JP4108559B2 - Film peeling device - Google Patents

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【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に貼着された保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置、更に詳しくは、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、保護フィルムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は複数個の圧接ローラを備えている、フィルム剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板の製造においては、ガラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板の片面又は両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層したプリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリント配線基板素材の片面又は両面に回路パターンを照射してフォトレジスト層を露光し、その後において片面又は両面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を剥離している。
【０００３】
平面から見て矩形をなすプリント配線基板素材のような基板の片面又は両面からフィルムを剥離することができるフィルム剥離装置は、片面又は両面にフィルムが貼着された基板に作用して、フィルムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えている。端部剥離手段は、基板の搬送幅方向（基板の水平搬送方向に直交する水平幅方向）、すなわち基板の横方向に直列に配設された複数個の圧接ローラを備えている（特許文献１参照）。いくつかの圧接ローラの軸線は、平面から見て、基板の搬送方向の中心線に対し傾斜するよう配設されているが、他の圧接ローラは全て該中心線に対し平行に配設されている。このようなフィルム剥離装置においては、クランプ手段によって所定の剥離位置に保持された基板のフィルムの一端部（搬送方向前端部）に、端部剥離手段の圧接ローラを基板の横方向外側から乗り上げさせて押圧させかつ回転させながら基板の横方向全域にわたって往復移動させる。圧接ローラの回転移動により発生するねじり力により、フィルムの一端部だけが部分的に浮き上がり、したがって、基板から部分的に剥離させられる。
【０００４】
しかしながら、上記フィルム剥離装置においては、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離させるために、端部剥離手段の圧接ローラを、基板の一端部における横方向全域を擦りながら回転させて往復移動させるので、フィルムの一端部だけでなく、フィルムの内側にあるフォトレジスト層あるいはその内側にある基板の表面をも同時に擦る。このため、わずかではあるが、基板の一端部を横方向の全域にわたって傷を付けるおそれがある。また、このとき発生するフォトレジスト層の微細な破片や基板の表面からの銅粉は周辺に飛び散り、基板や装置を汚染するおそれがある。更にはまた、圧接ローラの往路移動開始時及び復路移動開始時には、圧接ローラが、それぞれ基板の一端部における横方向外側から基板の横方向一側縁部に、及び基板の他端部における横方向外側から基板の横方向他側縁部にそれぞれ乗り上がるので、衝撃による破損のおそれがある。上記乗り上がりは、薄い基板を曲げるおそれもある。その結果、基板の製造不良、装置の故障、製造ライン全体の見栄えを悪くする、などの悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００５】
更に、基板の製造工程の進歩から、フィルムの端部剥離時間の短縮化が要求されているが、圧接ローラの往復移動距離が長いこと、上記乗り上がりによる衝撃で基板が破損せずしかもフィルムの剥離が可能な速度範囲で圧接ローラを往復移動させなければならないこと、などにより、該時間を短縮することは困難である。また、圧接ローラの往復移動距離が長いことに起因して、集塵機が著しく大型化し、コストが大幅にアップするので、集塵機を備えることは不可能ではないにしても、実用上は著しく困難であった。したがって、上記形態のフィルム剥離装置に対しては、フィルムの端部剥離時間を短縮すると共に、先に述べたような諸問題をも解消できるフィルム剥離装置の提案が望まれているところであった。
【０００６】
【特許文献１】
特開平４−１６４７７０号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離させる時間を従来よりも短縮することを可能にする、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【０００８】
本発明の他の目的は、基板の一端部の表面に付けられる傷を大幅に低減し、かつ基板の両側縁部を破損することなく、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離することができる、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【０００９】
本発明の更に他の目的は、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離する動作時に発生する粉塵を、コンパクトかつ低コストで回収することを可能にする、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の一局面によれば、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えているフィルム剥離装置において、
複数の圧接ローラは、基板の横方向における中央領域内にのみ配設され、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させる、ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
本発明の他の局面によれば、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えているフィルム剥離装置において、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させ、
圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、
端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
横方向移動手段及び搬送方向移動手段の協働によって圧接ローラを移動させることにより、圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、ことが好ましい。
本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えたフィルム剥離装置において、
端部剥離手段は、複数の上圧接ローラを備えかつ上昇降手段により昇降可能に配設されると共に基板の横方向に移動可能に配設された上圧接ローラユニットと、複数の下圧接ローラを備えかつ下昇降手段により昇降可能に配設されると共に該横方向に移動可能に配設された下圧接ローラユニットと、上及び下圧接ローラユニットが、上及び下昇降手段によりそれぞれ下降及び上昇させられて上及び下圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で一体に移動しうるよう上下方向に離脱自在に連結する連結手段と、上及び下圧接ローラが、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させられるよう、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを、基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
上及び下圧接ローラユニットはそれぞれ基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、上圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる上搬送方向移動手段と、下圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる下搬送方向移動手段とを備えている、ことが好ましい。
横方向移動手段と、上及び下搬送方向移動手段との協働によって、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを一体に移動させることにより、上及び下圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、ことが好ましい。
端部剥離手段は、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された上主支持枠体と、上主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された上ユニット基板と、上ユニット基板に上昇降手段により昇降可能に支持されかつ、上圧接ローラが該横方向に直列に配設された上圧接ローラユニットと、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された下主支持枠体と、下主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された下ユニット基板と、下ユニット基板に下昇降手段により昇降可能に支持されかつ、下圧接ローラが該横方向に直列に配設された下圧接ローラユニットとを備え、横方向移動手段は、上主支持枠体と上ユニット基板との間に配設された上横方向移動手段、又は、下主支持枠体と下ユニット基板との間に配設された下横方向移動手段、から構成される、ことが好ましい。
横方向移動手段は、上又は下ユニット基板に配設されかつ該搬送方向に直線状に水平に延在する従動溝と、上又は下主支持枠体に鉛直軸まわりに回転可能に配設された回転体に支持されると共に従動溝に沿って相対回転しながら移動可能に嵌合されたカムローラと、回転体を回転駆動する駆動源とを備え、上及び下圧接ローラユニットが連結手段により連結された状態で駆動源により回転体が回転駆動されると、カムローラが該鉛直軸まわりに公転しかつ従動溝内を自転しながら相対的に往復移動させられて、上圧接ローラは、上圧接ローラユニット及び上ユニット基板を介して上主支持枠体に対し該横方向に往復移動させられ、下圧接ローラは、下圧接ローラユニット及び下ユニット基板を介して下主支持枠体に対し、上圧接ローラと共に該横方向に往復移動させられる、ことが好ましい。
静止枠体には、上及び下圧接ローラユニットが上及び下昇降手段によりそれぞれ上昇及び下降させられて上及び下圧接ローラが基板の両面に対し上方及び下方に離隔された状態において、上ユニット基板の該横方向両側に作用して上圧接ローラを上圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける上圧接ローラ位置決め手段と、下ユニット基板の該横方向両側に作用して下圧接ローラを下圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける下圧接ローラ位置決め手段とが配設され、上及び下圧接ローラがそれぞれ移動開始位置に位置付けられた状態で、上及び下圧接ローラユニットは連結手段により相互に連結可能となる、ことが好ましい。
連結手段は、上又は下圧接ローラユニットの一方に鉛直方向に延在するよう配設された係止ピンと、上又は下圧接ローラユニットの他方に鉛直方向に延在するよう配設されて係止ピンに離脱自在に嵌合しうる係止穴とからなる、ことが好ましい。
上搬送方向移動手段は、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、上主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、上主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
下搬送方向移動手段は、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、下主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、下主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段と、端部剥離位置に停止させられた基板を該位置にクランプするクランプ手段とを備え、端部剥離手段は、クランプ手段に対し、基板の搬送方向下流側に配置されると共に、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し基板の横方向に移動させる横方向移動手段を備え、クランプ手段は、該横方向に延在する上クランプ部材及び下クランプ部材と、上クランプ部材及び下クランプ部材を、該位置に停止させられた基板の両面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板の両面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に移動させるアクチュエータとを備えているフィルム剥離装置において、
圧接ローラの、基板に対する相対移動により発生する粉塵を回収するための集塵機を備え、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させ、集塵機は、上クランプ部材及び／又は下クランプ部材の該横方向の中央領域において一端がそれぞれ圧接ローラ側に開口するよう配設された複数の吸引穴と、吸引穴の各々の他端に吸引通路手段及び集塵手段を介して接続された吸引源とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、ことが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の好適な実施の形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１〜図４を参照して、フィルム剥離装置は、図１において右方である入口側に配置された、全体を図示しない基板搬送手段を備えている。基板搬送手段は、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いて実質上水平に配列されかつ搬送方向Ｆに水平に延在する複数個の搬送ローラ２を備えている。これらの搬送ローラ２は図示しない電動モータによって回転駆動され、基板Ｐを、基板Ｐの搬送経路における搬送面ＰＬに沿って搬送方向Ｆに移動させることができる。搬送面ＰＬは水平に延在するよう設定されている。なお、この実施形態において、基板Ｐは、片面である上面及び他面である下面の両面にフィルムが貼着されたプリント配線基板から構成されている。なお、本明細書の記載において、基板Ｐの横方向又は横方向とは、いずれも同じ意味であって、基板Ｐの搬送方向Ｆに対し水平に直交する横方向ないし幅方向（図１において紙面の表裏方向、図２及び図３において左右方向）を意味するものである。また、上流、上流側、上流方向、下流、下流側、下流方向とは、それぞれ基板Ｐの搬送方向Ｆにおけるそれらを意味するものである。
【００１３】
基板Ｐの入口側に配設された基板搬送手段における下流端部に配置された搬送ローラ２に対し、基板Ｐの搬送経路を挟んだ上方の対向位置には、ピンチローラ４が一対の支持枠６間に回転自在に支持されている。一対の支持枠６は、それぞれ支持枠６の鉛直上方に配置されたアクチュエータであるエアシリンダ機構７のピストンロッド７ａに支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド７ａを備えたエアシリンダ機構７の各々は、フィルム剥離装置の静止枠体８に、基板Ｐの横方向に間隔をおいて配設されている。ピンチローラ４は、エアシリンダ機構７の各々によって、搬送ローラ２上に搬送された基板Ｐを搬送ローラ２と協働して挟む作用位置と、該基板Ｐから上方に離隔した非作用位置との間を選択的に移動させられる。なお、搬送ローラ２の最上端は、実質的に基板Ｐの搬送面ＰＬ上に位置付けられている。ピンチローラ４の下流側には、クランプ手段１０、基板停止手段２０、端部剥離手段１００、剥離手段３０などが、上流から下流に向かって上記した順序で配置されている。
【００１４】
後述する端部剥離位置に停止させられた基板Ｐを該位置にクランプするクランプ手段１０は、上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２と、上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２を、該位置に停止させられた基板Ｐの上面及び下面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板Ｐの上面及び下面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に昇降させるそれぞれ一対のアクチュエータであるエアシリンダ機構１３及び１４とを備えている。上クランプ部材１１は、ほぼ直方体をなすブロック体から構成され、搬送経路の上方を横方向に水平に延在するよう配置されている。上クランプ部材１１の下面は水平面をなすよう形成されている。上クランプ部材１１は、上クランプ部材１１の鉛直上方に配置された一対のエアシリンダ機構１３のピストンロッド１３ａに支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド１３ａを備えたエアシリンダ機構１３の各々は、フィルム剥離装置の静止枠体８に、基板Ｐの横方向に間隔をおいて配設されている。下クランプ部材１２は、ほぼ直方体をなすブロック体から構成され、搬送経路の下方を横方向に水平に延在するよう配置されている。下クランプ部材１２の上面は水平面をなすよう形成されている。下クランプ部材１２は、下クランプ部材１２の鉛直下方に配置された一対のエアシリンダ機構１４のピストンロッド１４ａに支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド１４ａを備えたエアシリンダ機構１４の各々は、静止枠体８に、基板Ｐの横方向に間隔をおいて配設されている。
【００１５】
なお、上及び下クランプ部材１１及び１２の、基板Ｐの横方向中央領域には、それぞれ、後述する集塵機２００の一部を構成する複数の吸引穴２０２及び２０４などが配設されている。吸引穴２０２及び２０４などを含む集塵機２００については後述する。
【００１６】
公知の構成を利用することでよい基板停止手段２０は、図２において２点鎖線で示されているように、基板Ｐの横方向に水平に延在する支持部材２１の該横方向に間隔をおいて支持部材２１の上面から上方に延び出す一対の停止板部材２２と、支持部材２１に作用して、一対の停止板部材２２を、基板Ｐの搬送面ＰＬから上方に突出して搬送ローラ２により搬送された基板Ｐを端部剥離位置に停止させる作用位置（図１０参照）と、基板Ｐの搬送面ＰＬから下方に退避して基板Ｐの搬送に干渉しない非作用位置（図２参照）とに選択的に昇降させるアクチュエータであるエアシリンダ機構２３とを備えている。支持部材２１は、支持部材２１の鉛直下方に配置されたエアシリンダ機構２３のピストンロッド２３ａ（図１０参照）に支持されている。鉛直軸線を有するピストンロッド２３ａを備えたエアシリンダ機構２３は静止枠体８に配設されている。
【００１７】
端部剥離位置に位置付けられた基板Ｐに作用して、フィルムの一端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段１００については後に詳述する。剥離手段３０は、端部剥離手段１００により基板Ｐの上面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板Ｐから上方に強制的に搬送する上側ベルト機構３０Ａと、端部剥離手段１００により基板Ｐの下面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板Ｐから下方に強制的に搬送する下側ベルト機構３０Ｂとを備えている。剥離手段３０はまた、端部剥離手段１００により基板Ｐの上面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムとフォトレジスト層との間に高圧エアを噴射して上側ベルト機構３０Ａに向けて引き剥がす上部エア噴射手段３０Ｃと、端部剥離手段１００により基板Ｐの下面からフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムとフォトレジスト層との間に高圧エアを噴射して下側ベルト機構３０Ｂに向けて引き剥がす下部エア噴射手段３０Ｄとを備えている。上側ベルト機構３０Ａ、下側ベルト機構３０Ｂ、上部エア噴射手段３０Ｃ及び下部エア噴射手段３０Ｄを含む剥離手段３０は、公知の構成を利用することでよく、またそれ自体の構成は本発明の特徴をなすものではないので、更なる説明は省略する。なお図１において、符号２５は補助搬送ローラであって、エアシリンダ機構２５Ａにより搬送面ＰＬよりも下方に離隔した退避位置と、外周面の頂部が搬送面ＰＬに位置する作用位置との間を選択的に移動させられる。また符号Ｓは、剥離手段３０の上流側に配設されたセンサであって、搬送される基板Ｐを検出するセンサである。
【００１８】
次に、本発明の特徴を含む端部剥離手段１００について説明する。図１、図２、図５及び図６を参照して、端部剥離手段１００は、上主支持枠体１０２と、上主支持枠体１０２に支持された上圧接ローラユニット１０４と、下主支持枠体１０６と、下主支持枠体１０６に支持された下圧接ローラユニット１０８とを備えている。静止枠体８は、搬送面ＰＬの上方を横方向に水平に延在する横枠８ａを備え、横枠８ａの、横方向における中央部には、搬送方向Ｆから見てほぼ矩形をなす上支持板部材１１０が配設されている。静止枠体８の一部を構成する上支持板部材１１０は、両面がそれぞれ搬送方向Ｆの上流及び下流に向けられかつそれぞれ鉛直面をなすよう配設されている。上支持板部材１１０には、両面を搬送方向Ｆに水平に貫通する複数の支持穴１１０ａが形成されている。実施形態において、支持穴１１０ａは、上支持板部材１１０の上端部及び下端部において、それぞれ横方向に間隔をおいて２個づつ形成されている。
【００１９】
板部材から形成される上主支持枠体１０２は、搬送方向Ｆから見て矩形をなす平板状の本体部１０２ａと、本体部１０２ａの上端から一定の幅で下流に向って直角に延びる上壁部１０２ｂと、本体部１０２ａの下端から一定の幅で下流に向って直角に延びる下壁部１０２ｃと、上壁部１０２ｂの先端から鉛直下方に直角に延びる上フランジ１０２ｄと、下壁部１０２ｃの先端から鉛直上方に直角に延びる下フランジ１０２ｅ（図１参照）とを備えている。上壁部１０２ｂ及び下壁部１０２ｃの搬送方向幅は同じであり、上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅの鉛直方向幅は同じである。上壁部１０２ｂと下壁部１０２ｃとの間隔は上支持板部材１１０の上下方向長さよりも大きく形成され、上フランジ１０２ｄと下フランジ１０２ｅの搬送方向幅は同じでありかつ上支持板部材１１０の搬送方向厚さよりも大きく形成されている。
【００２０】
上記のように構成された上主支持枠体１０２は、本体部１０２ａが上支持板部材１１０の上流側に位置し、上壁部１０２ｂ及び下壁部１０２ｃがそれぞれ上支持板部味１１０の上端の上方及び下端の下方に位置し、上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅが上支持板部材１１０の下流側に位置するよう配置される。上主支持枠体１０２の上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅには、上支持板部材１１０に形成された複数の支持穴１１０ａに対応して、複数の貫通穴１０３がそれぞれ同軸上に形成され、貫通穴１０３の各々には、頭付のピン部材１１２が下流側から水平に挿入されている。ピン部材１１２の各々の図示しない頭は上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅの下流側の面に当接され、ピン部材１１２の各々の本体部は、上支持板部材１１０の、対応する支持穴１１０ａに摺動可能に嵌合され、ピン部材１１２の各々の先端は上主支持枠体１０２の本体部１０２ａの下流側の面に対向して位置付けられる。ピン部材１１２の各々の先端には、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａの上流側からビス１１４が締結されている。これにより、ピン部材１１２の各々は、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａと、上フランジ１０２ｄ及び下フランジ１０２ｅとの間に固着される。このようにして、上主支持枠体１０２は、上支持板部材１１０に対し搬送方向Ｆの上流及び下流方向に移動可能に支持される。
【００２１】
上支持板部材１１０と上主支持枠体１０２との間には、後述する上圧接ローラユニット１０４を、上主支持枠体１０２及び後述する上ユニット基板１２２を介して搬送方向Ｆの上流及び下流の両方向に移動させることができる上搬送方向移動手段が配設されている。上搬送方向移動手段は、ばね手段である複数の圧縮コイルばね１１６と、複数のアクチュエータであるエアシリンダ機構１１８とを備えている。圧縮コイルばね１１６の各々は、上支持板部材１１０における下流側の面と、上主支持枠体１０２の上及び下フランジ１０２ｄ及び１０２ｅにおける上流側の面との間に配設されており、上主支持枠体１０２を下流に向けて常時付勢している。実施形態において、圧縮コイルばね１１６は、上支持板部材１１０の上端部及び下端部において、それぞれピン部材１１２の配設位置の内側において、横方向に間隔をおいて２個づつ配設されている。上支持板部材１１０における上流側の面には所定の厚さを有する板部材からなる複数のストッパ１１０ｓが配設されているので、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａの下流側の面は圧縮コイルばね１１６の各々によりストッパ１１０ｓの上流側の面に常時圧接されることにより、上主支持枠体１０２は下流側所定位置に位置付けられる。なお、ストッパ１１０ｓの各々は、上支持板部材１１０の支持穴１１０ａの各々に対応する位置に配設されているので、支持穴１１０ａの各々の上流側端はストッパ１１０ｓの上流側の面に開口している（つまり、支持穴１１０ａの各々はストッパ１１０ｓの各々を貫通して形成されているということである）。
【００２２】
エアシリンダ機構１１８の各々は、上支持板部材１１０の上端部及び下端部における横方向の中央にそれぞれ１個配設されている。エアシリンダ機構１１８の各々のシリンダは、上支持板部材１１０の上流側の面に形成された凹部に取り付けられ、ピストンないしピストンロッド１１８ａの先端は、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａの下流側の面に対向するよう位置付けられている。搬送方向Ｆの水平軸を有するピストンないしピストンロッド１１８ａを備えたエアシリンダ機構１１８の各々が非作動の状態においては、上主支持枠体１０２は、圧縮コイルばね１１６の各々のばね力により下流側所定位置に位置付けられているが、エアシリンダ機構１１８の各々が作動されると、上主支持枠体１０２は、圧縮コイルばね１１６の各々のばね力に抗して上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動させられる。エアシリンダ機構１１８の各々により上流側所定位置まで移動させられた上主支持枠体１０２は、エアシリンダ機構１１８の各々の作動解除により、圧縮コイルばね１１６の各々のばね力により下流側所定位置まで戻される。
