JP4128144B2 - 円筒形超音波トランシーバ - Google Patents

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Description

本発明は、超音波トランスデューサに関し、特に、圧電フィルムで形成された円筒形超音波受信機及び超音波トランシーバ、並びに、デジタイザシステムにおけるその利用分野に関する。
デジタイザシステム内で超音波信号を送信するために円筒形超音波トランスデューサを使用することは既知のことである。円筒の形状は、用途の広い信号送信を提供し、点状(又は、より正確には線状)源と類似した効果を提供することによって、飛行時間型計算の幾何学的処理を単純化する。これらの利点については、デ・ブルイネ(De Bruyne)に付与された米国特許第4,758,691号に詳述されている。円筒形超音波トランスデューサの更なる利点は、位置を測定すべき要素のまわりに円筒形超音波トランスデューサの中心を置くことができるということである。これは、PCT公報WO98/40838に記載されている製図器具デジタイザシステムにおいて使用されている。
構造的には、数多くの異なるタイプの円筒形トランスデューサが提案されてきた。デ・ブルイネ特許は、約20μmの円筒形エアギャップを生成するように意図された円筒形層の複雑な配置で形成される容量性デバイスである「セルトランスデューサ(Sell transducer)」を提案している。このような構造は、製造コストが高く、信頼性も低いと考えられている。
医療用利用分野で提案されてきた第2のタイプのトランスデューサは、圧電要素に基づいている。このタイプの医療用トランスデューサの一例は、超音波マーカーを開示するブレヤーら(Breyer et al.)に付与された米国特許第4,706,681号に見いだすことができる。ここでは、円筒形圧電カラー(cylindrical piezoelectric collar)が、2つの電極間に挟まれている。電極を横断して交番する電位を印加することにより、カラーが振動し、こうして半径方向に伝播する超音波信号が生成される。
米国特許第4,758,691号 WO98/40838 米国特許第4,706,681号
原理的には、いずれの超音波トランスデューサでも、送信機及び受信機の両方として動作することが可能である。しかし、実際には、数多くの事項を考慮すると、多くの送信機構造が受信機としては効果がないという結果になる。このことは、特に、比較的高い電力により起動されることであり、シリンダのほぼ全体がより広角の送信に寄与する一方、所定方向からの入力信号を受信するように正しく方向付けされているのはシリンダのわずかな部分にしかすぎないということは円筒形要素について特に言えることである。その上、トランスデューサの大きな不活性領域の固有のキャパシタンスが、受信信号の振幅の大きな割合を吸収してしまい、トランスデューサを受信機として感受性の低いものにする可能性がある。
トランスデューサの分野全般において、圧電フィルム、たとえばPVDFに基づいたデバイスの開発に多くの研究と労力がつぎ込まれてきた。導電性電極は、標準的に表面の領域上に導電性インクを選択的に印刷することにより、フィルムの相対する面上に形成される。これらのフィルムは、製造コストが安く、湿気に対する露呈を含む広範な動作条件に耐えるものである。
円筒形超音波トランスデューサは、圧電フィルムを使用して実施するのが比較的簡単であるが、受信機の実施は、上記の円筒形受信機が有する一般的で複雑な問題を超えた付加的な問題を提起する。具体的には、図1及び図2を参照すると、圧電フィルムで形成された自由に吊り下げられるシリンダ10の概略平面図が示されている。図1は、その弛緩した状態を示し、一方図2は、入力超音波信号波面15に対するシリンダ10の応答を示す。圧電フィルムは、可撓性であるため、信号15の振動は、シリンダ10のまわりを走行する(明確さを期して、誇張された)波を生成する。圧電フィルムの湾曲の方向及び程度は、シリンダのまわりに作り出される波形に沿って変動し、その結果、電極間に生成される電位の方向の逆転がもたらされる。その結果、圧電フィルムによって生成される電位の多くが電極内で局所的渦流の内部で散逸させられ、電極間で測定されるような全体的信号電圧を大幅に減少させる。
圧電フィルムを用いて円筒形超音波トランスデューサを実施することの更なる問題は、非常に低い信号対雑音比を結果としてもたらし得るという、望ましくない電磁放射線をピックアップするアンテナとして電極が作用する傾向にあることである。
圧電フィルムを用いて円筒形超音波トランスデューサを実施することの更なる問題は、超音波の中断を最小限に抑えつつ、トランスデューサの機械的保護を提供することである。
圧電フィルムを用いて円筒形超音波トランスデューサを実施することの更なる問題は、圧電フィルムを溶接してシリンダを形成することにより生じる損傷である。
したがって、圧電フィルムを利用する円筒形超音波受信機の構造が求められる。
本発明は、圧電フィルムを使用する円筒形超音波受信機の構造である。
本発明の教示によれば、(a)第1の端部と第2の端部とを有する圧電フィルムと、(b)前記圧電フィルム上に配置される複数の電極と、(c)少なくとも1つの固定部材と、(d)実質的に円筒形を成し、前記第1の端部及び前記第2の端部が前記少なくとも1つの固定部材によって固定される支持構造とを備える超音波トランスデューサが提供される。
本発明の更なる特徴によれば、前記支持構造上に配置される電気接点も提供される。
本発明の更なる特徴によれば、前記支持構造が突出部を更に有し、前記第1の端部及び前記第2の端部が前記少なくとも1つの固定部材によって前記突出部に固定される。
本発明の更なる特徴によれば、(a)前記支持構造が中心軸を有し、(b)前記突出部は、伸長方向を有する細長く突出した隆起部として形成され、(c)前記伸長方向が前記中心軸と実質的に平行である。
本発明の更なる特徴によれば、前記突出部上に配置される電気接点も提供される。
本発明の更なる特徴によれば、前記少なくとも1つの固定部材がクリップである。
本発明の更なる特徴によれば、前記少なくとも1つの固定部材上に配置され、前記電気接点も提供される。
本発明の更なる特徴によれば、前記圧電フィルムが第1の面と第2の面とを有し、前記電極は、(a)前記第1の面上に配置される第1の電極と、(b)前記第2の面上に配置され、その少なくとも一部が前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係である第2の電極と、(c)前記第1の面上に配置され、前記第1の電極に接続される第1の電気接続ストリップと、(d)前記第1の電気接続ストリップと実質的に対向しない関係の状態で、前記第2の面上に配置されるとともに、前記第2の電極に接続される第2の電気接続ストリップとを有する。
本発明の更なる特徴によれば、前記圧電フィルムが第1の面と第2の面とを有し、前記電極は、(a)前記第1の面上に配置される第1の電極及び第2の電極を有し、前記第1の電極は、前記第2の電極と接触しないパターンで配置され、(b)前記第2の面上に配置される第3の電極及び第4の電極を有し、(i)前記第3の電極の少なくとも一部は、前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、(ii)前記第4の電極の少なくとも一部は、前記第2の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、(iii)前記第3の電極は、前記第4の電極と接触しないパターンで配置され、(c)前記第1の電極から前記第4の電極へと伸びる電気接合ストリップを有し、前記電気接合ストリップは、前記第1の面上における前記電気接合ストリップの第1の部分と、前記第2の面上における前記電気接合ストリップの第2の部分とを有し、前記第1の部分と前記第2の部分とが電気的に接続される。
本発明の更なる特徴によれば、前記第1の部分及び前記第2の部分は、前記圧電フィルムの穴を介して電気的に接続される。
本発明の更なる特徴によれば、螺旋金属スプリングも提供され、前記螺旋金属スプリングが前記圧電フィルムの周囲に配置される。
本発明の他の教示によれば、(a)第1の面と第2の面とを有する圧電フィルムと、(b)前記第1の面上に配置される第1の電極と、(c)前記第2の面上に配置され、その少なくとも一部が前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係である第2の電極と、(d)前記第1の面上に配置され、前記第1の電極に接続される第1の電気接続ストリップと、(e)前記第1の電気接続ストリップと実質的に対向しない関係の状態で、前記第2の面上に配置されるとともに、前記第2の電極に接続される第2の電気接続ストリップとを備える超音波受信機も提供される。
本発明の更なる特徴によれば、前記第1の電気接続ストリップは、前記第2の電極と実質的に対向しない関係であり、前記第2の電気接続ストリップは、前記第1の電極と実質的に対向しない関係である。
