JP4107522B2 - Ozone supply device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば水処理施設において、オゾン消費物体としての汚水にオゾンを供給して汚水中の有機物や細菌を浄化するためなどに使用されるオゾン供給装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図66は例えば特開昭52−3595号公報に示された従来のオゾン供給装置を示す構成図である。このオゾン供給装置は、オゾンを一時的に貯蔵し、供給する装置である。図において、1は酸素含有ガス中で放電を行いオゾン化酸素を発生するオゾン発生器、2は循環路L1を介してオゾン発生器1に酸素含有ガスを供給する酸素供給源、3は循環路L1に設けられている循環ブロアであり、この循環ブロア3は、酸素供給源2から供給された酸素含有ガスを循環路L1内で循環させる。
【0003】
4は循環路L1に設けられ、オゾンを一時的に貯留する吸着塔4であり、この吸着塔4は、吸着剤が充填された内筒と、熱媒体が充填された外筒とを組み合わせた二重筒構造を有している。また、吸着剤としては、一般にシリカゲルが使用され、熱媒体としてはエチレングリコールやアルコール類等が使用される。
【0004】
5は循環路L2を介して吸着塔4に接続され、循環路L2を循環する冷凍ガスを冷却する冷凍機(冷熱源)、6は循環路L3を介して吸着塔4に接続され、循環路L3を循環する加熱剤(加熱媒体)を加熱する加熱源、7は吸着塔4に接続されている水流エジェクタであり、この水流エジェクタ7は、吸着塔4に一時的に貯留されたオゾン化酸素からオゾンを減圧吸引して取り出し、水中に分解して溶解させる。また、水流エジェクタ7を通過したオゾン含有水は、オゾン消費物体(図示せず)へ送られる。
【0005】
8−1、8−2は循環路L2の吸着塔4の上流側と下流側とに設けられ、吸着塔4への冷凍ガスの供給制御を行うバルブ、8−3は吸着塔4の吐出側と循環ブロア3の吸入側との間に設けられれているバルブ、8−4はオゾン発生器1の吐出側と吸着塔4の吸入側との間に設けられているバルブ、8−5、8−7は循環路L3の加熱源5の上流側と下流側とに設けられ、吸着塔4への加熱剤の供給制御を行うバルブである。
【0006】
次に、従来装置の動作について説明する。動作には、オゾンの吸着動作及び回収動作の二動作があるが、最初に吸着動作について説明する。吸着動作時には、バルブ8−1,8−2,8−3,8−4が開かれ、バルブ8−5,8−6,8−7は閉じられている。この状態で、循環路L1には酸素供給源2から酸素含有ガスが供給され、系内の圧力が常時一定圧力(1.5kg/cm2)に維持されている。循環ブロア3により循環路L1内を循環する酸素含有ガスは、オゾン発生器1の放電空隙中を通過する際に、無声放電により酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン化酸素となる。
【0007】
この後、オゾン化酸素は、循環路L1に沿って吸着塔4へ搬送される。吸着塔4では、冷凍機5からの冷凍ガスにより−30℃以下に冷却された吸着剤により、オゾンが選択的に吸着される。吸着塔4を通過した酸素含有ガスは、バルブ8−3を介して循環ブロア3に返送される。また、オゾンとして消費(吸着)された分の酸素が、酸素供給源2により補充される。
【0008】
吸着剤のオゾン吸着量は、吸着剤の温度により大きく変化する。即ち、オゾン吸着量は、吸着剤の温度を低下させると増加し、逆に温度を上昇させると減少する。従って、オゾンを吸着させるときには吸着剤を冷却し、オゾンを回収するときは吸着剤の温度を上昇させる。
【0009】
このような吸着動作により、オゾンが吸着剤に飽和吸着量近くまで吸着されると、回収動作へと移行する。回収動作では、オゾン発生器1、循環ブロア3及び冷凍機5の稼動が停止され、加熱源6、水流エジェクタ7が稼動される。また、バルブ8−1,8−2,8−3,8−4が閉じられ、バルブ8−5,8−6,8−7が開放される。これにより、加熱源6からの加熱剤が吸着塔4内に送られ、吸着剤が加熱されて、吸着剤のオゾン吸着力が低下する。
【0010】
このため、吸着剤に吸着されていたオゾンは、水流エジェクタ7内に一気に減圧吸引され、そこで水中に分散されて溶解し、オゾン含有水としてオゾン消費物体に送られる。このように、オゾンを減圧吸引すると、吸着塔4内の到達圧力は約100Torrとなる。なお、回収動作が終了すると、再び吸着動作へと移行され、連続的に運転が繰り返される。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように構成された従来のオゾン供給装置においては、回収開始時に最も多くのオゾンが水に注入され、時間経過とともにオゾン注入量が減少するため、オゾン消費物体に対して一定量のオゾンを連続的に供給することができず、安定したオゾン処理が行えないという問題点があった。また、吸着剤は、吸着動作時に冷却され、回収動作時には加熱されるため、オゾン貯蔵時に消費する電力が大きくなるという問題点もあった。
【0012】
この発明は、上記のような問題点を解決することを課題としてなされたものであり、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができ、消費電力の低減を図ることができるオゾン供給装置を得ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、この吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、この酸素ガス発生装置から吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及びオゾン回収時に、オゾン計測器及びオゾンガス流量調節装置からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及びガス温度調節器を制御するオゾン量制御装置を備えたものである。
【0015】
また、オゾン回収時に、オゾン消費物体にオゾンを安定的に溶解させるためのガスをオゾン消費物体に供給するためのガス供給装置、及びオゾン量制御装置により制御され、ガス供給装置からオゾン消費物体に供給されるガスの流量を調節するガス流量調節装置を備えたものである。
【0016】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、この吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、この酸素ガス発生装置から吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、オゾン含有ガスをオゾン消費物体に運ぶための媒体ガスを作り出す媒体ガス製造機、オゾン含有ガスに混合される媒体ガスの流量を調節する媒体ガス流量調節装置、オゾン含有ガスと媒体ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及びオゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び媒体ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置を備えたものである。
【0017】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、この吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、この酸素ガス発生装置から吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、オゾン含有ガスをオゾン消費物体に運ぶための媒体ガスを作り出す媒体ガス製造機、オゾン含有ガスに混合される媒体ガスの流量を調節する媒体ガス流量調節装置、オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、オゾン回収時に、オゾン計測器及びオゾン流量調節装置からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置、及びオゾン回収時に、オゾン流量調節装置からの情報に応じて、媒体ガス流量調節装置を制御する媒体ガス流量制御装置を備えたものである。
【0020】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、この吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、この酸素ガス発生装置から吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、オゾン含有ガスをオゾン消費物体に運ぶための媒体ガスを作り出す媒体ガス製造機、オゾン含有ガスと媒体ガスとが混合されたオゾン混合ガスの流量を一定に維持する流量維持手段、オゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及びオゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾン取出手段を制御するオゾン濃度制御装置を備えたものである。
【0022】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、圧力制御されたガスを作り出す圧力制御ガス製造機、吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、オゾン含有ガスと圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、オゾン含有ガスと圧力制御ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、圧力制御ガス製造機とオゾン計測器との間にガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、オゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置、及びオゾン回収時に、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置を備えたものである。
【0023】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、圧力制御されたガスを作り出す圧力制御ガス製造機、吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、オゾン含有ガスと圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、圧力制御ガス製造機とオゾン消費物体との間にガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、オゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置、及びオゾン回収時に、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置を備えたものである。
【0024】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、圧力制御されたガスを作り出す圧力制御ガス製造機、吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、オゾン含有ガスと圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、酸素ガス発生装置から吸着塔への酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、オゾン含有ガスと圧力制御ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、圧力制御ガス製造機とオゾン計測器との間にガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、オゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置、及びオゾン回収時に、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置を備えたものである。
【0025】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成するオゾン発生器、このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、圧力制御されたガスを作り出す圧力制御ガス製造機、吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、オゾン含有ガスと圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、酸素ガス発生装置から吸着塔への酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、圧力制御ガス製造機とオゾン計測器との間にガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、オゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置、及びオゾン回収時に、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置を備えたものである。
【0029】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成する第1オゾン発生器、この第1オゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、この吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、吸着塔に接続されている酸素ガス発生装置、この酸素ガス発生装置と吸着塔との間に設けられ、酸素ガス発生装置から供給された酸素ガスによりオゾンガスを発生する第2オゾン発生器、酸素ガス発生装置から第2オゾン発生器に供給される酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及びオゾン回収時に、オゾン計測器及びオゾンガス流量調節装置からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置、第2オゾン発生器及び酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置を備えたものである。
【0030】
この発明に係るオゾン供給装置は、酸素含有ガスからオゾンを生成する第1オゾン発生器、この第1オゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、酸素を含有する酸素含有圧力制御ガスを作り出す酸素含有圧力制御ガス製造機、この酸素含有圧力制御ガス製造機に接続され、酸素含有圧力制御ガスをオゾン化する第2オゾン発生器、吸着塔に接続され、吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、オゾン含有ガスと第2オゾン発生器を通過したオゾン化圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、吸着塔に接続され、吸着塔からのオゾン回収時に吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、酸素ガス発生装置から吸着塔への酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、オゾン含有ガスとオゾン化圧力制御ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、第2オゾン発生器とオゾン計測器との間に上記ガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、ガスエジェクタに供給されるオゾン化圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、バイパス配管を流れるオゾン化圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、オゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置、圧力制御ガス流量調節装置及び酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置、及びオゾン回収時に、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置を備えたものである。
【0031】
また、第1及び第2のオゾン発生器として、共通のオゾン発生器を使用したものである。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図について説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、1は酸素含有ガス中で放電を行いオゾン化酸素を発生するオゾン発生器、2は循環路L1を介してオゾン発生器1に酸素含有ガスを供給する酸素供給源、3は循環路L1に設けられている循環ブロアであり、この循環ブロア3は、酸素供給源2から供給された酸素含有ガスを循環路L1内で循環させる。
【0033】
4は循環路L1に設けられ、オゾンを一時的に貯留する吸着塔4であり、この吸着塔4は、吸着剤が充填された内筒と、熱媒体が充填された外筒とを組み合わせた二重筒構造を有している。また、吸着剤としては、オゾンと接触したときの分解率が低いシリカゲル、又は活性アルミナやフルオロカーボンを含浸させた多孔質材料が使用され、熱媒体としてはエチレングリコールやアルコール類等が使用される。
【0034】
11は吸着塔4に接続され、オゾン及び酸素を含むオゾン含有ガスを吸着塔4内から一定量ずつ引き出すオゾン取出手段としてのオゾン取出装置、12は吸着塔4に酸素ガスを供給する酸素ガス供給装置、13は吸着塔4内の圧力を計測する圧力検出器としての圧力計測器、14は圧力計測器13から得られる圧力値を演算し、オゾン取出装置11及び酸素ガス供給装置12の動作を制御する制御装置、15は循環路L2を介して吸着塔4に接続され、吸着塔4内の温度を制御する温度調節器、16はオゾン取出装置11で回収されたオゾンを消費するオゾン消費物体である。8−1、8−2は循環路L2の吸着塔4の上流側と下流側とに設けられているバルブ、8−3は吸着塔4の吐出側と循環ブロア3の吸入側との間に設けられれているバルブ、8−4はオゾン発生器1の吐出側と吸着塔4の吸入側との間に設けられているバルブである。
【0035】
次に、動作について説明する。動作には、オゾンの吸着動作及び回収動作の二動作があるが、最初に吸着動作について説明する。吸着動作時には、バルブ8−1,8−2,8−3,8−4が開かれている。この状態で、循環路L1には酸素供給源2から酸素含有ガスが供給され、系内の圧力が常時一定圧力(1.5〜2.0kg/cm2)に維持されている。循環ブロア3により循環路L1内を循環する酸素含有ガスは、オゾン発生器1の放電空隙中を通過する際に、無声放電により酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン化酸素となる。
【0036】
この後、オゾン化酸素は、循環路L1に沿って吸着塔4へ搬送される。吸着塔4では、温度調節器15により−30℃以下に温度調節されされた吸着剤により、オゾンが選択的に吸着される。吸着塔4を通過した酸素含有ガスは、バルブ8−3を介して循環ブロア3に返送される。また、オゾンとして消費(吸着)された分の酸素が、酸素供給源2により補充される。
【0037】
このような吸着動作により、オゾンが吸着剤に飽和吸着量近くまで吸着されると、回収動作へと移行する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼動が停止され、8−3,8−4が閉じられる。また、冷凍機15は、吸着動作時と同様に運転される。この後、オゾン取出装置11が稼働され、酸素ガス供給装置12から吸着塔4に酸素が供給される。このとき、オゾン取出装置11により吸着塔4から取り出されるオゾン含有ガスの絶対量を、酸素ガス供給装置12から吸着塔4に供給される酸素ガスの絶対量よりも大きくすることにより、オゾン消費物体16にオゾンを供給するにつれて、吸着塔4内の圧力が低下するようにする。
【0038】
吸着塔4内の圧力は圧力計測器13によりモニタリングされている。制御装置14は、圧力計測器13からの圧力値信号を受けて、ある時間における圧力の計測値とその時間における圧力の設定値とを比較し、オゾン取出装置11や酸素ガス供給装置12に制御信号を送る。
【0039】
即ち、計測値が設定値よりも低い場合は、吸着塔4から取り出されるオゾン含有ガスの絶対量と吸着塔4に供給される酸素ガスの絶対量との差を小さくする。この動作を実現する制御方法としては、吸着塔4から取り出されるオゾン含有ガスの絶対量を、吸着塔4に供給される酸素ガスの絶対量よりも大きくした状態を保ちながら、取り出されるオゾン含有ガスの絶対量を小さくする方法、また供給される酸素ガスの絶対量を大きくする方法、さらに前述の二つの方法を同時に行う方法が考えられる。
【0040】
しかし、供給される酸素ガスの絶対量を大きくする方法は、吸着塔4への酸素の供給量が一時的に増大するため、吸着塔4内の酸素分圧が一時的に増大し、オゾンの回収が急激に促進され、オゾンが過度に取り出される恐れがある。これに対し、取り出されるオゾン含有ガスの絶対量を小さくする方法によれば、吸着塔4内における気相中のオゾン濃度を大きく変化させることがなく、安定的なオゾンの取り出しが可能である。
【0041】
一方、吸着塔4内の圧力の計測値が設定値よりも高い場合は、吸着塔4から取り出されるオゾン含有ガスの絶対量と吸着塔4に供給される酸素ガスの絶対量の差を大きくする。この動作を実現する制御方法としては、吸着塔4から取り出されるオゾン含有ガス量の絶対量を、吸着塔4に供給される酸素ガスの絶対量よりも大きくした状態を保ちながら、取り出されるオゾン含有ガスの絶対量を大きくする方法、また供給される酸素の絶対量を小さくする方法、さらに前述の二つの方法を同時に行う必要がある。
【0042】
しかし、供給される酸素の絶対量を小さくする方法は、吸着塔4への酸素の供給源が一時的に減少するため、吸着塔4内のオゾン分圧が一時的に増大し、オゾンの回収が抑制され、オゾンの取出量が急激に減少する恐れがある。これに対し、取り出されるオゾン含有ガスの絶対量を大きくする方法によれば、吸着塔4内における気相中のオゾン濃度を大きく変化させることがなく、安定的なオゾンの取り出しが可能である。
【0043】
なお、この例では、オゾン回収動作時における吸着塔4内の吸着剤温度が、吸着動作時と同等に制御されている。ここで、オゾン及び酸素のシリカゲルへの吸着量は、図2に示すように、温度によって異なることが明らかである。従って、シリカゲルの温度を上昇させる方がオゾンを効率的に回収することができる。
【0044】
しかし、酸素とオゾンの吸着比率はシリカゲルの温度によって変化するため、シリカゲルの温度を上昇させると、ガス相における酸素とオゾンの存在比率が変化し、オゾンの取出量を吸着塔4内の圧力のみで制御できなくなる。即ち、温度及び圧力の両方の信号に基づいてオゾンの回収量を制御する必要があり、制御パラメータが増加し、制御が複雑になる。
【0045】
また、シリカゲル温度を上昇させた場合、回収動作から吸着動作へ戻る際に、吸着剤を再び冷却する必要があり、大量のエネルギーが必要となり、消費電力が増大してしまう。
【0046】
このように、吸着塔4内の吸着剤の温度を一定に保ちながら、吸着塔4内の圧力を監視してオゾンを取り出すようにしたことにより、一定量のオゾンを含んだオゾン含有ガスをオゾン消費物体16に安定して供給することができる。また、温度調節器15を運転するのに必要な電力を必要最小限にすることができる。
【0047】
実施の形態2.
次に、図3はこの発明の実施の形態2によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、21は吸着塔4から放出されるオゾン含有ガスの流量を制御するとともに、その流量信号を出力するオゾンガス流量調節装置、22は吸着塔4から放出されるオゾン含有ガス中のオゾン濃度を測定するオゾン計測器、23は吸着塔4に供給される酸素ガスの流量を制御する酸素ガス流量調節装置、24は吸着塔4に一定のガス圧力で酸素ガスを供給する酸素ガス発生装置である。
【0048】
25はオゾンガス流量調節装置21及びオゾン計測器22からの信号を受け、オゾンガス流量調節装置21を制御するオゾン量制御装置、7はオゾン処理される流体を駆動力として吸着塔4からオゾン含有ガスを取り出すオゾン取出手段としての水流エジェクタ7である。
【0049】
次に、動作について説明する。実施の形態1と同様の吸着動作が終了し、回収動作へ移行すると、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3、8−4が閉じられる。また、冷凍機15は、吸着動作時と同様に運転される。なお、以下の全ての実施の形態において、回収動作時には吸着動作時と同様に冷凍機15が運転される。この後、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。これとともに、水流エジェクタ7が稼働され、吸着塔4からオゾンガス流量調節装置21を介してオゾン含有ガスが減圧吸引され、流体であるオゾン消費物体16にオゾンが供給される。
【0050】
ここで、オゾンガス流量調節装置21及びオゾン計測器22によるオゾン回収制御方法について説明する。オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度は、オゾン計測器22によって計測され、その情報を含む信号がオゾン量制御装置25に送られる。また、オゾン量制御装置25には、オゾン流量調節装置21を通過するオゾン含有ガスの流量に関する情報を含む信号も送られている。これらの情報により、オゾン量制御装置25では、単位時間当たりに吸着塔4から放出されているオゾン量が算出される。
【0051】
この算出の結果、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも高かった場合、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0052】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも低かった場合には、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0053】
即ち、オゾン量制御装置25では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値とを用いた式A=K1×(FO30×CO30−GO3s)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガスの流量の演算値Aが求められる。そして、オゾン含有ガス流量が演算値Aとなるようにオゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0054】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガス中のオゾン取出量の目標値、K1は制御ゲインである。
【0055】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量を計測し、この計測値に基づいてオゾン含有ガスの流量を調節するので、オゾン処理される流体に一定量のオゾンを安定して供給することができ、安定したオゾン処理を行うことができる。
【0056】
ここで、オゾン計測器22としては、例えばオゾン含有ガスの圧力とオゾン含有ガス中の吸光度とを計測することによってオゾン濃度を算出するタイプのものが使用される。但し、このタイプのオゾン計測器22では、オゾン濃度を計測する際にオゾンが分解され、消費されてしまう。このため、本実施の形態では、オゾン含有ガスの流路にバイパス配管を設け、このバイパス配管にオゾン計測器22を設けている。これにより、オゾン濃度の計測に伴うオゾンの消費を抑制することができ、効率的なオゾン処理を行うことができる。
【0057】
なお、オゾン計測器として、オゾン消費を伴わないタイプのものや、オゾン消費が問題にならないタイプのものを使用する場合は、図4に示すように、オゾン含有ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよい。
【0058】
また、上記の例では、オゾン含有ガスの圧力を計測可能なオゾン計測器22を用いたが、オゾン濃度のみを計測するオゾン計測器を用い、圧力については実施の形態1と同様に、吸着塔4に圧力計測器13を設けて計測してもよく、ほぼ同様のオゾン取出量制御効果が得られる。
【0059】
実施の形態3.
次に、図5はこの発明の実施の形態3によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、オゾン量制御装置25からの制御信号により、オゾンガス流量調節装置21だけではなく、酸素ガス流量調節装置23が制御される。また、吸着動作は実施の形態1と同様であるが、回収動作については、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられる。
【0060】
まず、ステップ1は、実施の形態2の回収動作と同様である。このステップ1において、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われない場合に、本実施の形態ではステップ2に移行する。
【0061】
ステップ2では、オゾン量制御装置25からの制御信号により、酸素ガス流量調節装置23が制御され、吸着塔4内に供給される酸素ガスの流量が調節される。即ち、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも多い場合は、吸着塔4に供給される酸素ガス量が少し減らされる。酸素は、オゾンの吸着剤からの遊離を促進する働きがあるため、酸素ガス量が減らされることにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0062】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも少ない場合には、吸着塔4に供給される酸素ガス量が少し増やされ、吸着塔4から放出されるオゾン量が増大される。
【0063】
即ち、オゾン量制御装置25では、例えばオゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いて、例えば式B=K2×(FO30×CO30−GO3S)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Bが求められる。そして、酸素ガス流量が演算値Bとなるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0064】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン含有ガス中のオゾン取出量の目標値、K2は制御ゲインである。
【0065】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、この計測値に基づいて、ステップ1ではオゾンガス流量調節装置21のオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、酸素ガス流量調節装置23の酸素ガス流量を調整するので、オゾン処理される流体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出されたオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効利用することができる。
【0066】
ここで、オゾン回収実験の結果、オゾンガス流量調節装置21に制御信号を送り、オゾン含有ガス流量を一定の値に制御した場合、吸着塔4に供給する酸素ガス流量を変えても、オゾン取出量に影響を与えないことが確認された。従って、図6に示すように、ステップ1ではオゾン取出時における酸素使用量をできるだけ少なくする方がよいことが明らかになった。
【0067】
しかし、ステップ1の段階では吸着塔4に酸素ガスを供給せずにオゾンを取り出し、ステップ2で酸素ガスの供給をいきなり開始すると、吸着塔4内の吸着剤からオゾンが急激に脱離し始め、ガス相でオゾンが高濃度になるため、オゾンが自己分解により無駄に消費されてしまう。このため、ステップ1においても酸素ガスの供給を行うことが望ましい。
【0068】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に信号が送られた後、所定時間経過してもオゾン含有ガス流量に変化がない場合に、ステップ2に移行するようにしたが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設けておき、そのスイッチからの電気信号がオゾン量制御装置25に送られた場合に、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。また、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
【0069】
さらに、オゾン計測器22のタイプによっては、例えば図7に示すように、オゾン含有ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよい。
【0070】
さらにまた、上記の例では、水流エジェクタ7に流れ込む流体そのものがオゾン消費物体16である場合について示したが、例えば図8に示すように、配管28からエゼクタポンプ26によりオゾン消費物体16の一部を水流エジェクタ7に導き、水流エジェクタ7内でオゾン含有流体を製造して、そのオゾン含有流体を溶解装置27を介してオゾン消費物体16に供給するようにしても、オゾン処理を行うことができる。この場合も、水流エジェクタ7に供給される流体に同じ量のオゾンを均一に注入することにより、安定したオゾン処理を行うことができる。
【0071】
実施の形態4.