【００２３】
上主支持枠体１０２の上流側の面における上下方向の中央領域には、上下方向に間隔をおいて横方向のほぼ一側部から他側部にわたって水平にかつ直線状に延在する一対のレール部材１２０が配設されている。レール部材１２０の各々は細長い矩形状の板部材から形成され、各々の上側面及び下側面にはレール部材１２０の長手方向（基板Ｐの横方向）に沿って直線状に延在するガイド溝が形成されている。
【００２４】
上圧接ローラユニット１０４は、搬送方向Ｆから見て矩形状の平板部材からなる上ユニット基板１２２に配設されている。上ユニット基板１２２は、両面がそれぞれ搬送方向Ｆの上流及び下流に向けられかつそれぞれ鉛直面をなすよう配設されている。上ユニット基板１２２の下流側の面の上端部及び下端部における横方向中央部には、上下方向に間隔をおいて横方向に直線状に比較的短い長さで延在する一対の被ガイド部材１２４が配設されている。被ガイド部材１２４の各々は、搬送方向Ｆから見て矩形をなす平板状の本体部と、本体部の上端及び下端からそれぞれ下流方向に延び出す張出部と、張出部の各々の先端から相互に接近する上下方向に延び出す被係止突起とを備えている。上ユニット基板１２２は、被ガイド部材１２４の各々の被係止突起が、上主支持枠体１０２の対応するレール部材１２０のガイド溝にスライド自在に係止されることにより、上主支持枠体１０２の上流側面に沿って基板Ｐの横方向の両方向に水平に移動自在に支持される。
【００２５】
上ユニット基板１２２の上流側の面における横方向の両端部にはそれぞれほぼ直方体の支持ブロック１２６が配設され、上ユニット基板１２２の上流側の面における中央部であって支持ブロック１２６の各々間には、上圧接ローラユニット１０４の上昇降手段であるエアシリンダ機構１２８が配設されている。支持ブロック１２６の各々には、鉛直軸線を有するガイド穴１２６ａが配設されている。エアシリンダ機構１２８は鉛直軸線を有するピストンロッド１２８ａ（図１０及び図１３参照）を備え、ピストンロッド１２８ａの下端には、横方向に水平に延在する支持枠体１３０が配設されている。支持枠体１３０の横方向の両端部には、支持枠体１３０の上面から鉛直上方に延び出すガイドロッド１３２と、支持枠体１３０の下面から鉛直下方に延び出す係止ピン１３３とが配設されている。
【００２６】
鉛直軸線を有するガイドロッド１３２の各々は、支持ブロック１２６の各々の、対応するガイド穴１２６ａにスライド自在に嵌合されている。支持枠体１３０の上流側の面には、複数の、実施形態においては４個の上圧接ローラ１３４が、搬送方向Ｆに水平に延在する軸を介して横方向に直列に配設されている。上圧接ローラ１３４の各々の最下面は支持枠体１３０の下面よりも下方に突出した位置にある。係止ピン１３３の各々は、上圧接ローラ１３４の各々の最下面よりも更に下方に延び出している。なお、支持枠体１３０及び支持枠体１３０に配設された上圧接ローラ１３４の各々は上圧接ローラユニット１０４を構成する。エアシリンダ機構１２８によって上圧接ローラユニット１０４が昇降させられると、支持枠体１３０のガイドロッド１３２の各々は、対応する支持ブロック１２６のガイド穴１２６ａに沿って鉛直方向に昇降させられるので、上圧接ローラ１３４の各々は鉛直方向に昇降させられる。
【００２７】
上支持板部材１１０には、上ユニット基板１２２の横方向両側に作用して上圧接ローラユニット１０４を移動開始位置に位置付ける上圧接ローラ位置決め手段が配設されている。上圧接ローラ位置決め手段は、上支持板部材１１０の上流側の面における横方向両端部に配設されたエアシリンダ機構１３６から構成されている。エアシリンダ機構１３６の各々は、横方向に水平に延在する共通の鉛直軸線上に存在するピストンロッド１３６ａを備えている。エアシリンダ機構１３６の各々を作動させてピストンロッド１３６ａが相互に接近する方向に実質的に同じストロークだけ移動させると、上圧接ローラユニット１０４が横方向のどの位置に存在しようとも、最終的にピストンロッド１３６ａの各々の先端が上ユニット基板１２２の横方向両側を押圧して、上ユニット基板１２２を横方向の中間位置である移動開始位置に位置付ける（センタリングする）ことができる。エアシリンダ機構１３６の各々のピストンロッド１３６ａのストロークは、相互に任意に設定可能であるので、上圧接ローラ１３４の各々における移動開始位置を横方向における所望の位置に自由に設定することができる。上記実施形態における移動開始位置は、上圧接ローラ１３４の各々の横方向の移動幅の範囲における中央である。このように、上圧接ローラ位置決め手段によれば、上圧接ローラ１３４の各々を、上圧接ローラユニット１０４及び上ユニット基板１２２を介して所望する移動開始位置に容易かつ確実に位置付けることができる。後に触れるように、下圧接ローラ位置決め手段も、上記した上圧接ローラ位置決め手段と実質的に同じ構成を有しているので、実質的に同じ作用効果が得られる。
【００２８】
静止枠体８は、横枠８ａに対し下方に間隔をおいて搬送面ＰＬの下方を横方向に水平に延在する横枠８ｂを備え、横枠８ｂの、横方向における中央部には下支持板部材１４０が配設されている。静止枠体８の一部を構成する下支持板部材１４０の構成は、上記上支持板部材１１０と実質的に同じであるので説明は省略する。下支持板部材１４０には、下主支持枠体１０６が搬送方向Ｆの上流及び下流方向に移動可能に支持される。下主支持枠体１０６の構成及び下主支持枠体１０６の、下支持板部材１４０に対する支持構造は、上記した、上主支持枠体１０２の構成及び上主支持枠体１０２の、上支持板部材１１０に対する支持構造とそれぞれ実質的に同じであるので説明は省略する。下支持板部材１４０と下主支持枠体１０６との間には、後述する下圧接ローラユニット１０８を、下主支持枠体１０６及び後述する下ユニット基板１４２を介して搬送方向Ｆの上流及び下流の両方向に移動させることができる下搬送方向移動手段が配設されている。図示しない複数の圧縮コイルばね及びエアシリンダ機構を含む下搬送方向移動手段の構成は、上記上搬送方向移動手段の構成と実質的に同じであるので説明は省略する。
【００２９】
上記実施形態において上及び下搬送方向移動手段は、複数の圧縮コイルばね及びエアシリンダ機構により構成されているが、それぞれエアシリンダ機構のみにより構成する他の実施形態もある。この実施形態の場合、上搬送方向移動手段のエアシリンダ機構１１８におけるピストンロッド１１８ａの先端は、上主支持枠体１０２の本体部１０２ａに連結され、下搬送方向移動手段の図示しないエアシリンダ機構におけるピストンロッドの先端は、下主支持枠体１０６の本体部１０６ａに連結される。更に具体的には、上搬送方向移動手段のエアシリンダ機構１１８における図示しないピストンの両側の油室に油圧を導入しうる構成、あるいは油圧を導入することができるピストンの片側の油室にピストンの戻り用の圧縮コイルばねを挿入する構成などを挙げることができる。下搬送方向移動手段の図示しないエアシリンダ機構についても同じことがいえる。
【００３０】
下圧接ローラユニット１０８は、搬送方向Ｆから見て矩形状の平板部材からなる下ユニット基板１４２に配設されている。下ユニット基板１４２は、下主支持枠体１０６の上流側面に沿って基板Ｐの横方向に水平に移動自在に支持される。下ユニット基板１４２の構成及び下ユニット基板１４２の、下主支持枠体１０６に対する支持構造は、上記した、上ユニット基板１２２の構成及び上ユニット基板１２２の、上主支持枠体１０２に対する支持構造とそれぞれ実質的に同じであるので説明は省略する。
【００３１】
下ユニット基板１４２の上流側の面には、下圧接ローラユニット１０８の下昇降手段であるエアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６とが、横方向に間隔をおいて鉛直方向に平行に直線状に延在するよう配設されている。エアシリンダ機構１４４及びガイドブロック１４６は、それぞれ縦長の直方体形状をなしている。エアシリンダ機構１４４の上端から鉛直上方に延び出すピストンロッド１４４ａの上端には、横方向に水平に延在する支持枠体１４８が支持されている。エアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６との間には、縦長の直方体形状をなしかつ鉛直方向に直線状に延在する被ガイドブロック１５０が、エアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６との間に沿って鉛直方向にスライド自在に（昇降自在に）係合されている。被ガイドブロック１５０の上端には、支持枠体１４８が連結されている。支持枠体１４８の横方向の両端部には、支持枠体１４８の上面から支持枠体１４８の内部に向って鉛直下方に延びる係止穴１４９が形成されている。
【００３２】
支持枠体１４８の上流側の面には、複数の、実施形態においては４個の下圧接ローラ１５２が、搬送方向Ｆに水平に延在する軸を介して横方向に直列に配設されている。下圧接ローラ１５２の各々の最上面は支持枠体１４８の上面よりも上方に突出した位置にある。なお、支持枠体１４８及び支持枠体１４８に配設された下圧接ローラ１５２の各々は下圧接ローラユニット１０８を構成する。エアシリンダ機構１４４によって下圧接ローラユニット１０８が昇降させられると、支持枠体１４８に連結された被ガイドブロック１５０は、エアシリンダ機構１４４とガイドブロック１４６との間に沿って鉛直方向に昇降させられるので、下圧接ローラ１５２の各々は鉛直方向に昇降させられる。
【００３３】
下支持板部材１４０には、下ユニット基板１４２の横方向両側に作用して下圧接ローラユニット１０８、したがって下圧接ローラ１５２を移動開始位置に位置付ける下圧接ローラ位置決め手段が配設されている。下支持板部材１４０の上流側の面における横方向両端部に配設され、かつそれぞれピストンロッド１５４ａを含むエアシリンダ機構１５４から構成されている下圧接ローラ位置決め手段は、先に述べた上圧接ローラ位置決め手段の構成と実質的に同じであるので、上圧接ローラ位置決め手段と実質的に同じ作用効果を得ることができる。上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８は、それぞれ、エアシリンダ機構１２８及び１４４により、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が搬送ローラ２上に存在する基板Ｐに対し接触しない非作用位置と、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐを上下方向に挟む作用位置との間を選択的に昇降させられる。
【００３４】
なお、上圧接ローラユニット１０４の支持枠体１３０に形成された係止ピン１３３の各々と、下圧接ローラユニット１０８の支持枠体１４８に形成された係止穴１４９の各々とは、エアシリンダ機構１２８及び１４４によりそれぞれ下降及び上昇させられた上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で一体に移動しうるよう上下方向（鉛直方向）に離脱自在に連結する連結手段を構成する。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２がそれぞれ移動開始位置に位置付けられた状態で、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８は連結手段により相互に連結可能となる（係止ピン１３３の各々と、対応する係止穴１４９とが、鉛直方向に整合して位置付けられる）。上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８が連結手段により連結された状態（図１０及び図１３参照）で、上及び下搬送方向移動手段により上及び下主支持枠体１０２及び１０６が同期して上流及び下流方向に移動させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２も同じ方向に同期して移動させられる。
【００３５】
上記連結手段によれば、上ユニット基板１２２に関連して後述する一つの上横方向移動手段を配設するのみで、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を同時に横方向に移動させることができるので、部品点数が少なくて済み、低コストで上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向移動手段を配設することが可能になる。また、上記連結手段は、係止ピン１３３の各々と、対応する係止穴１４９とにより構成されるので、簡単な構成により確実な連結が可能になる。
【００３６】
次に、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が、基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で基板Ｐに対し横方向に移動させられるよう、上圧接ローラユニット１０４を、上記連結手段により相対的に連結された下圧接ローラユニット１０８と一体に、基板Ｐに対し横方向に水平に移動させる上横方向移動手段について説明する。
【００３７】
図６を参照して、上ユニット基板１２２の上端部における横方向の中央部には、上ユニット基板１２２の上流側の面から上流方向に延び出す支持梁１５６が配設されている。支持梁１５６の水平上面には、横断面が上方に開放されたチャンネル形状をなすチャンネル部材１５８が配設されている。チャンネル部材１５８は、一定の幅で搬送方向Ｆに水平かつ直線状に延在する底壁と、底壁の横方向両側縁から鉛直上方に延び出す側壁とから構成され、これらの底壁及び側壁の各々により、搬送方向Ｆに直線状にかつ水平に延在する従動溝１６０が形成される。
【００３８】
上主支持枠体１０２の上壁部１０２ｂの上面における横方向の中央部には、上壁部１０２ｂの上流端から上流方向に水平に延び出す支持板部材１６２が配設されている。支持板部材１６２の上面側には、駆動源である電動モータＭが配設されている。鉛直方向に延在する電動モータＭの駆動軸１６３は支持板部材１６２の下面側に延び出している。鉛直軸まわりに回転可能な駆動軸１６３の延び出し部には、回転体１６４が一体回転し得るよう取り付けられている。回転体１６４は、円筒部と円筒部の下端に配設された円板部とから構成され、円板部の周縁部には円板部から鉛直下方に延び出す支持軸１６６が配設され、支持軸１６６にはカムローラ１６８が回転自在に支持されている。カムローラ１６８は、チャンネル部材１５８の従動溝１６０に沿って相対回転しながら移動可能に嵌合されている。上横方向移動手段は、電動モータＭ、回転体１６４、カムローラ１６８及びチャンネル部材１５８の従動溝１６０などにより構成される。
【００３９】
先に述べたように、上及び下圧接ローラユニット１０４が連結手段により連結された状態（図１０及び図１３参照）で、電動モータＭにより回転体１６４が回転駆動されると、カムローラ１６８が鉛直軸である駆動軸１６３まわりに公転しかつ従動溝１６０内を自転しながら相対的に往復移動させられる。上及び下ユニット基板１２２及び１４２が、それぞれ上及び下主支持枠体１０２及び１０６に対し横方向に往復移動させられるので、上圧接ローラ１３４は、上圧接ローラユニット１０４及び上ユニット基板１２２を介して横方向に往復移動させられ、下圧接ローラ１５２は、上圧接ローラ１３４と共に、下圧接ローラユニット１０８及び下ユニット基板１４２を介して横方向に往復移動させられる。
【００４０】
実施形態においては、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示されているように、カムローラ１６８の回転角度位置が０°の位置（平面から見て、カムローラ１６８の回転中心の公転位置が、基板Ｐの横方向の中心を通り搬送方向Ｆに延びる中心線上であって、搬送方向Ｆの上流側の位置）を、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の移動開始位置としている。カムローラ１６８は、上記０°の位置から、図６（ａ）及び図６（ｂ）において、反時計方向に公転させられる。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、移動開始位置から両横方向への最大移動距離は、駆動軸１６３の軸心から、カムローラ１６８の外周面であって該軸心から半径方向に最も遠い外周面までの距離を半径とする円の半径により規定される（横方向の全移動距離は該円の直径により規定される）。図６（ｂ）、図６（ｃ）、図７（ｂ）及び図８（ｂ）において、符号Ｄは該円（カムローラ１６８の公転により描かれる円形の軌跡のうち最大の直径を有する円形の軌跡）を示している。
【００４１】
カムローラ１６８が、図６（ａ）及び（ｂ）に示される上記０°の位置から、図７（ａ）及び（ｂ）に示す回転角度位置９０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、移動開始位置から横方向の片方における最大ストローク位置まで移動させられる。カムローラ１６８が、上記０°の位置から、図６（ｃ）に示す回転角度位置１８０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の片方における最大ストローク位置から移動開始位置まで戻される。カムローラ１６８が、上記０°の位置から、図８（ａ）及び（ｂ）に示す回転角度位置２７０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、移動開始位置から横方向の他方における最大ストローク位置まで移動させられる。カムローラ１６８が、上記２７０°の位置から、再び図６（ａ）及び（ｂ）に示す回転角度位置０°まで反時計方向に公転させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の他方における最大ストローク位置から移動開始位置まで再び戻される。すなわち、カムローラ１６８を、上記０°の位置から１回転させることにより、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、移動開始位置から横方向の片方及び他方までそれぞれ１往復移動させることができる。
【００４２】
フィルム剥離装置には、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する相対移動により発生する粉塵を回収するための集塵機２００が備えられている。図１、図３、図４、図１４及び図１５を参照して、集塵機２００は、先に述べたクランプ手段１０の上クランプ部材１１における横方向の中央領域において一端がそれぞれ下流側である上圧接ローラ１３４側に開口するよう配設された複数の吸引穴２０２と、下クランプ部材１２における横方向の中央領域において一端がそれぞれ下流側である下圧接ローラ１５２側に開口するよう配設された複数の吸引穴２０４とを備えている。
【００４３】
上クランプ部材１１の横方向の中央領域における上流側には上ダクト２０６が配設されている。上ダクト２０６は、その一端周縁が上クランプ部材１１の該中央領域における上流側の鉛直面に密着するよう配設されている。上クランプ部材１１に形成された吸引穴２０２の各々の上流側他端は、上ダクト２０６内に開口している。下クランプ部材１２の横方向の中央領域における上流側には下ダクト２０８が配設されている。下ダクト２０８は、その一端周縁が下クランプ部材１２の該中央領域における上流側の鉛直面に密着するよう配設されている。下クランプ部材１２に形成された吸引穴２０４の各々の上流側他端は、下ダクト２０８内に開口している。上及び下クランプ部材１１及び１２がクランプ位置に位置付けられ、かつ上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐを上下に挟んだ状態において、吸引穴２０２及び２０４の各々の一端は、それぞれ、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２に対向するよう位置付けられ、吸引穴２０２及び２０４の各々の横方向列の全長は、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向の全移動範囲にわたって延在するよう規定されている。
【００４４】
集塵機２００は、集塵手段、実施形態においてはストレーナ２１０と、吸引源である図示しない吸引ポンプを備えている。更に具体的に説明すると、フィルム剥離装置の剥離手段３０よりも下流側には、他の静止枠体２１２が配設されている。複数の枠部材によりほぼ直方体状に組み立てられた静止枠体２１２の上端部には、出口側の基板搬送手段２１４が配設されている。基板搬送手段２１４は、剥離手段３０によりフィルムが完全に剥離されて存在しない基板Ｐを、図示しない別の装置に向けて搬送するために設けられ、搬送ローラ２と同様な複数の搬送ローラ２１６が配設されている。静止枠体２１２における、基板搬送手段２１４よりも下方位置には、上記ストレーナ２１０と、集塵箱体２１８とが配設されている。ストレーナ２１０には、集塵手段である適宜のメッシュを有する金網が内蔵されている。集塵箱体２１８内には図示しない吸引ポンプが配設されている。
【００４５】
上及び下ダクト２０６及び２０８の各々の他端とストレーナ２１０の一端とは、それぞれ吸引通路手段である吸引パイプ２２０及び２２２により連結されている。ストレーナ２１０の他端と集塵箱体２１８とは、それぞれ吸引通路手段である吸引パイプ２２４及び２２６により連結されている。吸引ポンプが作動させられると、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する相対移動により発生した粉塵は、上及び下クランプ部材１１及び１２の吸引穴２０２及び２０４、上及び下ダクト２０６及び２０８、吸引パイプ２２０及び２２２、及び、ストレーナ２１０を通して集塵箱体２１８に回収される。なお、先に述べたように、上及び下クランプ部材１１及び１２は、クランプ位置と非クランプ位置との間を昇降させられるが、上及び下クランプ部材１１及び１２にそれぞれ固着された上及び下ダクト２０６及び２０８も、上及び下クランプ部材１１及び１２と共に昇降させられる。上及び下ダクト２０６及び２０８の他端には、それぞれ吸引パイプ２２０及び２２２が接続されているので、吸引パイプ２２０及び２２２の、上及び下ダクト２０６及び２０８との接続部は、相対移動を吸収できるよう構成される。具体的には、弾性部材からなる可撓性のパイプ、例えば蛇腹管から構成される。
【００４６】
次に、上記した端部剥離手段１００、集塵機２００などを備えたフィルム剥離装置の作用効果について説明する。フィルム剥離装置の作動は、フィルム剥離装置に備えられた図示しないコントローラにより制御される。図１〜図４を参照して、ピンチローラ４は非作用位置まで上昇させられ、上及び下クランプ部材１１及び１２は、それぞれ上昇及び下降させられて非クランプ位置に位置付けられている。上圧接ローラ１３４を備えた上圧接ローラユニット１０４及び下圧接ローラ１５２を備えた下圧接ローラユニット１０８は、それぞれ上昇及び下降させられて非作用位置に位置付けられている。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の中央位置である移動開始位置に位置付けられている。なお、実施形態において、移動開始位置とは、横方向に直列に配置されたそれぞれ４個の上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向における全長（全幅）の中心が、基板Ｐの搬送経路における横方向の中心と一致する位置である。
【００４７】
次に図９〜図１２を参照して、図９において右方に配設されている図示しない導入口から搬入された基板Ｐは、搬送ローラ２によって搬送方向Ｆ（図９において左方）に搬送され、あらかじめ作用位置に位置付けられた停止板部材２２（図１０参照）に先端が当接されて端部剥離位置に停止させられる。図示しないセンサが停止させられた基板Ｐを検出すると、搬送ローラ２の回転を停止する。ピンチローラ４を非作用位置から作用位置まで下降させて基板Ｐの上面を下方に押圧し、かつ上及び下クランプ部材１１及び１２をそれぞれクランプ位置まで下降及び上昇させて基板Ｐの両面に圧接させる（図１２参照）。このようにして基板Ｐを端部剥離位置に位置付けた後、停止板部材２２を作用位置から非作用位置まで下降させる（図２参照）。
【００４８】
停止板部材２２を非作用位置まで下降させた後、上圧接ローラ１３４を備えた上圧接ローラユニット１０４及び下圧接ローラ１５２を備えた下圧接ローラユニット１０８を、それぞれ下降及び上昇させて作用位置に位置付ける。上圧接ローラユニット１０４の係止ピン１３３の各々（図５参照）が下圧接ローラユニット１０８の係止穴１４９に嵌合係止され、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８は一体に連結される。また、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、基板Ｐの横方向中央領域における一端部、すなわち該中央領域における搬送方向先端部の両面に圧接する。フィルムの横方向中央領域における一端部、すなわち該中央領域における搬送方向先端部の両面は、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２により圧接される。電動モータＭを駆動すると、カムローラ１６８（図６参照）が駆動軸１６３まわりに公転し、かつ上圧接ローラユニット１０４が支持されている上ユニット基板１２２の従動溝１６０に沿って自転しながら往復移動する。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、基板Ｐの一端部の両面を上下に所定の圧力で挟んだ状態で、基板Ｐに対し横方向の中央領域において一体的に横方向に比較的高速で往復移動させられる。
【００４９】
例えば、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向の全幅が約１００ｍｍ、基板Ｐの横幅が２００ｍｍ〜６００ｍｍの場合、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐの横方向の中央領域における横方向の移動幅（図１６において符号Ｘで示す移動幅）は、例えば、１２０ｍｍ〜１４０ｍｍに設定することができる（横方向への移動量は２０ｍｍ〜４０ｍｍ）。基板Ｐの横方向における移動幅は、上記数値に限定されるものではないが、少なくとも、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向列うち、横方向の両端に位置する上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が、それぞれ、基板Ｐの横方向の、対応する側縁から側外方に離脱しない範囲内に設定される。
【００５０】
このように、本発明においては、横方向移動手段が、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、基板Ｐの一端部の両面を上下に所定の圧力で挟んだ状態で、基板Ｐに対し基板Ｐにおける横方向の中央領域において横方向に往復移動させるよう構成されているので、上及び下圧接ローラの全てが基板の両側縁から側外方に完全に離脱するような横方向の全移動距離（一般的には１０００ｍｍ前後）を有する従来装置と比較して、横方向の移動幅を著しく短縮することができ、しかも従来装置よりも高速で上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を往復移動させることができるので、基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離させる時間を従来よりも短縮することを可能にする。
【００５１】
つまり、従来装置においては、圧接ローラの横方向へ往復移動時に、圧接ローラが基板の一端部における横方向外側から基板の横方向一側縁部に、及び基板の他端部における横方向外側から基板の横方向他側縁部にそれぞれ乗り上がるので、衝撃による破損などのおそれがあって、移動速度を高速化できなかった。しかしながら本発明においては、少なくとも、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向列うち、横方向の両端に位置する上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が、それぞれ、基板Ｐの横方向の、対応する側縁から側外方に離脱しない範囲内に設定されるので、上記乗り上がりは全く無くなる。その結果、従来よりも短い横方向の移動幅で、移動速度を高速化できるので、上記時間を従来よりも短縮することを可能にするのである。