本発明の更なる特徴によれば、前記圧電フィルムで主に形成される中空の実質的な円筒形要素も提供され、前記実質的な円筒形要素は、中心軸と、前記中心軸と平行とされる高さを有し、また、前記実質的な円筒形要素を支持するための支持構造も提供され、前記支持構造は、前記実質的な円筒形要素の大部分のまわりで円周方向に振動波を伝播できるように前記実質的な円筒形要素を支持するべく構成され、前記第1の電極は、前記高さの少なくとも一部に沿って前記中心軸と実質的に平行な伸長方向に伸びるストリップとして形成され、前記ストリップは、前記中心軸に対して90°以下の角度である。
本発明の更なる特徴によれば、前記実質的な円筒形要素が内部表面を有し、前記第1の面が前記内部表面を形成し、前記第2の電極が接地される。
本発明の他の教示によれば、(a)第1の面と第2の面とを有する圧電フィルムを備え、(b)前記第1の面上に配置される第1の電極及び第2の電極を備え、前記第1の電極は、前記第2の電極と接触しないパターンで配置され、(c)前記第2の面上に配置される第3の電極及び第4の電極を備え、(i)前記第3の電極の少なくとも一部は、前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、(ii)前記第4の電極の少なくとも一部は、前記第2の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、(iii)前記第3の電極は、前記第4の電極と接触しないパターンで配置され、(d)前記第1の電極から前記第4の電極へと伸びる電気接合ストリップを備え、前記電気接合ストリップは、前記第1の面上における前記電気接合ストリップの第1の部分と、前記第2の面上における前記電気接合ストリップの第2の部分とを有し、前記第1の部分と前記第2の部分とが電気的に接続される多電極超音波受信機も提供される。
本発明の更なる特徴によれば、前記圧電フィルムで主に形成される中空の実質的な円筒形要素も提供され、前記実質的な円筒形要素は、中心軸と、前記中心軸と平行とされる高さを有し、前記第1の電極及び前記第2の電極は、その組み合わされた状態で、前記中心軸において90°以下の角度であって、また、前記実質的な円筒形要素を支持するための支持構造も提供され、前記支持構造は、前記実質的な円筒形要素の大部分のまわりで円周方向に振動波を伝播できるように前記実質的な円筒形要素を支持するべく構成される。
本発明の更なる特徴によれば、前記実質的な円筒形要素が内部表面を有し、前記第1の面が前記内部表面を形成し、前記第2の電極が接地される。
本発明の更なる特徴によれば、前記第1の部分及び前記第2の部分は、前記圧電フィルムの穴を介して電気的に接続される。
本発明の更なる特徴によれば、前記第1の面上に配置され、前記第2の電極に接続される第1の電気接続ストリップ、及び、前記第2の面上に配置され、前記第3の電極に接続されるとともに、前記第1の電気接続ストリップと実質的に対向しない関係の第2の電気接続ストリップも提供される。
本発明の他の教示によれば、超音波の所定周波数に使用される超音波トランスデューサのために遮蔽しつつ、前記超音波に対する中断を最小限に抑える方法であって、超音波トランスデューサに関連付けられる超音波の波長の約半分未満の空間周期で、螺旋金属スプリングから成る巻線の間隔をあけるステップと、超音波トランスデューサを取り囲むように前記螺旋金属スプリングを配置するステップとを含む方法も提供される。
本発明の更なる特徴によれば、巻線の間隔をあける前記ステップは、前記波長の約1/4未満の空間周期で前記巻線の間隔をあけることによって実施される。
本発明の他の教示によれば、(a)可動要素と関連付けられる1つの超音波トランスデューサと、(b)2つの超音波トランスデューサと、(c)前記2つの超音波トランスデューサがベースユニットに取り付けられることによって、これらの超音波トランスデューサが固定型の幾何学的関係で維持されるベースユニットと、(d)中空の細長い部材を有し、前記2つの超音波トランスデューサ間に配置される音波ガイドとを備えるデジタイザシステムも提供される。
本発明の更なる特徴によれば、前記音波ガイドが実質的に一直線状である。
本発明の更なる特徴によれば、前記音波ガイドが湾曲している。
本発明の他の教示によれば、可動要素上の1つの点の位置を決定するためのシステムを動作させる方法であって、前記システムが、前記可動要素にそれぞれ装着された第1の超音波トランスデューサ及び第2の超音波トランスデューサを含む複数の超音波トランスデューサから成る可動グループを有し、前記第1の超音波トランスデューサ、前記第2の超音波トランスデューサ、可動要素上の前記点がそれぞれ、共通の軸に沿って順次に間隔をあけ、また、前記システムが、所定距離だけ互いに間隔をあける第3の超音波トランスデューサ及び第4の超音波トランスデューサを含む複数の超音波トランスデューサから成る固定グループを有する方法において、(a)前記第1の超音波トランスデューサと前記固定グループとの間、及び、前記第2の超音波トランスデューサと前記固定グループとの間で、複数の測定信号を送信するステップと、(b)前記第1の超音波トランスデューサと前記第3の超音波トランスデューサ及び前記第4の超音波トランスデューサのそれぞれとの間の距離、及び、前記第2の超音波トランスデューサと前記第3の超音波トランスデューサ及び前記第4の超音波トランスデューサのそれぞれとの間の距離を、前記測定信号の飛行時間から得るステップと、(c)前記距離から前記点の位置を得るステップとを含んでいる方法も提供される。
本発明の更なる特徴においては、前記第1の超音波トランスデューサ及び前記第2の超音波トランスデューサの両方が円筒形超音波トランスデューサである。
本発明は、本明細書において、添付図面を参照しつつ単なる一例としてここに記載される。
本発明は、圧電フィルムで形成された円筒形超音波受信機又はトランシーバである。本発明は、またデジタイザシステム内でこのようなトランシーバの利用分野も提供している。
本発明に係る受信機及びトランシーバの原理及び動作は、図面及び付随する明細書本文を参照することによって、更に良く理解することができよう。
ここで、図3を参照する。図3は、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる円筒形超音波受信機18の等角図である。一般的に言えば、受信機18は、中空である実質的な円筒形要素20を有する。円筒形要素20は主として可撓性圧電フィルムで形成されており、この圧電フィルムは、外部表面25と、内部表面30と、上端部32と、下端部33と、中心軸40と、中心軸40と平行に測定された高さhとを有する。円筒形要素20は、その大部分のまわりで円周方向に振動波が伝播できるようにする形で円筒形要素20を支持するように構成された、ここではコア要素50によって表わされている支持構造によって支持されている。円筒形要素20は、ベース55によって下側から支持されるとともに、キャップ60によって上側から支持されている。上記のように、円筒形要素20は、そのまわりの少なくとも大部分にわたって円筒の形状に近いため、実質的に円筒形である。この円筒形部分は受信機能を与え、したがって、機能しない部分が円筒の形状でなくても重大ではない。また、円筒部分それ自体は、正確に円筒形である必要はない。この応用例については図12を参照して後述する。
ここで、図4を参照する。図4は、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる円筒形要素20の概略平面図である。第1の電極65は、内部表面30に貼付されている。第2の電極70は、外部表面25に貼付されている。この場合、第2の電極70の少なくとも一部分は、第1の電極65の大部分と対向する関係である。第2の電極70は接地されており、第1の電極65は検知用電極としての機能を果たす。しかし、本発明の他の実施態様で使用するため、第1の電極65及び第2の電極70が交換可能であることに留意されたい。第1の電極65は、高さhの大部分に沿って(図3参照)中心軸40に実質的に平行な伸長方向に伸び、且つ中心軸40にて90°以下の角度aに対して定められた一つのストリップとして形成されている。第1の電極65の寸法は、好ましくは、意図された動作周波数の超音波振動によって誘発された円筒形要素20内の振動の約1/4波長未満に対応するような形で選択される。大部分の場合では、寸法は、干渉効果などを最小限におさえるように(図2に概略的に例示された約4つの波長ではなくむしろ)円筒形要素20が振動の約1波長のみを支持するような形で選択される。その結果、第1の電極65が中心軸40で約90°未満に角度aを定める限りにおいて、位相相殺の問題は大幅に回避できる。しかし、好ましくは、第1の電極65の幅は、標準的に中心軸40で約20〜約30°の間に角度aを定めるために選択される。