次に、図9はこの発明の実施の形態4によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、29はオゾンが供給された流体にガス、ここでは空気を供給するガス供給装置、30はガス供給装置29から流体への空気の流量を調節するガス流量調節装置である。この例では、オゾン量制御装置25からの制御信号によって、オゾンガス流量調節装置21及び酸素ガス流量調節装置23に加えて、さらにガス流量調節装置30が制御される。
【0072】
次に、動作について説明する。本実施の形態の回収動作は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられる。吸着動作が終了して回収動作へ移行すると、まずステップ1が開始される。即ち、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。この後、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素ガスが供給される。これとともに、水流エジェクタ7が稼働され、オゾンガス流量調節装置21を介して、吸着塔4からオゾン含有ガスが減圧吸引される。この後、オゾンが注入された流体には、ガス供給装置29からガス流量調節装置30を介して空気が供給される。
【0073】
ここで、オゾンガス流量調節装置21及びオゾン計測器22を用いたオゾン回収制御方法について説明する。オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度は、オゾン計測器22によって計測され、その情報を含む信号がオゾン量制御装置25に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21からは、オゾンガス流量に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置25に送られる。オゾン量制御装置25では、これらの情報に基づいて、単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。
【0074】
また、オゾン量制御装置25では、流体に供給するオゾン含有ガス流量が予め設定されており、オゾン含有ガス流量が設定値に達しないときは、ガス供給装置29からガス流量調節装置30を介して被処理流体に空気等のガスが供給される。このガスは、オゾン消費物体にオゾンを安定して溶解させるためのものである。
【0075】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも多い場合、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少する。オゾン含有ガス量が減らされると、オゾン量制御装置25からガス流量調節装置30に制御信号が送られ、流体に供給される空気量が増加される。
【0076】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも少ない場合は、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。オゾン含有ガス量が増やされると、オゾン量制御装置25からガス流量調節装置30に制御信号が送られて、流体に供給される空気量が減少される。
【0077】
即ち、オゾン量制御装置25では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式A=K1×(FO30×CO30−GO3s)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Aが求められる。また、オゾン含有ガス流量の計測値と流体に供給されるトータルガス流量の設定値とを用いた式A’=K1’×(FO30−FGs)により、ガス流量調節装置30におけるガス流量の演算値A’が求められる。
【0078】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガス中のオゾン取り出し量の目標値、K1は制御ゲイン、FGsは流体に供給されるガス量の目標値、K1’は制御ゲインである。
【0079】
そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量、及びガス流量調節装置30における空気流量がそれぞれ演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21及びガス流量調節装置30がそれぞれ制御される。
【0080】
上記のようなステップ1において、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0081】
ステップ2では、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン計測器22からオゾン量制御装置25に送られる。また、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置25に送られる。
【0082】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合、オゾン量制御装置25から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少する。このとき、オゾン含有ガス量が減らされたことに合わせて、オゾン量制御装置25からガス流量調節装置30に制御信号が送られ、流体に供給されるガス量が増加される。
【0083】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置25から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増大される。このとき、オゾン含有ガス量が増やされたことに合わせて、オゾン量制御装置25からガス流量調節装置30に制御信号が送られ、流体に供給される空気等のガス量が減少される。
【0084】
即ち、オゾン量制御装置25では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式B=K2×(FO30×CO30−GO3S)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Bが求められる。また、オゾン含有ガス流量の計測値と流体に供給するトータルガス流量の設定値とを用いた式A’=K1’×(FO30−FGs)により、ガス流量調節装置30におけるガス流量の演算値A’が求められる。
【0085】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン含有ガス中のオゾン取出量の目標値、K2は制御ゲイン、FGsは流体に供給するガス量の目標値、K1’は制御ゲインである。
【0086】
そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量、及びガス流量調節装置30におけるガス流量がそれぞれ演算値になるように、流量調節装置23及びガス流量調節装置30がそれぞれ制御される。
【0087】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、この計測値に基づいて、ステップ1ではオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量及びガス流量調節装置30におけるガス流量をそれぞれ調節し、ステップ2では、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量及びガス流量調節装置30における空気流量をそれぞれ調節するので、オゾン処理される流体に一定量のオゾンを安定して供給できるとともに、流体に一定の割合でオゾンを溶解させることができ、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0088】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に信号が送られた後、所定時間経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設けておき、そのスイッチからの検出信号がオゾン量制御装置25に送られた場合に、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。また、タイマーを用いてステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
【0089】
さらに、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図10に示すように、オゾン含有ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0090】
さらにまた、上記の例では、水流エジェクタ7を通過した流体に空気などのガスを供給する場合について示したが、例えば図11及び図12に示すように、水流エジェクタ7内においてオゾン含有ガスと空気等のガスとが同一部位または別々の部位から同時に流体に供給されるようにしてもよい。この場合、水流エジェクタ7内を駆動するための水流ポンプの能力を高くすれば、ガス供給装置29をなくすこともでき、部品点数を減らすことができる。
【0091】
実施の形態5.
次に、図13はこの発明の実施の形態5によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、31はオゾンガス流量調節装置21を介して吸着塔4からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段としての吸引ポンプ、32はオゾンを希釈しオゾン消費物体16まで運ぶための例えば空気等の媒体ガスを作り出す媒体ガス製造機、33は媒体ガス流量を調節する媒体ガス流量調節装置、34は媒体ガスと吸着塔4から取り出されたオゾン含有ガスとを混合してオゾン混合ガスを生成するガス混合器、22はガス混合器34で生成されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測するオゾン計測器、35はオゾン計測器22からの信号を受けて、オゾンガス流量調節装置21及び媒体ガス流量調節装置33を制御するオゾン濃度制御装置である。
【0092】
次に、本実施形態のオゾン回収動作について説明する。吸着動作が終了して回収動作へ移行すると、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、ガス吸引ポンプ31が稼働され、オゾンガス流量調節装置21にオゾン含有ガスが徐々に流れ、ガス混合器34内でオゾン含有ガスと媒体ガスとが混合されて、オゾン混合ガスとしてオゾン消費物体16に送られる。また、酸素ガス発生装置24が稼働されるとともに、酸素ガス流量調節装置21が徐々に開かれ、酸素ガス流量調節装置21を介して、吸着塔4に酸素ガスが供給される。
【0093】
ここで、オゾンガス流量調節装置21と媒体ガス流量調節装置33とオゾン計測器22とを用いたオゾン回収制御方法について説明する。オゾンガス流量調節装置21を通過し、ガス混合器34内で媒体ガスと混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置35に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置35に送られる。
【0094】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置35からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。この動作と同時に、オゾン濃度制御装置35から媒体ガス流量調節装置33に制御信号が送られ、媒体ガス流量調節装置33内に流れる媒体ガス量が増やされる。この際、オゾン含有ガス量と媒体ガス量との和が設定流量になるようにされている。
【0095】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合は、オゾン濃度制御装置35からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。この動作と同時に、オゾン濃度制御装置35から媒体ガス流量調節装置33に制御信号が送られ、媒体ガス流量調節装置33内に流れる媒体ガス量が減らされる。このときも、オゾン含有ガス量と媒体ガス量との和が設定流量になるようにされている。
【0096】
即ち、オゾン濃度制御装置35では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式C=K3×(CO30−CO3S)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Cが求められる。また、オゾン含有ガス流量の設定値を用いた式D=QO3s−Cにより、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量の演算値Dが求められる。
【0097】
但し、上式において、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3Sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K3は制御ゲイン、QO3sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値である。
【0098】
そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量、及び媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量がそれぞれ演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21及び媒体ガス流量調節装置33がそれぞれ制御される。
【0099】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるようオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量と媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量とを調節するようにしたので、処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。
【0100】
なお、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図14に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0101】
実施の形態6.
次に、図15はこの発明の実施の形態6によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、オゾン濃度制御装置35からの制御信号により、オゾンガス流量調節装置21、酸素ガス流量調節装置23及び媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0102】
この例におけるオゾン回収動作は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、ステップ1は実施の形態5の回収動作と同様である。ステップ1において、オゾン濃度制御装置35からオゾンガス流量調節装置21に信号が送られた後、所定の時間が経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。ステップ2では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度に関する情報、及びオゾン含有ガス流量に関する情報に基づいて、オゾン濃度制御装置35により酸素ガス流量調節装置23及び媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0103】
即ち、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置35から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。この動作と同時に、オゾン濃度制御装置35から媒体ガス流量調節装置33に制御信号が送られ、媒体ガス流量調節装置33内に流れる媒体ガス量が増やされる。この際、オゾン含有ガス量と媒体ガス量との和が設定流量になるようにされている。
【0104】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置35から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される流量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。この動作と同時に、オゾン濃度制御装置35から媒体ガス流量調節装置33に制御信号が送られ、媒体ガス流量調節装置33内に流れる媒体ガス量が減らされる。このときも、オゾン含有ガス量と媒体ガス量との和が設定流量になるようにされている。
【0105】
即ち、オゾン濃度制御装置35では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式E=K4×(CO30−CO3s)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Eが求められる。また、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン混合ガス流量の設定値とを用いた式F=K5×(QO3s−QO30)により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量の演算値Fが求められる。
【0106】
但し、上式において、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K4は制御ゲイン、QO30はオゾン含有ガス流量の計測値、QO3sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値、K5は制御ゲインである。
【0107】
そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量、及び媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量がそれぞれ演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23及び媒体ガス流量調節装置33がそれぞれ制御される。
【0108】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調節し、ステップ2では、酸素ガス流量を調節するようにしたので、オゾン処理される流体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出した量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0109】
なお、上記の例では、オゾン濃度制御装置35からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときにステップ2に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設け、そのスイッチからの検出信号がオゾン濃度制御装置35に送られたときに、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。また、タイマーを用いてステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
【0110】
さらに、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図16に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0111】
さらにまた、上記の例では、オゾン濃度制御装置35によりオゾン濃度及びオゾン含有ガス流量の2つの信号を処理する場合について示したが、オゾン消費を制御する制御機器とオゾン含有ガス流量を制御する制御機器とを設けることにより、信号を独立して制御するようにしても同様の効果が得られる。
【0112】
実施の形態7.
次に、図17はこの発明の実施の形態7によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、41はオゾンガス流量調節装置21からの信号を受けて媒体ガス流量調節装置33を制御する媒体ガス流量制御装置である。他の構成は、実施の形態6と同様である。
【0113】
次に、本実施形態のオゾン回収動作について説明する。吸着動作が終了して回収動作へ移行すると、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、ガス吸引ポンプ31が稼働され、オゾンガス流量調節装置21にオゾン含有ガスが徐々に流れ、ガス混合器34内でオゾンと媒体ガスとが混合されて、オゾン混合ガスとしてオゾン消費物体16に送られる。また、酸素ガス発生装置24が稼働されるとともに、オゾンガス流量調節装置21が徐々に開かれ、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。
【0114】
ここで、オゾンガス流量調節装置21、媒体ガス流量調節装置33及びオゾン計測器22を用いたオゾン回収制御方法について説明する。吸引ポンプ31を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度は、オゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置25に送られる。また、オゾン含有ガス流量調節装置21からオゾン量制御装置25へは、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号が送られる。オゾン量制御装置25では、これらの情報に基づいて、単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。
【0115】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0116】
また、媒体ガス流量調節装置33内を流れる媒体ガスの流量は、オゾンガス流量調節装置21からの信号に基づいて、媒体ガス流量制御装置41により少し増やされることによって、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0117】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0118】
また、媒体ガス流量調節装置33内を流れる媒体ガスの流量は、オゾンガス流量調節装置21からの信号に基づいて、媒体ガス流量制御装置41により少し減らされることによって、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0119】
即ち、オゾン量制御装置25では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式A=K1×(FO30×CO30−GO3s)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Aが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0120】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガス中のオゾン取出量の目標値、K1は制御ゲインである。
【0121】
また、媒体ガス流量制御装置41では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン混合ガス流量設定値とを用いた式G=K6×(QO30−QO3S)により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量の演算値Gが求められる。そして、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量が演算値となるように、媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0122】
但し、上式において、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QO3Sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値、K6は制御ゲインである。
【0123】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガスのオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、これらが所定値になるようオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整するようにしたので、オゾンガス流量調節装置21から放出されるガス量は増減するが、媒体ガス流量を変化させることによって、処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。
【0124】
なお、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図18に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0125】
また、実施の形態2と同様に、オゾン濃度を計測するオゾン計測器の代わりに、吸着塔4に圧力計測器13を設けても、ほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0126】
さらに、上記の例では、オゾンガス流量制御装置21、吸引ポンプ31、オゾン計測器22、ガス混合器34の順番で、機器を並べた場合を示したが、オゾンガス流量制御装置21、オゾン計測器22、吸引ポンプ31、ガス混合器34の順番で機器を並べるようにしてもよい。
【0127】
この場合、吸引ポンプ31でのオゾン分解量が未知であることから、実際にはオゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低くなる。しかし、低濃度のオゾン混合ガスを作る場合は、吸引ポンプでの分解量は小さいので、並び方による差異は小さく、この並び方でも、上記の例とほぼ同様のオゾン回収量の制御効果が得られる。これに対し、高濃度のオゾン含有ガスを作る場合は、吸引ポンプでのオゾン分解量が大きくなり、十分な効果が得られなくなる恐れがある。
【0128】
実施の形態8.
次に、図19はこの発明の実施の形態8によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、オゾン量制御装置25からの制御信号によって、オゾンガス流量調節装置21及び酸素ガス流量調節装置23が制御され、媒体ガス流量制御装置41からの制御信号によって、媒体ガス流量調節装置33制御される。
【0129】
また、本実施の形態のオゾン回収動作は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、ステップ1は実施の形態7の回収動作と同様である。ステップ1において、オゾン量制御装置25からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過しても、オゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0130】
ステップ2では、吸引ポンプ31を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度に関する情報、及びオゾン含有ガス流量に関する情報に基づいて、オゾン量制御装置25により、オゾンガス流量調節装置21及び酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0131】
即ち、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置25から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0132】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置25から酸素ガス流量調節装置23に信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0133】
オゾン量制御装置25では、オゾン含有ガスの流量とオゾン含有ガス中のオゾン濃度とから、単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。即ち、オゾン量制御装置25では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式B=K2×(FO30×CO30−GO3s)により、酸素ガス流量調節装置装置23における酸素ガス流量の演算値Bが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置装置23が制御される。
【0134】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値、K2は制御ゲインである。
【0135】
また、媒体ガス流量制御装置41では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量設定値とを用いた式G=K6×(QO30−QO3s)により、媒体ガス流量調節装置34における媒体ガス流量の演算値Gが求められる。そして、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量が演算値となるように、媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0136】
但し、上式において、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾンガス流量の計測値、QO3sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値、K6は制御ゲインである。
【0137】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出した量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0138】
なお、上記の例では、オゾン濃度制御装置35からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設け、そのスイッチからの検出信号がオゾン濃度制御装置25に送られたときに、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。また、タイマーを用いてステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
【0139】
さらに、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図20に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0140】
実施の形態9.
次に、図21はこの発明の実施の形態9によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、51は吸着塔4から放出されるオゾン含有ガスの流量を計測するとともに、その流量信号を出力するオゾン含有ガス流量計測器、52はオゾン計測器22からの信号を受けて吸引ポンプ31を制御するオゾン濃度制御装置である。
【0141】
次に、本実施の形態のオゾン回収動作について説明する。吸着動作が終了して回収動作へ移行すると、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、ガス吸引ポンプ31が稼働され、オゾン含有ガス流量計測器51にオゾン含有ガスが徐々に流れ、ガス混合器34内でオゾン含有ガスと媒体ガスとが混合されて、オゾン混合ガスとしてオゾン消費物体16に送られる。また、酸素ガス発生器24が稼働されるとともに、酸素ガス流量調節装置23が徐々に開かれ、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。
【0142】
ここで、オゾン含有ガス流量計測器51、媒体ガス流量調節装置33、吸引ポンプ31及びオゾン計測器22を用いたオゾン回収制御方法について説明する。オゾン含有ガス流量計測器51を通過し、ガス混合器34内で媒体ガスと混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置52に送られる。
【0143】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定オゾン濃度よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置52により吸引ポンプ31に制御信号が送られ、吸引ポンプ31のガス引き抜き能力が低減され、オゾン含有ガス流量計測器51内に流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0144】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し増やされる。これにより、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0145】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定オゾン濃度よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置52から吸引ポンプ31に制御信号が送られ、吸引ポンプ31のガス引き抜き能力が増加され、オゾン含有ガス流量計測器51内に流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0146】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し減らされる。これにより、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0147】
即ち、オゾン濃度制御装置52では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式H=K7×(CO30−CO3s)により、吸引ポンプ31の投入電力量の演算値Hが求められる。そして、吸引ポンプ31の投入電力が演算値となるように制御される。
【0148】
但し、上式において、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K7は制御ゲインである。
【0149】
また、流量制御装置41では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン混合ガス流量の設定値とを用いた式I=K8×(QO30−QO3s)により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量の演算値Iが求められる。そして、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量が演算値となるように、媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0150】
但し、上式において、QO30はオゾン含有ガス流量計測器51におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QO3sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値、K8は制御ゲインである。
【0151】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるよう吸引ポンプ31を調整し、また媒体ガス流量を変化させるようにしたので、オゾン含有ガス流量計測器51を通過するガス流量は増減するものの、処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、バイパス配管上にオゾン計測器22を設けたので、少量のオゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測することにより、濃度計測のためのオゾン消費を抑制することができ、効率的なオゾン処理ができる。
【0152】
なお、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図22に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0153】
実施の形態10.
次に、図23はこの発明の実施の形態10によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、オゾン濃度制御装置52からの制御信号によって、吸引ポンプ31及び酸素ガス流量調節装置23が制御され、流量制御装置41からの制御信号により媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0154】
本実施の形態の回収動作は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、ステップ1は実施の形態9の回収動作と同様である。ステップ1において、オゾン濃度制御装置52から吸引ポンプ31に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2へと移行する。ステップ2では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置52に送られる。
【0155】
即ち、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定オゾン濃度よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置52から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0156】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し増やされ、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わされる。
【0157】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定オゾン濃度よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置52から酸素ガス流量調節装置23に信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0158】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し減らされ、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わされる。
【0159】
即ち、オゾン濃度制御装置52では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度設定値とを用いた式J=K9×(CO30−CO3s)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Jが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0160】
但し、上式において、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K9は制御ゲインである。
【0161】
また、流量制御装置41では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン混合ガス流量の設定値とを用いた式I=K8×(QO30−QO3s)により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量の演算値Iが求められる。そして、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量が演算値となるように、媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0162】
但し、上式において、QO30はオゾン含有ガス流量計測器51におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QO3sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値、K8は制御ゲインである。
【0163】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、ステップ1では、吸引ポンプ31の投入電力を調節し、ステップ2では、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量を調節するようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出した量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0164】
なお、オゾン濃度制御装置52から吸引ポンプ31に制御信号が送られた後、所定の時間が経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、吸引ポンプ31に投入できる電力量が最大値になったことを検知し、その検知信号がオゾン濃度制御装置52に送られたとき、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。また、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
【0165】
また、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図24に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0166】
さらに、上記の例では、吸引ポンプ31、酸素ガス流量調節装置23及び媒体ガス流量調節装置33を制御して、一定量のオゾンを供給する場合について示したが、実施の形態6で示したオゾンガス流量調節装置21、酸素ガス流量貯節装置23及び媒体ガス流量調節装置33を制御する方法と本実施の形態の制御方法とを複合して使用するようにしてもよい。これにより、さらに精度の良いオゾン取出量制御効果が得られる。
【0167】
実施の形態11.
次に、図11はこの発明の実施の形態11によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、61はオゾン計測器22及びオゾン含有ガス流量計測器51からの信号を受けて、吸引ポンプ31を制御するオゾン量制御装置である。
【0168】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。吸着動作が終了して回収動作へ移行すると、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、ガス吸引ポンプ31が稼働され、オゾン含有ガス流量計測器51にオゾン含有ガスが徐々に流れ、ガス混合器34内でオゾン含有ガスと媒体ガスが混合されて、オゾン混合ガスとしてオゾン消費物体16に送られる。また、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。
【0169】
ここで、吸引ポンプ31、オゾン含有ガス流量計測器51、媒体ガス流量調節装置33及びオゾン計測器22を用いたオゾン回収制御方法について説明する。吸引ポンプ31を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度が、オゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置61に送られる。また、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾン含有ガス流量計測器51からオゾン量制御装置61に送られる。オゾン量制御装置61では、これらの情報に基づいて、単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。
【0170】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置61から吸引ポンプ31に制御信号が送られ、ガス引き抜き能力が弱められ、オゾン含有ガス流量計測器51内に流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0171】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し増やされる。これにより、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0172】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置61から吸引ポンプ31に制御信号が送られ、吸引ポンプ31のガス引き抜き能力が強められる。これにより、オゾン含有ガス流量計測器51内に流れるオゾン含有ガス量が少し増やされ、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0173】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し減らされる。これにより、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0174】
即ち、オゾン量制御装置61では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式K=K10×(FO30×CO30−GO3s)により、吸引ポンプ31の投入電力量Kが求められる。そして、吸引ポンプ31の投入電力量が演算値となるように制御される。
【0175】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K10は制御ゲインである。
【0176】
また、流量制御装置41では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン混合ガス流量設定値とを用いた式I=K8×(QO30−QO3s)により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量の演算値Iが求められる。
【0177】
但し、上式において、QO30はオゾン含有ガス流量計測器51におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K8は制御ゲインである。
【0178】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガスのオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、これらが所定値になるよう吸引ポンプ31の投入電力量を調整し、また媒体ガス流量を変化させるようにしたので、オゾン含有ガス流量計測器51から放出されるガス量は増減するものの、処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる効果がある。
【0179】
なお、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図26に示すように、オゾン含有ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0180】
実施の形態12.