【００５２】
上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向への移動幅を基板Ｐにおける横方向の中央領域、すなわち、基板Ｐの幅全体に対し、中央部における横方向の狭い範囲内に設定した場合には、上記移動幅を可能な限り最短とすることができるので、従来装置におけるよりも高速化することなく、横方向への往復移動回数を従来よりも増加することによって、上記時間を短縮することが可能になる。もちろん、従来装置におけるよりも高速化した場合には、上記時間を更に短縮することが可能になる。また、本発明によれば、横方向の移動幅を従来よりも大幅に短縮することができるので、基板Ｐの一端部の表面に付けられるわずかな傷を大幅に低減し、かつ基板Ｐの両側縁部を破損することなく、基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離することができる。また、薄い基板Ｐを端部剥離処理によって曲げるおそれも無くなる。
【００５３】
上記端部剥離手段１００においてはまた、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が横方向に比較的高速で移動中に、所定のタイミングによりエアシリンダ機構１１８（図５参照）を作動させることにより上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を下流側所定位置から上流側所定位置へ、また、エアシリンダ機構１１８の作動を停止することにより上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を上流側所定位置から下流側所定位置へ、それぞれ移動させることができる。この搬送方向への移動量（図１６において符号Ｙで示される移動量）は、これに限定されるものではないが、例えば、１ｍｍ〜２ｍｍ程度の微小幅でよい。このように上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、先に述べた上横方向移動手段及び搬送方向移動手段の協働により、上記横方向及び搬送方向の両方向に同時に移動させることにより、フィルムの端部剥離効果を更に向上させることができる。本発明者の実験によれば、１枚の基板Ｐに対する端部剥離処理において、従来装置に比較して１秒程度、時間を短縮できることが確認された。
【００５４】
なお、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の外周面に、軸線方向に傾斜して延びるローレット溝を全周にわたって形成する、あるいは、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２のうちのいくつかの軸線を、平面から見て、横方向の中心を通り搬送方向Ｆに延びる中心線に対し傾斜させる（図１６及び図１７参照）、などの手段を併用することは、上記した端部剥離効果を更に向上させるのに寄与する。
【００５５】
本発明によるフィルム剥離装置においては、端部剥離手段１００による、フィルムの端部剥離処理と同時に、集塵機２００が作動される。図２〜図４、図１４及び図１５を参照して、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が横方向に往復移動させられる直前又は同時に、集塵機２００の図示しない吸引ポンプを作動させる。上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する相対移動により発生した粉塵は、上及び下クランプ部材１１及び１２の吸引穴２０２及び２０４、上及び下ダクト２０６及び２０８、吸引パイプ２２０及び２２２、及び、ストレーナ２１０を通して集塵箱体２１８に回収される。
【００５６】
上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の、基板Ｐに対する横方向の移動範囲は、先に述べたように横方向の中央領域であるので、基板Ｐの横方向幅を両外側に越える長い距離を往復移動する従来装置よりも大幅に短縮される。その結果、上及び下クランプ部材１１及び１２がクランプ位置に位置付けられ、かつ上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐを上下に挟んだ状態において、吸引穴２０２及び２０４の各々の一端が、それぞれ、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２に対向するよう位置付けられかつ、吸引穴２０２及び２０４の各々の横方向列の全長が、ほぼ、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向の全移動範囲にわたって延在するよう構成しても、全体としては基板Ｐの横方向中央領域に吸引穴２０２及び２０４の各々を集中するのみで、集塵効果を得ることが可能になる。その結果、基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離する動作時に発生する粉塵を、コンパクトかつ低コストで回収することを可能にするのである。
【００５７】
再び図１〜図４を参照して、端部剥離手段１００による基板Ｐのフィルムの一端部を部分的に剥離する動作を所定時間（例えば２秒間）遂行した後、電動モータＭの駆動を停止する。続いて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の各々が基板Ｐの両面から離隔されるよう、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８の各々をそれぞれ上昇及び下降させる。また、上及び下クランプ部材１１及び１２をクランプ位置から非クランプ位置まで上昇及び下降させる。補助搬送ローラ２５を作用位置に上昇させる。上及び下圧接ローラ位置決め手段により、上及び下圧接ローラユニット１０４及び１０８の各々を移動開始位置に戻す。
【００５８】
ピンチローラ４を作用位置に維持した状態で、入り口側の搬送ローラ２を再駆動して、フィルムの一端部が部分的に剥離された基板Ｐを剥離手段３０に向けて搬送する。剥離手段３０の上流側に配設されたセンサＳが基板Ｐの先端を検出してから所定時間経過後、上部及び下部エア噴射手段３０Ｃ及び３０Ｄにより高圧エアを噴射して基板Ｐの両面における一端部から、部分的に剥離されたフィルムをそれぞれ更に剥離させる。基板Ｐの上面から剥離されたフィルムは上側ベルト機構３０Ａに挟まれて上方に搬送され、図示しないフィルム回収箱に排出される。また、基板Ｐの下面から剥離されたフィルムは下側ベルト機構３０Ｂに挟まれて下方に搬送され、図示しないフィルム回収箱に排出される。フィルムが完全に剥離された基板Ｐは、出口側の基板搬送手段２１４（図１４参照）に向けて搬送される。上記センサＳが基板Ｐの後端の通過を検出した時点で、ピンチローラ４を非作用位置に上昇させる。補助搬送ローラ２５を退避位置に下降させる。基板停止手段２０の停止板部材２２を作用位置に上昇させる。なお、上部エア噴射手段３０Ｃの下流側に配設された図示しないセンサが基板Ｐの先端を検出してから所定時間経過後、上部及び下部エア噴射手段３０Ｃ及び３０Ｄによる高圧エアの噴射を停止する。基板Ｐが出口側の上記基板搬送手段２１４まで搬送された時点で、フィルム剥離装置によるフィルム剥離動作の１サイクルが終了する。フィルム剥離装置は、以上の剥離サイクルを繰り返すことにより、複数の基板Ｐから連続してフィルムを剥離する。
【００５９】
本発明によるフィルム剥離装置の上記実施形態においては、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を備えているので、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を相互に独立して作動させることにより、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、横方向又は搬送方向にそれぞれ真っ直ぐに、それぞれ独立した動きとして移動させることができる。また、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を協働させることにより（換言すれば同時に作動させることにより）、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、横方向の片方又は他方に向って、かつ搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に相互に等速で又は異なった速度で移動させることができるので、フィルムの一端部を基板Ｐから部分的に、短時間にかつ効果的に剥離することを可能にする。
【００６０】
本発明によれば、横方向移動手段及び搬送方向移動手段を利用することにより、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、さまざまなパターンで移動させることが可能になる。以下、図１６〜図２４を参照して、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向及び搬送方向への移動パターンの実施形態をいくつか紹介する。先にも述べたように、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の移動開始位置は、上記実施形態におけるような、基板Ｐにおける横方向の中心位置に限定されるものではなく、横方向のいずれの位置を移動開始位置とすることができる。図１６〜図２４において、左右方向は基板Ｐの横方向、上側は基板Ｐの搬送方向下流側、下側は基板Ｐの搬送方向上流側を示す。矢印は上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の移動方向を示す。先にも述べたように、符号Ｘは、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の横方向（左右方向）への移動幅を示し、符号Ｙは、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２の搬送方向への移動量を示している。横方向移動手段及び搬送方向移動手段を協働（同時作動）させた場合には、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、平面から見て、横方向の片方又は他方に向って、かつ搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、斜めにほぼ真っ直ぐに（図１７、図１９、図２２及び図２３参照）、又はほぼ曲線状に（図２４参照）移動させられる。なお、移動パターンの基本を示す図１６及び図１７においては、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を図示しているが、図１８〜図２４においては、図面の明確化のために図示を省略してある。
【００６１】
図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）において、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端（左右移動終端）間を直線移動し、左右終端において、搬送方向の上流終端まで、又は下流終端（上流側の移動終端又は下流側の移動終端）まで直線移動する。
【００６２】
図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）において、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を直線移動し、左右終端において、搬送方向上流終端及び横方向の左終端に向って、又は搬送方向下流終端及び横方向の左終端に向って、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動する。
【００６３】
図１８に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、左右終端において、及び、横方向の左右終端間を直線移動する中間において、搬送方向上流終端又は搬送方向下流終端に向って移動する。上流終端又は下流終端における横方向の移動は、それぞれ横方向に延びる共通の直線上において行われる。この移動パターンは、図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）の変形である。
【００６４】
図１９に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間の中央と左右終端間を直線移動し、左右終端において、搬送方向上流終端及び横方向の左右終端間の中央に向って、又は搬送方向下流終端及び横方向の左右終端間の中央に向って、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動する。この移動パターンは、図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）の変形である。
【００６５】
図２０に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を複数回移動し、左右終端において、搬送方向の上流終端まで、又は下流終端まで直線移動する。この移動パターンは、図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）の変形である。
【００６６】
図２１に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を複数回移動し、左右終端において、搬送方向上流終端及び横方向の右終端に向って、又は搬送方向下流終端及び横方向の右終端に向って、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動する。この移動パターンは、図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）の変形である。
【００６７】
図２２に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、横方向の左右終端間を直線移動する中間において、搬送方向上流終端及び横方向の右に向って、及び搬送方向下流終端及び横方向の右に向って移動し、又は、搬送方向下流終端及び横方向の左に向って、及び搬送方向上流終端及び横方向の左に向って移動する。横方向の左右終端においては、下流終端まで直線移動するか、又は搬送方向下流終端及び横方向の左に向って斜めに真っ直ぐに移動する。この移動パターンは、図１６に示されている移動パターン（基本パターン１）及び図１７に示されている移動パターン（基本パターン２）の組み合わせである。
【００６８】
図２３に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、搬送方向の上流及び下流終端間における中央間において、横方向の左右終端間を移動するとき、搬送方向の下流終端における左右終端間の中央まで、又は搬送方向の上流終端における左右終端間の中央まで、それぞれ斜めに真っ直ぐに移動してから再び斜めに真っ直ぐに移動して横方向の左右いずれかの終端に到達する。
【００６９】
図２４に示されている移動パターンにおいて、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２は、搬送方向の上流及び下流終端間における中央間において、横方向の左右終端間を移動するとき、搬送方向の下流終端における左右終端間の中央まで、又は搬送方向の上流終端における左右終端間の中央まで、それぞれ曲線状に移動してから再び曲線状に移動して横方向の左右いずれかの終端に到達する。
【００７０】
本発明の上記実施形態において、連結手段を構成する係止ピン１３３（図５参照）の各々は、上圧接ローラユニット１０４の支持枠体１３０に配設され、連結手段を構成する係止穴１４９の各々は、下圧接ローラユニット１０８の支持枠体１４８に配設されているが、これらをそれぞれ逆に配設する他の実施形態もある。上記実施形態においてはまた、上クランプ部材１１には吸引穴２０２（図３及び図４参照）が形成され、下クランプ部材１２には吸引穴２０４が形成されているが、上クランプ部材１１のみに吸引穴を形成する他の実施形態、あるいは下クランプ部材１２のみに吸引穴を形成する他の実施形態も考えられる。
【００７１】
上記実施形態において、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、基板Ｐに対し横方向の中央領域において横方向に移動させる横方向移動手段として、上横方向移動手段が配設されている。上横方向移動手段は、上圧接ローラユニット１０４を、連結手段により相対的に連結された下圧接ローラユニット１０８と一体に、基板Ｐに対し横方向に移動させるよう構成されている。しかしながら、横方向移動手段としては上記上横方向移動手段に限定されるものではなく、上横方向移動手段と実質的に同じ構成を有する下横方向移動手段であってもよい。
【００７２】
すなわち、この下横方向移動手段は、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２が基板Ｐの一端部を上下方向に挟んだ状態で、上及び下圧接ローラ１３４及び１５２を、基板Ｐに対し横方向の中央領域において横方向に移動させるよう、下圧接ローラユニット１０８を、連結手段により相対的に連結された上圧接ローラユニット１０４と一体に、基板Ｐに対し横方向に移動させる。更に具体的には、上記従動溝１６０（図６参照）を備えたチャンネル部材１５８を下ユニット基板１４２（図５参照）に配設し、電動モータＭ、回転体１６４及びカムローラ１６８などを下主支持枠体１０６に配設することにより下横方向移動手段を構成することができる。横方向移動手段は、要するに、上ユニット基板１２２又は下ユニット基板１４２に作用して、上ユニット基板１２２又は下ユニット基板１４２を、上主支持枠体１０２又は下主支持枠体１０６に対し、横方向に移動させることができるよう構成すればよい。横方向移動手段である上横方向移動手段又は下横方向移動手段は、電動モータＭなどにより構成されているが、他のアクチュエータ、例えばエアシリンダ機構から構成する他の実施形態もある。更にはまた、横方向移動手段を、相互に独立して作動することができる上横方向移動手段と下横方向移動手段とから構成する他の実施形態もある。この実施形態においては、上圧接ローラユニット１０４と下圧接ローラユニット１０８とを、離脱自在に連結する連結手段は配設されない。
【００７３】
【発明の効果】
本発明によるフィルム剥離装置によれば、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離させる時間を従来よりも短縮することを可能にする。また、基板の一端部の表面に付けられる傷を大幅に低減し、かつ基板の両側縁部を破損することなく、基板のフィルムの一端部を部分的に剥離することができる。更にはまた、フィルム剥離動作時に発生する粉塵を、コンパクトかつ低コストで回収することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の実施形態の構成の要部を概略的に示す側面図。
【図２】図１に示すフィルム剥離装置に備えられている端部剥離手段を基板の搬送方向上流側から見た正面図であって、一部の構成を省略して示す正面図。
【図３】図１に示すフィルム剥離装置に備えられているクランプ手段を基板の搬送方向下流側から見た背面図。
【図４】図３に示すクランプ手段の要部横断面図であって、図３において右方から見た要部横断面図。
【図５】図１に示すフィルム剥離装置に備えられている端部剥離手段の要部を示す斜視図であって、一部の構成を省略しかつ一部を断面にして示す斜視図。
【図６】（ａ）図５に示す端部剥離手段の要部のうち上圧接ローラユニット側の構成体において、図５においては省略されている上横方向移動手段を備えた構成体を示す斜視図であって、一部を断面にして示す斜視図。
（ｂ）図６（ａ）に示す上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が０°の状態を概略的に示す平面図。
（ｃ）図６（ａ）に示す上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が１８０°の状態を概略的に示す平面図。
【図７】（ａ）図６（ａ）に示す構成体において、上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が９０°の状態を示す斜視図であって、一部を断面にして示す斜視図。
（ｂ）図７（ａ）に示すカムローラの回転角度位置（９０°）を概略的に示す平面図。
【図８】（ａ）図６（ａ）に示す構成体において、上横方向移動手段に備えられているカムローラの回転角度位置が２７０°の状態を示す斜視図であって、一部を断面にして示す斜視図。
（ｂ）図８（ａ）に示すカムローラの回転角度位置（２７０°）を概略的に示す平面図。
【図９】図１に示すフィルム剥離装置における他の作動態様を示す側面図。
【図１０】図９に示すフィルム剥離装置に備えられている端部剥離手段を基板の搬送方向上流側から見た正面図であって、一部の構成を省略して示す正面図。
【図１１】図９に示すフィルム剥離装置に備えられているクランプ手段を基板の搬送方向下流側から見た背面図。
【図１２】図１１に示すクランプ手段の要部横断面図であって、図１１において右方から見た要部横断面図。
【図１３】図５に示す端部剥離手段の他の作動態様を示す斜視図。
【図１４】図１に示すフィルム剥離装置に備えられた集塵機の要部を示す側面図。
【図１５】図１４に示す集塵機の要部を基板Ｐの搬送方向下流側から見た背面図。
【図１６】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの実施形態を模式的に示す平面図。
【図１７】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図１８】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図１９】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２０】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２１】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２２】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２３】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【図２４】図１に示すフィルム剥離装置の端部剥離手段に備えられ圧接ローラの移動パターンの更に他の実施形態を模式的に示す平面図。
【符号の説明】
１００ 端部剥離装置
１０２ 上主支持枠体
１０４ 上圧接ローラユニット
１０６ 下主支持枠体
１０８ 下圧接ローラユニット
１１０ 上支持板部材
１２２ 上ユニット基板
１３４ 上圧接ローラ
１４０ 下支持板部材
１４２ 下ユニット基板
１５２ 下圧接ローラ
１６０ 従動溝
１６８ カムローラ
２００ 集塵機
Ｍ 電動モータ
Ｐ 基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a film peeling apparatus for peeling off a protective film attached to a substrate, and more particularly, to a substrate having a protective film attached to one or both sides, and partially protecting one end of the protective film from the substrate. It is related with the film peeling apparatus which is equipped with the edge part peeling means to make it peel, and an edge part peeling means is provided with the some press-contact roller.
[0002]
[Prior art]
In the production of printed wiring boards, copper foil is pasted on both sides of a core board made of glass fiber reinforced epoxy resin or the like to form a copper clad laminate, and a photoresist is applied to one or both sides of the copper clad laminate. The printed wiring board material which laminated | stacked the layer and the protective film is used. Then, a circuit pattern is irradiated on one or both sides of the printed wiring board material to expose the photoresist layer, and thereafter a protective film (hereinafter simply referred to as “film”) existing on one or both sides is peeled off.
[0003]
A film peeling apparatus capable of peeling a film from one or both sides of a substrate, such as a printed wiring board material having a rectangular shape when viewed from the plane, acts on a substrate having a film attached to one or both sides, End peeling means for partially peeling the one end from the substrate is provided. The edge peeling means includes a plurality of pressure rollers arranged in series in the substrate transport width direction (horizontal width direction orthogonal to the substrate horizontal transport direction), that is, in the lateral direction of the substrate (Patent Document 1). reference). The axes of some of the pressure rollers are arranged so as to be inclined with respect to the center line in the substrate transport direction when viewed from the plane, but all the other pressure rollers are arranged parallel to the center line. Yes. In such a film peeling apparatus, the pressure contact roller of the edge peeling means is run from the lateral outer side of the substrate on one end (front end in the transport direction) of the film of the substrate held at a predetermined peeling position by the clamping means. The substrate is reciprocated over the entire lateral direction of the substrate while being pressed and rotated. Due to the torsional force generated by the rotational movement of the pressure roller, only one end of the film is partially lifted and thus partially peeled from the substrate.