受信機18の動作原理は、図1及び図2を再度参照することによって認識することができる。上記のように、入射圧力波15は、シリンダ10の周囲で伝播する振動波を誘発する傾向を有する。その結果、シリンダ10の表面上に任意に位置づけされた局部センサーは、圧力波15が入射する方向とは実質的に独立して、実質的に同じ振動を経験する。同時に、第1の電極65の円周方向の広がりは、フィルムを通って伝播する振動の波長と比べて小さいことから、位相相殺及び大きいキャパシタンスという上記の問題は回避される。その結果、きわめて効率的な広角超音波受信機が得られる。本発明の構成のこれらの利点及びその他の利点は、以下のさらに詳細な説明からより明確になるであろう。
材料に関しては、任意の圧電フィルム材料及び適当な導電性電極材料を用いて、本発明を実施できるということを指摘しておきたい。フィルム自体についての特に好ましい例は、ポリビニルジフルオライド(PVDF)である。偏光方向は、シリンダのまわりで円周方向に方向づけされよう。このようなフィルムの使用は、その広い周波数帯応答による特別な利点を提供する。具体的には、ピエゾセラミックスに基づく従来の狭い周波数帯の受信機は、信号雑音を測定周波数範囲内へとシフトさせる傾向をもち、信号対雑音比を徹底的に低減させるということが発見されている。対照的に、本発明の広い周波数帯の受信機は、問題の信号を識別するために、その後のフィルタリングと組み合わせて用いた場合、大幅に増大された信号対雑音比を提供することが発見された。
電極のための適当な導電性材料としては、炭素、銀及び金を含有する組成物が含まれるが、これらに制限されない。透明な構造が必要とされる利用分野においては、透明な導電性材料が使用される。導電性材料の貼付は一般的な製造過程であるため、導電性材料が圧電フィルムに対して「貼付される」ものとして説明してきた。しかし、導電性材料は、従来技術で知られる他の方法を使用して圧電フィルム上に「配置」されてもよいことに留意されたい。
ここで、図5を参照する。図5は、各面に対して貼付される電極パターンの形態を示し本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる受信機18で使用するための円筒形要素20を形成する圧電フィルムシートの半透明の平面図である。第1の電気接続ストリップ75は、内部表面25に貼付されるとともに、第1の電極65に接続されている。キャパシタンスに関連する問題を軽減するため、第1の電気接続ストリップ75の貼付は、第2の電極70と実質的に対向しない関係になるように行なわれる。第2の電気接続ストリップ80は、外部表面30に貼付されるとともに、第2の電極70に接続されている。キャパシタンスに関連する問題を軽減するため、第2の電気接続ストリップ80の貼付は、第1の電気接続ストリップ75と実質的に対向しない関係になるように行なわれる。また、第2の電極70と実質的に対向しない関係になるように第1の電気接続ストリップ75を貼付し且つ第1の電極65と実質的に対向しない関係になるように第2の電気接続ストリップ80を貼付して、キャパシタンスに関連して起こりうる問題を回避することも有益である。なお、「実質的に対向しない」という用語は、キャパシタンスに関連する問題を除去するために完全に対向しない関係が存在することが好ましいことを意味することに留意されたい。しかし、電気接点ストリップのある程度の対向は、キャパシタンスに起因する問題を増大させる可能性があるものの、キャパシタンスに起因する問題を最小限に抑えることを目的とする本発明の本質を打ち消すことはない。第1の電気接続ストリップ75及び第2の電気接続ストリップ80は、第1の電極65及び第2の電極70のそれぞれから、円筒形要素20の下端部33(図3)にあるタブ85へと伸びている。
ここで、図6を参照する。図6は、各面に対して貼付される複合電極パターンの形態を示し、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる受信機18で使用される円筒形要素20を形成する圧電フィルムシートの半透明の平面図である。検知用電極と接地電極との間の断面積を大きくすると、超音波トランシーバによって生成される電流を大きくすることができる。しかし、一般的には、超音波受信機によって生成される電圧を高めることが更に有益である。これは、複数の電極パターンを直列に配置することによって達成することができる。受信機18の場合、これは、第1の電極90及び第2の電極95を円筒形要素20の内部表面25に貼付することによって達成される。第1の電極90の貼付は、第2の電極95と接触しないパターンで行なわれる。上記のように、単一の検知用電極すなわち第1の電極65(図4)の場合に関連して、第1の電極及び第2の電極90、95はそれぞれストリップとして形成される。第1の電極及び第2の電極90、95は、高さh(図3)の少なくとも一部に沿って中心軸40と実質的に平行な伸長方向に伸びている。第1の電極90及び第2の電極95は、互いに組み合わされた状態で、中心軸40にて90°以下の角度の範囲を定める。第3の電極100及び第4の電極105は、円筒形要素20の外部表面30に貼付されており、これにより、第3の電極100の少なくとも一部が、第1の電極90の大部分と対向する関係であり、且つ第4の電極105の少なくとも一部が、第2の電極95の大部分と対向する関係になっている。第3の電極100の貼付は、第4の電極105と接触しないパターンで行なわれる。第4の電極105は接地されている。電気接合ストリップ110、115は、内部表面25上に電気接合ストリップ110の第1の部分を有するとともに、外部表面30上に電気接合ストリップ115の第2の部分を有する。電気接合ストリップ110の第1の部分は、第1の電極90から円筒形要素20の穴Qに向かって伸びており、電気接合ストリップ115の第2の部分は、穴Qから第4の電極105に向かって伸びている。電気接合ストリップ110の第1の部分及び電気接合ストリップ115の第2の部分は、導電性材料を使用して穴Qで接合されている。本発明のこの実施態様においては、図5に関連して説明した第1の電気接続ストリップ75及び第2の電気接続ストリップ80をここで使用することができる。第1の電気接続ストリップ75は、内部表面25に貼付されるとともに、第2の電極95に接続される。第2の電気接続ストリップ80は、外部表面30に貼付されるとともに、第3の電極100に接続される。また、円筒形要素20の面25、30間のキャパシタンスに関連する問題を軽減するため、第2の電気接続ストリップ80の貼付は、第1の電気接続ストリップ75と実質的に対向しない関係になるように行なわれる。第1の電気接続ストリップ75及び第2の電気接続ストリップ80は、第2の電極95及び第3の電極100のそれぞれから、円筒形要素20の下端部33(図3)にあるタブ85へと伸びている。なお、本発明の他の実施態様においては、第1の電極90及び第2の電極95が外部表面30に貼付され、第3の電極100及び第4の電極105が内部表面25に貼付されることに留意されたい。また、更に多くの電極を円筒形要素20に貼付して、受信機18の電圧出力を増大するために直列に接続することに留意されたい。
ここで、図7を参照する。図7は、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる受信機18のための支持構造117の分解等角図である。上記のように、圧電フィルムを用いた円筒形超音波トランスデューサの実施に付随する1つの主要な問題は、電極が電磁放射のためのアンテナとして機能する傾向であることである。この問題を最小限にするか又はなくすために、本発明の好ましい実施は、電磁放射から検知用電極を遮蔽するのに一助となる一つ以上の特徴を含んでいる。まず、接地される第2の電極70が、第1の電極65のために、幾らかの遮蔽が提供される。ちなみに、これは第1の電極65をフィルムの外側ではなくむしろフィルムの内部表面上に位置させることが好ましい理由である。電磁遮蔽に対するさらなる又は代替的な寄与は、好ましくは、第1の電極65との電極的接触を回避するような形で円筒形要素20の内部に配置された電気的に接地した導電性コア要素50を使用することによって提供される。コア要素50は、標準的には、必ずしも必要ではないが、円筒形要素20のための支持構造117の一部である。コア要素50の一つの好ましい実施態様は、中実又は中空の金属コア要素である。円筒形要素20のフィルムが自由に振動できるように、コア要素50は、ここでは、その高さの大部分にわたって、直径が減少した直径の減少した部分120を伴って形成されている。場合によっては、直径の減少した部分120により画定された非接触領域は、第1の電極65との電気的接触を回避するのに十分である。あるいは、付加的な絶縁層をコア要素50と第1の電極65との間に介在させることができる。コア要素50の代替的実施は、導電性フォーム(conductive foam)(図示せず)のシリンダで形成されることができる。この場合、一般に、コア要素50と円筒形要素20との間の接触は、標準的に円筒形要素20内部の振動の伝播と著しく干渉しない。この場合、コア要素50と第1の電極65との間には一般的に付加的な絶縁層が必要とされる。上記のように、円筒形要素20は、下側からベース55によって支持されるとともに、上側からキャップ60によって支持されている。ベース55は、電気接点スプリング140を含む。ベース55及びキャップ60は、ボルト145によって、コア要素50に固定されている。
