近い側)の二枚の圧電シート244、245を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成とされている。
【0094】
この構成において、個別電極235a、235bを+または−の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば、圧電シート241〜243の電極に挟まれた部分(活性層すなわち圧力発生部)が、分極方向と直角な方向に縮む。一方、非活性層の圧電シート244、245は電界の影響を受けないため、自発的には縮まない。この結果、上層の圧電シート241〜243と下層の圧電シート244、245との間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電シート241〜245全体が非活性側に凸となる変形を生じる(ユニモルフ変形)。最下層の圧電シート245の下面は、複数の圧力室210同士を隔てる隔壁の上面に固着されているので、圧電シート241〜245はその圧力発生部Aの部分が圧力室210側へ凸状に変形して、圧力室210の容積を減少させる。この結果、インクの圧力が上昇して、インク吐出口208からインクが吐出される。その後、個別電極235a、235bへの駆動電圧の印加が停止されれば、圧電シート241〜245は元の形状に戻り、圧力室210の容積は元に戻って、インクをマニホールド流路205から吸い込む。
【0095】
次に、二つのアクチュエータユニット221aの形状、および、個別電極235a、235bの配置(言い換えれば、圧力発生部Aの配置)について説明する。図17はアクチュエータユニット221aの形状および圧力発生部の配置を示した図である。図18はアクチュエータユニット221aとアクチュエータユニット221bとの継ぎ目部分と追加領域における圧力発生部との関係を示した図である。
【0096】
前述のとおり、ヘッド本体201は二つのアクチュエータユニット221a,221bを有しているが、その形状および圧力発生部Aの配置は二つのアクチュエータユニット221a,221bで全く同一とされている。
【0097】
図11や図17に示すように、アクチュエータユニット221aは平行四辺形状に形成され、その一辺Bが流路ユニット204の長手方向に平行となり、他辺Cが流路ユニット204の長手方向に対し斜めとなるように、流路ユニット204に配置されている。そして図17に示すように、アクチュエータユニット221aには、流路ユニット204の長手方向に沿った直線によって流路ユニット幅方向に分割された、つまり流路ユニット204の幅方向に隣接した二つの領域P1、P2が設定されている。
【0098】
このうち基本領域P1においては、多数の圧力発生部A1が互いに隣接しながら、流路ユニット204の長手方向に沿う方向、および前記平行四辺形の他辺Cに沿う方向に、マトリクス状に配置されている。
【0099】
そして、基本領域P1を除いた残りの領域(追加領域P2)においては、アクチュエータユニット221bに近いほうの平行四辺形形状の鋭角部Dの近傍だけに、圧力発生部A2が互いに隣接しながらマトリクス状に配置されている。
【0100】
このような構成の2つのアクチュエータユニット221a、221bを図11のように流路ユニット204の長手方向に並べて配置したときに、図18に示すように、アクチュエータユニット221aとアクチュエータユニット221bとの継ぎ目に位置するために基本領域P1において圧力発生部Aを配置できない領域(図18でハッチングで示した領域G)に相当する場所に、アクチュエータユニット221aに設けられた追加領域P2の圧力発生部A2が位置することになる。即ち、この追加領域P2の圧力発生部A2が、アクチュエータユニット221aに設けられた基本領域P1の圧力発生部A1と、隣接するアクチュエータユニット221bに設けられた基本領域P1の圧力発生部A1との隙間部分Gと流路ユニット204の幅方向にオーバーラップして配置されているので、隙間部分Gからインクを吐出させるためのアクチュエータユニットを別途配置することなく、流路ユニット長手方向全体にわたって切れ目なく印字できるヘッド本体201を提供することが可能となっている。
【0101】
言い換えると、アクチュエータユニット221aとアクチュエータユニット221bとの継ぎ目部分近傍の領域(領域G)には圧力発生部を配置することができないため、その部分においては圧力室210やインク吐出口208も配置することができない。従って、仮にアクチュエータユニット221aに設けられた追加領域P2に圧力発生部A2を配置しない場合には、隙間部分Gに相当する部分の印字ができず、アクチュエータユニット221a、221b同士の継ぎ目部分でインク吐出が不可能な部分が生じてしまう。しかし、この領域Gに流路ユニット幅方向でオーバーラップする箇所において、アクチュエータユニット221aに設けられた追加領域P2に圧力発生部A2が配置されているため、インク吐出が不可能な部分がなくなる。この結果、用紙に対して、切れ目のない画像を形成することが可能となっているのである。
【0102】
上述のように、本実施の形態では、流路ユニット204の長手方向に多数の圧力発生部A1、A2を配置した列が、アクチュエータユニット221に複数設けられている。この列の流路ユニット204長手方向に沿った長さは、基本領域P1で長く、追加領域P2で短い。また、流路ユニット204の幅方向に沿って列の数を考えたとき、追加領域P2内の列の数は、対応する領域Gの部分の流路ユニット204の幅方向に沿った長さ内に存在するであろう列の数と同じになっている。したがって、流路ユニット204の幅方向に延びた仮想直線を引いたとき、この仮想直線が、隣接するアクチュエータユニット221a、221b同士がオーバーラップする領域において交差する列の数と、オーバーラップしない領域において交差する列の数とは同じである。
【0103】
そして、以上に示した構成は同一の構成の2つのアクチュエータユニット221a、221bを並べるのみで達成できるから、部品構成が簡素化され、アクチュエータユニット221a、221bの設計や製造に必要なコスト・工数を低減することができる。
【0104】
なお、本実施の形態で説明したアクチュエータユニット221への圧力発生部Aの配置は一例であって、例えば図19に示すようなアクチュエータユニット255とすることも可能である。図19はアクチュエータユニットの圧力発生部の配置の他の例を示した図である。図20は図19の配置において、アクチュエータユニットの継ぎ目部分と追加領域における圧力発生部との関係を示した図である。
【0105】
図19に示すアクチュエータユニット255aには、流路ユニット幅方向に三分割された領域P11、P12、P13が設定されている。そして、流路ユニット幅方向中央の領域P11を基本領域とし、残りの領域P12、P13を追加領域としている。
【0106】
そして図17の配置の場合と同様に、基本領域P11においては、多数の圧力発生部A11が互いに隣接しながら、流路ユニット長手方向に沿う方向、および前記平行四辺形の他辺Cに沿う方向に、マトリクス状に配置されている。一方、追加領域P12においては、アクチュエータユニット255bに近いほうの平行四辺形形状の鋭角部D近傍に、圧力発生部A12が互いに隣接しながらマトリクス状に配置されている。追加領域P13においては、アクチュエータユニット255bから遠いほうの平行四辺形形状の鋭角部D近傍に、圧力発生部A13が互いに隣接しながらマトリクス状に配置されている。
【0107】
したがって、図20に示すように、アクチュエータユニット255aの追加領域P12の圧力発生部A12及びアクチュエータユニット255bの追加領域P13の圧力発生部A13が、アクチュエータユニット255aに設けられた基本領域P11の圧力発生部A11と、隣接するアクチュエータユニット255bに設けられた基本領域P11の圧力発生部A11との隙間部分Gと流路ユニット204の幅方向にオーバーラップして配置されることになる。そのため、流路ユニット長手方向全体にわたって切れ目なくインクを吐出することができるヘッド本体201を提供することが可能となっている。
【0108】
そのほか、本実施の形態によっても、上述した参考例と同様の利益を得ることができる。具体的には、2つのアクチュエータユニット255a、255bが流路ユニット204の長手方向に沿って配列されているので、流路ユニット204が長尺化されたとしてもアクチュエータユニット255a、255bと流路ユニット204との位置合わせ精度が高くなり、良好なインク吐出性能が得られると共に、インクジェットヘッド201の製造歩留まりが飛躍的に向上する。また、圧電シート241〜243を共通電極234a、234bと個別電極235a、235bとで挟み込むことにより、圧電効果によって容易に圧力室210の容積を変化させることができる。また、活性層を含む圧電シート241〜243が連続平板層であるため、容易に製造することが可能である。しかも、圧力室210に近い圧電シート244、245を非活性層とし、圧力室210から離れた圧電シート241〜243を活性層を含む層としたユニモルフ構造のアクチュエータユニット221を有しているため、圧電横効果により圧力室210の容積変化量を大きくすることができて、個別電極235a、235bに印加される電圧の低電圧化及び/又は圧力室210の高集積化を図ることが可能となる。さらに、流路ユニット204において互いに隣接した多数の圧力室210がマトリクス状に配置されているので、比較的小さなサイズ内に多数の圧力室210を高密度に配置することが可能となっている。
【0109】
なお、本実施の形態においてはアクチュエータユニットを二つ並べる構成としているが、三枚以上並べる構成にも適用が可能なのは勿論である。多数並べることによって長いインクジェットヘッドを製造することが可能となり、このインクジェットヘッドは大きいサイズの紙にも高速で印刷することができる点で有利である。
【0110】
図21(a)及び図21(b)には、アクチュエータユニット221又はアクチュエータユニット255と同様に構成された4つのアクチュエータユニット261(これらの図において右からそれぞれ符号261a、261b、261c、261dで表されている)を、両端近傍にインク供給口273を有する流路ユニット274に一直線状に並べて接着した変形例に係るヘッド本体271、272がそれぞれ示されている。アクチュエータユニット261は、アクチュエータユニット221又はアクチュエータユニット255と同様、長手方向がやや短い図11に示すような流路ユニットや、図21(a)に示すような長い流路ユニットまで、長さの異なる流路ユニットに対して共通して用いることができるから、部品としての汎用性が高く、製造コストを低減することが可能である。
【0111】
また、図11及び図21(a)に示すヘッド本体201、271は、アクチュエータユニットを一直線状に並べて、流路ユニット幅方向に揃えた状態で流路ユニットに配置している構成としている。しかしながら、例えば図21(b)に示すヘッド本体272のように、複数のアクチュエータユニット261a、261b、261c、261dを千鳥状に配置しても構わない。ただし、インクジェットヘッドのコンパクト化の観点からみれば、複数のアクチュエータユニットを流路ユニット幅方向に整然と揃えて流路ユニット長手方向に一直線状に配置する図11又は図21(a)の構成とするのが望ましい。特に図11や図21(a)の構成はインクジェットヘッドの幅を小さくできるので、複数のインクジェットヘッドをその幅方向に並べて配置して互いに異なる色のインクを供給して多色の印字を行わせる際に、複数のインクジェットヘッドをコンパクトなスペースに配置でき、印字の際に用紙が斜行した場合でも画像の色ズレを少なくすることができる点で有利である。