次に、図27はこの発明の実施の形態12によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、オゾン量制御装置61からの制御信号によって、吸引ポンプ31及び酸素ガス流量調節装置23が制御され、流量制御装置41からの制御信号によって、媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0181】
本実施の形態の回収動作は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、ステップ1は実施の形態11の回収動作と同様である。ステップ1において、オゾン量制御装置61から吸引ポンプ31に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0182】
ステップ2では、吸引ポンプ31を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置61に送られる。また、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾン含有ガス流量計測器51からオゾン量制御装置61に送られる。
【0183】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置61から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0184】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し増やされる。これにより、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0185】
一方、放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置61から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0186】
また、オゾン含有ガス流量計測器51からの情報に基づいて、流量制御装置41により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガスの流量が少し減らされる。これにより、オゾン消費物体16に供給されるオゾン混合ガスの流量が設定流量に合わせられる。
【0187】
即ち、オゾン量制御装置61では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式L=K11×(FO30×CO30−GO3S)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Lが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0188】
但し、上式において、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K11は制御ゲインである。
【0189】
また、流量制御装置41では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン混合ガス流量の設定値とを用いた式I=K8×(QO30−QO3s)により、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量の演算値Iが求められる。そして、媒体ガス流量調節装置33における媒体ガス流量が演算値となるように、媒体ガス流量調節装置33が制御される。
【0190】
但し、上式において、QO30はオゾン含有ガス流量計測器51のオゾン含有ガス流量の計測値、QO3sはオゾン混合ガスのオゾン取り出し流量の目標値、K8は制御ゲインである。
【0191】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、吸引ポンプ31の投入電力量を調整し、ステップ2では、酸素ガス流量調節装置23の酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出した量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用できる。
【0192】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置61から吸引ポンプ31に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、吸引ポンプに投入できる電力量が最大値になったことを検知し、その検知信号がオゾン量制御装置61に送られたときに、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取り出し効果が得られる。また、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
【0193】
さらに、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図28に示すように、オゾン含有ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0194】
さらにまた、上記の例では、吸引ポンプ、酸素ガス流量調節装置23及び媒体ガス流量調節装置33を制御して、一定量のオゾンを供給する場合について示したが、実施の形態8で示したオゾンガス流量調節装置21、酸素ガス流量調節装置23及び媒体ガス流量調節装置33を制御する方法と、本実施の形態の制御方法を複合して使用するようにしてもよい。これにより、さらに精度の高いオゾン取出量制御が可能となる。
【0195】
実施の形態13.
次に、図29はこの発明の実施の形態13によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、71はガス混合器34から放出されるオゾン混合ガスの流量を一定に維持する流量維持手段としてのオゾン混合ガス流量調節弁である。
【0196】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。吸着動作が終了して回収動作へ移行すると、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、吸引ポンプ31が稼働し始めるとともに、酸素ガス発生装置24が稼働し、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。それに合わせるように、吸着塔4から吸引ポンプ31を介して、オゾン含有ガスがガス混合器34に流れ込み、ガス混合器34内でオゾンと媒体ガスが混合されて、オゾン混合ガスとしてオゾン消費物体16に送られる。
【0197】
ここで、吸引ポンプ31、オゾン含有ガス流量調節弁71及びオゾン計測器22を用いたオゾン回収制御方法について説明する。オゾン混合ガス流量調節弁71を通過したオゾン混合ガス中のオゾン濃度が、オゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置52に送られる。
【0198】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合は、オゾン濃度調節装置52から吸引ポンプ31に制御信号が送られ、吸引ポンプ31のガス引き抜き能力が弱められる。これにより、オゾン含有ガス量が少し減らされ、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0199】
この際、吸引ポンプ31からガス混合器34に入るときのガス圧力と媒体ガス製造機32からガス混合器34に入るときのガス圧力とを同程度とする。これにより、ガス混合器34内で効率よくガスを混合できる。
【0200】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置52から吸引ポンプ31に制御信号が送られ、吸引ポンプ31のガス引き抜き能力が強められる。これにより、オゾン含有ガス量が少し増やされ、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0201】
即ち、オゾン濃度制御装置52では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式H=K7×(CO30−GO3s)により、吸引ポンプ31の投入電力量の演算値Hが求められる。そして、吸引ポンプ31の投入電力量が演算値となるように、吸引ポンプ31が制御される。
【0202】
但し、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K7は制御ゲインである。
【0203】
このように、本実施の形態では、ガス混合器34で製造されたオゾン含有ガスの放出流量を目標値に保ち、そのオゾン含有ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、これが所定値になるよう吸引ポンプ31の投入電力量を調整するようにしたので、吸引ポンプ31によって引き出されるオゾン含有ガス流量は増減するものの、媒体ガス流量を変化させることによって、処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。
【0204】
なお、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図30に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0205】
また、上記の例では、ガス混合器34として内部にガスの流れを妨げるガラスビーズなどの物体を充填したものを示したが、これに限定されるものではない。例えば、図31に示すように、吸引ポンプ31により吸着塔4から取り出されたオゾン含有ガスを高速に噴出できるノズルと、噴出されたオゾン含有ガスが吸入されるスロートと、オゾン含有ガスが高速に流れたときにできる負圧部分に媒体ガスを導くためのガイドとを有するガス混合器81を用い、高速に流れるオゾン含有ガスに媒体ガスが吸い込まれるようにしてオゾン含有ガスと媒体ガスとが混合されるようにしてもよい。このようなガス混合器81を用いた場合、オゾン含有ガスと媒体ガスとを効率良くガス混合できるため、より良いオゾン混合ガス取出量制御効果が得られる。
【0206】
さらに、上記の例では、媒体ガス製造機32からガス混合器34に媒体ガスが直接流れ込むような場合を示したが、例えば図32に示すように、媒体ガス製造機32とガス混合器34との間に媒体ガス流量調節装置33を設け、オゾン混合ガス流量調節弁91を通過するオゾン混合ガス流量を検知し、流量制御装置82を介して、ガス混合器34に流れ込む媒体ガスの流量を調節するようにしてもよい。即ち、オゾン混合ガス流量調節弁91と媒体ガス流量調節装置33と流量制御装置82とのより流量維持手段を構成してもよい。このような流量維持手段を用いた場合、オゾン含有ガスと媒体ガスとを効率良く混合できるため、より精度の高いオゾン取出制御効果が得られる。
【0207】
実施の形態14.
次に、図33はこの発明の実施の形態14によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、オゾン濃度制御装置52からの制御信号により、吸引ポンプ31及び酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0208】
本実施の形態の回収動作は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、ステップ1は実施の形態13の回収動作と同様である。ステップ1において、オゾン濃度制御装置52から吸引ポンプ31に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン混合ガス中のオゾン濃度に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。ステップ2では、オゾン混合ガス流量調節弁71で流量を調節されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置52に送られる。
【0209】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置52から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られて、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0210】
一方、放出されたオゾン含有ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置52から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られて、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0211】
即ち、オゾン濃度制御装置52では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式J=K9×(CO30−GO3s)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Jが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0212】
但し、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K9は制御ゲインである。
【0213】
このように、本実施の形態では、ガス混合器34で製造されたオゾン混合ガス中の放出流量を目標値に保ち、そのオゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、ステップ1では、吸引ポンプ31の投入電力量を調整し、ステップ2では、酸素ガス流量調節装置23の酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0214】
なお、上記の例では、オゾン濃度制御装置52から吸引ポンプ31に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン混合ガス中のオゾン濃度に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、吸引ポンプ31に投入できる電力量が最大値になったことを検知して、その検知信号がオゾン濃度制御装置52に送られたときに、ステップ1からステップ2に移るようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。また、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
【0215】
さらに、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図34に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0216】
さらにまた、例えば図35に示すように、ガス混合器として、オゾン含有ガスを高速に噴出するノズルと、噴出されたオゾン含有ガスが吸入されるスロートと、媒体ガスを負圧部分に導くガイドとを有するガス混合器81を用いてもよく、より良いオゾン取出制御効果が得られる。
【0217】
また、例えば図36に示すように、媒体ガス製造器32とガス混合器34との間に媒体ガス流量調節装置33を設け、ガス混合器34に流れ込む媒体ガスの流量を調節すると、より精度が高いオゾン取出制御効果が得られる。
【0218】
実施の形態15.
次に、図37はこの発明の実施の形態15によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、101はオゾンガス流量調節装置21を介して吸着塔4からオゾン含有ガスを吸引するガスエジェクタ、102はガスエジェクタ101と並行で、かつガスエジェクタ101の出入口をつなぐバイパス配管、103は圧力制御されたガス、即ち圧力制御ガスを作り出す圧力制御ガス製造機、104はガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガスの流量を調節する圧力制御ガス流量調節装置、105はバイパス配管102に流す圧力制御ガスの流量を調節するためのバイパス配管流量装置、106はオゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21を制御するオゾン濃度制御装置、107はオゾンガス流量調節装置21からの信号を受けて圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105を制御する圧力制御ガス流量制御装置である。
【0219】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼動が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、ガスエジェクタ101が稼働されるとともに、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。それに合わせるように、オゾンガス流量調節装置21が徐々に開きはじめると、吸着剤に吸着されていたオゾンはガスエジェクタ101内に減圧吸引され、ガスエジェクタ101内とバイパス配管102出口で媒体ガスと混合される。このようにして作られたオゾン混合ガスは、オゾン計測器22でオゾン濃度を計測された後に、オゾン消費物体16に送られる。
【0220】
ここで、オゾンガス流量調節装置21、圧力制御ガス流量調節装置104、バイパス配管流量調節装置105及びオゾン計測器22を用いたオゾン脱着制御方法について説明する。本実施の形態の回収動作は、ステップ1とステップ2とに分けられるので、まずステップ1について図37を用いて説明する。
【0221】
バイパス配管102との合流地点を通過したオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置106に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス流量の信号が圧力制御ガス流量制御装置107に送られる。
【0222】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合、オゾン濃度制御装置106からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4からの放出されるオゾン量が減少される。
【0223】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガス流量の信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを増加させて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0224】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置106からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0225】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを減少させて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0226】
即ち、オゾン濃度制御装置106では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式M=K12×(CO30−CO3s)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Mが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0227】
但し、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K12は制御ゲインである。
【0228】
また、圧力制御ガス流量制御装置107では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量設定値とを用いた式N=K13×(QO30+QPO−QO3s)によりバイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量の演算値Nが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0229】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、Qpoはガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量の計測値、QO3sはオゾン混合ガスのオゾン取出流量の目標値、K13は制御ゲインである。
【0230】
ステップ1において、オゾン濃度制御装置106からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間が経過しても、オゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン濃度の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0231】
ステップ2では、図38に示すように、バイパス配管102との合流地点を通過したオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置106に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガスの流量信号が圧力制御ガス流量制御装置107に送られる。
【0232】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置106から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置104が少し開かれる。これにより、ガスエジェクタ101を通過する圧力制御ガスの流速が速くなり、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が増加し、取り出されるオゾン量が増加して、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が上昇する。
【0233】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104内を通過した圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107からバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量が減少され、オゾン含有ガス流量が調整される。
【0234】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合には、オゾン濃度制御装置106から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置104が少し閉じられる。これにより、ガスエジェクタ101を通過する圧力制御ガスの流速が遅くなり、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が低下し、取り出されるオゾン量が低下して、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が低下する。
【0235】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104内を通過した圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107からバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量が増加され、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0236】
即ち、オゾン濃度制御装置106では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値と設定値とを用いた式O=K14×(CO30−CO3s)により、圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量の演算値Oが求められる。そして、圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量が演算値となるように、圧力制御ガス流量調節装置104が制御される。
【0237】
但し、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度計測値、CO3sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K14は制御ゲインである。
【0238】
また、圧力制御ガス流量制御装置107では、オゾンガス流量調節装置21を流れるオゾン含有ガス流量の計測値と、圧力制御ガス流量調節装置104内を流れる圧力制御ガス流量の計測値と、オゾン含有ガス流量設定値とを用いた式P=K15×(QO30+QPO−QO3s)により、バイパス配管流量調節装置105における圧力制御ガス流量の演算値Pが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0239】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOは圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K15は制御ゲインである。
【0240】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、ステップ1ではオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量が調整されるようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0241】
なお、上記の例では、オゾン濃度制御装置106からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設けて、そのスイッチからの検出信号がオゾン濃度制御装置106に送られたときに、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0242】
また、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
さらに、吸着塔4内の圧力を計測する圧力センサーを設けて、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下まわったときに、ステップ1からステップ2に移行してもよい。さらにまた、吸着塔4内の圧力減少率が所定の位置の下まわったときに、ステップ1からステップ2に移行してもよい。
【0243】
また、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図39及び図40に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0244】
さらに、上記の例では、オゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21を制御し、オゾンガス流量調節装置21からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御し、ステップ2において、オゾン計測器22からの信号を受けて圧力制御ガス流量調節装置104を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御するといったように2段階に分けて制御を行う場合について示したが、例えば図41に示すように、オゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御するといった2段階に分けない制御方式を採用しても同様の制御効果が得られる。
【0245】
即ち、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合は、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン計測器22からオゾン濃度制御装置106に送られた後、オゾン濃度制御装置106からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21が少し開かれるとともに、オゾン濃度制御装置106から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置104が少し開かれることにより、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が増加され、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が上昇される。
【0246】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104内を通過した圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量調節装置107からバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量が減少され、オゾン含有ガス流量が調整される。
【0247】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合には、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン計測器22からオゾン濃度制御装置106に送られた後、オゾン濃度制御装置106からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21が少し閉じられるとともに、オゾン濃度制御装置106から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置104が少し閉じられることにより、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が減少され、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が低下される。
【0248】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104内を通過した圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107からバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量が増加され、オゾン含有ガス流量が調整される。
【0249】
なお、オゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104を制御する際には、オゾンガス流量調節装置21と圧力制御ガス流量調節装置104とを同等に制御するのではなく、これらの機器の制御に重みをつけてるようにし、制御される機器に主従の関係をもたせるようにして制御する方が望ましく、これにより制御される機器がハンチングするのを防止でき、精度の良い制御効果が得られる。本実施の形態の場合、オゾンガス流量調節装置21を主として、圧力制御ガス流量調節装置104を従とする方が良い。また、時間の経過につれて、2つの機器の重みづけの比率をかえるようにすると、さらに良い制御効果が得られる。
【0250】
実施の形態16.
次に、図42はこの発明の実施の形態16によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、111はオゾン計測器22及びオゾンガス流量調節装置21からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21を制御するオゾン量制御装置である。
【0251】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、ガスエジェクタ101が稼働されるとともに、オゾンガス流量調節装置21が徐々に開かれ、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。それに合わせるように、オゾンガス流量調節装置21が徐々に開きはじめると、吸着剤に吸着されていたオゾンはガスエジェクタ101内にオゾン計測器22を介して吸引され、ガスエジェクタ101内及びバイパス配管102出口で媒体ガスと混合され、オゾン混合ガスとしてオゾン消費物体16に送られる。
【0252】
本実施の形態の回収動作は、実施の形態15と同様にステップ1とステップ2とに分けられる。まず、ステップ1について、図42を用いて説明する。オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置111に送られるとともに、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置111に送られる。オゾン量制御装置111では、オゾン含有ガス流量とオゾン含有ガス中のオゾン濃度とから単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。
【0253】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0254】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及び圧力制御ガス流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを増加させて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0255】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置111からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔から放出されるオゾン量が増加される。
【0256】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104の流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量調節装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを減少させて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0257】
即ち、オゾン量制御装置111では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計測値、及びオゾン量の設定値を用いた式Q=K16×(FO30×CO30−GO3s)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Qが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0258】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K16は制御ゲインである。
【0259】
また、圧力制御ガス流量制御装置107では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量設定値とを用いた式R=K17×(QO30+QPO−QO3s)により、バイパス配管流量調節装置105からの媒体ガス流量の演算値Rが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0260】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOはガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガスの流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K17は制御ゲインである。
【0261】
ステップ1において、オゾン量調節装置111からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間が経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0262】
ステップ2では、図43に示すように、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置111に送られるとともに、オゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置111にオゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号が送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガスの流量信号が圧力制御ガス流量制御装置107に送られる。
【0263】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも少ない場合は、オゾン量制御装置111より圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置104が少し開かれることにより、ガスエジェクタ101を通過する圧力制御ガスの流速が速くなり、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が増加することによって、取り出されるオゾン量が増加し、オゾン含有ガス中のオゾン濃度が上昇する。
【0264】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104内を通過した圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107からバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量を減少させ、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0265】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定オゾン量よりも多い場合には、オゾン量制御装置111から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置104が少し閉じられることにより、ガスエジェクタ101を通過する圧力制御ガスの流速が遅くなり、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が低下することによって、取り出されるオゾン量が低下し、オゾン含有ガス中のオゾン濃度が低下する。
【0266】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104内を通過した圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107からバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量を増加させることにより、オゾン含有ガス流量が調整される。
【0267】
即ち、オゾン量制御装置111では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計測値、及びオゾン量の設定値を用いた式S=K18×(FO30×CO30−GO3s)により、圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量の演算値Sが求められる。そして、圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量が演算値となるように、圧力制御ガス流量調節装置104が制御される。
【0268】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K18は制御ゲインである。
【0269】
また、圧力制御ガス流量制御装置107では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量設定値とを用いた式R=K17×(QO30+QPO−QO3s)により、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量の演算値Rが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0270】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOはガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガス流量の目標値、K17は制御ゲインである。
【0271】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、圧力制御ガス流量調節装置104の圧力制御ガス流量を調整するので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用できる。
【0272】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置111からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設けて、そのスイッチからの検出信号がオゾン量制御装置111に送られたときに、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0273】
また、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
さらに、吸着塔4内の圧力を計測する圧力センサーを設け、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときに、ステップ1からステップ2に移行してもよいし、吸着塔4内の圧力減少率が所定の値を下回ったときにステップ1からステップ2に移行してもよい。
【0274】
さらにまた、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図44及び図45に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0275】
また、上記の例では、ステップ1において、オゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21を抑制し、オゾンガス流量調節装置21からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御し、ステップ2において、オゾン計測器22からの信号を受けて圧力制御ガス流量調節装置104を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御するといったように2段階に分けて制御を行う場合について示したが、実施の形態15と同様にオゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御するといったような2段階に分けない制御方式を採用しても同様の制御効果が得られる。なお、この場合、オゾンガス流量調節装置21を主として、圧力制御ガス流量調節装置104を従として、制御を行うことにより、さらに精度の高い制御ができる。
【0276】
実施の形態17.
次に、図46はこの発明の実施の形態17によるオゾン供給装置を示す構成図である。 この例では、オゾン濃度制御装置121からの制御信号によって、オゾンガス流量調節装置21、酸素ガス流量調節装置23、圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0277】
本実施の形態の回収動作は、ステップ1、ステップ2及びステップ3の3段階に大きく分けられるが、ステップ1及びステップ2は実施の形態15の回収動作と同様である。ステップ1において、オゾン濃度制御装置121からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン濃度の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。また、ステップ2において、オゾン濃度制御装置121から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン濃度の取り出しが行われなくなると、ステップ3に移行する。
【0278】
ステップ3では、バイパス配管102との合流地点を通過したオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置121に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス流量の信号が圧力制御ガス流量制御装置107に送られる。
【0279】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置121から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られて、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が減らされ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し減少される。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0280】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを増加させて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0281】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置121から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、酸素ガス流量が増やされ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し増加される。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0282】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを減少させて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0283】
即ち、オゾン濃度制御装置121では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式T=K19×(CO30−CO3S)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Tが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0284】
但し、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3Sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K19は制御ゲインである。
【0285】
また、圧力制御ガス流量制御装置107では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量設定値とを用いた式N=K13×(QO30+QPO−QO3s)により、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量の演算値Nが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0286】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOはガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K9は制御ゲインである。
【0287】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量を調整し、ステップ3では、酸素ガス流量調節装置23の酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0288】
なお、上記の例では、オゾン濃度制御装置121から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られた後、所定の時間が経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ3に移行する場合について示したが、圧力制御ガス流量調節装置104の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設けて、そのスイッチからの検出信号がオゾン濃度制御装置121に送られたときに、ステップ2からステップ3に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0289】
また、タイマーを用いて、ステップ2からステップ3に移行するようにしてもよい。
さらに、吸着塔4内の圧力を計測する圧力センサーを設けて、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときに、ステップ2からステップ3に移行してもよいし、吸着塔4内の圧力減少率が所定の値を下回ったときにステップ2からステップ3に移行してもよい。
【0290】
さらにまた、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図47に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0291】
また、上記の例では、ステップ1において、オゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21を制御し、オゾンガス流量調節装置21からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御し、ステップ2において、オゾン計測器22からの信号を受けて圧力制御ガス流量調節装置104を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御し、ステップ3において、オゾン計測器22からの信号を受けて酸素ガス流量調節装置23を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御するといったように3段階にわけて制御を行う場合について示したが、ステップ1、2、3を段階的に行わず、同時に行うようにしてもよいし、ステップ1、2、3のうちの2つを同時に行い、残りの1つを段階的に行うようにしても同様の効果が得られる。
【0292】
なお、ステップ1、2、3を同時に行う場合、又はステップ1、2、3のうちの2つのステップを同時に行う場合には、同時に行うステップ間で、制御機器からの同等の電気信号を被制御機器が受け取った際に、被制御機器の感受性が異なるようにしておく、つまり被制御機器の中で応答が鋭いものと鈍いものとを設けておくことにより、さらに精度の良い制御効果が得られる。本実施の形態の場合、オゾンガス流量調節装置、圧力制御ガス流量調節装置、酸素ガス流量調節装置の順で、感受性が鈍くなるように設定すると、精度の良い制御を行うことが可能となる。
【0293】
実施の形態18.