ここで、図8を参照する。図8は、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる支持構造117で使用するための単一の電気接点プレートを示す等角図である。ベース55は、1つの電気接点スプリング140を有する。これは、電気接続ストリップ75、80が単一のタブ85上で組み合わされる場合、あるいは、電気接続ストリップ75、80が円筒形要素20の異なる端部32、33(図3)に向かって伸びている場合に使用することができる。
ここで、図9を参照する。図9は、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる受信機18との電気接触を形成するための技術を例示する概略等角図である。受信機18の電気接続ストリップ75、80を含むタブ85は、電気接点スプリング140内に押し込まれている。タブ85は、電気接点スプリング140の圧力によって所定位置に保持されている。
ここで、図10を参照する。図10は、本発明の実施態様にしたがって構成され動作することができる受信機18で使用するための保護用螺旋スプリング150の概略等角図である。螺旋スプリング150は、受信機18を取り囲むように配置される。螺旋スプリング150は、図11に関連して後述するように、入射超音波との干渉を最小限に抑える一方、受信機18のための機械的で且つ電磁的遮蔽を形成する。螺旋スプリング150は、導電性材料で形成されるとともに、電磁遮蔽を形成するために接地される。
ここで、図11を参照する。図11は、螺旋スプリング150の断面の側面図である。螺旋スプリング150は、厚さがt、空間周期がSの巻線155を有する。トランスデューサ、特に容易に損傷を受ける圧電フィルムを用いたトランスデューサのためには、しばしば機械的保護を提供しなければならない。数多くの既存のトランスデューサ構造が、トランスデューサの前に様々な保護構造の存在に起因する有意な信号のひずみのみの問題、あるいは「盲点」(すなわち、送信された強度又は受信感度が著しく損なわれている方向)と組み合わされた問題を抱えている。このような問題を最小限に抑えるか又は除去するために、本発明は、空間周期Sがλ/2以下、好ましくはλ/4以下(ここで、λは空気中の超音波動作周波数の波長)の巻線155を有する螺旋スプリング150を用いる。既存のシステムと比べてはるかに小さい空間周期Sを有する螺旋スプリング150を用いることにより、超音波信号に対し方向的中断が引き起こされることはほとんどないか、又は全くない。実施例としては、約4mmの空気中の波長に対応する90kHzの動作周波数については、1.9mmのSの値が信号の送信及び受信に対し最小限の中断しか与えないことがわかっている。
ここで、図12及び図13を参照する。図12は、本発明の最も好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる受信機18のための支持構造の分解等角図である。図13は、図12の受信機18で使用するための各面に貼付される電極パターンの形態を示す圧電フィルム175の半透明の平面図である。円筒形要素20を形成するために圧電フィルム175を溶接することは、費用のかかるプロセスであり、また、溶接によって圧電フィルム175が損傷する虞がある。円筒形要素20に使用される圧電フィルム175は、それを溶接しなくても円筒形要素20へと形成することができる一方で、受信機18の大部分のまわりで円周方向に振動波を伝播することができる。これは、フィルムの端部192、193を支持構造160の突出部165上に載置した状態で、実質的に円筒形の支持構造160の周囲に圧電フィルム175を巻き付けることによって達成される。突出部165は、一般に、細長く突出した隆起部であり、その伸長方向が支持構造160の中心軸と実質的に平行になっている。突出部165は、実質的に平行な挟持面166を有する。固定部材、一般的にはクリップ170が、フィルムの端部192、193を突出部165に対して固定し、それにより、圧電フィルム175が実質的に円筒形に形成される。一般的には、1つの固定部材を使用して、フィルムの端部192、193を突出部165に対して固定するが、2つ以上の固定部材を使用して、同じ機能を果たすこともできる。クリップ170は、挟持機能を果たし、この挟持機能は、同じ挟持機能を果たす他のクリップ構造を用いて果たすことができる。圧電フィルム175を支持構造160上に巻き付ける前に、必要な電極及び必要とされる電気接点が圧電フィルム175に対して貼付される。検知用電極180は、圧電フィルム175の第1の側182に貼付され、接地電極190は、圧電フィルム175の第2の側183に貼付される。圧電フィルム175が支持構造160の周囲に巻き付けられる場合には、一般に、圧電フィルム175の第1の側182が支持構造160に面して対向し、これにより、接地電極190は検知用電極180のための電磁遮蔽を外側に形成する。接地電極190は、ほぼ圧電フィルム175の一方の端部192の方向に伸びている。この伸長した接地電極190は、検知用電極180のため付加的な電磁遮蔽を形成するとともに、またクリップ170の内側にある電気接点172に接地電極190を直接、接続することを可能にする。電気接続ストリップ185は、圧電フィルム175の第1の側182に貼付されている。電気接続ストリップ185は、検知用電極180から、圧電フィルム175の他方の端部193へとほぼ伸びている。このことは、検知用電極190を、突出部165上の電気接点167に直接、接続することを可能にする。なお、超音波トランシーバ内で圧電フィルム175を使用するために付加的な電極を追加する等といった、多くの他の電極構造も考えられることに留意されたい。
ここで、図14を参照する。図14は、図12の支持構造で使用するための、各面に貼付される複合電極パターンの形態を示す圧電フィルムの概略平面図である。本発明の最も好ましい実施態様においては、図6で説明した複合電極パターンを、図12の支持構造と共に使用できるよう適合させることができる。第1の電極90及び第2の電極95は、圧電フィルム175の第1の側182に貼付されている。第3の電極100及び第4の電極は105、圧電フィルム175の第2の側183に貼付されている。電気接合ストリップ110、115は、第1の電極90から、圧電フィルム175の穴Qを介して、第4の電極105へと伸びている。第1の電気接続ストリップ75は第2の電極95に接続されている。第2の電気接続ストリップ80は第3の電極100に接続されている。第1の電気接続ストリップ75及び第2の電気接続ストリップ80は、第2の電極95及び第3の電極100のそれぞれから、圧電フィルム175の端部192、193へと伸びている。電極及び電気接続ストリップの相対的な位置及び非重合性については、図6を参照して既に説明した。
再び図12を参照する。本発明の最も好ましい実施態様においては、図10及び図11で説明した螺旋スプリング150を受信機18の周囲に配置することによって、機械的保護及び付加的な電磁遮蔽を受信機18に提供することができる。
ここで、図15を参照する。図15は、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができるトランシーバとして使用するために各面に貼付される電極パターンの形態を示す圧電フィルムの半透明の平面図である。装置18は、超音波受信機としてこれまで説明してきたが、同じ構造は、ここで説明がなされるように、トランシーバシステムでの使用、すなわち、信号を送受信するために非常に適している。第1の電極65の貼付に加えて、第1の電気接続ストリップ75と、第2の電極70と、第2の電気接続ストリップ80(以上の全ては図5に関連して説明した)と、付加的な電極195とが、円筒形要素20の内部表面25に貼付される。付加的な電極195は、タブ85に伸びている電気接続ストリップ200に接続されている。第2の電極70は、円筒形要素20のより大きい領域を覆うように広げられている。付加的な電極195の貼付は、第1の電極65と接触せず且つ第2の電極70と実質的に対向する関係になるパターンで行なわれる。送信機として使用しない場合には、付加的な電磁遮蔽を形成するために、付加的な電極195を接地することができる。送信機として使用する場合には、従来の円筒形の超音波送信機の動作と同様に、付加的な電極195及び必要に応じて第1の電極65ともに、及び第2の電極70との間に駆動電圧を印加して、超音波信号を生成することができる。