【0112】
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図22は本実施の形態に係るインクジェットヘッドのヘッド本体の平面図である。なお、本実施の形態に係るインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタにおいて、ヘッド本体以外の部分は、上述した参考例と類似しているため、ここではその詳細な説明を省略する。
【0113】
図22に示すように、本実施の形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体301は一方向に延びる矩形平面形状をしている。ヘッド本体301は、後述する多数の圧力室310やインク吐出口308が形成された流路ユニット304を有しており、その上面には、ほぼ正六角形の四枚のアクチュエータユニット321(図22において右からそれぞれ符号321a、321b、321c、321dで表されている)が、千鳥状に二列に配列されて接着されている。各アクチュエータユニット321は、その平行対向辺(上辺および下辺)が、ヘッド本体301の長手方向に沿うように配置されている。隣接するアクチュエータユニット321同士は、その斜辺同士を近接させつつ、流路ユニット幅方向に重複部分を形成しながら配置されている。
【0114】
流路ユニット304を図22とは反対側(印字面側)から見た図である図23に示すように、流路ユニット304の下面には、アクチュエータユニット321が配置される領域と対応させて、六角形のインク吐出領域R2が四つ設定される。このインク吐出領域R2の表面に、微小径のインク吐出口308が多数配列されている。ヘッド本体301の上面にはベースブロック302が配置され、このベースブロック302の内部に、ヘッド本体301の長手方向に沿って細長く形成したインク溜まり303が一対で配置されている。各インク溜まり303の一端はベースブロック302の上面に開口303aを形成し、この開口303aが図示せぬインクタンクに接続される結果、インク溜まり303は常にインクで満たされている。
【0115】
流路ユニット304の内部構造を示す断面図が図24に示されている。この図24に示すように流路ユニット304の内部には複数のインク供給源としてのマニホールド流路305が形成されている。それぞれのマニホールド流路305は、対応して流路ユニット304の上面に形成される開口305aを介して、インク溜まり303に連通している。なお、開口305aには、インク内に含有される塵挨などを捕獲するためのフィルタを設けるのが望ましい。
【0116】
マニホールド流路305は開口305aから枝分かれ状に分岐されて、後述する多数の圧力室310にインクを供給する。マニホールド流路305は、その一つが、図23に示す六角形のインク吐出領域R2の一つを図23の紙面上下に等しく二分した場合の、その一側の領域に対応して設けられている。マニホールド流路305は八個設けられ、その一つ一つが、その対応する領域に含まれる全ての圧力室310に対しインクを分配して供給するよう、その流路形状が定められている。
【0117】
そして、流路ユニット幅方向一方側半分の領域に位置するインク吐出口308は、マニホールド流路305を介して、みな、一対で配置されたうち一側のインク溜まり303に連通している。また、インクジェットヘッドの幅方向他方側半分の領域に位置するインク吐出口308は、他側のインク溜まり303に連通される。このようにマニホールド流路305や開口305aやインク溜まり303を構成したことにより、(1)一対のインク溜まり303に同色のインクを供給して、単色の高解像度の印字を行わせる形態、(2)一対のインク溜まり303に互いに異なる色のインクを供給して、一つのヘッド本体301で二色の印字を行わせる形態、の双方の印字形態を採ることができる、汎用性の高い構成とされている。
【0118】
各インク吐出口308は、図26に示すように先細状のノズルとなっており、平面形状がほぼ菱形の圧力室310およびアパーチャ312を介して、マニホールド流路305と連通している。この構成でインクは、インクタンクからインク溜まり303を経由してマニホールド流路305へ至り、このマニホールド流路305からアパーチャ312を経て圧力室310へ供給される。そして、後述するアクチュエータユニット321の駆動によって、圧力室310内のインクに噴射エネルギーを付与して、インク吐出口308からインクを噴射させる。
【0119】
図24に符号Eで示す領域の微細な構成を図示したものが図25である。図25からも明らかなように、流路ユニット304上面の、インク吐出領域R2に対応した領域においては、多数の圧力室310が互いに隣接しながらマトリクス状に配置されている。なお、図26に示すように、圧力室310とアパーチャ312とが異なる高さに設けられる構成としたため、一の圧力室310に繋がるアパーチャ312が他の圧力室310に重複するよう配置することができる。この結果、圧力室310の高密度配置を実現でき、ヘッド本体301の小型化と形成画像の高解像度化に寄与できる。
【0120】
マニホールド流路305からインク吐出口308へ至る経路の具体的な構成が図26に示されている。この図に示すように流路ユニット304は、キャビティプレート322、ベースプレート323、アパーチャプレート324、サプライプレート325、マニホールドプレート326、327、328、カバープレート329、ノズルプレート330の合計9枚のシート材を積層して構成されている。そして、この流路ユニット304の上面にアクチュエータユニット321が接着され、ヘッド本体301が構成されている。アクチュエータユニット321の詳細な構成は後述する。
【0121】
キャビティプレート322には菱形の開口が設けられて、圧力室310を構成し、一方、ノズルプレート330には、先細のインク吐出口308がプレスにより形成されている。両プレート322、330間に挟まれたプレート323〜329には連絡孔351が貫通されて、圧力室310とインク吐出口308とは、この連絡孔351を通じて接続されている。アパーチャプレート324には長孔状のアパーチャ312が設けられ、このアパーチャ312の一端は、ベースプレート323に形成した連絡孔352を介して、圧力室310の端部(インク吐出口308と接続する側と反対側の端部)へ接続されている。アパーチャ312は、圧力室310に供給されるインクの量を適切に調整し、インク吐出口308から噴射されるインクの量の過大あるいは過小を防止する役割を果たす。サプライプレート325には連絡孔353が開口され、この連絡孔353を介して、アパーチャ312の他端とマニホールド流路305とが接続されている。
【0122】
流路ユニット304を構成する9枚のプレート22〜30はいずれも金属製とされており、上述の圧力室310やアパーチャ312や連絡孔351、352、353は、マスクパターンを使用した選択的なエッチングを各金属プレートに施すことによって形成される。そして、図26に図示するような流路を形成するように、9枚のプレート22〜30は互いに位置合わせした上で積層・接着される。
【0123】
次に、アクチュエータユニット321の構造について説明する。図27に示すようにアクチュエータユニット321は、それぞれ厚みが15μm程度で同じになるように形成された5枚の圧電シート341〜345を備えている。これら圧電シート341〜45は連続平板層であり、一つのアクチュエータユニット321が、ヘッド本体301の一つのインク吐出領域R2内に形成される多数の圧力室310に跨って配置される。こうすることで、個別電極335a、335bを高密度に配置することが可能となっている。圧電シート341〜345の材料としては、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料を用いている。
【0124】
上から数えて第一層と第二層の両圧電シート341、342の間には、シート全面に形成された厚み2μm程度の共通電極334aが介在している。同様に、第三層と第四層の圧電シート343、344の間にも、厚み2μm程度の共通電極334bが介在している。第一層の圧電シート341の上面には、厚み1μm程度の個別電極335aが各圧力室310ごとに形成されている。個別電極335aの平面形状は図25に示すように、圧力室310の形状をほぼ相似を保ちながら若干縮小させた形状とされ、かつ、その中心位置が圧力室310の中心位置とほぼ一致するよう配置されている。さらに、第二層と第三層の圧電シート342、343の間にも、個別電極335aと同様に形成された厚み2μm程度の個別電極335bが配置されている。なお、第四層と第五層の圧電シート344、345の間、および、第五層の圧電シート345の下面には、電極が配置されていない。これら電極34a、34b、35a、35bは、Ag−Pd系等の金属材料からなっている。
【0125】
共通電極334a、334bは図示しない領域において接地されているため、共通電極334a、334bは、全ての圧力室310に対応する領域において、等しくグランド電位に保たれている。個別電極335a、335bは、各圧力室310に対応するごとに独立して電位を制御できるように、個別電極335a、335bごとに独立したリード線を介して、適宜のドライバIC(図示せず)に接続されている。
【0126】
ヘッド本体301において、圧電シート341〜345の分極方向は、その厚み方向となっている。即ち、アクチュエータユニット321は、上側(圧力室310から遠い側)の三枚の圧電シート341〜343を活性層を含む層とし、下側(圧力室310に近い側)の二枚の圧電シート344、345を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成とされている。
【0127】
この構成において、個別電極335a、335bを+または−の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば、圧電シート341〜343の電極に挟まれた部分(活性層すなわち圧力発生部)が、分極方向と直角な方向に縮む。一方、非活性層の圧電シート344、345は電界の影響を受けないため、自発的には縮まない。この結果、上層の圧電シート341〜343と下層の圧電シート344、345との間で分極方向と直角な方向への歪みに差が生じて、圧電シート341〜345全体が非活性側に凸となる変形を生じる(ユニモルフ変形)。最下層の圧電シート345の下面は、複数の圧力室310同士を隔てる隔壁の上面に固着されているので、圧電シート341〜345は圧力室310側へ凸状に変形して、圧力室310の容積を減少させる。この結果、インクの圧力が上昇して、インク吐出口308からインクが吐出される。その後、個別電極335a、335bへの駆動電圧の印加が停止されれば、圧電シート341〜345は元の形状に戻り、圧力室310の容積は元に戻って、インクをマニホールド流路305から吸い込む。