次に、図48はこの発明の実施の形態18によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、オゾン量制御装置131からの制御信号によって、オゾンガス流量調節装置21、酸素ガス流量調節装置23、圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0294】
本実施の形態の回収動作は、ステップ1、ステップ2及びステップ3の3段階に大きく分けられるが、ステップ1及びステップ2は実施の形態16の回収動作と同様である。ステップ1において、オゾン量制御装置131からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間が経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。また、ステップ2において、オゾン量制御装置131から圧力制御ガス流量制御装置104に制御信号が送られた後、所定の時間が経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ3に移行する。
【0295】
ステップ3では、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置131に送られるとともに、オゾン含有ガス流量に関する流量信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置131に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガスの流量信号が圧力制御ガス流量調節装置107に送られる。
【0296】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置131から酸素ガス流量制御装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が減らされ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス流量が少し減少される。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0297】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104の流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量調節装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを変化させて、オゾン含有ガス流量が調整される。
【0298】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置131から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が増やされ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し増加される。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0299】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガス流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置104の流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置107から圧力制御ガス流量調節装置104及びバイパス配管流量調節装置105に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れる圧力制御ガス流量のみを減少させて、オゾン含有ガス流量が調整される。
【0300】
即ち、オゾン量制御装置131では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式U=K20×(FO30×CO30−GO3s)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Uが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0301】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K20は制御ゲインである。
【0302】
また、圧力制御ガス流量調節装置107では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値と圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量の設定値とを用いた式N=K13×(QO30+QPO−QO3s)により、バイパス配管流量調節装置105からの媒体ガス流量の演算値Nが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置105における媒体ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置105が制御される。
【0303】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOはガスエジェクタ101に供給される圧力制御ガス流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K13は制御ゲインである。
【0304】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、圧力制御ガス流量調節装置104における圧力制御ガス流量を調整し、ステップ3では、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0305】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置131から圧力制御ガス流量調節装置104に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ3に移行する場合について示したが、圧力制御ガス流量調節装置104の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設けて、そのスイッチからの検出信号がオゾン量制御装置131に送られたときに、ステップ2からステップ3に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0306】
また、タイマーを用いて、ステップ2からステップ3に移行するようにしてもよい。
さらに、吸着塔4内の圧力を計測する圧力センサーを設け、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときにステップ2からステップ3に移行してもよいし、吸着塔4内の圧力減少率が所定の値を下回ったときにステップ2からステップ3に移行してもよい。
【0307】
さらにまた、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図49に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0308】
また、上記の例では、ステップ1において、オゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21を制御し、オゾンガス流量調節装置21からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御し、ステップ2において、オゾン計測器22からの信号を受けて圧力制御ガス流量調節装置104を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御し、ステップ3において、オゾン計測器22からの信号を受けて酸素ガス流量調節装置23を制御し、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置104からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置105を制御するといったように、3段階に分けて制御を行う場合について示したが、ステップ1、2、3を段階的に行わず、同時に行うようにしてもよいし、ステップ1、2、3の中から2つを同時に行い、残りの一つを段階的に行うようにしても同様の制御効果が得られる。
【0309】
さらに、ステップ1、2、3を同時に行う場合、又はステップ1、2、3の中から2つのステップを同時に行う場合には、同時に行うステップ間で、制御機器から同等の検出信号を被制御機器が受け取った際に、被制御機器の感受性が異なるようにしておく、つまり被制御機器の中で応答が鋭いものと鈍いものとを設けるようにして制御を行うことにより、さらに精度の良いオゾン取出効果が得られる。本実施の形態の場合、オゾンガス流量調節装置、圧力制御ガス流量調節装置、酸素ガス流量調節装置の順に、感受性が鈍くなるように設定していくと、精度の良い制御を行うことが可能となる。
【0310】
実施の形態19.
次に、図50はこの発明の実施の形態19によるオゾン供給装置を示す構成図である。この例では、吸着塔4に供給する酸素ガス流量を制御する酸素ガス流量調節装置23の代わりに、吸着塔4に酸素ガスを間欠的に供給する酸素ガス流路開閉弁141が設けられており、オゾン量制御装置142によって酸素ガス流路開閉弁141が制御される。
【0311】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、水流エジェクタ7が稼働されるとともに、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流路開閉弁141を介して、吸着塔4に酸素が供給される。それに合わせるように、オゾンガス流量調節装置21が徐々に開き、吸着剤に吸着されていたオゾンはオゾン計測器22を介して水流エジェクタ7に吸引され、汚水等のオゾン消費物体16にオゾンが供給される。
【0312】
本実施の形態の回収制御方法は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、これらのうち、まずステップ1について説明する。オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置142に送られるとともに、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置142に送られる。オゾン量制御装置142では、オゾン含有ガスの流量とオゾン含有ガス中のオゾン濃度とから、単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。
【0313】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置142からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内に流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。このとき、酸素ガス流路開閉弁141では、一定のタイミングで弁の開閉が行われることにより、一定量の酸素ガスが一定の割合で吸着塔4に供給される。
【0314】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置142からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。このとき、酸素ガス流路開閉弁141では、一定のタイミングで弁の開閉が行われることにより、一定量の酸素ガスが一定の割合で吸着塔4に供給される。
【0315】
即ち、オゾン量制御装置142では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式A=K11×(FO30×CO30−GO3s)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Aが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0316】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K11は制御ゲインである。
【0317】
次に、ステップ2について説明する。ステップ1において、オゾン量制御装置142からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0318】
ステップ2では、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置142に送られるとともに、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置142に送られる。
【0319】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置142から酸素ガス流路開閉弁141に制御信号が送られ、酸素ガス流路開閉弁141の弁の開時間が短くされて、吸着塔4内へ供給される酸素ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。なお、酸素ガス流路開閉弁141の弁の開時間を短くする方法としては、単位時間当たりに弁が開く回数を減らしてもよいし、又は1回当たりに弁が開いている時間を減らしてもよい。
【0320】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置142から酸素ガス流路開閉弁141に制御信号が送られ、酸素ガス流路開閉弁141の弁の開時間が長くされて、吸着塔4内へ流れる酸素ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。なお、酸素ガス流路開閉弁141の弁の開時間を長くする方法としては、単位時間当たりに弁が開く回数を増やしてもよいし、又は1回当たりに弁が開いている時間を増やしてもよい。
【0321】
即ち、オゾン量制御装置142では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の計測値を用いた式TO2=K21×(FO30×CO30−GO3S)/NO2Sにより、酸素ガス流路開閉弁141の単位時間当たりに開いている時間の演算値TO2が求められるか、又は式NO2=K22×(FO30×CO30−GO3S)/TO2Sにより、酸素ガス流路開閉弁141の単位時間当たりに開く回数の演算値NO2が求められる。そして、酸素ガス流路開閉弁141の1回当たりに開いている時間、又は単位時間当たりに開く回数が演算値になるように、酸素ガス流路開閉弁141が制御される。
【0322】
但し、NO2Sは酸素ガス流路開閉弁141の単位時間当たりに開いている回数の設定値、TO2Sは酸素ガス流路開閉弁141の1回当たりに開いている時間の設定値、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン含有ガス中のオゾン取出量の目標値、K21及びK22は制御ゲインである。
【0323】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、酸素ガス流路開閉弁141の酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される流体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0324】
また、ステップ1及びステップ2を通じて、吸着塔4に酸素ガスを間欠的に供給できるので、連続的に酸素ガスを供給する場合と比較して酸素ガス流量を低減でき、運転コストを低減することができる。
【0325】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置142からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設け、そのスイッチからの検出信号がオゾン量制御装置142に送られたとき、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0326】
また、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
さらに、吸着塔4内の圧力を計測する圧力センサーを設け、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときにステップ1からステップ2に移行してもよいし、吸着塔4内の圧力減少率が所定の値を下回ったときにステップ1からステップ2に移行してもよい。
【0327】
さらにまた、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図51に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0328】
また、本実施の形態では、吸着塔4からオゾンを取り出す手段として水流エジェクタを用いる場合について示したが、実施の形態5〜13に示したような吸引ポンプを用いて吸着塔4からオゾンを取り出す場合、また、実施の形態15〜18に示したようなガスエジェクタを用いて吸着塔4からオゾンを取り出す場合にも、酸素ガス流量調節装置23を酸素ガス流路開閉弁141に代えてオゾン取り出しを行うことは可能であり、本実施の形態と同様の制御動作を行うことにより、同様のオゾン取出効果が得られる。
【0329】
実施の形態20.
次に、図52はこの発明の実施の形態20によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、151は圧力計測器13からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21を制御する圧力制御装置である。
【0330】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、水流エジェクタ7が稼働されるとともに、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。それに合わせるように、オゾンガス流量調節装置21が徐々に開き、吸着剤に吸着されていたオゾンは水流エジェクタ7に吸引され、オゾン消費物体にオゾンが供給される。
【0331】
また、本実施の形態の回収制御方法は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、まずはステップ1について説明する。吸着塔4内の圧力が圧力計測器13によって計測され、圧力に関する情報を含む信号が圧力制御装置151に送られる。圧力制御装置151には、オゾン取出量を一定にするための吸着塔4内における圧力と経過時間との関係(図53)が予め入力されている。但し、図53に示す関係は、吸着塔4に供給する酸素ガスを一定にして、吸着塔4から引き抜くオゾン含有ガス量を変化させた場合のものである。
【0332】
吸着塔4内の圧力が、その時刻の圧力設定値よりも高い場合は、圧力制御装置151からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4内の圧力が減らされる。
【0333】
一方、吸着塔4内の圧力が、その時刻の圧力設定値よりも低い場合には、圧力制御装置151からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4内の圧力が増やされる。
【0334】
即ち、圧力制御装置151では、圧力計測器13の圧力の計測値とその時刻における圧力の設定値とを用いた式V=K23×(PO30−PO3S)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Vが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0335】
但し、PO30は圧力計測器13の計測値、PO3Sは吸着塔4内の圧力の目標値、K23は制御ゲインである。
【0336】
次に、ステップ2について説明する。ステップ1が開始されてから所定時間経過すると、タイマーによってステップ2に移行する。ステップ2では、図54に示すように、吸着塔4内の圧力が圧力計測器13によって計測され、圧力に関する情報を含む信号が圧力制御装置151に送られる。圧力制御装置151には、オゾン取出量を一定にするための吸着塔4内における圧力と経過時間との関係(図55)が予め入力されている。但し、図55に示す関係は、吸着塔4に供給する酸素ガスを変化させるとともに、吸着塔から引き抜くオゾン含有ガス量を変化させた場合のものである。
【0337】
吸着塔4内の圧力が、その時刻の圧力設定値よりも高い場合は、圧力制御装置151から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス流量が少し減らされる。これにより、吸着塔4内の圧力が減らされる。
【0338】
一方、吸着塔4内の圧力が、その時刻の圧力設定値よりも低い場合には、圧力制御装置151から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス流量が少し増やされる。これにより、吸着塔4内の圧力が増やされる。
【0339】
即ち、圧力制御装置151では、圧力計測器13の圧力の計測値とその時刻における圧力の設定値とを用いた式W=K24×(PO30−PO3S)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Wが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0340】
但し、PO30は圧力計測器13の計測値、PO3Sは吸着塔4内の圧力の目標値、K24は制御ゲインである。
【0341】
ここで、本実施の形態における回収方法では、1つのステップにおいて制御する機器を決めておき、その機器を動かした場合の吸着塔4内の圧力の時間変化を予め圧力制御装置151に入力しておくことが重要である。即ち、圧力制御装置151を用いる回収方法では、あるステップでは圧力制御装置151から出される制御信号は絶えず1つの機器にしか送られないことが重要である。
【0342】
例えば、圧力制御装置151には、吸着塔4に供給する酸素ガス量を一定にして、吸着塔4から引き抜くオゾン含有ガス量を変化させる場合の吸着塔内の圧力と時間との関係がインプットされているのに、酸素ガス流量調節装置23とオゾンガス流量調節装置21とを動作させて、吸着塔4内の圧力を制御すると、一定量のオゾン取り出しができなくなる。
【0343】
また、本実施の形態における圧力制御の回収方法では、吸着塔4内の圧力測定位置が重要である。本実施の形態では、吸着塔4内を負圧にしてオゾンを回収することに特徴がある。また、吸着塔4内には圧力分布が存在し、オゾン含有ガスが引き抜かれる部位から最も離れた位置で圧力が高くなることが分かっている。従って、オゾン含有ガスが引き抜かれる部位から最も離れた位置に圧力計測器13を設け、この位置での圧力が負圧になるようにして回収制御を行うことにより、吸着塔4からのオゾンを取出量の制御をより精度良くできる効果がある。
【0344】
このように、本実施の形態では、吸着塔4内の圧力を計測し、この計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される流体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0345】
また、オゾン濃度を計測するオゾン計測器と比べて、安価な圧力計測器13を使用することにより、イニシャルコストを低減させることができる。また、オゾンの取出パターンに対処する圧力変化のパターンを圧力制御装置151に入力することにより、任意のオゾン取出量制御を行うことができる。
【0346】
なお、上記の例では、回収制御をステップ1とステップ2とに分けて行う場合について示したが、ステップ1を大気圧以上の場合と大気圧未満の場合とにさらに2分化することによって、より効率的な脱着制御を行うことができる。即ち、大気圧未満の場合に、前述したステップ1と同様の制御方法をとり、大気圧以上の場合には、酸素ガスの吸着塔4への供給を停止して、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量調整のみを行って、オゾン含有ガスの取り出しを行う。このようにステップ1をさらに分割することにより、酸素ガスの使用量を低減することができ、運転コストを低減することができる。
【0347】
また、上記の例では、タイマーを用いてステップ1からステップ2に移行する場合について示したが、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときに、ステップ1からステップ2に移行してもよいし、吸着塔4内の圧力減少率が所定の値を下回ったときにステップ1からステップ2に移行してもよい。
【0348】
さらに、上記の例では、吸着塔4からオゾンを取り出す手段として水流エジェクタ7を用いる場合について示したが、実施の形態5〜13に示した吸引ポンプを用いて吸着塔4からオゾンを取り出す場合、また実施の形態15〜18に示したガスエジェクタを用いて吸着塔4からオゾンを取り出す場合にも、圧力計測器からの信号を受けて制御を行うことは可能であり、本実施の形態と同様の制御方法をとることにより、同様のオゾン取出量制御効果が得られる。
【0349】
実施の形態21.
次に、図56はこの発明の実施の形態21によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、161は酸素ガス発生装置24と酸素ガス流量調節装置23との間に設けられ、吸着塔4に供給される酸素ガスの温度を調節するガス温度調節器、162はガス温度調節器161と酸素ガス流量調節装置23との間に設けられ、酸素ガス温度を計測する温度計測器、163はオゾンガス流量調節装置21及びガス温度調節器161を制御するオゾン量制御装置である。
【0350】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、水流エジェクタ7が稼働されるとともに、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。それに合わせるように、オゾンガス流量調節装置21にオゾン含有ガスが徐々に流れ、吸着剤に吸着されていたオゾンはオゾン計測器22を介して水流エジェクタ7に吸引され、オゾン消費物体16にオゾンが供給される。
【0351】
本実施の形態の回収動作は、ステップ1及びステップ2の2段階に大きく分けられるが、まずはステップ1について説明する。ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置163に送られる。また、オゾン含有ガス流量に関する流量信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量調節装置163に送られる。オゾン量制御装置163では、オゾン含有ガスの流量とオゾン含有ガス中のオゾン濃度とから単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。このとき、ガス温度調節器161は動作せず、温度制御されていない酸素ガスが一定の割合で吸着塔4に供給されている。
【0352】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置163からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0353】
一方、放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置163からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0354】
即ち、オゾン量制御装置163では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計測値、及びオゾン量の設定量を用いた式A=K11×(FO30×CO30−GO3S)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Aが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0355】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sは、オゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K11は制御ゲインである。
【0356】
次に、ステップ2について説明する。ステップ1において、オゾン量制御装置163からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0357】
ステップ2では、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置163に送られるとともに、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置163に送られる。
【0358】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置163からガス温度調節器161に制御信号が送られ、吸着塔4内へ供給される酸素ガスの温度が下げられる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0359】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置163からガス温度調節器161に制御信号が送られ、吸着塔4内へ供給される酸素ガスの温度が上げられる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0360】
即ち、オゾン量制御装置163では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計測値、及びオゾン量の設定値を用いた式X=K25×(FO30×CO30−GO3S)により、ガス温度調節器161における酸素ガス温度の演算値Xが求められる。そして、吸着塔4に供給される酸素ガスの温度が演算値となるように、ガス温度調節器161が制御される。
【0361】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K25は制御ゲインである。
【0362】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、ガス温度調節器161によって酸素ガス温度を調整するようにしたので、オゾン処理される流体に一定量のオゾンを安定して供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。さらに、酸素ガス温度を調節するため、消費エネルギーは増大するが、吸着塔4に供給する酸素ガス量を低減でき、トータルでみると運転コストを低減できる。
【0363】
さらにまた、上記の例では、ステップ1において酸素ガスの温度を調節しない場合について示したが、ステップ1においても酸素ガスの温度を調節し、酸素ガス量の使用量を低減するようにしても、トータルの運転コストを低減できる。しかし、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が極端に少なくなると、オゾン含有ガス中のオゾン濃度が高くなってしまい、オゾンの自己分解が増大するため、オゾンの損失が増大するといった問題がある。また、制御因子が増大し、制御が複雑になるという問題も発生する。
【0364】
また、上記の例では、ステップ2において、温度が調節された酸素ガスを吸着塔4に一定量で供給する場合について示したが、ガス温度調節器161による酸素ガス温度の制御と酸素ガス流量調節装置23による酸素ガス流量の制御とを同時に行うようにしてもよい。これにより、制御は複雑になるものの、さらに精度の高いオゾン取出量の制御効果が得られる。
【0365】
さらに、上記の例では、酸素ガス発生装置24と酸素ガス流量調節装置23との間にガス温度調節器161を設ける場合について示したが、酸素ガス発生装置24にガス温度を調節する機構を持たせるようにしても同様の制御効果が得られる。
【0366】
さらにまた、上記の例では、オゾン量制御装置163からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設け、そのスイッチからの検出信号がオゾン量制御装置163に送られたときに、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0367】
さらにまた、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2に移行するようにしてもよい。
また、吸着塔4内の圧力を計測する圧力センサーを設け、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときにステップ1からステップ2に移行してもよいし、吸着塔4内の圧力減少率が所定の値を下回ったときにステップ1からステップ2に移行してもよい。
【0368】
また、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図57に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0369】
さらに、上記の例では、吸着塔4からオゾン取り出す手段として水流エジェクタ7を用いる場合について示したが、実施の形態4〜13に示した吸引ポンプを用いて吸着塔4からオゾンを取り出す場合、また実施の形態15〜17に示したガスエジェクタを用いて吸着塔4からオゾンを取り出す場合にも、酸素ガス流量調節装置23と酸素ガス発生装置24との間にガス温度調節器161を設け、酸素ガス温度を調節しながらオゾンの取り出しを行うことは可能であり、本実施の形態と同様の制御方法により、同様のオゾン取出制御効果が得られる。
【0370】
さらにまた、実施の形態19に示したように、吸着塔4に酸素ガスを間欠的に供給する場合にも、本実施の形態に示す回収方法を適用することができる。
【0371】
実施の形態22.