ここで、図16を参照する。図16は、装置18を使用するトランシーバアセンブリの主要なコンポーネントを例示するブロック図である。上記のように、超音波信号の受信中においては、遮蔽する目的で、第2の電極70及び付加的な電極195の両方を接地することが有利である。この有利を維持するため、送信が必要な場合には、切換えシステム225を使用して、送信機回路に対する第2の電極70又は付加的な電極195の接続を選択的に切換えてもよい。そのため、装置18を使用するトランシーバアセンブリの表示が示されている。トランシーバアセンブリは、一般には増幅器215を介して、第1の電極65に電気的に接続される受信機回路210を有する制御モジュール205をさらに含む。また、制御モジュール205は、送信機回路220と切換えシステム225とを含む。切換えシステム225は、起動用電極としての機能を果たす第2の電極70又は付加的な電極195のいずれかに関連付けられ、それを送信機回路とアースとに対して交互に接続する。この場合、送信時には電極を送信機回路に接続し、受信中には電極をアースに接続する。アセンブリ全体は、一般にプロセッサ230の制御下で動作されるが、その詳細は、本発明に必須ではない。
動作中、アセンブリが受信のために使用されている場合、付加的な電極195及び第2の電極70の両方がアースに接続され、これにより、利用可能な最大の電磁遮蔽を提供する。送信が必要とされる場合、所望の信号を生成するため、第2の電極70又は付加的な電極195のいずれかに対し駆動電圧が印加される。
この時点で、本発明の原理の範囲内で、数多くの変更及び改良を加えることができるという点に留意されたい。一例を挙げると、受信機18が、円筒形要素20のまわりに間隔をあけて1個より多い検知用電極を使用できることに留意されたい。このことは、数多くの理由で有用である。第1に、検出された信号を別々に分析し、信号間の位相差を識別することにより、単一の受信機での測定値から近似の方向情報を導出することが可能である。あるいは、円筒形要素20のサイズに比べて波長が短い例においては、所望の周波数に対する受信機の固有の同調を達成するために、数個の共通接続された検知用電極の間隔を選択することが可能であるかもしれない。換言すると、この間隔が所定の周波数についての円筒形要素20の周囲の同位相の間隔に対応する場合、各々の検知用電極からの信号は、同じ正負符号を有することになり、増大した振幅まで合算することになる。その他の数多くの周波数は、上記図2の状況下で説明したとおり、ある程度の相殺が発生することになる。
以上で言及したように、円筒形要素20は、好ましくは動作周波数の超音波信号により誘発された圧電フィルム内で振動波のおよそ単一の波長のみを支持するような形で構成されている。より詳細には、円周の半分(πD/2、Dは円筒形要素の直径)は、好ましくは、フィルム内部の振動波の波長に等しい。このような理由で、円筒形要素20の直径は、一般に、意図された動作周波数に反比例するように選択される。一例を挙げると、90kHzの動作周波数では、一般に約5mmの直径の円筒形要素が好ましい。
ここで、図17を参照する。図17は、一次的動作モードで動作している本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる可動要素240の位置を決定するためのシステムの動作の概略図である。なお、本発明のトランスデューサ18のトランシーバ機能性が、可動要素240の位置を決定するためのシステムにおいて精度及び信頼性の増大を提供する本発明の別の態様による自己較正モードを実施するために特に有用であるという点に留意されたい。このシステムは、可動要素240と係合する可動超音波トランスデューサ235と、ベースユニット255に対する取り付けにより固定型の幾何学的関係で維持された少なくとも二つの超音波トランスデューサ245、250とを含む。ここで示されている例においては、システムの通常の測定モードは、固定型超音波トランスデューサ245、250によって受信される可動超音波トランスデューサ235からの少なくとも一つの測定信号を送信するステップを含む。可動要素240の位置は、このとき、超音波測定信号についての飛行時間型測定を用いて導出される。
ここで、図18を参照する。図18は、自己較正操作を実施している間の上記システムの動作の概略図である。まず始めに、超音波飛行時間型デジタイザシステムは、温度、圧力、又は湿度の変化の結果としてもたらされる空気を通しての音速の有意な変動に起因する精度の問題に直面するという点に留意されたい。このような変動を補償するために、本発明のこの態様では、自己較正機能が提供され、それにより、システムはまた較正モードで間欠的に動作される。このモードにおいて、トランスデューサ245が、その通常の受信機能から送信機能に切り換わり、トランスデューサ250により受信された較正信号を送り出す。トランスデューサ245、250間の距離は、ベースユニット255の構造によって画定される固定値であることから、システムが現在動作している環境内の音速の変動を表す較正情報を導出するために、較正信号の飛行時間型測定を使用することができる。この較正情報は、次に、可動要素240の位置導出を補正するために使用することができる。
ここで、図19及び図20を簡単に参照する。これらの図は、可動トランスデューサ235が固定トランスデューサ245及び250により送信された信号を受信するための受信機として機能しているシステムのための本発明のこの態様の一つの実施例を示している。この例では、較正モードは、トランスデューサ245により送信された較正信号を受信するための受信機としてトランスデューサ250を一時的に利用することによって実施される。その他のすべての点において、発明の原理は、上記のままである。
ここで、図21を参照する。図21は、音波ガイド260を利用して自己較正モードを実施している間のシステムの概略図である。まず始めに、物理的な障害物265が較正信号の経路を塞ぐことも可能であることに留意されたい。物理的な障害物265は、システム固有の構造又は外的な障害物に起因している場合もある。音波ガイド260は、固定トランスデューサ245、250間に配置される。音波ガイド260により、一方の固定トランスデューサ245によって送信された較正信号が、他方の固定トランスデューサ250によって受信されることを保証する。音波ガイド260は、物理的な障害物265によって、直線かあるいは湾曲のどちらか一方になることができる細長いチューブである。
ここで、図22を参照する。図22は、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる可動要素270上の点Pの位置を決定するためのシステムの動作の概略図である。まず始めに、超音波飛行時間型デジタイザシステムは、トランスデューサが通常決められた位置に正確に配置されないという事実に起因する精度の問題に直面する。例えば、電子ペンを含む超音波飛行時間型デジタイザシステムの場合、トランスデューサはペンのペン先よりも上側にある。一般的なケースのように、ペンが傾けられる場合には、ペン先及び超音波トランスデューサは、測定平面内で様々な水平位置をとるであろう。そのような変動を補償するため、本発明のこの態様では、傾き誤差を補正するためのシステムが推奨される。このシステムは、2つの超音波トランスデューサ275、280を可動要素270に取り付けることにより、2つの超音波トランスデューサ275、280と点Pとを共通の軸Wに沿った固定型の幾何学的関係で維持することを含んでいる。超音波トランスデューサの円筒の形状は、用途の広い信号送信を提供し、点状(又は、より正確には線状)源に類似した効果を提供することによって、飛行時間型計算の幾何学的処理を単純化する。したがって、超音波トランスデューサ275、280が共通の軸W上に中心に置かれる。傾き誤差をよりうまく補正できるように、超音波トランスデューサ280は、一般に、可能な限り点Pに近接して配置され、超音波トランスデューサ275は、一般に、可能な限り超音波トランスデューサ280から間隔をあけて配置されることに留意されたい。また、トランスデューサの1つに超音波信号の一時的な遮断から生じる問題を見越して、可動要素内で2つ以上のトランスデューサを使用することもできる。また、システムは、ベースユニット295に取り付けられることにより固定型の幾何学的関係で維持される他の2つの超音波トランスデューサ285、290を含む。ここで示されている例においては、システムの通常の測定モードは、超音波トランスデューサ285、290によって受信される超音波トランスデューサ275から第1の測定信号を送信することを含んでいる。第2の測定信号は、超音波トランスデューサ285、290によって受信される超音波トランスデューサが送信される。第1及び第2の測定信号は、連続して生じる。超音波トランスデューサ275と各超音波トランスデューサ285、290との間の距離は、第1の測定信号における飛行時間型測定から導出される。超音波トランスデューサ280と各超音波トランスデューサ285、290との間の距離は、第2の測定信号における飛行時間型測定から導出される。点Pの位置は、上記計算された距離に関する幾何学的計算から導出される。
また、システムは、固定超音波トランスデューサ285、290間で較正信号を送信することにより、較正モードで間欠的に動作する。この較正情報は、次に、点Pの位置の導出を補正するために使用される。