【0128】
アクチュエータユニット321を製造するには、まず、圧電シート341〜345となるセラミックス材料のグリーンシートを積層して焼成する。その際、必要に応じて各セラミックス材料のグリーンシートの上には、個別電極335b、共通電極334a、334bとなる金属材料がパターン印刷される。その後、第一層の圧電シート341上に、個別電極335aとなる金属材料を全面めっきした後に、レーザーパターニングにより不要部分を除去するか、あるいは、個別電極335aに対応する部分を開口させたマスクを用いて、圧電シート341上に個別電極335aとなる金属材料を蒸着させる。
【0129】
このようにして製造したアクチュエータユニット321は、セラミック製であるために大変脆い性質を有する。特にアクチュエータユニット321の角部は大変欠け易くなっているため、製造組立時にその角部を他の部品に接触させたりしないよう、極めて慎重な取扱いが要求される。
【0130】
しかしながら、アクチュエータユニット321の平面図である図28(a)に示すように、本実施の形態によるインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータユニット321は略正六角形の輪郭形状をなしており、この輪郭形状の有する六本の直線部分(辺)L1〜L6はいずれも、その隣りの直線部分Lに対し、略120°をなして接続されている。この結果、アクチュエータユニット321の六つの角部(互いに隣り合う2つの直線部分L同士が交わる箇所)θ1〜θ6はいずれも鋭角でないこととなるから、欠けにくくなって、高価な精密部品であるアクチュエータユニット321を製造工程の途中で壊してしまうことが少なくなり、製造コストの低減に寄与できる。
【0131】
以上の効果は角部θ1〜θ6の角をいずれも120°とする構成によってのみ達成されるわけでもなく、ある角部θnの角が90°(直角)以上であれば、その当該角部θnの欠けが起こりにくくなる効果は奏される。従って、六つ全ての角部θ1〜θ6で欠けが起こりにくい構成とするためには、六つの直線部分L1〜L6がいずれも、隣の直線部分Lに対し、直角または鈍角をなして接続されていれば十分(接続箇所における角θ1〜θ6の最小値が90°以上であれば十分)であり、この条件を満たす範囲で、六角形の輪郭形状は自由に変形可能である。図28(b)には、一例として、以上の条件を満たす輪郭形状を有するアクチュエータユニット355が示されている。
【0132】
そのほか、本実施の形態によっても、上述した参考例と同様の利益を得ることができる。具体的には、4つのアクチュエータユニット321が流路ユニット304の長手方向に沿って配列されているので、流路ユニット304が長尺化されたとしてもアクチュエータユニット321と流路ユニット304との位置合わせ精度が高くなり、良好なインク吐出性能が得られると共に、インクジェットヘッド301の製造歩留まりが飛躍的に向上する。また、圧電シート341〜343を共通電極334a、334bと個別電極335a、335bとで挟み込むことにより、圧電効果によって容易に圧力室310の容積を変化させることができる。また、活性層を含む圧電シート341〜343が連続平板層であるため、容易に製造することが可能である。しかも、圧力室310に近い圧電シート344、345を非活性層とし、圧力室310から離れた圧電シート341〜343を活性層を含む層としたユニモルフ構造のアクチュエータユニット321を有しているため、圧電横効果により圧力室310の容積変化量を大きくすることができて、個別電極335a、335bに印加される電圧の低電圧化及び/又は圧力室310の高集積化を図ることが可能となる。さらに、流路ユニット304において互いに隣接した多数の圧力室310がマトリクス状に配置されているので、比較的小さなサイズ内に多数の圧力室210を高密度に配置することが可能となっている。
【0133】
また、本発明において、アクチュエータユニットの輪郭形状は六角形に限定されるものでもない。即ち、直線部分Lの数を六本とする構成に限らず、五本や七本や八本、あるいはそれ以上の直線部分を有する場合でも構わない。以下、図29から図31までを参照して、アクチュエータユニットの輪郭形状の変形例を説明する。なお、以下の変形例において、上述した第2の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付することとする。
【0134】
図29(a)は、アクチュエータユニットを七角形とした場合のヘッド本体の平面図である。図29(b)は、図29(a)に示すヘッド本体に含まれるアクチュエータユニットの平面図である。これらの図面から分かるように、本変形例においてヘッド本体361はアクチュエータユニット362(図29において右からそれぞれ符号362a、362b、362c、362dで表されている)以外は第2の実施の形態におけるヘッド本体301と同様に構成されている。
【0135】
図29(b)から分かるように、アクチュエータユニット362は、前述の実施の形態の六角形の角部の一つを直線状に切り落とした輪郭形状とされている。この結果、直線部分Lは七本とされ(L8〜L14)、角部の角は、θ8〜θ12については略120°、θ13、θ14については略150°である。
【0136】
図30(a)は、アクチュエータユニットを八角形とした場合のヘッド本体の平面図である。図30(b)は、図30(a)に示すヘッド本体に含まれるアクチュエータユニットの平面図である。これらの図面から分かるように、本変形例においてヘッド本体371はアクチュエータユニット372(図30において右からそれぞれ符号372a、372b、372c、372dで表されている)以外は第2の実施の形態におけるヘッド本体301と同様に構成されている。
【0137】
図30(b)から分かるように、アクチュエータユニット372は、前述の実施の形態の六角形の角部のうち二つを直線状に切り落とした輪郭形状とされている。この結果、直線部分Lは八本とされ(L15〜L22)、角部の角は、θ15、θ16、θ19、θ20については略120°、θ17、θ18、θ21、θ22については略150°である。以上説明した2つの変形例の構成により、前述の六角形のアクチュエータユニット321に比して、切り落とした部分の角部が150°と大きくなって、当該角部の欠けが一層起きにくくなる。
【0138】
図31(a)は、上記第2の実施の形態においてアクチュエータユニットの互いに隣り合う直線部分Lの接続箇所のうち二箇所を円弧状部Fとした場合のヘッド本体の平面図である。図31(b)は、図31(a)に示すヘッド本体に含まれるアクチュエータユニットの平面図である。これらの図面から分かるように、本変形例においてヘッド本体381はアクチュエータユニット382(図31において右からそれぞれ符号382a、382b、382c、382dで表されている)以外は第2の実施の形態におけるヘッド本体301と同様に構成されている。
【0139】
図31(b)から分かるように、アクチュエータユニット382は、六本の直線部分L23〜L28を有している。そして、アクチュエータユニット382の互いに隣り合う直線部分Lの接続箇所のうち二箇所(L23とL28,L25とL26)が円弧状部Fとなって、直線部分L同士をなだらかに繋いでいる。そのため、円弧状部Fでは欠けが極めて起きにくくなっている。なお、このときも、円弧状部Fを挟んで接続される二つの直線部分を含め、隣り合う直線部分L同士がなす角(θ23〜θ27)はいずれも90°以上(略120°)とされている。
【0140】
次に、本発明の第3の実施の形態について、図32を参照しつつ説明する。なお、本実施の形態に係るインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタにおいて、ヘッド本体以外の部分は、上述した参考例と類似しているため、ここではその詳細な説明を省略する。
【0141】
図32に示すヘッド本体401は、上述した実施の形態と同様に多数の圧力室やインク吐出口が形成された流路ユニット404を備えており、その上面には、共に平行四辺形の二枚のアクチュエータユニット421(図32において右側のものを符号421aで、左側のものを符号421bで示している)が並べて接着されている。各アクチュエータユニット421は、その一辺Bがヘッド本体401の長手方向に沿うように配置されている。隣接するアクチュエータユニット421同士は、その斜辺C同士を近接させつつ、ヘッド本体401の幅方向に揃えられた状態に配置されている。2つのアクチュエータユニット421は、互いの一部において流路ユニット404の幅方向にオーバーラップしている。流路ユニット404の上面にはインク供給口402が開口され、このインク供給口402が図示しない経路を介してインク供給源に接続されている。
【0142】
アクチュエータユニット421の上面には、アクチュエータユニット421内の個別電極及び共通電極に駆動信号を与えるためのFPC436がそれぞれ貼り付けられている。各FPC436上には、アクチュエータユニット421内の個別電極に供給される駆動信号を発生する駆動回路であるドライバIC432が接着されている。各FPC436は、CPU、RAM及びROMを含む制御ユニット440に電気的に接続されている。制御ユニット440は、ドライバIC432に印刷データを供給する。ドライバIC432は、かかる印刷データに基づいて個別電極の駆動信号を生成する。
【0143】
アクチュエータ421には、2つの領域P21、P22が設けられている。そのうち、基本領域P21は、アクチュエータ421の各辺と平行な辺を有する平行四辺形であって、アクチュエータユニット421の辺Bよりやや短い幅と、辺Cの3/4程度の長さとを有し、図32中、アクチュエータユニット421内の上側部分に設けられている。追加領域P22は、アクチュエータ421の各辺と平行な辺を有する平行四辺形であって、基本領域P21と同じ幅でアクチュエータユニット421内において基本領域P21の下方に設けられている。追加領域P22は、共にアクチュエータ421の各辺と平行な辺を有する平行四辺形である2つの区域P22a、P22bに分けられる。区域P22aは、アクチュエータユニット421の辺Bの1/5程度の幅と、辺Cの1/5程度の長さとを有し、図32中、アクチュエータユニット421の左下鋭角部近傍にある。P22bは、アクチュエータユニット421の辺Bの3/5程度の幅と、辺Cの1/5程度の長さとを有し、図32中、基本領域P21の下側であって区域P22aの右側にある。
【0144】
基本領域P21、及び、追加領域P22の2つの区域P22a、P22bには、多数の圧力発生部が互いに隣接しながら、流路ユニット404の長手方向に沿う方向、および前記平行四辺形の他辺Cに沿う方向に、マトリクス状に配置されている。そして、各圧力発生部に対応して、流路ユニット404内には圧力室及びノズルを含むインク流路がそれぞれ形成されている。
【0145】
このような構成の2つのアクチュエータユニット421a、421bを図32に示すように流路ユニット404の長手方向に並べて配置したときに、アクチュエータユニット421aとアクチュエータユニット421bとの継ぎ目付近に圧力発生部のない領域(図23にハッチングで示した領域G)が存在するために、基本領域P11内の圧力発生部だけを考慮したとき、継ぎ目付近での流路ユニット404の幅方向に沿った圧力発生部の数が、継ぎ目付近以外の場所よりも少なくなっている。