[0004]
However, in the film peeling apparatus, in order to partially peel one end portion of the film of the substrate, the pressure contact roller of the edge peeling means is reciprocated by rotating while rubbing the entire region in the lateral direction at the one end portion of the substrate. Therefore, not only one end of the film but also the photoresist layer inside the film or the surface of the substrate inside the film is rubbed at the same time. For this reason, although it is slight, there exists a possibility of scratching the one end part of a board | substrate over the whole area of a horizontal direction. In addition, fine fragments of the photoresist layer generated at this time and copper powder from the surface of the substrate may scatter to the periphery and contaminate the substrate and the apparatus. Furthermore, at the time of starting the forward movement and the backward movement of the pressure roller, the pressure roller is moved from the lateral outer side at one end of the substrate to the lateral side edge of the substrate, and at the lateral direction at the other end of the substrate. Since it rides on the other lateral edge of the substrate from the outside, it may be damaged by impact. The above ride may bend the thin substrate. As a result, there is a possibility of adverse effects such as defective manufacturing of the substrate, failure of the apparatus, and deterioration of the appearance of the entire manufacturing line.
[0005]
Furthermore, due to advances in the substrate manufacturing process, it is required to shorten the film edge peeling time. However, the reciprocating distance of the pressure roller is long, and the substrate is not damaged by the impact caused by the above-mentioned climbing. It is difficult to shorten the time due to the fact that the pressure roller must be reciprocated within a speed range where peeling is possible. In addition, since the reciprocating distance of the pressure contact roller is long, the dust collector is remarkably increased in size and costs are greatly increased. Therefore, even if it is not impossible to provide a dust collector, it is extremely difficult in practical use. It was. Therefore, for the film peeling apparatus of the above-described form, there has been a demand for a film peeling apparatus capable of shortening the film edge peeling time and solving the above-described problems.
[0006]
[Patent Document 1]
JP-A-4-164770
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
The objective of this invention is providing the novel film peeling apparatus which makes it possible to shorten the time which peels the one end part of the film of a board | substrate partially compared with the past.
[0008]
Another object of the present invention is to greatly reduce scratches on the surface of one end of the substrate and to partially peel off one end of the substrate film without damaging both side edges of the substrate. It is to provide a novel film peeling apparatus that can be used.
[0009]
Still another object of the present invention is to provide a novel film peeling apparatus that makes it possible to collect dust generated during the operation of partially peeling one end of a substrate film in a compact and low cost manner. It is.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
According to one aspect of the present invention, the apparatus is provided with end peeling means that acts on a substrate having a protective film attached to one or both sides thereof and partially peels one end of the film from the substrate. The means includes a plurality of press rollers arranged so that one end of the substrate can be sandwiched in the vertical direction and movable in the lateral direction of the substrate, and the press roller sandwiches one end of the substrate in the vertical direction In the film peeling apparatus provided with a lateral movement means for moving the pressure roller in the lateral direction with respect to the substrate in the state of
The plurality of press rollers are disposed only in the central region in the lateral direction of the substrate,
The lateral movement means moves the pressure roller in the lateral direction in the lateral central region relative to the substrate, and a film peeling apparatus is provided.
According to another aspect of the present invention, an end peeling means is provided that acts on a substrate having a protective film stuck on one or both sides thereof, and partially peels one end of the film from the substrate. The peeling means includes a plurality of pressure rollers arranged so that one end portion of the substrate can be sandwiched in the vertical direction and movable in the lateral direction of the substrate, and the pressure contact rollers move the one end portion of the substrate in the vertical direction. In the film peeling apparatus provided with a lateral movement means for moving the pressure contact roller in the lateral direction with respect to the substrate in a sandwiched state,
The lateral movement means moves the pressure roller in the lateral direction in the lateral central region with respect to the substrate,
The pressure roller is disposed so as to be movable in the substrate conveyance direction,
The end peeling means includes transport direction moving means for moving the pressure contact roller in the transport direction of the substrate with one end of the substrate sandwiched in the vertical direction.It is characterized byFilm peeling deviceIs provided.
By moving the pressure roller by the cooperation of the lateral direction moving means and the conveyance direction moving means, the pressure roller moves toward one or the other side in the lateral direction and from the downstream to the upstream in the conveyance direction or from the upstream. It is preferable that they are simultaneously moved downstream.
Of the present inventionMoreAccording to another aspect, in a film peeling apparatus provided with an end peeling means that acts on a substrate having a protective film attached on one side or both sides, and partially peels one end of the film from the substrate.
The end peeling means includes an upper pressure roller unit that includes a plurality of upper pressure contact rollers and is disposed so as to be moved up and down by the upper lifting means and is movable in the lateral direction of the substrate, and a plurality of lower pressure contact rollers. The lower pressure contact roller unit and the upper and lower pressure contact roller units arranged so as to be movable up and down by the lower lifting means and movable in the lateral direction are lowered and raised by the upper and lower lifting means, respectively. Connecting means for detachably connecting the upper and lower pressure contact rollers in the vertical direction so that the upper and lower pressure contact rollers can move integrally with the one end of the substrate sandwiched in the vertical direction, and the upper and lower pressure contact rollers connect the one end of the substrate. The upper and lower pressure contact roller units connected by the connecting means are moved in the lateral direction with respect to the substrate so as to be moved in the lateral direction in the central region in the lateral direction with respect to the substrate while being sandwiched in the vertical direction. And a transverse moving means which, film peeling apparatus characterized by, is provided.
Each of the upper and lower pressure contact roller units is disposed so as to be movable in the substrate transport direction. The end peeling means includes an upper transport direction moving means for moving the upper pressure contact roller unit in the substrate transport direction, and a lower pressure contact roller unit. It is preferable to include a lower transport direction moving unit that moves the substrate in the transport direction.
By cooperating the lateral movement means and the upper and lower conveyance direction movement means, the upper and lower pressure contact roller units connected by the connection means are moved together so that the upper and lower pressure contact rollers are moved in the lateral direction. It is preferable that they are moved simultaneously toward one or the other and from the downstream to the upstream in the conveying direction or from the upstream to the downstream.
The end peeling means includes an upper main support frame supported to be movable in the transport direction with respect to the stationary frame, an upper unit substrate supported to be movable in the lateral direction with respect to the upper main support frame, The upper unit substrate is supported by an upper elevating means so that it can be moved up and down, and the upper pressure contact roller unit is arranged in series in the lateral direction, and is supported so as to be movable in the conveying direction with respect to the stationary frame. A lower main support frame, a lower unit substrate supported so as to be movable in the lateral direction with respect to the lower main support frame, and supported by the lower unit substrate so as to be movable up and down by a lower lifting means; A lower pressure contact roller unit arranged in series in the direction, and the horizontal movement means is an upper horizontal movement means arranged between the upper main support frame and the upper unit substrate, or a lower main support. Lower horizontal movement hand arranged between the frame and the lower unit substrate , It consists of, it is preferable.
The lateral movement means is disposed on the upper or lower unit substrate and extends in a straight line horizontally in the transport direction, and is rotatably disposed on the upper or lower main support frame around the vertical axis. A cam roller that is supported by the rotating body and is movably fitted while rotating relative to the driven groove, and a drive source that rotationally drives the rotating body. The upper and lower pressure contact roller units are connected by connecting means. When the rotating body is rotationally driven by the drive source in the state of being driven, the cam roller revolves around the vertical axis and is relatively reciprocated while rotating in the driven groove. The lower pressure roller is reciprocated in the lateral direction with respect to the upper main support frame via the unit and the upper unit substrate, and the lower pressure contact roller is pressed against the lower main support frame via the lower pressure contact roller unit and the lower unit substrate. With Laura Laterally is moved back and forth, it is preferable.
In the stationary frame, the upper and lower pressure contact roller units are raised and lowered by the upper and lower lifting / lowering means, respectively, and the upper and lower pressure contact rollers are separated upward and downward from both surfaces of the substrate. The upper pressure roller positioning means for positioning the upper pressure roller at the movement start position via the upper pressure roller unit by acting on both lateral sides of the lower unit substrate, and the lower pressure roller by lower pressure welding by acting on both sides of the lower unit substrate in the horizontal direction. The lower pressure contact roller positioning means positioned at the movement start position via the roller unit is disposed. With the upper and lower pressure contact rollers positioned at the movement start position, the upper and lower pressure contact roller units are mutually connected by the connecting means. It is preferable that connection is possible.
The connecting means includes a locking pin arranged to extend in the vertical direction on one of the upper and lower pressure contact roller units, and a locking pin arranged to extend in the vertical direction on the other side of the upper or lower pressure contact roller unit. It is preferable to comprise a locking hole that can be removably fitted to the pin.