本発明は、特に図示して上述したものに限定されないことは当業者であれば理解できるであろう。むしろ、上述した様々な特徴の組み合わせ及びサブコンビネーションの両方と、上述の明細書を読む際に当業者が想像するであろう従来技術にはない上述した様々な特徴の変形及び変更とを本発明の範囲は含んでいる。
弛緩状態にある圧電フィルムで形成された自由に吊り下げられたシリンダの概略平面図である。 超音波信号を受けた時の図1のシリンダの概略図である。 本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる円筒形超音波受信機の等角図である。 図3で使用されるフィルムの概略平面図である。 図3の受信機で使用し、各面に貼付される電極パターンの形態を示す圧電フィルムの概略平面図である。 図3の受信機で使用し、各面に貼付される複合電極パターンの形態を示す圧電フィルムの概略平面図である。 図3の受信機のための支持構造の分解等角図である。 図7の支持構造で使用するための信号電気接点プレートを示す等角図である。 図3の受信機との電気接点を形成するための技術を例示する概略斜視図である。 図3の受信機で使用するための保護用螺旋スプリングの概略等角図である。 図10の螺旋スプリングの断面の側面図である。 本発明の最も好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる円筒形超音波トランシーバのための支持構造の分解等角図である。 図12のトランシーバで使用し各面に貼付される電極パターンの形態を示す圧電フィルムの概略平面図である。 図12の受信機で使用し各面に貼付される複合電極パターンの形態を示す圧電フィルムの概略平面図である。 図3の受信機でトランシーバとして使用し各面に貼付される電極パターンの形態を示す圧電フィルムの概略平面図である。 図15のトランシーバを含むトランシーバアセンブリの主要なコンポーネントを例示するブロック図である。 一次的動作モードで動作している、本発明の好ましい実施態様にしたがって構成され動作することができる可動要素の位置を決定するためのシステムの動作の概略図である。 自己較正動作を実施している間の図17のシステムの動作の概略図である。 一次的動作モードで動作している、本発明のもう一つの実施態様にしたがって構成され動作することができる可動要素の位置を決定するためのシステムの動作の概略図である。 自己較正動作を実施している間の図19のシステムの動作の概略図である。 音波ガイドを利用して自己較正モードを実施している間の図17のシステムの概略図である。 本発明のもう一つの実施態様にしたがって構築され動作することができる可動要素のある点の位置を測定するためのシステムの動作の概略図である。
符号の説明
10 シリンダ、15 入射圧力波(入力超音波信号波面、信号)、18 円筒形超音波受信機(トランスデューサ)、20 円筒形要素、25 外部表面(内部表面)、30 内部表面(外部表面)、32 上端部、33 下端部、40 中心軸、50 コア要素、60 キャップ、65、90 第1の電極、70、95 第2の電極、75 第1の電気接続ストリップ、80 第2の電気接続ストリップ、85 タブ、100 第3の電極、105 第4の電極、110、115 電気接合ストリップ、117、160 支持構造、120 直径の減少した部分、140 電気接点スプリング、145 ボルト、150 保護用螺旋スプリング、155 巻線、165 突出部、166 挟持面、167 電気接点、170 クリップ、172 電気接点、175 圧電フィルム、180 検知用電極、182 (圧電フィルムの)第1の側、183 (圧電フィルムの)第2の側、185、200 電気接続ストリップ、190 接地電極、192 フィルムの端部(フィルムの一方の端部)、193 フィルムの端部(フィルムの他方の端部)、195 付加的な電極、205 制御モジュール、210 受信機回路、215 増幅器、220 送信機回路、225 切換えシステム、230 プロセッサ、235 可動超音波トランスデューサ(可動トランスデューサ)、240、270 可動要素、245、250 固定超音波トランスデューサ(固定トランスデューサ)、255、295 ベースユニット、260 音波ガイド、265 物理的な障害物、275、280 超音波トランスデューサ、285、290 固定超音波トランスデューサ、h 高さ、a 角度、t 厚さ、S 空間周期、Q 穴、W 共通の軸、P 点。

Claims (17)

  1. (a)第1の端部と第2の端部とを有する圧電フィルムと、
    (b)前記圧電フィルム上に配置される複数の電極と、
    (c)少なくとも1つの固定部材と、
    (d)実質的に円筒形を成し、前記第1の端部及び前記第2の端部が前記少なくとも1つの固定部材によって固定される支持構造と、を備え、
    前記圧電フィルムが第1の面と第2の面とを有し、前記電極は、
    i )前記第1の面上に配置される第1の電極と、
    ii )前記第2の面上に配置され、その少なくとも一部が前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係である第2の電極と、
    iii )前記第1の面上に配置され、前記第1の電極に接続される第1の電気接続ストリップと、
    iv )前記第1の電気接続ストリップと実質的に対向しない関係の状態で、前記第2の面上に配置されるとともに、前記第2の電極に接続される第2の電気接続ストリップと、
    を有することを特徴とする超音波トランスデューサ。
  2. (a)第1の端部と第2の端部とを有する圧電フィルムと、
    (b)前記圧電フィルム上に配置される複数の電極と、
    (c)少なくとも1つの固定部材と、
    (d)実質的に円筒形を成し、前記第1の端部及び前記第2の端部が前記少なくとも1つの固定部材によって固定される支持構造と、を備え、
    前記圧電フィルムが第1の面と第2の面とを有し、前記電極は、
    i )前記第1の面上に配置される第1の電極及び第2の電極を有し、前記第1の電極は、前記第2の電極と接触しないパターンで配置され、
    ii )前記第2の面上に配置される第3の電極及び第4の電極を有し、
    (A)前記第3の電極の少なくとも一部は、前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、
    (B)前記第4の電極の少なくとも一部は、前記第2の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、
    (C)前記第3の電極は、前記第4の電極と接触しないパターンで配置され、
    iii )前記第1の電極から前記第4の電極へと伸びる電気接合ストリップを有し、前記電気接合ストリップは、前記第1の面上における前記電気接合ストリップの第1の部分と、前記第2の面上における前記電気接合ストリップの第2の部分とを有し、前記第1の部分と前記第2の部分とが電気的に接続される、
    ことを特徴とする超音波トランスデューサ。
  3. 前記第1の部分及び前記第2の部分は、前記圧電フィルムの穴を介して電気的に接続されることを特徴とする請求項2に記載の超音波トランスデューサ。
  4. (a)第1の面と第2の面とを有する圧電フィルムと、
    (b)前記第1の面上に配置される第1の電極と、
    (c)前記第2の面上に配置され、その少なくとも一部が前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係の第2の電極と、
    (d)前記第1の面上に配置され、前記第1の電極に接続される第1の電気接続ストリップと、
    e)前記第1の電気接続ストリップと実質的に対向しない関係の状態で、前記第2の面上に配置されるとともに、前記第2の電極に接続される第2の電気接続ストリップと、
    (f)前記圧電フィルムで主に形成される中空の実質的な円筒形要素と、
    g)前記実質的な円筒形要素を支持するための支持構造と、を備え、
    前記実質的な円筒形要素は、中心軸と、前記中心軸と平行とされる高さを有し、前記支持構造は、前記実質的な円筒形要素の大部分のまわりで円周方向に振動波を伝播できるように前記実質的な円筒形要素を支持するべく構成され、前記第1の電極は、前記高さの少 なくとも一部に沿って前記中心軸と実質的に平行な伸長方向に伸びるストリップとして形成され、前記ストリップは、前記中心軸に対して90°以下の角度の範囲である、
    ことを特徴とする超音波受信機。
  5. (a)前記第1の電気接続ストリップは、前記第2の電極と実質的に対向しない関係であり、
    (b)前記第2の電気接続ストリップは、前記第1の電極と実質的に対向しない関係である、
    ことを特徴とする請求項4に記載の超音波受信機。
  6. (a)前記実質的な円筒形要素が内部表面を有し、前記第1の面が前記内部表面を形成し、