【0146】
そこで、本実施の形態では、基本領域P21の下方に設けられた追加領域P22の区域P22aが、流路ユニット404の幅方向について、継ぎ目付近の圧力発生部のない領域Gとオーバーラップして設けられていることを利用して、印刷時に、基本領域P21内の圧力発生部と追加領域P22の区域P22a内の圧力発生部とを動作させ、且つ、追加領域P22の区域P22b内の圧力発生部を動作させないように、制御ユニット440がドライバIC432を制御する。これにより、アクチュエータユニット421内において圧力発生部が実質的に図18に示すアクチュエータユニット221と同じ形状の範囲内に配置されることになるので、継ぎ目付近での流路ユニット404の幅方向に沿った圧力発生部の数がそれ以外の場所と同じになる。すなわち、追加領域P22の区域P22aの圧力発生部が、アクチュエータユニット421aに設けられた基本領域P21の圧力発生部と、隣接するアクチュエータユニット421bに設けられた基本領域P21の圧力発生部との隙間部分に流路ユニット404の幅方向にオーバーラップして配置されているので、隙間部分からインクを吐出させるためのアクチュエータユニットを別途配置することなく、流路ユニット長手方向全体にわたって切れ目なく印字できるヘッド本体401を提供することが可能となっている。さらに、アクチュエータユニット421内の圧力発生部形成範囲がアクチュエータユニット421と相似形状であるので、アクチュエータユニット421の歪みや反りなどの問題が生じにくい。
【0147】
なお、上述した記述から明らかなように、本実施の形態において、追加領域P22の区域P22bに対応する流路ユニット404の部分には、インク流路が形成されていなくてもよい。
【0148】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した実施の形態で用いられている圧電シートや電極の材料は、上述したものに限らず、その他の公知の材料に変更してもよい。また、圧力室の平面形状や断面形状、配置形態、そして、活性層を含む圧電シートの数、非活性層の数などは、適宜変更してよい。また、活性層を含む圧電シートと非活性層とで層厚を異なる厚みにしてもよい。
【0149】
また、上述の実施の形態では、圧電シートに個別電極及び共通電極を配置することでアクチュエータユニットを形成しているが、必ずしもこのようなアクチュエータユニットを流路ユニットに接着する必要はなく、アクチュエータユニットは各圧力室の容積を個別に変化させることができるものであれば他のものを用いることもできる。また、上述の実施の形態では、圧力室がマトリクス状に配置されたものについて説明したが、圧力室が一列又は複数列に列設されたものについても本発明を適用することが可能である。さらに、上述の実施の形態では非活性層はすべて圧電シートであるが、非活性層として圧電シート以外の絶縁シートを用いてもよい。
【0150】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、アクチュエータユニットと流路ユニットとを精度よく位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の参考例によるインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略図である。
【図2】 本発明の参考例によるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図3】 図2のIII−III線に沿った断面図である。
【図4】 図2に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図5】 図4内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図6】 図5内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図7】 図4に描かれたヘッド本体の部分断面図である。
【図8】 図5内に描かれた二点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図9】 図4に描かれたヘッド本体の部分分解斜視図である。
【図10】 図7内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域を横方向から見た拡大断面図である。
【図11】 本発明の第1の実施の形態によるインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図12】 図11に示すヘッド本体の底面図である。
【図13】 図11に示すヘッド本体の横断面図である。
【図14】 図13内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域Qの拡大図である。
【図15】 図11に描かれたヘッド本体の部分断面図である。
【図16】 図11に示すヘッド本体におけるアクチュエータユニットの詳細な構成を示す拡大断面図である。
【図17】 図11に示すヘッド本体におけるアクチュエータユニットの拡大平面図である。
【図18】 図17に示すアクチュエータユニット同士の継ぎ目部分を描いた拡大平面図である。
【図19】 本発明の第1の実施の形態の一変形例におけるアクチュエータユニットの拡大平面図である。
【図20】 図19に示すアクチュエータユニット同士の継ぎ目部分を描いた拡大平面図である。
【図21】 図21(a)及び図21(b)は、アクチュエータユニットを四枚並べて構成した、本発明の変形例としてのインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体を描いた平面図である。
【図22】 本発明の第2の実施の形態によるインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図23】 図22に示すヘッド本体の底面図である。
【図24】 図22に示すヘッド本体の横断面図である。
【図25】 図24内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域Eの拡大図である。
【図26】 図22に描かれたヘッド本体の部分断面図である。
【図27】 図22に示すヘッド本体におけるアクチュエータユニットの詳細な構成を示す拡大断面図である。
【図28】 図28(a)は、図22に示すヘッド本体に含まれるアクチュエータユニットの輪郭形状を示す模式図である。
図28(b)は、一変形例としてのアクチュエータユニットの輪郭形状を示す模式図である。
【図29】 図29(a)は、図22に示すヘッド本体において、アクチュエータユニットを七角形とした変形例の平面図である。
図29(b)は、図29(a)に示すヘッド本体に含まれるアクチュエータユニットの平面図である。
【図30】 図30(a)は、図22に示すヘッド本体において、アクチュエータユニットを八角形とした変形例の平面図である。
図30(b)は、図30(a)に示すヘッド本体に含まれるアクチュエータユニットの平面図である。
【図31】 図31(a)は、図22に示すヘッド本体において、アクチュエータユニットの輪郭の一部を円弧形状とした変形例の平面図である。
図31(b)は、図31(a)に示すヘッド本体に含まれるアクチュエータユニットの平面図である。
【図32】 本発明の第3の実施の形態によるインクジェットプリンタの要部模式図である。
【符号の説明】
1 インクジェットヘッド
3 インク溜まり
3a、3b 開口
5 マニホールド
5a 副マニホールド
8 インク排出口
10 圧力室
12 アパーチャ
21 アクチュエータユニット
22 キャビティプレート
30 ノズルプレート
32 インク流路
34a、34b 共通電極
35a、35b 個別電極
41〜43 圧電シート(活性層を含む層)
44、45 圧電シート(非活性層)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inkjet head that performs printing by ejecting ink onto a print medium, and an inkjet printer having the inkjet head.
[0002]
[Prior art]
In an ink jet printer, an ink jet head distributes ink supplied from an ink tank to a plurality of pressure chambers, and discharges ink from nozzles by selectively applying pressure to each pressure chamber. As one means for selectively applying pressure to the pressure chamber, an actuator unit in which a plurality of piezoelectric sheets made of ceramic are laminated may be used.
[0003]
As an example of such an ink jet head, a plurality of continuous flat plate-like piezoelectric sheets straddling a plurality of pressure chambers are laminated, and at least one piezoelectric sheet is common to a number of pressure chambers and held at a ground potential. One having one actuator unit sandwiched between a common electrode and a large number of individual electrodes, that is, drive electrodes arranged at positions corresponding to the respective pressure chambers is known (see Patent Document 1). The portion of the piezoelectric sheet sandwiched between the individual electrode and the common electrode and polarized in the stacking direction becomes an active layer in the stacking direction due to the so-called piezoelectric longitudinal effect when the individual electrodes on both sides thereof are set to a different potential from the common electrode. It expands and contracts. As a result, the volume in the pressure chamber fluctuates, and ink can be ejected from the nozzle communicating with the pressure chamber toward the print medium.