The upper transport direction moving means is a spring means disposed between the stationary frame body and the upper main support frame body, and constantly biases the upper main support frame body toward the downstream in the transport direction to determine a predetermined downstream side. A spring means positioned at a position and an actuator disposed between the stationary frame body and the upper main support frame body, wherein the upper main support frame body is directed upstream in the conveying direction against the spring force of the spring means. And an actuator that can move from a predetermined position on the downstream side to a predetermined position on the upstream side.
The lower transport direction moving means is a spring means disposed between the stationary frame body and the lower main support frame body, and constantly biases the lower main support frame body toward the downstream in the transport direction so as to be predetermined on the downstream side. A spring means positioned at a position, and an actuator disposed between the stationary frame body and the lower main support frame body, wherein the lower main support frame body is directed upstream in the conveying direction against the spring force of the spring means. And an actuator that can move from a predetermined position on the downstream side to a predetermined position on the upstream side.
According to still another aspect of the present invention, an end peeling means that acts on a substrate having a protective film attached on one or both sides thereof and partially peels one end of the film from the substrate; Clamping means for clamping the substrate stopped at the peeling position to the position, and the edge peeling means is disposed downstream of the clamping means in the substrate transport direction, and the one end of the substrate is vertically moved. A plurality of pressure rollers arranged so as to be sandwiched between the substrate and movable in the lateral direction of the substrate, and the pressure roller sandwiching one end of the substrate in the vertical direction, A lateral movement means for moving the substrate in the lateral direction is provided, and the clamping means is configured to stop the upper clamp member and the lower clamp member extending in the lateral direction, and the upper clamp member and the lower clamp member at the position. Both sides of the board A clamping position for clamping across the vertical direction, in in which film peeling apparatus and an actuator for selectively moving into the non-clamping position in which it separates the upper and downward from both sides of the substrate,
Equipped with a dust collector to collect dust generated by relative movement of the pressure roller relative to the substrate,
The lateral movement means moves the pressure roller in the lateral direction in the central region in the lateral direction with respect to the substrate, and the dust collector has one end pressed in the lateral central region of the upper clamp member and / or the lower clamp member, respectively. A plurality of suction holes arranged to open to the roller side, and a suction source connected to the other end of each suction hole via suction passage means and dust collection means A film peeling apparatus is provided.
The pressure roller is disposed so as to be movable in the substrate conveyance direction, and the end peeling means includes a conveyance direction movement means for moving the pressure roller in the substrate conveyance direction with one end of the substrate sandwiched in the vertical direction. It is preferable.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of a film peeling apparatus configured according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
[0012]
With reference to FIGS. 1-4, the film peeling apparatus is provided with the board | substrate conveyance means which is arrange | positioned at the entrance side which is the right side in FIG. The substrate transport means includes a plurality of transport rollers 2 arranged substantially horizontally with an interval in the transport direction F of the substrate P and extending horizontally in the transport direction F. These transport rollers 2 are rotationally driven by an electric motor (not shown), and the substrate P can be moved in the transport direction F along the transport surface PL in the transport path of the substrate P. The conveyance surface PL is set to extend horizontally. In this embodiment, the substrate P is composed of a printed wiring board in which films are attached to both the upper surface as one surface and the lower surface as the other surface. In the description of the present specification, the horizontal direction or the horizontal direction of the substrate P has the same meaning, and the horizontal direction or the width direction that is orthogonal to the transport direction F of the substrate P (the paper surface in FIG. 1). The front and back direction of FIG. 2 and FIG. Further, upstream, upstream side, upstream direction, downstream, downstream side, and downstream direction mean those in the transport direction F of the substrate P, respectively.
[0013]
A pinch roller 4 has a pair of support frames at a position opposite to the transport roller 2 disposed at the downstream end of the substrate transport means disposed on the entrance side of the substrate P across the transport path of the substrate P. 6 is rotatably supported between the six. The pair of support frames 6 are supported by piston rods 7 a of an air cylinder mechanism 7 that is an actuator arranged vertically above the support frame 6. Each of the air cylinder mechanisms 7 including the piston rod 7a having a vertical axis is disposed on the stationary frame body 8 of the film peeling apparatus with an interval in the lateral direction of the substrate P. The pinch roller 4 has an operation position in which the substrate P conveyed on the conveyance roller 2 is sandwiched in cooperation with the conveyance roller 2 by each of the air cylinder mechanisms 7 and a non-operation position spaced upward from the substrate P. You can move between them selectively. Note that the uppermost end of the transport roller 2 is substantially positioned on the transport surface PL of the substrate P. On the downstream side of the pinch roller 4, the clamping means 10, the substrate stopping means 20, the end peeling means 100, the peeling means 30, and the like are arranged in the order described above from upstream to downstream.
[0014]
The clamping means 10 for clamping the substrate P stopped at the end peeling position described later to the position stops the upper clamp member 11 and the lower clamp member 12, and the upper clamp member 11 and the lower clamp member 12 at the positions. A pair of actuators for selectively raising and lowering a clamp position for clamping the upper surface and the lower surface of the substrate P sandwiched in the vertical direction and a non-clamping position spaced upward and downward from the upper and lower surfaces of the substrate P. Air cylinder mechanisms 13 and 14 are provided. The upper clamp member 11 is constituted by a block body having a substantially rectangular parallelepiped shape, and is disposed so as to extend horizontally in the lateral direction above the conveyance path. The lower surface of the upper clamp member 11 is formed in a horizontal plane. The upper clamp member 11 is supported by piston rods 13 a of a pair of air cylinder mechanisms 13 disposed vertically above the upper clamp member 11. Each of the air cylinder mechanisms 13 including the piston rod 13a having a vertical axis is disposed in the stationary frame body 8 of the film peeling apparatus at intervals in the lateral direction of the substrate P. The lower clamp member 12 is composed of a block body having a substantially rectangular parallelepiped shape, and is disposed so as to extend horizontally in the lateral direction below the conveyance path. The upper surface of the lower clamp member 12 is formed to form a horizontal plane. The lower clamp member 12 is supported by piston rods 14a of a pair of air cylinder mechanisms 14 disposed vertically below the lower clamp member 12. Each of the air cylinder mechanisms 14 including the piston rod 14 a having a vertical axis is disposed on the stationary frame body 8 with an interval in the lateral direction of the substrate P.
[0015]
A plurality of suction holes 202 and 204 constituting a part of a dust collector 200 to be described later are disposed in the central region of the upper and lower clamp members 11 and 12 in the lateral direction of the substrate P, respectively. The dust collector 200 including the suction holes 202 and 204 will be described later.
[0016]
The substrate stopping means 20, which may use a known configuration, is spaced apart in the lateral direction of the support member 21 extending horizontally in the lateral direction of the substrate P, as indicated by a two-dot chain line in FIG. 2. The pair of stop plate members 22 extending upward from the upper surface of the support member 21 and the pair of stop plate members 22 acting on the support member 21 so as to protrude upward from the transfer surface PL of the substrate P and the transfer roller 2. An operation position (see FIG. 10) for stopping the substrate P transported by the end portion peeling position, and a non-operation position for retracting downward from the transport surface PL of the substrate P so as not to interfere with the transport of the substrate P (see FIG. 2). And an air cylinder mechanism 23 which is an actuator for selectively raising and lowering. The support member 21 is a piston rod 23a of an air cylinder mechanism 23 disposed vertically below the support member 21.(See Figure 10)It is supported by. An air cylinder mechanism 23 including a piston rod 23 a having a vertical axis is disposed on the stationary frame body 8.
[0017]
The edge peeling means 100 that acts on the substrate P positioned at the edge peeling position to partially peel one end of the film from the substrate P will be described in detail later. The peeling means 30 includes an upper belt mechanism 30A that forcibly conveys the film from which the one end of the film is partially peeled from the upper surface of the substrate P by the edge peeling means 100, and the edge peeling means 100. Is provided with a lower belt mechanism 30B that forcibly conveys the film from which the one end of the film is partially peeled from the lower surface of the substrate P downward from the substrate P. The peeling means 30 also injects high-pressure air between the film in which one end of the film is partially peeled from the upper surface of the substrate P by the edge peeling means 100 and the photoresist layer toward the upper belt mechanism 30A. Lower belt mechanism by injecting high-pressure air between the photoresist layer and the upper air ejecting means 30C to be peeled off and the film where one end of the film is partially peeled from the lower surface of the substrate P by the end peeling means 100 The lower air injection means 30D which peels off toward 30B is provided. The peeling means 30 including the upper belt mechanism 30A, the lower belt mechanism 30B, the upper air ejecting means 30C, and the lower air ejecting means 30D may use a known configuration, and the configuration of the present invention is a feature of the present invention. Since it is not made, further explanation is omitted. In FIG. 1, reference numeral 25 denotes an auxiliary transport roller, which is located between the retracted position separated below the transport surface PL by the air cylinder mechanism 25A and the operation position where the top of the outer peripheral surface is located on the transport surface PL. Moved selectively. Reference numeral S denotes a sensor disposed on the upstream side of the peeling unit 30 and detects the substrate P being transported.
[0018]
Next, the edge part peeling means 100 containing the characteristic of this invention is demonstrated. Referring to FIGS. 1, 2, 5, and 6, end peeling means 100 includes an upper main support frame 102, an upper pressure contact roller unit 104 supported by upper upper support frame 102, and a lower main A support frame 106 and a lower pressure contact roller unit 108 supported by the lower main support frame 106 are provided. The stationary frame 8 includes a horizontal frame 8a that extends horizontally in the horizontal direction above the conveyance surface PL, and a central portion of the horizontal frame 8a in the horizontal direction is substantially rectangular when viewed from the conveyance direction F. A support plate member 110 is provided. The upper support plate member 110 that constitutes a part of the stationary frame body 8 is disposed so that both surfaces are directed upstream and downstream in the transport direction F, and each form a vertical surface. The upper support plate member 110 is formed with a plurality of support holes 110a penetrating both surfaces horizontally in the transport direction F. In the embodiment, two support holes 110 a are formed in the upper support plate member 110 at the upper end portion and the lower end portion, respectively, at intervals in the lateral direction.
[0019]
The upper main support frame 102 formed of a plate member has a flat plate-like main body portion 102a that is rectangular when viewed from the conveyance direction F, and an upper wall that extends at a right angle downstream from the upper end of the main body portion 102a with a certain width. A portion 102b, a lower wall portion 102c extending at a right angle downstream from the lower end of the main body portion 102a, an upper flange 102d extending perpendicularly downward from the tip of the upper wall portion 102b, and a lower wall portion 102c. And a lower flange 102e (see FIG. 1) extending perpendicularly upward from the tip. The conveyance direction widths of the upper wall portion 102b and the lower wall portion 102c are the same, and the vertical widths of the upper flange 102d and the lower flange 102e are the same. The distance between the upper wall portion 102b and the lower wall portion 102c is formed to be larger than the vertical length of the upper support plate member 110, the widths in the transport direction of the upper flange 102d and the lower flange 102e are the same, and the upper support plate member 110 It is formed larger than the thickness in the conveying direction.
[0020]
In the upper main support frame 102 configured as described above, the main body portion 102a is positioned on the upstream side of the upper support plate member 110, and the upper wall portion 102b and the lower wall portion 102c are the upper ends of the upper support plate portion taste 110, respectively. The upper flange 102d and the lower flange 102e are located on the upper support plate member 110.DownstreamIt is arranged to be located in. A plurality of through holes 103 are coaxially formed in the upper flange 102d and the lower flange 102e of the upper main support frame 102 so as to correspond to the plurality of support holes 110a formed in the upper support plate member 110. A headed pin member 112 is horizontally inserted into each of the holes 103 from the downstream side. The heads (not shown) of the pin members 112 are in contact with the downstream surfaces of the upper flange 102d and the lower flange 102e, and the main body portions of the pin members 112 are inserted into the corresponding support holes 110a of the upper support plate member 110. The tip end of each pin member 112 is slidably fitted and is positioned to face the downstream surface of the main body 102a of the upper main support frame 102. A screw 114 is fastened to the tip of each pin member 112 from the upstream side of the main body 102a of the upper main support frame 102. Thereby, each of the pin members 112 is fixed between the main body portion 102a of the upper main support frame 102 and the upper flange 102d and the lower flange 102e. In this way, the upper main support frame 102 is supported so as to be movable in the upstream and downstream directions in the transport direction F with respect to the upper support plate member 110.
[0021]
Between the upper support plate member 110 and the upper main support frame body 102, an upper pressure contact roller unit 104 described later is disposed upstream and downstream in the transport direction F via the upper main support frame body 102 and an upper unit substrate 122 described later. An upper transport direction moving means that can be moved in both directions is provided. The upper conveyance direction moving means includes a plurality of compression coil springs 116 that are spring means and an air cylinder mechanism 118 that is a plurality of actuators. Each of the compression coil springs 116 is disposed between the downstream surface of the upper support plate member 110 and the upstream surfaces of the upper main support frame 102 and the lower flanges 102d and 102e. Main support frame102Is constantly energized downstream. In the embodiment, two compression coil springs 116 are arranged at intervals in the lateral direction on the inner side of the arrangement position of the pin member 112 at the upper end portion and the lower end portion of the upper support plate member 110, respectively. . Since a plurality of stoppers 110s made of a plate member having a predetermined thickness are disposed on the upstream surface of the upper support plate member 110,Upper main support frameThe lower main surface 102a of the main body 102a is always pressed against the upstream surface of the stopper 110s by each of the compression coil springs 116, whereby the upper main support frame body.102Is positioned at a predetermined position on the downstream side. Since each of the stoppers 110s is disposed at a position corresponding to each of the support holes 110a of the upper support plate member 110, the upstream end of each of the support holes 110a is open to the upstream surface of the stopper 110s. (That is, each of the support holes 110a is formed through each of the stoppers 110s).
[0022]
Each of the air cylinder mechanisms 118 is disposed at the center in the lateral direction at the upper end portion and the lower end portion of the upper support plate member 110. Each cylinder of the air cylinder mechanism 118 is attached to a recess formed on the upstream surface of the upper support plate member 110, and the tip of the piston or piston rod 118 a is downstream of the main body 102 a of the upper main support frame 102. It is positioned to face the side surface. When each of the air cylinder mechanisms 118 including the pistons or piston rods 118a having the horizontal axis in the conveying direction F is in an inoperative state, the upper main support frame 102 is downstream by the spring force of each compression coil spring 116. Although each of the air cylinder mechanisms 118 is actuated, the upper main support frame 102 moves upstream in the downstream predetermined position against the spring force of each compression coil spring 116. To a predetermined position on the upstream side. The upper main support frame 102 moved to the upstream side predetermined position by each of the air cylinder mechanisms 118 is released to the downstream side predetermined position by the spring force of each of the compression coil springs 116 by the release of each operation of the air cylinder mechanism 118. Returned.
[0023]
In the central region in the vertical direction on the upstream surface of the upper main support frame 102, a pair of horizontal and linearly extending from almost one side in the horizontal direction to the other side with an interval in the vertical direction. A rail member 120 is provided. Each of the rail members 120 is formed of an elongated rectangular plate member, and a guide groove extending linearly along the longitudinal direction of the rail member 120 (lateral direction of the substrate P) is formed on each upper side surface and lower side surface. Is formed.
[0024]
The upper pressure roller unit 104 is disposed on an upper unit substrate 122 made of a flat plate member having a rectangular shape when viewed in the transport direction F. The upper unit substrate 122 is disposed such that both surfaces thereof are directed upstream and downstream in the transport direction F, and each form a vertical surface. A pair of guided members extending at a relatively short length in the horizontal direction with a gap in the vertical direction at the central portion in the horizontal direction at the upper and lower ends of the downstream surface of the upper unit substrate 122 124 is disposed. Each of the guided members 124 includes a flat plate-like main body portion that is rectangular when viewed from the conveyance direction F, an overhang portion that extends in the downstream direction from the upper end and the lower end of the main body portion, and a distal end of each of the overhang portions. And locked protrusions extending in the vertical direction approaching each other. The upper unit substrate 122 is configured such that each of the locked protrusions of the guided member 124 is slidably locked in the guide groove of the corresponding rail member 120 of the upper main support frame 102, so that the upper main support frame body The substrate P is supported so as to be horizontally movable in both lateral directions of the substrate P along the upstream side surface of the substrate 102.
[0025]
A substantially rectangular parallelepiped support block 126 is disposed at each of both ends in the lateral direction on the upstream surface of the upper unit substrate 122, and is a central portion on the upstream surface of the upper unit substrate 122 between the support blocks 126. An air cylinder mechanism 128 that is an upward and downward moving means of the upper pressure contact roller unit 104 is disposed. Each support block 126 is provided with a guide hole 126a having a vertical axis. The air cylinder mechanism 128 includes a piston rod 128a having a vertical axis.(See FIGS. 10 and 13)A support frame 130 extending horizontally in the lateral direction is disposed at the lower end of the piston rod 128a. A guide rod 132 extending vertically upward from the upper surface of the support frame 130 and a locking pin 133 extending vertically downward from the lower surface of the support frame 130 are disposed at both lateral ends of the support frame 130. Has been.
[0026]
Each of the guide rods 132 having a vertical axis is slidably fitted into the corresponding guide hole 126a of each of the support blocks 126. On the upstream surface of the support frame 130, a plurality of, in the embodiment, four upper pressure contact rollers 134 are arranged in series in the lateral direction via a shaft extending horizontally in the transport direction F. Yes. The lowermost surface of each of the upper pressure rollers 134 is at a position protruding downward from the lower surface of the support frame 130. Each of the locking pins 133 extends further downward than the lowermost surface of each of the upper pressure contact rollers 134. Each of the support frame 130 and the upper pressure roller 134 disposed on the support frame 130 constitutes the upper pressure roller unit 104. When the upper pressure contact roller unit 104 is raised and lowered by the air cylinder mechanism 128, each of the guide rods 132 of the support frame 130 is raised and lowered in the vertical direction along the guide hole 126a of the corresponding support block 126. Each of the rollers 134 is moved up and down in the vertical direction.