    (b)前記第2の電極が接地される、
    ことを特徴とする請求項4に記載の超音波受信機。
  7. (a)第1の面と第2の面とを有する圧電フィルムを備え、
    (b)前記第1の面上に配置される第1の電極及び第2の電極を備え、前記第1の電極は、前記第2の電極と接触しないパターンで配置され、
    (c)前記第2の面上に配置される第3の電極及び第4の電極を備え、
    i )前記第3の電極の少なくとも一部は、前記第1の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、
    ii )前記第4の電極の少なくとも一部は、前記第2の電極の少なくとも一部と対向する関係であり、
    iii )前記第3の電極は、前記第4の電極と接触しないパターンで配置され、
    (d)前記第1の電極から前記第4の電極へと伸びる電気接合ストリップを備え、前記電気接合ストリップは、前記第1の面上における前記電気接合ストリップの第1の部分と、前記第2の面上における前記電気接合ストリップの第2の部分とを有し、前記第1の部分と前記第2の部分とが電気的に接続される、
    (e)前記圧電フィルムで主に形成される中空の実質的な円筒形要素を備え、前記実質的な円筒形要素は、中心軸と、前記中心軸と平行とされる高さを有し、前記第1の電極及び前記第2の電極は、その組み合わされた状態で、前記中心軸において90°以下の角度であって、
    (f)前記実質的な円筒形要素を支持するための支持構造を備え、前記支持構造は、前記実質的な円筒形要素の大部分のまわりで円周方向に振動波を伝播できるように前記実質的な円筒形要素を支持するべく構成される、
    ことを特徴とする多電極超音波受信機。
  8. (a)前記実質的な円筒形要素が内部表面を有し、前記第1の面が前記内部表面を形成し、
    (b)前記第3の電極が接地される、
    ことを特徴とする請求項7に記載の多電極超音波受信機。
  9. 前記第1の部分及び前記第2の部分は、前記圧電フィルムの穴を介して電気的に接続されることを特徴とする請求項7に記載の多電極超音波受信機。
  10. (a)前記第1の面上に配置され、前記第2の電極に接続される第1の電気接続ストリップと、
    (b)前記第2の面上に配置され、前記第3の電極に接続されるとともに、前記第1の電気接続ストリップと実質的に対向しない関係である第2の電気接続ストリップと、
    を更に備えることを特徴とする請求項7に記載の多電極超音波受信機。
  11. 超音波の所定周波数に使用される超音波トランスデューサのために遮蔽しつつ、前記超音波に対する中断を最小限に抑える方法であって、
    (a)超音波トランスデューサと関連付けられる超音波の波長の約半分未満の空間周期で、螺旋金属スプリングから成る巻線の間隔をあけるステップと、
    (b)超音波トランスデューサを取り囲むように前記螺旋金属スプリングを配置するステップと、
    を含む方法。
  12. 巻線の間隔をあける前記ステップは、前記波長の約1/4未満の空間周期で前記巻線の間隔をあけることによって実施されることを特徴とする請求項11に記載の方法
  13. (a)可動要素と関連付けられる1つの超音波トランスデューサと、
    (b)2つの超音波トランスデューサと、
    (c)前記2つの超音波トランスデューサがベースユニットに取り付けられることによって、これらの超音波トランスデューサが固定型の幾何学的関係で維持されるベースユニットと、
    (d)中空の細長い部材を有し、前記2つの超音波トランスデューサ間に配置される音波ガイドと、
    を備えるデジタイザシステム。
  14. 前記音波ガイドが実質的に一直線状であることを特徴とする請求項13に記載のデジタイザシステム。
  15. 前記音波ガイドが湾曲していることを特徴とする請求項13に記載のデジタイザシステム。
  16. 可動要素上の1つの点の位置を決定するためのシステムを動作させる方法であって、前記システムが、前記可動要素にそれぞれ装着された第1の超音波トランスデューサ及び第2の超音波トランスデューサを含む複数の超音波トランスデューサから成る可動グループを有し、前記第1の超音波トランスデューサ、前記第2の超音波トランスデューサ、可動要素上の前記点がそれぞれ、共通の軸に沿って順次に間隔をあけ、また、前記システムが、所定距離だけ互いに間隔をあける第3の超音波トランスデューサ及び第4の超音波トランスデューサを含む複数の超音波トランスデューサから成る固定グループを有する方法において、
    (a)前記第1の超音波トランスデューサと前記固定グループとの間、及び、前記第2の超音波トランスデューサと前記固定グループとの間で、複数の測定信号を送信するステップと、
    (b)前記第1の超音波トランスデューサと前記第3の超音波トランスデューサ及び前記第4の超音波トランスデューサのそれぞれとの間の距離、及び、前記第2の超音波トランスデューサと前記第3の超音波トランスデューサ及び前記第4の超音波トランスデューサのそれぞれとの間の距離を、前記測定信号の飛行時間から得るステップと、
    (c)前記距離から前記点の位置を得るステップと、
    を含む方法。
  17. 前記第1の超音波トランスデューサ及び前記第2の超音波トランスデューサの両方が円筒形超音波トランスデューサであることを特徴とする請求項16に記載の方法。
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Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE338301T1 (de) 2002-04-15 2006-09-15 Epos Technologies Ltd Verfahren und system zum erfassen von positionsdaten
NZ551334A (en) 2004-05-17 2008-07-31 Epos Technologies Ltd Acoustic robust synchronization signalling for acoustic positioning system
US20060007189A1 (en) * 2004-07-12 2006-01-12 Gaines George L Iii Forms-based computer interface
WO2006035443A2 (en) * 2004-09-29 2006-04-06 Tel Hashomer Medical Research Infrastructure And Services Ltd. Monitoring of convection enhanced drug delivery
US7367944B2 (en) 2004-12-13 2008-05-06 Tel Hashomer Medical Research Infrastructure And Services Ltd. Method and system for monitoring ablation of tissues
NZ562665A (en) 2005-03-23 2010-10-29 Epos Technologies Ltd Digital pen with acoustic transmitter
ITRM20060638A1 (it) * 2006-11-30 2008-06-01 Cardinale Ciccotti Giuseppe Metodo per la localizzazione di dispositivi remoti utilizzante onde acustiche ed elettromagnetiche
US11783925B2 (en) 2006-12-29 2023-10-10 Kip Prod P1 Lp Multi-services application gateway and system employing the same
US8078688B2 (en) 2006-12-29 2011-12-13 Prodea Systems, Inc. File sharing through multi-services gateway device at user premises
US11316688B2 (en) 2006-12-29 2022-04-26 Kip Prod P1 Lp Multi-services application gateway and system employing the same
US9569587B2 (en) 2006-12-29 2017-02-14 Kip Prod Pi Lp Multi-services application gateway and system employing the same
US20170344703A1 (en) 2006-12-29 2017-11-30 Kip Prod P1 Lp Multi-services application gateway and system employing the same