次に、図58はこの発明の実施の形態22によるオゾン供給装置を示す構成図である。171は第1オゾン発生器1とは別に酸素ガス流量調節装置23と吸着塔4との間に設けられ、オゾンを発生する第2オゾン発生器である。
【0372】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼働が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、水流エジェクタ7が稼働されるとともに、酸素ガス発生装置24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23及び第2オゾン発生器171を介して、吸着塔4にオゾン化酸素が供給される。それに合わせるように、オゾンガス流量調節装置21にオゾン含有ガスが徐々に流れ、吸着剤に吸着されていたオゾンはオゾン計測器22を介して、水流エジェクタに吸引され、オゾン消費物体16に送られる。このとき、吸着塔4に供給されるオゾン化酸素ガスのオゾン濃度は、吸着動作時にオゾンを吸着していたときのオゾン化酸素ガス中のオゾン濃度よりも低い濃度に設定される。
【0373】
本実施の形態の回収制御方法は、ステップ1からステップ3の3段階に大きく分けられるが、まずはステップ1について説明する。ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置172に送られる。また、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置172に送られる。オゾン量制御装置172では、オゾン含有ガスの流量とオゾン含有ガス中のオゾン濃度とから単位時間当たりに放出されているオゾン量が算出される。このとき、第2オゾン発生器171が稼働され、一定濃度のオゾン化酸素が一定量で吸着塔4に供給される。
【0374】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置172からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス流量が少し減らされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0375】
一方、放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置172からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0376】
即ち、オゾン量制御装置172では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計測値、及びオゾン量の設定値を用いた式A=K11×(FO30×CO30−GO3S)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値Aが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0377】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K11は制御ゲインである。
【0378】
次に、ステップ2について説明する。ステップ1において、オゾン量制御装置172からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0379】
ステップ2においても、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置172に送られるとともに、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置172に送られる。
【0380】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン量制御装置172から第2オゾン発生器171に制御信号が送られ、吸着塔4内へ供給されるガス中のオゾン濃度が高められる。これにより、オゾンの吸着剤からの離脱を促進する酸素ガスの濃度が低下し、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0381】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン量制御装置172より第2オゾン発生器171に制御信号が送られ、吸着塔4内へ供給されるガス中のオゾン濃度が低められる。これにより、オゾンの吸着剤からの離脱が酸素ガスにより促進され、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0382】
即ち、オゾン量制御装置172では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計測値、及びオゾン量の設定値を用いた式Y=K26×(FO30×CO30−GO3S)により、第2オゾン発生器171の投入電力量の演算値Yが求められる。そして、第2オゾン発生器171の投入電力量が演算値となるうよに制御される。
【0383】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度、GO3Sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K26は制御ゲインである。
【0384】
最後に、ステップ3について説明する。ステップ1において、第2オゾン発生器171への電力投入が停止され、吸着塔4に酸素ガスが供給されるようになると、ステップ3に移行する。ステップ3では、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン量制御装置172に送られるとともに、オゾン含有ガス流量に関する情報を含む信号がオゾンガス流量調節装置21からオゾン量制御装置172に送られる。このとき、第2オゾン発生器171は、完全に停止されている。
【0385】
吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも多い場合は、オゾン制御装置172から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4内へ供給される酸素ガスの流量が下げられる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0386】
一方、吸着塔4から放出されたオゾン含有ガス中のオゾン量が設定値よりも少ない場合には、オゾン制御装置172から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4内へ供給される酸素ガスの流量が上げられる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0387】
即ち、オゾン量制御装置172では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値との積から得られるオゾン量の計算値、及びオゾン量の設定値を用いた式Z=K27×(FO30×CO30−GO3S)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値Zが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0388】
但し、FO30はオゾン含有ガス流量の計測値、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、GO3Sはオゾン含有ガスのオゾン取出量の目標値、K27は制御ゲインである。
【0389】
このように、本実施の形態では、オゾン含有ガス中のオゾン濃度とオゾン含有ガス流量とを計測し、これらの計測値に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整し、ステップ2では、オゾン発生器の投入電力量を調整し、ステップ3では、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される流体にかなり精度良く一定量のオゾンを供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる効果がある。
【0390】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置172からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送らた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ1からステップ2に移行し、第2オゾン発生器171への電力投入が停止されたときに、ステップ2からステップ3に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設け、そのスイッチからの検出信号がオゾン量制御装置172に送られたときに、ステップ1からステップ2に移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0391】
また、吸着塔4内の圧力を計測するセンサーを設け、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときに、ステップ1からステップ2に移行してもよい。
さらに、タイマーを用いて、ステップ1からステップ2、ステップ2からステップ3に移行するようにしても、同様のオゾン取出制御効果が得られる。
【0392】
さらにまた、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図59に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0393】
また、上記の例では、ステップ1においてオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調節し、ステップ2において第2オゾン発生器171の投入電力量を調節し、ステップ3において酸素ガス流量調節装置23の酸素ガス流量を調節するといったように、3段階に分けて制御を行う場合について示したが、ステップ1、2、3を段階的に行わず、同時に行うようにしてもよい。また、ステップ1、2、3の中から2つのステップを同時に行い、残りの1つを段階的に行うようにしても同様のオゾン取出制御効果が得られる。
【0394】
但し、ステップ1、2、3を同時に行う場合、又はステップ1、2、3の中から2つのステップを同時に行う場合には、同時に行うステップ間で、制御機器から同等の検出信号を受け取った際に、被制御機器の感受性が異なるようにしておく、つまり被制御機器の中で応答が早いものと遅いものとを設けておくことにより、さらに精度の良いオゾン取出量制御効果が得られる。本実施の形態の場合、オゾンガス流量調節装置、圧力制御ガス流量調節装置、酸素ガス流量調節装置の順で、感受性が鈍くなるように設定していくと、精度の良い制御を行うことが可能となる。
【0395】
さらに、上記の例では、吸着塔4からオゾンを取り出す手段として水流エジェクタ7を用いる場合について示したが、実施の形態4〜13に示した吸引ポンプや、実施の形態15〜17に示したガスエジェクタ101等を用いて吸着塔4からオゾンを取り出す場合にも、酸素ガス流量調節装置23と吸着塔4との間に第2オゾン発生器171を設け、吸着塔4に供給するオゾン化酸素のオゾン濃度を調節しながらオゾンの取り出しを行うことは可能であり、本実施の形態と同様の制御方法により、同様のオゾン取出制御効果が得られる。
【0396】
さらにまた、上記の例では、第2オゾン発生器171を第1オゾン発生器1とは別に新たに設けたが、オゾン吸着時に用いる第1オゾン発生器1を兼用することも可能である。
【0397】
実施の形態23.
次に、図60はこの発明の実施の形態23によるオゾン供給装置を示す構成図である。図において、186は酸素を含んだ酸素含有圧力制御ガスを作り出す酸素含有圧力制御ガス製造機、181は酸素含有圧力制御ガスをオゾン化する第2オゾン発生器、182はガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガスの流量を調節する圧力制御ガス流量装置、183はバイパス配管102に流すオゾン化圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、184はオゾン計測器22からの信号を受けてオゾンガス流量調節装置21、圧力制御ガス流量調節装置182及び酸素ガス流量調節装置23の少なくともいずれかを制御するオゾン濃度制御装置、185はオゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置182からの信号を受けてバイパス配管流量調節装置183を制御する圧力制御ガス流量制御装置である。
【0398】
次に、本実施の形態の回収動作について説明する。回収動作では、オゾン発生器1及び循環ブロア3の稼動が停止され、バルブ8−3,8−4が閉じられる。その後、ガスエジェクタ101が稼働されるとともに、オゾンガス流量調節装置21が徐々に開かれ、酸素ガス発生器24が稼働され、酸素ガス流量調節装置23を介して、吸着塔4に酸素が供給される。これにより、吸着剤に吸着されていたオゾンはガスエジェクタ101内に減圧吸引され、ガスエジェクタ101内とバイパス配管102出口とでオゾン化圧力制御ガスと混合される。このようにして作られたオゾン混合ガスは、オゾン計測器22で濃度を計測された後に、オゾン消費物体16に送られる。
【0399】
ここで、オゾンガス流量調節装置21、酸素ガス流量調節装置23、圧力制御ガス流量調節装置182、バイパス配管流量調節装置183及びオゾン計測器22を用いたオゾン回収制御方法について説明する。本実施の形態の回収動作は、ステップ1、ステップ2及びステップ3に分けられるが、まずはステップ1について図60を用いて説明する。
【0400】
ステップ1では、バイパス配管102との合流地点を通過したオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置184に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置182を通過したオゾン化圧力制御ガスの流量信号が圧力制御ガス流量制御装置185に送られる。
【0401】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置184からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し減らされる。これにより、吸着塔4からの放出されるオゾン量が減少される。
【0402】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及びオゾン化圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置185から圧力制御ガス流量調節装置182及びバイパス配管流量調節装置183に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れるオゾン化圧力制御ガス流量のみを増加させて、オゾン混合ガス流量が調節される。
【0403】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置184からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られ、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増やされる。これにより、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0404】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及びオゾン化圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置185から圧力制御ガス流量調節装置182及びバイパス配管流量調節装置183に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れるオゾン化圧力制御ガス流量のみを減少させて、オゾン混合ガス流量が調節される。
【0405】
即ち、オゾン濃度制御装置184では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式AA=K28×(CO30−CO3s)により、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の演算値AAが求められる。そして、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量が演算値となるように、オゾンガス流量調節装置21が制御される。
【0406】
但し、CO30はオゾン含有ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3sはオゾン含有ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K28は制御ゲインである。
【0407】
また、圧力制御ガス流量制御装置185では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量設定値とを用いた式AB=K27×(QO30+QPO−QO3s)により、バイパス配管流量調節装置183におけるオゾン化圧力制御ガス流量の演算値ABが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置183におけるオゾン化圧力制御ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置183が制御される。
【0408】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOはガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガス流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K29は制御ゲインである。
【0409】
ステップ1において、オゾン濃度制御装置184からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン量の取り出しが行われなくなると、ステップ2に移行する。
【0410】
ステップ2では、図61に示すように、バイパス配管102との合流地点を通過したオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置184に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガスの流量信号が圧力制御ガス流量制御装置185に送られる。
【0411】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合は、オゾン濃度制御装置184から圧力制御ガス流量調節装置182に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置182が少し閉じられる。これにより、ガスエジェクタ101を通過するオゾン化圧力制御ガスの流速が遅くなり、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が低下する。この結果、取り出されるオゾン量が減少し、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が低下する。
【0412】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置182内を通過したオゾン化圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置185からバイパス配管流量調節装置183に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れるオゾン化圧力制御ガス流量が増加されて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0413】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合には、オゾン濃度制御装置184から圧力制御ガス流量調節装置182に制御信号が送られ、圧力制御ガス流量調節装置182が少し開かれる。これにより、ガスエジェクタ101を通過するオゾン化圧力制御ガスの流速が速くなり、吸着塔4から吸引されるオゾン含有ガス量が増加する。この結果、取り出されるオゾン量が増加し、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が上昇する。
【0414】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号及び圧力制御ガス流量調節装置182内を通過したオゾン化圧力制御ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置185からバイパス配管流量調節装置183に制御信号が送られ、バイパス配管102に流れるオゾン化圧力制御ガス流量が減少されて、オゾン含有ガス流量が調節される。
【0415】
即ち、オゾン濃度制御装置184では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式AC=K30×(CO30−CO3S)により、圧力制御ガス流量調節装置182におけるオゾン化圧力制御ガス流量の演算値ACが求められる。そして、圧力制御ガス流量調節装置182におけるオゾン化圧力制御ガス流量が演算値となるように、圧力制御ガス流量調節装置182が制御される。
【0416】
但し、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3Sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K30は制御ゲインである。
【0417】
また、圧力制御ガス流量制御装置185では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量設定値とを用いた式AD=K31×(QO30+QPO−QO3s)により、バイパス配管流量調節装置183におけるオゾン化圧力制御ガス流量の演算値ADが求められる。
【0418】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOはガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガス流量の計測値、QO3sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K31は制御ゲインである。
【0419】
ステップ2において、オゾン濃度制御装置184から圧力制御ガス流量調節装置182に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がなく、設定オゾン濃度の取り出しが行われなくなると、ステップ3に移行する。
【0420】
ステップ3では、図62に示すように、バイパス配管102との合流地点を通過したオゾン混合ガス中のオゾン濃度がオゾン計測器22によって計測され、オゾン濃度に関する情報を含む信号がオゾン濃度制御装置184に送られる。また、オゾンガス流量調節装置21を通過したオゾン含有ガスの流量信号が圧力制御ガス流量調節装置185に送られる。
【0421】
オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも低い場合は、オゾン濃度制御装置184から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、酸素ガス流量が増加される。これにより、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し増加され、吸着塔4から放出されるオゾン量が増加される。
【0422】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置185から圧力制御ガス流量調節装置182及びバイパス配管流量調節装置183に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102を流れるオゾン化圧力制御ガス流量のみを減少させて、オゾン混合ガス流量が調節される。
【0423】
一方、オゾン混合ガス中のオゾン濃度が設定値よりも高い場合には、オゾン濃度制御装置184から酸素ガス流量調節装置23に制御信号が送られ、吸着塔4に供給される酸素ガス流量が増加される。これにより、オゾンガス流量調節装置21内を流れるオゾン含有ガス量が少し減少され、吸着塔4から放出されるオゾン量が減少される。
【0424】
また、オゾンガス流量調節装置21内を通過したオゾン含有ガスの流量信号に基づいて、圧力制御ガス流量制御装置185から圧力制御ガス流量調節装置182及びバイパス配管流量調節装置183に制御信号が送られる。このとき、ガスエジェクタ101によるガス吸引力を維持するために、ガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガス流量は変化させずに、バイパス配管102に流れるオゾン化圧力制御ガス流量のみを増加させて、オゾン混合ガス流量が調節される。
【0425】
即ち、オゾン濃度制御装置184では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値とオゾン濃度の設定値とを用いた式AE=K32×(CO30−CO3S)により、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量の演算値AEが求められる。そして、酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量が演算値となるように、酸素ガス流量調節装置23が制御される。
【0426】
但し、CO30はオゾン混合ガス中のオゾン濃度の計測値、CO3Sはオゾン混合ガス中のオゾン取出濃度の目標値、K32は制御ゲインである。
【0427】
また、圧力制御ガス流量制御装置185では、オゾン含有ガス流量の計測値とオゾン含有ガス流量の設定値とを用いた式AF=K33×(QO30+QPO−QO3S)により、バイパス配管流量調節装置183におけるオゾン化圧力制御ガス流量の演算値AFが求められる。そして、バイパス配管流量調節装置183におけるオゾン化圧力制御ガス流量が演算値となるように、バイパス配管流量調節装置183が制御される。
【0428】
但し、QO30はオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量の計測値、QPOはガスエジェクタ101に供給されるオゾン化圧力制御ガスの流量の計測値、QO3Sはオゾン含有ガスのオゾン取出流量の目標値、K33は制御ゲインである。
【0429】
次に、本発明のオゾン供給装置のオゾン発生効率を、従来のオゾン発生器からオゾンを供給する場合と比較しながら説明する。
【0430】
従来のオゾン発生器の場合、オゾン濃度と電力原単位との関係は、100g/Nm3のときは5Wh/g−O3、200g/Nm3のときは8Wh/g−O3、300g/Nm3のときは20Wh/g−O3といったように、オゾン濃度が上昇するに従い、1gのオゾンを生成するのに必要な電力量が大きくなる。即ち、1Nm3/hでオゾン混合ガスをオゾン消費物体16に供給する場合、100g/Nm3のときは1時間当たり500Whの電力量が必要であり、300g/Nm3のときは6000Whの電力量が必要となる。
【0431】
一方、本発明のオゾン供給装置では、オゾン濃度200g/Nm3でオゾンを吸着貯蔵し、オゾン回収率が80%で1Nm3/hでオゾン混合ガスをオゾン消費物体16に供給する場合、100g/Nm3のときは1時間当たり920Whの電力量が必要となり、300g/Nm3のときは2400Whの電力量が必要となる。
【0432】
従って、本発明では、100g/Nm3の低濃度のオゾン混合ガスを供給する場合は、使用電力量が多くなって不利であるが、200g/Nm3以上の高濃度のオゾン混合ガスを供給する場合に、使用電力量が少なくなり、省電力量のオゾン供給装置を提供することができる。
【0433】
このように、本実施の形態では、オゾン混合ガス中のオゾン濃度を計測し、この計測に基づいて、ステップ1では、オゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調整するとともに、バイパス配管流量調節装置183を通過するオゾン化圧力制御ガス流量を調整し、ステップ2では、圧力制御ガス流量調節装置182及びバイパス配管流量調節装置183を通過するオゾン化圧力制御ガス流量を調整し、ステップ3では、酸素ガス流量調節装置23の酸素ガス流量を調整するとともに、バイパス配管流量調節装置183を通過するオゾン化圧力制御ガス流量を調整するようにしたので、オゾン処理される物体に一定量のオゾンを精度良く供給でき、安定したオゾン処理を行うことができる。また、吸着貯蔵したオゾン量に対する取り出したオゾン量の割合であるオゾン回収率を高めることができ、製造したオゾンを有効に利用することができる。
【0434】
さらに、200g/Nm3以上の高濃度のオゾン混合ガスをオゾン消費物体16に供給する場合、従来のオゾン発生器のみを使用する場合に比べて、消費電力を低減することができる。
【0435】
なお、上記の例では、オゾン量制御装置184からオゾンガス流量調節装置21に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ1からステップ2に移行し、オゾン量制御装置184から圧力制御ガス流量調節装置182に制御信号が送られた後、所定の時間を経過してもオゾン含有ガス流量に変化がないときに、ステップ2からステップ3に移行する場合について示したが、オゾンガス流量調節装置21及び圧力制御ガス流量調節装置182の内部の弁が全開になったことを検知するスイッチを設け、そのスイッチからの検出信号がオゾン量制御装置184に送られたときに、ステップ1から2、ステップ2から3にそれぞれ移行するようにしても同様のオゾン取出効果が得られる。
【0436】
また、吸着塔4内の圧力を計測するセンサーを設け、吸着塔4内の圧力の値が所定の値を下回ったときに、ステップ1からステップ2、ステップ2からステップ3にそれぞれ移行してもよいし、吸着塔4内の圧力減少率が所定の値を下回ったときに、ステップ1からステップ2、ステップ2からステップ3にそれぞれ移行してもよい。
さらに、タイマーを用い、ステップ1からステップ2、ステップ2からステップ3にそれぞれ移行するようにしても同様のオゾン取出制御効果が得られる。
【0437】
さらにまた、オゾン計測器のタイプによっては、例えば図63〜図65に示すように、オゾン混合ガスが流れる流路そのものにオゾン計測器22を設けてもよく、上記とほぼ同様のオゾン濃度制御効果が得られる。
【0438】
また、上記の例では、ステップ1においてオゾンガス流量調節装置21におけるオゾン含有ガス流量を調節し、ステップ2において圧力制御ガス流量調節装置182におけるオゾン化圧力制御ガス流量を調節し、ステップ3において酸素ガス流量調節装置23における酸素ガス流量を調節するといったように、3段階に分けて制御を行う場合について示したが、ステップ1、2、3を段階的に行わず、同時に行うようにしてもよいし、ステップ1、2、3の中から2つのステップを同時に行い、残りの一つを段階的に行うようにしても同様のオゾン取出制御効果が得られる。
【0439】
ここで、ステップ1、2、3を同時に行う場合、又はステップ1、2、3の中から2つのステップを同時に行う場合には、同時に行うステップ間で、制御機器からの同等の検出信号を被制御機器が受け取った際に、被制御機器の感受性が異なるようにしておく、つまり被制御機器の中で応答が早いものと遅いものとを設けておくことにより、さらに精度のよいオゾン取出効果が得られる。本実施の形態の場合、オゾンガス流量調節装置、圧力制御ガス流量調節装置、酸素ガス流量調節装置の順で、感受性が鈍くなるように設定していくと、精度の良い制御を行うことが可能となる。
【0440】
さらに、本実施の形態では、吸着塔4からオゾン取り出す手段としてガスエジェクタ101を用いる場合について示したが、吸引ポンプ31や、オゾン量制御装置131及びガスエジェクタ101などを用いてもよい。
さらにまた、本実施の形態では、第2オゾン発生器181を新たに設けたが、オゾン吸着時に用いる第1オゾン発生器1を兼用するようにしてもよい。
【0441】
【発明の効果】
以上説明したように、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、かつ吸着塔内のオゾンを回収するに従って吸着塔内の圧力が徐々に低下するように、オゾン取出手段及び酸素ガス供給装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0442】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、かつオゾンガス流量調節装置及びオゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0443】
また、オゾン回収時に、オゾン消費物体にオゾンを安定して溶解させるためのガスをオゾン消費物体に混合するとともに、ガス供給装置からオゾン消費物体に混合されるガスの流量を調節するようにしたので、オゾン消費物体に供給されるオゾンをさらに安定させることができる。
【0444】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、またオゾン含有ガスに媒体ガスを混合し、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び媒体ガス流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0445】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、またオゾン含有ガスに媒体ガスを混合し、オゾン計測器及びオゾン流量調節装置からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置を制御するとともに、オゾン流量調節装置からの情報に応じて、媒体ガス流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0446】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、またオゾン含有ガスに媒体ガスを混合し、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾン取出手段を制御するとともに、オゾンガス流量計測器からの情報に応じて、媒体ガス流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0447】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、またオゾン含有ガスに媒体ガスを混合し、オゾン計測器及びオゾン流量計測器からの情報に応じて、オゾン取出手段を制御するとともに、オゾンガス流量計測器からの情報に応じて、媒体ガス流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0448】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、またオゾン含有ガスに媒体ガスを混合し、さらにオゾン混合ガスの流量を一定に維持し、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾン取出手段を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0449】
また、オゾン回収時に、酸素ガス発生装置から吸着塔への酸素ガスの流量を調節するようにしたので、オゾン供給量をさらに安定させることができる。
【0450】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらガスエジェクタによりオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置を制御するとともに、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0451】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらガスエジェクタによりオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置を制御するとともに、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0452】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらガスエジェクタによりオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、オゾン計測器からの情報に応じて、酸素ガス流量調節装置を制御するとともに、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0453】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらガスエジェクタによりオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、オゾン計測器からの情報に応じて、酸素ガス流量調節装置を制御するとともに、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0454】
また、吸着塔からのオゾンの回収時に、吸着塔に酸素ガスを供給しながらオゾン含有ガスを吸着塔から引き出し、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び酸素ガス流路開閉弁を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0455】
また、オゾン回収時における吸着塔内の圧力変化の設定値を圧力制御装置に予め入力しておき、オゾン回収時に、圧力検出器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及び酸素ガス流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0456】
また、オゾン回収時に、オゾン計測器及びオゾンガス流量調節装置からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置及びガス温度調節器を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0457】
また、オゾン回収時に、オゾン計測器及びオゾンガス流量調節装置からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置、第2オゾン発生器及び酸素ガス流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0458】
また、オゾン回収時に、オゾン計測器からの情報に応じて、オゾンガス流量調節装置、圧力制御ガス流量調節装置及び酸素ガス流量調節装置を制御するとともに、オゾンガス流量調節装置及び圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、圧力制御ガス流量調節装置及びバイパス配管流量調節装置を制御するようにしたので、オゾン消費物体に一定量のオゾンを安定して供給することができる。
【0459】
また、第1及び第2のオゾン発生器として、共通のオゾン発生器を兼用するようにしたので、装置全体を小形化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図2】 吸着剤温度とオゾン吸着量との関係を示す関係図である。
【図3】 この発明の実施の形態2によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図4】 実施の形態2の変形例を示す構成図である。
【図5】 この発明の実施の形態3によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図6】 運転時間及び危険度と酸素供給量との関係を示す関係図である。
【図7】 実施の形態3の変形例を示す構成図である。
【図8】 実施の形態3の他の変形例を示す構成図である。
【図9】 この発明の実施の形態4によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図10】 実施の形態4の変形例を示す構成図である。
【図11】 実施の形態4の他の変形例を示す構成図である。
【図12】 実施の形態4のさらに他の変形例を示す構成図である。
【図13】 この発明の実施の形態5によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図14】 実施の形態5の変形例を示す構成図である。
【図15】 この発明の実施の形態6によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図16】 実施の形態6の変形例を示す構成図である。
【図17】 この発明の実施の形態7によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図18】 実施の形態7の変形例を示す構成図である。
【図19】 この発明の実施の形態8によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図20】 実施の形態8の変形例を示す構成図である。
【図21】 この発明の実施の形態9によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図22】 実施の形態9の変形例を示す構成図である。
【図23】 この発明の実施の形態10によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図24】 実施の形態10の変形例を示す構成図である。
【図25】 この発明の実施の形態11によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図26】 実施の形態11の変形例を示す構成図である。
【図27】 この発明の実施の形態12によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図28】 実施の形態12の変形例を示す構成図である。
【図29】 この発明の実施の形態13によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図30】 実施の形態13の変形例を示す構成図である。
【図31】 実施の形態13の他の変形例を示す構成図である。
【図32】 実施の形態13のさらに他の変形例を示す構成図である。
【図33】 この発明の実施の形態14によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図34】 実施の形態14の変形例を示す構成図である。
【図35】 実施の形態14の他の変形例を示す構成図である。
【図36】 実施の形態14のさらに他の変形例を示す構成図である。
【図37】 この発明の実施の形態15によるオゾン供給装置のステップ1の状態を示す構成図である。
【図38】 図37の装置のステップ2の状態を示す構成図である。
【図39】 実施の形態15の変形例のステップ1の状態を示す構成図である。
【図40】 図39の装置のステップ2の状態を示す構成図である。
【図41】 実施の形態15の他の変形例を示す構成図である。
【図42】 この発明の実施の形態16によるオゾン供給装置のステップ1の状態を示す構成図である。
【図43】 図42の装置のステップ2の状態を示す構成図である。
【図44】 実施の形態16の変形例のステップ1の状態を示す構成図である。
【図45】 図44の装置のステップ2の状態を示す構成図である。
【図46】 この発明の実施の形態17によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図47】 実施の形態17の変形例を示す構成図である。
【図48】 この発明の実施の形態18によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図49】 実施の形態18の変形例を示す構成図である。
【図50】 この発明の実施の形態19によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図51】 実施の形態19の変形例を示す構成図である。
【図52】 この発明の実施の形態20によるオゾン供給装置のステップ1の状態を示す構成図である。
【図53】 図52の装置のステップ1における経過時間と吸着塔内の圧力との関係を示す関係図である。
【図54】 図52の装置のステップ2の状態を示す構成図である。
【図55】 図52の装置のステップ2における経過時間と吸着塔内の圧力との関係を示す関係図である。
【図56】 この発明の実施の形態21によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図57】 実施の形態21の変形例を示す構成図である。
【図58】 この発明の実施の形態22によるオゾン供給装置を示す構成図である。
【図59】 実施の形態22の変形例を示す構成図である。
【図60】 この発明の実施の形態23によるオゾン供給装置のステップ1の状態を示す構成図である。
【図61】 図60の装置のステップ2の状態を示す構成図である。
【図62】 図60の装置のステップ3の状態を示す構成図である。
【図63】 実施の形態23の変形例のステップ1の状態を示す構成図である。
【図64】 図63の装置のステップ2の状態を示す構成図である。
【図65】 図63の装置のステップ3の状態を示す構成図である。
【図66】 従来のオゾン供給装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
1 オゾン発生器(第1オゾン発生器)、4 吸着塔、7 水流エジェクタ(オゾン取出手段)、11 オゾン取出装置(オゾン取出手段)、12 酸素ガス供給装置、13 圧力検出器、14 制御装置、15 温度調節器、16 オゾン消費物体、21 オゾンガス流量調節装置、22 オゾン計測器、23 酸素ガス流量調節装置、24 酸素ガス発生装置、25,61,111,131,142,163,172 オゾン量制御装置、29 ガス供給装置、30 ガス流量調節装置、31 吸引ポンプ(オゾン取出手段)、32 媒体ガス製造機、33 媒体ガス流量調節装置、35,52,106,121,184 オゾン濃度制御装置、41 媒体ガス流量制御装置、51 オゾンガス流量計測器、71 オゾン含有ガス流量調節弁、101 ガスエジェクタ、102 バイパス配管、103 圧力制御ガス製造機、104,182,185 圧力制御ガス流量調節装置、105,183 バイパス配管流量調節装置、107 圧力制御ガス流量制御装置、141 酸素ガス流量開閉弁、151 圧力制御装置、161 ガス温度調節器、162 温度計測器、171,181 第2オゾン発生器、186酸素含有圧力制御ガス製造機。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ozone supply device used for purifying organic matter and bacteria in wastewater by supplying ozone to wastewater as an ozone consuming object, for example, in a water treatment facility.