[0027]
The upper support plate member 110 is provided with upper pressure contact roller positioning means that acts on both lateral sides of the upper unit substrate 122 to position the upper pressure contact roller unit 104 at the movement start position. The upper pressure roller positioning means is composed of air cylinder mechanisms 136 disposed at both ends in the lateral direction on the upstream surface of the upper support plate member 110. Each of the air cylinder mechanisms 136 includes a piston rod 136a that exists on a common vertical axis extending horizontally in the lateral direction. When each of the air cylinder mechanisms 136 is operated and moved by substantially the same stroke in the direction in which the piston rods 136a approach each other, the piston roller 136a is finally moved in any position in the lateral direction. Each tip of the rod 136a presses both lateral sides of the upper unit substrate 122, and the upper unit substrate 122 can be positioned (centered) at a movement start position that is an intermediate position in the lateral direction. Since the strokes of the piston rods 136a of the air cylinder mechanism 136 can be arbitrarily set to each other, the movement start position of each of the upper pressure rollers 134 can be freely set to a desired position in the lateral direction. The movement start position in the above embodiment is the center in the range of the lateral movement width of each of the upper pressure rollers 134. Thus, according to the upper pressure contact roller positioning means, each of the upper pressure contact rollers 134 can be easily and reliably positioned at a desired movement start position via the upper pressure contact roller unit 104 and the upper unit substrate 122. As will be described later, the lower pressure contact roller positioning means also has substantially the same configuration as the above upper pressure contact roller positioning means, so that substantially the same operational effects can be obtained.
[0028]
The stationary frame 8 is provided with a horizontal frame 8b extending horizontally in the horizontal direction below the conveying surface PL with a space below the horizontal frame 8a. A support plate member 140 is provided. The configuration of the lower support plate member 140 that constitutes a part of the stationary frame body 8 is substantially the same as that of the upper support plate member 110, and a description thereof will be omitted. The lower main support frame member 106 is supported by the lower support plate member 140 so as to be movable in the upstream and downstream directions in the transport direction F. The structure of the lower main support frame 106 and the support structure of the lower main support frame 106 for the lower support plate member 140 are the structure of the upper main support frame 102 and the upper support plate of the upper main support frame 102 described above. Since the support structure for the member 110 is substantially the same, description thereof is omitted. Between the lower support plate member 140 and the lower main support frame 106, a lower pressure contact roller unit 108 described later is disposed upstream and downstream in the conveying direction F via the lower main support frame 106 and a lower unit substrate 142 described later. Lower transfer direction moving means that can be moved in both directions is provided. Since the configuration of the lower transport direction moving means including a plurality of compression coil springs and air cylinder mechanisms (not shown) is substantially the same as the configuration of the upper transport direction moving means, description thereof will be omitted.
[0029]
In the above embodiment, the upper and lower transport direction moving means is constituted by a plurality of compression coil springs and an air cylinder mechanism, but there are other embodiments in which each is constituted only by an air cylinder mechanism. In the case of this embodiment, the tip of the piston rod 118a in the air cylinder mechanism 118 of the upper transport direction moving means is connected to the main body portion 102a of the upper main support frame 102, and in the air cylinder mechanism (not shown) of the lower transport direction moving means. The tip of the piston rod is connected to the main body portion 106 a of the lower main support frame 106. More specifically, in the air cylinder mechanism 118 of the upper conveyance direction moving means, the structure in which the hydraulic pressure can be introduced into the oil chambers on both sides of the piston (not shown), or the piston chamber in the oil chamber on one side of the piston to which the hydraulic pressure can be introduced. The structure etc. which insert the compression coil spring for return can be mentioned. The same can be said for an air cylinder mechanism (not shown) of the lower transport direction moving means.
[0030]
The lower pressure roller unit 108 is disposed on a lower unit substrate 142 made of a flat plate member that is rectangular when viewed in the transport direction F. The lower unit substrate 142 is supported so as to be movable horizontally in the lateral direction of the substrate P along the upstream side surface of the lower main support frame 106. The configuration of the lower unit substrate 142 and the support structure of the lower unit substrate 142 with respect to the lower main support frame 106 are the configuration of the upper unit substrate 122 and the support structure of the upper unit substrate 122 with respect to the upper main support frame 102 described above. Since they are substantially the same, description thereof is omitted.
[0031]
On the upstream surface of the lower unit substrate 142, an air cylinder mechanism 144 and a guide block 146, which are the lower lifting means of the lower pressure contact roller unit 108, extend in a straight line parallel to the vertical direction at intervals in the horizontal direction. It is arranged to exist. Each of the air cylinder mechanism 144 and the guide block 146 has a vertically long rectangular parallelepiped shape. A support frame 148 that extends horizontally in the horizontal direction is supported on the upper end of the piston rod 144 a that extends vertically upward from the upper end of the air cylinder mechanism 144. Between the air cylinder mechanism 144 and the guide block 146, a guided block 150 having a vertically long rectangular parallelepiped shape and extending linearly in the vertical direction is provided between the air cylinder mechanism 144 and the guide block 146. It is engaged so as to be slidable in the vertical direction (movable up and down). A support frame 148 is connected to the upper end of the guided block 150. Locking holes 149 that extend vertically downward from the upper surface of the support frame 148 toward the inside of the support frame 148 are formed at both ends of the support frame 148 in the horizontal direction.
[0032]
On the upstream surface of the support frame body 148, a plurality of, in the embodiment, four lower pressure contact rollers 152 are arranged in series in the lateral direction via an axis extending horizontally in the transport direction F. Yes. The uppermost surface of each of the lower pressure contact rollers 152 is in a position protruding upward from the upper surface of the support frame 148..Each of the support frame body 148 and the lower pressure contact roller 152 disposed on the support frame body 148 constitutes the lower pressure contact roller unit 108. When the lower pressure roller unit 108 is moved up and down by the air cylinder mechanism 144, the guided block 150 connected to the support frame 148 is moved up and down in the vertical direction between the air cylinder mechanism 144 and the guide block 146. Therefore, each of the lower pressure contact rollers 152 is moved up and down in the vertical direction.
[0033]
The lower support plate member 140 is provided with lower pressure contact roller positioning means that acts on both lateral sides of the lower unit substrate 142 to position the lower pressure contact roller unit 108, and thus the lower pressure contact roller 152, at the movement start position. The lower pressure contact roller positioning means, which is disposed at both ends in the lateral direction on the upstream surface of the lower support plate member 140 and is composed of an air cylinder mechanism 154 including a piston rod 154a, is the upper pressure contact roller described above. Since it is substantially the same as the configuration of the positioning means, it is possible to obtain substantially the same operational effects as the upper pressure contact roller positioning means. The upper and lower pressure contact roller units 104 and 108 are respectively in a non-operating position where the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are not in contact with the substrate P existing on the transport roller 2 by the air cylinder mechanisms 128 and 144, and The lower pressure contact rollers 134 and 152 can be lifted and lowered selectively between positions where the substrate P is sandwiched in the vertical direction.
[0034]
Each of the locking pins 133 formed on the support frame body 130 of the upper pressure contact roller unit 104 and each of the locking holes 149 formed on the support frame body 148 of the lower pressure contact roller unit 108 include an air cylinder mechanism. The upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 lowered and raised by 128 and 144, respectively, are detachably connected in the vertical direction (vertical direction) so that they can move together with one end of the substrate P sandwiched in the vertical direction. The connecting means is configured. With the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 positioned at the movement start positions, the upper and lower pressure contact roller units 104 and 108 can be connected to each other by the connecting means (corresponding to each of the locking pins 133). The locking hole 149 is positioned in alignment with the vertical direction). With the upper and lower pressure contact roller units 104 and 108 connected by the connecting means (see FIGS. 10 and 13), the upper and lower main support frames 102 and 106 are synchronized upstream by the upper and lower transport direction moving means. When moved in the downstream direction, the upper and lower pressure rollers 134 and 152 are also moved synchronously in the same direction.
[0035]
According to the connecting means, it is possible to move the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 simultaneously in the horizontal direction only by disposing one upper horizontal movement means to be described later in relation to the upper unit substrate 122. The number of parts can be reduced, and it is possible to dispose the lateral movement means of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 at a low cost. In addition, since the connecting means is configured by each of the locking pins 133 and the corresponding locking holes 149, reliable connection is possible with a simple configuration.
[0036]
Next, the upper pressure roller unit 104 is moved relative to the substrate P by the connecting means so that the upper and lower pressure rollers 134 and 152 can be moved laterally with respect to the substrate P with one end of the substrate P sandwiched in the vertical direction. The upper lateral movement means for moving horizontally in the lateral direction with respect to the substrate P together with the lower pressure contact roller unit 108 connected to each other will be described.
[0037]
Referring to FIG. 6, a support beam 156 extending in the upstream direction from the upstream surface of the upper unit substrate 122 is disposed at the central portion in the horizontal direction at the upper end portion of the upper unit substrate 122. On the horizontal upper surface of the support beam 156, a channel member 158 having a channel shape whose cross section is opened upward is disposed. The channel member 158 includes a bottom wall having a constant width and extending horizontally and linearly in the conveying direction F, and side walls extending vertically upward from both lateral edges of the bottom wall. As a result, a driven groove 160 extending linearly and horizontally in the transport direction F is formed.
[0038]
A support plate member 162 that extends horizontally in the upstream direction from the upstream end of the upper wall portion 102b is disposed at the lateral center portion of the upper surface of the upper wall portion 102b of the upper main support frame 102. An electric motor M as a drive source is disposed on the upper surface side of the support plate member 162. The drive shaft 163 of the electric motor M extending in the vertical direction extends to the lower surface side of the support plate member 162. A rotating body 164 is attached to an extended portion of the drive shaft 163 that can rotate around the vertical axis so as to rotate integrally. The rotating body 164 includes a cylindrical portion and a disk portion disposed at the lower end of the cylindrical portion, and a support shaft 166 extending vertically downward from the disk portion is disposed at the peripheral portion of the disk portion. A cam roller 168 is rotatably supported on the support shaft 166. The cam roller 168 is fitted so as to be movable while relatively rotating along the driven groove 160 of the channel member 158. The upper lateral movement means includes the electric motor M, the rotating body 164, the cam roller 168, the driven groove 160 of the channel member 158, and the like.
[0039]
As described above, when the rotating body 164 is driven to rotate by the electric motor M in a state where the upper and lower pressure contact roller units 104 are connected by the connecting means (see FIGS. 10 and 13), the cam roller 168 is vertically moved. It revolves around the drive shaft 163, which is a shaft, and relatively reciprocates while rotating in the driven groove 160. Since the upper and lower unit substrates 122 and 142 are reciprocally moved in the lateral direction with respect to the upper and lower main support frames 102 and 106, respectively, the upper pressing roller 134 passes through the upper pressing roller unit 104 and the upper unit substrate 122. The lower pressure roller 152 is reciprocated in the horizontal direction via the lower pressure roller unit 108 and the lower unit substrate 142 together with the upper pressure roller 134.
[0040]
In the embodiment, as shown in FIGS. 6A and 6B, the rotation angle position of the cam roller 168 is 0 ° (the revolution position of the rotation center of the cam roller 168 is as viewed from the plane). The upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 start moving on the center line extending in the transport direction F through the horizontal center of the substrate P and upstream of the transport direction F). The cam roller 168 is revolved counterclockwise from the 0 ° position in FIGS. 6A and 6B. The maximum movement distance of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 in both lateral directions from the movement start position is the outer circumferential surface of the cam roller 168 that is the farthest in the radial direction from the axis of the drive shaft 163. It is defined by the radius of a circle whose radius is the distance to the surface (the total travel distance in the lateral direction is defined by the diameter of the circle). In FIG. 6B, FIG. 6C, FIG. 7B, and FIG. 8B, the symbol D denotes a circle having the largest diameter among the circular trajectories drawn by the revolution of the cam roller 168. Locus).
[0041]
When the cam roller 168 is revolved counterclockwise from the 0 ° position shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b) to the rotational angle position 90 ° shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b), The lower pressure contact rollers 134 and 152 are moved from the movement start position to the maximum stroke position in one of the lateral directions. When the cam roller 168 is revolved counterclockwise from the 0 ° position to the rotational angle position 180 ° shown in FIG. 6 (c), the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 have the maximum stroke in one of the lateral directions. It returns from the position to the movement start position. When the cam roller 168 is revolved counterclockwise from the 0 ° position to the rotational angle position 270 ° shown in FIGS. 8A and 8B, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 move to the movement start position. To the maximum stroke position in the other in the lateral direction. When the cam roller 168 is revolved counterclockwise from the 270 ° position to the rotational angle position 0 ° shown in FIGS. 6A and 6B, the upper and lower pressure rollers 134 and 152 are moved in the lateral direction. It returns again from the maximum stroke position on the other side to the movement start position. That is, by rotating the cam roller 168 once from the 0 ° position, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 can be reciprocated once each from the movement start position to one side and the other side.
[0042]
The film peeling apparatus is provided with a dust collector 200 for collecting dust generated by the relative movement of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 with respect to the substrate P. With reference to FIGS. 1, 3, 4, 14, and 15, the dust collector 200 is configured such that one end is on the downstream side in the central region in the lateral direction of the upper clamp member 11 of the clamp means 10 described above. A plurality of suction holes 202 arranged to open to the pressure roller 134 side, and one end of each of the suction holes 202 arranged in the lateral central region of the lower clamp member 12 are arranged to open to the lower pressure roller 152 side, which is the downstream side. A plurality of suction holes 204 are provided.
[0043]
An upper duct 206 is disposed on the upstream side in the lateral central region of the upper clamp member 11. The upper duct 206 is disposed so that the peripheral edge of one end thereof is in close contact with the upstream vertical surface in the central region of the upper clamp member 11. The other upstream end of each suction hole 202 formed in the upper clamp member 11 opens into the upper duct 206. A lower duct 208 is disposed on the upstream side in the lateral central region of the lower clamp member 12. The lower duct 208 is disposed so that the peripheral edge of one end thereof is in close contact with the upstream vertical surface in the central region of the lower clamp member 12. The other upstream end of each suction hole 204 formed in the lower clamp member 12 opens into the lower duct 208. In a state where the upper and lower clamp members 11 and 12 are positioned at the clamp position and the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 sandwich the substrate P vertically, one end of each of the suction holes 202 and 204 is approximately Positioned to oppose the upper and lower pressure rollers 134 and 152, the overall length of each lateral row of suction holes 202 and 204 extends substantially over the entire range of lateral movement of the upper and lower pressure rollers 134 and 152. It is prescribed to do.
[0044]
The dust collector 200 includes dust collecting means, in the embodiment, a strainer 210 and a suction pump (not shown) that is a suction source. More specifically, another stationary frame body 212 is disposed on the downstream side of the peeling means 30 of the film peeling apparatus. Substrate transport means 214 on the exit side is disposed at the upper end of the stationary frame 212 assembled in a substantially rectangular parallelepiped shape by a plurality of frame members. The substrate transport unit 214 is provided for transporting the substrate P, which is not completely present after the film is completely peeled off by the peeling unit 30, to another device (not shown), and a plurality of transport rollers 216 similar to the transport roller 2 are provided. It is arranged. The strainer 210 and the dust collection box 218 are disposed in the stationary frame 212 below the substrate transport unit 214. The strainer 210 incorporates a wire mesh having an appropriate mesh that is a dust collecting means. A suction pump (not shown) is disposed in the dust collection box 218.
[0045]
The other end of each of the upper and lower ducts 206 and 208 and one end of the strainer 210 are connected by suction pipes 220 and 222 which are suction passage means, respectively. The other end of the strainer 210 and the dust collection box 218 are connected by suction pipes 224 and 226 which are suction passage means, respectively. When the suction pump is operated, the dust generated by the relative movement of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 with respect to the substrate P is absorbed by the suction holes 202 and 204 of the upper and lower clamp members 11 and 12, the upper and lower ducts 206 and 208, the suction pipes 220 and 222, and the strainer 210 are collected into the dust collection box 218. As described above, the upper and lower clamp members 11 and 12 can be moved up and down between the clamp position and the non-clamp position, but the upper and lower clamp members 11 and 12 fixed to the upper and lower clamp members 11 and 12, respectively. Ducts 206 and 208 are also raised and lowered with upper and lower clamp members 11 and 12. Since suction pipes 220 and 222 are connected to the other ends of the upper and lower ducts 206 and 208, respectively, the connection portions of the suction pipes 220 and 222 with the upper and lower ducts 206 and 208 absorb relative movement. Configured to be able to. Specifically, it is composed of a flexible pipe made of an elastic member, for example, a bellows tube.
[0046]
Next, the effect of the film peeling apparatus provided with the above-described end peeling means 100, the dust collector 200, etc. will be described. The operation of the film peeling apparatus is controlled by a controller (not shown) provided in the film peeling apparatus. 1 to 4, the pinch roller 4 is raised to the non-operation position, and the upper and lower clamp members 11 and 12 are raised and lowered, respectively, and are positioned at the non-clamp position. The upper pressure contact roller unit 104 including the upper pressure contact roller 134 and the lower pressure contact roller unit 108 including the lower pressure contact roller 152 are raised and lowered, respectively, and are positioned at the non-operating position. The upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are positioned at a movement start position that is a central position in the horizontal direction. In the embodiment, the movement start position is the center of the total length (full width) of the four upper and lower press rollers 134 and 152 arranged in series in the lateral direction in the transport path of the substrate P. It is a position that coincides with the center in the horizontal direction.
[0047]
Next, referring to FIGS.FIG.The substrate P carried in from the introduction port (not shown) arranged on the right side in FIG.(Left side in FIG. 9)The tip is brought into contact with the stop plate member 22 (see FIG. 10) that has been transported to the working position in advance and is stopped at the end peeling position. When the sensor (not shown) detects the stopped substrate P, the rotation of the transport roller 2 is stopped. The pinch roller 4 is lowered from the non-operation position to the operation position to press the upper surface of the substrate P downward, and the upper and lower clamp members 11 and 12 are lowered and raised to the clamp positions to press-contact with both surfaces of the substrate P. (See FIG. 12). After the substrate P is thus positioned at the end peeling position, the stop plate member 22 is lowered from the operating position to the non-operating position (see FIG. 2).