[0004]
Therefore, in order to ensure good ink ejection performance in such an ink jet head, the actuator unit is accurately positioned with respect to the flow path unit so that the position of the individual electrode with respect to each pressure chamber in a plan view is a predetermined position. Must be matched.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-4-341852
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
Due to various manufacturing restrictions, the inkjet head as described above is manufactured by separately manufacturing a flow path unit and an actuator unit in which an ink flow path including a pressure chamber is formed, and then bonding the pressure chamber inside. It is often produced by adhering both to each other using an agent. This bonding step is performed in a state where the mark formed on the flow path unit is coincident with the mark formed on the actuator unit.
[0007]
However, since the flow path unit is generally a laminate of a plurality of metal sheets, the piezoelectric sheet is manufactured through a sintering process. Therefore, the position accuracy of the electrodes increases as the size of the piezoelectric sheet increases in the actuator unit. Will decline. Therefore, as the head becomes longer, it becomes difficult to align the pressure chamber in the flow path unit and the individual electrode in the actuator unit, and the manufacturing yield of the head decreases.
[0008]
On the other hand, the actuator unit is an expensive precision part and at the same time has a very fragile property because it is made of ceramic. In particular, an actuator unit having a polygonal contour shape has a corner portion that is very likely to be chipped, and the breakage loss causes an increase in manufacturing cost. In addition, the handling of the actuator unit is required to be performed very carefully so that the corners do not collide with other parts, so that the assembly work of the ink jet head is difficult.
[0009]
Accordingly, an object of the present invention is to provide an ink jet head in which an actuator unit and a flow path unit are accurately aligned.
[0010]
Another object of the present invention is to provide an ink jet head in which an actuator unit is not easily damaged.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
According to one aspect of the present invention, the flow path unit includes a plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, and the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane. A plurality of actuator units fixed to one surface of the flow path unit in order to change the volume of the pressure chamber, each actuator unit having a plurality of pressure generators corresponding to each pressure chamber And the flow path is formed such that the actuator units adjacent to each other overlap in the width direction orthogonal to the longitudinal direction of the flow path unit at a part of each other. A plurality of actuator units arranged along the longitudinal direction of the unit, and each actuator unit includes a plurality of pressure generating units. A basic region formed in Torikusu shape,A gap portion between the hypotenuse of another actuator unit having an oblique side inclined with respect to the longitudinal direction of the flow path unit and at least a part of the oblique side being adjacent to the pressure generating parts in the basic region To be formedThe width directionInA basic region for wrapping, and an additional region adjacent to the basic region in the width direction of the flow path unit.,in frontAn ink jet head (Claim 1) including the gap portion and an additional region in which the pressure generating portion is formed so as to overlap in the width direction, and an ink jet printer including the ink jet head (Claim 7) are provided. Is done.
[0012]
According to this, each of the plurality of actuator units can be aligned with the flow path unit. Therefore, even if the head is lengthened, an increase in the amount of positional deviation between the electrode of each actuator unit and the pressure chamber is suppressed, and both can be accurately aligned. Therefore, good ink ejection performance can be obtained and the manufacturing yield of the head can be improved. Moreover, since the pressure generating portion in the additional region provided in one actuator unit overlaps with the gap portion between the pressure generating portion in the basic region of the adjacent actuator unit in the width direction, the adjacent actuator unit The number of pressure generating parts does not decrease in the vicinity of the joint. Therefore, it is possible to obtain a head that is substantially free from fluctuations in the number of pressure generating portions along the longitudinal direction of the flow path unit.