[0002]
[Prior art]
FIG. 66 is a block diagram showing a conventional ozone supply device disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 52-3595. This ozone supply device is a device that temporarily stores and supplies ozone. In the figure, 1 is an ozone generator for generating ozonized oxygen by discharging in an oxygen-containing gas, 2 is an oxygen supply source for supplying oxygen-containing gas to the
[0003]
4 is an
[0004]
5 is connected to the
[0005]
8-1 and 8-2 are provided on the upstream side and the downstream side of the
[0006]
Next, the operation of the conventional apparatus will be described. There are two operations, ozone adsorption operation and recovery operation. First, the adsorption operation will be described. During the adsorption operation, the valves 8-1, 8-2, 8-3 and 8-4 are opened, and the valves 8-5, 8-6 and 8-7 are closed. In this state, the oxygen-containing gas is supplied from the
[0007]
Thereafter, the ozonated oxygen is conveyed to the
[0008]
The amount of ozone adsorbed by the adsorbent varies greatly depending on the temperature of the adsorbent. That is, the ozone adsorption amount increases when the temperature of the adsorbent is decreased, and conversely decreases when the temperature is increased. Therefore, the adsorbent is cooled when ozone is adsorbed, and the temperature of the adsorbent is raised when ozone is recovered.
[0009]
When ozone is adsorbed to the adsorbent to a nearly saturated adsorption amount by such an adsorption operation, the operation moves to a recovery operation. In the recovery operation, the operations of the
[0010]
For this reason, the ozone adsorbed by the adsorbent is sucked into the
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional ozone supply device configured as described above, the most ozone is injected into water at the start of recovery, and the ozone injection amount decreases with time. There was a problem in that it could not be continuously supplied and stable ozone treatment could not be performed. In addition, since the adsorbent is cooled during the adsorption operation and heated during the recovery operation, there is a problem that power consumed during ozone storage increases.
[0012]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and can stably supply a certain amount of ozone to an ozone consuming object, thereby reducing power consumption. An object is to obtain an ozone supply device.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and is connected to the adsorption tower and adsorbs to the adsorbent. In order to collect the collected ozone and supply it to the ozone-consumed object, it is connected to the ozone extraction means that draws out the ozone-containing gas from the adsorption tower, the adsorption tower, and oxygen that is supplied into the adsorption tower when ozone is collected from the adsorption tower Oxygen gas generator for generating gas, gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower, ozone gas for detecting and regulating the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower Information from the ozone meter and the ozone gas flow control device at the time of ozone recovery, the ozone meter that detects the ozone concentration in the ozone-containing gas, and the ozone Correspondingly, those having an ozone amount control device for controlling the ozone gas flow regulating device and the gas temperature controller.
[0015]
Also, At the time of ozone recovery, it is controlled by a gas supply device and an ozone amount control device for supplying a gas for stably dissolving ozone in the ozone consumption object to the ozone consumption object, and supplied from the gas supply device to the ozone consumption object. It is provided with a gas flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of the gas.
[0016]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and is connected to the adsorption tower and adsorbs to the adsorbent. In order to collect the collected ozone and supply it to the ozone-consumed object, it is connected to the ozone extraction means that draws out the ozone-containing gas from the adsorption tower, the adsorption tower, and oxygen that is supplied into the adsorption tower when ozone is collected from the adsorption tower An oxygen gas generator for generating gas, A gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower, An ozone gas flow control device that detects and adjusts the flow rate of ozone-containing gas drawn from the adsorption tower, a medium gas production machine that produces a medium gas for transporting ozone-containing gas to ozone-consuming objects, and a medium gas mixed with the ozone-containing gas According to the information from the ozone measuring device, the ozone measuring device for detecting the ozone concentration in the ozone mixed gas in which the ozone containing gas and the medium gas are mixed, and the ozone recovery And an ozone concentration control device for controlling the ozone gas flow control device and the medium gas flow control device.
[0017]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and is connected to the adsorption tower and adsorbs to the adsorbent. In order to collect the collected ozone and supply it to the ozone-consumed object, it is connected to the ozone extraction means that draws out the ozone-containing gas from the adsorption tower, the adsorption tower, and oxygen that is supplied into the adsorption tower when ozone is collected from the adsorption tower An oxygen gas generator for generating gas, A gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower, An ozone gas flow control device that detects and adjusts the flow rate of ozone-containing gas drawn from the adsorption tower, a medium gas production machine that produces a medium gas for transporting ozone-containing gas to ozone-consuming objects, and a medium gas mixed with the ozone-containing gas Medium gas flow control device to adjust the flow rate of ozone, ozone meter to detect ozone concentration in ozone-containing gas, and control ozone gas flow control device according to information from ozone meter and ozone flow control device during ozone recovery And a medium gas flow control device that controls the medium gas flow control device according to information from the ozone flow control device during ozone recovery.
[0020]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and is connected to the adsorption tower and adsorbs to the adsorbent. In order to collect the collected ozone and supply it to the ozone-consumed object, it is connected to the ozone extraction means that draws out the ozone-containing gas from the adsorption tower, the adsorption tower, and oxygen that is supplied into the adsorption tower when ozone is collected from the adsorption tower An oxygen gas generator for generating gas, A gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower, A medium gas production machine that produces a medium gas for transporting ozone-containing gas to an ozone-consuming object, a flow rate maintaining means for maintaining a constant flow rate of the ozone mixed gas in which the ozone-containing gas and the medium gas are mixed, An ozone measuring device that detects the ozone concentration and an ozone concentration control device that controls the ozone extraction means according to information from the ozone measuring device at the time of ozone recovery are provided.
[0022]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and pressure-controlled gas production that produces a pressure-controlled gas. A gas that is connected to the adsorption tower and adsorber, draws out ozone-containing gas from the adsorption tower, and mixes ozone-containing gas and pressure control gas to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to the ozone consumption object Oxygen gas generator connected to the ejector and adsorption tower to generate oxygen gas to supply into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower, and ozone gas to detect and adjust the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower Flow control device, ozone meter that detects ozone concentration in ozone mixed gas in which ozone-containing gas and pressure control gas are mixed, made by pressure control gas Bypass piping installed in parallel to the gas ejector between the gas monitor and the ozone measuring instrument, pressure control gas flow control device for detecting and adjusting the flow rate of the pressure control gas supplied to the gas ejector, and flow through the bypass piping Bypass piping flow control device for adjusting flow rate of pressure control gas, ozone concentration control device for controlling ozone gas flow control device and pressure control gas flow control device according to information from ozone measuring instrument, and ozone recovery during ozone recovery Sometimes, a pressure control gas flow control device is provided for controlling the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to information from the ozone gas flow control device and the pressure control gas flow control device.
[0023]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and pressure-controlled gas production that produces a pressure-controlled gas. A gas that is connected to the adsorption tower and adsorber, draws out ozone-containing gas from the adsorption tower, and mixes ozone-containing gas and pressure control gas to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to the ozone consumption object Oxygen gas generator connected to the ejector and adsorption tower to generate oxygen gas to supply into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower, and ozone gas to detect and adjust the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower Flow control device, ozone measuring device to detect ozone concentration in ozone-containing gas, gas ejector between pressure control gas production machine and ozone consuming object Bypass piping provided in parallel, pressure control gas flow control device that detects and adjusts the flow rate of pressure control gas supplied to the gas ejector, bypass piping flow rate control that adjusts the flow rate of pressure control gas flowing through the bypass piping Equipment, ozone amount control device that controls the ozone gas flow rate adjustment device and pressure control gas flow rate adjustment device according to information from the ozone meter during ozone recovery, and ozone gas flow rate adjustment device and pressure control gas flow rate adjustment during ozone recovery A pressure control gas flow control device is provided for controlling the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device in accordance with information from the device.
[0024]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and pressure-controlled gas production that produces a pressure-controlled gas. A gas that is connected to the adsorption tower and adsorber, draws out ozone-containing gas from the adsorption tower, and mixes ozone-containing gas and pressure control gas to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to the ozone consumption object Oxygen gas generator connected to the ejector and adsorption tower to generate oxygen gas to supply into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower, and ozone gas to detect and adjust the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower A flow control device, an oxygen gas flow control device for adjusting the flow rate of oxygen gas from the oxygen gas generator to the adsorption tower, an ozone-containing gas and a pressure control gas. An ozone measuring device for detecting the ozone concentration in the combined ozone mixed gas, a bypass pipe provided in parallel with the gas ejector between the pressure control gas manufacturing machine and the ozone measuring device, and supplied to the gas ejector Pressure control gas flow control device that detects and adjusts the flow rate of pressure control gas, bypass pipe flow control device that adjusts the flow rate of pressure control gas that flows through the bypass piping, oxygen recovery according to the information from the ozone meter during ozone recovery Controls the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to the information from the ozone gas flow control device and the pressure control gas flow control device at the time of ozone recovery. A pressure control gas flow rate control device is provided.
[0025]
this The ozone supply device according to the invention includes an ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator, and pressure-controlled gas production that produces a pressure-controlled gas. A gas that is connected to the adsorption tower and adsorber, draws out ozone-containing gas from the adsorption tower, and mixes ozone-containing gas and pressure control gas to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to the ozone consumption object Oxygen gas generator connected to the ejector and adsorption tower to generate oxygen gas to supply into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower, and ozone gas to detect and adjust the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower Flow rate control device, oxygen gas flow rate control device that controls the flow rate of oxygen gas from the oxygen gas generator to the adsorption tower, and the ozone concentration in the ozone-containing gas Pressure sensor that detects and adjusts the flow rate of the pressure control gas supplied to the gas ejector, bypass piping provided in parallel to the gas ejector between the ozone measuring instrument, the pressure control gas production machine and the ozone measuring instrument A gas flow control device, a bypass pipe flow control device that adjusts the flow rate of the pressure control gas flowing through the bypass pipe, an ozone amount control device that controls the oxygen gas flow control device according to the information from the ozone meter during ozone recovery, And a pressure control gas flow control device for controlling the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to information from the ozone gas flow control device and the pressure control gas flow control device during ozone recovery. .
[0029]
this The ozone supply device according to the invention is connected to a first ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that adsorbs ozone generated by the first ozone generator, and the adsorption tower. In order to collect the ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to the ozone consumption object, ozone extraction means for extracting ozone-containing gas from the adsorption tower, an oxygen gas generator connected to the adsorption tower, the oxygen gas generator and The second ozone generator that is provided between the adsorption tower and generates ozone gas using the oxygen gas supplied from the oxygen gas generator, and the flow rate of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the second ozone generator is adjusted. Oxygen gas flow control device, ozone gas flow control device for detecting and adjusting the flow rate of ozone-containing gas drawn from the adsorption tower, ozone-containing gas drawn from the adsorption tower An ozone gas flow rate adjusting device that detects and adjusts the flow rate, an ozone measuring device that detects the ozone concentration in the ozone-containing gas, and an ozone gas flow rate adjusting device according to information from the ozone measuring device and the ozone gas flow rate adjusting device during ozone recovery, An ozone amount control device for controlling the second ozone generator and the oxygen gas flow rate control device is provided.
[0030]
this An ozone supply device according to the invention includes a first ozone generator that generates ozone from an oxygen-containing gas, an adsorption tower that has an adsorbent that adsorbs ozone generated by the first ozone generator, and an oxygen-containing pressure that contains oxygen. Oxygen-containing pressure control gas production machine that creates control gas, connected to this oxygen-containing pressure control gas production machine, connected to the second ozone generator that adsorbs oxygen-containing pressure control gas, adsorption tower, and adsorbed by the adsorbent Ejector that adsorbs ozone-containing gas from the adsorption tower and mixes the ozone-containing gas and the ozonized pressure control gas that has passed through the second ozone generator, in order to collect the recovered ozone and supply it to the ozone-consuming object An oxygen gas generator connected to the tower for generating oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower, and containing ozone extracted from the adsorption tower. Ozone gas flow control device that detects and adjusts the gas flow rate, oxygen gas flow control device that adjusts the flow rate of oxygen gas from the oxygen gas generator to the adsorption tower, ozone mixed with ozone-containing gas and ozonization pressure control gas An ozone measuring device for detecting the ozone concentration in the mixed gas, a bypass pipe provided in parallel with the gas ejector between the second ozone generator and the ozone measuring device, and an ozonization pressure supplied to the gas ejector Pressure control gas flow control device that detects and adjusts the flow rate of control gas, bypass pipe flow control device that adjusts the flow rate of ozonized pressure control gas flowing through the bypass pipe, according to the information from the ozone meter at the time of ozone recovery, Ozone gas flow control device, pressure control gas flow control device, ozone concentration control device for controlling oxygen gas flow control device, and ozone cycle Sometimes, depending on the information from the ozone gas flow regulating device and a pressure control gas flow regulating device, in which with a pressure control gas flow controller for controlling the pressure control gas flow rate control device and the bypass pipe flow regulating device.
[0031]
Also, A common ozone generator is used as the first and second ozone generators.
[0032]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
1 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0033]
4 is an
[0034]
11 is connected to the
[0035]
Next, the operation will be described. There are two operations, ozone adsorption operation and recovery operation. First, the adsorption operation will be described. During the adsorption operation, the valves 8-1, 8-2, 8-3 and 8-4 are opened. In this state, the oxygen-containing gas is supplied from the
[0036]
Thereafter, the ozonated oxygen is conveyed to the
[0037]
When ozone is adsorbed to the adsorbent to a nearly saturated adsorption amount by such an adsorption operation, the operation moves to a recovery operation. In the recovery operation, the operations of the
[0038]
The pressure in the
[0039]
That is, when the measured value is lower than the set value, the difference between the absolute amount of the ozone-containing gas taken out from the
[0040]
However, in the method of increasing the absolute amount of oxygen gas to be supplied, the supply amount of oxygen to the
[0041]
On the other hand, when the measured value of the pressure in the
[0042]
However, in the method of reducing the absolute amount of oxygen to be supplied, since the supply source of oxygen to the
[0043]
In this example, the adsorbent temperature in the
[0044]
However, since the adsorption ratio of oxygen and ozone varies depending on the temperature of the silica gel, if the temperature of the silica gel is increased, the abundance ratio of oxygen and ozone in the gas phase changes, and the amount of ozone taken out is determined only by the pressure in the
[0045]
Also, when the silica gel temperature is raised, it is necessary to cool the adsorbent again when returning from the recovery operation to the adsorption operation, which requires a large amount of energy and increases power consumption.
[0046]
In this way, by keeping the temperature of the adsorbent in the
[0047]
Next, FIG. 3 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0048]
25 is an ozone amount control device that receives signals from the ozone gas flow
[0049]
Next, the operation will be described. When the adsorption operation similar to that in the first embodiment is completed and the operation proceeds to the recovery operation, the operations of the
[0050]
Here, an ozone recovery control method using the ozone gas
[0051]
As a result of this calculation, when the ozone amount in the ozone-containing gas released from the
[0052]
On the other hand, when the ozone amount in the ozone-containing gas discharged from the
[0053]
That is, in the ozone
[0054]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3s Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 1 Is the control gain.
[0055]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured, and the flow rate of the ozone-containing gas is adjusted based on the measured value. Of ozone can be stably supplied, and stable ozone treatment can be performed.
[0056]
Here, as the
[0057]
When using an ozone measuring instrument that does not consume ozone or a type that does not cause ozone consumption, as shown in FIG. A
[0058]
In the above example, the
[0059]
Next, FIG. 5 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0060]
First,
[0061]
In
[0062]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0063]
That is, in the ozone
[0064]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 2 Is the control gain.
[0065]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured, and the ozone-containing gas flow rate of the ozone gas flow
[0066]
Here, as a result of the ozone recovery experiment, when a control signal is sent to the ozone gas flow
[0067]
However, in
[0068]
In the above example, after a signal is sent from the ozone
[0069]
Furthermore, depending on the type of the
[0070]
Furthermore, in the above example, the case where the fluid itself flowing into the
[0071]
Next, FIG. 9 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0072]
Next, the operation will be described. The collection operation of the present embodiment is roughly divided into two stages,
[0073]
Here, an ozone recovery control method using the ozone gas
[0074]
Further, in the ozone
[0075]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0076]
On the other hand, when the ozone amount in the ozone-containing gas released from the
[0077]
That is, in the ozone
[0078]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3s Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 1 Is control gain, F Gs Is the target value of the amount of gas supplied to the fluid, K 1 'Is the control gain.
[0079]
Then, the ozone gas flow
[0080]
In
[0081]
In
[0082]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0083]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0084]
That is, in the ozone
[0085]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 2 Is control gain, F Gs Is the target value of the amount of gas supplied to the fluid, K 1 'Is the control gain.
[0086]
Then, the flow
[0087]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured. Based on the measured values, in
[0088]
In the above example, after a signal is sent from the ozone
[0089]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 10, an
[0090]
Furthermore, in the above example, the case where a gas such as air is supplied to the fluid that has passed through the
[0091]
13 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0092]
Next, the ozone recovery operation of this embodiment will be described. When the adsorption operation is completed and the operation proceeds to the collection operation, the operations of the
[0093]
Here, an ozone recovery control method using the ozone gas
[0094]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0095]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0096]
That is, in the ozone
[0097]
However, in the above formula, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3S Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K Three Is control gain, Q O3s Is the target value of the ozone extraction flow rate of the ozone mixed gas.