US9602880B2 (en) 2006-12-29 2017-03-21 Kip Prod P1 Lp Display inserts, overlays, and graphical user interfaces for multimedia systems
JP5766903B2 (ja) * 2007-01-28 2015-08-19 日本電気株式会社 可動物体からの超音波の伝搬時間決定方法及びシステム
AU2008224542B2 (en) * 2007-03-14 2012-01-19 Qualcomm Incorporated MEMS microphone
US20080236286A1 (en) * 2007-03-29 2008-10-02 Clive Chemo Lam Non-destructive tubular testing
US9181555B2 (en) * 2007-07-23 2015-11-10 Ramot At Tel-Aviv University Ltd. Photocatalytic hydrogen production and polypeptides capable of same
US8073198B2 (en) * 2007-10-26 2011-12-06 Samsung Electronics Co., Ltd. System and method for selection of an object of interest during physical browsing by finger framing
US7885145B2 (en) * 2007-10-26 2011-02-08 Samsung Electronics Co. Ltd. System and method for selection of an object of interest during physical browsing by finger pointing and snapping
JPWO2010098346A1 (ja) * 2009-02-25 2012-09-06 日本電気株式会社 超音波伝播時間測定システム
US8767512B2 (en) 2012-05-01 2014-07-01 Fujifilm Dimatix, Inc. Multi-frequency ultra wide bandwidth transducer
US9454954B2 (en) 2012-05-01 2016-09-27 Fujifilm Dimatix, Inc. Ultra wide bandwidth transducer with dual electrode
US9061320B2 (en) 2012-05-01 2015-06-23 Fujifilm Dimatix, Inc. Ultra wide bandwidth piezoelectric transducer arrays
US9660170B2 (en) 2012-10-26 2017-05-23 Fujifilm Dimatix, Inc. Micromachined ultrasonic transducer arrays with multiple harmonic modes
JP6613628B2 (ja) 2015-05-28 2019-12-04 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
US11428845B2 (en) * 2015-11-04 2022-08-30 Quantum Technology Sciences, Inc. System and method for sensing seismic acoustic signals
GB2555835B (en) * 2016-11-11 2018-11-28 Novosound Ltd Ultrasound transducer
US11079506B2 (en) 2016-12-16 2021-08-03 Pgs Geophysical As Multicomponent streamer
CN108296155B (zh) * 2018-02-12 2022-12-16 浙江大学 具有v形弹簧的微机电压电超声波换能器
CN110031831B (zh) * 2019-04-24 2022-11-18 吉林大学 一种具备超声波和红外发射功能的小型三维超声波发射器

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5220297Y2 (ja) * 1974-05-10 1977-05-10
AT375466B (de) * 1977-07-27 1984-08-10 List Hans Messwertaufnehmer mit einem piezoelektrischen messelement
US4542564A (en) * 1981-10-29 1985-09-24 The Perkin-Elmer Corporation Method of making electrical connections to thin film coatings
JPS5943356A (ja) * 1982-09-06 1984-03-10 Kureha Chem Ind Co Ltd 超音波探触子
YU132884A (en) * 1984-07-26 1987-12-31 Branko Breyer Electrode cateter with ultrasonic marking
US4728844A (en) * 1985-03-23 1988-03-01 Cogent Limited Piezoelectric transducer and components therefor
US4633122A (en) * 1985-06-18 1986-12-30 Pennwalt Corporation Means for electrically connecting electrodes on different surfaces of piezoelectric polymeric films
CH669676A5 (ja) * 1986-01-23 1989-03-31 Zellweger Uster Ag
US4825116A (en) * 1987-05-07 1989-04-25 Yokogawa Electric Corporation Transmitter-receiver of ultrasonic distance measuring device
JPH03203A (ja) * 1989-05-26 1991-01-07 Rongu:Kk 木材処理液及び木材処理法
KR100235438B1 (ko) * 1997-02-04 1999-12-15 구자홍 광디스크의 오디오재생신호 보상처리방법 및 장치
IL120417A (en) 1997-03-10 2000-09-28 Electronics For Imaging Inc Presentation board digitizer systems
US6140740A (en) * 1997-12-30 2000-10-31 Remon Medical Technologies, Ltd. Piezoelectric transducer
US6239535B1 (en) * 1998-03-31 2001-05-29 Measurement Specialties Inc. Omni-directional ultrasonic transducer apparatus having controlled frequency response
US6400065B1 (en) * 1998-03-31 2002-06-04 Measurement Specialties, Inc. Omni-directional ultrasonic transducer apparatus and staking method
US6508775B2 (en) * 2000-03-20 2003-01-21 Pharmasonics, Inc. High output therapeutic ultrasound transducer
US6411014B1 (en) * 2000-05-09 2002-06-25 Measurement Specialties, Inc. Cylindrical transducer apparatus
US6392330B1 (en) * 2000-06-05 2002-05-21 Pegasus Technologies Ltd. Cylindrical ultrasound receivers and transceivers formed from piezoelectric film

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