[0013]
According to still another aspect of the present invention, the flow path includes a plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, and the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane. A plurality of actuator units fixed to one surface of the flow path unit in order to change the volume of the unit and the pressure chamber, each actuator unit having a plurality of pressure generators corresponding to each pressure chamber And is formed in a size straddling a plurality of the pressure chambers, and the adjacent actuator units partially overlap each other in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the flow path unit. There is provided an ink jet printer including a plurality of actuator units arranged along the longitudinal direction of the path unit. In this ink jet printer, each actuator unit is a basic region in which a large number of the pressure generating portions are formed in a matrix,Before the channel unit A gap portion is formed between the hypotenuse of another actuator unit having a hypotenuse inclined with respect to the longitudinal direction and at least a part of the hypotenuse being adjacent to the pressure generating units in the basic region. InThe width directionInAn inkjet head comprising: a basic area that overlaps; and an additional area that is adjacent to the basic area in the width direction of the flow path unit and in which the pressure generating unit is formed; and drives the inkjet head A drive circuit that drives the inkjet head,,in frontAnd a control unit that controls the drive circuit so as to operate only the pressure generating portion that overlaps the gap portion and the width direction.
[0014]
According to another aspect of the present invention, a flow path unit including a plurality of pressure chambers communicating with a nozzle for ejecting ink, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane, and a volume of the pressure chamber The actuator unit is fixed to one surface of the flow path unit in order to change the pressure unit, and has a plurality of pressure generating portions corresponding to the pressure chambers and is sized to straddle the plurality of pressure chambers. The actuator unit has a contour shape having five or more straight portions, and each straight portion is connected to the adjacent straight portion at a right angle or an obtuse angle. An inkjet head is provided (claim 9).
[0015]
According to this, by making all the corners of the actuator unit a right angle or an obtuse angle, the actuator unit is hardly damaged during the manufacture of the ink jet head.
[0016]
[0017]
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0019]
First, an ink jet head according to a reference example of the invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic view of an ink jet printer including the ink jet head. An
[0020]
Inside the
[0021]
Holding
[0022]
A
[0023]
The four
[0024]
The head
[0025]
The
[0026]
The
[0027]
The
[0028]
In a region surrounded by the
[0029]
Next, the structure of the
[0030]
As shown in FIG. 2, the
[0031]
A pair of
[0032]
Inside the
[0033]
The
[0034]
A
[0035]
A
[0036]
As shown in FIG. 2, six
[0037]
FIG. 4 is a schematic plan view of the head
[0038]
The lower surface of the
[0039]
FIG. 5 is an enlarged view of a region surrounded by a one-dot chain line drawn in FIG. As shown in FIGS. 4 and 5, the
[0040]
FIG. 6 is an enlarged view of a region surrounded by a one-dot chain line drawn in FIG. As shown in FIGS. 5 and 6,
[0041]
FIG. 7 is a partial cross-sectional view along the longitudinal direction of the pressure chamber of the head
[0042]
Further, as is apparent from FIG. 7, the
[0043]
The
[0044]
Next, the structure of the
[0045]
There are two types of
[0046]
As described above, the first
[0047]
As shown in FIG. 8, the nozzles communicating with the
[0048]
On the other hand, when the nozzles are always in communication with the acute angle portion on the same side of the
[0049]
In the
[0050]
The twelve nozzles belonging to one band-shaped region R are denoted by (1) to (12) in order from the left of the projected position on a straight line extending in the first arrangement direction. These 12 nozzles are (1), (7), (2), (8), (5), (11), (6), (12), (9), ( They are arranged in the order of 3), (10), (4).
[0051]
In the
[0052]
For example, a case where a straight line extending in the first arrangement direction is printed with a resolution of 600 dpi will be described. First, the case where the nozzle communicates with the acute angle portion on the same side of the
[0053]
On the other hand, in this reference example, ink discharge starts from the nozzles in the
[0054]
That is, as shown in FIG. 8, in response to the printing medium being transported, first, ink is ejected from the nozzle (1) communicating with the lowermost
[0055]
Next, when the straight line formation position reaches the position of the nozzle (2) communicating with the third
[0056]
In the same manner, ink dots are sequentially formed while selecting nozzles communicating with the
[0057]
Next, the cross-sectional structure of the
[0058]
As will be described later in detail, the
[0059]
These ten
[0060]
As shown in FIG. 10, the
[0061]
Between the
[0062]
The
[0063]
In the
[0064]
As another driving method, the
[0065]
Further, if the electric field direction applied to the
[0066]
Next, a method for manufacturing the
[0067]
In order to manufacture the
[0068]
On the other hand, in order to manufacture the
[0069]
Next, the
[0070]
Thereafter, a through hole is formed so as to connect the corresponding
[0071]
As described above, only the
[0072]
In the
[0073]
In the
[0074]
Further, according to the
[0075]
Further, the
[0076]
Further, in the
[0077]
In addition, since a large number of
[0078]
In the
[0079]
Next, a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 11 is a plan view of the head body of the inkjet head according to the present embodiment. In the ink jet head and the ink jet printer according to the present embodiment, portions other than the head main body are similar to the reference example described above, and thus detailed description thereof is omitted here.
[0080]
As shown in FIG. 11, the head
[0081]
As shown in FIG. 12, which is a view of the
[0082]
In this embodiment, a case where single color printing is performed is shown, and one color (for example, black) ink is supplied to the
[0083]
A cross-sectional view showing the internal structure of the
[0084]
The
[0085]
Each
[0086]
FIG. 14 shows the detailed configuration of the area indicated by the symbol Q in FIG. As is clear from FIG. 14, in the region corresponding to the ink ejection region R1 on the upper surface of the
[0087]
A specific configuration of a path from the
[0088]
The
[0089]
The nine
[0090]
As shown in FIG. 16, the
[0091]
Between the first and second
[0092]
Since the
[0093]
In the head
[0094]
In this configuration, when the
[0095]
Next, the shape of the two
[0096]
As described above, the
[0097]
As shown in FIGS. 11 and 17, the
[0098]
Among them, in the basic region P1, a large number of pressure generating portions A1 are arranged in a matrix in the direction along the longitudinal direction of the
[0099]
In the remaining area excluding the basic area P1 (additional area P2), the pressure generating parts A2 are adjacent to each other only in the vicinity of the acute angle part D of the parallelogram that is closer to the
[0100]
When the two
[0101]
In other words, since the pressure generating portion cannot be disposed in the region (region G) in the vicinity of the joint portion between the
[0102]
As described above, in the present embodiment, the
[0103]
And since the structure shown above can be achieved only by arranging two
[0104]
Note that the arrangement of the pressure generating unit A on the
[0105]
In the
[0106]
As in the case of the arrangement in FIG. 17, in the basic region P11, the direction along the longitudinal direction of the flow path unit and the direction along the other side C of the parallelogram while a large number of pressure generating parts A11 are adjacent to each other. Are arranged in a matrix. On the other hand, in the additional region P12, in the vicinity of the acute angle portion D of the parallelogram shape closer to the
[0107]
Therefore, as shown in FIG. 20, the pressure generating portion A12 in the additional region P12 of the
[0108]
In addition, according to the present embodiment, the same benefits as those of the reference example described above can be obtained. Specifically, since the two
[0109]
In the present embodiment, two actuator units are arranged side by side. However, it is needless to say that the present invention can be applied to a structure in which three or more actuator units are arranged. By arranging a large number of ink jets, it is possible to manufacture a long ink jet head, and this ink jet head is advantageous in that it can print on a large size paper at high speed.
[0110]
FIGS. 21A and 21B show four
[0111]
Further, the head
[0112]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 22 is a plan view of the head body of the inkjet head according to the present embodiment. In the ink jet head and the ink jet printer according to the present embodiment, portions other than the head main body are similar to the reference example described above, and thus detailed description thereof is omitted here.