[0098]
Then, the ozone gas flow
[0099]
Thus, in this embodiment, the ozone concentration in the ozone mixed gas is measured, and the ozone-containing gas flow rate and the medium gas flow rate control device in the ozone gas flow
[0100]
Depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 14, the
[0101]
Embodiment 6 FIG.
Next, FIG. 15 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 6 of the present invention. In this example, the ozone gas flow
[0102]
The ozone recovery operation in this example is roughly divided into two stages,
[0103]
That is, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0104]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0105]
That is, in the ozone
[0106]
However, in the above formula, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3s Is the target value of the ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K4 is the control gain, Q O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, Q O3s Is the target value of the ozone extraction flow rate of the ozone mixed gas, K Five Is the control gain.
[0107]
Then, the oxygen gas flow
[0108]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone mixed gas and the ozone-containing gas flow rate are measured. Based on these measured values, in
[0109]
In the above example, after the control signal is sent from the ozone
[0110]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 16, the
[0111]
Furthermore, in the above example, the case where two signals of the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate are processed by the ozone
[0112]
Next, FIG. 17 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0113]
Next, the ozone recovery operation of this embodiment will be described. When the adsorption operation is completed and the operation proceeds to the collection operation, the operations of the
[0114]
Here, an ozone recovery control method using the ozone gas
[0115]
When the ozone amount in the ozone-containing gas released from the
[0116]
Further, the flow rate of the medium gas flowing through the medium gas flow
[0117]
On the other hand, when the ozone amount in the ozone-containing gas discharged from the
[0118]
Further, the flow rate of the medium gas flowing through the medium gas flow
[0119]
That is, in the ozone
[0120]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, G O3s Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 1 Is the control gain.
[0121]
Further, in the medium gas flow
[0122]
However, in the above formula, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0123]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate of the ozone mixed gas are measured, and the ozone-containing gas in the ozone gas flow
[0124]
Depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 18, the
[0125]
Similarly to the second embodiment, even if the
[0126]
Further, in the above example, the case where the devices are arranged in the order of the ozone gas flow
[0127]
In this case, since the amount of ozone decomposition at the
[0128]
Next, FIG. 19 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0129]
Further, the ozone recovery operation of the present embodiment is roughly divided into two stages,
[0130]
In
[0131]
That is, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0132]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0133]
In the ozone
[0134]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the ozone extraction flow rate of the ozone mixed gas, K 2 Is the control gain.
[0135]
In the medium gas flow
[0136]
However, in the above formula, Q O30 Is the measured value of the ozone gas flow rate in the ozone gas
[0137]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured. Based on these measured values, in
[0138]
In the above example, after the control signal is sent from the ozone
[0139]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 20, the
[0140]
Embodiment 9 FIG.
Next, FIG. 21 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 9 of the present invention. In the figure, 51 indicates the flow rate of the ozone-containing gas released from the
[0141]
Next, the ozone collection | recovery operation | movement of this Embodiment is demonstrated. When the adsorption operation is completed and the operation proceeds to the collection operation, the operations of the
[0142]
Here, an ozone recovery control method using the ozone-containing gas flow
[0143]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set ozone concentration, a control signal is sent to the
[0144]
Further, the flow rate of the medium gas in the medium gas flow
[0145]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set ozone concentration, a control signal is sent from the ozone
[0146]
Further, the flow rate of the medium gas in the medium gas flow
[0147]
That is, in the ozone
[0148]
However, in the above formula, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3s Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 7 Is the control gain.
[0149]
Further, in the flow
[0150]
However, in the above formula, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing
[0151]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone mixed gas is measured, and based on the measured value, the
[0152]
Depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 22, the
[0153]
Embodiment 10 FIG.
Next, FIG. 23 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 10 of the present invention. In this example, the
[0154]
The collection operation of the present embodiment is roughly divided into two stages,
[0155]
That is, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set ozone concentration, a control signal is sent from the ozone
[0156]
Further, based on the information from the ozone-containing gas flow
[0157]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set ozone concentration, a signal is sent from the ozone
[0158]
Further, based on the information from the ozone-containing gas flow
[0159]
That is, in the ozone
[0160]
However, in the above formula, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3s Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 9 Is the control gain.
[0161]
Further, in the flow
[0162]
However, in the above formula, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing
[0163]
Thus, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone mixed gas is measured, and based on this measured value, the input power of the
[0164]
In addition, after the control signal is sent from the ozone
[0165]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 24, the
[0166]
Furthermore, in the above example, the case where the
[0167]
Next, FIG. 11 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0168]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. When the adsorption operation is completed and the operation proceeds to the collection operation, the operations of the
[0169]
Here, an ozone recovery control method using the
[0170]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0171]
Further, the flow rate of the medium gas in the medium gas flow
[0172]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0173]
Further, the flow rate of the medium gas in the medium gas flow
[0174]
That is, in the ozone
[0175]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3s Is the target value of ozone extraction concentration in ozone-containing gas, K Ten Is the control gain.
[0176]
Further, in the flow
[0177]
However, in the above formula, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing
[0178]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate of the ozone-containing gas are measured, and the input power amount of the
[0179]
Depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 26, the
[0180]
Next, FIG. 27 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0181]
The collection operation of the present embodiment can be broadly divided into two stages,
[0182]
In
[0183]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0184]
Further, the flow rate of the medium gas in the medium gas flow
[0185]
On the other hand, when the amount of ozone in the released ozone-containing gas is smaller than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0186]
Further, the flow rate of the medium gas in the medium gas flow
[0187]
That is, in the ozone
[0188]
However, in the above formula, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 11 Is the control gain.
[0189]
Further, in the flow
[0190]
However, in the above formula, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate of the ozone-containing
[0191]
Thus, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured, and based on these measured values, in
[0192]
In the above example, when the control signal is sent from the ozone
[0193]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 28, the
[0194]
Furthermore, in the above example, the case where the suction pump, the oxygen gas flow
[0195]
Next, FIG. 29 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0196]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. When the adsorption operation is completed and the operation proceeds to the collection operation, the operations of the
[0197]
Here, an ozone recovery control method using the
[0198]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0199]
At this time, the gas pressure when entering the
[0200]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0201]
That is, in the ozone
[0202]
However, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, G O3s Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 7 Is the control gain.
[0203]
Thus, in the present embodiment, the discharge flow rate of the ozone-containing gas produced by the
[0204]
Depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 30, the
[0205]
In the above example, the
[0206]
Further, in the above example, the case where the medium gas flows directly from the medium
[0207]
Next, FIG. 33 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0208]
The collection operation of the present embodiment is roughly divided into two stages,
[0209]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0210]
On the other hand, when the ozone concentration in the released ozone-containing gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0211]
That is, in the ozone
[0212]
However, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3s Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 9 Is the control gain.
[0213]
Thus, in the present embodiment, the discharge flow rate in the ozone mixed gas produced by the
[0214]
In the above example, after the control signal is sent from the ozone
[0215]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 34, the
[0216]
Furthermore, for example, as shown in FIG. 35, as a gas mixer, a nozzle that ejects ozone-containing gas at high speed, a throat that sucks the ejected ozone-containing gas, and a guide that guides the medium gas to the negative pressure portion The
[0217]
For example, as shown in FIG. 36, if a medium gas flow
[0218]
Next, FIG. 37 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0219]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. In the recovery operation, the operations of the
[0220]
Here, an ozone desorption control method using the ozone gas
[0221]
The ozone concentration in the ozone mixed gas that has passed through the junction with the
[0222]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0223]
A control signal is sent from the pressure control gas
[0224]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0225]
A control signal is sent from the pressure control
[0226]
That is, in the ozone
[0227]
However, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3s Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 12 Is the control gain.
[0228]
Further, in the pressure control gas
[0229]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0230]
In
[0231]
In
[0232]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0233]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0234]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0235]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0236]
That is, in the ozone
[0237]
However, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3s Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 14 Is the control gain.
[0238]
Further, in the pressure control gas
[0239]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0240]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone mixed gas is measured, and on the basis of the measured value, the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas flow
[0241]
In the above example, after a control signal is sent from the ozone
[0242]
Moreover, you may make it transfer to step 2 from
Furthermore, a pressure sensor for measuring the pressure in the
[0243]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIGS. 39 and 40, the
[0244]
Further, in the above example, the signal from the
[0245]
That is, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a signal including information on the ozone concentration is sent from the
[0246]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0247]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a signal including information on the ozone concentration is sent from the
[0248]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0249]
When the ozone gas
[0250]
Next, FIG. 42 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0251]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. In the recovery operation, the operations of the
[0252]
The collection operation of the present embodiment is divided into
[0253]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0254]
A control signal is sent from the pressure control gas
[0255]
On the other hand, when the ozone amount in the ozone-containing gas discharged from the
[0256]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0257]
That is, in the ozone
[0258]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3s Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 16 Is the control gain.
[0259]
In the pressure control gas
[0260]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0261]
After the control signal is sent from the ozone
[0262]
In
[0263]
When the ozone amount in the ozone-containing gas discharged from the
[0264]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0265]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0266]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0267]
That is, in the ozone
[0268]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3s Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 18 Is the control gain.
[0269]
Further, in the pressure control gas
[0270]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0271]
Thus, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone-containing gas and the ozone-containing gas flow rate are measured. Based on these measured values, in
[0272]
In the above example, after a control signal is sent from the ozone
[0273]
Moreover, you may make it transfer to step 2 from
Furthermore, a pressure sensor for measuring the pressure in the
[0274]
Furthermore, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIGS. 44 and 45, the
[0275]
In the above example, in
[0276]
Embodiment 17. FIG.
Next, FIG. 46 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 17 of the present invention. In this example, the ozone gas flow
[0277]
The collection operation of the present embodiment is roughly divided into three stages,
[0278]
In
[0279]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0280]
A control signal is sent from the pressure control
[0281]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0282]
A control signal is sent from the pressure control
[0283]
That is, in the ozone
[0284]
However, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3S Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 19 Is the control gain.
[0285]
Further, in the pressure control gas
[0286]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0287]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone mixed gas is measured, and on the basis of the measured value, in
[0288]
In the above example, when a control signal is sent from the ozone
[0289]
Moreover, you may make it transfer to step 3 from
Furthermore, a pressure sensor for measuring the pressure in the
[0290]
Furthermore, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 47, the
[0291]
In the above example, in
[0292]
If
[0293]
Next, FIG. 48 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0294]
The collection operation of the present embodiment is roughly divided into three stages,
[0295]
In
[0296]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0297]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0298]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0299]
Further, based on the ozone-containing gas flow rate signal that has passed through the ozone gas flow
[0300]
That is, the ozone
[0301]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3s Is the target value of ozone extraction concentration in ozone-containing gas, K 20 Is the control gain.
[0302]
Further, in the pressure control gas flow
[0303]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0304]
Thus, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone-containing gas and the ozone-containing gas flow rate are measured. Based on these measured values, in
[0305]
In the above example, after the control signal is sent from the ozone
[0306]
Moreover, you may make it transfer to step 3 from
Further, a pressure sensor for measuring the pressure in the
[0307]
Furthermore, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 49, the
[0308]
In the above example, in
[0309]
Furthermore, when performing
[0310]
Embodiment 19. FIG.
50 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 19 of the present invention. In this example, an oxygen gas flow path opening /
[0311]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. In the recovery operation, the operations of the
[0312]
The collection control method of the present embodiment is roughly divided into two stages,
[0313]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0314]
On the other hand, when the ozone amount in the ozone-containing gas discharged from the
[0315]
That is, in the ozone
[0316]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3s Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 11 Is the control gain.
[0317]
Next,
[0318]
In
[0319]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0320]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0321]
That is, in the ozone
[0322]
However, N O2S Is a set value of the number of times the oxygen gas flow path opening /
[0323]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured. Based on these measured values, in
[0324]
Further, since oxygen gas can be intermittently supplied to the
[0325]
In the above example, after a control signal is sent from the ozone
[0326]
Moreover, you may make it transfer to step 2 from
Further, a pressure sensor for measuring the pressure in the
[0327]
Furthermore, depending on the type of ozone measuring device, as shown in FIG. 51, for example, the
[0328]
Further, in the present embodiment, the case where a water flow ejector is used as means for extracting ozone from the
[0329]
Embodiment 20. FIG.
Next, FIG. 52 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 20 of the present invention. In the figure,
[0330]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. In the recovery operation, the operations of the
[0331]
The collection control method of the present embodiment is roughly divided into two stages,
[0332]
When the pressure in the
[0333]
On the other hand, when the pressure in the
[0334]
That is, in the
[0335]
However, P O30 Is the measured value of the
[0336]
Next,
[0337]
When the pressure in the
[0338]
On the other hand, when the pressure in the
[0339]
That is, in the
[0340]
However, P O30 Is the measured value of the
[0341]
Here, in the recovery method according to the present embodiment, a device to be controlled in one step is determined, and a time change in pressure in the
[0342]
For example, the
[0343]
In the pressure control recovery method in the present embodiment, the pressure measurement position in the
[0344]
Thus, in this Embodiment, the pressure in the
[0345]
In addition, the initial cost can be reduced by using an inexpensive
[0346]
In the above example, the case where the collection control is performed separately in
[0347]
In the above example, the case where the timer is used to move from
[0348]
Furthermore, in the above example, the case where the
[0349]
Next, FIG. 56 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0350]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. In the recovery operation, the operations of the
[0351]
The collection operation of the present embodiment is roughly divided into two stages,
[0352]
When the ozone amount in the ozone-containing gas released from the
[0353]
On the other hand, when the amount of ozone in the released ozone-containing gas is smaller than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0354]
That is, in the ozone
[0355]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 11 Is the control gain.
[0356]
Next,
[0357]
In
[0358]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0359]
On the other hand, when the ozone amount in the ozone-containing gas released from the
[0360]
That is, in the ozone
[0361]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K twenty five Is the control gain.
[0362]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured. Based on these measured values, in
[0363]
Furthermore, in the above example, the case where the temperature of the oxygen gas is not adjusted in
[0364]
In the above example, the case where the oxygen gas whose temperature has been adjusted in
[0365]
Furthermore, in the above example, the case where the
[0366]
Furthermore, in the above example, after the control signal is sent from the ozone
[0367]
Furthermore, the process may be shifted from
In addition, a pressure sensor for measuring the pressure in the
[0368]
Further, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIG. 57, the
[0369]
Furthermore, in the above example, the case where the
[0370]
Furthermore, as shown in the nineteenth embodiment, the recovery method shown in the present embodiment can also be applied when oxygen gas is intermittently supplied to the
[0371]
Next, FIG. 58 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0372]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. In the recovery operation, the operations of the
[0373]
The collection control method of the present embodiment is roughly divided into three stages from
[0374]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0375]
On the other hand, when the amount of ozone in the released ozone-containing gas is smaller than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0376]
That is, in the ozone
[0377]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 11 Is the control gain.
[0378]
Next,
[0379]
Also in
[0380]
When the ozone amount in the ozone-containing gas released from the
[0381]
On the other hand, when the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0382]
That is, in the ozone
[0383]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 26 Is the control gain.
[0384]
Finally,
[0385]
When the amount of ozone in the ozone-containing gas released from the
[0386]
On the other hand, when the ozone amount in the ozone-containing gas released from the
[0387]
That is, in the ozone
[0388]
However, F O30 Is the measured value of ozone-containing gas flow, C O30 Is the measured ozone concentration in the ozone-containing gas, G O3S Is the target value of the amount of ozone extracted from the ozone-containing gas, K 27 Is the control gain.
[0389]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration and the ozone-containing gas flow rate in the ozone-containing gas are measured. Based on these measured values, in
[0390]
In the above example, after the control signal is sent from the ozone
[0390]
Further, a sensor for measuring the pressure in the
Furthermore, the same ozone extraction control effect can be obtained even when the process is shifted from
[0392]
Furthermore, depending on the type of ozone meter, for example, as shown in FIG. 59, the
[0393]
In the above example, the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas flow
[0394]
However, when performing
[0395]
Further, in the above example, the case where the
[0396]
Furthermore, in the above example, the
[0397]
Next, FIG. 60 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
[0398]
Next, the collection operation of this embodiment will be described. In the recovery operation, the operations of the
[0399]
Here, an ozone recovery control method using the ozone gas
[0400]
In
[0401]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0402]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0403]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0404]
Further, based on the flow signal of the ozone-containing gas that has passed through the ozone gas
[0405]
That is, in the ozone
[0406]
However, C O30 Is measured value of ozone concentration in ozone-containing gas, C O3s Is the target value of ozone extraction concentration in ozone-containing gas, K 28 Is the control gain.
[0407]
Further, in the pressure control gas
[0408]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0409]
In
[0410]
In
[0411]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0412]
Further, bypass from the pressure control
[0413]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0414]
Further, bypass from the pressure control
[0415]
That is, in the ozone
[0416]
However, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3S Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 30 Is the control gain.
[0417]
Further, in the pressure control gas
[0418]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0419]
In
[0420]
In
[0421]
When the ozone concentration in the ozone mixed gas is lower than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0422]
A control signal is sent from the pressure control
[0423]
On the other hand, when the ozone concentration in the ozone mixed gas is higher than the set value, a control signal is sent from the ozone
[0424]
A control signal is sent from the pressure control
[0425]
That is, in the ozone
[0426]
However, C O30 Is the measured value of ozone concentration in the ozone mixed gas, C O3S Is the target value of ozone extraction concentration in the ozone mixed gas, K 32 Is the control gain.
[0427]
Further, in the pressure control gas
[0428]
However, Q O30 Is the measured value of the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas
[0429]
Next, the ozone generation efficiency of the ozone supply device of the present invention will be described in comparison with the case where ozone is supplied from a conventional ozone generator.
[0430]
In the case of a conventional ozone generator, the relationship between the ozone concentration and the power consumption is 100 g / Nm. Three In the case of 5Wh / g-O Three 200g / Nm Three In the case of 8Wh / g-O Three 300g / Nm Three In the case of 20Wh / g-O Three As described above, as the ozone concentration increases, the amount of power necessary to generate 1 g of ozone increases. That is, 1 Nm Three 100g / Nm when supplying ozone mixed gas to
[0431]
On the other hand, in the ozone supply device of the present invention, the ozone concentration is 200 g / Nm. Three 1Nm with 80% ozone recovery rate Three 100g / Nm when supplying ozone mixed gas to
[0432]
Therefore, in the present invention, 100 g / Nm Three When supplying a low-concentration ozone mixed gas, the amount of electric power used is disadvantageous, but 200 g / Nm Three When supplying the above high-concentration ozone mixed gas, the amount of power used is reduced, and a power-saving ozone supply device can be provided.
[0433]
As described above, in the present embodiment, the ozone concentration in the ozone mixed gas is measured, and based on this measurement, in
[0434]
Furthermore, 200g / Nm Three When supplying the high-concentration ozone mixed gas to the
[0435]
In the above example, after the control signal is sent from the ozone
[0436]
In addition, a sensor for measuring the pressure in the
Furthermore, the same ozone extraction control effect can be obtained by using a timer and shifting from
[0437]
Furthermore, depending on the type of the ozone measuring device, for example, as shown in FIGS. 63 to 65, the
[0438]
In the above example, the ozone-containing gas flow rate in the ozone gas flow
[0439]
Here, when
[0440]
Furthermore, although the case where the
Furthermore, in the present embodiment, the
[0441]
【The invention's effect】
As explained above Suck During the recovery of ozone from the adsorbing tower, while supplying oxygen gas to the adsorption tower, the ozone-containing gas is withdrawn from the adsorption tower, and the pressure in the adsorption tower gradually decreases as the ozone in the adsorption tower is recovered. Since the ozone extraction means and the oxygen gas supply device are controlled, a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consuming object.
[0442]
Also, During the recovery of ozone from the adsorption tower, ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and the ozone gas flow control device is controlled according to information from the ozone gas flow control device and the ozone measuring instrument. Since it did in this way, a fixed amount of ozone can be stably supplied to an ozone consumption object.
[0443]
Also During ozone recovery, the gas for stably dissolving ozone in the ozone consuming object was mixed with the ozone consuming object, and the flow rate of the gas mixed from the gas supply device to the ozone consuming object was adjusted. The ozone supplied to the ozone consuming object can be further stabilized.
[0444]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, the ozone gas is withdrawn from the adsorption tower while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and the medium gas is mixed with the ozone containing gas. Since the flow rate adjusting device and the medium gas flow rate adjusting device are controlled, a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consuming object.
[0445]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, the ozone gas is drawn out from the adsorption tower while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and the medium gas is mixed with the ozone containing gas. In accordance with the control of the ozone gas flow rate control device, the medium gas flow rate control device is controlled according to the information from the ozone flow rate control device, so that a certain amount of ozone is stably supplied to the ozone consumption object. can do.
[0446]
Also At the time of ozone recovery from the adsorption tower, the ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and the medium gas is mixed with the ozone-containing gas. Since the medium gas flow rate control device is controlled according to the information from the ozone gas flow meter while controlling the take-out means, a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consuming object.
[0447]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, the ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and the medium gas is mixed with the ozone-containing gas. Accordingly, the ozone take-out means is controlled, and the medium gas flow rate adjusting device is controlled in accordance with the information from the ozone gas flow rate measuring device, so that a constant amount of ozone is stably supplied to the ozone consuming object. be able to.
[0448]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, the ozone-containing gas is withdrawn from the adsorption tower while supplying oxygen gas to the adsorption tower, the medium gas is mixed with the ozone-containing gas, and the flow rate of the ozone mixed gas is kept constant. Since the ozone extraction means is controlled according to the information from the ozone measuring instrument, a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consuming object.
[0449]
Also Since the flow rate of oxygen gas from the oxygen gas generator to the adsorption tower is adjusted during ozone recovery, the amount of ozone supply can be further stabilized.
[0450]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, ozone gas is drawn out from the adsorption tower by a gas ejector while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and the ozone gas flow control device and pressure control gas flow rate according to the information from the ozone meter The control device is controlled, and the pressure control gas flow control device and bypass pipe flow control device are controlled according to the information from the ozone gas flow control device and pressure control gas flow control device. A quantity of ozone can be supplied stably.
[0451]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, ozone gas is drawn out from the adsorption tower by a gas ejector while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and the ozone gas flow control device and pressure control gas flow rate according to the information from the ozone meter The control device is controlled, and the pressure control gas flow control device and bypass pipe flow control device are controlled according to the information from the ozone gas flow control device and pressure control gas flow control device. A quantity of ozone can be supplied stably.