[0048]
After the stop plate member 22 is lowered to the non-operating position, the upper pressing roller unit 104 including the upper pressing roller 134 and the lower pressing roller unit 108 including the lower pressing roller 152 are respectively lowered and raised to the operating position. Position. Each of the locking pins 133 (see FIG. 5) of the upper pressure roller unit 104 is fitted and locked in the locking holes 149 of the lower pressure roller unit 108, and the upper and lower pressure roller units 104 and 108 are integrally connected. . Further, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are in pressure contact with one end portion of the substrate P in the lateral center region, that is, both surfaces of the front end portion in the transport direction in the central region. One end of the film in the lateral central region, that is, both surfaces of the front end in the transport direction in the central region are pressed by upper and lower press rollers 134 and 152. When the electric motor M is driven, the cam roller 168(See Figure 6)Revolves around the drive shaft 163 and reciprocates while rotating along the driven groove 160 of the upper unit substrate 122 on which the upper pressure roller unit 104 is supported. The upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are reciprocated at a relatively high speed in the lateral direction integrally with the substrate P in a central region in the lateral direction with both surfaces of one end portion of the substrate P being vertically sandwiched by a predetermined pressure. Moved.
[0049]
For example, when the total lateral width of the upper and lower pressing rollers 134 and 152 is about 100 mm and the lateral width of the substrate P is 200 mm to 600 mm, the lateral width of the upper and lower pressing rollers 134 and 152 in the lateral central region of the substrate P is The moving width in the direction (moving width indicated by the symbol X in FIG. 16) can be set to 120 mm to 140 mm, for example (the moving amount in the horizontal direction is 20 mm to 40 mm). The movement width in the horizontal direction of the substrate P is not limited to the above numerical value, but at least the upper and lower pressure contact rollers 134 positioned at both ends in the horizontal direction among the horizontal rows of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152. And 152 are set in the lateral direction of the substrate P within a range that does not separate from the corresponding side edge to the side outward.
[0050]
As described above, in the present invention, the lateral movement means moves the substrate P against the substrate P in a state where the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 sandwich the both surfaces of one end of the substrate P up and down with a predetermined pressure. In the lateral central region in FIG. 2, the total lateral movement distance is such that all of the upper and lower pressure contact rollers are completely separated laterally outward from both side edges of the substrate. Compared with a conventional apparatus having generally 1000 mm), the lateral movement width can be remarkably shortened, and the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 can be reciprocated at a higher speed than the conventional apparatus. Since it can do, it makes it possible to shorten the time which partially peels the one end part of the film of the board | substrate P rather than before.
[0051]
That is, in the conventional apparatus, when the pressure roller is reciprocally moved in the lateral direction, the pressure roller is moved from the lateral outer side at one end of the substrate to the lateral one side edge of the substrate and from the lateral outer side at the other end of the substrate. Since it rides on the other side edge of the substrate in the lateral direction, there is a risk of breakage due to impact, and the moving speed cannot be increased. However, in the present invention, at least the upper and lower pressing rollers 134 and 152 located at both ends in the horizontal direction among the horizontal rows of the upper and lower pressing rollers 134 and 152 correspond to the horizontal direction of the substrate P, respectively. Since it is set within a range in which it does not separate from the side edge to the side outward, the above ride is completely eliminated. As a result, the moving speed can be increased with a lateral movement width shorter than that of the prior art, so that the time can be shortened as compared with the prior art.
[0052]
When the lateral movement width of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 is set within the lateral central region of the substrate P, that is, within the narrow lateral range of the central portion with respect to the entire width of the substrate P. Since the moving width can be made as short as possible, the time can be shortened by increasing the number of times of reciprocating movement in the lateral direction compared to the conventional apparatus without increasing the speed as compared with the conventional apparatus. It becomes possible. Of course, when the speed is increased as compared with the conventional apparatus, the time can be further shortened. In addition, according to the present invention, the lateral movement width can be greatly reduced as compared with the prior art, so that slight scratches attached to the surface of one end of the substrate P can be greatly reduced and both sides of the substrate P can be reduced. One end of the film of the substrate P can be partially peeled without damaging the edge. Further, there is no possibility that the thin substrate P is bent by the edge peeling process.
[0053]
In the end peeling means 100, the air cylinder mechanism 118 is also moved at a predetermined timing while the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are moving in the lateral direction at a relatively high speed.(See Figure 5)Is operated to move the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 from the predetermined position on the downstream side to the predetermined position on the upstream side, and by stopping the operation of the air cylinder mechanism 118, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are determined on the upstream side. Each position can be moved from the position to a predetermined position on the downstream side. The amount of movement in the transport direction (the amount of movement indicated by symbol Y in FIG. 16) is not limited to this, but may be a minute width of about 1 mm to 2 mm, for example. In this way, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are moved simultaneously in both the lateral direction and the transport direction by the cooperation of the upper lateral direction moving means and the transport direction moving means described above, so that the edge of the film can be obtained. The partial peeling effect can be further improved. According to the experiment by the present inventor, it was confirmed that the time required for the end peeling process for one substrate P can be shortened by about 1 second as compared with the conventional apparatus.
[0054]
Note that knurled grooves extending in the axial direction are formed on the outer peripheral surfaces of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 over the entire circumference, or some axes of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are When used in combination with means such as inclining with respect to the center line extending in the transport direction F through the center in the horizontal direction when viewed from the plane (see FIGS. 16 and 17), the above-described end peeling effect is further improved. To contribute.
[0055]
In the film peeling apparatus according to the present invention, the dust collector 200 is activated simultaneously with the film edge peeling process by the edge peeling means 100. 2 to 4, 14, and 15, the suction pump (not shown) of the dust collector 200 is operated immediately before or simultaneously with the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 being reciprocated in the lateral direction. Dust generated by the relative movement of the upper and lower pressing rollers 134 and 152 with respect to the substrate P is generated by suction holes 202 and 204 of the upper and lower clamp members 11 and 12, upper and lower ducts 206 and 208, suction pipes 220 and 222, And it is collect | recovered by the dust collection box 218 through the strainer 210. FIG.
[0056]
Since the lateral movement range of the upper and lower pressure rollers 134 and 152 with respect to the substrate P is the central region in the lateral direction as described above, it reciprocates over a long distance exceeding the lateral width of the substrate P on both sides. It is significantly shortened compared with the moving conventional apparatus. As a result, in the state where the upper and lower clamp members 11 and 12 are positioned at the clamp position and the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 sandwich the substrate P vertically, one end of each of the suction holes 202 and 204 is respectively Approximately the entire length of the lateral row of each of the suction holes 202 and 204 is substantially the total lateral movement of the upper and lower pressure rollers 134 and 152. Even if it is configured to extend over the range, the dust collection effect can be obtained only by concentrating each of the suction holes 202 and 204 in the central region in the lateral direction of the substrate P as a whole. As a result, it is possible to collect dust generated at the time of an operation of partially peeling one end of the film of the substrate P in a compact and low cost.
[0057]
Referring to FIGS. 1 to 4 again, the operation of partially peeling one end of the film on the substrate P by the edge peeling means 100 is performed for a predetermined time (for example, 2 seconds), and then the driving of the electric motor M is stopped. To do. Subsequently, each of the upper and lower pressure contact roller units 104 and 108 is raised and lowered so that each of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 is separated from both surfaces of the substrate P. Further, the upper and lower clamp members 11 and 12 are raised and lowered from the clamp position to the non-clamp position. The auxiliary conveyance roller 25 is raised to the operating position. The upper and lower pressure contact roller positioning units return the upper and lower pressure contact roller units 104 and 108 to the movement start positions.
[0058]
With the pinch roller 4 kept in the operating position, the entrance-side transport roller 2 is re-driven to transport the substrate P from which one end of the film has been partially peeled toward the peeling means 30. After a predetermined time has elapsed since the sensor S disposed on the upstream side of the peeling means 30 has detected the leading edge of the substrate P, high-pressure air is ejected by the upper and lower air ejecting means 30C and 30D, and one end on both surfaces of the substrate P. Each partially peeled film is further peeled from the part. The film peeled from the upper surface of the substrate P is sandwiched by the upper belt mechanism 30A and conveyed upward, and is discharged into a film collection box (not shown). Further, the film peeled from the lower surface of the substrate P is sandwiched by the lower belt mechanism 30B and conveyed downward, and is discharged to a film collection box (not shown). The substrate P from which the film has been completely peeled is transported toward the substrate transport means 214 (see FIG. 14) on the exit side. When the sensor S detects the passage of the rear end of the substrate P, the pinch roller 4 is raised to the non-operation position. The auxiliary conveyance roller 25 is lowered to the retracted position. The stop plate member 22 of the substrate stop means 20 is raised to the operating position. In addition, after a predetermined time has elapsed since a sensor (not shown) disposed downstream of the upper air injection means 30C detects the tip of the substrate P, high-pressure air injection by the upper and lower air injection means 30C and 30D is stopped. . When the substrate P is transferred to the substrate transfer means 214 on the outlet side, one cycle of the film peeling operation by the film peeling apparatus is completed. A film peeling apparatus peels a film continuously from the some board | substrate P by repeating the above peeling cycle.
[0059]
In the above-described embodiment of the film peeling apparatus according to the present invention, since the lateral movement means and the conveyance direction movement means are provided, the lateral movement means and the conveyance direction movement means are operated independently of each other. The lower pressure contact rollers 134 and 152 can be moved as independent movements straight in the lateral direction or in the conveying direction. Further, by cooperating the lateral movement means and the conveyance direction movement means (in other words, simultaneously operating), the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are conveyed toward one or the other in the horizontal direction. Since one end of the film can be moved from the substrate P partially, in a short time, since it can be moved from the downstream to the upstream of the direction or from the upstream to the downstream at the same time at the same speed or at different speeds. Enables effective peeling.
[0060]
According to the present invention, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 can be moved in various patterns by using the lateral direction moving means and the transport direction moving means. Hereinafter, with reference to FIGS. 16 to 24, some embodiments of the movement patterns of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 in the lateral direction and the conveyance direction will be introduced. As described above, the movement start positions of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are not limited to the center position in the horizontal direction on the substrate P as in the above-described embodiment. The position can be a movement start position. 16 to 24, the left-right direction indicates the lateral direction of the substrate P, the upper side indicates the downstream side in the transport direction of the substrate P, and the lower side indicates the upstream side in the transport direction of the substrate P. The arrows indicate the moving directions of the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152. As described above, the symbol X indicates the width of movement of the upper and lower pressing rollers 134 and 152 in the lateral direction (left and right direction), and the symbol Y indicates the conveying direction of the upper and lower pressing rollers 134 and 152. Indicates the amount of movement. When the lateral movement means and the conveyance direction movement means are operated together (simultaneously operated), the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are directed to one or the other in the lateral direction as viewed from the plane and in the conveyance direction. Is moved from the downstream side to the upstream side or from the upstream side to the downstream side at an angle substantially straight (see FIGS. 17, 19, 22 and 23) or in a substantially curved shape (see FIG. 24). 16 and 17 showing the basic movement pattern, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are shown. However, in FIGS. 18 to 24, the illustration is omitted for the sake of clarity. It is.
[0061]
In the movement pattern shown in FIG. 16 (basic pattern 1), the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 linearly move between the lateral left and right ends (left and right moving ends), and at the left and right ends, upstream in the transport direction. Move linearly to the end or to the downstream end (upstream moving end or downstream moving end).
[0062]
In the movement pattern (basic pattern 2) shown in FIG. 17, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 linearly move between the left and right ends in the horizontal direction, and at the left and right ends, the upstream end in the transport direction and the left in the horizontal direction. Moving diagonally and straight toward the end, or toward the downstream end in the transport direction and the left end in the lateral direction, respectively.
[0063]
In the movement pattern shown in FIG. 18, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are at the upstream end in the transport direction or the downstream end in the transport direction at the left and right ends and in the middle of linear movement between the left and right ends in the horizontal direction. Move toward. The lateral movement at the upstream end or the downstream end is performed on a common straight line extending in the lateral direction. This movement pattern is a modification of the movement pattern (basic pattern 1) shown in FIG.
[0064]
In the movement pattern shown in FIG. 19, the upper and lower pressure rollers 134 and 152 linearly move between the center between the left and right ends in the horizontal direction and between the left and right ends. It moves diagonally and straightly toward the center between the left and right ends, or toward the center between the downstream end in the transport direction and the left and right ends in the lateral direction. This movement pattern is a modification of the movement pattern (basic pattern 2) shown in FIG.
[0065]
In the movement pattern shown in FIG. 20, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 move a plurality of times between the left and right ends in the horizontal direction, and move linearly at the left and right ends to the upstream end in the transport direction or to the downstream end. To do. This movement pattern is a modification of the movement pattern (basic pattern 1) shown in FIG.
[0066]
In the movement pattern shown in FIG. 21, the upper and lower pressure rollers 134 and 152 move a plurality of times between the left and right ends in the horizontal direction, toward the upstream end in the conveyance direction and the right end in the horizontal direction at the left and right ends. Or, each of them moves straightly and obliquely toward the downstream end in the transport direction and the right end in the lateral direction. This movement pattern is a modification of the movement pattern (basic pattern 2) shown in FIG.
[0067]
In the movement pattern shown in FIG. 22, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are moved in a straight line between the left and right ends in the lateral direction, toward the upstream end in the transport direction and to the right in the lateral direction, and in the transport direction. Move toward the downstream end and the right in the lateral direction, or move toward the downstream end in the transport direction and the left in the lateral direction, and toward the upstream end in the transport direction and the left in the lateral direction. At the left and right ends in the horizontal direction, it moves linearly to the downstream end, or moves diagonally straight toward the downstream end in the transport direction and to the left in the horizontal direction. This movement pattern is a combination of the movement pattern (basic pattern 1) shown in FIG. 16 and the movement pattern (basic pattern 2) shown in FIG.
[0068]
In the movement pattern shown in FIG. 23, when the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 move between the lateral left and right ends between the upstream and downstream ends in the transport direction, the downstream ends in the transport direction. To the center between the left and right ends at the end or to the center between the left and right ends at the upstream end in the transport direction, respectively, and then move diagonally straight again and again move diagonally straight to reach either the left or right end in the horizontal direction. .
[0069]
In the movement pattern shown in FIG. 24, when the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 move between the lateral left and right ends between the upstream and downstream ends in the transport direction, the downstream end in the transport direction. To the center between the left and right ends at the center or to the center between the left and right ends at the upstream end in the transport direction, and then moves again in a curved shape to reach either the left or right end in the horizontal direction.
[0070]
In the above embodiment of the present invention, the locking pin 133 constituting the connecting means.(See Figure 5)Each of these is disposed in the support frame 130 of the upper pressure contact roller unit 104, and each of the locking holes 149 constituting the connecting means is disposed in the support frame 148 of the lower pressure contact roller unit 108. There are other embodiments in which these are arranged in reverse. In the above embodiment, the upper clamp member 11 also has a suction hole 202.(See Figs. 3 and 4)The lower clamp member 12 is formed with a suction hole 204, but other embodiments in which a suction hole is formed only in the upper clamp member 11 or other suction holes are formed in the lower clamp member 12 only. Embodiments are also conceivable.
[0071]
In the above embodiment, the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 sandwich the one end portion of the substrate P in the vertical direction, and the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 are laterally moved in the central region in the lateral direction with respect to the substrate P. An upper horizontal movement means is disposed as the horizontal movement means to be moved to the right side. The upper lateral movement means is configured to move the upper pressure roller unit 104 in the lateral direction relative to the substrate P together with the lower pressure roller unit 108 relatively connected by the coupling means. However, the lateral movement means is not limited to the upper lateral movement means, and may be a lower lateral movement means having substantially the same configuration as the upper lateral movement means.
[0072]
That is, the lower lateral movement means moves the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 in the lateral direction with respect to the substrate P with the upper and lower pressure contact rollers 134 and 152 sandwiching one end of the substrate P in the vertical direction. The lower pressure roller unit 108 is moved laterally with respect to the substrate P integrally with the upper pressure roller unit 104 relatively connected by the connecting means so as to move in the lateral direction in the central region. More specifically, the driven groove 160 described above.(See Figure 6)The channel member 158 provided with the lower unit substrate 142(See Figure 5)By arranging the electric motor M, the rotating body 164, the cam roller 168, and the like on the lower main support frame body 106, the lower lateral movement means can be configured. In short, the lateral movement means acts on the upper unit substrate 122 or the lower unit substrate 142 to cause the upper unit substrate 122 or the lower unit substrate 142 to move laterally with respect to the upper main support frame 102 or the lower main support frame 106. What is necessary is just to comprise so that it can be moved to a direction. The upper lateral direction moving means or the lower lateral direction moving means, which are lateral direction moving means, are constituted by the electric motor M or the like, but there are other embodiments constituted by other actuators, for example, air cylinder mechanisms. Furthermore, there are other embodiments in which the lateral movement means comprises an upper lateral movement means and a lower lateral movement means that can be operated independently of each other. In this embodiment, the connecting means for detachably connecting the upper pressure roller unit 104 and the lower pressure roller unit 108 is not provided.
[0073]
【The invention's effect】
According to the film peeling apparatus of the present invention, it is possible to shorten the time for partially peeling the one end portion of the film of the substrate as compared with the prior art. In addition, the scratch on the surface of one end of the substrate can be greatly reduced, and one end of the film of the substrate can be partially peeled without damaging both side edges of the substrate. Furthermore, dust generated during the film peeling operation can be collected in a compact and low cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view schematically showing a main part of a configuration of an embodiment of a film peeling apparatus configured according to the present invention.
FIG. 2 is a front view of the edge peeling means provided in the film peeling apparatus shown in FIG. 1 as viewed from the upstream side in the substrate transport direction, with a part of the configuration omitted.
3 is a rear view of the clamping means provided in the film peeling apparatus shown in FIG. 1 as viewed from the downstream side in the substrate transport direction. FIG.