[0113]
As shown in FIG. 22, the head
[0114]
As shown in FIG. 23, which is a view of the
[0115]
A cross-sectional view showing the internal structure of the
[0116]
The
[0117]
The
[0118]
Each
[0119]
FIG. 25 shows the fine structure of the region indicated by the symbol E in FIG. As is clear from FIG. 25, in the area corresponding to the ink ejection area R2 on the upper surface of the
[0120]
A specific configuration of a path from the
[0121]
The
[0122]
The nine
[0123]
Next, the structure of the
[0124]
Between the first and second
[0125]
Since the
[0126]
In the head
[0127]
In this configuration, if the
[0128]
In order to manufacture the
[0129]
The
[0130]
However, as shown in FIG. 28A, which is a plan view of the
[0131]
The above effect is not achieved only by the configuration in which the angles of the corners θ1 to θ6 are all 120 °. If the angle of a certain corner θn is 90 ° (right angle) or more, the corner θn The effect of making it difficult for chipping to occur is produced. Therefore, in order to prevent the chipping from occurring at all six corners θ1 to θ6, all the six straight portions L1 to L6 are connected to the adjacent straight portion L at a right angle or an obtuse angle. It is sufficient (if the minimum value of the angles θ1 to θ6 at the connection location is 90 ° or more), and the hexagonal contour shape can be freely deformed as long as this condition is satisfied. FIG. 28B shows an
[0132]
In addition, according to the present embodiment, the same benefits as those of the reference example described above can be obtained. Specifically, since the four
[0133]
In the present invention, the contour shape of the actuator unit is not limited to a hexagon. That is, the number of straight line portions L is not limited to six, and the number of straight line portions may be five, seven, eight, or more. Hereinafter, modified examples of the contour shape of the actuator unit will be described with reference to FIGS. 29 to 31. In the following modification, the same reference numerals are assigned to the same members as those in the second embodiment described above.
[0134]
FIG. 29A is a plan view of the head body when the actuator unit is a heptagon. FIG. 29B is a plan view of the actuator unit included in the head main body shown in FIG. As can be seen from these drawings, in this modification, the head
[0135]
As can be seen from FIG. 29B, the
[0136]
FIG. 30A is a plan view of the head body when the actuator unit is an octagon. FIG. 30B is a plan view of the actuator unit included in the head main body shown in FIG. As can be seen from these drawings, in this modification, the head
[0137]
As can be seen from FIG. 30B, the
[0138]
FIG. 31A is a plan view of the head body when the arcuate portion F is used in two of the connecting portions of the adjacent linear portions L of the actuator unit in the second embodiment. FIG. 31B is a plan view of the actuator unit included in the head body shown in FIG. As can be seen from these drawings, in this modification, the head
[0139]
As can be seen from FIG. 31B, the
[0140]
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the ink jet head and the ink jet printer according to the present embodiment, portions other than the head main body are similar to the reference example described above, and thus detailed description thereof is omitted here.
[0141]
A head
[0142]
[0143]
The
[0144]
In the two areas P22a and P22b of the basic region P21 and the additional region P22, a number of pressure generating parts are adjacent to each other, and the direction along the longitudinal direction of the
[0145]
When the two
[0146]
Therefore, in the present embodiment, the area P22a of the additional area P22 provided below the basic area P21 is provided so as to overlap with the area G where there is no pressure generating portion in the width direction of the
[0147]
As is clear from the above description, in the present embodiment, the ink flow path may not be formed in the portion of the
[0148]
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various design changes can be made as long as they are described in the claims. For example, the materials of the piezoelectric sheet and the electrodes used in the above-described embodiment are not limited to those described above, and may be changed to other known materials. Further, the planar shape and cross-sectional shape of the pressure chamber, the arrangement form, the number of piezoelectric sheets including the active layer, the number of inactive layers, and the like may be appropriately changed. Further, the piezoelectric sheet including the active layer and the non-active layer may have different thicknesses.
[0149]
In the above-described embodiment, the actuator unit is formed by disposing the individual electrode and the common electrode on the piezoelectric sheet. However, it is not always necessary to bond such an actuator unit to the flow path unit. As long as the volume of each pressure chamber can be changed individually, other ones can be used. In the above-described embodiment, the pressure chambers are arranged in a matrix. However, the present invention can be applied to a case in which the pressure chambers are arranged in one or more rows. Furthermore, in the above-described embodiments, all the inactive layers are piezoelectric sheets, but insulating sheets other than piezoelectric sheets may be used as the inactive layers.
[0150]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the actuator unit and the flow path unit can be accurately aligned.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of an inkjet printer including an inkjet head according to a reference example of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of an inkjet head according to a reference example of the invention.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
4 is a plan view of a head main body included in the ink jet head depicted in FIG. 2. FIG.
FIG. 5 is an enlarged view of a region surrounded by an alternate long and short dash line drawn in FIG. 4;
6 is an enlarged view of a region surrounded by an alternate long and short dash line drawn in FIG. 5. FIG.
7 is a partial cross-sectional view of the head main body depicted in FIG. 4. FIG.
8 is an enlarged view of a region surrounded by a two-dot chain line drawn in FIG.
9 is a partially exploded perspective view of the head body depicted in FIG. 4. FIG.
10 is an enlarged cross-sectional view of a region surrounded by an alternate long and short dash line drawn in FIG. 7 as viewed from the lateral direction.
FIG. 11 is a plan view of a head body included in the inkjet head according to the first embodiment of the invention.
12 is a bottom view of the head body shown in FIG.
13 is a cross-sectional view of the head body shown in FIG.
14 is an enlarged view of a region Q surrounded by an alternate long and short dash line drawn in FIG.
FIG. 15 is a partial cross-sectional view of the head body depicted in FIG.
16 is an enlarged cross-sectional view showing a detailed configuration of an actuator unit in the head body shown in FIG.
17 is an enlarged plan view of an actuator unit in the head body shown in FIG.
18 is an enlarged plan view depicting a joint portion between the actuator units shown in FIG. 17. FIG.
FIG. 19 is an enlarged plan view of an actuator unit according to a modification of the first embodiment of the present invention.
20 is an enlarged plan view illustrating a joint portion between the actuator units shown in FIG. 19. FIG.
FIGS. 21A and 21B are plan views illustrating a head body included in an inkjet head as a modification of the present invention, in which four actuator units are arranged side by side.
FIG. 22 is a plan view of a head body included in an ink jet head according to a second embodiment of the invention.
23 is a bottom view of the head body shown in FIG.
24 is a cross-sectional view of the head body shown in FIG.
FIG. 25 is an enlarged view of a region E surrounded by an alternate long and short dash line drawn in FIG.
FIG. 26 is a partial cross-sectional view of the head body depicted in FIG.
27 is an enlarged cross-sectional view showing a detailed configuration of an actuator unit in the head body shown in FIG.
FIG. 28 (a) is a schematic diagram showing an outline shape of an actuator unit included in the head main body shown in FIG.
FIG. 28B is a schematic diagram showing an outline shape of an actuator unit as a modified example.
FIG. 29A is a plan view of a modification in which the actuator unit is a heptagon in the head body shown in FIG.
FIG. 29B is a plan view of the actuator unit included in the head main body shown in FIG.
FIG. 30 (a) is a plan view of a modified example in which the actuator unit has an octagonal shape in the head body shown in FIG.
FIG. 30B is a plan view of the actuator unit included in the head main body shown in FIG.
FIG. 31 (a) is a plan view of a modified example in which a part of the contour of the actuator unit has an arc shape in the head body shown in FIG.
FIG. 31B is a plan view of the actuator unit included in the head body shown in FIG.