[0452]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, while supplying oxygen gas to the adsorption tower, the gas ejector draws out the ozone-containing gas from the adsorption tower and controls the oxygen gas flow control device according to the information from the ozone meter Since the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device are controlled according to the information from the ozone gas flow control device and the pressure control gas flow control device, a certain amount of ozone is stabilized in the ozone consumption object. Can be supplied.
[0453]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, while supplying oxygen gas to the adsorption tower, the gas ejector draws out the ozone-containing gas from the adsorption tower and controls the oxygen gas flow control device according to the information from the ozone meter Since the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device are controlled according to the information from the ozone gas flow control device and the pressure control gas flow control device, a certain amount of ozone is stabilized in the ozone consumption object. Can be supplied.
[0454]
Also During the recovery of ozone from the adsorption tower, the ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower while supplying oxygen gas to the adsorption tower, and an ozone gas flow control device and an oxygen gas flow path opening / closing valve are installed according to the information from the ozone measuring instrument. Since it is controlled, a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consuming object.
[0455]
Also The preset value of the pressure change in the adsorption tower at the time of ozone recovery is input to the pressure controller in advance, and at the time of ozone recovery, the ozone gas flow rate control device and the oxygen gas flow rate control device are set according to the information from the pressure detector. Since it is controlled, a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consuming object.
[0456]
Also When ozone is collected, the ozone gas flow controller and gas temperature controller are controlled according to the information from the ozone meter and ozone gas flow controller, so that a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consumer. can do.
[0457]
Also Since the ozone gas flow control device, the second ozone generator and the oxygen gas flow control device are controlled according to the information from the ozone measuring device and the ozone gas flow control device during ozone recovery, a certain amount of ozone is consumed. Of ozone can be stably supplied.
[0458]
Also In the ozone recovery, the ozone gas flow rate adjusting device, the pressure control gas flow rate adjusting device and the oxygen gas flow rate adjusting device are controlled according to the information from the ozone measuring instrument, and the ozone gas flow rate adjusting device and the pressure control gas flow rate adjusting device are Since the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device are controlled according to the information, a certain amount of ozone can be stably supplied to the ozone consuming object.
[0459]
Also Since the common ozone generator is used as the first and second ozone generators, the entire apparatus can be miniaturized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating an ozone supply apparatus according to
FIG. 2 is a relationship diagram showing the relationship between adsorbent temperature and ozone adsorption amount.
FIG. 3 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
4 is a configuration diagram showing a modification of the second embodiment. FIG.
FIG. 5 is a block diagram showing an ozone supply device according to
FIG. 6 is a relationship diagram showing the relationship between operating time and risk and oxygen supply amount.
7 is a configuration diagram showing a modification of the third embodiment. FIG.
FIG. 8 is a configuration diagram showing another modification of the third embodiment.
FIG. 9 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 10 is a configuration diagram showing a modification of the fourth embodiment.
FIG. 11 is a configuration diagram showing another modification of the fourth embodiment.
FIG. 12 is a configuration diagram showing still another modification of the fourth embodiment.
FIG. 13 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 14 is a configuration diagram showing a modification of the fifth embodiment.
FIG. 15 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 6 of the present invention.
FIG. 16 is a configuration diagram showing a modification of the sixth embodiment.
FIG. 17 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 18 is a configuration diagram showing a modification of the seventh embodiment.
FIG. 19 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 20 is a configuration diagram showing a modification of the eighth embodiment.
FIG. 21 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 9 of the present invention.
FIG. 22 is a configuration diagram showing a modification of the ninth embodiment.
FIG. 23 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 10 of the present invention.
24 is a configuration diagram showing a modification of the tenth embodiment. FIG.
FIG. 25 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 26 is a configuration diagram showing a modification of the eleventh embodiment.
FIG. 27 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 28 is a configuration diagram showing a modification of the twelfth embodiment.
FIG. 29 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
30 is a configuration diagram showing a modification of the thirteenth embodiment. FIG.
FIG. 31 is a configuration diagram showing another modification of the thirteenth embodiment.
32 is a configuration diagram showing still another modification of the thirteenth embodiment. FIG.
FIG. 33 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
34 is a configuration diagram showing a modification of the fourteenth embodiment. FIG.
FIG. 35 is a configuration diagram showing another modification of the fourteenth embodiment.
FIG. 36 is a configuration diagram showing still another modification of the fourteenth embodiment.
FIG. 37 is a structural diagram showing a state of
FIG. 38 is a block diagram showing the state of
FIG. 39 is a configuration diagram showing a state of
40 is a block diagram showing a state of
41 is a configuration diagram showing another modification of the fifteenth embodiment. FIG.
FIG. 42 is a structural diagram showing a state of
43 is a block diagram showing the state of
FIG. 44 is a configuration diagram showing a state in
45 is a block diagram showing a state of
FIG. 46 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 17 of the present invention.
FIG. 47 is a configuration diagram showing a modification of the seventeenth embodiment.
FIG. 48 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
49 is a configuration diagram showing a modification of the eighteenth embodiment. FIG.
FIG. 50 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to Embodiment 19 of the present invention.
51 is a configuration diagram showing a modification of the nineteenth embodiment. FIG.
FIG. 52 is a structural diagram showing a state of
53 is a relationship diagram showing the relationship between the elapsed time in
54 is a block diagram showing the state of
FIG. 55 is a relationship diagram showing the relationship between the elapsed time in
FIG. 56 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 57 is a configuration diagram showing a modification of the twenty-first embodiment.
FIG. 58 is a block diagram showing an ozone supply apparatus according to
FIG. 59 is a configuration diagram showing a modification of the twenty-second embodiment.
60 is a structural diagram showing a state of
61 is a block diagram showing a state of
62 is a block diagram showing a state of
63 is a block diagram showing the state of
64 is a block diagram showing the state of
65 is a block diagram showing the state of
FIG. 66 is a block diagram showing an example of a conventional ozone supply device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ozone generator (1st ozone generator), 4 Adsorption tower, 7 Water flow ejector (ozone extraction means), 11 Ozone extraction apparatus (ozone extraction means), 12 Oxygen gas supply apparatus, 13 Pressure detector, 14 Control apparatus, DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 Temperature controller, 16 Ozone consumption object, 21 Ozone gas flow control device, 22 Ozone measuring device, 23 Oxygen gas flow control device, 24 Oxygen gas generator, 25, 61, 111, 131, 142, 163, 172 Ozone amount control Device, 29 Gas supply device, 30 Gas flow control device, 31 Suction pump (ozone extraction means), 32 Medium gas production machine, 33 Medium gas flow control device, 35, 52, 106, 121, 184 Ozone concentration control device, 41 Medium gas flow control device, 51 ozone gas flow meter, 71 ozone-containing gas flow control valve, 101 gas ejector, 1 2 Bypass piping, 103 Pressure control gas production machine, 104, 182, 185 Pressure control gas flow control device, 105, 183 Bypass piping flow control device, 107 Pressure control gas flow control device, 141 Oxygen gas flow control valve, 151 Pressure control Apparatus, 161 gas temperature controller, 162 temperature measuring instrument, 171, 181 second ozone generator, 186 oxygen-containing pressure control gas production machine.
Claims (12)
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
この吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
この酸素ガス発生装置から上記吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器及び上記オゾンガス流量調節装置からの情報に応じて、上記オゾンガス流量調節装置及び上記ガス温度調節器を制御するオゾン量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
An ozone extraction means connected to the adsorption tower and for extracting ozone-containing gas from the adsorption tower in order to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consumption object;
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
A gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An ozone measuring device for detecting the ozone concentration in the ozone-containing gas, and at the time of ozone recovery, the ozone gas flow rate adjusting device and the gas temperature adjusting device are selected according to information from the ozone measuring device and the ozone gas flow rate adjusting device. An ozone supply device comprising an ozone amount control device for control.
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
この吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
この酸素ガス発生装置から上記吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガスをオゾン消費物体に運ぶための媒体ガスを作り出す媒体ガス製造機、
上記オゾン含有ガスに混合される上記媒体ガスの流量を調節する媒体ガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガスと上記媒体ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器からの情報に応じて、上記オゾンガス流量調節装置及び上記媒体ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
An ozone extraction means connected to the adsorption tower and for extracting ozone-containing gas from the adsorption tower in order to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consumption object;
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
A gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
A medium gas production machine for producing a medium gas for transporting the ozone-containing gas to an ozone consuming object;
A medium gas flow rate adjusting device for adjusting a flow rate of the medium gas mixed in the ozone-containing gas;
An ozone measuring device for detecting an ozone concentration in an ozone mixed gas in which the ozone-containing gas and the medium gas are mixed; and at the time of the ozone recovery, according to information from the ozone measuring device, the ozone gas flow rate adjusting device and An ozone supply device comprising an ozone concentration control device for controlling the medium gas flow rate control device.
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
この吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
この酸素ガス発生装置から上記吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガスをオゾン消費物体に運ぶための媒体ガスを作り出す媒体ガス製造機、
上記オゾン含有ガスに混合される上記媒体ガスの流量を調節する媒体ガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器及び上記オゾン流量調節装置からの情報に応じて、上記オゾンガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾン流量調節装置からの情報に応じて、上記媒体ガス流量調節装置を制御する媒体ガス流量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
An ozone extraction means connected to the adsorption tower and for extracting ozone-containing gas from the adsorption tower in order to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consumption object;
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
A gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
A medium gas production machine for producing a medium gas for transporting the ozone-containing gas to an ozone consuming object;
A medium gas flow rate adjusting device for adjusting a flow rate of the medium gas mixed in the ozone-containing gas;
An ozone meter for detecting the ozone concentration in the ozone-containing gas,
The ozone amount control device that controls the ozone gas flow control device according to the information from the ozone meter and the ozone flow control device during the ozone recovery, and the information from the ozone flow control device during the ozone recovery. Accordingly, an ozone supply device comprising: a medium gas flow rate control device for controlling the medium gas flow rate control device.
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
この吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
この酸素ガス発生装置から上記吸着塔へ供給される酸素ガスの温度を制御するガス温度調節器、
上記オゾン含有ガスをオゾン消費物体に運ぶための媒体ガスを作り出す媒体ガス製造機、
上記オゾン含有ガスと上記媒体ガスとが混合されたオゾン混合ガスの流量を一定に維持する流量維持手段、
上記オゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器からの情報に応じて、上記オゾン取出手段を制御するオゾン濃度制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
An ozone extraction means connected to the adsorption tower and for extracting ozone-containing gas from the adsorption tower in order to collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consumption object;
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
A gas temperature controller for controlling the temperature of oxygen gas supplied from the oxygen gas generator to the adsorption tower;
A medium gas production machine for producing a medium gas for transporting the ozone-containing gas to an ozone consuming object;
A flow rate maintaining means for maintaining a constant flow rate of the ozone mixed gas in which the ozone-containing gas and the medium gas are mixed;
An ozone measuring device that detects an ozone concentration in the ozone mixed gas, and an ozone concentration control device that controls the ozone extraction means according to information from the ozone measuring device at the time of ozone recovery. Ozone supply device.
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
圧力制御された媒体ガスを作り出す圧縮制御ガス製造機、
上記吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、上記オゾン含有ガスと上記圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガスと上記圧力制御ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、
上記圧力制御ガス製造機と上記オゾン計測器との間に上記ガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、
上記ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、
上記バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器からの情報に応じて、上記オゾンガス流量調節装置及び上記圧力制御ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾンガス流量調節装置及び上記圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、上記圧力制御ガス流量調節装置及び上記バイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
A compression-controlled gas making machine, which produces a pressure-controlled medium gas,
In order to collect ozone that is connected to the adsorption tower and is adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consuming object, the ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower, and the ozone-containing gas and the pressure control gas are combined. Gas ejector to mix,
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An ozone measuring device for detecting an ozone concentration in an ozone mixed gas in which the ozone-containing gas and the pressure control gas are mixed;
A bypass pipe provided in parallel with the gas ejector between the pressure control gas production machine and the ozone meter;
A pressure control gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting a flow rate of the pressure control gas supplied to the gas ejector;
A bypass piping flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of the pressure control gas flowing through the bypass piping;
During the ozone recovery, according to information from the ozone measuring device, the ozone gas flow control device and the ozone concentration control device for controlling the pressure control gas flow control device, and during the ozone recovery, the ozone gas flow control device and the above An ozone supply device comprising: a pressure control gas flow control device that controls the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to information from a pressure control gas flow control device.
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
圧力制御されたガスを作り出す圧力制御ガス製造機、
上記吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、上記オゾン含有ガスと上記圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、
上記圧力制御ガス製造機と上記オゾン消費物体との間に上記ガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、
上記ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、
上記バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器からの情報に応じて、上記オゾンガス流量調節装置及び上記圧力制御ガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置、及び 上記オゾン回収時に、上記オゾンガス流量調節装置及び上記圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、上記圧力制御ガス流量調節装置及び上記バイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
Pressure-controlled gas making machine, producing pressure-controlled gas
In order to collect ozone that is connected to the adsorption tower and is adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consuming object, the ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower, and the ozone-containing gas and the pressure control gas are combined. Gas ejector to mix,
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An ozone meter for detecting the ozone concentration in the ozone-containing gas,
A bypass pipe provided in parallel with the gas ejector between the pressure control gas production machine and the ozone consuming object;
A pressure control gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting a flow rate of the pressure control gas supplied to the gas ejector;
A bypass piping flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of the pressure control gas flowing through the bypass piping;
During the ozone recovery, according to information from the ozone measuring instrument, the ozone gas flow rate control device and the ozone amount control device for controlling the pressure control gas flow rate control device, and during the ozone recovery, the ozone gas flow rate control device and the above An ozone supply device comprising: a pressure control gas flow control device that controls the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to information from a pressure control gas flow control device.
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
圧力制御されたガスを作り出す圧力制御ガス製造機、
上記吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、上記オゾン含有ガスと上記圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記酸素ガス発生装置から上記吸着塔への酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガスと上記圧力制御ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、
上記圧力制御ガス製造機と上記オゾン計測器との間に上記ガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、
上記ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、
上記バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器からの情報に応じて、上記酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾンガス流量調節装置及び上記圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、上記圧力制御ガス流量調節装置及び上記バイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
Pressure-controlled gas making machine, producing pressure-controlled gas
In order to collect ozone that is connected to the adsorption tower and is adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consuming object, the ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower, and the ozone-containing gas and the pressure control gas are combined. Gas ejector to mix,
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An oxygen gas flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of oxygen gas from the oxygen gas generator to the adsorption tower;
An ozone measuring device for detecting an ozone concentration in an ozone mixed gas in which the ozone-containing gas and the pressure control gas are mixed;
A bypass pipe provided in parallel with the gas ejector between the pressure control gas production machine and the ozone meter;
A pressure control gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting a flow rate of the pressure control gas supplied to the gas ejector;
A bypass piping flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of the pressure control gas flowing through the bypass piping;
From the ozone concentration control device that controls the oxygen gas flow rate adjusting device according to information from the ozone measuring instrument during the ozone recovery, and from the ozone gas flow rate adjusting device and the pressure control gas flow rate adjusting device during the ozone recovery. An ozone supply device comprising: a pressure control gas flow control device for controlling the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to the information.
このオゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、
圧力制御されたガスを作り出す圧力制御ガス製造機、
上記吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、上記オゾン含有ガスと上記圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記酸素ガス発生装置から上記吸着塔への酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、
上記圧力制御ガス製造機と上記オゾン計測器との間に上記ガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、
上記ガスエジェクタに供給される圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、
上記バイパス配管を流れる圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器からの情報に応じて、上記酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾンガス流量調節装置及び上記圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、上記圧力制御ガス流量調節装置及び上記バイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。An ozone generator that generates ozone from oxygen-containing gas,
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the ozone generator;
Pressure-controlled gas making machine, producing pressure-controlled gas
In order to collect ozone that is connected to the adsorption tower and is adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone consuming object, the ozone-containing gas is drawn out from the adsorption tower, and the ozone-containing gas and the pressure control gas are combined. Gas ejector to mix,
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An oxygen gas flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of oxygen gas from the oxygen gas generator to the adsorption tower;
An ozone meter for detecting the ozone concentration in the ozone-containing gas,
A bypass pipe provided in parallel with the gas ejector between the pressure control gas production machine and the ozone meter;
A pressure control gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting a flow rate of the pressure control gas supplied to the gas ejector;
A bypass piping flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of the pressure control gas flowing through the bypass piping;
At the time of the ozone recovery, from the ozone amount control device for controlling the oxygen gas flow rate control device according to the information from the ozone meter, and at the time of the ozone recovery, from the ozone gas flow rate control device and the pressure control gas flow rate control device An ozone supply device comprising: a pressure control gas flow control device for controlling the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to the information.
この第1オゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、 この吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すオゾン取出手段、
上記吸着塔に接続されている酸素ガス発生装置、
この酸素ガス発生装置と上記吸着塔との間に設けられ、上記酸素ガス発生装置から供給された酸素ガスによりオゾンガスを発生する第2オゾン発生器、
上記酸素ガス発生装置から上記第2オゾン発生器に供給される酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器及び上記オゾンガス流量調節装置からの情報に応じて、上記オゾンガス流量調節装置、上記第2オゾン発生器及び上記酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。A first ozone generator for generating ozone from an oxygen-containing gas;
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the first ozone generator; connected to the adsorption tower; for collecting ozone adsorbed by the adsorbent and supplying it to an ozone consumer; Ozone extraction means for extracting ozone-containing gas from the adsorption tower,
An oxygen gas generator connected to the adsorption tower,
A second ozone generator which is provided between the oxygen gas generator and the adsorption tower and generates ozone gas by the oxygen gas supplied from the oxygen gas generator;
An oxygen gas flow rate adjusting device for adjusting a flow rate of oxygen gas supplied from the oxygen gas generating device to the second ozone generator;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An ozone measuring device for detecting an ozone concentration in the ozone-containing gas; and at the time of ozone recovery, according to information from the ozone measuring device and the ozone gas flow controlling device, the ozone gas flow controlling device and the second ozone generator And an ozone amount control device for controlling the oxygen gas flow rate control device.
この第1オゾン発生器で生成されたオゾンを吸着する吸着剤を有する吸着塔、 酸素を含有する酸素含有圧力制御ガスを作り出す酸素含有圧力制御ガス製造機、
この酸素含有圧力制御ガス製造機に接続され、上記酸素含有圧力制御ガスをオゾン化する第2オゾン発生器、
上記吸着塔に接続され、上記吸着剤に吸着されたオゾンを回収してオゾン消費物体に供給するために、上記吸着塔からオゾン含有ガスを引き出すとともに、上記オゾン含有ガスと上記第2オゾン発生器を通過したオゾン化圧力制御ガスとを混合するガスエジェクタ、
上記吸着塔に接続され、上記吸着塔からのオゾン回収時に上記吸着塔内に供給するための酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置、
上記吸着塔から引き出されたオゾン含有ガスの流量を検出し調節するオゾンガス流量調節装置、
上記酸素ガス発生装置から上記吸着塔への酸素ガスの流量を調節する酸素ガス流量調節装置、
上記オゾン含有ガスと上記オゾン化圧力制御ガスとが混合されたオゾン混合ガス中のオゾン濃度を検出するオゾン計測器、
上記第2オゾン発生器と上記オゾン計測器との間に上記ガスエジェクタに対して並列に設けられているバイパス配管、
上記ガスエジェクタに供給されるオゾン化圧力制御ガスの流量を検出し調節する圧力制御ガス流量調節装置、
上記バイパス配管を流れるオゾン化圧力制御ガスの流量を調節するバイパス配管流量調節装置、
上記オゾン回収時に、上記オゾン計測器からの情報に応じて、上記オゾンガス流量調節装置、上記圧力制御ガス流量調節装置及び上記酸素ガス流量調節装置を制御するオゾン濃度制御装置、及び
上記オゾン回収時に、上記オゾンガス流量調節装置及び上記圧力制御ガス流量調節装置からの情報に応じて、上記圧力制御ガス流量調節装置及び上記バイパス配管流量調節装置を制御する圧力制御ガス流量制御装置
を備えていることを特徴とするオゾン供給装置。A first ozone generator for generating ozone from an oxygen-containing gas;
An adsorption tower having an adsorbent that adsorbs ozone generated by the first ozone generator, an oxygen-containing pressure control gas production machine that produces an oxygen-containing pressure control gas containing oxygen,
A second ozone generator that is connected to the oxygen-containing pressure control gas production machine and that ozonizes the oxygen-containing pressure control gas;
The ozone-containing gas and the second ozone generator are drawn out from the adsorption tower to be connected to the adsorption tower and collect ozone adsorbed by the adsorbent and supply it to an ozone-consuming object. Gas ejector that mixes with ozonized pressure control gas that has passed through
An oxygen gas generator that is connected to the adsorption tower and generates oxygen gas to be supplied into the adsorption tower when ozone is recovered from the adsorption tower;
An ozone gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozone-containing gas drawn from the adsorption tower;
An oxygen gas flow rate adjusting device for adjusting the flow rate of oxygen gas from the oxygen gas generator to the adsorption tower;
An ozone measuring device for detecting an ozone concentration in an ozone mixed gas in which the ozone-containing gas and the ozonization pressure control gas are mixed;
A bypass pipe provided in parallel with the gas ejector between the second ozone generator and the ozone measuring instrument;
A pressure control gas flow rate adjusting device for detecting and adjusting the flow rate of the ozonized pressure control gas supplied to the gas ejector;
A bypass pipe flow control device for adjusting the flow rate of the ozonization pressure control gas flowing through the bypass pipe,
During the ozone recovery, according to the information from the ozone meter, the ozone gas flow control device, the pressure control gas flow control device and the ozone concentration control device for controlling the oxygen gas flow control device, and during the ozone recovery, A pressure control gas flow control device for controlling the pressure control gas flow control device and the bypass pipe flow control device according to information from the ozone gas flow control device and the pressure control gas flow control device. Ozone supply device.
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