4 is a cross-sectional view of the main part of the clamping means shown in FIG. 3, and is a cross-sectional view of the main part viewed from the right in FIG.
FIG. 5 is a perspective view showing a main part of an end peeling means provided in the film peeling apparatus shown in FIG. 1, with a part of the configuration omitted and a part thereof in cross section.
6 (a) shows a structure provided with an upper lateral movement means that is omitted in FIG. 5, in the structure on the upper pressure roller unit side of the main part of the end peeling means shown in FIG. It is a perspective view, Comprising: The perspective view which shows a part in cross section.
(B) The top view which shows roughly the state whose rotation angle position of the cam roller with which the upper horizontal direction moving means shown to Fig.6 (a) is equipped is 0 degree.
(C) The top view which shows roughly the state whose rotation angle position of the cam roller with which the upper horizontal direction moving means shown to Fig.6 (a) is provided is 180 degrees.
7A is a perspective view showing a state in which the rotational angle position of the cam roller provided in the upper lateral movement means is 90 ° in the structure shown in FIG. FIG.
(B) The top view which shows roughly the rotation angle position (90 degrees) of the cam roller shown to Fig.7 (a).
8A is a perspective view showing a state in which the rotational angle position of the cam roller provided in the upper lateral movement means is 270 ° in the structure shown in FIG. FIG.
(B) The top view which shows roughly the rotation angle position (270 degrees) of the cam roller shown to Fig.8 (a).
9 is a side view showing another operation mode of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
10 is a front view of the end peeling means provided in the film peeling apparatus shown in FIG. 9 as viewed from the upstream side in the substrate transport direction, with a part of the configuration omitted. FIG.
11 is a rear view of the clamping means provided in the film peeling apparatus shown in FIG. 9 as viewed from the downstream side in the substrate transport direction.
12 is a cross-sectional view of main parts of the clamping means shown in FIG. 11, and is a cross-sectional view of main parts viewed from the right in FIG.
13 is a perspective view showing another operation mode of the end peeling means shown in FIG. 5. FIG.
14 is a side view showing a main part of a dust collector provided in the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
15 is a rear view of the main part of the dust collector shown in FIG. 14 as viewed from the downstream side in the conveyance direction of the substrate P. FIG.
16 is a plan view schematically showing an embodiment of a movement pattern of a pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
17 is a plan view schematically showing another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
18 is a plan view schematically showing still another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
19 is a plan view schematically showing still another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
20 is a plan view schematically showing still another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
21 is a plan view schematically showing still another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
22 is a plan view schematically showing still another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
23 is a plan view schematically showing still another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
24 is a plan view schematically showing still another embodiment of the movement pattern of the pressure contact roller provided in the end peeling means of the film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
[Explanation of symbols]
100 End peeling device
102 Upper main support frame
104 Upper pressure roller unit
106 Lower main support frame
108 Lower pressure roller unit
110 Upper support plate member
122 Upper unit board
134 Upper pressure roller
140 Lower support plate member
142 Lower unit board
152 Under pressure contact roller
160 Follower groove
168 Cam Roller
200 Dust collector
M Electric motor
P substrate

Claims (14)

片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えているフィルム剥離装置において、
複数の圧接ローラは、基板の横方向における中央領域内にのみ配設され、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させる、ことを特徴とするフィルム剥離装置。It has an edge peeling means that acts on a substrate having a protective film attached on one side or both sides, and partially peels one end of the film from the substrate. The edge peeling means moves the one end of the substrate up and down. A plurality of pressure rollers arranged so as to be sandwiched in the direction and movably in the lateral direction of the substrate, and the pressure roller sandwiching one end portion of the substrate in the vertical direction, In the film peeling apparatus provided with a lateral movement means for moving in the lateral direction,
The plurality of press rollers are disposed only in the central region in the lateral direction of the substrate,
The lateral movement means moves the pressure roller in the lateral direction in the lateral central region with respect to the substrate. 片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、端部剥離手段は、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えているフィルム剥離装置において、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させ、
圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、
端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置。 It has an edge peeling means that acts on a substrate having a protective film attached on one side or both sides, and partially peels one end of the film from the substrate. The edge peeling means moves the one end of the substrate up and down. A plurality of pressure rollers arranged so as to be sandwiched in the direction and movably in the lateral direction of the substrate, and the pressure roller sandwiching one end portion of the substrate in the vertical direction, In the film peeling apparatus provided with a lateral movement means for moving in the lateral direction,
The lateral movement means moves the pressure roller in the lateral direction in the lateral central region with respect to the substrate,
The pressure roller is disposed so as to be movable in the substrate conveyance direction,
End peeling means, a pressure roller, and a conveyance direction moving means for moving the transport direction of the substrate in a state sandwiching the end portion of the substrate in the vertical direction, the film peeling apparatus characterized by. 横方向移動手段及び搬送方向移動手段の協働によって圧接ローラを移動させることにより、圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、請求項２記載のフィルム剥離装置。By moving the pressure roller by the cooperation of the lateral direction moving means and the conveyance direction moving means, the pressure roller moves toward one or the other side in the lateral direction and from the downstream to the upstream in the conveyance direction or from the upstream. The film peeling apparatus according to claim 2, wherein the film peeling apparatus is moved toward the downstream at the same time. 片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えたフィルム剥離装置において、
端部剥離手段は、複数の上圧接ローラを備えかつ上昇降手段により昇降可能に配設されると共に基板の横方向に移動可能に配設された上圧接ローラユニットと、複数の下圧接ローラを備えかつ下昇降手段により昇降可能に配設されると共に該横方向に移動可能に配設された下圧接ローラユニットと、上及び下圧接ローラユニットが、上及び下昇降手段によりそれぞれ下降及び上昇させられて上及び下圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で一体に移動しうるよう上下方向に離脱自在に連結する連結手段と、上及び下圧接ローラが、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させられるよう、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを、基板に対し該横方向に移動させる横方向移動手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置。In a film peeling apparatus provided with an edge peeling means that acts on a substrate having a protective film attached on one side or both sides, and partially peels one end of the film from the substrate.
The end peeling means includes an upper pressure roller unit that includes a plurality of upper pressure contact rollers and is disposed so as to be moved up and down by the upper lifting means and is movable in the lateral direction of the substrate, and a plurality of lower pressure contact rollers. The lower pressure contact roller unit and the upper and lower pressure contact roller units arranged so as to be movable up and down by the lower lifting means and movable in the lateral direction are lowered and raised by the upper and lower lifting means, respectively. Connecting means for detachably connecting the upper and lower pressure contact rollers in the vertical direction so that the upper and lower pressure contact rollers can move integrally with the one end of the substrate sandwiched in the vertical direction, and the upper and lower pressure contact rollers connect the one end of the substrate. The upper and lower pressure contact roller units connected by the connecting means are moved in the lateral direction with respect to the substrate so as to be moved in the lateral direction in the central region in the lateral direction with respect to the substrate while being sandwiched in the vertical direction. And a transverse moving means which, that film peeling apparatus according to claim. 上及び下圧接ローラユニットはそれぞれ基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、上圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる上搬送方向移動手段と、下圧接ローラユニットを基板の搬送方向に移動させる下搬送方向移動手段とを備えている、請求項４記載のフィルム剥離装置。Each of the upper and lower pressure contact roller units is disposed so as to be movable in the substrate transport direction. The end peeling means includes an upper transport direction moving means for moving the upper pressure contact roller unit in the substrate transport direction, and a lower pressure contact roller unit. The film peeling apparatus of Claim 4 provided with the lower conveyance direction moving means to move to the conveyance direction of a board | substrate. 横方向移動手段と、上及び下搬送方向移動手段との協働によって、連結手段により連結された上及び下圧接ローラユニットを一体に移動させることにより、上及び下圧接ローラは、該横方向の片方又は他方に向って、かつ該搬送方向の下流から上流へ向って又は上流から下流に向って、同時に移動させられる、請求項５記載のフィルム剥離装置。By cooperating the lateral movement means and the upper and lower conveyance direction movement means, the upper and lower pressure contact roller units connected by the connection means are moved together so that the upper and lower pressure contact rollers are moved in the lateral direction. The film peeling apparatus according to claim 5, wherein the film peeling apparatus is moved simultaneously toward one or the other and from the downstream to the upstream in the transport direction or from the upstream to the downstream. 端部剥離手段は、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された上主支持枠体と、上主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された上ユニット基板と、上ユニット基板に上昇降手段により昇降可能に支持されかつ、上圧接ローラが該横方向に直列に配設された上圧接ローラユニットと、静止枠体に対し該搬送方向に移動可能に支持された下主支持枠体と、下主支持枠体に対し該横方向に移動可能に支持された下ユニット基板と、下ユニット基板に下昇降手段により昇降可能に支持されかつ、下圧接ローラが該横方向に直列に配設された下圧接ローラユニットとを備え、横方向移動手段は、上主支持枠体と上ユニット基板との間に配設された上横方向移動手段、又は、下主支持枠体と下ユニット基板との間に配設された下横方向移動手段、から構成される、請求項５又は請求項６記載のフィルム剥離装置。The end peeling means includes an upper main support frame supported to be movable in the transport direction with respect to the stationary frame, an upper unit substrate supported to be movable in the lateral direction with respect to the upper main support frame, The upper unit substrate is supported by an upper elevating means so that it can be moved up and down, and the upper pressure contact roller unit is arranged in series in the lateral direction, and is supported so as to be movable in the conveying direction with respect to the stationary frame. A lower main support frame, a lower unit substrate supported so as to be movable in the lateral direction with respect to the lower main support frame, and supported by the lower unit substrate so as to be movable up and down by a lower lifting means; A lower pressure contact roller unit arranged in series in the direction, and the horizontal movement means is an upper horizontal movement means arranged between the upper main support frame and the upper unit substrate, or a lower main support. Lower horizontal movement hand arranged between the frame and the lower unit substrate From configured, film peeling apparatus according to claim 5 or claim 6 wherein. 横方向移動手段は、上又は下ユニット基板に配設されかつ該搬送方向に直線状に水平に延在する従動溝と、上又は下主支持枠体に鉛直軸まわりに回転可能に配設された回転体に支持されると共に従動溝に沿って相対回転しながら移動可能に嵌合されたカムローラと、回転体を回転駆動する駆動源とを備え、上及び下圧接ローラユニットが連結手段により連結された状態で駆動源により回転体が回転駆動されると、カムローラが該鉛直軸まわりに公転しかつ従動溝内を自転しながら相対的に往復移動させられて、上圧接ローラは、上圧接ローラユニット及び上ユニット基板を介して上主支持枠体に対し該横方向に往復移動させられ、下圧接ローラは、下圧接ローラユニット及び下ユニット基板を介して下主支持枠体に対し、上圧接ローラと共に該横方向に往復移動させられる、請求項７記載のフィルム剥離装置。The lateral movement means is disposed on the upper or lower unit substrate and extends in a straight line horizontally in the transport direction, and is rotatably disposed on the upper or lower main support frame around the vertical axis. A cam roller that is supported by the rotating body and is movably fitted while rotating relative to the driven groove, and a drive source that rotationally drives the rotating body. The upper and lower pressure contact roller units are connected by connecting means. When the rotating body is rotationally driven by the drive source in the state of being driven, the cam roller revolves around the vertical axis and is relatively reciprocated while rotating in the driven groove. The lower pressure roller is reciprocated in the lateral direction with respect to the upper main support frame via the unit and the upper unit substrate, and the lower pressure contact roller is pressed against the lower main support frame via the lower pressure contact roller unit and the lower unit substrate. With Laura Laterally it is moved back and forth, film peeling apparatus according to claim 7 wherein. 静止枠体には、上及び下圧接ローラユニットが上及び下昇降手段によりそれぞれ上昇及び下降させられて上及び下圧接ローラが基板の両面に対し上方及び下方に離隔された状態において、上ユニット基板の該横方向両側に作用して上圧接ローラを上圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける上圧接ローラ位置決め手段と、下ユニット基板の該横方向両側に作用して下圧接ローラを下圧接ローラユニットを介して移動開始位置に位置付ける下圧接ローラ位置決め手段とが配設され、上及び下圧接ローラがそれぞれ移動開始位置に位置付けられた状態で、上及び下圧接ローラユニットは連結手段により相互に連結可能となる、請求項７又は請求項８記載のフィルム剥離装置。In the stationary frame, the upper and lower pressure contact roller units are raised and lowered by the upper and lower lifting / lowering means, respectively, and the upper and lower pressure contact rollers are separated upward and downward from both surfaces of the substrate. The upper pressure roller positioning means for positioning the upper pressure roller at the movement start position via the upper pressure roller unit by acting on both lateral sides of the lower unit substrate; The lower pressure contact roller positioning means positioned at the movement start position via the roller unit is disposed. With the upper and lower pressure contact rollers positioned at the movement start position, the upper and lower pressure contact roller units are mutually connected by the connecting means. The film peeling apparatus of Claim 7 or Claim 8 which becomes connectable. 連結手段は、上又は下圧接ローラユニットの一方に鉛直方向に延在するよう配設された係止ピンと、上又は下圧接ローラユニットの他方に鉛直方向に延在するよう配設されて係止ピンに離脱自在に嵌合しうる係止穴とからなる、請求項４〜９のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。The connecting means includes a locking pin arranged to extend in the vertical direction on one of the upper and lower pressure contact roller units, and a locking pin arranged to extend in the vertical direction on the other side of the upper or lower pressure contact roller unit. The film peeling apparatus of any one of Claims 4-9 which consists of a locking hole which can be detachably fitted to a pin. 上搬送方向移動手段は、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、上主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と上主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、上主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、請求項７〜１０のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。The upper transport direction moving means is a spring means disposed between the stationary frame body and the upper main support frame body, and constantly biases the upper main support frame body toward the downstream in the transport direction to determine a predetermined downstream side. A spring means positioned at a position and an actuator disposed between the stationary frame body and the upper main support frame body, wherein the upper main support frame body is directed upstream in the conveying direction against the spring force of the spring means. The film peeling apparatus according to claim 7, further comprising an actuator that can move from a predetermined position on the downstream side to a predetermined position on the upstream side. 下搬送方向移動手段は、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたばね手段であって、下主支持枠体を該搬送方向下流に向けて常時付勢して下流側所定位置に位置付けるばね手段と、静止枠体と下主支持枠体との間に配設されたアクチュエータであって、下主支持枠体をばね手段のばね力に抗して該搬送方向上流に向けて下流側所定位置から上流側所定位置まで移動しうるアクチュエータとを備えている、請求項７〜１１のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。The lower transport direction moving means is a spring means disposed between the stationary frame body and the lower main support frame body, and constantly biases the lower main support frame body toward the downstream in the transport direction so as to be predetermined on the downstream side. A spring means positioned at a position, and an actuator disposed between the stationary frame body and the lower main support frame body, wherein the lower main support frame body is directed upstream in the conveying direction against the spring force of the spring means. The film peeling apparatus of any one of Claims 7-11 provided with the actuator which can move from a downstream predetermined position to an upstream predetermined position. 片面又は両面に保護フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段と、端部剥離位置に停止させられた基板を該位置にクランプするクランプ手段とを備え、端部剥離手段は、クランプ手段に対し、基板の搬送方向下流側に配置されると共に、基板の一端部を上下方向に挟むことができるよう配設されかつ基板の横方向に移動可能に配設された複数の圧接ローラと、圧接ローラが基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で、圧接ローラを基板に対し基板の横方向に移動させる横方向移動手段を備え、クランプ手段は、該横方向に延在する上クランプ部材及び下クランプ部材と、上クランプ部材及び下クランプ部材を、該位置に停止させられた基板の両面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板の両面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に移動させるアクチュエータとを備えているフィルム剥離装置において、
圧接ローラの、基板に対する相対移動により発生する粉塵を回収するための集塵機を備え、
横方向移動手段は、圧接ローラを基板に対し該横方向の中央領域において該横方向に移動させ、集塵機は、上クランプ部材及び／又は下クランプ部材の該横方向の中央領域において一端がそれぞれ圧接ローラ側に開口するよう配設された複数の吸引穴と、吸引穴の各々の他端に吸引通路手段及び集塵手段を介して接続された吸引源とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離装置。An edge peeling means that acts on a substrate having a protective film attached on one or both sides to partially peel one end of the film from the substrate, and a substrate stopped at the edge peeling position at the position. The end peeling means is disposed on the downstream side of the clamping means with respect to the conveyance direction of the substrate, and is disposed so as to sandwich one end portion of the substrate in the vertical direction. A plurality of press rollers arranged so as to be movable in the horizontal direction, and a lateral movement means for moving the press rollers in the horizontal direction of the substrate with respect to the substrate in a state where one end portion of the substrate is vertically sandwiched between the press rollers. The clamp means clamps the upper clamp member and the lower clamp member extending in the lateral direction, and the upper clamp member and the lower clamp member by sandwiching both surfaces of the substrate stopped at the position in the vertical direction. And the lamp position, the in which film peeling apparatus and an actuator for selectively moving into the non-clamping position in which it separates the upper and downward from both sides of the substrate,
Equipped with a dust collector to collect dust generated by relative movement of the pressure roller relative to the substrate,
The lateral movement means moves the pressure roller in the lateral direction in the central region in the lateral direction with respect to the substrate, and the dust collector has one end pressed in the lateral central region of the upper clamp member and / or the lower clamp member, respectively. A plurality of suction holes arranged to open to the roller side, and a suction source connected to the other end of each suction hole via suction passage means and dust collection means Film peeling device. 圧接ローラは基板の搬送方向に移動可能に配設され、端部剥離手段は、圧接ローラを、基板の一端部を上下方向に挟んだ状態で基板の搬送方向に移動させる搬送方向移動手段を備えている、請求項１３記載のフィルム剥離装置。The pressure roller is disposed so as to be movable in the substrate conveyance direction, and the end peeling means includes a conveyance direction movement means for moving the pressure roller in the substrate conveyance direction with one end of the substrate sandwiched in the vertical direction. The film peeling apparatus according to claim 13.
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