FIG. 32 is a schematic diagram of a main part of an ink jet printer according to a third embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Inkjet head
3 Ink pool
3a, 3b opening
5 Manifold
5a Sub manifold
8 Ink outlet
10 Pressure chamber
12 Aperture
21 Actuator unit
22 Cavity plate
30 Nozzle plate
32 Ink flow path
34a, 34b Common electrode
35a, 35b Individual electrode
41-43 Piezoelectric sheet (layer including active layer)
44, 45 Piezoelectric sheet (inactive layer)
Claims (14)
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定された複数のアクチュエータユニットであって、各アクチュエータユニットが各圧力室に対応する複数の圧力発生部を有していると共に複数の前記圧力室に跨る大きさに形成されており、隣接する前記アクチュエータユニット同士が互いの一部において前記流路ユニットの長手方向と直交する幅方向にオーバーラップするように前記流路ユニットの前記長手方向に沿って配列された複数のアクチュエータユニットとを備えており、
各アクチュエータユニットが、
多数の前記圧力発生部がマトリクス状に形成された基本領域であって、前記流路ユニットの前記長手方向に対して傾斜した斜辺を有し、前記斜辺の少なくとも一部が隣接する他のアクチュエータユニットの前記斜辺と前記基本領域内の前記圧力発生部同士の間に隙間部分が形成されるように前記幅方向にオーバーラップする基本領域と、
前記基本領域に対して前記流路ユニットの前記幅方向に隣接した追加領域であって、前記隙間部分と前記幅方向にオーバーラップするように前記圧力発生部が形成された追加領域とを備えているインクジェットヘッド。A plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are disposed adjacent to each other along a plane;
A plurality of actuator units fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, each actuator unit having a plurality of pressure generating portions corresponding to each pressure chamber; A plurality of pressure chambers are formed across the plurality of pressure chambers, and adjacent actuator units partially overlap each other in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the flow path unit. A plurality of actuator units arranged along the longitudinal direction,
Each actuator unit
Other actuator units that are basic regions in which a large number of the pressure generating portions are formed in a matrix , have a hypotenuse inclined with respect to the longitudinal direction of the flow path unit, and at least a part of the hypotenuse is adjacent a basic region o Barappu in the width direction so that a gap portion is formed between the pressure generation portions of the hypotenuse and the base region,
Be an additional area adjacent to the width direction of the channel unit to the fundamental region, before SL and a additional region in which the pressure generating portion is formed so as to overlap the gap portion and the width direction Inkjet head.
複数の前記アクチュエータユニットが、各アクチュエータユニットの一方の対向する二辺が前記流路ユニットの前記長手方向に平行となり且つ他方の対向する二辺が前記流路ユニットの前記長手方向に対し斜めとなるように、互いに隣接した状態で前記流路ユニットの前記長手方向に配列されており、
各アクチュエータユニットの鋭角部近傍に前記追加領域が設けられている請求項2に記載のインクジェットヘッド。The actuator unit is a flat plate having a substantially parallelogram shape,
In the plurality of actuator units, one opposing two sides of each actuator unit are parallel to the longitudinal direction of the flow path unit, and the other two opposing sides are oblique to the longitudinal direction of the flow path unit. Are arranged in the longitudinal direction of the flow path unit in a state adjacent to each other,
The inkjet head according to claim 2, wherein the additional region is provided in the vicinity of an acute angle portion of each actuator unit.
前記流路ユニットの前記長手方向と直交する方向の仮想直線が、前記隣接するアクチュエータユニット同士がオーバーラップする領域において交差する前記列の数と、オーバーラップしない領域において交差する前記列の数とが同じである請求項4に記載のインクジェットヘッド。The actuator unit is provided with a plurality of rows in which a large number of the pressure generating portions are arranged in the longitudinal direction of the flow path unit,
The imaginary straight line in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the flow path unit is such that the number of columns intersecting in the region where the adjacent actuator units overlap and the number of columns intersecting in the non-overlapping region. The inkjet head according to claim 4, which is the same.
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定された複数のアクチュエータユニットであって、各アクチュエータユニットが各圧力室に対応する複数の圧力発生部を有していると共に複数の前記圧力室に跨る大きさに形成されており、隣接する前記アクチュエータユニット同士が互いの一部において前記流路ユニットの長手方向と直交する幅方向にオーバーラップするように前記流路ユニットの前記長手方向に沿って配列された複数のアクチュエータユニットとを備えており、
各アクチュエータユニットが、
多数の前記圧力発生部がマトリクス状に形成された基本領域であって、前記流路ユニットの前記長手方向に対して傾斜した斜辺を有し、前記斜辺の少なくとも一部が隣接する他のアクチュエータユニットの前記斜辺と前記基本領域内の前記圧力発生部同士の間に隙間部分が形成されるように前記幅方向にオーバーラップする基本領域と、
前記基本領域に対して前記流路ユニットの前記幅方向に隣接した追加領域であって、前記隙間部分と前記幅方向にオーバーラップするように前記圧力発生部が形成された追加領域とを備えているインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタ。A plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are disposed adjacent to each other along a plane;
A plurality of actuator units fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, each actuator unit having a plurality of pressure generating portions corresponding to each pressure chamber; A plurality of pressure chambers are formed across the plurality of pressure chambers, and adjacent actuator units partially overlap each other in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the flow path unit. A plurality of actuator units arranged along the longitudinal direction,
Each actuator unit
Other actuator units that are basic regions in which a large number of the pressure generating portions are formed in a matrix , have a hypotenuse inclined with respect to the longitudinal direction of the flow path unit, and at least a part of the hypotenuse is adjacent a basic region o Barappu in the width direction so that a gap portion is formed between the pressure generation portions of the hypotenuse and the base region,
Be an additional area adjacent to the width direction of the channel unit to the fundamental region, before SL and a additional region in which the pressure generating portion is formed so as to overlap the gap portion and the width direction An inkjet printer including an inkjet head.
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定された複数のアクチュエータユニットであって、各アクチュエータユニットが各圧力室に対応する複数の圧力発生部を有していると共に複数の前記圧力室に跨る大きさに形成されており、隣接する前記アクチュエータユニット同士が互いの一部において前記流路ユニットの長手方向と直交する幅方向にオーバーラップするように前記流路ユニットの前記長手方向に沿って配列された複数のアクチュエータユニットとを備えており、
各アクチュエータユニットが、
多数の前記圧力発生部がマトリクス状に形成された基本領域であって、前記流路ユニットの前記長手方向に対して傾斜した斜辺を有し、前記斜辺の少なくとも一部が隣接する他のアクチュエータユニットの前記斜辺と前記基本領域内の前記圧力発生部同士の間に隙間部分が形成されるように前記幅方向にオーバーラップする基本領域と、
前記基本領域に対して前記流路ユニットの前記幅方向に隣接しており、前記圧力発生部が形成された追加領域とを備えているインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドを駆動する駆動回路と、
前記インクジェットヘッドの駆動時において、前記追加領域内では、前記隙間部分と前記幅方向にオーバーラップする前記圧力発生部だけを動作させるように前記駆動回路を制御する制御ユニットとを備えているインクジェットプリンタ。A plurality of pressure chambers each having one end connected to a nozzle and the other end connected to an ink supply source, wherein the plurality of pressure chambers are disposed adjacent to each other along a plane;
A plurality of actuator units fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, each actuator unit having a plurality of pressure generating portions corresponding to each pressure chamber; A plurality of pressure chambers are formed across the plurality of pressure chambers, and adjacent actuator units partially overlap each other in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the flow path unit. A plurality of actuator units arranged along the longitudinal direction,
Each actuator unit
Other actuator units that are basic regions in which a large number of the pressure generating portions are formed in a matrix , have a hypotenuse inclined with respect to the longitudinal direction of the flow path unit, and at least a part of the hypotenuse is adjacent a basic region o Barappu in the width direction so that a gap portion is formed between the pressure generation portions of the hypotenuse and the base region,
An inkjet head that is adjacent to the basic region in the width direction of the flow path unit and includes an additional region in which the pressure generating unit is formed;
A drive circuit for driving the inkjet head;
During driving of the ink jet head, said additional area, before Symbol inkjet and a control unit for controlling the drive circuit to operate only the pressure generating portion overlapping the gap portion and the width direction Printer.
前記圧力室の容積を変化させるために前記流路ユニットの一表面に固定されたアクチュエータユニットであって、複数の前記圧力室に跨る大きさに形成されて各圧力室に対応する複数の圧力発生部を有していると共に、五本以上の直線部分をもつ輪郭形状を有し、各直線部分がその隣の直線部分と直角及び鈍角のいずれかの角度で接続されているアクチュエータユニットとを備えたインクジェットヘッド。A flow path unit including a plurality of pressure chambers communicating with a nozzle for discharging ink, wherein the plurality of pressure chambers are arranged adjacent to each other along a plane;
An actuator unit fixed to one surface of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber, and is formed to have a size across the plurality of pressure chambers and generate a plurality of pressures corresponding to the pressure chambers. And an actuator unit having a contour shape having five or more straight portions, each straight portion being connected to the adjacent straight portion at a right angle or an obtuse angle. Inkjet head.
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